JP2016020541A - 超硬合金、および切削工具 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】炭化タングステンを主成分とする硬質相と、鉄族元素を主成分とする結合相とを備える超硬合金であって、炭化タングステンの粒子数をA、他の炭化タングステン粒子との接触点の点数が1点以下の炭化タングステン粒子の粒子数をBとするとき、B/A≦0.05を満たす超硬合金。鉄族元素はコバルトを含み、コバルトの含有量は超硬合金中において8質量%以上であることが好ましい。炭化タングステン粒子の平均粒径は3μm以上であることが好ましい。
【選択図】図1
Description
最初に本発明の実施態様を列記して説明する。
本発明者らは、超硬合金の耐塑性変形性を向上させるための考え方として、組成の調整などではなく、硬質相のWC粒子同士を十分に結合させることに着目して種々の検討を行った。その結果、以下の知見を得て本発明を完成するに至った。
(A)超硬合金の焼結時、WC粒子同士が十分に結合されていない状態で結合相の液相が生成すると、WC粒子間に液相が侵入しやすく、焼結後にWC粒子同士を十分に結合させることが難しい。
(B)超硬合金の焼結時、結合相の液相が生成する前にWC粒子同士を十分に結合、例えばネッキングさせることができれば、焼結後にもWC粒子同士が結合された状態を維持し易い。
(C)超硬合金の焼結後にWC粒子同士が十分に結合した状態を維持できれば、個々のWC粒子が他のWC粒子と接触する接触点の点数が多くなる傾向にあり、他のWC粒子との接触点の点数が少ないWC粒子の割合が小さくなる傾向にある。
《概要》
本発明の実施形態に係る超硬合金は、WCを主成分とする硬質相と、鉄族元素を主成分とする結合相とを備える。この超硬合金の特徴の一つは、WCの粒子数をA、他のWC粒子との接触点の点数が1点以下のWC粒子の粒子数をBとするとき、比率B/AがB/A≦0.05を満たすことにある。この比率B/Aの限定により、他のWC粒子との接触点の点数が少ないWC粒子の割合が小さい超硬合金を実現している。以下、本発明の実施形態に係る超硬合金の構成および製造方法について説明する。
〔WC粒子同士の接触状態〕
比率B/Aが上記規定範囲内にあることは、全周が結合相に取り囲まれたWC粒子(接触点の数がゼロ)や他のWC粒子と1点のみで接触したWC粒子が少なく、隣り合うWC粒子同士の接触点数が多くなっていることを示している。これらの接触点では、後述するように、互いにWC粒子同士が強固に結合した状態となっている箇所が従来の超硬合金に比べて多いと考えられる。よって、このようなWC粒子同士の接触状態により、耐塑性変形性が向上できると推察される。
(超硬合金中の硬質相の割合)
超硬合金中の硬質相の割合は、超硬合金全体の80質量%以上、さらには90質量%以上とすることが挙げられる。一方、超硬合金中の硬質相の割合は、超硬合金全体の96質量%以下、さらには95質量%以下とすることが挙げられる。
硬質相は、WCを主成分とする。主成分とは、硬質相中、50質量%以上の割合でWCを含むことをいう。WCの割合は、例えば、硬質相の70質量%以上、さらに75質量%以上、80質量%以上、85質量%以上とすることが挙げられる。硬質相に後述する他の成分を含む場合、WCの割合は、98質量%以下、さらに95質量%以下とすることが挙げられる。
硬質相は、WC以外の他の成分を含みうる。硬質相における他の成分の割合は、硬質相中の2質量%以上、さらには5質量%以上、8質量%以上とすることが挙げられる。硬質相がWC以外の他の成分を含むことで、例えば耐摩耗性の向上などが得られると期待される。一方、硬質相における他の成分の割合は、硬質相中の50質量%以下、さらには30質量%以下とすることが挙げられる。WCの割合が相対的に減少し、上記の比率B/Aが0.05超となることを抑制できるからである。
WC以外の他の成分の一例としては、周期表4,5,6族元素とケイ素(Si)よりなる群から選択される少なくとも1つの元素の炭化物(ただしWCを除く)、窒化物および炭窒化物などが挙げられる。周期表4,5,6族元素としては、チタン(Ti)、V(バナジウム)、Cr(クロム)、ジルコニウム(Zr)、ニオブ(Nb)、タンタル(Ta)、タングステン(W)等が挙げられる。具体的な他の成分としては、炭化ニオブ(NbC)、炭化タンタル(TaC)、炭化チタン(TiC)、炭化バナジウム(VC)、二炭化三クロム(Cr3C2)、窒化チタン(TiN)、炭窒化チタン(TiCN)、炭窒化ジルコニウム(ZrCN)、などが挙げられる。
