JP2015194276A - automatic drying system - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an automatic drying system capable of successively and efficiently drying an object which takes much time for drying, without stopping a line.SOLUTION: An automatic drying system 1 includes: a throw-in carrying portion (a throw-in conveyer unit)2 for throwing in a roll 200 which is an object; a plurality of drying RO 21 and 22 for drying the roll 200; a put-out carrying portion (a put-out conveyer unit)3 for putting out the roll 200 dried in the drying RO 21 and 22; and a transporting machine 10 which moves the roll 200 carried by the throw-in carrying portion to any one of the plurality of drying RO 21 and 22, and transports the roll 200 dried in the drying RO 21 or 22 to a put-out carrying portion side.

Description

本発明は、乾燥しようとする対象物を乾燥するための自動乾燥システムに関する。   The present invention relates to an automatic drying system for drying an object to be dried.

配送用容器としては、その外側面に、シート状の熱または光で可視画像を可逆的に表示および消去可能な可視情報記録媒体を固定して表示するものがある。この配送用容器の配送システムが、特許文献1に記載されている。   As a delivery container, there is a container in which a visible information recording medium capable of reversibly displaying and erasing a visible image with sheet-like heat or light is fixed and displayed on an outer surface thereof. This delivery container delivery system is described in Patent Document 1.

この配送システムは、コンテナ受け入れラインから順に洗浄ライン、乾燥ライン、可視情報記録媒体の消去機および印字装置からなる消去・印字ライン、物品投入機および物品搬出ラインを備えている。この配送用容器は、順にこれらのラインに移動して、消去・印字ラインで配送に必要な情報を消去した後に印字して、物品を入れた配送用容器を発送して、その後に配送用容器を回収して洗浄ラインに復帰させるようになっている。   This delivery system includes a cleaning line, a drying line, an erasing / printing line composed of a visual information recording medium erasing machine and a printing device, an article loading machine, and an article carrying-out line in order from the container receiving line. This delivery container moves to these lines in order, erases the information necessary for delivery on the erasing / printing line, prints it, ships the delivery container containing the articles, and then delivers the delivery container. Is recovered and returned to the cleaning line.

特開2003−335314号公報JP 2003-335314 A

ところで、特許文献1の配送システムでは、この種の配送用容器の場合には、配送用容器をライン上で配送している間に、乾燥ラインにおいて流しながら短い乾燥時間で配送用容器の乾燥処理が終了できるので問題ない。   By the way, in the delivery system of Patent Document 1, in the case of this type of delivery container, while the delivery container is being delivered on the line, the delivery container is dried in a short drying time while flowing in the drying line. Can be finished, so there is no problem.

しかしながら、乾燥処理に時間が掛かる対象物として、例えば長尺の薄膜を芯材に対してロール状に巻くことで形成されている対象物を乾燥する場合には、乾燥処理には時間が掛かるので、この種のロール状の対象物を、特許文献1に記載の乾燥ラインに流しながら乾燥処理を行ったとしても、単にこのような乾燥ラインに流すだけでは、乾燥処理に時間が掛かる対象物の乾燥処理を終了させることができない。   However, as an object that takes time for the drying process, for example, when an object formed by winding a long thin film around a core material in a roll shape is dried, the drying process takes time. Even if this kind of roll-shaped object is subjected to a drying process while flowing through the drying line described in Patent Document 1, simply passing it through such a drying line can cause the drying process to take a long time. The drying process cannot be terminated.

本発明は、上記に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、乾燥に時間が掛かる対象物を、ラインを止めることなく順次効率良く乾燥させることができる自動乾燥システムを提供することにある。   The present invention has been made in view of the above, and an object of the present invention is to provide an automatic drying system capable of sequentially and efficiently drying an object that takes time to dry without stopping the line. is there.

上記課題を達成するため、請求項1に記載の自動乾燥システムは、複数の対象物を乾燥するための自動乾燥システムであって、前記対象物を投入する投入搬送部と、前記対象物を乾燥させるための複数の乾燥炉と、前記乾燥炉で乾燥処理された前記対象物を払い出しする払出搬送部と、前記投入搬送部により搬送されてくる前記対象物を、前記複数の乾燥炉のいずれかに移して、前記乾燥炉で乾燥処理された前記対象物を前記払出搬送部側に運ぶ移載機と、を備えることを特徴とする。   In order to achieve the above object, an automatic drying system according to claim 1 is an automatic drying system for drying a plurality of objects, wherein an input conveyance unit that inputs the objects, and the objects are dried. A plurality of drying furnaces, a payout transport unit for delivering the object dried in the drying furnace, and the object transported by the input transport unit is one of the plurality of drying furnaces And a transfer machine for transporting the object dried in the drying furnace to the payout transport unit side.

請求項1に記載の自動乾燥システムでは、投入搬送部が対象物を投入すると、移載機は、投入搬送部により搬送されてくる対象物を、一旦複数の乾燥炉のいずれかに投入し、移載機は、その後乾燥炉で必要な処理時間をかけて乾燥処理された対象物を払出搬送部側に戻して運ぶので、乾燥処理に時間が掛かる対象物を、ラインを止めることなく順次効率良く乾燥させることができる。   In the automatic drying system according to claim 1, when the input conveyance unit inputs the object, the transfer machine once inputs the object conveyed by the input conveyance unit into any of the plurality of drying furnaces, The transfer machine then transports the objects that have been dried in the drying furnace over the processing time required to return to the delivery / conveyance unit side, so that the objects that take a long time to dry can be efficiently processed without stopping the line. It can be dried well.

請求項2に記載の自動乾燥システムは、前記複数の乾燥炉から構成される第1乾燥炉群と、前記第1乾燥炉群に対して間隔をおいて配置されている前記複数の乾燥炉から構成される第2乾燥炉群を構成しており、前記第1乾燥炉群と前記第2乾燥炉群の間には、前記移載機が配置されており、前記移載機は、前記第1乾燥炉群と前記第2乾燥炉群の間に配置されている搬送ガイド部と、前記搬送ガイド部に沿って移動して、前記第1乾燥炉群と前記第2乾燥炉群のいずれかの前記乾燥炉の前に位置決めされる移載用の移動体と、を有し、前記移載用の移動体は、前記乾燥炉の内部に前記対象物を投入し、乾燥後の前記対象物を前記乾燥炉の内部から取り出す構成としたことを特徴とする。   The automatic drying system according to claim 2 includes a first drying furnace group including the plurality of drying furnaces, and the plurality of drying furnaces arranged at intervals with respect to the first drying furnace group. The second drying furnace group is configured, and the transfer machine is disposed between the first drying furnace group and the second drying furnace group, One of the first drying furnace group and the second drying furnace group moved along the conveyance guide part disposed between the first drying furnace group and the second drying furnace group, and the conveyance guide part. A transfer moving body positioned in front of the drying furnace, and the transfer moving body puts the object into the drying furnace and dries the object. Is configured to be taken out from the inside of the drying furnace.

請求項2に記載の自動乾燥システムでは、対象物は、移載用の移動体を用いて、第1乾燥炉群と第2乾燥炉群の中の空いている乾燥炉に投入して乾燥処理できるので、対象物の乾燥処理の効率化が図れる。   In the automatic drying system according to claim 2, the target object is put into a vacant drying furnace in the first drying furnace group and the second drying furnace group using a moving body for transfer, and is dried. Therefore, the efficiency of the drying process of the object can be improved.

請求項3に記載の自動乾燥システムでは、前記乾燥炉は、複数の内槽を有する炉本体部と、前記複数の内槽をそれぞれ開閉可能に閉じる複数の自動扉と、を有し、前記炉本体部は、前記複数の内槽の間の領域には、前記内槽を開けたいずれの前記自動扉をも収納可能な扉収納部を有することを特徴とする。   The automatic drying system according to claim 3, wherein the drying furnace includes a furnace main body having a plurality of inner tanks, and a plurality of automatic doors each closing the plurality of inner tanks so as to be opened and closed. The main body has a door storage section that can store any of the automatic doors that have opened the inner tank in a region between the plurality of inner tanks.

請求項3に記載の自動乾燥システムでは、各前記内槽を開けたいずれの前記自動扉であっても扉収納部には共通の収納部として収納できるので、乾燥炉の炉本体部の小型化を図ることができる。   In the automatic drying system according to claim 3, since any of the automatic doors having the respective inner tanks opened can be stored as a common storage portion in the door storage portion, the furnace body portion of the drying furnace can be downsized. Can be achieved.

請求項4に記載の自動乾燥システムでは、前記炉本体部は、各前記内槽を開けたいずれの前記自動扉であっても案内可能な共通のガイドレールを有することを特徴とする。   In the automatic drying system according to claim 4, the furnace body has a common guide rail that can guide any of the automatic doors in which the inner tubs are opened.

請求項4に記載の自動乾燥システムでは、複数の内槽を有していても、各内槽を閉める自動扉は、共通のガイドレールにより案内できるので、乾燥炉の炉本体部の構造を簡単化することができる。   In the automatic drying system according to claim 4, since the automatic door that closes each inner tank can be guided by a common guide rail even if it has a plurality of inner tanks, the structure of the furnace body of the drying furnace can be simplified. Can be

請求項5に記載の自動乾燥システムは、前記乾燥炉の前記内槽内では、前記対象物を、大気圧で昇温をして、大気圧または真空状態で加熱をし、大気圧で降温する乾燥モードにより乾燥することを特徴とする。   The automatic drying system according to claim 5, wherein in the inner tank of the drying furnace, the object is heated at atmospheric pressure, heated at atmospheric pressure or in a vacuum state, and lowered at atmospheric pressure. It is characterized by drying in a drying mode.

請求項5に記載の自動乾燥システムでは、内槽での庫内の昇温と降温は、共に大気圧で行え、対象物の加熱は大気圧または真空状態で加熱をするために、通常行われている昇温と降温を含めてすべての工程を真空中で行う乾燥処理に比べて、本発明では昇温と降温の作業効率が高い。従って、加熱炉の内槽を用いて乾燥しようとする対象物の乾燥工程に掛かる時間を短縮でき、トータルの乾燥処理時間の短縮が図れる。   In the automatic drying system according to claim 5, both the temperature rise and the temperature drop in the inner tank can be performed at atmospheric pressure, and the heating of the object is normally performed in order to heat at an atmospheric pressure or in a vacuum state. Compared to the drying process in which all steps including the temperature rise and temperature drop are performed in a vacuum, the working efficiency of the temperature rise and temperature drop is high in the present invention. Therefore, the time required for the drying process of the object to be dried using the inner tank of the heating furnace can be shortened, and the total drying processing time can be shortened.

請求項6に記載の自動乾燥システムは、乾燥炉の内槽内に熱交換器を設けたことを特徴とする。   The automatic drying system according to claim 6 is characterized in that a heat exchanger is provided in the inner tank of the drying furnace.

請求項6に記載の自動乾燥システムでは、乾燥炉の内槽内に熱交換器を設けて槽内を直接的に冷却することができ、冷却効率の上昇が図れる。   In the automatic drying system according to the sixth aspect, the heat exchanger can be provided in the inner tank of the drying furnace to directly cool the inside of the tank, and the cooling efficiency can be increased.

本発明によれば、乾燥に時間が掛かる対象物を、ラインを止めることなく順次効率良く乾燥させることができる自動乾燥システムを提供できる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the automatic drying system which can dry efficiently the target which takes time for drying sequentially without stopping a line can be provided.

本発明の自動乾燥システムの実施形態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows embodiment of the automatic drying system of this invention. 図1に示す自動乾燥システムにおいて、対象物であるロールとロール冶具の搬送経路をより分かり易く示す斜視図である。In the automatic drying system shown in FIG. 1, it is a perspective view which shows the conveyance path | route of the roll which is a target object, and a roll jig more easily. 図1に示す自動乾燥システムの平面図である。It is a top view of the automatic drying system shown in FIG. 図1に示す自動乾燥システムの正面図である。It is a front view of the automatic drying system shown in FIG. 図1に示す自動乾燥システムの側面図である。It is a side view of the automatic drying system shown in FIG. 乾燥しようとする対象物としてのロールと、この複数のロールを着脱可能に保持するためのロール冶具を示す図である。It is a figure which shows the roll as an object which is going to dry, and the roll jig for hold | maintaining these several rolls so that attachment or detachment is possible. 図6に示す1つのロールの形状例を示す図である。It is a figure which shows the example of a shape of one roll shown in FIG. 移載機の移載用の移動体の構造例と、搬送ガイド部の2本のガイドレールの一部を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structural example of the moving body for transfer of a transfer machine, and a part of two guide rails of a conveyance guide part. 図8に示す移載用の移動体の構造例を示す図である。It is a figure which shows the structural example of the moving body for transfer shown in FIG. 移載用の移動体の昇降部の構造例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structural example of the raising / lowering part of the moving body for transfer. 移載用の移動体の昇降部の構造例を示す正面図である。It is a front view which shows the structural example of the raising / lowering part of the moving body for transfer. 1槽一体型の乾燥炉の正面図である。It is a front view of the drying furnace of 1 tank integrated type. 1槽一体型の乾燥炉の側面図である。It is a side view of the drying furnace of 1 tank integrated type. 図1に示す2槽一体型の乾燥炉を示す正面図である。It is a front view which shows the 2 tank integrated drying furnace shown in FIG. 図1に示す2槽一体型の乾燥炉と1槽一体型の乾燥炉の内槽の構造例を示す図である。It is a figure which shows the structural example of the inner tank of the drying furnace of 2 tanks integrated type shown in FIG. 1, and the drying furnace of 1 tank integrated type. 移載用の移動体により第1乾燥炉群の乾燥炉の内槽内に、ロールを載せたロール冶具を投入したり、ロール冶具を取り出す動作を示す図である。It is a figure which shows the operation | movement which throws in the roll jig which mounted the roll in the inner tank of the drying furnace of a 1st drying furnace group, and takes out a roll jig with the moving body for transfer. 移載用の移動体により第2乾燥炉群の乾燥炉の内槽内に、ロールを載せたロール冶具を投入したり、ロール冶具を取り出す動作を示す図である。It is a figure which shows the operation | movement which throws in the roll jig which mounted the roll in the inner tank of the drying furnace of a 2nd drying furnace group, and takes out a roll jig with the moving body for transfer. 乾燥モード1を有する乾燥処理工程を示すフロー図である。It is a flowchart which shows the drying process process which has the drying mode 1. FIG. 乾燥モード2を有する乾燥処理工程を示すフロー図である。It is a flowchart which shows the drying process process which has the drying mode 2. FIG. 乾燥モード1において、時刻t1から時刻t10の経過に伴って、変化する冷却制御、ファンの回転数制御、窒素ガス流量制御、圧力制御、温度制御の関係例を示す真空チャンバ(内槽)の温度プロファイル事例を示す図である。In the drying mode 1, the temperature of the vacuum chamber (inner tub) showing an example of the relationship among cooling control, fan rotation speed control, nitrogen gas flow rate control, pressure control, and temperature control that change with the lapse of time from time t1 to time t10. It is a figure which shows a profile example.

以下、図面を用いて、本発明を実施するための形態(以下、実施形態と称する)を説明する。   DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention (hereinafter referred to as embodiments) will be described with reference to the drawings.

図1は、本発明の自動乾燥システムの実施形態を示す斜視図である。図2は、図1に示す自動乾燥システム1において、対象物であるワーク(一例としてロール200)とロール冶具の搬送経路をより分かり易く示す斜視図である。図3は、図1に示す自動乾燥システム1の平面図であり、図4は、図1に示す自動乾燥システム1の正面図である。図5は、図1に示す自動乾燥システム1の側面図である。   FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of the automatic drying system of the present invention. FIG. 2 is a perspective view showing, in an easy-to-understand manner, the workpiece (the roll 200 as an example) and the transport path of the roll jig in the automatic drying system 1 shown in FIG. FIG. 3 is a plan view of the automatic drying system 1 shown in FIG. 1, and FIG. 4 is a front view of the automatic drying system 1 shown in FIG. FIG. 5 is a side view of the automatic drying system 1 shown in FIG.

図1と図2に示すように、自動乾燥システム1は、乾燥機室R内に収容されている。この自動乾燥システム1は、投入コンベアユニット2と、払出コンベアユニット3と、移載機10と、複数台の乾燥炉21,22と、操作盤OPを備える。図1から図4の例では、4台の乾燥炉21と2台の乾燥炉22が、Y1、Y2方向に配列されている。   As shown in FIGS. 1 and 2, the automatic drying system 1 is accommodated in a dryer room R. The automatic drying system 1 includes an input conveyor unit 2, a payout conveyor unit 3, a transfer machine 10, a plurality of drying furnaces 21 and 22, and an operation panel OP. In the example of FIGS. 1 to 4, four drying furnaces 21 and two drying furnaces 22 are arranged in the Y1 and Y2 directions.

