JP2015032209A - Constant current generating circuit, constant current generating device, and constant current generating method, and resistance measuring device and resistance measuring method - Google Patents

Constant current generating circuit, constant current generating device, and constant current generating method, and resistance measuring device and resistance measuring method Download PDF

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To suppress an open voltage across output terminals of current.SOLUTION: When a state detection unit 74 detects an open state across output terminals of current, a controller 93 switches a switch 72 so that the non-inverting input terminal of a current output unit 71 is connected to the ground to allow the voltage of the same to be 0, and a switch 73 is made to be a connection state so that an output current from the current output unit 71 receives feedback. In a constant current source 81, since the switch 91 is opened and the switch 92 is connected through control of the controller 93, the inverting input terminal of the current output unit 71 is supplied with output of the current output unit 71 without intervention of the switch 73.

Description

本発明は、定電流発生回路、定電流発生装置、および定電流発生方法、並びに、抵抗測定装置、および、抵抗測定方法に関する。   The present invention relates to a constant current generation circuit, a constant current generation device, a constant current generation method, a resistance measurement device, and a resistance measurement method.

従来、被測定抵抗体に接続されるそれぞれ一対の電流供給端子と電圧検出端子とを有する四端子抵抗測定装置が広く用いられている(例えば、特許文献1)。   Conventionally, a four-terminal resistance measuring device having a pair of current supply terminals and a voltage detection terminal connected to the resistor to be measured has been widely used (for example, Patent Document 1).

特開2011−85462号公報JP 2011-85462 A

このような四端子抵抗測定装置は、定電流源を含んで構成される。   Such a four-terminal resistance measurement device includes a constant current source.

図1を参照して、従来の定電流源を備えた四端子抵抗測定装置の一例について説明する。   With reference to FIG. 1, an example of a four-terminal resistance measuring device having a conventional constant current source will be described.

四端子抵抗測定装置1は、被測定抵抗体2の抵抗値を測定するものであって、定電流源11、ダイオード回路12、一対の電流供給端子であるHi側電流供給端子13およびLo側電流供給端子14、一対の電圧検出端子であるHi側電圧検出端子15およびLo側電圧検出端子16、電圧検出部17、A/D変換部18、Hi側交流電源19、Hi側電圧検出部20、Lo側交流電源21、Lo側電圧検出部22、処理部23、並びに、出力部24を備えている。ダイオード回路12は、互いに逆極性の向きで並列接続した2つのダイオード12aおよび12bで構成されている。   The four-terminal resistance measuring device 1 measures the resistance value of the resistor 2 to be measured, and includes a constant current source 11, a diode circuit 12, a pair of current supply terminals Hi-side current supply terminal 13 and Lo-side current. A supply terminal 14, a pair of voltage detection terminals, a Hi-side voltage detection terminal 15 and a Lo-side voltage detection terminal 16, a voltage detection unit 17, an A / D conversion unit 18, a Hi-side AC power supply 19, a Hi-side voltage detection unit 20, The Lo-side AC power source 21, the Lo-side voltage detection unit 22, the processing unit 23, and the output unit 24 are provided. The diode circuit 12 is composed of two diodes 12a and 12b connected in parallel with opposite polarities.

定電流源11は、電流源の一例であって、オペアンプで構成された電流バッファ41、定電圧源(直流定電圧源)42、および、基準抵抗となる抵抗43で構成されている。この場合、基準電圧源となる定電圧源42が、電流バッファ41の非反転入力端子とグランドとの間に接続され、抵抗43が、電流バッファ41の反転入力端子とグランドとの間に接続されている。また、一対の出力端子44および出力端子45のうちの一方の出力端子44は、電流バッファ41の出力端子に接続され、他方の出力端子45は、電流バッファ41の反転入力端子に接続されている。この定電流源11では、オペアンプで構成された電流バッファ41の非反転入力端子と反転入力端子とがバーチャルショートの状態にあるため、抵抗43には、定電圧源42から直流定電圧が常時印加された状態となっている。   The constant current source 11 is an example of a current source, and includes a current buffer 41 configured by an operational amplifier, a constant voltage source (DC constant voltage source) 42, and a resistor 43 serving as a reference resistor. In this case, the constant voltage source 42 as a reference voltage source is connected between the non-inverting input terminal of the current buffer 41 and the ground, and the resistor 43 is connected between the inverting input terminal of the current buffer 41 and the ground. ing. One output terminal 44 of the pair of output terminals 44 and 45 is connected to the output terminal of the current buffer 41, and the other output terminal 45 is connected to the inverting input terminal of the current buffer 41. . In the constant current source 11, the non-inverting input terminal and the inverting input terminal of the current buffer 41 configured by an operational amplifier are in a virtual short-circuit state, and thus a constant DC voltage is constantly applied from the constant voltage source 42 to the resistor 43. It has become a state.

この構成により、定電流源11は、一対の出力端子44および出力端子45間に接続された外部回路に対して、定電圧源42が出力する直流定電圧の電圧値を抵抗43の抵抗値で除算して得られる電流値(既知の電流値)の測定電流(直流定電流)Imを供給可能となっている。   With this configuration, the constant current source 11 uses the resistance value of the resistor 43 to change the voltage value of the DC constant voltage output from the constant voltage source 42 to the external circuit connected between the pair of output terminals 44 and the output terminal 45. A measurement current (DC constant current) Im having a current value (known current value) obtained by division can be supplied.

なお、定電流源11の出力端子44から出力される電圧の電圧値は、被測定抵抗体2の抵抗値によって変化する。そして、Hi側電流供給端子13、Lo側電流供給端子14、Hi側電圧検出端子15、および、Lo側電圧検出端子16と、被測定抵抗体2との間の接触抵抗がある程度ばらつく場合もある。これらの条件、および、ダイオード回路12を構成するダイオード12aおよび12bの順方向電圧などを鑑みて、定電流源11の出力端子44から出力される電圧の電圧値は、所望の電流値の測定電流Imを被測定抵抗体2に供給し得るように、常にダイオード12aおよび12bのターンオン電圧Vonを超える電圧値に規定されている。   Note that the voltage value of the voltage output from the output terminal 44 of the constant current source 11 varies depending on the resistance value of the resistor 2 to be measured. The contact resistance between the Hi-side current supply terminal 13, the Lo-side current supply terminal 14, the Hi-side voltage detection terminal 15, the Lo-side voltage detection terminal 16, and the resistor 2 to be measured may vary to some extent. . In view of these conditions and the forward voltage of the diodes 12a and 12b constituting the diode circuit 12, the voltage value of the voltage output from the output terminal 44 of the constant current source 11 is a measured current having a desired current value. The voltage value always exceeds the turn-on voltage Von of the diodes 12a and 12b so that Im can be supplied to the resistor 2 to be measured.

ダイオード回路12は、上述したように、互いに逆極性の向きで並列接続した2つのダイオード12aおよび12bで構成されている。この場合、ダイオード12aおよび12bは、電気的特性(例えば、ターンオン電圧Von、順電圧および順電流など)の等しい同種のダイオードを使用するのが好ましい。このようにして構成されたダイオード回路12は、一例として、一端(本例ではダイオード12aのアノード端子)が定電流源11の一方の出力端子44に接続され、他端はHi側電流供給端子13に接続されて、定電流源11の出力端子44とHi側電流供給端子13との間に配設されている。   As described above, the diode circuit 12 includes the two diodes 12a and 12b connected in parallel with opposite polarities. In this case, the diodes 12a and 12b are preferably the same type of diode having the same electrical characteristics (for example, turn-on voltage Von, forward voltage, forward current, etc.). As an example, the diode circuit 12 thus configured has one end (in this example, the anode terminal of the diode 12a) connected to one output terminal 44 of the constant current source 11, and the other end connected to the Hi-side current supply terminal 13. Is connected between the output terminal 44 of the constant current source 11 and the Hi-side current supply terminal 13.

Hi側電流供給端子13は、ダイオード回路12の他端(本例ではダイオード12aのカソード端子)に接続されている。Lo側電流供給端子14は、定電流源11の他方の出力端子45に接続されている。Hi側電圧検出端子15は、電圧検出部17の一方の入力端子に接続され、Lo側電圧検出端子16は、電圧検出部17の他方の入力端子に接続されている。   The Hi-side current supply terminal 13 is connected to the other end of the diode circuit 12 (in this example, the cathode terminal of the diode 12a). The Lo-side current supply terminal 14 is connected to the other output terminal 45 of the constant current source 11. The Hi side voltage detection terminal 15 is connected to one input terminal of the voltage detection unit 17, and the Lo side voltage detection terminal 16 is connected to the other input terminal of the voltage detection unit 17.

電圧検出部17は、高入力インピーダンスの一対の入力端子に接続されたHi側電圧検出端子15およびLo側電圧検出端子16間に発生する電圧V1を検出して、この電圧V1の波形を示す電圧信号SvをA/D変換部18に出力する。A/D変換部18は、電圧信号Svを入力すると共に、予め規定されたサンプリング周期でサンプリングすることにより、電圧信号Svの電圧(振幅)を示す電圧データDvを生成して処理部23に出力する。   The voltage detection unit 17 detects a voltage V1 generated between the Hi-side voltage detection terminal 15 and the Lo-side voltage detection terminal 16 connected to a pair of input terminals having a high input impedance, and shows a waveform of the voltage V1. The signal Sv is output to the A / D converter 18. The A / D conversion unit 18 receives the voltage signal Sv and generates voltage data Dv indicating the voltage (amplitude) of the voltage signal Sv by sampling at a predetermined sampling period, and outputs the voltage data Dv to the processing unit 23. To do.

Hi側交流電源19は、Hi側電流供給端子13およびHi側電圧検出端子15に接続されて、Hi側電流供給端子13−Hi側電圧検出端子15間に、コンタクトチェック用のHi側交流電流(交流定電流)Ie1を供給(出力)可能に構成されている。Hi側交流電源19は、その最大出力振幅(電圧)Vmax1がダイオード12aおよび12bのターンオン電圧Von未満となるように予め規定されている。つまり、最大出力振幅Vmax1は、Hi側交流電流Ie1の供給によってダイオード12aおよび12bがターンオンしない電圧値に規定されている。なお、ダイオードのターンオン電圧Vonは、種類によって異なり、ゲルマニウムダイオードでは、0.2[V]程度、シリコンダイオードで0.7[V]程度である。   The Hi-side AC power source 19 is connected to the Hi-side current supply terminal 13 and the Hi-side voltage detection terminal 15, and between the Hi-side current supply terminal 13 and the Hi-side voltage detection terminal 15, a Hi-side AC current for contact check ( AC constant current) Ie1 can be supplied (output). The Hi-side AC power supply 19 is defined in advance such that the maximum output amplitude (voltage) Vmax1 is less than the turn-on voltage Von of the diodes 12a and 12b. That is, the maximum output amplitude Vmax1 is defined as a voltage value at which the diodes 12a and 12b are not turned on by the supply of the Hi-side alternating current Ie1. The turn-on voltage Von of the diode varies depending on the type, and is about 0.2 [V] for the germanium diode and about 0.7 [V] for the silicon diode.

Hi側電圧検出部20は、図示せぬコンパレータを備えて構成され、Hi側電流供給端子13およびHi側電圧検出端子15が接続される各入力端子の入力インピーダンスが、高インピーダンスに規定されている。また、Hi側電圧検出部20は、Hi側電流供給端子13およびHi側電圧検出端子15間に発生する電圧V2を検出するとともに、予め規定された基準電圧Vrefと比較することにより、被測定抵抗体2に対するHi側電流供給端子13およびHi側電圧検出端子15の接続状態を検出する。具体的には、Hi側電圧検出部20は、電圧V2が基準電圧Vrefを超えている場合、Hi側電流供給端子13およびHi側電圧検出端子15の少なくとも一方が被測定抵抗体2(具体的には、被測定抵抗体2の一方の端子)に正常に接続されていないという接続状態を示す検出信号S1を生成して、処理部23に出力する。   The Hi-side voltage detection unit 20 includes a comparator (not shown), and the input impedance of each input terminal to which the Hi-side current supply terminal 13 and the Hi-side voltage detection terminal 15 are connected is defined as a high impedance. . The Hi-side voltage detection unit 20 detects the voltage V2 generated between the Hi-side current supply terminal 13 and the Hi-side voltage detection terminal 15 and compares it with a reference voltage Vref defined in advance, thereby measuring the resistance to be measured. The connection state of the Hi side current supply terminal 13 and the Hi side voltage detection terminal 15 to the body 2 is detected. Specifically, when the voltage V2 exceeds the reference voltage Vref, the Hi side voltage detection unit 20 causes the resistor under test 2 (specifically, at least one of the Hi side current supply terminal 13 and the Hi side voltage detection terminal 15). Generates a detection signal S1 indicating a connection state that the connection is not normally performed to one terminal of the resistor 2 to be measured, and outputs the detection signal S1 to the processing unit 23.

この場合、Hi側電流供給端子13および被測定抵抗体2の一方の端子間の接触抵抗とHi側電圧検出端子15および被測定抵抗体2の一方の端子間の接触抵抗の合計抵抗値が増加するに伴い、電圧V2も上昇する。ここでは、この合計抵抗値が予め規定された許容最大値となったときの電圧V2を基準電圧Vrefとして規定している。したがって、Hi側電圧検出部20は、上記の各接触抵抗の合計抵抗値が許容最大値を超えたとき(Hi側電流供給端子13およびHi側電圧検出端子15の少なくとも一方が被測定抵抗体2の一方の端子から離れたとき(非接触のとき)も含む)に、検出信号S1を生成して、処理部23に出力する。   In this case, the total resistance value of the contact resistance between the Hi-side current supply terminal 13 and one terminal of the measured resistor 2 and the contact resistance between the Hi-side voltage detection terminal 15 and one terminal of the measured resistor 2 is increased. As a result, the voltage V2 also increases. Here, the voltage V2 when the total resistance value reaches the maximum allowable value defined in advance is defined as the reference voltage Vref. Therefore, when the total resistance value of each of the contact resistances exceeds the allowable maximum value, the Hi-side voltage detection unit 20 (at least one of the Hi-side current supply terminal 13 and the Hi-side voltage detection terminal 15 is the measured resistor 2 The detection signal S1 is generated and output to the processing unit 23 when the terminal is separated from one of the terminals (including the case of non-contact).

Lo側交流電源21は、Lo側電流供給端子14およびLo側電圧検出端子16に接続されて、Lo側電流供給端子14−Lo側電圧検出端子16間にコンタクトチェック用のLo側交流電流(交流定電流)Ie2を供給(出力)可能に構成されている。Lo側交流電源21は、その最大出力振幅(電圧)Vmax2がダイオード12aおよび12bのターンオン電圧Von未満となるように予め規定されている。つまり、最大出力振幅Vmax2は、Lo側交流電流Ie2の供給によってダイオード12aおよび12bがターンオンしない電圧値に規定されている。   The Lo-side AC power supply 21 is connected to the Lo-side current supply terminal 14 and the Lo-side voltage detection terminal 16, and a Lo-side AC current (AC) for contact check between the Lo-side current supply terminal 14 and the Lo-side voltage detection terminal 16. Constant current) Ie2 can be supplied (output). The Lo-side AC power supply 21 is defined in advance such that its maximum output amplitude (voltage) Vmax2 is less than the turn-on voltage Von of the diodes 12a and 12b. That is, the maximum output amplitude Vmax2 is defined as a voltage value at which the diodes 12a and 12b are not turned on by the supply of the Lo-side alternating current Ie2.

Lo側電圧検出部22は、Hi側電圧検出部20と同様にして、図示せぬコンパレータを備えて構成され、Lo側電流供給端子14およびLo側電圧検出端子16が接続される各入力端子の入力インピーダンスが、高インピーダンスに規定されている。また、Lo側電圧検出部22は、Lo側電流供給端子14およびLo側電圧検出端子16間に発生する電圧V3を検出するとともに、予め規定された基準電圧Vrefと比較することにより、被測定抵抗体2に対する両端子6,8の接続状態を検出する。具体的には、Lo側電圧検出部22は、電圧V3が基準電圧Vrefを超えている場合、Lo側電流供給端子14およびLo側電圧検出端子16の少なくとも一方が被測定抵抗体2(具体的には、被測定抵抗体2の他方の端子)に正常に接続されていないという接続状態を示す検出信号S2を生成して、処理部23に出力する。   The Lo-side voltage detection unit 22 is configured to include a comparator (not shown) in the same manner as the Hi-side voltage detection unit 20, and each of the input terminals to which the Lo-side current supply terminal 14 and the Lo-side voltage detection terminal 16 are connected. Input impedance is defined as high impedance. The Lo-side voltage detection unit 22 detects the voltage V3 generated between the Lo-side current supply terminal 14 and the Lo-side voltage detection terminal 16, and compares it with a reference voltage Vref defined in advance, thereby measuring the resistance to be measured. The connection state of both terminals 6 and 8 to the body 2 is detected. Specifically, when the voltage V3 exceeds the reference voltage Vref, the Lo-side voltage detection unit 22 causes at least one of the Lo-side current supply terminal 14 and the Lo-side voltage detection terminal 16 to be the resistor 2 to be measured (specifically Generates a detection signal S2 indicating a connection state that the connection is not normally made to the other terminal of the resistor 2 to be measured, and outputs the detection signal S2 to the processing unit 23.

ここでは、Lo側電圧検出部22の基準電圧Vrefも、Hi側電圧検出部20の場合と同様にして規定されている。したがって、Lo側電圧検出部22は、Lo側電流供給端子14および被測定抵抗体2の他方の端子間の接触抵抗とLo側電圧検出端子16および被測定抵抗体2の他方の端子間の接触抵抗の合計抵抗値が許容最大値を超えたとき(Lo側電流供給端子14およびLo側電圧検出端子16の少なくとも一方が被測定抵抗体2の他方の端子から離れたとき(非接触のとき)も含む)に、検出信号S2を生成して、処理部23に出力する。   Here, the reference voltage Vref of the Lo side voltage detector 22 is also defined in the same manner as in the case of the Hi side voltage detector 20. Therefore, the Lo-side voltage detection unit 22 has a contact resistance between the Lo-side current supply terminal 14 and the other terminal of the measured resistor 2 and a contact between the Lo-side voltage detection terminal 16 and the other terminal of the measured resistor 2. When the total resistance value of the resistors exceeds the allowable maximum value (when at least one of the Lo-side current supply terminal 14 and the Lo-side voltage detection terminal 16 is separated from the other terminal of the resistor 2 to be measured (when not in contact)) The detection signal S2 is generated and output to the processing unit 23.

