JP2015005672A - 酸化物トランジスタ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ゲート電極5、ゲート絶縁膜7、酸化物半導体膜9、ソース電極15及びドレイン電極17を含み、前記ゲート電極5が少なくとも銅を含み、S値が0.2以下、オフ電流が1×10−15A/μm以下、Vthが0V以上1.0V以下である酸化物トランジスタ。
【選択図】図1
Description
そこで、積層された極めて薄いチップ間と微細な金属マイクロバンプを介して接続する3次元集積化技術が、素子の微細化に頼るこれまでの半導体微細化限界を打破できる革新的な技術として期待されている。そして、この配線工程に、従来の抵抗やコンデンサ程度の機能に加え、トランジスタ機能を設けて、電圧変換や消費電力を低減する技術が注目されている。配線工程にトランジスタが搭載できるようになったのは、酸化物半導体のような比較的低温で作製可能な材料の出現と、低温プロセス技術の発展によるところが大きい。
1.ゲート電極、ゲート絶縁膜、酸化物半導体膜、ソース電極及びドレイン電極を含み、前記ゲート電極が少なくとも銅を含み、
S値が0.2以下、オフ電流が1×10−15A/μm以下、Vthが0V以上1.0V以下である酸化物トランジスタ。
2.前記ゲート絶縁膜が、SiOxを含まない1に記載の酸化物トランジスタ。
3.前記ゲート絶縁膜が、Al、Ta、Hf、Y、Zr及びSiから選ばれる1種以上と、酸素及び/又は窒素との反応物を含む1又は2に記載の酸化物トランジスタ。
4.前記ゲート絶縁膜が、SiOxを含まない膜と、SiO2を含む膜と、を含む積層体である1〜3のいずれかに記載の酸化物トランジスタ。
5.前記酸化物半導体膜が、In,Ga,Zn,Al及びSnから選ばれる1種以上と、酸素を含む1〜4のいずれかに記載の酸化物トランジスタ。
6.前記酸化物半導体膜の水素濃度が、前記ゲート絶縁膜の水素濃度よりも高い1〜5のいずれかに記載の酸化物トランジスタ。
7.前記酸化物半導体膜の水素濃度が、5×1020atm/cm3以上、1×1022atm/cm3以下であり、前記ゲート絶縁膜の水素濃度が、1×1016atm/cm3以上、5×1020atm/cm3以下である1〜6のいずれかに記載の酸化物トランジスタ。
8.半導体デバイス層を有する半導体基板を少なくとも2つ積層した構造を有し、前記半導体基板のうち少なくとも1つが1〜7のいずれかに記載の酸化物トランジスタを含む積層体。
本発明のトランジスタの構成として、例えば、ソース電極とドレイン電極の間に、酸化物半導体膜が介在してチャネル層として機能する構成が挙げられる。ソース電極、ドレイン電極、酸化物半導体膜と、ゲート電極の間に、ゲート絶縁膜が設けることができる。
以下、本発明の酸化物トランジスタの各層について説明する。
本発明の酸化物トランジスタは、酸化物半導体を駆動するゲート電極に銅を含む。銅は純銅でもよいし、Mn等を含む合金でもよい。また、銅の拡散を防止するバリアメタルとして、ゲート電極にTiやSi(キャップメタル)を積層してもよいが、合金やキャップメタル付の銅は導電性の低下やプロセスの増加を招く場合があるため、純銅を使用することが好ましい。ゲート電極として、銅配線又は銅合金配線を用いることができる。
ゲート絶縁膜に用いる材料としては、銅拡散の抑制作用に優れた材料が好ましく、SiOx以外の材料が好ましい。具体的には、Al、Ta、Hf、Y、Zr及びSiから選ばれる1種以上と酸素及び/又は窒素との反応物が好ましく、Al2O3やSiNxが好ましい。これらの材料であると、S値、オフ電流及びVthに優れるTFTが得られる。
また、ゲート絶縁膜は2層以上からなる積層体としてもよく、この場合、上記の材料を含む膜とSiOxを含む膜との積層体としてもよい。
