JP2015217350A - Filter - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a filter which includes a fine filtering structure part and exhibits an excellent filter function.SOLUTION: The filter includes a filter 31, and a laminate 32 formed by laminating a plurality of unit members 41. The unit member 41 includes a groove part 44 which is positioned on one main surface 43a out of a pair of opposite main surfaces 43a, 43b of a flat-plate-shaped base material 42. The plurality of unit members 41 are laminated so that the main surfaces abut each other to form the laminate 32. As the groove part 44 is arranged, a filtering structure part 33 has a plurality of flow passages 34 partitioned by a thin part 45 of the base material 42 existing on the other main surface 43b.

Description

本発明は、フィルターに係り、特に流体中に含まれる異物の除去、あるいは、流体中に含まれる生成物の回収等に使用することができるフィルターに関する。   The present invention relates to a filter, and more particularly to a filter that can be used to remove foreign substances contained in a fluid, or to recover a product contained in a fluid.

例えば、飲料製造においては、飲料中に含まれる粒子のなかで除去が必要なものがある場合、フィルターを用いた除去工程が設けられている。流体中に含まれる粒子を除去するフィルターとしては、従来から、金網やパンチングメタル（板材に所望の大きさの孔部を機械的に穿設したもの）を組み合わせた積層型のフィルターが使用されている。このようなフィルターは、金網が有する開口径（ワイヤー間距離）の大きさにより、捕獲できる粒子の大きさを見込み、流体の物性、除去対象となる粒子の大きさ等に応じて、所望の開口径を有する金網が使用されていた。
しかし、金網を用いた積層型のフィルターでは、通過させる粒子と捕獲する粒子の制御が不安定であった。また、３次元的に入り組んだ構造の金網中に捕獲された粒子の除去が難しく、メンテナンス性に問題があった。特に飲料製造等のように衛生上の厳しい環境管理が要求される工程では、メンテナンス時の洗浄で粒子が除去しきれずに残留しているフィルターは、再使用せずに交換を余儀なくされていた。
上記のような問題を解消するために、孔部を形成した金属薄板を積層したフィルターが提案されている。例えば、金属薄板に対してエッチング加工を行って貫通孔を穿設して孔部を形成し、このような金属薄板を積層して、孔部の大きさと金属薄板の合計板厚で計算されるアスペクト比を向上させたフィルターが提案されている（特許文献１、特許文献２）。 For example, in beverage production, if there is a particle that needs to be removed among the particles contained in the beverage, a removal step using a filter is provided. Conventionally, as a filter for removing particles contained in a fluid, a laminated filter in which a wire mesh or punching metal (a plate material having a hole of a desired size mechanically drilled) is used has been used. Yes. Such a filter expects the size of particles that can be captured, depending on the size of the opening diameter (interwire distance) of the wire mesh. Depending on the physical properties of the fluid, the size of the particles to be removed, etc., a desired opening can be obtained. A wire mesh having a caliber was used.
However, in a multilayer filter using a wire mesh, the control of passing particles and captured particles is unstable. Further, it is difficult to remove particles trapped in a wire mesh having a three-dimensionally complicated structure, and there is a problem in maintainability. In particular, in a process that requires strict environmental management for hygiene, such as in beverage production, a filter in which particles cannot be completely removed by cleaning during maintenance has to be replaced without being reused.
In order to solve the above problems, a filter in which metal thin plates having holes are stacked has been proposed. For example, etching is performed on a thin metal plate to form a through hole, a hole is formed, and such thin metal plates are stacked, and the size of the hole and the total thickness of the thin metal plate are calculated. Filters with improved aspect ratios have been proposed (Patent Documents 1 and 2).

特開２０００−１０９９８５号公報JP 2000-109985 A 特開２０１１−１４７８７２号公報JP 2011-147872 A

上記のような金属薄板を積層したフィルターでは、フィルター機能を発現する孔部のアスペクト比を向上させるためには、複数枚の金属薄板を積層する必要があるが、積層時の孔部同士の位置ズレが発生して、フィルター内部の孔部中に段差が生じて、開口寸法（フィルタ寸法）の精度低下が発生し、良好なフィルター機能を得ることが難しいという問題があった。特に、捕獲対象の粒子が微小であって孔部が微細になるほど、積層時の精度低下が問題であった。
本発明は上述のような実情に鑑みてなされたものであり、微細な濾過構造部を有し、優れたフィルター機能を発現するフィルターを提供することを目的とする。 In order to improve the aspect ratio of the hole that expresses the filter function, it is necessary to stack a plurality of metal sheets in the filter in which the thin metal plates are laminated as described above. There was a problem that a deviation occurred, a step was generated in the hole inside the filter, the accuracy of the opening size (filter size) was lowered, and it was difficult to obtain a good filter function. In particular, the smaller the particles to be captured and the finer the hole, the lower the accuracy during stacking.
This invention is made | formed in view of the above situations, and it aims at providing the filter which has a fine filtration structure part and expresses the outstanding filter function.

このような課題を解決するために、本発明のフィルターは、平板形状の基材と、該基材の対向する一対の主面の一方に位置して前記基材の一方の側から対向する他方の側に至る溝部と、を有する複数の単位部材が、前記主面を当接するように積層された積層体を備えるとともに、前記溝部が位置することにより他方の前記主面に存在する前記基材の薄肉部で区画された複数の流路を有する濾過構造部を備えるような構成とした。   In order to solve such a problem, the filter of the present invention is a flat base material and the other of the base material facing one side of the base material that is located on one side of the base material. A plurality of unit members having a groove portion that reaches the side of the base member, and includes a laminated body that is laminated so as to contact the main surface, and the base material that is present on the other main surface by positioning the groove portion It was set as the structure provided with the filtration structure part which has the several flow path divided by this thin part.

本発明の他の態様として、前記積層体は、前記溝部が位置する主面が同じ方向となるように前記単位部材を複数積層したものであるような構成とした。
本発明の他の態様として、前記積層体は、前記溝部が対向するように１組の前記単位部材が積層されてなる単位積層体を複数積層したものであるような構成とした。
本発明の他の態様として、前記薄肉部は前記単位部材の前記基材の端に位置しており、前記積層体の一の面に配列している複数の前記薄肉部に当接する蓋部材を有するような構成とした。 As another aspect of the present invention, the laminate is configured such that a plurality of the unit members are laminated so that the principal surfaces on which the groove portions are located are in the same direction.
As another aspect of the present invention, the laminate is configured by laminating a plurality of unit laminates in which one set of the unit members is laminated so that the groove portions face each other.
As another aspect of the present invention, the thin portion is positioned at an end of the base member of the unit member, and a lid member that contacts a plurality of the thin portions arranged on one surface of the laminate is provided. It was set as the structure which has.

本発明の他の態様として、前記単位部材は、前記薄肉部に切欠き部または貫通孔部を有するような構成とした。
本発明の他の態様として、前記単位部材は、前記薄肉部を除く前記基材に一方の前記主面から他方の前記主面に至る貫通口を有し、該貫通口は前記濾過構造部とは別の濾過構造部をなしているような構成とした。
本発明の他の態様として、前記単位部材は、前記溝部とは異なる溝部を有し、該溝部は前記濾過構造部とは別の濾過構造部をなしているような構成とした。 As another aspect of the present invention, the unit member is configured to have a notch or a through hole in the thin portion.
As another aspect of the present invention, the unit member has a through-hole extending from one main surface to the other main surface in the base material excluding the thin-walled portion, and the through-hole is connected to the filtration structure portion. Is configured as another filtering structure.
As another aspect of the present invention, the unit member has a groove part different from the groove part, and the groove part forms a filtration structure part different from the filtration structure part.

本発明のフィルターは、濾過構造部の寸法精度が高く、捕獲対象の粒子寸法に応じた濾過構造部の寸法制御が可能な構造であり、優れたフィルター機能を発現することができる。   The filter of the present invention has a structure in which the dimensional accuracy of the filtration structure portion is high and the size of the filtration structure portion can be controlled according to the particle size to be captured, and can exhibit an excellent filter function.

図１は、本発明のフィルターの一実施形態を説明するための斜視図である。FIG. 1 is a perspective view for explaining an embodiment of the filter of the present invention. 図２は、図１に示されるフィルターを構成する単位部材の斜視図である。FIG. 2 is a perspective view of a unit member constituting the filter shown in FIG. 図３は、本発明のフィルターの他の実施形態を説明するための斜視図である。FIG. 3 is a perspective view for explaining another embodiment of the filter of the present invention. 図４は、本発明のフィルターの他の実施形態を説明するための斜視図である。FIG. 4 is a perspective view for explaining another embodiment of the filter of the present invention. 図５は、図４に示されるフィルターを構成する単位部材の斜視図である。FIG. 5 is a perspective view of a unit member constituting the filter shown in FIG. 図６は、本発明のフィルターの他の実施形態を説明するための斜視図である。FIG. 6 is a perspective view for explaining another embodiment of the filter of the present invention. 図７は、図６に示されるフィルターを構成する単位部材の斜視図である。FIG. 7 is a perspective view of a unit member constituting the filter shown in FIG. 図８は、図６に示されるフィルターを構成する単位積層体の斜視図である。FIG. 8 is a perspective view of a unit laminate body constituting the filter shown in FIG. 図９は、本発明のフィルターの他の実施形態を説明するための斜視図である。FIG. 9 is a perspective view for explaining another embodiment of the filter of the present invention. 図１０は、図９に示されるフィルターを構成する単位部材の斜視図である。FIG. 10 is a perspective view of a unit member constituting the filter shown in FIG. 図１１は、図９に示されるフィルターを構成する単位積層体の斜視図である。FIG. 11 is a perspective view of a unit laminate body constituting the filter shown in FIG. 図１２は、本発明のフィルターの他の実施形態を説明するための斜視図である。FIG. 12 is a perspective view for explaining another embodiment of the filter of the present invention. 図１３は、図１２に示されるフィルターを構成する単位部材の斜視図である。FIG. 13 is a perspective view of a unit member constituting the filter shown in FIG. 図１４は、単位部材の他の例を示す斜視図である。FIG. 14 is a perspective view showing another example of the unit member. 図１５は、本発明のフィルターの他の実施形態を説明するための斜視図である。FIG. 15 is a perspective view for explaining another embodiment of the filter of the present invention. 図１６は、図１５に示されるフィルターを構成する単位部材の斜視図である。FIG. 16 is a perspective view of a unit member constituting the filter shown in FIG. 図１７は、単位部材の他の例を示す斜視図である。FIG. 17 is a perspective view showing another example of the unit member. 図１８は、本発明のフィルターの他の実施形態を説明するための斜視図である。FIG. 18 is a perspective view for explaining another embodiment of the filter of the present invention. 図１９は、図１８に示されるフィルターを構成する単位部材の斜視図である。FIG. 19 is a perspective view of a unit member constituting the filter shown in FIG. 図２０は、図１８に示されるフィルターを構成する単位積層体の斜視図である。FIG. 20 is a perspective view of a unit laminate body constituting the filter shown in FIG. 図２１は、単位部材と単位積層体の他の例を示す斜視図である。FIG. 21 is a perspective view showing another example of the unit member and the unit laminate. 図２２は、本発明のフィルターの他の実施形態を説明するための斜視図である。FIG. 22 is a perspective view for explaining another embodiment of the filter of the present invention. 図２３は、図２２に示されるフィルターを構成する単位部材の斜視図である。FIG. 23 is a perspective view of a unit member constituting the filter shown in FIG. 図２４は、図２２に示されるフィルターを構成する単位積層体の斜視図である。FIG. 24 is a perspective view of a unit laminate body constituting the filter shown in FIG. 図２５は、単位部材と単位積層体の他の例を示す斜視図である。FIG. 25 is a perspective view showing another example of the unit member and the unit laminate body. 図２６は、本発明のフィルターの他の実施形態を説明するための斜視図である。FIG. 26 is a perspective view for explaining another embodiment of the filter of the present invention. 図２７は、図２６に示されるフィルターを構成する単位部材の斜視図である。27 is a perspective view of a unit member constituting the filter shown in FIG. 図２８は、本発明のフィルターの他の実施形態を説明するための斜視図である。FIG. 28 is a perspective view for explaining another embodiment of the filter of the present invention. 図２９は、図２８に示されるフィルターを構成する単位部材の斜視図である。29 is a perspective view of a unit member constituting the filter shown in FIG. 図３０は、本発明のフィルターの他の実施形態を説明するための斜視図である。FIG. 30 is a perspective view for explaining another embodiment of the filter of the present invention. 図３１は、図３０に示されるフィルターを構成する単位部材の斜視図である。FIG. 31 is a perspective view of a unit member constituting the filter shown in FIG. 図３２は、図３０に示されるフィルターを構成する単位積層体の斜視図である。FIG. 32 is a perspective view of a unit laminate body constituting the filter shown in FIG. 図３３は、本発明のフィルターを作製する一例を説明するための斜視図である。FIG. 33 is a perspective view for explaining an example of producing the filter of the present invention. 図３４は、本発明のフィルターを作製する他の例を説明するための斜視図である。FIG. 34 is a perspective view for explaining another example of producing the filter of the present invention.

以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。
尚、図面は模式的または概念的なものであり、各部材の寸法、部材間の大きさの比等は、必ずしも現実のものと同一とは限らず、また、同じ部材等を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比が異なって表される場合もある。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
Note that the drawings are schematic or conceptual, and the dimensions of each member, the ratio of sizes between the members, etc. are not necessarily the same as the actual ones, and represent the same members. However, in some cases, the dimensions and ratios may be different depending on the drawing.

［第１の実施形態］
図１は、本発明のフィルターの一実施形態を説明するための斜視図であり、図２は、図１に示されるフィルターを構成する単位部材の斜視図である。図１および図２において、フィルター１１は、複数の単位部材２１と単位部材２１′が積層されてなる積層体１２と、蓋部材１５を有している。
積層体１２を構成する単位部材２１は、平板形状の基材２２と、この基材２２の対向する一対の主面２３ａ，２３ｂの一方の主面２３ａに位置して基材２２の一方の側２２ａから対向する他方の側２２ｂに至るように図示Ｘ方向に沿った溝部２４と、基材２２において溝部２４が位置する部位の主面２３ｂ側に位置している薄肉部２５と、を有している。溝部２４の寸法は、後述する流路１４の幅Ｗ１と高さＨを決定するものである。図示例では、薄肉部２５は基材２２の図示Ｚ方向の一方の端に位置している。
また、積層体１２を構成する単位部材２１′は平板形状であり、溝部２４および薄肉部２５を備えていない他は、上記の単位部材２１と同様である。 [First Embodiment]
FIG. 1 is a perspective view for explaining an embodiment of the filter of the present invention, and FIG. 2 is a perspective view of a unit member constituting the filter shown in FIG. 1 and 2, the filter 11 includes a laminated body 12 in which a plurality of unit members 21 and unit members 21 ′ are laminated, and a lid member 15.
The unit member 21 constituting the laminated body 12 is located on one side of the base material 22 located on one main surface 23a of the flat base material 22 and a pair of main surfaces 23a, 23b facing the base material 22. A groove portion 24 along the X direction shown in the figure so as to reach the other side 22b facing from 22a, and a thin portion 25 located on the main surface 23b side of the portion where the groove portion 24 is located in the base material 22. ing. The dimension of the groove part 24 determines the width W1 and height H of the flow path 14 mentioned later. In the illustrated example, the thin portion 25 is located at one end of the base material 22 in the illustrated Z direction.
The unit member 21 ′ constituting the laminated body 12 has a flat plate shape and is the same as the unit member 21 except that the groove portion 24 and the thin portion 25 are not provided.

このような単位部材２１は、一の単位部材２１の主面２３ａと、隣接する他の単位部材２１の主面２３ｂとを当接し、溝部２４が平行に配列するように接合されて、図示のＹ方向に積層されている。このように積層された４個の単位部材２１のうち、最外側に位置して主面２３ａと溝部２４が露出している単位部材２１の主面２３ａには、単位部材２１′が接合されている。尚、図３に示されるように、積層された４個の単位部材２１のうち、最外側に位置している単位部材２１の溝部２４を後述する流路として使用しない場合には、単位部材２１′が接合されていないものであってもよい。図示例では、４個の単位部材２１が積層されているが、積層体１２を構成する単位部材２１の数はこれに限定されるものではない。
また、蓋部材１５は、積層体１２の一の面に配列している複数の単位部材２１の肉薄部２５と、単位部材２１′に当接し、溝部２４を覆うように接合されている。
このようなフィルター１１は、肉薄部２５で区画された溝部２４からなる流路１４を有する濾過構造部１３を備え、この濾過構造部１３は流路１４の幅Ｗ１と高さＨのいずれか小さい寸法により、フィルター１１を通過可能な粒子の大きさを規定する。 Such a unit member 21 is joined so that the main surface 23a of one unit member 21 and the main surface 23b of another adjacent unit member 21 are in contact with each other and the groove portions 24 are arranged in parallel. They are stacked in the Y direction. Of the four unit members 21 stacked in this manner, the unit member 21 'is joined to the main surface 23a of the unit member 21 that is located on the outermost side and from which the main surface 23a and the groove 24 are exposed. Yes. As shown in FIG. 3, when the groove portion 24 of the unit member 21 located on the outermost side among the four unit members 21 stacked is not used as a flow path to be described later, the unit member 21. 'May not be joined. In the illustrated example, four unit members 21 are laminated, but the number of unit members 21 constituting the laminate 12 is not limited to this.
The lid member 15 is joined so as to contact the thin portions 25 of the plurality of unit members 21 arranged on one surface of the laminate 12 and the unit members 21 ′ and cover the groove portions 24.
Such a filter 11 includes a filtration structure portion 13 having a flow path 14 composed of groove portions 24 partitioned by a thin portion 25, and the filtration structure section 13 is smaller of either the width W 1 or the height H of the flow path 14. The size defines the size of particles that can pass through the filter 11.

