JP2015218055A - Transportation rail and float transportation device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、搬送対象物を浮上させて非接触で搬送する浮上搬送技術に関する。 The present invention relates to a levitating conveyance technique for levitating a conveyance object and conveying it in a non-contact manner.
製造ライン等において、搬送対象物を搬送用レールの搬送面から浮上させて非接触で搬送する浮上搬送装置が知られている。例えば、特許文献1には、液晶ディスプレイパネル、プラズマディスプレイパネル、有機ELパネル等のフラットディスプレイパネルに用いられるガラス基板の光学検査に用いる搬送装置として、ガラス基板を浮上させる搬送用レール(浮上ステージ)と、搬送用レール上に浮上しているガラス基板を搬送する搬送機構と、を備えた浮上搬送装置が開示されている。この浮上搬送装置の搬送用レールには、気体を噴出する給気孔(噴出穴)および気体を吸引するバキューム孔(吸引孔)が、千鳥状、すなわち搬送方向および搬送方向に対して垂直な方向のそれぞれにおいて、一定間隔で交互に配置されている。このように、給気孔とバキューム孔とを均等に配置して、搬送用レールの搬送面から気体の噴出と吸引とを同時に行うことにより、搬送用レールの搬送面からの搬送対象物の浮上高さを一定に保つことができる。
In a production line or the like, a levitation conveyance device that levitates an object to be conveyed from a conveyance surface of a conveyance rail and conveys the object without contact is known. For example, in
光学検査装置の光学検査位置、レジスト塗布装置のレジスト塗布位置など、搬送用レール上の、搬送対象物の搬送方向に対して垂直な方向に沿って設定された所定のラインにおいて、搬送対象物の搬送用レールからの浮上量に高い精度を求められる場合がある(以下、このようなラインを仮想高精度浮上ラインと呼ぶ)。しかしながら、給気孔およびバキューム孔が千鳥状に均等配置された従来の搬送用レールでは、仮想高精度浮上ラインにおける搬送対象物の浮上量を高精度に安定させることが困難であった。 In a predetermined line set along the direction perpendicular to the conveyance direction of the object to be conveyed, such as the optical inspection position of the optical inspection apparatus and the resist coating position of the resist coating apparatus, the conveyance object There is a case where high accuracy is required for the flying height from the conveyance rail (hereinafter, such a line is referred to as a virtual high-accuracy flying line). However, with the conventional transfer rail in which the air supply holes and the vacuum holes are uniformly arranged in a staggered manner, it is difficult to stabilize the floating amount of the transfer object in the virtual high-precision floating line with high accuracy.
すなわち、搬送対象物の搬送方向に対して垂直な方向に一定間隔で交互に配置された給気孔およびバキューム孔(以下、孔アレイと呼ぶ)の上に仮想高精度浮上ラインを設定した場合、搬送対象物が仮想高精度浮上ラインを通過する際、仮想高精度浮上ラインの真下に位置する孔アレイの給気孔から噴出する圧縮気体およびこの孔アレイのバキューム孔に吸引される気体の影響を受け、搬送対象物の搬送用レールからの浮上量を高精度に維持し、安定させることができない。 That is, when a virtual high-precision levitation line is set on air supply holes and vacuum holes (hereinafter referred to as a hole array) alternately arranged at regular intervals in a direction perpendicular to the conveyance direction of the conveyance object, When the object passes through the virtual high precision levitation line, it is affected by the compressed gas ejected from the air supply holes of the hole array located directly below the virtual high precision levitation line and the gas sucked into the vacuum holes of this hole array, The flying height of the transport object from the transport rail cannot be maintained and stabilized with high accuracy.
また、隣接する孔アレイの間の上に仮想高精度浮上ラインを設定した場合、仮想高精度浮上ラインを挟んで隣接する孔アレイ各々の給気孔およびバキューム孔の並び順が互いに異なるため、搬送対象物が仮想高精度浮上ラインへ進入直前に受ける気体の流れと、搬送対象物が仮想高精度浮上ラインから離脱直後に受ける気体の流れとが異なる。これにより、孔アレイ上に仮想高精度浮上ラインを設定した場合と同様に、搬送対象物の搬送用レールからの浮上量を高精度に維持し、安定させることができない。 In addition, when a virtual high-accuracy levitation line is set between adjacent hole arrays, the arrangement order of the air supply holes and the vacuum holes of each adjacent hole array across the virtual high-accuracy levitation line is different. The gas flow received immediately before the object enters the virtual high precision levitation line is different from the gas flow received immediately after the object to be transported from the virtual high precision levitation line. Thereby, similarly to the case where the virtual high-accuracy levitation line is set on the hole array, the levitation amount of the conveyance object from the conveyance rail cannot be maintained and stabilized with high accuracy.
