JP2015184242A - X-ray inspection device - Google Patents
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 86
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 133
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 claims description 4
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 18
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 16
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 7
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 7
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 7
- MARUHZGHZWCEQU-UHFFFAOYSA-N 5-phenyl-2h-tetrazole Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=NNN=N1 MARUHZGHZWCEQU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 241000251468 Actinopterygii Species 0.000 description 1
- 240000004050 Pentaglottis sempervirens Species 0.000 description 1
- 235000004522 Pentaglottis sempervirens Nutrition 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 210000000988 bone and bone Anatomy 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 235000019688 fish Nutrition 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000013372 meat Nutrition 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 235000021067 refined food Nutrition 0.000 description 1
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
Images
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
Description
本発明は、X線を用いて被検査物を検査するX線検査装置に関し、特に、X線ラインセンサを被検査物の搬送方向に複数備えるX線検査装置に関するものである。 The present invention relates to an X-ray inspection apparatus that inspects an inspection object using X-rays, and more particularly to an X-ray inspection apparatus that includes a plurality of X-ray line sensors in the conveyance direction of the inspection object.
一般に、X線検査装置は、搬送路上を所定間隔で順次搬送されてくる各品種の被検査物(例えば、肉、魚、加工食品、医薬品など)にX線発生器からX線を照射し、被検査物を透過したX線の透過量を検出することで、被検査物中の異物(金属、ガラス、石、骨など)や欠陥の有無などを判別し、被検査物の良否判定を行っている。 In general, an X-ray inspection apparatus irradiates X-rays from an X-ray generator to each type of inspection object (for example, meat, fish, processed food, pharmaceuticals, etc.) that are sequentially transported on a transport path at predetermined intervals. By detecting the amount of X-rays transmitted through the object to be inspected, foreign matter (metal, glass, stone, bone, etc.) in the object to be inspected and the presence / absence of defects are discriminated, and the quality of the object to be inspected is determined. ing.
従来、この種のX線検査装置には、X線ラインセンサを被検査物の搬送方向に複数本併設し、複数のX線ラインセンサからの検出信号から生成される画像データを合成することにより、検査精度を向上させるようにしたものがある(例えば、特許文献1参照)。 Conventionally, in this type of X-ray inspection apparatus, a plurality of X-ray line sensors are provided side by side in the conveyance direction of the inspection object, and image data generated from detection signals from the plurality of X-ray line sensors is synthesized. In some cases, the inspection accuracy is improved (for example, see Patent Document 1).
また、従来、この種のX線検査装置には、コントラスト差の2次元画像の他だけでなく、被検査物の搬送方向と略直交する方向の断面波形画像や3次元鳥瞰波形画像を選択的に表示することにより、検出リミット値を容易に設定することができるようにしたものがある(例えば、特許文献2参照)。 Conventionally, in this type of X-ray inspection apparatus, not only a two-dimensional image of contrast difference but also a cross-sectional waveform image and a three-dimensional bird's-eye waveform image in a direction substantially orthogonal to the conveyance direction of the inspection object are selectively used. In some cases, it is possible to easily set the detection limit value by displaying on (see, for example, Patent Document 2).
しかしながら、特許文献1のように、複数のX線ラインセンサからの画像データを合成するものは、合成後の画像にのみ基づいて被検査物の良否判定を行っており、また、合成前の画像を表示することができなかったため、ユーザーが合成前の画像を参照してX線ラインセンサの不良の有無を確認したり、被検査物の良否判定結果の分析をすることができなかった。 However, as disclosed in Patent Document 1, what synthesizes image data from a plurality of X-ray line sensors determines the quality of an object to be inspected based only on the synthesized image. Therefore, the user cannot confirm the presence or absence of a defect in the X-ray line sensor with reference to the pre-combination image or analyze the result of quality determination of the inspected object.
また、特許文献2のように、1つのX線ラインセンサを有し、合成されていない異なる種類の画像データを選択的に表示するものは、複数のX線ラインセンサを備える構成を想定しておらず、特許文献1と同様に合成前の画像を表示することができなかった。
In addition, as in
そこで、本発明は、前述のような従来の問題を解決するためになされたもので、複数のX線ラインセンサを備えていても検出素子のX線受光状態や不良の有無を確認することができるX線検査装置を提供することを目的としている。 Therefore, the present invention has been made to solve the above-described conventional problems, and even if a plurality of X-ray line sensors are provided, it is possible to check the X-ray light receiving state of the detection element and the presence or absence of defects. An object of the present invention is to provide an X-ray inspection apparatus that can be used.
