JP2015133340A - 固体撮像装置 - Google Patents
固体撮像装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015133340A JP2015133340A JP2012101095A JP2012101095A JP2015133340A JP 2015133340 A JP2015133340 A JP 2015133340A JP 2012101095 A JP2012101095 A JP 2012101095A JP 2012101095 A JP2012101095 A JP 2012101095A JP 2015133340 A JP2015133340 A JP 2015133340A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- light transmission
- height
- solid
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 title claims abstract description 76
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract description 59
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 39
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 21
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 21
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims abstract description 4
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 9
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 9
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 238000013461 design Methods 0.000 description 6
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 6
- 238000013139 quantization Methods 0.000 description 6
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 5
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000011514 reflex Effects 0.000 description 2
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000005672 electromagnetic field Effects 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000012887 quadratic function Methods 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/14625—Optical elements or arrangements associated with the device
- H01L27/14627—Microlenses
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N23/00—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
- H04N23/50—Constructional details
- H04N23/55—Optical parts specially adapted for electronic image sensors; Mounting thereof
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Abstract
【課題】撮像領域の周辺部でも感度が高い固体撮像装置を提供する。【解決手段】複数の画素が行列状に配置された撮像領域と周辺回路領域とを備えた半導体基板と、画素ごとに、半導体基板に形成された受光部と、半導体基板の上に形成された配線層と、画素ごとに、配線層の上に形成された集光素子とを有する。さらに、集光素子は、半導体基板に垂直な軸を中心とし、入射光の波長と同程度かそれよりも短い線幅で分割された円弧状の複数の光透過膜からなる。さらに、撮像領域の周辺部に位置する画素における集光素子は、撮像領域の中心部側の光透過膜の第一の高さが、撮像領域の中心部とは反対側の光透過膜の第二の高さよりも高い固体撮像装置。【選択図】図2
Description
本発明は固体撮像装置において、特に、集光素子に関する。
