JP2015171979A - オゾン製造装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】実施形態のオゾン製造装置は、酸素供給部と、昇圧部と、オゾン生成装置と、PSA装置とを持つ。酸素供給部は、原料酸素を供給する。昇圧部は、前記酸素供給部から供給された前記原料酸素を昇圧する。オゾン生成装置は、前記昇圧部の後段に配置され、昇圧後の前記原料酸素からオゾンを生成させる。PSA装置は、前記オゾン生成装置の後段に配置され、昇圧後の前記原料酸素と前記オゾンとが混合された混合ガスから前記オゾンを分離する。
【選択図】図1
Description
オゾン発生器は、2つの電極間に位置する放電ギャップに原料酸素(オゾンの原料)を供給させた状態で、2つの電極間に高電圧を印加することで、放電ギャップに発生するバリア放電によりオゾン化ガス(オゾン)を生成する。
図1は、本実施形態のオゾン製造装置の概略構成を模式的に示す図である。
図1を参照するに、本実施形態のオゾン製造装置10は、酸素供給部11と、原料酸素供給ライン13と、オゾン生成装置15と、混合ガス供給ライン17と、昇圧部18と、流量調整部21と、制御装置22と、乾燥空気製造装置23と、乾燥空気供給ライン24と、PSA(Pressure Swing Adsorption(圧力変動吸着))装置26(以下、単に「PSA装置26」という)と、アルゴン除去装置28と、を有する。
原料酸素としては、例えば、酸素ガスや液体酸素等を用いることができる。酸素供給部11としては、例えば、酸素ガスを供給する酸素ガス供給源、或いは液体酸素を供給する液体酸素供給源を用いることができる。
図1及び図2を参照するに、オゾン生成装置15は、耐圧容器41と、金属電極42と、冷却水収容部44と、誘電体電極45と、スペーサ47と、高圧給電端子51と、配線52と、高電圧電源53と、ヒューズ55と、第1の圧力計58と、第2の圧力計59と、を有する。
耐圧容器本体61は、オゾンが生成されるオゾン生成空間を区画している。ガス導入口62は、昇圧部18側に位置する耐圧容器本体61の下部に設けられている。ガス導入口62は、原料酸素供給ライン13の他端と接続されている。ガス導入部62は、耐圧容器本体61内に原料酸素供給ライン13を介して供給される原料酸素を導入するための導入口である。
ガス導出口64は、耐圧容器本体61内で生成されたオゾンと原料酸素とが混合された混合ガスを混合ガス供給ライン17に導出するための導出口である。
冷却水導出口67は、耐圧容器本体61のうち、冷却水収容部44から冷却水を導出可能な位置(具体的には、耐圧容器本体61の上部)に設けられている。冷却水導出口67は、冷却水収容部44から金属電極42の冷却に寄与した冷却水を導出するための導出口である。
上記耐圧容器41は、例えば、0.6MPa程度の圧力に耐え得ることが可能な構造(例えば、材質及び厚さ等)とされている。
Y方向に位置する金属電極42の外周部は、冷却水導入口65、冷却水導出口67、及び冷却水収容部47を区画する耐圧容器本体61の内壁を囲むように、耐圧容器本体61の内壁と接続されている。金属電極42は、接地されている。
金属電極42としては、例えば、ステンレス管を用いることができる。
誘電部材71は、金属電極42と導電膜72との間に配置された誘電体として機能する。誘電部材71としては、例えば、ステンレス膜を用いることができる。
導電膜72は、誘電部材71のうち、金属電極42で囲まれた部分の内面を覆うように配置されている。導電膜72としては、例えば、ステンレス膜を用いることができる。
これにより、誘電部材71と金属電極42との間には、円筒状の空間である放電ギャップ48が形成されている。放電ギャップ48は、パルス放電される領域であり、該領域において、オゾンが生成される。
