JP2015023268A - 外部電極用導電性ペースト組成物及びこれを含む積層セラミック電子部品 - Google Patents
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Abstract
【課題】曲げクラックが発生しないチップ(chip)を製作するための外部電極用導電性ペースト及びこれを含む積層セラミック電子部品を提供する。【解決手段】ポリマー樹脂10と、上記ポリマー樹脂に含まれ、少なくとも一部が中空を有する球状の第1導電性金属粒子20,21と、上記ポリマー樹脂に含まれ、少なくとも一部が中空を有するフレーク状の第2導電性金属粒子30,31、とを含む外部電極用導電性ペースト組成物、及びこれを含む積層セラミック電子部品。【選択図】図3
Description
本発明は、外部電極用導電性ペースト組成物、これを含む積層セラミック電子部品及びその製造方法に関する。
セラミック材料を用いる電子部品としては、キャパシタ、インダクタ、圧電体素子、バリスタ及びサーミスタなどが挙げられる。
上記セラミック電子部品のうち積層セラミックキャパシタ(MLCC、Multi−Layered Ceramic Capacitor)は、セラミック材料からなるセラミック素体と、上記セラミック素体の内部に形成された内部電極と、上記内部電極と電気的に接続されるように上記セラミック素体の表面に設置された外部電極と、を含み、小型でありながら、高容量が保障され、実装が容易であるという長所を有する。
このような長所により、上記積層セラミックキャパシタは、コンピュータ、個人携帯用端末機(PDA)及び携帯電話などの多様な電子製品の印刷回路基板に装着されて電気を充填または放電させる重要な役割をするチップ形態のコンデンサとして用いられ、用いられる用途及び容量に応じて多様なサイズ及び積層形態を有することができる。
最近は、電子製品の小型化に伴い、上記積層セラミックキャパシタにも超小型化及び超高容量化が求められている。これにより、誘電体層及び内部電極の厚さを薄くし、より多くの数の誘電体層及び内部電極を積層した構造を有する積層セラミックキャパシタが製造されている。
上記超小型及び超高容量の積層セラミックキャパシタでは、自動車や医療機器などのような高信頼性が求められる分野における多くの機能が電子化されるにつれ、これに適した高信頼性が求められている。
このような高信頼性で問題になる要素としては、外部衝撃による外部電極層のクラック発生やめっき工程時にめっき液が外部電極層を通じてセラミック素体の内部に浸透するなどの問題点が挙げられる。
特に、当該技術分野では、ベンディングテスト(bending test)の後に曲げクラックが発生しないチップ(chip)が求められているため、一般的に外部電極の焼成時に用いられる銅ペーストでは信頼性を保証することが困難である。
これにより、上記問題点を解決するための新たな方案が必要である実情にある。
下記先行技術文献に記載された特許文献1は、外部電極用導電性ペースト及びこれを用いて形成した外部電極を備える積層セラミック電子部品に関する特許である。しかし、上記特許文献1には、中空を有する金属粒子については開示されていない。
本発明の課題は、上記した従来技術の問題点を解決するためのものである。
より具体的には、本発明の目的は、曲げクラックが発生しないチップ(chip)を製作するための外部電極用導電性ペースト及びこれを含む積層セラミック電子部品を提供することにある。
本発明の一形態による外部電極用導電性ペースト組成物は、ポリマー樹脂と、上記ポリマー樹脂に含まれ、少なくとも一部が中空を有する球状の第1導電性金属粒子と、上記ポリマー樹脂に含まれるフレーク状の第2導電性金属粒子と、を含むことができる。
一形態において、上記第1導電性金属粒子は、全て中空を有することができる。
一形態において、上記第2導電性金属粒子は、少なくとも一部が中空を有することができる。
一形態において、上記第1及び第2導電性金属粒子は、全て中空を有することができる。
一形態において、上記第1導電性金属粒子は、銀(Ag)、銅(Cu)及びアルミニウム(Al)からなる群より選択される少なくとも一つであることを特徴とすることができる。
一形態において、上記第2導電性金属粒子は、銀(Ag)、銅(Cu)及びアルミニウム(Al)からなる群より選択される少なくとも一つであることを特徴とすることができる。
