JP2015113785A

JP2015113785A - Bellows pump

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Publication number: JP2015113785A
Application number: JP2013257231A
Authority: JP
Inventors: 慶士永江; Keiji Nagae; 藤井　達也; Tatsuya Fujii; 達也藤井; 大輔浦田; Daisuke Urata; 宮本　正樹; Masaki Miyamoto; 正樹宮本; 真照山田; Masateru Yamada
Original assignee: Nippon Pillar Packing Co Ltd
Current assignee: Nippon Pillar Packing Co Ltd
Priority date: 2013-12-12
Filing date: 2013-12-12
Publication date: 2015-06-22

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a bellows pump capable of relieving a water hammer phenomenon.SOLUTION: A bellows pump includes a pump body 4 having a suction flow path 6 and a discharge flow path 7, a bellows 10 configured to be able to expand and contract so as to suck fluid from the suction flow path and discharge the fluid to the discharge flow path, a movable body 26 connected to an expansion and contraction direction one end 13 of the bellows and configured to be able to move in a direction approaching and separating from an inner surface 17 of the pump body so as to expand and contract the bellows, a driving device capable of moving the movable body, a suction side check valve 23 allowing only the flow of the fluid directing from the suction flow path into the bellows, and a discharge side check valve 24 allowing only the flow of the fluid directing from the inside of the bellows to the discharge flow path. In the bellows pump, a cushion member 38 for reducing expansion speed of the bellows is provided between the movable body and an inner surface of a pump casing.

Description

本発明は、ベローズポンプに関する。 The present invention relates to a bellows pump.

半導体または液晶の製造設備等においては、超純水または薬液等の流体を流すためにベローズポンプが用いられている。この種のベローズポンプは、一般的に、ポンプボディと、ベローズと、可動体と、駆動装置と、吸入側逆止弁と、吐出側逆止弁とを備えている（例えば、特許文献１参照）。 In a semiconductor or liquid crystal manufacturing facility or the like, a bellows pump is used to flow a fluid such as ultrapure water or a chemical solution. This type of bellows pump generally includes a pump body, a bellows, a movable body, a drive device, a suction-side check valve, and a discharge-side check valve (see, for example, Patent Document 1). ).

前記ポンプボディは、流体を吸入するための吸入流路、及び、流体を吐出するための吐出流路を有している。前記ベローズは、前記ポンプボディ内に設けられて、流体を前記吸入流路から吸入し且つ前記吐出流路へ吐出するために伸縮可能に構成されている。 The pump body has a suction flow path for sucking fluid and a discharge flow path for discharging fluid. The bellows is provided in the pump body, and is configured to be extendable and retractable in order to suck fluid from the suction channel and discharge the fluid to the discharge channel.

前記可動体は、前記ベローズの伸縮方向一端部に連結されて、前記ベローズを伸縮させるために前記ポンプボディの内面に近接又は離間する方向に移動可能に構成されている。前記駆動装置は、前記可動体を移動させることができるように構成されている。 The movable body is connected to one end of the bellows in the expansion / contraction direction, and is configured to be movable in a direction close to or away from the inner surface of the pump body in order to expand and contract the bellows. The driving device is configured to move the movable body.

前記吸入側逆止弁は、前記吸入流路から前記ベローズ内に向かう流体の流れのみを許容するものである。前記吐出側逆止弁は、前記ベローズ内から前記吐出流路に向かう流体の流れのみを許容するものである。 The suction-side check valve allows only a fluid flow from the suction flow path into the bellows. The discharge-side check valve allows only a fluid flow from the bellows toward the discharge flow path.

このようなベローズポンプにおいては、吸入行程から吐出行程に切り替わるとき、即ち前記ベローズが伸長状態から収縮状態に切り替わるとき、前記ベローズの内部圧力が負圧から正圧に変化し、その過程で前記ベローズの内部圧力が瞬間的に急激に上昇して、前記吸入側逆止弁が開状態から閉状態になって流体の吸入を急速に遮断する。 In such a bellows pump, when the suction stroke is switched to the discharge stroke, that is, when the bellows is switched from the expanded state to the contracted state, the internal pressure of the bellows changes from negative pressure to positive pressure, and in the process, the bellows The internal pressure of the intake valve suddenly rises suddenly, and the suction side check valve changes from the open state to the closed state, thereby rapidly shutting off the fluid suction.

しかしながら、前記吸入流路から前記ベローズ内に向かう流体の流れは慣性により即座には止まらないので、前記吸入流路の流体が閉塞状態の前記吸入側逆止弁（弁座に当接した弁体）に強く衝突し（この現象が所謂「ウォータハンマ（水撃）現象」である。）、このウォータハンマ現象によって前記ベローズポンプが大きく振動してしまう。 However, since the flow of fluid from the suction flow path into the bellows does not stop immediately due to inertia, the suction side check valve (valve contacting the valve seat) in which the fluid in the suction flow path is closed (This phenomenon is the so-called “water hammer (water hammer) phenomenon”), and the water hammer phenomenon causes the bellows pump to vibrate greatly.

また、この際には、前記ベローズポンプの大きな振動が、当該ベローズポンプからこれに接続された配管等へ伝播する。その結果、前記ベローズポンプのベローズ、及び／又は、前記ベローズポンプと前記配管等との接続箇所に、前記ベローズポンプを用いて流体を正常に流すことができなくなるような不具合（例えば、前記ベローズの損傷、及び、前記ベローズと前記配管等との接続箇所の損傷）が発生するおそれがあった。 At this time, a large vibration of the bellows pump propagates from the bellows pump to piping connected to the bellows pump. As a result, there is a problem that the fluid cannot normally flow using the bellows pump to the bellows of the bellows pump and / or the connection point between the bellows pump and the pipe (for example, the bellows pump). There was a risk of damage and damage to the connection portion between the bellows and the pipe).

特開平１０−１９６５２１号公報JP-A-10-196521

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、ウォータハンマ現象を緩和することができるベローズポンプの提供を目的とする。 This invention is made | formed in view of such a situation, and it aims at provision of the bellows pump which can relieve a water hammer phenomenon.

