JP2015189548A - Tape feeding mechanism - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、テープロールからテープ部材を供給するテープ供給機構に関し、特に、半導体デバイスの製造工程に用いられるテープ部材を供給するテープ供給機構に関する。 The present invention relates to a tape supply mechanism that supplies a tape member from a tape roll, and more particularly to a tape supply mechanism that supplies a tape member used in a manufacturing process of a semiconductor device.
従来、ロール状に巻かれたテープロールからテープ部材を供給するテープ供給機構において、テープ部材の減り具合を監視するテープ供給機構が提案されている（例えば、特許文献１及び特許文献２参照）。特許文献１に記載のテープ供給機構では、テープロールからテープ部材が引き出されて、引き出されたテープ部材にローラーが揺動可能に接触されている。テープ部材が消費されるとテープロールの外径が縮径すると共にテープ部材の引き出される位置が移動する。これに伴ってテープ部材とローラーとの接触位置が変化する。特許文献１においては、テープロールの縮径に応じて変化するローラーの接触位置から、テープ部材の残量を検出している。 Conventionally, in a tape supply mechanism that supplies a tape member from a tape roll wound in a roll shape, a tape supply mechanism that monitors the reduction of the tape member has been proposed (see, for example, Patent Document 1 and Patent Document 2). In the tape supply mechanism described in Patent Document 1, a tape member is pulled out from a tape roll, and a roller is slidably contacted with the pulled tape member. When the tape member is consumed, the outer diameter of the tape roll is reduced, and the position where the tape member is pulled out moves. Along with this, the contact position between the tape member and the roller changes. In Patent Document 1, the remaining amount of the tape member is detected from the contact position of the roller that changes according to the diameter reduction of the tape roll.
特許文献２に記載のテープ供給機構では、テープ部材が粘着テープと離型テープとを積層して形成されている。テープ部材には、粘着テープに向かって光が照射されており、その反射光量が検出される。このテープ部材の終端部分では、粘着テープが形成されておらず、離型テープが露出される。このため、テープ部材の終端部分では、離型テープで光が反射され、その材質の違いによって反射光量が変化する。特許文献２においては、その反射光量の変化からテープ部材（粘着テープ）がなくなったことを検出している。
In the tape supply mechanism described in
これらのテープ供給機構においては、テープホルダのシャフトにテープロールが取り付けられて、テープホルダによってシャフトを中心にテープロールが回転可能に支持される。これにより、テープロールからテープ部材を引き出すことが可能になっている。 In these tape supply mechanisms, a tape roll is attached to the shaft of the tape holder, and the tape roll is rotatably supported around the shaft by the tape holder. Thereby, the tape member can be pulled out from the tape roll.
ところで、テープロールにシャフトを固定したときにテープロールの中心軸とシャフトとが一致しないことがある。このため、テープロールは偏心した状態で回転し、テープロールの外側面が変動する。このように、特許文献１においては、テープロールの偏心等に起因した検出誤差を含んだ状態で、テープ部材の残量が検出される。よって、テープ部材がまだ残っているにもかかわらずテープ部材が残っていないと判断されたり、テープ部材が既に残っていないにも関わらずテープ部材が残っていると判断されることがある。このように、テープ部材の残量を誤検出するおそれがあった。 By the way, when the shaft is fixed to the tape roll, the central axis of the tape roll may not match the shaft. For this reason, the tape roll rotates in an eccentric state, and the outer surface of the tape roll fluctuates. As described above, in Patent Document 1, the remaining amount of the tape member is detected in a state including a detection error caused by the eccentricity of the tape roll. Therefore, it may be determined that the tape member does not remain even though the tape member still remains, or it may be determined that the tape member remains despite the tape member not already remaining. As described above, there is a risk of erroneously detecting the remaining amount of the tape member.