本発明に係るX線検査装置は、搬送路の搬送面上を搬送される被検査物にX線を照射するX線管と、前記被検査物の搬送方向の平面上で搬送方向に直交する幅方向に直線状に配置された複数の検出素子からなる複数のX線ラインセンサを前記搬送方向に有し、前記X線の受光量に応じたX線検出データを前記X線ラインセンサ毎に出力するX線検出器と、前記複数のX線ラインセンサからのX線検出データを合成して合成済データとして出力する合成部と、前記合成済データに基づいて異物の混入の有無を含む前記被検査物の良否判定を行う判定部と、前記合成済データまたは前記判定部による良否判定結果の少なくとも一方を表示可能な表示器と、前記表示器の表示内容を制御する表示制御部と、を備え、前記表示制御部は、前記表示器に、少なくとも1つの前記X線検出データと、前記合成済データとを、同時に表示させるよう制御することを特徴とする。 An X-ray inspection apparatus according to the present invention is orthogonal to a transport direction on an X-ray tube that irradiates an object to be inspected transported on a transport surface of a transport path and a plane in the transport direction of the object to be inspected. A plurality of X-ray line sensors composed of a plurality of detection elements arranged linearly in the width direction are provided in the transport direction, and X-ray detection data corresponding to the amount of received X-rays is provided for each X-ray line sensor. Including an X-ray detector to output, a combining unit that combines X-ray detection data from the plurality of X-ray line sensors and outputs the combined data, and whether or not foreign matter is mixed based on the combined data A determination unit that performs pass / fail determination of an object to be inspected, a display that can display at least one of the synthesized data or the pass / fail determination result by the determination unit, and a display control unit that controls display content of the display The display control unit is provided in the display At least one of said X-ray detection data, and said precomposed data, and controlling so as to display simultaneously.
この構成により、合成済データと同時にX線検出データが表示器に表示されるので、ユーザーは、複数のX線ラインセンサを備えていても検出素子のX線受光状態や不良の有無を確認することができる。 With this configuration, X-ray detection data is displayed on the display device at the same time as the synthesized data, so that the user can check the X-ray light receiving state of the detection element and the presence or absence of defects even if a plurality of X-ray line sensors are provided. be able to.
また、本発明に係るX線検査装置は、前記表示制御部は、前記表示器に、少なくとも1つの前記X線検出データと、前記合成済データとを、重ねた状態で同時に表示させるよう制御することを特徴とする。 In the X-ray inspection apparatus according to the present invention, the display control unit controls the display so that at least one X-ray detection data and the synthesized data are simultaneously displayed in a superimposed state. It is characterized by that.
この構成により、合成済データと合成前のX線検出データとが重ねられた状態で同時に表示器に表示されるので、ユーザーは、検出素子のX線受光状態や不良の有無を確認することができる。 With this configuration, since the synthesized data and the X-ray detection data before synthesis are displayed on the display unit at the same time, the user can check the X-ray light receiving state of the detection element and whether there is a defect. it can.
また、本発明に係るX線検査装置は、前記表示制御部は、複数の前記X線ラインセンサのうち1つの前記X線ラインセンサによる前記X線検出データと他の前記X線ラインセンサによる前記X線検出データとの間で切り換え可能に、前記表示器に、少なくとも1つの前記X線検出データと、前記合成済データとを、同時に表示させるよう制御することを特徴とする。 Further, in the X-ray inspection apparatus according to the present invention, the display control unit includes the X-ray detection data obtained by one X-ray line sensor and the other X-ray line sensors among the plurality of X-ray line sensors. The display device is controlled to display at least one of the X-ray detection data and the combined data at the same time so as to be switchable between the X-ray detection data and the display.
この構成により、何れのX線ラインセンサからのX線検出データを表示器に表示させるかが切り換え可能なため、ユーザーは、X線ラインセンサ毎に、検出素子のX線受光状態や不良の有無を確認することができる。 With this configuration, the X-ray detection data from which X-ray detection data can be displayed on the display can be switched, so that the user can detect the X-ray light receiving state of the detection element and whether there is a defect for each X-ray line sensor. Can be confirmed.
また、本発明に係るX線検査装置は、前記複数のX線ラインセンサからの各X線検出データに処理を施すフィルタ処理部を備え、前記表示制御部は、前記表示器に、前記フィルタ処理部で処理が施された少なくとも1つの前記X線検出データと、前記合成済データとを、同時に表示させるよう制御することを特徴とする。 The X-ray inspection apparatus according to the present invention further includes a filter processing unit that performs processing on each X-ray detection data from the plurality of X-ray line sensors, and the display control unit includes the filter processing on the display unit. And at least one X-ray detection data processed by the unit and the synthesized data are controlled to be displayed simultaneously.