単位部材２１，２１′の材質は、例えば、オーステナイト系、フェライト系、マルテンサイト系のステンレス鋼、チタン、チタン合金、ニッケル、ニッケル合金、ニオブ、タンタル、ジルコニウム、コバルト合金、クロム合金、モリブデン合金、タングステン合金等であってよい。このような単位部材２１の厚みＴは、例えば、２０〜２００μｍ、好ましくは２０〜１５０μｍの範囲であることが好適である。
また、溝部２４の寸法は、上述した流路１４の幅Ｗ１と高さＨを決定するものであり、例えば、幅Ｗ１を１５〜１００μｍの範囲、高さＨを１５〜１００μｍの範囲で決定するように溝部２４の寸法を設定することができる。このような溝部２４は、例えば、エッチングマスクを介したドライエッチング、ウエットエッチング、あるいは、研削等により形成することができる。 The material of the unit members 21, 21 ′ is, for example, austenitic, ferritic, martensitic stainless steel, titanium, titanium alloy, nickel, nickel alloy, niobium, tantalum, zirconium, cobalt alloy, chromium alloy, molybdenum alloy, It may be a tungsten alloy or the like. The thickness T of the unit member 21 is, for example, 20 to 200 μm, preferably 20 to 150 μm.
Moreover, the dimension of the groove part 24 determines the width W1 and height H of the flow path 14 mentioned above, for example, determines the width W1 in the range of 15-100 micrometers, and the height H in the range of 15-100 micrometers. Thus, the dimension of the groove portion 24 can be set. Such a groove portion 24 can be formed by, for example, dry etching, wet etching, grinding, or the like through an etching mask.

単位部材２１，２１′の接合は、例えば、拡散接合、電気溶接、あるいは、ネジによる締結等により行うことができる。
また、蓋部材１５の材質は、単位部材２１，２１′の材質と同じもの、あるいは、異なるものであってよく、単位部材２１，２１′との接合を考慮して適宜選択することができる。
このようなフィルター１１では、濾過構造部１３に供給され流路１４を図示のＸ方向に通過する流体に対して濾過機能を発現することができる。 The unit members 21 and 21 'can be joined by, for example, diffusion joining, electric welding, or fastening with screws.
The material of the lid member 15 may be the same as or different from the material of the unit members 21 and 21 ′, and can be appropriately selected in consideration of the connection with the unit members 21 and 21 ′.
In such a filter 11, the filtration function can be expressed with respect to the fluid that is supplied to the filtration structure 13 and passes through the flow path 14 in the X direction shown in the drawing.

図４は、本発明のフィルターの他の実施形態を説明するための斜視図であり、図５は、図４に示されるフィルターを構成する単位部材の斜視図である。図４および図５において、フィルター３１は、複数の単位部材４１と単位部材４１′が積層されてなる積層体３２を有している。
積層体３２を構成する単位部材４１は、平板形状の基材４２と、この基材４２の対向する一対の主面４３ａ，４３ｂの一方の主面４３ａに位置して基材４２の一方の側４２ａから対向する他方の側４２ｂに至るように図示のＸ方向に沿った溝部４４と、基材４２において溝部４４が位置する部位の主面４３ｂ側に位置している薄肉部４５と、を有している。溝部４４の寸法は、後述する流路３４の幅Ｗ１と高さＨを決定するものである。図示例では、薄肉部４５は基材４２の図示Ｚ方向の端から離間した部位に位置している。
また、積層体３２を構成する単位部材４１′は平板形状であり、溝部４４および薄肉部４５を備えていない他は、上記の単位部材４１と同様である。 FIG. 4 is a perspective view for explaining another embodiment of the filter of the present invention, and FIG. 5 is a perspective view of a unit member constituting the filter shown in FIG. 4 and 5, the filter 31 has a laminated body 32 in which a plurality of unit members 41 and unit members 41 ′ are laminated.
The unit member 41 constituting the laminated body 32 is located on one side of the base 42 that is located on one main surface 43a of the flat plate-like base 42 and a pair of main surfaces 43a, 43b facing the base 42. A groove portion 44 along the X direction shown in the figure so as to reach the other side 42b facing from 42a, and a thin portion 45 positioned on the main surface 43b side of the portion where the groove portion 44 is located in the base material 42. doing. The dimension of the groove 44 determines the width W1 and the height H of the flow path 34 to be described later. In the example of illustration, the thin part 45 is located in the site | part spaced apart from the edge of the illustration Z direction of the base material 42. FIG.
The unit member 41 ′ constituting the laminated body 32 has a flat plate shape and is the same as the unit member 41 except that the groove portion 44 and the thin portion 45 are not provided.

このような単位部材４１は、一の単位部材４１の主面４３ａと、隣接する他の単位部材４１の主面４３ｂとを当接し、溝部４４が平行に配列するように接合されて、図示のＹ方向に積層されている。このように積層された４個の単位部材４１のうち、最外側に位置して主面４３ａと溝部４４が露出している単位部材２１には、その主面４３ａに単位部材４１′が接合されている。尚、積層された４個の単位部材４１のうち、最外側に位置している単位部材４１の溝部４４を後述する流路として使用しない場合には、単位部材４１′が配設されていないものであってもよい。また、図示例では、４個の単位部材４１が積層されているが、積層体３２を構成する単位部材４１の数はこれに限定されるものではない。   Such a unit member 41 abuts the main surface 43a of one unit member 41 and the main surface 43b of another adjacent unit member 41 and is joined so that the groove portions 44 are arranged in parallel. They are stacked in the Y direction. Of the four unit members 41 stacked in this manner, the unit member 41 ′ is joined to the main surface 43 a of the unit member 21 located on the outermost side and exposing the main surface 43 a and the groove 44. ing. Of the four unit members 41 stacked, when the groove portion 44 of the unit member 41 located on the outermost side is not used as a flow path to be described later, the unit member 41 'is not provided. It may be. In the illustrated example, four unit members 41 are stacked, but the number of unit members 41 constituting the stacked body 32 is not limited to this.

また、単位部材４１の溝部４４は、主面４３ａに複数本並行に形成してもよい。溝部４４を複数本並行に形成することで、フィルター３１は１つの主面４３ａに複数本の並行した流路３４を形成することができ、流路の数を増やしてフィルター３１の圧力損失を低減することができる。
このようなフィルター３１は、肉薄部４５で区画された溝部４４からなる流路３４を有する濾過構造部３３を備え、この濾過構造部３３は流路３４の幅Ｗ１と高さＨのいずれか小さい寸法により、フィルター３１を通過可能な粒子の大きさを規定する。
単位部材４１，４１′の材質は、上述の単位部材２１，２１′と同様とすることができる。
また、溝部４４の寸法は、上述した流路３４の幅Ｗ１と高さＨを決定するものであり、例えば、幅Ｗ１を１５〜１００μｍの範囲、高さＨを３０〜２００μｍの範囲で決定するように溝部４４の寸法を設定することができる。このような溝部４４は、例えば、エッチングマスクを介したドライエッチング、ウエットエッチング、あるいは、研削等により形成することができる。 Further, a plurality of groove portions 44 of the unit member 41 may be formed in parallel on the main surface 43a. By forming a plurality of groove portions 44 in parallel, the filter 31 can form a plurality of parallel flow paths 34 on one main surface 43a, and the pressure loss of the filter 31 is reduced by increasing the number of flow paths. can do.
Such a filter 31 includes a filtration structure portion 33 having a flow path 34 composed of groove portions 44 partitioned by a thin portion 45, and the filtration structure portion 33 is smaller of either the width W 1 or the height H of the flow path 34. The size defines the size of particles that can pass through the filter 31.
The material of the unit members 41 and 41 ′ can be the same as that of the unit members 21 and 21 ′ described above.
Moreover, the dimension of the groove part 44 determines the width W1 and height H of the flow path 34 mentioned above, for example, determines the width W1 in the range of 15-100 micrometers, and the height H in the range of 30-200 micrometers. Thus, the dimension of the groove 44 can be set. Such a groove 44 can be formed by, for example, dry etching, wet etching, grinding, or the like through an etching mask.

単位部材４１、単位部材４１′の接合は、例えば、拡散接合、電気溶接、あるいは、ネジによる締結等により行うことができる。
このようなフィルター３１では、濾過構造部３３に供給され流路３４を図示のＸ方向に通過する流体に対して濾過機能を発現することができる。
上述のフィルター１１，３１は、使用する単位部材２１，４１の溝部２４，４４の寸法、長さにより、流路１４，３４の幅Ｗ１、あるいは、高さＨが決定され、単位部材２１、単位部材４１の積層時の精度に影響されることがない。また、基材２２，４２の幅（図示Ｘ方向の基材の長さ）を長くすることにより流路１４，３４のアスペクト比（流路の長さ／流路の幅）を大きくすることができ、これにより濾過構造部１３，３３の寸法精度が高く、優れたフィルター機能が発現される。 The unit member 41 and the unit member 41 ′ can be joined by, for example, diffusion joining, electric welding, or fastening with screws.
In such a filter 31, a filtration function can be expressed with respect to the fluid supplied to the filtration structure 33 and passing through the flow path 34 in the X direction shown in the figure.
In the filters 11 and 31 described above, the width W1 or the height H of the flow paths 14 and 34 is determined by the dimensions and lengths of the groove portions 24 and 44 of the unit members 21 and 41 to be used. It is not affected by the accuracy when the members 41 are stacked. Further, by increasing the width of the base materials 22 and 42 (the length of the base material in the X direction in the drawing), the aspect ratio (the length of the flow path / the width of the flow path) of the flow paths 14 and 34 can be increased. Thus, the dimensional accuracy of the filtration structures 13 and 33 is high, and an excellent filter function is exhibited.

［第２の実施形態］
図６は、本発明のフィルターの他の実施形態を説明するための斜視図であり、図７は、図６に示されるフィルターを構成する単位部材の斜視図である。図６および図７において、フィルター５１は、複数の単位部材６１が積層されてなる積層体５２と、蓋部材５５を有している。
積層体５２を構成する単位部材６１は、平板形状の基材６２と、この基材６２の対向する一対の主面６３ａ，６３ｂの一方の主面６３ａに位置して基材６２の一方の側６２ａから対向する他方の側６２ｂに至るように図示のＸ方向に沿った溝部６４と、基材６２において溝部６４が位置する部位の主面６３ｂ側に位置している薄肉部６５と、を有している。溝部６４の寸法は、後述するように１組の単位部材６１が単位積層体６０を構成することにより、後述する流路５４の幅Ｗ１と高さＨを決定するものである。図示例では、薄肉部６５は基材６２の図示Ｚ方向の一方の端に位置している。 [Second Embodiment]
FIG. 6 is a perspective view for explaining another embodiment of the filter of the present invention, and FIG. 7 is a perspective view of a unit member constituting the filter shown in FIG. 6 and 7, the filter 51 includes a laminated body 52 in which a plurality of unit members 61 are laminated, and a lid member 55.
The unit member 61 constituting the laminated body 52 is located on one side of the base material 62 located on one main surface 63a of the flat base material 62 and a pair of main surfaces 63a and 63b facing the base material 62. The groove portion 64 along the X direction shown in the figure so as to reach the other side 62b facing from 62a, and the thin portion 65 located on the main surface 63b side of the portion where the groove portion 64 is located in the base material 62. doing. The dimension of the groove part 64 determines the width W1 and the height H of the flow path 54, which will be described later, when a set of unit members 61 constitutes the unit laminated body 60 as will be described later. In the illustrated example, the thin portion 65 is located at one end of the base material 62 in the illustrated Z direction.

このような単位部材６１は、図８に示されるように、１組の単位部材６１が溝部６４を対向するように主面６３ａ同士を当接して積層され、単位積層体６０を構成している。そして、この単位積層体６０が、溝部６４を平行に配列するように接合されて、図示のＹ方向に積層されている。尚、図示例では、３組の単位積層体６０、計６個の単位部材６１が積層されているが、積層体５２を構成する単位積層体６０の数はこれに限定されるものではない。
また、蓋部材５５は、積層体５２の一の面に配列している複数の肉薄部６５に当接し、溝部６４を覆うように接合されている。
このようなフィルター５１は、当接された２個の単位部材６１の肉薄部６５で区画された対向する２個の溝部６４からなる流路５４を有する濾過構造部５３を備え、この濾過構造部５３は流路５４の幅Ｗ１と高さＨのいずれか小さい寸法により、フィルター５１を通過可能な粒子の大きさを規定する。
単位部材６１の材質は、上述の単位部材２１と同様とすることができる。 As shown in FIG. 8, such a unit member 61 is laminated with the main surfaces 63 a in contact with each other so that the pair of unit members 61 faces the groove portion 64, thereby forming a unit laminate 60. . And this unit laminated body 60 is joined so that the groove part 64 may be arranged in parallel, and is laminated | stacked on the Y direction of illustration. In the illustrated example, three sets of unit laminated bodies 60 and a total of six unit members 61 are laminated, but the number of unit laminated bodies 60 constituting the laminated body 52 is not limited to this.
Further, the lid member 55 is in contact with the plurality of thin portions 65 arranged on one surface of the stacked body 52 and joined so as to cover the groove portion 64.
Such a filter 51 includes a filtration structure portion 53 having a flow path 54 composed of two opposed groove portions 64 that are partitioned by the thin portions 65 of the two unit members 61 that are in contact with each other. 53 defines the size of particles that can pass through the filter 51 depending on the smaller one of the width W1 and the height H of the channel 54.
The material of the unit member 61 can be the same as that of the unit member 21 described above.

また、溝部６４の寸法は、単位積層体６０において１組の溝部６４が対向することで、上述した流路５４の幅Ｗ１と高さＨを決定するものであり、例えば、幅Ｗ１を３０〜２００μｍの範囲、高さＨを３０〜２００μｍの範囲で決定するように溝部６４の寸法を設定することができる。このような溝部６４は、例えば、エッチングマスクを介したドライエッチング、ウエットエッチング、あるいは、研削等により形成することができる。   Moreover, the dimension of the groove part 64 determines the width W1 and the height H of the flow path 54 mentioned above when one set of groove parts 64 opposes in the unit laminated body 60. The dimension of the groove part 64 can be set so as to determine the range of 200 μm and the height H in the range of 30 to 200 μm. Such a groove portion 64 can be formed by, for example, dry etching, wet etching, grinding, or the like through an etching mask.

この実施形態では、流路５４の幅Ｗ１が、溝部６４の深さの２倍に相当する。例えば、上述の第１の実施形態において、使用する単位部材２１の基材２２の厚みが薄く、設定される通過粒子の最大径に対応させた場合、溝部２４が深くなって薄肉部２５が極端に薄くなり、強度的に支障が生じるおそれがあっても、本実施形態では、１個の単位部材６１における溝部６４の深さを、設定される通過粒子の最大径の半分とすることができる。したがって、薄肉部６５を厚くすることができ、さらに、単位積層体６０を積層することにより、各流路５４を区画する薄肉部が、２個の薄肉部６５からなるので、十分に強度の高いものとなる。
単位部材６１の接合、単位積層体６０の接合は、例えば、拡散接合、電気溶接、あるいは、ネジによる締結等により行うことができる。
また、蓋部材５５の材質は、上述の蓋部材１５と同様とすることができる。
このようなフィルター５１では、濾過構造部５３に供給され流路５４を図示のＸ方向に通過する流体に対して濾過機能を発現することができる。 In this embodiment, the width W <b> 1 of the flow path 54 corresponds to twice the depth of the groove 64. For example, in the above-described first embodiment, when the thickness of the base member 22 of the unit member 21 to be used is thin and corresponds to the set maximum diameter of the passing particles, the groove portion 24 becomes deep and the thin portion 25 becomes extreme. In this embodiment, the depth of the groove portion 64 in one unit member 61 can be made half the maximum diameter of the set passing particles, even if the thickness may be reduced. . Accordingly, the thin portion 65 can be thickened, and further, by stacking the unit laminate 60, the thin portion defining each flow channel 54 is composed of the two thin portions 65, so that the strength is sufficiently high. It will be a thing.
The joining of the unit members 61 and the joining of the unit laminate 60 can be performed by, for example, diffusion joining, electric welding, or fastening with screws.
The material of the lid member 55 can be the same as that of the lid member 15 described above.
In such a filter 51, a filtration function can be expressed with respect to the fluid supplied to the filtration structure 53 and passing through the flow path 54 in the X direction shown in the figure.

図９は、本発明のフィルターの他の実施形態を説明するための斜視図であり、図１０は、図９に示されるフィルターを構成する単位部材の斜視図である。図９および図１０において、フィルター７１は、複数の単位部材８１が積層されてなる積層体７２を有している。
積層体７２を構成する単位部材８１は、平板形状の基材８２と、この基材８２の対向する一対の主面８３ａ，８３ｂの一方の主面８３ａに位置して基材８２の一方の側８２ａから対向する他方の側８２ｂに至るように図示のＸ方向に沿った溝部８４と、基材８２において溝部８４が位置する部位の主面８３ｂ側に位置している薄肉部８５と、を有している。溝部８４の寸法は、後述するように１組の単位部材８１が単位積層体８０を構成することにより後述する流路７４の幅Ｗ１と高さＨを決定するものである。図示例では、薄肉部８５は基材８２の図示Ｚ方向の端から離間した部位に位置している。 FIG. 9 is a perspective view for explaining another embodiment of the filter of the present invention, and FIG. 10 is a perspective view of a unit member constituting the filter shown in FIG. 9 and 10, the filter 71 has a laminated body 72 in which a plurality of unit members 81 are laminated.
The unit member 81 constituting the laminated body 72 is located on one side of the base material 82 and is located on one main surface 83a of a pair of main surfaces 83a and 83b facing the base material 82 and the base material 82. A groove portion 84 along the X direction shown in the figure so as to reach the other side 82b facing from 82a, and a thin wall portion 85 located on the main surface 83b side of the portion where the groove portion 84 is located in the base material 82. doing. The dimension of the groove part 84 determines the width W1 and the height H of the flow path 74, which will be described later, when a set of unit members 81 constitutes the unit laminated body 80, as will be described later. In the illustrated example, the thin-walled portion 85 is located at a part of the base material 82 that is separated from the end in the illustrated Z direction.