特許文献２においては、テープロールが偏心した状態で回転しても、テープ部材がなくなったことを検出することができるが、テープ部材の残量を検出することはできない。さらに、２層で構成される特殊なテープ部材にしか適用することができなかった。これらにより、半導体デバイスの製造工程で用いられるダイシングテープ等においては、残量を検知することが困難であった。
In
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、テープロールが偏心した状態で回転しても、確実にテープ部材の残量を検出することができるテープ供給機構を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above points, and an object thereof is to provide a tape supply mechanism that can reliably detect the remaining amount of a tape member even when the tape roll rotates in an eccentric state. And
本発明のテープ供給機構は、中心に空洞を有しロール状にテープ部材を巻装されたテープロールと、空洞を用いてテープロールを支持する支持手段と、支持手段で支持されるテープロールのテープ部材の残量を検出する残量検出手段と、を備えるテープ供給機構であって、支持手段は、空洞に挿入しテープロールを保持するシャフトと、シャフトの両端を支持する支持台と、シャフトの側壁に帯状に形成する検出体と、を備え、残量検出手段は、検出体に近接して反応する近接センサーと、近接センサーをテープロールの外側面から中心軸に向かって移動させる移動手段と、を備え、移動手段を用いて支持手段で支持されるテープロールの外側面に近接センサーを接触させ、テープロールからテープ部材が引き出されテープロールの外径が縮径されることによって、近接センサーがシャフトの検出体に近接され反応しテープ残量を通知する通知部を備えることを特徴とする。 The tape supply mechanism of the present invention includes a tape roll having a cavity at the center and wound with a tape member in a roll shape, a support means for supporting the tape roll using the cavity, and a tape roll supported by the support means. A tape supply mechanism comprising: a remaining amount detecting means for detecting a remaining amount of the tape member, wherein the supporting means is inserted into the cavity and holds the tape roll; a support base for supporting both ends of the shaft; and the shaft A detection body formed in a band shape on the side wall of the tape, and the remaining amount detection means includes a proximity sensor that reacts in proximity to the detection body, and a movement means that moves the proximity sensor from the outer surface of the tape roll toward the central axis. The proximity sensor is brought into contact with the outer surface of the tape roll supported by the supporting means using the moving means, and the tape member is pulled out from the tape roll to reduce the outer diameter of the tape roll. By being, proximity sensor is characterized by comprising a notification unit for notifying the reaction was remaining tape is proximate to the detection of the shaft.
この構成によれば、テープロールの外側面に近接センサーが常に接触されているため、テープ部材が消費されてテープロールの外径が縮径すると、近接センサーはテープロールの外側面に沿ってテープロールの中心に向かって移動する。そして、テープ部材の残量が少なくなり、近接センサーと検出体との距離が所定の距離まで近づいたときに近接センサーが反応することで、テープ部材の残量を検出することができる。また、テープロールとシャフトとが偏心した状態で固定される場合であっても、検出体が形成されたシャフトの側壁（テープロールの空洞の内側面）からテープロールの外側面までの距離は一定である。よって、テープロールの全周にわたって近接センサーと検出体との距離が変わらず、テープロールが偏心した状態で回転しても、テープ部材の残量を高精度に検出することができる。 According to this configuration, since the proximity sensor is always in contact with the outer surface of the tape roll, when the tape member is consumed and the outer diameter of the tape roll is reduced, the proximity sensor is taped along the outer surface of the tape roll. Move towards the center of the roll. The remaining amount of the tape member is reduced, and the proximity sensor reacts when the distance between the proximity sensor and the detection body approaches a predetermined distance, whereby the remaining amount of the tape member can be detected. Even when the tape roll and the shaft are fixed in an eccentric state, the distance from the side wall of the shaft on which the detection body is formed (the inner surface of the tape roll cavity) to the outer surface of the tape roll is constant. It is. Therefore, even if the distance between the proximity sensor and the detection body does not change over the entire circumference of the tape roll and the tape roll rotates in an eccentric state, the remaining amount of the tape member can be detected with high accuracy.