放電ギャップ48の値が小さいと、濃度の高いオゾンを高い収率で得ることができるが、放電ギャップ48の値が小さすぎると均一な間隔で放電ギャップ48を形成することが困難となる。また、放電ギャップ48の値が小さすぎると、放電ギャップ48を通過するガスの圧力損失が生じるため、放電ギャップ48の下限は、0.05mmとなる。
上記理由により、放電ギャップ48は、例えば、0.05〜0.4mmの範囲内で設定するとよい。
配線52は、一端が高圧給電端子51と接続されており、他端が高電圧電源53と接続されている。
高電圧電源53は、耐圧容器41の外部に配置されている。高電圧電源53は、接地されると共に、ヒューズ55を介して、高圧給電端子51にパルス状の高電圧を印加可能な状態で接続されている。
ヒューズ55は、配線52のうち、耐圧容器41の外部に位置する部分に設けられている。
第2の圧力計59は、耐圧容器41内のうち、ガス導出口64付近に位置する混合ガス(オゾンと酸素とを含むガス)の圧力を測定可能な位置に設けられている。第2の圧力計59は、制御装置22と電気的に接続されている。第2の圧力計59は、測定した圧力に関するデータ(以下、「第2の圧力データ」という)を制御装置22に送信する。
第2の圧力計59が測定する圧力は、PSA装置26を構成する第1及び第2の吸着塔81,82の内圧と略等しい。
そして、オゾン生成装置15内で生成されたオゾンと、原料である酸素と、が混合された混合ガスは、ガス導出口64を介して、混合ガス供給ライン17に導出される。
また、オゾン生成装置15では、原料酸素のうちの47%をオゾンにすることが可能である。
昇圧部18は、流量調整部21(具体的には、流量計21−2)とオゾン生成装置15との間に位置する原料酸素供給ライン13に設けられている。昇圧部18は、原料酸素供給ライン13により供給される原料酸素の圧力が所定の圧力となるように昇圧する。
昇圧部18により、所定の圧力に昇圧された原料酸素は、原料酸素供給ライン13及びガス導入口62を介して、オゾン生成装置15の耐圧容器本体61内に供給され、放電状態とされた放電ギャップ48を通過することで、その一部がオゾンとなる。
オゾン及び過酸化水素による水中の難分解物質分解に有効であるOHラジカルの濃度は、オゾンの濃度の2乗で生成される。従来のオゾンの濃度(例えば、200g/Nm3)に含まれるOHラジカルの濃度を2倍にするためには、オゾン濃度を√2(=1.4142)倍にする必要がある。つまり、従来のOHラジカルの2倍以上の濃度を得るためには、オゾンの濃度を280(=200×1.4142)g/Nm3以上にする必要がある。
このように、オゾン生成装置15の前段に昇圧部18を設け、放電ギャップ48が0.4mm以下の場合において、昇圧部18により、原料酸素の圧力を0.15〜0.46MPaの範囲内の圧力となるように昇圧することで、PSA装置26から導出されるオゾンの濃度を280g/Nm3以上にすることができる。
また、放電ギャップ48が0.1mmの場合には、例えば、原料酸素の圧力が0.12〜0.75MPaの範囲内の圧力となるように昇圧することで、濃度が280g/Nm3以上とされたオゾンを得ることができる。
また、先に説明したように、放電ギャップ48が0.4mmの場合には、例えば、原料酸素の圧力が0.15〜0.46MPaの範囲内の圧力となるように昇圧することで、濃度が280g/Nm3以上とされたオゾンを得ることができる。
また、該OHラジカルは、半導体洗浄やパッシベーション膜に生成、原子炉の除染等の用途に適用可能である。