硬質相を構成する全粒子の平均粒径は、1.5μm以上、さらには3μm以上であることが好ましい。超硬合金の靱性を高くできるからである。一方、硬質相を構成する全粒子の平均粒径は、9μm以下、さらには6μm以下とすることが好ましい。超硬合金の硬度を高くできるからである。ここでの平均粒径は、feret径である。
硬質相として上記複合化合物相を備える場合、複合化合物相は、超硬合金の任意の表面または任意の断面に対する面積比率が1%以上10%以下であることが挙げられる。複合化合物相の面積比率が1%以上であることで、Wを含む複合化合物粒子とWC粒子との結合をある程度確保することができ、超硬合金の強度を向上することができる。一方、複合化合物相の面積比率が10%以下であることで、WC粒子を十分に確保することができ、WC粒子同士の結合による耐塑性変形性の向上と、Wを含む複合化合物粒子とWC粒子との結合による強度の向上との双方を得ることができる。複合化合物相の上記面積比率は、さらに3%以上8%以下が好ましく、特に4%以上7.5%以下が好ましい。
結合相は、鉄族元素を主成分とする。主成分とは、結合相全体の50質量%以上の割合で鉄族元素を含むことをいう。結合相を構成する鉄族元素としては、代表的には、Co、ニッケル(Ni)、および鉄(Fe)等を挙げることができる。これらは単独で用いてもよいし、複数を組合せて用いてもよい。また、結合相は、硬質相の成分であるWや炭素(C)、上述した他の成分、その他の不可避的な成分を含んでいても良い。
以上説明した実施形態に係る超硬合金は、比率B/AがB/A≦0.05を満たすことで、耐塑性変形性に優れる。例えば、実施形態に係る超硬合金を切削工具とした場合、切削工具の寿命をB/A≦0.05を満たさないものの2倍以上、さらには4倍以上とできる。他にも、金型の素材など、耐塑性変形性が特に要求される用途に実施形態に係る超硬合金を好適に用いることができる。
《概要》
上述した比率B/AがB/A≦0.05を満たす本発明の実施形態に係る超硬合金は、例えば、準備工程と、混合工程と、成形工程と、仮焼工程と、焼結工程とを備える超硬合金の製造方法により製造できる。この製造方法の特徴の一つは、仮焼工程を行うことにある。
準備工程では、超硬合金を構成する材料の全ての原料粉末を準備する。準備対象としては、WC粉末及び結合相粉末が必須として挙げられ、必要に応じてWC以外の硬質相粉末や粒成長抑制剤などが挙げられる。これらには、市販のものを利用できる。
混合工程では、準備工程で準備した各原料粉末を混合する。混合工程により、各原料粉末が混合された混合粉末が製造される。混合工程に用いる装置には公知の装置を用いることができ、例えば、アトライター、転動ボールミル、およびビーズミルなどを用いることができる。混合条件も公知の条件とすればよく、湿式混合であっても乾式混合であってもよい。混合条件の一例としては、アトライターを用いた場合において、回転数:30rpm以上500rpm以下、混合時間:30分以上900分以下が挙げられる。アトライターによる混合は、超硬合金製のボール状メディアを利用して行なっても良いし、メディアレスで行なっても良い。
成形工程では、混合粉末を所定の形状に成形する。成形工程により、混合粉末が成形された成形体が得られる。成形工程における成形方法や成形条件は、一般的な方法や条件を採用すればよい。成形方法としては、乾式加圧成形法、冷間静水圧成形法、射出成形法、押出成形法などが挙げられる。成形条件の一例としては、荷重:50MPa以上200MPa以下とすることが挙げられる。所定の形状としては、例えば切削工具形状とすることが挙げられる。この場合、最終的な製品形状とするために、必要に応じて、仮焼工程後または焼結工程後に適宜な機械加工を行ってもよい。
仮焼工程では、成形工程により得られた成形体を、結合相の液相が生成せず、かつできるだけ多くのWC粒子同士をより強固に結合できる条件にて熱処理する。仮焼工程により、個々のWC粒子が他のWC粒子と接触する接触点の点数が多い予備焼成体が得られる。仮焼工程は、市販の焼結炉など、公知の装置により行うことができる。以下、上記の熱処理の保持温度や成形体を保持する保持時間などの仮焼工程の条件(以下、熱処理条件という)について説明する。
