JP2015514982A - 座標測定システムおよび方法 - Google Patents

座標測定システムおよび方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2015514982A
JP2015514982A JP2015502458A JP2015502458A JP2015514982A JP 2015514982 A JP2015514982 A JP 2015514982A JP 2015502458 A JP2015502458 A JP 2015502458A JP 2015502458 A JP2015502458 A JP 2015502458A JP 2015514982 A JP2015514982 A JP 2015514982A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
target
detector
detection system
position detection
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2015502458A
Other languages
English (en)
Other versions
JP6256995B2 (ja
JP2015514982A5 (ja
Inventor
ベンジャミン ヒューズ,エドワード
ベンジャミン ヒューズ,エドワード
スチュアート ワーデン,マシュー
スチュアート ワーデン,マシュー
ウォルトン ヴィール,ダニエル
ウォルトン ヴィール,ダニエル
Original Assignee
ザ セクレタリー オブ ステイト フォー ビジネス イノベーション アンド スキルズ
ザ セクレタリー オブ ステイト フォー ビジネス イノベーション アンド スキルズ
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ザ セクレタリー オブ ステイト フォー ビジネス イノベーション アンド スキルズ, ザ セクレタリー オブ ステイト フォー ビジネス イノベーション アンド スキルズ filed Critical ザ セクレタリー オブ ステイト フォー ビジネス イノベーション アンド スキルズ
Publication of JP2015514982A publication Critical patent/JP2015514982A/ja
Publication of JP2015514982A5 publication Critical patent/JP2015514982A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6256995B2 publication Critical patent/JP6256995B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S17/00Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
    • G01S17/02Systems using the reflection of electromagnetic waves other than radio waves
    • G01S17/06Systems determining position data of a target
    • G01S17/42Simultaneous measurement of distance and other co-ordinates
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/002Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates
    • G01B11/005Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates coordinate measuring machines
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S17/00Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
    • G01S17/02Systems using the reflection of electromagnetic waves other than radio waves
    • G01S17/06Systems determining position data of a target
    • G01S17/46Indirect determination of position data
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S17/00Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
    • G01S17/66Tracking systems using electromagnetic waves other than radio waves
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S7/00Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
    • G01S7/48Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
    • G01S7/481Constructional features, e.g. arrangements of optical elements
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S7/00Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
    • G01S7/48Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
    • G01S7/497Means for monitoring or calibrating

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Optical Radar Systems And Details Thereof (AREA)

Abstract

位置検出システムは、少なくとも1つのターゲット(10)の三次元位置を検出することができる。各ターゲット(10)は、任意の方向から入射する光のためのレトロリフレクタとして作用するように構成される。少なくとも1つの発光体が少なくとも1つのターゲット(10)を照射し、また、ターゲット(10)からリトロリフレクトされる光を検出してその光の測定値を取得するために少なくとも1つの検出器(24)が設けられる。また、少なくとも1つのターゲット(10)の三次元位置を決定するために各検出器(24)により取得された測定値を処理するためのプロセッサも設けられる。

