JP2015514304A - 液浸部材、及び、露光装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本願は、2012年4月10日に出願された米国特許仮出願61/622,182及び2013年3月13日に出願された米国特許出願13/800,448に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
第1実施形態について説明する。図1は、第1実施形態に係る露光装置EXの一例を示す概略構成図である。本実施形態の露光装置EXは、液体LQを介して露光光ELで基板Pを露光する液浸露光装置である。本実施形態においては、基板Pに照射される露光光ELの光路Kが液体LQで満たされるように液浸空間LSが形成される。液浸空間LSとは、液体で満たされた部分(空間、領域)をいう。基板Pは、液浸空間LSの液体LQを介して露光光ELで露光される。本実施形態においては、液体LQとして、水(純水)を用いる。
本実施形態において、露光光ELの光路は、終端光学素子13における露光光ELの光路(終端光学素子13を進行する露光光の光路)を含む。また、露光光ELの光路は、射出面12から射出される露光光ELの光路Kを含む。本実施形態において、第1部材21は、終端光学素子13(終端光学素子13における露光光ELの光路)の周囲の少なくとも一部に配置される。なお、第1部材21は、終端光学素子13の周囲に配置されず、射出面12から射出される露光光ELの光路Kの周囲の少なくとも一部に配置されてもよい。第1部材21は、終端光学素子13の周囲の少なくとも一部、及び射出面12から射出される露光光ELの光路Kの周囲の少なくとも一部に配置されてもよい。
Xin<Xp<Xout …式(1)
Yin≦Yp<Yout …式(2)
また、スキャン移動動作の少なくとも一部において、回収部23は、第1空間SP1からの液体LQに接触しない可能性がある。例えば、図13(A)において、第2部材22が−X軸方向に移動しているときに、液体LQの界面が第1部材21の下面24と第2部材22の上面25との間に形成される可能性がある。この場合、回収部23からは、第1空間SP1からの液体LQが回収されず、専ら第2空間PS2からの液体LQが回収される。
第2実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
第3実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
第4実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
第5実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
第6実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
第7実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
Claims (70)
- 光学部材の射出面から射出される露光光の光路が液体で満たされるように、前記光学部材の下方で移動可能な物体上に液浸空間を形成する液浸部材であって、
前記光学部材の周囲の少なくとも一部に配置され、第1下面と、前記光路に対して前記第1下面の外側に配置された第1回収部と、を有する第1部材と、
前記第1部材の下方において前記光路の周囲の少なくとも一部に配置され、前記第1下面と間隙を介して対向する第2上面と、前記物体が対向可能な第2下面と、を有し、前記第1部材に対して可動な第2部材と、を備え、
前記第1回収部の少なくとも一部に前記物体が対向可能であり、前記第2上面が面する第1空間及び前記第2下面が面する第2空間の少なくとも一方からの前記液体の少なくとも一部を前記第1回収部から回収可能な液浸部材。 - 前記第2部材の少なくとも一部は、前記第1回収部と対向する
請求項1に記載の液浸部材。 - 前記第1回収部は、前記第1部材に配置される
請求項1又は2に記載の液浸部材。 - 前記第2部材に接続される支持部材をさらに備え、
前記支持部材が駆動装置によって移動されることにより、前記第2部材が移動される
請求項1〜3のいずれか一項に記載の液浸部材。 - 前記第1部材は、前記第1部材の上側空間と下側空間とを結ぶ孔をさらに有し、