請求項１に係る発明は、流体を吸入するための吸入流路、及び、流体を吐出するための吐出流路を有するポンプボディと、前記ポンプボディ内に設けられて、流体を前記吸入流路から吸入し且つ前記吐出流路へ吐出するために伸縮可能に構成されたベローズと、前記ベローズの伸縮方向一端部に連結されて、前記ベローズを伸縮させるために前記ポンプボディの内面に近接又は離間する方向に移動可能に構成された可動体と、前記可動体を移動させるための駆動装置と、前記吸入流路から前記ベローズ内に向かう流体の流れのみを許容する吸入側逆止弁と、前記ベローズ内から前記吐出流路に向かう流体の流れのみを許容する吐出側逆止弁とを備えるベローズポンプにおいて、前記可動体と前記ポンプボディの内面との間に、前記ベローズの伸長速度を減少させるためのクッション部材を備えるものである。 According to a first aspect of the present invention, there is provided a suction passage for sucking a fluid, a pump body having a discharge passage for discharging the fluid, and a pump body provided in the pump body, the fluid being supplied to the suction passage. A bellows configured to be stretchable to be sucked from and discharged to the discharge flow path, and connected to one end of the bellows in a direction of expansion and contraction, and close to or away from the inner surface of the pump body to expand and contract the bellows A movable body configured to be movable in a moving direction, a drive device for moving the movable body, a suction-side check valve that allows only a flow of fluid from the suction flow path into the bellows, In a bellows pump comprising a discharge-side check valve that allows only the flow of fluid from the inside of the bellows toward the discharge flow path, the bellows of the bellows is interposed between the movable body and the inner surface of the pump body. Those comprising a cushion member for reducing the length speed.

請求項２に係る発明は、請求項１に記載のベローズポンプにおいて、前記クッション部材が、前記ベローズの伸長過程の途中から当該ベローズの伸長速度を減少させるように設けられているものである。 The invention according to claim 2 is the bellows pump according to claim 1, wherein the cushion member is provided so as to decrease the extension speed of the bellows in the middle of the extension process of the bellows.

本発明によれば、ウォータハンマ現象を緩和することができるベローズポンプを提供することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the bellows pump which can relieve a water hammer phenomenon can be provided.

本発明の第１実施形態に係るベローズポンプの側面断面図である。It is side surface sectional drawing of the bellows pump which concerns on 1st Embodiment of this invention. 図１のベローズポンプの一部拡大断面図である。It is a partially expanded sectional view of the bellows pump of FIG. 図１のベローズポンプの一部拡大断面図である。It is a partially expanded sectional view of the bellows pump of FIG. 本発明の第２実施形態に係るバルブ及びこのバルブを備えたベローズポンプの側面断面図である。It is side surface sectional drawing of the valve which concerns on 2nd Embodiment of this invention, and the bellows pump provided with this valve.

［第１実施形態］
まず、本発明の第１実施形態について図面を参照しつつ説明する。 [First Embodiment]
First, a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

図１、図２に示すように、本実施形態において、ベローズポンプ１は、ポンプ部２と、このポンプ部２に併設された脈動抑制部３とを備えている。前記ポンプ部２及び前記脈動抑制部３は、共用の仕切壁５を有し、互いに同軸上に配置されている。前記仕切壁５には、流体を吸入するための吸入流路６、流体を吐出するための吐出流路７、及び、中間流路８が形成されている。 As shown in FIGS. 1 and 2, in the present embodiment, the bellows pump 1 includes a pump unit 2 and a pulsation suppressing unit 3 provided alongside the pump unit 2. The pump unit 2 and the pulsation suppressing unit 3 have a common partition wall 5 and are arranged coaxially with each other. The partition wall 5 is formed with a suction flow path 6 for sucking fluid, a discharge flow path 7 for discharging fluid, and an intermediate flow path 8.

前記ポンプ部２は、ベローズ１０を備えている。前記ベローズ１０は、ポンプボディ４内に設けられて、流体を前記吸入流路６から吸入し且つ前記吐出流路７へ（本実施形態においては、前記中間流路８を介して前記吐出流路７へ）吐出するために軸心方向（図１の左右方向）に伸縮可能に構成されている。 The pump unit 2 includes a bellows 10. The bellows 10 is provided in the pump body 4 to suck fluid from the suction flow path 6 and to the discharge flow path 7 (in the present embodiment, the discharge flow path via the intermediate flow path 8). 7) It is configured to be extendable in the axial direction (left-right direction in FIG. 1) for discharging.

本実施形態において、前記ポンプボディ４は、前記仕切壁５と、前記仕切壁５の軸心方向一側（図１の右側）の側壁部に取り付けられた有底円筒状のポンプケーシング１１と、前記仕切壁５の軸心方向他側（図１の左側）の側壁部に取り付けられた有底円筒状のケーシング４１とによって構成されている。 In the present embodiment, the pump body 4 includes the partition wall 5 and a bottomed cylindrical pump casing 11 attached to a side wall portion on one side in the axial direction (right side in FIG. 1) of the partition wall 5; It is constituted by a bottomed cylindrical casing 41 attached to a side wall portion on the other side in the axial center direction of the partition wall 5 (left side in FIG. 1).

前記ポンプボディ４において、前記ベローズ１０は、前記仕切壁５と前記ポンプケーシング１１とにより囲まれて形成される前記ポンプケーシング１１の内部空間に配置されている。前記ベローズ１０は、軸心方向他側に開口周縁部１２を有し、この開口周縁部１２が前記仕切壁５と前記ポンプケーシング１１との間に接合されることで前記ポンプボディ４に固定されている。 In the pump body 4, the bellows 10 is disposed in an internal space of the pump casing 11 formed by being surrounded by the partition wall 5 and the pump casing 11. The bellows 10 has an opening peripheral edge 12 on the other side in the axial center direction, and the opening peripheral edge 12 is fixed to the pump body 4 by being joined between the partition wall 5 and the pump casing 11. ing.

前記ベローズ１０は、軸心方向一側に閉塞端部１３を有し、前記仕切壁５から前記ポンプケーシング１１の底壁部１６側へ突出するように設けられている。これにより、前記ベローズ１０を用いて、前記ポンプケーシング１１の内部空間が、前記ベローズ１０内に位置するポンプ作用室１４と、前記ベローズ１０外に位置するポンプ作動室１５とに密閉状に区画されている。 The bellows 10 has a closed end 13 on one side in the axial direction, and is provided so as to protrude from the partition wall 5 toward the bottom wall 16 of the pump casing 11. As a result, using the bellows 10, the internal space of the pump casing 11 is hermetically partitioned into a pump working chamber 14 located in the bellows 10 and a pump working chamber 15 located outside the bellows 10. ing.

