JP2015045563A - Substrate inspection device and substrate inspection method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、回路基板における複数(n個)の導体パターンの導通検査を並行して実行する基板検査装置および基板検査方法に関するものである。 The present invention relates to a board inspection apparatus and a board inspection method for executing a continuity inspection of a plurality (n) of conductor patterns on a circuit board in parallel.
この種の基板検査装置として、特開2010−2199号公報において出願人が開示した回路基板検査装置が知られている。この回路基板検査装置は、2つの電流源(第1の電流源および第2の電流源)、並びに2つの電圧計(第1の電圧計および第2の電圧計)を備えて構成されている。この回路基板検査装置では、2つの検査対象(スルーホール)に対して各電流源から別々に直流定電流を供給させた状態で各電圧計によって検出された各検査対象の両端間(各ランド間)の電圧と直流定電流の電流値とに基づいて抵抗値を測定し、その抵抗値を閾値と比較することで、検査対象の導通検査を行うことが可能となっている。 As this type of board inspection apparatus, a circuit board inspection apparatus disclosed by the applicant in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2010-2199 is known. This circuit board inspection apparatus includes two current sources (a first current source and a second current source) and two voltmeters (a first voltmeter and a second voltmeter). . In this circuit board inspection apparatus, between the two ends of each inspection target detected by each voltmeter in a state where a DC constant current is separately supplied from each current source to two inspection targets (through holes) (between each land) ) And a current value of a DC constant current are measured, and the resistance value is compared with a threshold value, so that a continuity test of an inspection target can be performed.
ところが、上記の回路基板検査装置には、改善すべき以下の課題が存在する。すなわち上記の回路基板検査装置では、2つの検査対象に対して2つの電流源から別々に直流定電流を供給させて検出した各検査対象の両端間の電圧に基づいて測定した抵抗値を閾値と比較して、検査対象の導通検査を行っている。ここで、例えば、図6に示すように、検査対象としての回路基板100における2つの導体パターン101a,101bのうちの、導体パターン101aに導通不良箇所Pa(断線)が存在し、かつ導体パターン101a,101bが短絡している場合において、上記の回路基板検査装置を用いて各導体パターン101a,101bの導通検査を行う場合を想定する。
However, the circuit board inspection apparatus described above has the following problems to be improved. That is, in the above-described circuit board inspection apparatus, the resistance value measured based on the voltage between both ends of each inspection object detected by separately supplying direct current constant current from two current sources to the two inspection objects is used as a threshold value. In comparison, the continuity test of the test object is performed. Here, for example, as shown in FIG. 6, of the two
この導通検査では、導体パターン101aの一端部の供給ポイントP1と第1の電流源111aの高電位側とを接続し、導体パターン101aの他端部の供給ポイントP2と第1の電流源111aの低電位側とを接続して各供給ポイントP1,P2に直流定電流を供給している状態で、供給ポイントP1,P2間の電圧を第1の電圧計112aが検出する。また、導体パターン101bの一端部の供給ポイントP3と第2の電流源111bの高電位側とを接続し、導体パターン101bの他端部の供給ポイントP4と第2の電流源111bの低電位側とを接続して各供給ポイントP3,P4に直流定電流を供給している状態で、供給ポイントP3,P4間の電圧を第2の電圧計112bが検出する。
In this continuity test, the supply point P1 at one end of the
この際に、図6に示すように、導体パターン101aにおける導通不良箇所Paが短絡箇所Pbよりも供給ポイントP2側(第1の電流源111aの低電位側)に生じているときには、第1の電流源111aからの直流定電流が短絡箇所Pbを介して導体パターン101bの供給ポイントP4側(第2の電流源111bの低電位側)に流れることとなる。この際には、短絡箇所Pbと供給ポイントP2との間に流れる電流が僅か(または、0A)となって、第1の電圧計112aによって検出される電圧が小さい値となる(つまり、抵抗が小さい値となる)結果、導通状態が良好と判定される。このように上記の回路基板検査装置には、導通不良箇所Paが存在する導体パターン101aの導通状態が良好と誤判定されるおそれがあり、検査精度の向上の観点からこの点の改善が望まれている。
At this time, as shown in FIG. 6, when the conduction failure point Pa in the
本発明は、かかる課題に鑑みてなされたものであり、検査精度を向上させ得る基板検査装置および基板検査方法を提供することを主目的とする。 This invention is made | formed in view of this subject, and it aims at providing the board | substrate inspection apparatus and board | substrate inspection method which can improve a test | inspection precision.
上記目的を達成すべく請求項1記載の基板検査装置は、検査用電流を出力する電源部と、前記検査用電流が回路基板の導体パターンにおける一対の供給箇所に供給されている供給状態における前記電源部と当該導体パターンとの間の電流値を検出する電流検出部と、前記供給状態における前記一対の供給箇所間の電圧値を検出する電圧検出部とを有する検査回路をn(nは2以上の整数)個備えると共に、前記電流値および前記電圧値に基づいてn個の前記導体パターンの導通検査を並行して実行可能な処理部を備えた基板検査装置であって、前記各検査回路は、前記電源部の一方の電位と前記一対の供給箇所の一方との間の第1電流値を前記電流値として検出する前記電流検出部としての第1電流検出部と、前記電源部の他方の電位と前記一対の供給箇所の他方との間の第2電流値を前記電流値として検出する前記電流検出部としての第2電流検出部とをそれぞれ備え、前記処理部は、前記第1電流値、前記第2電流値および前記電圧値に基づいて前記導通検査を実行する。
In order to achieve the above object, the substrate inspection apparatus according to
また、請求項2記載の基板検査装置は、検査用電流を予め決められた第1電流値で出力する定電流電源部と、前記検査用電流が回路基板の導体パターンにおける一対の供給箇所に供給されている供給状態における当該一対の供給箇所間の電圧値を検出する電圧検出部とを有する検査回路をn(nは2以上の整数)個備えると共に、前記第1電流値および前記電圧値に基づいてn個の前記導体パターンの導通検査を並行して実行可能な処理部を備えた基板検査装置であって、前記各検査回路は、前記定電流電源部の低電位側と当該低電位側に接続される前記一対の供給箇所の一方との間の第2電流値を検出する電流検出部をそれぞれ備え、前記処理部は、前記第1電流値、前記第2電流値および前記電圧値に基づいて前記導通検査を実行する。 According to a second aspect of the present invention, there is provided a substrate inspection apparatus that outputs a current for inspection at a predetermined first current value and supplies the inspection current to a pair of supply locations in a conductor pattern of a circuit board. And n (n is an integer of 2 or more) inspection circuits having a voltage detection unit that detects a voltage value between the pair of supply locations in the supply state, and the first current value and the voltage value A board inspection apparatus comprising a processing unit capable of executing continuity inspection of n pieces of the conductor patterns based on the low-potential side and the low-potential side of the constant current power supply unit. Each of which includes a current detection unit that detects a second current value between one of the pair of supply locations connected to the processing unit, wherein the processing unit determines the first current value, the second current value, and the voltage value. Based on this, the continuity test is executed.