処理部23は、CPUおよび内部メモリを備えて構成されて、A/D変換部18から供給される電圧データDvに基づいて、被測定抵抗体2の抵抗値測定処理を実行し、測定結果を出力部24に供給する。また、処理部23は、Hi側電圧検出部20から検出信号S1が供給されるか否か、および、Lo側電圧検出部22から検出信号S2が供給されるか否かに基づいて、被測定抵抗体2に対するHi側電流供給端子13、Hi側電圧検出端子15、Lo側電流供給端子14およびLo側電圧検出端子16が正しく接続されているかを判別する処理も実行可能である。   The processing unit 23 includes a CPU and an internal memory. The processing unit 23 performs a resistance value measurement process for the resistor 2 to be measured based on the voltage data Dv supplied from the A / D conversion unit 18, and displays the measurement result. This is supplied to the output unit 24. Further, the processing unit 23 is based on whether the detection signal S1 is supplied from the Hi side voltage detection unit 20 and whether the detection signal S2 is supplied from the Lo side voltage detection unit 22. Processing for determining whether the Hi-side current supply terminal 13, the Hi-side voltage detection terminal 15, the Lo-side current supply terminal 14 and the Lo-side voltage detection terminal 16 are correctly connected to the resistor 2 can also be executed.

すなわち、電圧検出部17、A/D変換部18、および、処理部23により、抵抗測定部が構成されている。   That is, the voltage detection unit 17, the A / D conversion unit 18, and the processing unit 23 constitute a resistance measurement unit.

出力部24は、一例として、LCD(Liquid Crystal Display)などの表示装置で構成されて、コンタクトチェック処理の結果、および抵抗値測定処理の結果を表示する。   For example, the output unit 24 includes a display device such as an LCD (Liquid Crystal Display), and displays the result of the contact check process and the result of the resistance value measurement process.

次に、四端子抵抗測定装置1の動作について説明する。   Next, the operation of the four-terminal resistance measuring device 1 will be described.

まず、Hi側電流供給端子13およびHi側電圧検出端子15の被測定抵抗体2における一方の端子への接続作業、並びに、Lo側電流供給端子14およびLo側電圧検出端子16の被測定抵抗体における他方の端子への接続作業が、測定者により実施される。   First, connection work of the Hi-side current supply terminal 13 and the Hi-side voltage detection terminal 15 to one terminal of the measured resistor 2, and the measured resistor of the Lo-side current supply terminal 14 and the Lo-side voltage detection terminal 16 The connection to the other terminal is performed by the measurer.

四端子抵抗測定装置1の作動状態において、Hi側電流供給端子13およびHi側電圧検出端子15が被測定抵抗体2の一方の端子に正常に接続され、かつLo側電流供給端子14およびLo側電圧検出端子16が被測定抵抗体2の他方の端子に正常に接続されているときには、定電流源11の出力端子44から出力される電圧(直流電圧)の電圧値がダイオード12aのターンオン電圧Vonを超えているため、定電流源11により、出力端子44、ダイオード回路12、Hi側電流供給端子13、被測定抵抗体2およびLo側電流供給端子14を経由して出力端子45に至る経路に、測定電流Imが供給される。   In the operating state of the four-terminal resistance measuring device 1, the Hi-side current supply terminal 13 and the Hi-side voltage detection terminal 15 are normally connected to one terminal of the resistor 2 to be measured, and the Lo-side current supply terminal 14 and the Lo-side are connected. When the voltage detection terminal 16 is normally connected to the other terminal of the resistor 2 to be measured, the voltage value (DC voltage) output from the output terminal 44 of the constant current source 11 is the turn-on voltage Von of the diode 12a. Therefore, the constant current source 11 causes the output terminal 44, the diode circuit 12, the Hi-side current supply terminal 13, the resistor under test 2, and the Lo-side current supply terminal 14 to reach the output terminal 45. The measurement current Im is supplied.

電圧検出部17は、Hi側電圧検出端子15およびLo側電圧検出端子16間に発生している電圧V1を検出して、電圧V1の波形を示す電圧信号Svを出力する。そして、A/D変換部18は、電圧信号Svの入力を受け、予め規定されたサンプリング周期でサンプリングすることにより、電圧信号Svの電圧(振幅)を示す電圧データDvを生成して、処理部23に出力する。   The voltage detector 17 detects the voltage V1 generated between the Hi side voltage detection terminal 15 and the Lo side voltage detection terminal 16, and outputs a voltage signal Sv indicating the waveform of the voltage V1. The A / D converter 18 receives the input of the voltage signal Sv, and generates voltage data Dv indicating the voltage (amplitude) of the voltage signal Sv by sampling at a predetermined sampling period. To 23.

このように、四端子抵抗測定装置1の各構成要素がそれぞれの動作を開始している状態において、処理部23は、A/D変換部18から出力される電圧データDvに基づいて、被測定抵抗体2の両端間電圧である電圧V1の電圧値を算出し、この算出した電圧V1の電圧値と定電流源11から出力される測定電流Imの電流値(既知)とに基づいて、被測定抵抗体2の抵抗値を測定して、出力部24に表示させる。   In this way, in a state where each component of the four-terminal resistance measurement device 1 starts its operation, the processing unit 23 is based on the voltage data Dv output from the A / D conversion unit 18. A voltage value of the voltage V1 that is the voltage across the resistor 2 is calculated, and based on the calculated voltage value of the voltage V1 and the current value (known) of the measured current Im output from the constant current source 11, The resistance value of the measuring resistor 2 is measured and displayed on the output unit 24.

また、Hi側交流電源19により、Hi側電流供給端子13および被測定抵抗体2の一方の端子を経由してHi側電圧検出端子15に至る経路に、Hi側交流電流Ie1が供給されるとともに、Lo側交流電源21により、Lo側電流供給端子14および被測定抵抗体2の他方の端子を経由してLo側電圧検出端子16に至る経路に、Lo側交流電流Ie2が供給される。   In addition, the Hi-side AC power source 19 supplies the Hi-side AC current Ie1 to a path that reaches the Hi-side voltage detection terminal 15 via one terminal of the Hi-side current supply terminal 13 and the resistor 2 to be measured. The Lo-side AC power source 21 supplies the Lo-side AC current Ie2 to a path that reaches the Lo-side voltage detection terminal 16 via the Lo-side current supply terminal 14 and the other terminal of the resistor 2 to be measured.

そして、Hi側電圧検出部20は、入力される電圧V2、すなわち、Hi側電流供給端子13とHi側電圧検出端子15間の電圧と、基準電圧Vrefとの比較を開始する。そして、Lo側電圧検出部22は、入力される電圧V3、すなわち、Lo側電流供給端子14とLo側電圧検出端子16間の電圧)と基準電圧Vrefとの比較を開始する。   Then, the Hi-side voltage detection unit 20 starts comparing the input voltage V2, that is, the voltage between the Hi-side current supply terminal 13 and the Hi-side voltage detection terminal 15 with the reference voltage Vref. Then, the Lo-side voltage detector 22 starts comparing the input voltage V3, that is, the voltage between the Lo-side current supply terminal 14 and the Lo-side voltage detection terminal 16) with the reference voltage Vref.

Hi側電圧検出部20から検出信号S1が出力された場合、処理部23は、Hi側電流供給端子13およびHi側電圧検出端子15のうちの少なくとも一方に接続不良が発生していると判別して、その旨を出力部24に表示させる。また、Lo側電圧検出部22から検出信号S2が出力された場合、処理部23は、Lo側電流供給端子14およびLo側電圧検出端子16のうちの少なくとも一方に接続不良が発生していると判別して、その旨を出力部24に表示させる。   When the detection signal S <b> 1 is output from the Hi-side voltage detection unit 20, the processing unit 23 determines that a connection failure has occurred in at least one of the Hi-side current supply terminal 13 and the Hi-side voltage detection terminal 15. Then, that effect is displayed on the output unit 24. Further, when the detection signal S <b> 2 is output from the Lo side voltage detection unit 22, the processing unit 23 has a connection failure in at least one of the Lo side current supply terminal 14 and the Lo side voltage detection terminal 16. A determination is made and a message to that effect is displayed on the output unit 24.

しかしながら、図1を用いて説明した四端子抵抗測定装置1の定電流源11の回路構成においては、Hi側電流供給端子13とLo側電流供給端子14が開放状態となったとき、定電流源11は定電流を流すことができなくなるため、電流バッファ41の出力電圧は、電流バッファ41の電源電圧付近まで上昇する。   However, in the circuit configuration of the constant current source 11 of the four-terminal resistance measuring apparatus 1 described with reference to FIG. 1, when the Hi side current supply terminal 13 and the Lo side current supply terminal 14 are in the open state, the constant current source 11 cannot pass a constant current, so the output voltage of the current buffer 41 rises to near the power supply voltage of the current buffer 41.

そこで、本発明は、上記課題を解決すること、すなわち、通常の測定状態ではない場合に発生してしまう開放電圧を抑制することができる、定電流発生回路、定電流発生装置、および定電流発生方法、並びに、抵抗測定装置、および、抵抗測定方法を提供することを目的とする。   Therefore, the present invention solves the above-described problem, that is, a constant current generating circuit, a constant current generating device, and a constant current generating capable of suppressing an open circuit voltage that is generated when the measurement state is not normal. It is an object to provide a method, a resistance measuring apparatus, and a resistance measuring method.

上記課題を解決するために、本発明の定電流発生回路の一側面は、演算増幅器の非反転入力端子に入力される基準電圧源の電圧値を変更する基準電圧変更手段と、電流出力手段の出力と演算増幅器の反転入力端子とを接続する第1の経路と、演算増幅器の非反転入力端子との接続を、基準抵抗の他端と第1の経路とで切り替える切り替え手段と、基準電圧変更手段、および、切り替え手段を制御する制御手段とを備え、制御手段は、電流出力手段が通常動作状態である場合、基準電圧変更手段を制御して、基準抵抗の電圧値を電流出力手段が一定の直流定電流を出力するための所定の電圧値とし、切り替え手段を制御して、演算増幅器の非反転入力端子との接続を、基準抵抗の他端とするとともに、制御手段は、電流出力手段が通常動作状態ではない場合、基準電圧変更手段を制御して、基準抵抗の電圧値を0Vとし、切り替え手段を制御して、演算増幅器の非反転入力端子との接続を、第1の経路とすることを特徴とする。   In order to solve the above-described problem, one aspect of the constant current generating circuit of the present invention includes a reference voltage changing unit that changes a voltage value of a reference voltage source input to a non-inverting input terminal of an operational amplifier, and a current output unit. A switching means for switching the connection between the first path connecting the output and the inverting input terminal of the operational amplifier and the non-inverting input terminal of the operational amplifier between the other end of the reference resistor and the first path, and a reference voltage change And a control means for controlling the switching means. When the current output means is in a normal operation state, the control means controls the reference voltage changing means so that the voltage value of the reference resistance is constant by the current output means. A predetermined voltage value for outputting a DC constant current of the control amplifier, the switching means is controlled to connect the non-inverting input terminal of the operational amplifier to the other end of the reference resistor, and the control means is a current output means Is in normal operation If not, the reference voltage changing means is controlled to set the voltage value of the reference resistor to 0 V, and the switching means is controlled to connect the non-inverting input terminal of the operational amplifier as the first path. And

本発明の定電流発生回路の他の側面は、電流出力手段が出力する電流値を検出する検出手段をさらに備え、制御手段は、検出手段により、電流出力手段が一定の直流定電流を出力していることが検出された場合、電流出力手段が通常動作状態であると判断するとともに、検出手段により、電流出力手段が一定の直流定電流を出力していないことが検出された場合、電流出力手段が通常動作状態ではないと判断することを特徴とする。   Another aspect of the constant current generating circuit of the present invention further includes detection means for detecting a current value output by the current output means, and the control means outputs a constant DC constant current by the detection means. If the current output means detects that the current output means does not output a constant DC constant current, the current output means determines that the current output means is in a normal operation state. It is determined that the means is not in a normal operation state.

本発明の定電流発生回路の他の側面は、制御手段は、ユーザにより動作開始が指令されている場合、電流出力手段が通常動作状態であると判断するとともに、ユーザにより動作開始が指令されていない場合、電流出力手段が通常動作状態ではないと判断することを特徴とする。   In another aspect of the constant current generation circuit of the present invention, the control means determines that the current output means is in a normal operation state when the user is instructed to start the operation, and the user is instructed to start the operation. If not, it is determined that the current output means is not in a normal operation state.

本発明の定電流発生回路の他の側面は、電流出力手段の出力と基準抵抗の他端とを、スイッチを介して接続する第2の経路をさらに備え、制御手段は、電流出力手段が通常動作状態である場合、スイッチを開放状態とし、制御手段は、電流出力手段が通常動作状態ではない場合、スイッチを接続状態とすることを特徴とする。   Another aspect of the constant current generating circuit of the present invention further includes a second path for connecting the output of the current output means and the other end of the reference resistor via a switch. When in the operating state, the switch is opened, and when the current output means is not in the normal operating state, the control means places the switch in the connected state.

本発明の定電流発生回路の他の側面は、第2の経路上であって、第1の経路上ではなく、かつ、基準抵抗と基準電位との間ではない位置に、電流出力手段のオフセット電圧値と基準抵抗の抵抗値とで決まる所定の定数の抵抗をさらに備えることを特徴とする。   Another aspect of the constant current generating circuit of the present invention is that the offset of the current output means is located on the second path, not on the first path and not between the reference resistance and the reference potential. A resistor having a predetermined constant determined by the voltage value and the resistance value of the reference resistor is further provided.

本発明の定電流発生回路の他の側面は、基準電圧変更手段は、D/A変換器を用いて基準電圧源の電圧値を変更することを特徴とする。   Another aspect of the constant current generating circuit of the present invention is characterized in that the reference voltage changing means changes the voltage value of the reference voltage source using a D / A converter.

本発明の定電流発生回路の他の側面は、基準電圧変更手段は、演算増幅器の非反転入力端子との接続を、基準電位と所定の電圧を印加する電圧源とで切り替えるスイッチであり、制御手段は、電流出力手段が通常動作状態である場合、スイッチを制御して、演算増幅器の非反転入力端子と電圧源とを接続し、制御手段は、電流出力手段が通常動作状態ではない場合、スイッチを制御して、演算増幅器の非反転入力端子と基準電位とを接続することを特徴とする。   In another aspect of the constant current generating circuit of the present invention, the reference voltage changing means is a switch for switching the connection with the non-inverting input terminal of the operational amplifier between a reference potential and a voltage source that applies a predetermined voltage, When the current output means is in a normal operation state, the means controls the switch to connect the non-inverting input terminal of the operational amplifier and the voltage source, and when the current output means is not in the normal operation state, the control means The switch is controlled to connect the non-inverting input terminal of the operational amplifier and the reference potential.

本発明の定電流発生回路の他の側面は、切り替え手段は、演算増幅器の非反転入力端子との基準抵抗の他端との接続と切断を切り替える第1のスイッチと、演算増幅器の非反転入力端子との第1の経路との接続と切断を切り替える第2のスイッチとを含んで構成され、制御手段は、電流出力手段が通常動作状態である場合、第1のスイッチを制御して、演算増幅器の非反転入力端子との基準抵抗の他端とを接続するとともに、第2のスイッチを制御して、演算増幅器の非反転入力端子と第1の経路との接続を切断し、電流出力手段が通常動作状態ではない場合、第1のスイッチを制御して、演算増幅器の非反転入力端子との基準抵抗の他端との接続を切断するとともに、第2のスイッチを制御して、演算増幅器の非反転入力端子と第1の経路とを接続することを特徴とする。   According to another aspect of the constant current generating circuit of the present invention, the switching means includes a first switch that switches connection and disconnection between the other end of the reference resistor and a non-inverting input terminal of the operational amplifier, and a non-inverting input of the operational amplifier. And a second switch that switches between connection and disconnection of the first path with the terminal, and the control means controls the first switch when the current output means is in a normal operation state, and calculates The other end of the reference resistor is connected to the non-inverting input terminal of the amplifier, and the second switch is controlled to disconnect the non-inverting input terminal of the operational amplifier from the first path. Is not in the normal operation state, the first switch is controlled to disconnect the other end of the reference resistor from the non-inverting input terminal of the operational amplifier, and the second switch is controlled to control the operational amplifier. Non-inverting input terminal and first path Wherein the connecting.

本発明の定電流発生装置の一側面は、演算増幅器の非反転入力端子に入力される基準電圧源の電圧値を変更する基準電圧変更手段と、電流出力手段の出力と演算増幅器の反転入力端子とを接続する第1の経路と、演算増幅器の非反転入力端子との接続を、基準抵抗の他端と第1の経路とで切り替える切り替え手段と、基準電圧変更手段、および、切り替え手段を制御する制御手段とを備え、制御手段は、電流出力手段が通常動作状態である場合、基準電圧変更手段を制御して、基準抵抗の電圧値を電流出力手段が一定の直流定電流を出力するための所定の電圧値とし、切り替え手段を制御して、演算増幅器の非反転入力端子との接続を、基準抵抗の他端とするとともに、制御手段は、電流出力手段が通常動作状態ではない場合、基準電圧変更手段を制御して、基準抵抗の電圧値を0Vとし、切り替え手段を制御して、演算増幅器の非反転入力端子との接続を、第1の経路とすることを特徴とする。   One aspect of the constant current generator of the present invention is a reference voltage changing means for changing a voltage value of a reference voltage source input to a non-inverting input terminal of an operational amplifier, an output of the current output means, and an inverting input terminal of the operational amplifier. The switching means, the reference voltage changing means, and the switching means for switching the connection between the first path for connecting the non-inverting input terminal of the operational amplifier and the other end of the reference resistor and the first path are controlled. Control means for controlling the reference voltage changing means when the current output means is in a normal operation state, so that the current output means outputs a constant DC constant current with the voltage value of the reference resistance. When the switching means is controlled, the connection with the non-inverting input terminal of the operational amplifier is the other end of the reference resistor, and the control means, when the current output means is not in a normal operation state, Reference voltage change By controlling the stage, the voltage value of the reference resistor and 0V, by controlling the switching means, the connection between the non-inverting input terminal of the operational amplifier, characterized in that the first path.

本発明の定電流発生装置の他の側面は、電流出力手段が出力する電流値を検出する検出手段をさらに備え、制御手段は、検出手段により、電流出力手段が一定の直流定電流を出力していることが検出された場合、電流出力手段が通常動作状態であると判断するとともに、検出手段により、電流出力手段が一定の直流定電流を出力していないことが検出された場合、電流出力手段が通常動作状態ではないと判断することを特徴とする。   Another aspect of the constant current generator of the present invention further includes detection means for detecting a current value output by the current output means, and the control means outputs a constant DC constant current by the detection means. If the current output means detects that the current output means does not output a constant DC constant current, the current output means determines that the current output means is in a normal operation state. It is determined that the means is not in a normal operation state.

