JP2015119450A - 弾性表面波装置、通信装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 バランス性が改善された平衡型−不平衡型変換機能を有する弾性表面波装置及びそれを用いた通信装置を提供する。
【解決手段】 平衡型−不平衡型変換機能を有する縦結合共振子型の各くし型電極部２、１、３を弾性表面波の伝搬方向に沿って圧電基板８上に設ける。各くし型電極部２、１、３の少なくとも一つ、例えばくし型電極部２の各電極指２１、２２の内、くし型電極部１との対面領域の近傍の電極指２１に交叉重み付け等の重み付けが施された交叉重み付け電極指２２ａを設ける。
【選択図】 図１

Description

本発明は、不平衡型−平衡型変換機能を有するフィルタ等に用いられる弾性表面波装置及びそれを用いた通信装置に関するものである。

近年、携帯電話機等の通信装置の小型化、軽量化に対する技術的進歩は目覚しいものがある。このような通信装置に用いられるフィルタとしては、使用周波数帯域が高くなるに従い、小型化が可能な弾性表面波装置が用いられるようになっている。さらに、通信装置における、各構成部品数の削減、小型化のために、複数の機能を複合した部品の開発も進んできた。

このような状況を背景に、携帯電話機のＲＦ段に使用する弾性表面波フィルタに平衡−不平衡変換機能、いわゆるバラン（balun)の機能を備えたものも近年盛んに研究され、ＧＳＭ（Global System for Mobile communications)などを中心に使用されるようになってきた。このような平衡−不平衡変換機能を備えた弾性表面波フィルタに関する特許も、いくつか出願されている。

入力インピーダンスと出力インピーダンスがほぼ等しい、平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波フィルタとしては、図６７に示すような構成が知られている。

図６７に記載の弾性表面波装置は、圧電基板１００上に、くし型電極部（すだれ状電極部ともいう、Inter-Digital Transducer、以下、ＩＤＴという）１０１が設けられ、上記ＩＤＴ１０１の左右（弾性表面波の伝搬方向に沿って）にＩＤＴ１０２、ＩＤＴ１０３がそれぞれ配置されている、平衡−不平衡変換機能を有する３ＩＤＴタイプの縦結合共振子型の弾性表面波装置である。

上記弾性表面波装置には、さらに、上記各ＩＤＴ１０２、１０１、１０３を左右から挟み込むように、反射器（リフレクタ）１０４、反射器１０５がそれぞれ配置されており、平衡信号端子として各端子１０６、１０７と、不平衡信号端子として端子１０８とが設けられている。

また、入力インピーダンスと出力インピーダンスとを互いに、例えば４倍異ならせ、平衡−不平衡変換機能を有する、他の弾性表面波装置としては、例えば特許文献１（特開平１０−１１７１２３号公報）に記載の構成が挙げられる。

特許文献１に記載の弾性表面波装置は、図６８に示すように、圧電基板上に、第１の弾性表面波フィルタ１１１と、第１の弾性表面波フィルタ１１１とは出力信号の位相が１８０度異なる第２の弾性表面波フィルタ１１２とを有している。なお、図６８において、圧電基板の記載は省略されている。これにより、上記弾性表面波装置は、フィルタ機能と共に、平衡−不平衡変換機能を発揮できる。

第１の弾性表面波フィルタ１１１は、３ＩＤＴタイプの縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１１８と、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１１８に対して、弾性表面波の伝搬方向に沿った対称線を挟んで鏡面対称となる３ＩＤＴタイプの縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１２４とを、カスケード接続、つまり２段縦続接続したものである。

縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１１８は、中央のＩＤＴ１１３の左右（弾性表面波の伝搬方向に沿って）に各ＩＤＴ１１４、１１５をそれぞれ配置し、これらのＩＤＴ１１４、１１３、１０５をさらに左右の両側から挟み込むように、反射器１１６、１１７がそれぞれ配置されたものである。縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１２４は、同様に、中央のＩＤＴ１１９の左右に各ＩＤＴ１２０、１２１をそれぞれ配置し、これらのＩＤＴ１２０、１１９、１２１を挟み込むように、反射器１２２、１２３が配置されたものである。

第２の弾性表面波フィルタ１１２は、３ＩＤＴタイプの縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１２４と同じ縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１２８と、３ＩＤＴタイプの縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１１８に対して、中央のＩＤＴ１０３の向きを反転させて位相を反転させた（つまり約１８０°）ＩＤＴ１３３を備えている縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１２７とを２段縦続接続したものである。

第１、第２の弾性表面波フィルタ１１１、１１２のそれぞれ一方の各端子１２９、１３０を電気的に並列に接続し、もう一方の各端子１３１、１３２を電気的に直列に接続し、並列に接続した端子で不平衡端子１０８、直列に接続した端子で各平衡端子１０６、１０７を構成している。

平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置において、不平衡端子１０８と各平衡端子１０６、１０７のそれぞれの端子との間の通過帯域内での伝送特性には、振幅特性が相等しく、かつ位相特性が互いに１８０度反転していることが要求されている。それらの特性は、振幅平衡度及び位相平衡度とそれぞれ呼ばれている。

振幅平衡度及び位相平衡度とは、前記平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置を３ポートのデバイスと考え、例えば不平衡入力端子をポート１、各平衡出力端子のそれぞれをポート２、ポート３としたとき、
振幅平衡度＝｜Ａ｜、Ａ＝｜20 log (S21)｜−｜20 log (S31)｜ …式（１）
位相平衡度＝｜Ｂ｜、Ｂ＝｜∠S21−∠S31｜ …式（２）
で定義する。なお、S２１はポート１からポート２への伝達係数を、S３１はポート１からポート３への伝達係数を示している。このような平衡度は、理想的には、弾性表面波装置のフィルタ特性における、通過帯域内で振幅平衡度が０ｄＢ、位相平衡度は１８０度とされている。

特開平１０−１１７１２３号公報

しかしながら、上記のような、平衡信号端子を有する弾性表面波装置においては、平衡信号端子間の平衡度が悪化しているという問題があった。平衡度が悪い原因はいくつか挙げられるが、その１つとして、平衡信号端子１０６に接続されている電極指とＩＤＴ１０２のシグナル電極指との距離（図６７の１０９）と、平衡信号端子１０７に接続されている電極指とＩＤＴ１０３のシグナル電極指との距離（図６７の１１０）が、電極指のピッチで決まる波長の０．５倍異なることが挙げられる。

これにより、各平衡信号端子１０６、１０７のそれぞれに接続されている電極指の総容量が異なる、電気信号と弾性表面波との間での変換効率が異なるといった弊害が発生し、結果、平衡度の悪化につながっていた。

そこで、図７０のように、図６７の平衡信号端子１０７をアースに接続して平衡信号端子１０６から出力される周波数に対する振幅特性と、図７１のように、図６７の平衡信号端子１０６をアースに接続して平衡信号端子１０７から出力される振幅特性とを測定し、それらの結果としての上記振幅特性の差を図６９に示す。２つの振幅特性は互いに大きく異なっており、この差が平衡度の悪化につながっている。

また、図６８に示した、カスケード接続した弾性表面波装置では、２つの互いに隣り合う各ＩＤＴにおける、互いに対面する２箇所の各電極指の極性が左右非対称な状態であることに起因して、平衡度が悪化するという問題を生じている。

つまり、ＩＤＴ１１３が、隣り合う各ＩＤＴ１１４、１１５と各箇所（図６８の１２５）では、互いに隣り合う各ＩＤＴ１１３、１１４、１１５の最外電極指がどちらもアース電極指であるのに対し、ＩＤＴ１３３が、隣り合う各ＩＤＴ１３４、１３５と隣り合う各箇所（図６８の１２６）においては、シグナル電極指とアース電極となっている。このように隣り合う各ＩＤＴの最外電極指における極性の組み合わせが変わると、電気信号と弾性表面波との間での変換により、図７２に示す共振モードの周波数や振幅レベルが変化する。

図６８のように、上記のような、互いに隣り合う各ＩＤＴにおける各最外電極指の組み合わせが相異なる２つの縦結合共振子型弾性表面波フィルタを組み合わせて、平衡−不平衡変換機能を備えた弾性表面波装置を構成した場合、この共振モードのずれが平衡信号端子間の平衡度悪化の原因となっていた。

この現象は、図７３に示すような、１つの縦結合共振子型弾性表面波フィルタを用いて、平衡−不平衡変換機能を備えた弾性表面波装置を構成した場合においても、上記の共振モードのずれが同様に発生し、平衡信号端子間の平衡度悪化の原因となっていた。

本発明の目的は、平衡信号端子間の平衡度悪化の一因である上記の平衡信号端子間の差を是正することで、平衡信号端子間の平衡度が良好な、平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置、及びそれを用いた通信装置を提供することにある。

本発明の弾性表面波装置は、以上の課題を解決するために、圧電膜／低音速膜／高音速膜／支持基板の積層構造からなる積層基板上に弾性表面波の伝搬方向に沿って形成された少なくとも２つのＩＤＴを有する弾性表面波フィルタを少なくとも１つと、上記弾性表面波フィルタのための入力信号端子及び出力信号端子とを備えている弾性表面波装置であって、入力信号端子及び出力信号端子の少なくとも一方は平衡信号端子に接続されており、かつ、上記弾性表面波フィルタの少なくとも一部の電極指が、電極指の交叉幅を他の電極指と異ならせる交叉幅重み付けされ、前記交叉幅重み付けされた電極指と隣り合う電極指も交叉幅重み付けされており、かつ、上記２本の交叉幅重み付けされた電極指のそれぞれに対面するように、折れ曲がって形成されるダミー電極が設けられていることを特徴としている。

上記構成によれば、少なくとも２つのＩＤＴを有する弾性表面波フィルタの少なくとも一部の電極指を重み付けしたことにより、平衡信号端子間の各特性（振幅バランス、位相バランス、伝送特性の少なくとも１つ）のバランスを調整できるので、各特性のバランス性を改善できる。

上記弾性表面波装置では、間引き重み付けされた電極指がさらに設けられていてもよい。上記弾性表面波装置においては、前記間引き重み付けされた電極指が接続されているバスバーと対向する対向バスバーに、ダミー電極が設けられていることが望ましい。上記弾性表面波装置では、前記入力用ＩＤＴ及び出力用ＩＤＴの少なくとも一方の各電極指に、別のＩＤＴと互いに対面する位置の最外電極指を含む２本以上、連続したアース電極指が重み付けとして形成されていてもよい。

上記弾性表面波装置においては、前記重み付けが、前記弾性表面波フィルタの互いに隣り合うＩＤＴのうち少なくとも一方における、上記ＩＤＴが互いに隣り合う箇所の最外電極指から数本の電極指に対して施されていてもよい。

上記弾性表面波装置では、前記重み付けが、前記弾性表面波フィルタの互いに隣り合うＩＤＴのうち少なくとも一方における、上記ＩＤＴが互いに隣り合う箇所の最外電極指の近傍に位置する数本の電極指に対して施されていてもよい。

上記弾性表面波装置においては、前記重み付けが、前記弾性表面波フィルタの互いに隣り合うＩＤＴのうち少なくとも一方における、上記ＩＤＴが互いに隣り合う箇所の最外電極指から上記ＩＤＴの弾性表面波の伝搬方向の１／２以内までの範囲の電極指に対して施されていてもよい。

上記弾性表面波装置においては、前記重み付けが、前記弾性表面波フィルタの互いに隣り合うＩＤＴのうち少なくとも一方における上記ＩＤＴが互いに隣り合う箇所の最外電極指に対して施されていてもよい。

上記弾性表面波装置では、前記弾性表面波フィルタの互いに隣り合うＩＤＴの互いに隣り合う箇所の電極指がそれぞれアース電極指とシグナル電極指とであり、上記アース電極指及びシグナル電極指の少なくとも一方に対して前記重み付けが施されていてもよい。

上記弾性表面波装置においては、前記重み付けされる電極指は、前記弾性表面波フィルタのシグナル電極指であってもよい。

上記弾性表面波装置では、前記重み付けは、前記弾性表面波フィルタの平衡信号端子に接続されているＩＤＴの電極指に施されていてもよい。

上記弾性表面波装置においては、前記弾性表面波フィルタは、少なくとも１つのＩＤＴを他のＩＤＴに対して位相反転して有し、前記重み付けは、上記位相反転したＩＤＴの電極指に対して施されていてもよい。

本発明の他の弾性表面波装置は、圧電膜／低音速膜／高音速膜／支持基板の積層構造からなる積層基板上に弾性表面波の伝搬方向に沿って形成された、それぞれ互いに隣り合う少なくとも３つのくし型電極部を有する弾性表面波フィルタを少なくとも１つと、上記弾性表面波フィルタのための入力信号端子及び出力信号端子とを備えている弾性表面波装置であって、入力信号端子及び出力信号端子の少なくとも一方は平衡信号端子に接続されており、かつ、互いに隣り合うくし型電極部の少なくとも一方において、上記くし型電極部が互いに隣り合う箇所の最外領域で最外電極指と異なる数本の電極指に対して交叉幅重み付けされており、かつ、異なる互いに隣り合うくし型電極部の少なくとも一方において、上記くし型電極部が互いに隣り合う箇所の最外電極指に対して間引き重み付けされていると共に、上記間引き重み付けされた箇所には、上記間引き重み付けされた電極指が接続されたバスバーと対向する対向バスバーに接続されたダミー電極が設けられている。

