JP2015194276A - automatic drying system - Google Patents
automatic drying system Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015194276A JP2015194276A JP2014071504A JP2014071504A JP2015194276A JP 2015194276 A JP2015194276 A JP 2015194276A JP 2014071504 A JP2014071504 A JP 2014071504A JP 2014071504 A JP2014071504 A JP 2014071504A JP 2015194276 A JP2015194276 A JP 2015194276A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- drying
- roll
- drying furnace
- inner tank
- furnace
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000001035 drying Methods 0.000 title claims abstract description 478
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 80
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000032258 transport Effects 0.000 abstract description 11
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 43
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 34
- 238000000034 method Methods 0.000 description 34
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 34
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 34
- 230000008569 process Effects 0.000 description 32
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 27
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 26
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 25
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 20
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 20
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 17
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 11
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 10
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 8
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 7
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 7
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 5
- 238000001291 vacuum drying Methods 0.000 description 5
- 239000011162 core material Substances 0.000 description 4
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 4
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 3
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000011946 reduction process Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- -1 batteries Substances 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000011143 downstream manufacturing Methods 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000005549 size reduction Methods 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Drying Of Solid Materials (AREA)
Abstract
Description
本発明は、乾燥しようとする対象物を乾燥するための自動乾燥システムに関する。 The present invention relates to an automatic drying system for drying an object to be dried.
配送用容器としては、その外側面に、シート状の熱または光で可視画像を可逆的に表示および消去可能な可視情報記録媒体を固定して表示するものがある。この配送用容器の配送システムが、特許文献1に記載されている。 As a delivery container, there is a container in which a visible information recording medium capable of reversibly displaying and erasing a visible image with sheet-like heat or light is fixed and displayed on an outer surface thereof. This delivery container delivery system is described in Patent Document 1.
この配送システムは、コンテナ受け入れラインから順に洗浄ライン、乾燥ライン、可視情報記録媒体の消去機および印字装置からなる消去・印字ライン、物品投入機および物品搬出ラインを備えている。この配送用容器は、順にこれらのラインに移動して、消去・印字ラインで配送に必要な情報を消去した後に印字して、物品を入れた配送用容器を発送して、その後に配送用容器を回収して洗浄ラインに復帰させるようになっている。 This delivery system includes a cleaning line, a drying line, an erasing / printing line composed of a visual information recording medium erasing machine and a printing device, an article loading machine, and an article carrying-out line in order from the container receiving line. This delivery container moves to these lines in order, erases the information necessary for delivery on the erasing / printing line, prints it, ships the delivery container containing the articles, and then delivers the delivery container. Is recovered and returned to the cleaning line.
ところで、特許文献1の配送システムでは、この種の配送用容器の場合には、配送用容器をライン上で配送している間に、乾燥ラインにおいて流しながら短い乾燥時間で配送用容器の乾燥処理が終了できるので問題ない。 By the way, in the delivery system of Patent Document 1, in the case of this type of delivery container, while the delivery container is being delivered on the line, the delivery container is dried in a short drying time while flowing in the drying line. Can be finished, so there is no problem.
しかしながら、乾燥処理に時間が掛かる対象物として、例えば長尺の薄膜を芯材に対してロール状に巻くことで形成されている対象物を乾燥する場合には、乾燥処理には時間が掛かるので、この種のロール状の対象物を、特許文献1に記載の乾燥ラインに流しながら乾燥処理を行ったとしても、単にこのような乾燥ラインに流すだけでは、乾燥処理に時間が掛かる対象物の乾燥処理を終了させることができない。 However, as an object that takes time for the drying process, for example, when an object formed by winding a long thin film around a core material in a roll shape is dried, the drying process takes time. Even if this kind of roll-shaped object is subjected to a drying process while flowing through the drying line described in Patent Document 1, simply passing it through such a drying line can cause the drying process to take a long time. The drying process cannot be terminated.
本発明は、上記に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、乾燥に時間が掛かる対象物を、ラインを止めることなく順次効率良く乾燥させることができる自動乾燥システムを提供することにある。 The present invention has been made in view of the above, and an object of the present invention is to provide an automatic drying system capable of sequentially and efficiently drying an object that takes time to dry without stopping the line. is there.
上記課題を達成するため、請求項1に記載の自動乾燥システムは、複数の対象物を乾燥するための自動乾燥システムであって、前記対象物を投入する投入搬送部と、前記対象物を乾燥させるための複数の乾燥炉と、前記乾燥炉で乾燥処理された前記対象物を払い出しする払出搬送部と、前記投入搬送部により搬送されてくる前記対象物を、前記複数の乾燥炉のいずれかに移して、前記乾燥炉で乾燥処理された前記対象物を前記払出搬送部側に運ぶ移載機と、を備えることを特徴とする。 In order to achieve the above object, an automatic drying system according to claim 1 is an automatic drying system for drying a plurality of objects, wherein an input conveyance unit that inputs the objects, and the objects are dried. A plurality of drying furnaces, a payout transport unit for delivering the object dried in the drying furnace, and the object transported by the input transport unit is one of the plurality of drying furnaces And a transfer machine for transporting the object dried in the drying furnace to the payout transport unit side.
請求項1に記載の自動乾燥システムでは、投入搬送部が対象物を投入すると、移載機は、投入搬送部により搬送されてくる対象物を、一旦複数の乾燥炉のいずれかに投入し、移載機は、その後乾燥炉で必要な処理時間をかけて乾燥処理された対象物を払出搬送部側に戻して運ぶので、乾燥処理に時間が掛かる対象物を、ラインを止めることなく順次効率良く乾燥させることができる。 In the automatic drying system according to claim 1, when the input conveyance unit inputs the object, the transfer machine once inputs the object conveyed by the input conveyance unit into any of the plurality of drying furnaces, The transfer machine then transports the objects that have been dried in the drying furnace over the processing time required to return to the delivery / conveyance unit side, so that the objects that take a long time to dry can be efficiently processed without stopping the line. It can be dried well.
請求項2に記載の自動乾燥システムは、前記複数の乾燥炉から構成される第1乾燥炉群と、前記第1乾燥炉群に対して間隔をおいて配置されている前記複数の乾燥炉から構成される第2乾燥炉群を構成しており、前記第1乾燥炉群と前記第2乾燥炉群の間には、前記移載機が配置されており、前記移載機は、前記第1乾燥炉群と前記第2乾燥炉群の間に配置されている搬送ガイド部と、前記搬送ガイド部に沿って移動して、前記第1乾燥炉群と前記第2乾燥炉群のいずれかの前記乾燥炉の前に位置決めされる移載用の移動体と、を有し、前記移載用の移動体は、前記乾燥炉の内部に前記対象物を投入し、乾燥後の前記対象物を前記乾燥炉の内部から取り出す構成としたことを特徴とする。
The automatic drying system according to
請求項2に記載の自動乾燥システムでは、対象物は、移載用の移動体を用いて、第1乾燥炉群と第2乾燥炉群の中の空いている乾燥炉に投入して乾燥処理できるので、対象物の乾燥処理の効率化が図れる。
In the automatic drying system according to
請求項3に記載の自動乾燥システムでは、前記乾燥炉は、複数の内槽を有する炉本体部と、前記複数の内槽をそれぞれ開閉可能に閉じる複数の自動扉と、を有し、前記炉本体部は、前記複数の内槽の間の領域には、前記内槽を開けたいずれの前記自動扉をも収納可能な扉収納部を有することを特徴とする。
The automatic drying system according to
請求項3に記載の自動乾燥システムでは、各前記内槽を開けたいずれの前記自動扉であっても扉収納部には共通の収納部として収納できるので、乾燥炉の炉本体部の小型化を図ることができる。
In the automatic drying system according to
請求項4に記載の自動乾燥システムでは、前記炉本体部は、各前記内槽を開けたいずれの前記自動扉であっても案内可能な共通のガイドレールを有することを特徴とする。 In the automatic drying system according to claim 4, the furnace body has a common guide rail that can guide any of the automatic doors in which the inner tubs are opened.
請求項4に記載の自動乾燥システムでは、複数の内槽を有していても、各内槽を閉める自動扉は、共通のガイドレールにより案内できるので、乾燥炉の炉本体部の構造を簡単化することができる。 In the automatic drying system according to claim 4, since the automatic door that closes each inner tank can be guided by a common guide rail even if it has a plurality of inner tanks, the structure of the furnace body of the drying furnace can be simplified. Can be
請求項5に記載の自動乾燥システムは、前記乾燥炉の前記内槽内では、前記対象物を、大気圧で昇温をして、大気圧または真空状態で加熱をし、大気圧で降温する乾燥モードにより乾燥することを特徴とする。 The automatic drying system according to claim 5, wherein in the inner tank of the drying furnace, the object is heated at atmospheric pressure, heated at atmospheric pressure or in a vacuum state, and lowered at atmospheric pressure. It is characterized by drying in a drying mode.
請求項5に記載の自動乾燥システムでは、内槽での庫内の昇温と降温は、共に大気圧で行え、対象物の加熱は大気圧または真空状態で加熱をするために、通常行われている昇温と降温を含めてすべての工程を真空中で行う乾燥処理に比べて、本発明では昇温と降温の作業効率が高い。従って、加熱炉の内槽を用いて乾燥しようとする対象物の乾燥工程に掛かる時間を短縮でき、トータルの乾燥処理時間の短縮が図れる。 In the automatic drying system according to claim 5, both the temperature rise and the temperature drop in the inner tank can be performed at atmospheric pressure, and the heating of the object is normally performed in order to heat at an atmospheric pressure or in a vacuum state. Compared to the drying process in which all steps including the temperature rise and temperature drop are performed in a vacuum, the working efficiency of the temperature rise and temperature drop is high in the present invention. Therefore, the time required for the drying process of the object to be dried using the inner tank of the heating furnace can be shortened, and the total drying processing time can be shortened.
請求項6に記載の自動乾燥システムは、乾燥炉の内槽内に熱交換器を設けたことを特徴とする。 The automatic drying system according to claim 6 is characterized in that a heat exchanger is provided in the inner tank of the drying furnace.
請求項6に記載の自動乾燥システムでは、乾燥炉の内槽内に熱交換器を設けて槽内を直接的に冷却することができ、冷却効率の上昇が図れる。 In the automatic drying system according to the sixth aspect, the heat exchanger can be provided in the inner tank of the drying furnace to directly cool the inside of the tank, and the cooling efficiency can be increased.
本発明によれば、乾燥に時間が掛かる対象物を、ラインを止めることなく順次効率良く乾燥させることができる自動乾燥システムを提供できる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the automatic drying system which can dry efficiently the target which takes time for drying sequentially without stopping a line can be provided.