また、請求項3記載の基板検査装置は、請求項1または2記載の基板検査装置において、前記処理部は、前記第1電流値および前記第2電流値を比較した比較値が予め規定された基準に適合するとの第1条件を満たし、かつ前記第1電流値および前記第2電流値の少なくとも一方と前記電圧値に基づいて算出される抵抗値が予め規定された基準抵抗値以下との第2条件を満たしているときに前記導体パターンの導通状態を良好と判定する。 According to a third aspect of the present invention, there is provided the substrate inspection apparatus according to the first or second aspect, wherein the processing unit is preliminarily defined with a comparison value comparing the first current value and the second current value. A first value that satisfies a first condition that conforms to a reference, and a resistance value calculated based on at least one of the first current value and the second current value and the voltage value is equal to or less than a predetermined reference resistance value. When the two conditions are satisfied, the conductive state of the conductor pattern is determined to be good.
また、請求項4記載の基板検査装置は、請求項1から3のいずれかに記載の基板検査装置において、前記処理部は、前記各検査回路によってそれぞれ検出された前記第1電流値および前記第2電流値の大小関係が予め決められた大小関係に合致するときに前記各導体パターンの絶縁状態を不良と判定する。
The substrate inspection apparatus according to claim 4 is the substrate inspection apparatus according to any one of
また、請求項5記載の基板検査方法は、回路基板のn(nは2以上の整数)個の導体パターンにおける各一対の供給箇所にn個の電源部から出力された検査用電流をそれぞれ供給している供給状態において当該各電源部と当該各導体パターンとの間に流れる電流の電流値をそれぞれ検出すると共に、前記供給状態において前記各一対の供給箇所間の電圧値をそれぞれ検出し、前記電流値および前記電圧値に基づいてn個の前記導体パターンの導通検査を並行して実行する基板検査方法であって、前記電源部の一方の電位と前記一対の供給箇所の一方との間の第1電流値を前記電流値として検出すると共に、前記電源部の他方の電位と前記一対の供給箇所の他方との間の第2電流値を前記電流値として検出し、前記第1電流値、前記第2電流値および前記電圧値に基づいて前記導通検査を実行する。 According to a fifth aspect of the present invention, the inspection current output from the n power supply units is supplied to each pair of supply locations in the n (n is an integer of 2 or more) conductor patterns on the circuit board. Detecting a current value of a current flowing between each power supply unit and each conductor pattern in the supply state, and detecting a voltage value between the pair of supply points in the supply state, A board inspection method for performing continuity inspection of n conductor patterns in parallel based on a current value and a voltage value, wherein one of the potentials of the power supply unit and one of the pair of supply locations is between The first current value is detected as the current value, and the second current value between the other potential of the power supply unit and the other of the pair of supply locations is detected as the current value, and the first current value, Said second current value Performing the continuity test on the basis of preliminary the voltage value.
また、請求項6記載の基板検査方法は、回路基板のn(nは2以上の整数)個の導体パターンにおける各一対の供給箇所にn個の定電流電源部から出力された予め決められた第1電流値の検査用電流をそれぞれ供給している供給状態において前記各一対の供給箇所間の電圧値をそれぞれ検出し、前記電流値および前記電圧値に基づいてn個の前記導体パターンの導通検査を並行して実行する基板検査方法であって、前記定電流電源部の低電位側と当該低電位側に接続される前記一対の供給箇所の一方との間の第2電流値を検出し、前記第1電流値、前記第2電流値および前記電圧値に基づいて前記導通検査を実行する。 According to a sixth aspect of the present invention, there is provided a substrate inspection method in which n constant current power supplies are output in advance to each pair of supply locations in n (n is an integer of 2 or more) conductor patterns on a circuit board. In a supply state in which an inspection current having a first current value is supplied, a voltage value between each of the pair of supply points is detected, and n conductor patterns are connected based on the current value and the voltage value. A substrate inspection method for performing inspection in parallel, wherein a second current value between a low potential side of the constant current power supply unit and one of the pair of supply points connected to the low potential side is detected. The continuity test is executed based on the first current value, the second current value, and the voltage value.
請求項1記載の基板検査装置、および請求項5記載の基板検査方法では、電源部の一方の電位と各導体パターンにおける一対の供給箇所の一方との間の第1電流値を検出すると共に、電源部の他方の電位と各供給箇所の他方との間の第2電流値を検出し、第1電流値、第2電流値および各供給箇所間の電圧値に基づいて導体パターンの導通検査を実行する。このため、この基板検査装置および基板検査方法では、導通状態が良好であると判定する際に、抵抗値が基準抵抗値以下であることを条件とすることに加えて、例えば、第1電流値と第2電流値との差分値(比較値)が基準差分値以下であることを条件することができる。したがって、この基板検査装置および基板検査方法によれば、導体パターンに導通不良箇所が存在しているにも拘わらず、その導体パターンの導通状態が良好と誤判定される事態が確実に防止されて、導体パターンに導通不良箇所が存在しているときには、その導体パターンの導通状態が不良であるとの判定を高精度で行うことができる。
In the substrate inspection apparatus according to
また、請求項2記載の基板検査装置、および請求項6記載の基板検査方法では、定電流電源部の低電位側と低電位側に接続される一対の供給箇所の一方との間の第2電流値を検出し、定電流電源部から出力される検査用電流の第1電流値、第2電流値および各供給箇所間の電圧値に基づいて導通検査を実行する。このため、この基板検査装置および基板検査方法では、導通状態が良好であると判定する際に、抵抗値が基準抵抗値以下であることを条件とすることに加えて、例えば、第1電流値と第2電流値との差分値(比較値)が基準差分値以下であることを条件することができる。したがって、この基板検査装置および基板検査方法によれば、導体パターンに導通不良箇所が存在しているにも拘わらず、その導体パターンの導通状態が良好と誤判定される事態が確実に防止されて、導体パターンに導通不良箇所が存在しているときには、その導体パターンの導通状態が不良であるとの判定を高精度で行うことができる。
Further, in the substrate inspection apparatus according to
また、請求項3記載の基板検査装置では、第1電流値および第2電流値を比較した比較値が予め規定された基準に適合するとの第1条件を満たし、かつ第1電流値および第2電流値の少なくとも一方と電圧値に基づいて算出される抵抗値が予め規定された基準抵抗値以下との第2条件を満たしているときに導体パターンの導通状態を良好と判定する。このため、この基板検査装置によれば、簡易な判定手法でありながら導体パターンの導通状態の良否を精度よく判定することができるため、導通検査の検査効率を十分に向上させることができる。
In the substrate inspection apparatus according to
また、請求項4記載の基板検査装置では、各検査回路によってそれぞれ検出された第1電流値および第2電流値の大小関係が予め決められた大小関係に合致するときに各導体パターンの絶縁状態を不良と判定する。このため、この基板検査装置によれば、第1電流値および第2電流値の大小関係が予め決められた大小関係に合致するような絶縁不良の一部の形態については、導通検査に用いる検査回路を用いて導通検査に引き続いて行う絶縁状態の良否判定で絶縁不良との判定をすることができる。したがって、このような絶縁不良の一部の形態については、別途行う絶縁検査を省略することができるため、その分、検査効率を十分に向上させることができる。 Further, in the substrate inspection apparatus according to claim 4, when the magnitude relation between the first current value and the second current value respectively detected by each inspection circuit matches a predetermined magnitude relation, the insulation state of each conductor pattern Is determined to be defective. For this reason, according to this board inspection apparatus, for some forms of insulation failure such that the magnitude relationship between the first current value and the second current value matches a predetermined magnitude relationship, the test used for the continuity test is used. It can be determined that the insulation is defective by determining whether the insulation state is good or bad following the continuity test using the circuit. Therefore, for some forms of such insulation failure, a separate insulation inspection can be omitted, and the inspection efficiency can be sufficiently improved accordingly.
