JP2015079891A

JP2015079891A - Cutting device

Info

Publication number: JP2015079891A
Application number: JP2013216796A
Authority: JP
Inventors: 斌呉; Takeshi Go; 将二郎山田; Shiyoujiro Yamada
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2013-10-17
Filing date: 2013-10-17
Publication date: 2015-04-23
Anticipated expiration: 2033-10-17
Also published as: JP6157306B2

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a cutting device capable of changing an injection direction of cutting water without replacing a blade cover.SOLUTION: A cutting device comprises cutting means for cutting a workpiece. The cutting means comprises a cutting blade, and a blade cover 24 equipped with a cutting water supply nozzle 27 for supplying cutting water to the cutting blade from both sides. The cutting water supply nozzle 27 comprises a rigid bracket 28 extending in a vertical direction, and a cylindrical pipe nozzle 29 which is attached to a bottom end of the rigid bracket 28, extends in a horizontal direction, and has injection slits 29a on a side surface thereof. The pipe nozzle 29 has: one end part of a nozzle body 31 as an adjusting part 32 which is rotated with respect to the attached rigid bracket 28 in a cylindrical circumferential direction to adjust an injection direction of the injection slits 29a; and a set screw 33 which regulates rotation of the pipe nozzle 29.

Description

本発明は、半導体ウエーハ等の被加工物を切削するための切削装置に関する。 The present invention relates to a cutting apparatus for cutting a workpiece such as a semiconductor wafer.

半導体デバイスの製造工程においては、略円板形状の半導体ウエーハの表面に格子状に分割予定ラインが形成され、分割予定ラインにより区画された領域にＩＣ、ＬＳＩ等の回路が形成される。そして、半導体ウエーハは、切削装置により分割予定ラインに沿って切削され、個々の半導体チップに分割される。このようにして分割された半導体チップは、パッケージングされて携帯電話やパソコン等の電気機器に広く利用される。 In the semiconductor device manufacturing process, division lines are formed in a lattice pattern on the surface of a substantially disc-shaped semiconductor wafer, and circuits such as ICs and LSIs are formed in regions partitioned by the division lines. Then, the semiconductor wafer is cut along a planned division line by a cutting device and divided into individual semiconductor chips. The semiconductor chip thus divided is packaged and widely used in electric devices such as mobile phones and personal computers.

一般に、このような半導体ウエーハを分割する切削装置においては、半導体ウエーハの加工部分に向けて切削水を噴射しながら切削が行われる（例えば、特許文献１参照）。この切削装置は、切削ブレードの外周を覆うブレードカバーに、切削水を噴射する複数のノズルを固定ねじでねじ止めして構成される。切削装置は、切削ブレードを高速回転させると同時に、複数のノズルから切削水を半導体ウエーハの加工部分や切削ブレードに噴射し、切削屑の洗浄や加工部分の冷却および潤滑等を行っている。そして、切削装置は、切削ブレードを半導体ウエーハに一定量切り込ませた状態で、分割予定ラインに沿って切削送りすることにより半導体ウエーハを切削する。 In general, in such a cutting apparatus that divides a semiconductor wafer, cutting is performed while spraying cutting water toward a processed portion of the semiconductor wafer (see, for example, Patent Document 1). This cutting apparatus is configured by screwing a plurality of nozzles for injecting cutting water with fixing screws on a blade cover that covers the outer periphery of a cutting blade. The cutting device rotates the cutting blade at a high speed and simultaneously sprays cutting water from a plurality of nozzles onto a processed portion of the semiconductor wafer and the cutting blade to clean the cutting waste and cool and lubricate the processed portion. Then, the cutting device cuts the semiconductor wafer by cutting and feeding along the planned dividing line with the cutting blade cut into the semiconductor wafer by a certain amount.

特開２０１１−１１４２２０号公報JP 2011-114220 A 特開２００１−２６７２７２号公報JP 2001-267272 A 特開平０３−２３０５４６号公報Japanese Patent Laid-Open No. 03-230546

切削ブレードの両側から切削水を噴射するいわゆる冷却ノズルは、特許文献２のように加工点に向けて噴射したり、特許文献３のように切削ブレードに向けて噴射したりとその向きは適宜調整される場合がある。しかし、冷却ノズルは、略Ｌ字型のパイプ形状に形成されて、ブレードカバーに一体に形成されていたため、噴射する方向に対し１つの冷却ノズルが形成されており、ブレードカバーを適宜交換して噴射する向きを選択していた。 The so-called cooling nozzle that jets cutting water from both sides of the cutting blade is jetted toward the machining point as in Patent Document 2, or jetted toward the cutting blade as in Patent Document 3, and the direction thereof is appropriately adjusted. May be. However, since the cooling nozzle is formed in a substantially L-shaped pipe shape and is formed integrally with the blade cover, one cooling nozzle is formed in the spraying direction, and the blade cover is appropriately replaced. The direction of jetting was selected.

本発明は、上記問題にかんがみなされたもので、その目的は、ブレードカバーを交換することなく切削水の噴射方向を変更することができる切削装置を提供することである。 The present invention has been considered in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a cutting apparatus capable of changing the injection direction of cutting water without replacing the blade cover.