一実施形態において、上記第1導電性金属粒子の粒子サイズは、0.1μm〜1.5μmであることを特徴とすることができる。
一形態において、上記第2導電性金属粒子の含量は、10%〜50%であることができる。
本発明の他の形態による外部電極用導電性ペースト組成物は、ポリマー樹脂と、上記ポリマー樹脂に含まれる球状の第1導電性金属粒子と、上記ポリマー樹脂に含まれ、少なくとも一部が中空を有するフレーク状の第2導電性金属粒子と、を含むことができる。
他の形態において、上記第1導電性金属粒子は、全て中空を有することができる。
他の実施形態において、上記第2導電性金属粒子は、全て中空を有することができる。
本発明の一形態による積層セラミック電子部品は、複数の誘電体層が積層されたセラミック素体と、上記誘電体層の少なくとも一面に形成され、上記セラミック素体の両端面を通じて交互に露出する複数の第1及び第2内部電極と、上記セラミック素体の両端面に形成され、上記第1及び第2内部電極と電気的に連結された第1及び第2外部電極と、を含み、上記第1及び第2外部電極はポリマー樹脂層を含み、前記ポリマー樹脂層は、ポリマー樹脂、上記ポリマー樹脂に含まれ、少なくとも一部が中空を有する球状の第1導電性金属粒子及び上記ポリマー樹脂に含まれるフレーク状の第2導電性金属粒子を含むことができる。
一形態において、上記第1導電性金属粒子は、全て中空を有することができる。
一形態において、上記第2導電性金属粒子は、少なくとも一部が中空を有することができる。
一形態において、上記第1及び第2外部電極の表面に形成されためっき層をさらに含むことができる。
一形態において、上記めっき層は、上記第1及び第2外部電極の表面に形成されたニッケル(Ni)めっき層と、上記ニッケルめっき層の表面に形成されたすず(Sn)めっき層と、を含むことを特徴とすることができる。
一形態において、上記第2導電性金属粒子の含量は、10%〜50%であることができる。
本発明の他の形態による積層セラミック電子部品は、複数の誘電体層が積層されたセラミック素体と、上記誘電体層の少なくとも一面に形成され、上記セラミック素体の両端面を通じて交互に露出する複数の第1及び第2内部電極と、上記セラミック素体の両端面に形成され、上記第1及び第2内部電極と電気的に連結された第1及び第2外部電極と、を含み、上記第1及び第2外部電極はポリマー樹脂層を含み、上記ポリマー樹脂層は、ポリマー樹脂、上記ポリマー樹脂に含まれる球状の第1導電性金属粒子及び上記ポリマー樹脂に含まれ、少なくとも一部が中空を有するフレーク状の第2導電性金属粒子を含むことができる。
他の形態において、上記第1導電性金属粒子は、全て中空を有することができる。
他の形態において、上記第2導電性金属粒子は、全て中空を有することができる。
本明細書の開示により、上記した従来技術の問題点を解決することができる。
より具体的には、本明細書の開示により、中空を有する金属粒子を含む外部電極用導電性ペーストを提供することで、緩衝作用を改善させて曲げクラックの発生を抑制することができる。
以下では、添付の図面を参照し、本発明の好ましい実施形態について説明する。しかし、本発明の実施形態は様々な他の形態に変形されることができ、本発明の範囲は以下で説明する実施形態に限定されない。また、本発明の実施形態は、当該技術分野で平均的な知識を有する者に本発明をより完全に説明するために提供されるものである。なお、図面における要素の形状及び大きさなどはより明確な説明のために誇張されることがある。
本発明において、縦横比(aspect ratio)とは、長軸の長さを短軸の長さで割った長さ比(長軸の長さ/短軸の長さ)を意味する。
本発明は、セラミック電子部品に関するもので、本発明の一実施形態によるセラミック電子部品には、積層セラミックキャパシタ、インダクタ、圧電体素子、バリスタ、チップ抵抗及びサーミスタなどがある。以下では、セラミック電子部品の一例として積層セラミックキャパシタについて説明する。
図1は本発明の一実施形態による外部電極用導電性ペーストを概略的に示した断面図である。
図1を参照すると、本発明の一実施形態による外部電極用導電性ペースト組成物は、ポリマー樹脂10と、上記ポリマー樹脂10に含まれ、少なくとも一部が中空を有する球状の第1導電性金属粒子20、21と、上記ポリマー樹脂10に含まれ、少なくとも一部が中空を有するフレーク状の第2導電性金属粒子30、31と、を含むことができる。
