JP2015004614A - Contact probe - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To solve the problem of conventional contact probes that a plunger slides over a fixed region inside a barrel, which tends to increase contact resistance because of scratches on a sliding surface and metal scrapings or the like.SOLUTION: A contact probe 1 of the present invention has a floating plunger 5 which is located in a hollow section 2 of a plunger 2 and is not fixed to a coil spring 6. This and use of a coil spring 4 for forming an outer shape of the contact probe 1 reduce sliding distance and make it unlikely to keep a sliding region limited. As a result, at least certain sliding surfaces of plungers 2, 3 are less susceptible to scratches and generation of metal scrapings or the like, thereby keeping a contact resistance value stable and improving durability of the contact probe 1.

Description

本発明は、コンタクトプローブ（プローブユニット）に関し、特に、安定した接触抵抗値を実現する構造に関する。   The present invention relates to a contact probe (probe unit), and more particularly to a structure that realizes a stable contact resistance value.

従来のコンタクトプローブの構造として、下記に示す構造が知られている。   As the structure of a conventional contact probe, the following structure is known.

図７に示す如く、コンタクトプローブ３１は、棒状体からなるプランジャー３２が筒状体からなるバレル３３内に挿入して保持される構造である。そして、プランジャー３２は、バレル３３内にてスプリング３４（図８（Ａ）参照）により軸心方向に付勢され、軸心方向に移動自在となる。   As shown in FIG. 7, the contact probe 31 has a structure in which a plunger 32 made of a rod-like body is inserted and held in a barrel 33 made of a cylindrical body. The plunger 32 is urged in the axial direction by a spring 34 (see FIG. 8A) in the barrel 33 and is movable in the axial direction.

図８（Ａ）に示す如く、バレル３３は、プランジャー３２の直径よりも大きな内径を有し、バレル３３内には、プランジャー３２やスプリング３４により一端が固定されたバイアスピン３５が配設される。そして、バイアスピン３５は、バレル３３内にてプランジャー３２及びスプリング３４により挟まれ、矢印３６にて示すクリアランス方向へも移動可能である。   As shown in FIG. 8A, the barrel 33 has an inner diameter larger than the diameter of the plunger 32, and a bias pin 35 having one end fixed by the plunger 32 and the spring 34 is disposed in the barrel 33. Is done. The bias pin 35 is sandwiched between the plunger 32 and the spring 34 in the barrel 33 and can also move in the clearance direction indicated by the arrow 36.

図８（Ｂ）に示す如く、測定時には、バイアスピン３５がプランジャー３２により押圧されることで、バレル３３を介して３つの導通経路３６、３７、３８が形成される（例えば、特許文献１参照。）。   As shown in FIG. 8B, at the time of measurement, the bias pin 35 is pressed by the plunger 32, whereby three conduction paths 36, 37, and 38 are formed through the barrel 33 (for example, Patent Document 1). reference.).

特開２００６−９０９４１号公報（第４−５頁、第１−３図）JP 2006-90941 A (page 4-5, Fig. 1-3)

しかしながら、上記コンタクトプローブ３１では、プランジャー３２がバレル３３内を軸心方向に移動し、バイアスピン３５を押圧することで、上記導通経路３７、３８、３９が形成される。そのため、プランジャー３２及びバイアスピン３５が、バレル３３と摺動して移動する距離も長くなる。そして、この測定作業を繰り返すことで、バレル３３の摺動領域やバイアスピン３５の摺動領域では、金属剥がれ等の傷や金属カス等が発生し易く、接触抵抗値が大きくなるという問題がある。   However, in the contact probe 31, the conduction path 37, 38, 39 is formed by the plunger 32 moving in the barrel 33 in the axial direction and pressing the bias pin 35. Therefore, the distance that the plunger 32 and the bias pin 35 slide and move with the barrel 33 is also increased. By repeating this measurement operation, scratches such as metal peeling and metal debris are likely to occur in the sliding region of the barrel 33 and the sliding region of the bias pin 35, and the contact resistance value increases. .

特に、バイアスピン３５の一端がスプリング３４に固定されているため、バイアスピン３５の可動領域は制限され、バイアスピン３５とバレル３３との摺動領域は一定の領域となり易い。その結果、バイアスピン３５やバレル３３は、その一定領域にて摺動動作を繰り返すため、金属剥がれ等の傷や金属カス等が発生し易く、耐久性が悪化するという問題がある。そして、測定装置では、所望の品質（抵抗値）を維持する必要があるため、コンタクトプローブの交換サイクルが短くなり、コストアップへと繋がる問題がある。   In particular, since one end of the bias pin 35 is fixed to the spring 34, the movable region of the bias pin 35 is limited, and the sliding region between the bias pin 35 and the barrel 33 tends to be a constant region. As a result, since the bias pin 35 and the barrel 33 repeatedly slide in a certain region, there is a problem that scratches such as metal peeling, metal debris, etc. are likely to occur, and durability is deteriorated. And since it is necessary to maintain desired quality (resistance value) in a measuring apparatus, the exchange cycle of a contact probe becomes short and there exists a problem which leads to a cost increase.