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の切削装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された該被加工物を切削するための切削ブレードを備えた切削手段と、を備えた切削装置であって、該切削手段は、該切削ブレードを前端に装着したスピンドルを回転自在に支持するスピンドルハウジングと、該スピンドルハウジングの前端部に該切削ブレードを挟んで両側に配設され該切削ブレードに両側から切削水を供給するための切削水供給ノズルを備えたブレードカバーと、を備え、該切削水供給ノズルは、加工高さまで上下方向に延伸する剛性ブラケットと、該剛性ブラケットの下端に装着され水平方向に延伸し且つその側面に噴射スリットを有する円筒形状のパイプノズルと、からなり、該剛性ブラケット及び該パイプノズルの内部には切削水供給路が形成され、該切削水供給路は切削水源に連通しており、該パイプノズルは、装着された該剛性ブラケットに対し、円筒形状の周方向に回転させて該噴射スリットの噴射方向を調整する調整部と、回転を規制する固定部とを有することを特徴とする。 In order to solve the above-described problems and achieve the object, a cutting apparatus according to the present invention includes a chuck table for holding a workpiece and a cutting blade for cutting the workpiece held on the chuck table. A cutting device comprising: a spindle housing that rotatably supports a spindle having the cutting blade mounted on a front end thereof; and the cutting blade disposed at a front end portion of the spindle housing. A blade cover provided with a cutting water supply nozzle that is disposed on both sides of the cutting blade to supply cutting water to the cutting blade from both sides, and the cutting water supply nozzle has a rigidity that extends vertically up to a machining height. A bracket, and a cylindrical pipe nozzle that is attached to the lower end of the rigid bracket and extends in the horizontal direction and has an injection slit on its side surface, A cutting water supply passage is formed inside the rigid bracket and the pipe nozzle, the cutting water supply passage communicates with a cutting water source, and the pipe nozzle is formed in a cylindrical shape with respect to the mounted rigid bracket. It has an adjustment part which rotates to a direction and adjusts the injection direction of this injection slit, and a fixed part which controls rotation.

また、前記切削装置では、前記切削水供給ノズルは、前記パイプノズルの回転方向での向きを示す目盛と表示マークとからなる位置表示手段を備えることが望ましい。 In the cutting apparatus, it is preferable that the cutting water supply nozzle includes a position display unit including a scale indicating a direction in the rotation direction of the pipe nozzle and a display mark.

本願発明の切削装置では、切削水供給ノズルが剛性ブラケットとパイプノズルで構成されており、パイプノズルの向きを周方向に回転させてから固定することで切削水の噴射方向を容易に調整することができると言う効果を奏する。また、切削装置は、回転方向でのパイプノズルの向きを表示する位置表示手段があるので、一対のパイプノズルの向きを容易に揃えることができ、切削ブレードの倒れや切削屑の付着の偏り等を防ぐ事ができると言う効果も奏する。 In the cutting device of the present invention, the cutting water supply nozzle is composed of a rigid bracket and a pipe nozzle, and the direction of the pipe nozzle is rotated in the circumferential direction and then fixed, thereby easily adjusting the injection direction of the cutting water. There is an effect that can be done. In addition, since the cutting device has a position display means for displaying the direction of the pipe nozzle in the rotation direction, the direction of the pair of pipe nozzles can be easily aligned, the cutting blade is tilted, the unevenness of the attachment of cutting waste, etc. There is also an effect that can be prevented.

図１は、実施形態に係る切削装置の構成例を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view illustrating a configuration example of a cutting apparatus according to an embodiment. 図２は、実施形態に係る切削装置の切削手段の構成例を示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view illustrating a configuration example of cutting means of the cutting apparatus according to the embodiment. 図３は、実施形態に係る切削装置の切削手段の構成例を分解して示す分解斜視図である。FIG. 3 is an exploded perspective view showing an exploded configuration example of the cutting means of the cutting apparatus according to the embodiment. 図４は、図３中のＩＶ−ＩＶ線に沿う断面図である。4 is a cross-sectional view taken along line IV-IV in FIG. 図５（ａ）は、実施形態の変形例に係る切削装置の切削手段の断面図であり、図５（ｂ）は、図５（ａ）のｂ部を拡大して示す断面図である。Fig.5 (a) is sectional drawing of the cutting means of the cutting device which concerns on the modification of embodiment, FIG.5 (b) is sectional drawing which expands and shows the b section of Fig.5 (a).

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。 DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Embodiments (embodiments) for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The present invention is not limited by the contents described in the following embodiments. The constituent elements described below include those that can be easily assumed by those skilled in the art and those that are substantially the same. Furthermore, the structures described below can be combined as appropriate. Various omissions, substitutions, or changes in the configuration can be made without departing from the scope of the present invention.

〔実施形態〕
本発明の実施形態に係る切削装置を図面に基いて説明する。図１は、実施形態に係る切削装置の構成例を示す斜視図である。図２は、実施形態に係る切削装置の切削手段の構成例を示す斜視図である。図３は、実施形態に係る切削装置の切削手段の構成例を分解して示す分解斜視図である。図４は、図３中のＩＶ−ＩＶ線に沿う断面図である。 Embodiment
A cutting apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view illustrating a configuration example of a cutting apparatus according to an embodiment. FIG. 2 is a perspective view illustrating a configuration example of cutting means of the cutting apparatus according to the embodiment. FIG. 3 is an exploded perspective view showing an exploded configuration example of the cutting means of the cutting apparatus according to the embodiment. 4 is a cross-sectional view taken along line IV-IV in FIG.