図3は、オゾン生成装置15の性能を含まない第1の吸着塔単体の性能を示している。吸着オゾン濃度は、第1の吸着塔81を構成する吸着剤122に吸着するオゾンの濃度を示している。また、脱着オゾン濃度は、第1の吸着塔81を構成する吸着剤122から脱着するオゾンの濃度を示している。
なお、PSA装置26を構成する第2の吸着塔82の性能も図3に示す第1の吸着塔81の性能と略等しい。
図3に示すように、PSA装置26は、吸着時において、吸着塔内のガス圧が高くなると、オゾンの収率が向上する。そのため、昇圧部18として昇圧ポンプを用いる場合、オゾン生成装置15とPSA装置26との間に位置する混合ガス供給ライン17(言い換えれば、PSA装置26の直前)に該昇圧ポンプを配置することも考えられる。
したがって、図1にしめすように、昇圧部18となる昇圧ポンプの配設位置は、PSA装置26の直前ではなく、オゾンを生成するオゾン生成装置15の前段に配置するとよい。
このように、昇圧部18として蒸発器を設け、該蒸発器により、液体酸素をガス化させることで、原料酸素が所定の圧力となるように昇圧することができる。
流量計21−2は、自動バルブ21−1を経由した原料酸素の流量を測定し、制御装置22に、測定した流量に関するデータ(以下、「原料酸素流量データ」という)を送信する。
酸素供給部11が供給する原料酸素が酸素ガスの場合、流量計21−2としては、ガス測定用の流量計を用いる。酸素供給部11が供給する原料酸素が液体酸素の場合、流量計21−2としては、液体測定用の流量計を用いる。
記憶部22−1には、オゾン製造装置10を用いたオゾン生成及び回収処理を行うためのプログラム、第1の圧力計58が測定する第1の圧力と第2の圧力計59が測定する第2の圧力との差が所定の閾値(以下、「差圧閾値」という)以下となるように流量調整部21を制御するためのプログラム、及び差圧閾値に関するデータが格納されている。
また、上記条件において、放電ギャップを0.05mmから0.1mmに変更した場合、差圧閾値は、例えば、0.011MPaとすることができる。
また、上記条件において、放電ギャップを0.05mmから0.4mmに変更した場合、差圧閾値は、例えば、0.00017MPaとすることができる。
これにより、オゾン生成装置15とPSA装置26との間に、別途、混合ガスの圧力を昇圧させるためのポンプが不要になると共に、高濃度のオゾンを効率良く生成及び回収することができる。
乾燥空気供給ライン24は、原料酸素リサイクル用ライン92のうち、原料酸素リサイクル用ライン91から分岐した原料酸素リサイクル用ライン92の分岐位置とバルブ95との間に位置する部分と接続されている。
吸着剤122としては、オゾンを吸着可能な吸着剤を用いる。具体的には、吸着剤122としては、例えば、ゼオライトを用いることができる。
バルブ88は、原料酸素供給用分岐ライン85に設けられている。バルブ88が開くと、第2の吸着塔82内に混合ガスが供給され、バルブ88が閉じると、第2の吸着塔82内への混合ガスの供給が停止される。
原料酸素リサイクル用ライン91は、アルゴン除去装置28を介して、第1の吸着塔81を通過した原料酸素を昇圧部18に供給する。
原料酸素リサイクル用ライン92は、原料酸素リサイクル用ライン91から分岐されたラインであり、その端が第2の吸着塔82の上端部と接続されている。
原料酸素リサイクル用ライン92は、原料酸素リサイクル用ライン91の一部、及びアルゴン除去装置28を介して、第2の吸着塔82を通過した原料酸素を昇圧部18に供給する。
バルブ95は、原料酸素リサイクル用ライン92に設けられている。バルブ95は、第2の吸着塔82がオゾンを吸着する際に開かれ、オゾンを脱着する際に閉じられる。バルブ95が開かれた状態では、アルゴン除去装置28に原料酸素が供給される。
