JP2015088535A - 冷却ユニットおよび冷却用の伝熱シート - Google Patents

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忠彦 境
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Abstract

【課題】放熱部のコンパクト化および放熱特性を向上させて冷却効率を大幅に改善することができる冷却ユニットおよび冷却用の伝熱シートを提供する。
【解決手段】CPUなどの電子部品3を冷却する冷却ユニット1に用いられ、発熱体である電子部品3に接触して設けられ空冷機構5によって熱を放散する伝熱シート4として、高分子有機化合物より形成されたナノファイバ16aを不織布状に堆積して成るナノファイバ膜を用い、電子部品3から4に伝達される熱を伝熱シート4の内部に形成された伝熱部4bを貫流するエア流によって放散される。これにより放熱部のコンパクト化および放熱特性を向上させて、冷却効率を大幅に改善することができる。
【選択図】図3

Description

本発明は、発熱体を空冷により冷却する冷却ユニットおよびこの冷却ユニットに用いられる冷却用の伝熱シートに関するものである。
電子機器を構成する回路基板に実装される電子部品には、CPUやパワートランジスタなど動作時に熱を発生する発熱体がある。発熱体の連続稼働に際しては、過熱による動作異常や熱損傷を防止するための冷却が必要とされる。このような発熱体の冷却手段として、従来より発熱部から発生する熱を高伝熱性のシートを介して放熱部に導く構成の放熱装置が知られている(例えば特許文献1,2参照)。特許文献1に示す先行技術では、半導体装置などの発熱体と空冷用のフィンが設けられた放熱部とを高熱伝導性担持体によって連結した構成例が記載されている。また、特許文献2に示す先行技術では、同様に半導体装置などの発熱体と空冷用のフィンが設けられた放熱部とを炭素繊維などの伝熱繊維束によって連結した構成例が記載されている。いずれの先行技術においても、発熱部から発生する熱を放熱部に導いて空冷により放散するようにしている。
特開平7−162177号公報 特開2001−15962号公報
しかしながら上述の特許文献例に示す従来技術には、放熱部の構成に起因して以下に述べるような難点があった。すなわち従来技術では、空冷方式の放熱部として、いずれもアルミニウムなどの金属製のフィンと空冷ファンとを組み合わせた構成が採用されていた。このような構成の冷却ユニットでは冷却性能は放熱部であるフィンの放熱面積に依存することから、冷却性能を重視すればフィンが大型化して放熱部のコンパクト化が阻害されるとともに、フィンの放熱特性の制約に起因して冷却効率を大幅に改善することが困難であった。そしてこのような課題は、回路基板に実装される電子部品のみならず、モータなど一般的な発熱体にも共通する課題であった。
そこで本発明は、放熱部のコンパクト化および放熱特性を向上させて冷却効率を大幅に改善することができる冷却ユニットおよび冷却用の伝熱シートを提供することを目的とする。
本発明の冷却ユニットは、発熱体が発生する熱を空冷によって冷却する冷却ユニットであって、前記発熱体に接触して設けられた伝熱シートと、前記伝熱シートの少なくとも一部に気体を吹き付けてこの伝熱シートから熱を放散させる空冷機構とを備え、前記伝熱シートは、高分子有機化合物より形成されたナノファイバを不織布状に堆積して成るナノファイバ膜である。
本発明の冷却用の伝熱シートは、発熱体が発生する熱を空冷によって冷却する冷却ユニットにおいて、前記発熱体に接触して設けられ、少なくとも一部に空冷機構によって気体を吹き付けることにより前記発熱体から伝達された熱を放散させる伝熱シートであって、高分子有機化合物より形成されたナノファイバを不織布状に堆積して成るナノファイバ膜である。
本発明によれば、発熱体に接触して設けられ空冷機構によって熱を放散する伝熱シートとして、高分子有機化合物より形成されたナノファイバを不織布状に堆積して成るナノファイバ膜を用いることにより、放熱部のコンパクト化および放熱特性を向上させて冷却効率を大幅に改善することができる。
本発明の一実施の形態の冷却ユニットの構成説明図 本発明の一実施の形態の冷却用の伝熱シートの製造過程を示す説明図 本発明の一実施の形態の冷却ユニットの機能説明図 本発明の一実施の形態の冷却ユニットに用いられる伝熱シートの構成説明図
