JP2015103259A - タッチセンサ - Google Patents
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Abstract
【課題】拡散による中間層の腐食及び性能低下を拡散防止膜により防止することができるとともに、拡散による性能低下を防止することで、作動信頼性を向上させることができるタッチセンサを提供する。【解決手段】本発明のタッチセンサは、基板10と、基板10上の電極100と、を含み、電極100は、基板10と接触して形成される第1拡散バリア膜310と、第1拡散バリア膜310上に形成される中間層350と、中間層350上に形成される第2拡散バリア膜320と、を備えるものである。【選択図】図3
Description
本発明は、タッチセンサに関する。
デジタル技術を用いるコンピュータが発達するに伴い、コンピュータの補助装置もともに開発されており、パソコン、携帯用送信装置、その他の個人用の情報処理装置などは、キーボード、マウスなどの様々な入力装置(Input Device)を利用してテキスト及びグラフィック処理を行う。
しかし、情報化社会の急速な進行により、コンピュータの用途が益々拡大する傾向にあるため、現在、入力装置の役割を担当しているキーボード及びマウスだけでは、効率的な製品の駆動が困難であるという問題点がある。従って、簡単で誤操作が少なく、誰でも簡単に情報を入力することができる機器の必要性が高まっている。
また、入力装置に関する技術は、一般的な機能を満たす水準を越えて、高信頼性、耐久性、革新性、設計及び加工に関する技術などが注目されており、このような目的を達成するために、テキスト、グラフィックなどの情報入力が可能な入力装置として、タッチスクリーンパネル(Touch screen panel)が開発された。
さらに、スマート(Smart)機器の登場によりタッチスクリーンパネル(TSP)市場が拡大しており、このようなタッチセンサは、電子手帳、液晶表示装置(LCD;Liquid Crystal Display Device)、PDP(Plasma Display Panel)、El(Electroluminescence)などの平板ディスプレイ装置及びCRT(Cathode Ray Tube)などの画像ディスプレイの表示面に設けられ、ユーザが画像ディスプレイを見ながら所望の情報を選択するように利用される機器である。
タッチパネルの種類は、抵抗膜方式(Resistive Type)、静電容量方式(Capacitive Type)、電磁方式(Electro−Magnetic Type)、表面弾性波方式(SAW Type;Surface Acoustic Wave Type)及び赤外線方式(Infrared Type)に区分される。
このような多様な方式のタッチパネルは、信号増幅の問題、解像度の差、設計及び加工技術の難易度、光学的特性、電気的特性、機械的特性、耐環境特性、入力特性、耐久性及び経済性を考慮して電子製品に採用されるが、現在、もっとも幅広い分野で用いられている方式は、抵抗膜方式タッチパネル及び静電容量方式タッチパネルである。
静電方式の金属(metal)センサは、その金属の種類及び構造が多様であるが、視認性などの問題により、透明伝導性金属であるITO(In−Sn−Oxide)が主に用いられている。しかし、最近、希土類金属の価格上昇により、ITOのインジウムが原価上昇の要因となっている。また、ITOは、高温工程を必要とするため、熱に脆弱な基板に用いるには不利である。さらに、ITOは、脆性(brittle)が弱くて壊れやすい欠点がある。したがって、他の伝導性金属に対する金属センサとして用いるために、金属をメッシュ(mesh)状(以下、「金属メッシュ」)に製造したセンサが開発されている。
今後の金属メッシュ(metal mesh)市場は、益々拡大すると考えられる。しかし、タッチセンサを含む素子の高集積化により、前記素子における薄膜層の線幅は、さらに減少しており、薄膜層はさらに多層化している。このような状況で、金属配線及びシリコンを含む基板の間では、拡散による多くの問題点が発生している。このような理由から、金属とシリコンとの間の拡散を防止しようとする試みが多くなされている。