近年、デジタルカメラやカメラ付携帯電話機等の普及に伴い、固体撮像装置の市場は著しく拡大してきた。また、広角から望遠まで、さまざまな光学レンズを交換して使用する1眼レフのデジタルカメラが普及してきている。そのような中で、デジタルカメラ等の薄型化に対する要望は依然として強い。これは言い換えれば、カメラ部分に用いるレンズが短焦点になるということであり、固体撮像装置に入射する光の範囲は広角(固体撮像装置の入射面の垂直軸から測定して大きな角度)になることを意味する。
このように、広角になると、固体撮像装置の撮像領域の周辺部では入射する光が斜めになり、撮像領域の中央部と同じように集光素子を配置すると感度が低下する。これに対し、特許文献1の図12Bには、図9に示すように、撮像領域の周辺部に位置する画素においては、集光素子の屈折率分布をシフトさせるために、高屈折率の材料を平面的に撮像領域の中央部側にシフトする方法が提案されている。
しかしながら、従来のように、高屈折率の材料をシフトさせると、シフトした側では、高屈折率材料の間隔が狭くなるため、リソグラフィ技術に制約ができ、量子化誤差が増大する。これにより、結果的には撮像領域の周辺部での感度は低下し、撮像画像は周辺部が暗くなるという課題がある。
本発明に係る固体撮像装置は、複数の画素が行列状に配置された撮像領域と周辺回路領域とを有する半導体基板と、画素ごとに、半導体基板に形成された受光部と、半導体基板の上に形成された配線層と、画素ごとに、配線層の上に形成された集光素子とを有する。さらに、集光素子は、半導体基板に垂直な軸を中心とした同心円状になるように、入射光の波長と同程度かそれよりも短い線幅で分割された円弧状の複数の光透過膜からなる。さらに、撮像領域の周辺部に位置する画素における集光素子は、撮像領域の中心部側の光透過膜の第一の高さが、撮像領域の中心部とは反対側の光透過膜の第二の高さよりも高い。
本発明の係る固体撮像装置により、撮像領域の周辺部の感度を向上でき、撮像画像の周辺部においても、従来よりも明るい撮像画像を得ることができる。
(実施の形態1)
第一の実施の形態に係る固体撮像装置11を図1〜5を用いて説明する。
第一の実施の形態に係る固体撮像装置11を図1〜5を用いて説明する。
図1は、本実施の形態に係る固体撮像装置の平面図である。
図1に示すように、固体撮像装置11は、撮像領域12と撮像領域12の外側に位置する周辺回路領域13と有する。撮像領域12は、複数の画素14が行列状に配置され、それぞれの画素14は半導体基板に受光部(図示せず)を有している。撮像領域12は、中央部15と周辺部16とに区別することができる。固体撮像装置11は、受光部が入射した光を光電変換して電気信号に変え、画素14が電気信号を周辺回路領域13に形成された処理回路に電気信号を出力することで、画像データを生成する。
図2(a)は、図1の中央部15に位置する画素14を示す断面図であり、図2(b)は、図1の周辺部16に位置する画素14を示す断面図である。
図2(a)および図2(b)に示すように、固体撮像装置11は、画素14ごとに複数の受光部21が形成された半導体基板22と、半導体基板22の上に形成された配線層23とを有する。さらに、配線層23の上に、受光部21ごとに対応して形成された、カラーフィルタ24およびカラーフィルタ24の上に平坦化膜を介して形成された集光素子25を有する。
図3(a)は、図1の中央部15に位置する集光素子25の平面図であり、図3(b)は、図1の周辺部16に位置する集光素子25の平面図である。
図3(a)および図3(b)に示すように、集光素子25は、空気よりも屈折率が高い複数の光透過膜26が半導体基板22に対して垂直な軸を中心とする同心円の円弧形状で複数形成されている。最も中心部においては、円弧形状ではなく、円形状の光透過膜26が形成されている。それぞれの光透過膜26は、幅および間隔が入射光の波長と同程度かそれより小さく形成されている。なお、図3(b)では、左が撮像領域12の中心側である。
このような波長以下の微細な光透過膜26を形成すると、集光素子25は、光透過膜26の屈折率と光透過膜26同士の間に位置する空間の屈折率とを平均した屈折率として機能する。空間の屈折率は、光透過膜26の屈折率よりも小さくなっている。本実施の形態では空気とし、屈折率はn=1.0である。空間には空気が存在していても良く、窒素や
アルゴンなど、光透過膜26を劣化させない安定した気体とすることが好ましい。また、光透過膜26はシリコン酸化膜とし、屈折率はn=1.45である。光透過膜26としては、屈折率がn=2.0のシリコン窒化膜なども用いることが可能である。
アルゴンなど、光透過膜26を劣化させない安定した気体とすることが好ましい。また、光透過膜26はシリコン酸化膜とし、屈折率はn=1.45である。光透過膜26としては、屈折率がn=2.0のシリコン窒化膜なども用いることが可能である。
さらに、集光素子25について詳しく説明する。
図2(a)および図2(b)に示すように、集光素子25は複数の光透過膜26を異なる高さで形成されたものであり、全体として屈折率が分布されることで、設計屈折率分布27をもつレンズとして機能することとなる。
本実施の形態では、光透過膜26の高さを3段階とし、1200nm、1100nm、800nmとしている。また、光透過膜26の幅は、前述したように入射光と同程度かそれ以下であり、本実施の形態では、波長が400nm〜800nmの可視光に対して、100nmや150nmとしている。また、空間についても光透過膜26と同程度の幅で形成されている。
