JP2015110485A - グラフェンおよびその製造方法 - Google Patents
グラフェンおよびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015110485A JP2015110485A JP2012038609A JP2012038609A JP2015110485A JP 2015110485 A JP2015110485 A JP 2015110485A JP 2012038609 A JP2012038609 A JP 2012038609A JP 2012038609 A JP2012038609 A JP 2012038609A JP 2015110485 A JP2015110485 A JP 2015110485A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- graphene
- sic substrate
- sic
- less
- surface roughness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y40/00—Manufacture or treatment of nanostructures
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y30/00—Nanotechnology for materials or surface science, e.g. nanocomposites
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B32/00—Carbon; Compounds thereof
- C01B32/15—Nano-sized carbon materials
- C01B32/182—Graphene
- C01B32/184—Preparation
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Composite Materials (AREA)
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
Abstract
【課題】SiCを用いた熱分解法において、高い結晶品質のグラフェンを得る。【解決手段】まず、第1工程S101で、不活性な雰囲気にSiC基板を配置する。次に、第2工程S102で、不活性な雰囲気でSiC基板を加熱してSiC基板の表面のシリコンを蒸発させてSiC基板の表面にグラフェンを形成する。第2工程S102において、形成されるグラフェンの表面の二乗平均面粗さが0.5nm以下となる製造条件で行う。表面の二乗表面粗さが0.5nm以下であるグラフェンは、1層の状態であり、結晶欠陥などの発生が抑制されて高品質な結晶状態が得られている。【選択図】 図1
Description
本発明は、SiC基板の上に形成されたグラフェンおよびその製造方法に関するものである。
グラファイトは黒鉛とも呼ばれ、炭素の同素体のひとつで層状の物質であり、導電性の物質である。グラフェンは、厳密にはグラファイトを構成する1原子層分の層状の膜を指し、炭素原子がsp2結合(sp2混成軌道による結合)で同じ面内に結合を作って六角形を形成し、これが平面状に広がったシート状の物質である。
このようなグラフェンによる2〜3原子層以下(1原子層も含む)で構成される物質を用いた様々な電子デバイスの作成が研究開発されている。このような中で、バルクのグラファイトとは異なるグラフェンの物理的な特性が次々に発見され、非常に多くの注目を集めている。また、グラフェン層が10層以下で構成される物質については、上述したようにバルクのグラファイトとは異なって2次元的な特性を示すため、広義でグラフェンと呼ばれるようになってきた。
このようなグラフェンの形成方法に熱分解法がある。熱分解法は、真空中またはAr雰囲気中など不活性な雰囲気で、SiCを高温に加熱してグラフェン層をSiC表面に形成する方法である。真空中または不活性な希ガスであるArなどの雰囲気中で、1000℃以上に加熱すると、SiC表面で熱分解が起き、シリコン原子が蒸発する。このとき、炭素原子が表面に残り、残った炭素原子が整ったSiC表面の原子配列に影響を受けてエピタキシャルにグラフェン層を形成する(非特許文献1参照)。
この熱分解法は、グラフェンの産業レベルでの製造方法として期待されており、ほぼ1層のグラフェンが形成可能とされている。例えば、熱分解法では、形成可能なグラフェンの面積がSiC基板の面積に依存するため、大面積のSiC基板を用いることで、大面積に単結晶のグラフェンが形成可能となる。