また、近年の半導体装置の高集積化に伴い、ウエハ上面に多数のコンタクトプローブ３１を接触させ、一度に複数の素子の特性検査を行う。そして、素子に設けられた接続端子のピッチ間が年々狭ピッチ化されており、コンタクトプローブ３１自体の小型化が求められている。   In addition, with the recent high integration of semiconductor devices, a large number of contact probes 31 are brought into contact with the upper surface of the wafer, and a plurality of elements are inspected at once. The pitch between connection terminals provided in the element is narrowed year by year, and the contact probe 31 itself is required to be downsized.

更には、バイアスピン３５がプランジャー３２に対して点接触することで、バイアスピンがバレル３３の内周面側へと移動し易い構造を実現している。しかしながら、バイアスピン３５とプランジャー３２との点接触の構造では、接触抵抗値が大きくなり易いという問題がある。また、上記点接触状態では、バレル３３（外筒）の撓みを利用するため「瞬断」と呼ばれる現象が生じ易い。そして、ウエハ等の被検査半導体装置には異常がないにもかかわらず不良品と判定され、測定装置側の誤測定により、歩留まり率が低下する結果を招く恐れがある。   Further, the bias pin 35 makes point contact with the plunger 32, thereby realizing a structure in which the bias pin easily moves toward the inner peripheral surface side of the barrel 33. However, the point contact structure between the bias pin 35 and the plunger 32 has a problem that the contact resistance value tends to increase. Further, in the point contact state, a phenomenon called “instantaneous interruption” is likely to occur because the deflection of the barrel 33 (outer cylinder) is used. Then, although there is no abnormality in the semiconductor device to be inspected such as a wafer, it is determined as a defective product, and there is a possibility that the yield rate decreases due to erroneous measurement on the measuring device side.

前述した各事情に鑑みて成されたものであり、本発明は、一端側が第１の接触子となり、他端側が開口端部となる導電性の筒状体の第１のプランジャーと、一端側が第２の接触子となり、他端側の少なくとも一部が前記第１のプランジャー内に配設され、前記第１のプランジャーの軸心方向に移動可能な第２のプランジャーと、一端側が前記第１のプランジャーの外周面に固定され、他端側が前記第２のプランジャーの外周面に固定され、前記第１及び第２のプランジャーを前記軸心方向に付勢して伸縮する第１のバネと、前記第１のプランジャー内に配設され、前記軸心方向に伸縮する第２のバネと、一端側が前記第２のバネと非接続状態となり、他端側が前記第２のプランジャーと対向するように、前記第１のプランジャー内にて移動自在に配設される導電性の第３のプランジャーとを有することを特徴とする。   The present invention has been made in view of the circumstances described above, and the present invention includes a first plunger of a conductive cylindrical body having one end side serving as a first contact and the other end side serving as an open end, and one end. A second plunger that is a second contact, and at least a part of the other end is disposed in the first plunger and is movable in the axial direction of the first plunger, and one end The side is fixed to the outer peripheral surface of the first plunger, the other end side is fixed to the outer peripheral surface of the second plunger, and the first and second plungers are urged in the axial direction to expand and contract. And a second spring disposed in the first plunger and extending and contracting in the axial direction, one end side being disconnected from the second spring, and the other end side being the first spring. In the first plunger so as to face the second plunger. And having a third plunger conductivity is disposed.

本発明では、筒状筐体のプランジャー内に遊体プランジャー及びコイルバネが配置され、測定時の導通経路が形成される。遊体プランジャーが、プランジャーの中空部内を非固定状態にて移動することで、摺動領域の重複が低減し、低い接触抵抗値の維持が実現される。   In this invention, a play body plunger and a coil spring are arrange | positioned in the plunger of a cylindrical housing | casing, and the conduction | electrical_connection path | route at the time of a measurement is formed. Since the play body plunger moves in the hollow portion of the plunger in a non-fixed state, duplication of the sliding region is reduced, and a low contact resistance value is maintained.

また、本発明では、遊体プランジャーはコイルバネにより動きが規制され難く、遊体プランジャーの動きにより他のプランジャーとの接触面積が増大し易くなる。   In the present invention, the movement of the play body plunger is hardly restricted by the coil spring, and the contact area with other plungers is likely to increase due to the movement of the play body plunger.

また、本発明では、筒状筐体のプランジャーとその外周面に固定されたコイルバネにより外形が形成される。この構造により、筒状筐体内部の遊体プランジャーの移動距離が短くなり、摺動面の金属剥がれ等の傷や金属カス等が発生を大幅に低減できる。   Moreover, in this invention, an external shape is formed with the plunger of a cylindrical housing | casing, and the coil spring fixed to the outer peripheral surface. With this structure, the moving distance of the play body plunger inside the cylindrical housing is shortened, and the occurrence of scratches such as metal peeling on the sliding surface and metal debris can be greatly reduced.

また、本発明では、コイルバネが外形の一部として用いられ、コンタクトプローブがコイルバネの領域で撓み、プランジャーの領域にて撓み難い構造となる。そして、各プランジャー間が安定して接触し易く、接触面積も増大し易くなる。また、筐体フレーム構造に発生し易い「瞬断」とよばれる現象も抑えることができる。   In the present invention, the coil spring is used as a part of the outer shape, and the contact probe is bent in the area of the coil spring and hardly bent in the area of the plunger. And it becomes easy to contact between each plunger stably, and it becomes easy to increase a contact area. In addition, a phenomenon called “instantaneous interruption” that is likely to occur in the housing frame structure can be suppressed.