(保持温度)
仮焼工程における所定の温度は、WC粒子同士をできるだけ多く強固に結合できる温度以上である。この温度以上で成形体を保持することで、WC粒子同士が十分に結合することが促進され、個々のWC粒子が他のWC粒子と接触する接触点の点数が多くなると考えられる。それにより、後述する焼結工程の際に生成する液相がWC粒子間に侵入することを阻止できる。一方、所定の温度は、結合相の液相温度未満である。成形体を結合相の液相温度未満の温度で保持することで、WC粒子同士が単に接しているだけの接触界面に液相が侵入することを阻止でき、WC粒子同士が離れた状態となり難い。よって、予備焼成体、ひいては実施形態の超硬合金では、WC粒子同士の接触点の点数が多くなると考えられる。具体的な温度の一例としては、1100℃以上1200℃以下、1150℃以上1200℃以下とすることが挙げられる。
成形体を所定温度に保持する保持時間は、後述する焼結工程の際に生成する液相がWC粒子間に侵入することを阻止できる程度に個々のWC粒子同士を結合するための十分な時間とすればよく、上述した所定の温度とともに適宜調整すればよい。保持時間の一例としては、300分以上、さらには500分以上が挙げられる。保持時間の上限は特に定めないが、1100分以下、さらには900分以下、特には600分以下とすると、生産性に優れる。
仮焼工程を行う雰囲気は特に限定されず、大気、窒素、不活性ガス、および還元性ガスなどといった雰囲気下や真空(0.1〜0.5Pa程度)で行うことができる。非酸化性雰囲気下で仮焼工程を行うと、WCの酸化などを防止できるので好ましい。この点に関しては、後述する焼結工程においても同様である。
焼結工程では、仮焼工程で得られた予備焼成体を、結合相の液相が生じる温度域で所定時間保持して焼結体の超硬合金とする。焼結工程により、実施形態に係るB/A≦0.05を満たす超硬合金が得られる。焼結工程は、焼結炉などの一般的な装置を用いて行うことができる。焼結工程の条件は、公知の条件を適用できる。液相の生じる温度域の一例としては、1300℃以上1600℃以下、さらには1350℃以上1500℃以下が挙げられる。所定時間の一例としては、0.5時間以上2.0時間以下、さらには1.0時間以上1.5時間以下が挙げられる。
上述した超硬合金の製造方法によれば、接触点の点数が少ないWC粒子の割合が小さく、ひいては耐塑性変形性に優れる実施形態に係る超硬合金を製造することができる。
《基材》
本発明の実施形態に係る切削工具は、上述したB/A≦0.05を満たす超硬合金を基材として用いた切削工具である。これにより、本発明の実施形態に係る切削工具は、耐塑性変形性に優れる。
実施形態に係る切削工具は、その基材上に硬質膜を備えてもよい。基材に硬質膜を形成することで、耐摩耗性などを向上させることができる。また、硬質膜による耐摩耗性の向上と、基材が耐塑性変形性に優れることとで、特に逃げ面摩耗を抑制しやすいと期待される。さらに、基材に硬質膜を形成することで、基材の刃先にチッピングが生じ難くなることから、被削材の仕上げ面の状態を良好にすることができると期待される。特に、実施形態に係る切削工具は、耐塑性変形性に優れる実施形態に係る超硬合金を基材とすることで、硬質膜が基材から剥離し難い。このため、より高効率な加工やより長い寿命を備える切削工具とすることができる。硬質膜は、基材における刃先となる部分とその近傍に被覆されていることが好ましく、基材の表面全体に被覆されていても良い。
実施形態に係る切削工具の一例として、刃先交換型切削チップを図3に示す。刃先交換型切削チップ1は、略菱形片状であり、図4に示すように、超硬合金の基材10と、基材10の表面に被覆された硬質膜20を備える。基材10は、上述した実施形態に係る超硬合金である。この刃先交換型切削チップ1は、図3に示すように、すくい面2と、逃げ面3と、切れ刃(刃先)4と、取付孔5とを有する。このような刃先交換型切削チップ1は、例えばバイトの場合、適宜なシャンクに固定して利用される。
試験例1では、製造した超硬合金を基材として用いた切削工具を作製し、その評価を行った。