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、仮想高精度浮上ラインにおける搬送対象物の浮上量を高精度に維持し、安定させることができる搬送レールおよび浮上搬送装置を提供することにある。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to provide a conveyance rail and a levitation conveyance apparatus that can maintain and stabilize the flying height of a conveyance object in a virtual high-precision levitation line with high accuracy. There is to do.
上記課題を解決するために、本発明では、所定の隣接する孔アレイと孔アレイとの間の上方に仮想高精度浮上ラインを設定するとともに、少なくとも仮想高精度浮上ラインを挟んで隣接する孔アレイ各々の給気孔およびバキューム孔の並び順を、給気孔同士およびバキューム孔同士がそれぞれ仮想高精度浮上ラインを挟んで対向する順番とした。 In order to solve the above-described problem, in the present invention, a virtual high-precision levitation line is set above a predetermined adjacent hole array and the hole array, and at least a hole array adjacent to each other with the virtual high-precision levitation line interposed therebetween The arrangement order of the air supply holes and the vacuum holes was set so that the air supply holes and the vacuum holes face each other across the virtual high-accuracy levitation line.
例えば、本発明の搬送用レールは、気体を用いて搬送対象物を浮上させて、搬送方向に非接触で搬送する搬送用レールであって、
前記気体を噴出する給気孔および気体を吸引するバキューム孔が前記搬送方向に対して垂直な方向に沿って一定間隔で交互に配置された孔アレイが、前記搬送方向に複数配列された搬送面を備え、
前記搬送方向に対して垂直な方向に沿って設定された仮想高精度浮上ラインが、前記搬送方向に複数配列された前記孔アレイのうち、搬送方向において隣接する所定の孔アレイと孔アレイとの間の上方に位置するとともに、少なくとも当該隣接する所定の孔アレイのうちの一方を構成する給気孔が他方を構成する給気孔と前記仮想高精度浮上ラインを挟んで対向し、かつ当該隣接する所定の孔アレイのうちの一方を構成するバキューム孔が他方を構成するバキューム孔と前記仮想高精度浮上ラインを挟んで対向する位置に配置されている。
For example, the transport rail of the present invention is a transport rail that floats a transport object using gas and transports it in the transport direction in a non-contact manner.
A plurality of hole arrays in which the air supply holes for ejecting the gas and the vacuum holes for sucking the gas are alternately arranged at regular intervals along the direction perpendicular to the transport direction are provided as a transport surface arranged in the transport direction. Prepared,
Among the hole arrays in which a plurality of virtual high precision levitation lines set along a direction perpendicular to the transport direction are arranged in the transport direction, a predetermined hole array adjacent to the transport direction and the hole array And at least an air supply hole constituting one of the adjacent predetermined hole arrays is opposed to an air supply hole constituting the other across the virtual high-accuracy levitation line, and the adjacent predetermined A vacuum hole constituting one of the hole arrays is disposed at a position facing the vacuum hole constituting the other across the virtual high-precision levitation line.
ここで、前記隣接する所定の孔アレイ各々を構成する給気孔およびバキューム孔は、前記仮想高精度浮上ラインに対して線対称となる位置に配置されていてもよい。また、前記仮想高精度浮上ラインに対して前記搬送方向の上流側に配置された複数の孔アレイ、および前記仮想高精度浮上ラインに対して前記搬送方向の下流側に配置された複数の孔アレイは、それぞれ、各孔アレイを構成する給気孔およびバキューム孔が前記搬送方向において一定間隔で交互に配置されていてもよい。 Here, the air supply holes and the vacuum holes that constitute each of the adjacent predetermined hole arrays may be arranged at positions that are line-symmetric with respect to the virtual high-precision levitation line. A plurality of hole arrays disposed upstream of the virtual high-accuracy levitation line in the transport direction; and a plurality of hole arrays disposed downstream of the virtual high-accuracy levitation line in the transport direction. The air supply holes and the vacuum holes constituting each hole array may be alternately arranged at regular intervals in the transport direction.