現在、アルミニウム(Al)、銀(Ag)、銅(Cu)などの伝導性金属からなる金属メッシュを用いたタッチセンサが開発されている。このうち銅(Cu)を金属メッシュに用いる場合、アルミニウム(Al)より優れた電気伝導度を有し、価格も銀(Ag)より安価であるため、最近脚光を浴びている。
しかし、銅の欠点による問題がある。銅は、熱力学的に不安定であって、接合(contact)物質と反応し易く、酸化性雰囲気で酸化され易く、大部分の絶縁物質との接着(adhesion)特性が劣るという欠点がある。また、銅は、腐食し易く、銅の固有な赤い色によって、金属メッシュの視認性の向上に問題がある。さらに、銅は、他の媒質への拡散(diffusion)が最も発生し易い金属として知られている。したがって、上記の欠点を克服するために、銅層の上部または下部にバリア金属(barrier metal)を蒸着することが一般的である。
特に、ウィンドウが一体となっているタッチセンサは、酸化ケイ素(SiO2)を含有するガラス上に金属メッシュセンサを形成するが、この際、銅とシリコン(Si)との反応性が問題となり得る。
非特許文献1に図示されたグラフを参照すれば、銅及びニッケル(Ni)は、他の金属に比べシリコン(Si)との溶解度(solubility)が高いことが分かる。また、線幅の減少により高熱が発生するが、上記の熱は拡散を加速化させ得る。この拡散は、比抵抗を増加させる原因となり、電極だけでなく、回路全体の信頼性を低下させる原因となる。
また、銅とニッケルとの拡散係数(diffusion coefficient)も他の金属に比べ高い。即ち、低い温度でも、粒界拡散(grain boundary diffusion)により相互拡散(diffusion)が発生して、性能低下の原因となり得る。したがって、上記の拡散を防止できる拡散防止膜が必要である。
Solubilites of 3d metals in silicon SJ.D.McBrayer,R.M.Swanson,and T.W.Sigmon,J.Electrochem.Soc.,Vol.133,pp1242−1246,1986
そこで、本発明者らは、タッチセンサの電極において、融点が2000℃以上の遷移金属からなる拡散防止膜を中間層の上部及び下部に配置することで、中間層の腐食が防止でき、拡散による性能低下が防止できることを確認し、本発明はこれに基づいてなされた。
したがって、本発明の一つの目的は、拡散による中間層の腐食及び性能低下を拡散防止膜により防止することができるタッチセンサを提供することにある。
本発明の他の目的は、拡散による性能低下を防止することで、作動信頼性を向上させることができるタッチセンサを提供することにある。
本発明の一つの目的を達成するためのタッチセンサ(以下、「第1発明」)は、基板と、前記基板上の電極と、を含み、前記電極は、前記基板と接触して形成される第1拡散バリア膜と、前記第1拡散バリア膜上に形成される中間層と、前記中間層上に形成される第2拡散バリア膜と、を備える。
第1発明において、前記第1、2拡散バリア膜は、遷移金属で形成される。
第1発明において、前記第1、2拡散バリア膜は、融点(melting point)が2000℃以上の金属で形成される。
第1発明において、前記第1、2拡散バリア膜は、マンガン(Mn)、ニオブ(Nb)、モリブデン(Mo)、ルテニウム(Ru)、ハフニウム(Hf)、タンタル(Ta)、タングステン(W)、イリジウム(Ir)、及びこれらの少なくとも一つを含む合金からなる群から選択される何れか一つで形成される。
第1発明において、前記第1拡散バリア膜と前記第2拡散バリア膜は、互いに同一の物質で形成される。
第1発明において、前記第1拡散バリア膜と前記第2拡散バリア膜は、互いに異なる物質で形成される。
第1発明において、前記中間層は、銅(Cu)、銀(Ag)、金(Au)、アルミニウム(Al)、及びこれらの少なくとも一つを含む合金からなる群から選択される何れか一つで形成される。
第1発明において、前記基板は、ウィンドウ基板または絶縁フィルムである。