以下、基板検査装置および基板検査方法の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。 Hereinafter, embodiments of a substrate inspection apparatus and a substrate inspection method will be described with reference to the accompanying drawings.
最初に、基板検査装置の一例としての図1に示す基板検査装置1の構成について説明する。基板検査装置1は、図2〜4に示すように、2つ(複数)の導体パターン101a,101b(以下、区別しないときには「導体パターン101」ともいう)を有する回路基板100a〜100c(以下、区別しないときには「回路基板100」ともいう)における各導体パターン101の導通検査および導通検査を、後述する基板検査方法に従って実行可能に構成されている。この場合、この基板検査装置1では、2つ(n(nは2以上の整数)個の一例)の導体パターン101の導通検査を並行して実行することが可能となっている。
Initially, the structure of the board |
具体的には、基板検査装置1は、図1に示すように、2つ(n個の一例)の検査回路2a,2b(以下、区別しないときには「検査回路2」ともいう)、複数(例えば、4つ)のプローブユニット3、移動機構4、記憶部5および処理部6を備えて構成されている。
Specifically, as shown in FIG. 1, the
検査回路2a,2bは、図2に示すように、電源部11、電圧検出部12、第1電流検出部13aおよび第2電流検出部13b(以下、両電流検出部13a,13bを区別しないときには「電流検出部13」ともいう)をそれぞれ備えて構成されている。
As shown in FIG. 2, the
電源部11は、処理部6の制御に従い、導通検査および導通検査を実行する際に用いる検査用電流S(例えば、直流電流)を出力する。電圧検出部12は、検査用電流Sが導体パターン101の一対の供給ポイント(供給箇所に相当する:図2に示す供給ポイントPs1〜Ps4であって、以下、区別しないときには「供給ポイントPs」ともいう)に供給されている供給状態における一対の供給ポイントPs間の電圧値Vmを検出する。
The
電流検出部13は、電源部11と導体パターン101との間に流れる電流の電流値Imを検出する。具体的には、この基板検査装置1では、第1電流検出部13aが、電源部11の高電位(一方の電位の一例)と1つの導体パターン101(例えば、導体パターン101a)における一対の供給ポイントPsの一方(例えば、供給ポイントPs1)との間の電流値Im(第1電流値Im1)を検出し、第2電流検出部13bが、その導体パターン101における一対の供給ポイントPsの他方(例えば、供給ポイントPs2)と電源部11の低電位(グランド電位:他方の電位の一例)との間の電流値Im(第2電流値Im2)を検出する。
The current detection unit 13 detects a current value Im of a current flowing between the
プローブユニット3は、図1に示すように、プローブ31を支持する。また、プローブユニット3は、移動機構4に取り付けられて、移動機構4によって移動させられることにより、プローブ31が供給ポイントPsに接触(プロービング)させられる。この基板検査装置1では、4つのプローブユニット3を備えて構成され、導体パターン101の各供給ポイントPsにプローブ31が1つずつ接触させられて、各プローブ31を介して検査用電流Sの供給が行われる。
As shown in FIG. 1, the
移動機構4は、処理部6の制御に従い、プローブユニット3を移動させることによってプロービングを実行する。
The moving mechanism 4 executes probing by moving the
記憶部5は、回路基板100の導体パターン101における供給ポイントPsの位置を特定する情報を含んだ導体パターンデータDpを記憶する。また、記憶部5は、導通検査の際に用いる基準差分値Irおよび基準抵抗値Rrを記憶する。また、記憶部5は、導通検査および絶縁検査の結果を記憶する。
The storage unit 5 stores conductor pattern data Dp including information for specifying the position of the supply point Ps in the conductor pattern 101 of the
処理部6は、図外の操作部から出力される操作信号に従って基板検査装置1を構成する各部を制御する。具体的には、処理部6は、移動機構4によるプローブユニット3の移動を制御する。また、処理部6は、検査回路2a,2bの電源部11を制御して検査用電流Sの出力および出力停止を制御する。
The processing unit 6 controls each part of the
また、処理部6は、導通検査処理および絶縁検査処理を実行する。この場合、処理部6は、導通検査処理において、電圧検出部12によって検出される電圧値Vmと、第1電流検出部13aによって検出される第1電流値Im1と、第2電流検出部13bによって検出される第2電流値Im2とに基づいて導体パターン101の導通状態の良否を判定する。また、処理部6は、絶縁検査処理において、各検査回路2a,2bによってそれぞれ検出される第1電流値Im1および第2電流値Im2に基づいて各導体パターン101の絶縁状態を検査する。
Moreover, the process part 6 performs a continuity test process and an insulation test process. In this case, in the continuity inspection process, the processing unit 6 uses the voltage value Vm detected by the
次に、一例として、図2〜図4に示す回路基板100a〜100cにおける各導体パターン101の導通検査および絶縁検査を基板検査装置1を用いて実行して各回路基板100a〜100cを検査する基板検査方法、およびその際の基板検査装置1の動作について、図面を参照して説明する。
Next, as an example, the
最初に、検査対象の回路基板100aを図外の基板保持部に保持させ、次いで、図外の操作部を用いて検査開始操作を行う。この際に、処理部6が、操作部から出力された操作信号に従って処理を開始する。この場合、処理部6は、まず、記憶部5から導体パターンデータDpを読み出して、導体パターン101aの供給ポイントPs1,Ps2、および導体パターン101bの供給ポイントPs3,Ps4の位置を導体パターンデータDpに基づいて特定する。
First, the
続いて、処理部6は、移動機構4を制御して、図2に示すように、導体パターン101a,101bの各供給ポイントPs1〜Ps4に各プローブユニット3のプローブ31を接触(プロービング)させる。
Subsequently, the processing unit 6 controls the moving mechanism 4 to bring the
次いで、処理部6は、検査回路2a,2bの各電源部11を制御して、検査用電流Sを出力させる。これにより、検査回路2aの電源部11から出力された検査用電流Sが導体パターン101aの供給ポイントPs1,Ps2に供給され、検査回路2bの電源部11から出力された検査用電流Sが導体パターン101bの供給ポイントPs3,Ps4に供給される。
Next, the processing unit 6 controls the
また、検査回路2aの電圧検出部12が供給ポイントPs1,Ps2間の電圧値Vmを検出し、検査回路2bの電圧検出部12が供給ポイントPs3,Ps4間の電圧値Vmを検出する。また、検査回路2aの第1電流検出部13aが、電源部11の高電位と導体パターン101aの供給ポイントPs1との間の第1電流値Im1を検出し、検査回路2aの第2電流検出部13bが、電源部11の低電位と導体パターン101aの供給ポイントPs2との間の第2電流値Im2を検出する。
Further, the