前記支持部材は、前記第1部材の前記孔に配置され、
前記第1部材孔内で、前記支持部材は、前記駆動装置により移動される
請求項4に記載の液浸部材。 - 前記駆動装置は、前記上側空間で前記支持部材に接続される
請求項5に記載の液浸部材。 - 前記第1部材の前記孔は、前記第2部材の移動方向に延びている
請求項5又は6に記載の液浸部材。 - 前記孔は、液体が流通可能である
請求項5〜7のいずれか一項に記載の液浸部材。 - 前記第1部材の前記上側空間から前記下側空間へ前記液体が流れる
請求項8に記載の液浸部材。 - 前記第1部材の前記下側空間は、前記第1部材と前記第2部材との間の空間を含む
請求項5〜9のいずれか一項に記載の液浸部材。 - 前記第1部材は、前記光学部材の側面と対向する対向面と、前記側面と前記対向面との間の液体が前記第2上面に流れるように設けられた流路と、を有する
請求項1〜4のいずれか一項に記載の液浸部材。 - 前記第1部材は、実質的に移動しない
請求項1〜11のいずれか一項に記載の液浸部材。 - 前記第2部材は、前記光学部材の光軸と実質的に垂直な方向に移動可能である
請求項1〜12のいずれか一項に記載の液浸部材。 - 前記射出面から前記露光光が射出される期間の少なくとも一部と並行して、前記第2部材は移動可能である
請求項1〜13のいずれか一項に記載の液浸部材。 - 前記第2部材は、前記物体が移動する期間の少なくとも一部と並行して移動可能である
請求項1〜14のいずれか一項に記載の液浸部材。 - 前記第2部材は、前記物体の移動方向に移動可能である
請求項1〜15のいずれか一項に記載の液浸部材。 - 前記第1回収部は、多孔部材を含む
請求項1〜16のいずれか一項に記載の液浸部材。 - 前記第1回収部の下面の少なくとも一部は、前記光路に対する放射方向に関して外側に向かって上方に傾斜する
請求項1〜17のいずれか一項に記載の液浸部材。 - 前記液体を供給する供給口をさらに備える
請求項1〜18のいずれか一項に記載の液浸部材。 - 前記供給口は、前記第1部材に配置される
請求項19に記載の液浸部材。 - 前記第1部材は、前記露光光が通過可能な第1開口をさらに有し、
前記第2部材は、前記露光光が通過可能な第2開口を有する
請求項19又は20に記載の液浸部材。 - 前記第1開口は、前記第2開口よりも大きい
請求項21に記載の液浸部材。 - 前記第2部材の前記第2上面の一部は、前記射出面と対向する
請求項21又は22に記載の液浸部材。 - 前記第1部材は、前記第1開口の周囲に形成された第1上面をさらに有し、
前記第1上面の一部は、前記射出面と対向する
請求項21〜23のいずれか一項に記載の液浸部材。 - 前記第2部材の移動方向に関する前記第2開口の寸法は、前記露光光の寸法と前記第2部材の移動可能範囲の寸法との和よりも大きい
請求項21〜24のいずれか一項に記載の液浸部材。 - 前記第2部材の移動方向に関して、
前記第2開口の中心から前記第2部材の端部までの寸法は、前記第1開口の中心から前記第1回収部の内側端部までの寸法よりも大きく、前記第1開口の中心から前記第1回収部の外側端部までの寸法よりも小さい
請求項21〜25のいずれか一項に記載の液浸部材。 - 前記第1開口と前記第2開口を介して、前記供給口から供給された前記液体を、前記射出面と対向する物体上に供給可能である
請求項21〜26のいずれか一項に記載の液浸部材。 - 前記供給口からの前記液体は、前記第1開口を介して前記第2上面に供給された後、前記第2開口を介して前記射出面と対向する物体上に供給される
請求項21〜27のいずれか一項に記載の液浸部材。 - 前記第2部材の移動条件に基づいて、前記供給口からの液体供給量が調整される
請求項19〜28のいずれか一項に記載の液浸部材。 - 前記第1部材の周囲の少なくとも一部に配置され、前記第1下面側の空間から流出する前記液体を回収する回収部材をさらに備える
請求項1〜29のいずれか一項に記載の液浸部材。 - 前記物体の移動条件に基づいて、前記回収部材を上下方向に移動する駆動システムをさらに備える
請求項30に記載の液浸部材。 - 光学部材の射出面から射出される露光光の光路が液体で満たされるように、前記光学部材の下方で移動可能な物体上に液浸空間を形成する液浸部材であって、
前記光学部材の周囲の少なくとも一部に配置され、第1下面を有する第1部材と、