乾燥空気供給用分岐ライン102は、乾燥空気供給用分岐ライン101から分岐されたラインである。乾燥空気供給用分岐ライン102の端は、バルブ95と第2の吸着塔82との間に位置する原料酸素リサイクル用ライン92と接続されている。
バルブ105は、乾燥空気供給用分岐ライン102に設けられている。バルブ105は、第2の吸着塔82がオゾンを吸着する際に閉じられ、オゾンを脱着する際に開かれる。バルブ105が開かれた状態では、第2の吸着塔82内に乾燥空気が供給される。
オゾン回収用ライン107のうち、オゾン回収用ライン108の接続位置よりも後段に位置する部分は、オゾン回収用ライン108介して、第2の吸着塔82の吸着剤125から脱着させたオゾンを回収する。
オゾン回収用ライン108は、第2の吸着塔82の吸着剤125から脱着させたオゾンを回収するためのラインである。
バルブ111は、第1の吸着塔81がオゾンを吸着する際に閉じられ、オゾンを脱着する際に開かれる。バルブ111が開かれた状態では、第1の吸着塔81内から脱着されたオゾンがオゾン回収用ライン107に供給される。
上記構成とされたPSA装置26としては、例えば、酸素PSA装置を用いることができる。
なお、図1では、PSA装置26を構成する吸着塔が2つの場合を例に挙げて説明したが、PSA装置26を構成する吸着塔の数は、複数であればよく、2つに限定されない。
アルゴン除去装置28は、第1及び第2の吸着塔81,82から供給される原料酸素に含まれるアルゴンを除去するための装置である。アルゴン除去装置28によりアルゴンが除去された原料酸素は、原料酸素リサイクル用ライン91及び原料酸素供給ライン13を介して、昇圧部18に供給される。
これにより、オゾン生成装置15の前段において、原料酸素の圧力を昇圧させ、オゾン生成装置15を介して、該原料酸素の圧力と略等しい圧力とされた混合ガス(オゾンと原料酸素とを含むガス)を吸着塔(具体的には、第1の吸着塔81または第2の吸着塔82)に供給することが可能となる。
したがって、従来の装置で取得される200g/Nm3の濃度のオゾンに含まれるOHラジカルの2倍以上の濃度を有する高濃度のオゾン(濃度が280g/Nm3以上とされたオゾン)を得ることができる。
さらに、オゾン生成装置15の前段に昇圧部18を配置させることで、オゾン生成装置15で生成されるオゾンにより、昇圧部18が酸化することを抑制できる。
(実施例1)
実施例1では、図1に示すオゾン製造装置10の構成に、さらに、2つのオゾン濃度分析装置(荏原実業株式会社製のオゾンモニタ(UVオゾンモニタ;モデル600))を設けた装置を用いた。
一方のオゾン濃度測定器は、ガス導出口64(図2参照)の近傍に位置する混合ガス供給ライン17を流れる混合ガスに含まれるオゾン濃度(言い換えれば、オゾン生成装置の出口のオゾン濃度)を分析可能な位置に配置させた。
他方のオゾン濃度測定器は、オゾン回収用ライン108の接続位置の後段に位置するオゾン回収用ライン107を流れるガスに含まれるオゾン濃度(言い換えれば、PSA装置の出口のオゾン濃度)を分析可能な位置に配置させた。
高電圧電源53としては、2−5kHzでピーク電圧が13kVの交流電源を用いた。また、放電ギャップ48は、0.05mmとした。今回は、小型で検証用の平板型オゾン発生装置を用いたが、従来例にも示した同軸円筒型オゾン発生装置を用いてもよい。
その後、0.5MPaの圧力で吸着剤122に吸着したオゾンを脱着させ、他方のオゾン濃度測定器を用いて、PSA装置26の出口のオゾン濃度を測定した。
この結果を図4に示す。図4は、実施例1の放電ギャップを0.05mmとしたときのオゾン吸着時の第1の吸着塔内のガス圧とオゾン濃度との関係を示す図(グラフ)である。