尚、本願明細書において、SiOxとはシリコン酸化物、SiNxとはシリコン窒化膜を意味し、いずれも量論比からずれることがあるためxと記載している。
5×1020atm/cm3以下であると、ゲートリークを招くことなく、酸化物半導体側にドナーとして作用せず、Vthシフトを招く要因とならない。
ゲート絶縁膜中の水素濃度は、二次イオン質量分析法(SIMS)で測定する。具体的には、実施例に記載の方法により測定する。
酸化物半導体膜の材料としては、In,Ga,Zn,Al及びSnから選ばれる1種以上と酸素を含む酸化物半導体が好ましい。これらの材料であると、S値、オフ電流及びVthに優れるTFTが得られる。
また、S値を急峻にする観点からインジウム錫亜鉛酸化物(ITZO)系材料が好ましい。安定性を向上するためにGaやAlを添加する場合は、Inの濃度は40原子%(at%)以上、Gaの濃度は30at%以下、Alの濃度は20at%以下が好ましい。
C軸配向させてもよいが、一般的にプロセス温度500℃以上が必要となるため、オーブンやホットプレート等基板毎加熱する方法は好ましくない。ランプアニールやレーザー結晶化等、酸化物半導体以外の部分が400℃以下に抑えられる方式であれば使用可能である。
酸化物半導体膜中の水素濃度は、1×1021atm/cm3以上、1×1022atm/cm3以下であることが好ましい。
ソース・ドレイン電極に用いる材料としては、Cuをはじめ、Al、Mo、Ti、W、Cr、ITO、IZO等を用いることができる。AlやCuを用いる場合、ヒロックを防止するため、MoやTiをコンタクト層としてもよい。
単層、積層に関わらず、酸化物半導体と接触する金属材料は、酸化物半導体と仕事関数が近いことが要求され、4.2〜4.8eVの範囲が好ましい。例えばAuやPt等、仕事関数が5eVを超える材料をソース・ドレイン材料として用いると、ゲート電圧が低い場合に電子注入が阻害されるため好ましくない。従って、コンタクトメタルとしてはMo、Ti、ITO,IZO等が好ましい。また、Mo等吸湿性に心配のある金属は、TaやWを少量混ぜた合金としてもよい。
S値=dVg/dlog(Ids)
S値は、具体的には実施例に記載の方法により測定する。
オフ電流は、具体的には実施例に記載の方法により測定する。
Vthは、具体的には実施例に記載の方法により測定する。
本発明の酸化物トランジスタは、例えば、3次元積層型チップ上の銅配線をゲート電極として、通常のTFTプロセスを適用して製造することができる。
本発明の積層体は、半導体デバイス層を有する半導体基板を少なくとも2つ積層した構造を有し、半導体基板のうち少なくとも1つが本発明の酸化物トランジスタを含む。
半導体基板のうち、本発明の酸化物トランジスタ以外のものとしては、例えば、シリコン単結晶,SiC単結晶(4H,6H),GaN単結晶,Ga2O3単結晶等が挙げられる。なお、これらの結晶は、サファイアやSi,SiCなどの基板上に薄膜成長させたものや、AlN等のバッファ層を有する積層体でもよい。
[TFTの作製]
図1に示す装置を製造した。
基板として、4インチのシリコンウェハー(n型:n−Si)1の上に、プラズマCVD法を用いて、低誘電率の層間絶縁膜としてSiOC膜3を150℃で300nm成膜した。次に、フォトリソグラフィーとドライエッチ(CF4/Ar)法を用いてゲート電極用の溝を作成した。続いて、スパッタ法により純銅を成膜し、CMP研磨により銅配線(ゲート電極)5を完成させた。
最後に、ソース・ドレイン電極15,17として、Ti(10nm)、Al(50nm)の順にスパッタ成膜し、再びフォトリソグラフィーとウェットエッチング(関東化学株式会社製専用薬液)によりソース・ドレイン形状に加工した。尚、上記各層の他の成膜条件は表1に示す通りである。