以下、図面を用いて、本発明を実施するための形態(以下、実施形態と称する)を説明する。 DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention (hereinafter referred to as embodiments) will be described with reference to the drawings.
図1は、本発明の自動乾燥システムの実施形態を示す斜視図である。図2は、図1に示す自動乾燥システム1において、対象物であるワーク(一例としてロール200)とロール冶具の搬送経路をより分かり易く示す斜視図である。図3は、図1に示す自動乾燥システム1の平面図であり、図4は、図1に示す自動乾燥システム1の正面図である。図5は、図1に示す自動乾燥システム1の側面図である。
FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of the automatic drying system of the present invention. FIG. 2 is a perspective view showing, in an easy-to-understand manner, the workpiece (the
図1と図2に示すように、自動乾燥システム1は、乾燥機室R内に収容されている。この自動乾燥システム1は、投入コンベアユニット2と、払出コンベアユニット3と、移載機10と、複数台の乾燥炉21,22と、操作盤OPを備える。図1から図4の例では、4台の乾燥炉21と2台の乾燥炉22が、Y1、Y2方向に配列されている。
As shown in FIGS. 1 and 2, the automatic drying system 1 is accommodated in a dryer room R. The automatic drying system 1 includes an
図1と図2に示す操作盤OPは、制御部100を有しており、制御部100は、乾燥炉21,22の稼働状況、乾燥炉21,22における温度、圧力、処理時間の管理、あるいは乾燥炉21,22における各種の設定機能等を有し、自動乾燥システム1の全体の操作を可能とする集中操作機能を有する。操作盤OPは、メンテナンス時には、専用の遠隔移動式のリモコンを使用して、各種の自動化機能を操作する機能も有する。
The operation panel OP shown in FIGS. 1 and 2 includes a
また、自動乾燥システム1の操作盤OPは、乾燥炉21,22による乾燥処理の状況は、上流側の処理工程のシステムや下流側の処理工程のシステムへ情報伝達ができる機能を有する。情報伝達の内容例としては、乾燥対象物の乾燥処理の温度、処理時間、真空、加圧処理等が実施されたかの情報等である。
Further, the operation panel OP of the automatic drying system 1 has a function of transmitting information on the state of the drying process by the drying
例えば半導体、電池、材料関係の製造には、加熱工程(乾燥、アニ―ル、ベーキング等)は必要不可欠なものであるが、一方、乾燥システムによる乾燥処理時間や設置場所、ランニングコストの各要件が重要である。製造者が、乾燥システムを導入する際の選定のための判断要素としては、乾燥効率(乾燥方法)、乾燥システムの設置スペースの大きさ、乾燥システムの自動化等の技術である。 For example, heating processes (drying, annealing, baking, etc.) are indispensable for manufacturing semiconductors, batteries, and materials. On the other hand, there are requirements for drying processing time, installation location, and running cost by the drying system. is important. Factors for selection when a manufacturer introduces a drying system include techniques such as drying efficiency (drying method), the size of the installation space of the drying system, and automation of the drying system.
図3に示すように、乾燥機室R内は、乾燥機械RMに接続されており、この乾燥機械RMを動作させることで、乾燥機室R内の所定の湿度と温度を予め定めた値に維持することができる。 As shown in FIG. 3, the dryer room R is connected to a dryer machine RM, and by operating the dryer machine RM, predetermined humidity and temperature in the dryer room R are set to predetermined values. Can be maintained.
図1から図5に示す自動乾燥システム1では、乾燥しようとする対象物としては、例えばコンデンサ(キャパシタ)、電池(電極、セパレータ)等の製造に使用される長尺の薄膜を巻いたロール200である。自動乾燥システム1を用いて、このロール200から水分及び溶剤を飛ばす(乾燥する)ことが必要である。特に乾燥の目安としては、対象物(ワーク)の含有水分量を、例えば数ppm以下(メーカによって異なり、決まった値ではない)まで飛ばす必要があるために、場合によっては、ロール200の加熱時間は数十時間必要となる。
In the automatic drying system 1 shown in FIGS. 1 to 5, as an object to be dried, for example, a
この自動乾燥システム1により、乾燥しようとするロール200の形状例は、図6と図7に示している。図6は、乾燥しようとする対象物としてのロール200と、この複数のロール200を着脱可能に保持するためのロール冶具201を示している。図7は、図6に示す1つのロール200の形状例を示している。これらのロール200とロール冶具201は、後で説明する乾燥炉の内槽173内に配置されている状態を示している。
Examples of the shape of the
ロール200は、例えば長尺の薄膜を金属製の芯材202に巻いて形成されたものであり、マガジンともいう。この薄膜は、例えば電極を形成するのに用いられる。このロール200の寸法例を挙げれば、図7に示すロール200の直径200Dが300〜600mm、長さ200Lが100〜200mmであり、芯材202の長さ202Lは100〜300mmであるが、特に限定されない。
The
図6に示すように、ロール冶具201は、金属製であり、基部201Aと、複数の支持部201Bを有している。各ロール200の芯材202の両端部は、支持部201B,201Bにより、それぞれ着脱可能に支持されている。図6の例では、1つのロール冶具201において、3つのロール200が着脱可能に支持されているが、1つのロール冶具201が支持可能なロール200の数は、1つ、2つ、あるいは4つ以上であっても良く、特に限定されない。
As illustrated in FIG. 6, the
次に、図1から図3を参照して、投入コンベアユニット2と払出コンベアユニット3について説明する。
Next, the
図1から図3に示すように、投入コンベアユニット2と払出コンベアユニット3は、例えば複数の搬送ローラを配列したローラコンベアである。投入コンベアユニット2は、投入して搬送する方向であるX1方向に、乾燥処理をしようとするロール200を載せた複数のロール冶具201を搬送可能な直線型の投入搬送部であり、投入口2Aを有している。この投入口2Aには、この自動乾燥システム1の前段の処理工程のシステムから、乾燥処理をしようとするロール200を載せた複数のロール冶具201が送られてくる。
As shown in FIGS. 1 to 3, the
払出コンベアユニット3は、搬送して払い出す方向であるX2方向に、乾燥処理済みのロール200を載せた複数のロール冶具201を搬送して後段の処理工程のシステム側へ払出し可能な直線型の払出搬送部であり、払出口3Aを有している。これらのX1、X2方向は、逆方向である。払出口3Aから払出しされた乾燥処理済みのロール200を載せた複数のロール冶具201は、後段の処理工程のシステムに送られる。
The
これにより、図示しないモータが、図1に示す制御部100の制御により駆動されることで、投入コンベアユニット2は、ロール200を載せた複数のロール冶具201を、順次投入口2AからX1方向に向けて移載機10側へ搬送可能である。また、図示しないモータが、図1に示す制御部100の制御により駆動されることで、払出コンベアユニット3は、移載機10側から、乾燥処理済みのロール200を載せた複数のロール冶具201を、順次X2方向に向けて払出口3Aに払出し可能である。
As a result, a motor (not shown) is driven by the control of the
図3に示すように、第1乾燥炉群18と第2乾燥炉群19が、間隔Gを離して、Y1,Y2方向に沿って平行に配置されている。Y1,Y2方向は、X1方向とX2方向に直交している。この例では、第1乾燥炉群18は、2台の乾燥炉21と、1台の乾燥炉22により構成され、第2乾燥炉群19も、2台の乾燥炉21と、1台の乾燥炉22により構成されている。
As shown in FIG. 3, the first
第1乾燥炉群18の2台の乾燥炉21と1台の乾燥炉22と、第2乾燥炉群19の2台の乾燥炉21と1台の乾燥炉22は、それぞれ間隔Gを離して対面した位置にしかもそれぞれ直列に配置されている。乾燥炉21は、2つの乾燥用の内槽173を有する2槽一体型の真空乾燥炉であり、乾燥炉22は、1つの内槽173を有する1槽一体型の真空乾燥炉である。なお、乾燥炉21と乾燥炉22の構造例は、後で説明する。
The two drying
次に、図1から図3に示す移載機10の構造例を説明する。
Next, a structural example of the
図1から図3に示すように、移載機10は、投入コンベアユニット2上の乾燥処理前のロール200を載せたロール冶具201を受け取って、そのロール冶具201を予め定めた位置の乾燥炉21の内槽173内あるいは乾燥炉22の内槽173内に投入することができる。そして、ロール200が乾燥炉21の内槽173内あるいは乾燥炉22の内槽173内で真空乾燥された後、移載機10は、乾燥処理後のロール200を載せたロール冶具201を取り出して、そのロール冶具201を払出コンベアユニット3側に受け渡す役割を有している。
As shown in FIG. 1 to FIG. 3, the
図1から図3に示すように、移載機10は、搬送ガイド部30と、受け取り側の安全カバー31と受け渡し側の安全カバー32と、移載用の移動体40を有している。
As shown in FIGS. 1 to 3, the
図3に示すように、搬送ガイド部30は、2本の平行なガイドレール30A,30Aから成り、搬送ガイド部30は、第1乾燥炉群18と第2乾燥炉群19の間隔Gの位置において、Y1,Y2方向に沿って配置されている。
As shown in FIG. 3, the
受け取り側の安全カバー31は、投入コンベアユニット2の終端部と、搬送ガイド部30の始端部とを囲むことで、安全性を確保する透明な安全柵である。この安全カバー31では、天井と、側面とを透明なカバー部材が覆っている。同様にして、受け渡し側の安全カバー32は、排出コンベアユニット3の始端部と、搬送ガイド部30の終端部とを囲むことで、安全性を担保する透明なカバーである。この安全カバー32では、天井と、側面とを透明なカバー部材が覆っている。安全カバー31,32は、所定の位置に扉を備えており、メンテナンス等でこの扉を開く場合には、投入コンベアユニット2と払出コンベアユニット3と移載機10の動作は、安全性を確保するために停止する。
The
図1から図3に示す移載機10の移載用の移動体40は、上述した搬送ガイド部30の2本のガイドレール30A,30Aに沿ってY1方向あるいはY2方向に沿って移動して位置決め可能である。
1 to 3 moves along the Y1 direction or the Y2 direction along the two
図8は、移載機10の移載用の移動体40の構造例と、搬送ガイド部30の2本のガイドレール30A,30Aの一部を示す斜視図である。
FIG. 8 is a perspective view showing an example of the structure of the moving
