JP2015139240A - Manufacturing method for feedthrough and feedthrough - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、液化ガスタンク内への電力供給に用いられるフィードスルーに関するものである。 The present invention relates to a feedthrough used for supplying power to a liquefied gas tank.
液化ガスタンク内への電力供給に用いられるブッシング及びフィードスルーに関する技術としては、液化ガスタンク内に液化ガスの汲揚用に設置されたサブマージドポンプへの電力供給に用いられるフィードスルーが知られている（たとえば、特許文献１）。
このフィードスルーは、円盤状のターミナルヘッダベースと、ターミナルヘッダベースに設けた複数のブッシング挿通孔にそれぞれ挿通された複数ブッシングより構成されており、各ブッシングはターミナルヘッダベースのブッシング挿通孔の軸方向の両端で、ターミナルヘッダベースに気密に固着されている。
ここで、各ブッシングは、絶縁材料からなる中空管状の絶縁管と絶縁管の中空部に挿通された導体とより構成されており、導体は絶縁管の中空部の軸方向の両端で絶縁管に気密に固着されている。
As a technology related to bushing and feedthrough used for power supply to a liquefied gas tank, feedthrough used for power supply to a submerged pump installed in the liquefied gas tank for pumping liquefied gas is known. (For example, Patent Document 1).
This feed-through is composed of a disk-shaped terminal header base and a plurality of bushings inserted through a plurality of bushing insertion holes provided in the terminal header base, and each bushing is in the axial direction of the bushing insertion hole of the terminal header base. At both ends, airtightly fixed to the terminal header base.
Here, each bushing is composed of a hollow tubular insulating tube made of an insulating material and a conductor inserted into the hollow portion of the insulating tube, and the conductor is formed into an insulating tube at both axial ends of the hollow portion of the insulating tube. Airtightly fixed.
そして、液化ガスタンク外まで延伸された液化ガス汲揚用管の液化ガスタンク外の位置に設けられている開口を気密に塞ぐようにターミナルヘッダベースを取り付けることにより、フィードスルーは液化ガス汲揚用管に気密に連結され、ブッシングの導体と、液化ガス汲揚用管内を通る給電線とを介して、液化ガスタンク及び液化ガス汲揚用管の外部からサブマージドポンプに電力が供給される。
また、ブッシングの絶縁管には、ブッシング挿通孔の軸方向の両端間に配置される位置に外周面から絶縁管の中空部まで貫通する、絶縁管の軸方向と垂直な方向を軸とする貫通孔が設けられており、ターミナルヘッダベースには、側面から一つのブッシング挿通孔の軸方向の両端間の位置までブッシング挿通孔の軸方向と垂直な方向に貫通する検出孔と、各ブッシング挿通孔の軸方向の両端間の位置同士を連通する連絡路が設けられている。
Then, by attaching the terminal header base so as to airtightly close the opening provided outside the liquefied gas tank of the liquefied gas pumping tube extended to the outside of the liquefied gas tank, the feedthrough is connected to the liquefied gas pumping tube. The submerged pump is supplied with electric power from the outside of the liquefied gas tank and the liquefied gas pumping pipe through the bushing conductor and the power supply line passing through the liquefied gas pumping pipe.
In addition, the bushing insulation tube penetrates from the outer peripheral surface to the hollow portion of the insulation tube at a position disposed between both ends of the bushing insertion hole in the axial direction, and the penetration is made in a direction perpendicular to the axial direction of the insulation tube. The terminal header base is provided with a detection hole penetrating in a direction perpendicular to the axial direction of the bushing insertion hole from the side surface to a position between both ends in the axial direction of one bushing insertion hole, and each bushing insertion hole There is provided a communication path that communicates positions between both ends in the axial direction.
そして、これにより、ターミナルヘッダベースの側面の検出孔の開口は、ターミナルヘッダベースと各ブッシングの間のブッシング挿通孔の軸方向の両端間の空間と、各ブッシングの絶縁管の中空部と導体の間の空間とに連通することとなる。
よって、このような構成によれば、ターミナルヘッダベースとブッシングとの間の気密や、ブッシングの絶縁管と導体との間の気密の破壊を、ターミナルヘッダベースの側面の検出孔の開口に連結した監視機器で気圧変化などを監視するより検出することができる。
As a result, the opening of the detection hole on the side surface of the terminal header base has a space between the axial ends of the bushing insertion hole between the terminal header base and each bushing, the hollow portion of the insulating tube of each bushing, and the conductor. It will communicate with the space between.
Therefore, according to such a configuration, the hermetic breakdown between the terminal header base and the bushing and the hermetic breakdown between the insulating tube of the bushing and the conductor are connected to the detection hole opening on the side surface of the terminal header base. This can be detected by monitoring a change in atmospheric pressure with a monitoring device.
上述したフィードスルーによれば、一つの検出孔の気圧変化などを監視する監視機器を設けるだけで、複数のブッシングのいずれかについて、ターミナルヘッダベースとの間の気密や、ブッシングの絶縁管と導体気密の破壊が生じたことを検出することができる。
しかしながら、このフィードスルーによれば、ターミナルヘッダベースとの間の気密や、ブッシングの絶縁管と導体気密の破壊が生じたブッシングがいずれのブッシングであるかを特定することはできない。
ここで、実使用時には、複数のブッシングのいずれかについて気密の破壊が生じたことが検出できれば充分であるが、フィードスルーの製造過程においては、各ブッシングについて個々に気密の健全性を評価する必要がある。
一方で、各ブッシング挿通孔の軸方向の両端間の位置同士を連通する連絡路を排し、検出孔を各ブッシング挿通孔についてそれぞれ設ければ、各ブッシングについて個々に気密の破壊を検出することができるが、このようにすると、実使用時にも、複数の検出孔のそれぞれについて気圧変化などを監視することが必要となってしまう。
According to the feedthrough described above, it is possible to provide airtightness between the terminal header base and the bushing insulation tube and the conductor for any one of the plurality of bushings only by providing a monitoring device for monitoring the pressure change of one detection hole. It can be detected that a hermetic breakdown has occurred.
However, according to this feedthrough, it is impossible to specify which bushing is the airtightness between the terminal header base and the bushing in which the bushing insulating tube and the conductor airtightness are broken.
Here, in actual use, it is sufficient if it is possible to detect the occurrence of hermetic breakage in any of a plurality of bushings. However, in the process of manufacturing the feedthrough, it is necessary to evaluate the airtightness of each bushing individually. There is.
On the other hand, if the communication path that connects the positions between both ends in the axial direction of each bushing insertion hole is eliminated and a detection hole is provided for each bushing insertion hole, airtight breakage can be detected individually for each bushing. However, in this case, it is necessary to monitor a change in atmospheric pressure or the like for each of the plurality of detection holes even during actual use.
そこで、本発明は、製造過程において複数のブッシングについて個々に気密の健全性を評価可能としつつ、実用事には、単一箇所の監視によって複数のブッシングのいずれかについて気密が破壊されたことを検出可能なフィードスルーの製造方法及びフィードスルーを提供することを課題とする。 Therefore, the present invention makes it possible to evaluate the airtightness of a plurality of bushings individually in the manufacturing process, and in practice, the fact that the airtightness of any of the plurality of bushings has been broken by monitoring a single location. It is an object of the present invention to provide a method for producing a detectable feedthrough and a feedthrough.