切削装置１は、図１に示すように、被加工物Ｗを保持するチャックテーブル１０と、チャックテーブル１０に保持された被加工物Ｗを切削するための切削ブレード２１を備えた切削手段２０と、チャックテーブル１０をＸ軸方向に移動させるＸ軸移動手段（図示せず）と、チャックテーブル１０をＺ軸と平行な軸心回りに回転させる回転駆動源（図示せず）と、Ｙ軸移動手段４０と、Ｚ軸移動手段５０と、制御手段（図示せず）等を備えている。切削装置１は、Ｘ軸移動手段と、Ｙ軸移動手段４０と、Ｚ軸移動手段５０及び回転駆動源により、チャックテーブル１０と切削手段２０とをＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向及びＺ軸回りに相対的に移動させて、被加工物Ｗを切削してチップに分割するものである。 As shown in FIG. 1, the cutting apparatus 1 includes a chuck table 10 that holds a workpiece W, and a cutting means 20 that includes a cutting blade 21 for cutting the workpiece W held on the chuck table 10. , An X-axis moving means (not shown) for moving the chuck table 10 in the X-axis direction, a rotational drive source (not shown) for rotating the chuck table 10 about an axis parallel to the Z-axis, and a Y-axis movement Means 40, Z-axis moving means 50, control means (not shown) and the like are provided. The cutting apparatus 1 uses an X-axis moving unit, a Y-axis moving unit 40, a Z-axis moving unit 50, and a rotational drive source to move the chuck table 10 and the cutting unit 20 in the X-axis direction, the Y-axis direction, the Z-axis direction, and The workpiece W is moved relative to the Z axis, and the workpiece W is cut and divided into chips.

なお、被加工物Ｗは、本実施形態では、シリコン、サファイア、ガリウムなどを母材とする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハである。また、本発明では、被加工物Ｗは、電子部品に使用される各種セラミック基板、樹脂基板、ガラス基板などであってもよい。被加工物Ｗは、図１に示すように、粘着シートＳに貼着され、粘着シートＳに環状フレームＦが貼着されて、粘着シートＳを介して環状フレームＦに装着される。 In the present embodiment, the workpiece W is a disk-shaped semiconductor wafer or optical device wafer whose base material is silicon, sapphire, gallium, or the like. In the present invention, the workpiece W may be various ceramic substrates, resin substrates, glass substrates and the like used for electronic components. As shown in FIG. 1, the workpiece W is attached to the adhesive sheet S, the annular frame F is attached to the adhesive sheet S, and the workpiece W is attached to the annular frame F via the adhesive sheet S.

チャックテーブル１０は、保持面１０ａ上に粘着シートＳを介して被加工物Ｗが載置されて、保持面１０ａ上に載置された被加工物Ｗを吸引保持するものである。チャックテーブル１０は、保持面１０ａを構成する部分がポーラスセラミック等から形成された円盤形状であり、図示しない真空吸引経路を介して図示しない真空吸引源と接続され、保持面１０ａに載置された被加工物Ｗを粘着シートＳを介して吸引することで保持する。チャックテーブル１０は、回転駆動源によりＺ軸回りに回転される。また、チャックテーブル１０の周囲には、エアーアクチュエータにより駆動して被加工物Ｗの周囲の環状フレームＦを挟持するクランプ部１１が複数設けられている。 The chuck table 10 has a workpiece W placed on the holding surface 10a via an adhesive sheet S, and sucks and holds the workpiece W placed on the holding surface 10a. The chuck table 10 has a disk shape in which a portion constituting the holding surface 10a is formed of porous ceramic or the like, and is connected to a vacuum suction source (not shown) via a vacuum suction path (not shown) and placed on the holding surface 10a. The workpiece W is held by being sucked through the adhesive sheet S. The chuck table 10 is rotated around the Z axis by a rotational drive source. Further, around the chuck table 10, a plurality of clamp portions 11 that are driven by an air actuator and sandwich the annular frame F around the workpiece W are provided.

切削手段２０は、チャックテーブル１０に保持された被加工物Ｗに切削溝を供給しながら切削（加工）するものである。切削手段２０は、チャックテーブル１０に保持された被加工物Ｗに対して、Ｙ軸移動手段４０によりＹ軸方向に移動自在に設けられ、かつ、Ｚ軸移動手段５０によりＺ軸方向に移動自在に設けられている。 The cutting means 20 performs cutting (processing) while supplying cutting grooves to the workpiece W held on the chuck table 10. The cutting means 20 is provided so as to be movable in the Y-axis direction by the Y-axis moving means 40 with respect to the workpiece W held on the chuck table 10, and is movable in the Z-axis direction by the Z-axis moving means 50. Is provided.

切削手段２０は、Ｙ軸移動手段４０及びＺ軸移動手段５０により、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に移動されて、チャックテーブル１０の表面の任意の位置に切削ブレード２１を位置付け可能となっている。また、切削手段２０は、被加工物Ｗの上面を撮像する撮像手段８０が、スピンドル２２と一体的に移動するように固定されている。撮像手段８０は、チャックテーブル１０に保持された切削前の被加工物Ｗの切削すべき領域を撮像するＣＣＤカメラを備えている。ＣＣＤカメラは、チャックテーブル１０に保持された被加工物Ｗを撮像して、被加工物Ｗと切削ブレード２１との位置合わせを行なうアライメントを遂行するための画像を得、得た画像を制御手段に出力する。 The cutting means 20 is moved in the Y-axis direction and the Z-axis direction by the Y-axis moving means 40 and the Z-axis moving means 50 so that the cutting blade 21 can be positioned at an arbitrary position on the surface of the chuck table 10. . Further, the cutting means 20 is fixed so that the image pickup means 80 for picking up the upper surface of the workpiece W moves integrally with the spindle 22. The image pickup unit 80 includes a CCD camera that picks up an image of an area to be cut of the workpiece W before cutting held on the chuck table 10. The CCD camera images the workpiece W held on the chuck table 10 to obtain an image for performing alignment for aligning the workpiece W and the cutting blade 21, and controls the obtained image as a control means. Output to.