また、本発明では、外径の一部としてのコイルバネが、筐体内部に配置されないことで、測定装置の負荷荷重に合わせた線径を選択でき、コンタクトプローブの小型化も実現できる。   Further, in the present invention, since the coil spring as a part of the outer diameter is not disposed inside the housing, the wire diameter can be selected according to the load load of the measuring apparatus, and the contact probe can be downsized.

また、本発明では、プランジャー内に配置されるコイルバネを導電経路として用いないことで、その材質を自由に選択できる。そして、コイルバネの弾性係数が、線径以外に材質により調整可能であり、遊体プランジャーへの所望の接触圧の確保が容易となる。   Moreover, in this invention, the material can be freely selected by not using the coil spring arrange | positioned in a plunger as a conductive path. And the elastic coefficient of a coil spring can be adjusted with materials other than a wire diameter, and it becomes easy to ensure the desired contact pressure to a play body plunger.

本発明の実施の形態におけるコンタクトプローブを説明するための側面図である。It is a side view for demonstrating the contact probe in embodiment of this invention. 本発明の実施の形態におけるコンタクトプローブを説明するための（Ａ）断面図、（Ｂ）断面図、（Ｃ）断面図である。It is (A) sectional view, (B) sectional view, and (C) sectional view for explaining a contact probe in an embodiment of the invention. 本発明の実施の形態におけるコンタクトプローブを説明するための（Ａ）断面図、（Ｂ）断面図である。It is (A) sectional drawing for demonstrating the contact probe in embodiment of this invention, (B) It is sectional drawing. 本発明の実施の形態における（Ａ）〜（Ｄ）コンタクトプローブの耐久試験の結果を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the result of the endurance test of (A)-(D) contact probe in embodiment of this invention. 本発明の実施の形態における（Ａ）〜（Ｄ）コンタクトプローブの耐久試験の結果を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the result of the endurance test of (A)-(D) contact probe in embodiment of this invention. 本発明の実施の形態における測定状況を説明するための概略図である。It is the schematic for demonstrating the measurement condition in embodiment of this invention. 従来の実施の形態におけるコンタクトプローブを説明するための側面図である。It is a side view for demonstrating the contact probe in conventional embodiment. 従来の実施の形態におけるコンタクトプローブを説明するための（Ａ）断面図、（Ｂ）断面図である。It is (A) sectional drawing and (B) sectional drawing for demonstrating the contact probe in conventional embodiment.

以下に、本発明の一実施の形態であるコンタクトプローブについて説明する。図１は、本実施の一形態であるコンタクトプローブの側面図である。図２（Ａ）〜図２（Ｃ）は、図１に示すコンタクトプローブのＡ−Ａ線方向の断面図であり、図２（Ａ）は、負荷荷重を加える前のコンタクトプローブの状態を示し、図２（Ｂ）及び図２（Ｃ）は、負荷荷重を加えた後のコンタクトプローブの状態を示す。図３（Ａ）は、各プランジャーを説明するための断面図であり、図３（Ｂ）は、各プランジャーの接触状況と導電経路を説明するための断面図である。図４（Ａ）〜（Ｄ）は、コンタクトプローブの耐久試験の結果を説明するための図である。図５（Ａ）〜（Ｄ）は、コンタクトプローブの耐久試験の結果を説明するための図である。図６は、コンタクトプローブを用いた測定状況を説明するための概略図である。   A contact probe according to an embodiment of the present invention will be described below. FIG. 1 is a side view of a contact probe according to an embodiment of the present invention. 2A to 2C are cross-sectional views of the contact probe shown in FIG. 1 in the AA line direction, and FIG. 2A shows a state of the contact probe before applying a load. FIG. 2B and FIG. 2C show the state of the contact probe after applying a load. FIG. 3A is a cross-sectional view for explaining each plunger, and FIG. 3B is a cross-sectional view for explaining a contact state and a conductive path of each plunger. 4A to 4D are diagrams for explaining the results of the durability test of the contact probe. 5A to 5D are diagrams for explaining the results of the durability test of the contact probe. FIG. 6 is a schematic diagram for explaining a measurement situation using a contact probe.

図１に示す如く、コンタクトプローブ１は、例えば、高周波用等の半導体装置、電子部品や自動車の電子制御回路等の電気的な特性検査を行う測定装置に用いられる。近年では、半導体装置の高集積化や電子部品の小型化に伴い、微細ピッチにて配置された端子や電極に対してコンタクトプローブ１を接触させる必要があり、コンタクトプローブ１自体の小型化や接触抵抗値の低減化、安定化等が求められている。   As shown in FIG. 1, the contact probe 1 is used, for example, in a measuring device that performs electrical characteristic inspections such as a semiconductor device for high frequency, an electronic component, and an electronic control circuit of an automobile. In recent years, with the high integration of semiconductor devices and the miniaturization of electronic components, it is necessary to bring the contact probe 1 into contact with the terminals and electrodes arranged at a fine pitch. Reduction of resistance value, stabilization, etc. are required.