Description

本発明は、例えば、一般に、大ボリュームメトロロジ(large volume metrology)、および、メトロロジ支援組立(metrology assisted assembly)、および、座標メトロロジにおいて用いる座標測定システムなどの、座標測定システムおよび方法に関する。
以下の明細書本文および特許請求の範囲の全体にわたって、座標測定システムは位置検出システムと称される。
ボリューム(volume,立体領域)内の物体の三次元位置を検出するために様々な方法が存在する。既知の方法としては、例えば、写真測量法(または、ビデオ測量法)、レーザトラッカ、および、マルチラテレーションが挙げられる。
レーザトラッカは、角度に基づくセンサと範囲に基づくセンサとの組み合わせを使用する。レーザトラッカは、細コリメートレーザビームを球状に装着されたレトロリフレクタ(SMR)などの特定のレトロリフレクタ・ターゲットに対して照射する。SMRは、ビームを発光ビームと同じ経路に沿って元の計器に反射する。レーザトラッカの検出器は、SMRの動きを検出して、常にSMRをフォローするようにレーザビームを向ける。ビームステアリング機構の角度エンコーダは、レーザトラッカからSMRまでの垂直角度および水平角度を測定し、また、レーザに基づく距離測定機構は、SMRまでの距離を測定する。角度および範囲のこの2つの組み合わせは、SMRの三次元座標を球面極形態で与える。
この技術の欠点は、多くの従来技術と同様に、視線が単一の計器とターゲットとの間で必要とされるという点である。その技術が例えば航空機などの大きな構造体の組立で使用されるようになっているときには、レーザトラッカとターゲットとの間で視線を維持することが、特に構成要素が移動する際に難しい。
視線問題を克服する1つの方法は、測定システムを1つの場所から他の場所へ移動させることである。このとき、レーザトラッカの場合には、一貫した座標系を確立することが必要である。他の方法は、写真測量法などの分散型測定システムを使用することである。
写真測量法は、異なる位置から取得された2つ以上の写真画像から物体の三次元位置を検出することを伴う。画像は、同じカメラを使用して互いに前後して取得されてもよく、あるいは、複数のカメラを使用して同時に取得されてもよい。画像および座標がビデオフレームレートでリアルタイムに処理される場合には、該技術がしばしばビデオ測量法と呼ばれる。様々な共通基準点を各画像で同定することができ、また、視線(光線)をカメラ画像から物理的な基準点まで数学的に構築することができる。カメラに対する各光線の方向は、2つの角度に関して表すことができる。カメラの場所(位置および方向)が既知の場合、これらの光線の交点は、基準点の三次元座標を決定する。十分な量の写真が取得されて十分な基準点が同定される場合、システムは、過剰に決定されると言われ、カメラの場所および方向並びに基準点座標を決定するために解決され得る。したがって、システムは自己較正する。
実際には、測定されるべき物体上の対象のポイントに位置される反射性が高いターゲットと組み合わせてフラッシュ照射を使用するのが通常である。これらのターゲットは、通常は平坦な二次元の規則正しい形状である。高反射率、フラッシュ照明、および、規則正しい形状の組み合わせは、高コントラストの画像をもたらして、同定および画像処理を更に容易にする。
これらのターゲットの欠点は、それらが限られた角度範囲にわたって照明を反射して一方側からしか効果的に見えないという点である。
また、能動的なターゲットが使用される写真測量法のためのシステムも知られている。1つのそのようなシステムは、手持ち式プローブに取り付けられる発光ダイオード(LED)を備え、プローブは、測定されるべきポイントを探知するために使用される。このとき、LEDにより照射される光と、光が受けられる角度とを検出するために複数のカメラが使用され、それにより、LEDの位置を計算することができ、そこから、プローブおよびプローブチップの位置および方向を計算することができる。前述した反射性ターゲットと同様に、LEDターゲットは、限られた動作角度範囲を有する。これは、カメラの最大距離間隔を制限し、そのため、プローブがカメラから離れるように移動されると、精度が低下する。したがって、そのようなシステムは、比較的小さいボリュームに制限される。この結果として、システムは、しばしば、異なる特徴を測定するために再配置および/または再位置決めされなければならない。
幾つかのシステムは、冗長性をシステムへ導入することによって、角度範囲および距離が制限されるというこの問題を扱うことを試みる。例えば、単一の計器を、測定ボリュームを取り囲む分散型計器と置き換えると、視線問題に対する何らかの柔軟性が得られるとともに、単一計器とターゲットとの間の距離に伴って低下する精度の問題が克服される。
1つのそのようなシステムは、測定体を取り囲んで複数の回転レーザ源を固定されたポイントに備える。円筒状の光検出器を備える複数のターゲットが、測定されるべき物体に取り付けられる。各ターゲットは、通過するレーザビームをそれが検出するときにパルスを生成する。レーザ源の回転に対するこのパルスのタイミングは、その特定のレーザ源からの光の入射角度を計算できるようにする。
このシステムは、少なくとも2つのレーザ源が各光検出器から見えれば、何らかのビーム遮断を許容できるという利点を有する。しかしながら、レーザ源の回転中に異なるレーザ源からのビームが異なるポイントで光検出器により検出されるため、異なるレーザ源からの検出光間での光検出器の動きが、計算される位置に影響を及ぼす。このことは、計算された位置が回転レーザ源のサイクルにわたる平均位置にしかすぎないことを意味する。
また、レーザ源およびターゲットを形成する光検出器はいずれも、電力成分と複合成分とを必要とする能動デバイスであり、そのため、光源またはターゲットに関して更なる冗長性をシステムに導入するには費用がかかる。
更に、写真測量法および他の本質的に角度に基づく測定システムと同様に、スケールをシステムに導入するためには補助的な方法が必要とされる。これは、一般に、較正された基準長さまたはスケールバーを使用して達成される。
光学的な角度測定に基づくシステムの更なる欠点は、光線のその長さにわたる方向に対する大気擾乱の不釣り合いな影響に起因して、そのようなデバイスが本質的に光学的な範囲測定システムよりも精度が低いという点である。
マルチラテレーションの技術は、本質的に、角度に基づく技術よりも精度が高い。マルチラテレーションは、複数の固定された位置から移動するターゲットまでの範囲測定値の組み合わせを使用して、ターゲットの座標を決定する。ターゲットを追跡するために少なくとも4つの範囲測定デバイスが使用される場合には、システムが過剰に決定され、範囲測定デバイスの位置および方向並びにターゲット座標を決定できる。マルチラテレーションは、光源からターゲットまでの絶対距離を測定するレーザトラッカによって行うことができる。
しかしながら、写真測量法とは異なり、レーザトラッカを用いたマルチラテレーションは、所定の時間に単一のターゲットを扱うためだけに使用できる。
本発明は、改良された位置検出システムおよび方法を提供しようとする。
本発明の一態様によれば、少なくとも1つのターゲットの三次元位置を検出するための位置検出システムが提供され:
少なくとも1つのターゲットであって、そのターゲットまたは各ターゲットがほぼ任意の方向から入射する光のためのレトロリフレクタの役割をする構成である、少なくとも1つのターゲットと;
少なくとも1つのターゲットを照射する少なくとも1つの発光体と;
あるターゲットからのリトロリフレクト光を検出してその光の測定値を取得する少なくとも1つの検出器と;及び
前記又は各検出器により取得された測定値を処理し、少なくとも1つのターゲットの三次元位置を決定するプロセッサを含む位置検出システムである。
好ましくは、少なくとも1つの検出器が複数の検出器である。
好ましくは、少なくとも1つの発光体が複数の発光体である。
実施形態において、検出器または各検出器は、ターゲットの近傍で、そのターゲットから検出器までの光路が、発光体から光がそれに沿ってそのターゲットに入射する光路と一致するように、配置される。
実施形態において、検出器または各検出器は、発光体からターゲットまでの光路がそのターゲットから対応する検出器までの光路と少なくとも部分的に一致するように配置される対応する発光体を有し、それにより、発光体からターゲットに入射する光は、対応する検出器に光路に沿ってリトレフレクトされる。
前述したように、従来技術に伴う問題点は、角度に基づく測定値において、ターゲットが検出器から離れるように移動すると、角度測定値のエラーが次第に大きくなって、それにより、測定値の精度が低下する点である。任意の方向から入射する光のためのレトロリフレクタとして作用するように構成されるターゲットを設けることにより、ターゲットを検出器によって取り囲むことができるのが好ましい。それに応じて、ターゲットが1つの検出器から離れように移動すると、そのターゲットは、他の検出器へ近づくように移動する可能性が高く、したがって、1つの検出器に関してエラーが大きくなると、他の検出器に関してエラーが小さくなり、そのため、全体の精度は、ボリュームの全体にわたって同様のままである。
一方側でのみ検出器を有するのではなく、ターゲットを検出器で取り囲むと、ターゲットが幾つかの検出器の視線内にある可能性を高めることもでき、冗長な検出器またはターゲットの必要性を減らすことができる。
好ましくは、ターゲットまたは各ターゲットが発光体によって取り囲まれる。一方側でのみ発光体を有するのではなく、ターゲットを発光体で取り囲むと、ターゲットが幾つかの発光体の視線内にある可能性を高めることもでき、冗長な発光体またはターゲットの必要性を減らすことができる。
ターゲットが発光体または検出器により取り囲まれるときには、少なくとも2つの発光体または少なくとも2つの検出器をターゲットの周囲に配置して、少なくとも2つの検出器または少なくとも2つの発光体を分離するターゲットから測定される角度が約90°となるようにすることが好ましい。
好ましくは、ターゲットまたは各ターゲットは受動的である。したがって、能動的なターゲットを有するシステムに対して比較的僅かなコストで複数の冗長なターゲットをシステムに導入できる。冗長なターゲットを用いると、測定されるべき所定の物体のためのターゲットのうちの少なくとも1つが複数の発光体および/または複数の検出器の視線の範囲内に入る可能性が更に高くなる。
好ましくは、検出器または各検出器は、その視野内の複数のターゲットの像を捕捉できる。
1つの実施において、検出器または各検出器は、システムにより必要とされるデータ転送速度に適するのに十分なピクセル分解能および速度のデジタルカメラである。十分なピクセル分解能とは、検出器上に投影されるターゲットが良好な重心位置にとって十分な量のピクセルから構成されるもの規定される。すなわち、重心を計算するために使用されるピクセルが多ければ多いほど、その位置が更に正確になる。幾つかの実施形態では、ターゲット像の直径が少なくとも5ピクセルである。転送速度(フレームレート)は、カメラおよび計算アルゴリズムによって制限されるとともに、測定されるべきプロセスの速度要件にも基づく。
システムの好ましい実施形態は、柔軟性、精度、および、拡張可能性を与える。システムは、更に多いあるいは更に少ない検出器および発光体を使用することにより、異なるサイズのボリュームに関してスケーリングされ得る。
好ましくは、ターゲットまたは各ターゲットが略球状であり、より好ましくは、ターゲットまたは各ターゲットが球である。球状ターゲットの表面は、外面の領域に入射する光を径方向に対向する内面のポイント上へ合焦させるためのレンズとして作用することできる。このポイントから、所定の割合の光は、光が最初に入射した領域へ向けて反射される。この領域のレンズ効果は、その後、光をその元の入射経路に向ける。球状のレトロリフレクタは、元の入射経路に沿ってその中心に入射する名目上平行のビームを反射することができる。同様に、レトロリフレクタに入射する更に広いビームの部分も元の入射経路に沿って反射される。
球状のレトロリフレクタの利点としては、それが点光源のように見え、大部分の従来の写真測量ターゲットの場合のように投影によってそれが歪められないという点が挙げられる。それにより、球状のレトロリフレクタは、測定値エラーのかなりの原因を除去する。球状のレトロリフレクタは、この球状のレトロリフレクタの中心に入射する光をリトロリフレクトでき、それにより、写真測量システムの精度における他の大きな因子である重心同定を向上させる。また、受動的な球状レトロリフレクタは、それらが電子機器を含まないため、能動的なターゲットよりもかなり安価で且つ軽量である。
好ましくは、ターゲットまたは各ターゲットは、任意の方向から同じに見える。したがって、ターゲットの同定は、検出器とターゲットとの間の視野角に依存しない。これは、検出器で受けられるリトロリフレクト光の量およびターゲットの見掛けの形状が角度に伴って変化することを回避できる。
ターゲットまたは各ターゲットは、好ましくはガラスを備え、より好ましくはガラスから形成される。
球状ターゲットまたは各球状ターゲットは、それが√2〜2の屈折率を有する中実材料から構成されるときにレトロリフレクタとして作用し、1.95〜2の屈折率を伴って最も効率的に機能することが分かってきた。
好ましくは、各発光体は、光源から光を照射し、より好ましくはレーザ源からで、その場合、各発光体により照射される光はレーザ光である。幾つかの実施形態では、各発光体がそのような光源を含む。他の実施形態において、各発光体は、そのような光源から光を導く光ファイバを含む。更なる実施形態では、少なくとも1つの発光体がそのような光源を含むとともに、少なくとも1つの発光体がそのような光源から光を導く光ファイバを含む。レーザ光機構を供えると、ターゲットが好ましい屈折率を有する所定範囲内の波長の光の供給が容易になる。幾つかの実施形態では、発行体は光源を含む必要はない。例えば、オプションとして複数の照射体のための光を生成するために単一の光源が使用されてもよい。これは、例えば、ファイバ結合レーザ源であり、ここではファイバスプリッタが使用されてレーザ光が複数の部分に分けられ、光ファイバが使用されて各部分を発光体へ伝送する。