図1と図2に示す操作盤OPは、制御部100を有しており、制御部100は、乾燥炉21,22の稼働状況、乾燥炉21,22における温度、圧力、処理時間の管理、あるいは乾燥炉21,22における各種の設定機能等を有し、自動乾燥システム1の全体の操作を可能とする集中操作機能を有する。操作盤OPは、メンテナンス時には、専用の遠隔移動式のリモコンを使用して、各種の自動化機能を操作する機能も有する。   The operation panel OP shown in FIGS. 1 and 2 includes a control unit 100, which controls the operating status of the drying furnaces 21 and 22, the temperature, pressure, and processing time in the drying furnaces 21 and 22. Alternatively, it has various setting functions in the drying ovens 21 and 22 and has a centralized operation function that enables the entire automatic drying system 1 to be operated. The operation panel OP also has a function of operating various automation functions using a dedicated remote-moving remote controller during maintenance.

また、自動乾燥システム1の操作盤OPは、乾燥炉21,22による乾燥処理の状況は、上流側の処理工程のシステムや下流側の処理工程のシステムへ情報伝達ができる機能を有する。情報伝達の内容例としては、乾燥対象物の乾燥処理の温度、処理時間、真空、加圧処理等が実施されたかの情報等である。   Further, the operation panel OP of the automatic drying system 1 has a function of transmitting information on the state of the drying process by the drying furnaces 21 and 22 to the upstream process system and the downstream process process system. As an example of the content of information transmission, there are information on whether or not the drying process temperature, processing time, vacuum, pressurizing process, etc. of the object to be dried has been performed.

例えば半導体、電池、材料関係の製造には、加熱工程(乾燥、アニ―ル、ベーキング等)は必要不可欠なものであるが、一方、乾燥システムによる乾燥処理時間や設置場所、ランニングコストの各要件が重要である。製造者が、乾燥システムを導入する際の選定のための判断要素としては、乾燥効率(乾燥方法)、乾燥システムの設置スペースの大きさ、乾燥システムの自動化等の技術である。   For example, heating processes (drying, annealing, baking, etc.) are indispensable for manufacturing semiconductors, batteries, and materials. On the other hand, there are requirements for drying processing time, installation location, and running cost by the drying system. is important. Factors for selection when a manufacturer introduces a drying system include techniques such as drying efficiency (drying method), the size of the installation space of the drying system, and automation of the drying system.

図3に示すように、乾燥機室R内は、乾燥機械RMに接続されており、この乾燥機械RMを動作させることで、乾燥機室R内の所定の湿度と温度を予め定めた値に維持することができる。   As shown in FIG. 3, the dryer room R is connected to a dryer machine RM, and by operating the dryer machine RM, predetermined humidity and temperature in the dryer room R are set to predetermined values. Can be maintained.

図1から図5に示す自動乾燥システム1では、乾燥しようとする対象物としては、例えばコンデンサ(キャパシタ)、電池(電極、セパレータ)等の製造に使用される長尺の薄膜を巻いたロール200である。自動乾燥システム1を用いて、このロール200から水分及び溶剤を飛ばす(乾燥する)ことが必要である。特に乾燥の目安としては、対象物(ワーク)の含有水分量を、例えば数ppm以下(メーカによって異なり、決まった値ではない)まで飛ばす必要があるために、場合によっては、ロール200の加熱時間は数十時間必要となる。   In the automatic drying system 1 shown in FIGS. 1 to 5, as an object to be dried, for example, a roll 200 wound with a long thin film used for manufacturing a capacitor (capacitor), a battery (electrode, separator) or the like. It is. It is necessary to drive off (dry) moisture and solvent from the roll 200 using the automatic drying system 1. In particular, as an indication of drying, the moisture content of the object (workpiece) needs to be reduced to, for example, several ppm or less (which differs depending on the manufacturer and is not a fixed value). Dozens of hours are required.

この自動乾燥システム1により、乾燥しようとするロール200の形状例は、図6と図7に示している。図6は、乾燥しようとする対象物としてのロール200と、この複数のロール200を着脱可能に保持するためのロール冶具201を示している。図7は、図6に示す1つのロール200の形状例を示している。これらのロール200とロール冶具201は、後で説明する乾燥炉の内槽173内に配置されている状態を示している。   Examples of the shape of the roll 200 to be dried by the automatic drying system 1 are shown in FIGS. FIG. 6 shows a roll 200 as an object to be dried and a roll jig 201 for detachably holding the plurality of rolls 200. FIG. 7 shows a shape example of one roll 200 shown in FIG. The roll 200 and the roll jig 201 are in a state where they are arranged in an inner tank 173 of a drying furnace, which will be described later.

ロール200は、例えば長尺の薄膜を金属製の芯材202に巻いて形成されたものであり、マガジンともいう。この薄膜は、例えば電極を形成するのに用いられる。このロール200の寸法例を挙げれば、図7に示すロール200の直径200Dが300〜600mm、長さ200Lが100〜200mmであり、芯材202の長さ202Lは100〜300mmであるが、特に限定されない。   The roll 200 is formed, for example, by winding a long thin film around a metal core 202 and is also called a magazine. This thin film is used, for example, to form an electrode. If the example of the dimension of this roll 200 is given, the diameter 200D of the roll 200 shown in FIG. 7 is 300-600 mm, the length 200L is 100-200 mm, and the length 202L of the core material 202 is 100-300 mm. It is not limited.

図6に示すように、ロール冶具201は、金属製であり、基部201Aと、複数の支持部201Bを有している。各ロール200の芯材202の両端部は、支持部201B,201Bにより、それぞれ着脱可能に支持されている。図6の例では、1つのロール冶具201において、3つのロール200が着脱可能に支持されているが、1つのロール冶具201が支持可能なロール200の数は、1つ、2つ、あるいは4つ以上であっても良く、特に限定されない。   As illustrated in FIG. 6, the roll jig 201 is made of metal and includes a base portion 201A and a plurality of support portions 201B. Both end portions of the core material 202 of each roll 200 are detachably supported by support portions 201B and 201B. In the example of FIG. 6, three rolls 200 are detachably supported in one roll jig 201, but the number of rolls 200 that can be supported by one roll jig 201 is one, two, or four. There may be one or more and is not particularly limited.

次に、図1から図3を参照して、投入コンベアユニット2と払出コンベアユニット3について説明する。   Next, the input conveyor unit 2 and the discharge conveyor unit 3 will be described with reference to FIGS.

図1から図3に示すように、投入コンベアユニット2と払出コンベアユニット3は、例えば複数の搬送ローラを配列したローラコンベアである。投入コンベアユニット2は、投入して搬送する方向であるX1方向に、乾燥処理をしようとするロール200を載せた複数のロール冶具201を搬送可能な直線型の投入搬送部であり、投入口2Aを有している。この投入口2Aには、この自動乾燥システム1の前段の処理工程のシステムから、乾燥処理をしようとするロール200を載せた複数のロール冶具201が送られてくる。   As shown in FIGS. 1 to 3, the input conveyor unit 2 and the discharge conveyor unit 3 are, for example, roller conveyors in which a plurality of conveyance rollers are arranged. The input conveyor unit 2 is a linear input / conveyance unit capable of conveying a plurality of roll jigs 201 on which a roll 200 to be dried is placed in the X1 direction, which is the direction in which the input is made and conveyed. have. A plurality of roll jigs 201 on which rolls 200 to be dried are placed are sent to the input port 2A from the system in the previous processing step of the automatic drying system 1.

払出コンベアユニット3は、搬送して払い出す方向であるX2方向に、乾燥処理済みのロール200を載せた複数のロール冶具201を搬送して後段の処理工程のシステム側へ払出し可能な直線型の払出搬送部であり、払出口3Aを有している。これらのX1、X2方向は、逆方向である。払出口3Aから払出しされた乾燥処理済みのロール200を載せた複数のロール冶具201は、後段の処理工程のシステムに送られる。   The delivery conveyor unit 3 is a linear type capable of delivering a plurality of roll jigs 201 loaded with rolls 200 that have been dried in the X2 direction, which is the direction of delivery and delivery, and delivering them to the system side of the subsequent processing step. It is a payout transport unit and has a payout exit 3A. These X1 and X2 directions are opposite directions. The plurality of roll jigs 201 on which the dry-processed rolls 200 discharged from the discharge outlet 3 </ b> A are placed are sent to a subsequent processing system.

これにより、図示しないモータが、図1に示す制御部100の制御により駆動されることで、投入コンベアユニット2は、ロール200を載せた複数のロール冶具201を、順次投入口2AからX1方向に向けて移載機10側へ搬送可能である。また、図示しないモータが、図1に示す制御部100の制御により駆動されることで、払出コンベアユニット3は、移載機10側から、乾燥処理済みのロール200を載せた複数のロール冶具201を、順次X2方向に向けて払出口3Aに払出し可能である。   As a result, a motor (not shown) is driven by the control of the control unit 100 shown in FIG. 1, so that the input conveyor unit 2 sequentially moves a plurality of roll jigs 201 loaded with rolls 200 from the input port 2A in the X1 direction. It can be conveyed toward the transfer machine 10 side. 1 is driven by the control of the control unit 100 shown in FIG. 1, the payout conveyor unit 3 has a plurality of roll jigs 201 on which the rolls 200 that have been dried are placed from the transfer machine 10 side. Can be sequentially paid out to the payout opening 3A in the X2 direction.

図3に示すように、第1乾燥炉群18と第2乾燥炉群19が、間隔Gを離して、Y1,Y2方向に沿って平行に配置されている。Y1,Y2方向は、X1方向とX2方向に直交している。この例では、第1乾燥炉群18は、2台の乾燥炉21と、1台の乾燥炉22により構成され、第2乾燥炉群19も、2台の乾燥炉21と、1台の乾燥炉22により構成されている。   As shown in FIG. 3, the first drying furnace group 18 and the second drying furnace group 19 are arranged in parallel along the Y1 and Y2 directions with a gap G therebetween. The Y1 and Y2 directions are orthogonal to the X1 direction and the X2 direction. In this example, the first drying furnace group 18 includes two drying furnaces 21 and one drying furnace 22, and the second drying furnace group 19 includes two drying furnaces 21 and one drying furnace. A furnace 22 is used.

第1乾燥炉群18の2台の乾燥炉21と1台の乾燥炉22と、第2乾燥炉群19の2台の乾燥炉21と1台の乾燥炉22は、それぞれ間隔Gを離して対面した位置にしかもそれぞれ直列に配置されている。乾燥炉21は、2つの乾燥用の内槽173を有する2槽一体型の真空乾燥炉であり、乾燥炉22は、1つの内槽173を有する1槽一体型の真空乾燥炉である。なお、乾燥炉21と乾燥炉22の構造例は、後で説明する。   The two drying furnaces 21 and one drying furnace 22 of the first drying furnace group 18 and the two drying furnaces 21 and one drying furnace 22 of the second drying furnace group 19 are separated from each other by a gap G. They are also arranged in series at the facing positions. The drying furnace 21 is a two-tank integrated vacuum drying furnace having two inner tanks 173 for drying, and the drying furnace 22 is a one-tank integrated vacuum drying furnace having one inner tank 173. A structural example of the drying furnace 21 and the drying furnace 22 will be described later.

次に、図1から図3に示す移載機10の構造例を説明する。   Next, a structural example of the transfer machine 10 shown in FIGS. 1 to 3 will be described.

図1から図3に示すように、移載機10は、投入コンベアユニット2上の乾燥処理前のロール200を載せたロール冶具201を受け取って、そのロール冶具201を予め定めた位置の乾燥炉21の内槽173内あるいは乾燥炉22の内槽173内に投入することができる。そして、ロール200が乾燥炉21の内槽173内あるいは乾燥炉22の内槽173内で真空乾燥された後、移載機10は、乾燥処理後のロール200を載せたロール冶具201を取り出して、そのロール冶具201を払出コンベアユニット3側に受け渡す役割を有している。   As shown in FIG. 1 to FIG. 3, the transfer machine 10 receives a roll jig 201 on which a roll 200 before drying processing on the input conveyor unit 2 is placed, and the roll jig 201 is placed in a drying furnace at a predetermined position. It can be put into the 21 internal tanks 173 or the internal tank 173 of the drying furnace 22. Then, after the roll 200 is vacuum-dried in the inner tank 173 of the drying furnace 21 or in the inner tank 173 of the drying furnace 22, the transfer machine 10 takes out the roll jig 201 on which the roll 200 after the drying process is placed. The roll jig 201 has a role of delivering to the delivery conveyor unit 3 side.

図1から図3に示すように、移載機10は、搬送ガイド部30と、受け取り側の安全カバー31と受け渡し側の安全カバー32と、移載用の移動体40を有している。   As shown in FIGS. 1 to 3, the transfer machine 10 includes a conveyance guide unit 30, a receiving-side safety cover 31, a delivery-side safety cover 32, and a transfer moving body 40.

図3に示すように、搬送ガイド部30は、2本の平行なガイドレール30A,30Aから成り、搬送ガイド部30は、第1乾燥炉群18と第2乾燥炉群19の間隔Gの位置において、Y1,Y2方向に沿って配置されている。   As shown in FIG. 3, the conveyance guide unit 30 includes two parallel guide rails 30 </ b> A and 30 </ b> A, and the conveyance guide unit 30 is located at a distance G between the first drying furnace group 18 and the second drying furnace group 19. Are arranged along the Y1 and Y2 directions.

受け取り側の安全カバー31は、投入コンベアユニット2の終端部と、搬送ガイド部30の始端部とを囲むことで、安全性を確保する透明な安全柵である。この安全カバー31では、天井と、側面とを透明なカバー部材が覆っている。同様にして、受け渡し側の安全カバー32は、排出コンベアユニット3の始端部と、搬送ガイド部30の終端部とを囲むことで、安全性を担保する透明なカバーである。この安全カバー32では、天井と、側面とを透明なカバー部材が覆っている。安全カバー31,32は、所定の位置に扉を備えており、メンテナンス等でこの扉を開く場合には、投入コンベアユニット2と払出コンベアユニット3と移載機10の動作は、安全性を確保するために停止する。   The safety cover 31 on the receiving side is a transparent safety fence that ensures safety by surrounding the terminal end of the input conveyor unit 2 and the start end of the transport guide unit 30. In the safety cover 31, a transparent cover member covers the ceiling and the side surface. Similarly, the delivery-side safety cover 32 is a transparent cover that ensures safety by surrounding the start end portion of the discharge conveyor unit 3 and the end portion of the transport guide portion 30. In the safety cover 32, a transparent cover member covers the ceiling and the side surface. The safety covers 31, 32 are provided with doors at predetermined positions. When the doors are opened for maintenance or the like, the operations of the input conveyor unit 2, the discharge conveyor unit 3, and the transfer machine 10 ensure safety. To stop.

図1から図3に示す移載機10の移載用の移動体40は、上述した搬送ガイド部30の2本のガイドレール30A,30Aに沿ってY1方向あるいはY2方向に沿って移動して位置決め可能である。   1 to 3 moves along the Y1 direction or the Y2 direction along the two guide rails 30A and 30A of the conveyance guide unit 30 described above. Positioning is possible.

図8は、移載機10の移載用の移動体40の構造例と、搬送ガイド部30の2本のガイドレール30A,30Aの一部を示す斜視図である。   FIG. 8 is a perspective view showing an example of the structure of the moving body 40 for transfer of the transfer machine 10 and a part of the two guide rails 30 </ b> A and 30 </ b> A of the conveyance guide unit 30.

移載用の移動体40は、図1と図2に示す安全カバー31と安全カバー32との間を、Y1方向あるいはY2方向に移動して位置決め可能である。移載用の移動体40は、図2に示す投入コンベアユニット2上の乾燥処理前のロール200を載せたロール冶具201を受け取って、Y1方向に移動して位置決めして、そのロール冶具201を予め定めた位置の乾燥炉21の内槽173内あるいは乾燥炉22の内槽173内に投入する。その後、移載用の移動体40は、図2に示す乾燥処理後のロール200を載せたロール冶具201を内槽173内から取り出して、Y1方向に移動して、そのロール冶具201を払出コンベアユニット3側に受け渡す。このように、移載用の移動体40は、投入・払出し用のスタッカである。   The moving body 40 for transfer can be positioned by moving in the Y1 direction or the Y2 direction between the safety cover 31 and the safety cover 32 shown in FIGS. The moving body 40 for transfer receives the roll jig 201 on which the roll 200 before the drying process on the input conveyor unit 2 shown in FIG. 2 is received, moves and positions it in the Y1 direction, and moves the roll jig 201. It puts in the inner tank 173 of the drying furnace 21 or the inner tank 173 of the drying furnace 22 at a predetermined position. After that, the transfer moving body 40 takes out the roll jig 201 on which the roll 200 after the drying process shown in FIG. 2 is placed from the inner tank 173, moves in the Y1 direction, and transfers the roll jig 201 to the delivery conveyor. Delivered to the unit 3 side. Thus, the moving body 40 for transfer is a stacker for loading / unloading.