この構成により、合成前であってフィルタ処理等が施された後のX線検出データが、合成済データと同時に表示されるので、ユーザーは、フィルタ処理等が施された後のX線検出データを参照してX線ラインセンサの良否を確認することができる。 With this configuration, the X-ray detection data before being subjected to the filter processing or the like before the synthesis is displayed at the same time as the synthesized data, so that the user can detect the X-ray detection data after being subjected to the filter processing or the like. The quality of the X-ray line sensor can be confirmed with reference to FIG.
また、本発明に係るX線検査装置は、前記被検査物中の異物の混入の有無を判定するための検出リミット値の設定操作を行うリミット値設定操作部を備え、前記表示制御部は、前記表示器に、前記X線検出データとしての前記幅方向または搬送方向の断面波形画像の少なくとも1つと、前記合成済データとを、同時に表示させるよう制御することを特徴とする。 Further, the X-ray inspection apparatus according to the present invention includes a limit value setting operation unit that performs a setting operation of a detection limit value for determining whether or not foreign matter is mixed in the inspection object, and the display control unit includes: Control is performed such that at least one of the cross-sectional waveform images in the width direction or the conveyance direction as the X-ray detection data and the combined data are simultaneously displayed on the display.
この構成により、ユーザーは、表示器に表示される断面波形画像を見ることでピーク値の確認をしながら、検出リミット値の設定操作を行うことができる。 With this configuration, the user can perform the setting operation of the detection limit value while checking the peak value by looking at the cross-sectional waveform image displayed on the display.
また、本発明に係るX線検査装置は、前記検出素子のうち不使用とする検出素子の設定操作を行う検出素子設定操作部(49)を備えたことを特徴とする。 In addition, the X-ray inspection apparatus according to the present invention includes a detection element setting operation unit (49) for performing a setting operation of a detection element that is not used among the detection elements.
この構成により、ユーザーは、表示器に表示されるX線検出データを見ながら、不使用とする検出素子を設定することができる。 With this configuration, the user can set detection elements that are not used while viewing X-ray detection data displayed on the display.
本発明は、複数のX線ラインセンサを備えていても検出素子のX線受光状態や不良の有無を確認することができるX線検査装置を提供することができる。 The present invention can provide an X-ray inspection apparatus that can confirm the X-ray light receiving state of a detection element and the presence or absence of a defect even when a plurality of X-ray line sensors are provided.
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。まず構成について説明する。図1に示すように、X線検査装置1は、搬送部2と検出部3とを筐体4の内部に備え、表示器5を筐体4の前面上部に備えている。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. First, the configuration will be described. As shown in FIG. 1, the X-ray inspection apparatus 1 includes a
搬送部2は、筐体4に対して水平に配置されたベルトコンベアの搬送面(ベルト面)2a上で、被検査物Wを所定間隔をおいて順次搬送するようになっている。搬送部2は、図1に示す駆動モータ6の駆動により予め設定された搬送速度で搬入口7から搬入された被検査物Wを搬出口8側(図中X方向)に向けて搬送するようになっている。筐体4内部において搬送面2a上を搬入口7から搬出口8まで貫通する空間は搬送路21を形成している。
The
検出部3は、搬送路21途中の検査空間22の上方に所定高さ離隔して配置されたX線発生源としてのX線発生器9と、このX線発生器9と搬送部2内に対向して配置されたX線検出器10とを備えている。検出部3は、搬送路21の途中の検査空間22において、順次搬送される被検査物Wに対し、X線発生器9によりX線を照射するとともに、被検査物Wを透過するX線をX線検出器10により検出するようになっている。
The detection unit 3 includes an
X線発生器9は、円筒状のX線管12と、このX線管12を絶縁油に浸漬した状態で収納する金属製の箱体11とを備えており、X線管12の陰極からの電子ビームを陽極のターゲットに照射させてX線を生成するようになっている。