また、積層セラミックキャパシタの曲げクラックを改善させるために、柔軟性に優れたポリマー樹脂10を用いることができる。
上記ポリマー樹脂10は、エポキシ(epoxy)樹脂であることができるが、これに制限されない。
上記第1導電性金属粒子20、21または上記第2導電性金属粒子30、31のうち少なくとも一部は、中空を有する粒子であることができる。
上記第1導電性金属粒子20、21または上記第2導電性金属粒子30、31のうち少なくとも一部が中空を有する場合は、中が空いていることから、緩衝作用が働くため、一般の金属粒子を適用する場合に比べて曲げクラックが発生することを抑制することができる。
また、中空が形成された上記金属粒子は、一般の金属粒子に比べて原料の消耗が少ないため、原価の節減効果を有することができる。
なお、上記第1導電性金属粒子21または上記第2導電性金属粒子31は、全て中空を有する金属粒子であることができる。
より具体的には、上記第1導電性金属粒子21及び上記第2導電性金属粒子31を、全て中空を有する金属粒子で外部電極用導電性ペーストを製造する場合、緩衝作用を極大化させて曲げクラックの発生を防止することができる。
上記第1導電性金属粒子20、21の形状は、縦横比(aspect ratio)が1.45以下の球状であることができる。
上記第1導電性金属粒子20、21の形状が球状であるため、ポリマー樹脂10において配列される方向とは無関係に曲げクラックの発生を抑制することができる。
上記第2導電性金属粒子30、31の形状は、縦横比(aspect ratio)が1.45より大きいフレーク(flake)状であることができる。
本発明の一実施形態による外部電極用導電性ペーストは、伝導性を有さなければならないが、上記第2導電性金属粒子30、31の形状がフレーク(flake)状である場合、さらに高い伝導性を有することができる。
一実施形態において、上記第1導電性金属粒子20、21または上記第2導電性金属粒子30、31は、銀(Ag)、銅(Cu)及びアルミニウム(Al)からなる群より選択される少なくとも一つであることができるが、これに制限されない。
上記導電性金属粒子は、ポリマー樹脂10に含まれ、高い伝導性を有する金属からなることができる。
一実施形態において、上記第1金属粒子20、21の粒子サイズが0.1μm〜1.5μmであることを特徴とすることができる。
図2は本発明の他の実施形態による積層セラミックキャパシタ100を概略的に示した斜視図であり、図3は図2のA−A’線に沿って概略的に示した断面図である。
図2及び図3を参照すると、本発明の他の実施形態による積層セラミックキャパシタ100は、複数の誘電体層111が積層されたセラミック素体110と、誘電体層111の少なくとも一面に形成された複数の第1及び第2内部電極121、122と、セラミック素体110の両端面に形成され、第1及び第2内部電極121、122と電気的に連結された第1及び第2外部電極131、132と、を含む。
セラミック素体110は、複数の誘電体層111を積層してから焼成したもので、隣接するそれぞれの誘電体層111はその境界が確認できないほど一体化されていることができる。
また、セラミック素体110は、一般的に直方体状であることができるが、本発明はこれに限定されない。
なお、セラミック素体110は、その寸法に特に制限されないが、例えば、0.6mm×0.3mmなどのサイズに構成して高容量の積層セラミックキャパシタを形成することができる。
また、セラミック素体110の最外郭面には、必要に応じて、所定の厚さを有する誘電体カバー層(図示せず)をさらに形成することができる。
誘電体層111は、キャパシタの容量形成に寄与するもので、1層の厚さを積層セラミックキャパシタの容量設計に応じて任意に変更することができ、好ましくは、1層の厚さが焼成後に0.1μm〜1.0μmになるように構成することができるが、本発明はこれに限定されない。
また、誘電体層111は、高誘電率のセラミック材料を含むことができ、例えば、BaTiO3系セラミック粉末などを含むことができるが、本発明はこれに限定されない。
上記BaTiO3系セラミック粉末には、例えば、BaTiO3にCa、Zrなどが一部固溶された(Ba1−xCax)TiO3、Ba(Ti1−yCay)O3、(Ba1−xCax)(Ti1−yZry)O3またはBa(Ti1−yZry)O3などがあるが、本発明はこれに限定されない。
