JP2016018841A - 光源モジュール、光走査装置、画像形成装置、及び光源モジュールの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 光源モジュール200は、面発光レーザアレイチップ40と、該面発光レーザアレイチップ40が実装されるパッケージ10と、面発光レーザアレイチップ40からの光の光路上に位置するカバーガラス41と、パッケージ10における面発光レーザアレイチップ40が実装される領域の周辺部に−γ側の面が接合された枠状のシール部材30と、該シール部材30の+γ側の面の一部に接合されたつば部20aと、該つば部20aに−γ側の端が連続する筒状部20bと、該筒状部20bの+γ側の端に連続し、カバーガラス41が接合材50を介して取り付けられる取り付け部20cとを含むリッド20と、を備え、つば部20aの基端部の一部は、シール部材30に接触していない。
【選択図】図10
Description
比較例の光源モジュール100では、図5〜図7(B)に示されるように、フラットパーケージであるセラミックパッケージ110に形成された3段の段付き凹部110aの最も−γ側(最下段)の凹部の底面に面発光レーザアレイ112(VCSELアレイ)が実装されている。そして、光透過窓部材としてのカバーガラス114が接合材115を介して取り付けられたメタルリッド116のつば部116aが段付き凹部110aの最も+γ側(最上段)の凹部の底面に枠状のシール部材118を介して取り付けられている。以下では、メタルリッド116において、つば部116aに連続する筒状の部分を「筒状部116b」、該筒状部116bに連続しカバーガラス114が取り付けられた部分を「取り付け部116c」と称する。
実施例1の光源モジュール200は、一例として、図10(A)〜図10(E)に示されるように、パッケージ10、リッド20(キャップ、カバー又は蓋ともいう)、シール部材30、複数の発光部を有する面発光レーザアレイチップ40(発光素子)、カバーガラス41(光透過窓部材)などを有している。
パッケージ10のチップマウント部11に面発光レーザアレイチップ40をダイボンディングにより実装する。また、複数の電極パッドと複数の接続端子とをワイヤーボンディングにより接続する。また、複数の接続端子と複数の上記メタライズ配線部材とをワイヤーボンディングにより接続する。
カバーガラス41をリッド20の傾斜壁に開口20dを内側から覆うように接合材(例えば低融点ガラス)を介して取り付ける。
リッド20とパッケージ10に接合(溶接)されたシール部材30とを、つば部20aの基端部の第1及び第2の部分がシール部材30の切り欠き部30a、30bに個別に対向するように(挿入されるように)γ軸周りに位置決め(アライメント)し、リッド20のつば部20aの先端部(外縁部)とシール部材30の外縁部とをシーム溶接する。
実施例2の光源モジュール300は、図15(A)〜図15(E)に示されるように、シール部材が、実施例1の光源モジュール200と異なる。
実施例3の光源モジュール400は、図17(A)〜図17(E)に示されるように、シール部材が、実施例3の光源モジュール400と異なる。
Claims (13)
- 発光素子と、
前記発光素子が実装されるパッケージと、
前記発光素子からの光の光路上に位置する光透過窓部材と、
前記パッケージにおける前記発光素子が実装される領域の周辺部に一側の面が接合された枠状のシール部材と、
前記シール部材の他側の面の一部に接合されたつば部と、該つば部に一端が連続する筒状部と、該筒状部の他端に連続し、前記光透過窓部材が接合材を介して取り付けられる取り付け部とを含むリッドと、を備え、
前記つば部の基端部の少なくとも一部は、前記シール部材に接触していないことを特徴とする光源モジュール。 - 前記取り付け部は、前記発光素子の出射方向に対して傾斜しており、
前記シール部材の内縁部には、前記取り付け部の傾斜方向の一端に対応する位置に第1の凹部が設けられ、前記取り付け部の傾斜方向の他端に対応する位置に第2の凹部が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の光源モジュール。 - 前記つば部の基端部は、前記取り付け部の傾斜方向の一端に対応する第1の部分の少なくとも一部が前記第1の凹部に挿入され、前記取り付け部の傾斜方向の他端に対応する第2の部分の少なくとも一部が前記第2の凹部に挿入されていることを特徴とする請求項2に記載の光源モジュール。
- 前記リッドは、前記つば部の基端部が前記筒状部の軸に垂直な仮想平面に対して前記筒状部の他端側に折れ曲がり、かつ前記つば部の前記基端部以外の部分が前記筒状部の軸に略垂直になり、前記基端部以外の部分に対する前記第1及び第2の部分の前記筒状部の軸方向の最大突出量が前記基端部以外の部分に対する前記つば部の基端部の他の部分の前記軸方向の最大突出量よりも大きくなるように加工されていることを特徴とする請求項2又は3に記載の光源モジュール。
- 前記発光素子は、複数の面発光レーザを含む面発光レーザアレイであることを請求項1〜4のいずれか一項に記載の光源モジュール。
- 前記つば部は、金属を含む材料からなることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の光源モジュール。
- 前記パッケージ部材は、セレミック製であることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載の光源モジュール。
- 前記接合材は、低融点ガラスであることを特徴とする請求項1〜7のいずれか一項に記載の光源モジュール。
- 前記光透過窓部材は、ガラス製であることを特徴とする請求項1〜8のいずれか一項に記載の光源モジュール。
- 光により被走査面を走査する光走査装置であって、
請求項1〜9のいずれか一項に記載の光源モジュールと、
前記光源モジュールからの光を偏向する偏向器と、
前記偏向器で偏向された光を前記被走査面に導く光学系と、を備える光走査装置。 - 少なくとも1つの像担持体と、
前記少なくとも1つの像担持体に対して画像情報に応じて変調された光を走査する少なくとも1つの請求項10に記載の光走査装置と、を備える画像形成装置。 - 請求項2に記載の光源モジュールの製造方法であって、
前記発光素子を前記パッケージに実装する工程と、
前記リッドに前記接合材を介して前記光透過窓部材を接合する工程と、
前記つば部の基端部の前記取り付け部の傾斜方向の一端に対応する第1の部分が前記第1の凹部に挿入され、前記つば部の基端部の前記取り付け部の傾斜方向の他端に対応する第2の部分が前記第2の凹部に挿入されるように前記リッドと前記パッケージに接合された前記シール部材とを位置決めする工程と、
前記つば部と前記シール部材とを接合する工程と、を含む光源モジュールの製造方法。 - 発光素子と、
前記発光素子が実装されるパッケージと、
前記発光素子からの光の光路上に位置する光透過窓部材と、
前記パッケージにおける前記発光素子が実装される領域の周辺部に一側の面が接合された枠状のシール部材と、
前記シール部材の他側の面の一部に接合されたつば部と、該つば部に一端が連続する筒状部と、該筒状部の他端に連続し、前記光透過窓部材が接合材を介して取り付けられる取り付け部とを含むリッドと、を備え、
前記シール部材の内縁部に、前記つば部の基端部の少なくとも一部が挿入される挿入部が設けられていることを特徴とする光源モジュール。
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