そして、前記ベローズ１０は、筒状の蛇腹部１８を前記開口周縁部１２と前記閉塞端部１３との間に有し、前記ポンプケーシング１１の内部空間で前記閉塞端部１３を移動させるように、前記ポンプケーシング１１の軸心方向を伸縮方向として伸縮可能とされている。ここで、前記ベローズ１０は、ポリテトラフルオロエチレン(ＰＴＦＥ)等のフッ素樹脂から構成されている。 The bellows 10 has a cylindrical bellows portion 18 between the opening peripheral edge portion 12 and the closed end portion 13, and moves the closed end portion 13 in the internal space of the pump casing 11. The axial direction of the pump casing 11 can be expanded and contracted. Here, the bellows 10 is made of a fluororesin such as polytetrafluoroethylene (PTFE).

また、前記ポンプ部２においては、前記ポンプ作用室１４に、流体の吸入口２１と吐出口２２とが連通されている。前記吸入口２１は前記吸入流路６に連通され、前記吐出口２２は前記中間流路８に連通されている。前記吸入流路６と前記中間流路８との途中には、前記ベローズ１０の伸縮動作に伴って交互に開・閉動作し得る吸入側逆止弁２３及び吐出側逆止弁２４が設けられている。 In the pump unit 2, a fluid suction port 21 and a discharge port 22 are communicated with the pump working chamber 14. The suction port 21 communicates with the suction flow path 6, and the discharge port 22 communicates with the intermediate flow path 8. A suction-side check valve 23 and a discharge-side check valve 24 that can be alternately opened and closed as the bellows 10 expands and contracts are provided in the middle of the suction flow path 6 and the intermediate flow path 8. ing.

前記吸入側逆止弁２３は、前記吸入流路６から前記ベローズ１０内に向かう流体の流れのみを許容するように構成されている。即ち、前記吸入側逆止弁２３は、前記吸入流路６から前記ポンプ作用室１４に向かう流体の吸引を許容し、且つ、前記ポンプ作用室１４から前記吸入流路６に向かう流体の逆流を阻止し得るように構成されている。 The suction side check valve 23 is configured to allow only the flow of fluid from the suction flow path 6 into the bellows 10. That is, the suction-side check valve 23 allows the suction of fluid from the suction flow path 6 to the pump action chamber 14, and allows the backflow of fluid from the pump action chamber 14 to the suction flow path 6. It is configured to prevent it.

前記吐出側逆止弁２４は、前記ベローズ１０内から吐出流路となる前記中間流路８に向かう流体の流れのみを許容するように構成されている。即ち、前記吐出側逆止弁２４は、前記ポンプ作用室１４から前記中間流路８に向かう流体の吐出を許容し、且つ、前記中間流路８から前記ポンプ作用室１４に向かう流体の逆流を阻止し得るように構成されている。 The discharge-side check valve 24 is configured to allow only a fluid flow from the bellows 10 toward the intermediate flow path 8 serving as a discharge flow path. That is, the discharge side check valve 24 allows the discharge of the fluid from the pump working chamber 14 toward the intermediate flow path 8 and the reverse flow of the fluid from the intermediate flow path 8 toward the pump working chamber 14. It is configured to prevent it.

また、前記ポンプケーシング１１内には、前記ベローズ１０の伸縮方向一端部（前記閉塞端部１３）に連結された可動体２６が設けられている。前記可動体２６は、前記ベローズ１０を伸縮動作させるために、対向する前記ポンプケーシング１１の内面（前記底壁部１６の底面１７）に近接又は離間する方向（前記ポンプケーシング１１の軸心方向）に移動可能に構成されている。 In the pump casing 11, a movable body 26 is provided that is connected to one end of the bellows 10 in the expansion / contraction direction (the closed end 13). The movable body 26 is close to or away from the inner surface of the pump casing 11 (the bottom surface 17 of the bottom wall portion 16) facing the bellows 10 to extend and contract (the axial direction of the pump casing 11). It is configured to be movable.

前記可動体２６は、本実施形態においては、前記ベローズ１０の閉塞端部１３の端面に沿って広がる円板形状に形成され、この閉塞端部１３の端面を前記底壁部１６の底面１７側から覆うように、前記閉塞端部１３に固定されている。そして、前記ベローズポンプ１においては、前記可動体２６を移動させるための駆動装置が設けられている。 In the present embodiment, the movable body 26 is formed in a disk shape extending along the end surface of the closed end portion 13 of the bellows 10, and the end surface of the closed end portion 13 is formed on the bottom surface 17 side of the bottom wall portion 16. It is fixed to the closed end 13 so as to cover. The bellows pump 1 is provided with a driving device for moving the movable body 26.

前記駆動装置は、本実施形態においては、エアシリンダ３１及び図示しないコンプレッサ等の空気供給装置を備えている。前記エアシリンダ３１においては、前記可動体２６に軸部材２７が連結されている。この軸部材２７は、前記ポンプ作動室１５から前記ポンプケーシング１１の底壁部１６の略中央を貫通して当該ポンプケーシング１１の外側に突出するように設けられている。 In the present embodiment, the drive device includes an air cylinder 31 and an air supply device such as a compressor (not shown). In the air cylinder 31, a shaft member 27 is connected to the movable body 26. The shaft member 27 is provided so as to protrude from the pump working chamber 15 through the substantial center of the bottom wall portion 16 of the pump casing 11 and to protrude outside the pump casing 11.

前記軸部材２７の突出部分には、ピストン２８が固定されている。前記ピストン２８は、前記ポンプケーシング１１の底壁部１６に設けられたシリンダ２９内に配置され、このシリンダ２９に前記ベローズ１０の軸心（伸縮）方向に摺動可能に嵌合されている。前記ポンプケーシング１１の底壁部１６及び前記シリンダ２９には、それぞれに空気孔３２・３３が形成されている。 A piston 28 is fixed to the protruding portion of the shaft member 27. The piston 28 is disposed in a cylinder 29 provided on the bottom wall portion 16 of the pump casing 11, and is fitted to the cylinder 29 so as to be slidable in the axial center (extension / contraction) direction of the bellows 10. Air holes 32 and 33 are formed in the bottom wall portion 16 of the pump casing 11 and the cylinder 29, respectively.

そして、前記空気供給装置が、前記空気孔３２又は前記空気孔３３を通じて、加圧空気を前記ポンプ作動室１５と、前記シリンダ２９及び前記ピストン２８で囲まれた内部空間とに交互に供給することができるように構成されている。この加圧空気の供給によって、前記可動体２６を移動させるように前記エアシリンダ３１のピストン２８を前記ベローズ１０の軸心方向の往復動させて、前記ベローズ１０を伸縮動作させることができるようになっている。 The air supply device alternately supplies pressurized air to the pump working chamber 15 and the internal space surrounded by the cylinder 29 and the piston 28 through the air hole 32 or the air hole 33. It is configured to be able to. By supplying this pressurized air, the piston 28 of the air cylinder 31 is reciprocated in the axial direction of the bellows 10 so as to move the movable body 26 so that the bellows 10 can be expanded and contracted. It has become.