このような単位部材８１は、図１１に示されるように、１組の単位部材８１が溝部８４を対向するように主面８３ａ同士を当接して積層され、単位積層体８０を構成している。そして、この単位積層体８０が、溝部８４を平行に配列するように接合されて、図示のＹ方向に積層されている。尚、図示例では、３組の単位積層体８０、計６個の単位部材８１が積層されているが、積層体７２を構成する単位積層体８０の数はこれに限定されるものではない。
また、単位部材８１の溝部８４は、主面８３ａに複数本並行に形成してもよい。溝部８４を複数本並行に形成することで、フィルター７１は１つの単位積層体８０に複数本の並行した流路７４を形成することができ、流路の数を増やしてフィルター７１の圧力損失を低減することができる。
このようなフィルター７１は、当接された２個の単位部材８１の肉薄部８５で区画された対向する２個の溝部８４からなる流路７４を有する濾過構造部７３を備え、この濾過構造部７３は流路７４の幅Ｗ１と高さＨのいずれか小さい寸法により、フィルター７１を通過可能な粒子の大きさを規定する。
単位部材８１の材質は、上述の単位部材２１と同様とすることができる。 As shown in FIG. 11, such a unit member 81 is laminated with the main surfaces 83 a in contact with each other so that the pair of unit members 81 faces the groove portion 84, thereby forming a unit laminate 80. . And this unit laminated body 80 is joined so that the groove part 84 may be arranged in parallel, and is laminated | stacked on the Y direction of illustration. In the illustrated example, three sets of unit laminated bodies 80 and a total of six unit members 81 are laminated, but the number of unit laminated bodies 80 constituting the laminated body 72 is not limited to this.
Further, a plurality of groove portions 84 of the unit member 81 may be formed in parallel on the main surface 83a. By forming a plurality of groove portions 84 in parallel, the filter 71 can form a plurality of parallel flow paths 74 in one unit laminate 80, and the number of flow paths can be increased to reduce the pressure loss of the filter 71. Can be reduced.
Such a filter 71 includes a filtration structure portion 73 having a flow path 74 composed of two opposed groove portions 84 defined by the thin portions 85 of the two unit members 81 that are in contact with each other. 73 defines the size of the particles that can pass through the filter 71 by the smaller one of the width W1 and the height H of the flow path 74.
The material of the unit member 81 can be the same as that of the unit member 21 described above.

また、溝部８４の寸法は、単位積層体８０において１組の溝部８４が対向することで、上述した流路７４の幅Ｗ１と高さＨを決定するものであり、例えば、幅Ｗ１を３０〜２００μｍの範囲、高さＨを３０〜２００μｍの範囲で決定するように溝部８４の寸法を設定することができる。このような溝部８４は、例えば、エッチングマスクを介したドライエッチング、ウエットエッチング、あるいは、研削等により形成することができる。
この実施形態では、流路７４の幅Ｗ１が、溝部８４の深さの２倍に相当する。例えば、上述の第１の実施形態において、使用する単位部材４１の基材４２の厚みが薄く、設定される通過粒子の最大径に対応させた場合、溝部４４が深くなって薄肉部４５が極端に薄くなり、強度的に支障が生じるおそれがあっても、本実施形態では、１個の単位部材８１における溝部８４の深さを、設定される通過粒子の最大径の半分とすることができる。したがって、薄肉部８５を厚くすることができ、さらに、単位積層体８０を積層することにより、各流路７４を区画する薄肉部が、２個の薄肉部８５からなるので、十分に強度の高いものとなる。 Moreover, the dimension of the groove part 84 determines the width W1 and the height H of the flow path 74 mentioned above when one set of groove parts 84 opposes in the unit laminated body 80. The dimension of the groove portion 84 can be set so that the range of 200 μm and the height H are determined in the range of 30 to 200 μm. Such a groove 84 can be formed by, for example, dry etching, wet etching, grinding, or the like through an etching mask.
In this embodiment, the width W <b> 1 of the flow path 74 corresponds to twice the depth of the groove 84. For example, in the first embodiment described above, when the base member 42 of the unit member 41 to be used is thin and corresponds to the set maximum diameter of the passing particles, the groove 44 becomes deep and the thin portion 45 is extremely small. In this embodiment, the depth of the groove portion 84 in one unit member 81 can be set to half the maximum diameter of the set passing particles. . Therefore, the thin portion 85 can be thickened, and further, by laminating the unit laminated body 80, the thin portion defining each flow path 74 is composed of the two thin portions 85, so that the strength is sufficiently high. It will be a thing.

単位部材８１の接合、単位積層体８０の接合は、例えば、拡散接合、電気溶接、あるいは、ネジによる締結等により行うことができる。
このようなフィルター７１では、濾過構造部７３に供給され流路７４を図示のＸ方向に通過する流体に対して濾過機能を発現することができる。
上述のようなフィルター５１，７１は、使用する単位部材６１，８１の溝部６４，８４の寸法、長さにより、流路５４，７４の幅Ｗ１、あるいは、高さＨが決定され、特に流路５４，７４の幅Ｗ１は単位部材６１、単位部材８１の積層時の精度に影響されることがない。また、基材６２，８２の幅（図示Ｘ方向の基材の長さ）を長くすることにより流路５４，７４のアスペクト比（流路の長さ／流路の幅）を大きくすることができ、これにより濾過構造部５３，７３の寸法精度が高く、優れたフィルター機能が発現される。さらに、設定される通過粒子の最大径に影響されることなく、十分に高い強度を具備するものである。 The joining of the unit member 81 and the joining of the unit laminate body 80 can be performed by, for example, diffusion joining, electric welding, or fastening with screws.
In such a filter 71, a filtration function can be expressed with respect to the fluid supplied to the filtration structure 73 and passing through the flow path 74 in the X direction shown in the figure.
In the filters 51 and 71 as described above, the width W1 or the height H of the flow paths 54 and 74 is determined by the dimensions and lengths of the groove portions 64 and 84 of the unit members 61 and 81 to be used. The width W1 of 54 and 74 is not affected by the accuracy when the unit member 61 and the unit member 81 are stacked. Further, by increasing the width of the base materials 62 and 82 (the length of the base material in the X direction in the drawing), the aspect ratio (the length of the flow path / the width of the flow path) of the flow paths 54 and 74 can be increased. Thus, the dimensional accuracy of the filtration structures 53 and 73 is high, and an excellent filter function is exhibited. Furthermore, it has sufficiently high strength without being influenced by the set maximum diameter of the passing particles.

［第３の実施形態］
図１２は、本発明のフィルターの一実施形態を説明するための斜視図であり、図１３は、図１２に示されるフィルターを構成する単位部材の斜視図である。図１２および図１３において、フィルター９１は、複数の単位部材１０１と単位部材１０１′、単位部材１０１″が積層されてなる積層体９２と、蓋部材９５を有している。尚、図１２では、積層体９２と蓋部材９５とが離間した状態を示している。
積層体９２を構成する単位部材１０１は、平板形状の基材１０２と、この基材１０２の対向する一対の主面１０３ａ，１０３ｂの一方の主面１０３ａに位置して基材１０２の一方の側１０２ａから対向する他方の側１０２ｂに至るように図示Ｘ方向に沿った溝部１０４と、基材１０２において溝部１０４が位置する部位の主面１０３ｂ側に位置している薄肉部１０５と、この薄肉部１０５に位置する複数の切欠き部１０６と、を有している。溝部１０４の寸法は、後述する流路９４の幅Ｗ１と高さＨを決定するものである。また、図示例では、薄肉部１０５は基材１０２の図示Ｚ方向の一方の端に位置している。この薄肉部１０５に位置する切欠き部１０６の幅Ｗ２は、後述する流路９４を流れる流体が切欠き部１０６を流れることにより圧力損失を低減できるように設定される。 [Third Embodiment]
FIG. 12 is a perspective view for explaining an embodiment of the filter of the present invention, and FIG. 13 is a perspective view of a unit member constituting the filter shown in FIG. 12 and 13, the filter 91 has a laminated body 92 in which a plurality of unit members 101, unit members 101 ′ and unit members 101 ″ are laminated, and a lid member 95. In FIG. The laminated body 92 and the lid member 95 are shown in a separated state.
The unit member 101 constituting the laminated body 92 is positioned on one side of the base material 102 and positioned on one main surface 103a of a pair of main surfaces 103a and 103b facing the base material 102. A groove portion 104 along the X direction in the drawing so as to reach the other side 102b facing from 102a, a thin portion 105 located on the main surface 103b side of the portion where the groove portion 104 is located in the base material 102, and the thin portion And a plurality of notches 106 located at 105. The dimension of the groove part 104 determines the width W1 and height H of the flow path 94 mentioned later. Further, in the illustrated example, the thin portion 105 is located at one end of the base material 102 in the illustrated Z direction. The width W2 of the notch 106 positioned in the thin portion 105 is set so that the pressure loss can be reduced by the fluid flowing through the flow path 94 described later flowing through the notch 106.

また、積層体９２を構成する単位部材１０１′は平板形状であり、溝部１０４、薄肉部１０５、切欠き部１０６を備えていない他は、上記の単位部材１０１と同様である。さらに、積層体９２を構成する単位部材１０１″は平板形状であり、切欠き部１０６を備えていない他は、上記の単位部材１０１と同様である。
このような単位部材１０１は、一の単位部材１０１の主面１０３ａと、隣接する他の単位部材１０１の主面１０３ｂとを当接し、溝部１０４が平行に配列するように接合されて、図示のＹ方向に積層されている。このように積層された３個の単位部材１０１のうち、一方の最外側に位置して主面１０３ａと溝部１０４が露出している単位部材１０１には、その主面１０３ａに単位部材１０１′が接合されている。また、他方の最外側に位置して主面１０３ｂと切欠き部１０６が露出している単位部材１０１の主面１０３ｂには、単位部材１０１″がその主面１０３ａを当接して接合されている。尚、図示例では、３個の単位部材１０１が積層されているが、積層体９２を構成する単位部材１０１の数はこれに限定されるものではない。 The unit member 101 ′ constituting the laminated body 92 has a flat plate shape and is the same as the unit member 101 except that the groove portion 104, the thin portion 105, and the notch portion 106 are not provided. Further, the unit member 101 ″ constituting the laminated body 92 has a flat plate shape, and is the same as the unit member 101 except that the notched portion 106 is not provided.
Such a unit member 101 abuts the main surface 103a of one unit member 101 and the main surface 103b of another adjacent unit member 101, and is joined so that the grooves 104 are arranged in parallel. They are stacked in the Y direction. Of the three unit members 101 stacked in this way, the unit member 101 located on the outermost side of one and exposing the main surface 103a and the groove 104 has a unit member 101 ′ on the main surface 103a. It is joined. In addition, the unit member 101 ″ is joined to the main surface 103b of the unit member 101, which is located on the other outermost side and from which the main surface 103b and the notch 106 are exposed, abutting the main surface 103a. In the illustrated example, three unit members 101 are laminated, but the number of unit members 101 constituting the laminated body 92 is not limited to this.

また、蓋部材９５は、積層体９２の一の面に配列している複数の単位部材１０１の薄肉部１０５と単位部材１０１″の肉薄部１０５、および、単位部材１０１′に当接し、溝部１０４と切欠き部１０６を覆うように接合されている。
このようなフィルター９１は、肉薄部１０５で区画された溝部１０４からなる流路９４を有する濾過構造部９３を備え、この濾過構造部９３は流路９４の幅Ｗ１と高さＨのいずれか小さい寸法により、フィルター９１を通過可能な粒子の大きさを規定する。
単位部材１０１、単位部材１０１′、単位部材１０１″の材質は、上述の単位部材２１，２１′と同様とすることができる。
また、蓋部材９５の材質は、上述の蓋部材１５と同様とすることができる。 The lid member 95 is in contact with the thin portions 105 of the plurality of unit members 101 and the thin portions 105 of the unit members 101 ″ and the unit member 101 ′ arranged on one surface of the laminated body 92, and the groove portions 104 Are joined so as to cover the notch 106.
Such a filter 91 includes a filtration structure portion 93 having a flow path 94 composed of groove portions 104 partitioned by a thin portion 105, and the filtration structure section 93 is either the width W 1 or the height H of the flow path 94 which is smaller. The size defines the size of particles that can pass through the filter 91.
The material of the unit member 101, the unit member 101 ′, and the unit member 101 ″ can be the same as that of the unit members 21 and 21 ′ described above.
The material of the lid member 95 can be the same as that of the lid member 15 described above.

溝部１０４の寸法は、上述した流路９４の幅Ｗ１と高さＨを決定するものであり、例えば、幅Ｗ１を１５〜１００μｍの範囲、高さＨを１５〜１００μｍの範囲で決定するように溝部１０４の寸法を設定することができる。また、薄肉部１０５に位置する切欠き部１０６は図示Ｙ方向への流体の流れを可能とするものであり、流路９４を図示Ｘ方向に流れる流体の一部に圧力上昇が生じると、圧の低い隣接する流路へ流体が流れるバイパス的作用をなし、これにより圧力損失が低減される。この切欠き部１０６の幅Ｗ２と流路９４の幅Ｗ１、高さＨとの大小関係は特に制限されない。尚、図示例では、切欠き部１０６は２個であるが、基材１０２の図示Ｘ方向の長さに応じて、圧力損失を低減できるように切欠き部１０６の数は適宜設定することができる。
上記の溝部１０４、切欠き部１０６は、例えば、エッチングマスクを介したドライエッチング、ウエットエッチング、あるいは、研削等により形成することができる。
単位部材１０１、単位部材１０１′、単位部材１０１″の接合は、例えば、拡散接合、電気溶接、あるいは、ネジによる締結等により行うことができる。 The dimension of the groove portion 104 determines the width W1 and the height H of the flow path 94 described above. For example, the width W1 is determined in the range of 15 to 100 μm and the height H is determined in the range of 15 to 100 μm. The dimension of the groove part 104 can be set. In addition, the notch 106 positioned in the thin wall portion 105 enables fluid flow in the Y direction in the figure, and if pressure rises in part of the fluid flowing in the X direction in the figure, the pressure is increased. Bypassing the fluid to the adjacent flow path having a low pressure reduces the pressure loss. The magnitude relationship between the width W2 of the notch 106 and the width W1 and height H of the flow path 94 is not particularly limited. In the illustrated example, the number of the notch portions 106 is two, but the number of the notch portions 106 may be set as appropriate so that the pressure loss can be reduced according to the length of the base material 102 in the X direction shown in the drawing. it can.
The groove 104 and the notch 106 can be formed by, for example, dry etching, wet etching, grinding, or the like through an etching mask.
The unit member 101, the unit member 101 ′, and the unit member 101 ″ can be joined by, for example, diffusion joining, electric welding, or fastening with screws.

このようなフィルター９１では、濾過構造部９３に供給され流路９４を図示のＸ方向に通過する流体に対して濾過機能を発現することができる。
尚、本実施形態では、薄肉部１０５が切欠き部１０６に替えて、図１４に示されるように貫通孔部１０７を備えるものであってもよい。このような貫通孔部１０７の開口幅Ｗ３と流路の幅Ｗ１、高さＨとの大小関係は特に制限されない。貫通孔部１０７の開口形状（例えば、主面１０３ｂにおける断面形状）は、円形が好適であるが、楕円形、あるいは、正方形、正六角形、正八角形等の多角形、これらの多角形の角部に丸味を有する形状等であってもよい。貫通孔部１０７の開口幅Ｗ３は、開口形状が円形である場合には、その直径であり、開口形状が楕円形、多角形等のように開口寸法が一定ではない場合には、開口形状における最小の開口寸法である。
このような貫通孔部１０７は、例えば、エッチングマスクを介したドライエッチング、ウエットエッチング、あるいは、研削等により形成することができる。 In such a filter 91, a filtration function can be expressed with respect to the fluid supplied to the filtration structure part 93 and passing through the flow path 94 in the X direction shown in the figure.
In the present embodiment, the thin wall portion 105 may be provided with a through-hole portion 107 as shown in FIG. 14 instead of the notch portion 106. The magnitude relationship between the opening width W3 of the through hole 107 and the width W1 and the height H of the flow path is not particularly limited. The opening shape of the through-hole portion 107 (for example, the cross-sectional shape of the main surface 103b) is preferably a circular shape, but an elliptical shape, a polygon such as a square, a regular hexagon, or a regular octagon, and a corner portion of these polygons The shape may be rounded. The opening width W3 of the through-hole portion 107 is the diameter when the opening shape is circular, and when the opening shape is not constant, such as an ellipse or a polygon, The smallest opening dimension.
Such a through-hole portion 107 can be formed by, for example, dry etching, wet etching, grinding, or the like through an etching mask.