コンタクトプローブ１は、主に、接触子が形成された筒状体のプランジャー２と、接触子が形成されたプランジャー３と、両プランジャー２、３の外周面に一端が固定されるコイルバネ４と、プランジャー２内に移動自在に配設された遊体プランジャー５（図２（Ａ）参照）と、プランジャー２内に配設されたコイルバネ６（図２（Ａ）参照）とを有する。そして、コンタクトプローブ１の全長Ｌは、例えば、２０ｍｍ程度であり、その外径φ１は、例えば、０．８ｍｍ程度である。   The contact probe 1 is mainly composed of a cylindrical plunger 2 in which contacts are formed, a plunger 3 in which contacts are formed, and a coil spring whose one end is fixed to the outer peripheral surfaces of both plungers 2 and 3. 4, a play body plunger 5 (see FIG. 2A) movably disposed in the plunger 2, and a coil spring 6 (see FIG. 2A) disposed in the plunger 2. Have The total length L of the contact probe 1 is about 20 mm, for example, and the outer diameter φ1 is about 0.8 mm, for example.

プランジャー２は、例えば、円筒状の外筒筐体として形成され、一端側に円錐状の接触子２Ａが形成され、他端側は開口端部２Ｂとして形成される。プランジャー２は、導電経路として用いられるため、例えば、導電性に優れた銅材、金材や合金材等が用いられ、その中空部２Ｃ（図２（Ａ）参照）の内周面も含め全周面に金メッキ、銅メッキ等が成される。   The plunger 2 is formed, for example, as a cylindrical outer cylinder housing, a conical contact 2A is formed on one end side, and an open end 2B is formed on the other end side. Since the plunger 2 is used as a conductive path, for example, a copper material, a gold material, an alloy material, or the like excellent in conductivity is used, including the inner peripheral surface of the hollow portion 2C (see FIG. 2A). Gold plating, copper plating, etc. are made on the entire peripheral surface.

尚、プランジャー２の接触子２Ａの形状は円錐状に限定するものではなく、接触子２Ａが接する端子や電極の形状に応じて、様々な形状を採用することができる。また、プランジャー２に接触子２Ａが一体に成形された場合について説明したが、この場合に限定するものではない。例えば、接触子２Ａを別体として成形した後、プランジャー２の一端側に取り付ける場合でも良い。また、プランジャー２の断面形状は円形に限定するものではなく、その断面形状は８角形等の多角形でも良い。   Note that the shape of the contact 2A of the plunger 2 is not limited to a conical shape, and various shapes can be employed depending on the shape of the terminal or electrode with which the contact 2A is in contact. Moreover, although the case where 2 A of contactors were integrally shape | molded by the plunger 2 was demonstrated, it does not limit to this case. For example, the contact 2A may be formed as a separate body and then attached to one end of the plunger 2. Further, the cross-sectional shape of the plunger 2 is not limited to a circular shape, and the cross-sectional shape may be a polygon such as an octagon.

プランジャー３は、例えば、少なくとも２種類の外径φ１、φ２を有する円柱状体として形成される。プランジャー３の一端側の先端には円錐状の接触子３Ａが形成される。一方、プランジャー３の他端側の先端には円錐状のコンタクト部３Ｂ（図２（Ａ）参照）が形成され、プランジャー２の中空部２Ｃ内へと配設される。そして、プランジャー３は、導電経路として用いられるため、例えば、導電性に優れた銅材、金材や合金材等が用いられ、プランジャー３の外周面には金メッキ、銅メッキ等が成される。   The plunger 3 is formed as a cylindrical body having at least two types of outer diameters φ1 and φ2, for example. A conical contact 3 </ b> A is formed at the tip of one end of the plunger 3. On the other hand, a conical contact portion 3B (see FIG. 2A) is formed at the tip of the other end side of the plunger 3, and is disposed in the hollow portion 2C of the plunger 2. Since the plunger 3 is used as a conductive path, for example, a copper material, a gold material, an alloy material or the like excellent in conductivity is used, and the outer peripheral surface of the plunger 3 is gold-plated, copper-plated, or the like. The

尚、プランジャー２と同様に、接触子３Ａを別体として成形した後、プランジャー３の一端側に取り付ける場合でも良い。   As with the plunger 2, the contact 3 </ b> A may be formed as a separate body and then attached to one end of the plunger 3.

コイルバネ４は、一端側がプランジャー２の外周面を巻回すようにプランジャー２に固定され、他端側がプランジャー３の外周面を巻回すようにプランジャー３に固定される。コイルバネ４は、プランジャー２、３に固定される部分では密接して巻回され、その中間部では一定間隔にて巻回されることで、その中間部にてプランジャー２の動きに応じて伸縮する。   The coil spring 4 is fixed to the plunger 2 so that one end side winds the outer peripheral surface of the plunger 2, and is fixed to the plunger 3 so that the other end side winds the outer peripheral surface of the plunger 3. The coil spring 4 is wound closely at the portions fixed to the plungers 2 and 3 and is wound at a constant interval at the intermediate portion thereof, and according to the movement of the plunger 2 at the intermediate portion. It expands and contracts.