また、検査回路2bの第1電流検出部13aが、電源部11の高電位と導体パターン101bの供給ポイントPs3との間の第1電流値Im1を検出し、検査回路2bの第2電流検出部13bが、電源部11の低電位と導体パターン101bの供給ポイントPs3との間の第2電流値Im2を検出する。
The first
続いて、処理部6は、導通検査処理を実行する。この導通検査処理では、処理部6は、第1電流検出部13aによって検出された第1電流値Im1から第2電流検出部13bによって検出された第2電流値Im2を差し引いた値(第1電流値および第2電流値を比較した比較値の一例であって、以下「差分値Id」ともいう)を算出する。
Subsequently, the processing unit 6 executes a continuity inspection process. In this continuity test process, the processing unit 6 subtracts the second current value Im2 detected by the second
次いで、処理部6は、記憶部5から基準差分値Irを読み出す。この場合、基準差分値Irは、導通状態および絶縁状態が共に良好な導体パターン101について検出される第1電流値Im1から第2電流値Im2を差し引いた値よりもやや大きい値(正の値)に規定されているものとする。 Next, the processing unit 6 reads the reference difference value Ir from the storage unit 5. In this case, the reference difference value Ir is a value (positive value) that is slightly larger than the value obtained by subtracting the second current value Im2 from the first current value Im1 detected for the conductor pattern 101 in which both the conduction state and the insulation state are good. It shall be prescribed in
続いて、処理部6は、算出した差分値Idが基準差分値Ir以下である(予め規定された基準に適合する)との第1条件を満たしているか否かを判別する。この場合、図2に示すように、導体パターン101aに他の導体パターン101(この例では、導体パターン101b)との短絡が存在しないために電流の漏れがないときには、第1電流値Im1と第2電流値Im2とが同じ値(または、第2電流値Im2が第1電流値Im1よりもやや小さい値)となって、差分値Idが基準差分値Ir以下となるため、検査部6は、第1条件を満たしていると判別する。
Subsequently, the processing unit 6 determines whether or not the first condition that the calculated difference value Id is equal to or less than the reference difference value Ir (conforms to a predetermined standard) is satisfied. In this case, as shown in FIG. 2, when there is no current leakage because there is no short-circuit between the
次いで、処理部6は、検査回路2aの電圧検出部12によって検出された電圧値Vmと、第1電流検出部13aによって検出された第1電流値Im1(第1電流値および第2電流値の少なくとも一方の一例)とに基づいて(電圧値Vmを第1電流値Im1で除算して)抵抗値Rmを算出する。
Next, the processing unit 6 uses the voltage value Vm detected by the
続いて、処理部6は、記憶部5から基準抵抗値Rr(予め規定された基準抵抗値)を読み出す。この場合、基準抵抗値Rrは、導通状態および絶縁状態が共に良好な導体パターン101について検出される電圧値Vmを第1電流値Im1で除算した値よりもやや大きい値に規定されているものとする。次いで、処理部6は、算出した抵抗値Rmが基準抵抗値Rr以下であるとの第2条件を満たしているか否かを判別する。この場合、図2に示すように、導体パターン101aに導通不良箇所がないときには、抵抗値Rmが基準抵抗値Rr以下となるため、検査部6は、第2条件を満たしていると判別する。
Subsequently, the processing unit 6 reads out the reference resistance value Rr (predetermined reference resistance value) from the storage unit 5. In this case, the reference resistance value Rr is defined as a value slightly larger than a value obtained by dividing the voltage value Vm detected for the conductor pattern 101 in which both the conductive state and the insulating state are good by the first current value Im1. To do. Next, the processing unit 6 determines whether or not the second condition that the calculated resistance value Rm is equal to or less than the reference resistance value Rr is satisfied. In this case, as shown in FIG. 2, when the
次いで、処理部6は、第1条件および第2条件の判別結果から、導体パターン101aの導通状態の良否を判定する。この場合、導体パターン101aについては、上記したように、第1条件を満たし、かつ第2条件を満たしている。この際には、処理部6は、導体パターン101aの導通状態を良好と判定する。
Next, the processing unit 6 determines the quality of the conductive state of the
また、処理部6は、導体パターン101bの導通状態の良否を判定する。具体的には、検査回路2bによって検出された第1電流値Im1と第2電流値Im2との差分値Idが基準差分値Ir以下であるとの第1条件を満たしているか否かを判別すると共に、検査回路2bによって検出された電圧値Vmと第1電流値Im1とに基づいて算出した抵抗値Rmが基準抵抗値Rr以下であるとの第2条件を満たしているか否かを判別する。
Moreover, the process part 6 determines the quality of the conduction state of the
この場合、図2に示すように、導体パターン101bに短絡が存在せず、差分値Idが基準差分値Ir以下となるため、検査部6は、第1条件を満たしていると判別する。また、導体パターン101bに導通不良箇所がなく、抵抗値Rmが基準抵抗値Rr以下となるため、検査部6は、第2条件を満たしていると判別する。
In this case, as shown in FIG. 2, since there is no short circuit in the
続いて、処理部6は、第1条件および第2条件の判別結果から、導体パターン101bの導通状態の良否を判定する。この場合、この回路基板100aでは、第1条件および第2条件の双方を満たしている。このため、処理部6は、導体パターン101bの導通状態を良好と判定する。
Subsequently, the processing unit 6 determines the quality of the conductive state of the