本発明の定電流発生装置の他の側面は、制御手段は、ユーザにより動作開始が指令されている場合、電流出力手段が通常動作状態であると判断するとともに、ユーザにより動作開始が指令されていない場合、電流出力手段が通常動作状態ではないと判断することを特徴とする。   In another aspect of the constant current generator of the present invention, the control means determines that the current output means is in a normal operation state when the user is instructed to start the operation, and the user is instructed to start the operation. If not, it is determined that the current output means is not in a normal operation state.

本発明の定電流発生装置の他の側面は、電流出力手段の出力と基準抵抗の他端とを、スイッチを介して接続する第2の経路をさらに備え、制御手段は、電流出力手段が通常動作状態である場合、スイッチを開放状態とし、制御手段は、電流出力手段が通常動作状態ではない場合、スイッチを接続状態とすることを特徴とする。   Another aspect of the constant current generating device of the present invention further includes a second path that connects the output of the current output means and the other end of the reference resistor via a switch. When in the operating state, the switch is opened, and when the current output means is not in the normal operating state, the control means places the switch in the connected state.

本発明の定電流発生装置の他の側面は、第2の経路上であって、第1の経路上ではなく、かつ、基準抵抗とグランドとの間ではない位置に、電流出力手段のオフセット電圧値と基準抵抗の抵抗値とで決まる所定の定数の抵抗をさらに備えることを特徴とする。   Another aspect of the constant current generating device of the present invention is the offset voltage of the current output means on the second path, not on the first path and not between the reference resistor and the ground. A resistor having a predetermined constant determined by the value and the resistance value of the reference resistor is further provided.

本発明の定電流発生方法は、演算増幅器の非反転入力端子に入力される基準電圧源の電圧値は変更可能であり、電流出力手段の出力と演算増幅器の反転入力端子とが接続可能であり、演算増幅器の非反転入力端子との接続が、基準抵抗の他端と第1の経路とで切り替え可能であるとともに、電流出力手段が通常動作状態である場合、基準抵抗の電圧値を電流出力手段が一定の直流定電流を出力するための所定の電圧値とし、演算増幅器の非反転入力端子を、基準抵抗の他端と接続し、電流出力手段が通常動作状態ではない場合、基準抵抗の電圧値を0Vとし、演算増幅器の非反転入力端子を第1の経路を介して電流出力手段の出力と接続することを特徴とする。   In the constant current generation method of the present invention, the voltage value of the reference voltage source input to the non-inverting input terminal of the operational amplifier can be changed, and the output of the current output means and the inverting input terminal of the operational amplifier can be connected. The connection of the operational amplifier with the non-inverting input terminal can be switched between the other end of the reference resistor and the first path, and when the current output means is in a normal operation state, the voltage value of the reference resistor is output as a current. When the means has a predetermined voltage value for outputting a constant DC constant current, the non-inverting input terminal of the operational amplifier is connected to the other end of the reference resistor, and when the current output means is not in the normal operation state, The voltage value is set to 0 V, and the non-inverting input terminal of the operational amplifier is connected to the output of the current output means through the first path.

本発明の抵抗測定装置の一側面は、定電流発生手段は、演算増幅器の非反転入力端子に入力される基準電圧源の電圧値を変更する基準電圧変更手段と、電流出力手段の出力と演算増幅器の反転入力端子とを接続する第1の経路と、演算増幅器の非反転入力端子との接続を、基準抵抗の他端と第1の経路とで切り替える切り替え手段と、基準電圧変更手段、および、切り替え手段を制御する制御手段とを備え、制御手段は、電流出力手段が通常動作状態である場合、基準電圧変更手段を制御して、基準抵抗の電圧値を電流出力手段が一定の直流定電流を出力するための所定の電圧値とし、切り替え手段を制御して、演算増幅器の非反転入力端子との接続を、基準抵抗の他端とするとともに、制御手段は、電流出力手段が通常動作状態ではない場合、基準電圧変更手段を制御して、基準抵抗の電圧値を0Vとし、切り替え手段を制御して、演算増幅器の非反転入力端子との接続を、第1の経路とすることを特徴とする。   One aspect of the resistance measuring apparatus of the present invention is that the constant current generating means includes a reference voltage changing means for changing a voltage value of a reference voltage source input to a non-inverting input terminal of the operational amplifier, an output of the current output means, and an arithmetic operation. A switching means for switching the connection between the first path connecting the inverting input terminal of the amplifier and the non-inverting input terminal of the operational amplifier between the other end of the reference resistor and the first path; a reference voltage changing means; Control means for controlling the switching means, and when the current output means is in a normal operation state, the control means controls the reference voltage changing means so that the voltage value of the reference resistance is constant DC constant by the current output means. A predetermined voltage value for outputting current is set, the switching means is controlled, and the connection with the non-inverting input terminal of the operational amplifier is used as the other end of the reference resistor. When not in a state Controls the reference voltage changing means, the voltage value of the reference resistor and 0V, by controlling the switching means, the connection between the non-inverting input terminal of the operational amplifier, characterized in that the first path.

本発明の抵抗測定装置の他の側面は、定電流発生手段は、電流出力手段が出力する電流値を検出する検出手段をさらに備え、制御手段は、検出手段により、電流出力手段が一定の直流定電流を出力していることが検出された場合、電流出力手段が通常動作状態であると判断するとともに、検出手段により、電流出力手段が一定の直流定電流を出力していないことが検出された場合、電流出力手段が通常動作状態ではないと判断することを特徴とする。   In another aspect of the resistance measuring apparatus of the present invention, the constant current generating means further includes a detecting means for detecting a current value output from the current output means, and the control means is configured to detect a direct current with a constant current output means. When it is detected that a constant current is being output, it is determined that the current output means is in a normal operation state, and the detection means detects that the current output means is not outputting a constant DC constant current. In this case, it is determined that the current output means is not in a normal operation state.

本発明の抵抗測定装置の他の側面は、定電流発生手段は、抵抗値測定手段により測定された被測定抵抗体の両端の電圧値を取得する取得手段をさらに備え、制御手段は、取得手段により被測定抵抗体の両端の電圧値に基づいて、電流出力手段が通常動作状態であるか否か判断することを特徴とする。   In another aspect of the resistance measuring apparatus of the present invention, the constant current generating unit further includes an acquiring unit that acquires a voltage value at both ends of the measured resistor measured by the resistance value measuring unit, and the control unit includes the acquiring unit. Based on the voltage value across the resistor to be measured, it is determined whether or not the current output means is in a normal operation state.

本発明の抵抗測定装置の他の側面は、被測定抵抗体の両端に測定端子が正しく接続されているか否かを検出する検出手段をさらに備え、定電流発生手段は、制御手段は、検出手段により被測定抵抗体の両端に測定端子が正しく接続されていることが検出された場合、電流出力手段が通常動作状態であると判断するとともに、検出手段により被測定抵抗体の両端に測定端子が正しく接続されていないことが検出された場合、電流出力手段が通常動作状態ではないと判断することを特徴とする。   Another aspect of the resistance measuring apparatus according to the present invention further includes detection means for detecting whether or not the measurement terminals are correctly connected to both ends of the resistor to be measured, and the constant current generation means, the control means, and the detection means When it is detected that the measurement terminals are correctly connected to both ends of the resistor to be measured, it is determined that the current output means is in a normal operation state, and the measurement terminals are connected to both ends of the resistor to be measured by the detection means. When it is detected that the connection is not correct, it is determined that the current output means is not in a normal operation state.

本発明の抵抗測定装置の他の側面は、制御手段は、ユーザにより動作開始が指令されている場合、電流出力手段が通常動作状態であると判断するとともに、ユーザにより動作開始が指令されていない場合、電流出力手段が通常動作状態であると判断することを特徴とする。   In another aspect of the resistance measuring device of the present invention, the control means determines that the current output means is in a normal operation state when the operation start is instructed by the user, and the operation start is not instructed by the user. In this case, the current output means is determined to be in a normal operation state.

本発明の抵抗測定装置の他の側面は、定電流発生手段は、電流出力手段の出力と基準抵抗の他端とを、スイッチを介して接続する第2の経路をさらに備え、制御手段は、電流出力手段が通常動作状態である場合、スイッチを開放状態とし、制御手段は、電流出力手段が通常動作状態ではない場合、スイッチを接続状態とすることを特徴とする。   In another aspect of the resistance measuring apparatus of the present invention, the constant current generating means further includes a second path that connects the output of the current output means and the other end of the reference resistor via a switch, and the control means includes: When the current output means is in a normal operation state, the switch is opened. When the current output means is not in a normal operation state, the control means places the switch in a connected state.

本発明の抵抗測定装置の他の側面は、定電流発生手段は、第2の経路上であって、第1の経路上ではなく、かつ、基準抵抗とグランドとの間ではない位置に、電流出力手段のオフセット電圧値と基準抵抗の抵抗値とで決まる所定の定数の抵抗をさらに備えることを特徴とする。   In another aspect of the resistance measuring device of the present invention, the constant current generating means is located on the second path, not on the first path, and at a position not between the reference resistance and the ground. A resistor having a predetermined constant determined by the offset voltage value of the output means and the resistance value of the reference resistor is further provided.

本発明の抵抗測定方法は、演算増幅器の非反転入力端子に入力される基準電圧源の電圧値は変更可能であり、電流出力手段の出力と演算増幅器の反転入力端子とが接続可能であり、演算増幅器の非反転入力端子との接続が、基準抵抗の他端と第1の経路とで切り替え可能であるとともに、電流出力手段が通常動作状態である場合、基準抵抗の電圧値を電流出力手段が一定の直流定電流を出力するための所定の電圧値とし、演算増幅器の非反転入力端子を、基準抵抗の他端と接続し、電流出力手段が通常動作状態ではない場合、基準抵抗の電圧値を0Vとし、演算増幅器の非反転入力端子を第1の経路を介して電流出力手段の出力と接続することを特徴とする。   In the resistance measurement method of the present invention, the voltage value of the reference voltage source input to the non-inverting input terminal of the operational amplifier can be changed, and the output of the current output means and the inverting input terminal of the operational amplifier can be connected, When the connection with the non-inverting input terminal of the operational amplifier can be switched between the other end of the reference resistor and the first path, and the current output means is in a normal operation state, the voltage value of the reference resistor is set as the current output means. Is a predetermined voltage value for outputting a constant DC constant current, the non-inverting input terminal of the operational amplifier is connected to the other end of the reference resistor, and the current output means is not in a normal operation state, the voltage of the reference resistor The value is 0 V, and the non-inverting input terminal of the operational amplifier is connected to the output of the current output means through the first path.

本発明によれば、通常の測定状態ではない場合に発生してしまう電流の出力端子間の開放電圧を抑制することができる。   According to the present invention, it is possible to suppress an open voltage between output terminals of a current that occurs when the measurement state is not normal.

従来の四端子抵抗測定装置について説明するための図である。It is a figure for demonstrating the conventional four terminal resistance measuring apparatus. 四端子抵抗測定装置51について説明するための図である。It is a figure for demonstrating the four terminal resistance measuring apparatus 51. FIG. 定電流源61の動作について説明するための図である。6 is a diagram for explaining the operation of a constant current source 61. FIG. 四端子抵抗測定装置78について説明するための図である。It is a figure for demonstrating the four terminal resistance measuring apparatus 78. FIG. 定電流源81の動作について説明するための図である。6 is a diagram for explaining the operation of a constant current source 81. FIG. スイッチ制御処理1について説明するためのフローチャートである。5 is a flowchart for explaining switch control processing 1; 定電流源81において過負荷が発生する場合について説明するための図である。It is a figure for demonstrating the case where overload generate | occur | produces in the constant current source 81. FIG. 四端子抵抗測定装置101について説明するための図である。It is a figure for demonstrating the four terminal resistance measuring apparatus 101. FIG. 定電流源111の動作について説明するための図である。It is a figure for demonstrating operation | movement of the constant current source 111. FIG. 四端子抵抗測定装置141について説明するための図である。It is a figure for demonstrating the four terminal resistance measuring apparatus 141. FIG. 定電流源151の動作について説明するための図である。FIG. 5 is a diagram for explaining the operation of a constant current source 151. スイッチ制御処理2について説明するためのフローチャートである。6 is a flowchart for explaining switch control processing 2; 四端子抵抗測定装置181について説明するための図である。It is a figure for demonstrating the four terminal resistance measuring apparatus 181. FIG. 定電流源191の動作について説明するための図である。FIG. 6 is a diagram for explaining the operation of a constant current source 191. スイッチ制御処理3について説明するためのフローチャートである。10 is a flowchart for explaining switch control processing 3;

以下、本発明の一実施の形態の四端子抵抗測定装置について、図2〜図15を参照しながら説明する。   Hereinafter, a four-terminal resistance measuring device according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.

図2を参照して、四端子抵抗測定装置51について説明する。   The four-terminal resistance measuring device 51 will be described with reference to FIG.

なお、図1と対応する部分は、同一の番号とする。   The parts corresponding to those in FIG. 1 have the same numbers.

図2の四端子抵抗測定装置51は、定電流源11に代わって、定電流源61が備えられ、新たに、操作入力部62および装置制御部63が備えられている以外は、図1を用いて説明した四端子抵抗測定装置1と同様の構成を有するものである。操作入力部62は、例えば、スイッチ、レバー、タッチパネル等の入力デバイスにより構成され、例えば、測定開始および測定終了などの、ユーザからの操作入力を受け、ユーザの操作入力を示す情報を、装置制御部63に供給する。装置制御部63は、操作入力部62から供給されたユーザの操作入力を示す情報の入力を受け、四端子抵抗測定装置51各部の動作を制御する。   The four-terminal resistance measuring device 51 of FIG. 2 is provided with a constant current source 61 instead of the constant current source 11, except that an operation input unit 62 and a device control unit 63 are newly provided. It has the same configuration as the four-terminal resistance measuring device 1 described above. The operation input unit 62 includes input devices such as a switch, a lever, and a touch panel, for example. The operation input unit 62 receives operation inputs from the user such as measurement start and measurement end, and controls information indicating the user's operation input. To the unit 63. The device control unit 63 receives input of information indicating the user's operation input supplied from the operation input unit 62 and controls the operation of each unit of the four-terminal resistance measurement device 51.

定電流源61は、電流バッファ41に代わって、電流バッファ41と同様の機能を有して電流をドライブすることが可能な電流出力部71が設けられ、新たに、スイッチ72、およびスイッチ73、状態検出部74、並びに、制御部75が設けられている。そして、新たに設けられたスイッチ73を介して電流出力部71の出力端子と抵抗43とが接続可能な経路Aが設けられ、スイッチ72は、電流出力部71の非反転入力端子を、グランド(基準電位)、または、定電圧源42のいずれかと接続することにより、非反転入力端子に供給される電圧値、すなわち、電流出力部71が電流を出力するための基準電圧値を変更する。定電流源61は、上述した部分以外は、図1を用いて説明した定電流源11と同様の構成を有するものである。   The constant current source 61 is provided with a current output unit 71 having a function similar to that of the current buffer 41 and capable of driving a current instead of the current buffer 41, and a switch 72, a switch 73, A state detection unit 74 and a control unit 75 are provided. A path A is provided through which the output terminal of the current output unit 71 and the resistor 43 can be connected via the newly provided switch 73. The switch 72 connects the non-inverting input terminal of the current output unit 71 to the ground ( By connecting to either the reference potential) or the constant voltage source 42, the voltage value supplied to the non-inverting input terminal, that is, the reference voltage value for the current output unit 71 to output a current is changed. The constant current source 61 has the same configuration as the constant current source 11 described with reference to FIG.

電流出力部71は、後述する制御部75の制御に基づいて、その動作を開始または終了するものであり、少なくとも1つの演算増幅回路を含んで構成され、所定の電流値の電流を出力可能なものであり、例えば、複数の素子によって構成されている回路であってもよいし、電流ドライバICなどを用いてもよい。状態検出部74は、四端子抵抗測定装置51が通常の測定状態であるか否かを検出し、検出結果を制御部75に供給する。状態検出部74は、例えば、電流出力部71の出力電流値を監視することにより、電流出力部71が動作中であるか否か、および、Hi側電流供給端子13とLo側電流供給端子14が開放状態であるか否かを検出することができる。   The current output unit 71 starts or ends its operation based on the control of the control unit 75 to be described later, and includes at least one operational amplifier circuit and can output a current having a predetermined current value. For example, a circuit composed of a plurality of elements may be used, or a current driver IC may be used. The state detection unit 74 detects whether or not the four-terminal resistance measurement device 51 is in a normal measurement state, and supplies the detection result to the control unit 75. The state detection unit 74 monitors, for example, the output current value of the current output unit 71 to determine whether or not the current output unit 71 is in operation, and the Hi-side current supply terminal 13 and the Lo-side current supply terminal 14. Whether or not is in an open state can be detected.

すなわち、Hi側電流供給端子13とLo側電流供給端子14が被測定抵抗体2を介して電気的に接続されているとき、電流出力部71は、非反転入力端子に供給される電圧値、すなわち、定電圧源42が出力する直流定電圧の電圧値を抵抗43の抵抗値で除算して得られる電流値の測定電流を供給するのに対して、Hi側電流供給端子13とLo側電流供給端子14が開放状態であるとき、電流出力部71は微量の電流のみを出力(この出力についての詳細は後述する)する。また、操作入力部62を用いてユーザが測定開始を指令し、装置制御部63が四端子抵抗測定装置51各部を動作させていない場合、電流出力部71は微量の電流のみを出力(この出力についての詳細は後述する)する。したがって、状態検出部74は、例えば、電流出力部71の出力電流値を監視することにより、電流出力部71が動作中であるか否か、または、Hi側電流供給端子13とLo側電流供給端子14が開放状態であるか否かを検出することができる。   That is, when the Hi-side current supply terminal 13 and the Lo-side current supply terminal 14 are electrically connected via the resistor under measurement 2, the current output unit 71 has a voltage value supplied to the non-inverting input terminal, That is, while the measured current of the current value obtained by dividing the voltage value of the DC constant voltage output from the constant voltage source 42 by the resistance value of the resistor 43 is supplied, the Hi side current supply terminal 13 and the Lo side current are supplied. When the supply terminal 14 is in an open state, the current output unit 71 outputs only a small amount of current (details of this output will be described later). In addition, when the user instructs the start of measurement using the operation input unit 62 and the device control unit 63 does not operate each unit of the four-terminal resistance measurement device 51, the current output unit 71 outputs only a small amount of current (this output) Will be described later in detail). Therefore, the state detection unit 74 monitors, for example, the output current value of the current output unit 71 to determine whether or not the current output unit 71 is operating, or whether the Hi-side current supply terminal 13 and the Lo-side current supply. Whether or not the terminal 14 is in an open state can be detected.