図2(a)および図3(a)に示すように、撮像領域12の中央部15においては、入射光は、半導体基板22に対してほぼ垂直に入射するため、光透過膜26は断面においても、平面においても左右対称に形成されている。図においては、左を撮像領域12の中央側とし、右を周辺回路領域13側とする。
そして、図3(b)に示すように、撮像領域12の周辺部16においては、光透過膜26は平面においては左右対称に形成されているが、図2(b)に示すように、断面においては、左右非対称に形成されている。
具体的には、集光素子25の中心からの距離が等しい光透過膜26同士を比較すると、撮像領域12の中央側の光透過膜26の高さを1100nmとし、撮像領域12の周辺回路領域13側の高さを800nmとしている部分がある。また、撮像領域12の中央側には光透過膜26が存在するが、撮像領域12の周辺回路領域13側には存在していない部分もある。撮像領域12の中央側を第一のゾーン31とし、撮像領域12の周辺回路領域13側を第二のゾーン32とする。
第一のゾーン31は、第二のゾーン32よりも小さくなっており、集光素子25は全体的に中央部15側にシフトした状態となっている。
これらの高さの異なるリングについては、言い換えると、第一の高さの光透過膜と軸との距離は、第二の高さの光透過膜と軸との距離と等しいことである。
これにより、集光素子25の屈折率分布は撮像領域12の中心側の方にシフトさせることができる。このとき、本発明では、撮像領域12の中央側と外側とで複数の光透過膜26の間隔を等しくしているため、リソグラフィ技術は同程度に制御でき、信頼性の高い屈折率分布が実現できる。
本実施の形態の光透過膜26の高さの設定方法の一つについて説明する。
図2(b)に示すように、撮像領域12の周辺部16における集光素子25の理想的な屈折率分布を設計屈折率分布27とし、画素14の両端部における設計屈折率分布27を直線28で結ぶ。この直線28は、周辺部16では、理想的には屈折率分布は撮像領域12の中央側にシフトしているため、半導体基板22に対して傾いた直線28となる。この傾いた直線28に合うように、光透過膜26の高さの違いを設定することができる。
次に、本実施の形態の設計屈折率分布27について説明する。
図2(b)の設計屈折率分布27は、以下の(式1)で表される。
Δn(x)=Δnmax[(Ax2+Bxsinθ)/2π+C] (式1)
(A、B、C:定数)
ここで、Δnmaxは、光透過膜材料でSiO2と空気の屈折率差(今回は0.45)である。
また、上記(1)式は、入射側媒質の屈折率をn0、出射側媒質の屈折率をn1としたときの各パラメータは、以下の(式2)~(式4)である。
(A、B、C:定数)
ここで、Δnmaxは、光透過膜材料でSiO2と空気の屈折率差(今回は0.45)である。
また、上記(1)式は、入射側媒質の屈折率をn0、出射側媒質の屈折率をn1としたときの各パラメータは、以下の(式2)~(式4)である。
A=−(k0n1)/2f (式2)
B=−k0n0 (式3)
k0=2π/λ (式4)
これにより、目的とする焦点距離f及び対象とする入射光の入射角度、波長毎に、レンズを最適化することが可能となる。なお、上記(1)式において、集光成分は画素中央から周辺方向への距離xの2次関数によって表し、偏向成分は距離xと三角関数との積によって表している。
B=−k0n0 (式3)
k0=2π/λ (式4)
これにより、目的とする焦点距離f及び対象とする入射光の入射角度、波長毎に、レンズを最適化することが可能となる。なお、上記(1)式において、集光成分は画素中央から周辺方向への距離xの2次関数によって表し、偏向成分は距離xと三角関数との積によって表している。
次に、本実施の形態の集光特性を説明する。
図4(a)は従来の集光特性の計算結果を示す図であり、図4(b)は本実施の形態の集光特性の計算結果を示す図である。
これらの計算結果は、有限要素法による電磁界シミュレーションにより、設定した光源より発生した光が固体撮像素子の表面に入射され、受光部を含む固体撮像装置全域に光が伝播する様子を示している。入射光は波長540nm、入射角度は固体撮像素子表面に対して平行な設定とした。
図4(a)と図4(b)とを比較すると、従来の集光素子による集光分布に対し、本発明の集光素子による集光分布は受光部に効率良く集光されている様子が確認できる。具体的には、従来は入射光の一部が固体撮像装置内の遮光膜に遮られることで集光ロスが生じているのに対し、本実施の形態は遮光膜に遮られることなく受光部に効率良く集光できている。これは、従来技術と本発明との間に生じている屈折率分布の再現性の差異であり、量子化誤差を低減することで集光性能を向上させることができることを示している。
次に、本実施の形態の入射角特性について説明する。
図5は、本実施の形態の集光効率の入射角依存性を示したグラフである。符号51は従来方法による規格化感度を示すものであり、短い破線で表されている。符号52は理想的な規格化感度を示すものであり、長い破線で表されている。符号53は本実施の形態による規格化感度を示すものであり、実線で表されている。