移載用の移動体40は、図1と図2に示す安全カバー31と安全カバー32との間を、Y1方向あるいはY2方向に移動して位置決め可能である。移載用の移動体40は、図2に示す投入コンベアユニット2上の乾燥処理前のロール200を載せたロール冶具201を受け取って、Y1方向に移動して位置決めして、そのロール冶具201を予め定めた位置の乾燥炉21の内槽173内あるいは乾燥炉22の内槽173内に投入する。その後、移載用の移動体40は、図2に示す乾燥処理後のロール200を載せたロール冶具201を内槽173内から取り出して、Y1方向に移動して、そのロール冶具201を払出コンベアユニット3側に受け渡す。このように、移載用の移動体40は、投入・払出し用のスタッカである。
The moving
図8に示すように、移載用の移動体40は、本体部41と、4つの車輪42と、昇降部43と、昇降用サーボモータ44と、トラバーサ用サーボモータ45と、ラック46等を有している。4つの車輪42は、本体部41の下部の四隅部分に取り付けられており、2本のガイドレール30Aに載っている。これにより、本体部41は、2本のガイドレール30Aに沿って、Y1方向とY2方向に直線的に案内可能である。ラック46と2本のガイドレール30A,30Aは、床面FFに固定されており、ラック46は、2本のガイドレール30Aの間において、2本のガイドレール30Aと平行になっている。
As shown in FIG. 8, the moving
図8に示す本体部41は、基部47と、取付台48を有している。この取付台48は、天井部49と、4本の支柱49Aを有している。天井部49は、4本の支柱49Aを用いて、基部47の上面に対して、高さHだけ離して保持されている。
A
昇降部43は、例えば長方形の板部材である。この昇降部43には、3カ所にスライドブッシュ50が配置されている。天井部49と基部47との間には、3本のガイドシャフト51が、Z1、Z2方向に取り付けられている。各ガイドシャフト51は、各スライドブッシュ50を通っている。これにより、昇降部43は、天井部49と基部47との間で、3本のガイドシャフト51に沿って、Z1方向(上方向)とZ2方向(下方向)に上下移動して位置決め可能になっている。
The elevating
図9は、図8に示す移載用の移動体40の構造例を示している。図9(A)は、図8に示す基部47と、昇降部43等を示す側面図である。図9(B)は、基部47と2本のガイドレール30A等を示す側面図である。
FIG. 9 shows a structural example of the moving
図8と図9(A)に示すように、昇降部43には、ボールナット52が設けられている。図8に示すように、このボールナット52は、2つのスライドブッシュ50の間の位置に設けられており、このボールナット52にはボールねじ53が噛み合っている。ボールねじ53の上端部は、天井部49において回転可能に支持され、ボールねじ53の下端部は、基部47において回転可能に支持されている。
As shown in FIGS. 8 and 9A, the elevating
図9(A)に示すように、昇降用サーボモータ44は、基部47上に固定されている。ボールねじ53の下端部は、ホイール54を有している。昇降用サーボモータ44の出力軸44Aは、ホイール55を有している。ホイール54,55は、歯付きベルト56により連結されている。これにより、昇降用サーボモータ44が正回転あるいは逆回転すると、ボールねじ53が正回転あるいは逆回転することで、昇降部43を、Z1方向に上昇して位置決めしたり、Z2方向に下降して位置決めすることができる。このように、図9(A)に示すように、昇降用サーボモータ44と、ホイール54,55と、歯付きベルト56と、ボールねじ53と、ボールナット52は、昇降部43をZ1方向とZ2方向に関して移動して位置決めするための昇降位置決め部57を構成している。昇降用サーボモータ44は、サーボモータ制御部100Aの指令により動作する。このサーボモータ制御部100Aは、図1に示す操作盤OPの制御部100に含まれている。
As shown in FIG. 9A, the lifting
図9(B)に示すように、トラバーサ用サーボモータ45は、基部47上に固定されている。トラバーサ用サーボモータ45の出力軸45Aは、ピニオン58を有しており、このピニオン58は、ラック46に噛み合っている。これにより、トラバーサ用サーボモータ45が、正回転あるいは逆回転すると、移載用の移動体40の本体部41は、Y1方向(前進方向)あるいはY2方向(後退方向)に移動して位置決め可能である。トラバーサ用サーボモータ45は、サーボモータ制御部100Aの指令により動作する。
As shown in FIG. 9B, the
次に、図8と図10と図11を参照して、昇降部43の構造例を説明する。
Next, a structural example of the elevating
図10は、昇降部43の構造例を示す斜視図であり、図11は、昇降部43の構造例を示す正面図である。
FIG. 10 is a perspective view showing a structural example of the lifting
図8と図10に示すように、昇降部43は、板状の部材であり、この昇降部43の上面には、第1スライドテーブル61と、第2スライドテーブル62を有している。第1スライドテーブル61は下台であり、第2スライドテーブル62は上台である。図11に示すように、第1スライドテーブル61の底面は、2つのガイドレール受け部61Aを有している。2つのガイドレール受け部61Aは、2本のガイドレール61Bに載っている。2本のガイドレール61Bは、昇降台43の上面に固定されている。
As shown in FIGS. 8 and 10, the elevating
図10と図11に示すように、昇降台43の上面には、第1サーボモータ71が取り付けられており、第1サーボモータ71の出力軸に連結されたボールねじ72の端部は、支持部材73に回転可能に支持されている。ボールねじ72は、ボールナット74に噛み合っており、ボールナット74は、第1スライドテーブル61の下面に固定されている。これにより、第1サーボモータ71が、正回転あるいは逆回転すると、ボールねじ72が正回転あるいは逆回転することで、第1スライドテーブル61は、昇降台43上において、X1方向に移動して位置決めしたり、X2方向に移動して位置決めすることができる。
As shown in FIGS. 10 and 11, a
図10と図11に示すように、第2スライドテーブル62の底面は、複数のガイドレール受け部62Aを有している。これらのガイドレール受け部62Aは、2本のガイドレール62Bに載っている。2本のガイドレール62Bは、第1スライドテーブル61の上面に固定されている。
As shown in FIGS. 10 and 11, the bottom surface of the second slide table 62 has a plurality of guide
図10に示すように、第1スライドテーブルの上面には、第2サーボモータ81が取り付けられており、第2サーボモータ81の出力軸に連結されたボールねじ82の端部は、支持部材83に回転可能に支持されている。ボールねじ82は、ボールナット84に噛み合っており、ボールナット84は、第2スライドテーブル62に固定されている。これにより、第2サーボモータ81が、正回転あるいは逆回転すると、ボールねじ82が正回転あるいは逆回転することで、第2スライドテーブル62は、第1スライドテーブル61上において、X1方向に移動して位置決めしたり、X2方向に移動して位置決めすることができる。
As shown in FIG. 10, a
第1サーボモータ71と第2サーボモータ81は、サーボモータ制御部100Bの指令により動作する。このサーボモータ制御部100Bは、図1に示す操作盤OPの制御部100に含まれている。
The
図11に示すように、第2スライドテーブル62の上には、乾燥処理前のロール200を載せたロール冶具201あるいは、乾燥処理後のロール200を載せたロール冶具201を載せるようになっている。第1スライドテーブル61と第2スライドテーブル62がスライド移動することで、第1スライドテーブル61と第2スライドテーブル62は、乾燥処理前のロール200を載せたロール冶具201を、図1に示す乾燥炉21の内槽173内あるいは乾燥炉22の内槽173内に投入することができる。また、第1スライドテーブル61と第2スライドテーブル62がスライド移動することで、乾燥処理後のロール200を載せたロール冶具201を、図1に示す乾燥炉21の内槽173内あるいは乾燥炉22の内槽173内から取り出す役割を果たすことができる。
As shown in FIG. 11, on the second slide table 62, a
次に、図12と図13を参照して、図1に示す1槽一体型の乾燥炉22の構造例を説明する。
Next, with reference to FIG. 12 and FIG. 13, the structural example of the drying
図12は、1槽一体型の乾燥炉22の正面図であり、図13は、1槽一体型の乾燥炉22の側面図である。
FIG. 12 is a front view of the single tank integrated drying
図12に示すように、1槽一体型の乾燥炉22は、1つの内槽173を有する乾燥炉であり、好ましくは真空乾燥炉である。乾燥炉22は、炉本体部170と、1つの自動扉171と、上下位置のガイドレール172,172と、1つの内槽173と、アクチュータ174を有している。炉本体部170内には、1つの内槽73が設けられている。
As shown in FIG. 12, the one tank integrated drying
炉本体部170の内槽173は、真空乾燥用の槽であり、真空気圧に耐えられる容器である。一対のガイドレール172,172は、内槽173の上側と下側にY1方向に平行に固定されている。自動扉171は、外側自動扉171Aと内側自動扉171Bから成り、自動扉171は、内槽173を密封状態で閉じる。自動扉171は、ガイドレール172,172に沿ってY1方向にスライド可能に取り付けられている。
The
図13に示すように、自動扉171は、外側自動扉171Aと内側自動扉171Bを有しており、内側自動扉171Bは、内槽173との間の気密性を保つ扉である。外側自動扉171Aは、内側自動扉前後開閉用シリンダ171Cを有している。内槽173の開口部173Pの周囲には、パッキン部の冷却配管171Dが配置されている。
As shown in FIG. 13, the
これにより、図13において、この内側自動扉前後開閉用シリンダ171Cは、制御部100の指令により作動すると、内側自動扉171Bを外側自動扉171A側に引くことで、内側自動扉171Bを内槽173の開口部173Pのパッキン部から離すことで、内側自動扉171Bによる開口部173Pの気密性の解除を行うことができる。
Accordingly, in FIG. 13, when the inner automatic door front / rear opening /
その後、図12において、制御部100の指令により、流体圧シリンダ等のアクチュエータ174が作動すると、自動扉171は、左側の開口部173Pを閉じた位置から、右側の開いた位置まで、一対のガイドレール172,172に沿ってY1方向に、自動的にスライドして開けることができる。
Thereafter, in FIG. 12, when an
逆に、内側自動扉171Bにより内槽173の開口部173Pのパッキン部に密着させる場合には、内槽173内を真空引きして内側自動扉171Bをパッキン部側に引きこむことで、内側自動扉171Bによる開口部173Pの気密性を確保することができる。
Conversely, when the inner
ここで、炉本体部170のシステム構造例を、図13を参照して説明する。
Here, an example of the system structure of the
図13に示すように、炉本体部170の内槽173は、ヒータ内蔵の整流板175と、冷却コイル176と、シロッコファン177と、ドライエア供給口178Aと、窒素供給口178Bと、真空吸引口178Cと、排気口179を有している。
As shown in FIG. 13, the
炉本体部170の内槽173は、直方体型の空間であり、この内槽173の内壁部分には、ヒータ内蔵の整流板175と、冷却コイル176と、シロッコファン177と、ドライエア供給口178Aと、窒素供給口178Bと、真空吸引口178Cと、排気口179が配置されている。ヒータ内蔵の整流板175と冷却コイル176は、例えば内槽173の上面と下面にそれぞれ配置されている。ヒータ内蔵の整流板175は、冷却コイル176よりも内側に位置されている。
The
シロッコファン177は、内槽173の奥の面の中央位置に配置されている。シロッコファン177は、内槽173内の熱風を循環させるためのファンであり、シロッコファン177は、磁気シール177Aを介してモータ177Bに接続されている。制御部100の指令によりモータ177Bが駆動することで、シロッコファン177が回転して、炉内気流RKを内槽173内に循環させることができる。
The
なお、乾燥する対象物(ワーク)の種類によっては、シロッコファンではなくプロペラファンであっても良い。モータ177Bは、回転制御機構付きで、ベアリング部の熱対策のために、冷却水循環装置184から冷却水が供給されることで、ベアリング部を水冷式で冷やすようになっている。
Depending on the type of object (work) to be dried, a propeller fan may be used instead of a sirocco fan. The