前記課題達成のために、本発明は、ベース部材と、当該ベース部材に設けられた複数のブッシング取付孔の各々に、それぞれ挿通された、軸方向中央部に気密状態検出用の貫通孔を有する複数のブッシングとを備えたフィードスルーの製造方法として、前記ベース部材に前記複数のブッシング取付孔と、前記複数のブッシング取付孔の各々に対応してそれぞれ設けられた、前記ヘッダ部材の表面から対応するブッシング取付孔まで貫通する複数の個別検出孔とを形成するステップと、前記各ブッシング取付孔の各々にそれぞれ前記ブッシングを、当該ブッシング取付孔の軸方向両端の間に前記軸方向中央部が位置するように挿通し、当該ブッシングを当該ブッシング取付孔の軸方向両端の位置で当該ベース部材に気密に封着するステップと、前記各個別検出孔を用いて、前記複数のブッシングの各々について、個々に気密の健全性を評価するステップと、前記ベース部材に、当該ベース部材の表面から前記複数のブッシング取付孔の各々まで通じる検出孔を形成すると共に、前記複数の個別検出孔の前記ベース部材の表面側の開口を気密に封止するステップとを有することを特徴とするフィードスルーの製造方法を提供する。 In order to achieve the above object, the present invention has a base member and a through hole for detecting an airtight state in the central portion in the axial direction, which is inserted through each of a plurality of bushing mounting holes provided in the base member. As a method of manufacturing a feedthrough provided with a plurality of bushings, the base member is provided from the surface of the header member, which is provided corresponding to each of the plurality of bushing attachment holes and each of the plurality of bushing attachment holes. Forming a plurality of individual detection holes penetrating up to the bushing mounting holes, and positioning the bushings in each of the bushing mounting holes, and the axial center portion between the axial ends of the bushing mounting holes. Inserting the bushing in an airtight manner to the base member at positions of both ends of the bushing mounting hole in the axial direction; The step of individually evaluating the airtightness of each of the plurality of bushings using each individual detection hole, and the base member communicates from the surface of the base member to each of the plurality of bushing mounting holes. And forming a detection hole and hermetically sealing the opening on the surface side of the base member of the plurality of individual detection holes.
このようなフィードスルーの製造方法によれば、フィードスルーの製造過程においては、複数の個別検出孔の各々を用いて、複数のブッシングについて個々に気密の健全性を評価することができると共に、フィードスルーの完成後には、検出孔を用いて、複数のブッシングのいずれかについて気密が破壊されたことを検出することができる。 According to such a feedthrough manufacturing method, in the feedthrough manufacturing process, it is possible to individually evaluate the airtightness of the plurality of bushings using each of the plurality of individual detection holes, and to feed the feedthrough. After the through is completed, it is possible to detect that the airtightness is broken for any of the plurality of bushings using the detection hole.
また、本発明は、前記課題達成のために、ベース部材と、当該ベース部材に設けられた複数のブッシング取付孔の各々に、それぞれ挿通された、軸方向中央部に気密状態検出用の貫通孔を有する複数のブッシングとを備えたフィードスルーの製造方法として、前記ベース部材に前記複数のブッシング取付孔と、前記複数のブッシング取付孔の各々に対応してそれぞれ設けられた、前記ヘッダ部材の表面から対応するブッシング取付孔まで貫通する複数の個別検出孔とを形成するステップと、前記各ブッシング取付孔の各々にそれぞれ前記ブッシングを、当該ブッシング取付孔の軸方向両端の間に前記軸方向中央部が位置するように挿通し、当該ブッシングを当該ブッシング取付孔の軸方向両端の位置で当該ベース部材に気密に封着するステップと、前記各個別検出孔を用いて、前記複数のブッシングの各々について、個々に気密の健全性を評価するステップと、前記ベース部材に、前記複数の個別検出孔、または、前記複数のブッシング取付孔を連通する連絡路を形成すると共に、前記複数の個別検出孔のうちの一つの個別検出孔を除く各個別検出孔の前記ベース部材の表面側の開口を気密に封止するステップとを有することを特徴とするフィードスルーの製造方法も提供する。 Further, according to the present invention, in order to achieve the above object, a through hole for detecting an airtight state in an axially central portion inserted through each of a base member and a plurality of bushing mounting holes provided in the base member. As a method of manufacturing a feedthrough provided with a plurality of bushings, the surface of the header member provided in the base member corresponding to each of the plurality of bushing attachment holes and the plurality of bushing attachment holes, respectively. A plurality of individual detection holes penetrating from the corresponding bushing mounting hole to the corresponding bushing mounting hole, and the bushing in each of the bushing mounting holes, and the axial central portion between the axial ends of the bushing mounting holes. And the bushing is hermetically sealed to the base member at both axial ends of the bushing mounting hole. And individually evaluating the airtightness of each of the plurality of bushings using the individual detection holes, and attaching the plurality of individual detection holes or the plurality of bushings to the base member. Forming a communication path that communicates the holes, and hermetically sealing the opening on the surface side of the base member of each individual detection hole excluding one individual detection hole among the plurality of individual detection holes. Also provided is a method of manufacturing a feedthrough characterized by the above.
ここで、このようなフィードスルーの製造方法において、前記連絡路は、前記複数の個別検出孔の上方を通るように前記ベース部材に設けた溝の下面に、各個別検出孔まで貫通する孔を形成した上で、前記溝の上部を気密に封止することにより形成するようにしてもよい。 Here, in such a feedthrough manufacturing method, the communication path has holes penetrating to the individual detection holes on the lower surface of the groove provided in the base member so as to pass above the plurality of individual detection holes. After forming, the upper part of the groove may be hermetically sealed.
このようなフィードスルーの製造方法によれば、フィードスルーの製造過程においては、複数の個別検出孔の各々を用いて、複数のブッシングについて個々に気密の健全性を評価することができると共に、フィードスルーの完成後には、開口を封止しなかった個別検出孔を用いて、複数のブッシングのいずれかについて気密が破壊されたことを検出することができる。 According to such a feedthrough manufacturing method, in the feedthrough manufacturing process, it is possible to individually evaluate the airtightness of the plurality of bushings using each of the plurality of individual detection holes, and to feed the feedthrough. After the through is completed, it is possible to detect that the hermeticity has been broken for any of the plurality of bushings using the individual detection holes that did not seal the openings.
以上のように、本発明によれば、製造過程において複数のブッシングについて個々に気密の健全性を評価可能としつつ、実用事には、単一箇所の監視によって複数のブッシングのいずれかについて気密が破壊されたことを検出可能なフィードスルーの製造方法及びフィードスルーを提供することができる。 As described above, according to the present invention, while it is possible to evaluate the airtightness of a plurality of bushings individually in the manufacturing process, in practice, the airtightness of any of the plurality of bushings can be determined by monitoring a single location. It is possible to provide a feed-through manufacturing method and a feed-through capable of detecting breakage.