また、本発明の上記テープ供給機構において、移動手段は、近接センサーをシャフトの直上に配置させ、重力で近接センサーが落下しテープロールの中心軸方向に移動する。 In the above-described tape supply mechanism of the present invention, the moving means disposes the proximity sensor immediately above the shaft, and the proximity sensor falls by gravity and moves in the direction of the central axis of the tape roll.
また、本発明の上記テープ供給機構において、移動手段は、近接センサーを振り子状態で支持する支持点を、テープロールの外側面より上に配置し、支持点を支点として重力で近接センサーがテープロールの中心軸方向に移動する。 Further, in the above tape supply mechanism of the present invention, the moving means has a support point for supporting the proximity sensor in a pendulum state above the outer surface of the tape roll, and the proximity sensor is moved by gravity with the support point as a fulcrum. Move in the direction of the central axis.
また、本発明の上記テープ供給機構において、移動手段は、近接センサーをテープロールの中心軸方向に付勢するバネを備え、バネによる付勢力によって近接センサーがテープロールの中心軸方向に移動する。 In the tape supply mechanism of the present invention, the moving means includes a spring that urges the proximity sensor in the direction of the central axis of the tape roll, and the proximity sensor moves in the direction of the central axis of the tape roll by the urging force of the spring.
本発明によれば、テープロールの外側面とシャフトの側壁との間隔を監視することで、テープロールが偏心した状態で回転しても、確実にテープ部材の残量を検出することができる。 According to the present invention, by monitoring the distance between the outer surface of the tape roll and the side wall of the shaft, the remaining amount of the tape member can be reliably detected even if the tape roll rotates in an eccentric state.
以下、図１を参照して、本実施の形態に係るテープ供給機構について説明する。図１は、本実施の形態に係るテープ供給機構の一例を示す図である。図１Ａは本実施の形態に係るテープ供給機構の全体斜視図を示し、図１Ｂはテープロール単体の斜視図を示し、図１Ｃは本実施の形態に係る支持手段の分解斜視図を示す。なお、本実施の形態に係るテープ供給機構は、以下の図に示す構成に限定されない。テープ供給機構は、テープロールからテープ部材を引き出し可能な構成であれば、どのような構成でもよい。 Hereinafter, the tape supply mechanism according to the present embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a diagram illustrating an example of a tape supply mechanism according to the present embodiment. FIG. 1A shows an overall perspective view of a tape supply mechanism according to the present embodiment, FIG. 1B shows a perspective view of a tape roll alone, and FIG. 1C shows an exploded perspective view of a support means according to the present embodiment. The tape supply mechanism according to the present embodiment is not limited to the configuration shown in the following figure. The tape supply mechanism may have any configuration as long as the tape member can be pulled out from the tape roll.