図１５は、本発明のフィルターの他の実施形態を説明するための斜視図であり、図１６は、図１５に示されるフィルターを構成する単位部材の斜視図である。図１５および図１６において、フィルター１１１は、複数の単位部材１２１と単位部材１２１′、単位部材１２１″が積層されてなる積層体１１２を有している。尚、図１５では、後述する流路１１４が位置する箇所でフィルター１１１を図示のＺ方向に分断し離間させた状態を示している。
積層体１１２を構成する単位部材１２１は、平板形状の基材１２２と、この基材１２２の対向する一対の主面１２３ａ，１２３ｂの一方の主面１２３ａに位置して基材１２２の一方の側１２２ａから対向する他方の側１２２ｂに至るように図示Ｘ方向に沿った溝部１２４と、基材１２２において溝部１２４が位置する部位の主面１２３ｂ側に位置している薄肉部１２５と、この薄肉部１２５に位置する複数の貫通孔部１２７と、を有している。溝部１２４の寸法は、後述する流路１１４の幅Ｗ１と高さＨを決定するものである。また、図示例では、薄肉部１２５は基材１２２の図示Ｚ方向の一方の端から離間した部位に位置している。この薄肉部１２５に位置する貫通孔部１２７の幅Ｗ２は、後述する流路１１４を流れる流体が貫通孔部１２７を流れることにより圧力損失を低減できるように設定される。 15 is a perspective view for explaining another embodiment of the filter of the present invention, and FIG. 16 is a perspective view of a unit member constituting the filter shown in FIG. 15 and 16, the filter 111 has a laminated body 112 formed by laminating a plurality of unit members 121, a unit member 121 ′, and a unit member 121 ″. In FIG. A state is shown in which the filter 111 is divided and separated in the Z direction shown in the figure at a position where 114 is located.
The unit member 121 constituting the laminated body 112 is located on one side of the base material 122 located on one main surface 123a of the flat plate-like base material 122 and a pair of main surfaces 123a and 123b facing the base material 122. A groove portion 124 along the X direction in the drawing so as to reach the other side 122b facing from 122a, a thin portion 125 positioned on the main surface 123b side of the portion where the groove portion 124 is located in the base material 122, and this thin portion And a plurality of through-hole portions 127 located at 125. The dimension of the groove part 124 determines the width W1 and height H of the flow path 114 which will be described later. Moreover, in the example of illustration, the thin part 125 is located in the site | part spaced apart from one end of the base material 122 of the Z direction of illustration. The width W2 of the through-hole portion 127 located in the thin-walled portion 125 is set so that the pressure loss can be reduced by the fluid flowing through the flow path 114 described later flowing through the through-hole portion 127.

また、積層体１１２を構成する単位部材１２１′は平板形状であり、溝部１２４、薄肉部１２５、貫通孔部１２７を備えていない他は、上記の単位部材１２１と同様である。さらに、積層体１１２を構成する単位部材１２１″は平板形状であり、貫通孔部１２７を備えていない他は、上記の単位部材１２１と同様である。
このような単位部材１２１は、一の単位部材１２１の主面１２３ａと、隣接する他の単位部材１２１の主面１２３ｂとを当接し、溝部１２４が平行に配列するように接合されて、図示のＹ方向に積層されている。このように積層された３個の単位部材１２１のうち、一方の最外側に位置して主面１２３ａと溝部１２４が露出している単位部材１２１には、その主面１２３ａに単位部材１２１′が接合されている。また、他方の最外側に位置して主面１２３ｂと貫通孔部１２７が露出している単位部材１２１の主面１２３ｂには、単位部材１２１″がその主面１２３ａを当接して接合されている。尚、図示例では、３個の単位部材１２１が積層されているが、積層体１１２を構成する単位部材１２１の数はこれに限定されるものではない。 The unit member 121 ′ constituting the laminate 112 has a flat plate shape, and is the same as the unit member 121 except that the groove portion 124, the thin portion 125, and the through hole portion 127 are not provided. Further, the unit member 121 ″ constituting the laminated body 112 has a flat plate shape, and is the same as the unit member 121 described above except that the through-hole portion 127 is not provided.
Such a unit member 121 abuts the main surface 123a of one unit member 121 and the main surface 123b of another adjacent unit member 121 and is joined so that the grooves 124 are arranged in parallel. They are stacked in the Y direction. Of the three unit members 121 stacked in this way, the unit member 121 located on the outermost side of one and exposing the main surface 123a and the groove 124 has a unit member 121 ′ on the main surface 123a. It is joined. Further, the unit member 121 ″ is joined to the main surface 123b of the unit member 121 which is located on the other outermost side and from which the main surface 123b and the through-hole portion 127 are exposed, abutting the main surface 123a. In the illustrated example, three unit members 121 are laminated, but the number of unit members 121 constituting the laminated body 112 is not limited to this.

このようなフィルター１１１は、肉薄部１２５で区画された溝部１２４からなる流路１１４を有する濾過構造部１１３を備え、この濾過構造部１１３は流路１１４の幅Ｗ１と高さＨのいずれか小さい寸法により、フィルター１１１を通過可能な粒子の大きさを規定する。
単位部材１２１、単位部材１２１′、単位部材１２１″の材質は、上述の単位部材２１，２１′と同様とすることができる。 Such a filter 111 includes a filtration structure portion 113 having a flow path 114 composed of grooves 124 partitioned by a thin portion 125, and the filtration structure section 113 is smaller of either the width W 1 or the height H of the flow path 114. The size defines the size of particles that can pass through the filter 111.
The material of the unit member 121, the unit member 121 ′, and the unit member 121 ″ may be the same as that of the unit members 21 and 21 ′ described above.

また、溝部１２４の寸法は、上述した流路１１４の幅Ｗ１と高さＨを決定するものであり、例えば、幅Ｗ１を１５〜１００μｍの範囲、高さＨを３０〜２００μｍの範囲で決定するように溝部１２４の寸法を設定することができる。また、薄肉部１２５に位置する貫通孔部１２７は図示Ｙ方向への流体の流れを可能とするものであり、流路１１４を図示Ｘ方向に流れる流体の一部に圧力上昇が生じると、圧の低い隣接する流路へ流体が流れるバイパス的作用をなし、これにより圧力損失が低減される。この貫通孔部１２７の幅Ｗ２と流路１１４の幅Ｗ１、高さＨとの大小関係は特に制限されない。
上記の溝部１２４、貫通孔部１２７は、例えば、エッチングマスクを介したドライエッチング、ウエットエッチング、あるいは、研削等により形成することができる。
単位部材１２１、単位部材１２１′、単位部材１２１″の接合は、例えば、拡散接合、電気溶接、あるいは、ネジによる締結等により行うことができる。
このようなフィルター１１１では、濾過構造部１１３に供給され流路１１４を図示のＸ方向に通過する流体に対して濾過機能を発現することができる。 The dimension of the groove 124 determines the width W1 and the height H of the flow path 114 described above. For example, the width W1 is determined in the range of 15 to 100 μm and the height H is determined in the range of 30 to 200 μm. Thus, the dimension of the groove part 124 can be set. Further, the through-hole portion 127 located in the thin-walled portion 125 enables the flow of fluid in the Y direction shown in the drawing. When a pressure rise occurs in a part of the fluid flowing in the X direction in the drawing, the pressure increases. Bypassing the fluid to the adjacent flow path having a low pressure reduces the pressure loss. The magnitude relationship between the width W2 of the through hole 127 and the width W1 and height H of the flow path 114 is not particularly limited.
The groove 124 and the through hole 127 can be formed by, for example, dry etching, wet etching, grinding, or the like through an etching mask.
The unit member 121, the unit member 121 ′, and the unit member 121 ″ can be joined by, for example, diffusion joining, electric welding, or fastening with screws.
In such a filter 111, a filtration function can be expressed with respect to the fluid supplied to the filtration structure 113 and passing through the flow path 114 in the X direction shown in the figure.

尚、図１５、図１６に示される例では、貫通孔部１２７は、薄肉部１２５の図示Ｚ方向の長さと同じ長さで形成されているが、図１７に示されるように、薄肉部１２５の図示Ｚ方向の長さの一部となるように貫通孔部１２７′が形成されていてもよい。このような貫通孔部１２７′の開口幅Ｗ３と流路の幅Ｗ１、高さＨとの大小関係は特に制限されない。貫通孔部１２７′の開口形状（例えば、主面１２３ｂにおける断面形状）は、円形が好適であるが、楕円形、あるいは、正方形、正六角形、正八角形等の多角形、これらの多角形の角部に丸味を有する形状等であってもよい。貫通孔部１２７′の開口幅Ｗ３は、開口形状が円形である場合には、その直径であり、開口形状が楕円形、多角形等のように開口寸法が一定ではない場合には、開口形状における最小の開口寸法である。
上記の貫通孔部１２７′は、例えば、エッチングマスクを介したドライエッチング、ウエットエッチング、あるいは、研削等により形成することができる。 In the example shown in FIGS. 15 and 16, the through-hole portion 127 is formed to have the same length as the thin portion 125 in the Z direction in the drawing, but as shown in FIG. 17, the thin portion 125. Through-hole part 127 'may be formed so that it may become a part of length of the Z direction of illustration. The magnitude relationship between the opening width W3 of the through-hole portion 127 ′ and the width W1 and the height H of the flow path is not particularly limited. The opening shape of the through-hole portion 127 ′ (for example, the cross-sectional shape of the main surface 123b) is preferably circular, but is elliptical, polygonal such as square, regular hexagon, regular octagon, or the corner of these polygons. The shape etc. which have roundness in a part may be sufficient. The opening width W3 of the through-hole portion 127 ′ is the diameter when the opening shape is circular, and the opening shape when the opening size is not constant, such as an ellipse or a polygon. Is the minimum opening dimension.
Said through-hole part 127 'can be formed by dry etching through an etching mask, wet etching, grinding, etc., for example.

このようなフィルター９１，１１１は、使用する単位部材１０１，１２１の溝部１０４，１２４の寸法、長さにより、流路９４，１１４の幅Ｗ１、あるいは、高さＨが決定され、単位部材１０１、単位部材１２１の積層時の精度に影響されることがない。また、基材１０２，１２２の幅（図示Ｘ方向の基材の長さ）を長くすることにより流路９４，１１４のアスペクト比（流路の長さ／流路の幅）を大きくすることができ、これにより濾過構造部９３，１１３の寸法精度が高く、優れたフィルター機能が発現される。また、濾過構造部９３，１１３の内部に切欠き部１０６、あるいは、貫通孔部１０７，１２７，１２７′が位置することにより、圧力損失が低減される。   In such filters 91 and 111, the width W1 or height H of the flow paths 94 and 114 is determined by the dimensions and lengths of the groove portions 104 and 124 of the unit members 101 and 121 to be used. It is not affected by the accuracy when the unit members 121 are stacked. Further, by increasing the width of the base materials 102 and 122 (the length of the base material in the X direction in the drawing), the aspect ratio (the length of the flow path / the width of the flow path) of the flow paths 94 and 114 can be increased. Thus, the dimensional accuracy of the filtration structures 93 and 113 is high, and an excellent filter function is exhibited. Moreover, the pressure loss is reduced by the notch 106 or the through-holes 107, 127, 127 ′ being located inside the filtration structures 93, 113.

［第４の実施形態］
図１８は、本発明のフィルターの一実施形態を説明するための斜視図であり、図１９は、図１８に示されるフィルターを構成する単位部材の斜視図である。図１８および図１９において、フィルター１３１は、複数の単位部材１４１と単位部材１４１′が積層されてなる積層体１３２と、蓋部材１３５を有している。尚、図１８では、積層体１３２と蓋部材１３５とが離間した状態を示している。 [Fourth Embodiment]
FIG. 18 is a perspective view for explaining an embodiment of the filter of the present invention, and FIG. 19 is a perspective view of a unit member constituting the filter shown in FIG. 18 and 19, the filter 131 includes a laminated body 132 in which a plurality of unit members 141 and unit members 141 ′ are laminated, and a lid member 135. FIG. 18 shows a state in which the laminate 132 and the lid member 135 are separated from each other.

積層体１３２を構成する単位部材１４１は、平板形状の基材１４２と、この基材１４２の対向する一対の主面１４３ａ，１４３ｂの一方の主面１４３ａに位置して基材１４２の一方の側１４２ａから対向する他方の側１４２ｂに至るように図示Ｘ方向に沿った溝部１４４と、基材１４２において溝部１４４が位置する部位の主面１４３ｂ側に位置している薄肉部１４５と、この薄肉部１４５に位置する複数の切欠き部１４６と、を有している。溝部１４４の寸法は、後述する流路１３４の幅Ｗ１と高さＨを決定するものである。また、図示例では、薄肉部１４５は基材１４２の図示Ｚ方向の一方の端に位置している。この薄肉部１４５に位置する切欠き部１４６の幅Ｗ２は、後述する流路１３４を流れる流体が切欠き部１４６を流れることにより圧力損失を低減できるように設定される。
また、積層体１３２を構成する単位部材１４１′は平板形状であり、切欠き部１４６を備えていない他は、上記の単位部材１４１と同様である。 The unit member 141 constituting the laminate 132 is located on one side of the base material 142 and is located on one main surface 143a of the pair of main surfaces 143a and 143b facing the base material 142. A groove portion 144 along the X direction in the drawing so as to reach the other side 142b from 142a, a thin wall portion 145 located on the main surface 143b side of the portion where the groove portion 144 is located in the base material 142, and the thin wall portion And a plurality of notches 146 located at 145. The dimension of the groove 144 determines the width W1 and the height H of the flow path 134 described later. Further, in the illustrated example, the thin portion 145 is located at one end of the base material 142 in the illustrated Z direction. The width W2 of the notch 146 located in the thin portion 145 is set so that the pressure loss can be reduced by the fluid flowing through the flow path 134 described later flowing through the notch 146.
The unit member 141 ′ constituting the laminated body 132 has a flat plate shape and is the same as the unit member 141 except that the cutout portion 146 is not provided.

このような単位部材１４１は、図２０に示されるように、１組の単位部材１４１が溝部１４４を逆方向に向け、かつ、切欠き部１４６が一致するようにして主面１４３ｂ同士を当接して積層され、単位積層体１４０を構成している。そして、この単位積層体１４０が、溝部１４４を平行に配列するように接合されて、図示のＹ方向に積層され、その両外側には、単位部材１４１′がその主面１４３ａを当接して接合されている。尚、図示例では、２組の単位積層体１４０、計４個の単位部材１４１が積層されているが、積層体１３２を構成する単位積層体１４０の数はこれに限定されるものではない。
また、蓋部材１３５は、積層体１３２の一の面に配列している複数の単位部材１４１、単位部材１４１′の肉薄部１４５に当接し、溝部１４４と切欠き部１４６を覆うように接合されている。
このようなフィルター１３１は、肉薄部１４５で区画された溝部１４４からなる流路１３４を有する濾過構造部１３３を備え、この濾過構造部１３３は流路１３４の幅Ｗ１と高さＨのいずれか小さい寸法により、フィルター１３１を通過可能な粒子の大きさを規定する。 As shown in FIG. 20, such a unit member 141 has a pair of unit members 141 in which the main surfaces 143 b are in contact with each other so that the groove portion 144 faces in the opposite direction and the notch portion 146 is aligned. The unit laminated body 140 is configured. And this unit laminated body 140 is joined so that the groove parts 144 are arranged in parallel and laminated in the Y direction shown in the figure, and on both outer sides, the unit member 141 ′ is in contact with its main surface 143 a and joined. Has been. In the illustrated example, two sets of unit laminated bodies 140, that is, a total of four unit members 141 are laminated, but the number of unit laminated bodies 140 constituting the laminated body 132 is not limited to this.
Further, the lid member 135 is in contact with the thin portions 145 of the plurality of unit members 141 and unit members 141 ′ arranged on one surface of the laminated body 132, and is joined so as to cover the groove portion 144 and the notch portion 146. ing.
Such a filter 131 includes a filtration structure 133 having a flow path 134 composed of grooves 144 divided by a thin part 145, and the filtration structure 133 is smaller of the width W 1 and the height H of the flow path 134. The size defines the size of particles that can pass through the filter 131.

単位部材１４１、単位部材１４１′の材質は、上述の単位部材２１，２１′と同様とすることができる。
また、蓋部材１３５の材質は、上述の蓋部材１５と同様とすることができる。
また、溝部１４４の寸法は、１組の溝部１４４が対向することで、上述した流路１３４の幅Ｗ１と高さＨを決定するものであり、例えば、幅Ｗ１を３０〜２００μｍの範囲、高さＨを３０〜２００μｍの範囲で決定するように溝部１４４の寸法を設定することができる。 The material of the unit member 141 and the unit member 141 ′ can be the same as that of the unit members 21 and 21 ′ described above.
The material of the lid member 135 can be the same as that of the lid member 15 described above.
Further, the dimension of the groove 144 determines the width W1 and the height H of the above-described flow path 134 by the one set of grooves 144 facing each other. For example, the width W1 is set in a range of 30 to 200 μm and high. The dimension of the groove 144 can be set so that the height H is determined in the range of 30 to 200 μm.