切削手段２０は、図２及び図３に示すように、略リング形状を有する極薄の切削砥石である切削ブレード２１と、切削ブレード２１を前端に装着したスピンドル２２と、スピンドル２２を回転自在に支持するスピンドルハウジング２３と、ブレードカバー２４とを備えている。スピンドル２２は、切削ブレード２１を回転させることで被加工物Ｗを切削する。スピンドル２２は、スピンドルハウジング２３内に収容され、スピンドルハウジング２３は、Ｚ軸移動手段５０に支持されている。切削手段２０のスピンドル２２及び切削ブレード２１の軸心は、Ｙ軸方向と平行に設定されている。 As shown in FIGS. 2 and 3, the cutting means 20 includes a cutting blade 21 that is an extremely thin cutting grindstone having a substantially ring shape, a spindle 22 having the cutting blade 21 attached to the front end, and the spindle 22 is rotatable. A spindle housing 23 to be supported and a blade cover 24 are provided. The spindle 22 cuts the workpiece W by rotating the cutting blade 21. The spindle 22 is accommodated in the spindle housing 23, and the spindle housing 23 is supported by the Z-axis moving means 50. The axes of the spindle 22 and the cutting blade 21 of the cutting means 20 are set parallel to the Y-axis direction.

ブレードカバー２４は、スピンドルハウジング２３の前端部に取り付けられるブレードカバー本体２５と、ボルト２６などによりブレードカバー本体２５に取り付けられる切削水供給ノズル２７とを備えている。切削水供給ノズル２７は、ブレードカバー本体２５に取り付けられかつブレードカバー本体２５から加工高さまでＺ軸方向と平行な上下方向に延伸する剛性ブラケット２８と、一対のパイプノズル２９とからなる。剛性ブラケット２８は、ブレードカバー本体２５に設けられた通し孔２５ａ内に通されたボルト２６がねじ孔２８ａにねじ込まれることで、ブレードカバー本体２５に取り付けられる。 The blade cover 24 includes a blade cover main body 25 attached to the front end portion of the spindle housing 23 and a cutting water supply nozzle 27 attached to the blade cover main body 25 with a bolt 26 or the like. The cutting water supply nozzle 27 includes a rigid bracket 28 that is attached to the blade cover main body 25 and extends in the vertical direction parallel to the Z-axis direction from the blade cover main body 25 to the processing height, and a pair of pipe nozzles 29. The rigid bracket 28 is attached to the blade cover main body 25 by screwing a bolt 26 passed through a through hole 25a provided in the blade cover main body 25 into the screw hole 28a.

パイプノズル２９は、スピンドルハウジング２３の前端部に切削ブレード２１を挟んでＹ軸方向の両側に配設され、切削ブレード２１にＹ軸方向の両側から切削水を供給するためのものである。即ち、切削水供給ノズル２７は、パイプノズル２９を備えることで、スピンドルハウジング２３の前端部に切削ブレード２１を挟んで両側に配設され切削ブレード２１に両側から切削水を供給するためのものである。パイプノズル２９は、剛性ブラケット２８の下端に装着され、Ｘ軸方向と平行に水平方向に延伸し、且つその側面に切削水を噴射する噴射スリット２９ａを有する円筒形状に形成されている。パイプノズル２９は、被加工物Ｗの加工箇所から数ｍｍ高い位置に配置されている。噴射スリット２９ａは、各パイプノズル２９にＸ軸方向に間隔をあけて複数（本実施形態では、３つ）設けられている。噴射スリット２９ａは、パイプノズル２９の外壁の一部を貫通し、かつパイプノズル２９の長手方向に直交する方向に延伸している。また、各パイプノズル２９に設けられた複数の噴射スリット２９ａは、パイプノズル２９の長手方向に並ぶ位置に配置されている。 The pipe nozzles 29 are disposed on both sides in the Y-axis direction with the cutting blade 21 sandwiched between the front end portion of the spindle housing 23 and supply cutting water to the cutting blade 21 from both sides in the Y-axis direction. That is, the cutting water supply nozzle 27 includes a pipe nozzle 29 and is disposed on both sides of the front end portion of the spindle housing 23 with the cutting blade 21 interposed therebetween, and supplies cutting water to the cutting blade 21 from both sides. is there. The pipe nozzle 29 is attached to the lower end of the rigid bracket 28, extends in the horizontal direction parallel to the X-axis direction, and is formed in a cylindrical shape having an injection slit 29a for injecting cutting water on the side surface thereof. The pipe nozzle 29 is arranged at a position several mm higher than the processing location of the workpiece W. A plurality (three in the present embodiment) of the injection slits 29a are provided in each pipe nozzle 29 with an interval in the X-axis direction. The ejection slit 29 a passes through a part of the outer wall of the pipe nozzle 29 and extends in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the pipe nozzle 29. Further, the plurality of ejection slits 29 a provided in each pipe nozzle 29 are arranged at positions aligned in the longitudinal direction of the pipe nozzle 29.

