JP2015505869A

JP2015505869A - Coated color conversion particles and related devices, systems, and methods

Info

Publication number: JP2015505869A
Application number: JP2014544799A
Authority: JP
Inventors: ワトキンス，チャールズ，エム．
Original assignee: マイクロンテクノロジー，インク．
Priority date: 2011-11-30
Filing date: 2012-11-26
Publication date: 2015-02-26
Also published as: CN103958619A; EP2785799B1; KR101625776B1; WO2013081968A1; TWI497775B; US8816371B2; CN103958619B; KR20140102246A; TW201332163A; EP2785799A4; EP3689975A1; US20130134460A1; EP2785799A1

Abstract

コーティングされた色変換粒子、ならびに関連したデバイス、システム、および方法が本明細書に開示される。コーティングされた色変換粒子のコーティングは、例えば、フッ素化パリレン（例として、パリレンＡＦ−４）などのパリレンを含むことができる。特定の実施形態では、コーティングは、コーティングされた色変換粒子の粒子コアの色変換材料を有害な反応から保護するように構成され得る。例えば、コーティングは、色変換材料とマトリクス材料との間、または色変換材料とマトリクスを通じて拡散し得る環境構成成分との間の有害な反応を防ぎ、遅らせ、またはさもなければ抑制することができる。特定の実施形態では、コーティングされた色変換粒子は、マトリクス（例えば、概ね光学的に透過性のマトリクス）に組み込まれて、複合材料を形成することができる。複合材料は、例えば、放射線トランスデューサとともに使用され得る。コーティングされた色変換粒子と関連付けられた方法は、例えば、相対浮力を使用して許容可能なコーティングを有するコーティングされた色変換粒子を許容できないコーティングを有するコーティングされた色変換粒子から分離することを含むことができる。【選択図】図６Coated color conversion particles and related devices, systems, and methods are disclosed herein. The coating of coated color conversion particles can include, for example, parylene such as fluorinated parylene (eg, parylene AF-4). In certain embodiments, the coating may be configured to protect the color conversion material of the particle core of the coated color conversion particles from harmful reactions. For example, the coating can prevent, retard, or otherwise inhibit deleterious reactions between the color conversion material and the matrix material or between the color conversion material and environmental components that can diffuse through the matrix. In certain embodiments, the coated color conversion particles can be incorporated into a matrix (eg, a generally optically transmissive matrix) to form a composite material. The composite material can be used with, for example, a radiation transducer. A method associated with coated color conversion particles can, for example, use relative buoyancy to separate coated color conversion particles having an acceptable coating from coated color conversion particles having an unacceptable coating. Can be included. [Selection] Figure 6

Description

本技術は、コーティングされた色変換粒子などの色変換粒子、ならびに関連したデバイス、システム、および方法に関する。具体的には、本技術は、パリレンコーティングされた色変換粒子、パリレンコーティングされた色変換粒子を含む固体放射線トランスデューサデバイスの素子、ならびに関連したデバイス、システム、および方法に関する。 The present technology relates to color conversion particles, such as coated color conversion particles, and related devices, systems, and methods. Specifically, the present technology relates to parylene-coated color conversion particles, elements of solid-state radiation transducer devices that include parylene-coated color conversion particles, and related devices, systems, and methods.

色変換材料（例えば、蛍光体材料）は、ある特定の波長で光を吸収し、異なる波長で光を放出する。色変換材料を含む光学素子は、携帯電話、デジタルカメラ、またはテレビなど、照明デバイスおよび電子表示を有するデバイスを含む様々な電子デバイスで使用される。多くのこのようなデバイスでは、色変換材料は、固体放射線トランスデューサ（「ＳＳＲＴ」）とともに使用される。ＳＳＲＴの例としては、発光ダイオード、有機発光ダイオード、およびポリマー発光ダイオードが挙げられる。一般的な用途では、色変換材料は、追加の波長または異なる波長を含むようにＳＳＲＴから出力された光を改質するために使用される。ＳＳＲＴは典型的に、狭い範囲の波長を有する光を放出する。色変換材料は、放出された光のうちの一部またはすべてを吸収し、それを異なる範囲の波長を有する光に変換することができる。例えば、いくつかのＳＳＲＴデバイスは、青色光を放出するＳＳＲＴと、青色光の一部を吸収し、それを黄色光に変換する色変換材料とを含む。ＳＳＲＴからの青色光と色変換材料からの黄色光との組み合わせにより、白く見え得る。この目的に有用な既知の色変換材料としては、セリウムなどの希土類元素でドープされたイットリウムアルミニウムガーネット（ＹＡＧ）が挙げられる。 Color conversion materials (eg, phosphor materials) absorb light at one particular wavelength and emit light at a different wavelength. Optical elements including color conversion materials are used in a variety of electronic devices, including lighting devices and devices with electronic displays, such as cell phones, digital cameras, or televisions. In many such devices, a color conversion material is used with a solid state radiation transducer (“SSRT”). Examples of SSRTs include light emitting diodes, organic light emitting diodes, and polymer light emitting diodes. In common applications, color conversion materials are used to modify light output from SSRTs to include additional or different wavelengths. SSRTs typically emit light having a narrow range of wavelengths. The color conversion material can absorb some or all of the emitted light and convert it to light having a different range of wavelengths. For example, some SSRT devices include an SSRT that emits blue light and a color conversion material that absorbs a portion of the blue light and converts it to yellow light. The combination of blue light from SSRT and yellow light from the color conversion material can appear white. Known color conversion materials useful for this purpose include yttrium aluminum garnet (YAG) doped with rare earth elements such as cerium.

色変換材料は、電子デバイスを製造するのに使用される他のほとんどの材料よりもかなりの程度まで経時的に劣化する傾向がある。例えば、ある特定の色変換材料は、その環境下で酸素または水と反応しやすい。このような反応は、色変換材料の特性を変化させる可能性があり、これは、色変換材料を含む電子デバイスの効率を低下させ得る。さらに、色変換材料は、使用前に小さな粒子に粉砕されることが多く、これは典型的に、それらの光学特性を改善するが、同様に劣化に対する感受性を高める。数多くの小さな粒子の形態における大量の色変換材料は、ブロックなどの単一構造の形態における同じ量の色変換材料より有害な反応に利用可能な極めて大きな表面積を有する。ある特定の用途における粒径の選択は、粒径を縮小して光学特性を高めることと、粒径を拡大して劣化を遅らせることとのトレードオフであり得る。 Color conversion materials tend to degrade over time to a much greater extent than most other materials used to manufacture electronic devices. For example, certain color conversion materials are prone to react with oxygen or water in their environment. Such reactions can change the properties of the color conversion material, which can reduce the efficiency of electronic devices that include the color conversion material. In addition, color conversion materials are often ground into small particles before use, which typically improves their optical properties, but also increases susceptibility to degradation. Large amounts of color conversion material in the form of many small particles have a much larger surface area available for detrimental reactions than the same amount of color conversion material in the form of a single structure such as a block. The choice of particle size in a particular application can be a trade-off between reducing the particle size to enhance optical properties and increasing the particle size to delay degradation.

いくつかのＳＳＲＴデバイスで使用される色変換材料は、特に劣化しやすい。色変換材料および他の感度構造を保護するために、ＳＳＲＴデバイスは、封止材マトリクスなど、色変換材料の周囲にマトリクスを含むことができる。例えば、封止材マトリクスは、回路への電気的接続に対するリード線または他の接点を除いて、ＳＳＲＴデバイスの高感度素子を取り囲むことができる。一般的なマトリクス材料としては、シリコーンおよびエポキシが挙げられる。封止材マトリクスに組み込まれるにもかかわらず、色変換材料はさらに劣化し、これは、色変換材料を含む電気デバイスの信頼性および寿命に悪影響を及ぼし得る。したがって、色変換材料の信頼性および寿命を改善するなど、色変換材料に関する技術革新に対する継続的な必要性が存在する。 Color conversion materials used in some SSRT devices are particularly susceptible to degradation. To protect the color conversion material and other sensitive structures, the SSRT device can include a matrix around the color conversion material, such as an encapsulant matrix. For example, the encapsulant matrix can surround the sensitive elements of the SSRT device, except for leads or other contacts for electrical connection to the circuit. Common matrix materials include silicone and epoxy. Despite being incorporated into the encapsulant matrix, the color conversion material is further degraded, which can adversely affect the reliability and lifetime of electrical devices that include the color conversion material. Accordingly, there is a continuing need for innovations relating to color conversion materials, such as improving the reliability and life of color conversion materials.

本開示の多くの態様は、以下の図面を参照することにより良く理解することができる。図面における素子は、必ずしも一定の比率の縮尺ではない。その代わりに、本開示の原理を明確に例示することに重点が置かれている。図面では、同じ参照番号は、いくつかの図にわたる対応する部分を示す。 Many aspects of the disclosure can be better understood with reference to the following drawings. Elements in the drawings are not necessarily to scale. Instead, emphasis is placed on clearly illustrating the principles of the present disclosure. In the drawings, like reference numerals designate corresponding parts throughout the several views.

本技術のいくつかの実施形態に従って構成されたコーティングされた色変換粒子の部分概略断面図である。FIG. 2 is a partial schematic cross-sectional view of a coated color conversion particle configured in accordance with some embodiments of the present technology. 本技術のいくつかの実施形態に従って構成されたコーティングされた色変換粒子を作製するためのシステムのブロック図である。FIG. 3 is a block diagram of a system for making coated color conversion particles configured in accordance with some embodiments of the present technology. 本技術のいくつかの実施形態に従って構成された蒸着チャンバの部分概略断面図である。2 is a partial schematic cross-sectional view of a deposition chamber configured in accordance with some embodiments of the present technology. FIG. 本技術のいくつかの実施形態に従って構成されたセパレータの部分概略断面図である。2 is a partial schematic cross-sectional view of a separator configured in accordance with some embodiments of the present technology. FIG. 本技術のいくつかの実施形態に従って構成された概ね気密の容器内のコーティングされた色変換粒子の部分概略断面図である。2 is a partial schematic cross-sectional view of coated color conversion particles in a generally airtight container configured in accordance with some embodiments of the present technology. FIG. 本技術のいくつかの実施形態に従って構成されたコーティングされた色変換粒子を含むＳＳＲＴデバイスの部分概略断面図である。1 is a partial schematic cross-sectional view of an SSRT device including coated color conversion particles configured in accordance with some embodiments of the present technology.

