JP2015185233A - フラーレン及び有機高分子の負イオンビーム生成方法 - Google Patents
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- 粉末状のフラーレンまたは有機高分子試料を加熱して昇華させ、昇華させられたフラーレンまたは有機高分子に熱電子を付着させて負イオンとし、該負イオンを正電位で引き寄せてビーム化することを特徴とするフラーレンまたは有機高分子の負イオンビームの生成方法。
- 熱電子を発生するアイオナイザーを含むスパッターチャンバーと、該スパッターチャンバー内で生成されるフラーレンまたは有機高分子の負イオンを、負イオンビームとして外部に取り出すための引出電極と、前記スパッターチャンバー内に着脱可能に取り付けられたカソードロッドを用い、前記カソードロッド内に装填された粉末状のフラーレンまたは有機高分子試料を加熱して昇華させ、昇華させられたフラーレンまたは有機高分子に前記アイオナイザーからの熱電子を付着させて負イオンとし、該負イオンを正電位にある前記引出電極で引き寄せてビーム化することを特徴とするフラーレンまたは有機高分子の負イオンビームの生成方法。
- 請求項2の生成方法において、前記カソードロッド内に温度制御可能なるつぼを備え、前記るつぼの温度を制御することで、前記るつぼ内の粉末状のフラーレンまたは有機高分子の昇華割合を調整することを特徴とするフラーレンまたは有機高分子の負イオンビームの生成方法。
- 請求項2または3に記載の生成方法において、前記アイオナイザーからの熱電子の飛行時間を磁界によって長くすることで、昇華させられた前記フラーレンまたは有機高分子に電子が付着する確率を増加させることを特徴とするフラーレンまたは有機高分子の負イオンビームの生成方法。
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Citations (4)
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2014
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Patent Citations (4)
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