JP2015081874A - Method for detecting application area and application amount of transparent resin applied on metallic gloss surface, and optical coherence tomography measurement system for the method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、金属光沢面に塗布される接着剤や保護膜等の透明樹脂の塗布領域と塗布量を検出する方法及びその光コヒーレンストモグラフィー計測システムに関するものである。 The present invention relates to a method for detecting an application region and an application amount of a transparent resin such as an adhesive or a protective film applied to a metallic gloss surface, and an optical coherence tomography measurement system thereof.
金属光沢面に塗布される透明樹脂の塗布の有無の検査は、顕微鏡を用いて目視で行っており、OCT装置(下記特許文献2,3参照)によった透明樹脂の塗布の有無を自動判定することは実現されていないのが現状である。
The inspection of the presence or absence of the application of the transparent resin applied to the glossy metal surface is performed visually using a microscope, and the presence or absence of the application of the transparent resin is automatically determined by an OCT apparatus (see
なお、OCT装置によった、被計測試料として歯を取り扱ったものが開示されている(下記特許文献1参照)。 In addition, what handled the tooth | gear as a to-be-measured sample by the OCT apparatus is disclosed (refer the following patent document 1).
金属板上に配線を持つ金属基板の配線上には配線保護や絶縁、素子固定のため、半透明やほぼ透明に近い保護樹脂や接着剤(以下、透明樹脂という)が局所的に塗布されている。これらの塗布箇所において透明樹脂は、金属基板を繋ぐ金属配線領域を完全に覆う必要があり、配線付近の塗布領域及び塗布量の検出が求められている。しかし、現在では透明樹脂の塗布領域の検出は顕微鏡を用いて目視で行われ、自動検出が難しく、いまだ自動検出による塗布量の検出は実現できなかった。しかしながら、そもそも光コヒーレンストモグラフィー計測システムは、光をプローブとして用い、被検体内での光反射信号を光干渉として捉え、被検体の断層像を非接触、非侵襲で検出できるものである。光反射は、ミラーや金属光沢表面のような鏡面でおこる他、被検体内の媒質の屈折率差のあるところでも発生するが、ミラーや金属光沢面の反射では照射光量のほぼ100%が反射するのに対し、屈折率差のあるところでの反射は非常に小さい。 A semi-transparent or almost transparent protective resin or adhesive (hereinafter referred to as transparent resin) is locally applied on the wiring of a metal substrate having wiring on a metal plate for wiring protection, insulation, and element fixing. Yes. At these application locations, the transparent resin needs to completely cover the metal wiring area connecting the metal substrates, and detection of the application area and the application amount in the vicinity of the wiring is required. However, at present, the detection of the application region of the transparent resin is performed visually with a microscope, and automatic detection is difficult, and detection of the application amount by automatic detection has not been realized yet. However, in the first place, the optical coherence tomography measurement system can detect a tomographic image of a subject in a non-contact and non-invasive manner by using light as a probe and capturing a light reflection signal in the subject as light interference. Light reflection occurs on mirror surfaces such as mirrors and metallic glossy surfaces, and also occurs where there is a difference in the refractive index of the medium in the subject, but almost 100% of the amount of light is reflected when reflecting off mirrors or metallic glossy surfaces. In contrast, the reflection at a difference in refractive index is very small.
したがって、金属光沢面上に透明樹脂が塗布される場合、OCTでは金属光沢面からの反射光量で検出器の感度がとられてしまい、透明樹脂の塗布表面の検出が困難であり、断層像から透明樹脂の塗布の有無及び塗布量を計測することが難しい。 Therefore, when a transparent resin is applied on a metallic glossy surface, the sensitivity of the detector is taken by the amount of light reflected from the metallic glossy surface in OCT, and it is difficult to detect the coated surface of the transparent resin. It is difficult to measure the presence / absence and application amount of a transparent resin.