また、処理部6は、導体パターン101aに対する導通状態の良否の判定と、導体パターン101bに対する導通状態の良否の判定とを並行して実行する。つまり、処理部6は、検査回路2の数と同数(n個)の導体パターン101の導通検査を並行して実行する。次いで、処理部6は、各導体パターン101a,101bについての導通状態の検査結果を記憶部7に記憶させて、導通検査処理を終了する。
In addition, the processing unit 6 executes in parallel the determination of whether the conductive state with respect to the
ここで、この基板検査装置1では、上記したように、2つ(n個)の検査回路2a,2bを備えて、2つ(n個)の導体パターン101a,101bの導通状態を並行して検査する。このため、1つの検査回路2だけを備えて導通状態の検査を導体パターン101a,101bに対して順番に1つずつ行う構成と比較して、検査効率を十分に向上させることが可能となっている。
Here, as described above, the
続いて、処理部6は、絶縁検査処理を実行する。この絶縁検査処理では、処理部6は、導通検査処理と同様にして、各検査回路2a,2bによって各導体パターン101a,101bに検査用電流Sが供給されている状態において各検査回路2a,2bによってそれぞれ検出された第1電流値Im1および第2電流値Im2に基づいて導体パターン101a,101bの絶縁状態を検査する。
Subsequently, the processing unit 6 executes an insulation inspection process. In this insulation inspection process, the processing unit 6 is similar to the continuity inspection process in that each
ここで、例えば、図4に示すように、導体パターン101a,101bが短絡し、かつ一方の導体パターン101aにおける短絡箇所Pbと供給ポイントPs2との間に導通不良箇所Pa(断線)が存在するときには、導体パターン101aに供給している検査用電流Sが他方の導体パターン101bに流れるため、検査回路2aによって検出される第2電流値Im2が第1電流値Im1よりも小さい値となる。また、導体パターン101bには電源部11から供給される検査用電流Sに加えて導体パターン101aからの検査用電流Sが中間部位に流れるため、検査回路2bによって検出される第2電流値Im2が第1電流値Im1よりも大きい値となる。
Here, for example, as shown in FIG. 4, when the
これに対して、図2に示すように、導体パターン101a,101bの導通状態が良好でかつ導体パターン101a,101bが短絡していないときには、検査回路2a,2bのいずれにおいても、第2電流値Im2は第1電流値Im1と同じ値、または小さい値となる。このように、各検査回路2によって検出される第1電流値Im1および第2電流値Im2の大小関係が導体パターン101a,101bの導通状態の良否および絶縁状態の良否に応じて異なることとなる。この第1電流値Im1では、各検査回路2a,2bの一方によって検出された第2電流値Im2が第1電流値Im1よりも小さく、かつ各検査回路2a,2bの他方によって検出される第2電流値Im2が第1電流値Im1よりも大きいとの大小関係が「予め決められた大小関係」として規定されている(以下、この大小関係を「規定された大小関係」ともいう)。処理部6は、検査回路2a,2bによってそれぞれ検出された第1電流値Im1および第2電流値Im2の大小関係が、上記の「規定された大小関係」に合致したときには、導体パターン101a,101bの絶縁状態を不良と判定する。
On the other hand, as shown in FIG. 2, when the conductive states of the
一方、上記の「予め決められた大小関係」に合致しない場合であっても、導体パターン101a,101bの絶縁状態が不良なことがある。具体的には、各導体パターン101a,101bの導通状態が良好でかつ導体パターン101a,101bが短絡しているときや、導体パターン101a,101bが短絡し、かつ導体パターン101aの短絡箇所Pbと供給ポイントPs2との間および導体パターン101bの短絡箇所Pbと供給ポイントPs4との間に導通不良箇所Paがそれぞれ存在するときには、検査回路2a,2bのいずれにおいても、第2電流値Im2が第1電流値Im1と同じ値、または小さい値となる。このため、処理部6は、検査回路2a,2bによってそれぞれ検出された第1電流値Im1および第2電流値Im2の大小関係が、上記の「予め決められた大小関係」に合致しない場合には、絶縁状態の良否判定を留保する。回路基板100aについては、上記したように検査回路2a,2bのいずれにおいても、第2電流値Im2が第1電流値Im1と同じ値(または、やや小さい値)となるため、処理部6は、絶縁状態の良否判定を留保し、その旨を記憶部7に記憶させて、絶縁検査処理を終了する。
On the other hand, even when the above-mentioned “predetermined magnitude relationship” is not met, the insulation states of the
なお、絶縁状態の良否判定を留保したときには、導体パターン101a,101b間に絶縁検査用の信号(電圧)を供給して導体パターン101a,101bの電流を検出し、その検出値に基づいて絶縁状態を検査する第2の絶縁検査(第2の絶縁検査の詳細な説明は省略する)を別途行う。
When the determination of the quality of the insulation state is reserved, a signal (voltage) for insulation inspection is supplied between the
次に、図3に示す回路基板100bの検査を行う際には、上記したように、回路基板100bを基板保持部に保持させて検査開始操作を行う。この際に、処理部6が、移動機構4を制御して、同図に示すように、導体パターン101a,101bの各供給ポイントPs1〜Ps4に各プローブユニット3のプローブ31を接触させ、続いて、検査回路2a,2bの各電源部11を制御して、検査用電流Sを出力させる。
Next, when the
また、検査回路2a,2bの各電圧検出部12が電圧値Vmを検出し、検査回路2a,2bの各第1電流検出部13aおよび各第2電流検出部13bが、第1電流値Im1および第2電流値Im2をそれぞれ検出する。
Further, each
次いで、処理部6は、導通検査処理を実行する。この導通検査処理では、処理部6は、電圧値Vm、第1電流値Im1および第2電流値Im2に基づいて上記した第1条件および第2条件を満たしているか否かを判別し、それらの判別結果から、導体パターン101a,101bの導通状態の良否を判定する。この場合、図3に示すように、導体パターン101aに導通不良箇所Pa(断線)が存在するときには、第1電流値Im1および第2電流値Im2の双方が小さい値(または、0A)となるため、両者が同じ値(または、ほぼ同じ値)となる。つまり、差分値Idが基準差分値Ir以下となる結果、検査部6は、第1条件を満たしていると判別する。また、導通不良箇所Paが存在しているため、供給ポイントPs1,Ps2間の抵抗値Rmが大きくなって基準抵抗値Rrを超えるため、検査部6は、第2条件を満たしていないと判別する。この際には、処理部6は、第2条件を満たしていないため(第1条件および第2条件の一方しか満たしていないため)、導体パターン101aの導通状態を不良と判定する。
Next, the processing unit 6 executes a continuity inspection process. In this continuity inspection process, the processing unit 6 determines whether or not the first condition and the second condition described above are satisfied based on the voltage value Vm, the first current value Im1, and the second current value Im2. From the determination result, the quality of the conductive state of the