図１Ａに示すように、本実施の形態に係るテープ供給機構１は、テープホルダ３（支持台）にシャフト４が両持ちされており、シャフト４に固定されたテープロール２からテープ部材２１を引き出すように構成されている。また、テープ供給機構１は、テープロール２の外側面２２に接触させた近接センサー６により、テープ部材２１の残量を検出するように構成されている。
As shown in FIG. 1A, in the tape supply mechanism 1 according to the present embodiment, a
図１Ｂに示すように、テープロール２は、円筒状の芯部２３にテープ部材２１を巻装して構成される。テープ部材２１は、例えば、半導体デバイスの製造工程に用いられるダイシングテープであり、シート状の基材の表面に粘着層を積層して構成される。なお、テープ部材２１は、ダイシングテープに限らず、ロール状に巻装されるものであれば、どのように構成されてもよい。例えば、ウエーハを保護する保護テープ（ＢＧ（Back Grinding）テープ）、剥離用テープ、エキスパンドテープ、ＤＡＦ（Die Attach Film）で構成されてもよい。
As shown in FIG. 1B, the
図１Ｃに示すように、シャフト４は、テープロール２の空洞２４（図１Ｂ参照）に挿入される断面視Ｃ字状のアウターシャフト４０と、アウターシャフト４０の空洞に挿入されるインナーシャフト４２と、インナーシャフト４２の両端に取り付けられる一対のサイドシャフト４４と、によって構成される。
As shown in FIG. 1C, the
アウターシャフト４０は、側壁（外側面）の一部分に、後述する近接センサー６の検出対象となる帯状の検出体４１が形成されている。検出体４１は、例えば、磁性体で形成されており、アウターシャフト４０の外側面上で所定の幅を有している。また、検出体４１は、アウターシャフト４０の全周にわたって形成されている。このため、後述する近接センサー６は、テープロール２の回転角度によらず、検出体４１を検出することができ、テープ部材２１の残量をより高精度に検出することができる。インナーシャフト４２は、アウターシャフト４０の内側面よりも小径のスタッドボルトで構成され、両端に雄ネジ４３が形成されている。
In the
サイドシャフト４４は、先端に向かって縮径する略円錐台形状のテーパ部４５の後端面に、シャフト部４６を設けて構成される。シャフト部４６はテーパ部４５と同軸上に設けられており、シャフト部４６はテープロール２の回転軸となる。テーパ部４５の先端部分の外径は、アウターシャフト４０の内径より小さくインナーシャフト４２の外径より大きくなっている。一方、テーパ部４５の後端部分の外径は、アウターシャフト４０の内径より大きくなっている。また、テーパ部４５の先端には、インナーシャフト４２の両端の雄ネジ４３に嵌まり込むネジ穴４７が形成されている。
The
図１Ａに戻り、テープホルダ３は、上面視長方形状の底壁部３１の長手方向の両端から立ち上がる一対の側壁部３２によって、テープロール２を固定するシャフト４を挟み込んで支持するように構成されている。このように、シャフト４及びテープホルダ３は、テープロール２を支持する支持手段を構成する。
Returning to FIG. 1A, the
本実施の形態においては、テープロール２の空洞２４にアウターシャフト４０が挿入され、アウターシャフト４０の内側にインナーシャフト４２が挿入される。そして、テープロール２の両端を挟み込むように、一対のサイドシャフト４４がインナーシャフト４２の両端部分にねじ込まれる。このとき、サイドシャフト４４のテーパ面がアウターシャフト４０の内周エッジに接触し、テープロール２の内径より小さいアウターシャフト４０の外径は拡径される。
In the present embodiment, the
この結果、アウターシャフト４０の外側面は、テープロール２の内側面に押し付けられる。よって、テープロール２とシャフト４とが一体化され、テープロール２は、シャフト４によって一体回転可能に保持される。このとき、一対のサイドシャフト４４のそれぞれのシャフト部４６がテープロール２の回転軸となる。そして、一対のシャフト部４６をテープホルダ３の側壁部３２に取り付けることにより、テープロール２はテープホルダ３に回転可能に支持される。
As a result, the outer surface of the
このように、シャフト４は、複数の部材を組み合わせてテープロール２を固定する構成になっている。このため、各部材の組み付け時の誤差や寸法誤差等により、テープロール２の中心と回転軸（シャフト部４６）とがずれた状態で、テープロール２がシャフト４に固定される可能性がある。詳細は後述するが、本実施の形態においては、テープロール２の中心と回転軸とがずれた状態であっても、テープ部材２１の残量を確実に検出することが可能になっている。