以下、本発明の実施形態について説明する。
まず、第１の実施形態について説明する。
まず、本第１実施形態に係るフィードスルーの適用例を図１に示す。
図示するように、LNG、LNG、液体水素などの低温の液化ガスを貯留したタンク１００には、タンク１００の上部壁を気密に貫通した液化ガス汲揚用管１０１が設けられている。
液化ガス汲揚用管１０１の下端の開口はタンク１００の内部と連通しており、液化ガス汲揚用管１０１の下部には、サブマージドポンプ１０２が配置されている。また、当該液化ガス汲揚用管１０１の下端はタンク１００の床に固定されている。
そして、タンク１００外に配置された液化ガス汲揚用管１０１の上端の開口は、フィードスルー１０によって気密に封止されており、電源１０３から、フィードスルー１０と液化ガス汲揚用管１０１内の給電線となる絶縁電線１０５とを介して電力がサブマージドポンプ１０２に供給される。
また、液化ガス汲揚用管１０１の上部付近には排出路１０４が連結されており、サブマージドポンプ１０２で汲揚げられた液化ガスは排出路１０４から排出される。
次に、本第１実施形態に係るフィードスルー１０について説明する。
ここで、以降では、まず、製造工程終了後の完成されたフィードスルー１０について説明し、その後に、フィードスルー１０の製造手順について説明する。
以下、製造工程終了後の完成されたフィードスルー１０について説明する。
図２に、フィードスルー１０の外観を示す。
図示するように、フィードスルー１０は、円盤状のターミナルヘッダベース１と、ターミナルヘッダベース１に設けた３つのブッシング挿通孔１１に各々挿通された３つのブッシング２より構成されており、各ブッシング２はターミナルヘッダベース１のブッシング挿通孔１１の軸方向の両端で、ターミナルヘッダベース１に気密に固着されている。ここで、３つのブッシング２は、それぞれ、サブマージドポンプ１０２に給電する三相電力の各相の給電線を、液化ガス汲揚用管１０１の内外で中継するものである。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described.
First, the first embodiment will be described.
First, FIG. 1 shows an application example of feedthrough according to the first embodiment.
As shown in the figure, a tank 100 that stores low-temperature liquefied gas such as LNG, LNG, and liquid hydrogen is provided with a liquefied gas pumping pipe 101 that hermetically penetrates the upper wall of the tank 100.
An opening at the lower end of the liquefied gas pumping tube 101 communicates with the inside of the tank 100, and a submerged pump 102 is disposed below the liquefied gas pumping tube 101. The lower end of the liquefied gas pumping pipe 101 is fixed to the floor of the tank 100.
The opening at the upper end of the liquefied gas pumping pipe 101 arranged outside the tank 100 is hermetically sealed by the feedthrough 10, and the feedthrough 10 and the liquefied gas pumping pipe 101 are supplied from the power source 103. Electric power is supplied to the submerged pump 102 through an insulated wire 105 serving as a power supply line.
A discharge path 104 is connected to the vicinity of the upper portion of the liquefied gas pumping pipe 101, and the liquefied gas pumped by the submerged pump 102 is discharged from the discharge path 104.
Next, the feedthrough 10 according to the first embodiment will be described.
Hereafter, first, the completed feedthrough 10 after completion of the manufacturing process will be described, and then the manufacturing procedure of the feedthrough 10 will be described.
Hereinafter, the completed feedthrough 10 after completion of the manufacturing process will be described.
FIG. 2 shows the appearance of the feedthrough 10.
As shown in the drawing, the feedthrough 10 is composed of a disk-shaped terminal header base 1 and three bushings 2 respectively inserted into three bushing insertion holes 11 provided in the terminal header base 1. Are airtightly fixed to the terminal header base 1 at both axial ends of the bushing insertion holes 11 of the terminal header base 1. Here, the three bushings 2 respectively relay the three-phase power feeding lines feeding the submerged pump 102 inside and outside the liquefied gas pumping pipe 101.
次に、図３に、フィードスルー１０のターミナルヘッダベース１の構造を示す。
図３中、図３ａがターミナルヘッダベース１の上面を、図３ｂ１がターミナルヘッダベース１の側面を、図３ｂ２が図３ａ中の切断線Ａ-Ａによるターミナルヘッダベース１の断面を、図３ｃがターミナルヘッダベース１の下面を表している。
図示するように、ターミナルヘッダベース１は、概略円盤状の部材であり、中央部に３つのブッシング挿通孔１１が設けられ、外縁部に複数のボルト孔１２が設けられている
ここで、ターミナルヘッダベース１には、３つのブッシング挿通孔１１のそれぞれについて設けられたターミナルヘッダベース１の側面からブッシング挿通孔１１の軸方向の両端間の位置まで貫通する３つの個別検出孔１３が設けられている。また、ターミナルヘッダベース１には、ターミナルヘッダベース１の側面から３つのブッシング挿通孔１１の軸方向の両端間の位置まで貫通する検出孔１４が設けられている。ここで、検出孔１４は、先端に３つに分岐した形状を有し、各分岐がそれぞれ一つのブッシング挿通孔１１の軸方向の両端間の位置に連結している。
Next, FIG. 3 shows the structure of the terminal header base 1 of the feedthrough 10.
3, FIG. 3a is a top view of the terminal header base 1, FIG. 3b1 is a side view of the terminal header base 1, FIG. 3b2 is a cross section of the terminal header base 1 along the cutting line AA in FIG. The lower surface of the terminal header base 1 is represented.
As shown in the figure, the terminal header base 1 is a substantially disk-shaped member, and is provided with three bushing insertion holes 11 at the center and a plurality of bolt holes 12 at the outer edge. The base 1 is provided with three individual detection holes 13 penetrating from the side surface of the terminal header base 1 provided for each of the three bushing insertion holes 11 to positions between both ends in the axial direction of the bushing insertion hole 11. . Further, the terminal header base 1 is provided with detection holes 14 penetrating from the side surface of the terminal header base 1 to positions between both ends in the axial direction of the three bushing insertion holes 11. Here, the detection hole 14 has a shape branched into three at the tip, and each branch is connected to a position between both ends in the axial direction of one bushing insertion hole 11.
また、３つの個別検出孔１３は、ターミナルヘッダベース１の側面側で、ストップスクリューなどの適当な封止部材１５を用いて気密に封止されている。
また、ターミナルヘッダベース１の上下面のブッシング挿通孔１１の周囲には、ブッシング固定用の円環状の溝１６が形成されている。
次に、図４に、フィードスルー１０のブッシング２の構成を示す。
ここで、図４中、図４ａがブッシング２の外観を、図４ｂがブッシング２の軸を通る切断線による断面を表している。
図示するように、ブッシング２は、セラミックスなどの絶縁材料からなる中空管状の絶縁管２１と絶縁管２１の中空部に挿通された導体２２と、導体２２の両端に連結された端子２３とを備えている。
また、絶縁管２１の中空部の一方の端において、絶縁管２１と導体２２の間は第１封着金具２４で気密に封止されている。また、絶縁管２１の中空部の他方の端において、絶縁管２１と導体２２の間は、絶縁管２１に気密に封着された第２封着金具２５と、第２封着金具２５に一方の側が溶接され、導体２２に他方の側が気密に封着されたＳ型ベロー２６とによって、気密に封止されている。
The three individual detection holes 13 are hermetically sealed on the side surface side of the terminal header base 1 using an appropriate sealing member 15 such as a stop screw.
An annular groove 16 for fixing the bushing is formed around the bushing insertion hole 11 on the upper and lower surfaces of the terminal header base 1.
Next, FIG. 4 shows the configuration of the bushing 2 of the feedthrough 10.