また、例えば、本発明の浮上搬送装置は、気体を用いて搬送対象物を浮上させて、搬送方向に非接触で搬送する浮上搬送装置であって、
前記搬送用レールと、
前記搬送用レールの前記搬送面の前記給気孔から噴出する圧縮気体を供給するための給気ポンプと、
前記搬送用レールの前記搬送面の前記バキューム孔に気体を吸引するための吸引ポンプと、を備える。
Further, for example, the levitation conveyance device of the present invention is a levitation conveyance device that levitates an object to be conveyed using gas and conveys the object in a conveyance direction in a non-contact manner,
The transport rail;
An air supply pump for supplying compressed gas ejected from the air supply holes of the transfer surface of the transfer rail;
A suction pump for sucking gas into the vacuum hole of the transfer surface of the transfer rail.
本発明では、隣接する孔アレイと孔アレイとの間の上方に仮想高精度浮上ラインが位置しているので、搬送対象物がこの仮想高精度浮上ラインを通過する際、この仮想高精度浮上ラインの下方に孔アレイは存在せず、したがって給気孔から噴出する圧縮気体およびバキューム孔に吸引される気体の影響を受けない。また、少なくとも仮想高精度浮上ラインを挟んで隣接する孔アレイ各々を構成する給気孔およびバキューム孔の並び順を、給気孔同士およびバキューム孔同士がそれぞれ仮想高精度浮上ラインを挟んで対向する順番としたので、搬送対象物が仮想高精度浮上ラインへ進入直前に受ける気体の流れと、搬送対象物が仮想高精度浮上ラインから離脱直後に受ける気体の流れとが同じになる。このため、仮想高精度浮上ラインにおける気体の流れの変動を小さくできるので、仮想高精度浮上ラインにおける搬送対象物の浮上量を高精度に維持し、安定させることができる。 In the present invention, since the virtual high precision levitation line is located above between the adjacent hole array, when the transport object passes through the virtual high precision levitation line, this virtual high precision levitation line There is no hole array below, so that it is not affected by the compressed gas ejected from the air supply holes and the gas sucked into the vacuum holes. Further, the arrangement order of the air supply holes and the vacuum holes constituting each of the adjacent hole arrays with at least the virtual high precision levitation line interposed therebetween is the order in which the air supply holes and the vacuum holes face each other with the virtual high precision levitation line interposed therebetween. Therefore, the gas flow received immediately before entering the virtual high precision levitation line is the same as the gas flow received immediately after leaving the virtual high precision levitation line. For this reason, since the fluctuation | variation of the gas flow in a virtual high precision levitation line can be made small, the floating amount of the conveyance target object in a virtual high precision levitation line can be maintained with high precision, and can be stabilized.
以下、本発明の一実施の形態について、図面を参照して説明する。 Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
図1は、本実施の形態に係る浮上搬送装置1の概略構成図である。また、図2は、図1に示す浮上搬送装置1のA部拡大図である。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a