Thus, the
次に、テープ部材２１の残量を検出する残量検出手段について説明する。図１Ａに示すように、底壁部３１の短手方向において、テープ部材２１の繰り出し側とは反対側の一端からは、上方に向かって側面視Ｌ字状の支柱部３３が伸びている。また、屈曲された支柱部３３の先端部分が、テープロール２の上方（シャフト４の真上）に位置している。支柱部３３の先端部分には、テープロール２の中心に向かって延在する筒状のガイド部５（移動手段）が取り付けられている。ガイド部５の内部には、近接センサー６が重力を受けてガイド部５に沿って移動可能に収容されている。近接センサー６の先端部分は、テープロール２の外側面に接触している。
Next, the remaining amount detecting means for detecting the remaining amount of the
近接センサー６は、例えば、磁気型の非接触式センサーで構成される。磁気型の近接センサー６は、磁性体で構成される検出体４１が接近したときの磁束の変化を検出する。なお、近接センサー６の構成は、これに限定されるものではなく、適宜変更が可能である。例えば、近接センサー６は、検出体４１の接近によって生じるインダクタンスの変化や熱損失を検出する電磁誘導型の近接センサー６で構成されてもよい。本実施の形態においては、近接センサー６及びガイド部５が、テープ部材２１の残量を検出する残量検出手段を構成する。
The
また、近接センサー６には、テープ部材２１の残量を通知する通知部７が接続されている。テープロール２からテープ部材２１が引き出されてテープロール２が縮径されると、近接センサー６は、テープロール２に接触したまま重力によってテープロール２の中心に向かって移動する。そして、テープ部材２１の残量が少なくなって、近接センサー６が検出体４１に対して所定の距離まで近づくと、近接センサー６は、検出体４１を検出して通知部７に信号を送信する。これにより、通知部７は、テープ部材２１の残量が少なくなったことを外部に通知する。なお、通知部７は、テープ部材２１の残量を画像表示してもよいし、発光、音声、音、その他の方法でテープ部材２１の残量を通知してもよい。
The
次に、図２を参照して、テープ部材の残量検出について説明する。図２は、本実施の形態に係るテープ供給機構のテープ部材の残量検出の一例を示す模式図である。図２Ａはテープ部材が十分に残っている状態を示し、図２Ｂはテープ部材の残量が少なくなった状態を示し、図２Ｃはテープロールの部分拡大図を示す。 Next, detection of the remaining amount of the tape member will be described with reference to FIG. FIG. 2 is a schematic diagram illustrating an example of the remaining amount detection of the tape member of the tape supply mechanism according to the present embodiment. 2A shows a state where the tape member is sufficiently left, FIG. 2B shows a state where the remaining amount of the tape member is reduced, and FIG. 2C shows a partially enlarged view of the tape roll.
図２に示すように、テープホルダ３に支持されたテープロール２の外側面２２の最も高い位置には、近接センサー６が接触している。近接センサー６の先端は球面形状を有しており、テープロール２に接触する面に、テフロン（登録商標）等のフッ素樹脂によってコーティングされている。これにより、近接センサー６の先端はテープ部材２１の表面を滑りやすくなっており、テープロール２の回転によって近接センサー６とテープ部材２１とが擦れても、テープ部材２１が傷つき難くなっている。テープロール２からテープ部材２１が引き出されて消費されることにより、テープロール２の外径は徐々に小さくなる。テープロール２の外側面２２に接触した近接センサー６は、テープロール２の縮径に合わせ、重力によってテープロール２の中心（シャフト４）に向かって移動（落下）する。
As shown in FIG. 2, the
このとき、近接センサー６は、テープロール２の外側面２２に接触した状態を維持しながらガイド部５に沿って移動する。本実施の形態においては、このガイド部５が移動手段を構成する。そして、図２Ｂに示すように、テープ部材２１の残量が少なくなり、近接センサー６と検出体４１との距離が所定の距離以下になったときに、近接センサー６が反応する。これによって、テープ部材２１の残量を検出することができる。なお、近接センサー６と検出体４１との所定の距離は、通知したいテープ部材２１の残量に合わせて近接センサー６の感度を調整することにより、適宜調整が可能である。