Here, in FIG. 4, FIG. 4 a represents the appearance of the bushing 2, and FIG. 4 b represents a cross section taken along a cutting line passing through the axis of the bushing 2.
As shown in the figure, the bushing 2 includes a hollow tubular insulating tube 21 made of an insulating material such as ceramics, a conductor 22 inserted through a hollow portion of the insulating tube 21, and terminals 23 connected to both ends of the conductor 22. ing.
In addition, at one end of the hollow portion of the insulating tube 21, the space between the insulating tube 21 and the conductor 22 is hermetically sealed with a first sealing fitting 24. In addition, at the other end of the hollow portion of the insulating tube 21, between the insulating tube 21 and the conductor 22, a second sealing member 25 hermetically sealed to the insulating tube 21 and a second sealing member 25 are provided. This side is welded, and the conductor 22 is hermetically sealed by an S-type bellows 26 whose other side is hermetically sealed.
ここで、Ｓ型ベロー２６は可撓性を有し、撓みによって各部の線膨張率の差を吸収し、各部の熱的ストレスを緩和する。また、ブッシング２は、導体２２の周りに設けた部材群２７によって、Ｓ型ベロー２６による絶縁管２１と導体２２の間の封止の機械的強度を確保するように構成されている。 Here, the S-type bellows 26 has flexibility, absorbs a difference in linear expansion coefficient of each part by bending, and relieves thermal stress of each part. The bushing 2 is configured to ensure the mechanical strength of sealing between the insulating tube 21 and the conductor 22 by the S-type bellows 26 by a group of members 27 provided around the conductor 22.
次に、ブッシング２の絶縁管２１には、ブッシング挿通孔１１の軸方向の両端間に配置される位置から絶縁管２１の中空部まで貫通する、絶縁管２１の軸方向と垂直な方向を軸とする貫通孔２８が設けられている。
また、ブッシング２の絶縁管２１の、絶縁管２１の軸方向について貫通孔２８の両側には、ブッシング２をターミナルヘッダベース１に封着するために用いるＣ型ベロー２９がろう付けにより気密に封着されている。
ここで、導体２２の側面の軸方向端部を除く部分の表面は、フッ素樹脂、シリコン樹脂、セラミックスコーティングなどの絶縁材による絶縁層３０で被覆されている。
したがって、導体２２から絶縁管２１の外周面の貫通孔２８の開口までの電気的沿面距離は、図４ｂ中のＤとなり、絶縁管２１の外周面から導体表面までの直線距離に比べて遙かに大きくなる。
ここで、図４ａ、ｂに示したブッシング２ではブッシング２の導体２２の側面の軸方向端部を除く部分の表面に絶縁層３０を被覆することにより、導体２２から絶縁管２１の外周面の貫通孔２８の開口までの電気的沿面距離を大きく確保したが、これは、絶縁層３０に代えて絶縁筒を用いて、導体２２から絶縁管２１の外周面の貫通孔２８の開口までの電気的沿面距離を大きく確保するようにしてもよい。
Next, the insulating tube 21 of the bushing 2 has a direction perpendicular to the axial direction of the insulating tube 21 penetrating from the position between the both ends of the bushing insertion hole 11 in the axial direction to the hollow portion of the insulating tube 21. A through hole 28 is provided.
In addition, C-type bellows 29 used to seal the bushing 2 to the terminal header base 1 are hermetically sealed by brazing on both sides of the through hole 28 in the axial direction of the insulating tube 21 of the insulating tube 21 of the bushing 2. It is worn.
Here, the surface of the portion excluding the axial end of the side surface of the conductor 22 is covered with an insulating layer 30 made of an insulating material such as fluororesin, silicon resin, or ceramic coating.
Therefore, the electrical creepage distance from the conductor 22 to the opening of the through hole 28 on the outer peripheral surface of the insulating tube 21 is D in FIG. 4b, which is much shorter than the linear distance from the outer peripheral surface of the insulating tube 21 to the conductor surface. Become bigger.
Here, in the bushing 2 shown in FIGS. 4 a and b, the insulating layer 30 is coated on the surface of the portion of the bushing 2 excluding the axial end of the side surface of the conductor 22, so that the outer surface of the insulating tube 21 is covered from the conductor 22. A large electrical creepage distance to the opening of the through hole 28 is ensured. This is because the insulating tube 30 is used instead of the insulating layer 30 and the electricity from the conductor 22 to the opening of the through hole 28 on the outer peripheral surface of the insulating tube 21 is ensured. A large creepage distance may be secured.
すなわち、図４ｃのブッシング２の軸を通る切断線による断面を示すように、導体２２には絶縁層３０を被覆せずに、導体２２をブッシング２の絶縁管２１の中空部内に、導体２２が挿通された中空の絶縁筒３１を設ける。ここで、絶縁筒３１は、セラミックスなどの絶縁材料で形成する。 That is, the conductor 22 is not covered with the insulating layer 30 and the conductor 22 is placed in the hollow portion of the insulating tube 21 of the bushing 2 so that the conductor 22 is not covered with the insulating layer 30, as shown in FIG. A hollow insulating cylinder 31 is provided. Here, the insulating cylinder 31 is formed of an insulating material such as ceramics.
このように、導体２２に絶縁層３０を被覆する代わりに、導体２２が挿通される絶縁筒３１を設けた場合でも、導体２２から絶縁管２１の外周面の貫通孔２８の開口までの電気的沿面距離は図４ｃ中のＤで示す距離となり、絶縁管２１の外周面から導体表面までの直線距離に比べて遙かに大きくなる。 Thus, instead of covering the conductor 22 with the insulating layer 30, the electrical connection from the conductor 22 to the opening of the through hole 28 on the outer peripheral surface of the insulating tube 21 is provided even when the insulating cylinder 31 through which the conductor 22 is inserted is provided. The creepage distance is a distance indicated by D in FIG. 4c, which is much larger than the linear distance from the outer peripheral surface of the insulating tube 21 to the conductor surface.
次に、以上のようなターミナルヘッダベース１とブッシング２とより構成されるフィードスルー１０の詳細について説明する。
図５ａにフィードスルー１０の断面を、図５ｂにフィードスルー１０の片側断面を示す。
図示するように、各ブッシング２は、ブッシング挿通孔１１に挿通した状態で、二つのＣ型ベロー２９をターミナルヘッダベース１の上下面に形成されている円環状の溝１６にそれぞれ溶接等によって気密に封着することにより、ターミナルヘッダベース１に固定される。
Next, details of the feedthrough 10 constituted by the terminal header base 1 and the bushing 2 as described above will be described.
FIG. 5 a shows a cross section of the feedthrough 10, and FIG. 5 b shows a half cross section of the feedthrough 10.
As shown in the figure, each bushing 2 is hermetically sealed by welding two C-shaped bellows 29 into annular grooves 16 formed on the upper and lower surfaces of the terminal header base 1 while being inserted through the bushing insertion holes 11. By fixing to the terminal header base 1, it is fixed.
