JP2015066471A - Liquid feed device - Google Patents

Liquid feed device Download PDF

Info

Publication number
JP2015066471A
JP2015066471A JP2013200299A JP2013200299A JP2015066471A JP 2015066471 A JP2015066471 A JP 2015066471A JP 2013200299 A JP2013200299 A JP 2013200299A JP 2013200299 A JP2013200299 A JP 2013200299A JP 2015066471 A JP2015066471 A JP 2015066471A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
liquid material
flow path
flow
valve
discharge amount
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2013200299A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP6213102B2 (en
Inventor
勉 篠崎
Tsutomu Shinozaki
勉 篠崎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP2013200299A priority Critical patent/JP6213102B2/en
Publication of JP2015066471A publication Critical patent/JP2015066471A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6213102B2 publication Critical patent/JP6213102B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Coating Apparatus (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To suppress degradation of accuracy of a measurement result of a flowmeter.SOLUTION: A first flow passage Q1 supplies a liquid material from a tank T to a head H. A second flow passage Q2 circulates the liquid material to the tank. First and second valves V1, V2 control a flow of the liquid material in the first and second flow passages. A first manometer M1 measures a pressure of the first flow passage on a downstream side from the first valve. A second manometer M2 measures a pressure of the second flow passage on a downstream side from the second valve. A flowmeter FM measures a flow rate of the first flow passage on an upstream side from a branch point of the first and second flow passages. A control device 110 controls a discharge amount of the liquid material discharged from the head. The control device 110 includes a discharge amount calculation part which calculates the discharge amount of the liquid material discharged from the head based on a ratio of a measurement value of the first manometer and a measurement value of the second manometer, and a measurement value of the flowmeter.

Description

本発明は、送液装置に関し、特に、液状物を基材に間欠的に送液する送液装置に関する。   The present invention relates to a liquid feeding device, and more particularly, to a liquid feeding device that intermittently feeds a liquid material to a substrate.

近年、電子部品の中には、液状材料がシート状の基材に送液されているものがあることが、知られている。このような電子部品の小型化に伴って、その製造工程では、液状材料を基材に送液するにあたり、より薄く、より精確な厚さで、より均一に、液状材料を送液することが、要求される。また、生産性向上の観点では、一度に大量の液状材料を送液することが求められている。このため、液状材料を基材全体に均一に送液する生産技術も必要となる。   In recent years, it has been known that some electronic components have a liquid material fed to a sheet-like base material. With such downsizing of electronic components, in the manufacturing process, when the liquid material is fed to the base material, the liquid material can be fed more uniformly with a thinner, more accurate thickness. As required. Further, from the viewpoint of improving productivity, it is required to feed a large amount of liquid material at a time. For this reason, a production technique for uniformly feeding the liquid material over the entire substrate is also required.

このような生産技術の１つとして、例えば、実際に送液されている液状材料の送液量を常時測定し、一定間隔で液状材料を送液するポンプ等の駆動源に液状材料の送液量の測定値をフィードバックさせる技術が知られている。これにより、長時間に亘り安定した送液量を維持することができる。   As one of such production techniques, for example, the amount of liquid material actually fed is constantly measured, and the liquid material is fed to a drive source such as a pump that delivers the liquid material at regular intervals. Techniques for feeding back measured quantities are known. Thereby, the liquid feeding amount stabilized over a long time can be maintained.

図１０は、本発明に関連する送液装置９００の構成の一例を示す。また、図１１は、送液装置９００が送液する液状材料の流量と、経過時間との関係を示す図である。   FIG. 10 shows an example of the configuration of a liquid delivery device 900 related to the present invention. FIG. 11 is a diagram showing the relationship between the flow rate of the liquid material fed by the liquid feeding device 900 and the elapsed time.

図１０に示されるように、送液装置９００では、第１のバルブＶ１または第２のバルブＶ２に交互に切り替えながら、ポンプＰの動力によって液状材料をヘッドＨへ送液している。これにより、液状材料が間欠的にヘッドＨへ送液される（液状材料の間欠動作）。また、送液装置９００では、液状材料を間欠的にヘッドＨへ送液することで、ローラーＲ上を移動する基材Ｂ上に間欠的に液状材料を送液している（間欠送液）。   As shown in FIG. 10, in the liquid feeding device 900, the liquid material is fed to the head H by the power of the pump P while alternately switching to the first valve V1 or the second valve V2. Thereby, the liquid material is intermittently fed to the head H (intermittent operation of the liquid material). Further, in the liquid feeding device 900, the liquid material is intermittently fed to the head H, so that the liquid material is intermittently fed onto the base material B moving on the roller R (intermittent liquid feeding). .

この場合、ヘッドＨから送液される液状材料を正確に計測するためには、図１０に示されるように、流量計ＦＭを第１のバルブＶ１とヘッドＨの間に配置する必要がある。   In this case, in order to accurately measure the liquid material fed from the head H, it is necessary to dispose the flow meter FM between the first valve V1 and the head H as shown in FIG.

しかしながら、第１のバルブＶ１と第２のバルブＶ２の切り替わりによって、第１のバルブＶ１とヘッドＨの間の圧力の変動が大きくなる。このため、図１１に示されるように、流量計ＲＭの指示値は、液状材料を送液している間であっても、安定した値にならない。したがって、送液装置９００では、液状材料の流量を正確に計測することができず、安定した送液を実現できない。   However, the change in the pressure between the first valve V1 and the head H increases due to the switching between the first valve V1 and the second valve V2. For this reason, as shown in FIG. 11, the indicated value of the flow meter RM does not become a stable value even while the liquid material is being fed. Therefore, in the liquid feeding device 900, the flow rate of the liquid material cannot be accurately measured, and stable liquid feeding cannot be realized.

これに対して、送液装置９００の他に、例えば、送液時の送液弁側の圧力波形が送液毎に同じになるように制御し、液状材料（流体材料）の送液量を一定にする技術が知られている。例えば、特許文献１では、送液時に事前に登録された圧力波形になるように、定容量ポンプにより液体材料を送液器吐出口へ供給し、定容量ポンプから送液器に至る経路中の圧力を制御することが、提案されている。   On the other hand, in addition to the liquid feeding device 900, for example, the pressure waveform on the liquid feeding valve side during liquid feeding is controlled to be the same for each liquid feeding, and the liquid feeding amount of the liquid material (fluid material) is controlled. Techniques for making it constant are known. For example, in Patent Document 1, a liquid material is supplied to a liquid feeder discharge port by a constant volume pump so that a pressure waveform registered in advance at the time of liquid feeding, and in a path from the constant volume pump to the liquid feeder. It has been proposed to control the pressure.

しかしながら、特許文献１に記載の技術では、送液する液状材料の粘度が変化した場合、液状材料の送液量を一定に保つことが出来ない。この要因は、液状材料の粘度が変化すると、液状材料の流れ方が変化して、同じ圧力で液状材料を供給しても液状材料の送液量が変化してしまうことによる。   However, in the technique described in Patent Document 1, when the viscosity of the liquid material to be fed changes, the amount of liquid material to be fed cannot be kept constant. This is because when the viscosity of the liquid material changes, the flow of the liquid material changes, and even if the liquid material is supplied at the same pressure, the amount of liquid material fed changes.

また、特許文献２では、送液時の液状材料の圧力値に加えて、送液時の液状材料の流量値を用いて、液状材料の送液量を制御する技術が、流体分配システムとして、提案されている。特許文献２に記載の技術では、流量計から得られた実際の液状材料の流量を用いて、圧力を制御している。これにより、特許文献２に記載の技術では、液状材料の粘度に依存しないで、一定の送液量を得ることができる。   Moreover, in patent document 2, in addition to the pressure value of the liquid material at the time of liquid feeding, the technique of controlling the liquid material feeding amount using the flow rate value of the liquid material at the time of liquid feeding is a fluid distribution system. Proposed. In the technique described in Patent Document 2, the pressure is controlled using the actual flow rate of the liquid material obtained from the flow meter. Thereby, with the technique described in Patent Document 2, a constant liquid feeding amount can be obtained without depending on the viscosity of the liquid material.