原料粉末として、WC粉末(平均粒径:3.8μm)、Co粉末(平均粒径:1.0μm)、およびTaC粉末(平均粒径:1.5μm)を準備した(準備工程)。原料粉末に併記した平均粒径はFSSS法により求めた平均粒径である。これらは、後述する試験例2においても同様である。そして、WC粉末、Co粉末、およびTaC粉末を、質量割合で88:9:3となるように市販のアトライターを用いて混合して、混合粉末を得た(混合工程)。混合条件は、200rpm、6時間(360分)とした。この混合粉末を、CNMG120408N−GU形状に加圧成形して複数の成形体を得た(成形工程)。これらの成形体の一部に対して、表1に示す種々の条件で仮焼工程を行い、予備焼成体を得た。そして、各予備焼成体と仮焼工程を行っていない成形体とを、温度:1380℃、時間:1時間の条件でそれぞれ焼結して超硬合金を得た(焼結工程)。以下では、これらの超硬合金を試料とする。各試料は、後述する組織の観察用、ヤング率の測定用、および切削試験用にそれぞれ複数作製した。
〔観察面の形成〕
各試料に対して、任意の断面または任意の表面をそれぞれ鏡面仕上げし、その後、アルゴン(Ar)イオンビーム加工により各断面または表面の加工層を除去し、これらの断面または表面を観察面とした。
各試料の観察面をSEMにより撮影し、観察画像として反射電子像を取得した。この撮影は、各試料に対して5視野ずつ行った。1視野あたりの粒子数は、それぞれ500個程度となるように設定した。
配合組成から予め出現が予測される元素を解析対象として選択し、上記の反射電子像と同一の視野内でEDS面分析を実施し、組成分布像を取得した。ここでは、各試料に用いた原料粉末の組成から、W、Ta、およびCoを分析対象の元素として選択した。原料粉末がTiCやCr3C2を含む場合には、TiやCrを分析対象に加えればよい。Cや窒素(N)などの軽元素を解析対象に含めてもよいが、EDSのエネルギー分解能では軽元素の識別が困難である場合が多く、本試験例では選択しなかった。
取得した反射電子像および組成分布像を比較し、Wの分布のみが観察される硬質相をWCに、それ以外の元素(例えばTaなど)の分布が観察される硬質相をWC以外に分類した。
上記の反射電子像と組成分布像とを利用して、目視により、各試料の各視野におけるそれぞれの粒子数Aおよび粒子数Bを測定し、比率B/Aを求めた。そして、各試料におけるB/Aの平均値を算出した。いずれの視野においても、1視野あたりの粒子数Aは450個以上550個以下であった。各試料のB/Aの平均値を表1に示す。
上記の反射電子像と組成分布像とを利用して、画像解析ソフト(マウンテック社製、Mac−View)により各試料の各視野におけるそれぞれのWC粒子の平均粒径(feret径)を求めた。そして、各試料における平均粒径の平均値を算出した。この結果、いずれの試料においても、WC粒子の平均粒径の平均値は3.3μmであった。
上記の各試料の特性を評価した。具体的には、各試料のヤング率と切削工具としての寿命とをそれぞれ評価した。
各試料のヤング率は、市販の高温動弾性率測定装置(探触子:5MHz)を用い、超音波パルス法により縦波の音速と横波の音速とを測定して求めた。ヤング率が高い試料ほど剛性が高く、塑性変形しにくいといえる。この測定結果を表1に示す。
各試料を表2に示す切削条件の切削試験に供して、各試料の摩耗が進行して基材が欠損に至るまでの時間を寿命とした。この切削試験の結果を表1に示す。
表1に示すように、比率B/Aが0.05以下である試料1−1から試料1−4は、ヤング率が565GPa以上、特に570GPa以上であり、高い耐塑性変形性を備えることが判る。また、試料1−1から試料1−4は、比率B/Aが0.05を超える試料1−11から試料1−14よりも、切削工具としての寿命が長いことが判る。このように、超硬合金の耐塑性変形性は、切削工具とした場合の寿命に影響することが判る。この理由を、切刃稜線部の縦断面の一部を示す図4を参照して説明する。切削工具1の基材である超硬合金10の耐塑性変形性が低いと、切削が進行するにしたがって、すくい面の刃先側(図4における左上側)が下方に傾斜し、逃げ面の刃先側が前方(図4の左側)に突出する。この結果、突出箇所が被削材に接触して逃げ面摩耗を起こす。このように、耐塑性変形性と逃げ面摩耗には密接な関連性がある。そして、基材では、塑性変形に伴い刃先周辺に微小な亀裂などが生じていると考えられ、その亀裂の進展により最終的に欠損に至る。したがって、基材である超硬合金の耐塑性変形性は、切削工具の寿命に影響するといえる。