図13に示すように、ドライエア供給口178Aは、ドライエア供給部180に対して、バルブ180Bを介して接続されており、ドライエア供給部180のドライエアは、ドライエア供給口178Aを介して、内槽173内に供給できる。窒素供給口178Bは、窒素ガス供給部181に対して、バルブ181Bとヒータ181Hを介して接続されており、窒素ガス供給部181からの窒素ガスは、窒素供給口178Bを介して、内槽173内に供給できる。ヒータ181Hを動作することで、窒素ガスを加熱して乾燥炉の内槽173内に導入できる。バルブ180B、181B、182B等は、制御部100の指令により開閉可能である。なお、窒素ガスに代えて、他の種類の不活性ガスを用いても良い。
As shown in FIG. 13, the dry
図13に示す冷却トラップ182は、内槽173と真空ポンプ183の間に配置され、真空加熱処理によってロール200から生じるガスや溶剤成分をトラップする。真空吸引口178Cは、バルブ182Bと、冷却トラップ182を介して、真空ポンプ183に接続されており、制御部100の指令により、真空ポンプ183が動作すると、内槽173内を真空吸引することができる。排気口179は、バルブ179Bと排気部溶剤トラップ179Aに接続されており、内槽173内の窒素ガスを含む排気からこの排気部溶剤トラップ179Aにより溶剤が取り除かれて、窒素を排気する。
The
図13に示す冷却コイル176は、冷却水循環装置184からの冷却水を循環させることにより、内槽173内を冷却するラジエタである。ヒータ内蔵の整流板175は、制御部100の指令により通電することで、内槽73内を加熱する加熱器であり、整流板と兼用している。ヒータ内蔵の整流板175のヒータは、例えばパイプヒータ等である。
The cooling
図14は、図1に示す2槽一体型の乾燥炉21を示す正面図である。
FIG. 14 is a front view showing the two-tank integrated drying
図14に示す2槽一体型の乾燥炉21は、図12と図13に示す1槽一体型の乾燥炉22と、基本的には同様の構造を有しているので、同様の構造の説明を省略する。乾燥炉21が2つの内槽173,173を有しているのに対して、乾燥炉22は上述したように1つの内槽173を有している点が異なる。このため、乾燥炉21では、2つの内槽173,173に対応する位置に、それぞれ自動扉171を有している。
The two tank integrated drying
図14(A)と図14(B)に示すように、左側の自動扉171は左側の内槽173の開口部173Pを覆っており、右側の自動扉171は右側の内槽173の開口部173Pを覆っている。左右の自動扉171,171は、制御部100の指令によりアクチュータ174を動作させることにより、上下位置のガイドレール172,172に沿って、Y1、Y2方向にスライド可能に支持されている。
As shown in FIGS. 14A and 14B, the left
図13に示す乾燥炉21においては、扉収納部190が、左右の自動扉171,171の間に、設けられている。これにより、図14(A)に示すように、左側の自動扉171をY1方向にスライドすることで、扉収納部190に収納できる。同様にして、図14(B)に示すように、右側の自動扉171をY2方向にスライドすることで、扉収納部190に収納できる。
In the drying
このように、乾燥炉21は2つの内槽173,173を有しており、それぞれに自動扉171,171が配置されている。しかも、左右の自動扉171,171は、いずれか一方を開けると、共通の扉格納部分である扉収納部190に収納することができる。これにより、2槽一体型の乾燥炉21をコンパクト化することができ、乾燥炉の占有スペースの省スペース化が図れる。
Thus, the drying
また、図1と図2に例示するように、第1乾燥炉群18と第2乾燥炉群19は、共に例えば2台の2槽一体型の乾燥炉21と、1台の1槽一体型の乾燥炉22を組み合わせて構成されている。このように、第1乾燥炉群18と第2乾燥炉群19における2槽一体型の乾燥炉21の設置数と、1台の1槽一体型の乾燥炉22の設置数を適宜選択することにより、実際の工場の建屋の大きさやロール200の乾燥処理数(ワークの数)に応じて、自由に設定することができる。
Moreover, as illustrated in FIGS. 1 and 2, the first
第1乾燥炉群18と第2乾燥炉群19がガイドレール部30A,30Aの両側に配置されているので、乾燥処理前のロール200を載せたロール冶具201を、乾燥炉21,22に対して、効率よく投入して乾燥処理を行うことができる。
Since the first
図15は、図1に示す2槽一体型の乾燥炉21と、1槽一体型の乾燥炉22の内槽173の構造例を示す図である。
FIG. 15 is a diagram illustrating a structure example of the
図15に示すように、内槽173は、上段乾燥部231と下段乾燥部232を有している。上段乾燥部231は、ロール冶具201を着脱可能に載せるための一対の支持部233を有している。同様にして、下段乾燥部232も、ロール冶具201を着脱可能に載せるための一対の支持部234を有している。内槽173内にはこれらの支持部233,234を設けることで、ロール冶具201をX1方向(図15における紙面垂直下方向)に挿入し、X2方向(図15における紙面垂直上方向)に取り出すことができる。
As shown in FIG. 15, the
次に、図16と図17を参照して、移載機10の移載用の移動体40の動作により、乾燥炉21,22の内槽173内に、乾燥処理前のロール200を載せたロール冶具201を投入したり、乾燥処理後のロール200を載せたロール冶具201を内槽173内から取り出す動作例を説明する。
Next, with reference to FIG. 16 and FIG. 17, the
図16は、移載機40の移載用の移動体40により第1乾燥炉群18の乾燥炉21,22の内槽173内に、乾燥処理前のロール200を載せたロール冶具201を投入したり、乾燥処理後のロール200を載せたロール冶具201を内槽173内から取り出す動作を示す図である。図17は、移載機40の移載用の移動体40により第2乾燥炉群19の乾燥炉21,22の内槽173内に、乾燥処理前のロール200を載せたロール冶具201を投入したり、乾燥処理後のロール200を載せたロール冶具201を内槽173内から取り出す動作を示す図である。
FIG. 16 shows that the
図8に示す昇降部43は、Z1方向(上方向)とZ2方向(下方向)に昇降して位置決めできることにより、図16に示す内槽173の上段乾燥部231あるいは内槽173の下段乾燥部232に対応する位置にそれぞれ位置決めすることができる。
8 can be positioned by moving up and down in the Z1 direction (upward direction) and the Z2 direction (downward direction), so that the
図16(A)に示すように、移載用の移動体40の第1スライドテーブル61と第2スライドテーブル62が、昇降部43からX2方向にスライドして、乾燥処理前のロール200を載せたロール冶具201を、第1乾燥炉群18側の乾燥炉21(22)の内槽173の上段乾燥部231内に投入することができる。同様にして、図16(B)に示すように、移載用の移動体40の第1スライドテーブル61と第2スライドテーブル62が、昇降部43からX2方向にスライドして、乾燥処理前のロール200を載せたロール冶具201を、第1乾燥炉群18側の乾燥炉21(22)の内槽173の下段乾燥部232内に投入することができる。
As shown in FIG. 16A, the first slide table 61 and the second slide table 62 of the moving
ロール冶具201を内槽173内に投入した後は、ロール冶具201は、図15(A)に示すように支持部233に載るか、図15(B)に示すように支持部234に載ることから、移載用の移動体40の第1スライドテーブル61と第2スライドテーブル62は、内槽173内から昇降部43側にX1方向にスライドして戻す。
After the
また、図17(A)に示すように、移載用の移動体40の第1スライドテーブル61と第2スライドテーブル62が、昇降部43からX1方向にスライドして、乾燥処理前のロール200を載せたロール冶具201を、第2乾燥炉群19側の乾燥炉21(22)の内槽173の上段乾燥部231内に投入することができる。同様にして、図17(B)に示すように、移載用の移動体40の第1スライドテーブル61と第2スライドテーブル62が、昇降部43からX1方向にスライドして、乾燥処理前のロール200を載せたロール冶具201を、第2乾燥炉群19側の乾燥炉21(22)の内槽173の下段乾燥部232内に投入することができる。
Further, as shown in FIG. 17A, the first slide table 61 and the second slide table 62 of the moving
ロール冶具201を投入した後は、ロール冶具201は、図15(A)に示すように乾燥処理前のロール200を載せたロール冶具201は支持部233に載るか、図15(B)に示すように支持部234に載ることから、移載用の移動体40の第1スライドテーブル61と第2スライドテーブル62は、内槽173内から昇降部43側にX2方向にスライドして戻す。
After the
なお、図12と図14に示す自動扉171の開くタイミングは、乾燥処理前のロール200のロール冶具201が、内槽173の前に位置決めされた時と、乾燥処理後のロール200を、内槽173内から取り出す時である。また、自動扉171の閉じるタイミングは、内槽173内の上段乾燥部231と下段乾燥部232の少なくも一方に、乾燥処理前のロール200のロール冶具201が載置され、第1スライドテーブル61と第2スライドテーブル62が内槽173内から退出した後である。さらに、自動扉171の閉じるタイミングは、内槽173内の上段乾燥部231と下段乾燥部232から、乾燥処理後のロール200のロール冶具201を第1スライドテーブル61と第2スライドテーブル62により取り出した後である。
The opening timing of the
次に、上述した自動乾燥システム1のロール200の乾燥処理動作例を説明する。
Next, an example of the drying processing operation of the
図1と図2に示すように、各ロール冶具201には、3つの乾燥処理前のロール200が搭載されている。複数のロール冶具201は、例えば前段の処理工程のシステムから図示しない搬送台車に載せて、図1と図2に示す投入口2Aから投入コンベアユニット2に移す。移載機10では、移載用の移動体40は、投入コンベアユニット2の終端部の付近に位置されている。これにより、投入コンベアユニット2は、複数のロール冶具201を順次搬送方向であるX1方向に沿って、移載用の移動体40の近傍まで搬送する。
As shown in FIGS. 1 and 2, each
ロール冶具201は、この投入コンベアユニット2から、図11に示す移載用の移動体40の第2スライドテーブル62上に移される。この場合にロール冶具201を移す装置としては、図示しない流体圧シリンダ等のアクチュエータやロボット等を用いることができる。しかし、ロール冶具201は、投入コンベアユニット2の終端部から、図11に示す移載用の移動体40の第2スライドテーブル62上に直接載せても良い。
The
その後、図9(B)に示すように、サーボモータ制御部100Aが、サーボモータ45を動作させてピニオン58を回転することで、移載用の移動体40はラック46に沿って、Y1方向に直線移動され、移載用の移動体40は、第1乾燥炉群18の乾燥炉21,22と、第2乾燥炉群19の乾燥炉21,22の内の予め定めた位置における空の乾燥炉21(あるいは22)の前に、位置決めされる。
Thereafter, as shown in FIG. 9B, the
例えば、図16(A)に示すように、第1乾燥炉群18の乾燥炉21の内槽173が開いている場合には、移載用の移動体40の第1スライドテーブル61と第2スライドテーブル62が、昇降部43からX2方向にスライドして、ロール冶具201を、第1乾燥炉群18側の乾燥炉21(22)の内槽173の上段乾燥部231内に投入することができる。同様にして、図16(B)に示すように、移載用の移動体40の第1スライドテーブル61と第2スライドテーブル62が、昇降部43からX2方向にスライドして、ロール冶具201を、第1乾燥炉群18側の乾燥炉21(22)の内槽173の下段乾燥部232内に投入できる。
For example, as shown in FIG. 16A, when the
ロール冶具201を投入した後は、ロール冶具201は、図15(A)に示すように支持部233あるいは図15(B)に示すように支持部234に載ることから、移載用の移動体40の第1スライドテーブル61と第2スライドテーブル62は、内槽173内から昇降部43側にX1方向に沿ってスライドして退避させる。
After the