図5に示すように、本実施の形態では入射角度が0°から40°程度までの広い範囲の入射光に対して高効率(80%以上)の集光ができており、従来の集光素子と比べ、入射角度マージンの広角化が実現している。本発明の集光素子により、量子化誤差の低減による効果が十分に得られていることがわかる。
(実施の形態2)
次に、第二の実施の形態に係る固体撮像装置について説明する。なお、実施の形態1と重複する事項についての記載は省略し、異なる事項についてのみ説明する。
次に、第二の実施の形態に係る固体撮像装置について説明する。なお、実施の形態1と重複する事項についての記載は省略し、異なる事項についてのみ説明する。
図6(a)は、本実施の形態の中央部15に位置する画素14を示す断面図であり、図6(b)は、本実施の形態の周辺部16に位置する画素14を示す断面図である。
図7(a)は、本実施の形態の中央部15に位置する集光素子25の平面図であり、図7(b)は、本実施の形態の周辺部16に位置する集光素子25の平面図である。
本実施の形態が実施の形態1と異なる点は、さらに光透過膜26の線幅を異ならせることである。図6(b)、図7(b)に示すように、例えば光透過膜26がある領域の線幅を広くすることも可能である。また、図2(b)には、例えば、中央から2つ外側のリングは第一のゾーン31よりも第二のゾーン32の方が低く、高さが異なっているが、図6(b)に示すように、第一のゾーン31のリングの線幅を第二のゾーン32のリングの線幅よりも広くすることで、屈折率差を大きくすることも可能である。実施の形態1では、リングの幅は100nmとしていたが、本実施の形態2では、第二のゾーン32のリングの幅は150nmの部分も存在している。このように、本発明では光透過膜26の高さを調整できるため、リソグラフィ技術の精度が落ちるまでリングの幅を設定する必要はなく、量子化誤差を少なくすることが可能である。
言い換えると、第一の高さの光透過膜26は第一のゾーンを構成し、第二の高さの光透過膜26は第二のゾーンを構成し、集光素子25は、画素14の複数のゾーンから構成されている。
第一のゾーン31は、第二のゾーン32よりも小さくなっており、集光素子25は全体的に中央部15側にシフトした状態となっている。
線幅としては、前述したように入射光と同じかそれより小さくしていればよく、100nmや150nmなどであればよい。なお、リソグラフィ技術の精度が落ちるほどまでに線幅を小さくしなくとも、光透過膜26の高さを調整できるため、量子化誤差を低減することが可能である。
(実施の形態1、2の変形例)
実施の形態1、2では、リングがすべて円としていたが、すべての実施の形態において、完全な円である必要はない。
実施の形態1、2では、リングがすべて円としていたが、すべての実施の形態において、完全な円である必要はない。
図8(a)は、実施の形態1の本変形例の中央部15に位置する集光素子25の平面図であり、図8(b)は、実施の形態1の本変形例の周辺部16に位置する集光素子25の平面図である。図8(c)は、実施の形態2の本変形例の中央部15に位置する集光素子25の平面図であり、図8(d)は、実施の形態2の本変形例の周辺部16に位置する集光素子25の平面図である。
図8(b)、図8(d)に示すように、図面左側である中央部15に対して、長軸が向く方向に楕円に近い形状をしていても良い。このとき、各楕円の中心位置は異なっていても良い。このときも、実施の形態1と同様に、設計屈折率分布27となるように、光透過膜26の高さを変えることで、量子化誤差を低減した集光素子25が実現できる。また、ゾーンが均等でないため、片側が延びた、いわゆる卵のような形状になっていても構わない。
以上のように、本願で、円または円弧状と呼ぶ場合もその円は完全な円である必要はな
く、円弧のような曲線を示すものである。また、本願で、リングと呼ぶ場合も、完全な一周分のリングである必要はなく、部分的なものでも構わない。さらに、最も内側のリングは、穴がないプレートのように形成されるが、これについても、本願では、リングに含まれるものとする。
く、円弧のような曲線を示すものである。また、本願で、リングと呼ぶ場合も、完全な一周分のリングである必要はなく、部分的なものでも構わない。さらに、最も内側のリングは、穴がないプレートのように形成されるが、これについても、本願では、リングに含まれるものとする。
(実施の形態3)
次に、本実施の形態に係る光透過膜26の製造方法を説明する。
次に、本実施の形態に係る光透過膜26の製造方法を説明する。
本実施の形態では、光透過膜26の高さを3段階および、光透過膜が存在しない領域も存在する場合で説明する。まず、カラーフィルタ24の上方に光透過膜26を一定の膜厚で形成する。この膜厚は、最も高い光透過膜26の高さにそろえておくことで、後のエッチング工程を簡略化できる。
次に、光透過膜26が存在しない領域が開口した第一のマスクにより、光透過膜26をエッチングして除去する。
次に、最も低い光透過膜26が存在する領域が開口した第二のマスクにより、光透過膜26をエッチングして除去する。第二のマスクの開口は第一のマスクの開口を含んでいても良い。
最後に、中間の高さの光透過膜26が存在する領域が開口した第三のマスクにより、光透過膜26をエッチングして除去する。第三のマスクの開口は第一のマスクおよび第二のマスクの開口を含んでいても良い。