At this time, the
また、図２Ｃに示すように、テープロール２の中心Ｏ１に対してシャフト４の中心Ｏ２がずれて取り付けられた場合、テープロール２は、シャフト４（シャフト部４６）を中心に偏心した状態で回転する。このとき、任意の位置におけるテープロール２の外側面２２からシャフト４までの距離Ｒ１、Ｒ２はそれぞれ異なる一方、テープ部材２１自体の厚みは一定のため、テープロール２の外側面２２から検出体４１までの距離Ｔ１、Ｔ２は同じである。このように、テープロール２の外側面２２から検出体４１までの距離は、テープロール２のどの位置においても一定である。
Further, as shown in FIG. 2C, when the center O2 of the
よって、テープロール２が偏心して回転しても、近接センサー６の接触位置によって、近接センサー６と検出体４１との距離にズレが生じることはない。すなわち、近接センサー６と検出体４１との距離は、テープロール２の全周にわたって変わることがない。このため、近接センサー６は、テープ部材２１の残量を高精度に検出することができる。このように、テープ部材２１の残量を誤検出することがなく、確実にテープ部材２１の残量を検知することができる。また、重力によって、近接センサー６をテープロール２の外側面２２に接触させた状態を維持させる構成としたため、複雑な構成を必要とすることなく、テープ部材２１の残量を検出することができる。
Therefore, even if the
以上のように、本実施の形態に係るテープ供給機構１によれば、テープロール２の外側面２２に近接センサー６が常に接触されているため、テープ部材２１が消費されてテープロール２の外径が縮径すると、近接センサー６はテープロール２の外側面２２に沿ってテープロール２の中心に向かって移動する。そして、テープ部材２１の残量が少なくなり、近接センサー６と検出体４１との距離が所定の距離まで近づいたときに近接センサー６が反応することで、テープ部材２１の残量を検出することができる。また、テープロール２とシャフト４とが偏心した状態で固定される場合であっても、検出体４１が形成されたシャフト４の側壁（テープロール２の空洞２４の内側面）からテープロール２の外側面２２までの距離は一定である。よって、テープロール２の全周にわたって近接センサー６と検出体４１との距離が変わらず、テープロール２が偏心した状態で回転しても、テープ部材２１の残量を高精度に検出することができる。また、テープ部材２１の材質によらず、テープ部材２１の残量を検出することができる。
As described above, according to the tape supply mechanism 1 according to the present embodiment, since the
次に、図３を参照して、第１の変形例に係るテープ供給機構について説明する。図３は、第１の変形例に係るテープ供給機構の一例を示す模式図である。図３Ａはテープ部材が十分に残っている状態を示し、図３Ｂはテープ部材の残量が少なくなった状態を示す。第１の変形例においては、近接センサーを振り子で支持してテープロールの外側面に接触させる点で、本実施の形態と相違する。第１の変形例においては、相違点について重点的に説明する。また、本実施の形態と同一の構成については、同一の符号を付している。 Next, a tape supply mechanism according to a first modification will be described with reference to FIG. FIG. 3 is a schematic diagram illustrating an example of a tape supply mechanism according to a first modification. FIG. 3A shows a state where the tape member is sufficiently left, and FIG. 3B shows a state where the remaining amount of the tape member is reduced. The first modification differs from the present embodiment in that the proximity sensor is supported by a pendulum and brought into contact with the outer surface of the tape roll. In the first modified example, the difference will be mainly described. Moreover, the same code | symbol is attached | subjected about the structure same as this Embodiment.