このように、光コヒーレンストモグラフィー計測システムでの断層像の計測において、透明樹脂の表面からの反射光を捉えきれないために、透明樹脂の塗布形状から透明樹脂の塗布領域や塗布量を検出することは簡単にはでいない。 In this way, in the measurement of tomographic images with the optical coherence tomography measurement system, the reflected light from the surface of the transparent resin cannot be captured, so the transparent resin application area and application amount are detected from the transparent resin application shape. Is not easy.
このような現状から、本発明は、金属光沢面に塗布される透明樹脂の塗布領域と塗布量を自動判定可能にして、生産ライン上で利用できるようにした、光コヒーレンストモグラフィー計測システムを提供するようにした。 Under such circumstances, the present invention provides an optical coherence tomography measurement system that can automatically determine the application area and the application amount of a transparent resin applied to a metallic glossy surface and can be used on a production line. I did it.
本発明は、上記状況に鑑みて、金属光沢面に塗布される透明樹脂の塗布の塗布領域と塗布量を自動判定可能にする金属光沢面に塗布される透明樹脂の塗布領域と塗布量を検出する方法及びその光コヒーレンストモグラフィー計測システムを提供することを目的とする。 In view of the above situation, the present invention detects the application region and the application amount of a transparent resin applied to a metallic glossy surface that enables automatic determination of the application region and application amount of the transparent resin applied to the metal glossy surface. It is an object of the present invention to provide a method and an optical coherence tomography measurement system thereof.
本発明は、上記目的を達成するために、
〔1〕金属光沢面に塗布される透明樹脂の塗布領域と塗布量を検出する方法において、低コヒーレンス光源からの光を物体光と参照光に2分割し、前記物体光を金属光沢面に局所的に塗布される透明樹脂に走査して照射し回帰させ、この回帰した物体光と前記参照光を合波し、物体光路長と参照光路長との差を可変とし、前記合波光を分光する回折格子で分光された前記合波光のスペクトルを検出し、この検出データをフーリエ逆変換処理して、前記透明樹脂の断層画像を形成し、この断層画像の解析により透明樹脂の塗布領域と塗布量を検出し、表示することを特徴とする。
In order to achieve the above object, the present invention provides
[1] In a method for detecting a coating area and a coating amount of a transparent resin to be applied to a metallic glossy surface, light from a low coherence light source is divided into object light and reference light, and the object light is locally applied to the metallic glossy surface. The transparent resin to be applied is scanned, irradiated and returned, the returned object light and the reference light are combined, the difference between the object optical path length and the reference optical path length is made variable, and the combined light is dispersed. The spectrum of the combined light split by the diffraction grating is detected, and the detected data is subjected to inverse Fourier transform processing to form a tomographic image of the transparent resin. Is detected and displayed.
〔2〕金属光沢面に塗布される透明樹脂の塗布領域と塗布量を検出する方法において、低コヒーレンス光源からの光を物体光と参照光に2分割し、前記物体光を金属光沢面に局所的に塗布される透明樹脂に走査して照射し回帰させ、この回帰した物体光と前記参照光を合波し、物体光路長と参照光路長との差を可変とし、前記合波光の位相を変調し、ビート信号を発生させ、前記合波光の干渉を検出し、この検出データを演算処理して、前記透明樹脂の断層画像を形成し、この断層画像の解析から透明樹脂の塗布領域と塗布量を検出し、表示することを特徴とする。 [2] In the method of detecting the coating area and the coating amount of the transparent resin applied to the metallic glossy surface, the light from the low-coherence light source is divided into the object light and the reference light and the object light is locally applied to the metallic glossy surface. The transparent resin to be applied is scanned, irradiated and returned, the returned object light and the reference light are combined, the difference between the object optical path length and the reference optical path length is variable, and the phase of the combined light is changed. Modulating, generating a beat signal, detecting interference of the combined light, processing this detection data, forming a tomographic image of the transparent resin, and analyzing the tomographic image, and applying the transparent resin coating region and coating The quantity is detected and displayed.