また、状態検出部74は、例えば、電圧検出部17、Hi側電圧検出部20,または、Lo側電圧検出部22により検出される電圧値に基づいて、Hi側電流供給端子13とLo側電流供給端子14が開放状態であるか否か、または、被測定抵抗体2が正しく接続されている状態であるか否かを検出することも可能である。   In addition, the state detection unit 74 is configured to detect the Hi side current supply terminal 13 and the Lo side current based on the voltage value detected by the voltage detection unit 17, the Hi side voltage detection unit 20, or the Lo side voltage detection unit 22, for example. It is also possible to detect whether or not the supply terminal 14 is in an open state or whether or not the resistor under test 2 is correctly connected.

制御部75は、装置制御部63から動作開始を指令された場合、電流出力部71などの各部の動作を開始させるとともに、装置制御部63から動作終了を指令された場合、電流出力部71などの各部の動作を終了させる。また、制御部75は、状態検出部74から、定電流源61が外部の回路に定電流を出力している状態であるか否かの検出結果の供給を受け、検出結果に基づいて、スイッチ72およびスイッチ73を制御する。   When the operation start is instructed from the device control unit 63, the control unit 75 starts the operation of each unit such as the current output unit 71, and when the operation end is instructed from the device control unit 63, the current output unit 71 or the like. The operation of each part of is terminated. In addition, the control unit 75 receives supply of a detection result indicating whether or not the constant current source 61 is outputting a constant current to an external circuit from the state detection unit 74, and switches the switch based on the detection result. 72 and the switch 73 are controlled.

すなわち、図2の定電流源61においては、状態検出部74から、四端子抵抗測定装置51が通常の測定状態であるとの検出結果の供給を受けた制御部75の制御に基づいて、スイッチ72により定電圧源42と電流出力部71の非反転入力端子とが接続され、スイッチ73が開放状態となって、出力端子44と電気的に接続されているHi側電流供給端子13、および、出力端子45と電気的に接続されているLo側電流供給端子14が、それぞれ被測定抵抗体2と接続された状態において、図1を用いて説明した定電流源11と同様に、基準抵抗となる抵抗43における電圧降下が定電圧源42の電圧値V4と等しくなるように、電流出力部71の制御により、一対の出力端子44および出力端子45間に接続された外部回路に対して、一定の測定電流(直流定電流)Imを供給可能となっている。   That is, in the constant current source 61 of FIG. 2, the switch based on the control of the control unit 75 that has received the detection result from the state detection unit 74 that the four-terminal resistance measurement device 51 is in the normal measurement state. 72, the constant voltage source 42 and the non-inverting input terminal of the current output unit 71 are connected, the switch 73 is opened, and the Hi side current supply terminal 13 electrically connected to the output terminal 44; In the state where the Lo-side current supply terminal 14 electrically connected to the output terminal 45 is connected to the resistor 2 to be measured, similarly to the constant current source 11 described with reference to FIG. With respect to the external circuit connected between the pair of output terminals 44 and 45 by the control of the current output unit 71 so that the voltage drop in the resistor 43 becomes equal to the voltage value V4 of the constant voltage source 42. Constant measurement current which can be supplied with (DC constant current) Im.

しかしながら、図2に示される接続状態のままであれば、図1を用いて説明した定電流源11における場合と同様に、Hi側電流供給端子13とLo側電流供給端子14が開放状態となったとき、Hi側電流供給端子13−Lo側電流供給端子14間に、電流出力部71の電源電圧程度の電圧が発生してしまう。   However, if the connection state shown in FIG. 2 is maintained, the Hi-side current supply terminal 13 and the Lo-side current supply terminal 14 are opened as in the case of the constant current source 11 described with reference to FIG. Then, a voltage about the power supply voltage of the current output unit 71 is generated between the Hi-side current supply terminal 13 and the Lo-side current supply terminal 14.

図3を参照して、Hi側電流供給端子13とLo側電流供給端子14が開放状態であるときのHi側電流供給端子13−Lo側電流供給端子14間の開放電圧を抑制するための回路構成について説明する。   Referring to FIG. 3, a circuit for suppressing an open voltage between Hi-side current supply terminal 13 and Lo-side current supply terminal 14 when Hi-side current supply terminal 13 and Lo-side current supply terminal 14 are in an open state. The configuration will be described.

すなわち、図3に示されるように、四端子抵抗測定装置51の定電流源61においては、状態検出部74により、四端子抵抗測定装置51が通常の測定状態ではないことが検出された場合、制御部75の制御により、スイッチ72が切り換えられて、電流出力部71の非反転入力端子がグランドと接続されることにより、非反転入力端子に供給される基準電圧値が0となされるとともに、制御部75の制御により、スイッチ73が接続状態とされて、電流出力部71からの出力電流がフィードバックされる、すなわち、電流出力部71からの出力電流Im´が、抵抗43を介してグランドに流れる。   That is, as shown in FIG. 3, in the constant current source 61 of the four-terminal resistance measurement device 51, when the state detection unit 74 detects that the four-terminal resistance measurement device 51 is not in a normal measurement state, Under the control of the control unit 75, the switch 72 is switched and the non-inverting input terminal of the current output unit 71 is connected to the ground, whereby the reference voltage value supplied to the non-inverting input terminal is set to 0, and Under the control of the control unit 75, the switch 73 is connected and the output current from the current output unit 71 is fed back, that is, the output current Im ′ from the current output unit 71 is grounded through the resistor 43. Flowing.

図2および図3を用いて説明したように、定電流源61は、四端子抵抗測定装置51が通常の測定状態であるか否かに基づいて、定電流源61内の回路の接続状態を切り替えることができるようにしたので、Hi側電流供給端子13とLo側電流供給端子14が開放状態であるときなどの通常測定状態ではない場合に、Hi側電流供給端子13−Lo側電流供給端子14間に、電流出力部71の電源電圧程度の電圧が発生することを抑制するとともに、一対の出力端子44および出力端子45間に接続された外部回路に対しての電流を停止することが可能となる。   As described with reference to FIGS. 2 and 3, the constant current source 61 determines the connection state of the circuit in the constant current source 61 based on whether or not the four-terminal resistance measurement device 51 is in a normal measurement state. Since the switching is made possible, the Hi-side current supply terminal 13 and the Lo-side current supply terminal 13 when the Hi-side current supply terminal 13 and the Lo-side current supply terminal 14 are not in a normal measurement state such as when they are open. 14, it is possible to suppress the generation of a voltage equivalent to the power supply voltage of the current output unit 71 and to stop the current to the external circuit connected between the pair of output terminals 44 and 45. It becomes.

しかしながら、図2および図3を用いて説明した四端子抵抗測定装置51の定電流源61においては、通常測定状態ではない場合に、電流出力部71のオフセット電圧値、基準抵抗となる抵抗43の抵抗値、および、スイッチ73が接続状態にあるときの抵抗値との関係によって、Hi側電流供給端子13−Lo側電流供給端子14間に電圧が発生する。   However, in the constant current source 61 of the four-terminal resistance measuring device 51 described with reference to FIGS. 2 and 3, the offset voltage value of the current output unit 71 and the resistance 43 serving as a reference resistance when the normal measurement state is not set. A voltage is generated between the Hi-side current supply terminal 13 and the Lo-side current supply terminal 14 depending on the relationship between the resistance value and the resistance value when the switch 73 is in the connected state.

例えば、図3に示すように、電流出力部71のオフセット電圧値が100μV、抵抗43の抵抗値が100mΩ、スイッチ73が接続状態にあるときの抵抗値が100Ωであった場合、状態検出部74から、四端子抵抗測定装置51が通常の測定状態ではないとの検出結果の供給を受けた制御部75の制御に基づいて、スイッチ72が切り換えられて、電流出力部71の非反転入力端子がグランドと接続され、スイッチ73が接続状態とされて、電流出力部71からの出力電流がフィードバックされた状態においても、抵抗43の両端電圧が100μVになるように電流が僅かに流れる。すなわち、接続状態であるスイッチ73に流れる電流Im’’の電流値は1mAとなり、スイッチ73間には、100mVの電圧降下が生じる。これにより、Hi側電流供給端子13−Lo側電流供給端子14間には、100mVの電圧が生じる。   For example, as shown in FIG. 3, when the offset voltage value of the current output unit 71 is 100 μV, the resistance value of the resistor 43 is 100 mΩ, and the resistance value when the switch 73 is in the connected state is 100Ω, the state detection unit 74 The switch 72 is switched based on the control of the control unit 75 that has received the detection result that the four-terminal resistance measurement device 51 is not in the normal measurement state, and the non-inverting input terminal of the current output unit 71 is switched. Even when the switch 73 is connected to the ground and the switch 73 is connected and the output current from the current output unit 71 is fed back, the current slightly flows so that the voltage across the resistor 43 becomes 100 μV. That is, the current Im ″ flowing through the switch 73 in the connected state is 1 mA, and a voltage drop of 100 mV occurs between the switches 73. As a result, a voltage of 100 mV is generated between the Hi-side current supply terminal 13 and the Lo-side current supply terminal 14.

この電圧は、電流出力部71のオフセット電圧が大きいほど、基準抵抗となる抵抗43の抵抗値が小さいほど、また、スイッチ73が接続状態にあるときの抵抗値が大きいほど大きくなる。また、例えば、スイッチ73の少なくともいずれか一方にスイッチ73を保護するための電流制限抵抗が設けられた場合にも、Hi側電流供給端子13−Lo側電流供給端子14間に発生する電圧は、さらに高くなってしまう。   This voltage increases as the offset voltage of the current output unit 71 increases, the resistance value of the resistor 43 serving as the reference resistance decreases, and the resistance value when the switch 73 is in the connected state increases. Further, for example, even when at least one of the switches 73 is provided with a current limiting resistor for protecting the switch 73, the voltage generated between the Hi-side current supply terminal 13 and the Lo-side current supply terminal 14 is It gets even higher.

次に、図4を参照して、通常測定状態ではない場合にHi側電流供給端子13−Lo側電流供給端子14間に発生する開放電圧を抑制することができる、四端子抵抗測定装置78について説明する。   Next, referring to FIG. 4, a four-terminal resistance measurement device 78 that can suppress an open voltage generated between the Hi-side current supply terminal 13 and the Lo-side current supply terminal 14 when not in the normal measurement state. explain.

図4の四端子抵抗測定装置78は、定電流源61に代わって、定電流源81が新たに設けられている以外は、図2を用いて説明した四端子抵抗測定装置51と同様の構成を有するものである。   The four-terminal resistance measuring device 78 in FIG. 4 has the same configuration as the four-terminal resistance measuring device 51 described with reference to FIG. 2 except that a constant current source 81 is newly provided in place of the constant current source 61. It is what has.

また、定電流源81は、電流出力部71の反転入力端子と抵抗43との間に、新たにスイッチ91が設けられ、電流出力部71の反転入力端子と電流出力部71の出力端子とを、新たに設けられたスイッチ92を介し、かつ、スイッチ73およびスイッチ91を介さずに接続可能な経路Bが新たに設けられ、制御部75に代わって、制御部93が設けられている以外は、図2を用いて説明した定電流源61と同様の構成を有するものである。スイッチ72は、電流出力部71に供給される基準電圧を変更する基準電圧変更部を構成し、スイッチ91およびスイッチ92は、電流出力部71の反転入力端子への入力を切り替える切り替え部を構成する。   In addition, the constant current source 81 is newly provided with a switch 91 between the inverting input terminal of the current output unit 71 and the resistor 43, and connects the inverting input terminal of the current output unit 71 and the output terminal of the current output unit 71. A path B that can be connected via the newly provided switch 92 and without using the switch 73 and the switch 91 is newly provided, and a control unit 93 is provided instead of the control unit 75. 2 has the same configuration as the constant current source 61 described with reference to FIG. The switch 72 configures a reference voltage changing unit that changes the reference voltage supplied to the current output unit 71, and the switch 91 and the switch 92 configure a switching unit that switches input to the inverting input terminal of the current output unit 71. .

制御部93は、状態検出部74の状態検出結果に基づいて、スイッチ72、スイッチ73、スイッチ91、および、スイッチ92を制御する。   The control unit 93 controls the switch 72, the switch 73, the switch 91, and the switch 92 based on the state detection result of the state detection unit 74.

すなわち、図4の定電流源81においては、状態検出部74から、四端子抵抗測定装置78が通常の測定状態であるとの検出結果の供給を受けた制御部93の制御に基づいて、スイッチ72により定電圧源42と電流出力部71の非反転入力端子とが接続され、スイッチ91により電流出力部71の反転入力端子と基準抵抗である抵抗43とが接続され、スイッチ73およびスイッチ92が開放状態であって、出力端子44と電気的に接続されているHi側電流供給端子13、および、出力端子45と電気的に接続されているLo側電流供給端子14が、それぞれ被測定抵抗体2と接続された状態において、図1を用いて説明した定電流源11と同様に、基準抵抗となる抵抗43における電圧降下が定電圧源42の電圧値V4と等しくなるように、電流出力部71の制御により、一対の出力端子44および出力端子45間に接続された外部回路に対して、一定の測定電流(直流定電流)Imを供給可能となっている。   That is, in the constant current source 81 of FIG. 4, the switch based on the control of the control unit 93 that has received the detection result from the state detection unit 74 that the four-terminal resistance measurement device 78 is in the normal measurement state. The constant voltage source 42 and the non-inverting input terminal of the current output unit 71 are connected by 72, the inverting input terminal of the current output unit 71 and the resistor 43, which is a reference resistor, are connected by the switch 91, and the switch 73 and the switch 92 are connected. The Hi-side current supply terminal 13 which is in an open state and is electrically connected to the output terminal 44 and the Lo-side current supply terminal 14 which is electrically connected to the output terminal 45 are respectively measured resistors. 2, the voltage drop in the resistor 43 serving as the reference resistor becomes equal to the voltage value V4 of the constant voltage source 42, as in the constant current source 11 described with reference to FIG. To the control of the current output unit 71 to the external circuit connected between the pair of output terminals 44 and output terminals 45, and can supply a constant measurement current (DC constant current) Im.

しかしながら、図4に示される接続状態においては、Hi側電流供給端子13とLo側電流供給端子14が開放状態であるとき、図1を用いて説明した定電流源11における場合と同様に、Hi側電流供給端子13−Lo側電流供給端子14間に電圧が発生してしまう。   However, in the connection state shown in FIG. 4, when the Hi-side current supply terminal 13 and the Lo-side current supply terminal 14 are in the open state, as in the case of the constant current source 11 described with reference to FIG. A voltage is generated between the side current supply terminal 13 and the Lo side current supply terminal 14.

次に、図5を参照して、四端子抵抗測定装置78が通常の測定状態ではないとき、図3を用いて説明したHi側電流供給端子13−Lo側電流供給端子14間の開放電圧を抑制することができる回路構成について説明する。   Next, referring to FIG. 5, when the four-terminal resistance measuring device 78 is not in a normal measurement state, the open-circuit voltage between the Hi-side current supply terminal 13 and the Lo-side current supply terminal 14 described with reference to FIG. A circuit configuration that can be suppressed will be described.

すなわち、図5に示されるように、四端子抵抗測定装置78の定電流源81においては、四端子抵抗測定装置78が通常の測定状態ではないことが状態検出部74により検出された場合、制御部93の制御により、スイッチ72が切り換えられて、電流出力部71の非反転入力端子がグランドと接続されることにより、電流出力部71の非反転入力端子の電圧値が0となるとともに、スイッチ91が開放されて、抵抗43と電流出力部71の反転入力端子との接続が切断されるとともに、スイッチ92が接続されるので、電流出力部71の反転入力端子は、スイッチ73を介さずに電流出力部71の出力の供給を受ける。すなわち、電流出力部71のフィードバックポイントが、図3を用いて説明した定電流源61における場合と異なる。また、定電流源81においては、スイッチ73が接続状態とされて、スイッチ73および抵抗43を介して、電流がグランドに流れるようになされる。   That is, as shown in FIG. 5, in the constant current source 81 of the four-terminal resistance measuring device 78, when the state detecting unit 74 detects that the four-terminal resistance measuring device 78 is not in the normal measurement state, the control is performed. Under the control of the unit 93, the switch 72 is switched and the non-inverting input terminal of the current output unit 71 is connected to the ground, so that the voltage value of the non-inverting input terminal of the current output unit 71 becomes zero and the switch 91 is opened, the connection between the resistor 43 and the inverting input terminal of the current output unit 71 is cut off, and the switch 92 is connected, so that the inverting input terminal of the current output unit 71 does not pass through the switch 73. The output of the current output unit 71 is supplied. That is, the feedback point of the current output unit 71 is different from that in the constant current source 61 described with reference to FIG. In the constant current source 81, the switch 73 is in a connected state so that current flows to the ground via the switch 73 and the resistor 43.

このような回路構成により、Hi側電流供給端子13−Lo側電流供給端子14間の開放電圧は、電流出力部71のオフセット電圧値とほぼ同程度の100μV程度に抑制される。   With such a circuit configuration, the open-circuit voltage between the Hi-side current supply terminal 13 and the Lo-side current supply terminal 14 is suppressed to about 100 μV, which is substantially the same as the offset voltage value of the current output unit 71.

なお、スイッチ91およびスイッチ92の機能を一つのスイッチで実現することも可能である。すなわち、電流出力部71の反転入力端子と接続されるものを、抵抗43と電流出力部71の出力(他のスイッチを介さない出力)とで切り替える切り替え部としてのスイッチを備え、Hi側電流供給端子13とLo側電流供給端子14が接続状態となったことが状態検出部74により検出された場合、制御部93は、スイッチを制御して、電流出力部71の反転入力端子を抵抗43と接続し、Hi側電流供給端子13とLo側電流供給端子14が切断状態となったことが状態検出部74により検出された場合、制御部93は、スイッチを制御して、電流出力部71の反転入力端子を電流出力部71の出力と接続する。   It should be noted that the functions of the switch 91 and the switch 92 can be realized by a single switch. That is, a switch serving as a switching unit that switches between the one connected to the inverting input terminal of the current output unit 71 and the output of the resistor 43 and the output of the current output unit 71 (an output that does not pass through another switch) is provided. When the state detection unit 74 detects that the terminal 13 and the Lo-side current supply terminal 14 are connected, the control unit 93 controls the switch so that the inverting input terminal of the current output unit 71 is connected to the resistor 43. When the state detection unit 74 detects that the Hi-side current supply terminal 13 and the Lo-side current supply terminal 14 have been disconnected, the control unit 93 controls the switch to control the current output unit 71. The inverting input terminal is connected to the output of the current output unit 71.