本技術は、パリレンコーティングされた色変換粒子を含む色変換粒子に関するデバイス、システム、および方法を対象とする。色変換粒子は典型的に、電子デバイスでの使用前に封止材マトリクスに組み込まれる。しかしながら、上述のように、封止材マトリクス内の色変換粒子の色変換材料は、さらに劣化しやすい可能性がある。例えば、マトリクスは、反応性環境構成成分に浸透性があり得る。さらに、マトリクス材料と色変換材料との間の反応は、色変換材料の劣化の一因となり得る。色変換材料およびマトリクス材料は大きく異なり、そのため特定の反応の多様性は、この種の劣化と関連付けられ得る。例えば、多くのシリコーンマトリクス材料は、ある特定の色変換材料の有害な反応を触媒し得る硬化マトリクス材料（例えば、白金を含む硬化マトリクス材料）とともに使用される。色変換材料を組み込むデバイス素子（例えば、ＳＳＲＴ）の高い動作温度は、色変換材料とマトリクス材料との間の有害な反応を促進し得る。より小さなＳＳＲＴデバイスの色変換材料は、より大きなＳＳＲＴデバイスの色変換材料より高温にさらされ得る。例えば、より小さなＳＳＲＴデバイスの色変換材料は、より大きなＳＳＲＴデバイスの色変換材料よりも、重要な熱源であり得るＳＳＲＴに近くに位置決めされ得る。したがって、ＳＳＲＴデバイスの寸法が高度な用途に対応するために縮小すると、色変換材料の熱による劣化は、ますます問題になり得る。 The present technology is directed to devices, systems, and methods relating to color conversion particles including parylene-coated color conversion particles. Color conversion particles are typically incorporated into an encapsulant matrix prior to use in an electronic device. However, as described above, the color conversion material of the color conversion particles in the encapsulant matrix may be further deteriorated. For example, the matrix can be permeable to reactive environmental components. Furthermore, the reaction between the matrix material and the color conversion material can contribute to the degradation of the color conversion material. Color conversion materials and matrix materials are very different so that a variety of specific reactions can be associated with this type of degradation. For example, many silicone matrix materials are used with a cured matrix material (eg, a cured matrix material comprising platinum) that can catalyze the detrimental reactions of certain color conversion materials. The high operating temperature of a device element that incorporates a color conversion material (eg, SSRT) can promote deleterious reactions between the color conversion material and the matrix material. Smaller SSRT device color conversion materials may be exposed to higher temperatures than larger SSRT device color conversion materials. For example, the color conversion material of a smaller SSRT device may be positioned closer to the SSRT, which may be an important heat source than the color conversion material of a larger SSRT device. Thus, as the SSRT device dimensions shrink to accommodate advanced applications, thermal degradation of the color conversion material can become increasingly problematic.

色変換粒子を封止材マトリクスに組み込む前、または色変換粒子を封止材マトリクスに組み込んだ後に、色変換粒子の色変換材料と環境構成成分（例えば、酸素または水）との反応は、色変換材料の劣化の一因となり得る。色変換粒子を封止材マトリクスに組み込む前に、色変換粒子は典型的に、概ね気密の容器内に保管されるが、概ね気密の容器が開けられるときに環境構成成分にさらされ得る。色変換粒子が封止材マトリクスに組み込まれた後、環境構成成分は、色変換粒子上もしくはその中に閉じ込められ得るか、または色変換粒子の色変換材料と反応するように封止材マトリクスを通じて拡散し得る。例えば、シリコーンは、ある特定の条件下で環境構成成分に多孔性であり得る。色変換材料と環境構成成分との間の有害な反応としては、例えば、色変換材料の酸化または還元が挙げられ得る。この有害な反応は、標準温度および標準気圧などの様々な条件下で生じ得る。 Before the color conversion particles are incorporated into the encapsulant matrix or after the color conversion particles are incorporated into the encapsulant matrix, the reaction between the color conversion material of the color conversion particles and the environmental component (eg, oxygen or water) It can contribute to the deterioration of the conversion material. Prior to incorporating the color conversion particles into the encapsulant matrix, the color conversion particles are typically stored in a generally airtight container, but may be exposed to environmental components when the generally airtight container is opened. After the color conversion particles are incorporated into the encapsulant matrix, the environmental component can be trapped on or in the color conversion particles or through the encapsulant matrix to react with the color conversion material of the color conversion particles. Can diffuse. For example, silicone can be porous to environmental components under certain conditions. Examples of the harmful reaction between the color conversion material and the environmental component may include oxidation or reduction of the color conversion material. This deleterious reaction can occur under a variety of conditions, such as standard temperature and standard pressure.

本技術のいくつかの実施形態は、パリレンを含むコーティングを有する色変換粒子を含む。ある特定の用途では、本技術のいくつかの実施形態に従って構成されたパリレンを含むコーティングは、コーティングされた色変換粒子の色変換材料の劣化を防ぎ、遅らせ、またはさもなくば抑制することができる。例えば、本技術のいくつかの実施形態に従って構成されたパリレンを含むコーティングは、コーティングされた色変換粒子をマトリクスに組み込む前、その間、またはその後、コーティングされた色変換粒子の色変換材料と環境構成成分（例えば、酸素または水）との間の有害な反応を防ぐ、遅らせる、またはさもなくば抑制することができる。環境構成成分は、標準温度および標準気圧で色変換材料と反応性である環境構成成分であってもよい。コーティングされた色変換粒子がマトリクス内であるとき、マトリクスは、標準温度および標準気圧で環境構成成分に浸透性であってもよい。さらに、本技術のいくつかの実施形態に従って構成されたパリレンを含むコーティングは、コーティングされた色変換粒子を、マトリクス材料を含むマトリクスに組み込む間またはその後、コーティングされた色変換粒子の色変換材料とマトリクス材料との間の有害な反応を防ぎ、遅らせ、または別の方法で抑制することができる。マトリクス材料は、関連した放射線トランスデューサが作動しているとき、マトリクス材料および色変換粒子を含む構造の動作温度および気圧で色変換材料と反応性であるマトリクス材料であってもよい。 Some embodiments of the present technology include color conversion particles having a coating comprising parylene. For certain applications, a coating comprising parylene constructed according to some embodiments of the present technology can prevent, retard, or otherwise inhibit degradation of the color conversion material of the coated color conversion particles. . For example, a coating comprising parylene constructed according to some embodiments of the present technology may include a color conversion material and environmental configuration of the coated color conversion particles before, during, or after the coated color conversion particles are incorporated into the matrix. It can prevent, retard or otherwise inhibit harmful reactions between components (eg, oxygen or water). The environmental component may be an environmental component that is reactive with the color conversion material at standard temperature and pressure. When the coated color conversion particles are in a matrix, the matrix may be permeable to environmental components at standard temperature and pressure. Further, the coating comprising parylene constructed in accordance with some embodiments of the present technology may include a color conversion material of the coated color conversion particles during or after incorporation of the coated color conversion particles into a matrix including the matrix material. Adverse reactions with the matrix material can be prevented, delayed, or otherwise suppressed. The matrix material may be a matrix material that is reactive with the color conversion material at the operating temperature and pressure of the structure comprising the matrix material and the color conversion particles when the associated radiation transducer is in operation.

図１は、本技術のいくつかの実施形態に従って構成されたコーティングされた色変換粒子１００の部分概略断面図である。コーティングされた色変換粒子１００は、粒子コア１０２と、コーティング１０４とを含む。粒子コア１０２は、色変換材料を含む。例えば、粒子コア１０２は、色変換材料の固体塊であってもよく、または１つ以上の他の材料と組み合わせて色変換材料を含むことができる。粒子コア１０２が非色変換材料を含むとき、色変換材料は、非色変換材料にコーティングされる、非色変換材料内に位置決めされる（例えば、非色変換材料内に分散され）、非色変換材料と均一に混合さる、非色変換材料と不均一に混合される、またはさもなくば非色変換材料と融合されてもよい。 FIG. 1 is a partial schematic cross-sectional view of a coated color conversion particle 100 constructed in accordance with some embodiments of the present technology. Coated color conversion particle 100 includes a particle core 102 and a coating 104. The particle core 102 includes a color conversion material. For example, the particle core 102 may be a solid mass of color conversion material or may include the color conversion material in combination with one or more other materials. When the particle core 102 includes a non-color conversion material, the color conversion material is positioned within the non-color conversion material (e.g., dispersed within the non-color conversion material) and non-colored It may be mixed uniformly with the conversion material, non-uniformly mixed with the non-color conversion material, or otherwise fused with the non-color conversion material.