特許４７４２５１１号公報Japanese Patent No. 4742511 特開２００７−５０３９８２号公報JP 2007-503982 A

上述の特許文献２に記載の技術は、液状材料を基材に送液している時の平均圧力値および平均流量値を用いて、目標流量に対応する圧力を生じさせるための理論流量を算出している。   The technique described in Patent Document 2 described above calculates a theoretical flow rate for generating a pressure corresponding to a target flow rate, using an average pressure value and an average flow rate value when a liquid material is fed to a substrate. doing.

しかしながら、シート状の基材を移動させながら、液状材料を基材に間欠的に送液する場合に、圧力変動は、送液量に対する送液時間が短いと大きくなる。このため、特許文献２に記載の技術では、流量を精確に測定することができない場合が多いという問題があった。この結果、安定した送液装置を実現することができないという問題も生じうる。   However, when the liquid material is intermittently supplied to the base material while moving the sheet-like base material, the pressure fluctuation becomes large when the liquid supply time with respect to the liquid supply amount is short. For this reason, the technique described in Patent Document 2 has a problem that the flow rate cannot be accurately measured in many cases. As a result, there may be a problem that a stable liquid feeding device cannot be realized.

本発明は、このような事情を鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、流量計の測定結果の精度が低下することを抑止することができる送液装置を提供することにある。   This invention is made | formed in view of such a situation, and the objective of this invention is providing the liquid feeding apparatus which can suppress that the precision of the measurement result of a flowmeter falls.

本発明の送液装置は、液状材料を貯蔵するタンクと、前記タンクから流出する液状材料を吐出するヘッドと、前記液状材料を前記タンクから前記ヘッドへ供給させる第１の流路と、前記第１の流路上に設けられ、前記第１の流路内の前記液状材料の流れを制御する第１のバルブと、前記第１の流路のうち、前記第１のバルブよりも上流側で、前記第１の流路と分岐して、前記液状材料を前記タンクへ循環させる第２の流路と、前記第２の流路に設けられ、前記第２の流路内の前記液状材料の流れを制御する第２のバルブと、前記第１のバルブよりも下流側の前記第１の流路の圧力を測定する第１の圧力計と、前記第２のバルブよりも下流側の前記第２の流路の圧力を測定する第２の圧力計と、前記第１の流路と前記第２の流路との分岐点よりも上流側の前記第１の流路の流量を測定する流量計と、前記ヘッドから吐出される前記液体材料の吐出量を制御する制御装置とを備え、前記制御装置は、前記第１の圧力計の測定値と、前記第２の圧力計の測定値と、前記流量計の測定値とに基づいて、前記ヘッドから吐出される前記液状材料の吐出量を算出する吐出量算出部を有する。   The liquid feeding device of the present invention includes a tank for storing a liquid material, a head for discharging the liquid material flowing out from the tank, a first flow path for supplying the liquid material from the tank to the head, and the first A first valve that is provided on one flow path and controls the flow of the liquid material in the first flow path, and is upstream of the first valve in the first flow path, A second flow path that branches off from the first flow path and circulates the liquid material to the tank; and a flow of the liquid material in the second flow path that is provided in the second flow path. A second valve for controlling the first pressure gauge, a first pressure gauge for measuring the pressure in the first flow path downstream from the first valve, and the second pressure downstream from the second valve. A second pressure gauge that measures the pressure of the first flow path, and a branch point between the first flow path and the second flow path A flow meter that measures the flow rate of the first flow path on the upstream side; and a control device that controls a discharge amount of the liquid material discharged from the head, the control device including the first pressure gauge And a discharge amount calculation unit that calculates a discharge amount of the liquid material discharged from the head based on the measurement value of the second pressure gauge, the measurement value of the second pressure gauge, and the measurement value of the flow meter.

本発明にかかる送液装置によれば、流量計の測定結果の精度が低下することを抑止することができる。   According to the liquid feeding device according to the present invention, it is possible to prevent the accuracy of the measurement result of the flow meter from being lowered.

本発明の実施の形態における送液装置の構成の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of a structure of the liquid feeding apparatus in embodiment of this invention. 制御装置のブロック構成の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the block configuration of a control apparatus. 本発明の実施の形態における送液装置の送液動作フローを示す図である。It is a figure which shows the liquid feeding operation | movement flow of the liquid feeding apparatus in embodiment of this invention. 本発明の実施の形態における送液装置の第１のバルブおよび第２のバルブの開閉時の圧力変化を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the pressure change at the time of opening and closing of the 1st valve | bulb of the liquid feeding apparatus in embodiment of this invention, and a 2nd valve | bulb. 本発明の実施の形態における送液装置のヘッドから吐き出される液状材料の吐出量を算出する動作フローを示す図である。It is a figure which shows the operation | movement flow which calculates the discharge amount of the liquid material discharged from the head of the liquid feeding apparatus in embodiment of this invention. 本発明の実施の形態における送液装置による送液中の流量計ＦＭで測定される流量を表す図である。It is a figure showing the flow volume measured with the flowmeter FM during the liquid feeding by the liquid feeding apparatus in embodiment of this invention. 本発明の実施の形態における送液装置の第２のバルブの開閉が異常状態になった場合等により、第２の流路に液状材料が送液された場合の第２の流路の圧力値の変化を示す図である。The pressure value of the second flow path when the liquid material is fed to the second flow path when the opening and closing of the second valve of the liquid feed apparatus according to the embodiment of the present invention becomes abnormal. It is a figure which shows the change of. 本発明の実施の形態における送液装置のヘッドから吐き出される液状材料の吐出量を安定させる動作フローを示す図である。It is a figure which shows the operation | movement flow which stabilizes the discharge amount of the liquid material discharged from the head of the liquid feeding apparatus in embodiment of this invention. 本発明の実施の形態における送液装置の制御装置のハードウェア構成の一例を示すブロック図である。It is a block diagram which shows an example of the hardware constitutions of the control apparatus of the liquid feeding apparatus in embodiment of this invention. 本発明に関連する送液装置の構成の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of a structure of the liquid feeding apparatus relevant to this invention. 本発明に関連する送液装置が送液する液状材料の流量と、経過時間との関係を示す図である。It is a figure which shows the relationship between the flow volume of the liquid material which the liquid feeding apparatus relevant to this invention sends, and elapsed time.

本発明の第１の実施の形態における送液装置１００の構成について、図に基づいて説明する。図１は、送液装置１００の構成の一例を示す図である。   The configuration of the liquid delivery device 100 according to the first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a diagram illustrating an example of the configuration of the liquid delivery device 100.

図１に示されるように、送液装置１００は、タンクＴと、ヘッドＨと、第１の流路Ｑ１と、第２の流路Ｑ２と、第１のバルブＶ１と、第２のバルブＶ２と、第１の圧力計Ｍ１と、第２の圧力計Ｍ２と、流量計ＦＭと、ポンプＰと、ローラーＲと、制御装置１１０とを備えている。また、送液装置１０００は、液状材料を基材Ｂへ間欠的に送液する装置である。   As shown in FIG. 1, the liquid delivery apparatus 100 includes a tank T, a head H, a first flow path Q1, a second flow path Q2, a first valve V1, and a second valve V2. And a first pressure gauge M1, a second pressure gauge M2, a flow meter FM, a pump P, a roller R, and a control device 110. The liquid feeding device 1000 is a device that intermittently feeds a liquid material to the base material B.