ここで、この状態において、ブッシング２の絶縁管２１の中空部と導体２２の間の空間と、ブッシング挿通孔１１とブッシング２の絶縁管２１との間の空間とは、絶縁管２１の貫通孔２８によって連通している。
また、各ブッシング挿通孔１１とブッシング２の絶縁管２１との間の空間は、ターミナルヘッダベース１の中央部分で、個別検出孔１３と検出孔１４によって連通している。
したがって、各ブッシング２の絶縁管２１の中空部と導体２２の間の空間は、ターミナルヘッダベース１の検出孔１４の、ターミナルヘッダベース１の側面の開口と連通している。
よって、各ブッシング２の絶縁管２１の中空部と導体２２の間の空間の気密や、ターミナルヘッダベース１とブッシング２との間の空間の気密の破壊を、ターミナルヘッダベース１の側面の検出孔１４の開口に連結した監視機器で気圧変化などを監視するより検出することができることとなる。
Here, in this state, the space between the hollow portion of the insulating tube 21 of the bushing 2 and the conductor 22 and the space between the bushing insertion hole 11 and the insulating tube 21 of the bushing 2 are the through holes of the insulating tube 21. 28 communicates with each other.
In addition, the space between each bushing insertion hole 11 and the insulating tube 21 of the bushing 2 is communicated by the individual detection hole 13 and the detection hole 14 in the central portion of the terminal header base 1.
Accordingly, the space between the hollow portion of the insulating tube 21 of each bushing 2 and the conductor 22 communicates with the opening on the side surface of the terminal header base 1 of the detection hole 14 of the terminal header base 1.
Therefore, the airtightness of the space between the hollow portion of the insulating tube 21 of each bushing 2 and the conductor 22 and the destruction of the airtightness of the space between the terminal header base 1 and the bushing 2 are detected in the detection holes on the side surface of the terminal header base 1. Thus, it can be detected by monitoring a change in atmospheric pressure or the like with a monitoring device connected to the 14 openings.
なお、図５ａに示すようにターミナルヘッダベース１の下面側は、液化ガス汲揚用管１０１の上端に設けられているフランジに、ターミナルヘッダベース１の外縁部に設けられているボルト孔１２を利用してボルトによって気密に連結される。
また、ターミナルヘッダベース１の上面側には、ターミナルヘッダベース１の外縁部に設けられているボルト孔１２を利用して、配線カバー用のチューブ１０６が連結される。
また、ブッシング２の各端子２３は、給電線となる絶縁電線１０５が連結された状態で、所定の封止材によって気密に封止される。
以上、製造工程終了後の完成されたフィードスルー１０について説明した。
以下、このようなフィードスルー１０の製造手順について説明する。
フィードスルー１０の製造においては、まず、図６ａ１に示すように、検出孔１４の形成と、各個別検出孔１３の封止部材１５による封止のみを未実施の状態のターミナルヘッダベース１を中間状態のターミナルヘッダベース１として製作する。ここで、中間状態のターミナルヘッダベース１において、３つの個別検出孔１３は、それぞれ、ターミナルヘッダベース１の側面からブッシング挿通孔１１までを貫通する孔となり、３つの個別検出孔１３は相互に連通していない。また、中間状態のターミナルヘッダベース１は、各個別検出孔１３の形成の際に、形成する孔の長さをターミナルヘッダベース１の中心方向に延伸することにより形成した、検出孔１４の先端の分岐部分のブッシング挿通孔１１側の一部１４１も備えている。
As shown in FIG. 5a, the lower surface side of the terminal header base 1 is provided with a bolt hole 12 provided at the outer edge of the terminal header base 1 in a flange provided at the upper end of the liquefied gas pumping pipe 101. Utilizes airtight connection with bolts.
Further, a tube 106 for wiring cover is connected to the upper surface side of the terminal header base 1 by using a bolt hole 12 provided in an outer edge portion of the terminal header base 1.
Further, each terminal 23 of the bushing 2 is hermetically sealed with a predetermined sealing material in a state where the insulated electric wire 105 serving as a power supply line is connected.
The completed feedthrough 10 after completion of the manufacturing process has been described above.
Hereinafter, a manufacturing procedure of such a feedthrough 10 will be described.
In the production of the feedthrough 10, first, as shown in FIG. 6a1, the terminal header base 1 in the state in which only the formation of the detection holes 14 and the sealing of the individual detection holes 13 by the sealing member 15 is not performed is placed in the middle. Produced as a terminal header base 1 in a state. Here, in the terminal header base 1 in the intermediate state, the three individual detection holes 13 are holes penetrating from the side surface of the terminal header base 1 to the bushing insertion holes 11, and the three individual detection holes 13 communicate with each other. Not done. The terminal header base 1 in the intermediate state is formed by extending the length of the hole to be formed in the center direction of the terminal header base 1 when each individual detection hole 13 is formed. A part 141 on the bushing insertion hole 11 side of the branch part is also provided.
そして、中間状態のターミナルヘッダベース１の各ブッシング挿通孔１１に、上述のように各ブッシング２を封着し、図６ａ２に示すように、中間状態のターミナルヘッダベース１の下面側を、中間状態のターミナルヘッダベース１の外縁部に設けられているボルト孔１２を利用して適当なフィードスルー評価用管５００の上端に設けられているフランジにボルトによって気密に締結する。そして、フィードスルー評価用管５００に適当な気圧を与えながら、中間状態のターミナルヘッダベース１の側面の３つの個別検出孔１３の開口にそれぞれ、または、順次、測定器を連結し、各ブッシング２について、ブッシング２の絶縁管２１の中空部と導体２２の間の空間の気密や、中間状態のターミナルヘッダベース１とブッシング２との間の空間の気密の健全性を評価する。 Each bushing 2 is sealed in each bushing insertion hole 11 of the terminal header base 1 in the intermediate state as described above, and the lower surface side of the terminal header base 1 in the intermediate state is placed in the intermediate state as shown in FIG. 6a2. The terminal header base 1 is bolted to a flange provided at the upper end of an appropriate feedthrough evaluation tube 500 by using bolts 12 provided at the outer edge of the terminal header base 1. Then, a measuring device is connected to each of the three individual detection holes 13 on the side surface of the terminal header base 1 in an intermediate state or in sequence while giving an appropriate atmospheric pressure to the feedthrough evaluation pipe 500, and each bushing 2 The airtightness of the space between the hollow portion of the insulating tube 21 of the bushing 2 and the conductor 22 and the soundness of the airtightness of the space between the terminal header base 1 and the bushing 2 in the intermediate state are evaluated.
そして、全てのブッシング２について気密の健全性が確認できたならば、中間状態のフィードスルー１０をフィードスルー評価用管５００から取り外し、図６ｂ１、ｂ２に示すように、中間状態のターミナルヘッダベース１の側面からターミナルヘッダベース１の中心方向に向かう孔を、当該孔の先端が、各個別検出孔１３の形成の際に形成しておいた検出孔１４の分岐部分の一部１４１の各々につながるように形成して、検出孔１４を完成すると共に、３つの個別検出孔１３を封止部材１５で気密に封止し、フィードスルー１０を完成する。 If the airtight soundness of all the bushings 2 can be confirmed, the intermediate feedthrough 10 is removed from the feedthrough evaluation tube 500, and the intermediate terminal header base 1 is removed as shown in FIGS. 6b1 and b2. A hole extending from the side surface toward the center of the terminal header base 1 is connected to each of a part 141 of a branching portion of the detection hole 14 formed at the time of forming each individual detection hole 13. Thus, the detection hole 14 is completed, and the three individual detection holes 13 are hermetically sealed with the sealing member 15 to complete the feedthrough 10.