第1発明において、前記基板は、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリカーボネート(PC)、ポリメチルメタクリレート(PMMA)、ポリエチレンナフタレート(PEN)、ポリエーテルスルフォン(PES)、環状オレフィンコポリマー(COC)、トリアセチルセルロース(Triacetylcellulose;TAC)フィルム、ポリビニルアルコール(Polyvinyl alcohol;PVA)フィルム、ポリイミド(Polyimide;PI)フィルム、ポリスチレン(Polystyrene;PS)、二軸延伸ポリスチレン(K樹脂含有biaxially oriented PS;BOPS)、ガラスまたは強化ガラスからなる群から選択される何れか一つで形成される。
第1発明において、前記電極の線幅は、1〜5μmの範囲に形成される。
第1発明において、前記電極の厚さは、0.05〜3μmの範囲に形成される。
第1発明において、前記第1拡散バリア膜の厚さは、1〜500nmの範囲に形成される。
第1発明において、前記第2拡散バリア膜の厚さは、1〜500nmの範囲に形成される。
第1発明において、前記中間層の厚さは、0.03〜2μmの範囲に形成される。
第1発明において、前記電極は、電極パターンまたは電極配線である。
第1発明において、前記電極パターンは、メッシュ状に形成される。
本発明の他の目的を達成するための表示装置(以下、「第2発明」)は、映像を表示する表示パネルと、前記表示パネルを収納するハウジングと、前記表示パネル上に配置され、第1発明により形成されたタッチセンサと、を含む。
本発明によれば、基板に接する第1拡散バリア膜上に中間層を形成し、前記中間層上に第2拡散バリア膜を形成するように構成することで、中間層の腐食及び拡散による性能低下を防止することができる。
また、中間層の上部及び下部に配置された拡散バリア膜により、拡散による性能低下が防止され、作動信頼性が向上されるため、より安定したタッチセンサの作動が可能となる。
本発明の目的、特定の長所及び新規の特徴は、添付図面に係る以下の詳細な説明及び好ましい実施例によってさらに明らかになるであろう。本明細書において、各図面の構成要素に参照番号を付け加えるに際し、同一の構成要素に限っては、たとえ異なる図面に示されても、できるだけ同一の番号を付けるようにしていることに留意しなければならない。また、「一面」、「他面」、「第1」、「第2」などの用語は、一つの構成要素を他の構成要素から区別するために用いられるものであり、構成要素が前記用語によって限定されるものではない。以下、本発明を説明するにあたり、本発明の要旨を不明瞭にする可能性がある係る公知技術についての詳細な説明は省略する。
以下、添付図面を参照して、本発明の好ましい実施例を詳細に説明する。
図1は、本発明の例示的な具体例によるタッチセンサを図示した平面図であり、図2は、図1のI−I´に沿った断面図であり、図3は、図2のA領域の拡大図である。
ここで、容易な説明のために、図2には、タッチセンサの一部を図示する。
図1及び図2を参照すれば、本発明の例示的な具体例によるタッチセンサ1は、基板10上にメッシュ状に形成された第1メッシュ電極110と、第1メッシュ電極110と交差するようにメッシュ状に形成された第2メッシュ電極120と、を含む。
第1メッシュ電極110及び第2メッシュ電極120にそれぞれ連結される第1電極配線150及び第2電極配線160を延長形成することができる。前記第1、2電極配線150、160は、非表示領域であるベゼル領域に形成することができる。
この第1メッシュ電極110と第1電極配線150、第2メッシュ電極120と第2電極配線160は、一体に形成されてもよく、メッシュ電極110、120と電極配線150、160との間に連結電極をさらに備えて連結されていてもよい。ここで、第1メッシュ電極110はX軸電極であり、第2メッシュ電極120はY軸電極であることができる。
上記のように、前記第1、2メッシュ電極110、120を電極パターンと総称し、第1、2電極配線150、160を電極配線と総称する。また、前記電極パターン及び電極配線を電極100と総称する。このタッチセンサ1は、電極100の配置方式に応じて、ウィンドウ基板上に形成されてもよく、絶縁フィルム上に形成されてもよい。
本発明で用いる基板10は、電極100を支持することができる支持力及びディスプレイから提供される映像をユーザが認識できるようにする透明性を備える材質で形成することができる。