色変換材料は、発光を示す蛍光体材料などの様々な好適な材料のいずれかであってもよい。本技術のいくつかの実施形態に従って構成されたコーティング１０４は、任意の好適な種類の色変換材料と適合する。本技術のいくつかの実施形態では、粒子コア１０２内の色変換材料は、ドープされたイットリウムアルミニウムガーネット（ＹＡＧ）またはドープされたルテチウムアルミニウムガーネット（ＬｕＡＧ）など、ドープされたガーネットである。例えば、色変換材料は、セリウム（ＩＩＩ）ドープＹＡＧ、ネオジムドープＹＡＧ、ネオジム−クロム二重ドープＹＡＧ、エルビウムドープＹＡＧ、イッテルビウムドープＹＡＧ、ネオジム−セリウム二重ドープＹＡＧ、ホルミウム−クロム−ツリウム三重ドープＹＡＧ、ツリウムドープＹＡＧ、クロム（ＩＶ）ドープＹＡＧ、ジスプロシウムドープＹＡＧ、サマリウムドープＹＡＧ、またはテルビウムドープＹＡＧであってもよい。ドープされた色変換材料は、ドープされていない色変換材料よりもマトリクス材料または環境構成成分（例えば、酸素または水）との有害な反応の影響を受けやすい場合がある。ガーネットの色変換材料は典型的に、他の色変換材料より劣化に対して耐性があるが、本技術のいくつかの実施形態のうちの１つによってコーティングされるときに、信頼性および寿命をさらに改善することができる。本技術の少なくともいくつかの実施形態では、粒子コア１０２は、ガーネットの色変換材料より劣化の影響を受けやすい色変換材料など、異なる色変換材料を含むことができる。他の色変換材料の例としては、当該技術分野において既知のもの、例えば、好適なドープされたケイ酸塩およびドープされていないケイ酸塩（例えば、バリウム、カルシウム、ストロンチウム、およびマグネシウムのユーロピウムドープケイ酸塩）、窒化物、窒化ケイ素（例えば、カルシウムおよびアルミニウムのユーロピウムドープ窒化ケイ素）、ならびに硫化物（例えば、硫化亜鉛）が挙げられる。本技術のいくつかの実施形態に従って構成された粒子コア１０２の色変換材料は、様々な光学特性を有することができる。本技術のいくつかの実施形態では、粒子コア１０２は、約４００ｎｍ〜約８００ｎｍ、例えば、約５００ｎｍ〜約７００ｎｍ、または約５２０ｎｍ〜約５８０ｎｍの発光ピークを有する色変換材料を含む。 The color conversion material may be any of a variety of suitable materials such as phosphor materials that emit light. The coating 104 constructed in accordance with some embodiments of the present technology is compatible with any suitable type of color conversion material. In some embodiments of the present technology, the color conversion material in the particle core 102 is a doped garnet, such as doped yttrium aluminum garnet (YAG) or doped lutetium aluminum garnet (LuAG). For example, the color conversion material is cerium (III) doped YAG, neodymium doped YAG, neodymium-chromium double doped YAG, erbium doped YAG, ytterbium doped YAG, neodymium-cerium double doped YAG, holmium-chromium-thulium triple doped YAG , Thulium doped YAG, chromium (IV) doped YAG, dysprosium doped YAG, samarium doped YAG, or terbium doped YAG. Doped color conversion materials may be more susceptible to harmful reactions with matrix materials or environmental components (eg, oxygen or water) than undoped color conversion materials. Garnet color conversion materials are typically more resistant to degradation than other color conversion materials, but provide reliability and longevity when coated by one of several embodiments of the technology. Further improvements can be made. In at least some embodiments of the present technology, the particle core 102 can include a different color conversion material, such as a color conversion material that is more susceptible to degradation than a garnet color conversion material. Examples of other color conversion materials include those known in the art, such as suitable doped and undoped silicates (eg, europium doping of barium, calcium, strontium, and magnesium) Silicates), nitrides, silicon nitrides (eg, europium-doped silicon nitride of calcium and aluminum), and sulfides (eg, zinc sulfide). The color conversion material of the particle core 102 constructed according to some embodiments of the present technology can have various optical properties. In some embodiments of the present technology, the particle core 102 includes a color conversion material having an emission peak of about 400 nm to about 800 nm, such as about 500 nm to about 700 nm, or about 520 nm to about 580 nm.

粒子コア１０２は、図示を簡単にするために概ね回転楕円体として図１に示される。本技術のいくつかの実施形態では、粒子コア１０２は、概ね回転楕円体であってもよく、または別の規則的な形状もしくは不規則的な形状を有してもよい。粒子コア１０２はまた、ファセット形成などの様々な表面特性、様々な粗度、および様々な間隙率を有することができる。粒子コア１０２は、様々な大きさを有することができる。例えば、粒子コア１０２は、約１マイクロメートル〜約２００マイクロメートル、例えば、約２マイクロメートル〜約１００マイクロメートル、または約４マイクロメートル〜約５０マイクロメートルの有効径を有することができる。本技術のいくつかの実施形態に従って構成されたコーティング１０４は、任意の好適な形状、表面特性、および大きさの粒子コア１０２と適合する。 The particle core 102 is shown in FIG. 1 as a generally spheroid for ease of illustration. In some embodiments of the present technology, the particle core 102 may be generally spheroid, or may have another regular or irregular shape. The particle core 102 can also have various surface properties such as faceting, various roughness, and various porosity. The particle core 102 can have various sizes. For example, the particle core 102 can have an effective diameter of about 1 micrometer to about 200 micrometers, such as about 2 micrometers to about 100 micrometers, or about 4 micrometers to about 50 micrometers. The coating 104 configured in accordance with some embodiments of the present technology is compatible with the particle core 102 of any suitable shape, surface characteristics, and size.

本技術の特定の実施形態では、コーティング１０４は、パリレンを含むことができる。本明細書で使用されるとき、用語「パリレン」は、式Ｉ、ＩＩ、およびＩＩＩ（下記）のうちの１つまたはこれらの組み合わせを有するポリマーを指す。

式Ｉ

式ＩＩ

式ＩＩＩ
ポリマーは、ホモポリマー、コポリマー、ポリマーブレンド、またはこれらの組み合わせであってもよい。Ｒ_１、Ｒ_２、Ｒ_７、およびＲ_８は各々、独立に水素、アルキル、ヘテロアルキル、アリール、およびハロゲンから選択されてもよい。アルキルは、１〜６個の炭素を有する炭化水素ラジカルであってもよい。ハロゲンは、塩素、フッ素、臭素、およびヨウ素であってもよい。ヘテロアルキルは、酸素、硫黄、窒素、ケイ素、およびリンなど、少なくとも１つのヘテロ原子を有するアルキル置換基であってもよい。本技術のいくつかの実施形態では、Ｒ_１、Ｒ_２、Ｒ_７、およびＲ_８のうちの１つ、２つ、３つ、または４つすべては、フッ素である。Ｒ_３〜Ｒ_６は各々、独立に水素、アルキル、アリール、ハロゲン、ヘテロアルキル、ヒドロキシル、アミノ、アルキルアミノ、アリールアミノ、アロイルアミノ、カルバモイルアミノ、アリールオキシ、アシル、チオ、アルキルチオ、シアノ、およびアルコキシから選択されてもよい。本技術のいくつかの実施形態では、Ｒ_３〜Ｒ_６は、独立にハロゲンおよび１〜６個の炭素を有するアルキルから選択される。Ｒ_３〜Ｒ_６のうちの１つ以上はまた、アミノ、チオ、ヒドロキシ、またはハロ（例えば、クロロまたはフルオロ）など、官能基を含むか、またはそれらであってもよい。 In certain embodiments of the present technology, the coating 104 can include parylene. As used herein, the term “parylene” refers to a polymer having one or a combination of Formulas I, II, and III (below).

Formula I

Formula II

Formula III
The polymer may be a homopolymer, a copolymer, a polymer blend, or a combination thereof. R ₁ , R ₂ , R ₇ , and R ₈ may each be independently selected from hydrogen, alkyl, heteroalkyl, aryl, and halogen. The alkyl may be a hydrocarbon radical having 1 to 6 carbons. The halogen may be chlorine, fluorine, bromine and iodine. A heteroalkyl may be an alkyl substituent having at least one heteroatom such as oxygen, sulfur, nitrogen, silicon, and phosphorus. In some embodiments of the present technology, one, two, three, or all four of R ₁ , R ₂ , R ₇ , and R ₈ are fluorine. R _{3 to} R ₆ are each independently from hydrogen, alkyl, aryl, halogen, heteroalkyl, hydroxyl, amino, alkylamino, arylamino, aroylamino, carbamoylamino, aryloxy, acyl, thio, alkylthio, cyano, and alkoxy It may be selected. In some embodiments of the present technology, R _{3 to} R ₆ are independently selected from halogen and alkyl having 1 to 6 carbons. One or more of R _{3 to} R ₆ may also contain or be a functional group such as amino, thio, hydroxy, or halo (eg, chloro or fluoro).

本技術のいくつかの実施形態での使用に好適な特定のパリレンの例が下記に示される。

パリレンＮ

パリレンＣ

パリレンＤ

パリレンＡＦ−４

パリレンＮ、パリレンＣ、パリレンＤ、パリレンＡＦ−４、これらのパリレンの前駆体（例えば、二量体）、および好適な蒸着工具は、例えば、ＳｐｅｃｉａｌｔｙＣｏａｔｉｎｇＳｙｓｔｅｍｓ（Ｉｎｄｉａｎａｐｏｌｉｓ，Ｉｎｄｉａｎａ）およびＫｉｓｃｏＣｏｎｆｏｒｍａｌＣｏａｔｉｎｇｓ（Ｔｏｋｙｏ，Ｊａｐａｎ）から入手可能である。本技術のいくつかの実施形態では、コーティング１０４は、フッ素化パリレンを含む。フッ素化パリレンでは、式Ｉ〜ＩＩＩ（上記）におけるＲ_１、Ｒ_２、Ｒ_７、およびＲ_８のうちの１つ以上は、フッ素である。パリレンＡＦ−４は、フッ素化パリレンの一例である。パリレンＡＦ−４は、例えば、ＳｐｅｃｉａｌｔｙＣｏａｔｉｎｇＳｙｓｔｅｍｓ（Ｉｎｄｉａｎａｐｏｌｉｓ，Ｉｎｄｉａｎａ）からのＰＡＲＹＬＥＮＥＨＴとして入手可能である。 Examples of specific parylenes suitable for use in some embodiments of the technology are shown below.

Parylene N

Parylene C

Parylene D

Parylene AF-4

Parylene N, Parylene C, Parylene D, Parylene AF-4, precursors of these parylenes (eg, dimers), and suitable deposition tools are, for example, Specialty Coating Systems (Indianapolis, Indiana) and Kisco Conformal Coatings ( (Tokyo, Japan). In some embodiments of the present technology, the coating 104 includes fluorinated parylene. In fluorinated parylene, one or more of R ₁ , R ₂ , R ₇ , and R ₈ in Formulas I-III (above) is fluorine. Parylene AF-4 is an example of fluorinated parylene. Parylene AF-4 is available, for example, as PARYLENE HT from Specialty Coating Systems (Indianapolis, Indiana).