また、誘電体層111には、このようなセラミック粉末とともに、例えば、遷移金属酸化物や炭化物、希土類元素、マグネシウム(Mg)またはアルミニウム(Al)などのような多様なセラミック添加剤、有機溶剤、可塑剤、結合剤及び分散剤などがさらに添加されることができる。
第1及び第2内部電極層121、122は、誘電体層111を形成するセラミックシート上に形成されて積層された後、焼成によって一つの誘電体層111を介してセラミック素体110の内部に形成される。
このような第1及び第2内部電極層121、122は、異なる極性を有する一対の電極であり、誘電体層111の積層方向に沿って対向配置され、その間に配置された誘電体層111によって電気的に絶縁される。
また、第1及び第2内部電極層121、122は、その一端がセラミック素体110の両端面を通じてそれぞれ露出し、このようにセラミック素体110の一端面を通じて交互に露出した第1及び第2内部電極層121、122の一端は第1及び第2外部電極層131、132とそれぞれ電気的に連結される。
なお、第1及び第2内部電極層121、122は、導電性金属で形成され、例えば、ニッケル(Ni)またはニッケル(Ni)合金などからなるものを用いることができるが、本発明はこれに限定されない。
このような第1及び第2外部電極層131、132に所定の電圧が印加されると、対向する第1及び第2内部電極層121、122の間に電荷が蓄積され、このとき、積層セラミックキャパシタ100の静電容量は対向する第1及び第2内部電極121、122の面積に比例するようになる。
以下では、本発明の他の実施形態による積層セラミックキャパシタの製造方法について説明するとともに、本発明の他の実施形態による積層セラミックキャパシタについても説明する。
まず、複数のセラミックシートを用意する。
上記セラミックシートは、セラミック素体110の誘電体層111を形成するためのもので、セラミック粉末、ポリマー及び溶剤を混合してスラリーを製造し、上記スラリーをドクターブレードなどの工法によって数μmの厚さを有するシート(sheet)状に製作する。
次に、上記それぞれのセラミックシートの少なくとも一面に所定の厚さで導電性ペーストを印刷して第1及び第2内部電極パターンを形成する。
このとき、第1及び第2内部電極パターンは、セラミックシートの対向する両端面を通じて交互に露出するように形成する。
また、上記導電性ペーストの印刷方法は、スクリーン印刷法またはグラビア印刷法などを用いることができるが、本発明はこれに限定されない。
次いで、第1及び第2内部電極121、122が形成されたセラミックシートを交互に複数個積層し、積層方向から加圧して複数のセラミックシート及びそのセラミックシートに形成された第1及び第2内部電極パターンを圧着して積層体を形成する。
続いて、上記積層体を上記第1及び第2内部電極パターンの一端が上記積層体の両端面を通じて交互に露出するように1個のキャパシタに対応する領域ごとに切断してチップ(chip)化する。
その後、切断してチップ化された積層体を高温で焼成して複数の第1及び第2内部電極121、122を有するセラミック素体110を完成する。
次に、上記セラミック素体110の内部電極121、122が露出する面に銅膜131a、132aを形成する。
上記銅膜131a、132aを通じて内部電極121、122と外部電極131、132との連結性を確保することができる。
上記銅膜131a、132aは、銅ペースト(Cu paste)を用いることで形成されることができる。
上記銅ペースト(Cu paste)は、導電粉末として銅(Cu)粉末を用いており、上記粉末にガラスフリット(frit)やベース樹脂、有機溶剤を用いる有機ビークル(vehicle)などを混合して製造される。
このような銅ペーストを上記セラミック素体110の内部電極121、122が露出する面に塗布してから焼成することで、銅膜131a、132aを形成することができる。
このとき、上記銅膜131a、132aは、内部電極121、122との接触性さえ具現できれば十分であるため、上記セラミック素体110においてバンド(band)が短くなるように塗布されることができる。
次いで、上記銅膜131a、132aの上部にポリマー樹脂層131b、132bを形成することができる。
