JP2015219143A - 光デバイス検査装置および光デバイス検査方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、検査対象となる光デバイスの一例を説明する平面図である。また図2は光デバイスの一例を説明する断面図であり、図1におけるA-A断面図である。これらの図に示す光デバイスELは、平板状のものであって、例えばボトムエミッション型の有機電界発光素子であり、フレキシブル基板s1の一主面側に設けられている。図示した例においては、フレキシブル基板s1の一主面上に3つの光デバイスELを設けて素子基板Sが構成されている。
図3は実施形態の光デバイス検査装置の上面図であり、図4は実施形態の光デバイス検査装置の側面図であり、図5は実施形態の光デバイス検査装置の正面図である。これらの図に示す光デバイス検査装置1は、上述した光デバイスELの発光特性および発光欠陥を検査するための検査装置である。
先ず、保持部材2は、光デバイスELを保持するためのものであり、例えば両面に接続配線が設けられたプリント配線基板として構成されている。このような保持部材2の一主面側は、光デバイスELが設けられた素子基板Sの保持面2aである。一方、保持部材2の他主面側は、ステージ3側に対向して配置される面であって、検査用の端子が設けられる端子面2bである。
ステージ3は、保持部材2を載置する載置面3aを有する。載置面3a上には、保持部材2における端子面2bを対向させた状態で、保持部材2が載置される。ここでの図示は省略したが、保持部材2およびステージ3には、それぞれ位置決め部材が設けられており、これらの位置決め部材を嵌合させた状態で、保持部材2をステージ3の載置面3a上に載置することにより、載置面3aに対して所定状態で保持部材2が保持される構成となっている。
図8および図9に示すように、給電部4は、ステージ3に搭載されたものであり、ステージ3の載置面3a上に載置された保持部材2の検査用パッド207に当接し、これを介して光デバイスELに給電するものである。このような給電部4は、プローブ状の給電端子401、給電端子401を支持する架台403、給電端子401および架台403に接続された制御部405を備え、ステージ3の収納部301内に収納された状態で搭載されている。また給電端子401には、電流測定手段407が接続されていることとする。
図3〜図5に示す搬送部5は、ステージ3を搬送するためのものである。このような搬送部5は、例えばモータ501、モータによって回転するスクリューネジ503、スクリューネジ503を支持する軸受505、2本のガイドレール507、および搬送制御部509を備えている。
図3〜図5に示す光検出部6は、光デバイスELの光取り出し面a側に配置されており、ここではステージ3の載置面3aに対向する位置に配置されている。このような光検出部6は、モノクロラインセンサ601、カラーラインセンサ603、二次元輝度色度計605、検査処理部607、および出力部609を備えている。
図10および図11は、実施形態の光デバイス検査装置を用いた光デバイス検査方法を説明する側面工程図である。以下、先の図1〜図9、および図10〜図11に基づいて、光デバイス検査方法の実施の形態を説明する。
先ず、図4に示すように、搬送部5により、光検出部6の検出領域a1〜a3から外れた位置にステージ3を搬送しておく。この状態で、素子基板Sを所定状態で保持した保持部材2を、ステージ3の載置面3a上に所定状態で載置して固定する。次に、給電部4の給電端子401を上昇させ、保持部材2の検査用パッド207に給電端子401を当接させ、給電端子401と素子基板Sにおける光デバイスELとを接続する。
その後図10に示すように、光デバイスELに対して順方向の駆動電圧を印加した状態を保ちつつ、搬送部5により光検出部6の下方にステージ3を搬送する。この際、モノクロラインセンサ601およびカラーラインセンサ603の撮像速度に合わせた所定の一定速度でステージ3を搬送し、モノクロラインセンサ601およびカラーラインセンサ603によって光デバイスELにおける光取り出し面aの全面を撮像する。
以上のモノクロラインセンサ601およびカラーラインセンサ603での撮像が終了した後には、図11に示すように、光取り出し面aの全面が二次元輝度色度計605での検出領域a3となる位置でステージ3を一時停止させる。
以上のような光デバイス検査装置1およびこれを用いた光デバイス検査方法では、ステージ3に給電部4を搭載したことにより、光デバイスELに対して給電を行いながら、光デバイスELを搬送することができる。そして、光デバイスELの光取り出し面s側には、光デバイスELの搬送方向に沿って、モノクロラインセンサ601、カラーラインセンサ603、および二次元輝度色度計605を順次に配置した構成である。これにより、光デバイスELの搬送過程に沿って、ダークスポット、輝度、色度、リークなどの複数の様々な検査を順次に行うことができる。また、モノクロラインセンサ601、カラーラインセンサ603、および二次元輝度色度計605の位置が固定されているため、これらの光検出機器による検出精度を高く保つことができる。
