JP2015068794A - Thermal type flowmeter - Google Patents

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征史 深谷
Seiji Fukaya
征史 深谷
毅 森野
Takeshi Morino
毅 森野
井上　淳
Atsushi Inoue
淳 井上
直生 斎藤
Sunao Saito
直生 斎藤
猪野　昌信
Masanobu Ino
昌信 猪野
半沢　恵二
Keiji Hanzawa
恵二 半沢
博 鬼川
Hiroshi Onikawa
鬼川　　博
忍 田代
Shinobu Tashiro
忍 田代
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a thermal type flowmeter capable of suppressing the characteristic of detecting a gas to be measured from changing over time due to a pollutant even when such a pollutant flows into a sub-passage.SOLUTION: A sub-passage 330, into which part of a gas IA to be measured flowing in a main passage 124 is introduced, comprises a first passage 31 formed from a main intake port 350 to an exhaust port 355 at which part of the introduced gas to be measured is discharged and a second passage 32 formed from a sub-intake port 34 for taking in the gas to be measured flowing in the first passage 31 toward a flow measurement unit 602. An upstream-side passage 31A from the main intake port to the sub-intake port of the first passage 31 is inclined against a flow direction D of the gas to be measured flowing in the main passage 124 so as to part from a flow detection unit 602. The flow detection unit 602 and the exhaust port 355 are off a projected range of the main intake port to the flow direction D of the gas IA to be measured in the main passage 124, the area of the exhaust port 355 being smaller than the area of the main intake port 350.

Description

本発明は熱式流量計に関する。   The present invention relates to a thermal flow meter.

気体の流量を計測する熱式流量計は流量を計測するための流量検出部を備え、前記流量検出部と計測対象である前記気体との間で熱伝達を行うことにより、前記気体の流量を計測するように構成されている。熱式流量計が計測する流量は色々な装置の重要な制御パラメータとして広く使用されている。熱式流量計の特徴は、他の方式の流量計に比べ相対的に高い精度で気体の流量、例えば質量流量を計測できることである。   A thermal flow meter that measures the flow rate of gas includes a flow rate detection unit for measuring the flow rate, and performs heat transfer between the flow rate detection unit and the gas to be measured, thereby reducing the flow rate of the gas. It is configured to measure. The flow rate measured by the thermal flow meter is widely used as an important control parameter for various devices. A feature of the thermal flow meter is that it can measure a gas flow rate, for example, a mass flow rate, with relatively high accuracy compared to other types of flow meters.

しかしさらに気体流量の計測精度の向上が望まれている。例えば、内燃機関を搭載した車両では、省燃費の要望や排気ガス浄化の要望が非常に高い。これら要望に応えるには、内燃機関の主要パラメータである吸入空気量を高い精度で計測することが求められている。   However, further improvement in gas flow rate measurement accuracy is desired. For example, a vehicle equipped with an internal combustion engine has a very high demand for fuel saving and exhaust gas purification. In order to meet these demands, it is required to measure the intake air amount, which is a main parameter of the internal combustion engine, with high accuracy.

内燃機関に導かれる吸入空気量を計測する熱式流量計は、吸入空気量の一部を取り込む副通路と前記副通路に配置された流量検出部とを備え、前記流量検出部が被計測気体との間で熱伝達を行うことにより、前記副通路を流れる被計測気体の状態を計測して、前記内燃機関に導かれる吸入空気量を表す電気信号を出力する。   A thermal flow meter for measuring the amount of intake air led to an internal combustion engine includes a sub-passage that takes in a part of the intake air amount and a flow rate detector disposed in the sub-passage, and the flow rate detector is a gas to be measured. The state of the gas to be measured flowing through the sub-passage is measured by performing heat transfer between and the electric signal, and an electric signal representing the amount of intake air guided to the internal combustion engine is output.

特許文献１には、測定エレメントの上流側の測定ケーシングの流入通路に、粒子及び液体を変向させるための***部が形成された測定装置が記載されおり、流入開口から流入通路が、主要流れ方向に対して所定の角度で傾斜するように***部が形成されていた測定装置が開示されている。   Patent Document 1 describes a measuring device in which a bulge for turning particles and liquid is formed in an inflow passage of a measurement casing on the upstream side of a measurement element, and the inflow passage extends from the inflow opening to the main flow. A measuring device in which a raised portion is formed so as to be inclined at a predetermined angle with respect to a direction is disclosed.

特表２００４−５０７７５４号公報JP-T-2004-507754

しかしながら、特許文献１のような測定装置では、測定エレメントの上流側の測定ケーシングの入口開口部を、管路内の主要流れ方向に投影した面内に測定エレメントが位置している。このため、測定エレメントの上流側に液体粒子又はダスト粒子を変向させるための部材を配置しても、該部材を迂回する流れが存在し、その流れに運ばれた粒子は測定エレメントに到達しうる。従って、汚損物質により測定エレメントの損傷を防止する効果は十分ではない。   However, in a measuring apparatus like patent document 1, the measuring element is located in the surface which projected the inlet opening part of the measurement casing of the upstream of a measuring element in the main flow direction in a pipe line. For this reason, even if a member for turning liquid particles or dust particles is arranged upstream of the measurement element, there is a flow that bypasses the member, and the particles carried in the flow reach the measurement element. sell. Therefore, the effect of preventing the measuring element from being damaged by the fouling substance is not sufficient.

本発明は、このような点を鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、流量検出部に安定した流量の被計測流体を供給することができるばかりでなく、測定対象である流体に含まれる汚損物質が流量検出部に到達する量を低減することができる熱式流量計を提供することにある。   The present invention has been made in view of the above points, and the object of the present invention is not only to supply a fluid to be measured with a stable flow rate to a flow rate detection unit, but also to a fluid to be measured. An object of the present invention is to provide a thermal flow meter that can reduce the amount of fouling substances contained in the flow rate detection unit.

前記課題を鑑みて、本発明に係る熱式流量計は、主通路を流れる被計測気体の一部を取り込む副通路と、前記副通路を流れる被計測気体の流量を検出する流量検出部とを備えている。副通路は、前記主通路を流れる前記被計測気体を取り込むように、前記主通路の上流に面した主取込口から、取り込んだ被計測気体の一部を排出する排出口まで形成された第１の通路と、第１の通路に流れる被計測気体を取り込む副取込口から、前記流量検出部に向かって形成された第２の通路と、を備えている。このような構成を前提に、以下の第１〜第３の要件を満たす。第１に、前記第１の通路のうち主取込口から副取込口までの上流側通路は、前記主通路を流れる被計測気体の流れ方向に対して、前記流量検出部から離れるように傾斜している。第２に、前記流量検出部および前記排出口は、前記主通路の被計測気体の流れ方向に、前記主取込口を投影した投影範囲から外れている。第３に、前記排出口の面積は、前記主取込口の面積よりも小さくなっている。   In view of the above problems, the thermal flow meter according to the present invention includes a sub-passage that takes in part of the gas to be measured flowing through the main passage, and a flow rate detection unit that detects the flow rate of the gas to be measured flowing through the sub-passage. I have. The sub-passage is formed from a main intake port facing upstream of the main passage to an exhaust port for discharging part of the taken measurement gas so as to take in the measured gas flowing through the main passage. 1 passage, and a second passage formed from the sub intake port for taking in the gas to be measured flowing in the first passage toward the flow rate detection unit. Based on such a configuration, the following first to third requirements are satisfied. First, the upstream passage from the main intake port to the sub intake port in the first passage is separated from the flow rate detection unit with respect to the flow direction of the gas to be measured flowing through the main passage. Inclined. Second, the flow rate detection unit and the discharge port are out of the projection range in which the main intake port is projected in the flow direction of the gas to be measured in the main passage. Third, the area of the discharge port is smaller than the area of the main intake port.

本発明によれば、流量検出部に安定した流量の被計測流体を供給することができるばかりでなく、測定対象である流体に含まれる汚損物質が流量検出部に到達する量を低減することができる。   According to the present invention, not only can the fluid to be measured having a stable flow rate be supplied to the flow rate detection unit, but also the amount of fouling substances contained in the fluid to be measured reaches the flow rate detection unit can be reduced. it can.

内燃機関制御システムに本発明に係る熱式流量計を使用した一実施例を示すシステム図である。1 is a system diagram showing an embodiment in which a thermal flow meter according to the present invention is used in an internal combustion engine control system. 本発明に係る熱式流量計の外観を示す正面図。The front view which shows the external appearance of the thermal type flow meter which concerns on this invention. 本発明に係る熱式流量計の外観を示す左側面図。The left view which shows the external appearance of the thermal type flow meter which concerns on this invention. 本発明に係る熱式流量計の外観を示す背面図。The rear view which shows the external appearance of the thermal type flow meter which concerns on this invention. 本発明に係る熱式流量計の外観を示す右側面図。The right view which shows the external appearance of the thermal type flow meter which concerns on this invention. 本発明に係る熱式流量計から表カバーを取り外したハウジングの状態を示す正面図。The front view which shows the state of the housing which removed the front cover from the thermal type flow meter which concerns on this invention. 本発明に係る熱式流量計から裏カバーを取り外したハウジングの状態を示す背面図。The rear view which shows the state of the housing which removed the back cover from the thermal type flow meter which concerns on this invention. 図２ＡのＡ−Ａ断面図。AA sectional drawing of FIG. 2A. 図３Ｂに示す副通路の要部拡大図。The principal part enlarged view of the subchannel | path shown to FIG. 3B. 図５に示す副通路（実施例１）の模式的概念図。FIG. 6 is a schematic conceptual diagram of a sub-passage (Example 1) shown in FIG. 5. 図６の変形例（実施例２）を示した模式図Schematic diagram showing a modified example (Example 2) of FIG. 図６の変形例（実施例３）を示した模式図。The schematic diagram which showed the modification (Example 3) of FIG. 図６の別の変形例（実施例４）を示した模式図。The schematic diagram which showed another modification (Example 4) of FIG.