図示するように、本実施の形態に係る浮上搬送装置1は、液晶ディスプレイパネル、プラズマディスプレイパネル、有機ELパネル等のフラットディスプレイパネルに用いられるガラス基板等の搬送対象物7(図3参照)を非接触で搬送するための搬送面20を備えた搬送用レール2と、給気ポンプ3と、給気ポンプ3を搬送レール2の給気ポンプ接続口(不図示)に接続するための給気用ホース4と、吸引ポンプ5と、吸引ポンプ5を搬送レール2の吸引ポンプ接続口(不図示)に接続するための吸引用ホース6と、を備えている。
As shown in the figure, the
搬送レール2の搬送面20には、搬送対象物7の搬送方向Xにおいて一定間隔P1で配列された孔アレイ21が形成されている。各孔アレイ21は、圧縮気体を噴出する給気孔22および気体を吸引するバキューム孔23が搬送方向Xに対して垂直な方向Yに沿って一定間隔P2(例えばP2=P1)で交互に配置されて構成されている。なお、図の簡略化のため、一部の給気孔22およびバキューム孔23にのみ符号を付している。
On the
搬送方向Xに複数配列された孔アレイ21のうち、所定の隣接する孔アレイ21a、21bの間の上方には、搬送方向Xに対して垂直な方向Yに沿って仮想高精度浮上ラインLが設定されている。仮想高精度浮上ラインLは、搬送対象物7の搬送用レール2からの浮上量に高い精度を求められる位置を示すラインであり、光学検査装置の光学検査位置、レジスト塗布装置のレジスト塗布位置などが該当する。
Among the plurality of
仮想高精度浮上ラインLを搬送方向Xに対して挟んで隣接する孔アレイ21a、21bは、これらの孔アレイ21a、21bを構成する給気孔22およびバキューム孔23のそれぞれが仮想高精度浮上ラインLに対して線対称となるように配置されている。また、仮想高精度浮上ラインLに対して搬送方向Xの上流側24aに配置された複数の孔アレイ21を構成する給気孔22およびバキューム孔23は、搬送方向Xにおいて一定間隔P1で交互に配置されている。同様に、仮想高精度浮上ラインLに対して搬送方向Xの下流側24bに配置された複数の孔アレイ21を構成する給気孔22およびバキューム孔23も、搬送方向Xにおいて一定間隔P1で交互に配置されている。
The
搬送レール2の内部には、給気ポンプ接続口を各孔アレイ21の給気孔22に繋ぐ給気用通気路(不図示)、および吸引ポンプ接続口を各孔アレイ21のバキューム孔23に繋ぐバキューム用通気路(不図示)が形成されている。
Inside the
図3(A)は、搬送対象物7が仮想高精度浮上ラインL内のB点(図2参照)を通過する際の状態を説明するための図であり、図3(B)は、搬送対象物7が図2に示す仮想高精度浮上ラインL内のC点(図2参照)を通過する際の状態を説明するための図である。また、図4(A)は、搬送対象物7が仮想高精度浮上ラインLを挟んで隣接する孔アレイ21a、21b以外の孔アレイ21上に設定されたラインM内のD点(図2参照)を通過する際の状態を説明するための図であり、図4(B)は、搬送対象物7が仮想高精度浮上ラインLを挟んで隣接する孔アレイ21a、21b以外の隣接する孔アレイ21と孔アレイ21との間の上に設定されたラインN内のE点(図2参照)を通過する際の状態を説明するための図である。
FIG. 3A is a diagram for explaining a state when the
図4(A)に示すように、搬送対象物7が孔アレイ21a、21b以外の孔アレイ21上に設定されたラインMを通知する際、仮想高精度浮上ラインの真下に位置する孔アレイ21の給気孔22から噴出する圧縮気体およびこの孔アレイ21のバキューム孔23に吸引される気体の影響を受け、ラインMにおける搬送対象物7の搬送用レール2からの浮上量を高精度に維持し、安定させることができない。
As shown in FIG. 4 (A), when the
また、図4(B)に示すように、搬送対象物7が孔アレイ21a、21b以外の隣接する孔アレイ21と孔アレイ21との間の上に設定されたラインNを通過する際、このラインNを挟んで隣接する孔アレイ21各々の給気孔22およびバキューム孔23の並び順が互いに異なるため、搬送対象物7がラインNへ進入直前に受ける気体の流れと、搬送対象物7がラインNから離脱直後に受ける気体の流れとが異なる。具体的には、搬送対象物7がラインNへ進入直前に受ける気体の流れおよび搬送対象物7がラインNから離脱直後に受ける気体の流れの一方が給気孔22から噴出される圧縮気体の流れとなり、他方がバキューム孔23に吸引される気体の流れになる。このため、ラインNにおける搬送対象物7の搬送用レール2からの浮上量を高精度に維持し、安定させることができない。
Further, as shown in FIG. 4B, when the
しかし、本実施の形態に係る浮上搬送装置1では、隣接する孔アレイ21aと孔アレイ21bとの間の上に仮想高精度浮上ラインLを設定しているので、図3(A)および図3(B)に示すように、搬送対象物7がこの仮想高精度浮上ラインLを通過する際、この仮想高精度浮上ラインLの真下に給気孔22およびバキューム孔23は存在せず、したがって給気孔から噴出する圧縮気体およびバキューム孔に吸引される気体の影響を受けない。
However, in the
また、仮想高精度浮上ラインLを挟んで隣接する孔アレイ21a、21bをそれぞれ構成する給気孔22およびバキューム孔23が、仮想高精度浮上ラインLに対して線対称となるように配置されているので、搬送対象物7が仮想高精度浮上ラインLへ進入直前に受ける気体の流れと、搬送対象物7が仮想高精度浮上ラインLから離脱直後に受ける気体の流れとが同じになる。具体的には、図3(A)に示すように、ともに給気孔22から噴出される圧縮気体の流れになるか、あるいは、図3(B)に示すように、ともにバキューム孔23に吸引される気体の流れになる。このため、仮想高精度浮上ラインLにおける気体の流れの変動を小さくできるので、仮想高精度浮上ラインLにおける搬送対象物7の浮上量を高精度に維持し、安定させることができる。