前記第1部材の下方において前記光路の周囲の少なくとも一部に配置され、前記物体が対向可能な第2下面を有し、前記第1部材に対して可動な第2部材と、
前記光路に対して前記第1下面の外側に配置された回収部と、を備え、
前記回収部により前記第1部材と前記第2部材との間の空間からの液体回収が行われる液浸部材。 - 光学部材の射出面から射出される露光光の光路が液体で満たされるように、前記光学部材の下方で移動可能な物体上に液浸空間を形成する液浸部材であって、
前記光学部材の周囲の少なくとも一部に配置され、第1下面を有する第1部材と、
前記第1部材の下方において前記光路の周囲の少なくとも一部に配置され、前記物体が対向可能な第2下面を有し、前記第1部材に対して可動な第2部材と、
少なくとも一部が前記光路に対して前記第2下面の外側で、前記第2部材と前記物体との間の空間からの液体を回収する回収部と、を備える液浸部材。 - 前記回収部は、前記第1部材と前記第2部材との間の空間に面しないように配置される
請求項32又は33に記載の液浸部材。 - 前記第2下面は、液体を回収不可能である
請求項32〜34のいずれか一項に記載の液浸部材。 - 光学部材の射出面から射出される露光光の光路が液体で満たされるように、前記光学部材の下方で移動可能な物体上に液浸空間を形成する液浸部材であって、
前記光学部材の周囲の少なくとも一部に配置され、第1下面を有する第1部材と、
前記第1部材の下方において前記光路の周囲の少なくとも一部に配置され、前記第1下面と対向可能な第2上面及び前記物体が対向可能な第2下面を有し、前記第1部材に対して可動な第2部材と、
前記第2上面よりも上方に配置され、液体を供給可能な供給部と、
前記第2上面よりも上方に配置され、液体を回収可能な回収部と、を備え、
前記供給部からの液体の少なくとも一部が前記第1下面と前記第2上面との間の空間に供給され、前記回収部から前記第1下面と前記第2上面との間の空間の液体の少なくとも一部が回収される液浸部材。 - 前記供給部からの液体の少なくとも一部は、前記第2下面と前記物体との間の空間に供給される
請求項36に記載の液浸部材。 - 前記第1部材は、前記露光光が通過可能な第1開口をさらに有し、
前記第2部材は、前記露光光が通過可能な第2開口をさらに有し、
前記供給部からの液体の少なくとも一部は、前記第2開口を介して前記第2下面と前記物体との間の空間に供給される
請求項37に記載の液浸部材。 - 前記供給部は、前記第1下面と前記第2上面との間の空間に面するように配置された第1供給口を有する
請求項36〜38のいずれか一項に記載の液浸部材。 - 前記供給部は、前記光学部材と前記第1部材との間に空間に面するように配置された第2供給口を有する請求項36〜39のいずれか一項に記載の液浸部材。
- 前記第1部材は、前記供給部を有する請求項36〜40のいずれか一項記載の液浸部材。
- 前記回収部の少なくとも一部は、前記第1下面と前記第2上面との間の空間に面するように配置される
請求項36〜41のいずれか一項に記載の液浸部材。 - 前記第1部材は、前記回収部を有する請求項36〜42のいずれか一項に記載の液浸部材。
- 液体を介して露光光で基板を露光する露光装置であって、
請求項1〜43のいずれか一項に記載の液浸部材を備える露光装置。 - 前記第2部材は、前記物体との相対速度が小さくなるように移動される
請求項44に記載の露光装置。 - 前記第2部材は、前記物体との相対速度が、前記第1部材と前記物体との相対速度よりも小さくなるように移動される
請求項44又は45に記載の露光装置。 - 前記物体は、前記基板を含み、
前記液浸空間が形成された状態で、前記基板は、前記光学部材の光軸と実質的に垂直な面内において、第1経路を移動した後、第2経路を移動し、
前記第1経路において、前記基板の移動は、第1軸と平行な第1方向への移動を含み、
前記第2経路において、前記基板の移動は、前記第1軸と直交する第2軸と平行な第2方向への移動を含み、
前記第2部材は、前記基板が前記第2経路を移動する期間の少なくとも一部において、前記第2方向に移動する
請求項44〜46のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記基板が前記第2経路を移動する期間の少なくとも一部において前記第2部材が前記第2方向に移動する距離は、前記第2経路における前記基板の移動距離の45〜65%である