The
X線管12により生成されたX線は、下方のX線検出器10に向けて、図示しないスリットにより略三角形状のスクリーン状となって搬送方向(X方向)を横切るように照射されるようになっている。
X-rays generated by the
ここで、X線管12の陽極と陰極との間に流す電流(管電流)に比例して、X線管12が発生するX線の強度は変化する。また、X線管12の陽極と陰極との間に印加する電圧(管電圧)が高くなるに連れて、X線管12が発生するX線の波長が短くなりX線の透過力が強くなる。このため、X線管12の管電流および管電圧は、検出対象とする異物および被検査物Wの種類や搬送速度に応じて調整されるようになっている。
Here, the intensity of the X-ray generated by the
図2に示すように、搬送路21内の天井部21aには、搬送方向(X方向)に沿って複数個所にX線遮蔽用の遮蔽カーテン16が吊り下げ配置されている。遮蔽カーテン16は、X線を遮蔽する鉛粉を混入したゴムシートをのれん状(上部が繋がっており下部が帯状に分割された状態)に加工したものから構成されており、検査空間22から搬送路21を介してX線が筐体4の外部に漏えいすることを防止するようになっている。
As shown in FIG. 2, X-ray
遮蔽カーテン16は、本実施形態では、搬入口7と検査空間22との間、および検査空間22と搬出口8との間にそれぞれ2枚ずつ設けられており、1つの遮蔽カーテン16が被検査物Wと接触して弾性変形して隙間が生じた場合でも、他の遮蔽カーテン16がX線を遮蔽することで、漏えい基準量を超えることなくX線の漏えいを防止できるようになっている。搬送路21における遮蔽カーテン16により囲まれた内側の空間は検査空間22を構成している。
In this embodiment, two
X線検出器10は、図3(a)、図3(b)に示すように、Y方向(幅方向)に直線状に延在する複数のX線ラインセンサ50、60を搬送面2aの下方に備えている。X線ラインセンサ50はX方向上流側に配置され、X線ラインセンサ60はX方向下流側に配置されている。
As shown in FIG. 3A and FIG. 3B, the
X線ラインセンサ50、60は、同じエネルギーのX線を検出するシングルエナジー、または、X線を一方が高エネルギーで検出し他方が低エネルギーで検出するデュアルエナジーセンサーとして構成されている。
The
X線ラインセンサ50は、X線検出素子としての複数のセンサモジュール51、52、53、54をY方向にそれぞれ直線状に配置したものから構成されている。X線ラインセンサ60は、X線検出素子としての複数のセンサモジュール61、62、63、64をY方向にそれぞれ直線状に配置したものから構成されている。
The
各センサモジュール51、52、53、54、61、62、63、64は、それぞれX線検知部51a、52a、53a、54a、61a、62a、63a、64aを基板51b、52b、53b、54b、61b、62b、63b、64b上に実装したものから構成されている。
Each of the
X線検知部51a、52a、53a、54a、61a、62a、63a、64aは、受光素子としてのフォトダイオード(図示せず)と、フォトダイオード上に設けられたシンチレータ(図示せず)とから構成されている。
The
X線検知部51a、52a、53a、54a、61a、62a、63a、64aは、X線発生器9から被検査物Wに対してX線が照射されているとき、被検査物Wを透過してくるX線をシンチレータで受けて光に変換するようになっている。また、X線検知部51a、52a、53a、54a、61a、62a、63a、64aは、シンチレータで変換された光をフォトダイオードで受光し、受光した光を電気信号に変換して出力するようになっている。このため、X線ラインセンサ50、60は、入射するX線の強度に応じたX線検出データを出力するようになっている。
The
なお、X線ラインセンサ50、60は、他の例として、テルル化カドミウム(CdTe)のような半導体を用いて、X線を直接的に効率良く電気信号に変換するように構成されていてもよい。
As another example, the
X線検出器10はA/D変換部41を備えており、このA/D変換部41は、X線ラインセンサ50、60からのX線検出データをデジタルデータに変換して出力するようになっている。
The
ここで、X線検出器10がA/D変換部41を備える代わりに、制御部40がA/D変換部41を備えるようにしてもよい。すなわち、X線検出器10から制御部40への出力を、デジタルデータに変換された後のX線検出データとする代わりに、デジタルデータに変換される前のX線検出データをX線検出器10の側で出力し、制御部40の側でデジタルデータに変換するように構成してもよい。
Here, instead of the
図2に示すように、X線検査装置1は制御部40を備え、この制御部40は、X線検出器10からのX線検出データに基づいて判定部48により被検査物Wの良否判定を行うようになっている。また、制御部40は、被検査物Wの良否判定の他に、X線検査装置1全体の制御を行うようになっている。
As shown in FIG. 2, the X-ray inspection apparatus 1 includes a
制御部40は、一時記憶部42と、画像処理部46と、判定部48と、表示制御部45とを備えている。また、X線検査装置1は、表示器5と設定操作部49とを備えており、これら表示器5および設定操作部49は、筐体4の前面上部に互いに隣接して配置されている。
The
制御部40は、一時記憶部42に記憶されたX線ラインセンサ50、60からのX線検出データを、画像処理部46で判定用の合成済データとして合成し、作成された合成済データに基づいて、判定部48で被検査物Wの良否を判定し、判定結果を表示器5により表示するようになっている。
The
一時記憶部42は、X線検出データを高速に記憶および読み出しが可能な半導体メモリ等から構成されており、X線ラインセンサ50、60からのX線検出データを一時的に記憶するようになっている。
The
画像処理部46は、フィルタ処理部43と合成部44とを備え、X線ラインセンサ50、60のX線検出データを一時記憶部42から読み出すとともに、読み出したX線検出データを判定部48での判定用に合成して、被検査物Wに対応する合成済データとして出力するようになっている。
The
フィルタ処理部43は、一時記憶部42に記憶されたX線ラインセンサ50、60からのX線検出データに基づいて生成される合成前または合成後の被検査物WのX線検出データ(X線画像)に対し、検出しようとする異物情報がより強調されて抽出できるように所定のフィルタ処理などの画像処理を施すようになっている。フィルタ処理部43がX線検出データに施すフィルタとしては、例えば微分フィルタ(Robertsフィルタ、Prewittフィルタ、Sobelフィルタ)やラプラシアンフィルタなどの特徴抽出フィルタがある。