〔3〕上記〔1〕又は〔2〕記載の金属光沢面に塗布される透明樹脂の塗布領域と塗布量を検出する方法において、前記物体光が金属光沢面に局所的に塗布される透明樹脂への走査照射は、透明樹脂が塗布される領域と塗布されない領域を含むことを特徴とする。 [3] In the method for detecting the application region and the application amount of the transparent resin applied to the metallic glossy surface according to [1] or [2] above, the transparent resin in which the object light is locally applied to the metallic glossy surface The scanning irradiation is characterized by including a region where the transparent resin is applied and a region where the transparent resin is not applied.
〔4〕上記〔1〕又は〔2〕記載の金属光沢面に塗布される透明樹脂の塗布領域と塗布量を検出する方法において、前記透明樹脂の塗布領域と塗布量の検出は、塗布量に応じて検出位置が異なる塗布面を検出することで行うことを特徴とする。 [4] In the method for detecting the application region and the application amount of the transparent resin applied to the metallic glossy surface according to [1] or [2], the detection of the application region and the application amount of the transparent resin may be performed according to the application amount. Accordingly, the detection is performed by detecting application surfaces having different detection positions.
〔5〕光コヒーレンストモグラフィー計測システムにおいて、低コヒーレンス光源と、この低コヒーレンス光源からの光を物体光と参照光に2分割する手段と、前記物体光を金属光沢面に局所的に塗布される透明樹脂に走査して照射し回帰する手段と、前記回帰した物体光と前記参照光を合波し、物体光路長と参照光路長との差を可変とする手段と、前記合波光を分光する回折格子と、前記回折格子で分光された前記合波光のスペクトルを検出する検出手段と、この検出手段からの検出データを演算処理して、前記透明樹脂の断層画像を形成し、この断層画像の解析から前記透明樹脂の塗布領域と塗布量を検出し、表示する手段を具備することを特徴とする。 [5] In an optical coherence tomography measurement system, a low-coherence light source, means for dividing the light from the low-coherence light source into object light and reference light, and a transparent on which the object light is locally applied to a metallic gloss surface Means for scanning and irradiating the resin to return, means for combining the returned object light and the reference light, and making the difference between the object optical path length and the reference optical path length variable, and diffraction for dispersing the combined light. A grating, a detecting means for detecting the spectrum of the combined light split by the diffraction grating, and processing the detection data from the detecting means to form a tomographic image of the transparent resin, and analyzing the tomographic image And a means for detecting and displaying the application region and the application amount of the transparent resin.
〔6〕光コヒーレンストモグラフィー計測システムにおいて、低コヒーレンス光源と、この低コヒーレンス光源からの光を物体光と参照光に2分割する手段と、前記物体光を金属光沢面に局所的に塗布される透明樹脂に走査して照射し回帰する手段と、前記回帰した物体光と前記参照光を合波し、物体光路長と参照光路長との差を可変とする手段と、前記合波光の位相を変調し、ビート信号を発生させる手段と、前記合波光の干渉を検出する検出手段と、前記検出手段からの検出データを演算処理して、前記被検体の断層画像を形成し、この断層画像の解析から透明樹脂の塗布領域と塗布量を検出し、表示する手段を具備することを特徴とする。 [6] In an optical coherence tomography measurement system, a low-coherence light source, means for dividing the light from the low-coherence light source into object light and reference light, and a transparent on which the object light is locally applied to a metallic gloss surface Means for scanning and irradiating the resin to return, means for combining the returned object light and the reference light, and making the difference between the object optical path length and the reference optical path length variable, and modulating the phase of the combined light Then, a means for generating a beat signal, a detection means for detecting interference of the combined light, and a calculation process of detection data from the detection means to form a tomographic image of the subject, and analysis of the tomographic image And a means for detecting and displaying the transparent resin application region and the application amount.