また、図3に示すように、導体パターン101bには導通不良箇所が存在しないため、第1電流値Im1と第2電流値Im2とが同じ値(または、ほぼ同じ値)となって、差分値Idが基準差分値Ir以下となる。このため、検査部6は、第1条件を満たしていると判別する。また、抵抗値Rmが基準抵抗値Rr以下となるため、検査部6は、第1条件を満たしていると判別する。つまり、導体パターン101bについては、第1条件および第2条件の双方を満たしているため、処理部6は、導体パターン101bの導通状態を良好と判定する。続いて、処理部6は、各導体パターン101a,101bについての導通状態の検査結果を記憶部7に記憶させて、導通検査処理を終了する。
Further, as shown in FIG. 3, since there is no conduction failure portion in the
次いで、処理部6は、絶縁検査処理を実行する。この場合、この回路基板100bでは、上記したように検査回路2a,2bのいずれにおいても、第2電流値Im2が第1電流値Im1と同じ値(または、ほぼ同じ値)となる。このため、処理部6は、回路基板100bについては、導体パターン101a,101bの絶縁状態の良否判定を留保し、その旨を記憶部7に記憶させて、絶縁検査処理を終了する。また、処理部6は、別途第2の絶縁検査を実行して、導体パターン101a,101bの絶縁状態を検査する
Next, the processing unit 6 performs an insulation inspection process. In this case, in the
次に、図4に示す回路基板100cの検査を行う際には、上記したように、回路基板100cを基板保持部に保持させて検査開始操作を行う。この際に、処理部6が、移動機構4を制御して、同図に示すように、導体パターン101a,101bの各供給ポイントPs1〜Ps4に各プローブユニット3のプローブ31を接触させ、次いで、検査回路2a,2bの各電源部11を制御して、検査用電流Sを出力させる。
Next, when the
また、検査回路2a,2bの各電圧検出部12が電圧値Vmを検出し、検査回路2a,2bの各第1電流検出部13aおよび各第2電流検出部13bが、第1電流値Im1および第2電流値Im2をそれぞれ検出する。
Further, each
続いて、処理部6は、導通検査処理を実行する。この導通検査処理では、処理部6は、電圧値Vm、第1電流値Im1および第2電流値Im2に基づいて上記した第2条件および第1条件を満たしているか否かを判別し、それらの判別結果から、導体パターン101a,101bの導通状態の良否を判定する。
Subsequently, the processing unit 6 executes a continuity inspection process. In this continuity inspection process, the processing unit 6 determines whether or not the second condition and the first condition described above are satisfied based on the voltage value Vm, the first current value Im1, and the second current value Im2. From the determination result, the quality of the conductive state of the
この場合、図4に示すように、導体パターン101aにおける供給ポイントPs1,Ps2の中間部位と導体パターン101bにおける供給ポイントPs3,Ps4の中間部位とが短絡し、かつ短絡箇所Pbよりも供給ポイントPs2側(電源部11の低電位側に接続される供給ポイントPs側)に位置する部位に導通不良箇所Paが存在するときには、導体パターン101aの供給ポイントPs1に供給されている検査用電流Sが短絡箇所Pbを介して導体パターン101bに流れるため、第1電流検出部13aによって検出される第1電流値Im1は、導通不良箇所がないときと同様の大きさとなる。
In this case, as shown in FIG. 4, the intermediate part of the supply points Ps1, Ps2 in the
一方、導体パターン101aの供給ポイントPs1に供給されている検査用電流Sが導体パターン101bに流れ、また、導通不良箇所Paが存在しているため、供給ポイントPs2から電源部11の低電位側に流れる第2電流値Im2は導通不良箇所がないときよりも小さい値(または、0A)となる。このため、第1電流値Im1と第2電流値Im2との差分値Idが基準差分値Irよりも大きくなる結果、処理部6は、検査部6は、第1条件を満たしていないと判別する。
On the other hand, the inspection current S supplied to the supply point Ps1 of the
また、図4に示すように、供給ポイントPs1に供給された検査用電流Sが短絡箇所Pbを介して導体パターン101bに流れて電圧値Vmが小さい値となり、この結果、抵抗値Rmが基準抵抗値Rr以下となる。このため、検査部6は、第2条件を満たしていると判別する。この際には、処理部6は、第1条件を満たしていない(第1条件および第2条件の一方しか満たしてはいない)ため、導体パターン101aの導通状態を不良と判定する。
Further, as shown in FIG. 4, the inspection current S supplied to the supply point Ps1 flows to the
また、図4に示すように、導体パターン101bには、上記したように、導体パターン101aの供給ポイントPs1に供給されている検査用電流Sの一部または全部が流れるため、第1電流値Im1よりも第2電流値Im2が大きい値となって、差分値Idが負の値となる。このため、差分値Idが基準差分値Ir以下となる結果、検査部6は、第1条件を満たしていると判別する。また、導体パターン101bには導通不良箇所が存在しないため、抵抗値Rmが基準抵抗値Rr以下となる結果、検査部6は、第2条件を満たしていると判別する。つまり、導体パターン101bについては、第1条件および第2条件の双方を満たしているため、処理部6は、導体パターン101bの導通状態を良好と判定する。次いで、処理部6は、各導体パターン101a,101bについての導通状態の検査結果を記憶部7に記憶させて、導通検査処理を終了する。
Further, as shown in FIG. 4, since part or all of the inspection current S supplied to the supply point Ps1 of the
ここで、第1電流値Im1と第2電流値Im2との比較を行うことなく、抵抗値Rmが基準抵抗値Rr以下であるか否かだけで導体パターン101の導通状態の良否を判定する従来の構成および方法では、上記した回路基板100cのように、導体パターン101aに導通不良箇所Paが存在し、かつ電源部11の高電位側に接続される供給ポイントPsと導通不良箇所Paとの間に短絡箇所Pbが存在するときには、電圧値Vmが小さい値に検出され、その電圧値Vmに基づいて算出した抵抗値Rmが基準抵抗値Rrよりも小さい値となる結果、導通不良箇所Paが存在しているにも拘わらず、導体パターン101aの導通状態が良好と誤判定されるおそれがある。
Here, without comparing the first current value Im1 and the second current value Im2, the quality of the conductive state of the conductor pattern 101 is determined based on whether or not the resistance value Rm is equal to or less than the reference resistance value Rr. In the configuration and method, as in the