以下、本発明の実施の形態を図に基づいて説明する。
図１は、電子燃料噴射方式の内燃機関制御システムに、本実施形態に係る熱式流量計を使用した一実施形態を示すシステム図である。図１に示すように、エンジンシリンダ１１２とエンジンピストン１１４を備える内燃機関１１０の動作に基づき、吸入空気が被計測気体ＩＡとしてエアクリーナ１２２から吸入され、主通路１２４が形成された吸気管７１を含む例えば吸気ボディ、スロットルボディ１２６、吸気マニホールド１２８を介してエンジンシリンダ１１２の燃焼室に導かれる。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a system diagram showing an embodiment in which a thermal flow meter according to the present embodiment is used in an electronic fuel injection type internal combustion engine control system. As shown in FIG. 1, based on the operation of an internal combustion engine 110 including an engine cylinder 112 and an engine piston 114, intake air is sucked from an air cleaner 122 as a measured gas IA and includes an intake pipe 71 in which a main passage 124 is formed. For example, the air is guided to the combustion chamber of the engine cylinder 112 through the intake body, the throttle body 126, and the intake manifold 128.

燃焼室に導かれる吸入空気である被計測気体ＩＡの流量は、本実施形態に係る熱式流量計３０で計測され、計測された流量に基づいて燃料噴射弁１５２より燃料が供給され、吸入空気である被計測気体ＩＡと共に混合気の状態で燃焼室に導かれる。なお、本実施形態では、燃料噴射弁１５２は内燃機関の吸気ポートに設けられ、吸気ポートに噴射された燃料が吸入空気である被計測気体ＩＡと共に混合気を成形し、吸気弁１１６を介して燃焼室に導かれ、燃焼して機械エネルギを発生する。   The flow rate of the gas to be measured IA that is the intake air led to the combustion chamber is measured by the thermal flow meter 30 according to the present embodiment, and fuel is supplied from the fuel injection valve 152 based on the measured flow rate. Together with the gas to be measured IA, which is introduced into the combustion chamber in the state of the air-fuel mixture. In the present embodiment, the fuel injection valve 152 is provided at the intake port of the internal combustion engine, and the fuel injected into the intake port forms an air-fuel mixture together with the measured gas IA that is intake air, and is connected via the intake valve 116. It is guided to the combustion chamber and burns to generate mechanical energy.

熱式流量計３０は、図１に示す内燃機関の吸気ポートに燃料を噴射する方式だけでなく、各燃焼室に燃料を直接噴射する方式にも同様に使用できる。両方式とも熱式流量計３０の使用方法を含めた制御パラメータの計測方法および燃料供給量や点火時期を含めた内燃機関の制御方法の基本概念は略同じであり、両方式の代表例として吸気ポートに燃料を噴射する方式を図１に示す。   The thermal flow meter 30 can be used not only for the method of injecting fuel into the intake port of the internal combustion engine shown in FIG. 1 but also for the method of directly injecting fuel into each combustion chamber. In both types, the basic concept of the control parameter measurement method including the method of using the thermal flow meter 30 and the control method of the internal combustion engine including the fuel supply amount and the ignition timing is substantially the same. A method of injecting fuel into the port is shown in FIG.

燃焼室に導かれた燃料および空気は、燃料と空気の混合状態を成しており、点火プラグ１５４の火花着火により、爆発的に燃焼し、機械エネルギを発生する。燃焼後の気体は排気弁１１８から排気管に導かれ、排気ＥＡとして排気管から車外に排出される。前記燃焼室に導かれる吸入空気である被計測気体ＩＡの流量は、アクセルペダルの操作に基づいてその開度が変化するスロットルバルブ１３２により制御される。前記燃焼室に導かれる吸入空気の流量に基づいて燃料供給量が制御され、運転者はスロットルバルブ１３２の開度を制御して前記燃焼室に導かれる吸入空気の流量を制御することにより、内燃機関が発生する機械エネルギを制御することができる。   The fuel and air guided to the combustion chamber are in a mixed state of fuel and air, and are burned explosively by spark ignition of the spark plug 154 to generate mechanical energy. The combusted gas is guided from the exhaust valve 118 to the exhaust pipe, and is exhausted from the exhaust pipe to the outside as exhaust EA. The flow rate of the gas to be measured IA that is the intake air led to the combustion chamber is controlled by a throttle valve 132 whose opening degree changes based on the operation of the accelerator pedal. The fuel supply amount is controlled based on the flow rate of the intake air guided to the combustion chamber, and the driver controls the flow rate of the intake air guided to the combustion chamber by controlling the opening degree of the throttle valve 132, thereby The mechanical energy generated by the engine can be controlled.

エアクリーナ１２２から取り込まれ主通路１２４を流れる吸入空気である被計測気体ＩＡの流量、湿度および温度が、熱式流量計３０により計測され、熱式流量計３０から吸入空気の流量、湿度および温度を表す電気信号が制御装置２００に入力される。また、スロットルバルブ１３２の開度を計測するスロットル角度センサ１４４の出力が制御装置２００に入力され、さらに内燃機関のエンジンピストン１１４や吸気弁１１６や排気弁１１８の位置や状態、さらに内燃機関の回転速度を計測するために、回転角度センサ１４６の出力が、制御装置２００に入力される。排気ＥＡの状態から燃料量と空気量との混合比の状態を計測するために、酸素センサ１４８の出力が制御装置２００に入力される。   The flow rate, humidity, and temperature of the measurement target gas IA that is the intake air that is taken in from the air cleaner 122 and flows through the main passage 124 are measured by the thermal flow meter 30, and the flow rate, humidity, and temperature of the intake air are measured from the thermal flow meter 30. The electric signal to be represented is input to the control device 200. Further, the output of the throttle angle sensor 144 that measures the opening degree of the throttle valve 132 is input to the control device 200, and the positions and states of the engine piston 114, the intake valve 116, and the exhaust valve 118 of the internal combustion engine, and the rotation of the internal combustion engine. In order to measure the speed, the output of the rotation angle sensor 146 is input to the control device 200. In order to measure the state of the mixture ratio between the fuel amount and the air amount from the state of the exhaust EA, the output of the oxygen sensor 148 is input to the control device 200.

制御装置２００は、熱式流量計３０の出力である吸入空気の流量、湿度、および温度、および回転角度センサ１４６からの内燃機関の回転速度、に基づいて燃料噴射量や点火時期を演算する。これら演算結果に基づいて、燃料噴射弁１５２から供給される燃料量、また点火プラグ１５４により点火される点火時期が制御される。燃料供給量や点火時期は、実際にはさらに熱式流量計３０で計測される吸気温度やスロットル角度の変化状態、エンジン回転速度の変化状態、酸素センサ１４８で計測された空燃比の状態に基づいて制御されている。制御装置２００はさらに内燃機関のアイドル運転状態において、スロットルバルブ１３２をバイパスする空気量をアイドルエアコントロールバルブ１５６により制御し、アイドル運転状態での内燃機関の回転速度を制御する。   The control device 200 calculates the fuel injection amount and the ignition timing based on the flow rate, humidity, and temperature of the intake air that is the output of the thermal flow meter 30 and the rotational speed of the internal combustion engine from the rotation angle sensor 146. Based on these calculation results, the amount of fuel supplied from the fuel injection valve 152 and the ignition timing ignited by the spark plug 154 are controlled. The fuel supply amount and ignition timing are actually based on the intake air temperature and throttle angle change state measured by the thermal flow meter 30, the engine speed change state, and the air-fuel ratio state measured by the oxygen sensor 148. Are controlled. The control device 200 further controls the amount of air that bypasses the throttle valve 132 by the idle air control valve 156 in the idle operation state of the internal combustion engine, thereby controlling the rotational speed of the internal combustion engine in the idle operation state.

内燃機関の主要な制御量である燃料供給量や点火時期はいずれも熱式流量計３０の出力を主パラメータとして演算される。従って熱式流量計３０の計測精度の向上や経時変化の抑制、信頼性の向上が、車両の制御精度の向上や信頼性の確保に関して重要である。特に近年、車両の省燃費に関する要望が非常に高く、また排気ガス浄化に関する要望が非常に高い。これらの要望に応えるには熱式流量計３０により計測される吸入空気である被計測気体ＩＡの流量の計測精度の向上が極めて重要である。   Both the fuel supply amount and the ignition timing, which are the main control amounts of the internal combustion engine, are calculated using the output of the thermal flow meter 30 as a main parameter. Therefore, improvement in measurement accuracy of the thermal flow meter 30, suppression of changes over time, and improvement in reliability are important in terms of improving the control accuracy of the vehicle and ensuring reliability. In particular, in recent years, there has been a very high demand for fuel efficiency of vehicles and a very high demand for exhaust gas purification. In order to meet these demands, it is extremely important to improve the measurement accuracy of the flow rate of the measurement target gas IA that is the intake air measured by the thermal flow meter 30.

［実施例１］
図２は、熱式流量計３０の外観を示している。図２Ａは熱式流量計３０の正面図、図２Ｂは左側面図、図２Ｃは背面図、図２Ｄは右側面図である。 [Example 1]
FIG. 2 shows the appearance of the thermal flow meter 30. 2A is a front view of the thermal flow meter 30, FIG. 2B is a left side view, FIG. 2C is a rear view, and FIG. 2D is a right side view.

熱式流量計３０はハウジング３０２と表カバー３０３と裏カバー３０４とを備えている。ハウジング３０２は、熱式流量計３０を、主通路を構成する吸気ボディに固定するためのフランジ３１２と、外部機器との電気的な接続を行うための外部端子を有する外部接続部（コネクタ部）３０５と、流量等を計測するための計測部３１０を備えている。計測部３１０の内部には、副通路を作るための副通路溝が設けられている。   The thermal flow meter 30 includes a housing 302, a front cover 303, and a back cover 304. The housing 302 has an external connection portion (connector portion) having a flange 312 for fixing the thermal flow meter 30 to the intake body constituting the main passage and an external terminal for electrical connection with an external device. 305 and a measurement unit 310 for measuring a flow rate and the like. A sub-passage groove for making a sub-passage is provided inside the measurement unit 310.