〔7〕上記〔5〕又は〔6〕記載の光コヒーレンストモグラフィー計測システムにおいて、前記物体光が金属光沢面に局所的に塗布される透明樹脂への走査照射は、前記透明樹脂が塗布される領域と塗布されない領域を含むことを特徴とする。 [7] In the optical coherence tomography measurement system according to the above [5] or [6], the scanning irradiation to the transparent resin in which the object light is locally applied to the metallic gloss surface is a region to which the transparent resin is applied. And a region not coated.
〔8〕上記〔5〕又は〔6〕記載の光コヒーレンストモグラフィー計測システムにおいて、前記透明樹脂の塗布領域と塗布量の検出は、塗布量に応じて検出位置が異なる塗布面を検出することで行うことを特徴とする。 [8] In the optical coherence tomography measurement system according to [5] or [6], the application region and the application amount of the transparent resin are detected by detecting application surfaces having different detection positions according to the application amount. It is characterized by that.
〔9〕上記〔5〕又は〔6〕記載の光コヒーレンストモグラフィー計測システムにおいて、前記透明樹脂の走査は、前記透明樹脂を移動させる走査機構により行うことを特徴とする。 [9] The optical coherence tomography measurement system according to [5] or [6], wherein the scanning of the transparent resin is performed by a scanning mechanism that moves the transparent resin.
〔10〕上記〔5〕又は〔6〕記載の光コヒーレンストモグラフィー計測システムにおいて、前記透明樹脂は所定位置に固定し、前記物体光をガルバノミラーによる走査機構により行うことを特徴とする。 [10] The optical coherence tomography measurement system according to [5] or [6], wherein the transparent resin is fixed at a predetermined position, and the object light is performed by a scanning mechanism using a galvanometer mirror.
本発明によれば、金属光沢面に塗布される透明樹脂の塗布の塗布領域と塗布量を自動判定可能にする、金属光沢面に塗布される透明樹脂の塗布領域と塗布量を検出する方法及びその光コヒーレンストモグラフィー計測システムを提供することができる。 According to the present invention, it is possible to automatically determine the application area and the application amount of a transparent resin applied to a metallic glossy surface, and a method for detecting the application area and the application amount of a transparent resin applied to a metallic glossy surface. The optical coherence tomography measurement system can be provided.
本発明の金属面に塗布される透明樹脂の塗布領域と塗布量を検出する方法は、低コヒーレンス光源からの光を物体光と参照光に2分割し、前記物体光を金属光沢面に局所的に塗布される透明樹脂に走査して照射し回帰させ、この回帰した物体光と前記参照光を合波し、物体光路長と参照光路長との差を可変とし、前記合波光を分光する回折格子で分光された前記合波光のスペクトルを検出し、この検出データをフーリエ逆変換処理して、前記透明樹脂の断層画像を形成し、この断層画像の解析により透明樹脂の塗布領域と塗布量を検出し、表示する。 In the method of detecting the coating area and the coating amount of the transparent resin applied to the metal surface of the present invention, the light from the low coherence light source is divided into the object light and the reference light, and the object light is locally applied to the metallic gloss surface. Diffraction that scans and irradiates the transparent resin applied to the substrate, combines the returned object light and the reference light, makes the difference between the object optical path length and the reference optical path length variable, and splits the combined light The spectrum of the combined light split by the grating is detected, and the detected data is subjected to Fourier inverse transform processing to form a tomographic image of the transparent resin. By analyzing the tomographic image, the coating area and the coating amount of the transparent resin are determined. Detect and display.
以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail.
図1は本発明の第1実施例を示す全ファイバー型のスペクトルドメイン型のOCT計測システムのブロック図である。 FIG. 1 is a block diagram of an all fiber type spectral domain type OCT measurement system showing a first embodiment of the present invention.