また、剛性ブラケット２８と、剛性ブラケット２８の下端に装着されたパイプノズル２９の内部には、図４に示すように、切削水供給路３０が形成されている。切削水供給路３０は、剛性ブラケット２８の上端に取り付けられた連結部２８ｂを介して、切削水を供給する切削水源１００に連通している。切削水供給路３０は、連結部２８ｂを介して切削水源１００から供給された切削水を噴射スリット２９ａまで導き、噴射スリット２９ａから切削ブレード２１及び被加工物Ｗの切削ブレード２１の加工箇所等に向けて切削水を噴射する。 Further, as shown in FIG. 4, a cutting water supply path 30 is formed inside the rigid bracket 28 and the pipe nozzle 29 attached to the lower end of the rigid bracket 28. The cutting water supply path 30 communicates with a cutting water source 100 that supplies cutting water via a connecting portion 28 b attached to the upper end of the rigid bracket 28. The cutting water supply path 30 guides the cutting water supplied from the cutting water source 100 to the injection slit 29a via the connecting portion 28b, and passes from the injection slit 29a to the machining location of the cutting blade 21 and the cutting blade 21 of the workpiece W. The cutting water is sprayed toward.

パイプノズル２９は、図４に示すように、噴射スリット２９ａを有しかつ剛性ブラケット２８の下端に装着される円筒形状のノズル本体３１と、ノズル本体３１の一端部に設けられかつ剛性ブラケット２８の下端部に設けられた差込穴２８ｃ内に挿入される調整部３２と、固定部としてのいもねじ３３とを有している。調整部３２は、差込穴２８ｃ内に挿入されて、ノズル本体３１即ちパイプノズル２９が装着された剛性ブラケット２８に対し、ノズル本体３１即ちパイプノズル２９を円筒形状の周方向に回転させて、噴射スリット２９ａの切削水の噴射方向を調整するものである。調整部３２は、差込穴２８ｃ内に挿入されて、ノズル本体３１即ちパイプノズル２９をＸ軸方向と平行な姿勢に保ち、ノズル本体３１即ちパイプノズル２９のＸ軸方向と平行な軸心回りの向きを変更可能とする。 As shown in FIG. 4, the pipe nozzle 29 has a cylindrical nozzle body 31 that has an injection slit 29 a and is attached to the lower end of the rigid bracket 28, and is provided at one end of the nozzle body 31. It has the adjustment part 32 inserted in the insertion hole 28c provided in the lower end part, and the worm screw 33 as a fixing | fixed part. The adjustment unit 32 is inserted into the insertion hole 28c, and rotates the nozzle body 31, that is, the pipe nozzle 29 in the cylindrical circumferential direction with respect to the rigid bracket 28 to which the nozzle body 31, that is, the pipe nozzle 29 is mounted. This adjusts the spraying direction of the cutting water in the spray slit 29a. The adjusting unit 32 is inserted into the insertion hole 28c, and maintains the nozzle body 31, that is, the pipe nozzle 29, in a posture parallel to the X-axis direction. The direction of can be changed.

いもねじ３３は、ノズル本体３１即ちパイプノズル２９の回転を規制するものである。いもねじ３３は、剛性ブラケット２８の下端の上面に開口しかつ剛性ブラケット２８の下端の上面から差込穴２８ｃに向かって延伸したねじ孔２８ｄにねじ込まれて、先端が調整部３２に当接することで、ノズル本体３１即ちパイプノズル２９を剛性ブラケット２８に固定して、ノズル本体３１即ちパイプノズル２９の軸心回りの回転を規制する。 The rice thread 33 regulates the rotation of the nozzle body 31, that is, the pipe nozzle 29. The potato screw 33 is screwed into a screw hole 28d that opens to the upper surface of the lower end of the rigid bracket 28 and extends from the upper surface of the lower end of the rigid bracket 28 toward the insertion hole 28c, and the tip contacts the adjustment portion 32. Thus, the nozzle body 31, that is, the pipe nozzle 29 is fixed to the rigid bracket 28, and the rotation of the nozzle body 31, that is, the pipe nozzle 29 around the axis is restricted.

切削水供給ノズル２７は、ノズル本体３１即ちパイプノズル２９の軸心回りの回転方向での向きを示す目盛３５と、表示マーク３６とからなる位置表示手段３７を備えている。目盛３５は、パイプノズル２９のノズル本体３１のそれぞれに、パイプノズル２９のノズル本体３１の回転方向即ち軸心回りに等間隔に複数設けられている。目盛３５は、パイプノズル２９のノズル本体３１の長手方向に直線状に延伸している。一対のパイプノズル２９のノズル本体３１に設けられた複数の目盛３５は、切削ブレード２１に向かう位置関係において、互いに、噴射スリット２９ａとの相対的な位置が等しくなる位置に設けられている。即ち、一方のパイプノズル２９のノズル本体３１に設けられた複数の目盛３５の噴射スリット２９ａとの相対的な位置は、他方のパイプノズル２９のノズル本体３１に設けられた複数の目盛３５の噴射スリット２９ａとの相対的な位置と等しい。 The cutting water supply nozzle 27 is provided with a position display means 37 including a scale 35 indicating the direction of the nozzle body 31, that is, the pipe nozzle 29 in the rotational direction around the axis, and a display mark 36. A plurality of scales 35 are provided at equal intervals in the rotation direction of the nozzle body 31 of the pipe nozzle 29, that is, around the axis, in each nozzle body 31 of the pipe nozzle 29. The scale 35 extends linearly in the longitudinal direction of the nozzle body 31 of the pipe nozzle 29. The plurality of scales 35 provided on the nozzle main body 31 of the pair of pipe nozzles 29 are provided at positions where the relative positions with respect to the ejection slit 29 a are equal to each other in the positional relationship toward the cutting blade 21. That is, the relative positions of the plurality of scales 35 provided in the nozzle body 31 of one pipe nozzle 29 with respect to the injection slits 29a are the injections of the plurality of scales 35 provided in the nozzle body 31 of the other pipe nozzle 29. It is equal to the relative position with the slit 29a.