本発明の実施形態では、各発光体が赤色レーザ光を照射するように構成され、また、ターゲットまたは各ターゲットは、赤色光にとって好ましい範囲の屈折率を有するガラスを備える。1つの実施形態では、ターゲットまたは各ターゲットは、632.8nmの波長に関して1.996の屈折率を有するS−LAH79ガラスから形成される。
好ましくは、システムが複数の検出ユニットを備え、各検出ユニットが発光体と検出器とを備え、各検出ユニットの検出器は、最初に同じ検出ユニットの発光体により照射されたリトロリフレクト光を検出してそのリトロリフレクト光の測定値を取得するようになっている。好ましくは、各検出ユニットの発光体は、同じ検出ユニットの検出器に固定される。
好ましくは、各検出ユニットの発光体および検出器は、発光体からターゲットまでの光路がターゲットから検出器までの光路とほぼ一致するように配置される。また、各検出ユニットの発光体および検出器は、発光体からターゲットまでの光路長がターゲットから検出器までの光路長にほぼ等しくなるように配置されるのが好ましい。
好ましくは、発光体または各発光体は、照射光を発散させるべく光を発散させるための手段を備える。光を発散させるための手段は、例えばレンズまたは曲面ミラーであってもよい。光を発散させるための手段は、好ましくは、略円錐状の領域を照射するべく光を発散させるように構成される。
照射光が例えば円錐状に発散するように発光体または各発光体を構成することは、発光体が平行ビームを照射した場合よりも大きなボリューム(volume,立体領域)を発光体または各発光体が照射できることを意味する。したがって、より大きなボリュームから光を検出器または各検出器へリトロリフレクトでき、そのため、検出器または各検出器の視野を増大させることができる。これは、ボリュームを監視するために必要な検出器の数が少ないということを含む利点を与える。好ましくは、各検出ユニットの検出器の視野は、同じ検出ユニットの発光体により照射される領域である。
好ましくは、検出器または各検出器は、発光体で直接にリトロリフレクトされる光を検出するように配置され、より好ましくは、検出ユニットの検出器は、同じ検出ユニットの発光体で直接にリトロリフレクトされる光を検出するように配置される。これは、照射体により照射される光の光路と検出器により検出される光の光路とが正確に重なり合わないという従来技術における問題を克服できる。例えば、検出器の周囲に配置されるリングフラッシュ源では、好ましいレトロリフレクタを用いても、十分なリトロリフレクトしか検出されない。これは、リトロリフレクト光の大部分が検出器ではなく元のリングフラッシュに直接に向けられるからである。したがって、本発明の好ましい実施形態に係る検出器は、検出されるリトロリフレクト光を最大にすることができる。
好ましくは、反射光の光路と検出光の光路との重なり合いは、スルー・ザ・レンズ照明によって達成される。好ましくは、発光体または各発光体は、対応する検出器がその周囲で光を受けるように構成される軸線に対応する軸線に沿って且つその軸線上で光を照射するように構成される。発光体または各発光体は、発光体または各発光体により照射される光を所定の方向に向け且つリトロリフレクト光を検出器へ、好ましくは同じ検出ユニットの検出器へ向けるように構成される、光を向けるための手段を備えてもよい。光を向けるための手段または各手段は、好ましくはレンズを備えるが、曲面ミラーなどの任意の光指向装置を備えることができる。光を向けるための手段または各手段は、好ましくは、ビームスプリッタも備える。
ビームスプリッタを備える光を向けるための手段は、検出ユニットからの主照射方向に対して垂直に光を発光体へ導入できるようにする。
好ましくは、ビームスプリッタまたは各ビームスプリッタは、光損失量を最小限に抑えるために1/4波長板によって補完される。
各検出ユニットは、検出器をもたらすためにカメラを備えることができる。
全ての検出ユニットは、それぞれの像取得に関して共通のトリガ機構を使用することにより同期させることができる。
本発明の実施形態は写真測量モードで使用することができ、この写真測量モードにおいて、検出器または各検出器は、標準的な写真三角測量技術を使用してリトロリフレクト光が受けられる角度の測定値を取得するように構成される。複数の検出器からのあるいは複数の位置にある単一の検出器からのそのような角度測定値は、ターゲットまたは各ターゲットのための位置標定を得るためにプロセッサにより処理され得る。
このモードの利点は、検出器または各検出器がそれぞれの測定のために配置される必要がある場所に対する制約が殆どないという点である。
写真測量モードは、好ましくは、例えばスケールバーの使用によって較正される。
このモードの較正を支援するために、各検出器または検出ユニットに少なくとも1つのターゲットを取り付けることができる。前述した技術を使用すると、各検出器の相対位置を決定して、物体の位置を測定するための基準座標系を与えることができる。これは、正確な測定値を与えるべくシステムを較正するために必要な時間およびスキルを減らすことができる。また、それは、ドリフトモニタリングに役立つこともでき、システムの連続的な精度を確保する。
本発明の実施形態をマルチラテレーションモードで使用することができ、このモードでは、検出器または各検出器は、それぞれの検出器からの1つのターゲットまたは各ターゲットの絶対距離を測定するように構成される。周波数走査干渉法は、例えば発光体または各発光体により照射される光の波長を変調あるいは調整することにより絶対距離を測定するために使用され得る幾つかの方法のうちの1つである。
周波数走査干渉法は、「基準」干渉計の既知のOPD,Lとの比較によって干渉計の2つの端部間の光路差(OPD),Dを明確に測定する方法である。例えば、後に周波数間隔Δvにわたって調整される同じレーザを用いて両方の干渉計が照射される場合、基準干渉計で誘導される位相変化Δφは以下の通りである。
Figure 2015514982
ここで、cは光の速度である。同様に、未知の干渉計で誘導される位相変化Δθは以下の通りである。
Figure 2015514982
このとき、未知の長さDは、単に以下によって与えられる。
Figure 2015514982
当業者であれば分かるように、この基本的な方式に関しては多くの変形および改良が存在する。例えば、周波数領域における解析を使用して、同時に照射される複数のターゲットから信号を区別することができる。
基準干渉計の長さLが適切に較正された場合には、検出器または各検出器により取得された測定値とメートルとの間にトレーサビリティが存在する。それは、光路に沿う屈折率の変化に起因するビーム屈曲など、環境的な影響に起因する測定値の厳密さを高める可能性もあり、長さデータから決定される座標は、一般に、角度データから決定される座標よりも正確なある程度の大きさである。
しかしながら、アイソレーションにおいて使用される周波数走査干渉法は、いずれの測定距離がいずれのターゲットと関連付けられるのかを計算的に効率の良い方法で区別することができない。しかしながら、全ての可能な組み合わせを試みる「強力な」手法を使用できる。
本発明の実施形態は複合モードで使用することができ、この複合モードにおいて、検出器または各検出器は、リトロリフレクト光受光時の角度の測定値、および、光をリトロリフレクトするターゲットまたは各ターゲットのそれぞれの検出器からの絶対距離の測定値の両方を取得するように構成される。プロセッサは、角度測定値を使用して、いずれの距離測定値がいずれのターゲットに関連するのかを相関させることができる。この相関が行われた時点で、プロセッサは、絶対距離測定値を使用して、ターゲットまたは各ターゲットの位置を正確に計算することができる。
また、検出器または各検出器とレトロリフレクタまたは各レトロリフレクタとの間の絶対距離を測定してそれを特定のターゲットに指標付けする必要がない。代わりに、可能性としての個別の範囲を決定することも可能で、また、1つ以上の他の検出器からの範囲データおよび/または角度データから得られる検出器−ターゲット距離によって決定される最も起こり得る選択肢に基づいて、「正しい」(または曖昧でない)範囲を選択することができる。
好ましい実施形態は、全方向ターゲットに基づく、改良された位置検出システムおよび方法を提供し、マルチラテレーションの正確性を写真測量法の同時マルチ・ターゲット能力と結合させ、視線及び距離問題に起因する精度低下を克服する。
好ましくは、複数の検出器が存在する。
前述したように、レーザトラッカを用いて従来から実施されるマルチラテレーションは、写真測量法よりもその精度が向上するにもかかわらず、単一のターゲットと共にしか使用することができない。しかしながら、異なる検出器からの距離測定値と相関させるために角度測定値を使用することにより、本発明の好ましい実施形態は、より正確なマルチラテレーション技術を利用して、複数のターゲットの位置を計算することができる。
マルチラテレーションモードと写真測量法モードとの組み合わせは、システムのロバスト性および信頼性を高めることができる。これは、ターゲット座標が本質的に2つの冗長に決定されたシステムの組み合わせから得られるからである。
プロセッサは、データ・フュージョンとフィッテング・アルゴリズムとを使用する数理的なソフトウェアを使用して測定値を処理できる。写真測量法、マルチラテレーション、および、数理的なソフトウェアのコンビネーションは、非常に柔軟で、ロバスト性が高く、自己較正する、ドリフト補償するシステムを提供できる。それは、より高いデータ品質と、より冗長なデータとを提供することができる。
本発明の他の態様によれば、物体の三次元位置を決定する方法が提供され:
ターゲットの物体への取付けであって、そのターゲットは任意の方向から入射する光のレトロリフレクタの役割を担うものであるターゲットの物体への取付けと;
少なくとも1つの発光体からの光で前記ターゲットに光を照射することと;
前記ターゲットからリトロリフレクトされる光を検出して測定値を取得することと、
前記ターゲットそのリトロリフレクト光の測定値を処理し、前記ターゲットの三次元位置を決定し、及びそれから物体の三次元位置を決定すること、
が含まれる物体の三次元位置を決定する方法である。
この方法の特徴は、前述したシステムについて説明された特徴に一致し得る。
本発明の態様によれば、検出ユニットであって、検出器と発光体とを含み、前記発光体は、1つの軸線に沿って、前記検出器から離れるように光を照射するべく構成され、前記軸線は、前記検出ユニットがその上で且つその周囲で前記検出器による検出のために光を受けるよう構成される軸線に対応する、検出ユニットが提供される。
以下、添付図面を参照しながら、本発明の実施形態を単なる一例として説明する。
本発明の一実施形態に係るシステムで用いるターゲットの概略図である。 物体を測定するためにセットアップされる図1の実施形態に係る位置検出システムの概略図である。 図1および図2の実施形態の位置検出システムで用いる手持ち式プローブの概略的な描写である。 図1〜図3の位置検出システムで用いる検出ユニットの断面の概略図である。 本発明の一実施形態に係る検出ユニットの断面の概略図である。 本発明の一実施形態に係る位置検出システムの概略図である。 図6の位置検出システムの概略的な全体図である。 図6および図7の位置検出システムのファイバスプリッタの概略図である。 図6〜図8の位置検出システムで用いる波長基準の概略図である。 図6〜図9の位置検出システムで用いるトリガ基準の概略図である。 図6〜図10の位置検出システムで用いる検出ユニットの概略図である。 図9の波長基準のセルのガスのための吸収曲線を示すグラフである。 図12(a)のグラフの吸収線を詳細に示すグラフである。
本発明の実施形態は、角度に基づく測定値および/または絶対距離測定値を利用することができる。以下、図1〜図5を参照して、角度に基づく測定値を利用する実施形態について説明する。
図1を参照すると、ターゲット10はガラス球を含む。球は、632.8nmの波長を伴う光に関して1.996の屈折率を有するS−LAH79ガラスから形成される。材料は、この実施形態においては、赤色レーザ光と共に作用するべく選択された。しかしながら、特に光の異なる周波数が使用されるようになっている場合には、異なる材料を使用することができる。材料は、使用されている光に関して、好ましくは1.9〜2.1、より好ましくは1.95〜2の範囲内の屈折率を有するべきである。
図1から分かるように、ターゲット10の領域12に向かう経路16に沿ってターゲットの中心に入射する光は、領域12の径方向反対側の点14上にフォーカスされる。これは、球形のターゲット10のレンズ効果の結果として起こる。あるパーセンテージの光が点14から元の領域12に反射され、該領域12において、球形ターゲット10のレンズ効果が反射光を入射経路16に沿って元の光源へ向ける。これにより、ターゲット10がレトロリフレクタとして作用する。
ターゲット10は球形であるため、該ターゲットは、全ての入射方向に関して、ほぼ同じように見えるとともに、ほぼ同じ特性を有する。したがって、リトロリフレクト効果が任意の入射角の光において生じ、それにより、ターゲット10は、任意の方向からの光入射に関してレトロリフレクタとしての機能を果たす。
図2は、図1に関して説明されるようにターゲット10を使用する位置検出システム18の概略図である。
図2に示されるシステム18は、ボリューム40内の物体38の位置を検出するように配置される。ボリューム40は、例えばアセンブリホールまたは更に小さいボリュームであってもよい。システム18は、体の周囲の様々な位置に配置される複数の検出ユニット20を備える。各検出ユニット20は、安定させるために三脚22に据付けられる。
以下、図4を参照して検出ユニット20について説明する。
図4から分かるように、検出ユニット20は、検出器24と、光源26を含む発光体とを備える。
検出器24は、光の入射角を含む光の測定値を検出して取得するのに適した任意の検出器である。そのような検出器の例としては、高分解能CCDまたはCMOSセンサが挙げられる。
光源26はレーザダイオードである。この実施形態において、光源26は、632.8nmの波長のレーザ光を照射するように構成される。しかしながら、赤外線または他の周波数の可視光を含む他の周波数の光を使用できる。また、LEDなど、所定の波長範囲内の光を照射するようになっている他の光源を使用できる。光源はレーザであることが好ましく、また、レーザは直線偏光されるのが好ましい。