この図に示すように、OCT計測システム1は、低コヒーレンス光源2からの光をレンズ3を介して光ファイバー4によりファイバーカプラー(分波素子)5により光ファイバー6を介した参照光7と光ファイバー9を介した物体光10に分波し、参照光7は参照ミラー8で反射し、同一光路をファイバーカプラー(分波素子)5に戻り、物体光10は計測ヘッド11の対物レンズ12を介して、金属基板21の金属光沢面22に塗布される透明樹脂23に照射され、照射箇所からの表面反射光、内部散乱光、境界面反射光は同一光路をファイバーカプラー(分波素子)5に戻り、ファイバーカプラー(分波素子)5で合波干渉した光は光ファイバー13を介したレンズ14を介して回折格子15で分光され、分光器(CCDカメラ)16で合波光のスペクトルを検出し、この検出データを演算手段(PCユニット)17によりフーリエ逆変換処理して、前記透明樹脂23の断層画像を形成し、断層画像の解析により透明樹脂23の塗布領域と塗布量を検出し、表示手段(表示装置)18に表示する。つまり、ここでは、全ファイバー型の干渉計を構築し、干渉計の出力光を分光器16で波数解析することで、金属基板21の金属光沢面22に塗布される透明樹脂23の断層プロファイルを取得するシステムを採用している。この実施例では、透明樹脂23の走査は、透明樹脂23を移動させる走査機構により行うように構成したので、計測ヘッド11の簡素化を図ることができる。
As shown in this figure, the
図2は本発明の第2実施例を示す全ファイバー型のスペクトルドメイン型のOCT計測システムのブロック図である。 この実施例では、計測ヘッド51には透明樹脂23の走査を行うガルバノミラー53を内蔵させて光学的走査を行うように構成し、透明樹脂23は所定位置にセットし、固定するようにしている。よって、透明樹脂23のセットは、正確に、かつ容易に行うことができる。
FIG. 2 is a block diagram of an all-fiber spectral domain type OCT measurement system showing a second embodiment of the present invention. In this embodiment, a
図3は屈折率ni とnt の異なる媒質の境界での光反射率Rと光透過率Tの模式図である。 Figure 3 is a schematic diagram of an optical reflectance R and transmittance T of the boundary of media having different refractive index n i and n t.
この図において、光コヒーレンストモグラフィー計測システムで、被検体としての金属基板21の金属光沢面22に塗布される透明樹脂23の断層像を計測する場合、図3に示すように、空気25の屈折率をni と透明樹脂23の屈折率をnt とすると、屈折率ni と屈折率nt の異なる媒質の境界での光反射率Rは、
R=(nt −ni )2 /(nt +ni )2
で与えられる。
In this figure, when measuring a tomographic image of the
R = (n t −n i ) 2 / (n t + n i ) 2
Given in.
一方、光透過率Tは、
T=4nt ni /(nt +ni )2
で与えられる。
On the other hand, the light transmittance T is
T = 4n t n i / (n t + n i ) 2
Given in.
図4は金属基板の金属面に透明樹脂が塗布されている場合の反射の模式図である。 FIG. 4 is a schematic view of reflection when a transparent resin is applied to the metal surface of the metal substrate.