また、例えば図17(A)に示すように、第2乾燥炉群18の乾燥炉21の内槽173が開いている場合には、移載用の移動体40の第1スライドテーブル61と第2スライドテーブル62が、昇降部43からX1方向にスライドして、ロール冶具201を、第2乾燥炉群19側の乾燥炉21(22)の内槽173の上段乾燥部231内に投入することができる。同様にして、図17(B)に示すように、移載用の移動体40の第1スライドテーブル61と第2スライドテーブル62が、昇降部43からX1方向にスライドして、ロール冶具201を、第2乾燥炉群19側の乾燥炉21(22)の内槽173の下段乾燥部232内に投入した状態を示している。
Further, for example, as shown in FIG. 17A, when the
ロール冶具201を投入した後は、ロール冶具201は、図15(A)に示すようにロール冶具201は支持部233あるいは図15(B)に示すように支持部234に載ることから、移載用の移動体40の第1スライドテーブル61と第2スライドテーブル62は、昇降部43側に、X2方向に沿って内槽173内からスライドして退避させる。
After the
このように、乾燥処理前のロール200のロール冶具201が乾燥炉21(22)内に投入されると、次に説明するように、図18に示すような乾燥モード1を有する乾燥処理工程に従って、乾燥処理前のロール200を乾燥処理する。
Thus, when the
図18は、乾燥炉21,22における乾燥モード1を有する乾燥処理工程を示すフロー図である。
FIG. 18 is a flowchart showing a drying process having the drying mode 1 in the drying
(乾燥モード1を有する乾燥処理工程)
図18のステップS1では、例えば図15(A)と図15(B)に例示するように、ワークである乾燥処理前のロール200を載せたロール冶具201が、上述したように例えば第1乾燥炉群18の乾燥炉21の内槽173の上段乾燥部231と下段乾燥部232にそれぞれ投入される。これにより、図13に示す乾燥炉21の自動扉171が、乾燥炉21の内槽173の開口部173Pを閉じる。
(Drying process with drying mode 1)
In step S1 of FIG. 18, for example, as illustrated in FIG. 15A and FIG. 15B, the
図18のステップS2では、乾燥モード1を有する乾燥処理工程による乾燥処理をスタートする。乾燥処理がスタートすると、ステップS3の減圧工程になり、減圧工程のステップS3−1では、図13に示す真空ポンプ183がオンして真空引きを開始して、内槽173内を減圧して、ステップS3−2では真空度を確認した後、ステップS3−3では真空ポンプ183をオフする。そして、ステップS4では、図13に示す窒素ガス供給部181から内槽173内に窒素あるいはその他の不活性ガスを、内槽173内が大気圧になるまで導入する。
In Step S2 of FIG. 18, the drying process by the drying process having the drying mode 1 is started. When the drying process starts, the pressure reducing process of step S3 is started. In step S3-1 of the pressure reducing process, the
これにより、ステップS5−1では、図13の制御部100の庫内酸素濃度測定部が内槽173内の庫内酸素濃度値を検出して、ステップS5−2において酸素濃度値が所定の設定値、例えば500ppm(0.05%)以下である場合には、次のステップS6に進む。しかし、ステップS5−2において、内槽173内の庫内酸素濃度値が500ppmを超えている場合には、まだ内槽173内の酸素濃度が高いとして、ステップS3−1に戻ってさらに真空ポンプ183により内槽173内を減圧して、不活性ガスを導入する。これにより、内槽173内の酸素を窒素で置換する。
Accordingly, in step S5-1, the in-compartment oxygen concentration measurement unit of the
次に、図18に示す乾燥モード1を説明する。この乾燥モード1のステップS6の昇温工程からステップS12の降温工程までは、乾燥炉21の内槽173内を、大気圧で昇温して、真空圧下で加熱をし、大気圧に戻して冷却を行う動作を示している。
Next, the drying mode 1 shown in FIG. 18 will be described. From the temperature raising step of step S6 in this drying mode 1 to the temperature lowering step of step S12, the temperature in the
図18に示すステップS6の昇温工程のステップS6−1では、図13に示す制御部100がシロッコファン177のモータ177Bを動作して、シロッコファン177を回転するとともに、ヒータ内蔵の整流板175を発熱させて、内槽173内を昇温する。
In step S6-1 of the temperature raising process of step S6 shown in FIG. 18, the
そこで、ステップS6−2において、図13の制御部100の温度調節器によりこの内槽173内の温度を所定の設定値、例えば250℃に達した場合にはステップS7の減圧工程に進むが、所定の設定値を下回っている場合には、ステップS6−1に戻って、内槽173内の昇温を続ける。なお、この温度の所定の設定値は、好ましくは150℃から250℃の範囲で設定できる。
Therefore, in step S6-2, when the temperature in the
次に、ステップS7の減圧工程に移り、減圧工程のステップS8−1では、図13に示す真空ポンプ183がオンして真空引きを開始して、内槽173内を減圧して、ステップS8−2では真空度を確認した後、ステップS8−3では真空ポンプ183をオフする。
Next, the process proceeds to the depressurization step of step S7. In step S8-1 of the depressurization step, the
次に、テップS9では、図15に示す内槽173内の上段乾燥部231と下段乾燥部232に配置されている各ロール200は、真空加熱により乾燥される。そして、ステップS10では、温度調節器によりこの内槽173内の温度を所定の設定値、例えば250℃に達したかを判断して、250℃に達したらステップS11に進むが、温度が所定の設定値を超えているとステップS9に戻って、ステップS9においてロール200の真空加熱をして乾燥を続ける。なお、この温度の所定の設定値は、好ましくは150℃から250℃の範囲で設定できる。
Next, in step S9, each
図18のステップS10において、温度が所定の設定値250℃に達すると、ステップS11に進み、図13に示す窒素ガス供給部181から再び窒素ガスあるいはその他の不活性ガスを内槽173内に導入し、ステップS12の降温工程に移る。降温工程では、ステップS12−1において、内槽173内の温度を下げるためにシロッコファン177を回転させる。そして、ステップS12−2では、温度調節器によりこの内槽173内の温度を所定の設定値、例えば30℃に達すると、ステップS14に進むが、温度が所定の設定値を超えているとステップS12−1に戻って、内槽173内の温度を下げるためにシロッコファン177を回転させる。なお、この所定の設定値は、好ましくは30℃から50℃の間で設定できる。
In step S10 of FIG. 18, when the temperature reaches a predetermined set value 250 ° C., the process proceeds to step S11, and nitrogen gas or other inert gas is again introduced into the
ステップS14では、内槽173内に窒素ガスや不活性ガスの導入を停止して、ステップS15では、真空ポンプ183により内槽173内を減圧して、不活性ガスを排気する。ステップS16では、図13に示すドライエア供給部180からドライエア(空気)を内槽173内に導入する。そして、ステップS17では、庫内酸素濃度値を測定して、ステップS18では、この庫内酸素濃度値が大気酸素濃度であるかどうかを判断して、庫内酸素濃度値が大気酸素濃度であると、ステップS19において、乾燥処理をストップするが、庫内酸素濃度値が大気酸素濃度未満であると、ステップS15に示すように、図13の真空ポンプ183により内槽173内を減圧して不活性ガスを排気してステップS16において、内槽173内にドライエア(空気)の導入を行う。
In step S14, the introduction of nitrogen gas or inert gas into the
ステップS19において、乾燥処理をストップすると、ステップS20では、図14(A)あるいは図12に示す自動扉171を開けて、乾燥処理後のロール200を載せているロール冶具201を、内槽173内から払い出す(取り出す)。
When the drying process is stopped in step S19, in step S20, the
図16(A)と図16(B)に示すように、移載用の移動体40の第1スライドテーブル61と第2スライドテーブル62が、昇降部43からX2方向にスライドして、乾燥処理後のロール200を載せているロール冶具201を、第1乾燥炉群18側の乾燥炉21(22)の内槽173の上段乾燥部231から受け取って、X1方向にスライドして、ロール冶具201を内槽173内から移載用の移動体40側に戻す。
As shown in FIGS. 16 (A) and 16 (B), the first slide table 61 and the second slide table 62 of the moving
同様にして、図17(A)と図17(B)に示すように、移載用の移動体40の第1スライドテーブル61と第2スライドテーブル62が、昇降部43からX1方向にスライドして、乾燥処理後のロール200を載せているロール冶具201を、第2乾燥炉群19側の乾燥炉21(22)の内槽173の上段乾燥部231から受け取って、X2方向にスライドして、ロール冶具201を内槽173内から移載用の移動体40側に戻すことができる。
Similarly, as shown in FIGS. 17A and 17B, the first slide table 61 and the second slide table 62 of the moving
その後、移載用の移動体40は、図9(B)に示すサーボモータ制御部100Aが、サーボモータ45を動作させてピニオン58を回転することで、ラック46に沿って、Y1方向に直線移動される。これにより、図2に示す移載用の移動体40が、ラック46の端部の位置に達すると、乾燥処理後のロール200を載せたロール冶具201が、例えば図示しないアクチュエータの操作により、払出コンベアユニット3の始まり端部に移される。払出コンベアユニット3は、X2方向に沿って、乾燥処理後のロール200を載せたロール冶具201を排出(払出し)して、乾燥処理後のロール200を載せたロール冶具201は図示しない次の処理工程に移されることになる。
Thereafter, the moving
ところで、上述した図18に示す乾燥モード1を有する乾燥処理工程では、ロール200は、乾燥炉21,22の内槽173では、大気圧状態で昇温(窒素ガスあるいは他の不活性ガスを導入して酸素と置換)してから、真空状態で加熱をして乾燥を行い、そして大気圧状態で降温を行う。
By the way, in the drying process step having the drying mode 1 shown in FIG. 18 described above, the
上述した本発明の実施形態における図18に示す乾燥モード1では、ロール200は、乾燥炉21,22の内槽173において大気圧状態で昇温をして、真空状態で加熱をして乾燥を行い、そして大気圧で降温するモードを採用している。
In the drying mode 1 shown in FIG. 18 in the embodiment of the present invention described above, the
これに対して、通常行われているワークの乾燥工程では、ワークは全ての工程を真空中で処理していたために、真空中では熱効率が悪いことから、通常の真空乾燥工程では乾燥に時間がかかっていた。 On the other hand, in the work drying process that is normally performed, since the work is processed in vacuum in all steps, the heat efficiency is poor in vacuum. Therefore, in the normal vacuum drying process, time is required for drying. It was hanging.