試験例2では、製造した超硬合金におけるWC粒子の平均粒径、および、超硬合金におけるCoの含有量の多寡が耐塑性変形性にどのように影響するかを評価した。
〔超硬合金の作製〕
(試料2−1)
WC粉末とCo粉末とTaC粉末との質量割合を、88.5:8.5:3.0とした点、形状をSNGN120408N−EGとした点以外は、試験例1の試料1−1と同様にして作製した超硬合金を試料2−1とした。
WC粉末とCo粉末とTaC粉末との質量割合を、89.5:7.5:3.0とした以外は、試料2−1と同様にして作製した超硬合金を試料2−2とした。
準備工程で準備したWC粉末の平均粒径を3.0μmとした以外は、試料2−1と同様にして作製した超硬合金を試料2−3とした。
各試料に対して、公知のCVD法により硬質膜を形成した。硬質膜の組成及び厚さは、基材側からTiN:0.2μm、MT−TiCN:5.0μm、TiBN:0.4μm、α−Al2O3:5.2μm、TiN:0.2μmの順である。上記MTは、他の硬質膜よりも低温のCVD法で形成されたものであることを示す。
各試料における比率B/Aの5視野の平均値を、試験例1と同様にして求めた。あわせて、各試料の各視野におけるWC粒子の平均粒径を試験例1と同様にして求め、各試料のWC粒子の平均粒径の平均値を求めた。この結果、いずれの試料も比率B/Aは0.05以下であった。各試料の焼結後のWC粒子の平均粒径の平均値に関しては表3に示す。ここでの平均粒径はferet径である。
〔ヤング率〕
試験例1と同様にして、各試料におけるヤング率を測定した。この結果を、表3に示す。
切削試験を実施し、超硬合金の寿命を評価した。この切削試験の結果を表3に、切削試験の条件を表4に示す。
いずれの試料も、ヤング率が580GPa以上であり、高い耐塑性変形性を有することが判る。WC粒子の平均粒径が同程度の試料2−1と試料2−2とを比較すると、試料2−1の方がヤング率は低いものの、切削工具としての寿命が長いことが判る。これは、試料2−1では、Coの含有量が8質量%以上であることで、耐欠損性に優れるためと考えられる。また、Coの含有量が同程度の試料2−1と試料2−3とを比較すると、試料2−1の方が切削工具としての寿命が長いことが判る。この理由は、(1)試料2−1は試料2−3よりもヤング率が高いこと、(2)試料2−1は試料2−3よりもWC粒子の平均粒径が大きい(3μm以上)ことで接触点の大きさが大きくなっていると考えられ、この結果、靱性、特に耐欠損性に優れるためなどと考えられる。Coの含有量が超硬合金中の8質量%以上、かつWC粒子の平均粒径が3μm以上である試料2−1が最も切削工具としての寿命が長いことが判る。
試験例3では、試験例1と同様の製造方法で、さらに硬質相としてWを含む複合化合物からなる複合化合物相を備える超硬合金を作製した。そして、この超硬合金を基材として用いた切削工具を作製し、その評価を行った。
原料粉末として、表5に示す組成の粉末を準備した(準備工程)。準備した各粉末の平均粒径は、WC粉末:3.8μm、Co粉末:1.0μm、TiC粉末:3μm、TaC粉末:1.5μm、TiN粉末:2μmである。平均粒径はFSSS法により求めた平均粒径である。その後、試験例1と同様に、混合工程⇒成形工程⇒仮焼工程(熱処理条件は表5に示す)⇒焼結工程を行い、超硬合金を得た(試料No.3−1〜3−4、3−11〜3−13)。
各試料に対して、試験例1と同様に断面をSEMにより撮影し、観察画像として反射電子像を取得した。この撮影は、各試料に対して5視野ずつ行った。1視野あたりの粒子数は、WC粒子の個数と、Wを含む複合化合物粒子の個数と、の合計がそれぞれ500個程度となるように設定した。代表して試料No.3−1の断面写真(倍率5000倍)を図5に示す。図5において、薄い灰色がWC粒子、濃い灰色がWを含む複合化合物からなる複合化合物相、それらの間の黒色の領域が結合相を示す。図5に示すように、WC粒子間に複合化合物相が存在していた。この複合化合物相は、EDS面分析の結果、(W,Ti,Ta)(C,N)の複合化合物であった。その他の試料についても、WC粒子間に複合化合物相が存在することを確認した。