次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。まず図1を参照して、冷却ユニット1の構成を説明する。冷却ユニット1は発熱体が発生する熱を空冷によって冷却する機能を有するものであり、本実施の形態では、発熱体としてCPUなど作動状態において発熱する電子部品を対象とする例を示している。
図1(a)において、基板2には発熱体である電子部品3が実装されている。電子部品3を空冷によって冷却する冷却ユニット1は、伝熱シート4および空冷機構5から構成される。伝熱シート4は高分子有機化合物より形成されたナノファイバを不織布状に堆積して成るナノファイバ膜を焼成して矩形板状のグラファイトに成形した部材であり、一端側の受熱部4aを電子部品3に接触して設けられている。伝熱シート4において伝熱部4bを介して他端側に設けられた放熱部4cには、ファン5aを備えた空冷機構5が装着される。伝熱シート4の厚みは、電子部品3の発熱量によって規定される所要冷却能力に応じて決定され、例えば電子部品3がCPUである場合には0.05mm〜0.1mm程度に設定される。
図1(b)に示すように、伝熱シート4は受熱部4aの下面4dを電子部品3の上面3aに接触させて固着され、空冷機構5は放熱部4cの上面に当接して位置する。伝熱シート4を固着する形態としては、伝熱シート4を押圧部材によって電子部品3に押圧して固定する機械的固着方式や、接着剤によって固着する接着方式などを用いることができる。
この状態において、電子部品3から放熱部4cに伝達された熱は伝熱部4bを介して放熱部4cまで伝達される。そしてこの状態でファン5aを駆動して空冷機構5を作動させることにより、伝熱シート4の少なくとも一部を構成する放熱部4cに対して冷却用の気体が吹き付けられる。吹き付けられた気体は放熱部4cを貫通して下方に流動し(矢印a)、これにより放熱部4cから熱が放散されて、電子部品3が冷却される。すなわち空冷機構5は伝熱シート4の少なくとも一部に気体を吹き付けてこの伝熱シート4から熱を放散させる機能を有している。
なお、伝熱シート4を電子部品3に固着するに際しては、受熱部4aの下面4dを電子部品3の上面3aに必ずしも直接接触させる必要はなく、電子部品3から伝熱シート4への接触熱伝達が確保される構成であれば、電子部品3と伝熱シート4との間に熱伝導性を有する伝熱層を介在させる構成を用いてもよい。
ここで、伝熱シート4として用いられるナノファイバ膜の構成および製造方法について図2を参照して説明する。図2(a)は、伝熱シート4を構成するナノファイバ膜の製造に用いられるナノファイバ膜製造装置10を示している。ナノファイバ膜製造装置10はエレクトロスピニング法によってナノファイバを生成する機能を有するものであり、原料液を射出してナノファイバを生成するナノファイバ生成部11、生成されたナノファイバを堆積捕集する捕集部12を備えている。ナノファイバ生成部11は、金属板など導電性を有する平板状の移動プレート11aに、複数の溶液供給容器13を列状に配置した構成となっている。
それぞれの溶液供給容器13の下端部には、導電性の表面を有する吐出ノズル14が、移動プレート11aの下面に突出して装着されており、溶液供給容器13はエア供給部15と接続されている。溶液供給容器13の内部には、ナノファイバの原料となる高分子材料(ここではポリイミドを用いている)を溶媒に溶解させた原料液16が貯留されている。エア供給部15によって溶液供給容器13に所定圧のエアを供給することにより、吐出ノズル14から原料液16が吐出される。
移動プレート11aは高電圧印加装置20に電気的に接続されており、高電圧印加装置20を作動させることにより、移動プレート11aには正側の高電圧(+10〜20KV)が印加され、さらに導電性の表面を有する吐出ノズル14を介して原料液16に高電圧が付与される。これにより吐出ノズル14から吐出される原料液16は正電位に帯電しており、下方に噴射される過程において電荷相互に作用するクーロン力によって電気的に延伸され、ナノファイバ16aが生成される。