The
合成部44は、一時記憶部42に記憶されたX線ラインセンサ50、60からのX線検出データに基づくX線画像を合成するものであり、一時記憶部42に記憶されたX線ラインセンサ50、60からのX線検出データに対し、フィルタ処理部43による画像処理前または画像処理後のX線画像を合成するようになっている。
The synthesizing
画像処理部46は、例えば、図4に示すように、一時記憶部42から読み出したX線検出データ50b、60bにフィルタ処理部43によって画像処理を施し、画像処理済のX線検出データ50d、60dを作成する。さらに、画像処理部46は、画像処理済のX線検出データ50d、60dを合成部44によって合成し、判定部48で判定するための被検査物Wに対応する合成済データ10dmとして出力するようになっている。
For example, as shown in FIG. 4, the
なお、画像処理部46は、一時記憶部42から読み出したX線検出データ50b、60bを合成部44によって合成し、その合成された合成画像に対し、フィルタ処理部43による画像処理を施して、被検査物Wに対応する合成画像である合成済データ10dmを出力するようにしてもよい。また、画像処理部46は、フィルタ処理部43により画像処理済のX線検出データ50d、60dを合成部44によって合成して合成画像を作成した後に、再度、フィルタ処理部43による画像処理を施して、被検査物Wに対応する合成済データ10dmを出力するようにしてもよい。
The
判定部48は、画像処理部46で合成された合成済データ10dm(濃度データ)に基づいて異物の混入の有無または欠陥の有無を判定するようになっている。判定部48は、異物の混入の有無を判定するときは、被検査物Wと異物との判別を行うことで被検査物Wの中から異物を検出するようになっている。
The
また、判定部48は、欠陥の有無を判定するときは、予め記憶された被検査物Wの形状またはリミットと比較することで、被検査物Wの形状や内容物の過不足等に関する欠陥の有無を判定するようになっている。
Further, when the
表示制御部45は、表示器5の表示内容を制御するようになっている。表示制御部45の機能については、後に詳しく説明する。
The
設定操作部49は、不図示のキーボードおよびタッチパネルを備えており、X線発生器9のX線出力の設定や、搬送速度等の検査パラメータの設定操作、動作モードの選択操作が行われるようになっている。
The setting
ここで、制御部40が実行する動作モードとしては、通常運用モードとリミット調整モードと素子検査モードとがある。
Here, the operation modes executed by the
設定操作部49は、後述する通常運用モードとリミット調整モードと不良素子検査モードとの間の動作モードの切り換え操作が行われるようになっている。
The setting
通常運用モードとは、被検査物Wに対して異物の有無等の検査を行う動作モードである。リミット調整モードとは、異物判定の検出リミット値を調整する動作モードである。また、不良素子検査モードとは、X線ラインセンサ50、60の複数の検出素子のうち不使用とする検出素子を設定するモードである。
The normal operation mode is an operation mode in which the inspection object W is inspected for the presence or absence of foreign matter. The limit adjustment mode is an operation mode for adjusting the detection limit value for foreign matter determination. The defective element inspection mode is a mode in which detection elements that are not used among the plurality of detection elements of the
制御部40は、設定操作部49で指定された動作モードに従って、通常運用モード、リミット調整モード、または素子検査モードの何れかを選択的に実行するようになっている。
The
図4において、X線ラインセンサ50、60で検出されたX線検出データ50b、60bのうち、X線ラインセンサ50の一部の検出素子に不良によりX線検出データ50bに筋状の線が発生している。
In FIG. 4, among the
この場合、フィルタ処理部43でフィルタ処理が施されることにより、画像処理後のX線検出データ50dでは筋状の線が薄くなり視認し難くなることがある。また、この場合、合成済データ10dmにおいて筋状の線は判別不可能になってしまい、異物箇所Gを判定部48で判定することはできるものの、合成済データ10dmからはX線ラインセンサ50の検出素子の不良を確認することができない場合がある。
In this case, when the filter processing is performed by the
そこで、本実施形態では、表示制御部45は、不良素子検査モードにおいて、図5(a)に示すように、表示器5に、少なくとも1つのX線検出データ50bと、合成済データ10dmとを、同時に表示させるようになっている。
Therefore, in the present embodiment, the
また、表示制御部45は、図5(b)に示すように、表示器5に、少なくとも1つのX線検出データ50bと、合成済データ10dmとを、重ねた状態で同時に表示させるようになっていてもよい。
Further, as shown in FIG. 5 (b), the
また、表示制御部45は、このX線検出データを、図6(a)に示すように、複数のX線ラインセンサ50、60のうち1つのX線ラインセンサ50によるX線検出データ50bと他のX線ラインセンサ60によるX線検出データ60bとの間で切り換え可能に表示器5に表示させるようにしてもよい。
Further, the
また、表示制御部45は、図6(b)に示すように、表示器5に、フィルタ処理部43で処理が施された少なくとも1つのX線検出データ50dと、合成済データ10dmとを、同時に表示させるようにしてもよい。
Further, as shown in FIG. 6B, the
不良素子検査モードにおける図5(a)、図5(b)、図6(a)、図6(b)の画面では、不良により不使用とする検出素子の設定操作が設定操作部49から行われるようになっている。不使用とする検出素子は、不良素子のみに設定してもよいし、不良素子を含む検出素子列全て、すなわちX線ラインセンサ50を不使用に設定してもよい。