表示マーク３６は、剛性ブラケット２８の下端の差込穴２８ｃの周りに設けられ、Ｘ軸方向に直線状に延伸している。即ち、表示マーク３６は、剛性ブラケット２８の下端に一対設けられている。これら一対の表示マーク３６は、切削ブレード２１との相対的な位置が等しくなる位置に配設されている。 The display mark 36 is provided around the insertion hole 28c at the lower end of the rigid bracket 28 and extends linearly in the X-axis direction. That is, a pair of display marks 36 is provided at the lower end of the rigid bracket 28. The pair of display marks 36 are disposed at positions where the relative positions with the cutting blade 21 are equal.

また、それぞれのパイプノズル２９のノズル本体３１に設けられた複数の目盛３５は、互いに異なる色や長さ、模様等の異なる態様で形成されているのが望ましい。この場合、一方のパイプノズル２９のノズル本体３１に設けられた目盛３５と、他方のパイプノズル２９のノズル本体３１に設けられた目盛３５とは、噴射スリット２９ａとの相対的な位置が等しいもの同士が同じ色や長さ、同じ模様などの同じ態様に形成されているのが望ましい。 The plurality of scales 35 provided on the nozzle body 31 of each pipe nozzle 29 are preferably formed in different forms such as different colors, lengths, patterns, and the like. In this case, the scale 35 provided on the nozzle body 31 of one pipe nozzle 29 and the scale 35 provided on the nozzle body 31 of the other pipe nozzle 29 have the same relative position with respect to the ejection slit 29a. It is desirable that they are formed in the same form such as the same color, length and pattern.

位置表示手段３７は、いもねじ３３によりノズル本体３１即ちパイプノズル２９を剛性ブラケット２８に固定する際に、パイプノズル２９に設けられた複数の目盛３５のうちのいずれかの目盛３５を表示マーク３６とＸ軸方向に並ぶ位置に位置付けることで、ノズル本体３１即ちパイプノズル２９を所望の回転方向の向きに固定することができる。一対のパイプノズル２９のノズル本体３１に設けられた目盛３５の噴射スリット２９ａとの相対的な位置が等しいもの同士が同じ色や長さ、同じ模様に形成されている場合には、同じ色や長さ、同じ模様の目盛３５を表示マーク３６とＸ軸方向に並ぶ位置に位置付けることで、一対のパイプノズル２９のノズル本体３１の回転方向の向きを容易に一致させることができる。 When the nozzle body 31, that is, the pipe nozzle 29 is fixed to the rigid bracket 28 by the worm screw 33, the position display unit 37 displays any one of the scales 35 of the plurality of scales 35 provided on the pipe nozzle 29 as a display mark 36. The nozzle main body 31, that is, the pipe nozzle 29 can be fixed in a desired rotational direction. When the relative positions of the pair of pipe nozzles 29 relative to the injection slit 29a of the scale 35 provided in the nozzle body 31 are formed in the same color, length, and pattern, the same color, By positioning the scale 35 having the same length and the same pattern as the display mark 36 in the X-axis direction, the direction of the rotation direction of the nozzle body 31 of the pair of pipe nozzles 29 can be easily matched.

制御手段は、切削装置１を構成する上述した構成要素をそれぞれ制御して、被加工物Ｗに対する切削加工を切削装置１に行わせるものである。具体的には、制御手段は、チャックテーブル１０と切削手段２０とを相対的にＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向に移動させるとともに、Ｚ軸と平行な軸心回りにチャックテーブル１０を回転させて、被加工物Ｗに対する切削加工を切削装置１に行わせる。なお、制御手段は、例えばＣＰＵ等で構成された演算処理装置やＲＯＭ、ＲＡＭ等を備える図示しないマイクロプロセッサを主体として構成されている。 The control means controls the above-described constituent elements constituting the cutting apparatus 1 to cause the cutting apparatus 1 to perform cutting on the workpiece W. Specifically, the control means moves the chuck table 10 and the cutting means 20 relatively in the X-axis direction, the Y-axis direction, and the Z-axis direction, and moves the chuck table 10 around an axis parallel to the Z-axis. The cutting device 1 is made to perform cutting on the workpiece W by rotating the workpiece. Note that the control means is configured mainly by a microprocessor (not shown) provided with an arithmetic processing unit constituted by a CPU or the like, a ROM, a RAM, or the like.

次に、本実施形態に係る切削装置１の加工動作について説明する。まず、オペレータが加工内容情報を制御手段に登録して、切削手段２０から離間したチャックテーブル１０に被加工物Ｗを載置し、オペレータから加工動作の開始指示があった場合に、切削装置１が加工動作を開始する。加工動作において、制御手段は、チャックテーブル１０に載置された被加工物Ｗを吸引保持し、被加工物Ｗを吸引保持したチャックテーブル１０を切削手段２０の下方に移動させる。 Next, the machining operation of the cutting device 1 according to this embodiment will be described. First, when the operator registers the machining content information in the control means, places the workpiece W on the chuck table 10 separated from the cutting means 20, and receives an instruction to start the machining operation from the operator, the cutting apparatus 1 is used. Starts the machining operation. In the machining operation, the control unit sucks and holds the workpiece W placed on the chuck table 10 and moves the chuck table 10 holding the workpiece W to the lower side of the cutting unit 20.