請求項47に記載の露光装置。 - 前記基板が前記第2経路を移動する期間の少なくとも一部において前記第2部材が前記第2方向に移動する距離は、前記第2経路における前記基板の移動距離の50〜60%である
請求項47に記載の露光装置。 - 前記基板が前記第1経路を移動するときに前記液浸空間の液体を介して前記基板のショット領域に前記露光光が照射され、前記第2経路を移動するときに前記露光光が照射されない
請求項49に記載の露光装置。 - 前記基板は、前記第2経路を移動した後に、第3経路を移動し、
前記第3経路において、前記基板の移動は、前記第1方向の反対の第3方向への移動を含み、
前記第2部材は、前記基板が前記第3経路を移動する期間の少なくとも一部において、前記第2方向の反対の第4方向に移動する
請求項49又は50に記載の露光装置。 - 前記第2部材は、前記基板の前記第2経路の移動が開始される前に、前記第2方向への移動が開始される
請求項49〜51のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記物体は、前記基板を含み、
前記液浸空間が形成された状態で、前記基板は、スキャン方向にスキャン移動しながら前記基板の第1ショット領域が露光された後、第2ショット領域が露光開始位置に配置されるようにステップ方向にステップ移動され、
前記基板のステップ移動の少なくとも一部において、前記第2部材は、前記ステップ方向と実質的に同方向に移動される
請求項44〜46に記載の露光装置。 - 前記基板のスキャン移動の少なくとも一部において、前記第2部材は、前記ステップ方向と実質的に逆方向に移動する
請求項53に記載の露光装置。 - 前記第2下面に配置され、前記液体を回収可能な第2回収部をさらに有する
請求項47〜52のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記第2回収部の回収力は、前記第1回収部の回収力よりも小さい
請求項55に記載の露光装置。 - 前記第2下面に配置され、前記液体を回収可能な第2回収部をさらに有する
請求項44〜46のいずれか一項に記載の露光装置。 - 液体を介して露光光で基板を露光する露光装置であって、
光学部材の射出面から射出される露光光の光路が液体で満たされるように、前記光学部材の下方で移動可能な物体上に液浸空間を形成する液浸部材を備え、
前記液浸部材は、
前記光学部材の周囲の少なくとも一部に配置され、第1下面と、前記光路に対して第1下面の外側に配置された第1回収部と、を有する第1部材と、
前記第1部材の下方において前記光路の周囲の少なくとも一部に配置され、前記第1下面と間隙を介して対向する第2上面と、前記物体が対向可能な第2下面と、前記第2下面に配置され、前記液体を回収可能な第2回収部と、を有する第2部材と、を備え、
前記第1回収部の少なくとも一部に前記物体が対向可能であり、
前記第2上面が面する第1空間及び前記第2下面が面する第2空間の少なくとも一方からの前記液体の少なくとも一部を前記第1回収部から回収する露光装置。 - 前記第2回収部の回収力は、前記第1回収部の回収力よりも小さい
請求項57又は58に記載の露光装置。 - 前記物体は、前記基板を含み、
前記液浸空間が形成された状態で、前記基板は、前記光学部材の光軸と実質的に垂直な面内において、第1経路を移動した後、第2経路を移動され、
前記第1経路において、前記基板の移動は、第1軸と平行な第1方向への移動を含み、
前記第2経路において、前記基板の移動は、前記第1軸と直交する第2軸と平行な第2方向への移動を含み、
前記第2回収部は、前記第2軸と平行な方向に関して、前記露光光の光路の両側に配置される
請求項57〜59のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記第2回収部は、前記基板が前記第2経路を移動する期間に前記液体を回収しない
請求項60に記載の露光装置。 - 前記第2部材は、第1部分と、前記第2軸と平行な方向に関して前記第1部分に隣り合う第2部分と、に分割可能であり、
前記液浸空間が形成されている状態で前記基板が前記第1経路を移動している期間の少なくとも一部において、前記第1部分と前記第2部分とは離れて配置され、
前記基板が前記第2経路を移動する期間の少なくとも一部において、前記第1部分と前記第2部分とは接近又は接触する