図３に示すように、第１の変形例に係るテープ供給機構２０１では、テープホルダ３の底壁部３１から上方に立ち上がるＬ字状の支柱部３３の先端に、棒状のアーム部材８の一端が支持されており、アーム部材８の他端には、近接センサー６が固定されている。近接センサー６の先端がテープロール２の外側面２２に接触している。アーム部材８及び近接センサー６は、支柱部３３の先端を支点として揺動可能になっている。図３Ａに示すように、近接センサー６の先端部分の揺動軌跡は、テープロール２の中心（シャフト４）を通っている。
As shown in FIG. 3, in the
テープ部材２１が引き出されてテープロール２が縮径されると、テープロール２の外側面２２に接触している近接センサー６は、テープロール２の縮径に合わせ、重力によって下方（テープロール２の中心方向）に移動しようとする。このとき、近接センサー６は、テープロール２の外側面２２に接触した状態を維持しながら、アーム部材８の一端を支点に揺動してシャフト４に向かって移動する。第１の変形例においては、振り子を構成するアーム部材８が移動手段になっている。そして、図３Ｂに示すように、テープ部材２１の残量が少なくなり、近接センサー６が検出体４１に対して所定の距離まで近づくと、近接センサー６が反応する。このように、第１の変形例においても、テープ部材２１の残量を検出することができる。
When the
次に、図４を参照して、第２の変形例に係るテープ供給機構について説明する。図４は、第２の変形例に係るテープ供給機構の一例を示す模式図である。図４Ａはテープ部材が十分に残っている状態を示し、図４Ｂはテープ部材の残量が少なくなった状態を示す。第２の変形例においては、近接センサーをコイルバネの付勢力で付勢してテープロールの外側面に接触させる点で、本実施の形態と相違する。第２の変形例においては、相違点について重点的に説明する。また、本実施の形態と同一の構成については、同一の符号を付している。 Next, a tape supply mechanism according to a second modification will be described with reference to FIG. FIG. 4 is a schematic diagram illustrating an example of a tape supply mechanism according to a second modification. FIG. 4A shows a state where the tape member is sufficiently left, and FIG. 4B shows a state where the remaining amount of the tape member is reduced. The second modification is different from the present embodiment in that the proximity sensor is urged by the urging force of the coil spring and brought into contact with the outer surface of the tape roll. In the second modification, the difference will be described mainly. Moreover, the same code | symbol is attached | subjected about the structure same as this Embodiment.
図４に示すように、第２の変形例に係るテープ供給機構３０１では、テープホルダ３の底壁部３１の上面に、支持部９を介して上方に延在する筒状のガイド部１０が設けられている。ガイド部１０は、テープロール２の中心（シャフト４）に向かって延在している。ガイド部１０の内部には、コイルバネ１１が挿入されており、コイルバネ１１の先端に近接センサー６が取り付けられている。近接センサー６はコイルバネ１１によって上方に付勢されており、ガイド部１０に沿って上下動可能になっている。また、図４Ａに示すように、近接センサー６の先端は、コイルバネ１１の付勢力によって、テープロール２の外側面２２に接触した状態が維持されている。
As shown in FIG. 4, in the
テープ部材２１が引き出されてテープロール２が縮径されると、テープロール２の外側面２２に接触している近接センサー６は、テープロール２の縮径に合わせ、コイルバネ１１の付勢力によって上方に移動しようとする。このとき、近接センサー６は、テープロール２の外側面２２に接触した状態を維持しながらガイド部１０に沿ってシャフト４に向かって移動する。このように、第２の変形例においては、ガイド部５及びコイルバネ１１が移動手段になっている。そして、図４Ｂに示すように、テープ部材２１の残量が少なくなり、近接センサー６が検出体４１に対して所定の距離まで近づくと、近接センサー６が反応する。このように、第２の変形例においても、テープ部材２１の残量を検出することができる。
When the
なお、本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。上記実施の形態において、添付図面に図示されている大きさや形状などについては、これに限定されず、本発明の効果を発揮する範囲内で適宜変更することが可能である。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施することが可能である。 In addition, this invention is not limited to the said embodiment, It can change and implement variously. In the above-described embodiment, the size, shape, and the like illustrated in the accompanying drawings are not limited to this, and can be appropriately changed within a range in which the effect of the present invention is exhibited. In addition, various modifications can be made without departing from the scope of the object of the present invention.