そして、制御手段は、アライメントを実行した後、切削手段２０が加工内容情報に基いて、切削水供給ノズル２７から切削水を供給しながら被加工物Ｗを切削する。制御手段は、切削が終了すると、切削手段２０を被加工物Ｗから離間させた後、チャックテーブル１０を切削手段２０の下方から離間させる。そして、制御手段は、チャックテーブル１０が切削手段２０の下方から離間すると、チャックテーブル１０の吸引保持を解除し、オペレータがチャックテーブル１０上の切削済みの被加工物Ｗを取り除き、切削加工前の被加工物をチャックテーブル１０に載置する。このような工程を繰返して、切削装置１は、被加工物Ｗを切削する。 Then, after executing the alignment, the control unit cuts the workpiece W while supplying the cutting water from the cutting water supply nozzle 27 based on the processing content information. When the cutting is completed, the control unit separates the cutting unit 20 from the workpiece W and then separates the chuck table 10 from below the cutting unit 20. Then, when the chuck table 10 is separated from the lower side of the cutting means 20, the control means releases the suction holding of the chuck table 10, and the operator removes the workpiece W already cut on the chuck table 10, before cutting. The workpiece is placed on the chuck table 10. By repeating such a process, the cutting apparatus 1 cuts the workpiece W.

以上のように、本実施形態に係る切削装置１によれば、切削水供給ノズル２７が剛性ブラケット２８とパイプノズル２９で構成されており、パイプノズル２９が噴射スリット２９ａの噴射方向を調整する調整部３２と、パイプノズル２９の回転を規制するいもねじ３３を有する。このために、切削装置１は、パイプノズル２９の向きを周方向に回転させてから剛性ブラケット２８に固定することができ、切削水の噴射方向を容易に調整することができる。よって、切削装置１は、ブレードカバー２４を交換することなく切削水の噴射方向を変更することができる。 As described above, according to the cutting device 1 according to the present embodiment, the cutting water supply nozzle 27 includes the rigid bracket 28 and the pipe nozzle 29, and the pipe nozzle 29 is adjusted to adjust the injection direction of the injection slit 29a. A part 32 and an anchor screw 33 for restricting the rotation of the pipe nozzle 29 are provided. For this reason, the cutting device 1 can fix the rigid nozzle 28 after rotating the direction of the pipe nozzle 29 in the circumferential direction, and can easily adjust the injection direction of the cutting water. Therefore, the cutting device 1 can change the jetting direction of the cutting water without replacing the blade cover 24.

また、切削装置１は、回転方向でのパイプノズル２９の向きを表示する位置表示手段３７を備えている。このために、切削装置１は、一対のパイプノズル２９の向きを容易に揃えることができる、即ち、一対のパイプノズル２９の噴射スリット２９ａの切削ブレード２１の相対的な位置を、等しくすることができ、切削ブレード２１の倒れや切削屑の付着の偏り等を防ぐ事ができる。一方のパイプノズル２９のノズル本体３１に設けられた目盛３５と、他方のパイプノズル２９のノズル本体３１に設けられた目盛３５とが、噴射スリット２９ａとの相対的な位置が等しいもの同士が同じ色や長さ、同じ模様などの同じ態様に形成されている場合には、一対のパイプノズル２９の噴射スリット２９ａの切削ブレード２１の相対的な位置を容易に等しくすることができる。 Moreover, the cutting device 1 includes a position display unit 37 that displays the direction of the pipe nozzle 29 in the rotation direction. Therefore, the cutting apparatus 1 can easily align the direction of the pair of pipe nozzles 29, that is, the relative positions of the cutting blades 21 of the injection slits 29a of the pair of pipe nozzles 29 can be equalized. In addition, it is possible to prevent the cutting blade 21 from falling down or unevenly attaching cutting waste. The scale 35 provided on the nozzle body 31 of the one pipe nozzle 29 and the scale 35 provided on the nozzle body 31 of the other pipe nozzle 29 are the same in the relative positions with respect to the ejection slit 29a. When formed in the same form such as color, length, and the same pattern, the relative positions of the cutting blades 21 of the injection slits 29a of the pair of pipe nozzles 29 can be easily equalized.

また、前述した実施形態に記載された切削装置１の切削水供給ノズル２７の噴射スリット２９ａは、パイプノズル２９の長手方向に直交しかつパイプノズル２９の長手方向に間隔をあけて複数設けられている。しかしながら、本発明では、図５（ａ）に示すように、噴射スリット２９ａをパイプノズル２９の長手方向に直線状に延伸させてもよい。図５（ａ）は、実施形態の変形例に係る切削装置の切削手段の断面図であり、図５（ｂ）は、図５（ａ）のｂ部を拡大して示す断面図である。なお、図５において、前述した実施形態と同一部分には、同一符号を付して説明を省略する。 In addition, a plurality of injection slits 29 a of the cutting water supply nozzle 27 of the cutting apparatus 1 described in the above-described embodiment are provided orthogonal to the longitudinal direction of the pipe nozzle 29 and spaced apart in the longitudinal direction of the pipe nozzle 29. Yes. However, in the present invention, the injection slit 29 a may be linearly extended in the longitudinal direction of the pipe nozzle 29 as shown in FIG. Fig.5 (a) is sectional drawing of the cutting means of the cutting device which concerns on the modification of embodiment, FIG.5 (b) is sectional drawing which expands and shows the b section of Fig.5 (a). In FIG. 5, the same parts as those of the above-described embodiment are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.