また、ここでは、スイッチ72によって、電流出力部71の非反転入力端子に入力される基準電圧値を、電圧値V4と0(グランドレベル)とで切り替えるものとして説明したが、D/A変換器を用いて、電流出力部71の非反転入力端子に入力される電圧値を可変としてもよい。すなわち、スイッチ72を用いることなく、D/A変換器を用いて、基準電圧変更部を構成するものとしてもよい。   Although the reference voltage value input to the non-inverting input terminal of the current output unit 71 is switched between the voltage value V4 and 0 (ground level) by the switch 72 here, the D / A converter The voltage value input to the non-inverting input terminal of the current output unit 71 may be made variable. That is, the reference voltage changing unit may be configured using a D / A converter without using the switch 72.

また、ここでは、定電圧源42は、基準抵抗43に対して、正電圧を印加するものとして図示されているが、定電圧源42は、基準抵抗33に対して、負電圧を印加するように切り替えることを可能としてもよい。その場合、グランドは、電流出力部71の非反転入力端子側となるため、定電圧源42および基準抵抗43の電流出力部71と接続されていない側の端子がグランドを介さずにそれぞれ接続されることは言うまでもない。   Here, the constant voltage source 42 is illustrated as applying a positive voltage to the reference resistor 43, but the constant voltage source 42 applies a negative voltage to the reference resistor 33. It may be possible to switch to In this case, since the ground is on the non-inverting input terminal side of the current output unit 71, the terminals of the constant voltage source 42 and the reference resistor 43 that are not connected to the current output unit 71 are connected without passing through the ground. Needless to say.

図5を用いて説明したように、定電流源81においては、各スイッチを制御することにより、図2および図3を用いて説明した定電流源61と同様のオフセット電圧値や基準抵抗値を有する場合であっても、四端子抵抗測定装置78が通常の測定状態ではない場合の開放電圧を抑制することが可能である。   As described with reference to FIG. 5, in the constant current source 81, an offset voltage value and a reference resistance value similar to those of the constant current source 61 described with reference to FIGS. 2 and 3 are controlled by controlling each switch. Even if it has, it is possible to suppress the open circuit voltage when the four-terminal resistance measuring device 78 is not in a normal measurement state.

次に、図6のフローチャートを参照して、定電流源81が実行するスイッチ制御処理1について説明する。   Next, the switch control process 1 executed by the constant current source 81 will be described with reference to the flowchart of FIG.

ステップS1において、状態検出部74は、電流出力部71の出力電流値、または、電圧検出部17、Hi側電圧検出部20、もしくは、Lo側電圧検出部22により検出される電圧値に基づいて、四端子抵抗測定装置78が測定可能状態ではないこと、換言すれば、電流出力部71が動作状態ではないことが検出されたか否かを判断する。   In step S <b> 1, the state detection unit 74 is based on the output current value of the current output unit 71 or the voltage value detected by the voltage detection unit 17, the Hi side voltage detection unit 20, or the Lo side voltage detection unit 22. It is determined whether or not it is detected that the four-terminal resistance measuring device 78 is not in a measurable state, in other words, that the current output unit 71 is not in an operating state.

ステップS1において四端子抵抗測定装置78が測定可能状態ではないことが検出されたと判断された場合、状態検出部74は検出結果を制御部93に供給するので、ステップS2において、制御部93は、スイッチ72をグランドに接続し、スイッチ73およびスイッチ92を接続状態とするとともに、スイッチ91を開放状態とする。したがって、電流出力部71の非反転入力端子の電圧値が0となり、電流出力部71の反転入力端子は、スイッチ73を介さずに電流出力部71の出力の供給を受ける。また、定電流源81においては、スイッチ73が接続状態とされて、スイッチ73および抵抗43を介して、電流がグランドに流れるようになされる。ステップS2の処理の終了後、処理は、ステップS1に戻り、それ以降の処理が繰り返される。   If it is determined in step S1 that the four-terminal resistance measuring device 78 is not in a measurable state, the state detection unit 74 supplies the detection result to the control unit 93. Therefore, in step S2, the control unit 93 The switch 72 is connected to the ground, the switch 73 and the switch 92 are connected, and the switch 91 is opened. Therefore, the voltage value of the non-inverting input terminal of the current output unit 71 becomes 0, and the inverting input terminal of the current output unit 71 is supplied with the output of the current output unit 71 without passing through the switch 73. In the constant current source 81, the switch 73 is in a connected state so that current flows to the ground via the switch 73 and the resistor 43. After the process of step S2 is completed, the process returns to step S1, and the subsequent processes are repeated.

ステップS1において四端子抵抗測定装置78が測定可能状態ではないことが検出されていないと判断された場合、状態検出部74は検出結果を制御部93に供給するので、ステップS3において、制御部93は、スイッチ72を定電圧源42に接続し、スイッチ73およびスイッチ92を開放状態とするとともに、スイッチ91を接続状態とする。これにより、定電流源81は、基準抵抗となる抵抗43における電圧降下が定電圧源42の電圧値V4と等しくなるように、電流出力部71の制御により、一対の出力端子44および出力端子45間に接続された外部回路に対して、一定の測定電流(直流定電流)Imを供給する。ステップS3の処理の終了後、処理は、ステップS1に戻り、それ以降の処理が繰り返される。   If it is determined in step S1 that the four-terminal resistance measurement device 78 is not detected to be in a measurable state, the state detection unit 74 supplies the detection result to the control unit 93. Therefore, in step S3, the control unit 93 The switch 72 is connected to the constant voltage source 42, the switch 73 and the switch 92 are opened, and the switch 91 is connected. As a result, the constant current source 81 controls the current output unit 71 so that the voltage drop in the resistor 43 serving as the reference resistance becomes equal to the voltage value V4 of the constant voltage source 42, so that the pair of output terminals 44 and 45 A constant measurement current (DC constant current) Im is supplied to an external circuit connected therebetween. After the process of step S3 is completed, the process returns to step S1, and the subsequent processes are repeated.

このような処理が実行されることにより、定電流源81においては、各スイッチを制御することにより、図2および図3を用いて説明した定電流源61と同様のオフセット電圧値や基準抵抗値を有する場合であっても、四端子抵抗測定装置78が測定可能状態ではない場合、換言すれば、電流出力部71が動作状態ではない場合におけるHi側電流供給端子13−Lo側電流供給端子14間の開放電圧の発生を抑制することが可能である。   By executing such processing, the constant current source 81 controls each switch to thereby provide the same offset voltage value and reference resistance value as those of the constant current source 61 described with reference to FIGS. Even when the four-terminal resistance measuring device 78 is not in the measurable state, in other words, when the current output unit 71 is not in the operating state, the Hi-side current supply terminal 13-the Lo-side current supply terminal 14. It is possible to suppress the occurrence of an open circuit voltage.

また、近年、回路の小型化に伴って小型ICが広く用いられるようになった。すなわち、上述した電流出力部71にも、小型のICが広く用いられている。さらに、近年、低抵抗の被測定抵抗体の抵抗値を測定したいというニーズが高まっており、定電流源からより高い電流値の電流を発生することが求められている。すなわち、定電流源の基準抵抗である抵抗43の抵抗値が小さく設定され、電流出力部71のオフセット電圧も高くなる傾向にある。電流出力部71が小型ICである場合、定電流源の各素子の値によっては、Hi側電流供給端子13−Lo側電流供給端子14間が開放された場合に発生してしまう電流が電流出力部71にとって過負荷となってしまい、発熱や劣化の原因となってしまう恐れがある。   In recent years, small ICs have been widely used with the miniaturization of circuits. That is, a small IC is widely used for the current output unit 71 described above. Furthermore, in recent years, there is an increasing need to measure the resistance value of a low-resistance resistor to be measured, and there is a demand for generating a current having a higher current value from a constant current source. That is, the resistance value of the resistor 43 that is the reference resistance of the constant current source is set to be small, and the offset voltage of the current output unit 71 tends to be high. When the current output unit 71 is a small IC, a current that is generated when the area between the Hi-side current supply terminal 13 and the Lo-side current supply terminal 14 is opened depends on the value of each element of the constant current source. The portion 71 is overloaded, which may cause heat generation or deterioration.

例えば、図7に示されるように、電流出力部71のオフセット電圧値が10mV、抵抗43の抵抗値が10mΩ、スイッチ73が接続状態にあるときの抵抗値が100Ωであって、四端子抵抗測定装置78が測定可能状態ではないこと、換言すれば、電流出力部71が動作状態ではないことが検出された場合、制御部93の制御により、スイッチ72が切り換えられて、電流出力部71の非反転入力端子がグランドと接続されることにより、電流出力部71の非反転入力端子の電圧値が0となるとともに、スイッチ91が開放され、スイッチ92が接続されて、電流出力部71の反転入力端子がスイッチ73を介さずに電流出力部71の出力の供給を受ける状態となり、スイッチ73が接続状態とされて、スイッチ73および抵抗43を介して電流Im’’がグランドに流れる。このときの端子間電圧は、電流出力部71のオフセット電圧値とほぼ同程度となるので、電流Im’’の電流値は、10mV/(10mΩ+100Ω)≒91mAとなる。すなわち、電流出力部71は、約90mAもの電流を出力する必要があり、電流出力部71にとって過負荷となってしまう。   For example, as shown in FIG. 7, the offset voltage value of the current output unit 71 is 10 mV, the resistance value of the resistor 43 is 10 mΩ, the resistance value when the switch 73 is in the connected state is 100Ω, and the four-terminal resistance measurement When it is detected that the device 78 is not in a measurable state, in other words, the current output unit 71 is not in an operating state, the switch 72 is switched under the control of the control unit 93 so that the current output unit 71 is not turned on. By connecting the inverting input terminal to the ground, the voltage value of the non-inverting input terminal of the current output unit 71 becomes 0, the switch 91 is opened, the switch 92 is connected, and the inverting input of the current output unit 71 is connected. The terminal is supplied with the output of the current output unit 71 without going through the switch 73, the switch 73 is connected, and the current Im ″ is passed through the switch 73 and the resistor 43. Flows to the ground. Since the voltage between the terminals at this time is approximately the same as the offset voltage value of the current output unit 71, the current value of the current Im ″ is 10 mV / (10 mΩ + 100Ω) ≈91 mA. That is, the current output unit 71 needs to output a current of about 90 mA, and the current output unit 71 is overloaded.

次に、図8を参照して、電流出力部71の過負荷を防止することができる四端子抵抗測定装置101について説明する。   Next, a four-terminal resistance measuring device 101 that can prevent overload of the current output unit 71 will be described with reference to FIG.

図8の四端子抵抗測定装置101は、定電流源81に代わって、定電流源111が新たに設けられている以外は、図4を用いて説明した四端子抵抗測定装置78と同様の構成を有するものである。   The four-terminal resistance measuring device 101 in FIG. 8 has the same configuration as the four-terminal resistance measuring device 78 described with reference to FIG. 4 except that a constant current source 111 is newly provided in place of the constant current source 81. It is what has.

また、定電流源111は、スイッチ73を含む電流Im’’が流れる経路上であって、スイッチ92を介した電流出力部71の出力と反転入力端子とを接続する経路上ではなく、さらに、抵抗43とグランドの間ではない位置(図8においては、スイッチ73と抵抗43との間)に抵抗121がさらに設けられている以外は、図4および図5を用いて説明した定電流源81と同様の構成を有するものである。   Further, the constant current source 111 is not on the path through which the current Im ″ including the switch 73 flows, but on the path connecting the output of the current output unit 71 via the switch 92 and the inverting input terminal. The constant current source 81 described with reference to FIGS. 4 and 5 except that a resistor 121 is further provided at a position that is not between the resistor 43 and the ground (between the switch 73 and the resistor 43 in FIG. 8). It has the same configuration as.

すなわち、図8の定電流源111においては、図4の定電流源81における場合と同様に、状態検出部74から、四端子抵抗測定装置101が測定可能状態であるとの検出結果の供給を受けた制御部93の制御に基づいて、スイッチ72により定電圧源42と電流出力部71の非反転入力端子とが接続され、スイッチ91により電流出力部71の反転入力端子と基準抵抗である抵抗43とが接続され、スイッチ73およびスイッチ92が開放状態であって、出力端子44と電気的に接続されているHi側電流供給端子13、および、出力端子45と電気的に接続されているLo側電流供給端子14が、それぞれ被測定抵抗体2と接続された状態において、図1を用いて説明した定電流源11と同様に、基準抵抗となる抵抗43における電圧降下が定電圧源42の電圧値V4と等しくなるように、電流出力部71の制御により、一対の出力端子44および出力端子45間に接続された外部回路に対して、一定の測定電流(直流定電流)Imを供給可能となっている。   That is, in the constant current source 111 of FIG. 8, as in the case of the constant current source 81 of FIG. 4, the detection result that the four-terminal resistance measuring device 101 is in the measurable state is supplied from the state detection unit 74. Based on the control of the received control unit 93, the constant voltage source 42 and the non-inverting input terminal of the current output unit 71 are connected by the switch 72, and the inverting input terminal of the current output unit 71 and the resistance which is a reference resistance are connected by the switch 91 43, the switch 73 and the switch 92 are in an open state, and the Hi side current supply terminal 13 that is electrically connected to the output terminal 44 and the Lo that is electrically connected to the output terminal 45. In the state where the side current supply terminals 14 are respectively connected to the resistor 2 to be measured, similarly to the constant current source 11 described with reference to FIG. Is constant with respect to the external circuit connected between the pair of output terminals 44 and 45 under the control of the current output unit 71 so that the current value becomes equal to the voltage value V4 of the constant voltage source 42. (Current) Im can be supplied.

次に、図9を参照して、四端子抵抗測定装置101が測定可能状態ではないとき、換言すれば、電流出力部71が動作状態ではないときのHi側電流供給端子13−Lo側電流供給端子14間の開放電圧を抑制するとともに、電流出力部71の過負荷を防止するための回路構成について説明する。   Next, referring to FIG. 9, when the four-terminal resistance measuring device 101 is not in a measurable state, in other words, when the current output unit 71 is not in an operating state, the Hi-side current supply terminal 13 -Lo-side current supply. A circuit configuration for suppressing the open voltage between the terminals 14 and preventing overload of the current output unit 71 will be described.

すなわち、図9に示されるように、四端子抵抗測定装置101の定電流源111においては、状態検出部74から、四端子抵抗測定装置101が測定可能状態ではないとの検出結果の供給を受けた制御部93の制御に基づいて、定電流源81における場合と同様に、Hi側電流供給端子13とLo側電流供給端子14が開放状態となったとき、スイッチ72が切り換えられて、IC72の非反転入力端子がグランドと接続されることにより、電流出力部71の非反転入力端子の電圧値が0となり、スイッチ91が開放されて、抵抗43と電流出力部71の反転入力端子との接続が切断されるとともに、スイッチ92が接続されるので、電流出力部71の反転入力端子は、スイッチ73を介さずに電流出力部71の出力の供給を受ける。すなわち、電流出力部71のフィードバックポイントが、図3を用いて説明した定電流源61における場合と異なる。また、定電流源111においては、スイッチ73が接続状態とされて、スイッチ73、抵抗121、および、抵抗43を介して、電流がグランドに流れるようになされる。   That is, as shown in FIG. 9, in the constant current source 111 of the four-terminal resistance measurement device 101, the detection result that the four-terminal resistance measurement device 101 is not in a measurable state is received from the state detection unit 74. Based on the control of the control unit 93, as in the case of the constant current source 81, when the Hi-side current supply terminal 13 and the Lo-side current supply terminal 14 are opened, the switch 72 is switched, and the IC 72 By connecting the non-inverting input terminal to the ground, the voltage value of the non-inverting input terminal of the current output unit 71 becomes 0, the switch 91 is opened, and the resistor 43 and the inverting input terminal of the current output unit 71 are connected. Is disconnected and the switch 92 is connected, so that the inverting input terminal of the current output unit 71 receives the output of the current output unit 71 without passing through the switch 73. That is, the feedback point of the current output unit 71 is different from that in the constant current source 61 described with reference to FIG. In the constant current source 111, the switch 73 is in a connected state so that current flows to the ground via the switch 73, the resistor 121, and the resistor 43.

図9に示される接続状態においては、端子間の開放電圧は、電流出力部71のオフセット電圧値とほぼ等しい10mVとなるので、例えば、抵抗121の抵抗値が10kΩである場合、接続状態であるスイッチ73に流れる電流Im’’の電流値、すなわち、電流出力部71の出力電流の電流値は、10mV/(10Ω+100Ω+10kΩ)≒1μA程度に抑制される。   In the connection state shown in FIG. 9, the open circuit voltage between the terminals is 10 mV, which is substantially equal to the offset voltage value of the current output unit 71. For example, when the resistance value of the resistor 121 is 10 kΩ, the connection state is established. The current value Im ″ flowing through the switch 73, that is, the current value of the output current of the current output unit 71 is suppressed to about 10 mV / (10Ω + 100Ω + 10 kΩ) ≈1 μA.

このように、スイッチ73と抵抗43との間に抵抗121を設け、その抵抗値を適切に設定することにより、通常測定状態ではない場合の出力端子間の開放電圧を抑制するとともに、電流出力部71がドライブする電流の電流値を低減し、電流出力部71の過負荷を防止することが可能となる。   In this way, by providing the resistor 121 between the switch 73 and the resistor 43 and appropriately setting the resistance value, the open circuit voltage between the output terminals when not in the normal measurement state is suppressed, and the current output unit It is possible to reduce the current value of the current driven by 71 and prevent the current output unit 71 from being overloaded.

また、抵抗121は、スイッチ73に対する電流制限抵抗の意味も有し、スイッチ73の保護の役割も果たすものである。   The resistor 121 also has a meaning of a current limiting resistor with respect to the switch 73 and serves to protect the switch 73.

また、定電流源111が実行するスイッチ制御処理は、図6のフローチャートを用いて説明した定電流源81が実行するスイッチ制御処理と同様のものであるので、その説明は省略する。   The switch control process executed by the constant current source 111 is the same as the switch control process executed by the constant current source 81 described with reference to the flowchart of FIG.

なお、定電流源111においても、スイッチ91およびスイッチ92の機能を一つのスイッチで実現することが可能であるとともに、D/A変換器を用いて、電流出力部71の非反転入力端子に入力される電圧値を可変としてもよいことはいうまでもない。   In the constant current source 111 as well, the functions of the switch 91 and the switch 92 can be realized by one switch, and input to the non-inverting input terminal of the current output unit 71 using a D / A converter. Needless to say, the applied voltage value may be variable.