上述した表カバー３０３と裏カバー３０４を覆うことにより、副通路が形成されたケーシングとなる。計測部３１０の内部には、主通路を流れる被計測気体ＩＡの流量を計測するための流量検出部６０２や主通路を流れる被計測気体ＩＡの温度を計測するための温度検出部４５２を備える回路パッケージ４００が設けられている（図３Ａ、３Ｂ参照）。   By covering the front cover 303 and the back cover 304 described above, a casing having a sub-passage is formed. Inside the measurement unit 310, a circuit including a flow rate detection unit 602 for measuring the flow rate of the measurement target gas IA flowing through the main passage and a temperature detection unit 452 for measuring the temperature of the measurement target gas IA flowing through the main passage. A package 400 is provided (see FIGS. 3A and 3B).

熱式流量計３０は、フランジ３１２を吸気ボディ（吸気管）７１に固定することにより、計測部３１０が主通路内に片持ち状に支持される。図２Ａでは、熱式流量計３０と吸気管７１との位置関係を明確にするため、仮想線で吸気管７１を示している。   In the thermal flow meter 30, the measurement unit 310 is supported in a cantilever manner in the main passage by fixing the flange 312 to the intake body (intake pipe) 71. In FIG. 2A, in order to clarify the positional relationship between the thermal flow meter 30 and the intake pipe 71, the intake pipe 71 is indicated by a virtual line.

熱式流量計３０の計測部３１０は、フランジ３１２から主通路１２４の径方向の中心方向に向かって長く延びる形状を成し、その先端部には吸入空気などの被計測気体ＩＡの一部を副通路に取り込むための主取込口３５０（図２Ｃ参照）と副通路から被計測気体ＩＡを主通路１２４に戻すための排出口３５５（図２Ｄ参照）が設けられている。   The measurement unit 310 of the thermal flow meter 30 has a shape extending long from the flange 312 toward the center of the main passage 124 in the radial direction, and a part of the measurement target gas IA such as intake air is provided at the tip thereof. A main intake port 350 (see FIG. 2C) for taking in the sub-passage and an exhaust port 355 (see FIG. 2D) for returning the measured gas IA from the sub-passage to the main passage 124 are provided.

熱式流量計３０の主取込口３５０が、フランジ３１２から主通路の径方向の中心方向に向かって延びる計測部３１０の先端側に設けられることにより、主通路の内壁面から離れた部分の気体を副通路に取り込むことができる。これにより、主通路の内壁面の温度の影響を受け難くなり、気体の流量や温度の計測精度の低下を抑制できる。なお、後述するように本実施形態では、主取込口３５０の中心は、主通路１２４の被計測気体ＩＡが流れる方向Ｄに沿った中心線ＣＬに対してオフセットしている。   The main intake port 350 of the thermal flow meter 30 is provided on the distal end side of the measuring unit 310 extending from the flange 312 toward the central direction in the radial direction of the main passage, so that the portion away from the inner wall surface of the main passage is provided. Gas can be taken into the secondary passage. Thereby, it becomes difficult to be influenced by the temperature of the inner wall surface of the main passage, and a decrease in measurement accuracy of the gas flow rate and temperature can be suppressed. As will be described later, in the present embodiment, the center of the main intake port 350 is offset with respect to the center line CL along the direction D in which the measured gas IA in the main passage 124 flows.

また、主通路１２４の内壁面近傍では流体抵抗が大きく、主通路の平均的な流速に比べ、流速が低くなる。本実施例の熱式流量計３０では、フランジ３１２から主通路の中央に向かって延びる薄くて長い計測部３１０の先端部に主取込口３５０が設けられているので、主通路中央部の流速の速い気体を副通路（計測用通路）に取り込むことができる。また、副通路の排出口３５５も計測部３１０の先端部に設けられているので、副通路内を流れた気体を流速の速い主通路１２４の中央部近傍に戻すことができる。   Further, the fluid resistance is large near the inner wall surface of the main passage 124, and the flow velocity is lower than the average flow velocity of the main passage. In the thermal type flow meter 30 of the present embodiment, the main intake port 350 is provided at the distal end portion of the thin and long measuring unit 310 extending from the flange 312 toward the center of the main passage. Gas can be taken into the sub-passage (measurement passage). Further, since the discharge port 355 of the sub passage is also provided at the tip of the measuring unit 310, the gas flowing in the sub passage can be returned to the vicinity of the central portion of the main passage 124 having a high flow velocity.

計測部３１０は主通路１２４の外壁から中央に向かう軸に沿って長く延びる形状を成しているが、幅は、図２Ｂ及び図２Ｄに記載の如く、狭い形状を成している。すなわち、熱式流量計３０の計測部３１０は、側面の幅が薄く正面が略長方形の形状を成している。これにより、熱式流量計３０は、被計測気体ＩＡに対しては流体抵抗を小さくして、十分な長さの副通路を備えることができる。   The measuring unit 310 has a shape that extends long along the axis from the outer wall of the main passage 124 toward the center, but has a narrow shape as shown in FIGS. 2B and 2D. That is, the measurement unit 310 of the thermal flow meter 30 has a side surface that is thin and has a substantially rectangular front surface. Thus, the thermal flow meter 30 can be provided with a sufficiently long sub-passage with a reduced fluid resistance with respect to the gas to be measured IA.

被計測気体ＩＡの温度を計測するための温度検出部４５２が、計測部３１０の中央部で、計測部３１０内の上流側外壁が下流側に向かって窪んだ位置に、上流側外壁から上流側に向かって突出する形状を成して設けられている。   The temperature detection unit 452 for measuring the temperature of the measurement target gas IA is located at the center of the measurement unit 310 at a position where the upstream outer wall in the measurement unit 310 is recessed toward the downstream side, upstream from the upstream outer wall. It is provided with a shape that protrudes toward the surface.

表カバー３０３および裏カバー３０４は、薄い板状に形成されて、広い冷却面を備える形状を成している。このため熱式流量計３０は、空気抵抗が低減され、さらに主通路１２４を流れる被計測気体により冷却されやすい効果を有している。   The front cover 303 and the back cover 304 are formed in a thin plate shape and have a shape with a wide cooling surface. For this reason, the thermal flow meter 30 has an effect that air resistance is reduced, and further, the thermal flow meter 30 is easily cooled by the gas to be measured flowing through the main passage 124.

外部接続部３０５の内部には、図示しない外部端子と補正用端子とが設けられている。外部端子は、計測結果である流量と温度を出力するための端子と、直流電力を供給するための電源端子とで構成される。補正用端子は熱式流量計３０に関する補正値を、熱式流量計３０内部のメモリに記憶するのに使用する端子である。   An external terminal and a correction terminal (not shown) are provided inside the external connection unit 305. The external terminal includes a terminal for outputting a flow rate and temperature as measurement results, and a power supply terminal for supplying DC power. The correction terminal is a terminal used to store a correction value related to the thermal flow meter 30 in a memory inside the thermal flow meter 30.

次に、図３Ａおよび図３Ｂを用いて、ハウジング３０２内に構成される副通路及び回路パッケージの構成について説明する。図３Ａ，３Ｂは熱式流量計３０から表カバー３０３または裏カバー３０４を取り外したハウジング３０２の状態を示している。図３Ａは、本発明に係る熱式流量計から表カバーを取り外したハウジングの状態を示す正面図であり、図３Ｂは、本発明に係る熱式流量計から裏カバーを取り外したハウジングの状態を示す背面図である。   Next, with reference to FIG. 3A and FIG. 3B, the configuration of the sub-path and the circuit package configured in the housing 302 will be described. 3A and 3B show a state of the housing 302 with the front cover 303 or the back cover 304 removed from the thermal flow meter 30. FIG. FIG. 3A is a front view showing the state of the housing with the front cover removed from the thermal flow meter according to the present invention, and FIG. 3B shows the state of the housing with the back cover removed from the thermal flow meter according to the present invention. FIG.

ハウジング３０２には、計測部３１０の先端側に副通路を成形するための副通路溝が設けられている。副通路３３０は、主通路１２４を流れる被計測気体の一部を取り込むために熱式流量計３０内に形成さされた通路である。本実施例ではハウジング３０２の表裏両面に副通路溝３３２，３３４が設けられている。表カバー３０３及び裏カバー３０４をハウジング３０２の表面及び裏面にかぶせることにより、ハウジング３０２の両面に連続した副通路３３０が形成される。このような構造とすることで、ハウジング３０２の成形時（樹脂モールド工程）にハウジング３０２の両面に設けられる金型を使用して、表側副通路溝３３２と裏側副通路溝３３４の両方をハウジング３０２の一部に形成し、これらを繋ぐようにハウジング３０２を貫通した貫通部３８２を形成し、この貫通部３８２に回路パッケージ４００の流量検出素子（流量検出部）６０２を配置することができる。   The housing 302 is provided with a sub-passage groove for forming a sub-passage on the distal end side of the measuring unit 310. The sub passage 330 is a passage formed in the thermal flow meter 30 in order to take in a part of the gas to be measured flowing through the main passage 124. In this embodiment, auxiliary passage grooves 332 and 334 are provided on both the front and back surfaces of the housing 302. By covering the front cover 303 and the back cover 304 on the front surface and the back surface of the housing 302, continuous sub-passages 330 are formed on both surfaces of the housing 302. With such a structure, when the housing 302 is molded (resin molding process), molds provided on both surfaces of the housing 302 are used, and both the front side sub passage groove 332 and the back side sub passage groove 334 are formed in the housing 302. A through portion 382 that penetrates the housing 302 is formed so as to connect them, and the flow rate detecting element (flow rate detecting portion) 602 of the circuit package 400 can be disposed in the through portion 382.