また、ユニット20は、レンズ30の第1の組とレンズ32の第2の組との間に偏光ビームスプリッタ28も含む。ビームスプリッタ28は、レンズ30の第1の組およびレンズ32の第2の組の両方と同軸となるように配置される。レンズ30の第1の組およびビームスプリッタ28の後に1/4波長板29が設けられる。1/4波長板は、光の偏光を変えて、光がターゲットによって反射された後に光がビームスプリッタキューブ28をパススルーして検出器24に達するようにできる。
偏光ビームスプリッタ28の代わりに非偏光ビームスプリッタを使用することができ、その場合には、偏光を変えるための1/4波長板29が必要とされない。
光源26は、偏光した光のビームをレンズ30およびレンズ32の第1および第2の組の軸線に対して垂直な角度でビームスプリッタへ向けて照射するようになっている。光源からの光をビームスプリッタ28へ向けて案内するために光ファイバケーブル34が設けられる。この実施形態において、発光体は、光源26、光ファイバケーブル34、ビームスプリッタ28、および、レンズ30の第1の組を備える。しかしながら、幾つかの実施形態において、光源26は、光ファイバケーブル34を必要とすることなくビームスプリッタ28に対して光を直接に照射するように配置される。
ビームスプリッタ28は、レーザダイオード26からの光ビームをレンズ30の第1の組へ向けて同軸にリダイレクトさせるように配置される。レンズ30の第1の組は、体40の円錐領域36を照射するために光ビームを発散させて検出ユニットから照射するように構成される。しかしながら、領域36が円錐である必要はない。光の何らかの発散は、検出ユニット20の視野を増大させ、したがって、必要とされる検出ユニット20の数を減らす、および/または、動作中にリダイレクトされる必要がある検出ユニット20の総数を減らす。
また、この配置により、レンズ30の第1の組は、領域36からリトロリフレクトされた光がビームスプリッタ28に向けられるようにするべく構成される。ビームスプリッタ28は、リトロリフレクトされた光の一部がレンズ32の第2の組を通過できるようにする。レンズ32の第2の組は、ビームスプリッタ28から受けられる光を検出器24へフォーカスする構成とされ、検出器24上で光がフォーカスされる位置は、光がレンズ30の第1の組で入射したレンズ30,32の第1および第2の組の軸線に対する入射角度と直接に相互に関係付けられている。
レンズ32の第2の組が必要とされない他の実施形態が存在する。
検出器24は、検出される光の測定値を取得するようになっている。特に、検出器24は、前述した相関関係を使用して、リトロリフレクトされた光がレンズ30の第1の組で入射するレンズ30,32の第1および第2の組の軸線に対する入射角度を測定するようになっている。
前述した好ましい実施形態の検出ユニット20は、レンズ30,32の第1および第2の組を備える。レンズ30,32の第1および第2の組のそれぞれは複数のレンズ要素を備える。しかしながら、レンズ30,32の第1および第2の組を各組単一のレンズと置き換えることができる。あるいは、レンズ30,32の第1および第2の組のそれぞれに取って代わるために1つ以上の曲面ミラーを使用することができる。レンズ30,32の第1および第2の組を完全に省くことができる。しかしながら、この場合、発光体により照射される領域36は、サイズが制限され、それにより、検出ユニット20の視野が減少される。
本発明の実施形態はビームスプリッタ28および1/4波長板29を省くが、光ファイバケーブル34の端部がレンズ30の第1の組の軸線に沿って光を案内するように向けられている。実施形態が図5に示される。
再び図2を参照すると、前述したように、各検出ユニット20は、ボリューム40の1つの領域36を照射するようになっている。これらの検出ユニット20は、照射される複数の領域36がボリューム40全体の照射をもたらすように配置される。
座標系を規定する固定された基準点を与える固定されたターゲット50がボリューム40内に位置されてもよい。
物体38には複数のターゲット10が取り付けられており、これらのターゲット10は図1に関連して説明したものである。1つの動作モードにおいて、物体38に取り付けられた固定ターゲット10は、固定ターゲット50により規定される座標系内の物体38の位置および方向を決定するために使用され得る。
他の動作モードでは、物体38上の特徴を測定するためにプローブ42を使用できる。以下、図3を参照して、プローブ42について更に詳しく説明する。
図3は、プローブチップ46から離れるように延びるプローブ本体44を備えるプローブ42を示す。プローブチップ46は、物体38を探知するために使用できる。
プローブ本体44は、その長さに沿う様々な位置でプローブ本体から様々な角度で離れるように延びるターゲット支持体48を有し、該ターゲット支持体のそれぞれには図1に係るターゲット10が装着される。
このようにすると、プローブ42は、プローブチップ46が検出ユニット20の視野から隠される場合であってもプローブチップ46の座標を突き止めることができる手段を与える。再び図2を参照すると、前述したように、検出ユニット20のそれぞれには、図1に係る複数のターゲット10が取り付けられてもよい。プローブ42は、手動探知能力を与えるべく手持ち式であってもよい。
固定ターゲット50は、三脚上または他の形態の支持体上または固定体上にターゲット10を備える複数の基準ターゲット50の形態を成すことができ、これらの基準ターゲット50は、基準点を与えるためにボリューム40内の様々な位置に設けられ、この基準点に対して、物体38に取り付けられるターゲット10の位置を比較することができる。基準ターゲット50は、システムが写真測量モードのみで動作しているときに、システムにスケールを導入するための寸法基準を与えることができ、この寸法基準から角度データを長さに変換することができる。
検出ユニット20は、全てが同期されるとともに、中央プロセッサ(図示せず)と通信するように構成される。通信は無線通信による。しかしながら、有線接続などの他の通信手段を使用できる。
各検出器は、取得された任意の測定値を中央プロセッサへ通信するように構成される。
以下、システム18の好ましい動作について説明する。
最初に、システム18が較正される。想定し得る較正方法は、例えばレーザトラッカを用いて独立に測定された既知の形態の複数のターゲット50を備える三次元アーチファクトを使用することである。
複数の検出ユニット20が体40の周囲に配置される。各検出ユニットは、光源26が光を照射するように動作される。
光源26によって照射される光は、光ファイバケーブル34によってビームスプリッタ28に伝えられる。
ビームスプリッタ28は光をレンズ30の第1の組に変向させ、それにより、光は、ボリューム40の領域36を照射するように発散して照射される。
複数の検出ユニット20は、各検出ユニット20に取り付けられるターゲット10のうちの少なくとも1つが少なくとも2つの他の検出ユニット20の領域36内に入るように配置されてもよい。前述したように、複数の固定された基準ターゲット50がボリューム40内に配置されてもよい。
ターゲット10または50に入射する検出ユニット20のうちの1つからの光は、図1に関連して説明したように、光を最初に照射した検出ユニットへ向けてリトロリフレクトされる。
光を最初に照射した検出ユニット24のレンズ30の第1の組に入射するリトロリフレクトされた光は、レンズ30の第1の組によって方向付けられて1/4波長板29およびビームスプリッタ28を通り、レンズ32の第2の組によって検出器24に向けられる。
各検出ユニット20の検出器24は、光が検出される検出器24上の位置の測定値を取得する。このデータから、光がレンズの第1の組に入射するレンズ30,32の第1および第2の組の軸線に対する入射角度が計算される。
各検出器24は、これらの測定値を中央プロセッサへ通信する。
中央プロセッサは、各検出ユニットからの測定値を処理して、バンドル調整アルゴリズムにより検出ユニット20の相対位置(幾つかの実施形態では、カメラの相対位置)を決定するように動作する。当業者はバンドル調整に精通しており、このバンドル調整は、単一の数学モデルにおいて、検出ユニット20またはカメラの内部定位および外部定位のパラメータ(焦点距離、位置、方向など)並びに無限の数のターゲットおよび検出ユニット20またはカメラに関するターゲット座標を同時に計算する。この技術は、像平面上の2Dターゲット座標を物体空間内のターゲットの3D位置と検出ユニット/カメラの3D方向および位置とに関連付ける共線条件式に基づく。例えば、
Figure 2015514982
および
Figure 2015514982
となり、
ここで、x0およびy0は主点オフセット(像の中心から光軸と像平面との交点までの距離)であり、xおよびyは像平面内の2Dターゲット座標であり、fは焦点距離であり、添え字付きの値riiは、検出ユニット/カメラ方向の3×3回転行列の要素であり、(X,Y,Z)は物体空間内の3Dターゲット座標であり、(X0,Y0,Z0)は検出ユニット/カメラの3D座標である。
測定値は、最小二乗法フィッテングなどの一般的な解決アルゴリズムを使用して処理され、この場合、前記共線条件式(ターゲットまたは検出ユニット/カメラの数に制限なく、検出ユニット/カメラにより見られるそれぞれのターゲットごとに2つの式)の多くのインスタンスが同時に解かれる。当業者であれば分かるように、最小二乗法が厳密な不確実性計算である。
基準ターゲット50の位置が既に知られているため、これが検出ユニット20の位置を与える。これで、基準座標系を与えることによってシステム38は較正できるようになり、
この基準について測定される物体38の位置は、以下に記述するように決定できる。
一旦、システムが較正されたら、物体38の位置を検出できる。
複数のターゲット10および/または1つ以上のプローブ42が使用されて、物体38が探知される。
検出ユニット20は、その後、前述したように動作されるが、このとき、物体38に取り付けられているターゲット10および基準ターゲット50が検出器24によって検出される。検出器24は、前述したように測定値を取得するように動作され、また、これらの測定値は、前述したようにプロセッサへ通信される。
検出ユニット20の相対的な測定値から決定される基準座標系を使用して、物体38に取り付けられてあるいは基準ターゲット50として与えられて複数の検出ユニット20の視野内にあるターゲット10の相対位置が計算される。
それにより、物体38の相対位置が決定される。
しかしながら、物体38の位置が検出される前にシステム18の較正が別個のステップとして行なわれる必要はない。システム18の較正は、物体38の位置の計算と同時に行なうことができる。常に、システム18の動作時に較正を行なうことは、ドリフトモニタリングを与えて、システムの連続的な精度を確保する。
以下、図6〜図12を参照して、絶対距離を利用する実施形態について説明する。
図6は、ターゲット110を使用する位置検出システムまたは測定システム118を示す。ターゲット110は、図1に関して説明したターゲット10に対応する。
図6に示されるシステムは、ボリューム140内の物体(図示せず)の位置を検出するように設計される。システム118は、ボリューム140の周囲の様々な位置に配置される複数の検出ユニット120を備える。
図7は、測定システム118の概略的な全体図である。好ましくは1530nm〜1560nmの波長で動作する波長可変レーザ126の形態を成す光源からの光は、光ファイバを通じて、エルビウムドープファイバ増幅器(EDFA)152へ送られる。EDFA152は、光を増幅して、光のパワーを増大させる。EDFA152の出力は、光ファイバを通じて、ファイバスプリッタツリー154へ送られる。ファイバスプリッタツリー154は、その入力に到達する光を複数の出力間で分配する。これらの出力は、周波数基準156、トリガ基準158、および、測定ヘッド120の形態を成す1つ以上の検出単位を備える。周波数基準156、トリガ基準158、および、測定ヘッド120はそれぞれ、ADC160によってデジタル化される1つの電子信号を生成する。ADC160により記録されるデータは、解析および記憶のためにコンピュータ162へ送られる。
図8は、ファイバスプリッタツリー154の一例の概略図である。ファイバスプリッタツリーは、入力ファイバへ送られる光を複数の出力ファイバ間で分配するように配置される一連の2×2ファイバスプリッタを備える。図8に示される例は、光を8本の出力ファイバ間で均一に分配するが、光を異なる数の出力ファイバに均一にあるいは不均一に分配するためにファイバスプリッタの異なる配置が使用されてもよい。
図9は周波数基準156を示す。ファイバスプリッタツリー154の出力のうちの1つからの光は、周波数基準156に送られる。この光は、ファイバ端部から出て、コリメート・レンズ164により自由空間ビームにコリメートされる。このビームは、プレートビームスプリッタ166を用いて2つの部分に分けられる。この分けられたビームの第1の部分は、モニタフォトダイオード168に向けられる。分けられたビームの第2の部分は、ガス、例えばアセチレンを収容する透明なセル170を通過して導かれ、このセル170を通じて伝送される一部のビームは、セルフォトダイオード172に向けられる。平行ビームが通過するガラスビームスプリッタ166は、傾けられおよび/またはV字形にされ、望ましくない反射により形成されるビームをフォトダイオード168,172から離れるように導き、測定値の乱れを回避する。