前記基板10は、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリカーボネート(PC)、ポリメチルメタクリレート(PMMA)、ポリエチレンナフタレート(PEN)、ポリエーテルスルフォン(PES)、環状オレフィンコポリマー(COC)、トリアセチルセルロース(Triacetylcellulose;TAC)フィルム、ポリビニルアルコール(Polyvinyl alcohol;PVA)フィルム、ポリイミド(Polyimide;PI)フィルム、ポリスチレン(Polystyrene;PS)、二軸延伸ポリスチレン(K樹脂含有biaxially oriented PS;BOPS)、ガラスまたは強化ガラスからなる群から選択される何れか一つで形成することができ、必ずしもこれに限定されるものではない。
前記電極100において、電極パターン及び電極配線の線幅及び厚さは、互いに異なるように形成することができる。例えば、電極パターンの線幅は1〜5μmの範囲に形成され、厚さは0.05〜3μmの範囲に形成することができる。また、電極配線の厚さは、電極パターンの厚さより大きいかまたは等しいように形成することができる。
図3を参照すれば、タッチセンサ1は、基板10上に形成される電極100を含み、前記電極100は、前記基板10上に形成される第1拡散バリア膜310と、前記第1拡散バリア膜310上に形成される中間層350と、前記中間層350上に形成される第2拡散バリア膜320と、を含む。
前記中間層350は、銅(Cu)、金(Au)、銀(Ag)、アルミニウム(Al)、及びこれらの少なくとも一つを含む合金からなる群から選択される何れか一つで形成することができる。ここで、価格や伝導度の点で、中間層350は、銅で形成することが有利であるため、銅を例として説明する。
前記第1、2拡散バリア膜310、320は、遷移金属(transition metal)で形成することができる。また、第1、2拡散バリア膜310、320は、融点が2000℃以上の遷移金属から選択されるもので形成することができる。例えば、前記第1、2拡散バリア膜310、320は、マンガン(Mn)、ニオブ(Nb)、モリブデン(Mo)、ルテニウム(Ru)、ハフニウム(Hf)、タンタル(Ta)、タングステン(W)、イリジウム(Ir)、及びこれらの少なくとも一つを含む合金からなる群から選択される何れか一つで形成することができる。
前記第1拡散バリア膜310と前記第2拡散バリア膜320は、互いに同一の物質で形成されてもよく、互いに異なる物質で形成されてもよい。
ここで、融点が低い遷移金属は、温度が増加するにつれて溶解度(solubility)が増加して、銅イオンが遷移金属に拡散され得る。電極100の高集積化の傾向に伴い、線幅及び積層厚さがさらに薄型化している。このような傾向により、電極100がさらに多くの熱を発生させ、このように発生した熱は、電極100を構成する電極物質の溶解度を増加させるため、拡散が発生する確率が増加し得る。
この拡散は、電極100の性能を低下させ、タッチセンサ1の信頼性を低下させる恐れがある。したがって、熱に強い長所を有する金属を用いて拡散バリア膜310、320を形成することで、拡散を防止することができる。
上記のように融点が2000℃以上の第1、2拡散バリア膜310、320の間に中間層350を介在させることで、中間層350の銅イオンが接触物質に拡散することを防止することができる。
したがって、前記中間層350において銅イオンの拡散を防止するために、第1、2拡散バリア膜310、320は、所定の厚さに形成することができる。例えば、前記第1拡散バリア膜310は1〜500nmの範囲、前記第2拡散バリア膜320は1〜500nmの範囲の厚さに形成することができる。
また、第1拡散バリア膜310と第2拡散バリア膜320との間に介在される中間層350の厚さは、0.03〜2μmの範囲に形成することができる。ここで、前記中間層の厚さが0.03μm未満である場合には、結晶性が劣るため中間層の金属比抵抗が高くなり、2μm超過の厚さは、通常のスパッタリングによる蒸着工程では形成し難いという問題がある。