図１に示されるように、タンクＴおよびヘッドＨの間は、ポンプＰと、流量計ＦＭと、第１のバルブＶ１と、複数の配管（矢印ａ１、ａ２、ａ３、ａ４、ａ５、ａ６に沿った配管）とによって、接続されている。また、タンクＴおよびヘッドＨの間は、第１の圧力計Ｍ１と、複数の配管（矢印ａ６、ｃ１、ｃ２、ｃ３、ｂ４に沿った配管）とによって、接続されている。また、タンクＴ、ポンプＰ、流量計ＦＭ、第２のバルブＶ２、第２の圧力計Ｍ２および複数の配管（矢印ａ１、ａ２、ａ３、ｂ１、ｂ２、ｂ３、ｂ４に沿った配管）は、循環路を形成する。   As shown in FIG. 1, between the tank T and the head H, a pump P, a flow meter FM, a first valve V1, and a plurality of pipes (arrows a1, a2, a3, a4, a5, a6) Lined along the pipe). The tank T and the head H are connected by the first pressure gauge M1 and a plurality of pipes (pipes along the arrows a6, c1, c2, c3, and b4). In addition, the tank T, the pump P, the flow meter FM, the second valve V2, the second pressure gauge M2, and a plurality of pipes (pipes along arrows a1, a2, a3, b1, b2, b3, b4) Form a circuit.

なお、図１では、タンクＴ側を上流側とし、ヘッドＨ側を下流側とする。   In FIG. 1, the tank T side is the upstream side, and the head H side is the downstream side.

タンクＴは、内部に空洞を有する容器であって、液状材料を貯蔵する。ヘッドＨは、タンクＴから流出する液状材料を吐出する部品である。   The tank T is a container having a cavity inside and stores a liquid material. The head H is a component that discharges the liquid material flowing out from the tank T.

第１の流路Ｑ１は、液状材料をタンクＴからヘッドＨへ供給させる流路である。第１の流路Ｑ１は、図１に示されるタンクＴ、ポンプＰ、流量計ＦＭ、第１の圧力計Ｖ１、ヘッドＨおよびこれらに接続する配管（矢印ａ１、ａ２、ａ３、ａ４、ａ５およびａ６が併記されている配管）により、構成される。   The first flow path Q1 is a flow path for supplying a liquid material from the tank T to the head H. The first flow path Q1 includes a tank T, a pump P, a flow meter FM, a first pressure gauge V1, a head H, and pipes connected to these (arrows a1, a2, a3, a4, a5 and a6).

第２の流路Ｑ２は、図１に示されるように、第１の流路Ｑ１のうち、第１のバルブＶ１よりも上流側で、第１の流路Ｑ１と分岐して、液状材料をタンクＴへ循環させる流路である。第２の流路Ｑ２は、図１に示される第２のバルブＶ２、第２の圧力計Ｍ２、タンクＴおよびこれらに接続する配管（矢印ｂ１、ｂ２、ｂ３およびｂ４が併記されている配管）により、構成される。なお、図１に示されるように、第２の流路Ｑ２が第１の流路Ｑ１から分岐する点を、分岐点Ｚとする。   As shown in FIG. 1, the second flow path Q2 branches from the first flow path Q1 upstream of the first valve V1 in the first flow path Q1, and allows the liquid material to flow. A flow path that circulates to the tank T. The second flow path Q2 includes the second valve V2, the second pressure gauge M2, the tank T shown in FIG. 1, and a pipe connected to these (a pipe on which arrows b1, b2, b3, and b4 are written together). It is comprised by. As shown in FIG. 1, a branch point Z is a point where the second channel Q2 branches from the first channel Q1.

第１のバルブＶ１は、図１に示されるように、第１の流路Ｑ１上に設けられている。また、第１のバルブＶ１は、第１の流路Ｑ１内の液状材料の流れを制御する機器である。第２のバルブＶ２は、図１に示されるように、第２の流路Ｑ２に設けられている。第２のバルブＶ２は、第２の流路Ｑ２内の液状材料の流れを制御する機器である。   As shown in FIG. 1, the first valve V1 is provided on the first flow path Q1. The first valve V1 is a device that controls the flow of the liquid material in the first flow path Q1. As shown in FIG. 1, the second valve V2 is provided in the second flow path Q2. The second valve V2 is a device that controls the flow of the liquid material in the second flow path Q2.

第１の圧力計Ｍ１は、第１のバルブＶ１よりも下流側の第１の流路Ｑ１の圧力を測定する装置である。第２の圧力計Ｍ２は、第２のバルブＶ２よりも下流側の第２の流路Ｑ２の圧力を測定する装置である。流量計ＦＭは、第１の流路Ｑ１と第２の流路Ｑ２との分岐点Ｚよりも上流側の第１の流路Ｑ１の流量を測定する装置である。   The first pressure gauge M1 is a device that measures the pressure in the first flow path Q1 downstream of the first valve V1. The second pressure gauge M2 is a device that measures the pressure in the second flow path Q2 on the downstream side of the second valve V2. The flow meter FM is a device that measures the flow rate of the first flow path Q1 upstream of the branch point Z between the first flow path Q1 and the second flow path Q2.

ポンプＰは、タンクＴに貯蔵されている液状材料を、第１の流路Ｑ１へ流出させる流体機械である。ローラーＲは、図１に示されるように、円筒状の回転物である。ローラーＲは、基材Ｂを矢印αの方向に回転させる。これにより、基材Ｂが順次、ヘッドＨの吐出口（不図示）の正面へ供給される。   The pump P is a fluid machine that causes the liquid material stored in the tank T to flow out to the first flow path Q1. The roller R is a cylindrical rotating object as shown in FIG. The roller R rotates the base material B in the direction of arrow α. Thereby, the base material B is sequentially supplied to the front surface of the ejection opening (not shown) of the head H.

制御装置１１０は、ヘッドＨから吐出される液体材料の吐出量を制御する。ここで、制御装置１１０の詳細な構成について説明する。図２は、制御装置１１０のブロック構成の一例を示す図である。   The control device 110 controls the discharge amount of the liquid material discharged from the head H. Here, a detailed configuration of the control device 110 will be described. FIG. 2 is a diagram illustrating an example of a block configuration of the control device 110.

図２に示されるように、制御装置１１０は、データ収集部１１１と、吐出量算出部１１２と、制御部１１３とを有する。また、図２にて点線で示すように、制御装置１１０は、第１のバルブＶ１、第２のバルブＶ２、ポンプＰ、流量計ＦＭ、第１の圧力計Ｍ１、第２の圧力計Ｍ２およびローラーＲに接続されている。   As illustrated in FIG. 2, the control device 110 includes a data collection unit 111, a discharge amount calculation unit 112, and a control unit 113. Further, as indicated by a dotted line in FIG. 2, the control device 110 includes a first valve V1, a second valve V2, a pump P, a flow meter FM, a first pressure gauge M1, a second pressure gauge M2, and Connected to roller R.

図２に示されるように、データ収集部１１１は、吐出量算出部１１２に接続されている。また、データ収集部１１１は、第１のバルブＶ１、第２のバルブＶ２、ポンプＰ、流量計ＦＭ、第１の圧力計Ｍ１および第２の圧力計Ｍ２の各々に、接続されている。データ収集部１１１は、バルブＶ１の開閉状態を示すデータ、バルブＶ２の開閉状態を示すデータ、ポンプＰの回転数を示すデータ、流量計ＦＭの測定値を示すデータ、圧力計Ｍ１の測定値を示すデータおよび圧力計Ｍ２の測定値を示すデータを収集する。   As shown in FIG. 2, the data collection unit 111 is connected to the discharge amount calculation unit 112. The data collection unit 111 is connected to each of the first valve V1, the second valve V2, the pump P, the flow meter FM, the first pressure gauge M1, and the second pressure gauge M2. The data collection unit 111 receives data indicating the open / closed state of the valve V1, data indicating the open / closed state of the valve V2, data indicating the rotational speed of the pump P, data indicating the measured value of the flow meter FM, and measured value of the pressure gauge M1. Data to be shown and data to show the measured value of the pressure gauge M2 are collected.