上記ポリマー樹脂層131b、132bは、ポリマー樹脂10と、上記ポリマー樹脂10に含まれ、少なくとも一部が中空を有する球状の第1導電性金属粒子20、21と、上記ポリマー樹脂10に含まれ、少なくとも一部が中空を有するフレーク状の第2導電性金属粒子20、21と、を含む外部電極用導電性ペーストを用いることで形成されることができる。
上記ポリマー樹脂10は、エポキシ(epoxy)樹脂であることができるが、これに制限されない。
上記導電性ペーストは、エポキシと硬化剤が溶剤において溶解された状態であり、溶解されたエポキシに導電性金属粒子を添加することで製造される。
上記ポリマー樹脂層131b、132bを上記銅膜131a、132aの上部に位置させることで、積層セラミックキャパシタの曲げクラックを改善させることができる。
上記第1導電性金属粒子20、21または上記第2導電性金属粒子30、31のうち少なくとも一部は、中空を有する粒子であることができる。
上記第1導電性金属粒子または上記第2導電性金属粒子のうち少なくとも一部が中空を有する場合は、中が空いていることから、緩衝作用が働くため、一般の金属粒子を適用する場合に比べて曲げクラックの発生を抑制することができる。
また、中空が形成された上記金属粒子は、一般の金属粒子に比べて原料の消耗が少ないため、原価の節減効果を有することができる。
なお、上記第1導電性金属粒子21または上記第2導電性金属粒子31は、全て中空を有する金属粒子であることができる。
上記第1導電性金属粒子20、21の形状は、縦横比(aspect ratio)が1.45以下である球状であることができる。
上記第1導電性金属粒子20、21の形状が球状であるため、ポリマー樹脂10において配列される方向とは無関係に曲げクラックの発生を抑制することができる。
上記第2導電性金属粒子30、31の形状は、縦横比(aspect ratio)が1.45より大きいフレーク(flake)状であることができる。
本発明の一実施形態による外部電極用導電性ペーストは、伝導性を有さなければならないが、上記第2導電性金属粒子30、31の形状がフレーク(flake)上である場合、さらに高い伝導性を有することができる。
一実施形態において、上記第1導電性金属粒子20、21または上記第2導電性金属粒子30、31は、銀(Ag)、銅(Cu)及びアルミニウム(Al)からなる群より選択される少なくとも一つであることができるが、これに制限されない。
上記導電性金属粒子は、ポリマー樹脂10に含まれ、高い伝導性を有する金属からなることができる。
また、ポリマー樹脂層131b、132bの表面にめっき処理を行うことでめっき層131c、132cをさらに形成することができる。
このとき、めっきに用いられる物質としては、ニッケルやすず、ニッケル−すずの合金などが挙げられ、必要に応じて、ニッケルめっき層及びすずめっき層をポリマー樹脂層131b、132b上に順に積層することで構成することができる。
下記表1は、フレーク(flake)状の第2導電性金属粒子の含量による高温負荷及び形状不良(peaking)の発生有無を示したものである。
形状不良(peaking)とは、外部電極の塗布形状で、塗布した部分のコーナーの厚さが薄く、センターの厚さが厚いことを意味する。
表1に示されているように、フレーク状の第2導電性金属粒子の含量が50%を超過すると、形状不良が発生し、高温負荷が生じる。また、第2導電性金属粒子の含量が10%未満の場合は、形状不良が発生して高温負荷の信頼性テスト時にIR低下及び短絡(short)不良が発生する。
また、第2導電性金属粒子が60%以上含まれる場合は、外部電極の塗布時に厚さの偏差が発生したり、フレーク状を有する第2導電性金属粒子が横たわるように配置されて導電経路が短くなるという問題点がある。
従って、第2導電性金属粒子が10%〜50%含まれる場合、形状不良による高温負荷を防止することができるとともに、導電経路が短くなるという問題点が解決されて導電性を確保することができる。
以上、本発明の実施形態について詳細に説明したが、本発明の権利範囲はこれに限定されず、特許請求の範囲に記載された本発明の技術的思想から外れない範囲内で多様な修正及び変形が可能であるということは、当技術分野の通常の知識を有するものには明らかである。
10 ポリマー樹脂
20、21 第1導電性金属粒子
30、31 第2導電性金属粒子
100 積層セラミックキャパシタ
110 セラミック素体
111 誘電体層
121 第1内部電極
122 第2内部電極
131 第1外部電極
132 第2外部電極
131a、132a 銅膜
