JP2015193883A - 3次元積層造形装置及び3次元積層造形方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】3次元積層造形装置1は、ステージ4と、第1の電子銃8と、第2の電子銃9と、を備えている。第1の電子銃8は、所定の粉末試料M1を溶融する。第2の電子銃9は、ステージ4上に敷き詰められた粉末試料M1に電子ビームl2を照射して粉末試料M1を予熱する。
【選択図】図1
Description
(1)ステージの一面に造形物を形成するための粉末試料を敷き詰める工程。
(2)ステージ上にステージ上に敷き詰められた粉末試料のうち所定の粉末試料に対して第1の電子銃から電子ビームを照射して所定の粉末試料を溶融する工程。
(3) ステージ上に敷き詰められた粉末試料に対して第1の電子銃と異なる第2の電子銃から電子ビームを照射して粉末試料を予熱する工程。
1.第1の実施の形態例
1−1.3次元積層造形装置の構成
1−2.3次元積層造形装置の動作
2.第2の実施の形態例
3.第3の実施の形態例
1−1.3次元積層造形装置の構成
まず、本発明の3次元積層造形装置の第1の実施の形態例について図1を参照して説明する。
図1は、本例の3次元積層造形装置を模式的に示す説明図である。
次に、図1及び図2を参照して上述した構成を有する3次元積層造形装置1の動作について説明する。
図2は、本例の3次元積層造形装置1の動作の要部を模式的に示す説明図である。
次に、図3〜図5を参照して本発明の3次元積層造形装置の第2の実施の形態例について説明する。
図3は、3次元積層造形装置を模式的に示す説明図である。
図4に示すように、第3の電子銃22は、第1の電子銃8から出射される溶融用電子ビームL1の照射位置Q1と同じ照射位置Q1に帯電中和用電子ビームL3を照射する。また、帯電中和用電子ビームL3は、試料面に対して傾斜して照射される。そのため、溶融用電子ビームL1の照射スポットの径よりも帯電中和用電子ビームL3の照射スポットの径を大きくすることができる。
図5A〜図5Cは、溶融用電子ビームL1及び/又は帯電中和用電子ビームL3が金属粉末M1に照射された際の電子の状態を模式的に示す説明図である。
図5Cに示すように、金属粉末M1は、試料面に対して略垂直に照射される溶融用電子ビームL1により負に帯電する。しかしながら、試料面に対して斜めから照射される帯電中和用電子ビームL3により、金属粉末M1から二次電子が放出される。そして、金属粉末M1の帯電量に応じて放出された二次電子が再配分される。これより、負に帯電した金属粉末M1の帯電を除去することができ、金属粉末M1を中和することができる。その結果、金属粉末M1が負に帯電することで金属粉末M1が飛散することを防ぐことができる。
次に、図6を参照して本発明の3次元積層造形装置の第3の実施の形態例について説明する。
図6は、3次元積層造形装置を模式的に示す説明図である。
Claims (6)
- 造形物を形成するための粉末試料が敷き詰められるステージと、
前記ステージ上に敷き詰められた前記粉末試料のうち所定の粉末試料に電子ビームを照射して前記所定の粉末試料を溶融する第1の電子銃と、
前記ステージ上に敷き詰められた前記粉末試料に電子ビームを照射して前記粉末試料を予熱する第2の電子銃と、
を備えた3次元積層造形装置。 - 前記第2の電子銃は、前記ステージ上に敷き詰められた前記粉末試料で形成される試料面に対して、電子ビームを傾斜させて照射する
請求項1に記載の3次元積層造形装置。 - 前記ステージ上に敷き詰められた前記粉末試料の温度を計測する温度測定器と、
前記温度測定器が測定した温度に基づいて、前記第2の電子銃を制御する制御部と、をさらに備えた
請求項1又は2に記載の3次元積層造形装置。 - 前記ステージ上に敷き詰められた前記粉末試料で形成される試料面に対して電子ビームを傾斜させて照射し、前記粉末試料の帯電を除去する第3の電子銃を、さらに備え、
前記第3の電子銃は、前記第1の電子銃から出射される電子ビームと同じ照射位置に電子ビームを照射する
請求項1〜3のいずれかに記載の3次元積層造形装置。 - 前記第2の電子銃は、前記ステージ上に敷き詰められた前記粉末試料で形成される試料面に対して電子ビームを傾斜させて照射して、前記粉末試料の帯電を除去し、
前記第2の電子銃は、前記粉末試料の帯電を除去する際、前記第1の電子銃から出射される電子ビームと同じ照射位置に電子ビームを照射する
請求項1〜3のいずれかに記載の3次元積層造形装置。 - ステージの一面に造形物を形成するための粉末試料を敷き詰める工程と、
前記ステージ上に前記ステージ上に敷き詰められた前記粉末試料のうち所定の粉末試料に対して第1の電子銃から電子ビームを照射して前記所定の粉末試料を溶融する工程と、
前記ステージ上に敷き詰められた前記粉末試料に対して前記第1の電子銃と異なる第2の電子銃から電子ビームを照射して前記粉末試料を予熱する工程と、
を含む3次元積層造形方法。
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