従って、本発明の実施形態では内槽173での庫内の昇温と降温は、共に大気圧で行えるために、通常行われている昇温と降温を含めてすべての工程を真空中で行う乾燥処理に比べて、本発明の実施形態では昇温と降温の効率が高い。従って、内槽173を用いてロール200の乾燥工程に掛かる時間を短縮でき、トータルの乾燥処理時間の短縮が図れるメリットがある。
Therefore, in the embodiment of the present invention, both the temperature increase and the temperature decrease in the
また、このため、加熱前に不活性ガスを導入することで内槽173の庫内の酸素濃度を低下させつつ、内槽173の庫内の温度が設定温度に上がるまで、大気圧で加熱をし、その後は真空状態で加熱をする。加熱処理が終了後は、再び不活性ガスを導入することで内槽173の庫内の酸素濃度を低下させつつ、大気圧で冷却する。ロール200に対するメインの乾燥処理は、真空状態化で行うことができるので、全ての乾燥処理を大気圧下で行う場合に比べて、不活性ガスの使用量を減らすことができ、ランニングコストが低減できる。
For this reason, heating is performed at atmospheric pressure until the temperature in the
自動乾燥システム1では、投入コンベアユニット2が対象物であるロール200を投入すると、移載機10は、投入コンベアユニット2により搬送されてくるロール200を、一旦複数の乾燥炉21,22のいずれかに投入し、移載機10は、その後乾燥炉21,22で必要な処理時間をかけて乾燥処理されたロール200を払出コンベアユニット3側に戻して運ぶので、乾燥に時間が掛かるロール200を、ラインを止めることなく順次効率良く乾燥させることができる。
In the automatic drying system 1, when the
(乾燥モード2を有する乾燥処理工程)
次に、図19は、乾燥モード2を有する乾燥処理工程を示すフロー図である。乾燥モード2は、上述した乾燥モード1とは異なり、真空圧力下ではロール200の乾燥を行わず、大気圧下でロール200の乾燥を行う。図19を参照して、乾燥モード2を有する乾燥処理工程について説明する。図19に示す乾燥モード2を有する乾燥処理工程においては、上述した図18に示す乾燥モード1を有する乾燥処理工程とは異なり、図1に示す乾燥炉21,22の内槽173では、大気圧状態で加熱(窒素ガスあるいは他の不活性ガス導入)して乾燥した後に、大気圧で冷却する手順を有している。この乾燥モード2を有する乾燥処理工程は、内槽173内を真空吸引して減圧することがないので、乾燥炉21,22の構造を簡単化して、乾燥炉21,22の小型化が図れる。
(Drying process with drying mode 2)
Next, FIG. 19 is a flowchart showing a drying process having the drying
図19に示す乾燥モード2を有する乾燥処理工程では、ステップS21では、例えば図15(A)と図15(B)に例示するように、ワークである乾燥処理前のロール200を載せたロール冶具201が、上述したように例えば第1乾燥炉群18の乾燥炉21の内槽173の上段乾燥部231と下段乾燥部232にそれぞれ投入されると、図13に示す乾燥炉21の自動扉171が乾燥炉21の内槽173を閉じる。ステップS22では、乾燥モード2を有する乾燥処理工程による乾燥処理をスタートする。
In the drying process having the drying
図19のステップS22では、乾燥モード2を有する乾燥処理工程による乾燥処理をスタートする。乾燥処理がスタートすると、ステップS23の減圧工程になり、減圧工程のステップS23−1では、図13に示す真空ポンプ183がオンして真空引きを開始して、内槽173内を減圧して、ステップS23−2では真空度を確認した後、ステップS23−3では真空ポンプをオフする。そして、ステップS24では、図13に示す窒素ガス供給部181から内槽173内に窒素あるいはその他の不活性ガスを、大気圧になるまで導入する。
In Step S22 of FIG. 19, the drying process by the drying process having the drying
これにより、ステップS25−1では、庫内酸素濃度測定部(図示せず)が内槽173内の庫内酸素濃度値を検出して、ステップS25−2において酸素濃度値が所定の設定値、例えば500ppm以下である場合には、次のステップS26に進む。しかし、ステップS25−2において、内槽173内の庫内酸素濃度値が500ppmを超えている場合には、まだ内槽173内の酸素濃度が高いとして、ステップS23−1に戻ってさらに真空ポンプ183により内槽173内を減圧して、不活性ガスを導入する。これにより、内槽173内の酸素を窒素で置換する。
Thereby, in step S25-1, the internal oxygen concentration measuring unit (not shown) detects the internal oxygen concentration value in the
次に、図19に示す乾燥モード2を説明する。乾燥モード2のステップS26の昇温工程とステップS27の降温工程は、乾燥炉21の内槽173内を、大気圧で昇温して、大気圧下で加熱をし、大気圧下で冷却を行う動作を示している。
Next, the drying
図19に示すステップS6の昇温工程のステップS26−1では、図13に示す制御部100がシロッコファン177のモータ177Bを動作して、シロッコファン177を回転するとともに、ヒータ内蔵の整流板175を発熱させて、内槽173内を昇温する。
In step S26-1 of the temperature raising process of step S6 shown in FIG. 19, the
そこで、ステップS26−2において、温度調節器によりこの内槽173内の温度を所定の設定値、例えば250℃に達した場合にはステップS27に進むが、所定の設定値を下回っている場合には、ステップS26−1に戻って、内槽173内の昇温を続ける。なお、この温度の所定の設定値は、好ましくは150℃から250℃の範囲で設定できる。
Therefore, in step S26-2, when the temperature in the
次に、ステップテップS26の昇温工程において、図15に示す内槽173内の上段乾燥部231と下段乾燥部232に配置されている各ロール200は、大気圧下で加熱により乾燥される。
Next, in the temperature raising process of step S26, each
次に、図19のステップS27の降温工程では、ステップS28において、内槽173内の温度を下げるためにシロッコファン177を回転させる。そして、ステップS29では、温度調節器によりこの内槽173内の温度を所定の設定値、例えば30℃に達すると、ステップS30に進むが、温度が所定の設定値を超えているとステップS28に戻って、内槽173内の温度を下げるためにシロッコファン177を回転させる。なお、この所定の設定値は、好ましくは30℃から50℃の間で設定できる。
Next, in the temperature lowering process in step S27 of FIG. 19, the
ステップS30では、内槽173内に窒素ガスや不活性ガスの導入を停止して、ステップS31では、真空ポンプ183により内槽173内を減圧して、不活性ガスを排気する。ステップS32では、図13に示すドライエア供給部180からドライエア(空気)を内槽173内に導入する。そして、ステップS33では、庫内酸素濃度値を測定して、ステップS18では、この庫内酸素濃度値が大気酸素濃度であるかどうかを判断して、庫内酸素濃度値が大気酸素濃度であると、ステップS35において、乾燥処理をストップするが、庫内酸素濃度値が大気酸素濃度未満であると、ステップS31に示すように、図13の真空ポンプ183により内槽173内を減圧して不活性ガスを排気してステップS32において、内槽173内にドライエア(空気)の導入を行う。
In step S30, the introduction of nitrogen gas or inert gas into the
ステップS35において、乾燥処理をストップすると、ステップS36では、図14(A)あるいは図12に示す自動扉171を開けて、乾燥処理後のロール200を載せているロール冶具201を、内槽173内から払い出す(取り出す)。
When the drying process is stopped in step S35, in step S36, the
以上のようにして、乾燥モード2を有する乾燥処理工程では、第1乾燥炉群18の乾燥炉21,22の内槽173と、第2乾燥炉群19の乾燥炉21,22の内槽173は、乾燥処理前のロール200を、大気圧状態で加熱をして、大気圧状態で大気冷却することで乾燥させることができる。このような乾燥モード2では、加熱前に不活性ガスにて内槽173の庫内の酸素濃度を低下させつつ、庫内の温度が設定温度まで上がるまでを全て大気圧下で加熱する。その後の冷却は、大気圧により処理するので、乾燥モード2の一連の工程は、庫内の酸素を不活性ガスに置換する作業以外は、全て大気圧により処理をすることができる。
As described above, in the drying process having the drying
このため、昇温と降温ともに、大気圧での処理ができるので、真空中での処理に比べて、昇温と降温の効率が高い。さらに、メインの加熱による乾燥処理が大気圧であるために、溶媒や水分を多く含むワーク(ロール)の場合に、真空側(冷却トラップや真空ポンプ)は不要であるので溶媒や水分が多く回ることがなく、メンテナンスの頻度が低い。大気加熱の場合には、乾燥炉(加熱炉)に設置している不活性ガスの排気ラインを使用して、溶媒をトラップしつつ排気する。 For this reason, since processing at atmospheric pressure can be performed for both temperature increase and temperature decrease, the efficiency of temperature increase and temperature decrease is higher than that in vacuum processing. Furthermore, since the main heating drying process is at atmospheric pressure, when a work (roll) containing a lot of solvent or moisture is used, there is no need for the vacuum side (cooling trap or vacuum pump). And maintenance frequency is low. In the case of atmospheric heating, an inert gas exhaust line installed in a drying furnace (heating furnace) is used to exhaust the solvent while trapping it.
