JP2015170267A - 流量調整弁及びこれを備える流体制御装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】流量調整弁は、第一弁室12と、第一弁室12の中心軸線と平行な中心軸線を有する第二弁室17と、第一開口13を有する第一流路14と、第一弁室12と第二弁室17とを連通する連通流路15と、第二開口21を有する第二流路22と、を備え、開口13、21と流路14、15、22の流路軸線が同一平面上に配置された本体1と、本体1に固定されるボンネット2、3と、ボンネット2、3内に配置される駆動手段と、駆動手段により上下動され第二弁室17の中心軸線と交差する第一ダイヤフラム7と、第一弁室12の中心軸線と交差する第二ダイヤフラム8と、第二ダイヤフラム9を付勢する付勢手段と、を具備する。
【選択図】図1
Description
3 下部ボンネット
4 取り付け台
5 電気式駆動部
7 第一ダイヤフラム
8 第二ダイヤフラム
12 第一弁室
15 連通流路
17 第二弁室
26 第二駆動部
28 ガイド
31 ニードル部
51 位置センサ
52 検出部
53 ストッパ
54 第三ダイヤフラム
56 環状空間
71 流量調整弁
72 流量計
73 制御部
Claims (3)
- 上面に形成された第一弁室と、下面に形成され第一弁室の中心軸線と平行な中心軸線を有する第二弁室と、第一開口を有し前記第一弁室に連通する第一流路と、前記第一弁室と前記第二弁室とを連通する連通流路と、第二開口を有し前記第二弁室に連通する第二流路と、を備え、前記第一開口と前記第一流路と前記連通流路と前記第二流路と前記第二開口のそれぞれの流路軸線が同一平面上に配置された本体と、前記本体の上部に固定されるボンネットと、前記ボンネットの内部空間に配置される駆動手段と、下面に弁体を備え、前記駆動手段により上下動されることによって前記連通流路の開口面積を変化させ、第二弁室の中心軸線と交差する第一ダイヤフラムと、前記第二弁室の下方を覆い、第一弁室の中心軸線と交差する第二ダイヤフラムと、前記第二ダイヤフラムを前記本体と挟持固定する第二ダイヤフラム押さえと、前記第二ダイヤフラムを第二弁室方向に付勢する付勢手段と、を具備することを特徴とする流量調整弁。
- 前記駆動手段が、前記ボンネットの内部空間に配置される電気式駆動部と、前記電気式駆動部と前記本体とを接続し、下部に駆動軸が貫通する貫通孔を有する取り付け台と、前記電気式駆動部と前記本体との間に配置され、前記電気式駆動部の作動により昇降する前記駆動軸と、を備え、前記駆動軸は、前記電気式駆動部の軸部に固定される第一軸部と、前記第一軸部に対して回動不能かつ上下動自在に接続された第二駆動軸と、を備え、前記第二駆動軸は鍔部と軸部とを有し、前記鍔部は、前記第二駆動軸の動作を回動不能に規制するガイド手段と、前記弁体の所定動作範囲外への移動を前記鍔部以外の部品に干渉させることによって制限する機械式制限手段と、前記弁体の所定動作範囲外への移動または所定動作範囲内における移動を前記鍔部の位置を少なくとも二か所で検出することによって制限するセンサ式制限手段と、を備え、前記センサ式制限手段は、それぞれ単独で取り付け位置を調整することができ、かつ水平方向に平行に配置された少なくとも二つのセンサを有し、前記軸部と前記取り付け台の前記貫通孔との間には隙間が形成され、前記第一ダイヤフラムと前記第二駆動軸に挟持固定され、前記第二駆動軸の先端部を内包し前記本体側にすぼまるすり鉢形状に形成され、前記本体と前記電気式駆動部とを隔てる第三ダイヤフラムを備え、前記第一ダイヤフラムと前記第三ダイヤフラムとの間には、前記第一ダイヤフラムの上面を底面とし、前記第三ダイヤフラムの下面を天井面とし、径方向に広がる環状空間が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の流量調整弁。
- 請求項1または請求項2に記載の流量調整弁と、流量計と、該流量計からの出力に応じて流量調整弁の制御を行う制御部とを備えることを特徴とする流体制御装置。
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