K. V. Emtsev et al. , "Epitaxial graphene: How silicon leaves the scene", Nature Mater, vol.8, pp.203-206, 2009.
しかしながら、上述した熱分解法において、SiCの結晶基板上におけるステップ端で、グラフェンが2層に形成されやすいなどの、高品質なグラフェン形成における問題がある。表面より2層目のグラフェンには、結晶欠陥が多く含まれている場合が多く、結晶品質の低下を招く原因となっている。このように、結晶品質が低いグラフェンは、デバイス応用への障害となる。
本発明は、以上のような問題点を解消するためになされたものであり、SiCを用いた熱分解法において、高い結晶品質のグラフェンを得ることを目的とする。
本発明に係るグラフェンは、SiCの表面に形成されたものであって、表面の二乗表面粗さが0.5nm以下である。また、SiC表面の結晶構造に由来するグラフェン表面の原子層ステップの段差が、1nm以下となっている。
本発明に係るグラフェンの製造方法は、不活性な雰囲気にSiC基板を配置する第1工程と、不活性な雰囲気でSiC基板を加熱してSiC基板の表面のシリコンを蒸発させてSiC基板の表面にグラフェンを形成する第2工程とを少なくとも備え、第2工程は、温度条件を含む製造条件が、上記グラフェンの二乗平均面粗さが0.5nm以下となる範囲で行う。
上記グラフェンの製造方法において、第2工程では、SiC基板表面の結晶構造に由来するグラフェン表面の原子層ステップの段差が、1nm以下となる温度条件および圧力条件で行えばよい。
以上説明したことにより、本発明によれば、SiCを用いた熱分解法において、高い結晶品質のグラフェンを得ることができるようになるという優れた効果が得られる。
以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。図1は、本発明の実施の形態におけるグラフェンの製造方法を説明するためのフローチャートである。この製造方法は、まず、第1工程S101で、不活性な雰囲気にSiC基板を配置する。次に、第2工程S102で、不活性な雰囲気でSiC基板を加熱してSiC基板の表面のシリコンを蒸発させてSiC基板の表面にグラフェンを形成する。
ここで、重要なことは、第2工程S102において、形成されるグラフェンの表面の二乗平均面粗さが0.5nm以下となる製造条件で行うことである。このため、例えば、第3工程S103で、形成されたグラフェンの二乗平均面粗さ(表面粗さ)を測定し、この表面粗さが、0.5nm以下になっていることを確認する。例えば、原子間力顕微鏡(Atomic Force Microscope;AFM)などの走査型プローブ顕微鏡(SPM)を用いた表面の観察により、二乗平均面粗さが測定できる。
この確認で、表面粗さが0.5nm以下になっていない場合、工程S104で、温度条件を含む製造条件を変更し、再度、第2工程S102で、不活性な雰囲気でSiC基板を加熱してSiC基板の表面のシリコンを蒸発させてSiC基板の表面にグラフェンを形成する。これらの工程S102〜工程S104を繰り返し、第3工程S103で、形成されたグラフェンの表面粗さが、0.5nm以下になっていることを確認したら、終了とする。
上述した実施の形態に説明したように、SiCを用いた熱分解法によるグラフェンの製造において、形成されるグラフェンの表面粗さが0.5nm以下となる製造条件でグラフェンを形成することで、均一な1層のグラフェンが形成できるようになる。また、表面の二乗表面粗さが0.5nm以下であるグラフェンは、1層の状態であり、結晶欠陥などの発生が抑制されて高品質な結晶状態が得られている。
次に、SiCを用いた熱分解法によるグラフェンでは、均一な1層グラフェンの表面粗さが0.5nm以下となることについて、より詳細に説明する。
まず、発明者らの鋭意研究の結果、熱分解法によりSiC基板の表面に形成したグラフェンにおいて、1層と2層とが形成される層数不均一の状態では、ステップ端に2層グラフェンが形成されていることが判明した。
熱分解法では、SiC基板表面のステップ(結晶構造)の状態が、形成されるグラフェンの表面の状態(原子層ステップ)に反映され、1層グラフェンが成長しているステップ端の部分より、2層グラフェンが成長している場合がある。これは、SiC基板表面のステップ端が分解されやすく、分解によりシリコンが脱離してステップ端が後退し、2層目のグラフェンを形成するための炭素の供給源になっていることが原因と考えられる。また、このような層数不均一の箇所においては、上述した表面粗さが、0.5nmを超えていることが判明した。また、この表面粗さが、熱分解法における温度条件や圧力条件などの製造条件により変化することが判明した。
表面粗さと製造条件(温度条件)との関係について実験した結果について説明する。まず、(0001)面とした4H−SiCからなる10mm角の試料基板を用意し、試料基板の表面を硫酸と過酸化水素との混合液および希弗酸により洗浄した。この試料基板を用い、アルゴン雰囲気(13332.2Pa)において、設定した温度で25分間の加熱処理により、グラフェンを形成する実験を行った。加熱処理は、赤外線加熱装置(SR1800;株式会社サーモ理工製)を用いて行った。加熱の温度条件(設定値)は、1600℃、1625℃、1650℃とした。
また、形成したグラフェンの表面粗さ(RMS;二乗平均面粗さ)を、走査プローブ顕微鏡(SPA400;SII−NT製)による観察結果(AFMタッピングモード測定)より算出した。RMSは、よく知られているように、走査プローブ顕微鏡を用いた解析により求めることができる。また、形成したグラフェンの膜質の均一性を、顕微ラマン分光装置(InVia Reflex;Renishaw製)を用い、励起波長λex=523nmで観察した。均一性の指標としては、層数分布を反映する2D−ピークの半値幅(FWHM)を用いた(非特許文献1参照)。