また、同様の効果を図10に示す四端子抵抗測定装置141を用いても実現可能である。   The same effect can also be realized by using a four-terminal resistance measuring device 141 shown in FIG.

図10の四端子抵抗測定装置141は、定電流源81に代わって、定電流源151が新たに設けられている以外は、図4を用いて説明した四端子抵抗測定装置78と同様の構成を有するものである。   The four-terminal resistance measuring device 141 in FIG. 10 has the same configuration as the four-terminal resistance measuring device 78 described with reference to FIG. 4 except that a constant current source 151 is newly provided in place of the constant current source 81. It is what has.

また、定電流源151は、制御部93に代わって、制御部161が設けられ、スイッチ73、および、スイッチ73を介して電流出力部71の出力端子と抵抗43とが接続可能な経路Aが削除されている以外は、図5を用いて説明した定電流源81と同様の構成を有するものである。すなわち、スイッチ92が接続状態であるとき、電流出力部71の出力は、経路Bを介して、電流出力部71の反転入力端子に入力される。換言すれば、定電流源151の回路構成は、図5を用いて説明した定電流源81のスイッチ73の接続状態における抵抗値が無限大である場合の回路構成に相当する。   In addition, the constant current source 151 is provided with a control unit 161 instead of the control unit 93, and the switch 73 and the path A through which the output terminal of the current output unit 71 and the resistor 43 can be connected via the switch 73 are provided. Except for being deleted, it has the same configuration as the constant current source 81 described with reference to FIG. That is, when the switch 92 is in the connected state, the output of the current output unit 71 is input to the inverting input terminal of the current output unit 71 via the path B. In other words, the circuit configuration of the constant current source 151 corresponds to the circuit configuration when the resistance value in the connection state of the switch 73 of the constant current source 81 described with reference to FIG. 5 is infinite.

制御部161は、状態検出部74の状態検出結果に基づいて、スイッチ72、スイッチ91、および、スイッチ92を制御する。   The control unit 161 controls the switch 72, the switch 91, and the switch 92 based on the state detection result of the state detection unit 74.

すなわち、図13の定電流源151においては、状態検出部74から、四端子抵抗測定装置141が測定可能状態である、換言すれば、電流出力部71が動作状態であるとの検出結果の供給を受けた制御部161の制御に基づいて、スイッチ72により定電圧源42と電流出力部71の非反転入力端子とが接続され、スイッチ91により電流出力部71の反転入力端子と基準抵抗である抵抗43とが接続され、スイッチ92が開放状態であって、出力端子44と電気的に接続されているHi側電流供給端子13、および、出力端子45と電気的に接続されているLo側電流供給端子14が、それぞれ被測定抵抗体2と接続された状態において、図1を用いて説明した定電流源11と同様に、基準抵抗となる抵抗43における電圧降下が定電圧源42の電圧値V4と等しくなるように、電流出力部71の制御により、一対の出力端子44および出力端子45間に接続された外部回路に対して、一定の測定電流(直流定電流)Imを供給可能となっている。   That is, in the constant current source 151 of FIG. 13, the detection result from the state detection unit 74 that the four-terminal resistance measurement device 141 is in a measurable state, in other words, the current output unit 71 is in an operating state. The constant voltage source 42 is connected to the non-inverting input terminal of the current output unit 71 by the switch 72 and the inverting input terminal of the current output unit 71 and the reference resistance are connected by the switch 91 based on the control of the control unit 161 that receives the signal. The Lo side current electrically connected to the output terminal 45 and the Hi side current supply terminal 13 electrically connected to the output terminal 44 when the resistor 43 is connected and the switch 92 is in an open state. In the state where the supply terminals 14 are respectively connected to the resistor 2 to be measured, the voltage drop in the resistor 43 serving as the reference resistance is a constant voltage as in the constant current source 11 described with reference to FIG. 42, a constant measurement current (DC constant current) Im is applied to the external circuit connected between the pair of output terminals 44 and 45 by the control of the current output unit 71 so as to be equal to the voltage value V4 of 42. Supply is possible.

しかしながら、図10に示される接続状態においては、四端子抵抗測定装置141が測定可能状態ではない換言すれば、電流出力部71が動作状態ではないとき、図1を用いて説明した定電流源11における場合と同様に、Hi側電流供給端子13−Lo側電流供給端子14間に電圧が発生してしまう。   However, in the connection state shown in FIG. 10, the four-terminal resistance measuring device 141 is not in a measurable state. In other words, when the current output unit 71 is not in the operating state, the constant current source 11 described with reference to FIG. As in the case of, a voltage is generated between the Hi-side current supply terminal 13 and the Lo-side current supply terminal 14.

そこで、図11に示されるように、四端子抵抗測定装置141の定電流源151においては、四端子抵抗測定装置141が測定可能状態ではないことが状態検出部74により検出された場合、制御部161の制御により、スイッチ72が切り換えられて、電流出力部71の非反転入力端子がグランドと接続されることにより、電流出力部71の非反転入力端子の電圧値が0となるとともに、スイッチ91が開放されて、抵抗43と電流出力部71の反転入力端子との接続が切断されるとともに、スイッチ92が接続されるので、電流出力部71の反転入力端子は、電流出力部71の出力の供給を受ける。すなわち、電流出力部71のフィードバックポイントが、図5を用いて説明した定電流源81における場合と同一となる。   Therefore, as shown in FIG. 11, in the constant current source 151 of the four-terminal resistance measuring device 141, when the state detecting unit 74 detects that the four-terminal resistance measuring device 141 is not in a measurable state, the control unit Under the control of 161, the switch 72 is switched and the non-inverting input terminal of the current output unit 71 is connected to the ground, so that the voltage value of the non-inverting input terminal of the current output unit 71 becomes 0 and the switch 91 Is opened, the connection between the resistor 43 and the inverting input terminal of the current output unit 71 is disconnected, and the switch 92 is connected. Therefore, the inverting input terminal of the current output unit 71 is connected to the output of the current output unit 71. Receive supply. That is, the feedback point of the current output unit 71 is the same as that in the constant current source 81 described with reference to FIG.

このような回路構成により、定電流源151においては、部品点数を削減しつつ、四端子抵抗測定装置141が測定可能状態ではない場合、換言すれば、電流出力部71が動作状態ではない場合のHi側電流供給端子13−Lo側電流供給端子14間の開放電圧が、電流出力部71のオフセット電圧値とほぼ同程度の100μV程度に抑制されるとともに、図2および図3を用いて説明した定電流源61と同様のオフセット電圧値や基準抵抗値を有する場合であっても、通常測定状態ではない場合に発生する開放電圧の発生を抑制することが可能である。   With such a circuit configuration, in the constant current source 151, when the four-terminal resistance measuring device 141 is not in a measurable state while reducing the number of parts, in other words, in the case where the current output unit 71 is not in an operating state. The open-circuit voltage between the Hi-side current supply terminal 13 and the Lo-side current supply terminal 14 is suppressed to about 100 μV, which is almost the same as the offset voltage value of the current output unit 71, and has been described with reference to FIGS. 2 and 3. Even when the offset voltage value and the reference resistance value are the same as those of the constant current source 61, it is possible to suppress the generation of an open-circuit voltage that occurs when the measurement state is not normal.

次に、図12のフローチャートを参照して、定電流源151が実行するスイッチ制御処理2について説明する。   Next, the switch control process 2 executed by the constant current source 151 will be described with reference to the flowchart of FIG.

ステップS11において、状態検出部74は、電流出力部71から出力される電流値、または、電圧検出部17、Hi側電圧検出部20、もしくは、Lo側電圧検出部22により検出される電圧値に基づいて、四端子抵抗測定装置141が測定可能状態ではないこと、換言すれば、電流出力部71が動作状態ではないことが検出されたか否かを判断する。   In step S11, the state detection unit 74 sets the current value output from the current output unit 71 or the voltage value detected by the voltage detection unit 17, the Hi side voltage detection unit 20, or the Lo side voltage detection unit 22. Based on this, it is determined whether or not it is detected that the four-terminal resistance measuring device 141 is not in a measurable state, in other words, that the current output unit 71 is not in an operating state.

ステップS11において測定可能状態ではないことが検出されたと判断された場合、状態検出部74は検出結果を制御部161に供給するので、ステップS12において、制御部161は、スイッチ72をグランドに接続し、スイッチ92を接続状態とするとともに、スイッチ91を開放状態とする。したがって、電流出力部71の非反転入力端子の電圧値が0となり、電流出力部71の反転入力端子は、電流出力部71の出力の供給を受ける。ステップS12の処理の終了後、処理は、ステップS11に戻り、それ以降の処理が繰り返される。   If it is determined in step S11 that the state is not measurable, the state detection unit 74 supplies the detection result to the control unit 161. Therefore, in step S12, the control unit 161 connects the switch 72 to the ground. The switch 92 is set to the connected state and the switch 91 is set to the open state. Therefore, the voltage value of the non-inverting input terminal of the current output unit 71 becomes 0, and the inverting input terminal of the current output unit 71 is supplied with the output of the current output unit 71. After the process of step S12 is completed, the process returns to step S11, and the subsequent processes are repeated.

ステップS11において測定可能状態ではないことが検出されていないと判断された場合、状態検出部74は検出結果を制御部161に供給するので、ステップS13において、制御部161は、スイッチ72を定電圧源42に接続し、スイッチ92を開放状態とするとともに、スイッチ91を接続状態とする。これにより、定電流源151は、基準抵抗となる抵抗43における電圧降下が定電圧源42の電圧値V4と等しくなるように、電流出力部71の制御により、一対の出力端子44および出力端子45間に接続された外部回路に対して、一定の測定電流(直流定電流)Imを供給する。ステップS13の処理の終了後、処理は、ステップS11に戻り、それ以降の処理が繰り返される。   When it is determined in step S11 that it is not detected that the measurement is not possible, the state detection unit 74 supplies the detection result to the control unit 161. Therefore, in step S13, the control unit 161 sets the switch 72 to a constant voltage. Connected to the source 42, the switch 92 is opened, and the switch 91 is connected. Thereby, the constant current source 151 is controlled by the current output unit 71 so that the voltage drop in the resistor 43 serving as the reference resistance becomes equal to the voltage value V4 of the constant voltage source 42. A constant measurement current (DC constant current) Im is supplied to an external circuit connected therebetween. After the process of step S13 is completed, the process returns to step S11, and the subsequent processes are repeated.

このような処理が実行されることにより、定電流源151においては、各スイッチを制御することにより、図2および図3を用いて説明した定電流源61と同様のオフセット電圧値や基準抵抗値を有する場合であっても、通常測定状態ではない場合に発生する開放電圧の発生を抑制することが可能である。   By executing such processing, the constant current source 151 controls each switch to thereby control the offset voltage value and the reference resistance value similar to those of the constant current source 61 described with reference to FIGS. Even if it has, it can suppress generation | occurrence | production of the open circuit voltage which generate | occur | produces when it is not a normal measurement state.

なお、定電流源151においても、スイッチ91およびスイッチ92の機能を一つのスイッチで実現することが可能であるとともに、D/A変換器を用いて、電流出力部71の非反転入力端子に入力される電圧値を可変としてもよいことは言うまでもない。   In the constant current source 151, the functions of the switch 91 and the switch 92 can be realized by a single switch, and input to the non-inverting input terminal of the current output unit 71 using a D / A converter. It goes without saying that the voltage value to be set may be variable.

また、オフセット電圧値などの条件のために発生してしまう開放電圧は、ユーザが測定開始を指令していない場合に問題となることがある。例えば、ユーザが測定開始を指令していない状態において測定端子間に電圧が発生していると、ユーザが故障を疑ってしまう恐れがある。そこで、各スイッチの制御を、ユーザが測定開始を指令しているか否かに基づいて行うものとしてもよい。   Also, an open-circuit voltage that occurs due to a condition such as an offset voltage value may cause a problem when the user does not command the start of measurement. For example, if a voltage is generated between the measurement terminals in a state where the user has not commanded the start of measurement, the user may suspect a failure. Therefore, the control of each switch may be performed based on whether or not the user commands the start of measurement.

図13を参照して、ユーザが測定開始を指令しているか否か、換言すれば、電流出力部71が動作状態にあるか否かに基づいて各スイッチを制御する四端子抵抗測定装置181について説明する。四端子抵抗測定装置181は、定電流源81に代わって、定電流源191が新たに設けられている以外は、図10を用いて説明した四端子抵抗測定装置141と同様の構成を有するものである。   Referring to FIG. 13, four-terminal resistance measuring device 181 that controls each switch based on whether or not the user has commanded to start measurement, in other words, whether or not current output unit 71 is in an operating state. explain. The four-terminal resistance measuring device 181 has the same configuration as the four-terminal resistance measuring device 141 described with reference to FIG. 10 except that a constant current source 191 is newly provided in place of the constant current source 81. It is.

また、定電流源191は、制御部93に代わって、制御部201が設けられ、状態検出部74が削除されている以外は、図10を用いて説明した定電流源151と同様の構成を有するものである。すなわち、スイッチ92が接続状態であるとき、電流出力部71の出力は、経路Bを介して、電流出力部71の反転入力端子に入力される。   The constant current source 191 has the same configuration as the constant current source 151 described with reference to FIG. 10 except that the control unit 201 is provided in place of the control unit 93 and the state detection unit 74 is omitted. It is what you have. That is, when the switch 92 is in the connected state, the output of the current output unit 71 is input to the inverting input terminal of the current output unit 71 via the path B.

制御部201は、装置制御部63から供給される、ユーザの操作入力を示す信号に基づいて、スイッチ72、スイッチ91、および、スイッチ92を制御する。   The control unit 201 controls the switch 72, the switch 91, and the switch 92 based on a signal supplied from the device control unit 63 and indicating a user operation input.

すなわち、図13の定電流源191においては、装置制御部63から、ユーザにより測定開始の指令を受けたことを示す情報の供給を受けた制御部201の制御に基づいて、スイッチ72により定電圧源42と電流出力部71の非反転入力端子とが接続され、スイッチ91により電流出力部71の反転入力端子と基準抵抗である抵抗43とが接続され、スイッチ92が開放状態とされて、図1を用いて説明した定電流源11と同様に、基準抵抗となる抵抗43における電圧降下が定電圧源42の電圧値V4と等しくなるように、電流出力部71の制御により、一対の出力端子44および出力端子45間に接続された外部回路に対して、一定の測定電流(直流定電流)Imを供給可能となっている。   That is, in the constant current source 191 of FIG. 13, the constant voltage source 191 is controlled by the switch 72 based on the control of the control unit 201 that receives the information indicating that the user has received a measurement start command from the device control unit 63. The source 42 and the non-inverting input terminal of the current output unit 71 are connected, and the switch 91 connects the inverting input terminal of the current output unit 71 and the resistor 43, which is a reference resistor, and the switch 92 is opened. As with the constant current source 11 described with reference to FIG. 1, a pair of output terminals is controlled by the current output unit 71 so that the voltage drop in the resistor 43 serving as the reference resistor is equal to the voltage value V4 of the constant voltage source 42. A constant measurement current (DC constant current) Im can be supplied to an external circuit connected between the output terminal 45 and the output terminal 45.

そして、図14に示されるように、装置制御部63から、ユーザにより測定開始の指令を受けていない(あるいは、測定終了の指令を受けた)ことを示す情報の供給を受けた制御部201の制御により、スイッチ72が切り換えられて、電流出力部71の非反転入力端子がグランドと接続されることにより、電流出力部71の非反転入力端子の電圧値が0となるとともに、スイッチ91が開放されて、抵抗43と電流出力部71の反転入力端子との接続が切断されるとともに、スイッチ92が接続されるので、電流出力部71の反転入力端子は、電流出力部71の出力の供給を受ける。すなわち、電流出力部71のフィードバックポイントが、図5を用いて説明した定電流源81における場合と同一となる。   Then, as shown in FIG. 14, the control unit 201 receives information indicating that the user has not received a measurement start command (or has received a measurement end command) from the device control unit 63. Under the control, the switch 72 is switched and the non-inverting input terminal of the current output unit 71 is connected to the ground, so that the voltage value of the non-inverting input terminal of the current output unit 71 becomes 0 and the switch 91 is opened. Since the connection between the resistor 43 and the inverting input terminal of the current output unit 71 is disconnected and the switch 92 is connected, the inverting input terminal of the current output unit 71 supplies the output of the current output unit 71. receive. That is, the feedback point of the current output unit 71 is the same as that in the constant current source 81 described with reference to FIG.

このような回路構成により、四端子抵抗測定装置181が測定開始を指令されていない場合のHi側電流供給端子13−Lo側電流供給端子14間の開放電圧は、電流出力部71のオフセット電圧値とほぼ同程度の100μV程度に抑制されるとともに、図2および図3を用いて説明した定電流源61と同様のオフセット電圧値や基準抵抗値を有する場合であっても、通常測定状態ではない場合に発生する開放電圧の発生を抑制することが可能である。   With such a circuit configuration, the open voltage between the Hi-side current supply terminal 13 and the Lo-side current supply terminal 14 when the four-terminal resistance measurement device 181 is not instructed to start measurement is the offset voltage value of the current output unit 71. Even if it has the same offset voltage value and reference resistance value as the constant current source 61 described with reference to FIGS. 2 and 3, it is not in the normal measurement state. It is possible to suppress the occurrence of an open circuit voltage that occurs in some cases.

次に、図15のフローチャートを参照して、定電流源191が実行するスイッチ制御処理3について説明する。   Next, the switch control process 3 executed by the constant current source 191 will be described with reference to the flowchart of FIG.

ステップS21において、制御部201は、操作制御部63から供給される情報に基づいて、操作開始がユーザから操作入力されたか否か、換言すれば、電流出力部71が動作状態となることが指令されたか否かを判断する。   In step S <b> 21, the control unit 201 issues a command based on the information supplied from the operation control unit 63 as to whether or not an operation start has been input from the user, in other words, the current output unit 71 is in an operating state. It is judged whether it was done.

ステップ21において操作開始がユーザから操作入力されていないと判断された場合、ステップS22において、制御部201は、スイッチ72をグランドに接続し、スイッチ92を接続状態とするとともに、スイッチ91を開放状態とする。したがって、電流出力部71の非反転入力端子の電圧値が0となり、電流出力部71の反転入力端子は、電流出力部71の出力の供給を受ける。ステップS22の処理の終了後、処理は、ステップS21に戻り、それ以降の処理が繰り返される。   When it is determined in step 21 that the operation start is not input from the user, in step S22, the control unit 201 connects the switch 72 to the ground, sets the switch 92 to the connected state, and opens the switch 91. And Therefore, the voltage value of the non-inverting input terminal of the current output unit 71 becomes 0, and the inverting input terminal of the current output unit 71 is supplied with the output of the current output unit 71. After the process of step S22 is completed, the process returns to step S21, and the subsequent processes are repeated.