図10はトリガ基準158を示す。ファイバスプリッタツリー154の出力のうちの1つからの光は、トリガ基準の入力ファイバに送られ、そこで、光が50:50ファイバスプリッタ174を通過する。ファイバスプリッタ174の2つの出力から出る光は、第2の50:50ファイバスプリッタ176で再結合される前に、光ファイバの長さを通じて送られる。2つの50:50ファイバスプリッタ174,176およびそれらを接続するファイバは、ファイバマッハツェンダー干渉計を形成する。50:50ファイバスプリッタ174,176間のファイバの2つの長さは異なる長さを有し、それにより、それぞれのアームを下って移動する光同士の間に光路差が生じる。第2の50:50ファイバスプリッタ176のそれぞれの出力から出る光は、一対のフォトダイオード178,180のうちの一方に導かれる。これらのフォトダイオードは、好ましくは、平衡型フォトダイオード、すなわち、同様のゲイン特性を有するように製造される一対の増幅フォトダイオードである。2つのフォトダイオード178,180の電気的な出力は差動増幅器182へ送られる。2つのフォトダイオード信号の差に比例する信号である差動増幅器182の出力は、ゼロコンパレータ184へ送られる。ゼロコンパレータ184は、その入力信号の符号(プラスまたはマイナス)を示すブール論理値を出力する。ゼロコンパレータの出力の立ち上がりエッジは、周波数基準156および測定ヘッド120からのデータのADC160におけるサンプル取得をトリガするために使用される。
図11は測定ヘッド120の例図である。各測定ヘッド120には、それ自体の専用のファイバスプリッタツリー出力から光が与えられる。この光は、測定ヘッド120の入力ファイバへ供給される。その後、この光は、光ファイバ186の長さに沿って、ファイバサーキュレータ188のポート1に導かれる。ファイバサーキュレータ188のポート1に入る光は、ファイバサーキュレータ188のポート2から出力され、この場合、その光は、ファイバ190の長さ沿って移動して、ファイバ端に達する。このファイバ端は平坦に研磨される(すなわち、ファイバ端の面は、ファイバの本体に沿って向く線に対して垂直である)。ファイバ端に達する光の約4%は、ファイバサーキュレータ188の元のポート2へ向けてファイバ190中に反射される。サーキュレータ188のポート2に入る光は、サーキュレータのポート3から、フォトダイオード200の形態を成す検出器に出力される。
サーキュレータ188とファイバ端との間のファイバ190の長さは、可能な限り短く維持され(例えば10cm)、理想的には、このファイバ190に沿う光路長が最小測定距離よりも小さいようにすべきである。この配慮は、光ファイバのこの区間でファイバ端へ向かって移動する光のレイリー後方散乱に起因する。レイリー後方散乱光は、このファイバの光路長よりも短い測定長のみに影響を与えるノイズ成分をもたらす。したがって、ファイバのこの長さの光路長を最小測定距離よりも短く保つことにより、このノイズ成分により影響されない測定を行なうことができる。
ファイバ端から出る光は、円錐状の光を成して照射される。測定ヘッドは、光のこの円錐内のターゲット110に対して感度がある。一般に、測定ヘッド120が感受する角度範囲を変えるためには、ファイバ端から照射される光により照射される角度範囲を変えることが有利である。図は、照射される角度範囲を増大させるために使用される簡単な両凹面レンズを示す。しかしながら、例えば、曲面ミラー、回折格子、または、空間光変調器など、照射角度範囲を変える異なる方法が可能であり、また、例えば円柱レンズを使用することにより、異なる形態の照明角度も可能である。
図6は、測定体140の周囲の幾つかの測定ヘッド120の配置例を示す。この例において、測定体は、ターゲット110が全ての測定ヘッド120の検出体136内にある体から成る。1つのターゲット110と1つの測定ヘッド120との間の視線が妨げられる場合、この配置は、依然として、測定を行なうことができる。これは、一般に、そのターゲットの位置を決定するためにそのターゲット110から十分な他の測定ヘッド120への視線が存在するからである。測定ヘッド120の他の配置が可能である。
測定は、波長可変レーザ126の波長を名目上直線的態様で変えると同時に、ADC160を用いて周波数基準156および測定ヘッド120からの電圧を記録することを含む。これらの測定値は、後述するように、トリガ基準158により決定される間隔で記録される。その後、このデータが解析のためにコンピュータ162へ送られ、この場合、解析出力は、測定ヘッド120およびターゲット110の相対位置に関する情報を与える。
レーザ出力の一部は、EDFA152およびスプリッタ154を介して、トリガ基準158に向かう。トリガ基準において、マッハツェンダー干渉計は、レーザ周波数で名目上正弦波的に変化する180°位相がずれた2つの信号を生成する。これらの信号はフォトダイオードを用いて検出され、また、差動増幅器182が2つの信号間の差を出力する。この差分信号は、それ自体、正弦波信号であるが、ゼロオフセット電圧を有する。比較器184は、差動増幅器182の出力から矩形波信号を生成する。この信号は、ADCのサンプルトリガ入力へ送られる。ADCは、このトリガ信号の立ち上がり時に前述したように周波数基準および測定ヘッドからデータをサンプリングする。
レーザ出力の一部は、EDFA152およびスプリッタ154を介して、周波数基準156に向かう。周波数基準156の目的は、レーザ周波数掃引中に様々なポイントにおけるレーザ周波数に関する情報を与えることである。周波数基準のセル170内に収容されるガスは、それを通過する光の一部を吸収する。吸収される光の割合はレーザ周波数に依存する。吸収割合 対 周波数(または波長)の曲線は吸収曲線と呼ばれる。典型的な吸収曲線が図12(a)に示される。この吸収曲線は、多くの吸収線の存在を伴うほぼ透過的なベースラインと、強力吸収の狭い波長領域とから成る。これらの吸収線のうちの1つの詳細が図12(b)に示される。これらの吸収線のうちの幾つかの中心波長は、既知の非常に安定した値を有する。
セルを通過しない光を記録する周波数基準におけるモニタフォトダイオード168の目的は、測定中のレーザ出力の変動を補償することである。セルフォトダイオード172によって記録される電圧信号は、モニタフォトダイオード168により記録される電圧信号で除される。これは、現在のレーザ波長でのセルの吸光度に比例し且つレーザ出力の変化によって影響されない信号をもたらす。
フォトダイオード電圧は、レーザ周波数掃引の全体にわたって記録される。レーザ波長が吸収線の中心にあった測定中の時間は、例えば、記録データに対して最小二乗法フィットを行なうことによって見出される。これらの時間のレーザ波長の値は、その後、吸収ピークの中心波長に対応する波長であることが知られる。
各測定ヘッド120では、光ファイバ190の端部から反射される光が干渉計の基準アームを形成する。ファイバ端から照射される光は、ターゲットから反射される光、および、ファイバ190中に戻って結合される光は、干渉計の他のアームを形成する。これらの干渉計アームの両方からの光は、サーキュレータ188のポート3から出て、検出器フォトダイオード200によって検出される。これらの2つの干渉計アームにおける光同士の間の干渉は、フォトダイオード200で強度信号Idstを生成する。
Figure 2015514982
ここで、IrefおよびImeasは、基準アームおよび測定アームのそれぞれの個々の強度であり、Dは、基準アームと測定アームとの間の光路差であり。vはレーザ周波数である。
複数のターゲット110が測定ヘッド120の視野内にある場合には、例えば基準アームと測定アームとの間または測定アーム間で複数の基準信号が生成される。一般に、基準アームと比べてかなり小さい測定アームの出力に起因して、基準アームと個々の測定アームとの間の干渉のみを観察できる。
各測定ヘッド120からの記録信号のフーリエ変換が計算される。これは、ターゲットまでの距離に比例する周波数でのピークと、較正されなければならない1よりも大きい屈折率を有する材料(発散レンズを形成するガラス、および、ターゲットを形成するガラスなど)を通過するビームにより引き起こされる更なる光路長に起因するオフセット周波数とを含む。このオフセット周波数は、関与する材料の幾何学的形態および屈折率の知識を使用して較正されてもよく、または、測定ヘッドおよびターゲットの位置を決定する同じ最小二乗適合プロセスにパラメータとしてオフセットを含めることによって較正されてもよく、これについては後述する。これらのフーリエ変換ピークが突き止められて、それらの周波数が(例えば最小二乗フィッティング方法を使用することにより)決定され、それにより、それぞれの測定ヘッド120における一組の測定周波数がもたらされ。
較正されたオフセットが差し引かれた時点で、これらの周波数は、ターゲットまでの距離に比例する。周波数基準156を使用して比例定数が計算される。トリガ基準158の使用に起因して、レーザ周波数δvの一定の間隔でデータがサンプリングされる。したがって、測定周波数は方程式(1)から以下となる。
f=2πDδv/c (2)
Dを計算するために方程式(2)が以下のように整理し直されてもよい。
D=fc/2πδv (3)
未知のδvは、周波数基準156を使用して計算される。既知の周波数差Δvdiffの2つの吸収ピークの中心は、例えば各ピーク付近のデータを最小二乗法フィッティングすることによって突き止められる。2つのピーク間のサンプル数mが計算される。なお、これは、1サンプルよりも良好な精度をもって行うことができる。なぜなら、1サンプルよりも良好な精度をもってピークそれら自体を突き止めることができるからである。その後、δvをδv=Δvdiff/mとして計算することができる。
δvが既知の場合には、方程式(3)を使用して、各測定周波数に対応するDが計算される。当業者であれば分かるように、Dは光路差に対応し、また、これから正確な物理的距離を計算するには、大気の屈折率を計算する必要がある。これは、一般的な手続きであり、例えば、空気の温度および湿度を測定するとともに、これらの量を屈折率に関連付ける任意の様々な方程式を使用して外気の屈折率を決定することによって行われてもよい。
最初は、いずれのターゲット110がいずれの測定距離に対応するかが分からない。したがって、これを決定するためにターゲット同定アルゴリズムが行われなければならない。このアルゴリズムは、距離測定値の組を各センサから入力として取得するとともに、随意的に、幾つかの測定ヘッド120またはターゲット110の相対位置に関するアプリオリな情報も入力として取得する。この入力から、アルゴリズムは、各測定ヘッド120からのいずれの測定距離がいずれのターゲット110に対応するのかを同定する。これは、例えば、次のステップにおいてターゲットの全ての想定し得る配置に関して解析を実行することにより、および、データと最も良く一致するもの選択することによって行われてもよい。
測定距離とターゲットとの間に割り当てられる対応が存在するときには、測定ヘッドとターゲットとの間の測定距離に対する最小二乗法フィッティングを使用して、全ての測定ヘッドとターゲットとの相対位置が決定される。
前記実施形態に対して変更を行うことができる。例えば、図2〜図5に関連して説明された位置検出システム18を図6〜図12に関連して説明された測定システム118と組み合わせて、角度に基づく測定値と絶対距離測定値とを同時に与えるシステムをもたらすことができる。そのような変更のうちの1つにおいては、システム18の検出ユニット20に、図6〜図12に関連して説明された測定ヘッド120の特徴を組み入れたままにすることができる。
前述したシステムは、多くの異なる産業で、特に、高価の構成要素およびアセンブリの組立および製造、メトロロジ案内の機械加工、メトロロジ支援の組立、冶具を伴わない製造、ハイブリッドメトロロジ解決法、および、一般的な座標測定において用途を有する。
システムは、構成要素およびアセンブリの一般的な測定において、例えばこれらの構成要素およびアセンブリの正確な寸法および/または相対的な位置および方向を決定するために使用できる。
異なる検出ユニット20および/または測定ヘッド120による測定値が同時に取得されるため、システムは、所定期間にわたる平均値を計算するのではなく、任意の所定のターゲット10、110の位置を正確な時間的瞬間に検出することができる。したがって、システムは、正確に6自由度での物体の追跡動作に対して特定の用途を有する。これは、構成要素が接続または正確なアライメントで移動される必要がある複雑な装置の組立中に役立つ。異なる検出ユニット20および/または測定ヘッド120からの同時測定は、位置計算におけるエラーを減らすことができ、したがって、組立構造におけるエラーを減らす。したがって、測定支援のおよびメトロロジ支援の組立並びに冶具を伴わない組立において用途が存在する。
本発明の実施形態を実用的に使用できる複雑な装置の組立の例は、機体などの航空機の構成要素を組み立てるための航空宇宙産業において含む。しかしながら、他の測定支援組立システムも前述したシステムを実用的に使用できる。
組立と同様に、前述したシステムは、ロボット制御および案内において、また、既存のアセンブリを監視してそれのアセンブリの連続的な安定性を確保するために、実用的に使用できる。本発明の実施形態に係るシステムを用いて有益に監視され得るアセンブリの例は、組立冶具、風力タービン、および、工作機械を含む。前したシステムを用いて可能な精密で正確な測定により、ドリフトおよびミスアライメントを正確に早い段階で検出して、性能および安全性を高めることができるとともに、アセンブリの較正を維持することができる。
例えば円錐領域を照射するための照射光の発散は、大きなボリュームを連続的に監視できるようにする。これは、本発明の実施形態に係るシステムを、例えば自由に動く物体を追跡するための宇宙船における重量測定用途のためなど、移動物体のリアルタイムな追跡に適するようにする。
本発明の実施形態の他の用途としては、例えば、映画産業およびTV産業、自動車、発電、防衛、および、宇宙技術、例えば構造体の熱真空試験が挙げられる。
また、本発明の実施形態は、風力タービンなどの大型構造体の動的変形を測定するなど、一般的な位置合わせ測定および変形解析のために使用することもできる。
前述した実施形態および従属請求項の全ての随意的な好ましい特徴および改変は、本明細書中に教示される発明の全ての態様において使用できる。また、従属請求項の個々の特徴、および、前述した実施形態の全ての随意的な好ましい特徴および改変は、組み合わせられるとともに、互いに置き換え可能である。
この出願が優先権を主張する英国特許出願番号1205563.8の開示、および、この出願に添付の要約書は、参照することにより本願に組み入れられる。