In the screen of FIG. 5A, FIG. 5B, FIG. 6A, and FIG. 6B in the defective element inspection mode, a setting operation of a detection element that is not used due to a defect is performed from the setting
また、本実施形態では、リミット調整モードにおいて、表示制御部45は、図7に示すように、表示器5に、画像処理済のX線検出データ50dとしての幅方向または搬送方向の断面波形画像の少なくとも1つと、合成済データ10dmとを、同時に表示させるようにしてもよい。図7において、断面波形画像のX線検出データ50dは、図6(b)の平面画像のX線検出データ50dを搬送面2aの幅方向に切断した断面波形を表すものである。
In the present embodiment, in the limit adjustment mode, as shown in FIG. 7, the
リミット調整モードにおける図7の画面では、ユーザーにより、被検査物W中の異物の混入の有無を判定するための検出リミット値Lの設定操作が設定操作部49から行われるようになっている。例えば、ユーザーは、表示器5に表示された断面波形画像を見ながら設定操作部49から操作を行うことで、異物箇所Gのピーク部分等に応じて検出リミット値Lを増減することができるようになっている。また、ユーザーは、表示器5の断面波形画像に重ねて表示される矢印形状のポインタPを、設定操作部49からの操作により移動させることで、このポインタPで指定された箇所の検出データの数値を確認することができるようになっている。図7ではポインタPで指定された箇所の数値が「300」であることが表示されている。このように、表示制御部45により表示器5に表示される情報は、画像データだけでなく、数値データも含まれる。
On the screen of FIG. 7 in the limit adjustment mode, a setting operation of the detection limit value L for determining whether or not foreign matter is mixed in the inspection object W is performed from the setting
なお、リミット調整モードは、設定操作部49からの操作設定に応じて他の動作モードから切り換えられるようになっていてもよいが、通常運用モードで被検査物Wを検査中に異物混入等による不良品判定が発生した場合等に、自動的に移行するようにしてもよい。
The limit adjustment mode may be switched from another operation mode according to the operation setting from the setting
以上のように、本実施形態に係るX線検査装置1では、表示制御部45は、表示器5に、少なくとも1つのX線検出データ50bと、合成済データ10dmとを、同時に表示させるよう制御している。
As described above, in the X-ray inspection apparatus 1 according to the present embodiment, the
このため、合成済データ10dmと同時にX線検出データ50bが表示器5に表示されるので、ユーザーは、複数のX線ラインセンサ50、60を備えていても検出素子のX線受光状態や不良の有無を確認することができる。
For this reason, since the
また、本実施形態に係るX線検査装置1では、表示制御部45は、表示器5に、少なくとも1つのX線検出データ50bと、合成済データ10dmとを、重ねた状態で同時に表示させるよう制御している。
Further, in the X-ray inspection apparatus 1 according to the present embodiment, the
このため、合成済データ10dmと合成前のX線検出データ50bとが重ねられた状態で同時に表示器5に表示されるので、ユーザーは、検出素子のX線受光状態や不良の有無を確認することができる。
For this reason, since the synthesized data 10dm and the
また、本実施形態に係るX線検査装置1では、表示制御部45は、複数のX線ラインセンサ50、60のうち1つのX線ラインセンサ50によるX線検出データ50bと他のX線ラインセンサ60によるX線検出データ60bとの間で切り換え可能に、表示器5に、少なくとも1つのX線検出データ50bと、合成済データ10dmとを、同時に表示させるよう制御している。
Further, in the X-ray inspection apparatus 1 according to the present embodiment, the
このため、何れのX線ラインセンサ50、60からのX線検出データ50b、60bを表示器に表示させるかが切り換え可能なため、ユーザーは、X線ラインセンサ50、60毎に、検出素子のX線受光状態や不良の有無を確認することができる。
For this reason, since it is possible to switch which
また、本実施形態に係るX線検査装置1では、複数のX線ラインセンサ50、60からの各X線検出データに処理を施すフィルタ処理部43を備え、表示制御部45は、表示器5に、フィルタ処理部43で処理が施された少なくとも1つのX線検出データ50dと、合成済データ10dmとを、同時に表示させるよう制御している。
In addition, the X-ray inspection apparatus 1 according to the present embodiment includes a
このため、合成前であってフィルタ処理等が施された後のX線検出データ50dが、合成済データ10dmと同時に表示されるので、ユーザーは、フィルタ処理等が施された後のX線検出データ50dを参照してX線ラインセンサ50、60の良否を確認することができる。
For this reason, since the
また、本実施形態に係るX線検査装置1では、被検査物W中の異物の混入の有無を判定するための検出リミット値の設定操作が設定操作部49から行われる。また、表示制御部45は、表示器5に、X線検出データ50d、60dである幅方向の断面波形画像の少なくとも1つと、合成済データ10dmとを、同時に表示させるよう制御している。
In the X-ray inspection apparatus 1 according to the present embodiment, the setting
このため、ユーザーは、表示器5に表示される断面波形画像を見ることでピーク値の確認をしながら、検出リミット値の設定操作を行うことができる。