図３Ｂに示すように、主通路を流れる被計測気体ＩＡの一部は、主取込口３５０から入口溝５３１を介して裏側副通路溝３３４内に取り込まれ、裏側副通路溝３３４内を流れる。裏側副通路溝３３４に裏カバー３０４を覆うことにより、熱式流量計３０には、副通路３３０のうち、第１の通路３１と第２の通路３２の上流側の一部が形成される。   As shown in FIG. 3B, a part of the measurement target gas IA flowing through the main passage is taken into the back side sub passage groove 334 from the main intake port 350 via the inlet groove 531 and flows through the back side sub passage groove 334. . By covering the back cover 304 with the back side sub-passage groove 334, a part of the sub-passage 330 upstream of the first passage 31 and the second passage 32 is formed in the thermal flow meter 30.

第１の通路３１は、主通路１２４を流れる被計測気体ＩＡを取り込む主取込口３５０から、取り込んだ被計測気体ＩＡの一部を排出する排出口３５５まで形成された汚損物質の排出用通路である。第２の通路３２は、第１の通路３１に流れる被計測気体ＩＡを取り込む副取込口３４から、流量検出部６０２に向かって形成された流量計測用通路である。主取込口３５０は、主通路１２４の上流側に面して開口しており、排出口３５５は、主通路１２４の下流側に面して開口しており、排出口３５５の開口面積は、主取込口３５０の開口面積よりも小さい。これにより、主取込口３５０からの被計測気体ＩＡを第２の通路３２にも流れ易くすることができる。   The first passage 31 is a passage for discharging a pollutant formed from a main intake port 350 for taking in the measurement target gas IA flowing through the main passage 124 to a discharge port 355 for discharging a part of the taken measurement target gas IA. It is. The second passage 32 is a flow rate measurement passage formed toward the flow rate detection unit 602 from the sub intake port 34 for taking in the measurement target gas IA flowing in the first passage 31. The main intake port 350 is opened facing the upstream side of the main passage 124, the discharge port 355 is opened facing the downstream side of the main passage 124, and the opening area of the discharge port 355 is: It is smaller than the opening area of the main intake port 350. As a result, the gas IA to be measured from the main intake port 350 can easily flow into the second passage 32.

裏面副通路溝３３４のうち、第２の通路３２（流量検出部６０２までの通路）の通路溝は、流れ方向に進むにつれて深くなる形状をしており、溝に沿って流れるにつれ表側の方向に被計測気体ＩＡは徐々に移動する。裏側副通路溝３３４には回路パッケージ４００の上流部３４２で急激に深くなる急傾斜部３４７が設けられている。質量の小さい空気の一部は急傾斜部３４７に沿って移動し、回路パッケージ４００の貫通部３８２のうち上流部３４２で図４に示す計測用流路面４３０の方を流れる。一方質量の大きい異物は遠心力によって急激な進路変更が困難なため、急傾斜部３４７に沿って流れることができず、図４に示す計測用流路裏面４３１の方を流れる。その後、貫通部３８２のうち下流部３４１を通り、図３Ａに示す表側副通路溝３３２を流れる。   Of the back side auxiliary passage groove 334, the passage groove of the second passage 32 (passage to the flow rate detection unit 602) has a shape that becomes deeper as it advances in the flow direction, and in the front side direction as it flows along the groove. The gas to be measured IA moves gradually. The back side sub-passage groove 334 is provided with a steeply inclined portion 347 that suddenly deepens in the upstream portion 342 of the circuit package 400. A part of the air having a small mass moves along the steeply inclined portion 347 and flows in the upstream portion 342 of the through portion 382 of the circuit package 400 toward the measurement channel surface 430 shown in FIG. On the other hand, a foreign substance having a large mass cannot easily flow along the steeply inclined portion 347 because it is difficult to change the course due to centrifugal force, and flows along the measurement channel back surface 431 shown in FIG. After that, it passes through the downstream portion 341 of the penetrating portion 382 and flows through the front side auxiliary passage groove 332 shown in FIG. 3A.

上述した如く、回路パッケージ４００の計測用流路面４３０を含む部分は、貫通部３８２の空洞内に配置され、この貫通部３８２は計測用流路面４３０を有する回路パッケージ４００の左右両側で裏側副通路溝３３４と表側副通路溝３３２とが繋がっている。   As described above, the portion of the circuit package 400 that includes the measurement flow path surface 430 is disposed in the cavity of the through portion 382, and the through portion 382 is provided on the left and right sides of the circuit package 400 having the measurement flow passage surface 430. The groove 334 and the front side auxiliary passage groove 332 are connected.

図３Ａに示すように、貫通部３８２において、上流部３４２から被計測気体ＩＡである空気は計測用流路面４３０に沿って流れる。このとき、流量検出部６０２に設けられた熱伝達面を介して流量を計測するための流量検出部６０２との間で熱伝達が行われ、流量の計測が行われる。なお、この流量の計測原理は、熱式流量計として一般的な検出原理であってよく、本実施例の如く、回路パッケージ４００の流量検出部６０２が計測した計測値に基づいて主通路を流れる被計測気体の流量を検出することができるものであれば、検出するための構成は特に限定されるものではない。   As shown in FIG. 3A, in the penetrating portion 382, air that is the measurement target gas IA flows from the upstream portion 342 along the measurement channel surface 430. At this time, heat transfer is performed with the flow rate detection unit 602 for measuring the flow rate through the heat transfer surface provided in the flow rate detection unit 602, and the flow rate is measured. Note that this flow rate measurement principle may be a general detection principle for a thermal flow meter, and flows through the main passage based on the measurement value measured by the flow rate detection unit 602 of the circuit package 400 as in this embodiment. As long as the flow rate of the gas to be measured can be detected, the configuration for detection is not particularly limited.

計測用流路面４３０を通過した被計測気体ＩＡや回路パッケージ４００の下流部３４１から表側副通路溝３３２に流れてきた空気は共に表側副通路溝３３２に沿って流れ、第２の通路３２の出口３５２を形成する出口溝３５３から主通路１２４に排出される。   Both the gas IA to be measured that has passed through the measurement flow path surface 430 and the air that has flowed from the downstream portion 341 of the circuit package 400 to the front side sub-passage groove 332 flow along the front side sub-passage groove 332, and exit from the second passage 32. An outlet groove 353 forming 352 is discharged into the main passage 124.

この実施例では、裏側副通路溝３３４で構成される第２の通路は曲線を描きながらハウジング３０２の先端部からフランジ方向に向かい、フランジ側に最も近い位置では副通路を流れる被計測気体ＩＡは主通路１２４の流れに対して逆方向の流れとなる。この逆方向の流れの部分となる貫通部３８２で、ハウジング３０２の一方側に設けられた第２の通路３２のうち裏面側に設けられたセンサ上流側通路３２ａが、他方側に設けられた第２の通路３２の表面側に設けられたセンサ下流側通路３２ｂに繋がる。   In this embodiment, the second passage formed by the back side sub-passage groove 334 is curved toward the flange direction from the tip of the housing 302 while drawing a curve, and the measured gas IA flowing through the sub-passage is closest to the flange side. The flow is in the opposite direction to the flow of the main passage 124. The sensor upstream side passage 32a provided on the back surface side of the second passage 32 provided on one side of the housing 302 is a second portion provided on the other side of the second passage 32 provided on the one side of the housing 302. The sensor downstream side passage 32b provided on the surface side of the second passage 32 is connected.

この実施例では、回路パッケージ４００の先端側は貫通部３８２の空洞内に配置される。回路パッケージ４００の上流側に位置する上流部３４２の空間と回路パッケージ４００の下流側に位置する下流部３４１の空間は、この貫通部３８２に含まれることになり、貫通部３８２は、上述した如く、ハウジング３０２の表面側と裏面側とを貫通するように刳り貫かれている。これにより、上述した如く、貫通部３８２で、ハウジング３０２の表面側の表側副通路溝３３２により形成されたセンサ上流側通路３２ａと、裏面側の裏側副通路溝３３４により形成されたセンサ下流側副通路３２ｂとが連通する。   In this embodiment, the front end side of the circuit package 400 is disposed in the cavity of the through portion 382. The space of the upstream portion 342 located on the upstream side of the circuit package 400 and the space of the downstream portion 341 located on the downstream side of the circuit package 400 are included in the penetration portion 382, and the penetration portion 382 is as described above. The housing 302 is pierced so as to penetrate the front surface side and the back surface side. As a result, as described above, in the through portion 382, the sensor upstream side passage 32a formed by the front side secondary passage groove 332 on the front surface side of the housing 302 and the sensor downstream side secondary passage groove 334 formed by the back side secondary passage groove 334. The passage 32b communicates.

なお、図４に示すように、計測用流路面４３０側の空間と計測用流路裏面４３１側の空間とは、ハウジング３０２にインサートされた回路パッケージ４００によって区分されており、ハウジング３０２によっては区分されていない。上流部３４２の空間と、下流部３４１の空間と、計測用流路面４３０側の空間と、計測用流路裏面４３１側の空間とによって形成される一つの空間が、ハウジング３０２の表面と裏面とに連続して形成されており、この一つの空間にハウジング３０２にインサートされた回路パッケージ４００が片持ち状で突出している。このような構成とすることで、１回の樹脂モールド工程でハウジング３０２の両面に副通路溝を成形でき、また両面の副通路溝を繋ぐ構造を合わせて成形することが可能となる。   As shown in FIG. 4, the space on the measurement flow path surface 430 side and the space on the measurement flow path back surface 431 side are divided by the circuit package 400 inserted in the housing 302, and depending on the housing 302 It has not been. One space formed by the space of the upstream portion 342, the space of the downstream portion 341, the space on the measurement flow channel surface 430 side, and the space on the measurement flow channel back surface 431 side is the front and back surfaces of the housing 302. The circuit package 400 inserted into the housing 302 protrudes in a cantilever manner in this one space. With such a configuration, the sub-passage grooves can be formed on both surfaces of the housing 302 in a single resin molding step, and the structure connecting the sub-passage grooves on both surfaces can be formed together.