図8に示すように、移載用の移動体40は、本体部41と、4つの車輪42と、昇降部43と、昇降用サーボモータ44と、トラバーサ用サーボモータ45と、ラック46等を有している。4つの車輪42は、本体部41の下部の四隅部分に取り付けられており、2本のガイドレール30Aに載っている。これにより、本体部41は、2本のガイドレール30Aに沿って、Y1方向とY2方向に直線的に案内可能である。ラック46と2本のガイドレール30A,30Aは、床面FFに固定されており、ラック46は、2本のガイドレール30Aの間において、2本のガイドレール30Aと平行になっている。   As shown in FIG. 8, the moving body 40 for transfer includes a main body 41, four wheels 42, an elevating unit 43, an elevating servo motor 44, a traverser servo motor 45, a rack 46, and the like. Have. The four wheels 42 are attached to the lower four corners of the main body 41 and are mounted on the two guide rails 30A. Thus, the main body 41 can be guided linearly in the Y1 direction and the Y2 direction along the two guide rails 30A. The rack 46 and the two guide rails 30A, 30A are fixed to the floor surface FF, and the rack 46 is parallel to the two guide rails 30A between the two guide rails 30A.

図8に示す本体部41は、基部47と、取付台48を有している。この取付台48は、天井部49と、4本の支柱49Aを有している。天井部49は、4本の支柱49Aを用いて、基部47の上面に対して、高さHだけ離して保持されている。   A main body 41 shown in FIG. 8 has a base 47 and a mounting base 48. The mounting base 48 has a ceiling portion 49 and four support columns 49A. The ceiling portion 49 is held by a height H away from the upper surface of the base portion 47 using four support columns 49A.

昇降部43は、例えば長方形の板部材である。この昇降部43には、3カ所にスライドブッシュ50が配置されている。天井部49と基部47との間には、3本のガイドシャフト51が、Z1、Z2方向に取り付けられている。各ガイドシャフト51は、各スライドブッシュ50を通っている。これにより、昇降部43は、天井部49と基部47との間で、3本のガイドシャフト51に沿って、Z1方向(上方向)とZ2方向(下方向)に上下移動して位置決め可能になっている。   The elevating part 43 is, for example, a rectangular plate member. The elevating part 43 is provided with slide bushes 50 at three locations. Three guide shafts 51 are attached between the ceiling portion 49 and the base portion 47 in the Z1 and Z2 directions. Each guide shaft 51 passes through each slide bush 50. As a result, the elevating part 43 can be positioned by moving up and down in the Z1 direction (upward direction) and the Z2 direction (downward direction) along the three guide shafts 51 between the ceiling part 49 and the base part 47. It has become.

図9は、図8に示す移載用の移動体40の構造例を示している。図9(A)は、図8に示す基部47と、昇降部43等を示す側面図である。図9(B)は、基部47と2本のガイドレール30A等を示す側面図である。   FIG. 9 shows a structural example of the moving body 40 for transfer shown in FIG. FIG. 9A is a side view showing the base 47, the lifting unit 43, and the like shown in FIG. FIG. 9B is a side view showing the base 47 and the two guide rails 30A.

図8と図9(A)に示すように、昇降部43には、ボールナット52が設けられている。図8に示すように、このボールナット52は、2つのスライドブッシュ50の間の位置に設けられており、このボールナット52にはボールねじ53が噛み合っている。ボールねじ53の上端部は、天井部49において回転可能に支持され、ボールねじ53の下端部は、基部47において回転可能に支持されている。   As shown in FIGS. 8 and 9A, the elevating part 43 is provided with a ball nut 52. As shown in FIG. 8, the ball nut 52 is provided at a position between the two slide bushes 50, and a ball screw 53 is engaged with the ball nut 52. An upper end portion of the ball screw 53 is rotatably supported by the ceiling portion 49, and a lower end portion of the ball screw 53 is rotatably supported by the base portion 47.

図9(A)に示すように、昇降用サーボモータ44は、基部47上に固定されている。ボールねじ53の下端部は、ホイール54を有している。昇降用サーボモータ44の出力軸44Aは、ホイール55を有している。ホイール54,55は、歯付きベルト56により連結されている。これにより、昇降用サーボモータ44が正回転あるいは逆回転すると、ボールねじ53が正回転あるいは逆回転することで、昇降部43を、Z1方向に上昇して位置決めしたり、Z2方向に下降して位置決めすることができる。このように、図9(A)に示すように、昇降用サーボモータ44と、ホイール54,55と、歯付きベルト56と、ボールねじ53と、ボールナット52は、昇降部43をZ1方向とZ2方向に関して移動して位置決めするための昇降位置決め部57を構成している。昇降用サーボモータ44は、サーボモータ制御部100Aの指令により動作する。このサーボモータ制御部100Aは、図1に示す操作盤OPの制御部100に含まれている。   As shown in FIG. 9A, the lifting servo motor 44 is fixed on the base 47. The lower end portion of the ball screw 53 has a wheel 54. The output shaft 44 </ b> A of the lifting servo motor 44 has a wheel 55. The wheels 54 and 55 are connected by a toothed belt 56. As a result, when the lifting servo motor 44 is rotated forward or backward, the ball screw 53 is rotated forward or backward to position the lifting / lowering portion 43 in the Z1 direction or descend in the Z2 direction. Can be positioned. Thus, as shown in FIG. 9 (A), the lifting servo motor 44, the wheels 54 and 55, the toothed belt 56, the ball screw 53, and the ball nut 52 are arranged in the Z1 direction. A lift positioning portion 57 for moving and positioning in the Z2 direction is configured. The raising / lowering servo motor 44 operates according to a command from the servo motor control unit 100A. The servo motor control unit 100A is included in the control unit 100 of the operation panel OP shown in FIG.

図9(B)に示すように、トラバーサ用サーボモータ45は、基部47上に固定されている。トラバーサ用サーボモータ45の出力軸45Aは、ピニオン58を有しており、このピニオン58は、ラック46に噛み合っている。これにより、トラバーサ用サーボモータ45が、正回転あるいは逆回転すると、移載用の移動体40の本体部41は、Y1方向(前進方向)あるいはY2方向(後退方向)に移動して位置決め可能である。トラバーサ用サーボモータ45は、サーボモータ制御部100Aの指令により動作する。   As shown in FIG. 9B, the traverser servomotor 45 is fixed on the base 47. The output shaft 45 </ b> A of the traverser servomotor 45 has a pinion 58, and the pinion 58 meshes with the rack 46. Thus, when the traverser servomotor 45 rotates forward or backward, the main body 41 of the transfer moving body 40 can be moved and positioned in the Y1 direction (forward direction) or Y2 direction (reverse direction). is there. The traverser servomotor 45 operates in response to a command from the servomotor control unit 100A.

次に、図8と図10と図11を参照して、昇降部43の構造例を説明する。   Next, a structural example of the elevating unit 43 will be described with reference to FIGS.

図10は、昇降部43の構造例を示す斜視図であり、図11は、昇降部43の構造例を示す正面図である。   FIG. 10 is a perspective view showing a structural example of the lifting unit 43, and FIG. 11 is a front view showing a structural example of the lifting unit 43.

図8と図10に示すように、昇降部43は、板状の部材であり、この昇降部43の上面には、第1スライドテーブル61と、第2スライドテーブル62を有している。第1スライドテーブル61は下台であり、第2スライドテーブル62は上台である。図11に示すように、第1スライドテーブル61の底面は、2つのガイドレール受け部61Aを有している。2つのガイドレール受け部61Aは、2本のガイドレール61Bに載っている。2本のガイドレール61Bは、昇降台43の上面に固定されている。   As shown in FIGS. 8 and 10, the elevating part 43 is a plate-like member, and has a first slide table 61 and a second slide table 62 on the upper surface of the elevating part 43. The first slide table 61 is a lower base, and the second slide table 62 is an upper base. As shown in FIG. 11, the bottom surface of the first slide table 61 has two guide rail receiving portions 61A. The two guide rail receiving portions 61A are placed on the two guide rails 61B. The two guide rails 61B are fixed to the upper surface of the lifting platform 43.

図10と図11に示すように、昇降台43の上面には、第1サーボモータ71が取り付けられており、第1サーボモータ71の出力軸に連結されたボールねじ72の端部は、支持部材73に回転可能に支持されている。ボールねじ72は、ボールナット74に噛み合っており、ボールナット74は、第1スライドテーブル61の下面に固定されている。これにより、第1サーボモータ71が、正回転あるいは逆回転すると、ボールねじ72が正回転あるいは逆回転することで、第1スライドテーブル61は、昇降台43上において、X1方向に移動して位置決めしたり、X2方向に移動して位置決めすることができる。   As shown in FIGS. 10 and 11, a first servo motor 71 is attached to the upper surface of the lifting platform 43, and the end of the ball screw 72 connected to the output shaft of the first servo motor 71 is supported by The member 73 is rotatably supported. The ball screw 72 is engaged with a ball nut 74, and the ball nut 74 is fixed to the lower surface of the first slide table 61. As a result, when the first servo motor 71 rotates forward or backward, the ball screw 72 rotates forward or backward, so that the first slide table 61 moves and positions in the X1 direction on the lifting platform 43. Or move in the X2 direction for positioning.

図10と図11に示すように、第2スライドテーブル62の底面は、複数のガイドレール受け部62Aを有している。これらのガイドレール受け部62Aは、2本のガイドレール62Bに載っている。2本のガイドレール62Bは、第1スライドテーブル61の上面に固定されている。   As shown in FIGS. 10 and 11, the bottom surface of the second slide table 62 has a plurality of guide rail receiving portions 62A. These guide rail receiving portions 62A are mounted on two guide rails 62B. The two guide rails 62B are fixed to the upper surface of the first slide table 61.

図10に示すように、第1スライドテーブルの上面には、第2サーボモータ81が取り付けられており、第2サーボモータ81の出力軸に連結されたボールねじ82の端部は、支持部材83に回転可能に支持されている。ボールねじ82は、ボールナット84に噛み合っており、ボールナット84は、第2スライドテーブル62に固定されている。これにより、第2サーボモータ81が、正回転あるいは逆回転すると、ボールねじ82が正回転あるいは逆回転することで、第2スライドテーブル62は、第1スライドテーブル61上において、X1方向に移動して位置決めしたり、X2方向に移動して位置決めすることができる。   As shown in FIG. 10, a second servo motor 81 is attached to the upper surface of the first slide table, and the end of the ball screw 82 connected to the output shaft of the second servo motor 81 is connected to the support member 83. Is rotatably supported. The ball screw 82 is engaged with the ball nut 84, and the ball nut 84 is fixed to the second slide table 62. Thus, when the second servo motor 81 rotates forward or backward, the ball screw 82 rotates forward or backward, so that the second slide table 62 moves in the X1 direction on the first slide table 61. Can be positioned by moving in the X2 direction.

第1サーボモータ71と第2サーボモータ81は、サーボモータ制御部100Bの指令により動作する。このサーボモータ制御部100Bは、図1に示す操作盤OPの制御部100に含まれている。   The first servo motor 71 and the second servo motor 81 operate according to a command from the servo motor control unit 100B. The servo motor control unit 100B is included in the control unit 100 of the operation panel OP shown in FIG.

図11に示すように、第2スライドテーブル62の上には、乾燥処理前のロール200を載せたロール冶具201あるいは、乾燥処理後のロール200を載せたロール冶具201を載せるようになっている。第1スライドテーブル61と第2スライドテーブル62がスライド移動することで、第1スライドテーブル61と第2スライドテーブル62は、乾燥処理前のロール200を載せたロール冶具201を、図1に示す乾燥炉21の内槽173内あるいは乾燥炉22の内槽173内に投入することができる。また、第1スライドテーブル61と第2スライドテーブル62がスライド移動することで、乾燥処理後のロール200を載せたロール冶具201を、図1に示す乾燥炉21の内槽173内あるいは乾燥炉22の内槽173内から取り出す役割を果たすことができる。   As shown in FIG. 11, on the second slide table 62, a roll jig 201 on which the roll 200 before the drying process is placed or a roll jig 201 on which the roll 200 after the drying process is placed is placed. . As the first slide table 61 and the second slide table 62 slide, the first slide table 61 and the second slide table 62 dry the roll jig 201 on which the roll 200 before the drying process is placed as shown in FIG. It can be put into the inner tank 173 of the furnace 21 or the inner tank 173 of the drying furnace 22. Further, as the first slide table 61 and the second slide table 62 slide, the roll jig 201 on which the roll 200 after the drying process is placed is placed in the inner tank 173 of the drying furnace 21 shown in FIG. The inner tank 173 can be taken out from the inside.

次に、図12と図13を参照して、図1に示す1槽一体型の乾燥炉22の構造例を説明する。   Next, with reference to FIG. 12 and FIG. 13, the structural example of the drying oven 22 of 1 tank integrated type shown in FIG. 1 is demonstrated.

図12は、1槽一体型の乾燥炉22の正面図であり、図13は、1槽一体型の乾燥炉22の側面図である。   FIG. 12 is a front view of the single tank integrated drying furnace 22, and FIG. 13 is a side view of the single tank integrated drying furnace 22.

図12に示すように、1槽一体型の乾燥炉22は、1つの内槽173を有する乾燥炉であり、好ましくは真空乾燥炉である。乾燥炉22は、炉本体部170と、1つの自動扉171と、上下位置のガイドレール172,172と、1つの内槽173と、アクチュータ174を有している。炉本体部170内には、1つの内槽73が設けられている。   As shown in FIG. 12, the one tank integrated drying furnace 22 is a drying furnace having one inner tank 173, and is preferably a vacuum drying furnace. The drying furnace 22 includes a furnace body 170, one automatic door 171, upper and lower guide rails 172, 172, one inner tank 173, and an actuator 174. One inner tank 73 is provided in the furnace main body 170.

炉本体部170の内槽173は、真空乾燥用の槽であり、真空気圧に耐えられる容器である。一対のガイドレール172,172は、内槽173の上側と下側にY1方向に平行に固定されている。自動扉171は、外側自動扉171Aと内側自動扉171Bから成り、自動扉171は、内槽173を密封状態で閉じる。自動扉171は、ガイドレール172,172に沿ってY1方向にスライド可能に取り付けられている。   The inner tank 173 of the furnace body 170 is a tank for vacuum drying and is a container that can withstand vacuum pressure. The pair of guide rails 172 and 172 are fixed to the upper and lower sides of the inner tank 173 in parallel with the Y1 direction. The automatic door 171 includes an outer automatic door 171A and an inner automatic door 171B, and the automatic door 171 closes the inner tank 173 in a sealed state. The automatic door 171 is attached so as to be slidable in the Y1 direction along the guide rails 172 and 172.

図13に示すように、自動扉171は、外側自動扉171Aと内側自動扉171Bを有しており、内側自動扉171Bは、内槽173との間の気密性を保つ扉である。外側自動扉171Aは、内側自動扉前後開閉用シリンダ171Cを有している。内槽173の開口部173Pの周囲には、パッキン部の冷却配管171Dが配置されている。   As shown in FIG. 13, the automatic door 171 includes an outer automatic door 171 </ b> A and an inner automatic door 171 </ b> B, and the inner automatic door 171 </ b> B is a door that maintains airtightness with the inner tank 173. The outer automatic door 171A has an inner automatic door front / rear opening / closing cylinder 171C. Around the opening 173P of the inner tank 173, a cooling pipe 171D for the packing part is arranged.

これにより、図13において、この内側自動扉前後開閉用シリンダ171Cは、制御部100の指令により作動すると、内側自動扉171Bを外側自動扉171A側に引くことで、内側自動扉171Bを内槽173の開口部173Pのパッキン部から離すことで、内側自動扉171Bによる開口部173Pの気密性の解除を行うことができる。   Accordingly, in FIG. 13, when the inner automatic door front / rear opening / closing cylinder 171 </ b> C is operated according to a command from the control unit 100, the inner automatic door 171 </ b> B is pulled toward the outer automatic door 171 </ b> A, thereby By separating from the packing part of the opening part 173P, the airtightness of the opening part 173P by the inner automatic door 171B can be released.