Claims (26)

  1. 少なくとも1つのターゲットの三次元位置を検出するための位置検出システムであって:
    少なくとも1つのターゲットであって、その又は各ターゲットは任意の方向から入射する光のレトロリフレクタの役割をする構成である少なくとも1つのターゲットと;
    少なくとも1つのターゲットを照射する少なくとも1つの発光体と;
    あるターゲットからリトロリフレクトされる光を検出し測定値を取得する少なくとも1つの検出器と;及び
    前記各検出器により取得された測定値を処理し、前記少なくとも1つのターゲットの三次元位置を決定するプロセッサと、
    を含む位置検出システム。
  2. 前記ターゲット又は各ターゲットが略球形である請求項1に記載の位置検出システム。
  3. 前記ターゲット又は各ターゲットが球である請求項2に記載の位置検出システム。
  4. 前記少なくとも1つのターゲットが複数のターゲットである前項までの請求項のいずれか一つに記載の位置検出システム。
  5. 前記少なくとも1つの検出器が複数の検出器である前項までの請求項のいずれか一つに記載の位置検出システム。
  6. 前記少なくとも1つの発光体が複数の発光体である前項までの請求項のいずれか一つに記載の位置検出システム。
  7. 前記又は各発光体は、光を発散する発散エレメントを含む前項までの請求項のいずれか一つに記載の位置検出システム。
  8. 前記又は各発散エレメントは、照射光を発散する構成とされ略円錐形領域を照射する請求項7に記載の位置検出システム。
  9. 前記又は各発散エレメントにはレンズを含む請求項7または8のいずれか一つに記載の位置検出システム。
  10. 前記又は各発光体は、照射光を所定の方向に向け及びリトロリフレクト光を検出器に向けて構成される光誘導エレメントを含む前項までの請求項のいずれか一つに記載の位置検出システム。
  11. 前記光誘導エレメントは、レンズを含み、選択的にビームスプリッタを含む請求項10に記載の位置検出システム。
  12. 前記又は各発光体には、レーザ光源を含み、及び各発光体により照射される光がレーザ光である前項までの請求項のいずれか一つに記載の位置検出システム。
  13. 各発光体が照射するように構成される光は、所定の波長範囲内の波長である前項までの請求項のいずれか一つに記載の位置検出システム。
  14. 前記又は各ターゲットは、球形及び前記又は各ターゲットの中心に入射されて所定の波長範囲内の波長を有する光のレトロリフレクタの役割を担うよう選択される材料を備える請求項13に記載の位置検出システム。
  15. 前記又は各ターゲットが球形及びソリッドであり;及び
    所定の波長範囲内の波長で、前記又は各ターゲットは、1.9〜2.1の範囲内、好ましくは1.95〜2の範囲内、最も好ましくは1.995〜2の範囲内の屈折率を有する請求項13または14に記載の位置検出システム。
  16. 前記又は各検出器は、発光体で直接にリトロリフレクトされる光を検出するように配置される前項までの請求項のいずれか一つに記載の位置検出システム。
  17. 前記又は各検出器は、リトロリフレクト光が受光されるその角度を含む測定値を取得する前項までの請求項のいずれか一つに記載の位置検出システム。
  18. 前記又は各検出器は、リトロリフレクト光がCCDまたはCMOSセンサを使用して受光される角度の測定値を取得する前項までの請求項のいずれか一つに記載の位置検出システム。
  19. 前記又は各検出器は、リトロリフレクト光の測定値を取得しその検出器からリトロリフレクト光がリトロリフレクトされた1または複数のターゲットまでの絶対距離を決定する前項までの請求項のいずれか一つに記載の位置検出システム。
  20. 前記又は各検出器は、リトロリフレクト光の測定値を取得しその検出器からリトロリフレクト光がリトロリフレクトされた1または複数のターゲットまでの絶対距離及び角度を決定する前項までの請求項のいずれか一つに記載の位置検出システム。
  21. 前記又は各検出器は、周波数走査干渉法を使用して絶対距離を決定する請求項19または20のいずれか一方に記載の位置検出システム。
  22. 物体の三次元位置を決定する方法であって:
    ターゲットの物体への取付けであって、そのターゲットは任意の方向から入射する光のレトロリフレクタの役割を担うものであるターゲットの物体への取付けと;
    少なくとも1つの発光体からの光で前記ターゲットに光を照射することと;
    前記ターゲットからリトロリフレクトされる光を検出して測定値を取得することと;
    前記ターゲットそのリトロリフレクト光の測定値を処理し、前記ターゲットの三次元位置を決定し、及びそれから物体の三次元位置を決定すること;
    を含む物体の三次元位置を決定する方法。
  23. 検出器と発光体とを含む検出ユニットであって、
    前記発光体は、1つの軸線に沿って、好ましくはこの軸線の周囲で、前記検出器から離れるように光を照射するべく構成され、前記軸線は、前記検出ユニットがその上で且つその周囲で前記検出器による検出のために光を受けるよう構成される軸線に対応する、検出ユニット。
  24. ビームスプリッタまたは光ファイバは、照射される光を導く構成とされて、前記検出ユニットがその周囲で光を受けるように構成される前記軸線に対応する1つの軸線を有する請求項23に記載の検出ユニット。
  25. 請求項23または請求項24のいずれか一項に記載の検出ユニットであって、
    さらに、光誘導エレメント、選択的にレンズを含み、前記発光体により照射される光を所定の方向に向け及びリトロリフレクト光を前記検出器に向ける請求項23または請求項24のいずれか一項に記載の検出ユニット。
  26. 請求項23から25のうちいずれか一項に記載の検出ユニットであって、
    さらに、光誘導エレメント、選択的にレンズを含み、前記発光体により照射される光を所定の方向に向け及びリトロリフレクト光を複数の検出器に向ける請求項23から25のうちいずれか一項に記載の検出ユニット。
JP2015502458A 2012-03-29 2013-03-28 座標測定システムおよび方法 Active JP6256995B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB1205563.8 2012-03-29
GBGB1205563.8A GB201205563D0 (en) 2012-03-29 2012-03-29 Coordinate measurement system and method
PCT/GB2013/050838 WO2013144649A1 (en) 2012-03-29 2013-03-28 Coordinate measurement system and method