ここで、前記エアシリンダ３１には近接センサ３５・３６が取り付けられ、前記ピストン２８にはセンサ感知板３７が取り付けられている。そして、前記ピストン２８の往復動に伴って前記センサ感知板３７が前記近接センサ５５・５６に交互に近接することで、前記空気供給装置から送給される加圧空気の供給先が、前記ポンプ作動室１５内と前記シリンダ２９の内部空間との間で自動的に切り替えられるように構成されている。 Here, proximity sensors 35 and 36 are attached to the air cylinder 31, and a sensor sensing plate 37 is attached to the piston 28. As the piston 28 reciprocates, the sensor sensing plate 37 alternately approaches the proximity sensors 55 and 56, so that the supply destination of the pressurized air supplied from the air supply device is the pump. The interior of the working chamber 15 and the internal space of the cylinder 29 are automatically switched.

また、図１、図２に示すように、前記ポンプ部２においては、前記可動体２６と、この可動体２６に対向する前記ポンプボディ４（前記ポンプケーシング１１）の内面（前記底壁部１６の底面１７）との間に、前記ベローズ１０の伸長速度を減少させるためのクッション部材３８が備えられている。 As shown in FIGS. 1 and 2, in the pump portion 2, the movable body 26 and the inner surface (the bottom wall portion 16) of the pump body 4 (the pump casing 11) facing the movable body 26. A cushion member 38 for reducing the extension speed of the bellows 10 is provided between the bottom surface 17) and the bottom surface 17).

ここで、前記クッション部材３８は、前記ベローズポンプ１のポンプ性能の低下を抑制するという観点から、本実施形態のように、前記ベローズ１０の伸長過程の途中から前記ベローズ１０の伸長速度を減少させるように設けられることが好ましい。 Here, the cushion member 38 reduces the extension speed of the bellows 10 from the middle of the extension process of the bellows 10, as in the present embodiment, from the viewpoint of suppressing the deterioration of the pump performance of the bellows pump 1. It is preferable to be provided.

本実施形態において、前記クッション部材３８は、弾性を有する弾性体（具体的には、ゴム）から構成されており、環状に形成されている。前記クッション部材３８は、前記ベローズ１０の閉塞端部１３及び前記可動体２６よりも小径とされ、前記ポンプケーシング１１の内部空間で前記ベローズ１０及び前記可動体２６と同軸的に配置されている。 In the present embodiment, the cushion member 38 is made of an elastic body (specifically, rubber) having elasticity, and is formed in an annular shape. The cushion member 38 has a smaller diameter than the closed end portion 13 of the bellows 10 and the movable body 26, and is disposed coaxially with the bellows 10 and the movable body 26 in the internal space of the pump casing 11.

前記クッション部材３８は、本実施形態においては前記ポンプケーシング１１における前記底壁部１６に弾性変形可能に取り付けられている。前記クッション部材３８は、前記ベローズ１０が最収縮状態又はこの状態から所定量まで伸長した状態にあるときは、前記可動体２６に対して接触しないように所定距離隔てた位置に配置される。 In the present embodiment, the cushion member 38 is attached to the bottom wall portion 16 of the pump casing 11 so as to be elastically deformable. The cushion member 38 is disposed at a position separated by a predetermined distance so as not to contact the movable body 26 when the bellows 10 is in the most contracted state or in a state where the bellows 10 is extended to a predetermined amount from this state.

そして、前記クッション部材３８は、前記ベローズ１０の伸長時にその伸長量が前記所定量を超えると、前記可動体２６に接触して前記底壁部１６の底面１７側に向かって押される。前記クッション部材３８は、前記ベローズ１０の伸長に伴う前記可動体２６による押圧により弾性変形して圧縮され、前記ベローズ１０が予め設定されている最大伸長状態になることを許容する（図３参照）。 When the extension amount of the cushion member 38 exceeds the predetermined amount when the bellows 10 is extended, the cushion member 38 comes into contact with the movable body 26 and is pushed toward the bottom surface 17 side of the bottom wall portion 16. The cushion member 38 is elastically deformed and compressed by the pressure applied by the movable body 26 as the bellows 10 is extended, and allows the bellows 10 to reach a preset maximum extended state (see FIG. 3). .

また、図１に示すように、前記脈動抑制部３は、ベローズ４０を備えている。前記ベローズ４０は、流体を吸入流路（本実施形態においては、吸入流路として機能する前記中間流路８）から吸入し、且つ、前記吐出流路７へ吐出するために軸心方向（図１の左右方向）に伸縮可能に構成されている。 Further, as shown in FIG. 1, the pulsation suppressing unit 3 includes a bellows 40. The bellows 40 sucks fluid from a suction flow channel (in the present embodiment, the intermediate flow channel 8 functioning as a suction flow channel) and discharges the fluid to the discharge flow channel 7 in the axial direction (see FIG. 1 in the left-right direction).

本実施形態において、前記ベローズ４０は、前記仕切壁５と前記ケーシング４１とにより囲まれて形成される前記ケーシング４１の内部空間に配置されている。前記ベローズ４０は、軸心方向一側に開口周縁部４２有し、この開口周縁部４２が前記仕切壁５と前記ケーシング４１との間に接合されることで前記ポンプボディ４に固定されている。 In the present embodiment, the bellows 40 is disposed in an internal space of the casing 41 formed by being surrounded by the partition wall 5 and the casing 41. The bellows 40 has an opening peripheral edge 42 on one axial direction side, and the opening peripheral edge 42 is fixed to the pump body 4 by being joined between the partition wall 5 and the casing 41. .

前記ベローズ４０は、軸心方向他側に閉塞端部４３を有し、前記仕切壁５から前記ケーシング４１の底壁部側へ突出するように設けられている。これにより、前記ベローズ４０を用いて、前記ケーシング４１の内部空間が、前記ベローズ４０内に位置する液室４４と、前記ベローズ４０外に位置する気室４５とに密閉状に区画されている。 The bellows 40 has a closed end portion 43 on the other side in the axial direction, and is provided so as to protrude from the partition wall 5 to the bottom wall portion side of the casing 41. As a result, the internal space of the casing 41 is partitioned in a sealed manner using the bellows 40 into a liquid chamber 44 located inside the bellows 40 and an air chamber 45 located outside the bellows 40.