その後、図12において、制御部100の指令により、流体圧シリンダ等のアクチュエータ174が作動すると、自動扉171は、左側の開口部173Pを閉じた位置から、右側の開いた位置まで、一対のガイドレール172,172に沿ってY1方向に、自動的にスライドして開けることができる。   Thereafter, in FIG. 12, when an actuator 174 such as a fluid pressure cylinder is actuated by a command from the control unit 100, the automatic door 171 moves from a position where the left opening 173P is closed to a position where the right side is opened. It can be automatically slid along the rails 172 and 172 in the Y1 direction.

逆に、内側自動扉171Bにより内槽173の開口部173Pのパッキン部に密着させる場合には、内槽173内を真空引きして内側自動扉171Bをパッキン部側に引きこむことで、内側自動扉171Bによる開口部173Pの気密性を確保することができる。   Conversely, when the inner automatic door 171B is brought into close contact with the packing portion of the opening 173P of the inner tank 173, the inner automatic door 171B is pulled to the packing portion side by evacuating the inner tank 173, and the inner automatic The airtightness of the opening 173P by the door 171B can be ensured.

ここで、炉本体部170のシステム構造例を、図13を参照して説明する。   Here, an example of the system structure of the furnace body 170 will be described with reference to FIG.

図13に示すように、炉本体部170の内槽173は、ヒータ内蔵の整流板175と、冷却コイル176と、シロッコファン177と、ドライエア供給口178Aと、窒素供給口178Bと、真空吸引口178Cと、排気口179を有している。   As shown in FIG. 13, the inner tank 173 of the furnace body 170 includes a rectifying plate 175 with a built-in heater, a cooling coil 176, a sirocco fan 177, a dry air supply port 178A, a nitrogen supply port 178B, and a vacuum suction port. 178C and an exhaust port 179.

炉本体部170の内槽173は、直方体型の空間であり、この内槽173の内壁部分には、ヒータ内蔵の整流板175と、冷却コイル176と、シロッコファン177と、ドライエア供給口178Aと、窒素供給口178Bと、真空吸引口178Cと、排気口179が配置されている。ヒータ内蔵の整流板175と冷却コイル176は、例えば内槽173の上面と下面にそれぞれ配置されている。ヒータ内蔵の整流板175は、冷却コイル176よりも内側に位置されている。   The inner tank 173 of the furnace main body 170 is a rectangular parallelepiped space. The inner wall portion of the inner tank 173 includes a rectifying plate 175 with a built-in heater, a cooling coil 176, a sirocco fan 177, and a dry air supply port 178A. A nitrogen supply port 178B, a vacuum suction port 178C, and an exhaust port 179 are disposed. The rectifying plate 175 and the cooling coil 176 with a built-in heater are disposed on the upper surface and the lower surface of the inner tank 173, for example. The rectifying plate 175 with a built-in heater is located inside the cooling coil 176.

シロッコファン177は、内槽173の奥の面の中央位置に配置されている。シロッコファン177は、内槽173内の熱風を循環させるためのファンであり、シロッコファン177は、磁気シール177Aを介してモータ177Bに接続されている。制御部100の指令によりモータ177Bが駆動することで、シロッコファン177が回転して、炉内気流RKを内槽173内に循環させることができる。   The sirocco fan 177 is disposed at the center position of the inner surface of the inner tank 173. The sirocco fan 177 is a fan for circulating hot air in the inner tank 173, and the sirocco fan 177 is connected to the motor 177B via a magnetic seal 177A. When the motor 177B is driven by a command from the control unit 100, the sirocco fan 177 rotates and the furnace airflow RK can be circulated in the inner tank 173.

なお、乾燥する対象物(ワーク)の種類によっては、シロッコファンではなくプロペラファンであっても良い。モータ177Bは、回転制御機構付きで、ベアリング部の熱対策のために、冷却水循環装置184から冷却水が供給されることで、ベアリング部を水冷式で冷やすようになっている。   Depending on the type of object (work) to be dried, a propeller fan may be used instead of a sirocco fan. The motor 177B is provided with a rotation control mechanism, and the cooling water is supplied from the cooling water circulation device 184 to cool the bearing portion by a water cooling method in order to prevent heat of the bearing portion.

図13に示すように、ドライエア供給口178Aは、ドライエア供給部180に対して、バルブ180Bを介して接続されており、ドライエア供給部180のドライエアは、ドライエア供給口178Aを介して、内槽173内に供給できる。窒素供給口178Bは、窒素ガス供給部181に対して、バルブ181Bとヒータ181Hを介して接続されており、窒素ガス供給部181からの窒素ガスは、窒素供給口178Bを介して、内槽173内に供給できる。ヒータ181Hを動作することで、窒素ガスを加熱して乾燥炉の内槽173内に導入できる。バルブ180B、181B、182B等は、制御部100の指令により開閉可能である。なお、窒素ガスに代えて、他の種類の不活性ガスを用いても良い。   As shown in FIG. 13, the dry air supply port 178A is connected to the dry air supply unit 180 via a valve 180B, and the dry air of the dry air supply unit 180 is connected to the inner tank 173 via the dry air supply port 178A. Can be supplied within. The nitrogen supply port 178B is connected to the nitrogen gas supply unit 181 via a valve 181B and a heater 181H, and the nitrogen gas from the nitrogen gas supply unit 181 passes through the nitrogen supply port 178B to the inner tank 173. Can be supplied within. By operating the heater 181H, the nitrogen gas can be heated and introduced into the inner tank 173 of the drying furnace. The valves 180 </ b> B, 181 </ b> B, 182 </ b> B, etc. can be opened and closed according to commands from the control unit 100. Instead of nitrogen gas, other types of inert gases may be used.

図13に示す冷却トラップ182は、内槽173と真空ポンプ183の間に配置され、真空加熱処理によってロール200から生じるガスや溶剤成分をトラップする。真空吸引口178Cは、バルブ182Bと、冷却トラップ182を介して、真空ポンプ183に接続されており、制御部100の指令により、真空ポンプ183が動作すると、内槽173内を真空吸引することができる。排気口179は、バルブ179Bと排気部溶剤トラップ179Aに接続されており、内槽173内の窒素ガスを含む排気からこの排気部溶剤トラップ179Aにより溶剤が取り除かれて、窒素を排気する。   The cooling trap 182 shown in FIG. 13 is disposed between the inner tank 173 and the vacuum pump 183, and traps gas and solvent components generated from the roll 200 by the vacuum heat treatment. The vacuum suction port 178C is connected to the vacuum pump 183 via the valve 182B and the cooling trap 182. When the vacuum pump 183 is operated in accordance with an instruction from the control unit 100, the inside of the inner tank 173 can be sucked. it can. The exhaust port 179 is connected to the valve 179B and the exhaust part solvent trap 179A. The exhaust part solvent trap 179A removes the solvent from the exhaust gas containing nitrogen gas in the inner tank 173, and exhausts nitrogen.

図13に示す冷却コイル176は、冷却水循環装置184からの冷却水を循環させることにより、内槽173内を冷却するラジエタである。ヒータ内蔵の整流板175は、制御部100の指令により通電することで、内槽73内を加熱する加熱器であり、整流板と兼用している。ヒータ内蔵の整流板175のヒータは、例えばパイプヒータ等である。   The cooling coil 176 shown in FIG. 13 is a radiator that cools the inside of the inner tank 173 by circulating the cooling water from the cooling water circulation device 184. The rectifying plate 175 with a built-in heater is a heater that heats the inside of the inner tub 73 when energized by a command from the control unit 100, and also serves as a rectifying plate. The heater of the rectifying plate 175 with a built-in heater is, for example, a pipe heater.

図14は、図1に示す2槽一体型の乾燥炉21を示す正面図である。   FIG. 14 is a front view showing the two-tank integrated drying furnace 21 shown in FIG.

図14に示す2槽一体型の乾燥炉21は、図12と図13に示す1槽一体型の乾燥炉22と、基本的には同様の構造を有しているので、同様の構造の説明を省略する。乾燥炉21が2つの内槽173,173を有しているのに対して、乾燥炉22は上述したように1つの内槽173を有している点が異なる。このため、乾燥炉21では、2つの内槽173,173に対応する位置に、それぞれ自動扉171を有している。   The two tank integrated drying furnace 21 shown in FIG. 14 has basically the same structure as the one tank integrated drying furnace 22 shown in FIG. 12 and FIG. Is omitted. The drying furnace 21 has two inner tanks 173 and 173, whereas the drying furnace 22 has one inner tank 173 as described above. For this reason, the drying furnace 21 has automatic doors 171 at positions corresponding to the two inner tanks 173 and 173, respectively.

図14(A)と図14(B)に示すように、左側の自動扉171は左側の内槽173の開口部173Pを覆っており、右側の自動扉171は右側の内槽173の開口部173Pを覆っている。左右の自動扉171,171は、制御部100の指令によりアクチュータ174を動作させることにより、上下位置のガイドレール172,172に沿って、Y1、Y2方向にスライド可能に支持されている。   As shown in FIGS. 14A and 14B, the left automatic door 171 covers the opening 173P of the left inner tank 173, and the right automatic door 171 is the opening of the right inner tank 173. 173P is covered. The left and right automatic doors 171 and 171 are supported so as to be slidable in the Y1 and Y2 directions along the upper and lower guide rails 172 and 172 by operating the actuator 174 according to a command from the control unit 100.

図13に示す乾燥炉21においては、扉収納部190が、左右の自動扉171,171の間に、設けられている。これにより、図14(A)に示すように、左側の自動扉171をY1方向にスライドすることで、扉収納部190に収納できる。同様にして、図14(B)に示すように、右側の自動扉171をY2方向にスライドすることで、扉収納部190に収納できる。   In the drying furnace 21 shown in FIG. 13, a door storage unit 190 is provided between the left and right automatic doors 171 and 171. Accordingly, as shown in FIG. 14A, the left automatic door 171 can be stored in the door storage unit 190 by sliding in the Y1 direction. Similarly, as shown in FIG. 14B, the right automatic door 171 can be stored in the door storage unit 190 by sliding in the Y2 direction.

このように、乾燥炉21は2つの内槽173,173を有しており、それぞれに自動扉171,171が配置されている。しかも、左右の自動扉171,171は、いずれか一方を開けると、共通の扉格納部分である扉収納部190に収納することができる。これにより、2槽一体型の乾燥炉21をコンパクト化することができ、乾燥炉の占有スペースの省スペース化が図れる。   Thus, the drying furnace 21 has the two inner tanks 173 and 173, and the automatic doors 171 and 171 are arranged in each of them. Moreover, the left and right automatic doors 171 and 171 can be housed in the door housing portion 190 which is a common door housing portion when either one is opened. As a result, the two-tank integrated drying furnace 21 can be made compact, and the space occupied by the drying furnace can be reduced.

また、図1と図2に例示するように、第1乾燥炉群18と第2乾燥炉群19は、共に例えば2台の2槽一体型の乾燥炉21と、1台の1槽一体型の乾燥炉22を組み合わせて構成されている。このように、第1乾燥炉群18と第2乾燥炉群19における2槽一体型の乾燥炉21の設置数と、1台の1槽一体型の乾燥炉22の設置数を適宜選択することにより、実際の工場の建屋の大きさやロール200の乾燥処理数(ワークの数)に応じて、自由に設定することができる。   Moreover, as illustrated in FIGS. 1 and 2, the first drying furnace group 18 and the second drying furnace group 19 include, for example, two two-tank integrated drying furnaces 21 and one single-tank integrated type. The drying furnace 22 is combined. Thus, the number of installations of the two tank integrated drying furnaces 21 and the number of one single tank integrated drying furnace 22 in the first drying furnace group 18 and the second drying furnace group 19 are appropriately selected. Thus, it can be freely set according to the size of the actual factory building and the number of drying treatments (number of workpieces) of the roll 200.

第1乾燥炉群18と第2乾燥炉群19がガイドレール部30A,30Aの両側に配置されているので、乾燥処理前のロール200を載せたロール冶具201を、乾燥炉21,22に対して、効率よく投入して乾燥処理を行うことができる。   Since the first drying furnace group 18 and the second drying furnace group 19 are arranged on both sides of the guide rail portions 30A and 30A, the roll jig 201 on which the roll 200 before the drying process is placed is attached to the drying furnaces 21 and 22. Thus, the drying process can be performed efficiently.

図15は、図1に示す2槽一体型の乾燥炉21と、1槽一体型の乾燥炉22の内槽173の構造例を示す図である。   FIG. 15 is a diagram illustrating a structure example of the inner tank 173 of the two-tank integrated drying furnace 21 and the one-tank integrated drying furnace 22 illustrated in FIG. 1.

図15に示すように、内槽173は、上段乾燥部231と下段乾燥部232を有している。上段乾燥部231は、ロール冶具201を着脱可能に載せるための一対の支持部233を有している。同様にして、下段乾燥部232も、ロール冶具201を着脱可能に載せるための一対の支持部234を有している。内槽173内にはこれらの支持部233,234を設けることで、ロール冶具201をX1方向(図15における紙面垂直下方向)に挿入し、X2方向(図15における紙面垂直上方向)に取り出すことができる。   As shown in FIG. 15, the inner tank 173 includes an upper drying unit 231 and a lower drying unit 232. The upper drying unit 231 includes a pair of support units 233 for detachably mounting the roll jig 201. Similarly, the lower stage drying unit 232 also has a pair of support units 234 for detachably mounting the roll jig 201. By providing these support portions 233 and 234 in the inner tank 173, the roll jig 201 is inserted in the X1 direction (downwardly perpendicular to the paper surface in FIG. 15) and taken out in the X2 direction (upwardly perpendicular to the paper surface in FIG. 15). be able to.

次に、図16と図17を参照して、移載機10の移載用の移動体40の動作により、乾燥炉21,22の内槽173内に、乾燥処理前のロール200を載せたロール冶具201を投入したり、乾燥処理後のロール200を載せたロール冶具201を内槽173内から取り出す動作例を説明する。   Next, with reference to FIG. 16 and FIG. 17, the roll 200 before the drying process is placed in the inner tank 173 of the drying furnaces 21 and 22 by the operation of the moving body 40 for transfer of the transfer machine 10. An operation example in which the roll jig 201 is loaded or the roll jig 201 on which the roll 200 after the drying process is placed is taken out from the inner tank 173 will be described.

図16は、移載機40の移載用の移動体40により第1乾燥炉群18の乾燥炉21,22の内槽173内に、乾燥処理前のロール200を載せたロール冶具201を投入したり、乾燥処理後のロール200を載せたロール冶具201を内槽173内から取り出す動作を示す図である。図17は、移載機40の移載用の移動体40により第2乾燥炉群19の乾燥炉21,22の内槽173内に、乾燥処理前のロール200を載せたロール冶具201を投入したり、乾燥処理後のロール200を載せたロール冶具201を内槽173内から取り出す動作を示す図である。   FIG. 16 shows that the roll jig 201 on which the roll 200 before the drying process is placed in the inner tank 173 of the drying furnaces 21 and 22 of the first drying furnace group 18 by the transfer body 40 of the transfer machine 40. It is a figure which shows the operation | movement which takes out from the inner tank 173 the roll jig | tool 201 which mounted the roll 200 after drying. FIG. 17 shows that the roll jig 201 on which the roll 200 before the drying treatment is placed in the inner tank 173 of the drying furnaces 21 and 22 of the second drying furnace group 19 by the transfer body 40 of the transfer machine 40. It is a figure which shows the operation | movement which takes out from the inner tank 173 the roll jig | tool 201 which mounted the roll 200 after drying.

図8に示す昇降部43は、Z1方向(上方向)とZ2方向(下方向)に昇降して位置決めできることにより、図16に示す内槽173の上段乾燥部231あるいは内槽173の下段乾燥部232に対応する位置にそれぞれ位置決めすることができる。   8 can be positioned by moving up and down in the Z1 direction (upward direction) and the Z2 direction (downward direction), so that the upper drying unit 231 or the lower drying unit of the inner tank 173 shown in FIG. Each of the positions corresponding to H.232 can be positioned.