そして、コイルバネ４は、筐体内に収容されない構造となることで、コイルバネ４の線径が、測定装置から加えられる負荷荷重に応じて所望の範囲にて変更することが可能となる。また、コイルバネ４は、導電性材料でも、非導電性材料でも良い。   And the coil spring 4 becomes a structure which is not accommodated in a housing | casing, It becomes possible to change the wire diameter of the coil spring 4 in a desired range according to the load applied from a measuring apparatus. The coil spring 4 may be a conductive material or a non-conductive material.

尚、コイルバネ４は、コンタクトプローブ１の外形としても機能し、丸印７、８（図２（Ａ）参照）にて示すプランジャー２、３の段差部の端面を利用して安定的にプランジャー２、３に固定される。   The coil spring 4 also functions as the outer shape of the contact probe 1 and is stably planned using the end surfaces of the stepped portions of the plungers 2 and 3 indicated by circles 7 and 8 (see FIG. 2A). It is fixed to the jars 2 and 3.

図２（Ａ）では、例えば、コンタクトプローブ１が測定装置（図示せず）にセットされたが、測定装置から負荷荷重が加えられていない状況を示す。   FIG. 2A shows a situation in which, for example, the contact probe 1 is set in a measuring device (not shown), but no load is applied from the measuring device.

先ず、遊体プランジャー５は、例えば、円柱状体であり、その一端は軸心方向（紙面上下方向）に対して傾斜面５Ａを有する鋭角形状として形成される。具体的には、傾斜面５Ａを形成するために円柱状体を側面から斜めに切断した形状となる。一方、遊体プランジャー５の他端はコイルバネ６に固定されない構造となる。   First, the play body plunger 5 is, for example, a cylindrical body, and one end thereof is formed as an acute angle shape having an inclined surface 5A with respect to the axial direction (up and down direction on the paper surface). Specifically, a cylindrical body is cut obliquely from the side surface to form the inclined surface 5A. On the other hand, the other end of the play body plunger 5 is not fixed to the coil spring 6.

遊体プランジャー５の外径φ３は、プランジャー２の内径φ４よりも小さく、遊体プランジャー５は、プランジャー２の中空部２Ｃの内面に対して一定のクリアランスを有した状態となる。そして、遊体プランジャー５は、プランジャー３とコイルバネ６との間のプランジャー２の中空部２Ｃ内を移動可能となる。   The outer diameter φ3 of the play body plunger 5 is smaller than the inner diameter φ4 of the plunger 2, and the play body plunger 5 has a certain clearance with respect to the inner surface of the hollow portion 2C of the plunger 2. The play body plunger 5 can move in the hollow portion 2 </ b> C of the plunger 2 between the plunger 3 and the coil spring 6.

また、遊体プランジャー５は、導電経路として用いられるため、例えば、導電性に優れた銅材、金材や合金材等が用いられ、遊体プランジャー５の外周面には金メッキ、銅メッキ等が成される。   Further, since the play body plunger 5 is used as a conductive path, for example, a copper material, a gold material, an alloy material, or the like excellent in conductivity is used, and the outer peripheral surface of the play body plunger 5 is plated with gold or copper. Etc. are made.

コイルバネ６は、導電経路として用いられないため、導電性の小さい金属材料やプラスチック等の絶縁材料から形成されても良い。そして、コイルバネ６は、プランジャー２の中空部２Ｃ内に配設されることで、その線径が制限されるが、その材料が導電性材料に限定されないため、材質により測定装置からの負荷荷重に対応することができる。   Since the coil spring 6 is not used as a conductive path, the coil spring 6 may be formed of an insulating material such as a metal material having low conductivity or plastic. The coil spring 6 is disposed in the hollow portion 2C of the plunger 2 so that its wire diameter is limited. However, since the material is not limited to the conductive material, the load load from the measuring device depends on the material. It can correspond to.

コイルバネ６の一端側は、遊体プランジャー５と固定されず自由端となり、その他端側も、プランジャー２の中空部２Ｃ内の端部に固定されず自由端となる。そして、コイルバネ６は、遊体プランジャー５から押圧されることで軸心方向に伸縮したり、プランジャー２の内周面側へと傾いたりする。尚、コンタクトプローブ１の組み立て時には、コイルバネ６及び遊体プランジャー５は、プランジャー２の中空部２Ｃ内に、順次、挿入されるのみで、非固定状態にて配置される。   One end side of the coil spring 6 is not fixed to the play body plunger 5 and is a free end, and the other end side is not fixed to the end portion in the hollow portion 2C of the plunger 2 and is a free end. The coil spring 6 is expanded or contracted in the axial direction by being pressed from the play body plunger 5 or tilted toward the inner peripheral surface of the plunger 2. When the contact probe 1 is assembled, the coil spring 6 and the play body plunger 5 are simply inserted sequentially into the hollow portion 2C of the plunger 2 and are arranged in an unfixed state.

次に、図示したように、コンタクトプローブ１の接触子２Ａが、半導体素子等の端子９等に接触し、電気的な特性検査が行われる。測定装置からコンタクトプローブ１に負荷荷重が加えられていない状態では、プランジャー３も軸心方向に移動せず、コイルバネ４にも荷重が加わらない。   Next, as shown in the figure, the contact 2A of the contact probe 1 comes into contact with a terminal 9 such as a semiconductor element, and an electrical characteristic inspection is performed. In a state where no load is applied from the measuring device to the contact probe 1, the plunger 3 does not move in the axial direction, and no load is applied to the coil spring 4.