本発明のさらに他の弾性表面波装置は、圧電膜／低音速膜／高音速膜／支持基板の積層構造からなる積層基板上に弾性表面波の伝搬方向に沿って形成された少なくとも２つのくし型電極部を有する弾性表面波フィルタを少なくとも１つと、上記弾性表面波フィルタのための入力信号端子及び出力信号端子とを備えている弾性表面波装置であって、入力信号端子及び出力信号端子の少なくとも一方は平衡信号端子に接続されており、かつ、前記弾性表面波フィルタが２つ設けられており、一方の弾性表面波フィルタの互いに隣り合うくし型電極部の少なくとも一方において、上記くし型電極部が互いに隣り合う箇所の最外領域で最外電極指と異なる数本の電極指に対して交叉幅重み付けされており、かつ、他方の弾性表面波フィルタの互いに隣り合うくし型電極部の少なくとも一方において、上記くし型電極部が互いに隣り合う箇所の最外電極指に対して間引き重み付けされていると共に、上記間引き重み付けされた箇所には、上記間引き重み付けされた電極指が接続されたバスバーと対向する対向バスバーに接続されたダミー電極が設けられている。

上記弾性表面波装置では、前記弾性表面波フィルタは、平衡信号入力−平衡信号出力フィルタ機能を有するように設けられていてもよい。

上記弾性表面波装置においては、前記弾性表面波フィルタは、平衡信号入力−不平衡信号出力フィルタ機能、又は不平衡信号入力−平衡信号出力フィルタ機能を有するように設けられていてもよい。

上記弾性表面波装置においては、前記ＩＤＴの少なくとも１つは、交叉幅方向に２分割されていてもよい。

上記弾性表面波装置では、前記の対となる平衡信号端子が、１つのＩＤＴにおける両極のくし歯状電極にそれぞれ接続されていてもよい。

上記弾性表面波装置においては、前記ＩＤＴの少なくとも１つは、弾性表面波の伝搬方向に２分割されていてもよい。

上記弾性表面波装置では、前記の対となる平衡信号端子間に、接地された電気的中性点を有さないものであってもよい。

上記弾性表面波装置においては、前記弾性表面波フィルタが、２つにて、平衡信号入力−平衡信号出力フィルタ機能を有するように設けられていてもよい。

上記弾性表面波装置では、前記弾性表面波フィルタが、２つ、入力信号に対する出力信号の位相を約１８０度異ならせるように設けられ、上記各記弾性表面波フィルタは、平衡信号入力−不平衡信号出力フィルタ機能、又は不平衡信号入力−平衡信号出力フィルタ機能を有するように設けられていてもよい。

上記弾性表面波装置においては、不平衡信号端子側に、さらに弾性表面波フィルタがカスケード接続されていてもよい。

上記弾性表面波装置では、前記弾性表面波フィルタは、縦結合共振子型弾性表面波フィルタであってもよい。

上記弾性表面波装置においては、前記縦結合共振子型弾性表面波フィルタは、奇数個のＩＤＴを有していてもよい。

上記弾性表面波装置では、前記縦結合共振子型弾性表面波フィルタは、３つのＩＤＴを有していてもよい。

上記弾性表面波装置においては、前記縦結合共振子型弾性表面波フィルタは、少なくとも１つのＩＤＴの総電極指本数が偶数本であってもよい。

上記弾性表面波装置では、縦結合共振子型弾性表面波フィルタは、３つ又は３つ以上のＩＤＴのうち、少なくとも平衡信号端子に接続されている、ＩＤＴの電極指の総本数が偶数本であってもよい。

上記弾性表面波装置においては、縦結合共振子型弾性表面波フィルタは、３つ又は３つ以上のＩＤＴのうち、少なくとも中央部に位置する、ＩＤＴの電極指の総本数が偶数本であってもよい。

上記弾性表面波装置では、前記弾性表面波フィルタに、直列及び並列の少なくとも一方にて、弾性表面波共振子が少なくとも１つ接続されていてもよい。

上記弾性表面波装置においては、前記弾性表面波フィルタは、２つ以上の弾性表面波フィルタ部をカスケード接続したものであってもよい。

本発明の通信装置は、前記の課題を解決するために、上記の何れかに記載の弾性表面波装置を用いたことを特徴としている。上記構成によれば、優れたバランス性を備えた弾性表面波装置を用いたので、上記構成の性能を向上できる。

本発明の弾性表面波装置は、以上のように、圧電膜／低音速膜／高音速膜／支持基板の積層構造からなる積層基板上に、弾性表面波の伝搬方向に沿って形成された少なくとも２つのＩＤＴを有する弾性表面波フィルタを少なくとも１つ以上用いて構成される弾性表面波装置であって、前記弾性表面波装置の入力および出力信号端子の少なくとも一方は平衡信号端子に接続されており、前記弾性表面波フィルタの少なくとも一部の電極指が、電極指の交叉幅を他の電極指と異ならせる交叉幅重み付けされ、前記交叉幅重み付けされた電極指と隣り合う電極指も交叉幅重み付けされており、かつ、上記２本の交叉幅重み付けされた電極指のそれぞれに対面するように、折れ曲がって形成されるダミー電極が設けられている構成である。

それゆえ、上記構成では、重み付けを施すことにより、各平衡信号端子間での平衡度を改善できるという効果を奏する。

本発明の通信装置は、以上のように、上記弾性表面波装置を用いたことを特徴としている。

それゆえ、上記構成は、小型化、特にＧＨｚ帯域以上において小型化を図りながら、伝送特性（通信特性）に優れるという効果を奏する。

本発明の実施の第一形態に係る弾性表面波装置の要部構成図である。 第一比較例の弾性表面波装置の要部構成を示す説明図である。 上記実施の第一形態の一変形例に係る弾性表面波装置の要部構成図である。 上記実施の第一形態の弾性表面波装置での重み付け領域を説明するための要部構成図である。 上記弾性表面波装置の振幅平衡度（振幅バランス）を示すグラフである。 上記弾性表面波装置の位相平衡度（位相バランス）を示すグラフである。 上記第一比較例の弾性表面波装置の振幅平衡度（振幅バランス）を示すグラフである。 上記第一比較例の弾性表面波装置の位相平衡度（位相バランス）を示すグラフである。 上記実施の第一形態における他の変形例に係る弾性表面波装置の要部構成図である。 上記実施の第一形態におけるさらに他の変形例に係る弾性表面波装置の要部構成図である。 上記実施の第一形態におけるさらに他の変形例に係る弾性表面波装置の要部構成図である。 上記実施の第一形態におけるさらに他の変形例に係る弾性表面波装置の要部構成図である。 上記実施の第一形態におけるさらに他の変形例に係る弾性表面波装置の要部構成図である。 上記実施の第一形態におけるさらに他の変形例に係る弾性表面波装置の要部構成図である。 上記実施の第一形態におけるさらに他の変形例に係る弾性表面波装置の要部構成図である。 上記実施の第一形態におけるさらに他の変形例に係る弾性表面波装置の要部構成図である。 上記実施の第一形態におけるさらに他の変形例に係る弾性表面波装置の要部構成図である。 上記実施の第一形態におけるさらに他の変形例に係る弾性表面波装置の要部構成図である。 上記実施の第一形態におけるさらに他の変形例に係る弾性表面波装置の要部構成図である。 上記実施の第一形態におけるさらに他の変形例に係る弾性表面波装置の要部構成図である。 上記実施の第一形態におけるさらに他の変形例に係る弾性表面波装置の要部構成図である。 上記実施の第一形態におけるさらに他の変形例に係る弾性表面波装置の要部構成図である。 上記実施の第一形態におけるさらに他の変形例に係る弾性表面波装置の要部構成図である。 本発明の実施の第二形態に係る弾性表面波装置の要部構成図である。 上記弾性表面波装置の振幅平衡度（振幅バランス）を示すグラフである。 上記弾性表面波装置の位相バランスを示すグラフである。 上記実施の第一形態に係る弾性表面波装置の伝送特性を示すグラフである。 上記実施の第二形態に係る弾性表面波装置の伝送特性を示すグラフである。 本発明の実施の第三形態に係る弾性表面波装置の要部構成図である。 上記実施の第三形態と、第二比較例とに係る弾性表面波装置の振幅平衡度（振幅バランス）を示すグラフである。 上記実施の第三形態と、第二比較例とに係る弾性表面波装置の位相バランスを示すグラフである。 上記第二比較例に係る弾性表面波装置の要部構成図である。 本発明の実施の第四形態に係る弾性表面波装置の要部構成図である。 上記実施の第四形態と、第二従来例とに係る弾性表面波装置の振幅平衡度（振幅バランス）を示すグラフである。 上記第二従来例におけるバランス劣化を示すための要部構成図である。 上記実施の第四形態におけるバランス改善を示すための要部構成図である。 上記実施の第四形態における一変形例の弾性表面波装置の要部構成図である。 上記実施の第四形態の一変形例におけるバランス改善を示すための要部構成図である。 上記実施の第四形態における他の変形例である弾性表面波装置の要部構成図である。 上記実施の第四形態における他の変形例におけるバランス改善を示すための要部構成図である。 上記実施の第四形態におけるさらに他の変形例である弾性表面波装置の要部構成図である。 本発明の実施の第五形態に係る弾性表面波装置の要部構成図である。 上記実施の第五形態と、第三比較例とに係る弾性表面波装置の振幅平衡度（振幅バランス）を示すグラフである。 上記第三比較例に係る弾性表面波装置の要部構成図である。 上記第三比較例におけるバランス劣化を示すための要部構成図である。 上記実施の第五形態におけるバランス改善を示すための要部構成図である。 本発明の実施の第六形態に係る弾性表面波装置の要部構成図である。 上記実施の第六形態に係る弾性表面波装置の要部拡大構成図である。 上記実施の第六形態と、第四比較例とに係る弾性表面波装置の振幅平衡度（振幅バランス）を示すグラフである。 上記第四比較例に係る弾性表面波装置の要部構成図である。 上記実施の第六形態に係る弾性表面波装置における、交叉幅の変化に伴う振幅平衡度（振幅バランス）の変化を示すグラフである。 上記実施の第六形態の一変形例に係る弾性表面波装置の要部構成図である。 上記実施の第六形態における他の変形例に係る弾性表面波装置の要部構成図である。 上記実施の第六形態におけるさらに他の変形例に係る弾性表面波装置の要部構成図である。 本発明の実施の第七形態に係る弾性表面波装置の要部構成図である。 上記実施の第七形態と、第二比較例とに係る弾性表面波装置の振幅平衡度（振幅バランス）を示すグラフである。 上記実施の第七形態と、第二比較例とに係る弾性表面波装置の位相バランスを示すグラフである。 上記実施の第七形態の一変形例に係る弾性表面波装置の要部構成図である。 上記実施の第七形態における他の変形例に係る弾性表面波装置の要部構成図である。 上記実施の第七形態における他の変形例と、第二比較例とに係る弾性表面波装置の振幅平衡度（振幅バランス）を示すグラフである。 上記実施の第七形態における他の変形例と、第二比較例とに係る弾性表面波装置の位相バランスを示すグラフである。 本発明の実施の第八形態に係る弾性表面波装置の要部構成図である。 上記実施の第八形態と、第二比較例とに係る弾性表面波装置の振幅平衡度（振幅バランス）を示すグラフである。 上記実施の第八形態と、第二比較例とに係る弾性表面波装置の位相バランスを示すグラフである。 本発明の実施の第九形態に係る弾性表面波装置の要部構成図である。 本発明の通信装置の要部ブロック図である。 第一従来例の弾性表面波装置の要部構成図である。 第二従来例の弾性表面波装置の要部構成図である。 従来における平衡信号端子間での挿入損失の違いを示すためのグラフである。 上記従来における平衡信号端子間での挿入損失の違いを示すための、一方の弾性表面波装置の要部構成図である。 上記従来における平衡信号端子間での挿入損失の違いを示すための、他方の弾性表面波装置の要部構成図である。 弾性表面波装置における共振モードを説明するものであって、（ａ）は共振モードの周波数関係を示すグラフであり、（ｂ）は共振モードの有効電流分布を示す、概略構成図及びそれに対応する電流分布のグラフである。 第三従来例の弾性表面波装置の要部構成図である。 図７４（Ａ）は、本発明の実施の第一形態に係る弾性表面波装置の要部断面図である。図７４（Ｂ）、図７４（Ｃ）は、その変形例である。

本発明の実施の各形態について図１乃至図６５に基づいて説明すれば、以下の通りである。

（実施の第一形態）
本発明の実施の第一形態に係る弾性表面波装置は、図１に示すように、不平衡型−平衡型変換機能とフィルタ機能とを有するものであり、入力用のＩＤＴ１と、その両側（弾性表面波の伝搬方向に沿って）にそれぞれ配置された出力用の各ＩＤＴ２、３と、さらにそれらの外側にそれぞれ配置された各反射器４とを、圧電膜／低音速膜／高音速膜／支持基板の積層構造からなる積層基板８上に有している。なお、上記の入力と出力とは相互に入れ換え可能である。

つまり、出力用の各ＩＤＴ２、３は、それらの間に入力用のＩＤＴ１を挟むように配置されている。さらに、各反射器４は、それらの間にＩＤＴ２、ＩＤＴ１及びＩＤＴ３を挟むように配置されており、伝搬してくる弾性表面波を反射するようになっている。

まず、上記圧電膜／低音速膜／高音速膜／支持基板の積層構造からなる積層基板８について説明する。

積層基板８の要部断面図を、図７４（Ａ）に示す。

積層基板８は、支持基板８０１を有する。支持基板８０１上に、音速が相対的に高い高音速膜８０２が積層されている。高音速膜８０２上に、音速が相対的に低い低音速膜８０３が積層されている。また、低音速膜８０３上に圧電膜８０４が積層されている。この圧電膜８０４の上面にＩＤＴ１、２、３、反射器４が積層されている。なお、圧電膜８０４の下面にＩＤＴ１、２、３、反射器４が積層されていてもよい。

上記積層基板８は、高音速膜８０２、低音速膜８０３、圧電膜８０４及びＩＤＴ１、２、３を有する積層構造を支持し得る限り、適宜の材料により構成することができる。このような材料としては、サファイア、リチウムタンタレート、リチュウムニオベイト、水晶等の圧電体、アルミナ、マグネシア、窒化ケイ素、窒化アルミニウム、炭化ケイ素、ジルコニア、コージライト、ムライト、ステアタイト、フォルステライト等の各種セラミック、ガラス等の誘電体またはシリコン、窒化ガリウム等の半導体及び樹脂基板等を用いることができる。本実施形態では、支持基板８０１は、ガラスからなる。

上記高音速膜８０２は、弾性表面波を圧電膜８０４及び低音速膜８０３が積層されている部分に閉じ込め、高音速膜８０２より下の構造に漏れないように機能する。本実施形態では、高音速膜８０２は、窒化アルミニウムからなる。もっとも、上記弾性波を閉じ込め得る限り、窒化アルミニウム、酸化アルミニウム、炭化ケイ素、窒化ケイ素、酸窒化ケイ素、ＤＬＣ膜またはダイヤモンド、前記材料を主成分とする媒質、前記材料の混合物を主成分とする媒質等のさまざまな高音速材料を用いることができる。弾性表面波を圧電膜８０４及び低音速膜８０３が積層されている部分に閉じ込めるには、高音速膜８０２の膜厚は厚いほど望ましく、弾性表面波の波長のλの０．５倍以上、さらには１．５倍以上であることが望ましい。

なお、本明細書において、高音速膜とは、圧電膜８０４を伝搬する表面波や境界波の弾性波よりも、該高音速膜中のバルク波の音速が高速となる膜を言うものとする。また、低音速膜とは、圧電膜８０４を伝搬するバルク波よりも、該低音速膜中のバルク波の音速が低速となる膜を言うものとする。また、ある構造上のＩＤＴからは様々な音速の異なるモードの弾性波が励振されることになるが、圧電膜８０４を伝搬する弾性波とは、フィルタや共振子の特性を得るために利用する特定のモードの弾性波を示す。上記バルク波の音速を決定するバルク波のモードは、圧電膜８０４を伝搬する弾性波の使用モードに応じて定義される。高音速膜８０２及び低音速膜８０３がバルク波の伝搬方向に関し等方性の場合には、下記の表１に示すようになる。すなわち、下記の表１の左軸の弾性波の主モードに対し下記の表１の右軸のバルク波のモードにより、上記高音速及び低音速を決定する。Ｐ波は縦波であり、Ｓ波は横波である。

なお、下記の表１において、Ｕ１はＰ波を主成分とし、Ｕ２はＳＨ波を主成分とし、Ｕ３はＳＶ波を主成分とする弾性波を意味する。

上記低音速膜８０３を構成する材料としては圧電膜８０４を伝搬するバルク波よりも低音速のバルク波音速を有する適宜の材料を用いることができる。このような材料としては、酸化ケイ素、ガラス、酸窒化ケイ素、酸化タンタル、また、酸化ケイ素にフッ素や炭素やホウ素を加えた化合物など、前記材料を主成分とした媒質を用いることができる。

上記低音速膜８０３及び高音速膜８０２は、上記のように決定される高音速及び低音速を実現し得る適宜の誘電体材料からなる。

圧電膜８０４は、本実施形態では、３８．５°ＹカットのＬｉＴａＯ_３すなわちオイラー角で（０°，１２８．５°、０°）のＬｉＴａＯ_３からなり、膜厚は、ＩＤＴ１、２、３の電極周期で定まる弾性表面波の波長をλとすると、０．２５λである。もっとも、圧電膜８０４は、他のカット角のＬｉＴａＯ_３により形成してもよく、あるいはＬｉＴａＯ_３以外の圧電単結晶により形成してもよい。

本願発明では、上記高音速膜８０２と、圧電膜８０４との間に上記低音速膜８０３が配置されているため、弾性波の音速が低下する。弾性波は本質的に低音速な媒質にエネルギーが集中する。従って、圧電膜８０４内及び弾性波が励振されているＩＤＴ内への弾性波エネルギーの閉じ込め効果を高めることができる。そのため、低音速膜８０３が設けられていない場合に比べて、本実施形態によれば、損失を低減し、Ｑ値を高めることができる。また、高音速膜８０２は、弾性波を圧電膜８０４及び低音速膜８０３が積層されている部分に閉じ込め、高音速膜８０２より下の構造に漏れないように機能している。即ち、本願の構造では、フィルタや共振子の特性を得るために利用する特定のモードの弾性波のエネルギーは圧電膜８０４及び低音速膜８０３の全体に分布し、高音速膜８０２の低音速膜側の一部にも分布し、積層基板８には分布しないことになる。高音速膜８０２により弾性波を閉じ込めるメカニズムは非漏洩なＳＨ波であるラブ波型の表面波の場合と同様のメカニズムである。

図７４（Ａ）では、圧電膜８０４／低音速膜８０３／高音速膜８０２／支持基板８０１の積層構造で構成された積層基板を示したが、図７４（Ｂ）に示すように、媒質層８０５が、支持基板８０１と高音速膜８０２との間に積層されていてもよい。その他の構成は、第１の実施形態と同様である。従って、第１の実施形態の説明を援用することとする。従って、上から順に、ＩＤＴ１、２、３及び反射器４、圧電膜８０４、低音速膜８０３、高音速膜８０２、媒質層８０５及び支持基板８０１がこの順序で積層されている。

媒質層８０５としては、誘電体、圧電体、半導体または金属などのいずれの材料を用いてもよい。その場合であっても、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。もっとも、媒質層８０５が金属からなる場合には、比帯域を小さくすることができる。従って、比帯域が小さい用途では、媒質層８０５が金属からなることが好ましい。

また、図７４（Ｃ）に示すように、支持基板８０１と高音速膜８０２との間に、媒質層８０５及び媒質層８０６が積層されていてもよい。すなわち、上から順に、ＩＤＴ１、２、３及び反射器４、圧電膜８０４、低音速膜８０３、高音速膜８０２、媒質層８０５、媒質層８０６及び支持基板８０１がこの順序で積層されている。媒質層８０５及び媒質層８０６以外は、第１の実施形態と同様に構成されている。

媒質層８０５，８０６は、誘電体、圧電体、半導体または金属などのいずれの材料を用いてもよい。その場合であっても、第１の実施形態の弾性表面波装置と同様の効果を得ることができる。

本実施形態（変形例）では、圧電膜８０４、低音速膜８０３、高音速膜８０２及び媒質層８０５からなる積層構造と、媒質層８０６及び支持基板８０１からなる積層構造を別々に作製した後、両積層構造を接合する。しかる後、ＩＤＴ１、２、３及び反射器４を圧電膜８０４上に形成する。それによって、各積層構造を作製する際の製造上の制約条件に依存せずに、本実施形態の弾性表面波装置を得ることができる。従って、各層を構成する材料の選択の自由度を高めることができる。

なお、上記２つの積層構造の接合に際しては、任意の接合方法を用いることができる。このような接合構造としては、親水化接合、活性化接合、原子拡散接合、金属拡散接合、陽極接合、樹脂やＳＯＧによる接合などの様々な方法を用いることができる。

再び、図１を参照して、本発明の実施の第一形態に係る弾性表面波装置の説明を続ける。

ＩＤＴ１、２、３は、帯状の基端部（バスバー）と、その基端部の一方の側部から直交する方向に延びる複数の、互いに平行で等間隔な帯状の各電極指とを備えた電極指部を２つ備えており、上記各電極指部の電極指の側部を互いに対面するように互いの電極指間に入り組んだ状態にて上記各電極指部を有するものである。

このようなＩＤＴ１、２、３では、各電極指の長さや幅、隣り合う各電極指の間隔、互いの電極指間での入り組んだ状態の対面長さを示す交叉幅を、それぞれ設定することにより信号変換特性や、通過帯域の設定が可能となっている。本実施の第一形態では、ＩＤＴ１の電極指の本数は３９本に設定され、ＩＤＴ２、３の電極指の本数が２３本に設定されている。

また、上記の各電極指やバスバーや、各反射器４は、フォトリソグラフィー法等により圧電膜／低音速膜／高音速膜／支持基板の積層構造からなる積層基板８上に形成された、例えばアルミニウム（Ａｌ）電極（箔）によって形成されている。

そして、本実施の第一形態では、不平衡型信号を入力して、平衡型信号を出力するために、入力用のＩＤＴ１においては、不平衡用の入力端子５に接続された各シグナル電極指１１と、接地された各アース電極指１２が前述したように互いに入り組んだ状態にて設けられている。

また、上記ＩＤＴ１では、弾性表面波の伝搬方向での両端部にある、最外電極指が、それぞれアース電極指となるようにアース電極指１２は設定されている。上記最外電極指は、ＩＤＴ２、３の各最外電極指の一方とそれぞれ対面する位置にある。

一方、ＩＤＴ２においては、各アース電極指２１と、平衡用の出力端子６に接続されたシグナル電極指２２とが前述したように互いに入り組んだ状態にて設けられている。また、各アース電極指２１につながるバスバー２３は、入力用のＩＤＴ１の各シグナル電極指１１につながるバスバー１３に対しほぼ直線状となるように配置されている。また、ＩＤＴ２では、弾性表面波の伝搬方向での両端部の各電極指となる各最外電極指がそれぞれアース電極指２１となっている。

ＩＤＴ３では、各アース電極指３１と、平衡用の出力端子７に接続されたシグナル電極指３２とが前述した互いに入り組んだ状態にて設けられている。各アース電極指３１につながるバスバー３３は、入力用のＩＤＴ１の各シグナル電極指１１につながるバスバー１３に対しほぼ直線状となるように配置されている。

また、ＩＤＴ１の各アース電極指１２のバスバー１４は、ＩＤＴ２の各シグナル電極指２２のバスバー２４と、ＩＤＴ３の各シグナル電極指３２のバスバー３４とをそれぞれ直線状となるように設定されている。

さらに、本実施の第一形態では、出力用の各ＩＤＴ２、３は、構造上において互いに反転して設けられている。つまり、ＩＤＴ２においては、ＩＤＴ１に近い方から、アース電極指より始まり、シグナル電極指、アース電極指と、交互に設定されている一方、ＩＤＴ３では、ＩＤＴ１に近い方から、シグナル電極指より始まり、アース電極指、シグナル電極指と、交互に設定されている。

これにより、本実施の第一形態においては、各ＩＤＴ２、３間での振幅差が０、位相差が１８０°に近くなるように設定されているので、平衡−不平衡変換機能を発揮できることになる。

そして、本実施の第一形態では、ＩＤＴ１と、ＩＤＴ３とが隣り合う箇所において、ＩＤＴ３の最外電極指が間引き重み付けされている。間引き重み付けされた電極指の位置には、接地されたダミー電極３１ａが形成されている。これにより、ＩＤＴ１と、ＩＤＴ３との間の近傍となるＩＤＴ３では、アース電極指が、ダミー電極３１ａ及びアース電極指３１ｂというように２本連続で並ぶようになっている。

さらに、本実施の第一形態では、出力用のＩＤＴ２におけるシグナル電極指２２のうち入力用のＩＤＴ１に近い側（最外電極指）のアース電極指２１の次となるシグナル電極指２２の位置に交叉重み付け電極指２２ａを設定した。上記交叉重み付け電極指２２ａでは、交叉重み付け電極指２２ａの長さが、他のシグナル電極指２２の長さに対して、例えば約半分に、つまり交叉幅を調節した交叉重み付となるように設定されている。

その上、短く設定された重み付け電極指２２ａにより生じた空間をうめるように、接地されているバスバー２３から延びる、オフセット電極指である帯状のダミー電極（第一バランス用電極指）２１ａが形成されている。ダミー電極２１ａは、互いに隣り合う各アース電極指２１に対し等間隔にてほぼ平行に、交叉重み付け電極指２２ａの先端部に向かって延びている。

次に、本実施の第一形態の作用・効果について説明する、まず、比較として、図２に、上記の間引き重み付け、及び交叉重み付けを行っていない、第一比較例の平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置の各ＩＤＴの概略構成図を示す。第一比較例の構成では、ＩＤＴ１とＩＤＴ４０との隣り合う箇所にはアース電極同士が並ぶのに対し、ＩＤＴ１とＩＤＴ４１との間には、シグナル電極とアース電極とが並んでいた。よって、ＩＤＴ１とＩＤＴ４０との間には、電気と弾性表面波の変換が行われない無電界部９が存在するのに対し、ＩＤＴ１とＩＤＴ４１との間では、電気信号（シグナル）と弾性表面波との間の変換が行われる。そのため平衡信号端子６、７から出力される信号の周波数や振幅レベルが異なり、さらに位相も完全に１８０度反転されず、結果、平衡信号端子間の平衡度が悪くなっていた。

本実施の第一形態では、まず、第一比較例に示したシグナル電極とアース電極が並んでいたＩＤＴ１、ＩＤＴ４１が互いに隣り合う箇所の電極指を、図３に示すように、間引き重み付けし、さらに間引き重み付けされた電極指の位置に、ダミー電極３１ａを形成した。つまり、ＩＤＴ１とＩＤＴ３との間の近傍のＩＤＴ３には、２本のアース電極指が並ぶようにした。これにより、ＩＤＴ１とＩＤＴ３との間、ＩＤＴ１とＩＤＴ４０との間の電気信号と弾性表面波との間での変換効率の差が是正され、平衡信号端子６、７間の平衡度が改善された弾性表面波装置が得られる。

さらに、ダミー電極３１ａを形成することで、弾性表面波がバルク波に変換されることによる損失の増加を防ぎ、通過帯域内の挿入損失の良好な弾性表面波装置が得られる。また、ダミー電極３１ａは接地せずに浮き電極としてもよいが、浮き電極は平衡信号端子６、７間の平衡度が悪化する原因となるので、接地しておいた方が良い。

しかし、図３の構成では、間引き重み付けを行うことにより、無電界部９がＩＤＴ１とＩＤＴ４０とが並ぶ側より、ＩＤＴ１とＩＤＴ３とが並ぶ側の方が大きくなってしまう。これではまだ、十分な平衡信号端子６、７間の平衡度が得られない。そこで、図４に示すように、ＩＤＴ１とＩＤＴ２とが並ぶ側のシグナル電極指２２に交叉幅重み付けを施した交叉重み付け電極指２２ａを設定し、さらにダミー電極２１ａを設けた。これによりＩＤＴ１とＩＤＴ２との間の境界部Ｘ１、及び、ＩＤＴ１とＩＤＴ３との間の境界部Ｘ２ における各無電界部９、９の大きさが互いに略一致し、平衡信号端子間の平衡度がさらに改善された、弾性表面波装置が得られる。

さらにダミー電極２１ａを形成することで、弾性表面波がバルク波に変換されることによる損失の増加を防ぎ、通過帯域内の挿入損失の良好な、弾性表面波装置が得られる。

このような接地されたダミー電極２１ａ、３１ａは、互いに隣り合う各アース電極指２１、３１ｂとの間で無電界部９をそれぞれ形成しており、後述するように上記各無電界部９の形成領域（容量の形成領域）の大きさを制御できるようになっている。

以上説明したような交叉重み付けは、シグナル電極に施す方が少ない重み付けで無電界部を調整できるので効率的であるが、もちろんアース電極に重み付けされていてもよい。

また、重み付けは本実施の第一形態においては入力用のＩＤＴ１と出力用のＩＤＴ２、３が互いに隣り合う箇所の電極指、及び、その電極指から２本目の電極指で行ったが、これはＩＤＴのどの部分で行ってもよい。しかし、ＩＤＴが隣り合う電極指の極性の差によって影響が大きい、通過帯域の最も高周波側にある共振モード（図７２のＣの共振モード）は、図７２（ｂ）で示すようにＩＤＴが隣り合う箇所において電流の分布が大きいので、図４に示すように、各ＩＤＴ１、２が互いに隣り合う箇所から、ＩＤＴ２における弾性表面波の伝搬方向長さａの１／２の範囲内までで行うのが、効果的である。

また、交叉幅重み付けは、実施の第一形態では、シグナル電極指２２を略中央部まで短くした交叉重み付け電極指２２ａを設定することにより実施されているが、交叉幅重み付けの量は、必要に応じて調整すればよい。例えば、ＩＤＴ１側のシグナル電極指２２に約１／４の交叉幅重み付けを行い、さらに、次のシグナル電極指２２にも約１／４の交叉幅重み付けを実施しても、同様な効果が得られる。

図５に、本実施の第一形態の構成での周波数に対する平衡信号端子６、７間の振幅平衡度、図６に位相平衡度を示す。また比較として、図２に示した第一比較例の構成における周波数に対する平衡信号端子間の振幅平衡度を図７に、位相平衡度を図８に示す。ＥＧＳＭ送信用フィルタの通過帯域の周波数範囲は８８０ＭＨｚ〜９１５ＭＨｚである。

この範囲での周波数に対する平衡信号端子６、７間の振幅平衡度は、第一比較例では−１．６ｄＢ〜＋１．５ｄＢ（偏差３．１ｄＢ、偏差が小さければ、振幅平衡度は良い）であるのに対し、本実施の第一形態では−０．７ｄＢ〜＋１．２ｄＢ（偏差１．９ｄＢ）と、約１．２ｄＢ改善されている。平衡信号端子６、７間の位相平衡度は第一比較例では１７２度〜１８９度（偏差１７度、偏差が小さければ、位相平衡度は良い）であるのに対し、本実施の第一形態では１７８度〜１８４度（偏差６度）と、約１１度改善されている。

以上説明したように本実施の第一形態では、１つの縦結合共振子型弾性表面波フィルタを用いて平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置の構成に重み付けを施すことで、従来の弾性表面波装置よりも平衡信号端子６、７間の平衡度が改善された、弾性表面波装置が得られる。

本実施の第一形態では、３つのＩＤＴを有する縦結合共振子型弾性表面波フィルタを１つ用いる構成で説明したが、本発明はこの構成に限らず、平衡信号端子６、７を有する弾性表面波フィルタを用いた弾性表面波装置であれば、どのような構成においても、同様な効果が得られる。

例えば図９は、５つのＩＤＴを有する縦結合共振子型弾性表面波フィルタを用いた平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置であるが（平衡信号端子４０１、４０２、不平衡信号端子４０３）、このように３つ以上のＩＤＴを有する縦結合共振子型弾性表面波フィルタを用いた構成や、２つのＩＤＴを有する縦結合共振子型弾性表面波フィルタを用いた構成においても、本発明の効果は得られる。もちろん、縦結合共振子型弾性表面波フィルタだけに限らず、トランスバーサル型の弾性表面波フィルタや、横結合共振子型弾性表面波フィルタを用いた弾性表面波装置においても、同様に効果が得られる。

また本実施の第一形態では、平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置で説明したが、例えば図１０（平衡信号端子５０１と平衡信号端子５０２とが対、平衡信号端子５０３と平衡信号端子５０４とが対となっている）や図１１（平衡信号端子６０１と平衡信号端子６０２とが対、平衡信号端子６０３と平衡信号端子６０４とが対となっている）に示した、平衡信号入力−平衡信号出力の弾性表面波装置においても、本発明の効果は得られる。

また、本実施の第一形態では、１つの縦結合共振子型弾性表面波フィルタを用いて平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置を構成する例で説明したが、本発明はこの構成だけではなく、あらゆる平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置において、効果が得られる。

例えば図１２のように、１つの縦結合共振子型弾性表面波フィルタにおける１つのＩＤＴの両極のくし歯状電極にそれぞれ平衡信号端子７０１、７０２が接続され（７０３が不平衡信号端子）、アースに接地された電気的中性点を有さない構成、さらに図１３のように、いずれかのＩＤＴが交叉幅方向に分割され、インピーダンスが変更された構成（８０１、８０２が平衡信号端子、８０３が不平衡信号端子）、さらに図１４のように、弾性表面波の伝搬方向に分割され、分割したくし歯状電極のそれぞれに平衡信号端子９０１、９０２を接続する構成（９０３が不平衡信号端子）においても、本発明の効果は得られる。

その際、図１５に示すように、不平衡信号端子１００３を左右のＩＤＴにおいてそれぞれ別方向のくし歯状電極に接続することで、さらに通過帯域外の減衰量が改善された、弾性表面波装置が得られる（１００１、１００２が平衡信号端子）。

さらに、複数の縦結合共振子型弾性表面波フィルタを組み合わせて、平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置の構成においても、本発明の効果は得られる。

例えば図１６のように、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１１０４に対して縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１１０５の入力信号に対する出力信号の位相を約１８０度異ならせ、かつ、平衡信号端子１１０１、１１０２につながるＩＤＴを直列接続、不平衡信号端子１１０３につながるＩＤＴを並列接続して、平衡−不平衡変換機能を備えた弾性表面波装置の構成、さらに図１７のように図１６の構成に１つの縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１２０１をカスケード接続した構成、また、図１８のように、図６８の構成に重み付けを施しても、本発明の効果は得られる。

このように、さらに縦結合共振子型弾性表面波フィルタをカスケード接続する構成では、平衡信号端子間の平衡度が改善されるだけではなく、通過帯域外の減衰量が大きい弾性表面波装置が得られる。その際、図１９のように、カスケード接続しているそれぞれ２つの縦結合共振子型弾性表面波フィルタを接続している各シグナルライン１３０１、１３０２を伝送する電気信号の位相が互いに約１８０度異なるように、各ＩＤＴ１３０３、１３０４を互いに反転させ、同様に、各シグナルライン１３０５、１３０６を伝送する電気信号の位相が互いに約１８０度異なるように、各ＩＤＴ１３０７、１３０８を互いに反転させることで、さらに平衡信号端子間の平衡度を改善した、弾性表面波装置が得られる。

さらに図２０のように、図１２の弾性表面波装置にさらに１つの縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１４０１をカスケード接続した構成でも、本発明の効果は得られる。この構成では、平衡信号端子間の平衡度が改善されるだけではなく、通過帯域外の減衰量が大きい弾性表面波装置が得られる。このとき図２１のように、図１９の構成と同様に各シグナルライン１５０１、１５０２を伝送する電気信号の位相が互いに約１８０度異なるように各ＩＤＴ１５０３、１５０４を互いに反転させることで、さらに平衡信号端子間の平衡度を改善した、弾性表面波装置が得られる。

また、２つ以上の縦結合共振子型弾性表面波フィルタをカスケード接続する場合は、特に同じ構成の縦結合共振子型弾性表面波フィルタを用いる必要はなく、例えば入出力でインピーダンスを調整したい場合は交叉幅を調整する、或いは、通過帯域外の減衰量を大きくしたい場合はＩＤＴの対数や隣り合うＩＤＴ同士の中心間距離、ＩＤＴと反射器の中心間距離を異ならせるなど、各弾性表面波フィルタで設計を異ならせてもよい。

また、本実施の第一形態では、いずれの縦結合共振子型弾性表面波フィルタにおいても、各ＩＤＴの電極指総本数を奇数本としたが、これは偶数本であってもよく、特に図２２のように、３つあるＩＤＴの中央部に位置し、さらに平衡信号端子に接続されるＩＤＴの電極指の総本数を偶数本とすることでも、本発明の効果が得られる。

この場合、縦結合共振子型弾性表面波フィルタの中心に対して左右の対称性が向上し、さらに平衡信号端子に接続されている電極指の本数が等しくなるので、より平衡信号端子間の平衡度が改善された、弾性表面波装置が得られる。

また図２３に示すように、弾性表面波共振子１６０１、１６０２を直列接続した構成や、図示しないが弾性表面波共振子を並列接続した構成、あるいはその両方を接続した構成においても、本発明の効果は得られる。この構成の場合、平衡信号端子間の平衡度が改善されるだけではなく、特に通過帯域近傍の減衰量が大きい弾性表面波装置が得られる。

（実施の第二形態）
本実施の第二形態について、図２４乃至図２８に基づいて説明すれば以下の通りである。なお、本実施の第二形態においては、図１にて示した弾性表面波装置と同様な機能を有する部材については同一の部材番号を付与してその説明を省いた。

本実施の第二形態に係る弾性表面波装置では、重み付けの方法として、図２４に示すように、上記実施の第一形態での、間引き重み付け及び交叉幅での交叉重み付けに代えて、直列重み付けが用いられている。つまり、上記実施の第一形態に記載のＩＤＴ２に代えて、ＩＤＴ２５が設けられている。

ＩＤＴ２５では、前述のＩＤＴ２のダミー電極２１ａに代えて、交叉重み付け電極指２２ａの内側の（次の）アース電極指２１を交叉重み付け電極指２２ａと同様に短くした交叉重み付け電極指（第二バランス用電極指）２１ｂが設けられ、さらに、上記両者と離間（つまり浮いた状態）しているダミー電極２５ａが設けられている。

上記ダミー電極２５ａは、交叉重み付け電極指２２ａと同幅にて、交叉重み付け電極指２２ａと次のシグナル電極指２２との間を、それらとほぼ平行に延び、続いて、交叉重み付け電極指２２ａの先端部と交叉重み付け電極指２１ｂの先端部との間を通り、さらに、交叉重み付け電極指２１ｂと最外のアース電極指２１との間を、それらとほぼ平行に延びるように折れ曲がって形成される電極指である。

このようなＩＤＴ２５を有する弾性表面波装置について、通過帯域近傍の、振幅平衡度及び位相平衡度をそれぞれ測定した。それらの結果を図２５及び図２６にそれぞれ示した。それらの結果から明らかなように、ＥＧＳＭ送信用フィルタの通過帯域の範囲における周波数−平衡信号端子間の振幅平衡度は−０．７ｄＢ〜＋１．２ｄＢ（偏差１．９ｄＢ）と実施の第一形態と同じであるが、平衡信号端子間の位相平衡度は１７７度〜１８２度（偏差５度）と、実施の第一形態よりもさらに１度改善されている。

さらに、実施の第一形態における周波数に対する通過帯域内の伝送特性を図２７に示し、実施の第二形態における周波数に対する通過帯域内の伝送特性を図２８に示した。上記両者を比較すると、実施の第一形態では通過帯域内にリップルＡ（図２７参照）が発生しているが、実施の第二形態においては、上記リップルＡが発生しておらず（図２８参照）、実施の第一形態よりも通過帯域内の偏差が小さい弾性表面波装置が得られている。

以上説明したように、交叉幅重み付けをさらに拡張した直列重み付けを実施することで、さらに平衡信号端子間の平衡度、および通過帯域内の偏差が改善された、弾性表面波装置が得られる。

その上、本実施の第二形態では、前記実施の第一形態と比べても、伝送特性においてリップルの発生が抑制されており、より優れた伝送特性を有していることが判る。

（実施の第三形態）
本発明の実施の第三形態について図２９乃至図３２に基づいて説明すれば、以下の通りである。図２９に、本発明の実施の第一形態に係る構成を示す。なお、本実施の第三形態では、ＰＣＳ受信用フィルタを例にとって説明を行う。

本実施の第三形態の弾性表面波装置では、圧電膜／低音速膜／高音速膜／支持基板の積層構造からなる積層基板２００上に、３ＩＤＴの縦結合共振子型の弾性表面波フィルタ２０１と、弾性表面波フィルタ２０１に直列接続された各弾性表面波共振子２０２、２０３とがフォトリソグラフィー法等により形成されたアルミニウム（Ａｌ）電極（箔）によって形成されている。上記圧電膜の素材としては、５０°ＹｃｕｔＸ伝搬ＬｉＴａＯ₃が挙げられる。このような弾性表面波フィルタ２０１は、前述の図１０に示したものとほぼ同一のものである。

弾性表面波フィルタ２０１においては、中心となり、平衡信号端子側となるＩＤＴ２０５を左右から挟み込むように（弾性表面波の伝搬方向に沿って）各ＩＤＴ２０４、２０６がそれぞれ形成されている。さらに、各ＩＤＴ２０４、２０６の両外側（弾性表面波の伝搬方向に沿って）に、上記各ＩＤＴ２０４〜２０６からの弾性表面波を反射する各反射器２０７、２０８がそれぞれ形成されている。つまり、各ＩＤＴや反射器は、各電極指の幅方向が弾性表面波の伝搬方向に沿うように、かつ、上記弾性表面波の伝搬路上に設定されている。

さらに、弾性表面波フィルタ２０１では、図２９から明らかなように、ＩＤＴ２０４とＩＤＴ２０５とが互いに隣り合う箇所およびそれらの近傍、並びにＩＤＴ２０５とＩＤＴ２０６とが互いに隣り合う箇所およびそれらの近傍の、数本の電極指（狭ピッチ電極指）のピッチを、前述と同様に、上記各ＩＤＴの他の部分よりも小さくなるように設定している（図２９の２１３と２１４の箇所）。

上記弾性表面波装置においては、各端子２１０、２１１が平衡信号端子、端子２０９が不平衡信号端子である。よって、ＩＤＴ２０４、ＩＤＴ２０６は、不平衡信号側となり、それぞれ、シグナル電極指２０４ａおよびアース電極指２０４ｂ、シグナル電極指２０６ａおよびアース電極指２０６ｂを備えている。一方、ＩＤＴ２０５は、平衡信号端子側となり、各シグナル電極指２０５ａ、２０５ｂを備えていることになる。よって、本実施の第三形態は、アースに接地された電気的中性点を有さない構成に重み付けを施した例である。

各弾性表面波共振子２０２、２０３は、シグナルライン２１２を介して、不平衡信号端子２０９と各ＩＤＴ２０４、２０６の間に直列接続されている。弾性表面波共振子２０２は、ＩＤＴ２０２ａと、それを挟むように弾性表面波の伝搬方向に沿って各反射器２０２ｂ、２０２ｃとを有している。弾性表面波共振子２０３は、ＩＤＴ２０３ａと、それを挟むように弾性表面波の伝搬方向に沿って各反射器２０３ｂ、２０３ｃとを有している。

本実施の第三形態の特徴は、ＩＤＴ２０５とＩＤＴ２０６とが互いに隣り合って、弾性表面波の伝搬方向にて対面している箇所における、ＩＤＴ２０６の電極指２１９の箇所にて間引き重み付けされている点である。

本実施の第三形態では、上記間引き重み付けとして、ＩＤＴ２０６のシグナル電極指２０６ａにおける、ＩＤＴ２０５に隣り合う箇所（最も近い方）の電極指が間引き重み付けされている。

かつ、本実施の第三形態では、各電極指のピッチを確保して、互いに隣り合う各ＩＤＴ、つまり、各ＩＤＴ２０５、２０６の間の間隔を維持するために、アース電極指２０６ｂに電極指２１９が、狭ピッチ側のアース電極指２０６ｂと同じ交叉幅、同ピッチ、同ｄｕｔｙ、および同じ線幅にて設けられている。これにより、ＩＤＴ２０６では、ＩＤＴ２０５に隣り合う箇所にて、アース電極指２０６ｂが複数、例えば２本、互いに隣り合って存在することになる。

弾性表面波フィルタ２０１の詳細な設計は、狭ピッチ電極指のピッチで決まる波長をλＩ2（図２９の２１３、２１４の箇所）、その他の電極指のピッチで決まる波長をλＩ1とすると、
交叉幅Ｗ：６０．６λＩ1
ＩＤＴ本数（２０４、２０５、２０６の順）：２９（４）／（４）４４（４）／（４）２９本（カッコ内はピッチを小さくした電極指の本数）
ＩＤＴ波長λＩ1：２．０６μｍ、λＩ2：１．８８μｍ
反射器波長λＲ：２．０７μｍ
反射器本数：１００本
ＩＤＴ−ＩＤＴ間隔：０．５０λＩ2
波長λＩ1と波長λＩ2との各電極指にて挟まれた箇所の間隔（図２９の２１５、２１６、２１７、２１８）：０．２５λＩ1＋０．２５λＩ2
ＩＤＴ−反射器間隔：０．４７λＲ
ｄｕｔｙ：０．６０（ＩＤＴ、反射器共）
電極膜厚：０．０８０λＩ1

弾性表面波共振子２０２の詳細な設計を、以下に示す。
交叉幅Ｗ：４０．６λ
ＩＤＴ本数：２４１本
波長λ（ＩＤＴ、反射器共）：１．９７μｍ
反射器本数：３０本
ＩＤＴ−反射器間隔：０．５０λ
ｄｕｔｙ：０．６０（ＩＤＴ、反射器共）
電極膜厚：０．０８４λ

弾性表面波共振子２０３の詳細な設計を、以下に示す。
交叉幅Ｗ：４９．１λ
ＩＤＴ本数：４０１本
波長λ（ＩＤＴ、反射器共）：２．０４μｍ
反射器本数：３０本
ＩＤＴ−反射器間隔：０．５０λ
ｄｕｔｙ：０．６０（ＩＤＴ、反射器共）
電極膜厚：０．０８０λ

上記の「間隔」とは、互いに隣り合う２本の電極指の中心（幅方向での中心）間距離のことである。

次に、本実施の第三形態の各特性を測定し、それらの結果を図３０および図３１に示す。本実施の第三形態の構成における、周波数に対する平衡信号端子間の振幅平衡度の測定結果を示すグラフを図３０に、位相平衡度のグラフを図３１に示す。

比較として、図３２に示す、２つのＩＤＴが隣り合っている箇所において間引き重み付けが施されていないＩＤＴ２０６ｃを、ＩＤＴ２０６に代えて有する、第二比較例の構成での振幅平衡度、位相平衡度も図３０及び図３１に合わせて示す。

図３２の第二比較例の構成は、実施の第三形態に対して、間引き重み付けを施していないＩＤＴ２０６ｃをＩＤＴ２０６に代えて有する以外は全く同じ構成である。ＰＣＳ受信用フィルタにおける通過帯域の周波数範囲は１９３０ＭＨｚ〜１９９０ＭＨｚである。

この範囲での最大の振幅平衡度は、第二比較例では、−１．６ｄＢ〜＋０．７ｄＢ（偏差２．３ｄＢ）であるのに対し、実施の第三形態では−１．５ｄＢ〜＋０．７ｄＢ（偏差２．２ｄＢ）と、約０．１ｄＢ振幅平衡度が改善している。次に位相平衡度は、第二比較例では、１６２度〜１８２度（偏差２０度）であるのに対し、実施の第三形態では１６２度〜１８１度（偏差１９度）と、約１度位相平衡度が改善している。

これは間引き重み付けを施すことで、ＩＤＴ２０５とＩＤＴ２０６とが互いに隣り合う箇所での電極指の極性が、第二比較例では＋と＋でどちらもシグナル電極指であったのが、本実施の第三形態では、ＩＤＴ２０４とＩＤＴ２０５とが互いに隣り合う箇所の極性と同じ−と＋となり、左右の非対称性が改善された効果である。

以上説明したように、本実施の第三形態では、平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波フィルタにおいて、２つのＩＤＴが互いに隣り合う箇所の電極指を間引き重み付けすることで、従来の弾性表面波フィルタよりも平衡信号端子間の平衡度が改善された弾性表面波フィルタが得られる。

（実施の第四形態）
本発明の実施の第四形態を図３３乃至図４１に基づいて説明する。実施の第四形態では、ＥＧＳＭ受信用フィルタを例にとって説明を行っていく。

実施の第四形態に係る弾性表面波装置は、図１８に示した、入力信号に対する出力信号の位相が約１８０度相異なる２つの各縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１９１８、１９２０を平衡信号端子１９０６、１９０７側は直列接続、不平衡信号端子１９０５側は並列接続して平衡−不平衡変換機能を持たせ、さらに、２つの縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１９１８、１９２０それぞれに１つずつの新たな縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１９１８、１９１８をカスケード接続した構成とし、上記縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１９２０に、間引き重み付けを施し、ダミー電極１９０１ｂを有している例である。

実施の第四形態では、圧電膜／低音速膜／高音速膜／支持基板の積層構造からなる積層基板８上に４つの縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１９１８、１９２０がＡｌ電極により形成されている。４つの縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１９１８、１９２０は、入力信号に対する出力信号の位相が約１８０度異なる点、及び重み付けされている点以外は、すべて同じ設計である。また、実施の第四形態では実施の第三形態と同様に、２つのＩＤＴが隣り合う間に、数本狭ピッチ電極指が設けられている。実施の第四形態の構成は、重み付けの点以外、基本的には図６８に示した第二従来例の構成と同じである。

縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１９１８の詳細な設計は、狭ピッチ電極指のピッチで決まる波長をλＩ2、その他の電極指のピッチで決まる波長をλＩ1とすると、
交叉幅：２５．２λＩ1
ＩＤＴ本数（１９０２、１９０１、１９０３の順）：２３（４）／（４）２６（４）／２３（４）本（カッコ内はピッチを狭くした電極指の本数）
ＩＤＴ波長λＩ1：４．２０４μｍ、λＩ2：３．８５４μｍ
反射器波長λＲ：４．２７９μｍ
反射器本数：９０本
ＩＤＴ−ＩＤＴ間隔：
波長λＩ1と波長λＩ2の電極指に挟まれた箇所：０．２５λＩ1＋０．２５λＩ2
波長λＩ2の電極指に挟まれた箇所：０．５０λＩ2
ＩＤＴ−反射器間隔：０．４７０λＲ
ＩＤＴｄｕｔｙ：０．７２０
反射器ｄｕｔｙ：０．５５
電極膜厚：０．０８λＩ1である。

実施の第四形態の特徴は、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１９１８に対して縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１９２０の入力信号に対する出力信号の位相を約１８０度異ならせるために反転させたＩＤＴ１９０１ａの両端に位置し、不平衡信号端子１９０５と接続された電極指の片方が間引かれてその部分にアースに接続されたダミー電極１９０１ｂを設けている点である。

次に、本実施の第四形態の作用・効果について説明する。図３４に、実施の第四形態の構成での周波数に対する平衡信号端子間の振幅平衡度を示す。比較として、図６８の第二従来例での周波数に対する平衡信号端子間の振幅平衡度も図３４に示す。図６８の第二従来例の構成は実施の第四形態に対して、間引き重み付けを施していない以外は、全く同じ構成である。ＥＧＳＭ受信用フィルタにおける通過帯域の周波数範囲は９２５ＭＨｚ〜９６０ＭＨｚである。

この範囲での平衡信号端子間の振幅平衡度は、第二従来例では−０．２ｄＢ〜＋１．３ｄＢ（偏差１．５ｄＢ）であるのに対し、実施の第四形態では−０．７ｄＢ〜＋０．２ｄＢ（偏差０．９ｄＢ）と、約０．６ｄＢ振幅平衡度が改善している。

以下に、実施の第四形態の効果が得られた理由を説明する。弾性表面波の励振は、極性の異なる電極指が隣接する場合に、その電極指問で行われる。図３５に、図６８に記載の各弾性表面波フィルタ１１８、１２７における、ＩＤＴ同士が隣接する周辺（図６８で○で囲った部分）での弾性表面波の励振状態について図示する。

図３５では、それぞれＩＤＴが隣接する部分の端から３本の電極指のみを示し、その他については省略している。図６８の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１１８、１２７は、図３５では縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２００７、２００８に、図６８のＩＤＴ１１３、１１４、１１５は、図３５においてはＩＤＴ２００１、２００２、２００３に、図６８のＩＤＴ１３３，１３４、１３５は、図３５のＩＤＴ２００４、２００５、２００６にそれぞれ対応している。図中で○をつけている部分では、弾性表面波が励振され、×をつけている部分では、弾性表面波は励振されないことを示す。

第二従来例の場合、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２００７において、ＩＤＴ２００１、２００２、２００３それぞれの最外電極指はアース電極であるため、それぞれの隣接する電極指間では弾性表面波の励振は行われない。

一方、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２００８においては、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２００７のＩＤＴ２００１と向きを反転させたＩＤＴ２００４によって、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２００７との入力信号に対する出力信号の位相を約１８０度異ならせているため、ＩＤＴ２００４の最外電極指はシグナル電極であり、ＩＤＴ２００５、２００６の最外電極指はアース電極である。

そのため、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２００８においては、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２００７の場合とは異なり、それぞれの隣接する電極指間においても弾性表面波の励振が行われ、全体で比較すると、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２００７に比べて、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２００８では弾性表面波の励振が行われる箇所が２箇所多くなる。

これにより、第二従来例においては、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２００７と縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２００８とで、隣接する電極指間隔部における弾性表面波の有効電流の強度分布が異なり、その結果、図７２に示す３つの共振モードのうち、中央に位置する共振モードと最も高域側に位置する共振モードの間隔が異なり、平衡信号端子間の平衡度が悪化していた。

次に、図３６に、図３３に示す縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１９１８、１９２０における、ＩＤＴ同士が隣接する周辺（図中で○で囲った部分）での弾性表面波の励振状態について図示する。図３６においても図３５と同様に、それぞれＩＤＴが隣接する部分の端から３本の電極指のみを示し、その他については省略している。

図３３における縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１９１８、１９２０は、図３６の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２１０７、２１０８に、また、図３３における縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１９１８のＩＤＴ１９０２、１９０１、１９０３は、図３６のＩＤＴ２１０２、２１０１、２１０３に、図３３における縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１９２０のＩＤＴ１９０１ａ、１９０２、１９０３は、図３６のＩＤＴ２１０４、２１０５、２１０６にそれぞれ対応している。

実施の第四形態の場合には、入力側に接続されたＩＤＴの向きを反転することで、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２１０７と入力信号に対する出力信号の位相を約１８０度異ならせた縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２１０８において、ＩＤＴ２１０４の最外電極指を間引き重み付けし、その部分にダミーの電極２１０９（図３３のダミー電極１９０１ｂ）を設け、アースに接続している。

このため、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２１０８では、一方の２つのＩＤＴが隣接する部分２１１０において、シグナル電極指とアース電極指が交互に並ぶため弾性表面波が励振されるのに対し、もう一方の２つのＩＤＴが隣接する部分２１１１において、アース電極指が３本並ぶために弾性表面波が励振されない部分が２箇所発生する。

その結果、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２１０７と縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２１０８において、電極指間で弾性表面波が励振されない箇所の総数、すなわち電極指間で弾性表面波が励振される箇所の総数が等しくなるため、第二従来例と比較して共振モードの間隔の差が小さくなり、平衡信号端子間での振幅平衡度が改善される。

例えば、図３７に示すような縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２２０１を２段縦続に接続した第１の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２２０２と、第１の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２２０２に対して２段目の出力側に接続される縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２２０１ａのＩＤＴ２２０３の向きを反転することで、第１の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２２０２とは入力信号に対する出力信号の位相を約１８０度異ならせた第２の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２２０４とを有し、１段目の各縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２２０１における中央のＩＤＴを並列に接続し不平衡信号端子２２０５を、２段目の各縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２２０１、２２０１ａの中央のＩＤＴを直列に接続し平衡信号端子２２０６を構成した場合がある。

上記場合でも、ＩＤＴ２２０３の最外電極指を間引き重み付けして、その部分にダミー電極２２０７を設けアースに接続することで、出力側の縦結合共振子型弾性表面波フィルタにおける２つのＩＤＴが隣接する周辺（図３７中の○で囲った部分）での弾性表面波の励振状態は図３８のようになり、第１の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２２０２と第２の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２２０４において、電極指間で弾性表面波が励振されない箇所の総数、すなわち電極指間で弾性表面波が励振される箇所の総数が互いに等しくなるため、平衡信号端子間の振幅平衡度が改善される。

また、図３９に示すように、２段目の縦結合共振子型弾性表面波フィルタの中央ＩＤＴではなく、外側のＩＤＴの向きを反転することで入力信号に対する出力信号の位相を約１８０度異ならせる場合もある。

上記場合においても、向きを反転させたＩＤＴ２３０１の片方のＩＤＴの最外電極指を間引き重み付けして、その部分にダミーの電極指２３０２を設けてアースに接続することで、出力側の縦結合共振子型弾性表面波フィルタにおける２つのＩＤＴが隣接する周辺（図３９の○で囲った部分）での弾性表面波の励振状態は、図４０に示すように、第１の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２３０３と第２の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２３０４とにおいて、電極指間で弾性表面波が励振されない箇所の総数、すなわち電極指間で弾性表面波が励振される箇所の総数が互いに等しくなるため、平衡信号端子間での振幅平衡度が改善される。

また、図４１に示すように、図３３における３ＩＤＴタイプの縦結合共振子型弾性表面波フィルタの代わりに５ＩＤＴタイプの縦結合共振子型弾性表面波フィルタを用いて構成した場合においても、向きを反転させたＩＤＴ２４０１のＩＤＴの片側の最外電極指を間引き重み付けして、その部分にダミーの電極指２４０２を設けてアースと接続することで、第１の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２４０３と第２の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２４０４において、電極指間で弾性表面波が励振されない箇所の総数、すなわち電極指間で弾性表面波が励振される箇所の総数が互いに等しくなるため、平衡信号端子間での振幅平衡度が改善される。

以上、説明したように実施の第四形態では、入力信号に対する出力信号の位相が約１８０度異なる２つの弾性表面波フィルタを平衡信号端子側は直列接続、不平衡信号端子側は並列接続して平衡−不平衡変換機能を持たせ、さらに２つの弾性表面波フィルタそれぞれに１つずつの弾性表面波フィルタをカスケード接続した構成に間引き重み付けを施すことで、従来の弾性表面波装置よりも平衡信号端子間の平衡度が改善された弾性表面波装置が得られる。

（実施の第五形態）
本発明の実施の第五形態を図４２乃至図４６に基づいて説明する。本実施の第五形態では、ＤＣＳ受信用フィルタを例にとって説明を行っていく。

実施の第五形態は図１６に示した、入力信号に対する出力信号の位相が約１８０度異なる２つの縦結合共振子型弾性表面波フィルタを平衡信号端子側は直列接続、不平衡信号端子側は並列接続して平衡−不平衡変換機能を持たせた構成に、重み付けを施した例である。

実施の第五形態では、前述の圧電膜／低音速膜／高音速膜／支持基板の積層構造からなる積層基板８上に縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２５０１と、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２５０１に直列接続された弾性表面波共振子２５０２と２５０３が、Ａｌ電極により形成されている。２つの縦結合共振子型弾性表面波フィルタは、入力信号に対する出力信号の位相が約１８０度異なる以外は、すべて同じ設計である。また、実施の第五形態では実施の第三形態と同様に、２つのＩＤＴが隣り合う間に、数本の狭ピッチ電極指が設けられている。

縦結合共振子型弾性表面波フィルタの詳細な設計は、狭ピッチ電極指のピッチで決まる波長をλＩ2、その他の電極指のピッチで決まる波長をλＩ1とすると、
交叉幅：３７．１２λＩ1
ＩＤＴ本数（２５０４、２５０５、２５０６の順）：（４）１９／（４）３１（４）／１９（４）本（カッコ内はピッチを狭くした電極指の本数）
ＩＤＴ波長λＩ1：２．１５６μｍ、λＩ2：１．９２６μｍ
反射器波長λＲ：２．１７７μｍ
反射器本数：１５０本
ＩＤＴ−ＩＤＴ間隔：波長λＩ1とλＩ2の電極指に挟まれた箇所：０．２５λＩ1＋０．２５λＩ2、波長λＩ2の電極指に挟まれた箇所：０．５０λＩ2
ＩＤＴ−反射器間隔：０．５０λＲ
ＩＤＴｄｕｔｙ：０．６３
反射器ｄｕｔｙ：０．６０
電極膜厚：０．０９λＩ1

弾性表面波共振子２５０２の詳細な設計を、以下に示す。
交叉幅：１４．３λＩ
ＩＤＴ本数：２４１本
ＩＤＴ波長および反射器波長：２．１０２μｍ
反射器本数：３０本
ＩＤＴ−反射器間隔：０．５０λＲ

弾性表面波共振子２５０３の詳細な設計を、以下に示す。
交叉幅：３７．１λＩ
ＩＤＴ本数：２４１本
ＩＤＴ波長および反射器波長：２．０２３μｍ
反射器本数：３０本
ＩＤＴ−反射器間隔：０．５０λＲである。

実施の第五形態の特徴は、弾性表面波フィルタ２５０７に対して弾性表面波フィルタ２５０８の入力信号に対する出力信号の位相を約１８０度異ならせるために反転させた、ＩＤＴ２５０９の端に位置するシグナル電極指の片方が間引かれて、その部分にアースに接続されたダミー電極２５１０を設けており、さらにダミー電極２５１０を介して３つの各ＩＤＴのアース電極を共通化している点である。

次に、本実施の第五形態の作用・効果について説明する。まず、図４３に実施の第五形態の構成での周波数に対する平衡信号端子間の振幅平衡度を示す。比較として図４４に示す、第三比較例での周波数に対する平衡信号端子間の振幅平衡度も図４３に合わせて示す。図４４の第三比較例の構成は実施の第五形態に対して、間引き重み付けを施していない以外は、全く同じ構成である。

ＤＣＳ受信用フィルタにおける通過帯域の周波数範囲は１８０５ＭＨｚ〜１８８０ＭＨｚである。この範囲での平衡信号端子間の振幅平衡度は、第三比較例では、−１．０ｄＢ〜＋３．２ｄＢ（偏差４．２ｄＢ）であるのに対し、実施の第五形態では−０．５ｄＢ〜＋１．５ｄＢ（偏差２．０ｄＢ）と、約２．２ｄＢ振幅平衡度が改善している。

実施の第五形態の効果が得られた理由を説明すると、図４４に示す第三比較例では図４５に示すように、ＩＤＴ同士が隣接する周辺（図４４の○で囲った部分）での弾性表面波が励振される箇所の数が第１の弾性表面波フィルタ２６０１と第２の弾性表面波フィルタ２６０２とで異なるのに対し、実施の第五形態の場合には、図４６に示すように、ＩＤＴ同士が隣接する周辺（図４２の○で囲った部分）での弾性表面波が励振される箇所の数が第１の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２５１１と第２の弾性表面波フィルタ２５１２とで同じになる。このために、図７２に示す３つの共振モードのうちにおける、帯域中央に見られる共振モードと帯域高域側に見られる共振モードの間隔が、２つの平衡信号端子から出力される信号間で、第三比較例より一致したためである。

以上の様に実施の第五形態では、入力信号に対する出力信号の位相が約１８０度異なる２つの縦結合共振子型弾性表面波フィルタを平衡信号端子側は直列接続、不平衡信号端子側は並列接続して平衡−不平衡変換機能を持たせた構成に間引き重み付けを施すことで、従来の弾性表面波装置よりも平衡信号端子間の平衡度が改善された、弾性表面波装置が得られる。

さらに間引かれた位置に設けられたダミー電極２５１０も含めて３つの各ＩＤＴのアースを共通化することで、弾性表面波装置のアースが強化され、通過帯域内の挿入損失や通過帯域外の減衰量が改善される。さらに、中央部のＩＤＴのアース端子を省略することも可能となる。

（実施の第六形態）
本発明に係る実施の第六形態を図４７乃至図５４に基づいて説明する。本実施の第六形態では、ＤＣＳ受信用フィルタを例にとって説明を行っていく。

実施の第六形態は実施の第三形態と同じく、１つの縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２７０１における１つのＩＤＴ２７０４の両極となるくし歯状電極にそれぞれ平衡信号端子２７１１、２７１２が接続され、各平衡信号端子２７１１、２７１２においては、アースに接地された電気的中性点を有さない構成に重み付けを施した例である。

実施の第六形態では、前述した圧電膜／低音速膜／高音速膜／支持基板の積層構造からなる積層基板８上に縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２７０１と、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２７０１に直列接続された弾性表面波共振子２７０２と２７０３がＡｌ電極により形成されている。

縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２７０１の構成は、ＩＤＴ２７０４の左右にＩＤＴ２７０５、２７０６を配置し、これらのＩＤＴを挟み込むように、反射器２７０７、２７０８が形成されている。

実施の第六形態では実施の第三形態と同様に、２つのＩＤＴが隣り合う間に、数本の狭ピッチ電極指が設けられている（図４７の２７０９と２７１０の箇所）。端子２７１１と２７１２は平衡信号端子、２７１３は不平衡信号端子である。図４８に、図４７のＩＤＴ２７０４と２７０５の間を拡大した図を示す。

平衡信号端子２７１１に接続されたＩＤＴ２７０４の最外電極指２７０４ａが交叉幅重み付けされ、さらに重み付けされて、削除された箇所にダミー電極２７０５ａが設けられ、アースに接続されている。

縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２７０１の詳細な設計は、狭ピッチ電極指のピッチで決まる波長をλＩ2、その他の電極指のピッチで決まる波長をλＩ1とすると、
交叉幅：交叉幅重み付けしない部分（図４８の２８０５）：７１．２λＩ1
交叉幅重み付けした部分（図４８の２８０６）：３５．６λＩ1
ＩＤＴ本数（２７０５、２７０４、２７０６の順）：２１（４）／（４）３５（４）／（４）２１本（カッコ内はピッチを小さくした電極指の本数）
ＩＤＴ波長λＩ1：２．１８μｍ、λＩ2：１．９６μｍ
反射器波長λＲ：２．１８μｍ
反射器本数：１５０本
ＩＤＴ−ＩＤＴ間隔：波長λＩ1とλＩ2の電極指に挟まれた箇所（図４７の２７１４）：０．２５λＩ1＋０．２５λＩ2
波長λＩ2の電極指に挟まれた箇所（図４７の２７１５）：０．５０λＩ2
ＩＤＴ−反射器間隔：０．４６０λＲ
ＩＤＴｄｕｔｙ：ピッチを狭くしていない部分：０．６３、ピッチを狭くした部分：０．６０
反射器ｄｕｔｙ：０．５７
電極膜厚：０．０９λＩ1

弾性表面波共振子２７０２の詳細な設計を、以下に示す。
交叉幅：２３．６λＩ
ＩＤＴ本数：２４１本
ＩＤＴ波長および反射器波長：２．１２μｍ
反射器本数：３０本
ＩＤＴ−反射器間隔：０．５０λＲ

弾性表面波共振子２７０３の詳細な設計を、以下に示す。
交叉幅：５８．５λＩ
ＩＤＴ本数：２４１
ＩＤＴ波長および反射器波長：２．０４μｍ
反射器本数：３０本
ＩＤＴ−反射器間隔：０．５０λＲである。

実施の第六形態の特徴は、アース電極指と隣接し、平衡信号端子に接続された中央のＩＤＴ２７０４の両端に位置する電極指をそれぞれ交叉幅重み付けした交叉重み付け電極指２７０４ａを形成し、さらに交叉幅重み付けされた箇所にダミー電極２７０５ａ、２７０６ａがそれぞれ設けられて、アースに接続されている点である。

次に、本実施の第六形態の作用・効果について説明する。図４９に、実施の第六形態の構成での周波数に対する平衡信号端子間の振幅平衡度を示す。比較として図５０に示す、第四比較例での周波数に対する平衡信号端子間の振幅平衡度も図４９に合わせて示す。図５０の第四比較例の構成は、実施の第六形態に対して中央ＩＤＴの両端の電極指が交叉幅重み付けされていない、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２７０１ａを用いた以外は、全く同じ構成である。ＤＣＳ受信用フィルタにおける通過帯域の周波数範囲は１８０５ＭＨｚ〜１８８０ＭＨｚである。

この範囲での平衡信号端子間の振幅平衡度は、第四比較例では−１．３ｄＢ〜＋３．３ｄＢ（偏差４．６ｄＢ）であるのに対し、実施の第六形態では−２．０ｄＢ〜＋１．９ｄＢ（偏差３．９ｄＢ）と、約０．７ｄＢ振幅平衡度が改善している。

さらに第四比較例では、平衡信号端子間の振幅平衡度が＋側に大きく外れているが、実施の第六形態では＋方向と−方向のずれがほぼ均等になっている。実施の第六形態のように＋方向と−方向のずれがほぼ均等な方が、＋側か−側のどちらか一方に大きく外れているよりも同相信号のノイズレベルが小さくなるというメリットがあり、実施の第六形態の方が、この点でも優れている。

実施の第六形態の効果が得られた理由は、アース電極指と隣接する中央ＩＤＴ２７０４の両端の電極指を交叉幅重み付けし、さらに交叉幅重み付けされた箇所にダミー電極を設けてアースに接続することにより、平衡信号端子２７１１に接続されるＩＤＴと平衡端子２７１２に接続されるＩＤＴの両端の電極指がアース電極指と隣接するようになるため、それぞれに隣接する電極指との極性の関係が同じになったためである。

次に、交叉幅重み付けの最適値を調査した結果について説明する。調査の方法は、図４７、図４８の構成で、交叉幅重み付けしない部分の交叉幅２８０５に対する重み付けする部分の交叉幅２８０６の割合（以後、交叉幅重み付けの比）を変化させていき、それに伴う通過帯域内で平衡信号端子間の振幅平衡度の変化を調査した。

交叉幅重み付けの比は、重み付けしない図５０の場合を１、図４７の場合を１／２として、交叉幅重み付けの比が１／４、１／２、３／４の場合について、平衡信号端子間の振幅平衡度を調査した。図５１に、交叉幅重み付けの比を変化させたときの平衡信号端子間における振幅平衡度の結果値を示す。図５１では、平衡信号端子間の振幅平衡度は、＋側のずれ分をプロットしている。

図５１より、交叉幅重み付けの比を略０．５とした場合、すなわち、電極指の略中央の位置で重み付けした場合に通過帯域内の平衡信号端子間の振幅平衡度は最小となる。これは、中央ＩＤＴの両端の電極指を略中央の位置で重み付けし、重み付けされた電極指をアースに接続したことにより、平衡信号端子２７１１に接続されるＩＤＴと平衡信号端子２７１２に接続されるＩＤＴの両端の電極指に、アース電極指がそれぞれ全体の交叉幅の略半分で隣接するため、それぞれに隣接する電極指との極性の関係が同じになった効果である。

以上、説明したように実施の第六形態では、１つの縦結合共振子型弾性表面波フィルタにおける１つのＩＤＴ（好ましくは中央のＩＤＴ）の、両極のくし歯状電極に、それぞれ平衡信号端子が接続され、アースに接地された電気的中性点を有さない構成において、中央ＩＤＴの両端の電極指を略中央の位置で交叉幅重み付けし、重み付けにより削除された位置に設けられたダミー電極をアースに接続することで、従来の弾性表面波装置よりも平衡信号端子間の振幅平衡度を改善した、弾性表面波装置が得られる。

実施の第六形態では、平衡信号端子に接続されたＩＤＴの両端の電極指が、両側でアース電極指と隣接している構成で説明したが、例えば、図５２のように片側ではアース電極指と、もう片側ではシグナル電極指と隣接している構成においても、アース電極指と隣接している側のシグナル電極指のみを交叉幅重み付けし、重み付けにより削除された位置に設けたダミー電極をアースにＩＤＴを介して接続することで、平衡信号端子間の振幅平衡度を改善した弾性表面波装置が得られる。

また、図５３のように、２つ以上のＩＤＴの両極から平衡信号を取り出す構成においても、２つのＩＤＴそれぞれの最外電極指を交叉幅重み付けし、重み付けされた電極指をＩＤＴおよび反射器を介してアースに接続することで、平衡信号端子間の振幅平衡度を改善できる。

実施の第六形態では、縦結合共振子型弾性表面波フィルタが３ＩＤＴタイプの構成で説明したが、例えば４つ以上のＩＤＴを有する縦結合共振子型弾性表面波フィルタの場合にも、図５４のように平衡信号を取り出すＩＤＴの両端の電極指を交叉幅重み付けし、重み付けにより削除された位置に設けたダミー電極をアースにＩＤＴを介して接続することにより、平衡信号端子間の振幅平衡度を改善できる。

（実施の第七形態）
本発明に係る実施の第七形態について図５５乃至図６１に基づいて説明する。本実施の第七形態では、ＰＣＳ受信用フィルタを例にとって説明を行っていく。

実施の第七形態は実施の第三形態と同じく、１つの縦結合共振子型弾性表面波フィルタの１つのＩＤＴの両極のくし歯状電極にそれぞれ平衡信号端子が接続され、アースに接地された電気的中性点を有さない構成に重み付けを施した例である。

実施の第七形態では、前述の圧電膜／低音速膜／高音速膜／支持基板の積層構造からなる積層基板８上に縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２９０１と、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２９０１に直列接続された、各弾性表面波共振子２９０２、２９０３が、Ａｌ電極により形成されている。実施の第七形態の構成は、基本的には実施の第三形態の図２９と同じ構成である。

実施の第七形態の特徴は、電極指２９１９、２９２０のｄｕｔｙが、０．４０とされている点である。また、実施の第七形態ではシグナルライン２９１２と平衡信号端子２９１０の間に、アースに接続されたシールドライン２９２１が挿入されている。このようにシグナル電極同士が隣り合う箇所に、アースに接続されたシールドラインを挿入することで、シグナル電極間の橋絡容量が低減され、さらに平衡信号端子間の平衡度が改善された、弾性表面波装置が得られる。

以下に、本実施の第七形態の作用・効果について説明する。図５６に実施の第七形態の構成での、周波数に対する平衡信号端子間の振幅平衡度、図５７に位相平衡度を示す。比較として図３２に示す、第二比較例の構成での平衡信号端子間の振幅平衡度、位相平衡度も図５６及び図５７に合わせて示す。図３２の第二比較例の構成は実施の第七形態に対して、ＩＤＴ２９０５のＩＤＴ２９０４、２９０６に隣り合っている電極指のｄｕｔｙを変えていない以外は、全く同じ構成である。ＰＣＳ受信用フィルタにおける通過帯域の周波数範囲は１９３０ＭＨｚ〜１９９０ＭＨｚである。

この範囲での平衡信号端子間の位相平衡度の偏差は実施の第七形態と第二比較例でほとんど変わっていないが、平衡信号端子間の振幅平衡度は、第二比較例では−０．５ｄＢ〜＋２．３ｄＢ（偏差２．８ｄＢ）であるのに対し、実施の第七形態では−０．６ｄＢ〜＋２．０ｄＢ（偏差２．６ｄＢ）と、約０．２ｄＢ振幅平衡度が改善している。

さらに第二比較例では、平衡信号端子間の振幅平衡度および位相平衡度が＋側が−側のどちらか一方に大きく外れているが、実施の第七形態では＋方向と−方向のずれの差が、小さくなっている。実施の第七形態のように＋方向と−方向のずれの差が小さい方が、＋側か−側のどちらか一方に大きく外れているよりも同相信号のノイズレベルが小さくなるというメリットがあり、実施の第七形態の方が、この点でも優れている。

実施の第七形態の効果が得られた理由は、ＩＤＴ２９０５の各ＩＤＴ２９０４、２９０６に隣り合っている電極指のｄｕｔｙを、他の電極指のｄｕｔｙより小さくすることで、各平衡信号端子２９１０、２９１１につながっている電極指の総容量や、電気信号と弾性表面波との間の変換効率を是正したことによる効果である。

この電極指の総容量等の異なりは、特に２つのＩＤＴが隣り合っている箇所で大きいので、実施の第七形態のようにこの部分の電極指のｄｕｔｙを調整することで、最も大きな効果が得られる。さらに効果を得るためには、図５８のように、２つのＩＤＴが隣り合っている箇所に近い数本の電極指のｄｕｔｙを調整すればよい。

次に、実施の第七形態における別の構成として、図５９のようにＩＤＴ２９０４ａとＩＤＴ２９０６ａとの、ＩＤＴ２９０５ｂと隣り合っている電極指（図５９の３００１と３００２）のｄｕｔｙを、他の電極指のｄｕｔｙよりも小さくした場合の、周波数に対する平衡信号端子間の振幅平衡度を図６０に、位相平衡度を図６１に示す。このとき電極指３００１と電極指３００２のｄｕｔｙは０．４０としている。

比較として、図３２の第二比較例の構成での平衡信号端子間の振幅平衡度、位相平衡度も図６０及び図６１に合わせて示す。この範囲での平衡信号端子問の位相平衡度の偏差は、実施の第七形態の変形例と第二比較例とでほとんど変わっていないが、平衡信号端子間の振幅平衡度は、第二比較例では−０．５ｄＢ〜＋２．３ｄＢ（偏差２．８ｄＢ）であるのに対し、実施の第七形態の変形例では−０．５ｄＢ〜＋２．０ｄＢ（偏差２．５ｄＢ）と、約０．３ｄＢ振幅平衡度が改善している。

このように、図５９のように不平衡信号端子に接続されているＩＤＴの電極指のｄｕｔｙを調整することでも、本発明の効果は得られる。もちろんこれに加えて、ＩＤＴ２９０５ｂにｄｕｔｙの調整を加えても、本発明の効果は得られる。

以上、説明したように実施の第七形態では、１つの縦結合共振子型弾性表面波フィルタにおける１つのＩＤＴの両極となるくし歯状電極にそれぞれ平衡信号端子が接続され、アースに接地された電気的中性点を有さない構成において、ＩＤＴの一部、特に２つのＩＤＴが隣り合っている箇所をｄｕｔｙ重み付けすることで、従来の弾性表面波装置よりも平衡信号端子間の振幅平衡度を改善した、弾性表面波装置が得られる。

（実施の第八形態）
本発明に係る実施の第八形態について、図６２乃至図６４に基づいて説明する。実施の第八形態の構成は、実施の第七形態のようにＩＤＴ２９０５のＩＤＴ２９０４、ＩＤＴ２９０６と隣り合っている電極指のみのｄｕｔｙを０．４０とするだけではなく、実施の第八形態では、平衡信号端子２９１０に接続されているＩＤＴ２９０５の電極指のｄｕｔｙをすべて、他の電極指と変えて、例えば、より小さく、０．４０としている。その他の構成は、すべて実施の第七形態の構成と同じである。

以下に、本実施の第八形態の作用・効果について説明する。図６３に、実施の第八形態の構成での、周波数に対する平衡信号端子間の振幅平衡度、図６４に位相平衡度を示す。比較として、図３２に示す第二比較例の構成での、平衡信号端子間の振幅平衡度、位相平衡度も図６３及び図６４に合わせて示す。ＰＣＳ受信用フィルタの通過帯域の周波数範囲では、平衡信号端子間の位相平衡度は第二比較例よりわずかに悪化しているが、平衡信号端子間の振幅平衡度は、第二比較例より約０．５ｄＢ改善している。

さらに第二比較例では、平衡信号端子間の振幅平衡度および位相平衡度が＋側が−側のどちらか一方に大きく外れているが、実施の第八形態では＋方向と−方向のずれの差が、小さくなっている。実施の第八形態のように＋方向と−方向のずれの差が小さい方が、＋側か−側のどちらか一方に大きく外れているよりも同相信号のノイズレベルが小さくなるというメリットがあり、実施の第八形態の方が、この点でも優れている。

以上、説明したように実施の第八形態では、１つの縦結合共振子型弾性表面波フィルタの１つのＩＤＴの両極のくし歯状電極にそれぞれ平衡信号端子が接続され、アースに接地された電気的中性点を有さない構成において、平衡信号端子の一方に接続されていの電極指をすべてｄｕｔｙ重み付けすることで、従来の弾性表面波装置よりも平衡信号端子間の振幅平衡度を改善した、弾性表面波装置が得られる。

図６２のように、平衡信号端子２９１０に接続されているＩＤＴ２９０５ｃの電極指のｄｕｔｙをすべて調整すると、平衡信号端子間の振幅平衡度を更に改善することができるが、位相平衡度は逆に悪化してしまう。しかし、図５５や図５８のようにすべての電極指は調整せずに必要な本数だけ調整したり、あるいは電極指毎にｄｕｔｙの調整量を異ならせたりすることで、平衡信号端子間の位相平衡度を悪化させずに、振幅平衡度を改善することは可能である。

（実施の第九形態）
本発明に係る実施の第九形態について、図６５に基づいて説明する。実施の第九形態は基本的には実施の第七形態と同じ構成であるが、ＩＤＴ２９０４とＩＤＴ２９０５ｄとが互いに隣り合う箇所においてＩＤＴ２９０５ｄの電極指３００３のｄｕｔｙを小さくし、さらにＩＤＴ２９０５ｄとＩＤＴ２９０６ｂとが隣り合う箇所においてＩＤＴ２９０６ｂの最外のシグナル電極指が間引かれ、その間引かれた位置にアースに接続されたダミー電極３００４が設置された、間引き重み付けされている。

次に、本実施の第九形態の作用・効果について説明する。このように１つの縦結合共振子型弾性表面波フィルタ内に２種類の重み付け方法を混在したりさらに数種類の重み付け方法を混在させたりすることで、平衡信号端子間の平衡度の調整自由度が向上し、所望の平衡信号端子間の平衡度を有した、平衡信号端子を有する弾性表面波装置が得られる。

以上の実施の各形態では、圧電膜として、本実施形態では、５０°ＹカットのＬｉＴａＯ_３を用いたが、効果が得られる原理からもわかる通り、本発明はこの圧電膜に限らず、そのほかの圧電単結晶による圧電膜でも同様な効果が得られる。

また、３以上のＩＤＴを備える弾性表面波フィルタを２つ用いて、平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置においては、弾性表面波フィルタの電極指に対して、弾性表面波の励振が強くなる方向に重み付けすることが好ましい。これにより、通過帯域幅が狭くなることを抑制しながら、通過帯域内の振幅平衡度を改善できる。

このような弾性表面波の励振が強くなる方向の重み付けの例としては、一方の弾性表面波装置（第１の弾性表面波装置）には重み付けせず、他方の弾性表面波装置（第２の弾性表面波装置）の中央のＩＤＴの最外電極指（より望ましくはシグナル電極指）の双方に対して、間引き重み付け、交叉重み付け（ダミー電極の形成も含む）、または直列重み付け（最も好ましい）を施すことが挙げられる。

さらに、上記の実施の各形態では、それぞれ種々な重み付けについて説明したが、それらは互いに独立した作用・効果を備えており、それらを二以上、どのように組み合わせて用いても、本願発明の効果を得ることができる。

本発明に係る、上記の実施の各形態に記載の弾性表面波装置を搭載した通信装置について、図６６に基づいて説明すると以下の通りである。図６６に示すように、実施の第一乃至第九の何れかに記載の弾性表面波装置を搭載した通信機３１００は、受信を行うレシーバ側（Ｒｘ側）として、アンテナ３１０１、アンテナ共用部／ＲＦＴｏｐフィルタ３１０２、アンプ３１０３、Ｒｘ段間フィルタ３１０４、ミキサ３１０５、１ｓｔＩＦフィルタ３１０６、ミキサ３１０７、２ｎｄＩＦフィルタ３１０８、１ｓｔ＋２ｎｄローカルシンセサイザ３１１１、ＴＣＸＯ（Temperature Compensated crystal Oscillator（温度補償型水晶発振器））３１１２、デバイダ３１１３、ローカルフィルタ３１１４を備えて構成されている。Ｒｘ段間フィルタ３１０４からミキサ３１０５へは、図６６にて二本線で示したように、平衡信号端子間の平衡度を確保するために、各平衡信号にて送信することが好ましい。

また、上記通信装置３１００は、送信を行うトランシーバ側（Ｔｘ側）として、上記アンテナ３１０１および上記アンテナ共用部／ＲＦＴｏｐフィルタ３１０２を共用するとともに、ＴｘＩＦフィルタ３１２１、ミキサ３１２２、Ｔｘ段間フィルタ３１２３、アンプ３１２４、カプラ３１２５、アイソレータ３１２６、ＡＰＣ（Automatic Power Control（自動出力制御））３１２７を備えて構成されている。

そして、上記のＲｘ段間フィルタ３１０４には、上述した実施の第一乃至第九の何れかに記載の弾性表面波装置が好適に利用できる。

よって、上記通信装置３１００は、用いた弾性表面波装置が小型化を図りながら、伝送特性に優れているので、小型化、特にＧＨｚ帯域以上において小型化を図りながら、伝送特性（通信特性）の優れたものとなっている。

１ ＩＤＴ（くし型電極部）
２ ＩＤＴ（くし型電極部）
３ ＩＤＴ（くし型電極部）
８ 積層基板（圧電膜／低音速膜／高音速膜／支持基板の積層構造を備える。）
８０１ 支持基板
８０２ 高音速膜
８０３ 低音速膜
８０４ 圧電膜
８０５、８０６ 媒質層
２２ シグナル電極指（内側電極指）
２１ａ ダミー電極
２２ａ 交叉重み付け電極指
３１ａ ダミー電極

Claims (32)

1. 圧電膜／低音速膜／高音速膜／支持基板の積層構造からなる積層基板上に弾性表面波の伝搬方向に沿って形成された少なくとも２つのくし型電極部を有する弾性表面波フィルタを少なくとも１つと、上記弾性表面波フィルタのための入力信号端子及び出力信号端子とを備えている弾性表面波装置であって、
   入力信号端子及び出力信号端子の少なくとも一方は平衡信号端子に接続されており、かつ、上記弾性表面波フィルタの少なくとも一部の電極指が、電極指の交叉幅を他の電極指と異ならせる交叉幅重み付けされ、
   前記交叉幅重み付けされた電極指と隣り合う電極指も交叉幅重み付けされており、かつ、上記２本の交叉幅重み付けされた電極指のそれぞれに対面するように、折れ曲がって形成されるダミー電極が設けられていることを特徴とする弾性表面波装置。
2. 間引き重み付けされた電極指をさらに設けられていることを特徴とする請求項１に記載の弾性表面波装置。
3. 前記間引き重み付けされた電極指が接続されているバスバーと対向する対向バスバーに、ダミー電極が設けられていることを特徴とする請求項２に記載の弾性表面波装置。
4. 前記入力用くし型電極部及び出力用くし型電極部の少なくとも一方の各電極指に、別のくし型電極部と互いに対面する位置の最外電極指を含む２本以上、連続したアース電極指が重み付けとして形成されていることを特徴とする請求項１乃至３の何れか１項に記載の弾性表面波装置。
5. 前記重み付けが、前記弾性表面波フィルタの互いに隣り合うくし型電極部のうち少なくとも一方における、上記くし型電極部が互いに隣り合う箇所の最外電極指から数本の電極指に対して施されていることを特徴とする請求項１乃至４の何れか１項に記載の弾性表面波装置。
6. 前記重み付けが、前記弾性表面波フィルタの互いに隣り合うくし型電極部のうち少なくとも一方における、上記くし型電極部が互いに隣り合う箇所の最外電極指の近傍に位置する数本の電極指に対して施されていることを特徴とする請求項１乃至５の何れか１項に記載の弾性表面波装置。
7. 前記重み付けが、前記弾性表面波フィルタの互いに隣り合うくし型電極部のうち少なくとも一方における、上記くし型電極部が互いに隣り合う箇所の最外電極指から上記くし型電極部の弾性表面波の伝搬方向の１／２以内までの範囲の電極指に対して施されていることを特徴とする請求項１乃至６の何れか１項に記載の弾性表面波装置。
8. 前記重み付けが、前記弾性表面波フィルタの互いに隣り合うくし型電極部のうち少なくとも一方における上記くし型電極部が互いに隣り合う箇所の最外電極指に対して施されていることを特徴とする請求項１乃至７の何れか１項に記載の弾性表面波装置。
9. 前記弾性表面波フィルタの互いに隣り合うくし型電極部の互いに隣り合う箇所の電極指がそれぞれアース電極指とシグナル電極指とであり、
   上記アース電極指及びシグナル電極指の少なくとも一方に対して前記重み付けが施されていることを特徴とする請求項１乃至８の何れか１項に記載の弾性表面波装置。
10. 前記重み付けされる電極指は、前記弾性表面波フィルタのシグナル電極指であることを特徴とする請求項１乃至９の何れか１項に記載の弾性表面波装置。
11. 前記重み付けは、前記弾性表面波フィルタの平衡信号端子に接続されているくし型電極部の電極指に施されていることを特徴とする請求項１乃至１０の何れか１項に記載の弾性表面波装置。
12. 前記弾性表面波フィルタは、少なくとも１つのくし型電極部を他のくし型電極部に対して位相反転して有し、
    前記重み付けは、上記位相反転したくし型電極部の電極指に対して施されていることを特徴とする請求項１乃至１１の何れか１項に記載の弾性表面波装置。
13. 前記弾性表面波フィルタは、平衡信号入力−平衡信号出力フィルタ機能を有するように設けられていることを特徴とする請求項１乃至１２の何れか１項に記載の弾性表面波装置。
14. 前記弾性表面波フィルタは、平衡信号入力−不平衡信号出力フィルタ機能、又は不平衡信号入力−平衡信号出力フィルタ機能を有するように設けられていることを特徴とする請求項１乃至１２の何れか１項に記載の弾性表面波装置。
15. 前記くし型電極部の少なくとも１つは、交叉幅方向に２分割されていることを特徴とする請求項１３又は１４に記載の弾性表面波装置。
16. 前記の対となる平衡信号端子が、１つのくし型電極部における両極のくし歯状電極にそれぞれ接続されていることを特徴とする請求項１３乃至１５の何れか１項に記載の弾性表面波装置。
17. 前記くし型電極部の少なくとも１つは、弾性表面波の伝搬方向に２分割されていることを特徴とする請求項１３又は１４に記載の弾性表面波装置。
18. 前記の対となる平衡信号端子間に、接地された電気的中性点を有さないことを特徴とする請求項１３乃至１７の何れか１項に記載の弾性表面波装置。
19. 前記弾性表面波フィルタが、２つにて、平衡信号入力−平衡信号出力フィルタ機能を有するように設けられていることを特徴とする請求項１乃至１２の何れか１項に記載の弾性表面波装置。
20. 前記弾性表面波フィルタが、２つ、入力信号に対する出力信号の位相を約１８０度異ならせるように設けられ、
    上記各記弾性表面波フィルタは、平衡信号入力−不平衡信号出力フィルタ機能、又は不平衡信号入力−平衡信号出力フィルタ機能を有するように設けられていることを特徴とする請求項１乃至１２の何れか１項に記載の弾性表面波装置。
21. 不平衡信号端子側に、さらに弾性表面波フィルタがカスケード接続されていることを特徴とする請求項２０記載の弾性表面波装置。
22. 前記弾性表面波フィルタは、縦結合共振子型弾性表面波フィルタであることを特徴とする請求項１乃至２１の何れか１項に記載の弾性表面波装置。
23. 前記縦結合共振子型弾性表面波フィルタは、奇数個のくし型電極部を有していることを特徴とする請求項２２記載の弾性表面波装置。
24. 前記縦結合共振子型弾性表面波フィルタは、３つのくし型電極部を有していることを特徴とする請求項２３記載の弾性表面波装置。
25. 前記縦結合共振子型弾性表面波フィルタは、少なくとも１つのくし型電極部の総電極指本数が偶数本であることを特徴とする請求項２２乃至２４の何れか１項に記載の弾性表面波装置。
26. 縦結合共振子型弾性表面波フィルタは、３つ又は３つ以上のくし型電極部のうち、少なくとも平衡信号端子に接続されている、くし型電極部の電極指の総本数が偶数本であることを特徴とする請求項２５記載の弾性表面波装置。
27. 縦結合共振子型弾性表面波フィルタは、３つ又は３つ以上のくし型電極部のうち、少なくとも中央部に位置する、くし型電極部の電極指の総本数が偶数本であることを特徴とする請求項２５又は２６記載の弾性表面波装置。
28. 前記弾性表面波フィルタに、直列及び並列の少なくとも一方にて、弾性表面波共振子が少なくとも１つ接続されていることを特徴とする請求項１乃至２７の何れか１項に記載の弾性表面波装置。
29. 前記弾性表面波フィルタは、２つ以上の弾性表面波フィルタ部をカスケード接続したものであることを特徴とする請求項１乃至２８の何れか１項に記載の弾性表面波装置。
30. 圧電膜／低音速膜／高音速膜／支持基板の積層構造からなる積層基板上に弾性表面波の伝搬方向に沿って形成された、それぞれ互いに隣り合う少なくとも３つのくし型電極部を有する弾性表面波フィルタを少なくとも１つと、上記弾性表面波フィルタのための入力信号端子及び出力信号端子とを備えている弾性表面波装置であって、
    入力信号端子及び出力信号端子の少なくとも一方は平衡信号端子に接続されており、かつ、互いに隣り合うくし型電極部の少なくとも一方において、上記くし型電極部が互いに隣り合う箇所の最外領域で最外電極指と異なる数本の電極指に対して交叉幅重み付けされており、
    かつ、異なる互いに隣り合うくし型電極部の少なくとも一方において、上記くし型電極部が互いに隣り合う箇所の最外電極指に対して間引き重み付けされていると共に、
    上記間引き重み付けされた箇所には、上記間引き重み付けされた電極指が接続されたバスバーと対向する対向バスバーに接続されたダミー電極が設けられていることを特徴とする弾性表面波装置。
31. 圧電膜／低音速膜／高音速膜／支持基板の積層構造からなる積層基板上に弾性表面波の伝搬方向に沿って形成された少なくとも２つのくし型電極部を有する弾性表面波フィルタを少なくとも１つと、上記弾性表面波フィルタのための入力信号端子及び出力信号端子とを備えている弾性表面波装置であって、
    入力信号端子及び出力信号端子の少なくとも一方は平衡信号端子に接続されており、かつ、前記弾性表面波フィルタが２つ設けられており、
    一方の弾性表面波フィルタの互いに隣り合うくし型電極部の少なくとも一方において、上記くし型電極部が互いに隣り合う箇所の最外領域で最外電極指と異なる数本の電極指に対して交叉幅重み付けされており、
    かつ、他方の弾性表面波フィルタの互いに隣り合うくし型電極部の少なくとも一方において、上記くし型電極部が互いに隣り合う箇所の最外電極指に対して間引き重み付けされていると共に、
    上記間引き重み付けされた箇所には、上記間引き重み付けされた電極指が接続されたバスバーと対向する対向バスバーに接続されたダミー電極が設けられていることを特徴とする弾性表面波装置。
32. 請求項１乃至３１の何れか１項に記載の弾性表面波装置を用いたことを特徴とする通信装置。

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