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2015514982A true JP2015514982A (ja) 2015-05-21
JP2015514982A5 JP2015514982A5 (ja) 2016-05-26
JP6256995B2 JP6256995B2 (ja) 2018-01-10

Family

ID=46087348

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2015502458A Active JP6256995B2 (ja) 2012-03-29 2013-03-28 座標測定システムおよび方法

Country Status (7)

Country Link
US (1) US9791569B2 (ja)
EP (1) EP2831624B1 (ja)
JP (1) JP6256995B2 (ja)
CN (1) CN104335067B (ja)
ES (1) ES2819018T3 (ja)
GB (1) GB201205563D0 (ja)
WO (1) WO2013144649A1 (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180055469A (ko) * 2016-11-17 2018-05-25 한국기계연구원 공간 좌표 측정 시스템 및 이를 이용한 공간 좌표 측정 방법
JP2020530105A (ja) * 2017-08-07 2020-10-15 アプレ インストゥルメンツ, インコーポレイテッドAPRE Instruments,Inc. 空間におけるオブジェクトの位置測定
WO2022259536A1 (ja) * 2021-06-11 2022-12-15 株式会社ニコン 位置測定装置、及び位置測定方法
WO2022259538A1 (ja) * 2021-06-11 2022-12-15 株式会社ニコン 位置測定装置、位置測定システム、及び測定装置
JP7475163B2 (ja) 2019-05-02 2024-04-26 ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング 測定装置

Families Citing this family (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9720088B2 (en) 2012-03-29 2017-08-01 The Secretary Of State For Business, Innovation & Skills Measurement device, system and method
DE102012217282B4 (de) * 2012-09-25 2023-03-02 Trimble Jena Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Zuordnung von Messpunkten zu einem Satz von Festpunkten
ES2691025T3 (es) * 2013-05-23 2018-11-23 Vestas Wind Systems A/S Mejoras relativas a turbinas eólicas
BE1024052B1 (nl) * 2013-12-03 2017-11-08 Layerwise N.V. Werkwijze en inrichting voor het kalibreren van meerdere energiestralen voor het additief vervaardigen van een object
JP6165069B2 (ja) * 2014-01-27 2017-07-19 三菱重工業株式会社 罫書き作業支援システム、罫書き作業方法及び機械加工部品
JP6331587B2 (ja) * 2014-03-31 2018-05-30 株式会社東京精密 3次元座標測定装置及び方法、並びに校正装置
GB2529848B (en) * 2014-09-03 2018-12-19 Dyson Technology Ltd A mobile robot
US10176625B2 (en) * 2014-09-25 2019-01-08 Faro Technologies, Inc. Augmented reality camera for use with 3D metrology equipment in forming 3D images from 2D camera images
US9506744B2 (en) 2014-12-16 2016-11-29 Faro Technologies, Inc. Triangulation scanner and camera for augmented reality
EP3234350B1 (en) * 2014-12-17 2020-02-05 Vestas Wind Systems A/S Improvements relating to wind turbines
EP3234500A4 (en) 2014-12-19 2018-07-04 University of Utah Research Foundation Interferometry system and associated methods
KR101646420B1 (ko) * 2014-12-30 2016-08-05 순천대학교 산학협력단 사진측량시 외부표정요소 결정용 입체 타겟
FR3041938B1 (fr) * 2015-10-02 2018-08-17 Latecoere Procede et equipement embarque d'aide au roulage et a l'anticollision de vehicule, en particulier d'aeronef
US11237251B2 (en) * 2016-05-11 2022-02-01 Texas Instruments Incorporated Lidar scanning with expanded scan angle
US11162781B2 (en) 2016-06-23 2021-11-02 University Of Utah Research Foundation Interferometry systems and methods
US10671039B2 (en) 2017-05-03 2020-06-02 Uptake Technologies, Inc. Computer system and method for predicting an abnormal event at a wind turbine in a cluster
WO2019011803A1 (en) 2017-07-10 2019-01-17 Trinamix Gmbh DETECTOR FOR OPTICALLY DETECTING AT LEAST ONE OBJECT
CN107356904B (zh) * 2017-07-25 2020-07-07 京东方科技集团股份有限公司 测量组件以及定位***
US9857172B1 (en) * 2017-09-25 2018-01-02 Beijing Information Science And Technology University Method for implementing high-precision orientation and evaluating orientation precision of large-scale dynamic photogrammetry system
US10815966B1 (en) * 2018-02-01 2020-10-27 Uptake Technologies, Inc. Computer system and method for determining an orientation of a wind turbine nacelle
DE102018213142A1 (de) * 2018-08-06 2020-02-06 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Anordnung und Verfahren zum Erfassen einer an einem Objekt angeordneten Markeranordnung
CN113167645B (zh) * 2018-11-15 2024-05-14 艾迈斯-欧司朗亚太私人有限公司 使用光谱仪***的距离测量
JP7140017B2 (ja) * 2019-03-20 2022-09-21 日本電信電話株式会社 光通信システム及び光通信方法
US11208986B2 (en) 2019-06-27 2021-12-28 Uptake Technologies, Inc. Computer system and method for detecting irregular yaw activity at a wind turbine
US10975841B2 (en) 2019-08-02 2021-04-13 Uptake Technologies, Inc. Computer system and method for detecting rotor imbalance at a wind turbine
EP4010736A1 (en) * 2019-08-08 2022-06-15 Neural Propulsion Systems, Inc. Distributed aperture optical ranging system
WO2021092771A1 (zh) * 2019-11-12 2021-05-20 Oppo广东移动通信有限公司 一种目标检测方法及装置、设备、存储介质
WO2021101744A1 (en) * 2019-11-22 2021-05-27 University Of Utah Research Foundation Interferometry systems and methods
WO2021222360A1 (en) * 2020-04-28 2021-11-04 Hoffer Jr John M Light-based position measurement device with atmospheric correction
CN112735245A (zh) * 2020-12-16 2021-04-30 江苏师范大学 一种用于近景摄影测量教学与测试的觇标装置及方法
CN113895646B (zh) * 2021-10-26 2023-08-04 成都飞机工业(集团)有限责任公司 面向飞机部件调姿对接的自动测量方法及装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009036775A (ja) * 2001-04-13 2009-02-19 Carl Zeiss Ag 2つの物体の相対的な位置および/または方位を測定するシステムおよび方法、ならびにそのようなシステムおよび方法で使用されるビーム誘導装置、干渉計装置および光路長を変更するデバイス
JP2011208992A (ja) * 2010-03-29 2011-10-20 Ntn Corp 空間座標測定システムおよび空間座標測定方法