尚、回路パッケージ４００はハウジング３０２の固定部３７２，３７３，３７６に樹脂モールドにより埋設して固定されている。このような固定構造は、ハウジング３０２の樹脂モールド成形と同時に、回路パッケージ４００をハウジング３０２にインサート成形することにより、熱式流量計３０に実装することができる。   The circuit package 400 is fixed by being embedded in a fixing portion 372, 373, 376 of the housing 302 by a resin mold. Such a fixing structure can be mounted on the thermal flow meter 30 by insert molding the circuit package 400 into the housing 302 simultaneously with resin molding of the housing 302.

なお、図３Ｂに示すように、裏側副通路溝３３４は、対向して形成された第１通路用壁３９５と、裏側副通路内周壁（第２通路用壁）３９２と裏側副通路外周壁（第２通路用壁）３９１とにより形成されている。これら裏側副通路内周壁３９２と裏側副通路外周壁３９１とのそれぞれの高さ方向の先端部と裏カバー３０４の内側面とが密着することで、ハウジング３０２の第１の通路３１と第２の通路３２のセンサ上流側通路３２ａが成形される。   As shown in FIG. 3B, the back side sub-passage groove 334 includes a first passage wall 395, a back side sub-passage inner peripheral wall (second passage wall) 392, and a back side sub-passage outer peripheral wall ( Second wall 391). The front end portions of the back side sub-passage inner peripheral wall 392 and the back side sub-passage outer peripheral wall 391 and the inner side surface of the back cover 304 are in close contact with each other, so that the first passage 31 and the second passage of the housing 302 A sensor upstream side passage 32a of the passage 32 is formed.

一方、表側副通路溝３３２の両側には、表側副通路内周壁（第２通路用壁）３９３と表側副通路外周壁（第２通路用壁）３９４が設けられ、これら表側副通路内周壁３９３と表側副通路外周壁３９４の高さ方向の先端部と表カバー３０３の内側面とが密着することで、ハウジング３０２の下流側副通路が形成される。   On the other hand, a front side sub-passage inner peripheral wall (second passage wall) 393 and a front side sub-passage outer peripheral wall (second passage wall) 394 are provided on both sides of the front side sub-passage groove 332, and these front side sub-passage inner peripheral walls 393. And the front end portion in the height direction of the front side sub-passage outer peripheral wall 394 and the inner side surface of the front cover 303 are in close contact with each other to form a downstream side sub-passage of the housing 302.

主取込口３５０から取り込まれ、裏側副通路溝３３４により構成される第１の通路３１を流れた被計測気体ＩＡは、図３Ｂの右側から左側に向かって流れる。ここで第１の通路３１から分岐するように形成された第２の通路３２の副取込口３４に、取込んだ被計測気体ＩＡの一部が、分流して流れる。流れた被計測気体ＩＡは、貫通部３８２の上流部３４２を介して、回路パッケージ４００の計測用流路面４３０の表面と表カバー３０３に設けられた突起部３５６で作られる流路３８６の方を流れる（図４参照）。   The measured gas IA that has been taken in from the main inlet 350 and has flowed through the first passage 31 constituted by the back side sub-passage groove 334 flows from the right side to the left side in FIG. 3B. Here, a part of the taken measurement gas IA flows in a diverted flow into the sub intake port 34 of the second passage 32 formed to branch from the first passage 31. The gas to be measured IA flows through the upstream portion 342 of the penetrating portion 382 through the channel 386 formed by the surface of the measurement channel surface 430 of the circuit package 400 and the protrusion 356 provided on the front cover 303. Flows (see FIG. 4).

他の被計測気体ＩＡは計測用流路裏面４３１と裏カバー３０４で作られる流路３８７の方を流れる。その後、流路３８７を流れた被計測気体ＩＡは、貫通部３８２の下流部３４１を介して表側副通路溝３３２の方に移り、流路３８６を流れている被計測気体ＩＡと合流する。合流した被計測気体ＩＡは、表側副通路溝３３２を流れ、出口３５２から主通路に排出される。   The other measurement target gas IA flows through the flow path 387 formed by the measurement flow path back surface 431 and the back cover 304. Thereafter, the measured gas IA that has flowed through the flow path 387 moves toward the front side sub-passage groove 332 via the downstream portion 341 of the penetrating portion 382, and merges with the measured gas IA that flows through the flow path 386. The gas to be measured IA that has joined flows through the front side sub-passage groove 332 and is discharged from the outlet 352 to the main passage.

裏側副通路溝３３４から貫通部３８２の上流部３４２を介して流路３８６に導かれる被計測気体ＩＡの方が、流路３８７に導かれる流路よりも曲りが大きくなるように、副通路溝が形成されている。これにより、被計測気体ＩＡに含まれるごみなどの質量の大きい物質は、曲りの少ない流路３８７の方に集まる。   The sub-passage groove is such that the measured gas IA guided from the back side sub-passage groove 334 to the flow path 386 via the upstream portion 342 of the penetrating part 382 is bent more than the flow path guided to the flow path 387. Is formed. Thereby, a substance having a large mass such as dust contained in the measurement target gas IA collects in the flow path 387 with less bending.

流路３８６では、突起部３５６は絞りを形成しており、被計測気体ＩＡを渦の少ない層流にする。また突起部３５６は被計測気体ＩＡの流速を高める。これにより、計測精度が向上する。突起部３５６は、計測用流路面４３０に設けた流量検出部６０２の熱伝達面露出部４３６に対向する方のカバーである表カバー３０３に形成されている。   In the flow path 386, the protruding portion 356 forms a throttle, and the measured gas IA is made into a laminar flow with little vortex. Further, the protrusion 356 increases the flow velocity of the measurement target gas IA. Thereby, measurement accuracy improves. The protrusion 356 is formed on the front cover 303, which is a cover that faces the heat transfer surface exposed portion 436 of the flow rate detector 602 provided on the measurement flow path surface 430.

図３Ａおよび図３Ｂに示すように、ハウジング３０２には、フランジ３１２と副通路溝が形成された部分との間に空洞部３３６が形成されている。この空洞部３３６の中に、回路パッケージ４００の接続端子４１２と外部接続部３０５の外部端子の内端３６１とを接続する端子接続部３２０が設けられている。接続端子４１２と内端３６１とは、スポット溶接あるいはレーザ溶接などにより、電気的に接続される。   As shown in FIGS. 3A and 3B, the housing 302 has a cavity 336 formed between the flange 312 and the portion where the sub-passage groove is formed. In the hollow portion 336, a terminal connection portion 320 that connects the connection terminal 412 of the circuit package 400 and the inner end 361 of the external terminal of the external connection portion 305 is provided. The connection terminal 412 and the inner end 361 are electrically connected by spot welding or laser welding.

本実施例では、主通路１２４の被計測気体ＩＡが流れる方向Ｄである順方向に流れているものとして、説明する副通路の入口すなわち、第１の通路３１の主取込口３５０から被計測流体ＩＡが汚損物質Ｐとともに流れ込む。   In the present embodiment, it is assumed that the gas to be measured IA in the main passage 124 flows in the forward direction, ie, the direction D, and is measured from the inlet of the sub passage to be described, that is, from the main intake port 350 of the first passage 31. The fluid IA flows with the fouling substance P.

汚損物は流量検出部６０２を汚損する可能性のある物質であり、固体（固形物）と液体（液状物）の両方を含む。汚損物は粒状である場合が多く、固体からなる粒状体としては例えばダスト等があり、液体からなる粒状体としては例えば水滴やオイルミスト等がある。   The fouling substance is a substance that may foul the flow rate detection unit 602, and includes both a solid (solid substance) and a liquid (liquid substance). In many cases, the pollutant is granular, and for example, the solid granular material includes dust, and the liquid granular material includes, for example, water droplets and oil mist.

主通路１２４の被計測気体ＩＡにダストやオイルミスト等を含む場合、ダストが流量検出部（流量検出素子）６０２に衝突して破損したり、オイルミストが流量検出部６０２に付着して計測誤差を生じる場合がある。   When the measurement target gas IA in the main passage 124 includes dust, oil mist, or the like, the dust collides with the flow rate detection unit (flow rate detection element) 602 and is damaged, or the oil mist adheres to the flow rate detection unit 602, resulting in measurement errors. May occur.

また、主通路１２４の被計測気体ＩＡが水滴を含む場合、水滴が流量検出部６０２に付着すると質量流量の計測値に異常を生じる。これらの問題を解決するため、上述した第１の通路３１が設けられており、第１の通路３１から分岐するように、流量検出部６０２が配置される第２の通路３２が形成されている。   In addition, when the measurement target gas IA in the main passage 124 includes water droplets, if the water droplets adhere to the flow rate detection unit 602, an abnormality occurs in the measured value of the mass flow rate. In order to solve these problems, the first passage 31 described above is provided, and the second passage 32 in which the flow rate detection unit 602 is disposed is formed so as to branch from the first passage 31. .

第１の通路３１は、図５および図６に示すように、主通路１２４を流れる被計測気体ＩＡを取り込むように、主通路１２４の上流に面した主取込口３５０から、取り込んだ被計測気体ＩＡの一部を排出する排出口３５５まで形成された通路であり、主取込口３５０から副通路３３０の内部に流れ込む被計測気体ＩＡの一部は、汚損物質Ｐと共に排出口３５５から排出される。第２の通路３２は、第１の通路３１に流れる被計測気体ＩＡを取り込む副取込口３４から、流量検出部６０２に向かって形成されている。   As shown in FIGS. 5 and 6, the first passage 31 takes in the measurement object taken in from the main intake port 350 facing the upstream side of the main passage 124 so as to take in the measurement gas IA flowing in the main passage 124. This is a passage formed up to a discharge port 355 for discharging a part of the gas IA, and a part of the measured gas IA flowing into the sub-passage 330 from the main intake port 350 is discharged from the discharge port 355 together with the pollutant P. Is done. The second passage 32 is formed from the sub intake port 34 that takes in the measurement target gas IA flowing in the first passage 31 toward the flow rate detection unit 602.