この実施形態では、流路１３４の幅Ｗ１が、溝部１４４の深さの２倍に相当する。例えば、上述の第３の実施形態において、使用する単位部材１０１の基材１０２の厚みが薄く、設定される通過粒子の最大径に対応させた場合、溝部１０４が深くなって薄肉部１０５が極端に薄くなり、強度的に支障が生じるおそれがあっても、本実施形態では、１個の単位部材１４１における溝部１４４の深さを、設定される通過粒子の最大径の半分とすることができる。したがって、薄肉部１４５を厚くすることができ、さらに、単位積層体１４０を積層することにより、各流路１３４を区画する薄肉部が、２個の薄肉部１４５からなるので、十分に強度の高いものとなる。
また、薄肉部１４５に位置する切欠き部１４６は図示Ｙ方向への流体の流れを可能とするものであり、流路１３４を図示Ｘ方向に流れる流体の一部に圧力上昇が生じると、圧の低い隣接する流路へ流体が流れるバイパス的作用をなし、これにより圧力損失が低減される。この切欠き部１４６の幅Ｗ２と流路１３４の幅Ｗ１との大小関係は特に制限されない。
上記の溝部１４４、切欠き部１４６は、例えば、エッチングマスクを介したドライエッチング、ウエットエッチング、あるいは、研削等により形成することができる。
単位部材１４１、単位部材１４１′の接合は、例えば、拡散接合、電気溶接、あるいは、ネジによる締結等により行うことができる。 In this embodiment, the width W <b> 1 of the flow path 134 corresponds to twice the depth of the groove 144. For example, in the above-described third embodiment, when the thickness of the base member 102 of the unit member 101 to be used is thin and corresponds to the set maximum diameter of the passing particles, the groove portion 104 becomes deep and the thin portion 105 becomes extreme. In this embodiment, the depth of the groove 144 in one unit member 141 can be made half of the maximum diameter of the set passing particles, even if the thickness may be reduced. . Therefore, the thin wall portion 145 can be thickened, and further, by stacking the unit laminated body 140, the thin wall portion defining each flow path 134 is composed of the two thin wall portions 145, so that the strength is sufficiently high. It will be a thing.
Further, the notch 146 located in the thin wall portion 145 enables the flow of fluid in the Y direction in the figure, and if a pressure rise occurs in a part of the fluid flowing in the X direction in the figure, the pressure increases. Bypassing the fluid to the adjacent flow path having a low pressure reduces the pressure loss. The magnitude relationship between the width W2 of the notch 146 and the width W1 of the flow path 134 is not particularly limited.
The groove 144 and the notch 146 can be formed by, for example, dry etching, wet etching, grinding, or the like through an etching mask.
The unit member 141 and the unit member 141 ′ can be joined by, for example, diffusion joining, electric welding, or fastening with screws.

このようなフィルター１３１では、濾過構造部１３３に供給され流路１３４を図示のＸ方向に通過する流体に対して濾過機能を発現することができる。
尚、本実施形態では、薄肉部１４５が切欠き部１４６に替えて、図２１に示すように貫通孔部１４７備えるものであってもよい。このような貫通孔部１４７の開口幅Ｗ３と流路の幅Ｗ１、高さＨとの大小関係は特に制限されない。貫通孔部１４７の開口形状（例えば、主面１４３ｂにおける断面形状）は、円形が好適であるが、楕円形、あるいは、正方形、正六角形、正八角形等の多角形、これらの多角形の角部に丸味を有する形状等であってもよい。貫通孔部１４７の開口幅Ｗ３は、開口形状が円形である場合には、その直径であり、開口形状が楕円形、多角形等のように開口寸法が一定ではない場合には、開口形状における最小の開口寸法である。このような貫通孔部１４７は、例えば、エッチングマスクを介したドライエッチング、ウエットエッチング、あるいは、研削等により形成することができる。 In such a filter 131, a filtration function can be expressed with respect to the fluid supplied to the filtration structure 133 and passing through the flow path 134 in the X direction shown in the figure.
In the present embodiment, the thin portion 145 may be provided with a through-hole portion 147 as shown in FIG. 21 instead of the notch portion 146. The size relationship between the opening width W3 of the through-hole portion 147 and the width W1 and the height H of the flow path is not particularly limited. The opening shape of the through-hole portion 147 (for example, the cross-sectional shape of the main surface 143b) is preferably circular, but is elliptical, polygonal such as square, regular hexagon, regular octagon, or the corner of these polygons. The shape may be rounded. The opening width W3 of the through-hole portion 147 is the diameter when the opening shape is circular, and when the opening size is not constant, such as an ellipse or a polygon, The smallest opening dimension. Such a through-hole part 147 can be formed by, for example, dry etching, wet etching, grinding, or the like through an etching mask.

図２２は、本発明のフィルターの他の実施形態を説明するための斜視図であり、図２３は、図２２に示されるフィルターを構成する単位部材の斜視図である。図２２および図２３において、フィルター１５１は、複数の単位部材１６１と単位部材１６１′が積層されてなる積層体１５２を有している。尚、図２２では、後述する流路１５４が位置する箇所でフィルター１５１を図示のＺ方向に分断し離間させた状態を示している。   FIG. 22 is a perspective view for explaining another embodiment of the filter of the present invention, and FIG. 23 is a perspective view of a unit member constituting the filter shown in FIG. 22 and 23, the filter 151 has a laminated body 152 in which a plurality of unit members 161 and unit members 161 ′ are laminated. Note that FIG. 22 shows a state in which the filter 151 is divided and separated in the illustrated Z direction at a position where a flow path 154 described later is located.

積層体１５２を構成する単位部材１６１は、平板形状の基材１６２と、この基材１６２の対向する一対の主面１６３ａ，１６３ｂの一方の主面１６３ａに位置して基材１６２の一方の側１６２ａから対向する他方の側１６２ｂに至るように図示Ｘ方向に沿った溝部１６４と、基材１６２において溝部１６４が位置する部位の主面１６３ｂ側に位置している薄肉部１６５と、この薄肉部１６５に位置する複数の貫通孔部１６７と、を有している。溝部１６４の寸法は、後述する流路１５４の幅Ｗ１と高さＨを決定するものである。また、図示例では、薄肉部１６５は基材１６２の図示Ｚ方向の一方の端から離間した部位に位置している。この薄肉部１６５に位置する貫通孔部１６７の幅Ｗ２は、後述する流路１５４を流れる流体が貫通孔部１６７を流れることにより圧力損失を低減できるように設定される。
また、積層体１５２を構成する単位部材１６１′は平板形状であり、貫通孔部１６７を備えていない他は、上記の単位部材１６１と同様である。 The unit member 161 constituting the laminated body 152 is located on one side of the base material 162 and is located on one main surface 163a of the pair of main surfaces 163a and 163b facing each other. A groove portion 164 along the X direction in the drawing so as to reach the other side 162b facing from 162a, a thin portion 165 positioned on the main surface 163b side of the portion where the groove portion 164 is located in the base material 162, and this thin portion And a plurality of through-hole portions 167 positioned at 165. The dimension of the groove part 164 determines the width W1 and the height H of the flow path 154 to be described later. In the illustrated example, the thin-walled portion 165 is located at a part of the base material 162 that is separated from one end in the illustrated Z direction. The width W2 of the through-hole portion 167 located in the thin-walled portion 165 is set so that the pressure loss can be reduced by the fluid flowing through the flow path 154 described later flowing through the through-hole portion 167.
The unit member 161 ′ constituting the laminated body 152 has a flat plate shape, and is the same as the unit member 161 except that the through hole 167 is not provided.

このような単位部材１６１は、図２４に示されるように、１組の単位部材１６１が溝部１６４を逆方向に向け、かつ、貫通孔部１６７が一致するようにして主面１６３ｂ同士を当接して積層され、単位積層体１６０を構成している。そして、この単位積層体１６０が、溝部１６４を平行に配列するように接合されて、図示のＹ方向に積層され、その両外側には、単位部材１６１′がその主面１６３ａを当接して接合されている。尚、図示例では、２組の単位積層体１６０、計４個の単位部材１６１が積層されているが、積層体１５２を構成する単位積層体１６０の数はこれに限定されるものではない。
このようなフィルター１５１は、肉薄部１６５で区画された溝部１６４からなる流路１５４を有する濾過構造部１５３を備え、この濾過構造部１５３は流路１５４の幅Ｗ１と高さＨのいずれか小さい寸法により、フィルター１５１を通過可能な粒子の大きさを規定する。 As shown in FIG. 24, such a unit member 161 abuts the main surfaces 163b such that one set of unit members 161 directs the groove portion 164 in the opposite direction and the through-hole portions 167 coincide with each other. The unit laminated body 160 is configured. And this unit laminated body 160 is joined so that the groove parts 164 are arranged in parallel and laminated in the Y direction shown in the figure, and unit members 161 'are in contact with the main surface 163a on both sides and joined. Has been. In the illustrated example, two sets of unit laminated bodies 160 and a total of four unit members 161 are laminated, but the number of unit laminated bodies 160 constituting the laminated body 152 is not limited to this.
Such a filter 151 includes a filtration structure portion 153 having a flow path 154 composed of grooves 164 partitioned by a thin portion 165, and the filtration structure section 153 is the smaller of the width W 1 and the height H of the flow path 154. The size defines the size of particles that can pass through the filter 151.

単位部材１６１、単位部材１６１′の材質は、上述の単位部材２１，２１′と同様とすることができる。
また、溝部１６４の寸法は、１組の溝部１６４が対向することで、上述した流路１５４の幅Ｗ１と高さＨを決定するものであり、例えば、幅Ｗ１を３０〜２００μｍの範囲、高さＨを３０〜２００μｍの範囲で決定するように溝部１６４の寸法を設定することができる。 The material of the unit member 161 and the unit member 161 ′ can be the same as that of the unit members 21 and 21 ′ described above.
In addition, the dimension of the groove part 164 determines the width W1 and the height H of the flow path 154 described above when the pair of groove parts 164 face each other. For example, the width W1 is set in a range of 30 to 200 μm and high. The dimension of the groove 164 can be set so that the height H is determined in the range of 30 to 200 μm.

この実施形態では、流路１５４の幅Ｗ１が、溝部１６４の深さの２倍に相当する。例えば、上述の第３の実施形態において、使用する単位部材１２１の基材１２２の厚みが薄く、設定される通過粒子の最大径に対応させた場合、溝部１２４が深くなって薄肉部１２５が極端に薄くなり、強度的に支障が生じるおそれがあっても、本実施形態では、１個の単位部材１２１における溝部１２４の深さを、設定される通過粒子の最大径の半分とすることができる。したがって、薄肉部１２５を厚くすることができ、さらに、単位積層体１６０を積層することにより、各流路１５４を区画する薄肉部が、２個の薄肉部１６５からなるので、十分に強度の高いものとなる。
また、薄肉部１６５に位置する貫通孔部１６７は図示Ｙ方向への流体の流れを可能とするものであり、流路１５４を図示Ｘ方向に流れる流体の一部に圧力上昇が生じると、圧の低い隣接する流路へ流体が流れるバイパス的作用をなし、これにより圧力損失が低減される。この貫通孔部１６７の幅Ｗ２と流路１５４の幅Ｗ１、高さＨとの大小関係は特に制限されない。 In this embodiment, the width W <b> 1 of the flow path 154 corresponds to twice the depth of the groove 164. For example, in the above-described third embodiment, when the thickness of the base member 122 of the unit member 121 to be used is thin and corresponds to the set maximum diameter of the passing particles, the groove portion 124 becomes deep and the thin portion 125 becomes extreme. In this embodiment, the depth of the groove portion 124 in one unit member 121 can be set to half the maximum diameter of the set passing particle even if the thickness is reduced. . Therefore, the thin-walled portion 125 can be thickened, and further, by stacking the unit laminated body 160, the thin-walled portions that define each flow path 154 are composed of the two thin-walled portions 165, so that the strength is sufficiently high. It will be a thing.
Further, the through-hole portion 167 located in the thin wall portion 165 enables the flow of fluid in the Y direction in the figure, and if pressure rises in a part of the fluid flowing in the X direction in the figure, the pressure increases. Bypassing the fluid to the adjacent flow path having a low pressure reduces the pressure loss. The magnitude relationship between the width W2 of the through-hole portion 167 and the width W1 and the height H of the flow path 154 is not particularly limited.

上記の溝部１６４、貫通孔部１６７は、例えば、エッチングマスクを介したドライエッチング、ウエットエッチング、あるいは、研削等により形成することができる。
単位部材１６１、単位部材１６１′の接合は、例えば、拡散接合、電気溶接、あるいは、ネジによる締結等により行うことができる。
このようなフィルター１５１では、濾過構造部１５３に供給され流路１５４を図示のＸ方向に通過する流体に対して濾過機能を発現することができる。
尚、図２２、図２３に示される例では、貫通孔部１６７は、薄肉部１６５の図示Ｚ方向の長さと同じ長さで形成されているが、図２５に示されるように、薄肉部１６５の図示Ｚ方向の長さの一部となるように貫通孔部１６７′が形成されていてもよい。このような貫通孔部１６７′の開口幅Ｗ３と流路１５４の幅Ｗ１、高さＨとの大小関係は特に制限されない。貫通孔部１６７′の開口形状（例えば、主面１６３ｂにおける断面形状）は、円形が好適であるが、楕円形、あるいは、正方形、正六角形、正八角形等の多角形、これらの多角形の角部に丸味を有する形状等であってもよい。貫通孔部１６７′の開口幅Ｗ３は、開口形状が円形である場合には、その直径であり、開口形状が楕円形、多角形等のように開口寸法が一定ではない場合には、開口形状における最小の開口寸法である。このような貫通孔部１６７′は、例えば、エッチングマスクを介したドライエッチング、ウエットエッチング、あるいは、研削等により形成することができる。 The groove 164 and the through hole 167 can be formed by, for example, dry etching, wet etching, grinding, or the like through an etching mask.
The unit member 161 and the unit member 161 ′ can be joined by, for example, diffusion joining, electric welding, or fastening with screws.
In such a filter 151, a filtration function can be expressed with respect to the fluid supplied to the filtration structure 153 and passing through the flow path 154 in the X direction shown in the figure.
In the example shown in FIGS. 22 and 23, the through-hole portion 167 is formed to have the same length as that of the thin portion 165 in the Z direction shown in the figure. However, as shown in FIG. 25, the thin portion 165 A through-hole portion 167 ′ may be formed so as to be a part of the length in the Z direction shown in FIG. The magnitude relationship between the opening width W3 of the through-hole portion 167 ′ and the width W1 and the height H of the flow path 154 is not particularly limited. The opening shape of the through-hole portion 167 ′ (for example, the cross-sectional shape of the main surface 163b) is preferably circular, but is elliptical, polygonal, such as square, regular hexagon, regular octagon, and the corners of these polygons. The shape etc. which have roundness in a part may be sufficient. The opening width W3 of the through-hole portion 167 'is the diameter when the opening shape is circular, and the opening shape when the opening size is not constant such as an ellipse or a polygon. Is the minimum opening dimension. Such a through-hole portion 167 'can be formed, for example, by dry etching, wet etching, grinding, or the like through an etching mask.

このようなフィルター１３１，１５１は、使用する単位部材１４１，１６１の溝部１４４，１６４の寸法、長さにより、流路１３４，１５４の幅Ｗ１、あるいは、高さＨが決定され、特に流路１３４，１５４の幅Ｗ１は単位部材１４１、単位部材１６１の積層時の精度に影響されることがない。また、基材１４２，１６２の幅（図示Ｘ方向の基材の長さ）を長くすることにより流路１３４，１５４のアスペクト比（流路の長さ／流路の幅）を大きくすることができ、これにより濾過構造部１３３，１５３の寸法精度が高く、優れたフィルター機能が発現される。また、濾過構造部１３３，１５３の内部に切欠き部１４６、あるいは、貫通孔部１４７，１６７，１６７′が位置することにより、圧力損失が低減される。さらに、設定される通過粒子の最大径に影響されることなく、十分に高い強度を具備するものである。   In such filters 131 and 151, the width W1 or height H of the flow paths 134 and 154 is determined by the dimensions and lengths of the groove portions 144 and 164 of the unit members 141 and 161 to be used. , 154 is not affected by the accuracy when the unit member 141 and the unit member 161 are stacked. Further, the aspect ratio (the length of the flow path / the width of the flow path) of the flow paths 134 and 154 can be increased by increasing the width of the base materials 142 and 162 (the length of the base material in the X direction in the drawing). Thus, the dimensional accuracy of the filtration structures 133 and 153 is high, and an excellent filter function is exhibited. In addition, the pressure loss is reduced because the notch portion 146 or the through-hole portions 147, 167, and 167 ′ are positioned inside the filtration structure portions 133 and 153. Furthermore, it has sufficiently high strength without being influenced by the set maximum diameter of the passing particles.

［第５の実施形態］
図２６は、本発明のフィルターの他の実施形態を説明するための斜視図であり、図２７は、図２６に示されるフィルターを構成する単位部材の斜視図である。図２６および図２７おいて、フィルター１７１は、複数の単位部材１８１と単位部材１８１′が積層されてなる積層体１７２と、蓋部材１７５を有している。
積層体１７２を構成する単位部材１８１は、平板形状の基材１８２と、この基材１８２の対向する一対の主面１８３ａ，１８３ｂの一方の主面１８３ａに位置して基材１８２の一方の側１８２ａから対向する他方の側１８２ｂに至るように図示Ｘ方向に沿った溝部１８４と、基材１８２において溝部１８４が位置する部位の主面１８３ｂ側に位置している薄肉部１８５と、を有している。溝部１８４の寸法は、後述する流路１７４の幅Ｗ１と高さＨを決定するものである。図示例では、薄肉部１８５は基材１８２の図示Ｚ方向の一方の端に位置している。また、単位部材１８１は、一方の主面１８３ａから他方の主面１８３ｂに至る貫通口１８８を基材１８２に有している。この貫通口１８８の寸法は、後述する流路１７７の幅Ｗ４を決定するものである。図示例では、貫通口１８８が２個存在するが、貫通口１８８の数はこれに限定されない。
また、積層体１７２を構成する単位部材１８１′は平板形状であり、溝部１８４および薄肉部１８５を備えていない他は、上記の単位部材１８１と同様である。 [Fifth Embodiment]
FIG. 26 is a perspective view for explaining another embodiment of the filter of the present invention. FIG. 27 is a perspective view of a unit member constituting the filter shown in FIG. 26 and 27, the filter 171 includes a laminated body 172 in which a plurality of unit members 181 and unit members 181 ′ are laminated, and a lid member 175.
The unit member 181 constituting the laminated body 172 is positioned on one side of the base material 182 located on one main surface 183a of the pair of main surfaces 183a and 183b facing the base material 182 and the base material 182. A groove portion 184 along the X direction in the figure so as to reach the other side 182b facing from 182a, and a thin portion 185 located on the main surface 183b side of the portion where the groove portion 184 is located in the base material 182. ing. The dimension of the groove 184 determines the width W1 and the height H of the flow path 174 described later. In the illustrated example, the thin portion 185 is located at one end of the base material 182 in the illustrated Z direction. Further, the unit member 181 has a through-hole 188 in the base material 182 extending from one main surface 183a to the other main surface 183b. The dimension of this through-hole 188 determines the width W4 of the flow path 177 described later. In the illustrated example, there are two through holes 188, but the number of through holes 188 is not limited to this.
The unit member 181 ′ constituting the laminate 172 has a flat plate shape and is the same as the unit member 181 except that the groove 184 and the thin portion 185 are not provided.