以上、本発明の第１実施形態について説明した。
なお、以上の第１実施形態は、全てのブッシング２について気密の健全性が確認できた後に、検出孔１４を形成する代わりに、一つの個別検出孔１３を、他の二つの個別検出孔１３の先端と連通するように延伸して、二つの個別検出孔１３のみを封止部材１５で気密に封止するようにしてもよい。このようにしても、検出孔１４に代えて、封止しなかった一つの個別検出孔１３を用いて、各ブッシング２の絶縁管２１の中空部と導体２２の間の空間の気密や、ターミナルヘッダベース１とブッシング２との間の空間の気密の破壊を検出することができる。
または、以上の第１実施形態は、全てのブッシング２について気密の健全性が確認できた後に、検出孔１４を形成し、３つの個別検出孔１３を封止部材１５で気密に封止する代わりに、検出孔１４を形成し、２つの個別検出孔１３と検出孔１４とを封止部材１５で気密に封止するようにしてもよい。このようにしても、検出孔１４に代えて、封止しなかった一つの個別検出孔１３を用いて、各ブッシング２の絶縁管２１の中空部と導体２２の間の空間の気密や、ターミナルヘッダベース１とブッシング２との間の空間の気密の破壊を検出することができる。
以下、本発明の第２の実施形態について説明する。
本第２実施形態は、前記第１実施形態とターミナルヘッダベース１と、フィードスルー１０の製造手順のみが異なる。
図７に、本第２実施形態に係るフィードスルー１０の製造工程終了後の完成された状態のターミナルヘッダベース１の構造を示す。
ここで、図７ａがターミナルヘッダベース１の上面を、図７ｂ１がターミナルヘッダベース１の側面を、図７ｂ２が図３ａ中の切断線Ａ-Ａによるターミナルヘッダベース１の断面を、図７ｃがターミナルヘッダベース１の下面を表している。
図示するように、本第２実施形態に係るターミナルヘッダベース１には、第１実施形態とに係るターミナルヘッダベース１と同様に、３つのブッシング挿通孔１１、複数のボルト孔１２、３つの個別検出孔１３、ブッシング固定用の円環状の溝１６が設けられている。
The first embodiment of the present invention has been described above.
In the first embodiment described above, instead of forming the detection holes 14 after the airtight soundness of all the bushings 2 has been confirmed, one individual detection hole 13 is replaced with the other two individual detection holes 13. Alternatively, the two individual detection holes 13 may be hermetically sealed with the sealing member 15. Even if it does in this way, it replaces with the detection hole 14, and the airtight of the space between the hollow part of the insulating tube 21 of each bushing 2 and the conductor 22 is used, and the terminal is used. It is possible to detect a hermetic destruction of the space between the header base 1 and the bushing 2.
Alternatively, in the above first embodiment, after the airtight soundness of all the bushings 2 can be confirmed, the detection holes 14 are formed, and the three individual detection holes 13 are hermetically sealed with the sealing member 15. Alternatively, the detection hole 14 may be formed, and the two individual detection holes 13 and the detection hole 14 may be hermetically sealed with the sealing member 15. Even if it does in this way, it replaces with the detection hole 14, and the airtight of the space between the hollow part of the insulating tube 21 of each bushing 2 and the conductor 22 is used, and the terminal is used. It is possible to detect a hermetic destruction of the space between the header base 1 and the bushing 2.
Hereinafter, a second embodiment of the present invention will be described.
The second embodiment is different from the first embodiment only in the manufacturing procedure of the terminal header base 1 and the feedthrough 10.
FIG. 7 shows the structure of the terminal header base 1 in a completed state after the manufacturing process of the feedthrough 10 according to the second embodiment is completed.
7a is a top view of the terminal header base 1, FIG. 7b1 is a side view of the terminal header base 1, FIG. 7b2 is a cross section of the terminal header base 1 along the cutting line AA in FIG. 3a, and FIG. The lower surface of the header base 1 is represented.
As shown in the figure, the terminal header base 1 according to the second embodiment has three bushing insertion holes 11, a plurality of bolt holes 12, and three individual pieces, similarly to the terminal header base 1 according to the first embodiment. A detection hole 13 and an annular groove 16 for fixing the bushing are provided.
一方、本第２実施形態に係るターミナルヘッダベース１には、第１実施形態に係るターミナルヘッダベース１と異なり、検出孔１４は設けられておらず、３つのブッシング挿通孔１１のうち、２つの個別検出孔１３のみが、ターミナルヘッダベース１の側面側で、ストップスクリューなどの適当な封止部材１５を用いて気密に封止されている。 On the other hand, unlike the terminal header base 1 according to the first embodiment, the terminal header base 1 according to the second embodiment is not provided with the detection hole 14, and two of the three bushing insertion holes 11 are provided. Only the individual detection holes 13 are hermetically sealed on the side surface side of the terminal header base 1 using an appropriate sealing member 15 such as a stop screw.
また、本第２実施形態に係るターミナルヘッダベース１には、第１実施形態に係るターミナルヘッダベース１と異なり、円環状の孔である円環状連絡路７０１が３つの個別検出孔１３の上方を通るように設けられており、円環状連絡路７０１と３つの個別検出孔１３は、それぞれ円環状連絡路７０１の下面から３つの個別検出孔１３まで貫通する小孔７０２によって連通している。 Further, unlike the terminal header base 1 according to the first embodiment, the terminal header base 1 according to the second embodiment includes an annular communication path 701 that is an annular hole above the three individual detection holes 13. The annular communication path 701 and the three individual detection holes 13 are communicated with each other by small holes 702 penetrating from the lower surface of the annular communication path 701 to the three individual detection holes 13.
ここで、円環状連絡路７０１は、ターミナルヘッダベース１の上面に３つの個別検出孔１３の上方を通るように形成した円環状の溝である円環溝の上部を、円環状の封止部材である円環封止材７０３で気密に封止することにより形成されている。
このような本第２実施形態に係る完成された状態のターミナルヘッダベース１によれば、ブッシング２を各ブッシング挿通孔１１に上述のように各ブッシング２を封着した状態では、封止部材１５を用いて封止しなかった一つの個別検出孔１３のターミナルヘッダベース１側面の開口は、円環状連絡路７０１、小孔７０２を介して、各ブッシング２の絶縁管２１の中空部と導体２２の間の空間や、各ブッシング２のターミナルヘッダベース１との間の空間と連通し、この開口に連結した監視機器で気圧変化などを監視するより、各ブッシング２の絶縁管２１の中空部と導体２２の間の空間の気密や、ターミナルヘッダベース１とブッシング２との間の空間の気密の破壊を検出することができる。
Here, the annular communication path 701 has an annular sealing member formed on the upper surface of the terminal header base 1 so as to pass through the upper part of the annular groove formed so as to pass above the three individual detection holes 13. It is formed by hermetically sealing with an annular sealing material 703.
According to the terminal header base 1 in a completed state according to the second embodiment as described above, in the state where the bushings 2 are sealed in the bushing insertion holes 11 as described above, the sealing member 15 is used. The opening on the side surface of the terminal header base 1 of one individual detection hole 13 that is not sealed with the use of is connected to the hollow portion of the insulating tube 21 of each bushing 2 and the conductor 22 via the annular communication path 701 and the small hole 702. And the space between the terminal header base 1 of each bushing 2 and the monitoring device connected to this opening for monitoring changes in atmospheric pressure, etc. It is possible to detect the airtightness of the space between the conductors 22 and the airtight destruction of the space between the terminal header base 1 and the bushing 2.