この図に示すように、金属基板21の金属光沢面22に透明樹脂23が塗布されている場合、透明樹脂23の屈折率が1.5とすると、透明樹脂23の塗布表面24では照射光量に対し4%しか反射しないが、透明樹脂23が塗布される金属基板21の金属光沢面22では照射光量の96%が反射する。透明樹脂23の塗布表面24と金属基板21の金属光沢面22での反射光は同軸で反射し重なるため、金属基板21の金属光沢面22の高強度の反射光量で検出が飽和してしまい、低強度の透明樹脂23の塗布表面24の反射光量を十分に検出することができない。
As shown in this figure, when the
また、局所的に透明樹脂23が塗布されることから、透明樹脂23の塗布表面24が図3のようにドーム状になる。透明樹脂23の塗布部中心以外のところでは、透明樹脂23の塗布表面24が光照射軸と垂直にならず、透明樹脂23の塗布表面24からの反射光は軸外に逃げてしまい検出できない。
Further, since the
このように、光コヒーレンストモグラフィー計測システムでの断層像の計測において、透明樹脂23の塗布表面24からの反射光を捉えきれないため、透明樹脂23の塗布形状から透明樹脂23の塗布領域や塗布量を検出することは簡単にはできない。
Thus, since the reflected light from the
このような現状から、本発明は、金属基板の金属面に塗布される透明樹脂23の塗布領域と塗布量を自動判定可能にして、生産ライン上で利用できるようにした、光コヒーレンストモグラフィー計測システムを提供するようにした。
In view of the current situation, the present invention is an optical coherence tomography measurement system that can automatically determine the application region and the application amount of the
図5は金属基板の金属面に透明樹脂が塗布されている場合の透明樹脂の実形状(実際の厚さg)を示す模式図、図6は本発明の光コヒーレンストモグラフィー計測システムを用いて計測した断面像の模式図である。 FIG. 5 is a schematic diagram showing the actual shape (actual thickness g) of the transparent resin when the transparent resin is applied to the metal surface of the metal substrate, and FIG. 6 is measured using the optical coherence tomography measurement system of the present invention. It is the schematic diagram of a cross-sectional image.
本発明の光コヒーレンストモグラフィー計測システムで、被検体としての金属基板21の金属光沢面22に塗布される透明樹脂23を計測する場合、図6に示されるように、計測される距離は被検体としての透明樹脂23の実厚さg(図5参照)ではなく光学距離であり、光学距離は実距離g×透明樹脂23の屈折率nt で与えられる。空気25の屈折率は、ほぼ1であるため、空気25中での測定距離は被検体としての透明樹脂23の実距離と一致するが、屈折率が1ではない媒質を測定する場合には、実距離より実距離g×(媒質の屈折率nt −1)だけ長く測定される。例えば厚み3mmのガラス(屈折率1.5)の厚みを測定すると、4.5mmと測定される。
In the optical coherence tomography measurement system of the present invention, when measuring the
そのため、平面の金属基板の金属光沢面に局所的に透明樹脂を塗布した場合、その屈折率は1以上であることから、図6に示すように透明樹脂が塗布される位置での金属基板の位置は、透明樹脂の塗布表面が平面であるにも関わらず、塗布されていない金属基板の位置より深いところで検出されることになる。透明樹脂の塗布領域での金属基板の検出位置は透明樹脂の塗布表面を基準とすると、実距離g×媒質の屈折率nt となり、透明樹脂が塗布されていない領域の金属基板の検出位置はg×1(空気の屈折率)となるから、透明樹脂が塗布されていない金属基板の位置を基準とすると、透明樹脂の塗布領域での金属基板の位置は、
g×(nt −1)
となる。この量は、透明樹脂の厚みgに比例することから、この量を検出することにより、透明樹脂塗布量を求めることができる。透明樹脂が塗布されていない金属基板の位置より深層に金属基板の位置が検出されるかどうかで、透明樹脂塗布の有無を確認できる。また、十分に強度のある金属基板からの反射光を測定に使用するため、十分な検出感度が保たれる。
Therefore, when a transparent resin is locally applied to the metallic gloss surface of a flat metal substrate, the refractive index is 1 or more, so that the metal substrate at the position where the transparent resin is applied as shown in FIG. The position is detected deeper than the position of the uncoated metal substrate, even though the transparent resin coating surface is flat. The detection position of the metal substrate in the transparent resin application area is the actual distance g × the refractive index n t of the medium, based on the transparent resin application surface, and the detection position of the metal substrate in the area where the transparent resin is not applied is Since it is g × 1 (refractive index of air), the position of the metal substrate in the transparent resin application region is based on the position of the metal substrate on which the transparent resin is not applied.
g × (n t −1)
It becomes. Since this amount is proportional to the thickness g of the transparent resin, the transparent resin coating amount can be obtained by detecting this amount. Whether or not the transparent resin is applied can be confirmed by detecting whether or not the position of the metal substrate is detected deeper than the position of the metal substrate to which the transparent resin is not applied. Moreover, since the reflected light from a sufficiently strong metal substrate is used for measurement, sufficient detection sensitivity is maintained.