これに対して、この基板検査装置1および基板検査方法では、抵抗値Rmが基準抵抗値Rr以下であるか否か(第2条件を満たすか否か)を判別するのに加えて、第1電流値Im1および第2電流値Im2の差分値Idが基準差分値Ir以下であるか否か(第1条件を満たすか否か)を判別して双方の条件を満たしているときに導体パターン101の導通状態が良好であるとの判定をする。このため、この基板検査装置1および基板検査方法では、上記した回路基板100cのように、導体パターン101aに供給された検査用電流Sが短絡箇所Pbを介して導体パターン101bに流れたときには、第2電流値Im2が小さい値となって、差分値Idが基準差分値Irよりも大きくなり、第1条件を満たしていないと判別される結果、導体パターン101aの導通状態が不良と判定される。したがって、この基板検査装置1および基板検査方法では、導体パターン101に導通不良箇所Paが存在しているにも拘わらず、その導体パターン101の導通状態が良好と誤判定される事態が確実に防止されて、導体パターン101に導通不良箇所Paが存在しているときには、その導体パターン101の導通状態が不良であるとの判定が高精度で行われる。
On the other hand, in the
続いて、処理部6は、絶縁検査処理を実行する。この場合、この回路基板100cでは、上記したように検査回路2aによって検出された第2電流値Im2が第1電流値Im1よりも小さい値となる。また、検査回路2bによって検出された第2電流値Im2が第1電流値Im1よりも大きい値となる。このため、処理部6は、検査回路2a,2bによってそれぞれ検出された第1電流値Im1および第2電流値Im2の大小関係が、上記の「規定された大小関係」に合致すると判別して、導体パターン101a,101bの絶縁状態を不良と判定する。次いで、処理部6は、各導体パターン101a,101bについての絶縁状態の検査結果を記憶部7に記憶させて、絶縁検査処理を終了する。
Subsequently, the processing unit 6 executes an insulation inspection process. In this case, in the
このように、この基板検査装置1および基板検査方法では、電源部11の一方の電位と各導体パターン101における一対の供給ポイントPsの一方との間の第1電流値Im1を検出すると共に、電源部11の他方の電位と各供給ポイントPsの他方との間の第2電流値Im2を検出し、第1電流値Im1、第2電流値Im2および各供給ポイントPs間の電圧値Vmに基づいて導体パターン101の導通検査を実行する。このため、この基板検査装置1および基板検査方法では、導通状態が良好であると判定する際に、抵抗値Rmが基準抵抗値Rr以下であることを条件とすることに加えて、例えば、第1電流値Im1と第2電流値Im2との差分値Id(比較値)が基準差分値Ir以下であることを条件することができる。したがって、この基板検査装置1および基板検査方法によれば、導体パターン101に導通不良箇所Paが存在しているにも拘わらず、その導体パターン101の導通状態が良好と誤判定される事態が確実に防止されて、導体パターン101に導通不良箇所Paが存在しているときには、その導体パターン101の導通状態が不良であるとの判定を高精度で行うことができる。
Thus, in this board |
また、この基板検査装置1および基板検査方法では、第1電流値Im1から第2電流値Im2を差し引いた差分値Idが基準差分値Ir以下であるとの第1条件を満たし、かつ第1電流値Im1と電圧値Vmに基づいて算出される抵抗値Rmが基準抵抗値Rr以下であるとの第2条件を満たしているときに導体パターン101の導通状態を良好と判定する。このため、この基板検査装置1および基板検査方法によれば、簡易な判定手法でありながら導体パターン101の導通状態の良否を精度よく判定することができるため、導通検査の検査効率を十分に向上させることができる。
Further, in the
また、この基板検査装置1および基板検査方法では、各検査回路2a,2bによってそれぞれ検出された第1電流値Im1および第2電流値Im2の大小関係が予め決められた大小関係に合致するときに各導体パターン101の絶縁状態を不良と判定する。このため、この基板検査装置1および基板検査方法によれば、第1電流値Im1および第2電流値Im2の大小関係が予め決められた大小関係に合致するような絶縁不良の一部の形態については、導通検査に用いる検査回路2a,2bを用いて導通検査に引き続いて行う絶縁状態の良否判定で絶縁不良との判定をすることができる。したがって、このような絶縁不良の一部の形態については、別途行う第2の絶縁検査を省略することができるため、その分、検査効率を十分に向上させることができる。
In the
なお、基板検査装置および基板検査方法は、上記した構成および方法に限定されない。例えば、図5に示す基板検査装置201、およびこの基板検査装置201を用いる基板検査方法を採用することもできる。なお、以下の説明において、上記した基板検査装置1と同じ構成要素については、同じ符号を付して、重複する説明を省略する。この基板検査装置201は、検査用電流(例えば、直流電流)を予め決められた第1電流値の定電流を出力する電源部としての定電流電源部211を備えて構成されている。また、この基板検査装置201では、基板検査装置1の第2電流検出部13bに相当する電流検出部213を備えて構成されている。また、この基板検査装置201では、基板検査装置1の第1電流検出部13aに相当する電流検出部が省略されている。
The substrate inspection apparatus and the substrate inspection method are not limited to the configuration and method described above. For example, a
この基板検査装置201および基板検査装置201を用いた基板検査方法では、定電流電源部211から出力される検査用電流の電流値(予め規定された第1電流値)を第1電流値Im1として、処理部6が上記した導通検査処理および絶縁検査処理を実行する。具体的には、第1電流値Im1と電流検出部213によって検出される第2電流値Im2との差分値Idを算出して、基準差分値Irと比較して第1条件を満たしているか否かを判別する。また、電圧検出部12によって検出された電圧値Vmと第1電流値Im1とに基づいて抵抗値Rmを算出し、その抵抗値Rmと基準抵抗値Rrとを比較して第2条件を満たしているか否かを判別する。
In the
この構成および方法においても、上記した基板検査装置1および基板検査方法と同様にして、導体パターン101に導通不良箇所Paが存在しているにも拘わらず、その導体パターン101の導通状態が良好と誤判定される事態が確実に防止されて、導体パターン101に導通不良箇所Paが存在しているときには、その導体パターン101の導通状態が不良であるとの判定を高精度で行うことができる。また、この構成および方法によれば、第1電流値Im1を検出する第1電流検出部13aを不要とすることができるため、基板検査装置201の構成を簡略化することができる。
In this configuration and method as well, in the same manner as the above-described
また、上記の例では、第1電流値Im1と電圧値Vmとに基づいて抵抗値Rmを算出しているが、第2電流値Im2と電圧値Vmとに基づいて抵抗値Rmを算出する構成および方法を採用することもできる。 In the above example, the resistance value Rm is calculated based on the first current value Im1 and the voltage value Vm. However, the resistance value Rm is calculated based on the second current value Im2 and the voltage value Vm. And methods can also be employed.