図２に示されるように、吐出量算出部１１２は、データ収集部１１１および制御部１１３に接続されている。吐出量算出部１１２は、圧力計Ｍ１の測定値と、圧力計Ｍ２の測定値と、流量計ＦＭの測定値とに基づいて、ヘッドＨから吐出されている液状材料の吐出量を算出する。例えば、吐出量算出部１１２は、圧力計Ｍ１の測定値と圧力計Ｍ２の測定値との比率と、流量計ＦＭの測定値とに基づいて、ヘッドＨから吐出されている液状材料の吐出量を算出する。   As shown in FIG. 2, the discharge amount calculation unit 112 is connected to the data collection unit 111 and the control unit 113. The discharge amount calculation unit 112 calculates the discharge amount of the liquid material discharged from the head H based on the measurement value of the pressure gauge M1, the measurement value of the pressure gauge M2, and the measurement value of the flow meter FM. For example, the discharge amount calculating unit 112 discharges the liquid material discharged from the head H based on the ratio between the measurement value of the pressure gauge M1 and the measurement value of the pressure gauge M2 and the measurement value of the flow meter FM. Is calculated.

図２に示されるように、制御部１１３は、吐出量算出部１１２に接続されている。また、制御部１１３は、ポンプＰ、第１のバルブＶ１、第２のバルブＶ２およびローラーＲの各々に、接続されている。制御部１１３は、吐出量算出部１１２が算出した吐出量の変化を一定にすべく、ポンプＰの回転数を制御する。これにより、制御部１１３は、吐出量算出部１１２により算出された液状材料の吐出量が略一定になるように、ポンプＰの吐出量（ポンプＰが第１の流路Ｑ１へ流出させる液状材料の流量）を制御する。ここで、制御部１１３は、ポンプＰの回転数を制御することで、ポンプＰの吐出量を制御している。このように、ポンプＰの回転数の制御によって、ポンプＰの吐出量を制御することは、たとえばロータリー式のポンプの場合に有効である。
また、制御部１１３は、ポンプＰの送液量の調節以外にも、第１のバルブＶ１および第２のバルブＶ２の開閉タイミングの調整や、ローラーＲによる基材Ｍの送り速度や、その他送液装置１００を駆動させるための制御を行う。 As shown in FIG. 2, the control unit 113 is connected to the discharge amount calculation unit 112. The control unit 113 is connected to each of the pump P, the first valve V1, the second valve V2, and the roller R. The control unit 113 controls the rotation speed of the pump P so as to make the change in the discharge amount calculated by the discharge amount calculation unit 112 constant. Accordingly, the control unit 113 causes the discharge amount of the pump P (the liquid material that the pump P flows out to the first flow path Q1 so that the discharge amount of the liquid material calculated by the discharge amount calculation unit 112 becomes substantially constant. The flow rate). Here, the control unit 113 controls the discharge amount of the pump P by controlling the rotation speed of the pump P. Thus, controlling the discharge amount of the pump P by controlling the rotation speed of the pump P is effective, for example, in the case of a rotary pump.
Further, the control unit 113 adjusts the opening / closing timing of the first valve V1 and the second valve V2, adjusts the feed speed of the base material M by the roller R, and other feeds in addition to the adjustment of the liquid feed amount of the pump P. Control for driving the liquid device 100 is performed.

以上、制御装置１１０の詳細な構成について説明した。   The detailed configuration of the control device 110 has been described above.

次に、送液装置１００の送液動作について説明する。図３は、制御装置１１０の送液動作フローを示す図である。図３は、特に、制御部１１３の動作を中心に示している。   Next, the liquid feeding operation of the liquid feeding device 100 will be described. FIG. 3 is a diagram showing a liquid supply operation flow of the control device 110. FIG. 3 particularly shows the operation of the control unit 113.

図３に示されるように、まず、制御部１１３は、ポンプＰの回転数と、ローラーＲの回転数と、第１のバルブＶ１および第２のバルブＶ２の開閉タイミングの設定を行う（ステップ：ＳＴＥＰ（以下、単にＳと称する）１０１）。   As shown in FIG. 3, first, the control unit 113 sets the rotation speed of the pump P, the rotation speed of the roller R, and the opening / closing timings of the first valve V1 and the second valve V2 (step: STEP (hereinafter simply referred to as S) 101).

次に、制御部１１３は、ヘッドＨから吐出される液状材料の液量が所定の液量になるように、ポンプＰの回転数を制御して、流量計ＦＭへ向かう第１の流路Ｑ１に液状材料を送液する（Ｓ１０２）。   Next, the control unit 113 controls the number of rotations of the pump P so that the amount of the liquid material discharged from the head H becomes a predetermined amount, and the first flow path Q1 toward the flow meter FM. The liquid material is fed to (S102).

次に、制御部１１３は、液状材料が送液される基材Ｂを送るローラーＲを回転させる制御を行い、送液の準備を行う（Ｓ１０３）。   Next, the control unit 113 performs control to rotate the roller R that feeds the base material B to which the liquid material is fed, and prepares for feeding (S103).

次に、ポンプＰから送られる液状材料は、流量計ＦＭを経由して、第１のバルブＶ１側と、第２のバルブＶ２側に分岐される。その際、制御部１１３は、ヘッドＨから液状材料が決められた間隔で間欠送液されるように、第１のバルブＶ１と第２のバルブＶ２を、Ｓ１０１で設定されたタイミングで、交互に開閉制御を行う（Ｓ１０４）。   Next, the liquid material sent from the pump P is branched to the first valve V1 side and the second valve V2 side via the flow meter FM. At that time, the control unit 113 alternately turns the first valve V1 and the second valve V2 at the timing set in S101 so that the liquid material is intermittently fed from the head H at a predetermined interval. Open / close control is performed (S104).

ここで、第１のバルブＶ１と第２のバルブＶ２の開閉制御について、図４を用いて説明する。図４は、送液装置１００の第１のバルブＶ１および第２のバルブＶ２の開閉時の圧力変化を説明するための図である。   Here, the opening / closing control of the first valve V1 and the second valve V2 will be described with reference to FIG. FIG. 4 is a diagram for explaining a pressure change when the first valve V1 and the second valve V2 of the liquid delivery apparatus 100 are opened and closed.

図４に示されるように、通常、制御部１１３は、第１のバルブＶ１が開いている時間が第２のバルブＶ２が開いている時間と比較して長くなるように、制御を行う。   As shown in FIG. 4, the control unit 113 normally performs control so that the time during which the first valve V1 is open is longer than the time during which the second valve V2 is open.

また、図４に示されるように、第１のバルブＶ１と第２のバルブＶ２の開閉時間のタイミングは、ヘッドＨからの間欠送液の送液部と未送液部の境目がはっきりするように調整される。そのために、同時に開の時間や閉の時間が発生する場合もある。   Further, as shown in FIG. 4, the timing of the opening / closing time of the first valve V1 and the second valve V2 is such that the boundary between the intermittent liquid feeding part and the non-liquid feeding part from the head H is clear. Adjusted to For this reason, an opening time and a closing time may occur at the same time.

また、第１のバルブＶ１と第２のバルブＶ２の開閉時間は、基材ＢをローラーＲで送る速度によっても変化する。   The opening / closing time of the first valve V1 and the second valve V2 also changes depending on the speed at which the substrate B is fed by the roller R.

制御部１１３は、基材Ｂの単位面積当たりの液状物の出力量が一定になるように、ローラーＲの回転動作を制御する。また、制御部１１３は、第１のバルブＶ１および第２のバルブＶ２の開閉時間と、ポンプＰの回転数とを制御する。このような制御部１１３の制御によって、効率良く基材Ｂに液状材料を送液していく。   The controller 113 controls the rotation operation of the roller R so that the output amount of the liquid material per unit area of the base material B becomes constant. Further, the control unit 113 controls the opening / closing time of the first valve V1 and the second valve V2 and the rotational speed of the pump P. By such control of the control unit 113, the liquid material is efficiently fed to the base material B.