なお、図4に示す2つの曲線は、飽和オゾン濃度曲線と、PSA装置26の出口側のオゾン濃度曲線と、を示している。
また、吸着時の第1の吸着塔81内のガス圧を0.4〜0.5MPaの範囲内とすることで、オゾン濃度を800g/Nm3まで高めることが可能であることが確認できた。
なお、第2の吸着塔82を用いて、同様な実験を行ったところ、同様な結果が得られた。
実施例2では、放電ギャップを0.1mmに変更したこと以外は、実施例1と同様な手法により、オゾン吸着時の第1の吸着塔81内のガス力を0.2MPa、0.3MPa、0.4MPa、0.5MPa、0.6MPa、0.8MPaと順次変更させて、オゾン生成装置15の出口のオゾン濃度、及びPSA装置26の出口のオゾン濃度を測定した。この結果を図5に示す。
図5を参照するに、放電ギャップ48が0.1mmの場合、PSA装置26の出口におけるオゾン濃度を280g/Nm3にするためには、第1の吸着塔81内の吸着時のガス圧を0.12〜0.75MPaの範囲内に設定するとよいことが確認できた。
また、吸着時の第1の吸着塔81内のガス圧を0.3〜0.4MPaの範囲内とすることで、オゾン濃度を600g/Nm3まで高めることができることが確認できた。
なお、第2の吸着塔82を用いて、同様な実験を行ったところ、上記説明した第1の吸着塔81と同様な結果が得られた。
実施例3では、放電ギャップを0.4mmに変更したこと以外は、実施例1と同様な手法により、オゾン吸着時の第1の吸着塔81内のガス圧を0.2MPa、0.3MPa、0.4MPa、0.5MPa、0.6MPa、0.8MPaと順次変更させて、オゾン生成装置15の出口のオゾン濃度、及びPSA装置26の出口のオゾン濃度を測定した。この結果を図6に示す。
図6を参照するに、放電ギャップ48が0.4mmの場合、PSA装置26の出口におけるオゾン濃度を280g/Nm3にするためには、第1の吸着塔81内の吸着時のガス圧を0.15〜0.46MPaにするとよいことが確認できた。
また、吸着時の第1の吸着塔81内のガス圧を0.3MPaとすることで、オゾン濃度を400g/Nm3まで高めることが可能であることが確認できた。
なお、第2の吸着塔82を用いて、同様な実験を行ったところ、上記説明した第1の吸着塔81と同様な結果が得られた。
Claims (5)
- 原料酸素を供給する酸素供給部と、
前記酸素供給部から供給された前記原料酸素を昇圧する昇圧部と、
前記昇圧部の後段に配置され、昇圧後の前記原料酸素からオゾンを生成させるオゾン生成装置と、
前記オゾン生成装置の後段に配置され、昇圧後の前記原料酸素と前記オゾンとが混合された混合ガスから前記オゾンを分離するPSA装置と、
を有するオゾン製造装置。 - 前記昇圧部の前段に配置され、該昇圧部に供給する前記原料酸素の流量を調整する流量調整部と、
前記オゾン生成装置の入口側に位置する前記原料酸素の圧力を測定する第1の圧力計と、
前記オゾン生成装置の出口側に位置する前記混合ガスの圧力を測定する第2の圧力計と、
を有する請求項1記載のオゾン製造装置。 - 前記原料酸素は、酸素ガスであり、
前記昇圧部は、前記酸素ガスの圧力を昇圧する昇圧ポンプである請求項1または2記載のオゾン製造装置。 - 前記原料酸素は、液体酸素であり、
前記昇圧部は、前記液体酸素をガス化させる蒸発器である請求項1または2記載のオゾン製造装置。 - 前記オゾン生成装置は、2つの電極間に配置され、かつ0.4mm以下とされた放電ギャップを有しており、
前記昇圧部は、前記PSA装置の出口側の圧力が0.15〜0.46MPaの範囲内となるように、前記原料酸素を昇圧させる請求項1ないし4のうち、いずれか1項記載のオゾン製造装置。
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