そして、前記ベローズ４０は、筒状の蛇腹部４８を前記開口周縁部４２と前記閉塞端部４３との間に有し、前記ケーシング４１の内部空間で前記閉塞端部４３を移動させるように、前記ケーシング４１の軸心方向を伸縮方向として伸縮可能とされている。ここで、前記ベローズ４０は、ＰＴＦＥ等のフッ素樹脂から構成されている。 The bellows 40 has a cylindrical bellows portion 48 between the opening peripheral edge portion 42 and the closed end portion 43, and moves the closed end portion 43 in the internal space of the casing 41. The casing 41 can be expanded and contracted with the axial direction of the casing 41 as the expansion and contraction direction. Here, the bellows 40 is made of a fluororesin such as PTFE.

また、前記脈動抑制部３においては、前記液室４４に、前記中間流路８と前記吐出流路７とが連通されている。前記ベローズ４０の閉塞端部４３に対向する位置には、前記ベローズ４０の不測の事態により生じ得る過度の伸長を規制するためのストッパ壁５１が、前記閉塞端部４３に対して所定の間隔を隔てて配置されている。 In the pulsation suppressing unit 3, the intermediate flow path 8 and the discharge flow path 7 are communicated with the liquid chamber 44. At a position facing the closed end portion 43 of the bellows 40, a stopper wall 51 for restricting excessive extension that may occur due to an unexpected situation of the bellows 40 is spaced a predetermined distance from the closed end portion 43. They are spaced apart.

そして、前記ケーシング４１に、自動給排気調整装置５２が設けられている。前記自動給排気調整装置５２は、前記ベローズ４０に過度の伸縮変形が起きないようにするために、前記液室４４の液圧と前記気室４５の気圧（封入圧）とをバランスさせ得るように構成されている。 The casing 41 is provided with an automatic air supply / exhaust adjustment device 52. The automatic air supply / exhaust adjustment device 52 can balance the liquid pressure in the liquid chamber 44 and the air pressure (enclosed pressure) in the air chamber 45 so that excessive expansion and contraction deformation does not occur in the bellows 40. It is configured.

具体的には、前記自動給排気調整装置５２は、前記液室４４の容量が所定範囲を越えて増大すると、前記気室４５へ吸気して当該気室４５の気圧を上昇させ、前記液室４４の容量が所定範囲を越えて減少すると、前記気室４５内から排気を行って封入圧を下降させるようになっている。 Specifically, when the capacity of the liquid chamber 44 increases beyond a predetermined range, the automatic air supply / exhaust adjustment device 52 sucks into the air chamber 45 to increase the air pressure in the air chamber 45, and When the capacity of 44 decreases beyond a predetermined range, the sealed pressure is lowered by exhausting from the inside of the air chamber 45.

次に、前記ベローズポンプ１の動作について説明する。 Next, the operation of the bellows pump 1 will be described.

前記ポンプ部２においては、前記空気供給装置からの加圧空気が前記空気孔３３を通じて前記エアシリンダ３１のシリンダ２９及びピストン２８で囲まれた内部空間に供給されると、前記ベローズ１０が図１の右方向に伸長する。これにより、前記ポンプ作用室１４が負圧となって、前記吐出側逆止弁２４が閉じる一方、前記吸入側逆止弁２３が開いて、前記吸入流路６からの流体が開位置にある前記吸入側逆止弁２３を経て前記ポンプ作用室１４内に吸入されることになる（吸入工程）。 In the pump unit 2, when the pressurized air from the air supply device is supplied to the internal space surrounded by the cylinder 29 and the piston 28 of the air cylinder 31 through the air hole 33, the bellows 10 is shown in FIG. 1. Elongate to the right. As a result, the pump working chamber 14 becomes negative pressure and the discharge side check valve 24 is closed, while the suction side check valve 23 is opened and the fluid from the suction flow path 6 is in the open position. The air is sucked into the pump working chamber 14 through the suction check valve 23 (suction process).

その後、前記空気供給装置からの加圧空気が前記空気孔３２を介して前記ポンプ作動室１５に供給されると、伸長状態にある前記ベローズ１０が図１の左方向に収縮する。これにより、前記吸入側逆止弁２３が閉じる一方、前記吐出側逆止弁２４が開いて、前記ポンプ作用室１４に吸入されて貯溜されていた流体が開位置にある前記吐出側逆止弁２４を経て前記中間流路８（前記吐出通路７）に向かって吐出されることになる（吐出工程）。 Thereafter, when pressurized air from the air supply device is supplied to the pump working chamber 15 through the air holes 32, the bellows 10 in the extended state contracts in the left direction in FIG. As a result, the suction-side check valve 23 is closed, while the discharge-side check valve 24 is opened, so that the fluid sucked and stored in the pump working chamber 14 is in the open position. 24 is discharged toward the intermediate flow path 8 (the discharge passage 7) (discharge process).

前記ベローズポンプ１の駆動時、前記ポンプ部２においては、このような吸入工程と吐出工程とが反復される。これにより、前記ポンプ部２の所定のポンプ動作が実行される。 When the bellows pump 1 is driven, such a suction process and a discharge process are repeated in the pump unit 2. Thereby, a predetermined pump operation of the pump unit 2 is executed.

また、本実施形態においては、前記ポンプ部２の吐出口２２から吐出された流体は、前記ポンプ部２の伸縮動作のために脈動流となって、前記中間流路８を介して前記脈動抑制部３のベローズ４０内に形成された前記液室４４内に送られる。そして、その流体が前記液室４４内で一時的に貯留された後、前記吐出流路７から前記脈動抑制部３（前記ベローズポンプ１）の外部に移送される。 Further, in the present embodiment, the fluid discharged from the discharge port 22 of the pump unit 2 becomes a pulsating flow due to the expansion / contraction operation of the pump unit 2, and the pulsation suppression is performed via the intermediate flow path 8. It is fed into the liquid chamber 44 formed in the bellows 40 of the section 3. Then, after the fluid is temporarily stored in the liquid chamber 44, the fluid is transferred from the discharge flow path 7 to the outside of the pulsation suppressing unit 3 (the bellows pump 1).

この際、前記ポンプ部２からの流体の吐出圧が増加傾向にあるときには、前記脈動抑制部３において、前記ベローズ４０が伸長して、前記液室４４の容量を増大させ、当該吐出圧を吸収する。そのため、前記液室４４から前記脈動抑制部３の外部に移送される流体の液量は、前記ポンプ部２から前記脈動抑制部３に向かって吐出される液量よりも少なくなる。 At this time, when the discharge pressure of the fluid from the pump unit 2 tends to increase, the bellows 40 expands in the pulsation suppressing unit 3 to increase the capacity of the liquid chamber 44 and absorb the discharge pressure. To do. Therefore, the amount of fluid transferred from the liquid chamber 44 to the outside of the pulsation suppressing unit 3 is smaller than the amount of liquid discharged from the pump unit 2 toward the pulsation suppressing unit 3.