遊体プランジャー５は、コイルバネ６に固定されていないため、プランジャー２の内周面に寄り掛かりながらコイルバネ６上に乗った状態となる。このとき、遊体プランジャー５は、測定装置の設置時や測定準備時の機械的振動等により、コイルバネ６の一端側の全周囲のプランジャー２の内周面に寄り掛かることが可能となる。   Since the play body plunger 5 is not fixed to the coil spring 6, the play body plunger 5 is put on the coil spring 6 while leaning against the inner peripheral surface of the plunger 2. At this time, it becomes possible for the play body plunger 5 to lean on the inner peripheral surface of the plunger 2 on the entire circumference on one end side of the coil spring 6 due to mechanical vibration at the time of installation of the measuring device or preparation for measurement. .

そして、遊体プランジャー５とプランジャー３とは距離Ｄ１離間し、両部材３、５が離間している間は、遊体プランジャー５にはプランジャー３からの押圧力は加わらない。   The play body plunger 5 and the plunger 3 are separated from each other by a distance D1, and the push force from the plunger 3 is not applied to the play body plunger 5 while both the members 3 and 5 are separated.

図２（Ｂ）及び図２（Ｃ）では、コンタクトプローブ１に測定装置から負荷荷重が加えられた状況を示す。   2 (B) and 2 (C) show a situation in which a load is applied to the contact probe 1 from the measuring device.

図２（Ｂ）に示す如く、プランジャー２の開口端部２Ｂとプランジャー３のストッパー部３Ｃとは距離Ｄ２（図２（Ａ）参照）離間する。そして、測定装置からコンタクトプローブ１に負荷荷重が加わると、プランジャー３のストッパー部３Ｃがプランジャー２の開口端部２Ｂへ向けて移動する。   As shown in FIG. 2B, the opening end 2B of the plunger 2 and the stopper 3C of the plunger 3 are separated by a distance D2 (see FIG. 2A). When a load is applied from the measuring device to the contact probe 1, the stopper portion 3 </ b> C of the plunger 3 moves toward the open end 2 </ b> B of the plunger 2.

このとき、プランジャー３が距離Ｄ１（図２（Ａ）参照）移動し、少なくともプランジャー３が遊体プランジャー５と接触するまでは、遊体プランジャー５にはプランジャー３からの押圧力は加わらない。   At this time, the plunger 3 is moved by the distance D1 (see FIG. 2A) and at least until the plunger 3 comes into contact with the play body plunger 5, the push force from the plunger 3 is applied to the play body plunger 5. Will not join.

尚、距離Ｄ２は、コンタクトプローブ１のストローク距離として、例えば、０．４ｍｍと設定される。そして、距離Ｄ１は距離Ｄ２よりも短く設定されることで、プランジャー３が距離Ｄ１以上移動することで、各プランジャー２、３、５間が所望の接触圧により接触し、接触抵抗値が低減された導電経路１０、１１（図２（Ｃ）参照）の確保が実現される。   The distance D2 is set to 0.4 mm, for example, as the stroke distance of the contact probe 1. The distance D1 is set to be shorter than the distance D2, so that the plunger 3 moves by a distance D1 or more so that the plungers 2, 3 and 5 are brought into contact with each other with a desired contact pressure, and the contact resistance value is increased. The reduced conductive paths 10 and 11 (see FIG. 2C) are ensured.

図２（Ｃ）に示す如く、プランジャー３が距離Ｄ１以上移動することで、遊体プランジャー５は、プランジャー３とコイルバネ６により挟まれた状態となり、両部材３、６から略反対方向の押圧力を受ける。そして、プランジャー３は、そのストッパー部３Ｃがプランジャー２の開口端部２Ｂと当接するまでは、軸心方向に移動可能である。   As shown in FIG. 2 (C), when the plunger 3 is moved by the distance D1 or more, the play body plunger 5 is sandwiched between the plunger 3 and the coil spring 6, and the members 3 and 6 are substantially opposite to each other. The pressure is received. The plunger 3 is movable in the axial direction until the stopper portion 3C comes into contact with the opening end portion 2B of the plunger 2.

このとき、遊体プランジャー５はコイルバネ６に固定されていないため、遊体プランジャー５の軸心とコイルバネ６の軸心は一致し難く、コイルバネ６は縮みながらプランジャー２の内周面側へと傾く。尚、この状態の説明は、図３（Ｂ）を用いて後述する。   At this time, since the play body plunger 5 is not fixed to the coil spring 6, the axis of the play body plunger 5 and the axis of the coil spring 6 are unlikely to coincide with each other. Lean to the side. This state will be described later with reference to FIG.