Further, the air supply holes 22 and the vacuum holes 23 constituting the
図5は、本実施の形態に係る浮上搬送装置1において、搬送対象物7の、搬送用レール2の搬送面20からの浮上量の測定結果を示す図である。
FIG. 5 is a diagram illustrating a measurement result of the floating amount of the
ここで、実線のグラフ80は、図2に示す仮想高精度浮上ラインL内のB点における測定結果を示すグラフであり、点線のグラフ81は、図2に示すラインMのD点における測定結果を示すグラフであり、一点鎖線のグラフ82は、図2に示すラインN内のE点における測定結果を示すグラフである。
Here, the
また、縦軸は、搬送対象物7の搬送面20からの浮上量(μm)を示しており、横軸は、搬送対象物7の先端部の、搬送方向Xにおける各測定点(グラフ80はB点、グラフ81はD点、グラフ82はE点)からの移動距離(mm)を示している。なお、搬送対象物7には、長さ200mmのガラス基板を用いた。
Further, the vertical axis indicates the flying height (μm) of the
グラフ81に示すように、搬送対象物7が孔アレイ21a、21b以外の孔アレイ21上に設定されたラインMを通過する場合、搬送対象物7の先端部のラインMへの進入時(領域F)および搬送対象部7の後端部のラインMからの離脱時(領域G)において、浮上量が大きく変動している。また、グラフ82に示すように、搬送対象物7が孔アレイ21a、21b以外の隣接する孔アレイ21と孔アレイ21との間の上に設定されたラインNを通過する場合も、搬送対象物7の先端部のラインNへの進入時(領域F)および搬送対象部7の後端部のラインNからの離脱時(領域G)において、浮上量が大きく変動している。
As shown in the
一方、グラフ80に示すように、搬送対象物7が仮想高精度浮上ラインLを通過する場合、搬送対象物7の先端部の仮想高精度浮上ラインLへの進入時(領域F)および搬送対象部7の後端部の仮想高精度浮上ラインLからの離脱時(領域G)における浮上量の変動が、搬送対象物7がラインMを通過する場合(グラフ81)および搬送対象物7がラインNを通過する場合(グラフ82)に比べて小さく、仮想高精度浮上ラインLにおける搬送対象物7の浮上量を高精度に維持し、安定させることが可能であることが証明された。
On the other hand, as shown in the
なお、本発明は、上記の実施の形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で数々の変形が可能である。 In addition, this invention is not limited to said embodiment, Many deformation | transformation are possible within the range of the summary.
例えば、上記の実施の形態では、仮想高精度浮上ラインLを搬送方向Xに対して挟んで隣接する孔アレイ21a、21bを構成する給気孔22およびバキューム孔23のそれぞれを、仮想高精度浮上ラインLに対して線対称となる位置に配置した。しかし、本発明はこれに限定されない。少なくとも、給気孔22同士およびバキューム孔23同士がそれぞれ仮想高精度浮上ラインLを挟んで対向する位置に、孔アレイ21a、21bを構成する給気孔22およびバキューム孔23のそれぞれを配置すればよい。この場合でも上記の実施の形態と同様の効果が期待できる。
For example, in the above-described embodiment, each of the air supply holes 22 and the vacuum holes 23 constituting the
また、上記の実施の形態に係る浮上搬送装置1において、搬送対象物7の搬送方向Xに搬送用レールを複数配置してもよい。この場合、仮想高精度浮上ラインLが設定される搬送用レールにのみ上述の搬送用レール2を用い、仮想高精度浮上ラインLが設定されない搬送用レールには、従来の搬送用レール、すなわち給気孔およびバキューム孔が搬送方向Xおよび搬送方向に対して垂直な方向Yのそれぞれにおいて、一定間隔で交互に配置された搬送用レールを用いてもよい。
In the
また、上記の実施の形態では、液晶ディスプレイパネル、プラズマディスプレイパネル等のフラットディスプレイパネルに用いられるガラス基板等の搬送対象物7を搬送対象とする場合を例に挙げたが、本発明は、撓みやすいシート状の搬送対象物を浮上搬送する浮上搬送装置に広く適用できる。 In the above-described embodiment, the case where the object to be transported 7 such as a glass substrate used in a flat display panel such as a liquid crystal display panel or a plasma display panel is taken as an example of transport is described as an example. The present invention can be widely applied to a levitation conveyance apparatus that levitates and conveys an easy sheet-like conveyance object.