本実施例では、主取込口３５０から第１の通路３１の上流側通路は、主取込口３５０から副取込口３４の上流側開口縁部３４ａまで直線状となっており、第１の通路３１のうち主取込口３５０から副取込口３４の上流側開口縁部３４ａまでの上流側通路３１Ａは、主通路を流れる被計測気体の流れ方向Ｄに対して、流量検出部６０２から離れるように傾斜している。本実施例では、第１の通路３１の主取込口３５０の中心は、主通路１２４の被計測気体ＩＡが流れる方向Ｄに沿った中心線ＣＬに対してオフセットし（具体的には、主取込口３５０が中心線ＣＬから外れた位置に形成され）、第１の通路３１のうち主取込口３５０から副取込口３４（具体的には上流側開口縁部３４ａ）までの上流側通路３１Ａは、主取込口３５０から副取込口３４に進むにしたがって中心線ＣＬから離れるように、中心線ＣＬに対して傾斜している。   In the present embodiment, the upstream passage from the main intake port 350 to the first passage 31 is linear from the main intake port 350 to the upstream opening edge 34a of the sub intake port 34, The upstream passage 31A from the main intake port 350 to the upstream opening edge 34a of the sub intake port 34 is a flow rate detection unit 602 with respect to the flow direction D of the gas to be measured flowing through the main passage. Inclined away from. In the present embodiment, the center of the main intake port 350 of the first passage 31 is offset with respect to the center line CL along the direction D in which the measured gas IA of the main passage 124 flows (specifically, The intake port 350 is formed at a position deviated from the center line CL), and upstream of the first passage 31 from the main intake port 350 to the sub intake port 34 (specifically, the upstream opening edge 34a). The side passage 31A is inclined with respect to the center line CL so as to move away from the center line CL as it proceeds from the main intake port 350 to the sub intake port 34.

本実施例では、図６に示すように、上流側通路３１Ａは、主通路１２４の被計測気体ＩＡが流れる方向Ｄに対してある所定の角度θをなして設けられている。このように、上流側通路３１Ａが、主取込口３５０から第１の通路３１内部に流れ込んだ流れの方向を上流側通路３１Ａに沿うように拘束し、第１の通路３１と第２の通路３２の分岐部において、流れを第１の通路３１側から遠ざけることで排出口３５５側に向き易くする。   In the present embodiment, as shown in FIG. 6, the upstream-side passage 31 </ b> A is provided at a certain angle θ with respect to the direction D in which the measured gas IA in the main passage 124 flows. In this way, the upstream passage 31A restrains the direction of the flow flowing into the first passage 31 from the main intake port 350 along the upstream passage 31A, and the first passage 31 and the second passage In the 32 branching portions, the flow is made easier to be directed to the discharge port 355 side by moving away from the first passage 31 side.

それにより、主取込口３５０から流入した汚損物質Ｐの多くが排出口３５５から排出される。特に粒径の大きい汚損物質は慣性力が大きく直進性が大きいため、主取込口３５０から流入した汚損物質が、直線性をもって上流側通路３１Ａに流れるため、排出口３５５に向かって汚損物質を排出しやすくなる。特に、本実施例では、排出口３５５は、主取込口３５０から上流側通路３１Ａが延在する方向に形成されているので、上流側通路３１Ａを流れる汚損物質を、排出口３５５に効率的に流すことができる。   As a result, most of the pollutant P flowing from the main intake port 350 is discharged from the discharge port 355. In particular, since the pollutant having a large particle size has a large inertia force and a large straightness, the pollutant flowing from the main intake port 350 flows into the upstream passage 31A with linearity. It becomes easy to discharge. In particular, in the present embodiment, the discharge port 355 is formed in the direction in which the upstream side passage 31A extends from the main intake port 350, so that the pollutant that flows through the upstream side passage 31A is efficiently transferred to the discharge port 355. Can be shed.

また、流量検出部６０２が、主通路１２４の被計測気体ＩＡの流れ方向Ｄに、取込口３５０を投影した投影範囲Ｒから外れているので、主取込口３５０から流入した汚損物質が直進して接触することはない。さらに、第１の通路３１から排出されなかった残りの汚損物質は分岐部（副取込口３４）から第２の通路３２へ向う流れに運ばれるが、第２の通路３２は曲がりを有しているため、曲がりの部分で遠心力の作用を受け外周側に偏向される。このため、汚損物質は通路内で流量検出部６０２から離れた位置を通過する。これらにより、汚損物質が流量検出部６０２に到達する量が削減される。特に、本実施形態では、排出口３５５は、主取込口３５０から上流側通路３１Ａが延在する方向に形成されているので、上流側通路３１Ａを流れる汚損物質を、排出口３５５に効率的に流すことができる。   Further, since the flow rate detection unit 602 is out of the projection range R in which the intake port 350 is projected in the flow direction D of the measurement target gas IA in the main passage 124, the pollutant that has flowed from the main intake port 350 travels straight. And never touch. Further, the remaining pollutant that has not been discharged from the first passage 31 is carried to the flow from the branch portion (sub-intake 34) toward the second passage 32, but the second passage 32 has a bend. Therefore, it is deflected to the outer peripheral side under the action of centrifugal force at the bent portion. For this reason, the pollutant passes through a position away from the flow rate detection unit 602 in the passage. As a result, the amount of fouling substances reaching the flow rate detection unit 602 is reduced. In particular, in the present embodiment, since the discharge port 355 is formed in the direction in which the upstream side passage 31A extends from the main intake port 350, the pollutant that flows through the upstream side passage 31A is efficiently transferred to the discharge port 355. Can be shed.

さらに、本実施例では、本発明のより好ましい態様として、図６に示すように、第１の通路３１の主取込口３５０の中心は、主通路１２４の被計測気体ＩＡが流れる方向Ｄに沿った中心線ＣＬに対してオフセットしている。本実施例では、主通路１２４の中心線ＣＬ近傍には、汚損物質が他の箇所に比べて含まれ易いので、この位置からオフセットした位置に主取込口３５０の中心を配置することにより、副通路３３０に流れ込む汚損物質の量を低減することができる。   Furthermore, in this embodiment, as a more preferable aspect of the present invention, as shown in FIG. 6, the center of the main intake port 350 of the first passage 31 is in the direction D in which the measured gas IA flows in the main passage 124. It is offset with respect to the center line CL along. In the present embodiment, since the pollutant is easily contained in the vicinity of the center line CL of the main passage 124 as compared with other portions, by disposing the center of the main intake port 350 at a position offset from this position, The amount of fouling substances flowing into the sub passage 330 can be reduced.

特に、本実施例では、さらに、このようなオフセットした状態で、第１の通路３１のうち主取込口３５０から副取込口３４（具体的には上流側開口縁部３４ａ）までの上流側通路３１Ａは、主取込口３５０から副取込口３４に進むにしたがって中心線ＣＬから離れるように、中心線ＣＬに対して傾斜している。これにより、たとえ中心線ＣＬ近傍に、主取込口を配置しなくても、このようなオフセットした位置では、熱式流量計３０が配置されることにより、中心線ＣＬに対してこのように傾斜した方向に沿って被計測気体ＩＡ（図の矢印ｉａ）が流れるため、被計測気体ＩＡの流れを阻害することなく、この流れ（図の矢印ｉａ）に沿って、主取込口３５０から副通路３３０に取り込むことができる。   In particular, in the present embodiment, the upstream from the main intake port 350 to the sub intake port 34 (specifically, the upstream opening edge portion 34a) in the first passage 31 in the offset state. The side passage 31A is inclined with respect to the center line CL so as to move away from the center line CL as it proceeds from the main intake port 350 to the sub intake port 34. Thus, even if the main intake port is not disposed near the center line CL, the thermal flow meter 30 is disposed at such an offset position in this way with respect to the center line CL. Since the gas to be measured IA (arrow ia in the figure) flows along the inclined direction, the main intake port 350 follows the flow (arrow ia in the figure) without obstructing the flow of the gas to be measured IA. It can be taken into the secondary passage 330.

また、本実施例では、図６に示すように、排出口３５５は、主通路１２４の被計測気体ＩＡの流れ方向Ｄに、主取込口３５０を投影した投影範囲Ｒから外れている。これにより、主取込口３５０から流入した流れは、排出口３５５に向って直進しにくくなっている。さらに、排出口３５５の面積は、主取込口３５０の面積よりも小さくなっている。これにより、主取込口３５０から流入した流れは排出口３５５で絞られ、流体抵抗が大きい。これらより、第１の通路３１から流出する流量が抑制され、流量検出部６０２が、主通路１２４の被計測気体ＩＡの流れ方向Ｄに、取込口３５０を投影した投影範囲Ｒから外れていても、曲り通路となる第２の通路３２を介して流量検出部６０２に供給される流量が不足することが回避される。   In this embodiment, as shown in FIG. 6, the discharge port 355 is out of the projection range R in which the main intake port 350 is projected in the flow direction D of the measurement target gas IA in the main passage 124. As a result, the flow that flows in from the main intake port 350 is less likely to go straight toward the discharge port 355. Furthermore, the area of the discharge port 355 is smaller than the area of the main intake port 350. Thereby, the flow which flowed in from the main intake port 350 is restrict | squeezed by the discharge port 355, and fluid resistance is large. Accordingly, the flow rate flowing out from the first passage 31 is suppressed, and the flow rate detection unit 602 is out of the projection range R in which the intake port 350 is projected in the flow direction D of the measurement target gas IA in the main passage 124. However, a shortage of the flow rate supplied to the flow rate detection unit 602 via the second passage 32 serving as a curved passage is avoided.