例えば、上記した実施の形態において、シャフト４は、テープロール２の空洞２４にアウターシャフト４０及びインナーシャフト４２を挿入し、一対のサイドシャフト４４をインナーシャフト４２の両端にねじ込んでテープロールを固定する構成としたが、この構成に限定されない。シャフト４は、テープロール２を支持するものであれば、どのように構成されてもよく、例えば、単一の部材で構成されてもよい。
For example, in the above-described embodiment, the
また、上記した実施の形態において、近接センサー６の先端が球面形状を有する構成としたが、この構成に限定されない。近接センサー６の先端は、テープロール２の外側面２２に接触すればどのように形成されてもよい。
In the above-described embodiment, the tip of the
以上説明したように、本発明は、テープロールが偏心した状態で回転しても、確実にテープ部材の残量を検出することができるという効果を有し、特に、半導体デバイスの製造工程に用いられるテープ部材を供給するテープ供給機構に有用である。 As described above, the present invention has an effect that the remaining amount of the tape member can be reliably detected even when the tape roll rotates in an eccentric state, and is particularly used in a semiconductor device manufacturing process. This is useful for a tape supply mechanism for supplying a tape member to be manufactured.
１、２０１、３０１ テープ供給機構
２ テープロール
２１ テープ部材
２４ テープロールの空洞
３ テープホルダ（支持台）
４ シャフト（支持手段）
４１ 検出体
５、１０ ガイド部（移動手段）
６ 近接センサー（残量検出手段）
７ 通知部
８ アーム部材（移動手段）
１１ コイルバネ（バネ）
1, 201, 301
4 Shaft (support means)
41
6 Proximity sensor (remaining amount detection means)
7 Notification unit 8 Arm member (moving means)
11 Coil spring (spring)
Claims (4)
該支持手段は、該空洞に挿入し該テープロールを保持するシャフトと、該シャフトの両端を支持する支持台と、該シャフトの側壁に帯状に形成する検出体と、を備え、
該残量検出手段は、該検出体に近接して反応する近接センサーと、該近接センサーを該テープロールの外側面から中心軸に向かって移動させる移動手段と、を備え、
該移動手段を用いて該支持手段で支持される該テープロールの外側面に該近接センサーを接触させ、該テープロールから該テープ部材が引き出され該テープロールの外径が縮径されることによって、該近接センサーが該シャフトの該検出体に近接され反応しテープ残量を通知する通知部を備えるテープ供給機構。 A tape roll having a cavity in the center and wound with a tape member in a roll shape, a support means for supporting the tape roll using the cavity, and the tape member of the tape roll supported by the support means A tape supply mechanism comprising a remaining amount detecting means for detecting the remaining amount,
The support means includes a shaft that is inserted into the cavity and holds the tape roll, a support base that supports both ends of the shaft, and a detector that is formed in a strip shape on the side wall of the shaft,
The remaining amount detecting means includes a proximity sensor that reacts in proximity to the detection body, and a moving means that moves the proximity sensor from the outer surface of the tape roll toward the central axis.
The proximity sensor is brought into contact with the outer surface of the tape roll supported by the support means using the moving means, and the tape member is pulled out from the tape roll and the outer diameter of the tape roll is reduced. A tape supply mechanism comprising a notification unit that notifies the remaining amount of the tape when the proximity sensor approaches and reacts to the detection body of the shaft.
重力で該近接センサーが落下し該テープロールの中心軸方向に移動する請求項１記載のテープ供給機構。 The moving means arranges the proximity sensor directly above the shaft;
2. The tape supply mechanism according to claim 1, wherein the proximity sensor falls due to gravity and moves in the direction of the central axis of the tape roll.
該支持点を支点として重力で該近接センサーが該テープロールの中心軸方向に移動する請求項１記載のテープ供給機構。 The moving means is arranged such that a support point for supporting the proximity sensor in a pendulum state is located above the outer surface of the tape roll,
The tape supply mechanism according to claim 1, wherein the proximity sensor moves in the direction of the central axis of the tape roll by gravity with the support point as a fulcrum.
該バネによる付勢力によって該近接センサーが該テープロールの中心軸方向に移動する請求項１記載のテープ供給機構。 The moving means includes a spring that biases the proximity sensor in the direction of the central axis of the tape roll,
The tape supply mechanism according to claim 1, wherein the proximity sensor moves in a direction of a central axis of the tape roll by an urging force of the spring.
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