パリレンは、色変換材料を有害な反応から保護するために特に効果的であり得る。パリレンは典型的に、ほぼすべての溶媒、酸類、塩基類、および他の反応性材料に対して化学的に不活性である。パリレンはまた、典型的に、強疎水性であり、環境構成成分（例えば、酸素または水）の拡散に有効な障壁を提供する。加えて、パリレンは典型的に、光学的に透明であり、光学的に活性化された色変換材料の効率に有害ではない。しかしながら、パリレンが典型的に、非常に低い誘電率を有するため、パリレンは、電気的に活性化された色変換材料の動作を妨げ得る。他のパリレンと比較すると、パリレンＡＦ−４などのフッ素化パリレンは、酸化劣化および紫外線にさらすことによる劣化に対するより大きな耐性を有することができる。これらおよび他の理由で、パリレンＡＦ−４などのフッ素化パリレンは、ＳＳＲＴデバイスの色変換材料との使用に特によく適している可能性がある。 Parylene can be particularly effective to protect the color conversion material from harmful reactions. Parylene is typically chemically inert to almost all solvents, acids, bases, and other reactive materials. Parylene is also typically strongly hydrophobic and provides an effective barrier to the diffusion of environmental components (eg, oxygen or water). In addition, parylene is typically optically clear and not detrimental to the efficiency of optically activated color conversion materials. However, since parylene typically has a very low dielectric constant, parylene can interfere with the operation of an electrically activated color conversion material. Compared to other parylenes, fluorinated parylenes such as parylene AF-4 can have greater resistance to oxidative degradation and degradation due to exposure to ultraviolet light. For these and other reasons, fluorinated parylenes such as parylene AF-4 may be particularly well suited for use with color conversion materials in SSRT devices.

本技術のいくつかの実施形態に従って構成されたコーティング１０４は、粒子コア１０２を概ね取り囲むことができる。本技術のいくつかの実施形態では、コーティング１０４は、連続的であり、概ね連続的であり、欠陥がなく、または概ね欠陥がない。欠陥は、例えば、ピンホール、亀裂、または他の穴であり得る。パリレンは、連続的かつ欠陥がないコーティング１０４の形成に特によく適している。他のコーティング材料と比較すると、パリレンは、表面特徴に対する優れた適合性を有する特に均一なコーティング１０４を形成することができる。連続的であり、概ね連続的であり、欠陥がなく、または概ね欠陥がないコーティング１０４は典型的に、連続性が低いかまたは欠陥がないことが少ないコーティングよりも粒子コア１０２内の色変換材料を保護するのに効果的である。コーティング１０４における穴は、粒子コア１０２の色変換材料を保護するためのコーティングの有効性を低下させ得る。例えば、有害な反応は、穴の部位で生じる可能性があり、これは、穴の部位の周囲のコーティング１０４と粒子コア１０２との結合を引き裂き得る。これは、穴を広げ、有害な反応を粒子コア１０２の表面の追加の部分で生じさせ得る。 A coating 104 configured in accordance with some embodiments of the present technology can generally surround the particle core 102. In some embodiments of the present technology, the coating 104 is continuous, generally continuous, defect free, or generally defect free. The defect can be, for example, a pinhole, crack, or other hole. Parylene is particularly well suited for forming a continuous and defect-free coating 104. Compared to other coating materials, parylene can form a particularly uniform coating 104 with excellent compatibility with surface features. A coating 104 that is continuous, generally continuous, defect-free or generally defect-free typically has a color conversion material within the particle core 102 that is less continuous or less defect-free. It is effective in protecting. Holes in the coating 104 can reduce the effectiveness of the coating to protect the color conversion material of the particle core 102. For example, detrimental reactions can occur at the hole site, which can tear the bond between the coating 104 and the particle core 102 around the hole site. This widens the holes and can cause harmful reactions in additional portions of the surface of the particle core 102.

本技術のいくつかの実施形態では、コーティング１０４は、０．１マイクロメートル超（例えば、０．１マイクロメートル〜約１００マイクロメートル）、約０．１１マイクロメートル超（例えば、約０．１１マイクロメートル〜約１００マイクロメートル）、約０．２マイクロメートル超（例えば、約０．２マイクロメートル〜約５０マイクロメートル）、または約０．４マイクロメートル超（例えば、約０．４マイクロメートル〜約１０マイクロメートル）の平均厚さを有する。一般に、より厚いコーティング１０４（例えば、０．１マイクロメートルより厚いコーティング）は、連続的であり、概ね連続的であり、欠陥がなく、または概ね欠陥がない可能性がより高い。上述のように、このようなコーティング１０４は、連続性が低いかまたは欠陥がないことが少ないコーティングよりも粒子コア１０２内の色変換材料をさらに保護することができる。加えてまたは代わりに、より厚いコーティング１０４（例えば、０．１マイクロメートルより厚いコーティング）は、より薄いコーティングよりも粒子コア１０２内の色変換材料との有害な反応ができるマトリクス材料および／または環境構成成分の拡散からのさらなる保護を提供することができる。さらに、ある特定の用途では、封止材マトリクスなどのマトリクス内の色変換材料を分散させることが望ましい。コーティング１０４は、個々の粒子コア１０２の分離を促進することができる。限られた数の用途では、非常に高い厚みで、コーティング１０４は、特定の大きさのマトリクス内の粒子コア１０２の潜在的な濃度を制限することができる。したがって、いくつかの実施形態では、コーティング１０４は、約１００マイクロメートル未満（例えば、約５０マイクロメートル未満または約１０マイクロメートル未満）の厚さを有する。 In some embodiments of the present technology, the coating 104 is greater than 0.1 micrometers (eg, 0.1 micrometers to about 100 micrometers), greater than about 0.11 micrometers (eg, about 0.11 micrometers). Meter to about 100 micrometers), greater than about 0.2 micrometers (eg, from about 0.2 micrometers to about 50 micrometers), or greater than about 0.4 micrometers (eg, from about 0.4 micrometers to about An average thickness of 10 micrometers). In general, a thicker coating 104 (eg, a coating thicker than 0.1 micrometers) is continuous, generally continuous, and is more likely to be defect-free or generally defect-free. As described above, such a coating 104 can further protect the color conversion material in the particle core 102 than a coating that is less continuous or less defective. In addition or alternatively, a thicker coating 104 (e.g., a coating thicker than 0.1 micrometers) can have a more detrimental reaction with the color conversion material in the particle core 102 than a thinner coating and / or environment. Additional protection from component diffusion can be provided. Furthermore, for certain applications, it is desirable to disperse color conversion materials within a matrix, such as an encapsulant matrix. The coating 104 can facilitate separation of the individual particle cores 102. For a limited number of applications, with a very high thickness, the coating 104 can limit the potential concentration of the particle core 102 within a particular size matrix. Thus, in some embodiments, the coating 104 has a thickness of less than about 100 micrometers (eg, less than about 50 micrometers or less than about 10 micrometers).

コーティングされた色変換粒子１００を形成することは、大量の色変換材料を粉砕することなどによって粒子コア１０２を形成することを含むことができる。好適な粒子コア１０２は、Ｉｎｔｅｍａｔｉｘ（Ｆｒｅｍｏｎｔ，ＣＡ）から入手可能である。様々なプロセスが、コーティング１０４を形成するために使用されてもよい。本技術のいくつかの実施形態では、化学蒸着（ＣＶＤ）の変形形態が、コーティング１０４を形成するために使用される。コーティング１０４を形成するための他のプロセスとしては、原子層蒸着、熱蒸発蒸着、物理蒸着、スプレーコーティング、および浸漬コーティングが挙げられる。パリレンは、ＣＶＤに特によく適している可能性がある。本技術のいくつかの実施形態では、パリレン前駆体（例えば、二量体）が蒸発され、次いで粒子コア１０２の表面上で重合するパリレンのモノマーラジカルに変換される。パリレンのモノマーラジカルが分子的に蒸着されるため、結果として得られるコーティング１０４は、特に高い純度、均一性、および粒子コア１０２の表面特徴に対する適合性を有することができる。パリレン前駆体内の汚染物質は典型的に、パリレン前駆体の蒸発後に廃棄物固体として取り残される。 Forming the coated color conversion particles 100 can include forming the particle core 102, such as by grinding a large amount of color conversion material. A suitable particle core 102 is available from Intematix (Fremont, CA). Various processes may be used to form the coating 104. In some embodiments of the present technology, a chemical vapor deposition (CVD) variant is used to form the coating 104. Other processes for forming the coating 104 include atomic layer deposition, thermal evaporation deposition, physical vapor deposition, spray coating, and dip coating. Parylene may be particularly well suited for CVD. In some embodiments of the present technology, parylene precursors (eg, dimers) are evaporated and then converted to parylene monomer radicals that polymerize on the surface of the particle core 102. Due to the molecular deposition of parylene monomer radicals, the resulting coating 104 can have particularly high purity, uniformity, and compatibility with the surface characteristics of the particle core 102. Contaminants within the parylene precursor are typically left behind as a solid waste after evaporation of the parylene precursor.

図２は、コーティング１０４を形成するように構成されたシステム１５０のブロック図である。システム１５０は、入口１５２と、蒸発チャンバ１５４と、変換チャンバ１５６と、蒸着チャンバ１５８と、出口１６０とを含む。パリレン前駆体（例えば、二量体）は、入口１５２を通ってシステム１５０の中に導入され得る。本技術の実施形態では、パリレン前駆体は、単一塊または粒子の凝集（例えば、粉末または薄片）の形態で固体であり得る。例えば、パリレン前駆体を蒸発チャンバ１５４の中に導入するためにボートが使用されてもよい。蒸発チャンバ１５４は、パイプなどの導管であってもよい。蒸発チャンバ１５４の動作温度および気圧は、パリレン前駆体の物理特性によって選択されてもよい。例えば、蒸発チャンバ１５４の動作温度および気圧は、パリレン前駆体の気相に対応するために選択されてもよい。蒸発後、パリレン前駆体は、パリレンのモノマーラジカルに変換するために変換チャンバ１５６の中に移動することができる。熱は単独で、大部分のパリレン前駆体をパリレンのモノマーラジカルに変換するのに十分であり得る。本技術のいくつかの実施形態では、パリレン前駆体の揮発およびパリレンのモノマーラジカルへのパリレン前駆体の変換は、同じチャンバ内で生じる。しかしながら、これらのプロセスのステップの分離は、不要な蒸着を減少させる（例えば、最小限に抑える）のに有用であり得る。 FIG. 2 is a block diagram of a system 150 configured to form the coating 104. System 150 includes an inlet 152, an evaporation chamber 154, a conversion chamber 156, a deposition chamber 158, and an outlet 160. Parylene precursor (eg, dimer) may be introduced into system 150 through inlet 152. In embodiments of the present technology, the parylene precursor may be solid in the form of a single mass or agglomeration of particles (eg, powder or flakes). For example, a boat may be used to introduce the parylene precursor into the evaporation chamber 154. The evaporation chamber 154 may be a conduit such as a pipe. The operating temperature and pressure of the evaporation chamber 154 may be selected according to the physical properties of the parylene precursor. For example, the operating temperature and pressure of the evaporation chamber 154 may be selected to accommodate the vapor phase of the parylene precursor. After evaporation, the parylene precursor can be moved into the conversion chamber 156 for conversion to parylene monomer radicals. The heat alone may be sufficient to convert most parylene precursors to parylene monomer radicals. In some embodiments of the technology, the volatilization of the parylene precursor and the conversion of the parylene precursor to the parylene monomer radical occurs in the same chamber. However, the separation of these process steps can be useful in reducing (eg, minimizing) unnecessary deposition.