Therefore, the user can perform the setting operation of the detection limit value while checking the peak value by looking at the cross-sectional waveform image displayed on the
また、本実施形態に係るX線検査装置1では、検出素子のうち不使用とする検出素子の設定操作が設定操作部49から行われる。
In the X-ray inspection apparatus 1 according to the present embodiment, a setting operation of a detection element that is not used among the detection elements is performed from the setting
このため、ユーザーは、表示器5に表示されるX線検出データ50b、60bを見ながら、不使用とする検出素子を設定することができる。
Therefore, the user can set a detection element that is not used while viewing the
以上のように、本発明に係るX線検査装置は、複数のX線ラインセンサを備えていても検出素子のX線受光状態や不良の有無を確認することができるという効果を有し、X線ラインセンサを被検査物の搬送方向に複数備えるX線検査装置として有用である。 As described above, the X-ray inspection apparatus according to the present invention has an effect that even if a plurality of X-ray line sensors are provided, the X-ray light receiving state of the detection element and the presence or absence of defects can be confirmed. This is useful as an X-ray inspection apparatus provided with a plurality of line line sensors in the direction of conveyance of the inspection object.
1 X線検査装置
2a 搬送面
5 表示器
9 X線発生器
10 X線検出器
10dm 合成済データ
12 X線管
21 搬送路
40 制御部
43 フィルタ処理部
44 合成部
45 表示制御部
46 画像処理部
48 判定部
49 設定操作部(リミット値設定操作部、検出素子設定操作部)
50、60 X線ラインセンサ
50b、60b X線検出データ
50d、60d X線検出データ
51、52、53、54、61、62、63、64 センサモジュール(検出素子)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1
50, 60
Claims (6)
前記被検査物の搬送方向(X方向)の平面上で搬送方向に直交する幅方向(Y方向)に直線状に配置された複数の検出素子からなる複数のX線ラインセンサ(50、60)を前記搬送方向に有し、前記X線の受光量に応じたX線検出データを前記X線ラインセンサ毎に出力するX線検出器(10)と、
前記複数のX線ラインセンサからのX線検出データを合成して合成済データとして出力する合成部(44)と、
前記合成済データに基づいて異物の混入の有無を含む前記被検査物の良否判定を行う判定部(48)と、
前記合成済データまたは前記判定部による良否判定結果の少なくとも一方を表示可能な表示器(5)と、
前記表示器の表示内容を制御する表示制御部(45)と、を備え、
前記表示制御部は、前記表示器に、少なくとも1つの前記X線検出データと、前記合成済データとを、同時に表示させるよう制御することを特徴とするX線検査装置。 An X-ray tube (12) for irradiating the inspection object (W) transported on the transport surface (2a) of the transport path (21) with X-rays;
A plurality of X-ray line sensors (50, 60) comprising a plurality of detection elements linearly arranged in a width direction (Y direction) orthogonal to the transport direction on a plane in the transport direction (X direction) of the inspection object. An X-ray detector (10) that outputs X-ray detection data corresponding to the amount of received X-rays for each X-ray line sensor;
A synthesizing unit (44) for synthesizing X-ray detection data from the plurality of X-ray line sensors and outputting the synthesized data;
A determination unit (48) for performing pass / fail determination of the object to be inspected including presence / absence of foreign matter based on the synthesized data;
A display (5) capable of displaying at least one of the synthesized data or the quality determination result by the determination unit;
A display control unit (45) for controlling the display content of the display,
The X-ray inspection apparatus, wherein the display control unit controls the display to display at least one X-ray detection data and the synthesized data simultaneously.