この状態で流体の吐出圧が減少傾向に転じると、前記ベローズ４０の伸長により圧縮された前記気室４５内の封入圧よりも流体の圧力が低くなるので、前記ベローズ４０が収縮して、前記液室４４の容量を減少させる。そのため、前記液室４４から前記脈動抑制部３の外部に移送される流体の液量は、前記ポンプ部２から前記脈動抑制部３に向かって吐出される液量よりも多くなる。 When the fluid discharge pressure starts to decrease in this state, the pressure of the fluid becomes lower than the sealed pressure in the air chamber 45 compressed by the extension of the bellows 40, so that the bellows 40 contracts, The capacity of the liquid chamber 44 is reduced. Therefore, the amount of fluid transferred from the liquid chamber 44 to the outside of the pulsation suppressing unit 3 is larger than the amount of liquid discharged from the pump unit 2 toward the pulsation suppressing unit 3.

このような前記ベローズ４０の伸縮動作に伴う前記液室４４の容量変化の繰り返し動作によって、流体は、その脈動を減衰されつつ、前記脈動抑制部３から外部に移送されることとなる。これにより、前記ベローズポンプ１においては、流体が当該ベローズポンプ１から外部に向かって連続して円滑に吐出されるようになっている。 The fluid is transferred from the pulsation suppressing unit 3 to the outside while the pulsation is attenuated by the repeated operation of the volume change of the liquid chamber 44 accompanying the expansion and contraction operation of the bellows 40. Thereby, in the bellows pump 1, the fluid is continuously and smoothly discharged from the bellows pump 1 toward the outside.

そのうえ、前記ベローズポンプ１の吸入行程においては、図２に示すような状態の前記ベローズ１０が最収縮状態から伸長したとき、詳しくは、その伸長過程で前記所定量を超えて伸長したとき、その伸長により前記クッション部材３８（前記底壁部１６の底面１７）に近接する方向へ移動する前記可動体２６が前記クッション部材３８に接触して、前記ベローズ１０のさらなる伸長に伴ってその接触開始位置から最伸長状態に至るまでの間、前記クッション部材３８を前記ポンプケーシング１１の底壁部１６の底面１７側に向かって押す。この間、前記クッション部材３８は、前記ベローズ１０の伸長を阻止しないように弾性変形して圧縮される。そして、前記ベローズ１０は、図３に示すように、前記クッション部材３８を押しつつ最伸長状態に達する。 In addition, in the suction stroke of the bellows pump 1, when the bellows 10 in the state shown in FIG. 2 is extended from the most contracted state, more specifically, when the bellows 10 is extended beyond the predetermined amount in the extension process, The movable body 26 that moves in the direction approaching the cushion member 38 (the bottom surface 17 of the bottom wall portion 16) by extension contacts the cushion member 38, and the contact start position of the bellows 10 with further extension. The cushion member 38 is pushed toward the bottom surface 17 side of the bottom wall portion 16 of the pump casing 11 during the period from when the pump casing 11 reaches the maximum extension state. During this time, the cushion member 38 is elastically deformed and compressed so as not to prevent the bellows 10 from extending. Then, as shown in FIG. 3, the bellows 10 reaches the maximum extension state while pushing the cushion member 38.

このような前記ベローズ１０の伸長過程においては、前記ベローズ１０が最大まで伸長する途中（前記クッション部材３８に接触した時点）から前記クッション部材３８が前記ベローズ１０に対する抵抗となるため、それ以後には前記ベローズ１０の伸長速度が減少する。そのため、前記ベローズ１０が最伸長状態となる前段階で、前記吸入流路６から前記ベローズ１０内への流体の吸入速度が減少する。したがって、吸入行程から吐出行程に切り替わったとき、即ち前記ベローズ１０が伸長状態から収縮状態に切り替わったとき、閉塞状態になった前記吸入側逆止弁２３（弁体）に、前記吸入流路６の流体が比較的穏やかに衝突することとなる。 In the extension process of the bellows 10, the cushion member 38 becomes a resistance against the bellows 10 from the middle of the extension of the bellows 10 (when the bellows 10 contacts the cushion member 38). The extension speed of the bellows 10 decreases. Therefore, the suction speed of the fluid from the suction flow path 6 into the bellows 10 decreases before the bellows 10 reaches the maximum extension state. Therefore, when the suction stroke is switched to the discharge stroke, that is, when the bellows 10 is switched from the extended state to the contracted state, the suction side check valve 23 (valve body) that is in the closed state is connected to the suction flow path 6. The fluid will collide relatively gently.

よって、前記ベローズポンプ１の吸入行程から吐出行程への切り替わりの際にウォータハンマ現象を緩和することができ、このウォータハンマ現象に起因して発生する前記ベローズポンプ１の振動を低減することができる。その結果、前記ベローズポンプ１から当該ベローズポンプ１に接続された図示しない配管等へ伝播される振動も低減することができる。そのため、このような振動に起因する不具合（例えば、前記ベローズ１０の損傷、及び、前記ベローズ１０と前記配管等との接続箇所の損傷）の発生を極力回避することができる。 Therefore, when the bellows pump 1 is switched from the suction stroke to the discharge stroke, the water hammer phenomenon can be alleviated, and the vibration of the bellows pump 1 caused by the water hammer phenomenon can be reduced. . As a result, vibration propagated from the bellows pump 1 to a pipe (not shown) connected to the bellows pump 1 can also be reduced. Therefore, it is possible to avoid as much as possible the occurrence of problems caused by such vibrations (for example, damage to the bellows 10 and damage to the connection portion between the bellows 10 and the pipe).

そして、前記ベローズポンプ１の吐出工程の開始後には、前記ベローズ１０の収縮に伴って前記可動体２６が前記クッション部材３８（前記底壁部１６の底面１７）から離間する方向（前記仕切壁５側）へ移動するため、前記可動体２６による前記クッション部材３８の押圧が解除される。これにより、前記クッション部材３８は、圧縮状態（図３に示すような状態）から弾性復帰して元の状態（図２に示すような状態）に戻る。 After the start of the discharge process of the bellows pump 1, the movable body 26 is separated from the cushion member 38 (the bottom surface 17 of the bottom wall portion 16) as the bellows 10 contracts (the partition wall 5). , The pressing of the cushion member 38 by the movable body 26 is released. As a result, the cushion member 38 is elastically restored from the compressed state (the state shown in FIG. 3) and returns to the original state (the state shown in FIG. 2).