その結果、遊体プランジャー５は、プランジャー３及びコイルバネ６からそれぞれ押圧力を受け、プランジャー２の内周面へと押し付けられるように固定される。更に、遊体プランジャー５からの反力により、プランジャー３の一部もプランジャー２の内周面へと押し付けられるように固定される。そして、矢印にて示すように、プランジャー２、３及び遊体プランジャー５による第１の導電経路１０と、プランジャー２、３による第２の電流経路１１とが形成される。   As a result, the play body plunger 5 receives a pressing force from the plunger 3 and the coil spring 6 and is fixed so as to be pressed against the inner peripheral surface of the plunger 2. Further, a part of the plunger 3 is fixed so as to be pressed against the inner peripheral surface of the plunger 2 by the reaction force from the play body plunger 5. Then, as indicated by the arrows, a first conductive path 10 formed by the plungers 2 and 3 and the play body plunger 5 and a second current path 11 formed by the plungers 2 and 3 are formed.

上述したように、プランジャー３が、最初の距離Ｄ１移動する間は、プランジャー２の内周面に対してクリアランスを有するので、実質、プランジャー２、３間が摺動することはない。つまり、各プランジャー２、３、５間が摺動するのは、プランジャー３が距離Ｄ１移動した以降である。そして、大きな摩擦力が加わる摺動距離を大幅に低減することで、金属剥がれ等の傷や金属カス等による接触抵抗値の増大が大幅に改善できる。そして、コンタクトプローブ１の耐久性も大幅に向上され、コンタクトプローブ１が長寿命化し、交換サイクルも長くなり、コスト面の改善も実現できる。   As described above, the plunger 3 has a clearance with respect to the inner peripheral surface of the plunger 2 while the plunger 3 moves for the initial distance D1, and therefore, the plungers 2 and 3 do not slide substantially. That is, it is after the plunger 3 has moved the distance D1 that the plungers 2, 3 and 5 slide. And by significantly reducing the sliding distance to which a large frictional force is applied, it is possible to significantly improve the increase in contact resistance due to scratches such as metal peeling or metal debris. Further, the durability of the contact probe 1 is greatly improved, the contact probe 1 has a longer life, the replacement cycle becomes longer, and the cost can be improved.

図３（Ａ）では、説明の都合上、各プランジャー２、３、５間を離間した状態にて説明する。また、コイルバネ４も省略して説明する。   In FIG. 3 (A), for the convenience of explanation, the plungers 2, 3 and 5 will be described in a state of being separated. Further, the coil spring 4 is also omitted from the description.

図示の如く、遊体プランジャー５の傾斜面５Ａの鋭角形状の先端断面の角度αは、例えば、３０°となり、プランジャー３のコンタクト部３Ｂの先端断面の角度βは、例えば、６０°となる。具体的には、遊体プランジャー５の鋭角形状は、角度α＜角度β、より適格には、角度β＝２α（±５°の範囲は許容）の関係を満たすように形成されることで、各プランジャー２、３、５間での十分な接触面積が確保される。   As shown in the figure, the angle α of the acute-shaped tip section of the inclined surface 5A of the play body plunger 5 is 30 °, for example, and the angle β of the tip section of the contact portion 3B of the plunger 3 is 60 °, for example. Become. Specifically, the acute-angle shape of the play body plunger 5 is formed so as to satisfy the relationship of angle α <angle β, more appropriately, angle β = 2α (± 5 ° range is allowable). A sufficient contact area between the plungers 2, 3, and 5 is ensured.

図２（Ａ）にて上述したように、測定時には、プランジャー２の中空部２Ｃ内にて、遊体プランジャー５は、プランジャー２の内周面に寄り掛かりながらコイルバネ６上に乗った状態となる。そして、遊体プランジャー５は、コイルバネ６に対して非固定状態のため、プランジャー２の全内周面に対して寄り掛かることが可能となる。   As described above with reference to FIG. 2A, at the time of measurement, the play body plunger 5 rides on the coil spring 6 while leaning against the inner peripheral surface of the plunger 2 in the hollow portion 2C of the plunger 2. It becomes a state. And since the play body plunger 5 is a non-fixed state with respect to the coil spring 6, it becomes possible to lean on the whole inner peripheral surface of the plunger 2. FIG.

この構造により、測定毎に遊体プランジャー５と接するプランジャー２の内周面が異なる可能性が高く、遊体プランジャー５は、プランジャー２の内周面の一定の領域に対して摺動を繰り返す可能性は小さくなり、ランダムに任意のプランジャー２の内周面と摺動することが可能となる。   Due to this structure, there is a high possibility that the inner peripheral surface of the plunger 2 that contacts the play body plunger 5 is different for each measurement, and the play body plunger 5 slides with respect to a certain region of the inner peripheral surface of the plunger 2. The possibility of repeating the movement is reduced, and it is possible to slide on the inner peripheral surface of the arbitrary plunger 2 at random.

更に、プランジャー３が遊体プランジャー５を押圧する際、遊体プランジャー５は、それぞれの傾斜面５Ａ、３Ｄを介してプランジャー３の傾斜面３Ｄとプランジャー２の内周面との間に入り込む。このとき、同様に、それぞれの傾斜面５Ａ、３Ｄ同士が、一定の領域に対して摺動を繰り返す可能性は小さくなり、ランダムに任意の領域にて摺動することが可能となる。   Furthermore, when the plunger 3 presses the play body plunger 5, the play body plunger 5 moves between the inclined surface 3 </ b> D of the plunger 3 and the inner peripheral surface of the plunger 2 via the inclined surfaces 5 </ b> A and 3 </ b> D. Get in between. At this time, similarly, the possibility that the inclined surfaces 5A and 3D repeat sliding with respect to a certain region becomes small, and it becomes possible to slide in an arbitrary region at random.