以下、本第２実施形態に係るフィードスルー１０の製造手順について説明する。
フィードスルー１０の製造においては、まず、図８ａ１、ａ２に示すように、各個別検出孔１３の封止部材１５による封止と、小孔７０２の形成と、円環溝７０４の円環封止材７０３による封止とを行う前の状態のターミナルヘッダベース１を中間状態のターミナルヘッダベース１として製作する。ここで、３つの個別検出孔１３は、それぞれ、中間状態のターミナルヘッダベース１の側面からブッシング挿通孔１１までを貫通する孔とする。
Hereinafter, the manufacturing procedure of the feedthrough 10 according to the second embodiment will be described.
In manufacturing the feedthrough 10, first, as shown in FIGS. 8a1 and 8a, each individual detection hole 13 is sealed with the sealing member 15, the small hole 702 is formed, and the annular groove 704 is annularly sealed. The terminal header base 1 in a state before being sealed with the material 703 is manufactured as a terminal header base 1 in an intermediate state. Here, each of the three individual detection holes 13 is a hole penetrating from the side surface of the terminal header base 1 in the intermediate state to the bushing insertion hole 11.
次に、中間状態のターミナルヘッダベース１の各ブッシング挿通孔１１に、上述のように各ブッシング２を封着し、中間状態のターミナルヘッダベース１を適当なフィードスルー評価用管に気密に締結する。そして、適当なフィードスルー評価用管５００に適当な気圧を与えながら、中間状態のターミナルヘッダベース１の側面の３つの個別検出孔１３の開口にそれぞれ、または、順次、測定器を連結し、各ブッシング２について、ブッシング２の絶縁管２１の中空部と導体２２の間の空間の気密や、中間状態のターミナルヘッダベース１とブッシング２との間の空間の気密の健全性を評価する。 Next, the bushings 2 are sealed in the bushing insertion holes 11 of the terminal header base 1 in the intermediate state as described above, and the terminal header base 1 in the intermediate state is airtightly fastened to an appropriate feedthrough evaluation tube. . Then, while applying an appropriate pressure to an appropriate feedthrough evaluation tube 500, a measuring instrument is connected to each of the openings of the three individual detection holes 13 on the side surface of the terminal header base 1 in the intermediate state or sequentially. Regarding the bushing 2, the airtightness of the space between the hollow portion of the insulating tube 21 of the bushing 2 and the conductor 22 and the soundness of the airtightness of the space between the terminal header base 1 and the bushing 2 in the intermediate state are evaluated.
そして、全てのブッシング２について気密の健全性が確認できたならば、中間状態のフィードスルー１０をフィードスルー評価用管から取り外し、図８ｂ１、ｂ２に示すように、円環溝７０４の下面から個別検出孔１３まで貫通する小孔７０２を形成する。
そして、図８ｃ１、ｃ２に示すように、３つの個別検出孔１３のうちの２つの個別検出孔１３を封止部材１５で気密に封止すると共に、円環溝７０４の上部を図８ｄに示すような円環封止材７０３によって気密に封止し、フィードスルー１０を完成する。
以上、本発明の第２実施形態について説明した。
ところで、以上の第１、第２実施形態では、ターミナルヘッダベース１として概略円盤状のターミナルヘッダベース１を用いたが、ターミナルヘッダベース１の形状は概略円盤状以外の形状としてもよい。
すなわち、たとえば、図９ａに示すような概略、上下二つのフランジを中空の円筒部で上下に連結した形状のものを用いるようにしてもよい。
ここで、図９ａ中、図９ａ１がターミナルヘッダベース１の上面を、図９ａ２がターミナルヘッダベース１の側面を、図９ａ３が図９ａ１中の切断線Ａ-Ａによるターミナルヘッダベース１の断面を、図９ａ４がターミナルヘッダベース１の下面を表している。
図示するように、ターミナルヘッダベース１は、上方フランジ部６０１と、下方フランジ部６０２と、上方フランジ部６０１と下方フランジ部６０２を上下に連結する中空円筒部６０３とを備えている。上方フランジ部６０１は、図３または図７に示した円盤状のターミナルヘッダベース１と同様の構成を備えており、下方フランジ部６０２は、外縁部にボルト孔１２が設けられた円環盤形状を有している。
When the airtight soundness of all the bushings 2 has been confirmed, the intermediate feedthrough 10 is removed from the feedthrough evaluation tube, and individually shown from the lower surface of the annular groove 704 as shown in FIGS. A small hole 702 that penetrates to the detection hole 13 is formed.
Then, as shown in FIGS. 8c1 and c2, two of the three individual detection holes 13 are hermetically sealed with the sealing member 15, and the upper part of the annular groove 704 is shown in FIG. 8d. The feedthrough 10 is completed by hermetically sealing with such an annular sealing material 703.
The second embodiment of the present invention has been described above.
In the first and second embodiments described above, the terminal header base 1 having a substantially disk shape is used as the terminal header base 1, but the shape of the terminal header base 1 may be a shape other than the substantially disk shape.
That is, for example, a schematic shape as shown in FIG. 9a, in which two upper and lower flanges are vertically connected by a hollow cylindrical portion, may be used.
Here, in FIG. 9a, FIG. 9a1 shows the top surface of the terminal header base 1, FIG. 9a2 shows the side surface of the terminal header base 1, and FIG. 9a3 shows the cross section of the terminal header base 1 along the cutting line AA in FIG. FIG. 9 a 4 shows the lower surface of the terminal header base 1.
As illustrated, the terminal header base 1 includes an upper flange portion 601, a lower flange portion 602, and a hollow cylindrical portion 603 that connects the upper flange portion 601 and the lower flange portion 602 up and down. The upper flange portion 601 has the same configuration as the disk-shaped terminal header base 1 shown in FIG. 3 or FIG. 7, and the lower flange portion 602 has an annular disk shape with bolt holes 12 provided on the outer edge portion. have.
そして、たとえば、図９ｂに示すように、ターミナルヘッダベース１の下方フランジ部６０２の下面側は、ターミナルヘッダベース１の外縁部に設けられているボルト孔１２を利用して、ターミナルヘッダベース１の液化ガス汲揚用管１０１の上端に設けられているフランジに、ボルトによって締結される。 For example, as shown in FIG. 9 b, the lower surface side of the lower flange portion 602 of the terminal header base 1 uses the bolt holes 12 provided in the outer edge portion of the terminal header base 1 to The bolt is fastened to a flange provided at the upper end of the liquefied gas pumping tube 101 with a bolt.
また、ターミナルヘッダベース１の上部フランジ部の上面側には、ターミナルヘッダベース１の上部フランジ部の外縁部に設けられているボルト孔１２を利用して、配線カバー用のチューブ１０６が連結される。
また、ブッシング２の各端子２３は、給電線となる絶縁電線１０５が連結された状態で、所定の封止材３０２によって気密に封止される。
ここで、図９ａに示した上下二つのフランジを備えたターミナルヘッダベース１を用いたフィードスルー１０は、図９ｂに示すように、上端付近で屈曲する液化ガス汲揚用管１０１への適用に好適である。このようなターミナルヘッダベース１を用いることにより給電線の端子２３近傍の曲げ半径を大きく確保することができる。
Further, a tube 106 for wiring cover is connected to the upper surface side of the upper flange portion of the terminal header base 1 by using a bolt hole 12 provided in an outer edge portion of the upper flange portion of the terminal header base 1. .