さらに、本実施例では、図５、図６に示すように、副取込口３４を形成する第１の通路３１の下流側に位置する下流側開口縁部３４ｂと第１の通路３１の上流側に位置する上流側開口縁部３４ａが、副取込口３４と対向する壁面３１ｂと同じ距離にある。なお、下流側開口縁部３４ｂが上流側開口縁部３４ａよりも、第１の通路３１を形成する壁面のうち副取込口３４と対向する壁面３１ｂに対して離間して形成されていてもよい。   Furthermore, in the present embodiment, as shown in FIGS. 5 and 6, the downstream opening edge 34 b located on the downstream side of the first passage 31 forming the sub intake port 34 and the upstream of the first passage 31. The upstream opening edge 34 a located on the side is at the same distance as the wall surface 31 b facing the sub intake port 34. In addition, even if the downstream opening edge 34b is formed away from the upstream opening edge 34a with respect to the wall 31b facing the sub intake port 34 among the walls forming the first passage 31. Good.

このような位置関係とすることにより、副取込口３４を形成する第１の通路３１の下流側に位置する下流側開口縁部３４ｂにおいて、第１の通路３１の流路が絞られることはないので、下流側開口縁部３４ｂに汚損物質が衝突し難くなるとともに、主取込口３５０からの汚損物質が、第１の通路３１の排出口３５５に向かって流れ易くなる。   By having such a positional relationship, the flow path of the first passage 31 is restricted in the downstream opening edge 34b located on the downstream side of the first passage 31 forming the sub intake port 34. Therefore, the pollutant does not easily collide with the downstream opening edge 34b, and the pollutant from the main intake port 350 easily flows toward the discharge port 355 of the first passage 31.

［実施例２］
図７を用いて、本発明に係る実施例２を説明する。図７は、図６の変形例を示した模式図である。本実施例では、上流側通路３１Ａの形状のみが図６と異なっており、副取込口３４と連続する上流側通路３１Ａの壁面が、被計測気体ＩＡの流れ方向に沿って凸形状となっており、これに対向する壁面は、流路断面積を維持するように凹形状の壁面に対応した凹形状となっている。 [Example 2]
Embodiment 2 according to the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 7 is a schematic diagram showing a modification of FIG. In the present embodiment, only the shape of the upstream passage 31A is different from that in FIG. 6, and the wall surface of the upstream passage 31A continuous with the sub intake port 34 has a convex shape along the flow direction of the measured gas IA. The wall surface facing this has a concave shape corresponding to the concave wall surface so as to maintain the channel cross-sectional area.

この上流側通路３１Ａは、主取込口３５０から上流側通路３１Ａ内部に流れ込んだ被計測気体の流れの方向を上流側通路３１Ａに沿うように拘束し、第１の通路３１と第２の通路３２の分岐部において、排出口３５５側に被計測気体ＩＡを向き易くなる。従って、実施例１と同様の作用により、流量検出部６０２に到達する汚損物質を低減することができ、質量流量の計測誤差や異常値の検出頻度を低減することができる。かつ、流量検出部に供給される流量が不足することを回避でき、流量検出部６０２の感度を維持できる。   The upstream passage 31A restrains the direction of the flow of the gas to be measured flowing into the upstream passage 31A from the main intake port 350 along the upstream passage 31A, and the first passage 31 and the second passage In the 32 branching portions, the measurement target gas IA can be easily directed to the discharge port 355 side. Therefore, by the same operation as in the first embodiment, the pollutant that reaches the flow rate detection unit 602 can be reduced, and the mass flow measurement error and the abnormal value detection frequency can be reduced. And it can avoid that the flow volume supplied to a flow volume detection part runs short, and the sensitivity of the flow volume detection part 602 can be maintained.

［実施例３］
図８を用いて、本発明に係る実施例３を説明する。図８は、図６の変形例を示した模式図である。実施例では、上流側通路３１Ａの形状のみが図６と異なっており、副取込口３４と連続する上流側通路３１Ａの壁面が、被計測気体ＩＡの流れ方向に沿って凹形状となっており、これに対向する壁面は、流路断面積を維持するように凸形状の壁面に対応した凸形状となっている。 [Example 3]
A third embodiment according to the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 8 is a schematic diagram showing a modification of FIG. In the embodiment, only the shape of the upstream side passage 31A is different from that in FIG. 6, and the wall surface of the upstream side passage 31A continuous with the sub intake port 34 has a concave shape along the flow direction of the measured gas IA. And the wall surface which opposes this becomes the convex shape corresponding to a convex-shaped wall surface so that a flow-path cross-sectional area may be maintained.

この上流側通路３１Ａは、主取込口３５０から上流側通路３１Ａ内部に流れ込んだ被計測気体の流れの方向を上流側通路３１Ａに沿うように拘束し、第１の通路３１と第２の通路３２の分岐部において、流れを第２の通路３２側から遠ざけることで排出通路３側に向い易くする。従って、実施例１と同様の作用により、流量検出部に到達する汚損物質を低減することができ、質量流量の計測誤差や異常値の検出頻度を低減することができる。かつ、流量検出部に供給される流量が不足することを回避でき、流量センサの感度を維持できる。   The upstream passage 31A restrains the direction of the flow of the gas to be measured flowing into the upstream passage 31A from the main intake port 350 along the upstream passage 31A, and the first passage 31 and the second passage In the 32 branching parts, the flow is kept away from the second passage 32 side so as to be easily directed to the discharge passage 3 side. Therefore, by the same operation as in the first embodiment, the pollutant that reaches the flow rate detection unit can be reduced, and the measurement error of the mass flow rate and the detection frequency of the abnormal value can be reduced. And it can avoid that the flow volume supplied to a flow volume detection part runs short, and can maintain the sensitivity of a flow sensor.

［実施例４］
図９を用いて、本発明に係る実施例４を説明する。図９は、図６の別の変形例を示した模式図である。なお、これまでの実施例１〜３に対応する同じ機能を有る部位は、同じ符号を付している。 [Example 4]
Embodiment 4 according to the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 9 is a schematic diagram showing another modification of FIG. In addition, the site | part which has the same function corresponding to the Examples 1-3 so far is attaching | subjected the same code | symbol.

上述の実施例１〜３では、第２の通路３２は、流路がほぼ３６０度旋回して、主取込口３５０が主通路１２４を流れる被計測気体３０の流れ方向Ｄに対向するように上流側を向いて開口し、出口３５５が流体の流れ方向の下流側に向かって開口していた。それに対し、図９は、第２の通路３２の構成が上述の実施例とは異なる一例を示す断面図である。図９では、ボディ１（ハウジング３０２）の副通路の部分だけを示しており、図６乃至８とほぼ同様な断面を示している。   In the above-described first to third embodiments, the second passage 32 is configured so that the flow path turns approximately 360 degrees so that the main intake port 350 faces the flow direction D of the gas 30 to be measured flowing through the main passage 124. The outlet 355 opened toward the upstream side, and the outlet 355 opened toward the downstream side in the fluid flow direction. On the other hand, FIG. 9 is a cross-sectional view showing an example in which the configuration of the second passage 32 is different from the above-described embodiment. In FIG. 9, only the sub-passage portion of the body 1 (housing 302) is shown, and a cross section substantially similar to FIGS. 6 to 8 is shown.

本実施例の第１の通路３１は、主取込口３５０に連通する上流側通路３１Ａを有しており、上流側通路３１Ａは直線状となっている。上流側通路３１Ａは、主通路１２４を流れる被計測気体３０の流れ方向Ｄに対してある所定の角度θをなして設けられている。より具体的には、本実施例でも、主取込口３５０から第１の通路３１の上流側通路は、主取込口３５０から副取込口３４まで直線状となっており、第１の通路３１のうち主取込口３５０から副取込口３４までの上流側通路３１Ａは、主通路を流れる被計測気体の流れ方向Ｄに対して、流量検出部６０２から離れるように傾斜している。本実施例では、第１の通路３１の主取込口３５０の中心は、主通路１２４の被計測気体ＩＡが流れる方向Ｄに沿った中心線ＣＬに対してオフセットし（具体的には、主取込口３５０が中心線ＣＬから外れた位置に形成され）、第１の通路３１のうち主取込口３５０から副取込口３４（具体的には上流端部）までの上流側通路３１Ａは、主取込口３５０から副取込口３４に進むにしたがって中心線ＣＬから離れるように、中心線ＣＬに対して傾斜している。   The first passage 31 of the present embodiment has an upstream passage 31A communicating with the main intake port 350, and the upstream passage 31A is linear. The upstream passage 31 </ b> A is provided at a certain angle θ with respect to the flow direction D of the measurement target gas 30 flowing through the main passage 124. More specifically, also in the present embodiment, the upstream passage from the main intake port 350 to the first passage 31 is linear from the main intake port 350 to the sub intake port 34, and the first Of the passage 31, the upstream passage 31 </ b> A from the main intake port 350 to the sub intake port 34 is inclined so as to be away from the flow rate detection unit 602 with respect to the flow direction D of the gas to be measured flowing through the main passage. . In the present embodiment, the center of the main intake port 350 of the first passage 31 is offset with respect to the center line CL along the direction D in which the measured gas IA of the main passage 124 flows (specifically, The intake port 350 is formed at a position deviated from the center line CL), and the upstream passage 31A from the main intake port 350 to the sub intake port 34 (specifically, the upstream end portion) in the first passage 31. Is inclined with respect to the center line CL so as to move away from the center line CL as it proceeds from the main inlet 350 to the sub inlet 34.

第２の通路３２は、第１の通路３１から分岐しており、第１の通路３１の排出口３５５は、熱式流量計の厚み方向の一端にある側面に開口している。第２の通路３２には、その途中に回路パッケージ４００に搭載された流量検出部６０２が設けられている。副通路２は部分的に曲がりを有しており、回路パッケージ４００および流量検出部６０２は曲がり部の下流側に配置されている。   The second passage 32 is branched from the first passage 31, and the discharge port 355 of the first passage 31 is open to a side surface at one end in the thickness direction of the thermal flow meter. The second passage 32 is provided with a flow rate detection unit 602 mounted on the circuit package 400 in the middle thereof. The sub passage 2 is partially bent, and the circuit package 400 and the flow rate detection unit 602 are arranged on the downstream side of the bent portion.