なお、本発明に係るクッション部材は、本実施形態においてはポンプケーシング１１に取り付けた前記クッション部材３８としているが、これに限定するものではなく、可動体に取り付けられたクッション部材としてもよい。 The cushion member according to the present invention is the cushion member 38 attached to the pump casing 11 in the present embodiment, but is not limited thereto, and may be a cushion member attached to a movable body.

なお、本発明に係るクッション部材は、本実施形態においては環状の単体の前記クッション部材３８としているが、これに限定するものではなく、複数のクッション部材としてもよい。この場合、複数のクッション部材が同一形状のものであれば、これらのクッション部材を可動体の軸心まわりに回りに均等に間隔を隔てて配置することが好ましい。 In the present embodiment, the cushion member according to the present invention is the annular single cushion member 38. However, the present invention is not limited to this, and a plurality of cushion members may be used. In this case, if the plurality of cushion members have the same shape, it is preferable that these cushion members are arranged evenly spaced around the axis of the movable body.

また、本発明に係るクッション部材は、本実施形態においてはゴムから構成された前記クッション部材としているが、これに限定されるものではなく、例えば、複数のスプリングから構成されたクッション部材としてもよい。 Further, the cushion member according to the present invention is the cushion member made of rubber in the present embodiment, but is not limited to this, and may be, for example, a cushion member made of a plurality of springs. .

［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態について説明する。 [Second Embodiment]
Next, a second embodiment of the present invention will be described.

図４に示すように、本実施形態に係るベローズポンプ８１は、第１実施形態に係る前記ベローズポンプ１が単胴型のベローズポンプであるのに対し、複胴型のベローズポンプである点で、第１実施形態に係る前記ベローズポンプ１と相違している。 As shown in FIG. 4, the bellows pump 81 according to the present embodiment is a multi-cylinder bellows pump, whereas the bellows pump 1 according to the first embodiment is a single-cylinder bellows pump. This is different from the bellows pump 1 according to the first embodiment.

本実施形態において、前記ベローズポンプ８１は、左右一対のポンプ部を対称に配置したものであって、各ポンプ部が相補的に動作することで大きな移送量が得られるようになっている。 In the present embodiment, the bellows pump 81 has a pair of left and right pump parts arranged symmetrically, and a large transfer amount can be obtained by each pump part operating in a complementary manner.

即ち、前記ベローズポンプ８１は、仕切壁８４とポンプケーシング８５とによって構成されたポンプボディ８３を備えている。前記ポンプケーシング８５は、円筒状の周壁部材８７と、この周壁部材８７の左右端にそれぞれに固設された側壁部材８８・８９を有している。このポンプケーシング８５内には、前記仕切壁８４を挟んで左右対称形に一対のベローズ９１・９２が設けられている。 That is, the bellows pump 81 includes a pump body 83 constituted by a partition wall 84 and a pump casing 85. The pump casing 85 includes a cylindrical peripheral wall member 87 and side wall members 88 and 89 fixed to the left and right ends of the peripheral wall member 87, respectively. In the pump casing 85, a pair of bellows 91 and 92 are provided symmetrically with respect to the partition wall 84.

前記各ベローズ９１・９２は、図１に示した前記ベローズポンプ１で使用されている前記ベローズ１０と実質的に同じ構成を有している。そして、前記ベローズ９１・９２では、それぞれの開口周縁部が環状固定板９３・９４により前記仕切壁８４の側壁部に気密状に固定される一方、それぞれの閉塞端部が可動体９７・９８と連結されている。前記可動体９７・９８は、前記仕切壁８４を貫通する複数の連結棒９９を介して連結されている。 The bellows 91 and 92 have substantially the same structure as the bellows 10 used in the bellows pump 1 shown in FIG. In the bellows 91 and 92, the peripheral edge portions of the openings are fixed to the side wall portion of the partition wall 84 by the annular fixing plates 93 and 94, respectively, while the closed end portions are movable bodies 97 and 98, respectively. It is connected. The movable bodies 97 and 98 are connected via a plurality of connecting rods 99 that penetrate the partition wall 84.

また、前記仕切壁８４には、流体を吸入するための吸入流路１０１と、流体を吐出するための吐出流路１０２とが形成されている。これらの吸入流路１０１と吐出流路１０２との間には、前記ベローズ９１の伸縮動作に伴って交互に開・閉動作し得る吸入側逆止弁１０３及び吐出側逆止弁１０４が設けられるとともに、前記ベローズ９２の伸縮動作に伴って交互に開・閉動作し得る吸入側逆止弁１０５及び吐出側逆止弁１０６が設けられている。 The partition wall 84 is formed with a suction channel 101 for sucking fluid and a discharge channel 102 for discharging fluid. Between the suction flow path 101 and the discharge flow path 102, there are provided a suction side check valve 103 and a discharge side check valve 104 that can be alternately opened and closed in accordance with the expansion and contraction of the bellows 91. In addition, a suction-side check valve 105 and a discharge-side check valve 106 are provided that can be alternately opened and closed as the bellows 92 expands and contracts.

そして、前記ポンプケーシング８５の内面（前記側壁部材８８・８９の内面）と前記各可動体９７・９８との間に、クッション部材１０８・１０９が設けられている。前記各クッション部材１０８・１０９は、前記ベローズ９１・９２の伸長過程の途中から当該ベローズ９１・９２の伸長速度を減少させるためのものであり、図１に示した前記ベローズポンプ１で使用されている前記クッション部材３８と実質的に同じ構成を有している。 Cushion members 108 and 109 are provided between the inner surface of the pump casing 85 (the inner surfaces of the side wall members 88 and 89) and the movable bodies 97 and 98, respectively. The cushion members 108 and 109 are for reducing the extension speed of the bellows 91 and 92 in the middle of the extension process of the bellows 91 and 92, and are used in the bellows pump 1 shown in FIG. The cushion member 38 has substantially the same configuration.

さらに、前記ポンプケーシング８５の側壁部材８８・８９には、それぞれ、図示しないコンプレッサ等の空気供給装置（駆動装置）から供給される加圧空気を前記ポンプケーシング８５内に供給するため、及び、前記ポンプケーシング８５内の空気を外部に排出するための空気孔１１１・１１２が形成されている。また、前記側壁部材８８・８９には、それぞれ、前記可動体９７・９８の位置を検出するための近接センサを取り付ける取付孔１１３・１１４が形成されている。 Further, the side wall members 88 and 89 of the pump casing 85 are respectively supplied with pressurized air supplied from an air supply device (drive device) such as a compressor (not shown) into the pump casing 85, and Air holes 111 and 112 for discharging the air in the pump casing 85 to the outside are formed. The side wall members 88 and 89 are provided with mounting holes 113 and 114 for attaching proximity sensors for detecting the positions of the movable bodies 97 and 98, respectively.