請求項47〜56のいずれか一項に記載の露光装置。 - 液体を介して露光光で基板を露光する露光装置であって、
光学部材の射出面から射出される露光光の光路が液体で満たされるように、前記光学部材の下方で移動可能な物体上に液浸空間を形成する液浸部材を備え、
前記液浸部材は、
前記光学部材の周囲の少なくとも一部に配置され、第1下面と、前記光路に対して第1下面の外側に配置された第1回収部と、を有する第1部材と、
前記第1部材の下方において前記光路の周囲の少なくとも一部に配置され、前記第1下面と間隙を介して対向する第2上面と、前記物体が対向可能な第2下面と、を有する第2部材と、を備え、
前記第1回収部の少なくとも一部に前記基板が対向可能であり、
前記第2上面が面する第1空間及び前記第2下面が面する第2空間の少なくとも一方からの前記液体の少なくとも一部を前記第1回収部から回収し、
前記液浸空間が形成された状態で、前記基板は、前記光学部材の光軸と実質的に垂直な面内において、第1経路を移動した後、第2経路を移動され、
前記第1経路において、前記基板の移動は、第1軸と平行な第1方向への移動を含み、
前記第2経路において、前記基板の移動は、前記第1軸と直交する第2軸と平行な第2方向への移動を含み、
前記第2部材は、第1部分と、前記第2軸と平行な方向に関して前記第1部分に隣り合う第2部分と、に分割可能であり、
前記液浸空間が形成されている状態で前記基板が前記第1経路を移動している期間の少なくとも一部において、前記第1部分と前記第2部分とは離れて配置され、
前記基板が前記第2経路を移動する期間の少なくとも一部において、前記第1部分と前記第2部分とは接近又は接触する露光装置。 - 前記第1部分と前記第2部分とが離れているときに、前記第1回収部は、前記第1部分と前記第2部分との間のギャップを介して、前記基板上の液体を回収する
請求項62又は63に記載の露光装置。 - 前記物体は、前記基板を保持して移動する基板ステージを含む
請求項44〜64のいずれか一項に記載の露光装置。 - 請求項44〜65のいずれか一項に記載の露光装置を用いて基板を露光することと、
露光された前記基板を現像することと、
を含むデバイス製造方法。 - 液体を介して露光光で基板を露光する露光方法であって、
光学部材の射出面から射出される前記露光光の光路が前記液体で満たされるように液浸空間を形成することと、
前記液浸空間の液体を介して前記射出面から射出される前記露光光で前記基板を露光することと、
前記光学部材の周囲の少なくとも一部に配置され、第1下面と、前記光路に対して前記第1下面の外側に配置された第1回収部と、を有する第1部材に対して、前記第1部材の下方において前記光路の周囲の少なくとも一部に配置され、前記第1下面と間隙を介して対向する第2上面と、前記物体が対向可能な第2下面と、を有する第2部材を移動することと、
前記第2上面が面する第1空間及び前記第2下面が面する第2空間の少なくとも一方からの前記液体の少なくとも一部を前記第1回収部から回収することと、
を含む露光方法。 - 請求項67に記載の露光方法を用いて基板を露光することと、
露光された前記基板を現像することと、
を含むデバイス製造方法。 - コンピュータに、液体を介して露光光で基板を露光する露光装置の制御を実行させるプログラムであって、
光学部材の射出面から射出される前記露光光の光路が前記液体で満たされるように液浸空間を形成することと、
前記液浸空間の液体を介して前記射出面から射出される前記露光光で前記基板を露光することと、
前記光学部材の周囲の少なくとも一部に配置され、第1下面と、前記光路に対して前記第1下面の外側に配置された第1回収部、とを有する第1部材に対して、前記第1部材の下方において前記光路の周囲の少なくとも一部に配置され、前記第1下面と間隙を介して対向する第2上面と、前記物体が対向可能な第2下面と、を有する第2部材を移動することと、
前記第2上面が面する第1空間及び前記第2下面が面する第2空間の少なくとも一方からの前記液体の少なくとも一部を前記第1回収部から回収することと、
を実行させるプログラム。 - 請求項69に記載のプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
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