捕集部12は、供給リール18aから繰り出される捕集シート17を、シート送り駆動機構19によって駆動される回収リール18bによって巻き取ることにより所定方向(矢印b)に送る構成となっている。捕集シート17は、導電体を板状に成形した支持部材12aによって下方から支持された状態で送られる。捕集シート17の上面17aは、ナノファイバ生成部11の吐出ノズル14と対向しており、吐出ノズル14から吐出された原料液16が電気的に延伸して生成されたナノファイバ16aは、タングステン膜などの導電膜より成る捕集シート17の上面17aによって捕集される。捕集シート17は支持部材12aを介して高電圧印加装置20の負電圧側と導通しており、正の電荷を帯びたナノファイバ16aを捕集することにより帯電した捕集シート17は、高電圧印加装置20の負電圧によって徐電される。
捕集シート17の送り方向におけるナノファイバ生成部11の下流側には、捕集シート17の上方の位置して加熱装置21が配設されている。加熱装置21は捕集シート17に載置された対象物を加熱する機能を有しており、本実施の形態では、捕集シート17の上面17aにナノファイバ16aが不織布状に堆積されたナノファイバ膜4*を加熱焼成してグラファイト化した伝熱シート4を形成するために用いられる。
図2(b)は、エレクトロスピニングにおけるナノファイバ16aの生成および成長過程を示している。すなわち吐出ノズル14から吐出された帯電状態の原料液16が捕集シート17の上面17aに向かって降下する過程において、原料液16中の溶媒が徐々に蒸発し、これにより原料液16の体積は徐々に減少していくが、付与された電荷は原料液16に貯まる。この結果原料液16においては溶媒が継続的に蒸発し続けて電荷密度がさらに高まり、原料液16の内部に発生する反発方向のクーロン力が原料液16の表面張力より勝った時点で、原料液16が爆発的に線状に延伸される静電爆発が生じる。そしてこの静電爆発が、吐出ノズル14と捕集シート17との間の空間において、1次爆発16b、2次爆発16c、3次爆発16d・・と順次幾何級数的に発生することにより、直径がサブミクロンオーダーの微細繊維状の樹脂から成るナノファイバ16aが生成される。
このようにして生成されたナノファイバ16aは捕集シート17上で不織布状に堆積されて、所定厚みのナノファイバ膜4*となる。そしてこのナノファイバ膜4*が加熱装置21によって加熱焼成されることにより、グラファイト化されたナノファイバ16aより成る伝熱シート4が形成され、伝熱シート4を所定形状に成形することにより、冷却ユニット1に使用される伝熱シート4が製造される。
ここで、ナノファイバ16aを構成する高分子有機化合物の種類は、本実施の形態に示すポリイミドには限定されず、以下に例示するような各種の高分子有機化合物を用いることができる。例えば、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリエチレンオキサイド、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリ−m−フェニレンテレフタレート、ポリ−p−フェニレンイソフタレート、ポリフッ化ビニリデン、ポリフッ化ビニリデン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン−アクリレート共重合体、ポリアクリロニトリル、ポリアクリロニトリル−メタクリレート共重合体、ポリカーボネート、ポリアリレート、ポリエステルカーボネート、ポリアミド、アラミド、ポリカプロラクトン、ポリ乳酸、ポリグリコール酸、コラーゲン、ポリヒドロキシ酪酸、ポリ酢酸ビニル、ポリペプチド等およびこれらの共重合体等の高分子有機化合物を例示できる。使用に際しては上記より一種類を選択して用いてもよく、また複数種類が混在しても差し支えない。なお、上記は例示であり、本願発明は上記樹脂に限定されるものではない。