また、本発明では、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すように、パイプノズル２９の調整部３２に目盛３５に対応した凹み２９ｂを設け、いもねじ３３の先端に凹み２９ｂに侵入する凸部３３ａを設けても良い。この場合、凹み２９ｂを対応する目盛３５とパイプノズル２９の長手方向に並ぶ位置に配置するのが望ましい。この場合には、パイプノズル２９を剛性ブラケット２８に固定するいもねじ３３の凸部３３ａが凹み２９ｂに侵入する。このために、切削装置１は、いもねじ３３をねじ込む際に、いもねじ３３に当接したパイプノズル２９が回転することなく、目盛３５と表示マーク３６とがパイプノズル２９の長手方向に並ぶ位置にパイプノズル２９を剛性ブラケット２８に固定することができる。 Further, in the present invention, as shown in FIGS. 5A and 5B, the adjustment portion 32 of the pipe nozzle 29 is provided with a dent 29 b corresponding to the scale 35, and the dent 29 b enters the tip of the worm screw 33. Protruding portion 33a may be provided. In this case, it is desirable to arrange the recesses 29b at positions corresponding to the corresponding scales 35 and the pipe nozzles 29 in the longitudinal direction. In this case, the projection 33a of the anchor screw 33 that fixes the pipe nozzle 29 to the rigid bracket 28 enters the recess 29b. Therefore, when the cutting device 1 is screwed in the worm screw 33, the scale 35 and the display mark 36 are aligned in the longitudinal direction of the pipe nozzle 29 without rotating the pipe nozzle 29 in contact with the worm screw 33. The pipe nozzle 29 can be fixed to the rigid bracket 28.

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。 The present invention is not limited to the above embodiment. That is, various modifications can be made without departing from the scope of the present invention.

１切削装置
１０チャックテーブル
２０切削手段
２１切削ブレード
２２スピンドル
２３スピンドルハウジング
２４ブレードカバー
２７切削水供給ノズル
２８剛性ブラケット
２９パイプノズル
２９ａ噴射スリット
３０切削水供給路
３２調整部
３３いもねじ（固定部）
３５目盛
３６表示マーク
３７位置表示手段
１００切削水源
Ｗ被加工物 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Cutting device 10 Chuck table 20 Cutting means 21 Cutting blade 22 Spindle 23 Spindle housing 24 Blade cover 27 Cutting water supply nozzle 28 Rigid bracket 29 Pipe nozzle 29a Injection slit 30 Cutting water supply path 32 Adjusting part 33 Pot screw (fixing part)
35 Scale 36 Display mark 37 Position display means 100 Cutting water source W Workpiece

Claims

被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された該被加工物を切削するための切削ブレードを備えた切削手段と、を備えた切削装置であって、
該切削手段は、
該切削ブレードを前端に装着したスピンドルを回転自在に支持するスピンドルハウジングと、
該スピンドルハウジングの前端部に該切削ブレードを挟んで両側に配設され該切削ブレードに両側から切削水を供給するための切削水供給ノズルを備えたブレードカバーと、を備え、
該切削水供給ノズルは、
加工高さまで上下方向に延伸する剛性ブラケットと、
該剛性ブラケットの下端に装着され水平方向に延伸し且つその側面に噴射スリットを有する円筒形状のパイプノズルと、からなり、
該剛性ブラケット及び該パイプノズルの内部には切削水供給路が形成され、該切削水供給路は切削水源に連通しており、
該パイプノズルは、装着された該剛性ブラケットに対し、円筒形状の周方向に回転させて該噴射スリットの噴射方向を調整する調整部と、回転を規制する固定部とを有する切削装置。 A cutting apparatus comprising: a chuck table that holds a workpiece; and a cutting means that includes a cutting blade for cutting the workpiece held on the chuck table.
The cutting means is
A spindle housing that rotatably supports a spindle with the cutting blade mounted on the front end;
A blade cover provided with a cutting water supply nozzle disposed on both sides of the front end portion of the spindle housing with the cutting blade sandwiched therebetween to supply cutting water to the cutting blade from both sides;
The cutting water supply nozzle is
A rigid bracket extending up and down to the processing height;
A cylindrical pipe nozzle that is attached to the lower end of the rigid bracket and extends in the horizontal direction and has a jet slit on its side surface;
A cutting water supply path is formed inside the rigid bracket and the pipe nozzle, and the cutting water supply path communicates with a cutting water source.
The pipe nozzle is a cutting device having an adjustment unit that adjusts the injection direction of the injection slit by rotating the pipe bracket in a circumferential direction of the cylindrical shape with respect to the mounted rigid bracket, and a fixing unit that restricts rotation.

前記切削水供給ノズルは、前記パイプノズルの回転方向での向きを示す目盛と表示マークとからなる位置表示手段を備える請求項１記載の切削装置。 The cutting apparatus according to claim 1, wherein the cutting water supply nozzle includes a position display means including a scale indicating a direction in the rotation direction of the pipe nozzle and a display mark.