図20は、乾燥モード1を有する乾燥処理工程において、時刻t1から時刻t10の経過に伴って変化する冷却制御、ファンの回転数制御、窒素ガス流量制御、圧力制御、温度制御の関係例を示す真空チャンバ(内槽173)の温度プロファイル事例を示す図である。 FIG. 20 shows a relationship example of cooling control, fan rotation speed control, nitrogen gas flow rate control, pressure control, and temperature control that change with the lapse of time from time t1 to time t10 in the drying process having the drying mode 1. It is a figure which shows the temperature profile example of a vacuum chamber (inner tank 173).
図20に示すように、時刻t1から時刻t2では、冷却制御、ファンの回転数制御、窒素ガスの流量制御や、温度制御は行われておらず、圧力制御における圧力値が下がって例えば100Pa以下の真空状態になっている。時刻t2から時刻t3では、窒素ガスの流量制御により窒素ガスの流量値が増加し、圧力制御による圧力値は増加する。時刻t3から時刻t4では、ファンの回転数が上がり、窒素ガスの流量値がやや下がり、温度制御による温度が上昇する。時刻t4から時刻t5では、冷却は一定で回転数も一定で、窒素ガスの流量も一定に保ち、圧力が一定であり、温度も一定である。乾燥炉の内槽内の酸素は、不活性ガスによりガス置換され、酸素濃度は0.05%以下の低酸素濃度である。 As shown in FIG. 20, from time t1 to time t2, cooling control, fan speed control, nitrogen gas flow rate control, and temperature control are not performed, and the pressure value in the pressure control decreases, for example, 100 Pa or less. Is in a vacuum state. From time t2 to time t3, the flow rate value of nitrogen gas increases by the flow rate control of nitrogen gas, and the pressure value by pressure control increases. From time t3 to time t4, the rotational speed of the fan increases, the flow rate value of nitrogen gas decreases slightly, and the temperature by temperature control increases. From time t4 to time t5, the cooling is constant, the rotation speed is constant, the flow rate of nitrogen gas is kept constant, the pressure is constant, and the temperature is also constant. The oxygen in the inner tank of the drying furnace is replaced with an inert gas, and the oxygen concentration is a low oxygen concentration of 0.05% or less.
時刻t5から時刻t6では、シロッコファンの空冷による冷却と冷却水の水冷による冷却が行われ、ファン回転数は少し上がるが、窒素ガスの流量は一定で、圧力も一定であり、温度が急激に下がる。時刻t6から時刻t7では、ファンの回転数は低下し、窒素ガスの流量も低下して圧力が下がって大気圧になり、温度は下がっている。時刻t7から時刻t8は、時刻t1から時刻t2の繰り返しであり、時刻t8からt9は、時刻t2から時刻t3の繰り返しであり、時刻t9から時刻t10は、時刻t3から時刻t4の繰り返しである。このように、時刻t1から時刻t7の期間では、高精度な制御を行っており、サイクルタイムの短縮化を図っていることで、スループットの向上を図っている。 From time t5 to time t6, the cooling of the sirocco fan by air cooling and cooling water cooling is performed, and the fan speed increases slightly, but the flow rate of nitrogen gas is constant, the pressure is constant, and the temperature suddenly increases. Go down. From time t6 to time t7, the rotational speed of the fan decreases, the flow rate of nitrogen gas also decreases, the pressure decreases to atmospheric pressure, and the temperature decreases. From time t7 to time t8 is the repetition from time t1 to time t2, from time t8 to t9 is from time t2 to time t3, and from time t9 to time t10 is from time t3 to time t4. As described above, in the period from time t1 to time t7, high-precision control is performed, and the cycle time is shortened to improve the throughput.
ところで、ロール200を乾燥させるために、ロール200を投入する乾燥炉21,22の選択の順番については、(1)平均モードと、(2)最速モードと、(3)任意モードがある。
By the way, in order to dry the
(1)平均モードでは、各乾燥炉21,22の稼働時間を積算して、各乾燥炉の稼働時間を平均化してロール200の乾燥に使用するモードであり、各乾燥炉を均等に使用することができる。
(1) In the average mode, the operating hours of the drying
(2)最速モードでは、乾燥炉内が空であり、かつ位置的に近い乾燥炉を優先して自動選択してロール200の乾燥に使用するモードである。
(2) The fastest mode is a mode in which the inside of the drying furnace is empty and the drying furnace close in position is preferentially automatically selected and used for drying the
(3)任意モードでは、作業者が任意に乾燥炉21,22を指定してロール200の乾燥に使用するモードである。
(3) In the arbitrary mode, the operator arbitrarily designates the drying
加熱処理方法としては、図1に示す操作盤OPの制御部100が、温度,圧力、時間を管理して処理を行うが、時間はワーク(ロール)の種類や素材により様々である。一般的には、電極用のロールを乾燥する等の場合には、例えば乾燥時間は5乃至20時間である。ロールのアニ―ル・ベーキングの場合には、乾燥時間は1乃至5時間である。液晶基板と偏光板等を貼り合わせ後の加圧、加熱脱泡処理の場合には、1乃至2時間である。
As a heat treatment method, the
本発明の実施形態の自動乾燥システム1の用途としては、電極素材の水分除去(真空加熱による)、モールド樹脂部品(IC部品)の硬化(大気加熱による)、部品、素材等のアニ―ル・ベーキング処理、液晶基板と偏光板等を貼り合わせ後の加圧、加熱脱泡処理(加圧乾燥による)、部品の加圧乾燥(真空を嫌う部品)(加圧乾燥による)等がある。 Applications of the automatic drying system 1 according to the embodiment of the present invention include removal of moisture from electrode materials (by vacuum heating), curing of molded resin parts (IC parts) (by atmospheric heating), annealing of parts, materials, etc. There are baking processing, pressurization after laminating the liquid crystal substrate and the polarizing plate, heat defoaming treatment (by pressure drying), pressure drying of components (parts that dislike vacuum) (by pressure drying), and the like.
本発明の実施形態の自動乾燥システム1は、対象物であるロール200を投入する投入搬送部(投入コンベアユニット)2と、対象物を乾燥させるための複数の乾燥炉21,22と、乾燥炉21,22で乾燥処理された対象物を排出する払い出しする払出搬送部(払出しコンベアユニット)3と、投入搬送部により搬送されてくる対象物を、複数の乾燥炉21,22のいずれかに移して、乾燥炉21,22で乾燥処理された対象物を払出搬送部側に運ぶ移載機10を備える。
An automatic drying system 1 according to an embodiment of the present invention includes an input conveyance unit (input conveyor unit) 2 for supplying a
これにより、投入搬送部が対象物を投入すると、移載機は、投入搬送部により搬送されてくる対象物を、一旦複数の乾燥炉のいずれかに投入し、移載機は、その後乾燥炉で必要な処理時間をかけて乾燥処理された対象物を払出搬送部側に戻して運ぶので、乾燥処理に時間が掛かる対象物を、ラインを止めることなく順次効率良く乾燥させることができる。 As a result, when the input conveyance unit inputs the object, the transfer machine once inputs the object conveyed by the input conveyance unit into one of the plurality of drying furnaces. Since the object subjected to the drying process over the necessary processing time is returned and carried to the delivery / conveying unit side, the object that takes a long time for the drying process can be sequentially and efficiently dried without stopping the line.
自動乾燥システム1は、複数の乾燥炉から構成される第1乾燥炉群18と、第1乾燥炉群18に対して間隔をおいて配置されている複数の乾燥炉から構成される第2乾燥炉群19を構成しており、第1乾燥炉群18と第2乾燥炉群19の間には、移載機10が配置されており、移載機10は、第1乾燥炉群18と第2乾燥炉群19の間に配置されている搬送ガイド部30と、搬送ガイド部30に沿って移動して、第1乾燥炉群18と第2乾燥炉群19のいずれかの乾燥炉21,22の前に位置決めされる移載用の移動体40と、を有し、移載用の移動体40は、乾燥炉21,22の内部に対象物を投入し、乾燥後の対象物を乾燥炉21,22の内部から取り出す構成である。
The automatic drying system 1 includes a first
これにより、対象物は、移載用の移動体を用いて、第1乾燥炉群と第2乾燥炉群の中の空いている乾燥炉に投入して乾燥処理できるので、対象物の乾燥処理の効率化が図れる。 As a result, the object can be dried by using a moving body for transfer and put into an empty drying furnace in the first drying furnace group and the second drying furnace group. Efficiency.
自動乾燥システム1では、乾燥炉21,22は、複数の内槽173を有する炉本体部170と、複数の内槽173をそれぞれ開閉可能に閉じる複数の自動扉171を有し、炉本体部170は、複数の内槽173の間の領域には、内槽173を開けたいずれの自動扉171をも収納可能な扉収納部190を有する。
In the automatic drying system 1, the drying
これにより、各内槽を開けたいずれの自動扉であっても扉収納部には共通の収納部として収納できるので、乾燥炉の炉本体部の小型化を図ることができる。 Thereby, since any automatic door which opened each inner tank can be accommodated in a door accommodating part as a common accommodating part, size reduction of the furnace main-body part of a drying furnace can be achieved.
請求項4に記載の自動乾燥システムでは、炉本体部は、各内槽を開けたいずれの自動扉であっても案内可能な共通のガイドレールを有することを特徴とする。 The automatic drying system according to claim 4 is characterized in that the furnace body has a common guide rail capable of guiding any automatic door with each inner tank opened.