金属層間の拡散(diffusion)は、表面拡散(surface diffusion)、粒界拡散(grain boundary diffusion)、バルク拡散(bulk diffusion)に分けられる。このような拡散の形態(type)は、何れか一つの特定形態のみに限定されず、異種金属の間の界面で最も多く発生し、粒界(grain boundary)を介して拡散され得る。
また、各金属の拡散が発生する程度を示す拡散率(diffusivity)は、金属の種類によって値が大きく異なる。
上記の物質の移動はFick’sの法則のように表され、物質の移動Jは、下記のように表すことができる。
ここで、Dは拡散係数(diffusion coefficient)、dcは濃度変化、dxは位置変化を示す。
上記のように、拡散の程度はDに比例し、拡散係数(diffusion coefficient)が低い物質であるほど、拡散の発生確率が低い。
図4は、本発明の例示的な具体例による拡散バリア膜金属の温度による拡散係数を示した図面である。
重複説明を避けるために、図1〜図3を引用して説明する。
先ず、拡散係数は、アレニウスの式(Arrhenius equation)で表すことができる。
ここで、Dは反応速度定数、Tは絶対温度、Rは気体定数、D0は頻度係数または頻度因子、Eaは活性化エネルギー(activation energy)を示す。ここで、D0の単位は速度定数の単位と同一である。
図4を参照すれば、接合金属の間、即ち、分子の間の衝突によって反応が起こるが、分子の間の衝突のうち、最小値Ea以上のエネルギーを有する衝突のみが反応を起こすことができる。前記Ea以上のエネルギーを有する衝突数の割合は、ボルツマン分布(Boltzmann distribution)により近似的にexp(−Ea/RT)で表される。即ち、反応速度の対数を絶対温度の逆数に対してプロットすると直線となり、この直線の傾き及び切片(intercept)から活性化エネルギーEa及び頻度因子D0が求められる。
したがって、物質の固有なD0値が低いほどD値も低くなる。即ち、融点が高い物質であるほど、前記Ea値が高いため、拡散が発生し難い。
このように、銅で形成された中間層350を挟んで、その上下に融点2000℃以上の遷移金属からなる拡散バリア膜310、320を形成することで、拡散による電極100の性能低下を防止することができる。
図5は、本発明の例示的な具体例によるタッチセンサを含む表示装置を図示した分解斜視図である。
ここで、タッチセンサ1を含む表示装置を説明するにあたり、重複説明を避けるために、図1〜図4を引用して説明する。
図5を参照すれば、本発明の例示的な具体例による表示装置5は、表示パネル550と、前記表示パネル550を収納するハウジング570と、前記表示パネル550上に配置されるタッチセンサ1と、を備える。
ここで、タッチセンサ1は電極100を含み、前記電極100は、第1、2拡散バリア膜310、320と、前記第1、2拡散バリア膜310、320の間に介在される中間層350と、を備える。
本発明の例示的な具体例として、表示装置5は、テレビジョン、ナビゲーション、コンピュータのモニタ、ゲーム機、携帯電話などの多様な情報提供装置を含む。ここで、容易な説明のために、携帯電話を例として図示する。
前記表示パネル550は、映像を表示することができる。表示パネル550は、特に限定されるものではないが、例えば、有機発光表示パネル(organic light emitting display panel)、液晶表示パネル(liquid crystal display panel)、プラズマ表示装置(plasma display panel)、電気泳動表示パネル(electrophoretic display panel)、及びエレクトロウェッティング表示パネル(electrowetting display panel)などの多様な表示パネルを含むことができる。
前記ハウジング570は、前記表示パネル550を収納することができる。図面では、1つの部材で構成されたハウジングを例として図示したが、ハウジング570は2つ以上の部材が結合されて構成されてもよい。また、ハウジング570は、表示パネル550の他に、複数の能動素子(不図示)及び/または複数の受動素子(不図示)が実装された回路基板などをさらに収納することができる。また、表示装置5の種類に応じて、電池などの電源部(不図示)をさらに収納してもよい。