In addition, each terminal 23 of the bushing 2 is hermetically sealed with a predetermined sealing material 302 in a state where the insulated wire 105 serving as a feed line is connected.
Here, the feedthrough 10 using the terminal header base 1 having the upper and lower two flanges shown in FIG. 9a is applied to a liquefied gas pumping pipe 101 bent near the upper end as shown in FIG. 9b. Is preferred. By using such a terminal header base 1, a large bending radius in the vicinity of the terminal 23 of the feeder line can be secured.
１…ターミナルヘッダベース、２…ブッシング、１０…フィードスルー、１１…ブッシング挿通孔、１２…ボルト孔、１３…個別検出孔、１４…検出孔、１５…封止部材、１６…溝、２１…絶縁管、２２…導体、２３…端子、２４…第１封着金具、２５…第２封着金具、２６…Ｓ型ベロー、２７…部材群、２８…貫通孔、２９…Ｃ型ベロー、３０…絶縁層、３１…絶縁筒、１００…タンク、１０１…液化ガス汲揚用管、１０２…サブマージドポンプ、１０３…電源、１０４…排出路、１０５…絶縁電線、１０６…チューブ、３０２…封止材、５００…フィードスルー評価用管、６０１…上方フランジ部、６０２…下方フランジ部、６０３…中空円筒部、７０１…円環状連絡路、７０２…小孔、７０３…円環封止材、７０４…円環溝。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Terminal header base, 2 ... Bushing, 10 ... Feed through, 11 ... Bushing insertion hole, 12 ... Bolt hole, 13 ... Individual detection hole, 14 ... Detection hole, 15 ... Sealing member, 16 ... Groove, 21 ... Insulation Tubes, 22 ... conductors, 23 ... terminals, 24 ... first sealing fittings, 25 ... second sealing fittings, 26 ... S-type bellows, 27 ... member groups, 28 ... through holes, 29 ... C-type bellows, 30 ... Insulating layer, 31 ... Insulating cylinder, 100 ... Tank, 101 ... Pipe for pumping liquefied gas, 102 ... Submerged pump, 103 ... Power source, 104 ... Discharge path, 105 ... Insulated wire, 106 ... Tube, 302 ... Sealing material , 500 ... feed-through evaluation pipe, 601 ... upper flange part, 602 ... lower flange part, 603 ... hollow cylindrical part, 701 ... annular communication path, 702 ... small hole, 703 ... annular sealing material, 704 ... yen Ring groove.
Claims (4)
前記ベース部材に前記複数のブッシング取付孔と、前記複数のブッシング取付孔の各々に対応してそれぞれ設けられた、前記ヘッダ部材の表面から対応するブッシング取付孔まで貫通する複数の個別検出孔とを形成するステップと、
前記各ブッシング取付孔の各々にそれぞれ前記ブッシングを、当該ブッシング取付孔の軸方向両端の間に前記軸方向中央部が位置するように挿通し、当該ブッシングを当該ブッシング取付孔の軸方向両端の位置で当該ベース部材に気密に封着するステップと、
前記各個別検出孔を用いて、前記複数のブッシングの各々について、個々に気密の健全性を評価するステップと、
前記ベース部材に、当該ベース部材の表面から前記複数のブッシング取付孔の各々まで通じる検出孔を形成すると共に、前記複数の個別検出孔の前記ベース部材の表面側の開口を気密に封止するステップとを有することを特徴とするフィードスルーの製造方法。 Production of a feedthrough including a base member and a plurality of bushings each having a through hole for detecting an airtight state in an axially central portion thereof inserted in each of a plurality of bushing mounting holes provided in the base member A method,
The base member includes a plurality of bushing attachment holes and a plurality of individual detection holes provided corresponding to each of the plurality of bushing attachment holes and penetrating from the surface of the header member to the corresponding bushing attachment holes. Forming step;
The bushing is inserted into each of the bushing mounting holes so that the axial central portion is located between the axial ends of the bushing mounting holes, and the bushings are positioned at both axial ends of the bushing mounting holes. And hermetically sealing to the base member;
Using each of the individual detection holes, for each of the plurality of bushings, individually evaluating the airtightness,
Forming a detection hole in the base member from the surface of the base member to each of the plurality of bushing mounting holes, and hermetically sealing openings on the surface side of the base member of the plurality of individual detection holes; A method for producing a feedthrough characterized by comprising:
前記ベース部材に前記複数のブッシング取付孔と、前記複数のブッシング取付孔の各々に対応してそれぞれ設けられた、前記ヘッダ部材の表面から対応するブッシング取付孔まで貫通する複数の個別検出孔とを形成するステップと、
前記各ブッシング取付孔の各々にそれぞれ前記ブッシングを、当該ブッシング取付孔の軸方向両端の間に前記軸方向中央部が位置するように挿通し、当該ブッシングを当該ブッシング取付孔の軸方向両端の位置で当該ベース部材に気密に封着するステップと、
前記各個別検出孔を用いて、前記複数のブッシングの各々について、個々に気密の健全性を評価するステップと、
前記ベース部材に、前記複数の個別検出孔、または、前記複数のブッシング取付孔を連通する連絡路を形成すると共に、前記複数の個別検出孔のうちの一つの個別検出孔を除く各個別検出孔の前記ベース部材の表面側の開口を気密に封止するステップとを有することを特徴とするフィードスルーの製造方法。 Production of a feedthrough including a base member and a plurality of bushings each having a through hole for detecting an airtight state in an axially central portion thereof inserted in each of a plurality of bushing mounting holes provided in the base member A method,
The base member includes a plurality of bushing attachment holes and a plurality of individual detection holes provided corresponding to each of the plurality of bushing attachment holes and penetrating from the surface of the header member to the corresponding bushing attachment holes. Forming step;
The bushing is inserted into each of the bushing mounting holes so that the axial central portion is located between the axial ends of the bushing mounting holes, and the bushings are positioned at both axial ends of the bushing mounting holes. And hermetically sealing to the base member;
Using each of the individual detection holes, for each of the plurality of bushings, individually evaluating the airtightness,
Each of the plurality of individual detection holes or each of the plurality of individual detection holes except for one individual detection hole among the plurality of individual detection holes is formed in the base member so as to communicate with the plurality of individual detection holes or the plurality of bushing mounting holes. And a step of hermetically sealing the opening on the surface side of the base member.
前記連絡路は、前記複数の個別検出孔の上方を通るように前記ベース部材に設けた溝の下面に、各個別検出孔まで貫通する孔を形成した上で、前記溝の上部を気密に封止することにより形成することを特徴とするフィードスルーの製造方法。 A method for producing a feedthrough according to claim 2,
The communication path is formed with a hole penetrating to each individual detection hole on the lower surface of the groove provided in the base member so as to pass above the plurality of individual detection holes, and the upper portion of the groove is hermetically sealed. A method for producing a feedthrough, wherein the feedthrough is formed by stopping.
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105186415A (en) * | 2015-08-26 | 2015-12-23 | 芜湖市凯鑫避雷器有限责任公司 | Self-cooling device for wall bushings |
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