なお、各エッチングのエッチング量は、最終的に形成される光透過膜26の高さを考慮して行う。例えば、第二のマスクの開口が第一のマスクの開口を含む場合は、最終的に光透過膜26が存在しない領域の光透過膜26は2回のエッチングが施される。
なお、光透過膜26は3段階以上の高さであっても構わない。また、マスクはグレースケールマスクなどを用いて一括で形成しても構わない。
(その他の事項)
実施の形態では、第一のゾーンと第二のゾーンの2つに分割して説明したが、さらに多くのゾーンに分割することも可能である。例えば、さらに上下方向にも分割し4つのゾーンで同心円弧状の光透過膜の高さを変えることも可能である。このようにすれば、撮像領域12の中央から斜め方向の周辺部16に位置する画素14についても、屈折率分布を最適化でき、感度を向上させることができる。
実施の形態では、第一のゾーンと第二のゾーンの2つに分割して説明したが、さらに多くのゾーンに分割することも可能である。例えば、さらに上下方向にも分割し4つのゾーンで同心円弧状の光透過膜の高さを変えることも可能である。このようにすれば、撮像領域12の中央から斜め方向の周辺部16に位置する画素14についても、屈折率分布を最適化でき、感度を向上させることができる。
また、本実施の形態では、カラーフィルタ24の上方に位置する集光素子25について発明を実施しているが、このような集光素子をカラーフィルタ24の下にも層内レンズとして配置することで、さらに感度を向上することが可能である。
すなわち、配線層23は画素14ごとに層内レンズをさらに備え、層内レンズは、半導体基板22に垂直な軸を中心とし、入射光の波長と同程度かそれよりも短い線幅で分割された円弧状の複数の光透過膜26からなり、撮像領域12の周辺部16に位置する画素14における層内レンズは、撮像領域12の中央部15側の光透過膜26の第三の高さが、撮像領域12の中央部15とは反対側の光透過膜26の第四の高さよりも高い。
また、本実施の形態は、画素14のサイズが、3.75μm×3.75μmなどで、一眼レフなどに用いられる大型のセンサーに用いれば、本発明の効果はさらに顕著となる。
また、これらの実施の形態は、矛盾がない範囲で組み合わせることが可能である。
本発明の固体撮像装置は、デジタルスチルカメラ、デジタルビデオカメラ又はカメラ付携帯電話機などに利用が可能であり、有用である。
11 固体撮像装置
12 撮像領域
13 周辺回路領域
14 画素
15 中央部
16 周辺部
21 受光部
22 半導体基板
23 配線層
24 カラーフィルタ
25 集光素子
26 光透過膜
27 設計屈折率分布
28 直線
31 第一のゾーン
32 第二のゾーン
12 撮像領域
13 周辺回路領域
14 画素
15 中央部
16 周辺部
21 受光部
22 半導体基板
23 配線層
24 カラーフィルタ
25 集光素子
26 光透過膜
27 設計屈折率分布
28 直線
31 第一のゾーン
32 第二のゾーン
Claims (6)
- 複数の画素が行列状に配置された撮像領域と周辺回路領域とを備えた半導体基板と、
前記画素ごとに、前記半導体基板に形成された受光部と、
前記半導体基板の上に形成された配線層と、
前記画素ごとに、前記配線層の上に形成された集光素子とを備え、
前記集光素子は、前記半導体基板に垂直な軸を中心とした、入射光の波長と同程度かそれよりも短い線幅で分割された円弧状の複数の光透過膜からなり、
前記撮像領域の周辺部に位置する画素における集光素子は、前記撮像領域の中心部側の前記光透過膜の第一の高さが、前記撮像領域の中心部とは反対側の前記光透過膜の第二の高さよりも高い固体撮像装置。 - 前記軸は、前記画素の中心よりも前記撮像領域の中心側に位置する請求項1に記載の固体撮像装置。
- 前記第一の高さの前記光透過膜と前記軸との距離は、前記第二の高さの前記光透過膜と前記軸との距離と等しい請求項1または2に記載の固体撮像装置。
- 前記第一の高さの前記光透過膜の線幅は、前記第二の高さの前記光透過膜の線幅よりも大きい請求項1~3のいずれかに記載の固体撮像装置。
- 前記第一の高さの前記光透過膜は第一のゾーンを構成し、
前記第二の高さの前記光透過膜は第二のゾーンを構成し、
前記集光素子は、前記画素の複数のゾーンから構成されている請求項1〜4のいずれかに記載の固体撮像装置。 - 前記配線層は画素ごとに層内レンズをさらに備え、
前記層内レンズは、前記半導体基板に垂直な軸を中心とし、入射光の波長と同程度かそれよりも短い線幅で分割された円弧状の複数の光透過膜からなり、
前記撮像領域の周辺部に位置する画素における層内レンズは、前記撮像領域の中心部側の前記光透過膜の第三の高さが、前記撮像領域の中心部とは反対側の前記光透過膜の第四の高さよりも高い請求項1〜5のいずれかに記載の固体撮像装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012101095A JP2015133340A (ja) | 2012-04-26 | 2012-04-26 | 固体撮像装置 |
PCT/JP2013/001749 WO2013161168A1 (ja) | 2012-04-26 | 2013-03-14 | 固体撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012101095A JP2015133340A (ja) | 2012-04-26 | 2012-04-26 | 固体撮像装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015133340A true JP2015133340A (ja) | 2015-07-23 |
