JP2015145092A - メタルマスクとその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
(1)半田粒子や銀粒子などの金属粒子を、フラックスと言う粘性媒体物に混同してペースト状にした導電性ペーストを、基板上の所定の位置に塗布する。導電性ペーストは、含有する金属粒子の種類により、「半田ペースト」「銀ペースト」と呼ばれる。
導電性ペーストを基板上に塗布するにあたっては、「メタルマスク」と呼ばれる金属製の孔版を用いる印刷法が、広く一般に用いられている。
(2)電子部品の端子を(1)で塗布した配線の所定の位置の導電性ペーストの上に戴置する。大量生産においては、この工程は「マウンタ」と呼ばれる自動装置で行われることが一般的である。
(3)電子部品を戴置したプリント配線基板を、リフロー炉と呼ばれる高温乾燥炉に搬送する。この中でおよそ150〜270℃程度の高温で加熱することで、導電性ペースト中のフラックスに含まれる溶剤成分が揮発し、導電性ペーストを凝固させ、部品を基板上に固定することができる。
面内に印刷用の開口が設けられたメタルマスク母体の表面及び開口側壁に、メタルマスク母体よりもビッカース硬度が高い合金が被覆されていることを特徴とするメタルマスクであり、
また、請求項2に係る発明は、メタルマスク母体のビッカース硬度が200Hv〜600Hvであり、皮膜層のビッカース硬度が700〜900Hvであることを特徴とする、請求項1記載のメタルマスクであり、
また、請求項3に係る発明は、皮膜層が、ニッケルとホウ素とリンの合金であることを特徴とする、請求項1または2記載のメタルマスクであり、
また、請求項4に係る発明は、導電性ペースト印刷に供されるメタルマスクの製造方法であって、面内に印刷用の開口が設けられたメタルマスク母体の表面及び開口側壁に、メタルマスク母体よりもビッカース硬度の高い合金を、無電解ニッケルめっきで皮膜することを特徴とする、メタルマスクの製造方法であり、
また、請求項5に係る発明は、無電解ニッケルめっき液中の金属成分が、ニッケルとホウ素とリンを含むことを特徴とする、請求項4記載のメタルマスクの製造方法である。
次に、硝酸とフッ化系水素の混合液、または硝酸とフッ化水素アンモニウムの混合液である処理液に浸漬し、熱変質層や金属溶融物を化学的に除去する化学研磨法も考えられる。
この方法は、前記電解研磨法と異なり、熱変質層も除去できる点と、開口のエッジの切削が発生しないという長所があるが、一方で酸により金属表面が粗くり過ぎる恐れがあるため,やはり過度に処理しないように加減する必要がある。
ここで、無電解ニッケルめっきの皮膜組成は、ニッケル−リン(Ni−P)、ニッケル−ボロン(Ni−B)のような代表的なものの他に、ニッケル−ボロン−リン(Ni−B−P)が挙げられる。また、最近ではNi−B−Pのめっき液に、2価のスズイオンを添加することによって、鉛などの環境負荷物質の使用を抑えつつ、同様の物性を有する無電解ニッケルめっき皮膜を形成できることが知られている。
先ず、メタルマスク母体に対し、脱脂、酸洗、無電解ニッケルめっき用活性化処理(ストライクめっき等)などの前処理を行った後、前記無電解めっき液に指定条件に従って浸漬し、合金皮膜を形成した。浸漬後のメタルマスクの総厚を測定し、合金皮膜の厚さは2.0μmであることを確認した。また、合金皮膜のビッカース硬度は、析出段階で715Hvであった。
(比較例1)
(比較例2)
(比較例3)
析出段階での320Hvと低かったため、300℃で1時間熱処理を行ったところ、高度は約600Hvにまで向上したものの、比較例4と同様に、マスクの変形が発生した。また、撥水性樹脂の為にスキージ面の摩擦が低すぎるため、半田ペーストのローリングは実施例1ほど良好ではなく、開口へのペーストの充填性に乏しかったため、03015部品については、半田ペーストが十分に印刷されていなかったという結果となった。
52 無電解ニッケルめっき合金皮膜
53 メタルマスク母体
54 開口
71 開口エッジ
72 開口
Claims (5)
- 電子回路の実装工程などの用に供される、導電性ペースト印刷用メタルマスクであって、
面内に印刷用の開口が設けられたメタルマスク母体の表面及び開口側壁に、
メタルマスク母体よりもビッカース硬度が高い合金が被覆されていることを特徴とするメタルマスク - メタルマスク母体のビッカース硬度が200Hv〜600Hvであり、皮膜層のビッカース硬度が700〜900Hvであることを特徴とする、請求項1記載のメタルマスク。
- 皮膜層が、ニッケルとホウ素とリンの合金であることを特徴とする、請求項1または2記載のメタルマスク。
- 導電性ペースト印刷に供されるメタルマスクの製造方法であって、面内に印刷用の開口が設けられたメタルマスク母体の表面及び開口側壁に、メタルマスク母体よりもビッカース硬度の高い合金を、無電解ニッケルめっきで被覆することを特徴とする、メタルマスクの製造方法。
- 無電解ニッケルめっき液中の金属成分に、ニッケル、ホウ素、リンを含むことすることを特徴とする、請求項4記載のメタルマスクの製造方法。
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