図16(A)に示すように、移載用の移動体40の第1スライドテーブル61と第2スライドテーブル62が、昇降部43からX2方向にスライドして、乾燥処理前のロール200を載せたロール冶具201を、第1乾燥炉群18側の乾燥炉21(22)の内槽173の上段乾燥部231内に投入することができる。同様にして、図16(B)に示すように、移載用の移動体40の第1スライドテーブル61と第2スライドテーブル62が、昇降部43からX2方向にスライドして、乾燥処理前のロール200を載せたロール冶具201を、第1乾燥炉群18側の乾燥炉21(22)の内槽173の下段乾燥部232内に投入することができる。   As shown in FIG. 16A, the first slide table 61 and the second slide table 62 of the moving body 40 for transfer are slid in the X2 direction from the elevating unit 43 and the roll 200 before the drying process is placed thereon. The roll jig 201 can be put into the upper drying section 231 of the inner tank 173 of the drying furnace 21 (22) on the first drying furnace group 18 side. Similarly, as shown in FIG. 16 (B), the first slide table 61 and the second slide table 62 of the moving body 40 for transfer are slid in the X2 direction from the elevating part 43, and before the drying process. The roll jig 201 on which the roll 200 is placed can be put into the lower drying section 232 of the inner tank 173 of the drying furnace 21 (22) on the first drying furnace group 18 side.

ロール冶具201を内槽173内に投入した後は、ロール冶具201は、図15(A)に示すように支持部233に載るか、図15(B)に示すように支持部234に載ることから、移載用の移動体40の第1スライドテーブル61と第2スライドテーブル62は、内槽173内から昇降部43側にX1方向にスライドして戻す。   After the roll jig 201 is put into the inner tank 173, the roll jig 201 is placed on the support part 233 as shown in FIG. 15A or on the support part 234 as shown in FIG. 15B. Therefore, the first slide table 61 and the second slide table 62 of the moving body 40 for transfer are slid back in the X1 direction from the inside of the inner tank 173 to the lifting / lowering unit 43 side.

また、図17(A)に示すように、移載用の移動体40の第1スライドテーブル61と第2スライドテーブル62が、昇降部43からX1方向にスライドして、乾燥処理前のロール200を載せたロール冶具201を、第2乾燥炉群19側の乾燥炉21(22)の内槽173の上段乾燥部231内に投入することができる。同様にして、図17(B)に示すように、移載用の移動体40の第1スライドテーブル61と第2スライドテーブル62が、昇降部43からX1方向にスライドして、乾燥処理前のロール200を載せたロール冶具201を、第2乾燥炉群19側の乾燥炉21(22)の内槽173の下段乾燥部232内に投入することができる。   Further, as shown in FIG. 17A, the first slide table 61 and the second slide table 62 of the moving body 40 for transfer slide in the X1 direction from the elevating unit 43, and the roll 200 before the drying process. Can be put into the upper drying section 231 of the inner tank 173 of the drying furnace 21 (22) on the second drying furnace group 19 side. Similarly, as shown in FIG. 17B, the first slide table 61 and the second slide table 62 of the moving body 40 for transfer are slid in the X1 direction from the elevating unit 43, and before the drying process. The roll jig 201 on which the roll 200 is placed can be put into the lower drying section 232 of the inner tank 173 of the drying furnace 21 (22) on the second drying furnace group 19 side.

ロール冶具201を投入した後は、ロール冶具201は、図15(A)に示すように乾燥処理前のロール200を載せたロール冶具201は支持部233に載るか、図15(B)に示すように支持部234に載ることから、移載用の移動体40の第1スライドテーブル61と第2スライドテーブル62は、内槽173内から昇降部43側にX2方向にスライドして戻す。   After the roll jig 201 is loaded, the roll jig 201 is placed on the support portion 233 as shown in FIG. 15B, or the roll jig 201 on which the roll 200 before the drying process is placed is shown in FIG. Thus, the first slide table 61 and the second slide table 62 of the transfer moving body 40 are slid back in the X2 direction from the inner tank 173 toward the elevating part 43 side.

なお、図12と図14に示す自動扉171の開くタイミングは、乾燥処理前のロール200のロール冶具201が、内槽173の前に位置決めされた時と、乾燥処理後のロール200を、内槽173内から取り出す時である。また、自動扉171の閉じるタイミングは、内槽173内の上段乾燥部231と下段乾燥部232の少なくも一方に、乾燥処理前のロール200のロール冶具201が載置され、第1スライドテーブル61と第2スライドテーブル62が内槽173内から退出した後である。さらに、自動扉171の閉じるタイミングは、内槽173内の上段乾燥部231と下段乾燥部232から、乾燥処理後のロール200のロール冶具201を第1スライドテーブル61と第2スライドテーブル62により取り出した後である。   The opening timing of the automatic door 171 shown in FIG. 12 and FIG. 14 is determined when the roll jig 201 of the roll 200 before the drying process is positioned in front of the inner tank 173 and when the roll 200 after the drying process is set inside. It is time to take out from the tank 173. The automatic door 171 is closed at the timing of closing the roll jig 201 of the roll 200 before the drying process on at least one of the upper drying unit 231 and the lower drying unit 232 in the inner tank 173, and the first slide table 61. And after the second slide table 62 has left the inner tank 173. Furthermore, the automatic door 171 is closed at the timing of taking out the roll jig 201 of the roll 200 after the drying process from the upper drying unit 231 and the lower drying unit 232 in the inner tank 173 by the first slide table 61 and the second slide table 62. After.

次に、上述した自動乾燥システム1のロール200の乾燥処理動作例を説明する。   Next, an example of the drying processing operation of the roll 200 of the automatic drying system 1 described above will be described.

図1と図2に示すように、各ロール冶具201には、3つの乾燥処理前のロール200が搭載されている。複数のロール冶具201は、例えば前段の処理工程のシステムから図示しない搬送台車に載せて、図1と図2に示す投入口2Aから投入コンベアユニット2に移す。移載機10では、移載用の移動体40は、投入コンベアユニット2の終端部の付近に位置されている。これにより、投入コンベアユニット2は、複数のロール冶具201を順次搬送方向であるX1方向に沿って、移載用の移動体40の近傍まで搬送する。   As shown in FIGS. 1 and 2, each roll jig 201 is equipped with three rolls 200 before drying treatment. The plurality of roll jigs 201 are, for example, placed on a transport carriage (not shown) from the system in the previous processing step, and transferred from the loading port 2A shown in FIGS. 1 and 2 to the loading conveyor unit 2. In the transfer machine 10, the moving body 40 for transfer is located in the vicinity of the end portion of the loading conveyor unit 2. Thereby, the input conveyor unit 2 sequentially conveys the plurality of roll jigs 201 to the vicinity of the moving body 40 for transfer along the X1 direction which is the conveyance direction.

ロール冶具201は、この投入コンベアユニット2から、図11に示す移載用の移動体40の第2スライドテーブル62上に移される。この場合にロール冶具201を移す装置としては、図示しない流体圧シリンダ等のアクチュエータやロボット等を用いることができる。しかし、ロール冶具201は、投入コンベアユニット2の終端部から、図11に示す移載用の移動体40の第2スライドテーブル62上に直接載せても良い。   The roll jig 201 is transferred from the loading conveyor unit 2 onto the second slide table 62 of the moving body 40 for transfer shown in FIG. In this case, as an apparatus for transferring the roll jig 201, an actuator such as a fluid pressure cylinder (not shown), a robot, or the like can be used. However, the roll jig 201 may be placed directly on the second slide table 62 of the moving body 40 for transfer shown in FIG.

その後、図9(B)に示すように、サーボモータ制御部100Aが、サーボモータ45を動作させてピニオン58を回転することで、移載用の移動体40はラック46に沿って、Y1方向に直線移動され、移載用の移動体40は、第1乾燥炉群18の乾燥炉21,22と、第2乾燥炉群19の乾燥炉21,22の内の予め定めた位置における空の乾燥炉21(あるいは22)の前に、位置決めされる。   Thereafter, as shown in FIG. 9B, the servo motor controller 100A operates the servo motor 45 to rotate the pinion 58, so that the moving body 40 for transfer moves along the rack 46 in the Y1 direction. The moving body 40 for transfer is empty at predetermined positions in the drying furnaces 21 and 22 of the first drying furnace group 18 and the drying furnaces 21 and 22 of the second drying furnace group 19. It is positioned before the drying oven 21 (or 22).

例えば、図16(A)に示すように、第1乾燥炉群18の乾燥炉21の内槽173が開いている場合には、移載用の移動体40の第1スライドテーブル61と第2スライドテーブル62が、昇降部43からX2方向にスライドして、ロール冶具201を、第1乾燥炉群18側の乾燥炉21(22)の内槽173の上段乾燥部231内に投入することができる。同様にして、図16(B)に示すように、移載用の移動体40の第1スライドテーブル61と第2スライドテーブル62が、昇降部43からX2方向にスライドして、ロール冶具201を、第1乾燥炉群18側の乾燥炉21(22)の内槽173の下段乾燥部232内に投入できる。   For example, as shown in FIG. 16A, when the inner tank 173 of the drying furnace 21 of the first drying furnace group 18 is open, the first slide table 61 and the second slide table 61 of the moving body 40 for transfer are used. The slide table 62 slides in the X2 direction from the lifting / lowering unit 43, and the roll jig 201 is put into the upper drying unit 231 of the inner tank 173 of the drying furnace 21 (22) on the first drying furnace group 18 side. it can. Similarly, as shown in FIG. 16B, the first slide table 61 and the second slide table 62 of the moving body 40 for transfer slide in the X2 direction from the elevating part 43, and the roll jig 201 is moved. The first drying furnace group 18 side drying furnace 21 (22) can be put into the lower drying section 232 of the inner tank 173 of the inner tank 173.

ロール冶具201を投入した後は、ロール冶具201は、図15(A)に示すように支持部233あるいは図15(B)に示すように支持部234に載ることから、移載用の移動体40の第1スライドテーブル61と第2スライドテーブル62は、内槽173内から昇降部43側にX1方向に沿ってスライドして退避させる。   After the roll jig 201 is loaded, the roll jig 201 is placed on the support portion 233 as shown in FIG. 15A or the support portion 234 as shown in FIG. The 40 first slide table 61 and the second slide table 62 are slid along the X1 direction from the inner tank 173 toward the lifting / lowering portion 43 side and retracted.

また、例えば図17(A)に示すように、第2乾燥炉群18の乾燥炉21の内槽173が開いている場合には、移載用の移動体40の第1スライドテーブル61と第2スライドテーブル62が、昇降部43からX1方向にスライドして、ロール冶具201を、第2乾燥炉群19側の乾燥炉21(22)の内槽173の上段乾燥部231内に投入することができる。同様にして、図17(B)に示すように、移載用の移動体40の第1スライドテーブル61と第2スライドテーブル62が、昇降部43からX1方向にスライドして、ロール冶具201を、第2乾燥炉群19側の乾燥炉21(22)の内槽173の下段乾燥部232内に投入した状態を示している。   Further, for example, as shown in FIG. 17A, when the inner tank 173 of the drying furnace 21 of the second drying furnace group 18 is open, the first slide table 61 and the first slide table 61 of the moving body 40 for transfer are used. 2 The slide table 62 slides in the X1 direction from the elevating unit 43, and the roll jig 201 is put into the upper drying unit 231 of the inner tank 173 of the drying oven 21 (22) on the second drying oven group 19 side. Can do. Similarly, as shown in FIG. 17B, the first slide table 61 and the second slide table 62 of the moving body 40 for transfer are slid in the X1 direction from the elevating part 43, and the roll jig 201 is moved. The state put into the lower stage drying section 232 of the inner tank 173 of the drying furnace 21 (22) on the second drying furnace group 19 side is shown.

ロール冶具201を投入した後は、ロール冶具201は、図15(A)に示すようにロール冶具201は支持部233あるいは図15(B)に示すように支持部234に載ることから、移載用の移動体40の第1スライドテーブル61と第2スライドテーブル62は、昇降部43側に、X2方向に沿って内槽173内からスライドして退避させる。   After the roll jig 201 is loaded, the roll jig 201 is transferred from the roll jig 201 on the support part 233 as shown in FIG. 15A or the support part 234 as shown in FIG. The first slide table 61 and the second slide table 62 of the moving body 40 are slid and retracted from the inner tank 173 along the X2 direction toward the elevating part 43 side.

このように、乾燥処理前のロール200のロール冶具201が乾燥炉21(22)内に投入されると、次に説明するように、図18に示すような乾燥モード1を有する乾燥処理工程に従って、乾燥処理前のロール200を乾燥処理する。   Thus, when the roll jig 201 of the roll 200 before the drying process is put into the drying furnace 21 (22), according to a drying process step having a drying mode 1 as shown in FIG. The roll 200 before the drying process is dried.

図18は、乾燥炉21,22における乾燥モード1を有する乾燥処理工程を示すフロー図である。   FIG. 18 is a flowchart showing a drying process having the drying mode 1 in the drying furnaces 21 and 22.

(乾燥モード1を有する乾燥処理工程)
図18のステップS1では、例えば図15(A)と図15(B)に例示するように、ワークである乾燥処理前のロール200を載せたロール冶具201が、上述したように例えば第1乾燥炉群18の乾燥炉21の内槽173の上段乾燥部231と下段乾燥部232にそれぞれ投入される。これにより、図13に示す乾燥炉21の自動扉171が、乾燥炉21の内槽173の開口部173Pを閉じる。
(Drying process with drying mode 1)
In step S1 of FIG. 18, for example, as illustrated in FIG. 15A and FIG. 15B, the roll jig 201 on which the roll 200 before the drying process, which is a workpiece, is placed is, for example, the first drying as described above. Charged into the upper drying section 231 and the lower drying section 232 of the inner tank 173 of the drying furnace 21 of the furnace group 18. Thereby, the automatic door 171 of the drying furnace 21 shown in FIG. 13 closes the opening 173P of the inner tank 173 of the drying furnace 21.

図18のステップS2では、乾燥モード1を有する乾燥処理工程による乾燥処理をスタートする。乾燥処理がスタートすると、ステップS3の減圧工程になり、減圧工程のステップS3−1では、図13に示す真空ポンプ183がオンして真空引きを開始して、内槽173内を減圧して、ステップS3−2では真空度を確認した後、ステップS3−3では真空ポンプ183をオフする。そして、ステップS4では、図13に示す窒素ガス供給部181から内槽173内に窒素あるいはその他の不活性ガスを、内槽173内が大気圧になるまで導入する。   In Step S2 of FIG. 18, the drying process by the drying process having the drying mode 1 is started. When the drying process starts, the pressure reducing process of step S3 is started. In step S3-1 of the pressure reducing process, the vacuum pump 183 shown in FIG. 13 is turned on to start evacuation, and the inside of the inner tank 173 is decompressed. After confirming the degree of vacuum in step S3-2, the vacuum pump 183 is turned off in step S3-3. In step S4, nitrogen or other inert gas is introduced into the inner tank 173 from the nitrogen gas supply unit 181 shown in FIG. 13 until the inner tank 173 reaches atmospheric pressure.

これにより、ステップS5−1では、図13の制御部100の庫内酸素濃度測定部が内槽173内の庫内酸素濃度値を検出して、ステップS5−2において酸素濃度値が所定の設定値、例えば500ppm(0.05%)以下である場合には、次のステップS6に進む。しかし、ステップS5−2において、内槽173内の庫内酸素濃度値が500ppmを超えている場合には、まだ内槽173内の酸素濃度が高いとして、ステップS3−1に戻ってさらに真空ポンプ183により内槽173内を減圧して、不活性ガスを導入する。これにより、内槽173内の酸素を窒素で置換する。   Accordingly, in step S5-1, the in-compartment oxygen concentration measurement unit of the control unit 100 in FIG. 13 detects the in-compartment oxygen concentration value in the inner tank 173, and in step S5-2, the oxygen concentration value is set to a predetermined value. When the value is, for example, 500 ppm (0.05%) or less, the process proceeds to the next step S6. However, in step S5-2, if the internal oxygen concentration value in the inner tank 173 exceeds 500 ppm, it is determined that the oxygen concentration in the inner tank 173 is still high, and the process returns to step S3-1 and further the vacuum pump. The inner tank 173 is depressurized by 183 and an inert gas is introduced. Thereby, oxygen in the inner tank 173 is replaced with nitrogen.

次に、図18に示す乾燥モード1を説明する。この乾燥モード1のステップS6の昇温工程からステップS12の降温工程までは、乾燥炉21の内槽173内を、大気圧で昇温して、真空圧下で加熱をし、大気圧に戻して冷却を行う動作を示している。   Next, the drying mode 1 shown in FIG. 18 will be described. From the temperature raising step of step S6 in this drying mode 1 to the temperature lowering step of step S12, the temperature in the inner tank 173 of the drying furnace 21 is raised at atmospheric pressure, heated under vacuum pressure, and returned to atmospheric pressure. The operation | movement which performs cooling is shown.