変換チャンバ１５６の動作温度は、例えば、約６５０℃〜約８００℃であってもよい。特定の動作温度は、蒸着されるパリレンの種類によって選択されてもよい。例えば、変換チャンバ１５６の動作温度は、パリレンＡＦ−４のモノマーを形成するために約７５０℃であってもよい。いくつかの実施形態では、システム１５０の複数の部分は、真空下で動作されてもよい（例えば、蒸発チャンバ１５４、変換チャンバ１５６、および蒸着チャンバ１５８内の気圧は、継続的にポンプで下げられてもよい）。ポンプは、真空を維持するために含まれてもよい。いくつかの実施形態では、蒸着チャンバ１５８は、ポンプに最も近く、蒸発チャンバ１５４は、ポンプから最も遠く、変換チャンバ１５６は、ポンプに対して蒸着チャンバ１５８と蒸発チャンバ１５４との間である。 The operating temperature of the conversion chamber 156 may be, for example, about 650 ° C. to about 800 ° C. The specific operating temperature may be selected depending on the type of parylene deposited. For example, the operating temperature of the conversion chamber 156 may be about 750 ° C. to form parylene AF-4 monomer. In some embodiments, portions of the system 150 may be operated under vacuum (e.g., the atmospheric pressure in the evaporation chamber 154, the conversion chamber 156, and the deposition chamber 158 is continuously pumped down). May be) A pump may be included to maintain a vacuum. In some embodiments, the deposition chamber 158 is closest to the pump, the evaporation chamber 154 is furthest from the pump, and the conversion chamber 156 is between the deposition chamber 158 and the evaporation chamber 154 with respect to the pump.

システム１５０では、パリレンのモノマーラジカルは、蒸着チャンバ１５８の中に移動する。粒子コア１０２などのコーティングされる構造は、蒸着チャンバ１５８に予め搭載されてもよい。蒸着チャンバ１５８は、パリレンのモノマーラジカルにパリレンを粒子コア１０２上に形成させるのに十分な温度および気圧で動作されてもよい。いくつかのパリレンに関して、蒸着チャンバ１５８の動作温度は、標準温度であってもよい。典型的に、蒸着チャンバ１５８は、強真空（例えば、約０．１トール）下で動作され、パリレンのモノマーラジカルが蒸着チャンバ内に蒸気圧のほぼすべてを提供する。パリレンのモノマーラジカルを含む蒸気は、蒸着チャンバ１５８の中に継続的に導入され、出口１６０を通って取り出され得る。出口１６０における真空のレベルは、蒸着チャンバ１５８内のパリレンのモノマーラジカルの滞留時間を制御するために使用されてもよい。滞留時間は、蒸着されているパリレンの蒸着速度によって選択されてもよい。パリレンＡＦ−４などのフッ素化パリレンは典型的に、非フッ素化パリレンよりゆっくりと蒸着する。遅い蒸着は、コーティング１０４の均一性を高めることによって、または蒸着中に動いている個々の粒子コア１０２が互いにもしくは蒸着チャンバ１５８の内部表面に張り付く可能性を減少させることによるなど、コーティング１０４の品質を改善することができる。 In the system 150, parylene monomer radicals move into the deposition chamber 158. The structure to be coated, such as the particle core 102 may be preloaded in the deposition chamber 158. The deposition chamber 158 may be operated at a temperature and pressure sufficient to cause parylene monomer radicals to form parylene on the particle core 102. For some parylenes, the operating temperature of the deposition chamber 158 may be a standard temperature. Typically, the deposition chamber 158 is operated under a strong vacuum (eg, about 0.1 Torr), and the parylene monomer radical provides nearly all of the vapor pressure within the deposition chamber. Vapor containing parylene monomer radicals can be continuously introduced into the deposition chamber 158 and removed through outlet 160. The level of vacuum at the outlet 160 may be used to control the residence time of parylene monomer radicals in the deposition chamber 158. The residence time may be selected depending on the deposition rate of the parylene being deposited. Fluorinated parylene, such as parylene AF-4, typically deposits more slowly than non-fluorinated parylene. Slow deposition can improve the quality of the coating 104, such as by increasing the uniformity of the coating 104 or by reducing the likelihood that individual particle cores 102 that are moving during deposition will stick to each other or the interior surface of the deposition chamber 158. Can be improved.

本技術の実施形態では、粒子コア１０２は、パリレンのモノマーラジカルの存在下で蒸着チャンバ１５８内に移動されてもよい。これは、コーティング１０４を均一に塗布することを容易にするのに有用であり得る。粒子コア１０２を移動させることとしては、数ある中でも、パリレンのモノマーラジカルを含む蒸気を通って粒子コアをひっくり返すこと、放り投げること、または落とすことが挙げられ得る。あるいは、パリレンのモノマーラジカルを含む蒸気は、粒子コアを流動化させるなどのために、粒子コア１０２を通じて分布されてもよい。蒸着チャンバ１５８はまた、粒子コア１０２がともに張り付くのを防ぐ構造を含んでもよい。例えば、蒸着チャンバ１５８は、遮蔽物を含んでもよい。 In embodiments of the present technology, the particle core 102 may be moved into the deposition chamber 158 in the presence of parylene monomer radicals. This can be useful to facilitate uniform application of the coating 104. Moving the particle core 102 may include, among other things, tipping, throwing, or dropping the particle core through a vapor containing parylene monomer radicals. Alternatively, vapor containing parylene monomer radicals may be distributed through the particle core 102, such as to fluidize the particle core. The deposition chamber 158 may also include structures that prevent the particle cores 102 from sticking together. For example, the deposition chamber 158 may include a shield.

図３は、本技術のいくつかの実施形態に従って構成された蒸着チャンバ１５８の部分概略断面図である。蒸着チャンバ１５８は、ドラム２０２を囲むチャンバ壁２００を含む。チャンバ壁２００のチャンバハッチ２０４およびドラム２０２のドラムハッチ２０６はそれぞれ、ドラムの内部部分へのアクセスを提供することができる。ドラム２０２は、ドラムが回転されるときに粒子コア１０２またはコーティングされた色変換粒子１００を持ち上げおよび落とすように構成された４つのベーン２０８を含む。いくつかの他の実施形態では、ドラム２０２は、異なる数のベーン２０４を含むことができる。蒸着チャンバ１５８はまた、パリレンのモノマーラジカルを含む蒸気中を粒子コア１０２またはコーティングされた色変換粒子１００を移動させるための異なる構造を含むことができる。図３に示されるベーン２０４のうちの１つは、粒子コア１０２またはコーティングされた色変換粒子１００が蒸着中に互いに張り付くのを防ぐようにサイズが決めされた穴を有する遮蔽物２１０を含む。蒸着チャンバ１５８はまた、表面のくぼみ２１４を有するボール２１２を含む。ボール２１２または別の自由運動構造体は、蒸着中に粒子コア１０２またはコーティングされた色変換粒子１００を撹拌するために粒子コアまたはコーティングされた色変換粒子とともにドラム２０２内でタンブルするように構成されてもよい。 FIG. 3 is a partial schematic cross-sectional view of a deposition chamber 158 configured in accordance with some embodiments of the present technology. The deposition chamber 158 includes a chamber wall 200 that surrounds the drum 202. The chamber hatch 204 of the chamber wall 200 and the drum hatch 206 of the drum 202 can each provide access to an internal portion of the drum. The drum 202 includes four vanes 208 configured to lift and drop the particle core 102 or coated color conversion particles 100 as the drum is rotated. In some other embodiments, the drum 202 can include a different number of vanes 204. The deposition chamber 158 can also include different structures for moving the particle core 102 or the coated color conversion particles 100 through a vapor containing parylene monomer radicals. One of the vanes 204 shown in FIG. 3 includes a shield 210 having holes sized to prevent the particle core 102 or coated color conversion particles 100 from sticking together during deposition. The deposition chamber 158 also includes a ball 212 having a surface recess 214. Ball 212 or another free motion structure is configured to tumble in drum 202 with the particle core or coated color conversion particles to agitate particle core 102 or coated color conversion particles 100 during deposition. May be.

個々の粒子コア１０２上に均一にコーティング１０４を蒸着するように注意が払われたにもかかわらず、蒸着プロセスからのいくつかのコーティングされた色変換粒子１００は、欠陥がある場合がある。例えば、いくつかの粒子コア１０２が互いに張り付くまたは蒸着チャンバ１５８の内部表面に張り付き、次いで蒸着プロセス中または後に遊離することを防ぐのが難しいこともある。もし、蒸着プロセス中の張り付いた粒子コア１０２の遊離があまりにも遅いと、蒸着プロセスの一部の間にさらされなかった粒子コアの部分が、コーティングされていないかまたは不十分にコーティングされたままであり得る。蒸着プロセス後に遊離する張り付いた粒子コア１０２に関しても同様である。本技術のいくつかの実施形態は、欠陥があるコーティング１０４を有するコーティングされた色変換粒子１００を他のコーティングされた色変換粒子から分離することを含む。 Despite care being taken to deposit the coating 104 uniformly on the individual particle cores 102, some coated color conversion particles 100 from the deposition process may be defective. For example, it may be difficult to prevent several particle cores 102 from sticking to each other or sticking to the interior surface of the deposition chamber 158 and then liberating during or after the deposition process. If the sticky particle core 102 is released too slowly during the deposition process, the part of the particle core that was not exposed during the part of the deposition process remains uncoated or poorly coated. It can be up to. The same is true for the stuck particle core 102 which is released after the deposition process. Some embodiments of the present technology include separating coated color conversion particles 100 having a defective coating 104 from other coated color conversion particles.