タッチセンサ1は、表示パネル550上に配置され、ハウジング570と結合されて、ハウジング570とともに表示装置5の外面を構成することができる。この際、表示パネル550は、タッチセンサ1に結合することができる。
タッチセンサ1は、表示パネル550から生成された映像が平面上に表示される表示領域と、前記表示領域の少なくとも一部に隣接する非表示領域と、を含む。ここで、前記非表示領域は、前記表示領域の縁部に形成することができる。
ユーザは、表示装置5に表示される映像を見てタッチセンサ1をタッチすることで、命令を入力することができる。この際、上記の命令はタッチにより制御部に伝達され、前記伝達信号はタッチセンサ1の電極100により伝達される。この際、伝達信号が伝達されるように、電極100は、優れた性能を有しなければならない。
このような電極100に用いられる銅は、溶解度が高いため、電極100が接合されている基板10のシリコンイオン、電極100が接合されている接合金属の銅イオンが拡散され得る。上記の銅イオンの拡散は、電極100の性能低下を発生させ、結局、表示装置5の性能低下をもたらす恐れがある。
しかし、本発明の例示的な具体例によるタッチセンサ1を含む表示装置5は、第1、2拡散バリア膜310、320を備え、前記第1、2拡散バリア膜310、320の間に銅からなる中間層350を形成することで、銅イオンの拡散を防止することができる。
このように銅イオンの拡散を防止することにより、電極100の腐食及び性能低下が防止され、より安定したタッチセンサ1の作動が可能となる効果がある。
以下、実施例などを挙げて本発明をより具体的に説明するが、下記例に本発明の範疇が限定されるのではない。
(実施例)
厚さ100μmのPETフィルム上に、DCパルススパッタ(DC pulsed sputter)を用いてTa層を厚さ20nmに蒸着した後、前記Ta層上に、中間層として厚さ100nmのCu層を蒸着した。最後に、前記Cu層上に厚さ60nmのTa層を蒸着することでサンプルを製作した。
厚さ100μmのPETフィルム上に、DCパルススパッタ(DC pulsed sputter)を用いてTa層を厚さ20nmに蒸着した後、前記Ta層上に、中間層として厚さ100nmのCu層を蒸着した。最後に、前記Cu層上に厚さ60nmのTa層を蒸着することでサンプルを製作した。
(比較例)
厚さ100μmのPETフィルム上に、DCパルススパッタを用いてNi層を厚さ20nmに蒸着した後、前記Ni層上に、中間層として厚さ100nmのCu層を蒸着した。最後に、前記Cu層上に厚さ60nmのNi層を蒸着することで、サンプルを製作した。
厚さ100μmのPETフィルム上に、DCパルススパッタを用いてNi層を厚さ20nmに蒸着した後、前記Ni層上に、中間層として厚さ100nmのCu層を蒸着した。最後に、前記Cu層上に厚さ60nmのNi層を蒸着することで、サンプルを製作した。
前記実施例及び比較例により製作されたサンプルの初期面抵抗を、四点プローブ(4 point probe)を用いて測定した。上記のサンプルをチャンバーに入れて85℃、湿度85%の環境信頼性下で1週間経過後、その面抵抗の変化を、四点プローブを用いて測定した。その結果を下記表1に示した。
前記表1、及び前記実施例及び比較例により製造された電極の面抵抗の変化を比較したグラフである図6を参照すれば、85℃、湿度85%の環境信頼性下での面抵抗の変化を比較した結果、Ni/Cu/Niサンプルの場合、面抵抗の変化率が約11%増加したことが分かる。これは、Ni層がCuイオンの拡散を効果的に防止できなかったためである。
一方、Ta/Cu/Taサンプルの場合、初期面抵抗に比べ1日目の面抵抗が却って減少したことが分かる。これは、Ta層が拡散防止の役割を完璧に果たして、Cuイオンの拡散が防止されるとともに、85℃、湿度85%の環境信頼性下でCu結晶が大きくなって結晶粒界が減少したためである。
以上、本発明を具体的な実施例に基づいて詳細に説明したが、これは本発明を具体的に説明するためのものであり、本発明はこれに限定されず、該当分野における通常の知識を有する者であれば、本発明の技術的思想内にての変形や改良が可能であることは明白であろう。