図7は金属基板の金属面に透明樹脂が塗布されている場合の透明樹脂塗布部の顕微鏡像を示す図、図8はその透明樹脂塗布部の3D像を示す図、図9はその透明樹脂塗布部のXZ断層面を示す図、図10はその透明樹脂塗布部のXY断層面を示す図である。 FIG. 7 is a view showing a microscopic image of a transparent resin application portion when a transparent resin is applied to the metal surface of the metal substrate, FIG. 8 is a view showing a 3D image of the transparent resin application portion, and FIG. FIG. 10 is a diagram showing an XZ tomographic plane of the application part, and FIG. 10 is a diagram showing an XY tomographic plane of the transparent resin application part.
図7において、31は電子回路の素子(金属光沢面)、32は金属光沢面31に塗布された透明樹脂(半透明の接着剤)であり、図9において、33は素子(金属光沢面)の信号強度、34は透明樹脂部、35は配線部と素子を電気的に接続するAgペースト表面部の信号強度であり、透明樹脂32を検出できているが、ノイズとの信号強度が小さい。生産ライン上で使用するには工夫が必要である。図10において、36,37は透明樹脂部、38,39,40はAgペースト表面部である。
In FIG. 7, 31 is an element (metallic glossy surface) of an electronic circuit, 32 is a transparent resin (translucent adhesive) applied to the metallic
図11は金属基板の金属面に透明樹脂が塗布されている場合の透明樹脂塗布部の顕微鏡像を示す図であり、OK丸部は透明樹脂塗布有部、NG丸部は透明樹脂塗布部の無部である。図12はそのOCT像を示す図であり、41は透明樹脂が塗布されていない素子部、42はAgペースト表面部である。図13はその計測の判定の流れを示す図であり、図13(a)は透明樹脂塗布部の識別を示す図であり、反射信号のピーク強度をマップを作成する。素子部や金属基板部からの反射信号は強いため(白で表示)、透明樹脂塗布部とは明確な違いが現れる。図13(b)は透明樹脂塗布部の形状を示す図であり、反射信号の位置情報(高低情報)のマップを作成する。図13(c)は透明樹脂塗布部の傾斜形状を数値化し、Agペースト部の上記図13(b)の位置情報から傾斜マップを作成する。 FIG. 11 is a view showing a microscopic image of the transparent resin application part when the transparent resin is applied to the metal surface of the metal substrate. The OK round part is the transparent resin application part and the NG round part is the transparent resin application part. There is no part. FIG. 12 is a view showing the OCT image, 41 is an element part to which a transparent resin is not applied, and 42 is an Ag paste surface part. FIG. 13 is a diagram showing a flow of the determination of the measurement, and FIG. 13A is a diagram showing identification of the transparent resin application portion, and a map of the peak intensity of the reflected signal is created. Since the reflected signal from the element part and the metal substrate part is strong (indicated in white), a clear difference from the transparent resin application part appears. FIG. 13B is a diagram showing the shape of the transparent resin application part, and creates a map of position information (level information) of the reflected signal. FIG. 13C quantifies the slope shape of the transparent resin application part, and creates a slope map from the position information of FIG. 13B of the Ag paste part.
例えば図12(a)の断層画像において素子部41から右方Agペースト部42にかけての境界部においてほぼ平行を維持しており素子部に透明樹脂が塗布されていないことが判る。
For example, in the tomographic image shown in FIG. 12A, it can be seen that almost parallel is maintained at the boundary from the
これに対して図12(b)の断層画像において素子部41から右方Agペースト部42にかけての境界部において基準面(素子面)から下降している。
On the other hand, in the tomographic image of FIG. 12B, the boundary portion from the
これは、素子部表面に透明樹脂が塗布されているための塗布量に応じて光学距離が伸びて表されていることを示している。 This indicates that the optical distance is extended and represented in accordance with the application amount for applying the transparent resin to the surface of the element portion.