前記ベローズポンプ８１においては、前記空気供給装置からの加圧空気が前記空気孔１１１・１１２から交互に供給されて、左右の前記ベローズ９１・９２が交互に伸長・収縮動作した場合、図４の右側のポンプ部において前記ベローズ９２により前記吸入流路１０１から前記吸入側逆止弁１０５を経て流体が吸入されるときには（吸入工程）、図４の左側のポンプ部において前記ベローズ９１によりその内部に貯留されている流体が前記吐出側逆止弁１０４を経て前記吐出流路１０２から吐出されることになる（吐出工程）。 In the bellows pump 81, when pressurized air from the air supply device is alternately supplied from the air holes 111 and 112, and the left and right bellows 91 and 92 are alternately expanded and contracted, When fluid is sucked from the suction flow path 101 through the suction-side check valve 105 by the bellows 92 in the right pump section (suction process), the bellows 91 in the pump section on the left side in FIG. The stored fluid is discharged from the discharge flow path 102 through the discharge-side check valve 104 (discharge process).

一方、この場合に、図４の左側のポンプ部において前記ベローズ９１により前記吸入流路１０１から前記吸入側逆止弁１０３を経て流体が吸入されるときには（吸入工程）、図４の右側のポンプ部において前記ベローズ９２によりその内部に貯留されている流体が前記吐出側逆止弁１０６を経て前記吐出流路１０２から吐出されることになる（吐出工程）。 On the other hand, in this case, when the fluid is sucked from the suction flow path 101 through the suction side check valve 103 by the bellows 91 in the left pump section in FIG. 4 (suction process), the right pump in FIG. In the part, the fluid stored in the bellows 92 is discharged from the discharge flow path 102 through the discharge check valve 106 (discharge process).

以上のような構成により、前記ベローズポンプ１の駆動時、前記左右一対のポンプ部において、このような吸入工程と吐出工程とが反復される。これにより、前記ベローズポンプ８１の所定のポンプ動作が実行される。 With the above configuration, when the bellows pump 1 is driven, such a suction process and a discharge process are repeated in the pair of left and right pump parts. Thereby, a predetermined pump operation of the bellows pump 81 is executed.

そのうえ、前記左右一対のポンプ部に、それぞれ、前記クッション部材１０８・１０９が備えられているので、第１実施形態と同様に、前記ベローズポンプ８１の吸入行程から吐出行程への切り替わりの際にウォータハンマ現象を緩和することができ、このウォータハンマ現象に起因して発生する起因する前記ベローズポンプ８１の振動を低減できる。 In addition, since the pair of left and right pump portions are respectively provided with the cushion members 108 and 109, as in the first embodiment, when the bellows pump 81 is switched from the suction stroke to the discharge stroke, The hammer phenomenon can be alleviated, and the vibration of the bellows pump 81 caused by the water hammer phenomenon can be reduced.

１ベローズポンプ
４ポンプボディ
６吸入流路
７吐出流路
８中間流路
１０ベローズ
１１ポンプケーシング
１３ベローズの閉塞端部（ベローズの伸縮方向一端部）
１６底壁部
１７底壁部の底面（ポンプボディの内面）
２３吸入側逆止弁
２４吐出側逆止弁
２６可動体
３１エアシリンダ
３８クッション部材
８１ベローズポンプ
８３ポンプボディ
９１ベローズ
９２ベローズ
９７可動体
９８可動体
１０１吸入流路
１０２吐出流路
１０３吸入側逆止弁
１０４吐出側逆止弁
１０５吸入側逆止弁
１０６吐出側逆止弁
１０８クッション部材
１０９クッション部材 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Bellows pump 4 Pump body 6 Suction flow path 7 Discharge flow path 8 Intermediate flow path 10 Bellows 11 Pump casing 13 Closed end part of bellows (one end part of expansion / contraction direction of bellows)
16 Bottom wall 17 Bottom surface of bottom wall (inner surface of pump body)
23 Suction side check valve 24 Discharge side check valve 26 Movable body 31 Air cylinder 38 Cushion member 81 Bellows pump 83 Pump body 91 Bellows 92 Bellows 97 Movable body 98 Movable body 101 Suction flow path 102 Discharge flow path 103 Suction side check Valve 104 Discharge check valve 105 Suction check valve 106 Discharge check valve 108 Cushion member 109 Cushion member

Claims

流体を吸入するための吸入流路、及び、流体を吐出するための吐出流路を有するポンプボディと、前記ポンプボディ内に設けられて、流体を前記吸入流路から吸入し且つ前記吐出流路へ吐出するために伸縮可能に構成されたベローズと、前記ベローズの伸縮方向一端部に連結されて、前記ベローズを伸縮させるために前記ポンプボディの内面に近接又は離間する方向に移動可能に構成された可動体と、前記可動体を移動させるための駆動装置と、前記吸入流路から前記ベローズ内に向かう流体の流れのみを許容する吸入側逆止弁と、前記ベローズ内から前記吐出流路に向かう流体の流れのみを許容する吐出側逆止弁とを備えるベローズポンプにおいて、
前記可動体と前記ポンプボディの内面との間に、前記ベローズの伸長速度を減少させるためのクッション部材を備えることを特徴とするベローズポンプ。 A pump body having a suction flow path for sucking fluid and a discharge flow path for discharging fluid; and a pump body provided in the pump body for sucking fluid from the suction flow path and the discharge flow path The bellows is configured to be extendable and contractable to discharge to the bellows, and is connected to one end of the bellows in the expansion and contraction direction, and is configured to be movable in a direction approaching or separating from the inner surface of the pump body to expand and contract the bellows. A movable body, a drive device for moving the movable body, a suction-side check valve that allows only the flow of fluid from the suction flow path into the bellows, and the discharge flow path from the bellows to the discharge flow path. In a bellows pump comprising a discharge-side check valve that allows only the flow of fluid to the direction,
A bellows pump comprising a cushion member for reducing the extension speed of the bellows between the movable body and the inner surface of the pump body.

前記クッション部材は、前記ベローズの伸長過程の途中から当該ベローズの伸長速度を減少させるように設けられていることを特徴とする請求項１に記載のベローズポンプ。 The bellows pump according to claim 1, wherein the cushion member is provided so as to reduce the extension speed of the bellows in the middle of the extension process of the bellows.