このような単位部材１８１は、一の単位部材１８１の主面１８３ａと、隣接する他の単位部材１８１の主面１８３ｂとを当接し、溝部１８４が平行に配列し、貫通口１８８が一致して連通するように接合されて、図示のＹ方向に積層されている。このように積層された４個の単位部材１８１のうち、最外側に位置して主面１８３ａと溝部１８４が露出している単位部材１８１の主面１８３ａには、貫通口１８８が一致して連通するように単位部材１８１′が接合されている。
また、蓋部材１７５は、積層体１７２の一の面に配列している複数の単位部材１８１の肉薄部１８５と、単位部材１８１′に当接し、溝部１８４を覆うように接合されている。
このようなフィルター１７１は、肉薄部１８５で区画された溝部１８４からなる流路１７４と、貫通口１８８が連通して構成された流路１７７を有する濾過構造部１７６を備える。濾過構造部１７３は、流路１７４の幅Ｗ１と高さＨのいずれか小さい寸法により、流路１７４を通過可能な粒子の大きさを規定し、また、濾過構造部１７６は、流路１７７の幅Ｗ４の寸法により、流路１７７を通過可能な粒子の大きさを規定する。
単位部材１８１，１８１′の材質は、上述の単位部材２１，２１′と同様とすることができる。
また、蓋部材１７５の材質は、上述の蓋部材１５と同様とすることができる。 Such a unit member 181 abuts the main surface 183a of one unit member 181 and the main surface 183b of another adjacent unit member 181, the groove portions 184 are arranged in parallel, and the through holes 188 are aligned. They are joined so as to communicate with each other and stacked in the Y direction shown in the figure. Of the four unit members 181 stacked in this way, the through hole 188 is in communication with the main surface 183a of the unit member 181 that is located on the outermost side and exposes the main surface 183a and the groove 184. Thus, the unit member 181 'is joined.
The lid member 175 is joined so as to contact the thin portions 185 of the plurality of unit members 181 arranged on one surface of the laminated body 172 and the unit member 181 ′ and cover the groove portion 184.
Such a filter 171 includes a filtration structure 176 having a flow path 174 composed of grooves 184 partitioned by a thin part 185 and a flow path 177 configured to communicate with a through-hole 188. The filtration structure 173 defines the size of particles that can pass through the flow path 174 by the smaller one of the width W1 and the height H of the flow path 174. The filtration structure 176 The size of the particle that can pass through the flow path 177 is defined by the dimension of the width W4.
The material of the unit members 181 and 181 ′ can be the same as that of the unit members 21 and 21 ′ described above.
The material of the lid member 175 can be the same as that of the lid member 15 described above.

溝部１８４の寸法は、上述した流路１７４の幅Ｗ１と高さＨを決定するものであり、例えば、幅Ｗ１を１５〜１００μｍの範囲、高さＨを１５〜１００μｍの範囲で決定するように溝部１８４の寸法を設定することができる。また、貫通口１８８の寸法は、上述した流路１７７の幅Ｗ４を決定するものであり、例えば、幅Ｗ４を２５〜１００μｍの範囲で決定するように貫通口１８８の寸法Ｗ４を設定することができる。貫通口１８８の開口形状（例えば、主面１８３ａ，１８３ｂにおける断面形状）は、円形が好適であるが、楕円形、あるいは、正方形、正六角形、正八角形等の多角形、これらの多角形の角部に丸味を有する形状等であってもよい。貫通口１８８の開口幅Ｗ４は、開口形状が円形である場合には、その直径であり、開口形状が楕円形、多角形等のように開口寸法が一定ではない場合には、開口形状における最小の開口寸法である。このような溝部１８４、貫通口１８８は、例えば、エッチングマスクを介したドライエッチング、ウエットエッチング、あるいは、研削等により形成することができる。
単位部材１８１、単位部材１８１′の接合は、例えば、拡散接合、電気溶接、あるいは、ネジによる締結等により行うことができる。 The dimension of the groove portion 184 determines the width W1 and the height H of the flow path 174 described above. For example, the width W1 is determined in the range of 15 to 100 μm and the height H is determined in the range of 15 to 100 μm. The dimension of the groove part 184 can be set. The dimension of the through hole 188 determines the width W4 of the flow path 177 described above. For example, the dimension W4 of the through hole 188 can be set so that the width W4 is determined in the range of 25 to 100 μm. it can. The opening shape of the through-hole 188 (for example, the cross-sectional shape of the main surfaces 183a and 183b) is preferably circular, but is elliptical, polygonal such as square, regular hexagon, regular octagon, and the corners of these polygons. The shape etc. which have roundness in a part may be sufficient. The opening width W4 of the through-hole 188 is the diameter when the opening shape is circular, and is the minimum in the opening shape when the opening shape is not constant, such as an ellipse or a polygon. Is the opening dimension. Such grooves 184 and through-holes 188 can be formed by, for example, dry etching, wet etching, or grinding through an etching mask.
The unit member 181 and the unit member 181 ′ can be joined by, for example, diffusion joining, electric welding, or fastening with screws.

このようなフィルター１７１では、濾過構造部１７３に供給され流路１７４を通過する流体に対して濾過機能を発現し、濾過構造部１７６に供給され流路１７７を通過する流体に対して濾過機能を発現することができる。例えば、流路１７４を通過可能な粒子よりも、流路１７７を通過可能な粒子が大きい場合、まず、流路１７７を図示のＹ方向に流体を流すことにより１次濾過を行い、次いで、図示しない導管を介して流路１７４に流体を送り、流路１７４を図示のＸ方向に通過する流体に対して２次濾過を行うことができる。これにより、効率の高い濾過機能を発現することができる。このような１次、２次の濾過順序は、流路１７４を通過可能な粒子の大きさ、流路１７７を通過可能な粒子の大きさに応じて、適宜設定することができる。
さらに、フィルター１７１は、使用する単位部材１８１の溝部１８４の寸法、長さにより、流路１７４の幅Ｗ１、あるいは、高さＨが決定され、単位部材１８１、単位部材１８１′の積層時の精度に影響されることがない。また、基材１８２の幅（図示Ｘ方向の基材の長さ）を長くすることにより流路１７４のアスペクト比（流路の長さ／流路の幅）を大きくすることができる。これにより濾過構造部１７３の寸法精度が高く、優れたフィルター機能が発現される。 In such a filter 171, the filtration function is expressed with respect to the fluid that is supplied to the filtration structure 173 and passes through the flow path 174, and the filtration function is performed with respect to the fluid that is supplied to the filtration structure 176 and passes through the flow path 177. Can be expressed. For example, when the particles that can pass through the flow channel 177 are larger than the particles that can pass through the flow channel 174, first, primary filtration is performed by flowing a fluid through the flow channel 177 in the Y direction shown in the figure. The fluid can be sent to the flow path 174 through the non-conducting conduit, and the secondary filtration can be performed on the fluid passing through the flow path 174 in the X direction shown in the figure. Thereby, a highly efficient filtration function can be expressed. Such primary and secondary filtration orders can be appropriately set according to the size of the particles that can pass through the flow path 174 and the size of the particles that can pass through the flow path 177.
Further, the filter 171 has a width W1 or a height H of the flow path 174 determined by the size and length of the groove 184 of the unit member 181 to be used, and the accuracy when the unit member 181 and the unit member 181 ′ are stacked. It is not affected by. Further, by increasing the width of the base material 182 (the length of the base material in the X direction in the drawing), the aspect ratio (the length of the flow path / the width of the flow path) of the flow path 174 can be increased. Thereby, the dimensional accuracy of the filtration structure part 173 is high, and the outstanding filter function is expressed.

また、使用する単位部材１８１，１８１′の貫通口１８８の寸法により、流路１７７の幅Ｗ４が設定され、積層体１７２を構成する単位部材１８１の積層数を多くすることにより流路１７７のアスペクト比（流路の長さ／流路の幅）を大きくすることができる。但し、単位部材１８１、単位部材１８１′の積層時の貫通口１８８同士の位置ズレが発生した場合、流路１７７中に段差が生じて、開口寸法（フィルタ寸法）の精度が多少低下することになる。しかし、フィルター１７１では、上述のように１次濾過、２次濾過を実施することができ、流路１７７を有する濾過構造部１７６における濾過を、捕獲対象の粒子が比較的大きい１次濾過とすることにより、仮に積層時の精度低下が生じても、その影響を最小限とすることができる。   Further, the width W4 of the flow path 177 is set according to the dimensions of the through-holes 188 of the unit members 181 and 181 ′ to be used, and the aspect of the flow path 177 is increased by increasing the number of unit members 181 constituting the stacked body 172. The ratio (channel length / channel width) can be increased. However, when a positional deviation occurs between the through-holes 188 when the unit member 181 and the unit member 181 ′ are stacked, a step is generated in the flow path 177, and the accuracy of the opening size (filter size) is slightly reduced. Become. However, in the filter 171, primary filtration and secondary filtration can be performed as described above, and the filtration in the filtration structure 176 having the flow path 177 is primary filtration with relatively large particles to be captured. As a result, even if the accuracy during stacking is reduced, the influence can be minimized.

このように２種の流路を備えた構造は、上述の実施形態においても採用することができる。例えば、図４、図５に示される単位部材４１，４１′の基材４２に、一方の主面４３ａから他方の主面４３ｂに至る貫通口を設けること、図７に示される単位部材６１の基材６２に、一方の主面６３ａから他方の主面６３ｂに至る貫通口を設けること、図１０に示される単位部材８１の基材８２に、一方の主面８３ａから他方の主面８３ｂに至る貫通口を設けること、図１２〜図１４に示される単位部材１０１，１０１′の基材１０２に、一方の主面１０３ａから他方の主面１０３ｂに至る貫通口を設けること、図１５〜図１７に示される単位部材１２１，１２１′の基材１２２に、一方の主面１２３ａから他方の主面１２３ｂに至る貫通口を設けること、図１８〜図２１に示される単位部材１４１，１４１′の基材１４２に、一方の主面１４３ａから他方の主面１４３ｂに至る貫通口を設けること、図２２〜図２５に示される単位部材１６１，１６１′の基材１６２に、一方の主面１６３ａから他方の主面１６３ｂに至る貫通口を設けることにより、上述の本発明のフィルター３１，５１，７１，９１，１１１，１３１，１５１においても、１次濾過、２次濾過による効率の高い濾過機能を発現することができる。   Thus, the structure provided with two types of flow paths can also be employed in the above-described embodiment. For example, the base member 42 of the unit members 41 and 41 ′ shown in FIGS. 4 and 5 is provided with a through-hole from one main surface 43a to the other main surface 43b, and the unit member 61 shown in FIG. The base material 62 is provided with a through hole extending from one main surface 63a to the other main surface 63b, the base material 82 of the unit member 81 shown in FIG. 10, and from one main surface 83a to the other main surface 83b. Providing a through hole extending from one main surface 103a to the other main surface 103b in the base member 102 of the unit members 101 and 101 'shown in FIGS. The base member 122 of the unit members 121 and 121 ′ shown in FIG. 17 is provided with a through-hole from one main surface 123a to the other main surface 123b, and the unit members 141 and 141 ′ shown in FIGS. One main surface 1 on the base material 142 3a to the other main surface 143b, a through hole extending from one main surface 163a to the other main surface 163b in the base member 162 of the unit members 161 and 161 'shown in FIGS. By providing the above-described filter 31, 51, 71, 91, 111, 131, 151 of the present invention, a high-efficiency filtration function by primary filtration and secondary filtration can be exhibited.

［第６の実施形態］
図２８は、本発明のフィルターの他の実施形態を説明するための斜視図であり、図２９は、図２８に示されるフィルターを構成する単位部材の斜視図である。図２８および図２９おいて、フィルター１９１は、複数の単位部材２０１と単位部材２０１′、単位部材２０１″が積層されてなる積層体１９２と、蓋部材１９５を有している。 [Sixth Embodiment]
FIG. 28 is a perspective view for explaining another embodiment of the filter of the present invention, and FIG. 29 is a perspective view of a unit member constituting the filter shown in FIG. 28 and 29, the filter 191 includes a laminated body 192 formed by laminating a plurality of unit members 201, a unit member 201 ′, and a unit member 201 ″, and a lid member 195.

積層体１９２を構成する単位部材２０１は、平板形状の基材２０２と、この基材２０２の対向する一対の主面２０３ａ，２０３ｂの一方の主面２０３ａに位置して基材２０２の一方の側２０２ａから対向する他方の側２０２ｂに至るように図示Ｘ方向に沿った溝部２０４と、基材２０２において溝部２０４が位置する部位の主面２０３ｂ側に位置している薄肉部２０５と、を有している。さらに、単位部材２０１は、主面２０３ｂに位置して基材２０２の一方の側２０２ａから対向する他方の側２０２ｂに至るように図示Ｘ方向に沿った溝部２０９と、基材２０２において溝部２０９が位置する部位の主面２０３ａ側に位置している薄肉部２１０と、を有している。溝部２０４の寸法は、後述する流路１９４の幅Ｗ１と高さＨ１を決定するものである。また、溝部２０９の寸法は、後述する流路１９７の幅Ｗ５と高さＨ２を決定するものである。図示例では、薄肉部２０５は基材２０２の図示Ｚ方向の一方の端に位置し、薄肉部２１０は基材２０２の図示Ｚ方向の一方の端から離間した部位に位置している。
積層体１９２を構成する単位部材２０１′は平板形状であり、溝部２０４および薄肉部２０５を備えていない他は、上記の単位部材２０１と同様である。また、積層体１９２を構成する単位部材２０１″は平板形状であり、溝部２０９および薄肉部２１０を備えていない他は、上記の単位部材２０１と同様である。 The unit member 201 constituting the laminate 192 is located on one side of the base material 202 located on one main surface 203a of the flat plate-like base material 202 and a pair of main surfaces 203a, 203b facing the base material 202. A groove portion 204 along the X direction in the figure so as to reach the other side 202b facing from 202a, and a thin portion 205 located on the main surface 203b side of the portion where the groove portion 204 is located in the base material 202. ing. Further, the unit member 201 includes a groove portion 209 along the X direction in the drawing so as to reach the other side 202b opposite to the one side 202a of the base material 202 located on the main surface 203b. And a thin portion 210 located on the main surface 203a side of the portion to be located. The dimension of the groove part 204 determines the width W1 and height H1 of the flow path 194 mentioned later. The dimension of the groove 209 determines the width W5 and the height H2 of the flow path 197 described later. In the illustrated example, the thin portion 205 is positioned at one end of the base material 202 in the illustrated Z direction, and the thin portion 210 is positioned at a portion of the base material 202 that is separated from the one end in the illustrated Z direction.
The unit member 201 ′ constituting the laminated body 192 has a flat plate shape and is the same as the unit member 201 except that the groove portion 204 and the thin portion 205 are not provided. The unit member 201 ″ constituting the laminate 192 has a flat plate shape, and is the same as the unit member 201 except that the groove 209 and the thin portion 210 are not provided.

このような単位部材２０１は、一の単位部材２０１の主面２０３ａと、隣接する他の単位部材２０１の主面２０３ｂとを当接し、溝部２０４、溝部２０９が平行に配列するように接合されて、図示のＹ方向に積層されている。このように積層された３個の単位部材２０１のうち、一方の最外側に位置して主面２０３ａと溝部２０４が露出している単位部材２０１の主面２０３ａには、単位部材２０１′がその主面２０３ｂを当接して接合されている。また、他方の最外側に位置して主面２０３ｂと溝部２０９が露出している単位部材２０１の主面２０３ｂには、単位部材２０１″がその主面２０３ａを当接して接合されている。尚、図示例では、３個の単位部材２０１が積層されているが、積層体１９２を構成する単位部材２０１の数はこれに限定されるものではない。
また、蓋部材１９５は、積層体１９２の一の面に配列している複数の単位部材２０１と単位部材２０１″の肉薄部２０５と、単位部材２０１′に当接し、溝部２０４を覆うように接合されている。
このようなフィルター１９１は、肉薄部２０５で区画された溝部２０４からなる流路１９４を有する濾過構造部１９３と、肉薄部２１０で区画された溝部２０９からなる流路１９７を有する濾過構造部１９６を備える。濾過構造部１９３は、流路１９４の幅Ｗ１と高さＨ１のいずれか小さい寸法により、流路１９４を通過可能な粒子の大きさを規定し、また、濾過構造部１９６は、流路１９７の幅Ｗ５と高さＨ２のいずれか小さい寸法により、流路１９７を通過可能な粒子の大きさを規定する。
単位部材２０１，２０１′，２０１″の材質は、上述の単位部材２１，２１′と同様とすることができる。
また、蓋部材１９５の材質は、上述の蓋部材１５と同様とすることができる。 Such a unit member 201 is joined so that the main surface 203a of one unit member 201 and the main surface 203b of another adjacent unit member 201 are in contact, and the groove portions 204 and 209 are arranged in parallel. Are stacked in the Y direction shown. Of the three unit members 201 stacked in this way, the unit member 201 ′ is located on the main surface 203a of the unit member 201 which is located on the outermost side of one of the unit members 201 and the groove portion 204 is exposed. The main surface 203b is contacted and joined. In addition, the unit member 201 ″ is bonded to the main surface 203b of the unit member 201 which is located on the other outermost side and from which the main surface 203b and the groove portion 209 are exposed. In the illustrated example, three unit members 201 are laminated, but the number of unit members 201 constituting the laminate 192 is not limited to this.
The lid member 195 is in contact with the plurality of unit members 201 arranged on one surface of the laminate 192, the thin portion 205 of the unit member 201 ″, and the unit member 201 ′ so as to cover the groove portion 204. Has been.
Such a filter 191 includes a filtration structure portion 193 having a flow path 194 having a groove portion 204 partitioned by a thin portion 205 and a filtration structure portion 196 having a flow passage 197 having a groove portion 209 partitioned by a thin portion 210. Prepare. The filtration structure 193 defines the size of particles that can pass through the flow path 194 by the smaller one of the width W1 and the height H1 of the flow path 194, and the filtration structure 196 includes the flow path 197. The size of the particles that can pass through the flow path 197 is defined by the smaller one of the width W5 and the height H2.
The material of the unit members 201, 201 ′, 201 ″ can be the same as that of the unit members 21, 21 ′ described above.
The material of the lid member 195 can be the same as that of the lid member 15 described above.