これらの傾斜を塗布部全体として表したものが傾斜マップであり、負の傾斜(黒)から正の傾斜(白)をグレースケールで表す。 An inclination map representing these inclinations as the entire application portion represents a negative inclination (black) to a positive inclination (white) in gray scale.
図14は金属基板の金属面に透明樹脂が塗布されている場合のNG丸を有する顕微鏡像及び透明樹脂の塗布部の傾斜マップを示す図、図15は金属基板の金属面に透明樹脂が塗布されている場合のOK丸を有する顕微鏡像及び透明樹脂の塗布部の傾斜マップを示す図である。 FIG. 14 is a view showing a microscope image having an NG circle when the transparent resin is applied to the metal surface of the metal substrate and an inclination map of the application portion of the transparent resin, and FIG. 15 is an application of the transparent resin to the metal surface of the metal substrate. It is a figure which shows the inclination map of the microscopic image which has the OK circle | round | yen in the case of being performed, and the application part of transparent resin.
傾斜マップにおいてOK丸部はその外周部に負の傾斜(黒)部分が存在し、金属基板上に透明樹脂が十分に塗布されていることが判る。 In the inclination map, the OK round part has a negative inclination (black) part on the outer peripheral part, and it can be seen that the transparent resin is sufficiently applied on the metal substrate.
また、NG丸部分は、その外周部に負の傾斜(黒)部分が存在せず、金属基板上に透明樹脂が塗布されていないことが判る。 Further, it can be seen that the NG round portion does not have a negative slope (black) portion on the outer peripheral portion, and no transparent resin is applied on the metal substrate.
この図から明らかなように、透明樹脂の塗布領域を判別可能である。 As is apparent from this figure, the application region of the transparent resin can be determined.
なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨に基づき種々の変形が可能であり、これらを本発明の範囲から排除するものではない。 In addition, this invention is not limited to the said Example, Based on the meaning of this invention, a various deformation | transformation is possible and these are not excluded from the scope of the present invention.
本発明の金属面に塗布される透明樹脂の塗布領域と塗布量を検出する方法及びその光コヒーレンストモグラフィー計測システムは、金属面に塗布される透明樹脂の塗布の塗布領域と塗布量を自動判定可能にする金属面に塗布される透明樹脂の塗布領域と塗布量を検出する方法及びその光コヒーレンストモグラフィー装置として利用可能である。 The method for detecting the application area and the application amount of the transparent resin applied to the metal surface of the present invention and the optical coherence tomography measurement system can automatically determine the application area and application amount of the application of the transparent resin applied to the metal surface. This method can be used as a method for detecting a coating region and a coating amount of a transparent resin to be applied to a metal surface and an optical coherence tomography device.
1 OCT計測システム
2 低コヒーレンス光源
3 レンズ
4,6,9,13 光ファイバー
5 ファイバーカプラ(分波素子)
7 参照光
8 参照ミラー
10 物体光
11 計測ヘッド
12,54 対物レンズ
14,52 レンズ
15 回折素子
16 分光器(CCDカメラ)
17 演算手段(PCユニット)
18 表示手段(表示装置)
21 金属基板
22 金属光沢面
23,32 接着剤や保護樹脂等の透明樹脂
24 透明樹脂の塗布表面
25 空気
31 素子部(金属光沢面)
33 素子部(金属光沢面)の信号強度
34 接着剤や保護樹脂等の透明樹脂部
35 Agペースト表面部の信号強度
36,37 接着剤部
38,39,40,42 Agペースト表面部
41 接着剤が塗布されている素子部
51 計測ヘッド
53 ガルバノミラー
1
7
17 Calculation means (PC unit)
18 Display means (display device)
DESCRIPTION OF
33 Signal strength of element part (metallic glossy surface) 34 Transparent resin part such as adhesive or
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