前記表示制御部は、前記表示器に、前記フィルタ処理部で処理が施された少なくとも1つの前記X線検出データと、前記合成済データとを、同時に表示させるよう制御することを特徴とする請求項1〜請求項3の何れかに記載のX線検査装置。 A filter processing unit (43) for processing each X-ray detection data from the plurality of X-ray line sensors;
The display control unit controls the display to simultaneously display at least one of the X-ray detection data processed by the filter processing unit and the synthesized data. The X-ray inspection apparatus in any one of Claims 1-3.
前記表示制御部は、前記表示器に、前記X線検出データとしての前記幅方向または搬送方向の断面波形画像の少なくとも1つと、前記合成済データとを、同時に表示させるよう制御することを特徴とする請求項1〜請求項4の何れかに記載のX線検査装置。 A limit value setting operation unit (49) for performing a setting operation of a detection limit value for determining whether foreign matter is mixed in the inspection object;
The display control unit controls the display so that at least one of the cross-sectional waveform images in the width direction or the conveyance direction as the X-ray detection data and the combined data are displayed simultaneously. The X-ray inspection apparatus according to any one of claims 1 to 4.
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Applications Claiming Priority (1)
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---|---|---|---|
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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Country | Link |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018105864A (en) * | 2016-12-23 | 2018-07-05 | 同方威視技術股▲分▼有限公司 | Dual Energy Detector and Radiation Inspection System |
JP2018116001A (en) * | 2017-01-20 | 2018-07-26 | アンリツインフィビス株式会社 | X-ray inspection device |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4383327A (en) * | 1980-12-01 | 1983-05-10 | University Of Utah | Radiographic systems employing multi-linear arrays of electronic radiation detectors |
JPH0743321A (en) * | 1993-07-29 | 1995-02-14 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | X-ray inspection device |
JP2004028686A (en) * | 2002-06-24 | 2004-01-29 | Anritsu Sanki System Co Ltd | X-ray foreign matter detection device and image display method of device |
JP2004301674A (en) * | 2003-03-31 | 2004-10-28 | System Square Inc | Apparatus for inspecting foreign object |
JP2008032754A (en) * | 2007-10-25 | 2008-02-14 | Toshiba It & Control Systems Corp | X-ray fluoroscopic inspection apparatus |
JP2011145253A (en) * | 2010-01-18 | 2011-07-28 | Anritsu Sanki System Co Ltd | X-ray detector and x-ray detecting method for foreign matter |
JP2013174545A (en) * | 2012-02-27 | 2013-09-05 | Anritsu Sanki System Co Ltd | X-ray foreign object detection apparatus |
JP2013210390A (en) * | 2013-06-12 | 2013-10-10 | Hamamatsu Photonics Kk | Radiation detection apparatus |
-
2014
- 2014-03-26 JP JP2014063264A patent/JP6274939B2/en active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4383327A (en) * | 1980-12-01 | 1983-05-10 | University Of Utah | Radiographic systems employing multi-linear arrays of electronic radiation detectors |
JPH0743321A (en) * | 1993-07-29 | 1995-02-14 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | X-ray inspection device |
JP2004028686A (en) * | 2002-06-24 | 2004-01-29 | Anritsu Sanki System Co Ltd | X-ray foreign matter detection device and image display method of device |
JP2004301674A (en) * | 2003-03-31 | 2004-10-28 | System Square Inc | Apparatus for inspecting foreign object |
JP2008032754A (en) * | 2007-10-25 | 2008-02-14 | Toshiba It & Control Systems Corp | X-ray fluoroscopic inspection apparatus |
JP2011145253A (en) * | 2010-01-18 | 2011-07-28 | Anritsu Sanki System Co Ltd | X-ray detector and x-ray detecting method for foreign matter |
JP2013174545A (en) * | 2012-02-27 | 2013-09-05 | Anritsu Sanki System Co Ltd | X-ray foreign object detection apparatus |
JP2013210390A (en) * | 2013-06-12 | 2013-10-10 | Hamamatsu Photonics Kk | Radiation detection apparatus |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
植山 英弘: "「金属検出機とX線検査機」", 包装技術, vol. 46, no. 10, JPN6014045182, 1 October 2008 (2008-10-01), pages 808 - 812, ISSN: 0003701600 * |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018105864A (en) * | 2016-12-23 | 2018-07-05 | 同方威視技術股▲分▼有限公司 | Dual Energy Detector and Radiation Inspection System |
JP2018116001A (en) * | 2017-01-20 | 2018-07-26 | アンリツインフィビス株式会社 | X-ray inspection device |
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