図３に戻って、予め決められた送液数までＳ１０４の処理を繰り返した後（Ｓ１０５、Ｎｏ）、予め決められた送液数に達したら液状材料を基材Ｂに塗布する処理を終了する（Ｓ１０５、Ｙｅｓ）。   Returning to FIG. 3, after repeating the process of S104 up to a predetermined number of liquid feeds (S105, No), when the predetermined number of liquid feeds is reached, the process of applying the liquid material to the substrate B is terminated. (S105, Yes).

以上、送液装置１００の送液動作について説明した。   The liquid feeding operation of the liquid feeding device 100 has been described above.

次に、ヘッドＨへ流れる流量値の測定方法について説明する。   Next, a method for measuring the flow value flowing to the head H will be described.

図５は、送液装置１００のヘッドＨから吐き出される液状材料の吐出量を算出する動作フローを示す図である。   FIG. 5 is a diagram illustrating an operation flow for calculating the discharge amount of the liquid material discharged from the head H of the liquid feeding apparatus 100.

図５に示されるように、まず、データ収集部１１１は、第１のバルブＶ１および第２のバルブＶ２の開閉状態と、ポンプＰの回転数等のポンプＰの出力状況と、流量計ＦＭの測定値と、第１の圧力計Ｍ１および第２の圧力計Ｍ２の測定値とを示す各データを、各変化を十分に把握できるサンプリング周波数で、データ収集する（Ｓ２０１）。   As shown in FIG. 5, first, the data collection unit 111 opens and closes the first valve V1 and the second valve V2, the output status of the pump P such as the rotation speed of the pump P, and the flow meter FM. Each data indicating the measured values and the measured values of the first pressure gauge M1 and the second pressure gauge M2 is collected at a sampling frequency that can sufficiently grasp each change (S201).

図６は、送液装置１００による送液中の流量計ＦＭで測定される流量を表す図である。   FIG. 6 is a diagram illustrating the flow rate measured by the flow meter FM during liquid feeding by the liquid feeding device 100.

ここで、図６と図１１とを対比する。図６に示す例では、図１１に示す例に比べて、第１のバルブＶ１と第２のバルブＶ２のいずれかが開いた状態であるために、脈動の少ない流量推移となる。   Here, FIG. 6 and FIG. 11 are compared. In the example shown in FIG. 6, compared to the example shown in FIG. 11, since either the first valve V <b> 1 or the second valve V <b> 2 is open, the flow rate transition with less pulsation is obtained.

図５に戻って、次に、吐出量算出部１１２は、第１のバルブＶ１が開いているときの流量計ＦＭの測定値の代表値と、第１の圧力計Ｍ１の測定値の代表値と、第２の圧力計の測定値の代表値とを算出する（Ｓ２０２）。すなわち、吐出量算出部１１２は、まず、第１のバルブＶ１と第２のバルブＶ２の開閉データからバルブＶ１が開の状態を検出し、図４のタイミングのように、ヘッドＨ側に液状材料が供給されている時の流量計ＦＭの測定値を抽出する。その際、吐出量算出部１１２は、流量の変動を受けやすい切り替え直前直後のデータを、測定値として影響のない範囲内で、抽出しない。また、吐出量算出部１１２は、抽出した流量計ＦＭの測定値に対して平均値等の演算処理を行い、１回の送液中の流量の代表値として取り出す。同様に、吐出量算出部１１２は、第１の圧力計Ｍ１および第２の圧力計Ｍ２についても、送液中の測定値の抽出と平均値等の演算処理を行い、圧力の代表値として取り出す（Ｓ２０２）。   Returning to FIG. 5, the discharge amount calculation unit 112 next displays the representative value of the measured value of the flow meter FM when the first valve V <b> 1 is open and the representative value of the measured value of the first pressure gauge M <b> 1. And the representative value of the measured value of the second pressure gauge is calculated (S202). That is, the discharge amount calculation unit 112 first detects the open state of the valve V1 from the opening / closing data of the first valve V1 and the second valve V2, and the liquid material on the head H side as shown in the timing of FIG. The measured value of the flow meter FM when the is supplied is extracted. At that time, the discharge amount calculation unit 112 does not extract the data immediately before the switching that is likely to be affected by the flow rate within a range that does not affect the measurement value. Moreover, the discharge amount calculation part 112 performs arithmetic processing, such as an average value, with respect to the measured value of the extracted flowmeter FM, and takes it out as a representative value of the flow rate during one liquid feeding. Similarly, the discharge amount calculation unit 112 also performs extraction processing of the measured values during liquid feeding and arithmetic processing such as an average value for the first pressure gauge M1 and the second pressure gauge M2, and takes them out as representative pressure values. (S202).

次に、吐出量算出部１１２は、ヘッドＨから吐出される液状材料の吐出量を算出する（Ｓ２０３）。すなわち、吐出量算出部１１２は、抽出した第１の流路Ｑ１と第２の流路Ｑ２の圧力代表値から圧力の比率を算出する。そして、吐出量算出部１１２は、次に示す（式１）に示すように、流量代表値に圧力比率の算出結果を乗ずることにより、送液中に第２の流路Ｑ２側に流れる流量を考慮しつつ、ヘッドＨから吐出される液状材料の吐出量を算出する。   Next, the discharge amount calculation unit 112 calculates the discharge amount of the liquid material discharged from the head H (S203). That is, the discharge amount calculation unit 112 calculates a pressure ratio from the extracted pressure representative values of the first flow path Q1 and the second flow path Q2. Then, as shown in the following (Equation 1), the discharge amount calculation unit 112 multiplies the flow rate representative value by the calculation result of the pressure ratio, so that the flow rate flowing to the second flow path Q2 side during liquid feeding is calculated. The discharge amount of the liquid material discharged from the head H is calculated while taking into consideration.

Figure 2015066471
Figure 2015066471

次に、送液装置１００の第２のバルブＶ１の開閉が異常状態になった場合等により、第２の流路Ｑ２に液状材料が送液された場合について、説明する。図７は、送液装置１００の第２のバルブＶ２の開閉が異常状態になった場合等により、第２の流路Ｑ２に液状材料が送液された場合の第２の流路Ｑ２の圧力値の変化を示す図である。   Next, a case where the liquid material is supplied to the second flow path Q2 when the opening / closing of the second valve V1 of the liquid supply apparatus 100 becomes abnormal will be described. FIG. 7 shows the pressure in the second flow path Q2 when the liquid material is fed into the second flow path Q2 when the opening and closing of the second valve V2 of the liquid delivery apparatus 100 becomes abnormal. It is a figure which shows the change of a value.

図７に示されるように、送液中に第２の流路Ｑ２の圧力が上昇すると、第１の圧力計Ｍ１と第２の圧力計Ｍ２との圧力比率が、変化する。   As shown in FIG. 7, when the pressure in the second flow path Q2 rises during liquid feeding, the pressure ratio between the first pressure gauge M1 and the second pressure gauge M2 changes.

次に、送液装置１００のヘッドＨから吐き出される液状材料の吐出量を安定させる動作について、説明する。図８は、送液装置１００のヘッドＨから吐き出される液状材料の吐出量を安定させる動作フローを示す図である。   Next, an operation for stabilizing the discharge amount of the liquid material discharged from the head H of the liquid feeding device 100 will be described. FIG. 8 is a diagram illustrating an operation flow for stabilizing the discharge amount of the liquid material discharged from the head H of the liquid feeding device 100.

図８に示されるように、まず、制御部１１３は、予め正常の液状材料の吐出量の目標値を設定する（Ｓ３０１）。そして、制御部１１３は、送液中に吐出量算出部１１２が算出した現在の吐出量と目標値との差から、変更すべきポンプＰの回転数を算出する（Ｓ３０２）。これにより、制御部１１３は、ポンプＰが第１の流路Ｑ１へ流出させる液状材料の流量を制御することができる。   As shown in FIG. 8, first, the control unit 113 sets a target value of the normal liquid material discharge amount in advance (S <b> 301). Then, the control unit 113 calculates the rotation speed of the pump P to be changed from the difference between the current discharge amount calculated by the discharge amount calculation unit 112 and the target value during liquid feeding (S302). Thereby, the control part 113 can control the flow volume of the liquid material which the pump P flows out into the 1st flow path Q1.