溝部２０４の寸法は、上述した流路１９４の幅Ｗ１と高さＨ１を決定するものであり、例えば、幅Ｗ１を１５〜１００μｍの範囲、高さＨ１を１５〜１００μｍの範囲で決定するように溝部２０４の寸法を設定することができる。また、溝部２０９の寸法は、上述した流路１９７の幅Ｗ５と高さＨ２を決定するものであり、例えば、幅Ｗ５を２０〜２００μｍの範囲、高さＨ２を２０〜２００μｍの範囲で決定するように溝部２０９の寸法を設定することができる。このような溝部２０４、および、溝部２０９は、例えば、エッチングマスクを介したドライエッチング、ウエットエッチング、あるいは、研削等により形成することができる。
単位部材２０１、単位部材２０１′、単位部材２０１″の接合は、例えば、拡散接合、電気溶接、あるいは、ネジによる締結等により行うことができる。 The dimension of the groove 204 determines the width W1 and the height H1 of the flow path 194 described above. For example, the width W1 is determined in the range of 15 to 100 μm and the height H1 is determined in the range of 15 to 100 μm. The dimension of the groove part 204 can be set. The dimension of the groove 209 determines the width W5 and the height H2 of the above-described flow path 197. For example, the width W5 is determined in the range of 20 to 200 μm and the height H2 is determined in the range of 20 to 200 μm. Thus, the dimension of the groove 209 can be set. Such groove part 204 and groove part 209 can be formed by, for example, dry etching, wet etching, grinding, or the like through an etching mask.
The unit member 201, the unit member 201 ′, and the unit member 201 ″ can be joined by, for example, diffusion joining, electric welding, or fastening with a screw.

このようなフィルター１９１では、濾過構造部１９３に供給され流路１９４を通過する流体に対して濾過機能を発現することができ、また、濾過構造部１９６に供給され流路１９７を通過する流体に対して濾過機能を発現することができる。例えば、流路１９４を通過可能な粒子よりも、流路１９７を通過可能な粒子が大きい場合、まず、濾過構造部１９６の流路１９７を図示のＸ方向に流体を流すことにより１次濾過を行い、次いで、図示しない導管を介して濾過構造部１９３の流路１９４に流体を送り、流路１９４を図示のＸ方向に通過する流体に対して２次濾過を行うことができる。これにより、効率の高い濾過機能を発現することができる。このような１次、２次の濾過順序は、流路１９４を通過可能な粒子の大きさ、流路１９７を通過可能な粒子の大きさに応じて、適宜設定することができる。   In such a filter 191, a filtration function can be expressed with respect to the fluid that is supplied to the filtration structure 193 and passes through the flow path 194, and the fluid that is supplied to the filtration structure 196 and passes through the flow path 197. On the other hand, a filtration function can be expressed. For example, when the particles that can pass through the flow path 197 are larger than the particles that can pass through the flow path 194, first, primary filtration is performed by flowing a fluid through the flow path 197 of the filtration structure 196 in the X direction shown in the figure. Then, a fluid can be sent to the flow path 194 of the filtration structure 193 through a conduit (not shown), and secondary filtration can be performed on the fluid passing through the flow path 194 in the X direction shown in the figure. Thereby, a highly efficient filtration function can be expressed. Such primary and secondary filtration orders can be appropriately set according to the size of particles that can pass through the flow channel 194 and the size of particles that can pass through the flow channel 197.

さらに、フィルター１９１は、使用する単位部材２０１，２０１″の溝部２０４の寸法、長さにより、流路１９４の幅Ｗ１、あるいは、高さＨ１が決定され、使用する単位部材２０１，２０１′の溝部２０９の寸法、長さにより、流路１９７の幅Ｗ５、あるいは、高さＨ２が決定され、単位部材２０１、単位部材２０１′の積層時の精度に影響されることがない。また、基材２０２の幅（図示Ｘ方向の基材の長さ）を長くすることにより流路１９４，１９７のアスペクト比（流路の長さ／流路の幅）を大きくすることができる。これにより濾過構造部１９３，１９５の寸法精度が高く、優れたフィルター機能が発現される。
このように２種の流路を備えた構造は、上述の実施形態においても採用することができる。例えば、図４、図５に示される単位部材４１，４１′の基材４２の主面４３ｂに溝部を設けること、図１２〜図１４に示される単位部材１０１，１０１′の基材１０２の主面１０３ｂに溝部を設けること、図１５〜図１７に示される単位部材１２１，１２１′の基材１２２の主面１２３ｂに溝部を設けることにより、上述の本発明のフィルター３１，９１，１１１においても、１次濾過、２次濾過による効率の高い濾過機能を発現することができる。 Further, the filter 191 has a width W1 or a height H1 of the flow path 194 determined by the dimensions and lengths of the groove portions 204 of the unit members 201 and 201 ″ to be used, and the groove portions of the unit members 201 and 201 ′ to be used. The width W5 or height H2 of the flow path 197 is determined by the size and length of 209, and is not affected by the accuracy when the unit member 201 and the unit member 201 ′ are stacked. The aspect ratio (the length of the flow path / the width of the flow path) of the flow paths 194 and 197 can be increased by increasing the width (the length of the base material in the X direction in the drawing). The dimensional accuracy of 193 and 195 is high, and an excellent filter function is exhibited.
Thus, the structure provided with two types of flow paths can also be employed in the above-described embodiment. For example, a groove is provided on the main surface 43b of the base member 42 of the unit members 41 and 41 ′ shown in FIGS. 4 and 5, and the main member 102 of the unit members 101 and 101 ′ shown in FIGS. In the above-described filters 31, 91 and 111 of the present invention, a groove is provided on the surface 103b, and a groove is provided on the main surface 123b of the base member 122 of the unit members 121 and 121 'shown in FIGS. A highly efficient filtration function by primary filtration and secondary filtration can be expressed.

［第７の実施形態］
図３０は、本発明のフィルターの他の実施形態を説明するための斜視図であり、図３１は、図３０に示されるフィルターを構成する単位部材の斜視図である。図３０および図３１おいて、フィルター２１１は、複数の単位部材２２１と単位部材２２１′が積層されてなる積層体２１２と、蓋部材２１５を有している。
積層体２１２を構成する単位部材２２１は、平板形状の基材２２２と、この基材２２２の対向する一対の主面２２３ａ，２２３ｂの一方の主面２２３ａに位置して基材２２２の一方の側２２２ａから対向する他方の側２２２ｂに至るように図示Ｘ方向に沿った溝部２２４と、基材２２２において溝部２２４が位置する部位の主面２２３ｂ側に位置している薄肉部２２５と、を有している。さらに、単位部材２２１は、主面２２３ｂに位置して基材２２２の一方の側２２２ａから対向する他方の側２２２ｂに至るように図示Ｘ方向に沿った溝部２２９と、基材２２２において溝部２２９が位置する部位の主面２２３ａ側に位置している薄肉部２３０と、を有している。溝部２２４の寸法は、後述する流路２１４の幅Ｗ１と高さＨ１を決定するものである。また、溝部２２９の寸法は、後述する流路２１７の幅Ｗ５と高さＨ２を決定するものである。図示例では、薄肉部２２５は基材２２２の図示Ｚ方向の一方の端に位置し、薄肉部２３０は基材２２２の図示Ｚ方向の一方の端から離間した部位に位置している。 [Seventh Embodiment]
FIG. 30 is a perspective view for explaining another embodiment of the filter of the present invention, and FIG. 31 is a perspective view of a unit member constituting the filter shown in FIG. 30 and 31, the filter 211 includes a laminated body 212 in which a plurality of unit members 221 and unit members 221 ′ are laminated, and a lid member 215.
The unit member 221 constituting the laminated body 212 is positioned on one side of the base material 222 and is located on one main surface 223a of a pair of main surfaces 223a and 223b facing the base material 222 and the base material 222. A groove portion 224 along the X direction in the figure so as to reach the other side 222b facing from 222a, and a thin portion 225 located on the main surface 223b side of the portion where the groove portion 224 is located in the base material 222 ing. Further, the unit member 221 has a groove portion 229 along the X direction shown in the drawing so as to be located on the main surface 223b and from the one side 222a of the base material 222 to the other side 222b facing the base member 222. And a thin portion 230 positioned on the main surface 223a side of the portion to be positioned. The dimension of the groove part 224 determines the width W1 and the height H1 of the flow path 214 described later. The dimension of the groove 229 determines the width W5 and the height H2 of the flow path 217 described later. In the illustrated example, the thin portion 225 is located at one end of the base material 222 in the Z direction shown in the drawing, and the thin portion 230 is located at a portion away from one end of the base material 222 in the Z direction shown in the drawing.

積層体２１２を構成する単位部材２２１′は平板形状であり、溝部２０９および薄肉部２３０を備えていない他は、上記の単位部材２２１と同様である。
このような単位部材２２１は、図３２に示されるように、１組の単位部材２２１が溝部２２９が対向するように主面２２３ｂ同士を当接して積層され、単位積層体２２０を構成している。そして、この単位積層体２２０が、溝部２２４を平行に配列するように接合されて、図示のＹ方向に積層され、その両外側には、単位部材２２１′がその主面２２３ａを当接して接合されている。尚、図示例では、２組の単位積層体２２０、計４個の単位部材２２１が積層されているが、積層体２１２を構成する単位積層体２２０の数はこれに限定されるものではない。
また、蓋部材２１５は、積層体２１２の一の面に配列している複数の単位部材２２１、単位部材２２１′の肉薄部２２５に当接し、溝部２２４を覆うように接合されている。 The unit member 221 ′ constituting the laminated body 212 has a flat plate shape, and is the same as the unit member 221 except that the groove portion 209 and the thin portion 230 are not provided.
As shown in FIG. 32, such a unit member 221 is configured by laminating a pair of unit members 221 with the main surfaces 223 b in contact with each other so that the groove portions 229 face each other, thereby constituting a unit laminated body 220. . And this unit laminated body 220 is joined so that the groove parts 224 are arranged in parallel and laminated in the Y direction shown in the figure, and unit members 221 'are in contact with the main surface 223a and joined to both outer sides thereof. Has been. In the illustrated example, two sets of unit laminated bodies 220 and a total of four unit members 221 are laminated, but the number of unit laminated bodies 220 constituting the laminated body 212 is not limited to this.
The lid member 215 is in contact with the thin portions 225 of the plurality of unit members 221 and unit members 221 ′ arranged on one surface of the stacked body 212 and is joined so as to cover the groove portion 224.

このようなフィルター２１１は、肉薄部２２５で区画された溝部２２４からなる流路２１４を有する濾過構造部２１３と、肉薄部２３０で区画された溝部２２９からなる流路２１７を有する濾過構造部２１６を備える。そして、濾過構造部２１３は、流路２１４の幅Ｗ１と高さＨ１のいずれか小さい寸法により、流路２１４を通過可能な粒子の大きさを規定し、また、濾過構造部２１６は、流路２１７の幅Ｗ５と高さＨ２のいずれか小さい寸法により、流路２１７を通過可能な粒子の大きさを規定する。
単位部材２２１，２２１′の材質は、上述の単位部材２１，２１′と同様とすることができる。
また、蓋部材２１５の材質は、上述の蓋部材１５と同様とすることができる。
溝部２２４の寸法は、１組の溝部２２４が対向することで、上述した流路２１４の幅Ｗ１と高さＨ１を決定するものであり、例えば、幅Ｗ１を４０〜２００μｍの範囲、高さＨ１を４０〜２００μｍの範囲で決定するように溝部２２４の寸法を設定することができる。また、溝部２２９の寸法は、単位積層体２２０において１組の溝部２２９が対向することで、上述した流路２１７の幅Ｗ５と高さＨ２を決定するものであり、例えば、幅Ｗ５を３０〜２００μｍの範囲、高さＨ２を３０〜２００μｍの範囲で決定するように溝部２２９の寸法を設定することができる。このような溝部２２４、および、溝部２２９は、例えば、エッチングマスクを介したドライエッチング、ウエットエッチング、あるいは、研削等により形成することができる。 Such a filter 211 includes a filtration structure part 213 having a flow path 214 composed of a groove part 224 partitioned by a thin part 225 and a filtration structure part 216 having a flow path 217 composed of a groove part 229 partitioned by a thin part 230. Prepare. And the filtration structure part 213 prescribes | regulates the magnitude | size of the particle | grains which can pass the flow path 214 by the dimension which is smaller of either the width | variety W1 or the height H1 of the flow path 214. The size of the particles that can pass through the flow path 217 is defined by the smaller one of the width W5 and the height H2 of 217.
The material of the unit members 221 and 221 'can be the same as that of the unit members 21 and 21' described above.
The material of the lid member 215 can be the same as that of the lid member 15 described above.
The dimension of the groove part 224 determines the width W1 and the height H1 of the above-mentioned flow path 214 when a pair of groove parts 224 face each other. For example, the width W1 is in the range of 40 to 200 μm and the height H1. The dimension of the groove portion 224 can be set so as to be determined in the range of 40 to 200 μm. In addition, the dimension of the groove portion 229 determines the width W5 and the height H2 of the flow path 217 described above when one set of the groove portions 229 is opposed to each other in the unit laminated body 220. The dimension of the groove part 229 can be set so that the range of 200 μm and the height H2 are determined in the range of 30 to 200 μm. Such groove 224 and groove 229 can be formed by, for example, dry etching, wet etching, grinding, or the like through an etching mask.

単位部材２２１、単位部材２２１′の接合は、例えば、拡散接合、電気溶接、あるいは、ネジによる締結等により行うことができる。
このようなフィルター２１１では、濾過構造部２１３に供給され流路２１４を通過する流体に対して濾過機能を発現することができ、また、濾過構造部２１６に供給され流路２１７を通過する流体に対して濾過機能を発現することができる。例えば、流路２１４を通過可能な粒子よりも、流路２１７を通過可能な粒子が小さい場合、まず、濾過構造部２１３の流路２１４を図示のＸ方向に流体を流すことにより１次濾過を行い、次いで、図示しない導管を介して濾過構造部２１６の流路２１７に流体を送り、流路２１７を図示のＸ方向に通過する流体に対して２次濾過を行うことができる。これにより、効率の高い濾過機能を発現することができる。このような１次、２次の濾過順序は、流路２１４を通過可能な粒子の大きさ、流路２１７を通過可能な粒子の大きさに応じて、適宜設定することができる。本実施形態では、流路２１４は溝部２２４が対向して形成され、流路２１７は溝部２２９が対向して形成されているので、溝部２２４と溝部２２９の寸法調整によって流路２１４の幅Ｗ２、流路２１７の幅Ｗ５の大小関係を広い範囲で設定することができる。 The unit member 221 and the unit member 221 ′ can be joined by, for example, diffusion joining, electric welding, or fastening with screws.
In such a filter 211, a filtration function can be expressed with respect to the fluid that is supplied to the filtration structure 213 and passes through the flow path 214, and the fluid that is supplied to the filtration structure 216 and passes through the flow path 217. On the other hand, a filtration function can be expressed. For example, when the particles that can pass through the flow channel 217 are smaller than the particles that can pass through the flow channel 214, first, the primary filtration is performed by flowing a fluid through the flow channel 214 of the filtration structure 213 in the X direction shown in the figure. Then, a fluid can be sent to the flow path 217 of the filtration structure 216 via a conduit (not shown), and the secondary filtration can be performed on the fluid passing through the flow path 217 in the X direction shown in the figure. Thereby, a highly efficient filtration function can be expressed. Such primary and secondary filtration orders can be appropriately set according to the size of particles that can pass through the flow channel 214 and the size of particles that can pass through the flow channel 217. In this embodiment, the channel 214 is formed with the groove 224 facing each other, and the channel 217 is formed with the groove 229 facing each other. Therefore, the width W2 of the channel 214 is adjusted by adjusting the dimensions of the groove 224 and the groove 229, The magnitude relationship of the width W5 of the channel 217 can be set in a wide range.