原料液16に使用される溶媒としては、揮発性のある有機溶剤などを例示することができる。具体的に例示すると、メタノール、エタノール、1−プロパノール、2−プロパノール、ヘキサフルオロイソプロパノール、テトラエチレングリコール、トリエチレングリコール、ジベンジルアルコール、1,3−ジオキソラン、1,4−ジオキサン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、メチル−n−ヘキシルケトン、メチル−n−プロピルケトン、ジイソプロピルケトン、ジイソブチルケトン、アセトン、ヘキサフルオロアセトン、フェノール、ギ酸、ギ酸メチル、ギ酸エチル、ギ酸プロピル、安息香酸メチル、安息香酸エチル、安息香酸プロピル、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸プロピル、フタル酸ジメチル、フタル酸ジエチル、フタル酸ジプロピル、塩化メチル、塩化エチル、塩化メチレン、クロロホルム、o−クロロトルエン、p−クロロトルエン、クロロホルム、四塩化炭素、1,1−ジクロロエタン、1,2−ジクロロエタン、トリクロロエタン、ジクロロプロパン、ジブロモエタン、ジブロモプロパン、臭化メチル、臭化エチル、臭化プロピル、酢酸、ベンゼン、トルエン、ヘキサン、シクロヘキサン、シクロヘキサノン、シクロペンタン、o−キシレン、p−キシレン、m−キシレン、アセトニトリル、テトラヒドロフラン、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホオキシド、ピリジン、水等を挙示することができる。
使用に際しては上述より一種類を選択して用いてもよく、また、複数種類が混在しても差し支えない。なお上記は例示であり、本願発明に用いられる原料液16は上記溶媒を採用することに限定されるものではない。さらに、原料液16に骨材や可塑剤などの添加剤を添加してもよい。当該添加剤としては、酸化物、炭化物、窒化物、ホウ化物、珪化物、弗化物、硫化物等を挙げることができるが、耐熱性、加工性などの観点から酸化物を用いることが好ましい。
次に図3を参照して、冷却ユニット1における伝熱シート4の機能について説明する。図3(a)に示すように、電子部品3を継続的に作動させることにより発生した熱は、電子部品3の上面3aから接触熱伝達により伝熱シート4の受熱部4aに伝達され(矢印c)、さらに伝熱部4bを介して(矢印d)、空冷機構5が装着された放熱部4cに至る。この状態において、空冷機構5を作動させてファン5aにより下向きのエア流(矢印e)を発生させることにより、電子部品3から伝熱部4bを介して伝達された熱は放熱部4cから放散される。
図3(b)は、放熱部4cにおける熱の放散の状態を示している。すなわち、伝熱シート4はナノファイバ16aを不織布状に堆積した構成であることから、伝熱シート4にはナノファイバ16a相互の間に形成された微細空隙Sが含まれている。伝熱シート4の内部において微細空隙Sは、厚み方向、幅・長さ方向のいずれの方向についても、少なくともある割合において連通しており、これらの微細空隙Sは気体の流動を許容する通気空隙部を形成している。
このため、空冷機構5によって伝熱シート4の厚み方向に吹き付けられたエア流は、これら通気空隙部を通過して伝熱シート4を貫通して流動する(矢印f)。そしてこのエア流の空冷作用により、伝熱シート4の内部においてナノファイバ16aの表面から熱が微細空隙Sに放散される。このとき、伝熱シート4の内部においてエア流が接触するナノファイバ16aの表面積は、従来この種の冷却用途に用いられていた冷却用フィンの表面積と比較して遙かに大きい。
例えば、100mm×100mm×0.05mmのサイズの伝熱シート4では約4000万mm2の表面積を有しており、略同サイズの冷却フィンの表面積の数万倍のオーダーとなっている。また、伝熱シート4はグラファイト化することにより放熱特性が大幅に改善されて熱伝導率が100〜200W/(mK)のレベルとなっており、従来より冷却フィンに用いられていたアルミニウムと同等以上の放熱特性を有している。
このように、伝熱シート4を構成する素材自体の放熱特性の改善と放熱表面積の増大により、冷却ユニット1の冷却性能を大幅に向上させることが可能となっている。なお、ここでは伝熱シート4としてナノファイバ膜4*をグラファイト化したものを用いる例を示したが、焼成加工を行わない生のナノファイバ膜4*をそのまま用いた場合にあっても、前述のように放熱表面積が大きいことから、良好な冷却性能を得ることができる。
なお、冷却ユニット1に用いられる伝熱シート4の態様としては、図1に示す実施例以外にも、各種のバリエーションが可能である。例えば、図4(a)の(イ)に示すように、図1に示す伝熱シート4に剛性を補強するための補強シート22を貼着した構成の伝熱シート4Aとしてもよい。この場合には、補強シート22には上面を暴露するための開口部22aを設けるようにする。また図4(a)の(ロ)に示す例のように、伝熱シート4を折り曲げて複数枚重ねることにより厚みを増した構成の伝熱シート4Bを用いるようにしてもよい。