1:浮上搬送装置、 2:搬送用レール、 3:給気ポンプ、 4:給気用ホース、 5:吸引ポンプ、 6:吸引用ホース、 7:搬送対象物、 20:搬送面、 21、21a、21b:孔アレイ、 22:給気孔、 23:バキューム孔
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1: Levitation conveyance apparatus, 2: Rail for conveyance, 3: Air supply pump, 4: Hose for air supply, 5: Suction pump, 6: Hose for suction, 7: Object to be conveyed, 20: Conveyance surface, 21,
Claims (4)
前記気体を噴出する給気孔および気体を吸引するバキューム孔が前記搬送方向に対して垂直な方向に沿って一定間隔で交互に配置された孔アレイが、前記搬送方向に複数配列された搬送面を備え、
前記搬送方向に対して垂直な方向に沿って設定された仮想高精度浮上ラインが、前記搬送方向に複数配列された前記孔アレイのうち、搬送方向において隣接する所定の孔アレイと孔アレイとの間の上方に位置するとともに、少なくとも当該隣接する所定の孔アレイのうちの一方を構成する給気孔が他方を構成する給気孔と前記仮想高精度浮上ラインを挟んで対向し、かつ当該隣接する所定の孔アレイのうちの一方を構成するバキューム孔が他方を構成するバキューム孔と前記仮想高精度浮上ラインを挟んで対向する位置に配置されている
ことを特徴とする搬送用レール。 A transportation rail that floats an object to be transported using gas and transports the object in the transport direction in a non-contact manner,
A plurality of hole arrays in which the air supply holes for ejecting the gas and the vacuum holes for sucking the gas are alternately arranged at regular intervals along the direction perpendicular to the transport direction are provided as a transport surface arranged in the transport direction. Prepared,
Among the hole arrays in which a plurality of virtual high precision levitation lines set along a direction perpendicular to the transport direction are arranged in the transport direction, a predetermined hole array adjacent to the transport direction and the hole array And at least an air supply hole constituting one of the adjacent predetermined hole arrays is opposed to an air supply hole constituting the other across the virtual high-accuracy levitation line, and the adjacent predetermined A conveying rail, wherein a vacuum hole constituting one of the hole arrays is disposed at a position facing a vacuum hole constituting the other across the virtual high-precision levitation line.
前記隣接する所定の孔アレイ各々を構成する給気孔およびバキューム孔は、前記仮想高精度浮上ラインに対して線対称となる位置に配置されている
ことを特徴とする搬送用レール。 The conveyance rail according to claim 1,
An air supply hole and a vacuum hole constituting each of the adjacent predetermined hole arrays are arranged at positions that are line-symmetric with respect to the virtual high-precision levitation line.
前記仮想高精度浮上ラインに対して前記搬送方向の上流側に配置された複数の孔アレイ、および前記仮想高精度浮上ラインに対して前記搬送方向の下流側に配置された複数の孔アレイは、それぞれ、各孔アレイを構成する給気孔およびバキューム孔が前記搬送方向において一定間隔で交互に配置されている
ことを特徴とする搬送用レール。 It is a rail for conveyance according to claim 1 or 2,
A plurality of hole arrays arranged on the upstream side in the transport direction with respect to the virtual high-precision levitation line, and a plurality of hole arrays arranged on the downstream side in the transport direction with respect to the virtual high-precision levitation line, Each of the air supply holes and the vacuum holes constituting each hole array is alternately arranged at regular intervals in the transport direction.
請求項1ないし3のいずれか一項に記載の搬送用レールと、
前記搬送用レールの前記搬送面の前記給気孔から噴出する圧縮気体を供給するための給気ポンプと、
前記搬送用レールの前記搬送面の前記バキューム孔に気体を吸引するための吸引ポンプと、を備える
ことを特徴とする浮上搬送装置。
A levitation transport device that levitates an object to be transported using gas and transports the object in a non-contact manner in the transport direction,
The conveyance rail according to any one of claims 1 to 3,
An air supply pump for supplying compressed gas ejected from the air supply holes of the transfer surface of the transfer rail;
And a suction pump for sucking gas into the vacuum hole of the transport surface of the transport rail.
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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