自動乾燥システム1では、複数の内槽173を有していても、各内槽173を閉める自動扉171は、共通のガイドレール172により案内できるので、乾燥炉21,22の炉本体部170の構造を簡単化することができる。
Even if the automatic drying system 1 has a plurality of
自動乾燥システム1は、乾燥炉21,22の内槽173内では、対象物を、大気圧で昇温をして、真空状態で加熱をし、大気圧で降温する乾燥モード1により乾燥する。これにより、自動乾燥システム1では、内槽での庫内の昇温と降温は、共に大気圧で行え、対象物の加熱は真空状態で加熱をするために、通常行われている昇温と降温を含めてすべての工程を真空中で行う乾燥処理に比べて、本発明の実施形態では、昇温と降温の作業効率が高い。従って、加熱炉の内槽を用いて乾燥しようとする対象物の乾燥工程に掛かる時間を短縮でき、トータルの乾燥処理時間の短縮が図れる。
In the
本発明の実施形態では、大気加熱時は、乾燥炉に過熱した窒素ガスを導入することにより、微量ではあるが昇温効率を高めることができる。また、大気降温時には、加熱せずに
窒素ガスを導入する乾燥炉内に冷却用の熱交換器としての冷却コイルあるいは多管式熱交換器、プレート式熱交換器、フィンチューブ型熱交換器等を設置することにより、降温効率を高める。なお、冷却のみならず加熱用として利用しても良い。
In the embodiment of the present invention, at the time of heating to the atmosphere, the temperature rise efficiency can be increased although it is a minute amount by introducing the heated nitrogen gas into the drying furnace. In addition, a cooling coil or a multi-tube heat exchanger, a plate heat exchanger, a finned tube heat exchanger, etc. as a heat exchanger for cooling into a drying furnace that introduces nitrogen gas without heating when the temperature falls to the atmosphere By installing, the cooling efficiency is improved. In addition to cooling, it may be used for heating.
以上、実施形態を挙げて本発明を説明したが、各実施形態は一例であり、特許請求の範囲に記載される発明の範囲は、発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々変更できるものである。 The present invention has been described with reference to the embodiments. However, each embodiment is an example, and the scope of the invention described in the claims can be variously modified without departing from the scope of the invention. .
例えば、乾燥炉21,22は、真空状態で乾燥を行える乾燥炉であるが、これに限らず、加熱による乾燥対象物の種類によっては、大気圧雰囲気下により乾燥を行う乾燥炉、あるいは加圧状態下により乾燥を行う乾燥炉であっても良い。
For example, the drying
不活性ガスとしては、窒素の他にアルゴンや二酸化炭素を主成分とするガス等でも良く、特に限定されない。 The inert gas may be a gas mainly containing argon or carbon dioxide in addition to nitrogen, and is not particularly limited.
なお、上述してきた自動乾燥システムは、乾燥炉または加熱炉(真空・大気炉・加圧炉等あらゆる用途)に適用可能である。 The automatic drying system described above can be applied to a drying furnace or a heating furnace (any use such as a vacuum, an atmospheric furnace, a pressure furnace).
1 自動乾燥システム
2 投入コンベアユニット(投入搬送部)
3 払出コンベアユニット(払出搬送部)
10 移載機
18 第1乾燥炉群
19 第2乾燥炉群
21 乾燥炉
22 乾燥炉
30 搬送ガイド部
40 移載用の移動体
170 炉本体部
171 自動扉
172 自動扉のガイドレール
173 乾燥炉の内槽
190 扉収納部
200 ロール(乾燥しようとする対象物の例)
1
3 Dispensing conveyor unit (dispensing and conveying section)
DESCRIPTION OF
Claims (6)
前記対象物を投入する投入搬送部と、
前記対象物を乾燥させるための複数の乾燥炉と、
前記乾燥炉で乾燥処理された前記対象物を払い出しする払出搬送部と、
前記投入搬送部により搬送されてくる前記対象物を、前記複数の乾燥炉のいずれかに移して、前記乾燥炉で乾燥処理された前記対象物を前記払出搬送部側に運ぶ移載機と、
を備えることを特徴とする自動乾燥システム。 An automatic drying system for drying a plurality of objects,
An input conveyance unit for inputting the object;
A plurality of drying ovens for drying the object;
A payout transport unit for paying out the object dried in the drying furnace;
A transfer machine for transferring the object transported by the input transport unit to any of the plurality of drying furnaces, and transporting the target object dried in the drying furnace to the payout transport unit side;
An automatic drying system comprising:
前記第1乾燥炉群と前記第2乾燥炉群の間には、前記移載機が配置されており、
前記移載機は、前記第1乾燥炉群と前記第2乾燥炉群の間に配置されている搬送ガイド部と、
前記搬送ガイド部に沿って移動して、前記第1乾燥炉群と前記第2乾燥炉群のいずれかの前記乾燥炉の前に位置決めされる移載用の移動体と、を有し、
前記移載用の移動体は、前記乾燥炉の内部に前記対象物を投入し、乾燥後の前記対象物を前記乾燥炉の内部から取り出す構成としたことを特徴とする請求項1に記載の自動乾燥システム。 A first drying furnace group composed of the plurality of drying furnaces, and a second drying furnace group composed of the plurality of drying furnaces spaced from the first drying furnace group. And
The transfer machine is disposed between the first drying furnace group and the second drying furnace group,
The transfer machine includes a conveyance guide unit disposed between the first drying furnace group and the second drying furnace group,
Moving along the conveyance guide part, and having a moving body for transfer positioned before the drying furnace in any of the first drying furnace group and the second drying furnace group,
2. The structure according to claim 1, wherein the moving body for transfer is configured to put the object into the inside of the drying furnace and to take out the object after drying from the inside of the drying furnace. Automatic drying system.
複数の内槽を有する炉本体部と、
前記複数の内槽をそれぞれ開閉可能に閉じる複数の自動扉と、を有し、
前記炉本体部は、前記複数の内槽の間の領域には、前記内槽を開けたいずれの前記自動扉をも収納可能な扉収納部を有することを特徴とする請求項1または2に記載の自動乾燥システム。 The drying furnace
A furnace body having a plurality of inner tanks;
A plurality of automatic doors for closing and opening the plurality of inner tanks,
The said furnace main-body part has the door accommodating part which can accommodate any said automatic door which opened the said inner tank in the area | region between these inner tanks. Automatic drying system as described.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014071504A JP6274946B2 (en) | 2014-03-31 | 2014-03-31 | Automatic drying system |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014071504A JP6274946B2 (en) | 2014-03-31 | 2014-03-31 | Automatic drying system |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015194276A true JP2015194276A (en) | 2015-11-05 |
JP6274946B2 JP6274946B2 (en) | 2018-02-07 |
Family
ID=54433465
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014071504A Active JP6274946B2 (en) | 2014-03-31 | 2014-03-31 | Automatic drying system |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6274946B2 (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106384845A (en) * | 2016-11-09 | 2017-02-08 | 深圳市新伟创实业有限公司 | Automatic lithium battery drying and cooling processing system |
CN107764039A (en) * | 2017-10-13 | 2018-03-06 | 东莞市众志检测仪器有限公司 | A kind of battery clamp for battery vacuum drying production line |
CN115039902A (en) * | 2022-07-28 | 2022-09-13 | 安徽信息工程学院 | Tobacco leaf multilayer baking adjusting device |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60158600U (en) * | 1984-03-29 | 1985-10-22 | 松本 洋 | clothes dryer |
JPH034941A (en) * | 1989-05-30 | 1991-01-10 | Iseki & Co Ltd | Drying box suction detecting apparatus in drying box feed in and out machine to sample dryer |
JPH06257946A (en) * | 1993-03-01 | 1994-09-16 | Tokyo Electric Power Co Inc:The | Method and device for drying timber |
JP2004207484A (en) * | 2002-12-25 | 2004-07-22 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | Dry treatment device and substrate processing device |
JP2004202384A (en) * | 2002-12-25 | 2004-07-22 | Honda Motor Co Ltd | Coating drying apparatus |
JP2011192390A (en) * | 2010-03-11 | 2011-09-29 | Noritake Co Ltd | Drying method and drying device of metal foil laminated body |
-
2014
- 2014-03-31 JP JP2014071504A patent/JP6274946B2/en active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60158600U (en) * | 1984-03-29 | 1985-10-22 | 松本 洋 | clothes dryer |
JPH034941A (en) * | 1989-05-30 | 1991-01-10 | Iseki & Co Ltd | Drying box suction detecting apparatus in drying box feed in and out machine to sample dryer |
JPH06257946A (en) * | 1993-03-01 | 1994-09-16 | Tokyo Electric Power Co Inc:The | Method and device for drying timber |
JP2004207484A (en) * | 2002-12-25 | 2004-07-22 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | Dry treatment device and substrate processing device |
JP2004202384A (en) * | 2002-12-25 | 2004-07-22 | Honda Motor Co Ltd | Coating drying apparatus |
JP2011192390A (en) * | 2010-03-11 | 2011-09-29 | Noritake Co Ltd | Drying method and drying device of metal foil laminated body |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106384845A (en) * | 2016-11-09 | 2017-02-08 | 深圳市新伟创实业有限公司 | Automatic lithium battery drying and cooling processing system |
CN107764039A (en) * | 2017-10-13 | 2018-03-06 | 东莞市众志检测仪器有限公司 | A kind of battery clamp for battery vacuum drying production line |
CN115039902A (en) * | 2022-07-28 | 2022-09-13 | 安徽信息工程学院 | Tobacco leaf multilayer baking adjusting device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6274946B2 (en) | 2018-02-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5913572B2 (en) | Storage container, shutter opening / closing unit of storage container, and wafer stocker using them | |
KR101268261B1 (en) | Substrate buffer device, method of buffering substrate, substrate processing apraratus and computer readable storage medium | |
WO2019010944A1 (en) | Automatic chip assembly and disassembly apparatus for graphite boat | |
EP3211663A1 (en) | Horizontal furnace system and method for handling wafer boats, and wafer boat | |
JP6274946B2 (en) | Automatic drying system | |
US10300580B2 (en) | Shot processing device | |
JP2011258682A (en) | Substrate exchange device | |
JP2007061947A (en) | Stock device of carrying object | |
TWI475930B (en) | Ion supply device and workpiece processing system provided with the same | |
JP2005123249A (en) | Substrate processing apparatus and its method | |
CN208781693U (en) | A kind of transformer airing device and production line | |
CN109092642B (en) | A kind of transformer airing device, production line, method and computer storage medium | |
TWI524460B (en) | Substrate processing system | |
JP2000018832A (en) | Heat treatment device | |
CN110047791B (en) | Substrate processing apparatus, method for manufacturing semiconductor device, and recording medium | |
JP3300861B2 (en) | Heat treatment system | |
KR101467347B1 (en) | Coating in-line automatic system for display panel | |
JP2003332230A (en) | Device and method for treating substrate | |
JPH10303285A (en) | Substrate cooler and substrate treatment device equipped with the cooler | |
JPH0637165A (en) | Treatment system | |
KR0124944Y1 (en) | Wafer box feeding apparatus | |
KR101415265B1 (en) | Cassette stocker and substrate processing apparatus | |
JP2003324065A (en) | Substrate processor and substrate processing method | |
JP5872880B2 (en) | Substrate processing apparatus, substrate transfer apparatus, and semiconductor device manufacturing method | |
KR20200110196A (en) | Substrate processing apparatus, method of manufacturing semiconductor device, and recording medium |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170105 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170921 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20171017 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20171208 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20171220 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180109 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6274946 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |