JP2015113786A - ベローズポンプ - Google Patents

Abstract

【課題】ベローズの破損を防止しつつ、単位時間当たりの吐出量の増大を図ることができるベローズポンプを提供する。
【解決手段】ベローズポンプは、第１エアシリンダ３１を有するエアシリンダ部３０を備える。前記第１エアシリンダは、前記ベローズの伸縮方向一端部１３に連結された第１ピストン３５と、第１シリンダ３６と、２つの空気室３７・３８とを有し、前記２つの空気室に圧縮空気が給排されることにより、前記ベローズを伸縮動作させるように前記第１ピストンを往復動させ得るように構成される。
【選択図】図２

Description

本発明は、ベローズポンプに関する。

半導体または液晶の製造設備等においては、超純水または薬液等の流体を流すためにベローズポンプが用いられている。この種のベローズポンプは、一般的に、ポンプボディと、ベローズと、駆動装置とを備えている（例えば、特許文献１参照）。

前記ポンプボディは、流体を吸入するための吸入流路、及び、流体を吐出するための吐出流路を有している。前記ベローズは、前記ポンプボディ内に設けられて、流体を前記吸入流路から吸入し且つ前記吐出流路へ吐出するために伸縮可能に構成されている。前記駆動装置は、前記ベローズを伸縮動作させためのものであり、前記ベローズ１つに対して１つのエアシリンダを有している。

前記ポンプボディの内部空間は、前記ベローズにより、流体を貯溜し得る前記ベローズ内の流体室と、圧縮空気が給排される前記ベローズ外の空気室とに区画されている。そして、このポンプボディの空気室及び前記エアシリンダの空気室に前記駆動装置により圧縮空気が給排されることにより、流体を吸入・吐出するべく前記ベローズが伸縮動作するようになっている。

このようなベローズポンプにおいては、単位時間当たりの吐出量を増やしたい場合、前記ベローズ内の容積（１伸縮ストロークで吐出できる量）が変らないことから、単位時間当たりの前記ベローズの伸縮ストローク数を増加させる。その手段としては、前記ポンプボディの空気室への圧縮空気供給圧力を増やして、前記ベローズにかける圧力を増大させる手段がとられる。

しかしながら、この手段をとると、前記ポンプボディにおいて前記空気室と前記流体室との差圧が増大し、この差圧に起因して前記ベローズが破損するおそれがあるので、前記べローズの耐圧性を考慮して、前記空気室への圧縮空気供給圧力を設定しなければならなかった。したがって、前記ベローズにかける圧力に、即ち前記ベローズの単位時間当たりの伸縮ストローク数を増加させることに大きな制限が生じ、単位時間当たりの吐出量を十分に増加させることができなかった。

特開平１０−１９６５２１号公報

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、ベローズの破損を防止しつつ、単位時間当たりの吐出量の増大を図ることができるベローズポンプの提供を目的とする。

請求項１に係る発明は、流体を吸入するための吸入流路、及び、流体を吐出するための吐出流路を有するポンプボディと、前記ポンプボディ内に設けられて、流体を前記吸入流路から吸入し且つ前記吐出流路へ吐出するために伸縮可能に構成されたベローズと、前記ベローズを伸縮動作させるためのエアシリンダ部とを備えるベローズポンプにおいて、前記エアシリンダ部が、前記ベローズの伸縮方向一端部に第１連結部材を介して連結された第１ピストンと、前記第１ピストンを摺動可能に収容する第１シリンダと、前記第１シリンダ内で前記第１ピストンを挟む２つの空気室とを有し、前記２つの空気室に圧縮空気が給排されることにより、前記ベローズを伸縮動作させるように前記第１ピストンを往復動させ得る少なくとも１つの第１エアシリンダを備えるものである。

請求項２に係る発明は、請求項１に記載のベローズポンプにおいて、前記エアシリンダ部が、前記少なくとも１つの第１エアシリンダの第１ピストンに第２連結部材を介して直接又は間接的に連結された第２ピストンと、前記第２ピストンを摺動可能に収容する第２シリンダと、前記第２シリンダ内で前記第２ピストンを挟む２つの空気室とを有し、前記２つの空気室に圧縮空気が給排されることにより、前記第１ピストンに同期して前記第２ピストンを往復動させ得る少なくとも１つの第２エアシリンダを備えるものである。

請求項３に係る発明は、請求項１又は請求項２に記載のベローズポンプにおいて、前記ポンプボディの内部空間が、前記ベローズにより、流体を貯溜し得る前記ベローズ内の流体室と、圧縮空気が給排される前記ベローズ外の空気室とに区画され、前記第１エアシリンダ及び前記第２エアシリンダの駆動により前記ベローズが収縮させられるときに、前記ポンプボディの空気室に圧縮空気が供給されるように構成されているものである。

本発明によれば、ベローズの破損を防止しつつ、単位時間当たりの吐出量の増大を図ることができるベローズポンプを提供することができる。

本発明の一実施形態に係るベローズポンプの断面図である。 図１のベローズポンプにおけるエアシリンダ部の概略断面図である。 （ａ）図１のベローズポンプの吐出圧力及び当該ベローズポンプのベローズの伸縮動作と時間との関係を示す図である。（ｂ）１つのエアシリンダだけを用いるベローズポンプの吐出圧力及び当該ベローズポンプのベローズの伸縮動作と時間との関係を示す図である。 本発明の他の実施形態に係るベローズポンプにおけるエアシリンダ部の概略断面図である。

本発明の好ましい実施形態について図面を参照しつつ説明する。

図１に示すように、本発明の一実施形態に係るベローズポンプ１は、ポンプ部２と、このポンプ部２に併設された脈動抑制部３とを備えている。前記ポンプ部２及び前記脈動抑制部３は、共用の仕切壁５を有し、互いに同軸上に配置されている。前記仕切壁５には、流体を吸入するための吸入流路６、流体を吐出するための吐出流路７、及び、中間流路８が形成されている。

前記ポンプ部２は、ベローズ１０を備えている。前記ベローズ１０は、ポンプボディ４内に設けられて、流体を前記吸入流路６から吸入し且つ前記吐出流路７へ（本実施形態においては、前記中間流路８を介して前記吐出流路７へ）吐出するために軸心方向（図１の左右方向）に伸縮可能に構成されている。

本実施形態において、前記ポンプボディ４は、前記仕切壁５と、前記仕切壁５の軸心方向一側（図１の右側）の側壁部に取り付けられた有底円筒状のポンプケーシング１１と、前記仕切壁５の軸心方向他側（図１の左側）の側壁部に取り付けられた有底円筒状のケーシング７１とによって構成されている。

前記ポンプボディ４において、前記ベローズ１０は、前記仕切壁５と前記ポンプケーシング１１とにより囲まれて形成される前記ポンプケーシング１１の内部空間に配置されている。前記ベローズ１０は、軸心方向他側に開口周縁部１２を有し、この開口周縁部１２が前記仕切壁５と前記ポンプケーシング１１との間に接合されることで前記ポンプボディ４に固定されている。

前記ベローズ１０は、軸心方向一側に閉塞端部１３を有し、前記仕切壁５から前記ポンプケーシング１１の底壁部１６側へ突出するように設けられている。これにより、前記ベローズ１０を用いて、前記ポンプケーシング１１の内部空間が、前記ベローズ１０内に位置する流体室１４と、前記ベローズ１０外に位置する空気室１５とに密閉状に区画されている。

そして、前記ベローズ１０は、筒状の蛇腹部１８を前記開口周縁部１２と前記閉塞端部１３との間に有し、前記ポンプケーシング１１の内部空間で前記閉塞端部１３を移動させるように、前記ポンプケーシング１１の軸心方向を伸縮方向として伸縮可能とされている。ここで、前記ベローズ１０は、ポリテトラフルオロエチレン(ＰＴＦＥ)等のフッ素樹脂から構成されている。

また、前記ポンプ部２においては、前記流体室１４に、流体の吸入口２１と吐出口２２とが連通されている。前記吸入口２１は前記吸入流路６に連通され、前記吐出口２２は前記中間流路８に連通されている。前記吸入流路６と前記中間流路８との途中には、前記ベローズ１０の伸縮動作に伴って交互に開・閉動作し得る吸入側逆止弁２３及び吐出側逆止弁２４が設けられている。

前記吸入側逆止弁２３は、前記吸入流路６から前記ベローズ１０内に向かう流体の流れのみを許容するように構成されている。即ち、前記吸入側逆止弁２３は、前記吸入流路６から前記流体室１４に向かう流体の吸引を許容し、且つ、前記流体室１４から前記吸入流路６に向かう流体の逆流を阻止し得るように構成されている。

前記吐出側逆止弁２４は、前記ベローズ１０内から吐出流路となる前記中間流路８に向かう流体の流れのみを許容するように構成されている。即ち、前記吐出側逆止弁２４は、前記流体室１４から前記中間流路８に向かう流体の吐出を許容し、且つ、前記中間流路８から前記流体室１４に向かう流体の逆流を阻止し得るように構成されている。

また、前記ポンプケーシング１１内には、前記ベローズ１０に連結されて、前記ベローズ１０を伸縮動作させるべく移動し得るように構成された可動体２６が設けられている。この可動体２６は、前記ベローズ１０の閉塞端部１３に固定されている。そして、前記ベローズポンプ１においては、前記ベローズ１０を伸縮動作させるためのエアシリンダ部３０を備える駆動装置が設けられている。

前記駆動装置は、前記エアシリンダ部３０に加え、図示しないコンプレッサ等の圧縮空気供給装置を備えている。前記エアシリンダ部３０は、１つ又は複数のエアシリンダを有している。即ち、図２に示すように、前記エアシリンダ部３０は、少なくとも１つ（本実施形態においては１つ）の第１エアシリンダ３１を有している。

前記第１エアシリンダ３１は、前記ベローズ１０の伸縮方向一端部（前記閉塞端部１３）に前記可動体２６及び第１連結部材３４を介して連結された第１ピストン３５と、前記第１ピストン３５を摺動可能に収容する第１シリンダ３６と、前記第１シリンダ３６内でこの第１ピストン３５を挟む２つの空気室３７・３８とを有している。

そして、前記第１エアシリンダ３１は、前記２つの空気室３７・３８に圧縮空気が給排されることにより、前記ベローズ１０を伸縮動作させるように前記第１ピストン３５を往復動させ得る構成とされている。本実施形態においては、前記第１エアシリンダ３１が、前記ポンプケーシング１１の底壁部１６の外側に設けられている。

前記第１エアシリンダ３１において、前記第１連結部材３４は、軸状に形成され、前記ポンプケーシング１１の底壁部１６に摺動可能に貫通するように設けられている。前記第１ピストン３５は、前記第１連結部材３４を介して前記可動体２６に連結されている。前記第１シリンダ３６は、前記ポンプケーシング１１の底壁部１６に連結され、前記第１ピストン３５が前記ベローズ１０の伸縮（軸心）方向に摺動し得るようにこれと嵌合されている。

前記第１シリンダ３６の内部空間は、前記第１ピストン３５により、前記ベローズ１０の伸縮方向に関して前記２つの空気室３７・３８に区画されている。この２つの空気室３７・３８は、前記ベローズ１０の伸縮方向他側に位置する伸長側空気室３７と前記ベローズ１０の伸縮方向一側に位置する収縮側空気室３８であり、それぞれ前記第１シリンダ３６に形成された空気孔４１・４２を通じて圧縮空気が給排されるようになっている。

また、好ましくは、本実施形態のように、前記エアシリンダ部３０は、少なくとも１つ（本実施形態においては２つ）の第２エアシリンダ３２Ａ・３２Ｂを有する。

前記第２エアシリンダ３２Ａ・３２Ｂは、前記第１エアシリンダ３１の第１ピストン３５に第２連結部材４４Ａ・４４Ｂを介して直接又は間接的に連結された第２ピストン４５Ａ・４５Ｂと、前記第２ピストン４５Ａ・４５Ｂを摺動可能に収容する第２シリンダ４６Ａ・４６Ｂと、前記第２シリンダ４６Ａ・４６Ｂ内で前記第２ピストン４５Ａ・４５Ｂを挟む２つの空気室４７Ａ・４８Ａ、４７Ｂ・４８Ｂとを有している。

そして、前記第２エアシリンダ３２Ａ・３２Ｂは、前記２つの空気室４７Ａ・４８Ａ、４７Ｂ・４８Ｂに圧縮空気が給排されることにより、前記第１ピストン３５に同期して前記第２ピストン４５Ａ・４５Ｂを往復動させ得る構成とされている。本実施形態においては、前記第２エアシリンダ３２Ａ・３２Ｂのうち一方の第２エアシリンダ３２Ａが、前記第１エアシリンダ３１の軸心方向一側（図２の右側）に配置されて、この第１エアシリンダ３１と同軸上に直列に連結されている。

前記一方の第２エアシリンダ３２Ａにおいて、前記第２連結部材４４Ａは、軸状に形成され、前記第１エアシリンダ３１との連結部を摺動可能に貫通するように設けられている。前記第２ピストン４５Ａは、前記第２連結部材４４Ａを介して前記第１ピストン３５に連結されている。前記第２シリンダ４６Ａは、前記第２ピストン４５Ａが前記ベローズ１０の伸縮方向に摺動し得るようにこれと嵌合されている。

前記一方の第２エアシリンダ３２Ａの内部空間は、前記第２ピストン４５Ａにより、前記ベローズ１０の伸縮方向に関して前記２つの空気室４７Ａ・４８Ａに区画されている。この２つの空気室４７Ａ・４８Ａは、前記ベローズ１０の伸縮方向他側に位置する伸長側空気室４７Ａと前記ベローズ１０の伸縮方向一側に位置する収縮側空気室４８Ａであり、それぞれ前記第２シリンダ４６Ａに形成された空気孔５１Ａ・５２Ａを通じて圧縮空気が給排されるようになっている。

さらに、本実施形態においては、前記第２エアシリンダ３２Ａ・３２Ｂのうち他方の第２エアシリンダ３２Ｂが、前記一方の第２エアシリンダ３２Ａの軸心方向一側（図２の右側）に配置されて、この一方の第２エアシリンダ３２Ａと同軸上に直列に連結されている。

前記他方の第２エアシリンダ３２Ｂにおいて、前記第２連結部材４４Ｂは、軸状に形成され、前記一方の第２エアシリンダ３２Ａとの連結部を摺動可能に貫通するように設けられている。前記第２ピストン４５Ｂは、前記第２連結部材４４Ｂを介して前記一方の第２エアシリンダ３２Ａの第２ピストン４５Ａに連結されている。前記第２シリンダ４６Ｂは、前記第２ピストン４５Ｂが前記ベローズ１０の伸縮方向に摺動し得るようにこれと嵌合されている。

前記他方の第２エアシリンダ３２Ｂの内部空間は、前記第２ピストン４５Ｂにより、前記ベローズ１０の伸縮方向に関して前記２つの空気室４７Ｂ・４８Ｂに区画されている。この２つの空気室４７Ｂ・４８Ｂは、前記ベローズ１０の伸縮方向他側に位置する伸長側空気室４７Ｂと前記ベローズ１０の伸縮方向一側に位置する収縮側空気室４８Ｂであり、前記第２シリンダ４６Ｂに形成された空気孔５１Ｂ・５２Ｂを通じて圧縮空気が給排されるようになっている。

そして、前記圧縮空気供給装置が、前記第１エアシリンダ３１の前記空気孔４１又は前記空気孔４２を通じて、圧縮空気を前記伸長側空気室３７と前記収縮側空気室３８とに交互に供給し得るように構成されている。前記圧縮空気供給装置は、さらに、圧縮空気を前記第１エアシリンダ３１の伸長側空気室３７に供給するときには、前記第２エアシリンダ３２Ａ・３２Ｂの伸長側空気室４７Ａ・４７Ｂに同時に供給し、且つ、圧縮空気を前記第１エアシリンダ３１の収縮側空気室３８に供給するときには、前記第２エアシリンダ３２Ａ・３２Ｂの収縮側空気室４８Ａ・４８Ｂに同時に供給するように構成されている。

ここで、前記第１エアシリンダ３１の第１シリンダ３６及び前記ポンプケーシング１１の底壁部１６には、それぞれ近接センサ５５・５６が取り付けられている。そして、前記第１ピストン３５の往復動（前記ベローズ１０の伸縮動作）に伴って前記第１エアシリンダ３１の第１ピストン３５と前記可動体２６とが前記近接センサ５５・５６に交互に近接することで、前記圧縮空気供給装置から送給される圧縮空気の供給先が、前記伸長側空気室３７・４７Ａ・４７Ｂと前記収縮側空気室３８・４８Ａ・４８Ｂとの間で自動的に切り替えられるように構成されている。

また、図１に示すように、前記脈動抑制部３は、ベローズ７０を備えている。前記ベローズ７０は、流体を吸入流路（本実施形態においては、吸入流路として機能する前記中間流路８）から吸入し、且つ、前記吐出流路７へ吐出するために軸心方向（図１の左右方向）に伸縮可能に構成されている。

本実施形態において、前記ベローズ７０は、前記仕切壁５と前記ケーシング７１とにより囲まれて形成される前記ケーシング７１の内部空間に配置されている。前記ベローズ７０は、軸心方向一側に開口周縁部７２有し、この開口周縁部７２が前記仕切壁５と前記ケーシング７１との間に接合されることで前記ポンプボディ４に固定されている。

前記ベローズ７０は、軸心方向他側に閉塞端部７３を有し、前記仕切壁５から前記ケーシング７１の底壁部側へ突出するように設けられている。これにより、前記ベローズ７０を用いて、前記ケーシング７１の内部空間が、前記ベローズ７０内に位置する流体室７４と、前記ベローズ７０外に位置する気体室７５とに密閉状に区画されている。

そして、前記ベローズ７０は、筒状の蛇腹部７８を前記開口周縁部７２と前記閉塞端部７３との間に有し、前記ケーシング７１の内部空間で前記閉塞端部７３を移動させるように、前記ケーシング７１の軸心方向を伸縮方向として伸縮可能とされている。ここで、前記ベローズ７０は、ＰＴＦＥ等のフッ素樹脂から構成されている。

また、前記脈動抑制部３においては、前記流体室７４に、前記中間流路８と前記吐出流路７とが連通されている。前記ベローズ７０の閉塞端部７３に対向する位置には、前記ベローズ７０の不測の事態により生じ得る過度の伸長を規制するためのストッパ壁８１が、前記閉塞端部７３に対して所定の間隔を隔てて配置されている。

そして、前記ケーシング７１に、自動給排気調整装置８２が設けられている。前記自動給排気調整装置８２は、前記ベローズ７０に過度の伸縮変形が起きないようにするために、前記流体室７４の流体圧と前記気体室７５の気圧（封入圧）とをバランスさせ得るように構成されている。

具体的には、前記自動給排気調整装置８２は、前記流体室７４の容量が所定範囲を越えて増大すると、前記気体室７５へ吸気して当該気体室７５の気圧を上昇させ、前記流体室７４の容量が所定範囲を越えて減少すると、前記気体室７５内から排気を行って封入圧を下降させるようになっている。

次に、前記ベローズポンプ１の動作について説明する。

前記ポンプ部２においては、前記圧縮空気供給装置からの圧縮空気が、前記第１エアシリンダ３１の伸長側空気室３７と、前記第２エアシリンダ３２Ａ・３２Ｂの伸長側空気室４７Ａ・４７Ｂとに同時に供給される。この供給によって、前記第１ピストン３５及び前記第２ピストン４５Ａ・４５Ｂが軸心方向一側へ往動し、前記ベローズ１０が図１の右方向に伸長する。そのため、前記流体室１４が負圧となって、前記吐出側逆止弁２４が閉じる一方、前記吸入側逆止弁２３が開いて、前記吸入流路６からの流体が開位置にある前記吸入側逆止弁２３を経て前記流体室１４内に吸入されることになる（吸入工程）。

その後、前記圧縮空気供給装置からの圧縮空気が、供給先を代えて、前記第１エアシリンダ３１の収縮側空気室３８と、前記第２エアシリンダ３２Ａ・３２Ｂの収縮側空気室４８Ａ・４８Ｂとに同時に供給される。この供給によって、前記第１ピストン３５及び前記第２ピストン４５Ａ・４５Ｂが軸心方向他側へ復動し、前記ベローズ１０が図１の左方向に収縮する。そのため、前記吸入側逆止弁２３が閉じる一方、前記吐出側逆止弁２４が開いて、前記流体室１４に吸入されて貯溜されていた流体が開位置にある前記吐出側逆止弁２４を経て前記中間流路８（前記吐出通路７）に向かって吐出されることになる（吐出工程）。

前記ベローズポンプ１の駆動時、前記ポンプ部２においては、このような吸入工程と吐出工程とが反復される。これにより、前記ポンプ部２の所定のポンプ動作が実行される。

また、本実施形態においては、前記ポンプ部２の吐出口２２から吐出された流体は、前記ポンプ部２の伸縮動作のために脈動流となって、前記中間流路８を介して前記脈動抑制部３のベローズ７０内部に形成された前記流体室７４内に送られる。そして、その流体が前記流体室７４内で一時的に貯留された後、前記吐出流路７から前記脈動抑制部３（前記ベローズポンプ１）の外部に移送される。

この際、前記ポンプ部２からの流体の吐出圧力が増加傾向にあるときには、前記脈動抑制部３において、前記ベローズ７０が伸長して、前記流体室７４の容量を増大させ、当該吐出圧力を吸収する。そのため、前記流体室７４から前記脈動抑制部３の外部に移送される流体の量は、前記ポンプ部２から前記脈動抑制部３に向かって吐出される量よりも少なくなる。

この状態で流体の吐出圧力が減少傾向に転じると、前記ベローズ７０の伸長により圧縮された前記気体室７５内の封入圧よりも流体の圧力が低くなるので、前記ベローズ７０が収縮して、前記流体室７４の容量を減少させる。そのため、前記流体室７４から前記脈動抑制部３の外部に移送される流体の量は、前記ポンプ部２から前記脈動抑制部３に向かって吐出される量よりも多くなる。

このような前記ベローズ７０の伸縮動作に伴う前記流体室７４の容量変化の繰り返し動作によって、流体は、その脈動を減衰されつつ、前記脈動抑制部３から外部に移送されることとなる。これにより、前記ベローズポンプ１においては、流体が当該ベローズポンプ１から外部に向かって連続して円滑に吐出されるようになっている。

そのうえ、本実施形態においては、２つの空気室への圧縮空気供給圧力を任意に設定可能な少なくとも１つのエアシリンダ（即ち、前記第１エアシリンダ３１、好ましくはこれに前記第２エアシリンダ３２Ａ・３２Ｂを加えたもの）を用いて前記ベローズ１０を伸縮動作させる。したがって、図３（ａ）及び（ｂ）に示すように、前記ベローズ１０の圧縮過程において前記ベローズポンプ１の吐出圧力を所定値Ｐまで上昇させるのに要する時間ｔ１を１つのエアシリンダを用いる場合の時間ｔ２よりも短くして、前記ベローズ１０の最伸長状態から最収縮状態への変化時間を短縮化すること（Ｔ２→Ｔ１）が可能となる。よって、前記ベローズ１０の単位時間当たりの伸縮ストローク数を増加させて、単位時間当たりの吐出量を増やすことができる。

しかも、この際には、前記エアシリンダ部３０において前記２つの空気室３７・３８、４７Ａ・４８Ａ、４７Ｂ・４８Ｂへ所定圧の圧縮空気を交互に供給することで前記第１エアシリンダ３１及び前記第２エアシリンダ３２Ａ・３２Ｂを駆動させ、これにより前記ベローズ１０を伸縮動作させるので、前記ポンプボディ４における前記空気室１５と前記流体室１４との差圧に起因する前記ベローズ１０の破損を考慮する必要がない。そのため、前記ベローズポンプ１によれば、前記ベローズ１０の破損を防止しつつ、単位時間当たりの吐出量の増大を図ることができる。

また、本実施形態においては、前記ポンプボディ４（前記ポンプケーシング）の内部空間が、前記ベローズ１０により、流体を貯溜し得る前記流体室１４と、圧縮空気が給排される前記空気室１５とに区画されている。そして、前記第１エアシリンダ３１及び前記第２エアシリンダ３２Ａ・３２Ｂの駆動により前記ベローズ１０が収縮させられるときに、前記ポンプボディ４の空気室１５に、前記底壁部１６に形成された空気孔５８を通じて、前記圧縮空気供給装置からの圧縮空気が供給されるように構成されている。

このような構成により、前記ベローズ１０の収縮に必要な圧力の上昇に要する時間をさらに短くして、前記ベローズ１０の最伸長状態から最収縮状態への変化時間の短縮化を図ることができる。したがって、前記ベローズポンプ１において、単位時間当たりの吐出量をより効果的に増大させやすくなる。勿論、この場合には、前記空気室１５と前記流体室１４との差圧に起因して前記ベローズ１０が破損しないように、前記空気室１５への圧縮空気供給圧力が適宜設定される。

なお、本発明に係るエアシリンダ部は、本実施形態においては前記第１エアシリンダ３１と、この前記第１エアシリンダ３１に直列に連結した前記第２エアシリンダ３２Ａ・３２Ｂとを有する前記エアシリンダ部３０としているが、これに限定するものではなく、例えば、図４に示すように、第１エアシリンダ３１と、この第１エアシリンダ３１に個別に連結され且つ互いに並列に配置された複数の第２エアシリンダ３２Ａ・３２Ｂ・３２Ｃとを有するエアシリンダ部３０とすることも可能である。

１ ベローズポンプ
４ ポンプボディ
６ 吸入流路
７ 吐出流路
１０ ベローズ
１４ 流体室
１５ 空気室
３０ エアシリンダ部
３１ 第１エアシリンダ
３２Ａ・３２Ｂ・３２Ｃ 第２エアシリンダ
３４ 第１連結部材
３５ 第１ピストン
３６ 第１シリンダ
３７ 空気室
３８ 空気室
４４Ａ・４４Ｂ・４４Ｃ 第２連結部材
４５Ａ・４５Ｂ・４５Ｃ 第２ピストン
４６Ａ・４６Ｂ・４６Ｃ 第２シリンダ
４７Ａ・４７Ｂ・４７Ｃ 空気室
４８Ａ・４８Ｂ・４８Ｃ 空気室
５１Ａ・５１Ｂ・５１Ｃ 空気孔
５２Ａ・５２Ｂ・５２Ｃ 空気孔
５８ 空気孔

Claims (3)

1. 流体を吸入するための吸入流路、及び、流体を吐出するための吐出流路を有するポンプボディと、前記ポンプボディ内に設けられて、流体を前記吸入流路から吸入し且つ前記吐出流路へ吐出するために伸縮可能に構成されたベローズと、前記ベローズを伸縮動作させるためのエアシリンダ部とを備えるベローズポンプにおいて、
   前記エアシリンダ部は、
   前記ベローズの伸縮方向一端部に第１連結部材を介して連結された第１ピストンと、前記第１ピストンを摺動可能に収容する第１シリンダと、前記第１シリンダ内で前記第１ピストンを挟む２つの空気室とを有し、前記２つの空気室に圧縮空気が給排されることにより、前記ベローズを伸縮動作させるように前記第１ピストンを往復動させ得る少なくとも１つの第１エアシリンダを備えることを特徴とするベローズポンプ。
2. 前記エアシリンダ部は、
   前記少なくとも１つの第１エアシリンダの第１ピストンに第２連結部材を介して直接又は間接的に連結された第２ピストンと、前記第２ピストンを摺動可能に収容する第２シリンダと、前記第２シリンダ内で前記第２ピストンを挟む２つの空気室とを有し、前記２つの空気室に圧縮空気が給排されることにより、前記第１ピストンに同期して前記第２ピストンを往復動させ得る少なくとも１つの第２エアシリンダを備えることを特徴とする請求項１に記載のベローズポンプ。
3. 前記ポンプボディの内部空間が、前記ベローズにより、流体を貯溜し得る前記ベローズ内の流体室と、圧縮空気が給排される前記ベローズ外の空気室とに区画され、
   前記第１エアシリンダ及び前記第２エアシリンダの駆動により前記ベローズが収縮させられるときに、前記ポンプボディの空気室に圧縮空気が供給されるように構成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のベローズポンプ。

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