図18に示すステップS6の昇温工程のステップS6−1では、図13に示す制御部100がシロッコファン177のモータ177Bを動作して、シロッコファン177を回転するとともに、ヒータ内蔵の整流板175を発熱させて、内槽173内を昇温する。   In step S6-1 of the temperature raising process of step S6 shown in FIG. 18, the control unit 100 shown in FIG. 13 operates the motor 177B of the sirocco fan 177 to rotate the sirocco fan 177 and the rectifying plate 175 with a built-in heater. Is heated to raise the temperature in the inner tank 173.

そこで、ステップS6−2において、図13の制御部100の温度調節器によりこの内槽173内の温度を所定の設定値、例えば250℃に達した場合にはステップS7の減圧工程に進むが、所定の設定値を下回っている場合には、ステップS6−1に戻って、内槽173内の昇温を続ける。なお、この温度の所定の設定値は、好ましくは150℃から250℃の範囲で設定できる。   Therefore, in step S6-2, when the temperature in the inner tank 173 reaches a predetermined set value, for example, 250 ° C. by the temperature controller of the control unit 100 in FIG. If it is below the predetermined set value, the process returns to step S6-1, and the temperature rise in the inner tank 173 is continued. Note that the predetermined set value of this temperature can be preferably set in the range of 150 ° C to 250 ° C.

次に、ステップS7の減圧工程に移り、減圧工程のステップS8−1では、図13に示す真空ポンプ183がオンして真空引きを開始して、内槽173内を減圧して、ステップS8−2では真空度を確認した後、ステップS8−3では真空ポンプ183をオフする。   Next, the process proceeds to the depressurization step of step S7. In step S8-1 of the depressurization step, the vacuum pump 183 shown in FIG. 13 is turned on to start evacuation, and the inside of the inner tank 173 is depressurized. After confirming the degree of vacuum at 2, the vacuum pump 183 is turned off at step S8-3.

次に、テップS9では、図15に示す内槽173内の上段乾燥部231と下段乾燥部232に配置されている各ロール200は、真空加熱により乾燥される。そして、ステップS10では、温度調節器によりこの内槽173内の温度を所定の設定値、例えば250℃に達したかを判断して、250℃に達したらステップS11に進むが、温度が所定の設定値を超えているとステップS9に戻って、ステップS9においてロール200の真空加熱をして乾燥を続ける。なお、この温度の所定の設定値は、好ましくは150℃から250℃の範囲で設定できる。   Next, in step S9, each roll 200 arrange | positioned at the upper stage drying part 231 and the lower stage drying part 232 in the inner tank 173 shown in FIG. 15 is dried by vacuum heating. In step S10, the temperature controller determines whether the temperature in the inner tank 173 has reached a predetermined set value, for example, 250 ° C. When the temperature reaches 250 ° C, the process proceeds to step S11. If it exceeds the set value, the process returns to step S9, and in step S9, the roll 200 is heated under vacuum to continue drying. Note that the predetermined set value of this temperature can be preferably set in the range of 150 ° C to 250 ° C.

図18のステップS10において、温度が所定の設定値250℃に達すると、ステップS11に進み、図13に示す窒素ガス供給部181から再び窒素ガスあるいはその他の不活性ガスを内槽173内に導入し、ステップS12の降温工程に移る。降温工程では、ステップS12−1において、内槽173内の温度を下げるためにシロッコファン177を回転させる。そして、ステップS12−2では、温度調節器によりこの内槽173内の温度を所定の設定値、例えば30℃に達すると、ステップS14に進むが、温度が所定の設定値を超えているとステップS12−1に戻って、内槽173内の温度を下げるためにシロッコファン177を回転させる。なお、この所定の設定値は、好ましくは30℃から50℃の間で設定できる。   In step S10 of FIG. 18, when the temperature reaches a predetermined set value 250 ° C., the process proceeds to step S11, and nitrogen gas or other inert gas is again introduced into the inner tank 173 from the nitrogen gas supply unit 181 shown in FIG. Then, the process proceeds to the temperature lowering process in step S12. In the temperature lowering process, in step S12-1, the sirocco fan 177 is rotated in order to lower the temperature in the inner tank 173. In step S12-2, when the temperature in the inner tank 173 reaches a predetermined set value, for example, 30 ° C., by the temperature controller, the process proceeds to step S14. If the temperature exceeds the predetermined set value, the step is performed. Returning to S12-1, the sirocco fan 177 is rotated to lower the temperature in the inner tank 173. The predetermined set value can be set preferably between 30 ° C. and 50 ° C.

ステップS14では、内槽173内に窒素ガスや不活性ガスの導入を停止して、ステップS15では、真空ポンプ183により内槽173内を減圧して、不活性ガスを排気する。ステップS16では、図13に示すドライエア供給部180からドライエア(空気)を内槽173内に導入する。そして、ステップS17では、庫内酸素濃度値を測定して、ステップS18では、この庫内酸素濃度値が大気酸素濃度であるかどうかを判断して、庫内酸素濃度値が大気酸素濃度であると、ステップS19において、乾燥処理をストップするが、庫内酸素濃度値が大気酸素濃度未満であると、ステップS15に示すように、図13の真空ポンプ183により内槽173内を減圧して不活性ガスを排気してステップS16において、内槽173内にドライエア(空気)の導入を行う。   In step S14, the introduction of nitrogen gas or inert gas into the inner tank 173 is stopped, and in step S15, the inner tank 173 is decompressed by the vacuum pump 183, and the inert gas is exhausted. In step S16, dry air (air) is introduced into the inner tank 173 from the dry air supply unit 180 shown in FIG. In step S17, the internal oxygen concentration value is measured. In step S18, it is determined whether the internal oxygen concentration value is the atmospheric oxygen concentration. The internal oxygen concentration value is the atmospheric oxygen concentration. In step S19, the drying process is stopped. If the internal oxygen concentration value is less than the atmospheric oxygen concentration, as shown in step S15, the inner tank 173 is decompressed by the vacuum pump 183 in FIG. The active gas is exhausted, and in step S16, dry air (air) is introduced into the inner tank 173.

ステップS19において、乾燥処理をストップすると、ステップS20では、図14(A)あるいは図12に示す自動扉171を開けて、乾燥処理後のロール200を載せているロール冶具201を、内槽173内から払い出す(取り出す)。   When the drying process is stopped in step S19, in step S20, the automatic jig 171 shown in FIG. 14A or 12 is opened, and the roll jig 201 on which the roll 200 after the drying process is placed is placed in the inner tank 173. Pay out (take out).

図16(A)と図16(B)に示すように、移載用の移動体40の第1スライドテーブル61と第2スライドテーブル62が、昇降部43からX2方向にスライドして、乾燥処理後のロール200を載せているロール冶具201を、第1乾燥炉群18側の乾燥炉21(22)の内槽173の上段乾燥部231から受け取って、X1方向にスライドして、ロール冶具201を内槽173内から移載用の移動体40側に戻す。   As shown in FIGS. 16 (A) and 16 (B), the first slide table 61 and the second slide table 62 of the moving body 40 for transfer are slid in the X2 direction from the elevating part 43, and are dried. The roll jig 201 on which the subsequent roll 200 is placed is received from the upper drying section 231 of the inner tank 173 of the drying furnace 21 (22) on the first drying furnace group 18 side, and slid in the X1 direction. Is returned from the inner tank 173 to the moving body 40 side for transfer.

同様にして、図17(A)と図17(B)に示すように、移載用の移動体40の第1スライドテーブル61と第2スライドテーブル62が、昇降部43からX1方向にスライドして、乾燥処理後のロール200を載せているロール冶具201を、第2乾燥炉群19側の乾燥炉21(22)の内槽173の上段乾燥部231から受け取って、X2方向にスライドして、ロール冶具201を内槽173内から移載用の移動体40側に戻すことができる。   Similarly, as shown in FIGS. 17A and 17B, the first slide table 61 and the second slide table 62 of the moving body 40 for transfer slide in the X1 direction from the elevating unit 43. The roll jig 201 on which the roll 200 after the drying treatment is placed is received from the upper drying unit 231 of the inner tank 173 of the drying furnace 21 (22) on the second drying furnace group 19 side, and is slid in the X2 direction. The roll jig 201 can be returned from the inner tank 173 to the moving body 40 side for transfer.

その後、移載用の移動体40は、図9(B)に示すサーボモータ制御部100Aが、サーボモータ45を動作させてピニオン58を回転することで、ラック46に沿って、Y1方向に直線移動される。これにより、図2に示す移載用の移動体40が、ラック46の端部の位置に達すると、乾燥処理後のロール200を載せたロール冶具201が、例えば図示しないアクチュエータの操作により、払出コンベアユニット3の始まり端部に移される。払出コンベアユニット3は、X2方向に沿って、乾燥処理後のロール200を載せたロール冶具201を排出(払出し)して、乾燥処理後のロール200を載せたロール冶具201は図示しない次の処理工程に移されることになる。   Thereafter, the moving body 40 for transfer is linearly moved in the Y1 direction along the rack 46 by the servo motor controller 100A shown in FIG. 9B operating the servo motor 45 and rotating the pinion 58. Moved. Thereby, when the moving body 40 for transfer shown in FIG. 2 reaches the position of the end of the rack 46, the roll jig 201 on which the roll 200 after the drying process is loaded by, for example, operating an actuator (not shown) It is moved to the beginning end of the conveyor unit 3. The discharge conveyor unit 3 discharges (dispenses) the roll jig 201 on which the roll 200 after the drying process is placed along the X2 direction, and the roll jig 201 on which the roll 200 after the drying process is loaded is not shown in the drawing. It will be transferred to the process.

ところで、上述した図18に示す乾燥モード1を有する乾燥処理工程では、ロール200は、乾燥炉21,22の内槽173では、大気圧状態で昇温(窒素ガスあるいは他の不活性ガスを導入して酸素と置換)してから、真空状態で加熱をして乾燥を行い、そして大気圧状態で降温を行う。   By the way, in the drying process step having the drying mode 1 shown in FIG. 18 described above, the roll 200 is heated at atmospheric pressure (introducing nitrogen gas or other inert gas) in the inner tank 173 of the drying furnaces 21 and 22. Then, oxygen is substituted), heating is performed under vacuum, drying is performed, and temperature is decreased under atmospheric pressure.

上述した本発明の実施形態における図18に示す乾燥モード1では、ロール200は、乾燥炉21,22の内槽173において大気圧状態で昇温をして、真空状態で加熱をして乾燥を行い、そして大気圧で降温するモードを採用している。   In the drying mode 1 shown in FIG. 18 in the embodiment of the present invention described above, the roll 200 is heated in the atmospheric pressure state in the inner tank 173 of the drying furnaces 21 and 22 and heated in a vacuum state for drying. Adopts a mode to perform and cool down at atmospheric pressure.

これに対して、通常行われているワークの乾燥工程では、ワークは全ての工程を真空中で処理していたために、真空中では熱効率が悪いことから、通常の真空乾燥工程では乾燥に時間がかかっていた。   On the other hand, in the work drying process that is normally performed, since the work is processed in vacuum in all steps, the heat efficiency is poor in vacuum. Therefore, in the normal vacuum drying process, time is required for drying. It was hanging.

従って、本発明の実施形態では内槽173での庫内の昇温と降温は、共に大気圧で行えるために、通常行われている昇温と降温を含めてすべての工程を真空中で行う乾燥処理に比べて、本発明の実施形態では昇温と降温の効率が高い。従って、内槽173を用いてロール200の乾燥工程に掛かる時間を短縮でき、トータルの乾燥処理時間の短縮が図れるメリットがある。   Therefore, in the embodiment of the present invention, both the temperature increase and the temperature decrease in the inner tank 173 can be performed at atmospheric pressure, and therefore all the processes including the temperature increase and the temperature decrease that are normally performed are performed in a vacuum. Compared with the drying process, the embodiment of the present invention has a higher temperature raising and lowering efficiency. Therefore, there is an advantage that the time required for the drying process of the roll 200 can be shortened using the inner tank 173, and the total drying processing time can be shortened.

また、このため、加熱前に不活性ガスを導入することで内槽173の庫内の酸素濃度を低下させつつ、内槽173の庫内の温度が設定温度に上がるまで、大気圧で加熱をし、その後は真空状態で加熱をする。加熱処理が終了後は、再び不活性ガスを導入することで内槽173の庫内の酸素濃度を低下させつつ、大気圧で冷却する。ロール200に対するメインの乾燥処理は、真空状態化で行うことができるので、全ての乾燥処理を大気圧下で行う場合に比べて、不活性ガスの使用量を減らすことができ、ランニングコストが低減できる。   For this reason, heating is performed at atmospheric pressure until the temperature in the inner tank 173 rises to the set temperature while reducing the oxygen concentration in the inner tank 173 by introducing an inert gas before heating. After that, heating is performed in a vacuum state. After the heat treatment is completed, the inert gas is introduced again, and the oxygen concentration in the chamber of the inner tank 173 is lowered, and cooling is performed at atmospheric pressure. Since the main drying process for the roll 200 can be performed in a vacuum state, the amount of inert gas used can be reduced and the running cost can be reduced as compared with the case where all the drying processes are performed under atmospheric pressure. it can.

自動乾燥システム1では、投入コンベアユニット2が対象物であるロール200を投入すると、移載機10は、投入コンベアユニット2により搬送されてくるロール200を、一旦複数の乾燥炉21,22のいずれかに投入し、移載機10は、その後乾燥炉21,22で必要な処理時間をかけて乾燥処理されたロール200を払出コンベアユニット3側に戻して運ぶので、乾燥に時間が掛かるロール200を、ラインを止めることなく順次効率良く乾燥させることができる。   In the automatic drying system 1, when the input conveyor unit 2 inputs the roll 200 as an object, the transfer machine 10 temporarily transfers the roll 200 conveyed by the input conveyor unit 2 to any one of the drying ovens 21 and 22. Then, the transfer machine 10 returns the roll 200, which has been dried in the drying furnaces 21, 22 to the delivery conveyor unit 3 side, and transports it to the delivery conveyor unit 3, so that the roll 200 takes time to dry. Can be efficiently dried sequentially without stopping the line.

(乾燥モード2を有する乾燥処理工程)
次に、図19は、乾燥モード2を有する乾燥処理工程を示すフロー図である。乾燥モード2は、上述した乾燥モード1とは異なり、真空圧力下ではロール200の乾燥を行わず、大気圧下でロール200の乾燥を行う。図19を参照して、乾燥モード2を有する乾燥処理工程について説明する。図19に示す乾燥モード2を有する乾燥処理工程においては、上述した図18に示す乾燥モード1を有する乾燥処理工程とは異なり、図1に示す乾燥炉21,22の内槽173では、大気圧状態で加熱(窒素ガスあるいは他の不活性ガス導入)して乾燥した後に、大気圧で冷却する手順を有している。この乾燥モード2を有する乾燥処理工程は、内槽173内を真空吸引して減圧することがないので、乾燥炉21,22の構造を簡単化して、乾燥炉21,22の小型化が図れる。
(Drying process with drying mode 2)
Next, FIG. 19 is a flowchart showing a drying process having the drying mode 2. Unlike the drying mode 1 described above, the drying mode 2 does not dry the roll 200 under vacuum pressure, and dries the roll 200 under atmospheric pressure. With reference to FIG. 19, the drying process which has the drying mode 2 is demonstrated. In the drying process step having the drying mode 2 shown in FIG. 19, unlike the drying process step having the drying mode 1 shown in FIG. 18 described above, in the inner tank 173 of the drying furnaces 21 and 22 shown in FIG. It is heated in the state (introducing nitrogen gas or other inert gas), dried, and then cooled at atmospheric pressure. In the drying process having the drying mode 2, since the inner tank 173 is not vacuumed and depressurized, the structure of the drying furnaces 21 and 22 can be simplified and the drying furnaces 21 and 22 can be downsized.

図19に示す乾燥モード2を有する乾燥処理工程では、ステップS21では、例えば図15(A)と図15(B)に例示するように、ワークである乾燥処理前のロール200を載せたロール冶具201が、上述したように例えば第1乾燥炉群18の乾燥炉21の内槽173の上段乾燥部231と下段乾燥部232にそれぞれ投入されると、図13に示す乾燥炉21の自動扉171が乾燥炉21の内槽173を閉じる。ステップS22では、乾燥モード2を有する乾燥処理工程による乾燥処理をスタートする。   In the drying process having the drying mode 2 shown in FIG. 19, in step S21, for example, as illustrated in FIGS. 15A and 15B, a roll jig on which a roll 200 before the drying process as a workpiece is placed. As described above, for example, when the 201 is put into the upper drying unit 231 and the lower drying unit 232 of the inner tank 173 of the drying furnace 21 of the first drying furnace group 18, the automatic door 171 of the drying furnace 21 shown in FIG. Closes the inner tank 173 of the drying furnace 21. In step S22, the drying process by the drying process having the drying mode 2 is started.