Family Cites Families (36)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1010894A (en) 1962-01-27 1965-11-24 Gullick Ltd Improvements in or relating to fluid flow control valves
US3559937A (en) 1968-09-26 1971-02-02 Nasa Optical tracking mount
FR2049030B1 (ja) 1969-06-20 1973-04-06 Legall Jean Claude
US3809477A (en) 1972-11-01 1974-05-07 Us Interior Measuring apparatus for spatially modulated reflected beams
US4576481A (en) 1982-12-13 1986-03-18 Position Orientation Systems, Ltd. Passive optical position measurement system
US4714339B2 (en) 1986-02-28 2000-05-23 Us Commerce Three and five axis laser tracking systems
US5294980A (en) * 1988-03-24 1994-03-15 Canon Kabushiki Kaisha Positioning detecting method and apparatus
US5253033A (en) 1990-12-03 1993-10-12 Raytheon Company Laser radar system with phased-array beam steerer
CA2143838A1 (en) 1992-09-09 1994-03-17 Andrew W. Dornbusch Spatial positioning systems
GB2285550B (en) * 1994-01-05 1997-09-17 Creo Products Inc Optical coordinate measuring system for large objects
DE19611595B4 (de) 1996-03-23 2004-02-05 BODENSEEWERK GERäTETECHNIK GMBH Suchkopf für zielverfolgende Flugkörper oder Geschosse
GB9722068D0 (en) 1997-10-17 1997-12-17 Secretary Trade Ind Brit Tracking system
DE10029529A1 (de) * 1999-12-23 2001-06-28 Rohwedder Visotech Gmbh Reflektorsystem zur Positionsbestimmung
US20020021139A1 (en) 2000-06-16 2002-02-21 The Penn State Research Foundation Molecular probe station
DE10108774A1 (de) 2001-02-23 2002-09-05 Zeiss Carl Koordinatenmessgerät zum Antasten eines Werkstücks, Tastkopf für ein Koordinatenmessgerät und Verfahren zum Betrieb eines Koordinatenmessgerätes
JP2002289243A (ja) 2001-03-27 2002-10-04 Toyo Eng Corp 透過水素ガス量測定方法およびその装置
DE10118668B4 (de) 2001-04-14 2004-02-05 Schott Glas Koordinatenmeßvorrichtung
US7268348B2 (en) 2002-01-22 2007-09-11 International Business Machines Corporation Scanning probe for data storage and microscopy
US7130059B2 (en) * 2002-06-24 2006-10-31 Light Gage, Inc Common-path frequency-scanning interferometer
US8242428B2 (en) 2007-12-06 2012-08-14 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Method and system for lidar using spatial information from a light source in combination with nonspatial information influenced by the subject to derive an image
WO2006039682A1 (en) * 2004-09-30 2006-04-13 Faro Technologies, Inc. Absolute distance meter that measures a moving retroreflector
US7139446B2 (en) 2005-02-17 2006-11-21 Metris Usa Inc. Compact fiber optic geometry for a counter-chirp FMCW coherent laser radar
EP1877726B1 (en) * 2005-03-11 2011-07-27 Creaform Inc. Auto-referenced system and apparatus for three-dimensional scanning
US7532311B2 (en) 2005-04-06 2009-05-12 Lockheed Martin Coherent Technologies, Inc. Efficient lidar with flexible target interrogation pattern
JP5020945B2 (ja) * 2005-06-06 2012-09-05 ボード・オブ・リージエンツ,ザ・ユニバーシテイ・オブ・テキサス・システム スペクトル的に分解した帯域幅を用いるoct
US20060279745A1 (en) 2005-06-13 2006-12-14 Wenstrand John S Color imaging system for locating retroreflectors
JP4909548B2 (ja) 2005-09-01 2012-04-04 株式会社ミツトヨ 表面形状測定装置
US20070194225A1 (en) 2005-10-07 2007-08-23 Zorn Miguel D Coherent electron junction scanning probe interference microscope, nanomanipulator and spectrometer with assembler and DNA sequencing applications
US7652275B2 (en) 2006-07-28 2010-01-26 Mitutoyo Corporation Non-contact probe control interface
US9747698B2 (en) 2006-10-21 2017-08-29 Sam Stathis System for accurately and precisely locating and marking a position in space using wireless communications and robotics
EP2051101B1 (de) 2007-10-16 2011-12-21 Sick Ag Optische Sensoranordnung und Verfahren zur optischen Detektion von Objekten
GB0722477D0 (en) 2007-11-15 2007-12-27 Secretary Trade Ind Brit Microprobe
JP5081014B2 (ja) * 2008-02-28 2012-11-21 株式会社トプコン ターゲット及びこれを用いた三次元形状測定装置
DE102009040863A1 (de) * 2009-09-10 2011-03-24 Carl Zeiss Ag Vorrichtung, Verfahren und Reflektoranordnung zur Positionsbestimmung
GB201013894D0 (en) 2010-08-19 2010-10-06 Isis Innovation Apparatus and method for measuring distance
CN201900513U (zh) * 2010-11-19 2011-07-20 二重集团(德阳)重型装备股份有限公司 齿轮测量***及专用手持活动式光学逆反射器

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009036775A (ja) * 2001-04-13 2009-02-19 Carl Zeiss Ag 2つの物体の相対的な位置および/または方位を測定するシステムおよび方法、ならびにそのようなシステムおよび方法で使用されるビーム誘導装置、干渉計装置および光路長を変更するデバイス
JP2011208992A (ja) * 2010-03-29 2011-10-20 Ntn Corp 空間座標測定システムおよび空間座標測定方法

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180055469A (ko) * 2016-11-17 2018-05-25 한국기계연구원 공간 좌표 측정 시스템 및 이를 이용한 공간 좌표 측정 방법
JP2020530105A (ja) * 2017-08-07 2020-10-15 アプレ インストゥルメンツ, インコーポレイテッドAPRE Instruments,Inc. 空間におけるオブジェクトの位置測定
JP7182306B2 (ja) 2017-08-07 2022-12-02 アプレ インストゥルメンツ, インコーポレイテッド 空間におけるオブジェクトの位置測定
JP7475163B2 (ja) 2019-05-02 2024-04-26 ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング 測定装置
WO2022259536A1 (ja) * 2021-06-11 2022-12-15 株式会社ニコン 位置測定装置、及び位置測定方法
WO2022259538A1 (ja) * 2021-06-11 2022-12-15 株式会社ニコン 位置測定装置、位置測定システム、及び測定装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN104335067B (zh) 2017-12-22
JP6256995B2 (ja) 2018-01-10
EP2831624A1 (en) 2015-02-04
GB201205563D0 (en) 2012-05-09
CN104335067A (zh) 2015-02-04
EP2831624B1 (en) 2020-07-15
ES2819018T3 (es) 2021-04-14
WO2013144649A1 (en) 2013-10-03
US9791569B2 (en) 2017-10-17
US20150085297A1 (en) 2015-03-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6256995B2 (ja) 座標測定システムおよび方法
US10054422B2 (en) Coordinate measuring device
US9696140B2 (en) Laser tracker with position-sensitive detectors for searching for a target
CN101553707B (zh) 坐标测量设备
US9612331B2 (en) Laser tracker with functionality for graphical target preparation
US9945938B2 (en) Self-calibrating laser tracker and self-calibration method
US10725179B2 (en) Laser tracker
JP5931225B2 (ja) 干渉計を用いて距離変化を算定するための方法
US9766326B2 (en) Laser tracker with calibration unit for self-calibration
JP2004170412A (ja) 測定系の較正のための方法と装置
US20180202796A1 (en) Measuring device and method for measuring at least one length measurand
JP6198154B2 (ja) 測定デバイス、システムおよび方法
CN109579778B (zh) 一种基于双波长分光自准直三维角度测量装置与方法
US9599697B2 (en) Non-contact fiber optic localization and tracking system
WO2022259536A1 (ja) 位置測定装置、及び位置測定方法

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20160328

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20160328

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20170310

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20170609

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20170807

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20170911

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20171110

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20171130

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6256995

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250