次に、制御部１１３は、ポンプＰの回転数を変更する制御を行う（Ｓ３０３）。これにより、ヘッドＨから吐き出される液状材料の吐出量を目標値と等しくすることができる。そして、予め決められた送液数に達するまで、Ｓ３０３の処理を繰り返した後（Ｓ３０４、Ｎｏ）、予め決められた送液数に達したら、液状材料を基材Ｂに塗布する処理を終了する（Ｓ３０４、Ｙｅｓ）。なお、ポンプＰの制御演算は、ＰＩＤ制御等のフィードバック制御を用いる。   Next, the control part 113 performs control which changes the rotation speed of the pump P (S303). Thereby, the discharge amount of the liquid material discharged from the head H can be made equal to the target value. And after repeating the process of S303 until it reaches the predetermined number of liquid feeding (S304, No), when it reaches the predetermined number of liquid feeding, the process which apply | coats a liquid material to the base material B is complete | finished. (S304, Yes). The control calculation of the pump P uses feedback control such as PID control.

次に、制御装置１１０のハードウェア構成の一例を説明する。図９は、送液装置１００の制御装置１１０のハードウェア構成の一例を示すブロック図である。   Next, an example of the hardware configuration of the control device 110 will be described. FIG. 9 is a block diagram illustrating an example of a hardware configuration of the control device 110 of the liquid delivery device 100.

制御装置１１０は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）８０２周辺部と、入出力部と、レガシー入出力部とに分けられる。   The control device 110 is divided into a CPU (Central Processing Unit) 802 peripheral part, an input / output part, and a legacy input / output part.

図９に示されるように、制御装置１１０のＣＰＵ周辺部は、ホスト・コントローラ８０１により相互に接続されるＣＰＵ８０２、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）８０３、グラフィック・コントローラ８０４、及び表示装置８０５を有する。   As shown in FIG. 9, the CPU peripheral portion of the control device 110 includes a CPU 802, a RAM (Random Access Memory) 803, a graphic controller 804, and a display device 805 that are connected to each other by a host controller 801.

制御装置１１０の入出力部は、入出力コントローラ８０６によりホスト・コントローラ８０１に接続される通信Ｉ／Ｆ（Ｉｎｔｅｒ Ｆａｃｅ：インターフェース）８０７、ハードディスクドライブ８０８、及びＣＤ−ＲＯＭ（Ｃｏｍｐａｃｔ Ｄｉｓｋ Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）ドライブ８０９を有する。   The input / output unit of the control device 110 includes a communication interface (Interface) 807, a hard disk drive 808, and a CD-ROM (Compact Disk Read Only Memory) drive connected to the host controller 801 by the input / output controller 806. 809.

制御装置１１０のレガシー入出力部は、入出力コントローラ８０６に接続されるＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）８１０、フレキシブルディスク・ドライブ８１１、及び入出力チップ８１２を有する。   The legacy input / output unit of the control device 110 includes a ROM (Read Only Memory) 810, a flexible disk drive 811, and an input / output chip 812 connected to the input / output controller 806.

ホスト・コントローラ８０１は、ＲＡＭ８０３と、高い転送レートでＲＡＭ８０３をアクセスするＣＰＵ８０２、及びグラフィック・コントローラ８０４とを接続する。   The host controller 801 connects the RAM 803, the CPU 802 that accesses the RAM 803 at a high transfer rate, and the graphic controller 804.

ＣＰＵ８０２は、ＲＯＭ８１０、及びＲＡＭ８０３に格納されたプログラムに基づいて動作して、各部の制御をする。   The CPU 802 operates based on programs stored in the ROM 810 and the RAM 803 to control each unit.

グラフィック・コントローラ８０４は、ＣＰＵ８０２等がＲＡＭ８０３内に設けたフレーム・バッファ上に生成する画像データを取得して、表示装置８０５上に表示させる。これに代えて、グラフィック・コントローラ８０４は、ＣＰＵ８０２等が生成する画像データを格納するフレーム・バッファを、内部に含んでもよい。   The graphic controller 804 acquires image data generated by the CPU 802 or the like on a frame buffer provided in the RAM 803 and displays the image data on the display device 805. Alternatively, the graphic controller 804 may include a frame buffer for storing image data generated by the CPU 802 or the like.

入出力コントローラ８０６は、ホスト・コントローラ８０１と、比較的高速な入出力装置であるハードディスクドライブ８０８、通信Ｉ／Ｆ８０７、ＣＤ−ＲＯＭドライブ８０９を接続する。ハードディスクドライブ８０８は、ＣＰＵ８０２が使用するプログラム、及びデータを格納する。通信インターフェース８０７は、ネットワーク通信装置８９１に接続してプログラム又はデータを送受信する。ＣＤ−ＲＯＭドライブ８０９は、ＣＤ−ＲＯＭ８９２からプログラム又はデータを読み取り、ＲＡＭ８０３を介してハードディスクドライブ８０８、及び通信インターフェース８０７に提供する。   The input / output controller 806 connects the host controller 801 to the hard disk drive 808, the communication I / F 807, and the CD-ROM drive 809, which are relatively high-speed input / output devices. The hard disk drive 808 stores programs and data used by the CPU 802. The communication interface 807 is connected to the network communication device 891 to transmit / receive programs or data. The CD-ROM drive 809 reads a program or data from the CD-ROM 892 and provides it to the hard disk drive 808 and the communication interface 807 via the RAM 803.

入出力コントローラ８０６には、ＲＯＭ８１０と、フレキシブルディスク・ドライブ８１１、及び入出力チップ８１２の比較的低速な入出力装置とが、接続される。   The input / output controller 806 is connected to the ROM 810, the flexible disk drive 811, and the relatively low-speed input / output device of the input / output chip 812.

ＲＯＭ８１０は、制御装置１１０が起動時に実行するブート・プログラム、あるいは制御装置１１０のハードウェアに依存するプログラム等を格納する。   The ROM 810 stores a boot program that the control device 110 executes at startup, a program that depends on the hardware of the control device 110, and the like.

フレキシブルディスク・ドライブ８１１は、フレキシブルディスク８９３からプログラム又はデータを読み取り、ＲＡＭ８０３を介してハードディスクドライブ８０８、及び通信インターフェース８０７に提供する。   The flexible disk drive 811 reads a program or data from the flexible disk 893 and provides it to the hard disk drive 808 and the communication interface 807 via the RAM 803.

入出力チップ８１２は、フレキシブルディスク・ドライブ８１１、あるいはパラレル・ポート、シリアル・ポート、キーボード・ポート、マウス・ポート等を介して各種の入出力装置を接続する。   The input / output chip 812 connects various input / output devices via the flexible disk drive 811 or a parallel port, serial port, keyboard port, mouse port, and the like.

ＣＰＵ８０２が実行するプログラムは、フレキシブルディスク８９３、ＣＤ−ＲＯＭ８９２、又はＩＣ（Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ）カード等の記録媒体に格納されて利用者によって提供される。記録媒体に格納されたプログラムは圧縮されていても非圧縮であってもよい。   A program executed by the CPU 802 is stored in a recording medium such as a flexible disk 893, a CD-ROM 892, or an IC (Integrated Circuit) card and provided by a user. The program stored in the recording medium may be compressed or uncompressed.