図19のステップS22では、乾燥モード2を有する乾燥処理工程による乾燥処理をスタートする。乾燥処理がスタートすると、ステップS23の減圧工程になり、減圧工程のステップS23−1では、図13に示す真空ポンプ183がオンして真空引きを開始して、内槽173内を減圧して、ステップS23−2では真空度を確認した後、ステップS23−3では真空ポンプをオフする。そして、ステップS24では、図13に示す窒素ガス供給部181から内槽173内に窒素あるいはその他の不活性ガスを、大気圧になるまで導入する。   In Step S22 of FIG. 19, the drying process by the drying process having the drying mode 2 is started. When the drying process is started, the pressure reduction process of Step S23 is started. In Step S23-1 of the pressure reduction process, the vacuum pump 183 shown in FIG. After confirming the degree of vacuum in step S23-2, the vacuum pump is turned off in step S23-3. In step S24, nitrogen or other inert gas is introduced into the inner tank 173 from the nitrogen gas supply unit 181 shown in FIG. 13 until atmospheric pressure is reached.

これにより、ステップS25−1では、庫内酸素濃度測定部(図示せず)が内槽173内の庫内酸素濃度値を検出して、ステップS25−2において酸素濃度値が所定の設定値、例えば500ppm以下である場合には、次のステップS26に進む。しかし、ステップS25−2において、内槽173内の庫内酸素濃度値が500ppmを超えている場合には、まだ内槽173内の酸素濃度が高いとして、ステップS23−1に戻ってさらに真空ポンプ183により内槽173内を減圧して、不活性ガスを導入する。これにより、内槽173内の酸素を窒素で置換する。   Thereby, in step S25-1, the internal oxygen concentration measuring unit (not shown) detects the internal oxygen concentration value in the inner tank 173, and in step S25-2, the oxygen concentration value is a predetermined set value, For example, when it is 500 ppm or less, the process proceeds to the next step S26. However, in step S25-2, if the internal oxygen concentration value in the inner tank 173 exceeds 500 ppm, it is determined that the oxygen concentration in the inner tank 173 is still high, and the process returns to step S23-1 to further vacuum pump. The inner tank 173 is depressurized by 183 and an inert gas is introduced. Thereby, oxygen in the inner tank 173 is replaced with nitrogen.

次に、図19に示す乾燥モード2を説明する。乾燥モード2のステップS26の昇温工程とステップS27の降温工程は、乾燥炉21の内槽173内を、大気圧で昇温して、大気圧下で加熱をし、大気圧下で冷却を行う動作を示している。   Next, the drying mode 2 shown in FIG. 19 will be described. In the drying step 2, the temperature raising process in step S26 and the temperature lowering process in step S27 raise the temperature in the inner tank 173 of the drying furnace 21 at atmospheric pressure, heat it under atmospheric pressure, and cool it under atmospheric pressure. The operation to be performed is shown.

図19に示すステップS6の昇温工程のステップS26−1では、図13に示す制御部100がシロッコファン177のモータ177Bを動作して、シロッコファン177を回転するとともに、ヒータ内蔵の整流板175を発熱させて、内槽173内を昇温する。   In step S26-1 of the temperature raising process of step S6 shown in FIG. 19, the control unit 100 shown in FIG. 13 operates the motor 177B of the sirocco fan 177 to rotate the sirocco fan 177 and the rectifying plate 175 with a built-in heater. Is heated to raise the temperature in the inner tank 173.

そこで、ステップS26−2において、温度調節器によりこの内槽173内の温度を所定の設定値、例えば250℃に達した場合にはステップS27に進むが、所定の設定値を下回っている場合には、ステップS26−1に戻って、内槽173内の昇温を続ける。なお、この温度の所定の設定値は、好ましくは150℃から250℃の範囲で設定できる。   Therefore, in step S26-2, when the temperature in the inner tank 173 reaches a predetermined set value, for example, 250 ° C. by the temperature controller, the process proceeds to step S27, but when the temperature is below the predetermined set value. Returns to step S26-1 and continues the temperature increase in the inner tank 173. Note that the predetermined set value of this temperature can be preferably set in the range of 150 ° C to 250 ° C.

次に、ステップテップS26の昇温工程において、図15に示す内槽173内の上段乾燥部231と下段乾燥部232に配置されている各ロール200は、大気圧下で加熱により乾燥される。   Next, in the temperature raising process of step S26, each roll 200 arranged in the upper drying unit 231 and the lower drying unit 232 in the inner tank 173 shown in FIG. 15 is dried by heating under atmospheric pressure.

次に、図19のステップS27の降温工程では、ステップS28において、内槽173内の温度を下げるためにシロッコファン177を回転させる。そして、ステップS29では、温度調節器によりこの内槽173内の温度を所定の設定値、例えば30℃に達すると、ステップS30に進むが、温度が所定の設定値を超えているとステップS28に戻って、内槽173内の温度を下げるためにシロッコファン177を回転させる。なお、この所定の設定値は、好ましくは30℃から50℃の間で設定できる。   Next, in the temperature lowering process in step S27 of FIG. 19, the sirocco fan 177 is rotated in step S28 in order to lower the temperature in the inner tank 173. In step S29, when the temperature in the inner tank 173 reaches a predetermined set value, for example, 30 ° C. by the temperature controller, the process proceeds to step S30. If the temperature exceeds the predetermined set value, the process proceeds to step S28. Returning, the sirocco fan 177 is rotated to lower the temperature in the inner tank 173. The predetermined set value can be set preferably between 30 ° C. and 50 ° C.

ステップS30では、内槽173内に窒素ガスや不活性ガスの導入を停止して、ステップS31では、真空ポンプ183により内槽173内を減圧して、不活性ガスを排気する。ステップS32では、図13に示すドライエア供給部180からドライエア(空気)を内槽173内に導入する。そして、ステップS33では、庫内酸素濃度値を測定して、ステップS18では、この庫内酸素濃度値が大気酸素濃度であるかどうかを判断して、庫内酸素濃度値が大気酸素濃度であると、ステップS35において、乾燥処理をストップするが、庫内酸素濃度値が大気酸素濃度未満であると、ステップS31に示すように、図13の真空ポンプ183により内槽173内を減圧して不活性ガスを排気してステップS32において、内槽173内にドライエア(空気)の導入を行う。   In step S30, the introduction of nitrogen gas or inert gas into the inner tank 173 is stopped, and in step S31, the inner tank 173 is decompressed by the vacuum pump 183, and the inert gas is exhausted. In step S32, dry air (air) is introduced into the inner tank 173 from the dry air supply unit 180 shown in FIG. In step S33, the internal oxygen concentration value is measured. In step S18, it is determined whether the internal oxygen concentration value is the atmospheric oxygen concentration. The internal oxygen concentration value is the atmospheric oxygen concentration. In step S35, the drying process is stopped. If the internal oxygen concentration value is less than the atmospheric oxygen concentration, as shown in step S31, the inside of the inner tank 173 is decompressed by the vacuum pump 183 in FIG. The active gas is exhausted, and in step S32, dry air (air) is introduced into the inner tank 173.

ステップS35において、乾燥処理をストップすると、ステップS36では、図14(A)あるいは図12に示す自動扉171を開けて、乾燥処理後のロール200を載せているロール冶具201を、内槽173内から払い出す(取り出す)。   When the drying process is stopped in step S35, in step S36, the automatic jig 171 shown in FIG. 14A or 12 is opened, and the roll jig 201 on which the roll 200 after the drying process is placed is placed in the inner tank 173. Pay out (take out).

以上のようにして、乾燥モード2を有する乾燥処理工程では、第1乾燥炉群18の乾燥炉21,22の内槽173と、第2乾燥炉群19の乾燥炉21,22の内槽173は、乾燥処理前のロール200を、大気圧状態で加熱をして、大気圧状態で大気冷却することで乾燥させることができる。このような乾燥モード2では、加熱前に不活性ガスにて内槽173の庫内の酸素濃度を低下させつつ、庫内の温度が設定温度まで上がるまでを全て大気圧下で加熱する。その後の冷却は、大気圧により処理するので、乾燥モード2の一連の工程は、庫内の酸素を不活性ガスに置換する作業以外は、全て大気圧により処理をすることができる。   As described above, in the drying process having the drying mode 2, the inner tank 173 of the drying furnaces 21 and 22 of the first drying furnace group 18 and the inner tank 173 of the drying furnaces 21 and 22 of the second drying furnace group 19 are processed. Can be dried by heating the roll 200 before the drying treatment in an atmospheric pressure state and cooling the air in the atmospheric pressure state. In such a drying mode 2, all the heating is performed under atmospheric pressure until the temperature in the chamber rises to the set temperature while reducing the oxygen concentration in the chamber of the inner tank 173 with an inert gas before heating. Since the subsequent cooling is performed at atmospheric pressure, the series of steps in the drying mode 2 can be all performed at atmospheric pressure except for the operation of replacing the oxygen in the chamber with an inert gas.

このため、昇温と降温ともに、大気圧での処理ができるので、真空中での処理に比べて、昇温と降温の効率が高い。さらに、メインの加熱による乾燥処理が大気圧であるために、溶媒や水分を多く含むワーク(ロール)の場合に、真空側(冷却トラップや真空ポンプ)は不要であるので溶媒や水分が多く回ることがなく、メンテナンスの頻度が低い。大気加熱の場合には、乾燥炉(加熱炉)に設置している不活性ガスの排気ラインを使用して、溶媒をトラップしつつ排気する。   For this reason, since processing at atmospheric pressure can be performed for both temperature increase and temperature decrease, the efficiency of temperature increase and temperature decrease is higher than that in vacuum processing. Furthermore, since the main heating drying process is at atmospheric pressure, when a work (roll) containing a lot of solvent or moisture is used, there is no need for the vacuum side (cooling trap or vacuum pump). And maintenance frequency is low. In the case of atmospheric heating, an inert gas exhaust line installed in a drying furnace (heating furnace) is used to exhaust the solvent while trapping it.

図20は、乾燥モード1を有する乾燥処理工程において、時刻t1から時刻t10の経過に伴って変化する冷却制御、ファンの回転数制御、窒素ガス流量制御、圧力制御、温度制御の関係例を示す真空チャンバ(内槽173)の温度プロファイル事例を示す図である。   FIG. 20 shows a relationship example of cooling control, fan rotation speed control, nitrogen gas flow rate control, pressure control, and temperature control that change with the lapse of time from time t1 to time t10 in the drying process having the drying mode 1. It is a figure which shows the temperature profile example of a vacuum chamber (inner tank 173).

図20に示すように、時刻t1から時刻t2では、冷却制御、ファンの回転数制御、窒素ガスの流量制御や、温度制御は行われておらず、圧力制御における圧力値が下がって例えば100Pa以下の真空状態になっている。時刻t2から時刻t3では、窒素ガスの流量制御により窒素ガスの流量値が増加し、圧力制御による圧力値は増加する。時刻t3から時刻t4では、ファンの回転数が上がり、窒素ガスの流量値がやや下がり、温度制御による温度が上昇する。時刻t4から時刻t5では、冷却は一定で回転数も一定で、窒素ガスの流量も一定に保ち、圧力が一定であり、温度も一定である。乾燥炉の内槽内の酸素は、不活性ガスによりガス置換され、酸素濃度は0.05%以下の低酸素濃度である。   As shown in FIG. 20, from time t1 to time t2, cooling control, fan speed control, nitrogen gas flow rate control, and temperature control are not performed, and the pressure value in the pressure control decreases, for example, 100 Pa or less. Is in a vacuum state. From time t2 to time t3, the flow rate value of nitrogen gas increases by the flow rate control of nitrogen gas, and the pressure value by pressure control increases. From time t3 to time t4, the rotational speed of the fan increases, the flow rate value of nitrogen gas decreases slightly, and the temperature by temperature control increases. From time t4 to time t5, the cooling is constant, the rotation speed is constant, the flow rate of nitrogen gas is kept constant, the pressure is constant, and the temperature is also constant. The oxygen in the inner tank of the drying furnace is replaced with an inert gas, and the oxygen concentration is a low oxygen concentration of 0.05% or less.

時刻t5から時刻t6では、シロッコファンの空冷による冷却と冷却水の水冷による冷却が行われ、ファン回転数は少し上がるが、窒素ガスの流量は一定で、圧力も一定であり、温度が急激に下がる。時刻t6から時刻t7では、ファンの回転数は低下し、窒素ガスの流量も低下して圧力が下がって大気圧になり、温度は下がっている。時刻t7から時刻t8は、時刻t1から時刻t2の繰り返しであり、時刻t8からt9は、時刻t2から時刻t3の繰り返しであり、時刻t9から時刻t10は、時刻t3から時刻t4の繰り返しである。このように、時刻t1から時刻t7の期間では、高精度な制御を行っており、サイクルタイムの短縮化を図っていることで、スループットの向上を図っている。   From time t5 to time t6, the cooling of the sirocco fan by air cooling and cooling water cooling is performed, and the fan speed increases slightly, but the flow rate of nitrogen gas is constant, the pressure is constant, and the temperature suddenly increases. Go down. From time t6 to time t7, the rotational speed of the fan decreases, the flow rate of nitrogen gas also decreases, the pressure decreases to atmospheric pressure, and the temperature decreases. From time t7 to time t8 is the repetition from time t1 to time t2, from time t8 to t9 is from time t2 to time t3, and from time t9 to time t10 is from time t3 to time t4. As described above, in the period from time t1 to time t7, high-precision control is performed, and the cycle time is shortened to improve the throughput.

ところで、ロール200を乾燥させるために、ロール200を投入する乾燥炉21,22の選択の順番については、(1)平均モードと、(2)最速モードと、(3)任意モードがある。   By the way, in order to dry the roll 200, there are (1) average mode, (2) fastest mode, and (3) arbitrary mode as to the order of selection of the drying furnaces 21 and 22 into which the roll 200 is charged.

(1)平均モードでは、各乾燥炉21,22の稼働時間を積算して、各乾燥炉の稼働時間を平均化してロール200の乾燥に使用するモードであり、各乾燥炉を均等に使用することができる。   (1) In the average mode, the operating hours of the drying ovens 21 and 22 are integrated, the operating hours of the drying ovens are averaged, and used for drying the roll 200, and the drying ovens are used evenly. be able to.

(2)最速モードでは、乾燥炉内が空であり、かつ位置的に近い乾燥炉を優先して自動選択してロール200の乾燥に使用するモードである。   (2) The fastest mode is a mode in which the inside of the drying furnace is empty and the drying furnace close in position is preferentially automatically selected and used for drying the roll 200.

(3)任意モードでは、作業者が任意に乾燥炉21,22を指定してロール200の乾燥に使用するモードである。   (3) In the arbitrary mode, the operator arbitrarily designates the drying furnaces 21 and 22 and is used for drying the roll 200.

加熱処理方法としては、図1に示す操作盤OPの制御部100が、温度,圧力、時間を管理して処理を行うが、時間はワーク(ロール)の種類や素材により様々である。一般的には、電極用のロールを乾燥する等の場合には、例えば乾燥時間は5乃至20時間である。ロールのアニ―ル・ベーキングの場合には、乾燥時間は1乃至5時間である。液晶基板と偏光板等を貼り合わせ後の加圧、加熱脱泡処理の場合には、1乃至2時間である。   As a heat treatment method, the control unit 100 of the operation panel OP shown in FIG. 1 performs the process while managing the temperature, pressure, and time. The time varies depending on the type and material of the work (roll). In general, when the electrode roll is dried, for example, the drying time is 5 to 20 hours. In the case of roll annealing, the drying time is 1 to 5 hours. In the case of pressurization and heat defoaming treatment after bonding the liquid crystal substrate and the polarizing plate, it takes 1 to 2 hours.

本発明の実施形態の自動乾燥システム1の用途としては、電極素材の水分除去(真空加熱による)、モールド樹脂部品(IC部品)の硬化(大気加熱による)、部品、素材等のアニ―ル・ベーキング処理、液晶基板と偏光板等を貼り合わせ後の加圧、加熱脱泡処理(加圧乾燥による)、部品の加圧乾燥(真空を嫌う部品)(加圧乾燥による)等がある。   Applications of the automatic drying system 1 according to the embodiment of the present invention include removal of moisture from electrode materials (by vacuum heating), curing of molded resin parts (IC parts) (by atmospheric heating), annealing of parts, materials, etc. There are baking processing, pressurization after laminating the liquid crystal substrate and the polarizing plate, heat defoaming treatment (by pressure drying), pressure drying of components (parts that dislike vacuum) (by pressure drying), and the like.