まず、図2に、温度条件1600℃で形成したグラフェンの結果について示す。図2の(a)は、走査プローブ顕微鏡観察による形状像を示す写真であり、図2の(b)は、走査プローブ顕微鏡観察による位相像を示す写真である。1600℃の条件では、加熱前のSiC基板の表面に比較して表面粗さは増大しているが、増大の量は比較的小さい。また、図2の(a)に示されているように、比較的揃ったステップ−テラス構造となっていることがわかる。この温度条件では、走査プローブ顕微鏡観察により、RMS=0.29が算出された。これは、SiC基板表面の結晶構造に由来するグラフェン表面の原子層ステップの段差が、1nm以下となっている状態である。なお、図2の(b)に示されているように、SiCが残っている状態が観察される。
また、図2の(c)に示すように、ラマンスペクトルは、Gバンドと2Dバンドとに高いピークが観察され、GバンドのピークとDバンドのピークとの強度比より、高い結晶性で形成されていることがわかる。また、図2の(d)に示すように、2DピークのFWHMが揃った状態が観察され、均一な1層のグラフェンが形成されていることがわかる。
次に、図3に、温度条件1625℃で形成したグラフェンの結果について示す。図3の(a)は、走査プローブ顕微鏡観察による形状像を示す写真であり、図3の(b)は、走査プローブ顕微鏡観察による位相像を示す写真である。1625℃の条件でも、加熱前のSiC基板の表面に比較して表面粗さは増大しているが、増大の量は比較的小さい。また、図3の(a)に示されているように、比較的揃ったステップ−テラス構造となっていることがわかる。この温度条件では、走査プローブ顕微鏡観察により、RMS=0.29が算出された。これは、SiC基板表面の結晶構造に由来するグラフェン表面の原子層ステップの段差が、1nm以下となっている状態である。なお、この条件では、図3の(b)に示すように、アーティファクト(artifact)が観察されている。
また、図3の(c)に示すように、ラマンスペクトルは、Gバンドと2Dバンドとに高いピークが観察され、GバンドのピークとDバンドのピークとの強度比より、高い結晶性で形成されていることがわかる。また、図3の(d)に示すように、2DピークのFWHMが揃った状態が観察され、均一な1層のグラフェンが形成されていることがわかる。
次に、図4に、温度条件1650℃で形成したグラフェンの結果について示す。図4の(a)は、走査プローブ顕微鏡観察による形状像を示す写真であり、図4の(b)は、走査プローブ顕微鏡観察による位相像を示す写真である。1650℃の条件では、ステップバンチングが起こり、1層の状態と2層(bilayer)の状態とが観察されている。この温度条件では、走査プローブ顕微鏡観察により、RMS=0.74が算出された。これは、SiC基板表面の結晶構造に由来するグラフェン表面の原子層ステップの段差が、1nmを超えている状態である。
上述した状態は、図4の(c)のラマンスペクトルの結果にも表れており、1層の存在と2層の存在とが示されている。また、図4の(d)に示すように、2DピークのFWHMには、2層以上のグラフェンの存在を示す大きな半値幅の成分が観察される。このように、温度条件1650℃で形成したグラフェンでは、均一なグラフェンが形成されていないことがわかる。
以上に説明したように、温度などの製造条件により、形成されるグラフェンの状態が変化し、また、測定される表面粗さ(RMS)が大きい場合、均一なグラフェンが形成されていないことがわかる。様々な検討の結果、RMS=0.5nmを超えている場合、2層の状態が観察されるようになり、均一なグラフェンが形成されなくなることが判明した。従って、表面の粗さがRMS=0.5nm以下のグラフェンであれば、均一な1層のグラフェンの状態であり、高い結晶品質のグラフェンである。また、形成されるグラフェン表面の粗さが、RMS=0.5nmを超えないように製造条件を設定することで、均一な1層のグラフェンが製造できることがわかる。なお、二乗平均面粗さが0.5nm以下となる範囲は、単結晶のSiC基板を用いて熱分解法によりグラフェンを形成する場合、SiC基板表面の結晶構造に由来するグラフェン表面の原子層ステップの段差が、1nm以下となっている状態に相当する。
次に、上述した各条件で製造したグラフェンの移動度測定結果について説明する。移動度は、よく知られた「Van der Pauw」法により測定した。図5は、上述した各条件で製造したグラフェンの移動度測定結果を示す特性図である。図5において、黒丸が1600℃の条件で製造したグラフェンの移動度測定結果、黒四角が1625℃の条件で製造したグラフェンの移動度測定結果、黒三角が1650℃の条件で製造したグラフェンの移動度測定結果である。図5から明らかなように、1層のグラフェンが形成されている1600℃,1625℃の条件では、移動度が最高2100cm2/Vsの結果が得られた。
以上に説明したように、本発明によるグラフェンは、表面の二乗表面粗さが0.5nm以下であるので、均一な1層のグラフェンの状態であり、高い結晶品質となっている。また、本発明によれば、温度条件を含む製造条件が、形成されるグラフェンの二乗平均面粗さが0.5nm以下となる範囲で行うようにしたので、SiCを用いた熱分解法により、均一な状態で1層のグラフェンが形成できるようになる。
なお、本発明は以上に説明した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想内で、当分野において通常の知識を有する者により、多くの変形および組み合わせが実施可能であることは明白である。例えば、上述では、主に、温度条件について説明したが、製造条件としてはこれに限るものではない。不活性な雰囲気の圧力など他の条件についても、形成されるグラフェンの二乗平均面粗さが0.5nm以下となる範囲で行うようにすればよい。
Claims (4)
- SiCの表面に形成されたグラフェンであって、
前記グラフェンの表面の二乗表面粗さが0.5nm以下である
ことを特徴とするグラフェン。 - 請求項1記載のグラフェンにおいて、
前記SiC表面の結晶構造に由来する前記グラフェン表面の原子層ステップの段差が、1nm以下となっていることを特徴とするグラフェン。 - 不活性な雰囲気にSiC基板を配置する第1工程と、
不活性な雰囲気で前記SiC基板を加熱して前記SiC基板の表面のシリコンを蒸発させて前記SiC基板の表面にグラフェンを形成する第2工程と