図４は、本技術のいくつかの実施形態に従って構成されたセパレータ２５０の部分概略断面図である。セパレータ２５０は、容器２５４内に分離液２５２を含む。セパレータ２５０内のいくつかのコーティングされた色変換粒子１００は、分離液２５２中に浮いているが、他のコーティングされた色変換粒子は、分離液中に沈んでいる。連続的コーティング１０４を有するコーティングされた色変換粒子１００は典型的に、欠陥があるコーティングを有するコーティングされた色変換粒子より浮力がある。例えば、連続的であるコーティング１０４は、液体を排除するか、またはさもなくばコーティングされた色変換粒子１００に疎水性特質を付与する傾向があり得るが、連続的ではないコーティングは、液体が粒子コア１０２の中に浸透することを可能にする傾向があり得る。色変換材料は、多孔質であり、液体を吸収および／または吸着することができる。コーティングされた色変換粒子１００の色変換材料が液体で部分的または完全に飽和されると、コーティングされた色変換粒子は、液体より重くなり、コーティングされた色変換粒子を沈下させる。 FIG. 4 is a partial schematic cross-sectional view of a separator 250 configured in accordance with some embodiments of the present technology. The separator 250 includes a separation liquid 252 in the container 254. Some of the coated color conversion particles 100 in the separator 250 are floating in the separation liquid 252 while other coated color conversion particles 100 are submerged in the separation liquid. Coated color conversion particles 100 having a continuous coating 104 are typically more buoyant than coated color conversion particles having a defective coating. For example, a coating 104 that is continuous may tend to eliminate liquid or otherwise impart a hydrophobic character to the coated color conversion particles 100, while a non-continuous coating may cause the liquid to become particulate. There may be a tendency to allow penetration into the core 102. The color conversion material is porous and can absorb and / or adsorb liquids. When the color conversion material of the coated color conversion particle 100 is partially or fully saturated with the liquid, the coated color conversion particle becomes heavier than the liquid and causes the coated color conversion particles to sink.

本技術のいくつかの実施形態による浮力に基づいてコーティングされた色変換粒子１００を分離することは、複数のコーティングされた色変換粒子の一部分が浮き、複数のコーティングされた色変換粒子の別の部分が沈むように、複数のコーティングされた色変換粒子を分離液２５２に添加することを含むことができる。複数のコーティングされた色変換粒子１００の浮遊部分は、連続的であるコーティング１０４を有する部分である。複数のコーティングされた色変換粒子１００の非浮遊部分は典型的に、連続的ではないコーティング１０４を有する部分である。分離液２５２は、例えば、極性液体（例えば、水）または無極性液体（例えば、ヘキサン）であってもよい。パリレンは典型的に、強疎水性であり、そのためパリレンを含むコーティング１０４は、無極性液体より極性液体を排除する可能性がより高いことがある。本技術のいくつかの実施形態では、分離液２５２は、コーティング１０４が分離液を排除する可能性を高める極性である。本技術の他の実施形態では、分離液２５２は、コーティング１０４が分離液を排除する可能性を減少させる無極性であり得る。 Separating the coated color conversion particles 100 based on buoyancy according to some embodiments of the present technology causes a portion of the plurality of coated color conversion particles to float and another of the plurality of coated color conversion particles. Adding a plurality of coated color conversion particles to the separation liquid 252 can be included such that the portion sinks. The floating portion of the plurality of coated color conversion particles 100 is a portion having a coating 104 that is continuous. The non-floating portion of the plurality of coated color conversion particles 100 is typically a portion having a coating 104 that is not continuous. The separation liquid 252 may be, for example, a polar liquid (for example, water) or a nonpolar liquid (for example, hexane). Parylene is typically strongly hydrophobic, so a coating 104 that includes parylene may be more likely to exclude polar liquids than nonpolar liquids. In some embodiments of the present technology, the separation liquid 252 is of a polarity that increases the likelihood that the coating 104 will eliminate the separation liquid. In other embodiments of the present technology, the separation liquid 252 may be non-polar, which reduces the likelihood that the coating 104 will eliminate the separation liquid.

本技術の実施形態によるコーティングされた色変換粒子１００を分離することはまた、複数のコーティングされた色変換粒子を撹拌することを含むことができる。例えば、複数のコーティングされた色変換粒子１００は、コーティングされた色変換粒子が分離液２５２に混入される前、またはコーティングされた色変換粒子が分離液内である間に撹拌されてもよい。コーティングされた色変換粒子１００を撹拌することは、ともに張り付いたコーティングされた色変換粒子の一部またはすべてを分離することができる。撹拌することは、例えば、複数のコーティングされた色変換粒子１００をかき混ぜまたは軽く研磨することを含むことができる。複数のコーティングされた色変換粒子１００はまた、大部分の個々のコーティングされた色変換粒子１００の通過を可能にし、かつコーティングされた色変換粒子の大部分の凝集の通過を排除するようにサイズ決めされた穴を有する遮蔽物を使用して遮蔽されてもよい。 Separating the coated color conversion particles 100 according to embodiments of the present technology can also include agitating the plurality of coated color conversion particles. For example, the plurality of coated color conversion particles 100 may be agitated before the coated color conversion particles are mixed into the separation liquid 252 or while the coated color conversion particles are in the separation liquid. Agitation of the coated color conversion particles 100 can separate some or all of the coated color conversion particles stuck together. Agitation can include, for example, stirring or lightly polishing the plurality of coated color conversion particles 100. The plurality of coated color conversion particles 100 is also sized to allow the passage of most individual coated color conversion particles 100 and eliminate the passage of most agglomerates of coated color conversion particles 100. It may be shielded using a shield with a defined hole.

複数のコーティングされた色変換粒子１００の浮遊部分は、複数のコーティングされた色変換粒子の非浮遊部分から分離されてもよい。例えば、複数のコーティングされた色変換粒子１００の浮遊部分は、図４に示されるように、すくい網２５６を使用して分離液２５２にからすくい取られてもよい。他の実施形態では、ラングミュア−ブロジェット蒸着プロセスの変形形態が、コーティングされた色変換粒子１００を複数のコーティングされた色変換粒子１００の浮遊部分から基板上に直接移動させるために使用されてもよい。例えば、基板は、コーティングされた色変換粒子をフィルムから基板に移動させるために、分離液２５２の表面にコーティングされた色変換粒子１００のフィルムと接触して配置されてもよい。 The floating portion of the plurality of coated color conversion particles 100 may be separated from the non-floating portion of the plurality of coated color conversion particles 100. For example, floating portions of the plurality of coated color conversion particles 100 may be scooped into the separation liquid 252 using a scoop net 256, as shown in FIG. In other embodiments, a variation of the Langmuir-Blodget deposition process may be used to move the coated color conversion particles 100 directly from the floating portion of the plurality of coated color conversion particles 100 onto the substrate. Good. For example, the substrate may be placed in contact with the film of color conversion particles 100 coated on the surface of the separation liquid 252 to move the coated color conversion particles from the film to the substrate.

複数のコーティングされた色変換粒子１００の浮遊部分を分離した後、分離液２５２は排出されてもよく、複数のコーティングされた色変換粒子の非浮遊部分は、再利用または廃棄のために回収されてもよい。再生利用は、例えば、複数のコーティングされた色変換粒子１００の非浮遊部分を別の蒸着プロセスにさらすことを含むことができる。複数のコーティングされた色変換粒子１００の浮遊部分は、乾燥され、洗浄され、または保管されてもよい。図５は、コーティングされた色変換粒子を電気デバイスに組み込む前にコーティングされた色変換粒子１００を保管するのに好適な概ね気密の容器３００を図示する。分離ステップで処理されたコーティングされた色変換粒子と、分離ステップなしで処理されたコーティングされた色変換粒子とを含む本技術のいくつかの実施形態に従って構成されたコーティングされた色変換粒子１００は、コーティングされていない色変換粒子より優れた保存期間を有することができる。 After separating the floating portions of the plurality of coated color conversion particles 100, the separation liquid 252 may be drained, and the non-floating portions of the plurality of coated color conversion particles 100 are recovered for reuse or disposal. May be. Recycling can include, for example, exposing a non-floating portion of the plurality of coated color conversion particles 100 to another deposition process. The suspended portions of the plurality of coated color conversion particles 100 may be dried, washed, or stored. FIG. 5 illustrates a generally airtight container 300 suitable for storing coated color conversion particles 100 prior to incorporation of the coated color conversion particles into an electrical device. Coated color conversion particles 100 constructed in accordance with some embodiments of the present technology comprising coated color conversion particles processed with a separation step and coated color conversion particles processed without a separation step are: Can have a better shelf life than uncoated color conversion particles.

本技術の実施形態に従って構成されたコーティングされた色変換粒子１００は、色変換粒子を典型的に含む任意の構造に組み込まれてもよい。例えば、コーティングされた色変換粒子１００は、ＳＳＲＴデバイスまたはこの素子内のマトリクス材料（例えば、シリコーンまたはエポキシ）と混合されてもよい。図６は、本技術のいくつかの実施形態に従って構成されたコーティングされた色変換粒子１００を含むＳＳＲＴデバイス３５０の部分概略断面図である。コーティングされた色変換粒子１００は、ＳＳＲＴ３５４の上およびヒートシンク３５６内に位置決めされたマトリクス３５２に分布される。本技術のいくつかの実施形態では、複数のコーティングされた色変換粒子１００は、ＳＳＲＴ３５４の放射線トランスデューサが作動しているときに色変換粒子およびマトリクス３５２の標準気圧および動作温度などで、複数のコーティングされた色変換粒子の色変換材料と典型的に反応するマトリクス材料と混合される。複数のコーティングされた色変換粒子におけるコーティングされた色変換粒子１００のコーティング１０４は、色変換材料とマトリクス材料との間の反応を防ぎ、遅らせ、またはさもなくば抑制することができる。マトリクス３５２は、色変換材料（例えば、標準温度および標準気圧における）と反応性である環境構成成分（例えば、標準温度および標準気圧における）に浸透性であってもよい。複数のコーティングされた色変換粒子におけるコーティングされた色変換粒子１００のコーティング１０４はまた、色変換材料と環境構成成分との間の反応を防ぎ、遅らせ、またはさもなくば抑制することができる。 Coated color conversion particles 100 configured in accordance with embodiments of the present technology may be incorporated into any structure that typically includes color conversion particles. For example, the coated color conversion particles 100 may be mixed with an SSRT device or a matrix material (eg, silicone or epoxy) within the element. FIG. 6 is a partial schematic cross-sectional view of an SSRT device 350 that includes coated color conversion particles 100 configured in accordance with some embodiments of the present technology. Coated color conversion particles 100 are distributed in a matrix 352 positioned over SSRT 354 and within heat sink 356. In some embodiments of the present technology, the plurality of coated color conversion particles 100 may include a plurality of coatings, such as standard pressure and operating temperature of the color conversion particles and matrix 352 when the SSRT 354 radiation transducer is operating. The mixed color conversion particles are mixed with a matrix material that typically reacts with the color conversion material. The coating 104 of the coated color conversion particle 100 in the plurality of coated color conversion particles can prevent, retard, or otherwise inhibit the reaction between the color conversion material and the matrix material. The matrix 352 may be permeable to environmental components (eg, at standard temperature and standard pressure) that are reactive with the color conversion material (eg, at standard temperature and standard pressure). The coating 104 of the coated color conversion particle 100 in the plurality of coated color conversion particles can also prevent, retard, or otherwise inhibit the reaction between the color conversion material and the environmental component.