プログラムは、記録媒体からハードディスクドライブ８０８にインストールされ、ＲＡＭ８０３に読み出されてＣＰＵ８０２により実行される。ＣＰＵ８０２により実行されるプログラムは、制御装置１１０を、図１〜図９に関連して説明したデータ収集部１１１、吐出量算出部１１２、及び制御部１１３として機能させる。   The program is installed in the hard disk drive 808 from the recording medium, read into the RAM 803, and executed by the CPU 802. The program executed by the CPU 802 causes the control device 110 to function as the data collection unit 111, the discharge amount calculation unit 112, and the control unit 113 described with reference to FIGS.

以上に示したプログラムは、外部の記憶媒体に格納されてもよい。記憶媒体としては、フレキシブルディスク８９３、ＣＤ−ＲＯＭ８９２の他に、ＤＶＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ Ｄｉｓｋ）又はＰＤ（Ｐｈａｓｅ Ｄｉｓｋ）等の光学記録媒体、ＭＤ（ＭｉｎｉＤｉｓｋ）等の光磁気記録媒体、テープ媒体、ＩＣカード等の半導体メモリ等を用いることができる。   The program shown above may be stored in an external storage medium. As a storage medium, in addition to a flexible disk 893 and a CD-ROM 892, an optical recording medium such as a DVD (Digital Versatile Disk) or a PD (Phase Disk), a magneto-optical recording medium such as an MD (MiniDisk), a tape medium, and an IC card A semiconductor memory or the like can be used.

また、専用通信ネットワークあるいはインターネットに接続されたサーバシステムに設けたハードディスク又はＲＡＭ等の記憶媒体を記録媒体として使用して、ネットワークを介したプログラムとして提供してもよい。   Further, a storage medium such as a hard disk or a RAM provided in a server system connected to a dedicated communication network or the Internet may be used as a recording medium and provided as a program via the network.

以上の通り、本発明の実施の形態における送液装置１００は、タンクＴと、ヘッドＨと、第１の流路Ｑ１と、第１のバルブＶ１と、第２の流路Ｑ２と、第２のバルブＶ２と、第１の圧力計Ｍ１と、第２の圧力計Ｍ２と、流量計ＦＭと、制御装置１１０とを備えている。   As described above, the liquid delivery device 100 according to the embodiment of the present invention includes the tank T, the head H, the first flow path Q1, the first valve V1, the second flow path Q2, and the second flow path. Valve V 2, first pressure gauge M 1, second pressure gauge M 2, flow meter FM, and control device 110.

タンクＴは、液状材料を貯蔵する。ヘッドＨは、タンクＴから流出する液状材料を吐出する。第１の流路Ｑ１は、液状材料をタンクＴからヘッドＨへ供給させる。第１のバルブＶ１は、第１の流路Ｑ１上に設けられ、第１の流路Ｑ１内の液状材料の流れを制御する。第２の流路Ｑ２は、第１の流路Ｑ１のうち、第１のバルブＶ１よりも上流側で、第１の流路Ｑ１と分岐して、液状材料をタンクＴへ循環させる。第２のバルブＶ２は、第２の流路Ｑ２に設けられ、第２の流路Ｑ２内の液状材料の流れを制御する。第１の圧力計Ｍ１は、第１のバルブＶ１よりも下流側の第１の流路Ｑ１の圧力を測定する。第２の圧力計Ｍ２は、第２のバルブＶ２よりも下流側の第２の流路Ｑ２の圧力を測定する。流量計ＦＭは、第１の流路Ｑ１と第２の流路Ｑ２との分岐点よりも上流側の第１の流路Ｑ１の流量を測定する。制御装置１１０は、ヘッドＨから吐出される液体材料の吐出量を制御する。そして、制御装置１１０は、吐出量算出部１１２を有する。この吐出量算出部１１２は、第１の圧力値Ｍ１の測定値と第２の圧力値Ｍ２の測定値との比率と、流量計ＦＭの測定値とに基づいて、ヘッドＨから吐出される液状材料の吐出量を算出する。   The tank T stores a liquid material. The head H discharges the liquid material flowing out from the tank T. The first flow path Q1 supplies the liquid material from the tank T to the head H. The first valve V1 is provided on the first flow path Q1, and controls the flow of the liquid material in the first flow path Q1. The second flow path Q2 branches from the first flow path Q1 upstream of the first valve V1 in the first flow path Q1, and circulates the liquid material to the tank T. The second valve V2 is provided in the second flow path Q2, and controls the flow of the liquid material in the second flow path Q2. The first pressure gauge M1 measures the pressure in the first flow path Q1 downstream from the first valve V1. The second pressure gauge M2 measures the pressure in the second flow path Q2 on the downstream side of the second valve V2. The flow meter FM measures the flow rate of the first flow path Q1 upstream from the branch point between the first flow path Q1 and the second flow path Q2. The control device 110 controls the discharge amount of the liquid material discharged from the head H. The control device 110 includes a discharge amount calculation unit 112. The discharge amount calculation unit 112 is a liquid that is discharged from the head H based on the ratio between the measured value of the first pressure value M1 and the measured value of the second pressure value M2 and the measured value of the flow meter FM. The material discharge amount is calculated.

このように、送液装置１００では、第１の流路Ｑ１と第２の流路Ｑ２の分岐点よりも上流に流量計ＦＭを設けている。このため、流量計ＦＭに、常時、液状材料を流すことができ、第１のバルブＶ１とヘッドＨの間の圧力が急激に変動することを抑制できる。この結果、本発明にかかる送液装置１００によれば、流量計ＦＭの測定結果の精度が低下することを抑止することができる。また、第１の流路Ｑ１の圧力だけでなく第２の流路Ｑ２の圧力値との比をとる事で、粘度変化による流量の変化の影響を受けずに、第１の流路Ｑ１へ流れている流量を正確に測定することができる。   Thus, in the liquid delivery apparatus 100, the flow meter FM is provided upstream from the branch point of the first flow path Q1 and the second flow path Q2. For this reason, a liquid material can be always flowed to the flowmeter FM, and it can suppress that the pressure between the 1st valve | bulb V1 and the head H fluctuates rapidly. As a result, according to the liquid delivery device 100 according to the present invention, it is possible to prevent the accuracy of the measurement result of the flow meter FM from being lowered. Further, by taking a ratio with the pressure value of the second flow path Q2 as well as the pressure of the first flow path Q1, it is possible to enter the first flow path Q1 without being affected by the flow rate change due to the viscosity change. The flowing flow rate can be measured accurately.

また、本発明の実施の形態における送液装置１００は、ポンプＰを更に備える。このポンプＰは、タンクＴに貯蔵されている液状材料を、第１の流路Ｑ１へ流出させる。そして、制御装置１１０は、吐出量算出部１１２により算出された液状材料の吐出量の変化が一定になるように、ポンプＰの吐出量を制御する請求項１に記載の送液装置。
このように、ポンプＰの吐出量を制御することで、吐出量算出部１１２により算出された液状材料の吐出量を、略一定にすることができる。このため、常に安定した送液が可能な送液装置１００を実現することができる。 In addition, the liquid delivery device 100 in the embodiment of the present invention further includes a pump P. The pump P causes the liquid material stored in the tank T to flow out to the first flow path Q1. Then, the controller 110 controls the discharge amount of the pump P so that the change in the discharge amount of the liquid material calculated by the discharge amount calculation unit 112 is constant.
In this way, by controlling the discharge amount of the pump P, the discharge amount of the liquid material calculated by the discharge amount calculation unit 112 can be made substantially constant. For this reason, the liquid delivery apparatus 100 which can always deliver liquid stably can be realized.

以上、実施の形態をもとに本発明を説明した。実施の形態は例示であり、本発明の主旨から逸脱しない限り、上述各実施の形態に対して、さまざまな変更、増減、組合せを加えてもよい。これらの変更、増減、組合せが加えられた変形例も本発明の範囲にあることは当業者に理解されるところである。   The present invention has been described above based on the embodiment. The embodiment is an exemplification, and various modifications, increases / decreases, and combinations may be added to the above-described embodiments without departing from the gist of the present invention. It will be understood by those skilled in the art that modifications to which these changes, increases / decreases, and combinations are also within the scope of the present invention.