本発明の単純な変形乃至変更はいずれも本発明の領域に属するものであり、本発明の具体的な保護範囲は添付の特許請求の範囲により明確になるであろう。
本発明は、タッチセンサに適用可能である。
1 タッチセンサ
5 表示装置
10 基板
100 電極
110 第1メッシュ電極(メッシュ電極)
120 第2メッシュ電極(メッシュ電極)
150 第1電極配線(電極配線)
160 第2電極配線(電極配線)
310 第1拡散バリア膜(拡散バリア膜)
320 第2拡散バリア膜(拡散バリア膜)
350 中間層
550 表示パネル
570 ハウジング
5 表示装置
10 基板
100 電極
110 第1メッシュ電極(メッシュ電極)
120 第2メッシュ電極(メッシュ電極)
150 第1電極配線(電極配線)
160 第2電極配線(電極配線)
310 第1拡散バリア膜(拡散バリア膜)
320 第2拡散バリア膜(拡散バリア膜)
350 中間層
550 表示パネル
570 ハウジング
Claims (17)
- 基板と、
前記基板上の電極と、を含み、
前記電極は、
前記基板と接触して形成される第1拡散バリア膜と、
前記第1拡散バリア膜上に形成される中間層と、
前記中間層上に形成される第2拡散バリア膜と、を備える、タッチセンサ。 - 前記第1、2拡散バリア膜は遷移金属で形成される、請求項1に記載のタッチセンサ。
- 前記第1、2拡散バリア膜は、融点(melting point)が2000℃以上の金属で形成される、請求項1に記載のタッチセンサ。
- 前記第1、2拡散バリア膜は、マンガン(Mn)、ニオブ(Nb)、モリブデン(Mo)、ルテニウム(Ru)、ハフニウム(Hf)、タンタル(Ta)、タングステン(W)、イリジウム(Ir)、及びこれらの少なくとも一つを含む合金からなる群から選択される何れか一つで形成される、請求項1に記載のタッチセンサ。
- 前記第1拡散バリア膜と前記第2拡散バリア膜は、互いに同一の物質で形成される、請求項1に記載のタッチセンサ。
- 前記第1拡散バリア膜と前記第2拡散バリア膜は、互いに異なる物質で形成される、請求項1に記載のタッチセンサ。
- 前記中間層は、銅(Cu)、銀(Ag)、金(Au)、アルミニウム(Al)、及びこれらの少なくとも一つを含む合金からなる群から選択される何れか一つで形成される、請求項1に記載のタッチセンサ。
- 前記基板は、ウィンドウ基板または絶縁フィルムである、請求項1に記載のタッチセンサ。
- 前記基板は、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリカーボネート(PC)、ポリメチルメタクリレート(PMMA)、ポリエチレンナフタレート(PEN)、ポリエーテルスルフォン(PES)、環状オレフィンコポリマー(COC)、トリアセチルセルロース(Triacetylcellulose;TAC)フィルム、ポリビニルアルコール(Polyvinyl alcohol;PVA)フィルム、ポリイミド(Polyimide;PI)フィルム、ポリスチレン(Polystyrene;PS)、二軸延伸ポリスチレン(K樹脂含有biaxially oriented PS;BOPS)、ガラスまたは強化ガラスからなる群から選択される何れか一つで形成される、請求項1に記載のタッチセンサ。
- 前記電極の線幅は1〜5μmの範囲に形成される、請求項1に記載のタッチセンサ。
- 前記電極の厚さは0.05〜3μmの範囲に形成される、請求項1に記載のタッチセンサ。
- 前記第1拡散バリア膜の厚さは1〜500nmの範囲に形成される、請求項1に記載のタッチセンサ。
- 前記第2拡散バリア膜の厚さは1〜500nmの範囲に形成される、請求項1に記載のタッチセンサ。
- 前記中間層の厚さは0.03〜2μmの範囲に形成される、請求項1に記載のタッチセンサ。
- 前記電極は、電極パターンまたは電極配線である、請求項1に記載のタッチセンサ。
- 前記電極パターンはメッシュ状に形成される、請求項15に記載のタッチセンサ。
- 映像を表示する表示パネルと、
前記表示パネルを収納するハウジングと、
前記表示パネル上に配置され、請求項1により形成されたタッチセンサと、を含む表示装置。
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