さらに、フィルター２１１は、使用する単位部材２２１，２２１″の溝部２２４の寸法、長さにより、流路２１４の幅Ｗ１、あるいは、高さＨ１が決定され、使用する単位部材２２１の溝部２２９の寸法、長さにより、流路２１７の幅Ｗ５、あるいは、高さＨ２が決定され、特に流路２１４の幅Ｗ１、流路２１７の幅Ｗ５は、単位部材２２１、単位部材２２１′の積層時の精度に影響されることがない。また、基材２２２の幅（図示Ｘ方向の基材の長さ）を長くすることにより流路２１４，２１７のアスペクト比（流路の長さ／流路の幅）を大きくすることができる。これにより濾過構造部２１３，２１５の寸法精度が高く、優れたフィルター機能が発現される。
このように２種の流路を備えた構造は、上述の実施形態においても採用することができる。例えば、図６〜図８に示される単位部材６１のうち積層体５２の最外側に位置しない単位部材６１の基材６２の主面６３ｂに溝部を設けること、図９〜図１１に示される単位部材８１のうち積層体７２の最外側に位置しない単位部材８１の基材８２の主面８３ｂに溝部を設けること、図１８〜図２１に示される単位部材１４１の基材１４２の主面１４３ｂに溝部を設けること、図２２〜図２５に示される単位部材１６１の基材１６２の主面１６３ｂに溝部を設けることにより、上述の本発明のフィルター５１，７１，１３１，１５１においても、１次濾過、２次濾過による効率の高い濾過機能を発現することができる。 Further, in the filter 211, the width W1 or the height H1 of the flow channel 214 is determined by the size and length of the groove 224 of the unit members 221 and 221 ″ to be used, and the size of the groove 229 of the unit member 221 to be used. The width W5 or the height H2 of the flow path 217 is determined by the length, and in particular, the width W1 of the flow path 214 and the width W5 of the flow path 217 are the accuracy when the unit member 221 and the unit member 221 ′ are stacked. In addition, by increasing the width of the base material 222 (the length of the base material in the X direction in the figure), the aspect ratio of the flow paths 214 and 217 (the length of the flow path / the width of the flow path) As a result, the dimensional accuracy of the filtration structures 213 and 215 is high, and an excellent filter function is exhibited.
Thus, the structure provided with two types of flow paths can also be employed in the above-described embodiment. For example, a groove is provided on the main surface 63b of the base member 62 of the unit member 61 that is not located on the outermost side of the laminated body 52 among the unit members 61 shown in FIGS. 6 to 8, and the units shown in FIGS. A groove is provided on the main surface 83b of the base member 82 of the unit member 81 that is not located on the outermost side of the laminated body 72 of the members 81, and the main surface 143b of the base member 142 of the unit member 141 shown in FIGS. By providing a groove on the main surface 163b of the base material 162 of the unit member 161 shown in FIGS. 22 to 25, the primary filtration is performed in the above-described filters 51, 71, 131, 151 of the present invention. A highly efficient filtration function by secondary filtration can be expressed.

上述の実施形態は例示であり、本発明のフィルターはこれらの実施形態に限定されるものではない。
例えば、上述のフィルター１１は、図３３に示されるように、単位部材２１の基材２２の図示のＸ方向の長さを長く設定することにより積層体１２の図示のＸ方向の長さを長いものとし、これに対応して蓋部材１５の図示のＸ方向の長さを長く設定したものであってもよい。このようなフィルター１１は、図示のＹ−Ｚ面に沿って所望の箇所で切断（図示例では切断部位を鎖線で示している）することにより、流路１４のアスペクト比が所望の値を有するフィルターを得ることができる。同様に、上述のフィルター１７１は、図３４に示されるように、単位部材１８１の基材１８２の図示のＸ方向の長さを長く設定することにより積層体１７２の図示のＸ方向の長さを長いものとし、これに対応して蓋部材１７５の図示のＸ方向の長さを長く設定したものであってもよい。このようなフィルター１７は、隣り合う流路１７７の間で図示のＹ−Ｚ面に沿って所望の箇所で切断（図示例では切断部位を鎖線で示している）することにより、流路１７４のアスペクト比が所望の値を有し、所望の数の流路１７７を有するフィルターを得ることができる。このことは、例示したフィルター１１，１７１の他に、本発明のいずれのフィルターにも適用することができる。 The above-described embodiments are examples, and the filter of the present invention is not limited to these embodiments.
For example, as shown in FIG. 33, the above-described filter 11 increases the length of the laminated body 12 in the illustrated X direction by setting the length of the base member 22 of the unit member 21 in the illustrated X direction longer. Corresponding to this, the length of the lid member 15 in the illustrated X direction may be set longer. Such a filter 11 has a desired value for the aspect ratio of the flow path 14 by cutting at a desired position along the YZ plane shown in the figure (in the example shown, the cutting site is indicated by a chain line). A filter can be obtained. Similarly, as shown in FIG. 34, the above-described filter 171 increases the length in the X direction of the laminated body 172 by setting the length of the base member 182 of the unit member 181 in the X direction shown in the drawing. The length of the lid member 175 in the X direction shown in the figure may be set to be long. Such a filter 17 is cut at a desired position along the YZ plane shown in the figure between adjacent flow paths 177 (in the illustrated example, the cutting site is indicated by a chain line). A filter having a desired aspect ratio and a desired number of channels 177 can be obtained. This can be applied to any filter of the present invention in addition to the illustrated filters 11 and 171.

また、上述のフィルター１７１では、流路１７７が図示のＸ方向に複数配列されているが、図示のＺ方向にも複数配列されたものであってもよい。この場合、図示のＺ方向における各段の流路１７７の幅Ｗ４が異なるようにしてもよく、これにより３次以上の濾過が可能となる。同様に、上述のフィルター１９１，２１２，２３１では、流路１９７，２１７，２３７が図示のＹ方向に複数配列されているが、図示のＺ方向にも複数配列されたものであってもよい。この場合も、図示のＺ方向における各段の流路１９７，２１７，２３７の幅Ｗ５、高さＨ２が異なるようにしてもよく、これにより３次以上の濾過が可能となる。   Further, in the filter 171 described above, a plurality of flow paths 177 are arranged in the X direction shown in the figure, but a plurality of flow paths 177 may also be arranged in the Z direction shown in the figure. In this case, the width W4 of the flow path 177 at each stage in the Z direction shown in the figure may be different, which enables third-order or higher filtration. Similarly, in the above-described filters 191, 212, and 231, a plurality of flow paths 197, 217, and 237 are arranged in the illustrated Y direction, but a plurality of channels 197, 217, and 237 may also be arranged in the illustrated Z direction. Also in this case, the width W5 and the height H2 of the flow paths 197, 217, and 237 of the respective stages in the Z direction shown in the figure may be made different, thereby enabling third-order or higher filtration.

次に、具体的な実施例を示して本発明を更に詳細に説明する。
単位部材の基材としてステンレス鋼（ＳＵＳ３０４、１５０ｍｍ×１５０ｍｍ、厚み１００μｍ）を準備した。
この基材の両主面に感光性ドライフィルム（旭化成（株）製） サンフォートＡＱ−２５５８）をラミネートした後、所望のマスクを介して露光し、現像することによりエッチングマスク１とエッチングマスク２を対向する各主面に形成した。このように形成したエッチングマスク１は、基材の長さ１５０ｍｍの側端に平行であって、当該側端から５０ｍｍ離間した位置に幅２５μｍの帯状の開口部を有するものであった。また、形成したエッチングマスク２は基材の主面の全域を被覆するものであった。 Next, the present invention will be described in more detail by showing specific examples.
Stainless steel (SUS304, 150 mm × 150 mm, thickness 100 μm) was prepared as a base material for the unit member.
After laminating a photosensitive dry film (manufactured by Asahi Kasei Co., Ltd., Sunfort AQ-2558) on both main surfaces of this base material, exposure is performed through a desired mask, and development is performed, whereby etching mask 1 and etching mask 2 are obtained. Was formed on each opposing main surface. The etching mask 1 thus formed had a strip-shaped opening having a width of 25 μm at a position parallel to the side end of the substrate having a length of 150 mm and spaced 50 mm from the side end. The formed etching mask 2 covers the entire main surface of the substrate.

次に、エッチングマスク１が上面側となるように基材を水平に維持した状態で、下記のエッチング条件のスプレーエッチングにより、基材のエッチングマスク１側からエッチングして溝部を形成し、その後、エッチングマスク１およびエッチングマスク２を除去し、洗浄した。
（エッチング条件）
・エッチング液 ： 塩化第二鉄溶液
・比重 ： ４９ボーメ（Ｂｅ）
・温度 ： ７５℃
・スプレー圧 ： ３ｋｇ／ｃｍ² Next, in a state where the base material is kept horizontal so that the etching mask 1 is on the upper surface side, a groove is formed by etching from the etching mask 1 side of the base material by spray etching under the following etching conditions, Etching mask 1 and etching mask 2 were removed and cleaned.
(Etching conditions)
・ Etching solution: Ferric chloride solution ・ Specific gravity: 49 Baume (Be)
・ Temperature: 75 ℃
・ Spray pressure: 3kg / cm ²

このようなスプレーエッチングにより、基材の一方の主面に、基材の長さ１５０ｍｍの側端に平行であって、当該側端から５０ｍｍ離間した位置に、基材を横切るように幅３５μｍ、深さ１５μｍの帯状の溝部が形成され、この溝部が位置する他方の主面には薄肉部が形成された。これにより、図５に示されるような単位部材が得られた。
上記と同様にして、単位部材を１６個作製した。また、溝部を形成していない単位部材を１個準備した。
次いで、１６個の単位部材を、溝部が同じ方向を向き、かつ、平行となるように主面同士を当接させ、かつ、最外側に位置して溝部が露出している単位部材の主面に、溝部を形成していない単位部材を当接した。この状態で、各単位部材間を４箇所電気溶接することにより仮接着し、その後、下記の条件で拡散接合により複数の単位部材を接合して積層体を作製した。 By such spray etching, the width of 35 μm across one side of the main surface of the substrate is parallel to the side edge of the length of 150 mm and spaced from the side edge by 50 mm, A band-shaped groove portion having a depth of 15 μm was formed, and a thin portion was formed on the other main surface where the groove portion was located. Thereby, the unit member as shown in FIG. 5 was obtained.
Sixteen unit members were produced in the same manner as described above. Moreover, one unit member in which no groove was formed was prepared.
Next, the main surfaces of the unit members having the 16 unit members in contact with each other so that the groove portions face in the same direction and are parallel to each other, and the groove portions are exposed on the outermost side. A unit member not formed with a groove was brought into contact therewith. In this state, the unit members were temporarily bonded by means of electric welding at four locations, and then a plurality of unit members were joined by diffusion bonding under the following conditions to produce a laminate.

この積層体は、各単位部材の溝部が薄肉部で区画された１６個の流路を有するものであった。
（拡散接合条件）
・雰囲気 ： 真空
・接合温度 ： １０００℃
・接合時間 ： ９時間 This laminated body had 16 flow paths in which the groove portion of each unit member was partitioned by a thin portion.
(Diffusion bonding conditions)
・ Atmosphere: Vacuum
-Joining temperature: 1000 ° C
-Joining time: 9 hours

上記のように作製した積層体を、上記の流路の長さ方向が０．１ｍｍとなるように、流路の長さ方向に垂直に裁断して、図４に示されるようなフィルターを作製した。
このように作製したフィルターが備える流路は、幅Ｗ１（図４参照）が１５μｍ、高さＨ（図４参照）が３５μｍであり、アスペクト比（流路の長さ／流路の最小開口寸法）が約６．７であり、微細な濾過構造部をなすことが確認された。 The laminate produced as described above is cut perpendicularly to the length direction of the flow path so that the length direction of the flow path is 0.1 mm to produce a filter as shown in FIG. did.
The flow path provided in the filter thus prepared has a width W1 (see FIG. 4) of 15 μm and a height H (see FIG. 4) of 35 μm, and an aspect ratio (flow path length / minimum opening dimension of the flow path). ) Was about 6.7, and it was confirmed to form a fine filtration structure.

このようなフィルターを濾過装置に装着し、薄力粉（粒径分布幅は５〜１００μｍ）を純水に１０ｇ／Ｌ含有させた流体を用い、濾過を行った結果、流路内での圧力損失は０．２８ＭＰａ程度であった。また、０．１時間の濾過操作の後、濾過装置から取り外したフィルターを純水洗浄後にエタノールを用いて洗浄したところ、フィルターに捕獲されていた薄力粉を完全に排除することができた。   When such a filter is attached to a filtration device, and filtration is performed using a fluid containing 10 g / L of weak flour (particle size distribution width: 5 to 100 μm) in pure water, the pressure loss in the flow path is It was about 0.28 MPa. Further, after the filtration operation for 0.1 hours, the filter removed from the filtration device was washed with pure water and then with ethanol. As a result, the weak flour captured by the filter could be completely eliminated.

種々の流体の濾過に利用可能であり、また、流体の濾過工程を必要とする種々の製品の製造に利用することができる。   It can be used for the filtration of various fluids and can be used for the manufacture of various products that require a fluid filtration process.

１１，３１，５１，７１，９１，１１１，１３１，１５１，１７１，１９１，２１１…フィルター
１２，３２，５２，７２，９２，１１２，１３２，１５２，１７２，１９２，２１２…積層体
１３，３３，５３，７３，９３，１１３，１３３，１５３，１７３，１７６，１９３，１９６，２１３，２１６…濾過構造部
１４，３４，５４，７４，９４，１１４，１３４，１５４，１７４，１７７，１９４，１９７，２１４，２１７…流路
６０，８０，１４０，１６０，２２０…単位積層体
２１，２１′，４１，４１′，６１，８１，１０１，１０１′，１０１″，１２１，１２１′，１２１″，１４１，１４１′，１６１，１６１′，１８１，１８１′，２０１，２０１′，２２１，２２１′…単位部材
２４，４４，６４，８４，１０４，１２４，１４４，１６４，１８４，２０４，２０９，２２４，２２９…溝部
２５，４５，６５，８５，１０５，１２５，１４５，１６５，１８５，２０５，２１０，２２５，２３０…薄肉部
１０６，１４６…切欠き部
１０７，１２７，１２７′，１４７，１６７，１６７′…貫通孔部
１８８…貫通口 11, 31, 51, 71, 91, 111, 131, 151, 171, 191, 211 ... Filter 12, 32, 52, 72, 92, 112, 132, 152, 172, 192, 212 ... Laminate 13, 33 , 53, 73, 93, 113, 133, 153, 173, 176, 193, 196, 213, 216 ... Filtration structure 14, 34, 54, 74, 94, 114, 134, 154, 174, 177, 194 197, 214, 217 ... flow paths 60, 80, 140, 160, 220 ... unit laminates 21, 21 ', 41, 41', 61, 81, 101, 101 ', 101 ", 121, 121', 121" , 141, 141 ′, 161, 161 ′, 181, 181 ′, 201, 201 ′, 221, 221 ′, unit members 24, 44, 64, 84, 104, 24, 144, 164, 184, 204, 209, 224, 229 ... grooves 25, 45, 65, 85, 105, 125, 145, 165, 185, 205, 210, 225, 230 ... thin-walled portions 106, 146 ... cut Notch 107, 127, 127 ', 147, 167, 167' ... through-hole 188 ... through-hole

Claims (7)

平板形状の基材と、該基材の対向する一対の主面の一方に位置して前記基材の一方の側から対向する他方の側に至る溝部と、を有する複数の単位部材が、前記主面を当接するように積層された積層体を備えるとともに、前記溝部が位置することにより他方の前記主面に存在する前記基材の薄肉部で区画された複数の流路を有する濾過構造部を備えることを特徴とするフィルター。   A plurality of unit members each having a flat plate-like base material and a groove portion that is located on one of a pair of principal surfaces facing the base material and that extends from one side of the base material to the other side, A filtration structure having a plurality of flow paths partitioned by thin portions of the base material existing on the other main surface when the groove portion is positioned, with a laminated body laminated so as to abut the main surface A filter characterized by comprising. 前記積層体は、前記溝部が位置する主面が同じ方向となるように前記単位部材を複数積層したものであることを特徴とする請求項１に記載のフィルター。   2. The filter according to claim 1, wherein the laminated body is obtained by laminating a plurality of the unit members so that main surfaces on which the groove portions are located are in the same direction. 前記積層体は、前記溝部が対向するように１組の前記単位部材が積層されてなる単位積層体を複数積層したものであることを特徴とする請求項１に記載のフィルター。   2. The filter according to claim 1, wherein the laminated body is obtained by laminating a plurality of unit laminated bodies in which one set of the unit members is laminated so that the groove portions face each other. 前記薄肉部は前記単位部材の前記基材の端に位置しており、前記積層体の一の面に配列している複数の前記薄肉部に当接する蓋部材を有することを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載のフィルター。   The said thin part is located in the edge of the said base material of the said unit member, It has a cover member contact | abutted to the said several thin part currently arranged in one surface of the said laminated body. The filter according to any one of claims 1 to 3. 前記単位部材は、前記薄肉部に切欠き部または貫通孔部を有することを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載のフィルター。   The filter according to any one of claims 1 to 4, wherein the unit member has a cutout portion or a through-hole portion in the thin portion. 前記単位部材は、前記薄肉部を除く前記基材に一方の前記主面から他方の前記主面に至る貫通口を有し、該貫通口は前記濾過構造部とは別の濾過構造部を構成していることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれかに記載のフィルター。   The unit member has a through-hole extending from one main surface to the other main surface in the base material excluding the thin-wall portion, and the through-port constitutes a filtration structure portion different from the filtration structure portion. The filter according to any one of claims 1 to 5, wherein the filter is provided. 前記単位部材は、前記溝部とは異なる溝部を有し、該溝部は前記濾過構造部とは別の濾過構造部を構成していることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれかに記載のフィルター。   The said unit member has a groove part different from the said groove part, This groove part comprises the filtration structure part different from the said filtration structure part, The any one of Claim 1 thru | or 5 characterized by the above-mentioned. The filter described.

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