コーティングされた色変換粒子１００は、マトリクス３５２にわたって均等に分布され、またはマトリクスのある特定の部分に濃縮されてもよい。図６に示されるように、マトリクス３５２は、コーティングされた色変換粒子１００のほぼすべてを個々に取り囲むことができる。本技術のいくつかの実施形態では、コーティングされた色変換粒子１００は、非個体（例えば、液体）マトリクスに混入され、次いで非個体マトリクスを凝固させて、固体マトリクスを形成する前に、重力によって沈ませてもよい。異なる色変換材料を有するコーティングされた色変換粒子１００は、様々な光学特性を有する構造を作り出すためにともに使用されてもよい。例えば、本技術のいくつかの実施形態は、ＳＳＲＴ３５４の発光を青色から白色に改質するように集合的に構成された色変換材料を含むコーティングされた色変換粒子１００の組み合わせを含む。図６に示されるＳＳＲＴデバイス３５０は、粒子コア１０２のうちのいくつかにおける第１の色変換材料３５８と、他の粒子コアにおける第２の色変換材料３６０とを含む。第１の色変換材料３５８と、第２の色変換材料３６０とを有する粒子コア１０２は、マトリクス３５２にランダムに分布される。 The coated color conversion particles 100 may be evenly distributed over the matrix 352 or may be concentrated in certain parts of the matrix. As shown in FIG. 6, the matrix 352 can individually surround substantially all of the coated color conversion particles 100. In some embodiments of the present technology, the coated color conversion particles 100 are mixed into a non-solid (eg, liquid) matrix and then solidified by gravity before solidifying the non-solid matrix to form a solid matrix. It may be sunk. Coated color conversion particles 100 with different color conversion materials may be used together to create structures with various optical properties. For example, some embodiments of the present technology include a combination of coated color conversion particles 100 that include a color conversion material collectively configured to modify the emission of SSRT 354 from blue to white. The SSRT device 350 shown in FIG. 6 includes a first color conversion material 358 in some of the particle cores 102 and a second color conversion material 360 in other particle cores. The particle cores 102 having the first color conversion material 358 and the second color conversion material 360 are randomly distributed in the matrix 352.

前述の説明は、本技術の実施形態の徹底的な理解およびそのための説明を可能にするための多くの特定の詳細を提供する。このような構造およびシステムとしばしば関連付けられる周知の構造およびシステムならびに方法は、本開示の様々な実施形態の説明を不必要に不明瞭にするのを避けるために詳細に示されず、または記載されていない。加えて、追加の実施形態が本明細書に記載される詳細のうちのいくつかを用いることなく実践され得ることを当業者は理解するであろう。 The foregoing description provides numerous specific details to enable a thorough understanding and description of embodiments of the technology. Well-known structures and systems and methods often associated with such structures and systems have not been shown or described in detail to avoid unnecessarily obscuring the description of various embodiments of the present disclosure. Absent. In addition, those skilled in the art will appreciate that additional embodiments may be practiced without some of the details described herein.

本開示にわたって、単数の用語「ある（ａ）」、「ある（ａｎ）」、および「その（ｔｈｅ）」は、別段の明確な指示がない限り、複数の指示対象を含む。同様に、「又は（ｏｒ）」という語は、別段の明確な指示がない限り、「及び（ａｎｄ）」を含むことを意図される。「上方」、「下方」、「前方」、「後方」、「垂直な」、および「水平な」などの方向を示す用語は、様々な要素間の関係を表し、明確にするために本明細書に使用され得る。このような用語が絶対的な配向を示さないことを理解されるべきである。本明細書に言及される、「一実施形態」、「１つの実施形態」、または類似の記述は、実施形態に関連して記載される特定の特徴、構造、動作、または特質が本技術の少なくとも１つの実施形態に含まれることを意味する。したがって、本明細書のこのような語句または記述の出現は、必ずしも同じ実施形態に言及するすべてではない。さらに、様々な特定の特徴、構造、動作、または特質は、１つ以上の実施形態において任意の好適な様式で組み合わされてもよい。 Throughout this disclosure, the singular terms “a”, “an”, and “the” include plural referents unless the context clearly dictates otherwise. Similarly, the word “or” is intended to include “and” unless the context clearly indicates otherwise. The terms indicating directions such as “upward”, “downward”, “forward”, “backward”, “vertical”, and “horizontal” represent the relationship between the various elements and are used herein for clarity. Can be used for writing. It should be understood that such terms do not indicate absolute orientation. As used herein, “one embodiment”, “one embodiment”, or similar description is intended to describe a particular feature, structure, operation, or characteristic described in connection with the embodiment. It is meant to be included in at least one embodiment. Thus, the appearances of such phrases or descriptions herein are not necessarily all referring to the same embodiment. Moreover, various specific features, structures, acts, or characteristics may be combined in any suitable manner in one or more embodiments.

前述から、本技術の特定の実施形態が例示の目的のために本明細書に記載されるが、様々な修正が本技術から逸脱することなくなされ得ることを理解されるであろう。例えば、図１に示されるコーティングされた色変換粒子１００は、コーティング１０４に加えてコーティングを含むことができる。特定の実施形態において記載される本技術のある特定の態様は、他の実施形態で組み合わされ、または除外されてもよい。例えば、ベーン２０４は、図３に示される蒸着チャンバ１５８から除外されてもよい。さらに、本技術のある特定の実施形態と関連付けられた利点は、それらの実施形態において記載されるが、他の実施形態もまた、このような利点を示すことができ、すべての実施形態が、本技術の範囲内に入るこのような利点を必ずしも示す必要はない。したがって、本開示および関連した技術は、本明細書に明示的に示されず、または記載されない他の実施形態を包含することができる。 From the foregoing, it will be appreciated that although particular embodiments of the technology are described herein for purposes of illustration, various modifications may be made without departing from the technology. For example, the coated color conversion particles 100 shown in FIG. 1 can include a coating in addition to the coating 104. Certain aspects of the technology described in certain embodiments may be combined or excluded in other embodiments. For example, the vane 204 may be excluded from the deposition chamber 158 shown in FIG. Further, the advantages associated with certain embodiments of the technology are described in those embodiments, but other embodiments can also exhibit such advantages, and all embodiments are Such benefits that fall within the scope of the present technology need not necessarily be demonstrated. Accordingly, the present disclosure and related techniques may encompass other embodiments not explicitly shown or described herein.

Claims

色変換材料を含む粒子コアと、
フッ素化パリレンを含むコーティングであって、前記粒子コアを概ね取り囲む、コーティングと、を含む、コーティングされた色変換粒子。 A particle core comprising a color conversion material;
A coated color conversion particle comprising: a coating comprising fluorinated parylene, the coating generally surrounding the particle core.

前記コーティングは、概ね欠陥がない、請求項１に記載のコーティングされた色変換粒子。 The coated color conversion particle of claim 1, wherein the coating is substantially free of defects.

前記フッ素化パリレンは、パリレンＡＦ−４である、請求項１に記載のコーティングされた色変換粒子。 The coated color conversion particle of claim 1, wherein the fluorinated parylene is parylene AF-4.

前記コーティングは、０．１マイクロメートルを超える平均厚さを有する、請求項１に記載のコーティングされた色変換粒子。 The coated color converting particle of claim 1, wherein the coating has an average thickness of greater than 0.1 micrometers.

前記色変換材料は、ドープされた色変換材料である、請求項１に記載のコーティングされた色変換粒子。 The coated color conversion particle of claim 1, wherein the color conversion material is a doped color conversion material.

色変換材料を含む粒子コアと、
パリレンを含むコーティングであって、０．１マイクロメートルを超える平均厚さを有し、かつ前記粒子コアを概ね取り囲む、コーティングと、を含む、コーティングされた色変換粒子。 A particle core comprising a color conversion material;
A coated color converting particle comprising: a coating comprising parylene, the coating having an average thickness of greater than 0.1 micrometers and generally surrounding the particle core.

マトリクス材料と、
前記マトリクス材料内に配設される複数のコーティングされた色変換粒子であって、前記複数のコーティングされた色変換粒子のうちの個々のコーティングされた色変換粒子が、粒子コアと、前記粒子コアを概ね取り囲むコーティングとを有し、前記複数のコーティングされた色変換粒子のうちの個々の粒子コアが、色変換材料を含み、前記複数のコーティングされた色変換粒子のうちの個々のコーティングが、パリレンを含む、複数のコーティングされた色変換粒子と、を含む、複合材料。 A matrix material;
A plurality of coated color conversion particles disposed within the matrix material, wherein each of the plurality of coated color conversion particles comprises a particle core and the particle core. And wherein each individual particle core of said plurality of coated color conversion particles includes a color conversion material, and each of said plurality of coated color conversion particles comprises: A plurality of coated color conversion particles comprising parylene.

前記マトリクス材料は、概ね光学的に透過性である、請求項７に記載の複合材料。 The composite material of claim 7, wherein the matrix material is generally optically transmissive.

前記パリレンは、フッ素化パリレンである、請求項７に記載の複合材料。 The composite material according to claim 7, wherein the parylene is fluorinated parylene.

前記パリレンは、パリレンＡＦ−４である、請求項７に記載の複合材料。 The composite material according to claim 7, wherein the parylene is parylene AF-4.

前記複数のコーティングされた色変換粒子のうちの前記個々のコーティングは、概ね欠陥がない、請求項７に記載の複合材料。 The composite material of claim 7, wherein the individual coatings of the plurality of coated color conversion particles are generally free of defects.