本発明の実施形態の自動乾燥システム1は、対象物であるロール200を投入する投入搬送部(投入コンベアユニット)2と、対象物を乾燥させるための複数の乾燥炉21,22と、乾燥炉21,22で乾燥処理された対象物を排出する払い出しする払出搬送部(払出しコンベアユニット)3と、投入搬送部により搬送されてくる対象物を、複数の乾燥炉21,22のいずれかに移して、乾燥炉21,22で乾燥処理された対象物を払出搬送部側に運ぶ移載機10を備える。   An automatic drying system 1 according to an embodiment of the present invention includes an input conveyance unit (input conveyor unit) 2 for supplying a roll 200 as an object, a plurality of drying furnaces 21 and 22 for drying an object, and a drying furnace. The paying-out delivery unit (dispensing conveyor unit) 3 for discharging the object dried in the operations 21 and 22 and the object conveyed by the input conveying unit are transferred to one of the drying furnaces 21 and 22. And a transfer machine 10 for transporting an object dried in the drying furnaces 21 and 22 to the paying-out and transporting unit side.

これにより、投入搬送部が対象物を投入すると、移載機は、投入搬送部により搬送されてくる対象物を、一旦複数の乾燥炉のいずれかに投入し、移載機は、その後乾燥炉で必要な処理時間をかけて乾燥処理された対象物を払出搬送部側に戻して運ぶので、乾燥処理に時間が掛かる対象物を、ラインを止めることなく順次効率良く乾燥させることができる。   As a result, when the input conveyance unit inputs the object, the transfer machine once inputs the object conveyed by the input conveyance unit into one of the plurality of drying furnaces. Since the object subjected to the drying process over the necessary processing time is returned and carried to the delivery / conveying unit side, the object that takes a long time for the drying process can be sequentially and efficiently dried without stopping the line.

自動乾燥システム1は、複数の乾燥炉から構成される第1乾燥炉群18と、第1乾燥炉群18に対して間隔をおいて配置されている複数の乾燥炉から構成される第2乾燥炉群19を構成しており、第1乾燥炉群18と第2乾燥炉群19の間には、移載機10が配置されており、移載機10は、第1乾燥炉群18と第2乾燥炉群19の間に配置されている搬送ガイド部30と、搬送ガイド部30に沿って移動して、第1乾燥炉群18と第2乾燥炉群19のいずれかの乾燥炉21,22の前に位置決めされる移載用の移動体40と、を有し、移載用の移動体40は、乾燥炉21,22の内部に対象物を投入し、乾燥後の対象物を乾燥炉21,22の内部から取り出す構成である。   The automatic drying system 1 includes a first drying furnace group 18 composed of a plurality of drying furnaces, and a second drying composed of a plurality of drying furnaces arranged at intervals with respect to the first drying furnace group 18. The furnace group 19 is comprised, The transfer machine 10 is arrange | positioned between the 1st drying furnace group 18 and the 2nd drying furnace group 19, and the transfer machine 10 is the 1st drying furnace group 18 and A conveyance guide unit 30 disposed between the second drying furnace group 19 and a drying furnace 21 that moves along the conveyance guide unit 30 and is one of the first drying furnace group 18 and the second drying furnace group 19. , 22, and a transfer moving body 40 positioned before the transfer moving body 40. The transfer moving body 40 puts an object into the drying furnaces 21, 22, and stores the object after drying. It is the structure taken out from the inside of the drying furnaces 21 and 22.

これにより、対象物は、移載用の移動体を用いて、第1乾燥炉群と第2乾燥炉群の中の空いている乾燥炉に投入して乾燥処理できるので、対象物の乾燥処理の効率化が図れる。   As a result, the object can be dried by using a moving body for transfer and put into an empty drying furnace in the first drying furnace group and the second drying furnace group. Efficiency.

自動乾燥システム1では、乾燥炉21,22は、複数の内槽173を有する炉本体部170と、複数の内槽173をそれぞれ開閉可能に閉じる複数の自動扉171を有し、炉本体部170は、複数の内槽173の間の領域には、内槽173を開けたいずれの自動扉171をも収納可能な扉収納部190を有する。   In the automatic drying system 1, the drying furnaces 21 and 22 include a furnace main body 170 having a plurality of inner tubs 173 and a plurality of automatic doors 171 that close the plurality of inner tubs 173 so that they can be opened and closed. In the region between the plurality of inner tanks 173, there is a door storage portion 190 that can store any automatic door 171 with the inner tank 173 opened.

これにより、各内槽を開けたいずれの自動扉であっても扉収納部には共通の収納部として収納できるので、乾燥炉の炉本体部の小型化を図ることができる。   Thereby, since any automatic door which opened each inner tank can be accommodated in a door accommodating part as a common accommodating part, size reduction of the furnace main-body part of a drying furnace can be achieved.

請求項4に記載の自動乾燥システムでは、炉本体部は、各内槽を開けたいずれの自動扉であっても案内可能な共通のガイドレールを有することを特徴とする。   The automatic drying system according to claim 4 is characterized in that the furnace body has a common guide rail capable of guiding any automatic door with each inner tank opened.

自動乾燥システム1では、複数の内槽173を有していても、各内槽173を閉める自動扉171は、共通のガイドレール172により案内できるので、乾燥炉21,22の炉本体部170の構造を簡単化することができる。   Even if the automatic drying system 1 has a plurality of inner tanks 173, the automatic door 171 that closes each inner tank 173 can be guided by a common guide rail 172. The structure can be simplified.

自動乾燥システム1は、乾燥炉21,22の内槽173内では、対象物を、大気圧で昇温をして、真空状態で加熱をし、大気圧で降温する乾燥モード1により乾燥する。これにより、自動乾燥システム1では、内槽での庫内の昇温と降温は、共に大気圧で行え、対象物の加熱は真空状態で加熱をするために、通常行われている昇温と降温を含めてすべての工程を真空中で行う乾燥処理に比べて、本発明の実施形態では、昇温と降温の作業効率が高い。従って、加熱炉の内槽を用いて乾燥しようとする対象物の乾燥工程に掛かる時間を短縮でき、トータルの乾燥処理時間の短縮が図れる。   In the inner tank 173 of the drying ovens 21 and 22, the automatic drying system 1 dries the object in the drying mode 1 in which the temperature is raised at atmospheric pressure, heated in a vacuum state, and lowered at atmospheric pressure. As a result, in the automatic drying system 1, both the temperature increase and the temperature decrease in the inner tank can be performed at atmospheric pressure, and the heating of the object is performed in a vacuum state. Compared with the drying process in which all steps including the temperature drop are performed in a vacuum, in the embodiment of the present invention, the working efficiency of the temperature rise and the temperature fall is high. Therefore, the time required for the drying process of the object to be dried using the inner tank of the heating furnace can be shortened, and the total drying processing time can be shortened.

本発明の実施形態では、大気加熱時は、乾燥炉に過熱した窒素ガスを導入することにより、微量ではあるが昇温効率を高めることができる。また、大気降温時には、加熱せずに
窒素ガスを導入する乾燥炉内に冷却用の熱交換器としての冷却コイルあるいは多管式熱交換器、プレート式熱交換器、フィンチューブ型熱交換器等を設置することにより、降温効率を高める。なお、冷却のみならず加熱用として利用しても良い。
In the embodiment of the present invention, at the time of heating to the atmosphere, the temperature rise efficiency can be increased although it is a minute amount by introducing the heated nitrogen gas into the drying furnace. In addition, a cooling coil or a multi-tube heat exchanger, a plate heat exchanger, a finned tube heat exchanger, etc. as a heat exchanger for cooling into a drying furnace that introduces nitrogen gas without heating when the temperature falls to the atmosphere By installing, the cooling efficiency is improved. In addition to cooling, it may be used for heating.

以上、実施形態を挙げて本発明を説明したが、各実施形態は一例であり、特許請求の範囲に記載される発明の範囲は、発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々変更できるものである。   The present invention has been described with reference to the embodiments. However, each embodiment is an example, and the scope of the invention described in the claims can be variously modified without departing from the scope of the invention. .

例えば、乾燥炉21,22は、真空状態で乾燥を行える乾燥炉であるが、これに限らず、加熱による乾燥対象物の種類によっては、大気圧雰囲気下により乾燥を行う乾燥炉、あるいは加圧状態下により乾燥を行う乾燥炉であっても良い。   For example, the drying ovens 21 and 22 are drying ovens that can perform drying in a vacuum state, but are not limited to this, and depending on the type of the object to be dried by heating, a drying oven that performs drying in an atmospheric pressure atmosphere, or pressurization A drying furnace that performs drying under conditions may be used.

不活性ガスとしては、窒素の他にアルゴンや二酸化炭素を主成分とするガス等でも良く、特に限定されない。   The inert gas may be a gas mainly containing argon or carbon dioxide in addition to nitrogen, and is not particularly limited.

なお、上述してきた自動乾燥システムは、乾燥炉または加熱炉(真空・大気炉・加圧炉等あらゆる用途)に適用可能である。   The automatic drying system described above can be applied to a drying furnace or a heating furnace (any use such as a vacuum, an atmospheric furnace, a pressure furnace).

1 自動乾燥システム
2 投入コンベアユニット(投入搬送部)
3 払出コンベアユニット(払出搬送部)
10 移載機
18 第1乾燥炉群
19 第2乾燥炉群
21 乾燥炉
22 乾燥炉
30 搬送ガイド部
40 移載用の移動体
170 炉本体部
171 自動扉
172 自動扉のガイドレール
173 乾燥炉の内槽
190 扉収納部
200 ロール(乾燥しようとする対象物の例)
1 Automatic drying system 2 Input conveyor unit (input conveyance unit)
3 Dispensing conveyor unit (dispensing and conveying section)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Transfer machine 18 1st drying furnace group 19 2nd drying furnace group 21 Drying furnace 22 Drying furnace 30 Transfer guide part 40 Transferred moving body 170 Furnace body part 171 Automatic door 172 Automatic door guide rail 173 Inner tank 190 Door storage unit 200 roll (example of object to be dried)

Claims (6)

複数の対象物を乾燥するための自動乾燥システムであって、
前記対象物を投入する投入搬送部と、
前記対象物を乾燥させるための複数の乾燥炉と、
前記乾燥炉で乾燥処理された前記対象物を払い出しする払出搬送部と、
前記投入搬送部により搬送されてくる前記対象物を、前記複数の乾燥炉のいずれかに移して、前記乾燥炉で乾燥処理された前記対象物を前記払出搬送部側に運ぶ移載機と、
を備えることを特徴とする自動乾燥システム。
An automatic drying system for drying a plurality of objects,
An input conveyance unit for inputting the object;
A plurality of drying ovens for drying the object;
A payout transport unit for paying out the object dried in the drying furnace;
A transfer machine for transferring the object transported by the input transport unit to any of the plurality of drying furnaces, and transporting the target object dried in the drying furnace to the payout transport unit side;
An automatic drying system comprising:
前記複数の乾燥炉から構成される第1乾燥炉群と、前記第1乾燥炉群に対して間隔をおいて配置されている前記複数の乾燥炉から構成される第2乾燥炉群を構成しており、
前記第1乾燥炉群と前記第2乾燥炉群の間には、前記移載機が配置されており、
前記移載機は、前記第1乾燥炉群と前記第2乾燥炉群の間に配置されている搬送ガイド部と、
前記搬送ガイド部に沿って移動して、前記第1乾燥炉群と前記第2乾燥炉群のいずれかの前記乾燥炉の前に位置決めされる移載用の移動体と、を有し、
前記移載用の移動体は、前記乾燥炉の内部に前記対象物を投入し、乾燥後の前記対象物を前記乾燥炉の内部から取り出す構成としたことを特徴とする請求項1に記載の自動乾燥システム。
A first drying furnace group composed of the plurality of drying furnaces, and a second drying furnace group composed of the plurality of drying furnaces spaced from the first drying furnace group. And
The transfer machine is disposed between the first drying furnace group and the second drying furnace group,
The transfer machine includes a conveyance guide unit disposed between the first drying furnace group and the second drying furnace group,
Moving along the conveyance guide part, and having a moving body for transfer positioned before the drying furnace in any of the first drying furnace group and the second drying furnace group,
2. The structure according to claim 1, wherein the moving body for transfer is configured to put the object into the inside of the drying furnace and to take out the object after drying from the inside of the drying furnace. Automatic drying system.
前記乾燥炉は、
複数の内槽を有する炉本体部と、
前記複数の内槽をそれぞれ開閉可能に閉じる複数の自動扉と、を有し、
前記炉本体部は、前記複数の内槽の間の領域には、前記内槽を開けたいずれの前記自動扉をも収納可能な扉収納部を有することを特徴とする請求項1または2に記載の自動乾燥システム。
The drying furnace
A furnace body having a plurality of inner tanks;
A plurality of automatic doors for closing and opening the plurality of inner tanks,
The said furnace main-body part has the door accommodating part which can accommodate any said automatic door which opened the said inner tank in the area | region between these inner tanks. Automatic drying system as described.
前記炉本体部は、各前記内槽を開けたいずれの前記自動扉をも案内可能な共通のガイドレールを有することを特徴とする請求項3に記載の自動乾燥システム。   The automatic drying system according to claim 3, wherein the furnace main body has a common guide rail capable of guiding any of the automatic doors that have opened the inner tubs. 前記乾燥炉の前記内槽内では、前記対象物を、大気圧で昇温をして、大気圧または真空状態で加熱をし、大気圧で降温する乾燥モードにより乾燥することを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の自動乾燥システム。   In the inner tub of the drying furnace, the object is heated in an atmospheric pressure, heated in an atmospheric pressure or a vacuum state, and dried in a drying mode in which the temperature is decreased at an atmospheric pressure. Item 5. The automatic drying system according to any one of Items 1 to 4. 前記乾燥炉の前記内槽内に熱交換器を設けたことを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の自動乾燥システム。   The automatic drying system according to any one of claims 1 to 5, wherein a heat exchanger is provided in the inner tank of the drying furnace.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106384845A (en) * 2016-11-09 2017-02-08 深圳市新伟创实业有限公司 Automatic lithium battery drying and cooling processing system
CN107764039A (en) * 2017-10-13 2018-03-06 东莞市众志检测仪器有限公司 A kind of battery clamp for battery vacuum drying production line
CN115039902A (en) * 2022-07-28 2022-09-13 安徽信息工程学院 Tobacco leaf multilayer baking adjusting device

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60158600U (en) * 1984-03-29 1985-10-22 松本 洋 clothes dryer
JPH034941A (en) * 1989-05-30 1991-01-10 Iseki & Co Ltd Drying box suction detecting apparatus in drying box feed in and out machine to sample dryer
JPH06257946A (en) * 1993-03-01 1994-09-16 Tokyo Electric Power Co Inc:The Method and device for drying timber
JP2004207484A (en) * 2002-12-25 2004-07-22 Dainippon Screen Mfg Co Ltd Dry treatment device and substrate processing device
JP2004202384A (en) * 2002-12-25 2004-07-22 Honda Motor Co Ltd Coating drying apparatus
JP2011192390A (en) * 2010-03-11 2011-09-29 Noritake Co Ltd Drying method and drying device of metal foil laminated body

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60158600U (en) * 1984-03-29 1985-10-22 松本 洋 clothes dryer
JPH034941A (en) * 1989-05-30 1991-01-10 Iseki & Co Ltd Drying box suction detecting apparatus in drying box feed in and out machine to sample dryer
JPH06257946A (en) * 1993-03-01 1994-09-16 Tokyo Electric Power Co Inc:The Method and device for drying timber
JP2004207484A (en) * 2002-12-25 2004-07-22 Dainippon Screen Mfg Co Ltd Dry treatment device and substrate processing device
JP2004202384A (en) * 2002-12-25 2004-07-22 Honda Motor Co Ltd Coating drying apparatus
JP2011192390A (en) * 2010-03-11 2011-09-29 Noritake Co Ltd Drying method and drying device of metal foil laminated body

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106384845A (en) * 2016-11-09 2017-02-08 深圳市新伟创实业有限公司 Automatic lithium battery drying and cooling processing system
CN107764039A (en) * 2017-10-13 2018-03-06 东莞市众志检测仪器有限公司 A kind of battery clamp for battery vacuum drying production line
CN115039902A (en) * 2022-07-28 2022-09-13 安徽信息工程学院 Tobacco leaf multilayer baking adjusting device

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