第２の通路３２の出口３５２は、熱式流量計の先端側において主通路１２４に開口している。流量検出部６０２が、主通路１２４の被計測気体ＩＡの流れ方向Ｄに、取込口３５０を投影した投影範囲Ｒから外れているので、主取込口３５０から流入した汚損物質が直進して接触することはない。さらに、排出口３５５は、主通路１２４の被計測気体ＩＡの流れ方向Ｄに、主取込口３５０を投影した投影範囲Ｒから外れている。これにより、主取込口３５０から流入した流れは、排出口３５５に向って直進しにくくなっている。さらに、排出口３５５の面積は、主取込口３５０の面積よりも小さくなっている。   The outlet 352 of the second passage 32 opens into the main passage 124 on the tip side of the thermal flow meter. Since the flow rate detection unit 602 is out of the projection range R in which the intake port 350 is projected in the flow direction D of the gas IA to be measured in the main passage 124, the pollutant that has flowed from the main intake port 350 travels straight. There is no contact. Further, the discharge port 355 is out of the projection range R in which the main intake port 350 is projected in the flow direction D of the measurement target gas IA in the main passage 124. As a result, the flow that flows in from the main intake port 350 is less likely to go straight toward the discharge port 355. Furthermore, the area of the discharge port 355 is smaller than the area of the main intake port 350.

主取込口３５０から上流側通路３１Ａに流入した被計測気体ＩＡの一部は、汚損物質と共に排出口３５５に向かって流れ、排出口３５５から主通路１２４に流出する。上流側通路３１Ａは直線状をなし、主通路１２４を流れる被計測気体ＩＡの（主要）流れ方向Ｄに対してある所定の角度θをなして設けられている。このため、上流側通路３１Ａが、主取込口３５０からその内部に流れ込んだ流れの方向を変え、第１の通路３１と第２の通路３２の分岐部において、流れを２の通路３２側から遠ざけることで排出口３５５側に向い易くする。それにより、主取込口３５０から流入した汚損物質の多くが排出口３５５から排出される。排出口３５５から排出されなかった残りの汚損物質は分岐部から第２の通路３２へ向う流れに運ばれるが、第２の通路３２は曲がりを有しているため、曲がりの部分で遠心力の作用を受け外周側に偏向される。このため、汚損物質が第２の通路３２内で流量検出部６０２から離れた位置を通過する。これらにより、汚損物質が流量検出部６０２に到達する量が削減される。   A part of the measurement target gas IA flowing into the upstream passage 31A from the main intake port 350 flows toward the discharge port 355 together with the fouling substance, and flows out from the discharge port 355 to the main passage 124. The upstream-side passage 31 </ b> A is linear and is provided at a certain angle θ with respect to the (main) flow direction D of the measurement target gas IA flowing through the main passage 124. For this reason, the upstream passage 31A changes the direction of the flow that flows into the main intake port 350 from the inside, and the flow from the second passage 32 side at the branch portion of the first passage 31 and the second passage 32 is changed. It is easy to face the discharge port 355 side by keeping away. Thereby, most of the fouling substances that have flowed from the main intake port 350 are discharged from the discharge port 355. The remaining pollutant that has not been discharged from the discharge port 355 is carried to the flow from the branching portion toward the second passage 32. However, since the second passage 32 has a bend, centrifugal force is generated at the bend. It is acted and deflected to the outer peripheral side. For this reason, the pollutant passes through a position away from the flow rate detection unit 602 in the second passage 32. As a result, the amount of fouling substances reaching the flow rate detection unit 602 is reduced.

排出口３５５は、主通路１２４の被計測気体ＩＡの流れ方向Ｄに、主取込口３５０を投影した投影範囲Ｒから外れている。これにより、主取込口３５０から流入した流れは、排出口３５５に向って直進しにくくなっている。さらに、排出口３５５の面積は、主取込口３５０の面積よりも小さくなっている。これにより、主取込口３５０から流入した流れは排出口３５５で絞られ、流体抵抗が大きい。これらより、第１の通路３１から流出する流量が抑制され、流量検出部６０２が、主通路１２４の被計測気体ＩＡの流れ方向Ｄに、取込口３５０を投影した投影範囲Ｒから外れていても、曲り通路となる第２の通路３２を介して流量検出部６０２に供給される流量が不足することが回避される。   The discharge port 355 is out of the projection range R in which the main intake port 350 is projected in the flow direction D of the measurement target gas IA in the main passage 124. As a result, the flow that flows in from the main intake port 350 is less likely to go straight toward the discharge port 355. Furthermore, the area of the discharge port 355 is smaller than the area of the main intake port 350. Thereby, the flow which flowed in from the main intake port 350 is restrict | squeezed by the discharge port 355, and fluid resistance is large. Accordingly, the flow rate flowing out from the first passage 31 is suppressed, and the flow rate detection unit 602 is out of the projection range R in which the intake port 350 is projected in the flow direction D of the measurement target gas IA in the main passage 124. However, a shortage of the flow rate supplied to the flow rate detection unit 602 via the second passage 32 serving as a curved passage is avoided.

以上、本発明の実施形態について詳述したが、本発明は、前記の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の精神を逸脱しない範囲で、種々の設計変更を行うことができるものである。例えば、前記した実施の形態は本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、ある実施形態の構成の一部を他の実施形態の構成に置き換えることが可能であり、また、ある実施形態の構成に他の実施形態の構成を加えることも可能である。さらに、各実施形態の構成の一部について、他の構成の追加・削除・置換をすることが可能である。   Although the embodiments of the present invention have been described in detail above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various designs can be made without departing from the spirit of the present invention described in the claims. It can be changed. For example, the above-described embodiment has been described in detail for easy understanding of the present invention, and is not necessarily limited to one having all the configurations described. Further, a part of the configuration of an embodiment can be replaced with the configuration of another embodiment, and the configuration of another embodiment can be added to the configuration of an embodiment. Furthermore, it is possible to add, delete, and replace other configurations for a part of the configuration of each embodiment.

３０…熱式流量計
３１…第１の通路
３１Ａ…上流側通路
３２…第２の通路
３４…副取込口
３４ａ…上流側開口縁部
３４ｂ…下流側開口縁部
３４ｃ…下流端部
３０２…ハウジング
３０３…表カバー
３０４…裏カバー
３５０…主取込口
３５５…排出口
６０２…流量検出部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 30 ... Thermal type flow meter 31 ... 1st channel | path 31A ... Upstream side channel | path 32 ... 2nd channel | path 34 ... Sub intake 34a ... Upstream side opening edge part 34b ... Downstream side opening edge part 34c ... Downstream end part 302 ... Housing 303 ... Front cover 304 ... Back cover 350 ... Main intake port 355 ... Discharge port 602 ... Flow rate detector

Claims (4)

主通路を流れる被計測気体の一部を取り込む副通路と、前記副通路を流れる被計測気体の流量を検出する流量検出部とを備え、該流量検出部が計測した計測値に基づいて前記主通路を流れる被計測気体の流量を検出する熱式流量計において、
前記副通路は、前記主通路を流れる前記被計測気体を取り込むように、前記主通路の上流に面した主取込口から、取り込んだ被計測気体の一部を排出する排出口まで形成された第１の通路と、
該第１の通路に流れる被計測気体を取り込む副取込口から、前記流量検出部に向かって形成された第２の通路と、を備えており、
前記第１の通路のうち主取込口から副取込口までの上流側通路は、前記主通路を流れる被計測気体の流れ方向に対して、前記流量検出部から離れるように傾斜しており、
前記流量検出部および前記排出口は、前記主通路の被計測気体の流れ方向に、前記主取込口を投影した投影範囲から外れており、
前記排出口の面積は、前記主取込口の面積よりも小さくなっていることを特徴とする熱式流量計。 A sub-passage that takes in a part of the gas to be measured flowing through the main passage; and a flow rate detection unit that detects a flow rate of the gas to be measured that flows through the sub-passage, and the main flow is measured based on a measurement value measured by the flow rate detection unit. In a thermal flow meter that detects the flow rate of the gas to be measured flowing through the passage,
The sub passage is formed from a main intake port facing upstream of the main passage to an exhaust port for discharging a part of the taken measurement gas so as to take in the measurement gas flowing through the main passage. A first passage;
A second passage formed from the sub-inlet for taking in the gas to be measured flowing into the first passage toward the flow rate detection unit,
Of the first passage, the upstream passage from the main intake port to the sub intake port is inclined so as to be away from the flow rate detection unit with respect to the flow direction of the gas to be measured flowing through the main passage. ,
The flow rate detection unit and the discharge port are out of the projection range in which the main intake port is projected in the flow direction of the gas to be measured in the main passage,
The area of the said discharge port is smaller than the area of the said main intake port, The thermal type flow meter characterized by the above-mentioned. 前記排出口は、前記主取込口から前記上流側通路が延在する方向に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の熱式流量計。   The thermal flow meter according to claim 1, wherein the discharge port is formed in a direction in which the upstream passage extends from the main intake port. 前記上流側通路は、前記主取込口から前記副取込口まで直線状となっていることを特徴とする請求項１に記載の熱式流量計。   The thermal flow meter according to claim 1, wherein the upstream side passage is linear from the main intake port to the sub intake port. 前記副取込口を形成する前記第１の通路の下流側に位置する下流側開口縁部は、前記第１の通路の上流側に位置する上流側開口縁部よりも、前記第１の通路を形成する壁面のうち前記副取込口と対向する壁面に対して離間して形成されている、または、前記下流側開口縁部と前記上流側開口縁部は、前記副取込口と対向する壁面と同じ距離にあることを特徴とする請求項１に記載の熱式流量計。   The downstream opening edge located on the downstream side of the first passage that forms the sub intake port has a lower opening opening edge than the upstream opening edge located on the upstream side of the first passage. Or the downstream opening edge and the upstream opening edge are opposed to the sub intake. The thermal flow meter according to claim 1, wherein the thermal flow meter is at the same distance as a wall surface to be operated.
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