を少なくとも備え、
前記第2工程は、温度条件を含む製造条件が、前記グラフェンの二乗平均面粗さが0.5nm以下となる範囲で行う
ことを特徴とするグラフェンの製造方法。 - 請求項3記載のグラフェンの製造方法において、
前記第2工程では、前記SiC基板表面の結晶構造に由来する前記グラフェン表面の原子層ステップの段差が、1nm以下となる温度条件および圧力条件で行うことを特徴とするグラフェンの製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012038609A JP2015110485A (ja) | 2012-02-24 | 2012-02-24 | グラフェンおよびその製造方法 |
PCT/JP2013/054466 WO2013125669A1 (ja) | 2012-02-24 | 2013-02-22 | グラフェンおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012038609A JP2015110485A (ja) | 2012-02-24 | 2012-02-24 | グラフェンおよびその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015110485A true JP2015110485A (ja) | 2015-06-18 |
Family
ID=49005846
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012038609A Pending JP2015110485A (ja) | 2012-02-24 | 2012-02-24 | グラフェンおよびその製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2015110485A (ja) |
WO (1) | WO2013125669A1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017188382A1 (ja) * | 2016-04-27 | 2017-11-02 | 学校法人関西学院 | グラフェン前駆体付きSiC基板の製造方法及びSiC基板の表面処理方法 |
US10283594B2 (en) | 2016-09-02 | 2019-05-07 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | SiC structure, semiconductor device having SiC structure, and process of forming the same |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6560594B2 (ja) * | 2015-11-06 | 2019-08-14 | 住友電気工業株式会社 | 積層体および電子素子 |
US11881394B2 (en) | 2019-07-05 | 2024-01-23 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Stack, electronic device, and method for manufacturing stack |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2351706B1 (en) * | 2008-08-28 | 2017-07-05 | National University Corporation Nagoya University | Method for producing graphene/sic composite material and graphene/sic composite material obtained by same |
JP5644175B2 (ja) * | 2010-04-27 | 2014-12-24 | 和人 山内 | SiC基板へのグラフェン成膜方法 |
-
2012
- 2012-02-24 JP JP2012038609A patent/JP2015110485A/ja active Pending
-
2013
- 2013-02-22 WO PCT/JP2013/054466 patent/WO2013125669A1/ja active Application Filing
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017188382A1 (ja) * | 2016-04-27 | 2017-11-02 | 学校法人関西学院 | グラフェン前駆体付きSiC基板の製造方法及びSiC基板の表面処理方法 |
JPWO2017188382A1 (ja) * | 2016-04-27 | 2019-03-07 | 学校法人関西学院 | グラフェン前駆体付きSiC基板の製造方法及びSiC基板の表面処理方法 |
US10283594B2 (en) | 2016-09-02 | 2019-05-07 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | SiC structure, semiconductor device having SiC structure, and process of forming the same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2013125669A1 (ja) | 2013-08-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Wang et al. | Surface monocrystallization of copper foil for fast growth of large single‐crystal graphene under free molecular flow | |