Family
ID=49482526
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012101095A Pending JP2015133340A (ja) | 2012-04-26 | 2012-04-26 | 固体撮像装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2015133340A (ja) |
WO (1) | WO2013161168A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6288569B2 (ja) * | 2014-02-28 | 2018-03-07 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 固体撮像素子及びその製造方法 |
CN106257678B (zh) * | 2015-06-18 | 2019-12-17 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 一种cmos图像传感器及其制作方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4456040B2 (ja) * | 2005-06-17 | 2010-04-28 | パナソニック株式会社 | 固体撮像素子 |
JP5283371B2 (ja) * | 2007-11-29 | 2013-09-04 | パナソニック株式会社 | 固体撮像素子 |
JP2009267000A (ja) * | 2008-04-24 | 2009-11-12 | Panasonic Corp | 固体撮像素子 |
-
2012
- 2012-04-26 JP JP2012101095A patent/JP2015133340A/ja active Pending
-
2013
- 2013-03-14 WO PCT/JP2013/001749 patent/WO2013161168A1/ja active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2013161168A1 (ja) | 2013-10-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4733030B2 (ja) | 固体撮像装置 | |
JP5283371B2 (ja) | 固体撮像素子 | |
JP4456040B2 (ja) | 固体撮像素子 | |
JP4479969B2 (ja) | 集光素子 | |
JP5022601B2 (ja) | 固体撮像装置 | |
US9647150B2 (en) | Monolithic integration of plenoptic lenses on photosensor substrates | |
JP2008192771A (ja) | 固体撮像素子およびその製造方法 | |
US20230148437A9 (en) | Imaging apparatus and image sensor including the same | |
US20060066743A1 (en) | Solid-state imaging device | |
JP2008010773A (ja) | 固体撮像素子およびその製造方法 | |
JP5950126B2 (ja) | 固体撮像素子および撮像装置 | |
WO2005076361A1 (ja) | 固体撮像装置、その製造方法およびカメラ | |
CN101414614A (zh) | 图像感测装置及其制造方法 | |
JP2009266900A (ja) | 固体撮像素子 | |
US8872091B2 (en) | Solid-state imaging device | |
JP6895724B2 (ja) | 撮像素子及び撮像装置 | |
JP2015133340A (ja) | 固体撮像装置 | |
US10916575B2 (en) | Image sensor and method of manufacturing image sensor | |
JP2009194186A (ja) | 固体撮像素子およびそれを用いた撮像装置 | |
JP2009267000A (ja) | 固体撮像素子 | |
US8502910B2 (en) | Light-collecting device, light-collecting device group, and solid-state imaging apparatus | |
JP2008258367A (ja) | 固体撮像素子、固体撮像装置およびその製造方法 | |
JP5983954B2 (ja) | 固体撮像装置 | |
JP4998227B2 (ja) | 固体撮像素子とその製造方法およびこの固体撮像素子を用いた撮像装置 |