また図4(b)に示すような簡易構成の冷却ユニットを用いるようにしてもよい。ここに示す例では、電子部品3の上面3aに、伝熱シート4と同一素材を用いた放熱部材40の下面40aを接触させ、放熱部材40の上方から空冷機構としてのエアブロー手段23によってエア流を吹き付ける(矢印g)。これにより、電子部品3から放熱部材40に伝達された熱は放熱部材40に吹き付けられるエア流の空冷効果によって放散される。この構成例においても、放熱部材40の内部には大きな放熱表面積が確保されていることから、簡略な構成によって高効率の冷却効果を得ることができる。
上記説明したように、本実施の形態に示す冷却ユニット1および伝熱シート4では、発熱を伴う電子部品3などの発熱体に接触して設けられ空冷機構5によって熱を放散する伝熱シート4として、高分子有機化合物より形成されたナノファイバ16aを不織布状に堆積して成るナノファイバ膜を用いるようにしている。これにより、放熱部のコンパクト化および放熱特性を向上させて、冷却効率を大幅に改善することができる。
なお本実施の形態に示す例では、発熱体として基板に実装されるCPUなどの発熱性の電子部品を冷却の対象としているが、本発明の対象はこのような電子部品には限定されず、作動に際して発熱を伴う部品や機構要素など、継続的な冷却を必要とする要素であれば本発明の適用対象となる。
本発明の冷却ユニットおよび冷却用の伝熱シートは、放熱部のコンパクト化および放熱特性を向上させて冷却効率を大幅に改善することができるという効果を有し、電子機器に用いられるCPUなどの発熱体を冷却する用途において有用である。
1 冷却ユニット
3 電子部品
4 伝熱シート
4* ナノファイバ膜
5 空冷機構
16 原料液
16a ナノファイバ

Claims (4)

  1. 発熱体が発生する熱を空冷によって冷却する冷却ユニットであって、
    前記発熱体に接触して設けられた伝熱シートと、
    前記伝熱シートの少なくとも一部に気体を吹き付けてこの伝熱シートから熱を放散させる空冷機構とを備え、
    前記伝熱シートは、高分子有機化合物より形成されたナノファイバを不織布状に堆積して成るナノファイバ膜であることを特徴とする冷却ユニット。
  2. 前記ナノファイバ膜は、不織布状のナノファイバを焼成することによりグラファイト化されていることを特徴とする請求項1記載の冷却ユニット。
  3. 発熱体が発生する熱を空冷によって冷却する冷却ユニットにおいて、前記発熱体に接触して設けられ、少なくとも一部に空冷機構によって気体を吹き付けることにより前記発熱体から伝達された熱を放散させる伝熱シートであって、
    高分子有機化合物より形成されたナノファイバを不織布状に堆積して成るナノファイバ膜であることを特徴とする冷却用の伝熱シート。
  4. 前記ナノファイバ膜は、不織布状のナノファイバを焼成することによりグラファイト化されていることを特徴とする請求項3記載の冷却用の伝熱シート。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210012091A (ko) * 2019-07-23 2021-02-03 코오롱머티리얼 주식회사 다공성의 그래파이트 나노섬유 웹, 상기 웹 구조를 포함하는 멤브레인, 상기 멤브레인을 포함하는 방열시트 및 상기 나노섬유 웹의 제조방법
KR102212191B1 (ko) 2019-07-23 2021-02-05 코오롱머티리얼 주식회사 다공성의 그래파이트 나노섬유 웹, 상기 웹 구조를 포함하는 멤브레인, 상기 멤브레인을 포함하는 방열시트 및 상기 나노섬유 웹의 제조방법
US11958308B1 (en) 2023-05-31 2024-04-16 G13 Innovation In Production Ltd Thermal paper, and methods and systems for forming the same

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