131b、132b ポリマー樹脂層
131c、132c めっき層
20、21 第1導電性金属粒子
30、31 第2導電性金属粒子
100 積層セラミックキャパシタ
110 セラミック素体
111 誘電体層
121 第1内部電極
122 第2内部電極
131 第1外部電極
132 第2外部電極
131a、132a 銅膜
131b、132b ポリマー樹脂層
131c、132c めっき層
Claims (20)
- ポリマー樹脂と、
前記ポリマー樹脂に含まれ、少なくとも一部が中空を有する球状の第1導電性金属粒子と、
前記ポリマー樹脂に含まれるフレーク状の第2導電性金属粒子と、を含む、外部電極用導電性ペースト組成物。 - 前記第1導電性金属粒子は全て中空を有する、請求項1に記載の外部電極用導電性ペースト組成物。
- 前記第2導電性金属粒子は少なくとも一部が中空を有する、請求項1に記載の外部電極用導電性ペースト組成物。
- 前記第1及び第2導電性金属粒子は全て中空を有する、請求項1に記載の外部電極用導電性ペースト組成物。
- 前記第1導電性金属粒子は、銀(Ag)、銅(Cu)及びアルミニウム(Al)からなる群より選択される少なくとも一つである、請求項1に記載の外部電極用導電性ペースト組成物。
- 前記第2導電性金属粒子は、銀(Ag)、銅(Cu)及びアルミニウム(Al)からなる群より選択される少なくとも一つである、請求項1に記載の外部電極用導電性ペースト組成物。
- 前記第1導電性金属粒子の粒子サイズは0.1μm〜1.5μmである、請求項1に記載の外部電極用導電性ペースト組成物。
- 前記第2導電性金属粒子の含量は10%〜50%である、請求項1に記載の導電性ペースト組成物。
- ポリマー樹脂と、
前記ポリマー樹脂に含まれる球状の第1導電性金属粒子と、
前記ポリマー樹脂に含まれ、少なくとも一部が中空を有するフレーク状の第2導電性金属粒子と、を含む、外部電極用導電性ペースト組成物。 - 前記第1導電性金属粒子は、全て中空を有する、請求項9に記載の外部電極用導電性ペースト組成物。
- 前記第2導電性金属粒子は全て中空を有する、請求項9に記載の外部電極用導電性ペースト組成物。
- 複数の誘電体層が積層されたセラミック素体と、
前記誘電体層の少なくとも一面に形成され、前記セラミック素体の両端面を通じて交互に露出する複数の第1及び第2内部電極と、
前記セラミック素体の両端面に形成され、前記第1及び第2内部電極と電気的に連結された第1及び第2外部電極と、を含み、
前記第1及び第2外部電極はポリマー樹脂層を含み、前記ポリマー樹脂層は、ポリマー樹脂、前記ポリマー樹脂に含まれ、少なくとも一部が中空を有する球状の第1導電性金属粒子及び前記ポリマー樹脂に含まれるフレーク状の第2導電性金属粒子を含む、積層セラミック電子部品。 - 前記第1導電性金属粒子は全て中空を有する、請求項12に記載の積層セラミック電子部品。
- 前記第2導電性金属粒子は少なくとも一部が中空を有する、請求項12に記載の積層セラミック電子部品。
- 前記第1及び第2外部電極の表面に形成されためっき層をさらに含む、請求項12に記載の積層セラミック電子部品。
- 前記めっき層は、前記第1及び第2外部電極の表面に形成されたニッケル(Ni)めっき層と、前記ニッケルめっき層の表面に形成されたすず(Sn)めっき層と、を含む、請求項15に記載の積層セラミック電子部品。
- 前記第2導電性金属粒子の含量は10%〜50%である、請求項12に記載の積層セラミック電子部品。
- 複数の誘電体層が積層されたセラミック素体と、
前記誘電体層の少なくとも一面に形成され、前記セラミック素体の両端面を通じて交互に露出する複数の第1及び第2内部電極と、
前記セラミック素体の両端面に形成され、前記第1及び第2内部電極と電気的に連結された第1及び第2外部電極と、を含み、
前記第1及び第2外部電極はポリマー樹脂層を含み、前記ポリマー樹脂層は、ポリマー樹脂、前記ポリマー樹脂に含まれる球状の第1導電性金属粒子及び前記ポリマー樹脂に含まれ、少なくとも一部が中空を有するフレーク状の第2導電性金属粒子を含む、積層セラミック電子部品。 - 前記第1導電性金属粒子は全て中空を有する、請求項18に記載の積層セラミック電子部品。
- 前記第2導電性金属粒子は全て中空を有する、請求項18に記載の積層セラミック電子部品。
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