JP2015017930A - 検査装置 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (3)
- メタルマスクフレームに取付けられる前のメタルマスクシートに対して、予め設定された所定の検査用張力を付与する少なくとも一つの張力部と、
前記張力部により前記メタルマスクシートに張力が付与された状態において、前記メタルマスクシートの寸法を測定する寸法測定部、前記メタルマスクシートの撓みを測定する撓み測定部、及び前記メタルマスクシートの外観の欠陥を検査する外観検査部の中の少なくとも一つを有する検査装置。 - 請求項1による検査結果に基づいて、前記メタルマスクシートがメタルマスクの製造に用いる部材として適切か否かを判定、又は前記メタルマスクシートをランク分けする判定部を備えることを特徴とする検査装置。
- 前記張力部により前記メタルマスクシートに付与する張力を変化させる調節部と、
前記調節部により張力を変化させながら前記寸法測定部に前記メタルマスクシートの寸法を測定させること、及び前記調節部により張力を変化させながら前記撓み測定部に前記メタルマスクシートの撓みを測定させることの少なくとも一方を実行させる制御部と、
前記制御部を用いた測定結果に基づいて、前記メタルマスクシートに付与された張力と前記メタルマスクシートの伸び量、及び前記メタルマスクシートに付与された張力と前記メタルマスクシートの撓み量の関係の少なくとも一方を算出する算出部と
を備えることを特徴とする請求項1または2記載の検査装置。
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