上記で得た銅ゲート電極付TFTについて、トランジスタ特性をKEYTHLEYの半導体評価装置SCS4200を用いて評価した。具体的に、Vds=0.1Vとし、Vgsを−20Vから20Vまで変化させ、S値、Off電流、Vth、電界効果移動度を評価した。
尚、S値はVgsを増加させてIdsが10−9Aから10−8Aまで変化する際のIdsの傾きから求めた。オフ電流は、−1Vから0Vまでのオフ電流値を本評価に使用したチャネルの幅10μmで除算した値を採用した。VthはOn電流が立ち上がる電圧として、Idsが10−12Aを超えた時点のゲート電圧とした。
酸化物半導体膜の結晶性について、XRDにより確認した。XRDの測定条件は以下の通りである。
装置:(株)リガク製Ultima−III
X線:Cu−Kα線(波長1.5406Å、グラファイトモノクロメータにて単色化)
2θ−θ反射法、連続スキャン(1.0°/分)
サンプリング間隔:0.02°
スリットDS、SS:2/3°、RS:0.6mm
膜中の水素濃度測定方法は、二次イオン質量分析法(SIMS)によって測定した(SIMSの詳細は、例えば、二次イオン質量分析法表面分析技術選書、日本表面科学会(編集)、(丸善)等を参照)。
[TFTの作製・評価]
表1に示す組成を有するターゲットを用い、表2に示す条件とした他は実施例1と同様にしてTFTの作製し、評価した。結果を表2、3に示す。
「ITZAO」:インジウム錫亜鉛アルミニウム酸化物
「IGO」:インジウムガリウム酸化物
「IZO」:インジウム亜鉛酸化物
「IGZO」:インジウムガリウム亜鉛酸化物
「Cu−Mn」:銅−マンガン合金
「HfN/HfSiNO」:窒化ハフニウム/窒化酸化ハフニウムシリコン
「ALD」:原子層成長法
「ICP−CVD」:誘導結合型プラズマ化学気相蒸着
「ECR−SPT」:電子サイクロトロン共鳴スパッタリング
「PI」:ポリイミド
「PAr」:ポリアリレート
「Cu/Ti」:Tiを積層した銅
「表面波PE−CVD」:表面波プラズマ化学気相成長法
3 SiOC膜(層間絶縁膜)
5 銅配線(ゲート電極)
7 絶縁膜(ゲート絶縁膜)
9 チャネル領域(酸化物半導体膜)
11 SiO2膜(層間絶縁膜)
13 ビアホール
15,17 ソース・ドレイン電極
Claims (8)
- ゲート電極、ゲート絶縁膜、酸化物半導体膜、ソース電極及びドレイン電極を含み、前記ゲート電極が少なくとも銅を含み、
S値が0.2以下、オフ電流が1×10−15A/μm以下、Vthが0V以上1.0V以下である酸化物トランジスタ。 - 前記ゲート絶縁膜が、SiOxを含まない請求項1に記載の酸化物トランジスタ。
- 前記ゲート絶縁膜が、Al、Ta、Hf、Y、Zr及びSiから選ばれる1種以上と、酸素及び/又は窒素との反応物を含む請求項1又は2に記載の酸化物トランジスタ。
- 前記ゲート絶縁膜が、SiOxを含まない膜と、SiO2を含む膜と、を含む積層体である請求項1〜3のいずれかに記載の酸化物トランジスタ。
- 前記酸化物半導体膜が、In,Ga,Zn,Al及びSnから選ばれる1種以上と、酸素を含む請求項1〜4のいずれかに記載の酸化物トランジスタ。
- 前記酸化物半導体膜の水素濃度が、前記ゲート絶縁膜の水素濃度よりも高い請求項1〜5のいずれかに記載の酸化物トランジスタ。
- 前記酸化物半導体膜の水素濃度が、5×1020atm/cm3以上、1×1022atm/cm3以下であり、前記ゲート絶縁膜の水素濃度が、1×1016atm/cm3以上、5×1020atm/cm3以下である請求項1〜6のいずれかに記載の酸化物トランジスタ。
- 半導体デバイス層を有する半導体基板を少なくとも2つ積層した構造を有し、前記半導体基板のうち少なくとも1つが請求項1〜7のいずれかに記載の酸化物トランジスタを含む積層体。
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