Yu et al. | New synthesis method for the growth of epitaxial graphene | |
Hwang et al. | Correlating defect density with carrier mobility in large-scaled graphene films: Raman spectral signatures for the estimation of defect density | |
Hu et al. | Controlled growth and photoconductive properties of hexagonal SnS 2 nanoflakes with mesa-shaped atomic steps | |
Meng et al. | Synthesis of in-plane and stacked graphene/hexagonal boron nitride heterostructures by combining with ion beam sputtering deposition and chemical vapor deposition | |
Son et al. | Direct growth of graphene pad on exfoliated hexagonal boron nitride surface | |
TWI588285B (zh) | 在基板上成長碳薄膜或無機材料薄膜的方法 | |
US8288190B2 (en) | Methods of making heterojunction devices | |
Mogera et al. | Highly decoupled graphene multilayers: turbostraticity at its best | |
US20100021708A1 (en) | Large-Area Single- and Few-Layer Graphene on Arbitrary Substrates | |
CA2851428A1 (en) | Rapid synthesis of graphene and formation of graphene structures | |
Tai et al. | Atomic‐scale fabrication of in‐plane heterojunctions of few‐layer MoS2 via in situ scanning transmission electron microscopy | |
Kim et al. | The effects of the crystalline orientation of Cu domains on the formation of nanoripple arrays in CVD-grown graphene on Cu | |
Lee et al. | Scanning electron microscopy characterization of structural features in suspended and non-suspended graphene by customized CVD growth | |
Castrucci et al. | Raman investigation of air-stable silicene nanosheets on an inert graphite surface | |
Li et al. | Controllable atmospheric pressure growth of mono-layer, bi-layer and tri-layer graphene | |
Mendoza et al. | Large-area bilayer graphene synthesis in the hot filament chemical vapor deposition reactor | |
Bogdanowicz et al. | Growth and isolation of large area boron‐doped nanocrystalline diamond sheets: a route toward Diamond‐on‐Graphene heterojunction | |
Liu et al. | Multi-layered nanostructure Bi2Se3 grown by chemical vapor deposition in selenium-rich atmosphere | |
JP2015110485A (ja) | グラフェンおよびその製造方法 | |
Zhu et al. | Real-time observation of graphene layer growth: Coupling of the interlayer spacing with thickness | |
Liu et al. | Chemical vapor deposition graphene of high mobility by gradient growth method on an 4H-SiC (0 0 0 1) substrate | |
Hong et al. | Controlled growth of in-plane graphene/h-BN heterostructure on a single crystal Ge substrate | |
Sun et al. | Selenium-assisted controlled growth of graphene–Bi2Se3 nanoplates hybrid Dirac materials by chemical vapor deposition | |
Chen et al. | A graphite enclosure assisted synthesis of high-quality patterned graphene on 6H–SiC by ion implantation |