ステップS21において操作開始がユーザから操作入力されたと判断された場合、ステップS23において、制御部201は、スイッチ72を定電圧源42に接続し、スイッチ92を開放状態とするとともに、スイッチ91を接続状態とする。これにより、定電流源81は、基準抵抗となる抵抗43における電圧降下が定電圧源42の電圧値V4と等しくなるように、電流出力部71の制御により、一対の出力端子44および出力端子45間に接続された外部回路に対して、一定の測定電流(直流定電流)Imを供給する。ステップS23の処理の終了後、処理は、ステップS21に戻り、それ以降の処理が繰り返される。   When it is determined in step S21 that the operation start is input from the user, in step S23, the control unit 201 connects the switch 72 to the constant voltage source 42, opens the switch 92, and connects the switch 91. State. As a result, the constant current source 81 controls the current output unit 71 so that the voltage drop in the resistor 43 serving as the reference resistance becomes equal to the voltage value V4 of the constant voltage source 42, so that the pair of output terminals 44 and 45 A constant measurement current (DC constant current) Im is supplied to an external circuit connected therebetween. After the process of step S23 is completed, the process returns to step S21, and the subsequent processes are repeated.

このような処理が実行されることにより、定電流源191においては、各スイッチを制御することにより、図2および図3を用いて説明した定電流源61と同様のオフセット電圧値や基準抵抗値を有する場合であっても、より少ない部品点数で、より簡単な制御に基づいて、ユーザが操作入力の開始を指令していない場合、すなわち、通常測定状態ではない場合に発生する開放電圧の発生を抑制することが可能である。   By executing such processing, the constant current source 191 controls each switch to thereby provide the same offset voltage value and reference resistance value as those of the constant current source 61 described with reference to FIGS. Even if it has, the generation of open voltage that occurs when the user does not command the start of operation input based on simpler control with a smaller number of parts, that is, when it is not in the normal measurement state Can be suppressed.

なお、定電流源191においても、スイッチ91およびスイッチ92の機能を一つのスイッチで実現することが可能であるとともに、D/A変換器を用いて、電流出力部71の非反転入力端子に入力される電圧値を可変としてもよいことは言うまでもない。   In the constant current source 191, the functions of the switch 91 and the switch 92 can be realized by one switch, and input to the non-inverting input terminal of the current output unit 71 using a D / A converter. It goes without saying that the voltage value to be set may be variable.

なお、上述した四端子抵抗測定装置78、四端子抵抗測定装置101、四端子抵抗測定装置141、および、四端子抵抗測定装置181において、Hi側交流電源19、Lo側交流電源21、Hi側電圧検出部20、および、Lo側電圧検出部22を備えず、Hi側電流供給端子13、Hi側電圧検出端子15、Lo側電流供給端子14およびLo側電圧検出端子16のいずれかが被測定抵抗体と正しく接続されているか否かを検出することができない場合や、また、出力部24が四端子抵抗測定装置78、四端子抵抗測定装置101、四端子抵抗測定装置141、および、四端子抵抗測定装置181内に備えられず、外部の表示装置や音声出力装置などとして構成されている場合など、装置の構成の一部が異なる場合であっても、被測定抵抗体2に一定の電流を供給するという目的が同一であれば、上述した定電流源81、定電流源111、定電流源151、および、定電流源191は、同様の効果を奏することができるのは言うまでもない。   In the four-terminal resistance measuring device 78, the four-terminal resistance measuring device 101, the four-terminal resistance measuring device 141, and the four-terminal resistance measuring device 181 described above, the Hi-side AC power source 19, the Lo-side AC power source 21, and the Hi-side voltage are used. The detection unit 20 and the Lo side voltage detection unit 22 are not provided, and any one of the Hi side current supply terminal 13, the Hi side voltage detection terminal 15, the Lo side current supply terminal 14, and the Lo side voltage detection terminal 16 is a resistance to be measured. When it cannot detect whether it is correctly connected to the body, or the output unit 24 is a four-terminal resistance measuring device 78, a four-terminal resistance measuring device 101, a four-terminal resistance measuring device 141, and a four-terminal resistance. Even if a part of the configuration of the apparatus is different, such as when it is not provided in the measuring apparatus 181 and is configured as an external display apparatus or audio output apparatus, the resistance to be measured If the purpose of supplying a constant current to the body 2 is the same, the constant current source 81, the constant current source 111, the constant current source 151, and the constant current source 191 described above can achieve the same effect. Needless to say.

また、上述した定電流源81、定電流源111、定電流源151、および、定電流源191は、個別の装置として実現してもよいことは言うまでもない。さらに、上述した定電流源81、定電流源111、定電流源151、および、定電流源191は、定電流の出力を必要する他の装置に応用可能である。   Needless to say, the constant current source 81, the constant current source 111, the constant current source 151, and the constant current source 191 described above may be realized as separate devices. Furthermore, the constant current source 81, the constant current source 111, the constant current source 151, and the constant current source 191 described above can be applied to other devices that require constant current output.

さらに、上述した定電流源81、定電流源111、定電流源151、および、定電流源191は、各装置内において、定電流源として1つのユニットとして構成されていなくても、定電流発生回路として同様の回路構成を用いることにより、同様の効果を奏することが可能であることは言うまでもない。   Furthermore, the constant current source 81, the constant current source 111, the constant current source 151, and the constant current source 191 described above may generate constant current even if they are not configured as one unit as a constant current source in each device. It goes without saying that the same effect can be obtained by using the same circuit configuration as the circuit.

上述した技術は、ハードウェアとしては、例えば、抵抗測定装置以外にも、定電流を発生する定電流源を含む各種の装置、および、定電流を発生する回路を含む各種の装置、並びに、定電流発生装置などに適用することができる。   In the technology described above, as hardware, for example, in addition to a resistance measuring device, various devices including a constant current source that generates a constant current, various devices including a circuit that generates a constant current, and a constant current It can be applied to a current generator.

また、本発明の実施の形態は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。また、以上説明したすべての場合においては、基準電位として、回路のグランド以外の電位を用いる場合もある。   The embodiments of the present invention are not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made without departing from the scope of the present invention. In all cases described above, a potential other than the circuit ground may be used as the reference potential.

2…被測定抵抗体、 13…Hi側電流供給端子、 14…Lo側電流供給端子、 17…電圧検出部、 42…定電圧源、 43…抵抗、 2…操作入力部、 63…装置制御部、 71…電流出力部、 72,73…スイッチ、 74…状態検出部、 78…四端子抵抗測定装置、 81…定電流源、 91,92…スイッチ 93…制御部、 101…四端子抵抗測定装置、 111…定電流源、 121…抵抗 141…四端子抵抗測定装置、 151…定電流源、 161…制御部、 181…四端子抵抗測定装置、 191…定電流源、 201…制御部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 2 ... Resistor to be measured, 13 ... Hi side current supply terminal, 14 ... Lo side current supply terminal, 17 ... Voltage detection part, 42 ... Constant voltage source, 43 ... Resistance, 2 ... Operation input part, 63 ... Device control part 71 ... Current output unit 72, 73 ... Switch, 74 ... State detection unit, 78 ... Four-terminal resistance measurement device, 81 ... Constant current source, 91, 92 ... Switch 93 ... Control unit, 101 ... Four-terminal resistance measurement device 111 ... Constant current source 121 ... Resistance 141 ... Four-terminal resistance measuring device 151 ... Constant current source 161 ... Control unit 181 ... Four-terminal resistance measuring device 191 ... Constant current source 201 ... Control unit

Claims (22)