各試料に対して、上記反射電子像および組成分布像より、試験例1と同様にWC粒子の接触状態を測定した。各試料のB/Aの平均値を表7に示す。また、上記観察画像および組成分布像より、試験例1と同様に各試料におけるWC粒子の平均粒径を求めた。この結果、いずれの試料においても、WC粒子の平均粒径は、2.4μmであった。
各試料に対して、上記観察画像および組成分布像より、各複合化合物相の面積を画像計測ソフトMac−Viewを用いて測定した。そして、観察画像に対する各複合化合物相の合計面積の割合(面積比率)を算出した。この面積比率は、(各複合化合物相の合計面積/観察視野面積)×100として算出した。その結果(各試料における各視野の値の平均値)を表7に示す。また、観察画像中に存在する全複合化合物相のうち、面積が10μm2以上である複合化合物相の存在比率を算出した。この存在比率は、(面積が10μm2以上である複合化合物粒子の数/複合化合物粒子の総数)×100として算出した。その結果(各試料における各視野の値の平均値)を併せて表7に示す。
各試料に対して、試験例2と同様に硬質膜を形成した。硬質膜は、基材(試料)側から順に、TiN(0.2μm)、MT−TiCN(5.0μm)、TiBN(0.4μm)、α−Al2O3(5.2μm)、TiN(0.2μm)とした。括弧内の数値は各膜の厚みを示す。硬質膜を備える各試料に対して、表6に示す切削条件の切削試験を施して、基材が欠損に至るまでの時間を寿命として測定した。その結果を併せて表7に示す。
表7に示すように、比率B/Aが0.05以下であるとき、複合化合物相が(1)面積比率:1%以上10%以下、(2)存在比率:5%未満、の双方を満たす試料No.3−1〜3−4は、(1)(2)のいずれかでも満たさない試料No.3−11〜3−13よりも、切削工具として寿命が長いことが判る。これは、試料No.3−1〜3−4は、面積比率が上記(1)を満たすことで、WC粒子に対して適度に複合化合物相が結合しており、存在比率が上記(2)を満たすことで、破壊の起点となり得る複合化合物相が少ない、ためと考えられる。試料No.3−1〜3−4は、原料粉末としてWC以外の硬質相粉末(TiC粉末、TaC粉末、TiN粉末)の合計含有量を適量とし、かつ焼結後に10℃/min以下の冷却速度で冷却したため、上記(1)(2)の双方を満たす複合化合物相が析出によって生成されたと考えられる。
2 すくい面 3 逃げ面
4 刃先(切れ刃) 5 取付孔
10 基材(超硬合金) 20 硬質膜
Claims (7)
- 炭化タングステンを主成分とする硬質相と、鉄族元素を主成分とする結合相とを備える超硬合金であって、
前記炭化タングステンの粒子数をA、他の炭化タングステン粒子との接触点の点数が1点以下の炭化タングステン粒子の粒子数をBとするとき、B/A≦0.05を満たす超硬合金。 - 前記硬質相として、Wと、Wを除く周期表4,5,6族元素及びSiから選択される1種以上の元素と、を含む炭化物、窒化物及び炭窒化物の少なくとも1種の複合化合物からなる複合化合物相を備え、
超硬合金の任意の表面または断面に対する前記複合化合物相の面積比率が1%以上10%以下であり、
前記表面または断面に存在する全複合化合物相のうち面積が10μm2以上である複合化合物相の比率が5%未満である請求項1に記載の超硬合金。 - 前記鉄族元素がコバルトを含み、前記コバルトの含有量が8質量%以上である請求項1または請求項2に記載の超硬合金。
- 前記炭化タングステン粒子の平均粒径が3μm以上である請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の超硬合金。
- 請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の超硬合金を基材として用いた切削工具。
- 前記基材の表面の少なくとも一部に被覆された硬質膜を備える請求項5に記載の切削工具。
- 前記硬質膜が、化学的蒸着法および物理的蒸着法の少なくとも一方により形成されたものである請求項6に記載の切削工具。
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