前記複数のコーティングされた色変換粒子のうちの前記個々のコーティングは、０．１マイクロメートルを超える平均厚さを有する、請求項７に記載の複合材料。 The composite material of claim 7, wherein the individual coatings of the plurality of coated color conversion particles have an average thickness greater than 0.1 micrometers.

前記色変換材料は、ドープされた色変換材料である、請求項７に記載の複合材料。 The composite material according to claim 7, wherein the color conversion material is a doped color conversion material.

前記複数のコーティングされた色変換粒子は、第１の色変換材料を含む粒子コアを有するコーティングされた色変換粒子と、第２の色変換材料を含む粒子コアを有するコーティングされた色変換粒子とを含み、前記第１の色変換材料および前記第２の色変換材料は異なる、請求項７に記載の複合材料。 The plurality of coated color conversion particles includes a coated color conversion particle having a particle core including a first color conversion material, and a coated color conversion particle having a particle core including a second color conversion material. The composite material according to claim 7, wherein the first color conversion material and the second color conversion material are different.

前記マトリクス材料は、標準温度および標準気圧で環境構成成分に浸透性であり、前記環境構成成分は、標準温度および標準気圧で前記色変換材料と反応性である、請求項７に記載の複合材料。 8. The composite material of claim 7, wherein the matrix material is permeable to environmental components at standard temperature and pressure, and the environmental component is reactive with the color conversion material at standard temperature and pressure. .

前記環境構成成分は、酸素または水である、請求項１５に記載の複合材料。 The composite material according to claim 15, wherein the environmental component is oxygen or water.

前記環境構成成分は、標準温度および標準気圧で前記色変換材料と反応して、前記色変換材料を酸化する、請求項１５に記載の複合材料。 The composite material according to claim 15, wherein the environmental component reacts with the color conversion material at a standard temperature and a standard pressure to oxidize the color conversion material.

発光ダイオードと、
光学素子であって、前記発光ダイオードを出る光が、
マトリクス材料と、
前記マトリクス材料内に配設される複数のコーティングされた色変換粒子であって、前記複数のコーティングされた色変換粒子のうちの個々のコーティングされた色変換粒子が、粒子コアと、前記粒子コアを概ね取り囲むコーティングとを有し、前記複数のコーティングされた色変換粒子のうちの個々の粒子コアが、色変換材料を含み、前記複数のコーティングされた色変換粒子のうちの個々のコーティングが、パリレンを含む、複数のコーティングされた色変換粒子と、を含む、前記光学素子を通過するように位置決めされる、光学素子と、を備える、発光ダイオードデバイス。 A light emitting diode;
An optical element, the light exiting the light emitting diode,
A matrix material;
A plurality of coated color conversion particles disposed within the matrix material, wherein each of the plurality of coated color conversion particles comprises a particle core and the particle core. And wherein each individual particle core of said plurality of coated color conversion particles includes a color conversion material, and each of said plurality of coated color conversion particles comprises: A light emitting diode device comprising: a plurality of coated color conversion particles comprising parylene; and an optical element positioned to pass through the optical element.

前記マトリクス材料は、前記発光ダイオードが作動しているとき、標準気圧および前記光学素子の動作温度で前記色変換材料と反応性である、請求項１８に記載の発光ダイオードデバイス。 19. The light emitting diode device of claim 18, wherein the matrix material is reactive with the color conversion material at standard atmospheric pressure and operating temperature of the optical element when the light emitting diode is operating.

前記マトリクス材料は、概ね光学的に透過性である、請求項１８に記載の発光ダイオードデバイス。 The light emitting diode device of claim 18, wherein the matrix material is generally optically transmissive.

前記パリレンは、フッ素化パリレンである、請求項１８に記載の発光ダイオードデバイス。 The light emitting diode device of claim 18, wherein the parylene is fluorinated parylene.

前記パリレンは、パリレンＡＦ−４である、請求項１８に記載の発光ダイオードデバイス。 The light emitting diode device of claim 18, wherein the parylene is Parylene AF-4.

前記複数のコーティングされた色変換粒子のうちの前記個々のコーティングは、概ね欠陥がない、請求項１８に記載の発光ダイオードデバイス。 The light emitting diode device of claim 18, wherein the individual coating of the plurality of coated color conversion particles is substantially free of defects.

前記複数のコーティングされた色変換粒子のうちの前記個々のコーティングは、０．１マイクロメートルを超える平均厚さを有する、請求項１８に記載の発光ダイオードデバイス。 The light emitting diode device of claim 18, wherein the individual coating of the plurality of coated color conversion particles has an average thickness of greater than 0.1 micrometers.

前記色変換材料は、ドープされた色変換材料である、請求項１８に記載の発光ダイオードデバイス。 The light emitting diode device of claim 18, wherein the color conversion material is a doped color conversion material.

前記マトリクス材料は、標準温度および標準気圧で環境構成成分に浸透性であり、前記環境構成成分は、標準温度および標準気圧で前記色変換材料と反応性である、請求項１８に記載の発光ダイオードデバイス。 19. The light emitting diode of claim 18, wherein the matrix material is permeable to environmental components at standard temperature and pressure, and the environmental component is reactive with the color conversion material at standard temperature and pressure. device.

前記環境構成成分は、酸素または水である、請求項２６に記載の発光ダイオードデバイス。 27. The light emitting diode device of claim 26, wherein the environmental component is oxygen or water.

前記環境構成成分は、標準温度および標準気圧で前記色変換材料と反応して、前記色変換材料を酸化する、請求項２６に記載の発光ダイオードデバイス。 27. The light emitting diode device of claim 26, wherein the environmental component reacts with the color conversion material at standard temperature and pressure to oxidize the color conversion material.

数のコーティングされた色変換粒子を非固体マトリクスに組み合わせて、前記非固体マトリクスが、前記複数のコーティングされた色変換粒子のうちの個々のコーティングされた色変換粒子を取り囲むようにすることと、
前記非固体マトリクスを凝固させて、固体マトリクスを形成することであって、前記個々のコーティングされた色変換粒子が、粒子コアと、前記粒子コアを概ね取り囲むコーティングとを含み、前記複数のコーティングされた色変換粒子のうちの個々の粒子コアが、色変換材料を含み、前記複数のコーティングされた色変換粒子のうちの個々のコーティングが、パリレンを含む、固体マトリクスを形成することと、を含む、方法。 Combining a number of coated color conversion particles into a non-solid matrix such that the non-solid matrix surrounds individual coated color conversion particles of the plurality of coated color conversion particles;
Solidifying the non-solid matrix to form a solid matrix, wherein the individual coated color conversion particles include a particle core and a coating generally surrounding the particle core, the plurality of coated Forming a solid matrix wherein individual particle cores of the color conversion particles comprise a color conversion material, and individual coatings of the plurality of coated color conversion particles comprise parylene. ,Method.

前記パリレンのモノマーラジカルを含む蒸気を通って前記複数のコーティングされた色変換粒子の前記粒子コアを移動させることを含む、前記複数のコーティングされた色変換粒子を形成することをさらに含む、請求項２９に記載の方法。 The method further comprises forming the plurality of coated color conversion particles comprising moving the particle core of the plurality of coated color conversion particles through a vapor containing the parylene monomer radical. 30. The method according to 29.

複数のコーティングされた色変換粒子を分離液と組み合わせることであって、前記複数のコーティングされた色変換粒子を前記分離液と組み合わせた後、前記複数のコーティングされた色変換粒子の第１の部分が前記分離液に浮き、前記複数のコーティングされた色変換粒子の第２の部分が、前記分離液中に沈む、複数のコーティングされた色変換粒子を分離液と組み合わせることと、
前記複数のコーティングされた色変換粒子の前記第１の部分、前記複数のコーティングされた色変換粒子の前記第２の部分、または両方を前記分離液から除去することと、を含む、方法。 Combining a plurality of coated color conversion particles with a separation liquid, the first portion of the plurality of coated color conversion particles after combining the plurality of coated color conversion particles with the separation liquid. Combining the plurality of coated color conversion particles with the separation liquid, wherein the second portion of the plurality of coated color conversion particles sinks into the separation liquid;
Removing the first portion of the plurality of coated color conversion particles, the second portion of the plurality of coated color conversion particles, or both from the separation liquid.

前記複数のコーティングされた色変換粒子のうちの個々のコーティングされた色変換粒子が、粒子コアと、前記粒子コアを概ね取り囲むコーティングとを含み、前記複数のコーティングされた色変換粒子のうちの個々の粒子コアが、色変換材料を含み、前記複数のコーティングされた色変換粒子のうちの個々のコーティングが、パリレンを含む、請求項３１に記載の方法。 An individual coated color conversion particle of the plurality of coated color conversion particles includes a particle core and a coating generally surrounding the particle core, and the individual of the plurality of coated color conversion particles 32. The method of claim 31, wherein the particle core of comprises a color conversion material and an individual coating of the plurality of coated color conversion particles comprises parylene.

前記複数のコーティングされた色変換粒子の前記第１の部分を前記分離液から除去した後、概ね気密の容器内に前記複数のコーティングされた色変換粒子の前記第１の部分を保管することをさらに含む、請求項３１に記載の方法。 Storing the first portion of the plurality of coated color conversion particles in a generally airtight container after removing the first portion of the plurality of coated color conversion particles from the separation liquid. 32. The method of claim 31, further comprising:

パリレンのモノマーラジカルを含む蒸気を通って前記複数のコーティングされた色変換粒子の前記粒子コアを移動させることを含む、前記複数のコーティングされた色変換粒子を形成することをさらに含む、請求項３１に記載の方法。 32. further comprising forming the plurality of coated color conversion particles comprising moving the particle core of the plurality of coated color conversion particles through a vapor comprising parylene monomer radicals. The method described in 1.

パリレンのモノマーラジカルを含む蒸気を通って前記複数のコーティングされた色変換粒子の前記第２の部分の前記コーティングされた色変換粒子を移動させることを含む、前記複数のコーティングされた色変換粒子の前記第２の部分のコーティングされた色変換粒子を再コーティングすることをさらに含む、請求項３１に記載の方法。 Moving the coated color converting particles of the second portion of the plurality of coated color converting particles through a vapor containing parylene monomer radicals. 32. The method of claim 31, further comprising recoating the second portion coated color conversion particles.