少なくとも一つの演算増幅器を含む電流出力手段、基準電圧源、基準抵抗、および一対の出力端子を備え、前記電流出力手段の出力と前記一対の出力端子の一方が接続され、前記基準電圧源および前記基準抵抗のそれぞれの一端が相互に接続され、前記基準抵抗の他端と前記一対の出力端子の他方が接続されているとともに、前記一対の出力端子の他方が前記演算増幅器の前記反転入力端子に前記基準抵抗を介することなく接続されている状態において、前記基準抵抗の電圧降下が前記基準電圧源の電圧値と等しくなるように、前記電流出力手段から一定の直流定電流が出力される定電流発生回路において、
前記演算増幅器の前記非反転入力端子に入力される前記基準電圧源の電圧値を変更する基準電圧変更手段と、
前記電流出力手段の出力と前記演算増幅器の反転入力端子とを接続する第1の経路と、
前記演算増幅器の非反転入力端子との接続を、前記基準抵抗の他端と前記第1の経路とで切り替える切り替え手段と、
前記基準電圧変更手段、および、前記切り替え手段を制御する制御手段と、
を備え、
前記制御手段は、前記電流出力手段が通常動作状態である場合、
前記基準電圧変更手段を制御して、前記基準抵抗の電圧値を前記電流出力手段が前記一定の直流定電流を出力するための所定の電圧値とし、
前記切り替え手段を制御して、前記演算増幅器の非反転入力端子との接続を、前記基準抵抗の他端とする
とともに、
前記制御手段は、前記電流出力手段が通常動作状態ではない場合、
前記基準電圧変更手段を制御して、前記基準抵抗の電圧値を0Vとし、
前記切り替え手段を制御して、前記演算増幅器の非反転入力端子との接続を、前記第1の経路とする
ことを特徴とする定電流発生回路。
A current output means including at least one operational amplifier, a reference voltage source, a reference resistor, and a pair of output terminals, wherein the output of the current output means and one of the pair of output terminals are connected, the reference voltage source and the One end of each reference resistor is connected to each other, the other end of the reference resistor is connected to the other of the pair of output terminals, and the other of the pair of output terminals is connected to the inverting input terminal of the operational amplifier. A constant current in which a constant DC constant current is output from the current output means so that the voltage drop of the reference resistor is equal to the voltage value of the reference voltage source in a state where the reference resistor is connected without going through the reference resistor In the generator circuit,
Reference voltage changing means for changing a voltage value of the reference voltage source input to the non-inverting input terminal of the operational amplifier;
A first path connecting the output of the current output means and the inverting input terminal of the operational amplifier;
Switching means for switching the connection with the non-inverting input terminal of the operational amplifier between the other end of the reference resistor and the first path;
Control means for controlling the reference voltage changing means and the switching means;
With
The control means, when the current output means is in a normal operation state,
By controlling the reference voltage changing means, the voltage value of the reference resistance as a predetermined voltage value for the current output means to output the constant DC constant current,
By controlling the switching means, the connection with the non-inverting input terminal of the operational amplifier as the other end of the reference resistor,
The control means, when the current output means is not in a normal operation state,
By controlling the reference voltage changing means, the voltage value of the reference resistor is set to 0V,
A constant current generating circuit, wherein the switching means is controlled to connect the non-inverting input terminal of the operational amplifier to the first path.
請求項1に記載の定電流発生回路であって、
前記電流出力手段が出力する電流値を検出する検出手段をさらに備え、
前記制御手段は、前記検出手段により、前記電流出力手段が前記一定の直流定電流を出力していることが検出された場合、前記電流出力手段が通常動作状態であると判断するとともに、前記検出手段により、前記電流出力手段が前記一定の直流定電流を出力していないことが検出された場合、前記電流出力手段が通常動作状態ではないと判断する
ことを特徴とする定電流発生回路。
The constant current generation circuit according to claim 1,
And further comprising detection means for detecting a current value output by the current output means,
The control means determines that the current output means is in a normal operating state when the detection means detects that the current output means outputs the constant DC constant current, and the detection means When the means detects that the current output means does not output the constant DC constant current, it is determined that the current output means is not in a normal operation state.
請求項1に記載の定電流発生回路であって、
前記制御手段は、ユーザにより動作開始が指令されている場合、前記電流出力手段が通常動作状態であると判断するとともに、ユーザにより動作開始が指令されていない場合、前記電流出力手段が通常動作状態ではないと判断する
ことを特徴とする定電流発生回路。
The constant current generation circuit according to claim 1,
The control means determines that the current output means is in a normal operation state when an operation start is instructed by a user, and the current output means is in a normal operation state when an operation start is not instructed by the user. A constant current generating circuit characterized in that it is not.
請求項1に記載の定電流発生回路であって、
前記電流出力手段の出力と前記基準抵抗の他端とを、スイッチを介して接続する第2の経路をさらに備え、
前記制御手段は、前記電流出力手段が通常動作状態である場合、前記スイッチを開放状態とし、
前記制御手段は、前記電流出力手段が通常動作状態ではない場合、前記スイッチを接続状態とする
ことを特徴とする定電流発生回路。
The constant current generation circuit according to claim 1,
A second path connecting the output of the current output means and the other end of the reference resistor via a switch;
The control means opens the switch when the current output means is in a normal operation state,
The control means sets the switch in a connected state when the current output means is not in a normal operation state.
請求項1に記載の定電流発生回路であって、
前記第2の経路上であって、前記第1の経路上ではなく、かつ、前記基準抵抗と基準電位との間ではない位置に、前記電流出力手段のオフセット電圧値と前記基準抵抗の抵抗値とで決まる所定の定数の抵抗をさらに備える
ことを特徴とする定電流発生回路。
The constant current generation circuit according to claim 1,
An offset voltage value of the current output means and a resistance value of the reference resistor at a position on the second path, not on the first path and not between the reference resistance and the reference potential. A constant current generating circuit, further comprising a predetermined constant resistance determined by:
請求項1に記載の定電流発生回路であって、
前記基準電圧変更手段は、D/A変換器を用いて前記基準電圧源の電圧値を変更する
ことを特徴とする定電流発生回路。
The constant current generation circuit according to claim 1,
The reference voltage changing means changes the voltage value of the reference voltage source using a D / A converter.
請求項1に記載の定電流発生回路であって、
前記基準電圧変更手段は、前記演算増幅器の前記非反転入力端子との接続を、基準電位と所定の電圧を印加する電圧源とで切り替えるスイッチであり、
前記制御手段は、前記電流出力手段が通常動作状態である場合、前記スイッチを制御して、前記演算増幅器の前記非反転入力端子と前記電圧源とを接続し、
前記制御手段は、前記電流出力手段が通常動作状態ではない場合、前記スイッチを制御して、前記演算増幅器の前記非反転入力端子と前記基準電位とを接続する
ことを特徴とする定電流発生回路。
The constant current generation circuit according to claim 1,
The reference voltage changing means is a switch for switching the connection with the non-inverting input terminal of the operational amplifier between a reference potential and a voltage source for applying a predetermined voltage,
When the current output means is in a normal operation state, the control means controls the switch to connect the non-inverting input terminal of the operational amplifier and the voltage source,
The control means controls the switch to connect the non-inverting input terminal of the operational amplifier and the reference potential when the current output means is not in a normal operation state. .
請求項1に記載の定電流発生回路であって、
前記切り替え手段は、前記演算増幅器の非反転入力端子との前記基準抵抗の他端との接続と切断を切り替える第1のスイッチと、前記演算増幅器の非反転入力端子との前記第1の経路との接続と切断を切り替える第2のスイッチとを含んで構成され、
前記制御手段は、
前記電流出力手段が通常動作状態である場合、前記第1のスイッチを制御して、前記演算増幅器の非反転入力端子との前記基準抵抗の他端とを接続するとともに、前記第2のスイッチを制御して、前記演算増幅器の非反転入力端子と前記第1の経路との接続を切断し、
前記電流出力手段が通常動作状態ではない場合、前記第1のスイッチを制御して、前記演算増幅器の非反転入力端子との前記基準抵抗の他端との接続を切断するとともに、前記第2のスイッチを制御して、前記演算増幅器の非反転入力端子と前記第1の経路とを接続する
ことを特徴とする定電流発生回路。
The constant current generation circuit according to claim 1,
The switching means includes: a first switch that switches connection and disconnection between the non-inverting input terminal of the operational amplifier and the other end of the reference resistor; and the first path to the non-inverting input terminal of the operational amplifier; And a second switch for switching between connection and disconnection,
The control means includes
When the current output means is in a normal operation state, the first switch is controlled to connect the other end of the reference resistor to the non-inverting input terminal of the operational amplifier, and the second switch Controlling, disconnecting the non-inverting input terminal of the operational amplifier and the first path,
When the current output means is not in a normal operation state, the first switch is controlled to disconnect the non-inverting input terminal of the operational amplifier from the other end of the reference resistor, and the second switch A constant current generating circuit, wherein a switch is controlled to connect the non-inverting input terminal of the operational amplifier and the first path.
少なくとも一つの演算増幅器を含む電流出力手段、基準電圧源、基準抵抗、および一対の出力端子を備え、前記電流出力手段の出力と前記一対の出力端子の一方が接続され、前記基準電圧源および前記基準抵抗のそれぞれの一端が相互に接続され、前記基準抵抗の他端と前記一対の出力端子の他方が接続されているとともに、前記一対の出力端子の他方が前記演算増幅器の前記反転入力端子に前記基準抵抗を介することなく接続されている状態において、前記一対の出力端子と被測定抵抗体が電気的に接続されることにより、前記基準抵抗の電圧降下が前記基準電圧源の電圧値と等しくなるように、前記電流出力手段から一定の直流定電流が出力される定電流発生装置において、
前記演算増幅器の前記非反転入力端子に入力される前記基準電圧源の電圧値を変更する基準電圧変更手段と、
前記電流出力手段の出力と前記演算増幅器の反転入力端子とを接続する第1の経路と、
前記演算増幅器の非反転入力端子との接続を、前記基準抵抗の他端と前記第1の経路とで切り替える切り替え手段と、
前記基準電圧変更手段、および、前記切り替え手段を制御する制御手段と、
を備え、
前記制御手段は、前記電流出力手段が通常動作状態である場合、
前記基準電圧変更手段を制御して、前記基準抵抗の電圧値を前記電流出力手段が前記一定の直流定電流を出力するための所定の電圧値とし、
前記切り替え手段を制御して、前記演算増幅器の非反転入力端子との接続を、前記基準抵抗の他端とする
とともに、
前記制御手段は、前記電流出力手段が通常動作状態ではない場合、
前記基準電圧変更手段を制御して、前記基準抵抗の電圧値を0Vとし、
前記切り替え手段を制御して、前記演算増幅器の非反転入力端子との接続を、前記第1の経路とする
ことを特徴とする定電流発生装置。
A current output means including at least one operational amplifier, a reference voltage source, a reference resistor, and a pair of output terminals, wherein the output of the current output means and one of the pair of output terminals are connected, the reference voltage source and the One end of each reference resistor is connected to each other, the other end of the reference resistor is connected to the other of the pair of output terminals, and the other of the pair of output terminals is connected to the inverting input terminal of the operational amplifier. When the pair of output terminals and the resistor to be measured are electrically connected in a state of being connected without passing through the reference resistor, the voltage drop of the reference resistor is equal to the voltage value of the reference voltage source. In the constant current generator in which a constant DC constant current is output from the current output means,
Reference voltage changing means for changing a voltage value of the reference voltage source input to the non-inverting input terminal of the operational amplifier;
A first path connecting the output of the current output means and the inverting input terminal of the operational amplifier;
Switching means for switching the connection with the non-inverting input terminal of the operational amplifier between the other end of the reference resistor and the first path;
Control means for controlling the reference voltage changing means and the switching means;
With
The control means, when the current output means is in a normal operation state,
By controlling the reference voltage changing means, the voltage value of the reference resistance as a predetermined voltage value for the current output means to output the constant DC constant current,
By controlling the switching means, the connection with the non-inverting input terminal of the operational amplifier as the other end of the reference resistor,
The control means, when the current output means is not in a normal operation state,
By controlling the reference voltage changing means, the voltage value of the reference resistor is set to 0V,
The constant current generator according to claim 1, wherein the switching means is controlled to connect the operational amplifier to a non-inverting input terminal as the first path.
請求項9に記載の定電流発生装置であって、
前記電流出力手段が出力する電流値を検出する検出手段をさらに備え、
前記制御手段は、前記検出手段により、前記電流出力手段が前記一定の直流定電流を出力していることが検出された場合、前記電流出力手段が通常動作状態であると判断するとともに、前記検出手段により、前記電流出力手段が前記一定の直流定電流を出力していないことが検出された場合、前記電流出力手段が通常動作状態ではないと判断する
ことを特徴とする定電流発生装置。
The constant current generator according to claim 9,
And further comprising detection means for detecting a current value output by the current output means,
The control means determines that the current output means is in a normal operating state when the detection means detects that the current output means outputs the constant DC constant current, and the detection means When it is detected by the means that the current output means does not output the constant DC constant current, it is determined that the current output means is not in a normal operation state.
請求項9に記載の定電流発生装置であって、
前記制御手段は、ユーザにより動作開始が指令されている場合、前記電流出力手段が通常動作状態であると判断するとともに、ユーザにより動作開始が指令されていない場合、前記電流出力手段が通常動作状態ではないと判断する
ことを特徴とする定電流発生装置。
The constant current generator according to claim 9,
The control means determines that the current output means is in a normal operation state when an operation start is instructed by a user, and the current output means is in a normal operation state when an operation start is not instructed by the user. A constant current generator characterized in that it is not.
請求項9に記載の定電流発生装置であって、
前記電流出力手段の出力と前記基準抵抗の他端とを、スイッチを介して接続する第2の経路をさらに備え、
前記制御手段は、前記電流出力手段が通常動作状態である場合、前記スイッチを開放状態とし、
前記制御手段は、前記電流出力手段が通常動作状態ではない場合、前記スイッチを接続状態とする
ことを特徴とする定電流発生装置。
The constant current generator according to claim 9,
A second path connecting the output of the current output means and the other end of the reference resistor via a switch;
The control means opens the switch when the current output means is in a normal operation state,
The control means sets the switch in a connected state when the current output means is not in a normal operation state.
請求項9に記載の定電流発生装置であって、
前記第2の経路上であって、前記第1の経路上ではなく、かつ、前記基準抵抗とグランドとの間ではない位置に、前記電流出力手段のオフセット電圧値と前記基準抵抗の抵抗値とで決まる所定の定数の抵抗をさらに備える
ことを特徴とする定電流発生装置。
The constant current generator according to claim 9,
An offset voltage value of the current output means and a resistance value of the reference resistor at a position on the second path, not on the first path and not between the reference resistor and the ground. A constant current generator characterized by further comprising a predetermined constant resistance determined by:
少なくとも一つの演算増幅器を含む電流出力手段、基準電圧源、基準抵抗、および一対の出力端子を備え、前記電流出力手段の出力と前記一対の出力端子の一方が接続され、前記基準電圧源および前記基準抵抗のそれぞれの一端が相互に接続され、前記基準抵抗の他端と前記一対の出力端子の他方が接続されているとともに、前記一対の出力端子の他方が前記演算増幅器の前記反転入力端子に前記基準抵抗を介することなく接続されている状態において、前記一対の出力端子と被測定抵抗体が電気的に接続されることにより、前記基準抵抗の電圧降下が前記基準電圧源の電圧値と等しくなるように、前記電流出力手段から一定の直流定電流が出力される定電流発生回路の定電流発生方法であって、
前記演算増幅器の前記非反転入力端子に入力される前記基準電圧源の電圧値は変更可能であり、
前記電流出力手段の出力と前記演算増幅器の反転入力端子とが接続可能であり、
前記演算増幅器の非反転入力端子との接続が、前記基準抵抗の他端と前記第1の経路とで切り替え可能であるとともに、
前記電流出力手段が通常動作状態である場合、
前記基準抵抗の電圧値を前記電流出力手段が前記一定の直流定電流を出力するための所定の電圧値とし、
前記演算増幅器の非反転入力端子を、前記基準抵抗の他端と接続し、
前記電流出力手段が通常動作状態ではない場合、
前記基準抵抗の電圧値を0Vとし、
前記演算増幅器の非反転入力端子を前記第1の経路を介して前記電流出力手段の出力と接続する
ことを特徴とする定電流発生方法。
A current output means including at least one operational amplifier, a reference voltage source, a reference resistor, and a pair of output terminals, wherein the output of the current output means and one of the pair of output terminals are connected, the reference voltage source and the One end of each reference resistor is connected to each other, the other end of the reference resistor is connected to the other of the pair of output terminals, and the other of the pair of output terminals is connected to the inverting input terminal of the operational amplifier. When the pair of output terminals and the resistor to be measured are electrically connected in a state of being connected without passing through the reference resistor, the voltage drop of the reference resistor is equal to the voltage value of the reference voltage source. The constant current generation method of the constant current generation circuit, wherein a constant DC constant current is output from the current output means,
The voltage value of the reference voltage source input to the non-inverting input terminal of the operational amplifier can be changed,
The output of the current output means and the inverting input terminal of the operational amplifier can be connected,
The connection with the non-inverting input terminal of the operational amplifier can be switched between the other end of the reference resistor and the first path,
When the current output means is in a normal operation state,
The voltage value of the reference resistor is a predetermined voltage value for the current output means to output the constant DC constant current,
A non-inverting input terminal of the operational amplifier is connected to the other end of the reference resistor;
When the current output means is not in a normal operation state,
The voltage value of the reference resistor is 0V,
A non-inverting input terminal of the operational amplifier is connected to the output of the current output means via the first path.
少なくとも一つの演算増幅器を含む電流出力手段、基準電圧源、基準抵抗、および一対の出力端子を備え、前記電流出力手段の出力と前記一対の出力端子の一方が接続され、前記基準電圧源および前記基準抵抗のそれぞれの一端が相互に接続され、前記基準抵抗の他端と前記一対の出力端子の他方が接続されているとともに、前記一対の出力端子の他方が前記演算増幅器の前記反転入力端子に前記基準抵抗を介することなく接続されている状態において、前記一対の出力端子と被測定抵抗体が電気的に接続されることにより、前記基準抵抗の電圧降下が前記基準電圧源の電圧値と等しくなるように、前記電流出力手段から一定の直流定電流が出力される定電流発生手段と、
前記定電流発生手段により発生された定電流が流された状態の前記被測定抵抗体の両端の電圧を測定し、測定結果に基づいて、前記被測定抵抗の抵抗値を求める抵抗値測定手段と
を備える抵抗測定装置において、
前記定電流発生手段は、
前記演算増幅器の前記非反転入力端子に入力される前記基準電圧源の電圧値を変更する基準電圧変更手段と、
前記電流出力手段の出力と前記演算増幅器の反転入力端子とを接続する第1の経路と、
前記演算増幅器の非反転入力端子との接続を、前記基準抵抗の他端と前記第1の経路とで切り替える切り替え手段と、
前記基準電圧変更手段、および、前記切り替え手段を制御する制御手段と、
を備え、
前記制御手段は、前記電流出力手段が通常動作状態である場合、
前記基準電圧変更手段を制御して、前記基準抵抗の電圧値を前記電流出力手段が前記一定の直流定電流を出力するための所定の電圧値とし、
前記切り替え手段を制御して、前記演算増幅器の非反転入力端子との接続を、前記基準抵抗の他端とする
とともに、
前記制御手段は、前記電流出力手段が通常動作状態ではない場合、
前記基準電圧変更手段を制御して、前記基準抵抗の電圧値を0Vとし、
前記切り替え手段を制御して、前記演算増幅器の非反転入力端子との接続を、前記第1の経路とする
ことを特徴とする抵抗測定装置。
A current output means including at least one operational amplifier, a reference voltage source, a reference resistor, and a pair of output terminals, wherein the output of the current output means and one of the pair of output terminals are connected, the reference voltage source and the One end of each reference resistor is connected to each other, the other end of the reference resistor is connected to the other of the pair of output terminals, and the other of the pair of output terminals is connected to the inverting input terminal of the operational amplifier. When the pair of output terminals and the resistor to be measured are electrically connected in a state of being connected without passing through the reference resistor, the voltage drop of the reference resistor is equal to the voltage value of the reference voltage source. A constant current generating means for outputting a constant DC constant current from the current output means,
A resistance value measuring means for measuring a voltage across the resistor under measurement in a state in which a constant current generated by the constant current generating means is passed, and obtaining a resistance value of the resistor under measurement based on a measurement result; In a resistance measuring device comprising:
The constant current generating means includes
Reference voltage changing means for changing a voltage value of the reference voltage source input to the non-inverting input terminal of the operational amplifier;
A first path connecting the output of the current output means and the inverting input terminal of the operational amplifier;
Switching means for switching the connection with the non-inverting input terminal of the operational amplifier between the other end of the reference resistor and the first path;
Control means for controlling the reference voltage changing means and the switching means;
With
The control means, when the current output means is in a normal operation state,
By controlling the reference voltage changing means, the voltage value of the reference resistance as a predetermined voltage value for the current output means to output the constant DC constant current,
By controlling the switching means, the connection with the non-inverting input terminal of the operational amplifier as the other end of the reference resistor,
The control means, when the current output means is not in a normal operation state,
By controlling the reference voltage changing means, the voltage value of the reference resistor is set to 0V,
The resistance measuring apparatus, wherein the switching unit is controlled to connect the non-inverting input terminal of the operational amplifier to the first path.
請求項15に記載の抵抗測定装置であって、
前記定電流発生手段は、
前記電流出力手段が出力する電流値を検出する検出手段をさらに備え、
前記制御手段は、前記検出手段により、前記電流出力手段が前記一定の直流定電流を出力していることが検出された場合、前記電流出力手段が通常動作状態であると判断するとともに、前記検出手段により、前記電流出力手段が前記一定の直流定電流を出力していないことが検出された場合、前記電流出力手段が通常動作状態ではないと判断する
ことを特徴とする抵抗測定装置。
The resistance measuring device according to claim 15,
The constant current generating means includes
And further comprising detection means for detecting a current value output by the current output means,
The control means determines that the current output means is in a normal operating state when the detection means detects that the current output means outputs the constant DC constant current, and the detection means When it is detected by the means that the current output means does not output the constant DC constant current, it is determined that the current output means is not in a normal operation state.
請求項15に記載の抵抗測定装置であって、
前記定電流発生手段は、
前記抵抗値測定手段により測定された前記被測定抵抗体の両端の電圧値を取得する取得手段をさらに備え、
前記制御手段は、前記取得手段により前記被測定抵抗体の両端の電圧値に基づいて、前記電流出力手段が通常動作状態であるか否か判断する
ことを特徴とする抵抗測定装置。
The resistance measuring device according to claim 15,
The constant current generating means includes
An acquisition means for acquiring a voltage value at both ends of the measured resistor measured by the resistance value measurement means;
The control means determines whether or not the current output means is in a normal operation state based on a voltage value at both ends of the resistor to be measured by the acquisition means.
請求項15に記載の抵抗測定装置であって、
前記被測定抵抗体の両端に測定端子が正しく接続されているか否かを検出する検出手段
をさらに備え、
前記定電流発生手段は、
前記制御手段は、前記検出手段により前記被測定抵抗体の両端に前記測定端子が正しく接続されていることが検出された場合、前記電流出力手段が通常動作状態であると判断するとともに、前記検出手段により前記被測定抵抗体の両端に前記測定端子が正しく接続されていないことが検出された場合、前記電流出力手段が通常動作状態ではないと判断する
ことを特徴とする抵抗測定装置。
The resistance measuring device according to claim 15,
It further comprises detection means for detecting whether or not the measurement terminals are correctly connected to both ends of the measured resistor,
The constant current generating means includes
The control means determines that the current output means is in a normal operation state when the detection means detects that the measurement terminals are correctly connected to both ends of the measured resistor, and the detection means When the means detects that the measurement terminal is not correctly connected to both ends of the resistor to be measured, it is determined that the current output means is not in a normal operation state.
請求項15に記載の抵抗測定装置であって、
前記制御手段は、ユーザにより動作開始が指令されている場合、前記電流出力手段が通常動作状態であると判断するとともに、ユーザにより動作開始が指令されていない場合、前記電流出力手段が通常動作状態であると判断する
ことを特徴とする抵抗測定装置。
The resistance measuring device according to claim 15,
The control means determines that the current output means is in a normal operation state when an operation start is instructed by a user, and the current output means is in a normal operation state when an operation start is not instructed by the user. It is judged that it is. The resistance measuring apparatus characterized by the above-mentioned.
請求項15に記載の抵抗測定装置であって、
前記定電流発生手段は、
前記電流出力手段の出力と前記基準抵抗の他端とを、スイッチを介して接続する第2の経路をさらに備え、
前記制御手段は、前記電流出力手段が通常動作状態である場合、前記スイッチを開放状態とし、
前記制御手段は、前記電流出力手段が通常動作状態ではない場合、前記スイッチを接続状態とする
ことを特徴とする抵抗測定装置。
The resistance measuring device according to claim 15,
The constant current generating means includes
A second path connecting the output of the current output means and the other end of the reference resistor via a switch;
The control means opens the switch when the current output means is in a normal operation state,
The resistance measuring apparatus, wherein the control means sets the switch in a connected state when the current output means is not in a normal operation state.
請求項20に記載の抵抗測定装置であって、
前記定電流発生手段は、
前記第2の経路上であって、前記第1の経路上ではなく、かつ、前記基準抵抗とグランドとの間ではない位置に、前記電流出力手段のオフセット電圧値と前記基準抵抗の抵抗値とで決まる所定の定数の抵抗をさらに備える
ことを特徴とする抵抗測定装置。
The resistance measuring device according to claim 20, wherein
The constant current generating means includes
An offset voltage value of the current output means and a resistance value of the reference resistor at a position on the second path, not on the first path and not between the reference resistor and the ground. A resistance measuring device, further comprising a resistance having a predetermined constant determined by:
少なくとも一つの演算増幅器を含む電流出力手段、基準電圧源、基準抵抗、および一対の出力端子を備え、前記電流出力手段の出力と前記一対の出力端子の一方が接続され、前記基準電圧源および前記基準抵抗のそれぞれの一端が相互に接続され、前記基準抵抗の他端と前記一対の出力端子の他方が接続されているとともに、前記一対の出力端子の他方が前記演算増幅器の前記反転入力端子に前記基準抵抗を介することなく接続されている状態において、前記一対の出力端子と被測定抵抗体が電気的に接続されることにより、前記基準抵抗の電圧降下が前記基準電圧源の電圧値と等しくなるように、前記電流出力手段から一定の直流定電流が出力される定電流発生手段と、
前記定電流発生手段により発生された定電流が流された状態の前記被測定抵抗体の両端の電圧を測定し、測定結果に基づいて、前記被測定抵抗の抵抗値を求める抵抗値測定手段と
を備える抵抗測定装置の抵抗測定方法であって、
前記演算増幅器の前記非反転入力端子に入力される前記基準電圧源の電圧値は変更可能であり、
前記電流出力手段の出力と前記演算増幅器の反転入力端子とが接続可能であり、
前記演算増幅器の非反転入力端子との接続が、前記基準抵抗の他端と前記第1の経路とで切り替え可能であるとともに、
前記電流出力手段が通常動作状態である場合、
前記基準抵抗の電圧値を前記電流出力手段が前記一定の直流定電流を出力するための所定の電圧値とし、
前記演算増幅器の非反転入力端子を、前記基準抵抗の他端と接続し
前記電流出力手段が通常動作状態ではない場合、
前記基準抵抗の電圧値を0Vとし、
前記演算増幅器の非反転入力端子を前記第1の経路を介して前記電流出力手段の出力と接続する
ことを特徴とする抵抗測定方法。


A current output means including at least one operational amplifier, a reference voltage source, a reference resistor, and a pair of output terminals, wherein the output of the current output means and one of the pair of output terminals are connected, the reference voltage source and the One end of each reference resistor is connected to each other, the other end of the reference resistor is connected to the other of the pair of output terminals, and the other of the pair of output terminals is connected to the inverting input terminal of the operational amplifier. When the pair of output terminals and the resistor to be measured are electrically connected in a state of being connected without passing through the reference resistor, the voltage drop of the reference resistor is equal to the voltage value of the reference voltage source. A constant current generating means for outputting a constant DC constant current from the current output means,
A resistance value measuring means for measuring a voltage across the resistor under measurement in a state in which a constant current generated by the constant current generating means is passed, and obtaining a resistance value of the resistor under measurement based on a measurement result; A resistance measuring method of a resistance measuring device comprising:
The voltage value of the reference voltage source input to the non-inverting input terminal of the operational amplifier can be changed,
The output of the current output means and the inverting input terminal of the operational amplifier can be connected,
The connection with the non-inverting input terminal of the operational amplifier can be switched between the other end of the reference resistor and the first path,
When the current output means is in a normal operation state,
The voltage value of the reference resistor is a predetermined voltage value for the current output means to output the constant DC constant current,
When the non-inverting input terminal of the operational amplifier is connected to the other end of the reference resistor, and the current output means is not in a normal operation state,
The voltage value of the reference resistor is 0V,
A non-inverting input terminal of the operational amplifier is connected to an output of the current output means via the first path.


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