JP2015026700A - センサ一体型吸着チャック及び処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
11 内部電極
12 誘電体
13 バイアス電源
14 引出電極
20 音響センサ
21 第1導電層
22 圧電体層
23 第2導電層
24 第1絶縁体
25 第3導電層
26 第2絶縁体
27 接地引出電極
28 出力引出電極
30 静電チャック
31 内部電極
32 被覆誘電体層
33 バイアス電源
34 引出電極
40 AEセンサ
41 第1シールド層
42 圧電体層
43 センサ電極
44 内部被覆絶縁体層
45 第2シールド層
46 外部被覆絶縁体層
47 接地引出電極
48 出力引出電極
49 参照出力引出電極
50 AEセンサ
51 第1絶縁体層
52 第1シールド層
53 第2絶縁体層
54 センサ電極
55 圧電体層
56 第2シールド層
57 外部被覆絶縁体層
58 出力引出電極
60 冷却用ベース
61 信号伝送用ケーブル
62 AE信号前段増幅器
63 給電用電線
64 信号用電線
70 プロセス・チャンバー
71 上部電極
72 シリコンウェーハ
73 プラズマ
80 プロセス・チャンバー
81 ビューポート
82 上部電極
83 下部電極
84 シリコンウェーハ
85 AEセンサ
86 光センサ
87 各種センサ
88 ESC電源
89 プラズマ電源
90 プラズマ
91 異常放電
100 プロセス・チャンバー
101 ビューポート
102 上部電極
103 ステージ筐体
104 電力印加電極
105 静電チャック
106 AEセンサ
107 シリコンウェーハ
108 ステージシールド
109 RF電源
110 プラズマ
Claims (11)
- 吸着機構を備えた吸着チャックと、
前記吸着チャックの試料載置面と反対側の面上に一体成膜した第1導電層/圧電体層/第2導電層からなる積層構造を有する音響センサと
を有するセンサ一体型吸着チャック装置。 - 吸着機構を備えた吸着チャックと、
吸着チャックを冷却する冷却用ベース部材と、
前記吸着チャックの試料載置面と反対側の面或いは前記冷却用ベース部材の表面のいずれか一方の面上に一体成膜した第1導電層/圧電体層/第2導電層からなる積層構造を有する音響センサと
を有するセンサ一体型吸着チャック装置。 - 前記音響センサは、ドーナツ状の第1導電層/圧電体層/第2導電層からなる積層構造を有することを特徴とする請求項1または請求項2に記載のセンサ一体型吸着チャック装置。
- 前記音響センサは、複数の互いに分離した第1導電層/圧電体層/第2導電層からなる積層構造を有することを特徴とする請求項1または請求項2に記載のセンサ一体型吸着チャック装置。
- 前記音響センサは、中心円状の第1導電層/圧電体層/第2導電層からなる積層構造と、前記中心円状の積層構造と同心円のドーナツ状の第1導電層/圧電体層/第2導電層からなる積層構造を有することを特徴とする請求項1または請求項2に記載のセンサ一体型吸着チャック装置。
- 前記圧電体層が、窒化アルミニウム、窒化ガリウム、窒化インジウム、酸化亜鉛或いはニオブ酸リチウムのいずれかを最大成分とすることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載のセンサ一体型吸着チャック装置。
- 前記吸着チャックが、前記吸着機構として絶縁体で被覆された吸着電極を備えた静電チャックであることを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれか1項に記載のセンサ一体型吸着チャック装置。
- 前記吸着チャックが、前記吸着機構として吸気機構を備えた真空チャックであることを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれか1項に記載のセンサ一体型吸着チャック装置。
- 請求項1乃至請求項7のいずれか1項に記載のセンサ一体型吸着チャック装置を試料載置機構として反応容器内に備えたことを特徴とする処理装置。
- 前記処理装置がプラズマエッチング装置或いはプラズマ気相成長装置のいずれかのプラズマ処理装置であり、
前記音響センサが超音波センサであることを特徴とする請求項9に記載の処理装置。 - 請求項8に記載のセンサ一体型吸着チャック装置を試料載置機構として備えたことを特徴とする処理装置。
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