また、第1電流値Im1から第2電流値Im2を差し引いた差分値Idを比較値とする例について上記したが、第1電流値Im1と第2電流値Im2との比率を比較値とし、その比率が予め決められた基準比率以下であることを第1条件とする構成および方法を採用することもできる。 In addition, the example in which the difference value Id obtained by subtracting the second current value Im2 from the first current value Im1 is used as the comparison value has been described above, but the ratio between the first current value Im1 and the second current value Im2 is used as the comparison value. It is also possible to adopt a configuration and method in which the first condition is that the ratio is equal to or less than a predetermined reference ratio.
また、一例として2つの導体パターン101a,101bだけを有する回路基板100a〜100cを検査する例について上記したが、3つ以上の導体パターン101を有する回路基板100を検査することができるのは勿論であり、この際にも上記した各効果を実現することができる。
Further, as an example, the example of inspecting the
また、検査回路2を2つだけ備えて、2つの導体パターン101の導通検査を並行して実行する構成および方法について上記したが、3つ以上の検査回路2を備えて、3つ以上(検査回路2と同数)の導体パターン101の導通検査を並行して実行する構成および方法を採用することもでき、この場合においても、上記した各効果を実現することができる。
In addition, the configuration and method for performing only the two
また、検査用電流Sとして直流電流を用いる構成および方法について上記したが、検査用電流Sとして交流電流を用いる構成および方法を採用することもできる。 Further, although the configuration and method using a direct current as the inspection current S are described above, a configuration and method using an alternating current as the inspection current S can also be adopted.
1,201 基板検査装置
2a,2b 検査回路
6 処理部
11 電源部
12 電圧検出部
13a 第1電流検出部
13b 第2電流検出部
100a〜100c 回路基板
101a,101b 導体パターン
211 定電流電源部
213 電流検出部
Id 差分値
Ir 基準差分値
Ps1〜Ps4 供給ポイント
Rm 抵抗値
Rr 基準抵抗値
S 検査用電流
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,201 Board |
Claims (6)
前記各検査回路は、前記電源部の一方の電位と前記一対の供給箇所の一方との間の第1電流値を前記電流値として検出する前記電流検出部としての第1電流検出部と、前記電源部の他方の電位と前記一対の供給箇所の他方との間の第2電流値を前記電流値として検出する前記電流検出部としての第2電流検出部とをそれぞれ備え、
前記処理部は、前記第1電流値、前記第2電流値および前記電圧値に基づいて前記導通検査を実行する基板検査装置。 A power supply unit that outputs an inspection current, and a current that detects a current value between the power supply unit and the conductor pattern in a supply state in which the inspection current is supplied to a pair of supply locations in the conductor pattern of the circuit board Provided with n (n is an integer of 2 or more) inspection circuits each having a detection unit and a voltage detection unit that detects a voltage value between the pair of supply locations in the supply state, and the current value and the voltage value A substrate inspection apparatus including a processing unit capable of executing continuity inspection of the n conductor patterns based on
Each of the inspection circuits includes a first current detection unit as the current detection unit that detects a first current value between one potential of the power supply unit and one of the pair of supply locations as the current value; A second current detection unit as the current detection unit that detects a second current value between the other potential of the power supply unit and the other of the pair of supply locations as the current value, respectively;
The processing unit is a substrate inspection apparatus that performs the continuity inspection based on the first current value, the second current value, and the voltage value.
前記各検査回路は、前記定電流電源部の低電位側と当該低電位側に接続される前記一対の供給箇所の一方との間の第2電流値を検出する電流検出部をそれぞれ備え、
前記処理部は、前記第1電流値、前記第2電流値および前記電圧値に基づいて前記導通検査を実行する基板検査装置。 A constant current power supply unit that outputs a current for inspection at a predetermined first current value, and between the pair of supply points in a supply state in which the inspection current is supplied to a pair of supply points in the conductor pattern of the circuit board And n (n is an integer greater than or equal to 2) inspection circuits having a voltage detection unit for detecting the voltage value, and the continuity inspection of the n conductor patterns is performed based on the first current value and the voltage value. A substrate inspection apparatus having a processing unit that can be executed in parallel,
Each of the inspection circuits includes a current detection unit that detects a second current value between a low potential side of the constant current power supply unit and one of the pair of supply locations connected to the low potential side,
The processing unit is a substrate inspection apparatus that performs the continuity inspection based on the first current value, the second current value, and the voltage value.
前記電源部の一方の電位と前記一対の供給箇所の一方との間の第1電流値を前記電流値として検出すると共に、前記電源部の他方の電位と前記一対の供給箇所の他方との間の第2電流値を前記電流値として検出し、
前記第1電流値、前記第2電流値および前記電圧値に基づいて前記導通検査を実行する基板検査方法。 In the supply state in which the inspection currents output from the n power supply units are respectively supplied to each pair of supply locations in the n (n is an integer of 2 or more) conductor patterns of the circuit board, A current value of a current flowing between each of the conductor patterns is detected, and a voltage value between each of the pair of supply locations is detected in the supply state, and n current values are detected based on the current value and the voltage value. A substrate inspection method for performing a continuity inspection of the conductor pattern in parallel,
A first current value between one potential of the power supply unit and one of the pair of supply locations is detected as the current value, and between the other potential of the power supply unit and the other of the pair of supply locations. The second current value is detected as the current value,
A substrate inspection method for performing the continuity inspection based on the first current value, the second current value, and the voltage value.
前記定電流電源部の低電位側と当該低電位側に接続される前記一対の供給箇所の一方との間の第2電流値を検出し、
前記第1電流値、前記第2電流値および前記電圧値に基づいて前記導通検査を実行する基板検査方法。 A test current having a predetermined first current value output from n constant current power supply units is supplied to each pair of supply locations in n (n is an integer of 2 or more) conductor patterns on the circuit board. In the substrate inspection method, a voltage value between each of the pair of supply locations is detected in a supplied state, and the continuity inspection of the n conductor patterns is performed in parallel based on the current value and the voltage value. And
Detecting a second current value between the low potential side of the constant current power supply unit and one of the pair of supply locations connected to the low potential side;
A substrate inspection method for performing the continuity inspection based on the first current value, the second current value, and the voltage value.
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