Ｂ 基材
ＦＭ 流量計
Ｈ ヘッド
Ｍ１ 第１の圧力計
Ｍ２ 第２の圧力計
Ｐ ポンプ
Ｑ１ 第１の流路
Ｑ２ 第２の流路
Ｒ ローラー
ＲＭ 流量計
Ｔ タンク
Ｖ１ 第１のバルブ
Ｖ２ 第２のバルブ
Ｚ 分岐点
１００ 送液装置
１１０ 制御装置
８０１ ホスト・コントローラ
８０２ ＣＰＵ
８０３ ＲＡＭ
８０４ グラフィック・コントローラ
８０５ 表示装置
８０６ 入出力コントローラ
８０７ 通信Ｉ／Ｆ
８０８ ハードディスクドライブ
８０９ ＣＤ−ＲＯＭドライブ
８１０ ＲＯＭ
８１１ ＦＤドライブ
８１２ Ｉ／Ｏチップ
８９２ ＣＤ−ＲＯＭ
８９３ フレキシブルディスク
９００ 送液装置 B base material FM flow meter H head M1 first pressure gauge M2 second pressure gauge P pump Q1 first flow path Q2 second flow path R roller RM flow meter T tank V1 first valve V2 second second Valve Z Branch point 100 Liquid feeding device 110 Control device 801 Host controller 802 CPU
803 RAM
804 Graphic controller 805 Display device 806 Input / output controller 807 Communication I / F
808 Hard disk drive 809 CD-ROM drive 810 ROM
811 FD drive 812 I / O chip 892 CD-ROM
893 Flexible disk 900 Liquid feeding device

Claims (2)

液状材料を貯蔵するタンクと、
前記タンクから流出する液状材料を吐出するヘッドと、
前記液状材料を前記タンクから前記ヘッドへ供給させる第１の流路と、
前記第１の流路上に設けられ、前記第１の流路内の前記液状材料の流れを制御する第１のバルブと、
前記第１の流路のうち、前記第１のバルブよりも上流側で、前記第１の流路と分岐して、前記液状材料を前記タンクへ循環させる第２の流路と、
前記第２の流路に設けられ、前記第２の流路内の前記液状材料の流れを制御する第２のバルブと、
前記第１のバルブよりも下流側の前記第１の流路の圧力を測定する第１の圧力計と、
前記第２のバルブよりも下流側の前記第２の流路の圧力を測定する第２の圧力計と、
前記第１の流路と前記第２の流路との分岐点よりも上流側の前記第１の流路の流量を測定する流量計と、
前記ヘッドから吐出される前記液体材料の吐出量を制御する制御装置とを備え、
前記制御装置は、前記第１の圧力計の測定値と前記第２の圧力計の測定値との比率と、前記流量計の測定値とに基づいて、前記ヘッドから吐出されている液状材料の吐出量を算出する吐出量算出部を有する送液装置。 A tank for storing liquid material;
A head for discharging the liquid material flowing out of the tank;
A first flow path for supplying the liquid material from the tank to the head;
A first valve provided on the first flow path for controlling the flow of the liquid material in the first flow path;
A second flow path that diverges from the first flow path on the upstream side of the first valve in the first flow path and circulates the liquid material to the tank;
A second valve provided in the second flow path for controlling the flow of the liquid material in the second flow path;
A first pressure gauge that measures the pressure of the first flow path downstream of the first valve;
A second pressure gauge for measuring the pressure in the second flow path downstream of the second valve;
A flow meter for measuring a flow rate of the first flow channel upstream of a branch point between the first flow channel and the second flow channel;
A control device for controlling the discharge amount of the liquid material discharged from the head,
The control device is configured to control a liquid material discharged from the head based on a ratio between a measurement value of the first pressure gauge and a measurement value of the second pressure gauge and a measurement value of the flow meter. A liquid feeding device having a discharge amount calculation unit for calculating a discharge amount. 前記タンクに貯蔵されている前記液状材料を、前記第１の流路へ流出させるポンプを備え、
前記制御装置は、前記吐出量算出部により算出された前記液状材料の吐出量の変化が一定になるように、前記ポンプの吐出量を制御する請求項１に記載の送液装置。 A pump for causing the liquid material stored in the tank to flow out to the first flow path;
The liquid feeding device according to claim 1, wherein the control device controls a discharge amount of the pump so that a change in the discharge amount of the liquid material calculated by the discharge amount calculation unit is constant.
JP2013200299A 2013-09-26 2013-09-26 Liquid feeding device Active JP6213102B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013200299A JP6213102B2 (en) 2013-09-26 2013-09-26 Liquid feeding device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013200299A JP6213102B2 (en) 2013-09-26 2013-09-26 Liquid feeding device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2015066471A true JP2015066471A (en) 2015-04-13
JP6213102B2 JP6213102B2 (en) 2017-10-18

Family

ID=52833791

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2013200299A Active JP6213102B2 (en) 2013-09-26 2013-09-26 Liquid feeding device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6213102B2 (en)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002164278A (en) * 2000-11-28 2002-06-07 Tokyo Electron Ltd Coating apparatus
JP2004344695A (en) * 2003-05-20 2004-12-09 Dainippon Printing Co Ltd Device for supplying liquid to application nozzle
JP2005288387A (en) * 2004-04-02 2005-10-20 Toray Ind Inc Coating method and coating device and manufacturing method for display member
JP2012179540A (en) * 2011-03-01 2012-09-20 Dainippon Screen Mfg Co Ltd Coating apparatus and coating film formation system

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002164278A (en) * 2000-11-28 2002-06-07 Tokyo Electron Ltd Coating apparatus
JP2004344695A (en) * 2003-05-20 2004-12-09 Dainippon Printing Co Ltd Device for supplying liquid to application nozzle
JP2005288387A (en) * 2004-04-02 2005-10-20 Toray Ind Inc Coating method and coating device and manufacturing method for display member
JP2012179540A (en) * 2011-03-01 2012-09-20 Dainippon Screen Mfg Co Ltd Coating apparatus and coating film formation system

Also Published As

Publication number Publication date
JP6213102B2 (en) 2017-10-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US11346697B2 (en) System and method for remote metering station sensor calibration and verification
JP5897263B2 (en) Paste application head, paste application device, and paste application method
JP2016117102A (en) Device and method for calibrating and balancing measurement device of tablet press
CN105534541B (en) A kind of the rotation speed bearing calibration and correction system of CT machine
CN109070033A (en) Multicomponent distribution system
JP6213102B2 (en) Liquid feeding device
CN104272085B (en) Viscosimeter
EP3938116A1 (en) Hot melt adhesive foam dispensing system
US11577438B2 (en) Filtering device and method for operating same
CN114434796A (en) 3D printing control method, device and equipment and 3D printing system
US10710862B2 (en) Method for controlling a beverage filling system
CN107952628A (en) The coating control method and extrusion coater of extrusion coater
JP2012239962A (en) Coating method, and coating apparatus
CN106865260A (en) Powder metering induction system and powder metering carrying method
JP4992369B2 (en) Discharge amount control method, discharge pressure control method, injection device, method for manufacturing microscopic object, discharge amount control device, and discharge amount control program
JP2009029517A (en) Weighing filler
JP2011112412A (en) Constant-quantity feeding apparatus
CN106248525A (en) The flow measurement device of a kind of accurate flow control and measuring method
CN110539470B (en) Device and method for measuring rubber viscosity in metering section of rubber extruder on line
CN112154312B (en) Data generation device and data generation system
JP2015116543A (en) Storage device, storage method, coating applicator and coating method
JP6089423B2 (en) Liquid feeding device and control method thereof
JP2009264152A (en) Metering pump device
JP2013036950A (en) Measurement device
JP6066257B2 (en) Pressure control device and method for pneumatic dispenser

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20160816

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20170515

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20170523

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20170712

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20170822

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20170904

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6213102

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150