以上説明した実施形態の変形例1として、二次元輝度色度計605を用いずにリーク検査を行う構成が例示される。この場合、上述したダークスポット、輝度、色度の検査のためのモノクロラインセンサ601およびカラーラインセンサ603での撮像が終了した後、給電端子401からの供給電流を低下させて光デバイスELに対して順方向の微弱電流を供給する。または光デバイスELに対して逆バイアス給電を行う。
以上説明した実施形態の変形例2として、二次元輝度色度計605に換えて、リーク検査用のラインセンサを配置した構成が例示される。この場合、リーク検査用のラインセンサは、例えば、光感度の高いモノクロの光電変換素子を一方向に配列したCCDまたはCMOS構成の撮像装置である。このようなリーク検査用のラインセンサは、モノクロラインセンサ601およびカラーラインセンサ603と同様な配置状態で、これらと平行に配置される。ただし、リーク検査用のラインセンサは、モノクロラインセンサ601およびカラーラインセンサ603による光デバイスELの光取り出し面aの撮像に影響のない位置での撮像が行われるように、これらと離間させた位置に配置される。
以上説明した実施形態の変形例3として、モノクロラインセンサ601を設けることなく、カラーラインセンサ603を用いてダークスポット検査を行う構成が例示される。この場合、カラーラインセンサ603としては、分解能が十分に高いものを用いる。そして、実施形態で説明したと同様の手順によってカラーラインセンサ603による撮像を行う。
Claims (12)
- 光取り出し面を有する光デバイスを保持するもので当該光デバイスに接続される接続配線を有する保持部材と、
前記保持部材を載置する載置面を有するステージと、
前記ステージに搭載されたもので、当該ステージに載置された前記保持部材の接続配線に給電する給電部と、
前記ステージを搬送する搬送部と、
前記保持部材に保持された状態で前記ステージに載置された光デバイスに対向する位置に配置された光検出部とを有する
光デバイス検査装置。 - 前記光検出部は、前記ステージの搬送方向に沿って複数配置されている
請求項1記載の光デバイス検査装置。 - 前記光検出部として、前記搬送部による前記ステージの搬送方向と直交する方向に光電変換素子を配列したラインセンサを有し、
前記搬送部は、前記ラインセンサの撮像速度に対応させた速度で前記ステージを搬送する
請求項1または2に記載の光デバイス検査装置。 - 前記光検出部として、モノクロラインセンサとカラーラインセンサとが、前記ステージの搬送方向に順次設けられた
請求項1〜3の何れかに記載の光デバイス検査装置。 - 前記光検出部として、カラーラインセンサを有し、
前記カラーラインセンサによって得られたRGB値を、他の色空間に変換処理する画像変換部を備えた、
請求項1〜3の何れかに記載の光デバイス検査装置。 - 前記光検出部として、前記光デバイスの光取り出し面における検出領域が前記ラインセンサとの間で前記ステージの搬送方向に分離される位置に二次元輝度計を有し、
前記搬送部は、前記二次元輝度計と対向する位置において、前記ステージの搬送を一時停止させる
請求項3〜5の何れかに記載の光デバイス検査装置。 - 前記ラインセンサは、カラーラインセンサであり、
前記二次元輝度計は、二次元輝度色度計であり、
前記二次元輝度色度計での測定値に基づいて前記カラーラインセンサから得られた値を校正する校正部を有する
請求項6記載の光デバイス検査装置。 - 前記保持部材に保持された状態で前記ステージに載置された光デバイスの電流測定手段を備えた
請求項1〜7の何れかに記載の光デバイス検査装置。 - 光デバイスにおける光取り出し面から光を取り出した状態を保ちつつ、当該光デバイスを光取り出し面に沿った方向に搬送し、
前記光デバイスを搬送する過程において当該光デバイスからの光検出を行う
光デバイス検査方法。 - 前記光デバイスを搬送する過程においては、前記光デバイスの搬送方向に沿って順次光検出を行うことにより複数の検査を行う
請求項9記載の光デバイス検査方法。 - 前記光デバイスを搬送する過程においての前記光検出の前または後に、前記光デバイスの搬送を一時停止し、前記光デバイスに対して前記光デバイスを搬送する過程におけるよりも微弱な電流の給電を行うか、または逆バイアス給電を行った状態で、前記光デバイスからの光検出を行う
請求項9または10に記載の光デバイス検査方法。 - 前記光デバイスを搬送する過程においての前記光検出の前または後に、前記光デバイスに対して逆バイアス給電を行った状態で、前記光デバイスに流れる電流値を測定する
請求項9または10に記載の光デバイス検査方法。
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