その結果、各プランジャー２、３、５間において、一定領域での摺動動作の繰り返しを大幅に低減でき、摺動動作の繰り返しによる金属剥がれ等の傷や金属カス等の発生を大幅に低減できる。そして、各プランジャー２、３、５間での接触抵抗値の増大を防止することで、コンタクトプローブ１の耐久性が向上され、コンタクトプローブ１の繰り返しの利用が可能となる。   As a result, it is possible to greatly reduce the repetition of sliding operation in a fixed area between the plungers 2, 3, and 5, and to greatly reduce the occurrence of scratches such as metal peeling and metal debris due to repeated sliding operation. it can. Further, by preventing an increase in the contact resistance value between the plungers 2, 3, 5, the durability of the contact probe 1 is improved, and the contact probe 1 can be used repeatedly.

図３（Ｂ）に示す状態は、プランジャー３により遊体プランジャー５が押圧される状態、図２（Ｂ）から図２（Ｃ）へと移行する状態を示す。この状態では、遊体プランジャー５の軸心は、コイルバネ６の軸心よりも紙面右側に位置し、両軸心は一致し難くなる。   The state shown in FIG. 3B shows a state in which the play body plunger 5 is pressed by the plunger 3 and a state in which the state shifts from FIG. 2B to FIG. In this state, the axis of the play body plunger 5 is located on the right side of the drawing with respect to the axis of the coil spring 6, and it is difficult for both axes to coincide.

次に、測定装置からの負荷荷重がコンタクトプローブ１に加わることで、矢印１２にて示すように、プランジャー３は軸心方向へと移動し、遊体プランジャー５をコイルバネ６方向へと押圧する。このとき、両部材３、５は、傾斜面３Ｄ、５Ａを介して接触するため、軸心方向から紙面右側へ傾いた押圧力が、遊体プランジャー５へと伝わる。更に、遊体プランジャー５はコイルバネ６を押圧するが、両部材５、６の軸心方向がずれ、上記傾いた押圧力により、コイルバネ６は、矢印１３方向に傾斜しながら縮む。   Next, when the load from the measuring device is applied to the contact probe 1, as indicated by the arrow 12, the plunger 3 moves in the axial direction and presses the play body plunger 5 in the direction of the coil spring 6. To do. At this time, since both the members 3 and 5 are in contact via the inclined surfaces 3D and 5A, the pressing force inclined from the axial direction to the right side of the drawing is transmitted to the play body plunger 5. Furthermore, although the play body plunger 5 presses the coil spring 6, the axial center directions of both the members 5, 6 are shifted, and the coil spring 6 contracts while being inclined in the direction of the arrow 13 by the inclined pressing force.

この状態により、遊体プランジャー５は、プランジャー３及びコイルバネ６からの押圧力により、矢印方向１４方向（紙面右側）のプランジャー２の内周面に押し付けられ、プランジャー２との広い接触面積Ｓ１が確保される。また、遊体プランジャー５とプランジャー３とは、上記角度α、βの関係を満たすことで、傾斜面３Ｄに沿った接触面積Ｓ２が確保される。更に、プランジャー３にも、遊体プランジャー５からの反力等の矢印方向１５方向（紙面左側）の押圧力が加わり、プランジャー３のコンタクト部３Ｂ側が、プランジャー２の内周面に押し付けられ、プランジャー２との広い接触面積Ｓ３が確保される。   In this state, the play body plunger 5 is pressed against the inner peripheral surface of the plunger 2 in the direction of the arrow 14 (right side of the page) by the pressing force from the plunger 3 and the coil spring 6, and wide contact with the plunger 2. Area S1 is secured. Moreover, the play area plunger 5 and the plunger 3 satisfy | fill the relationship of said angle (alpha) and (beta), and the contact area S2 along 3D of inclined surfaces is ensured. Further, the plunger 3 is also applied with a pressing force in the direction of the arrow 15 (left side of the page) such as a reaction force from the play body plunger 5, and the contact portion 3B side of the plunger 3 is brought into contact with the inner peripheral surface of the plunger 2. A large contact area S3 with the plunger 2 is secured by being pressed.

特に、開口端部２Ｂとストッパー部３Ｃとが当接しない状態では、コンタクトプローブ１は、コイルバネ４の領域にて撓み、プランジャー２は撓み難くなる。そして、遊体プランジャー５がコイルバネ６に固定されてなく、プランジャー２内の各プランジャー２、３、５間が接触し易くなり、広い接触面積Ｓ１〜Ｓ３が確保され易い。   In particular, in a state where the opening end portion 2B and the stopper portion 3C are not in contact with each other, the contact probe 1 bends in the region of the coil spring 4, and the plunger 2 becomes difficult to bend. And the play body plunger 5 is not fixed to the coil spring 6, but it becomes easy to contact between each plunger 2, 3, and 5 in the plunger 2, and it is easy to ensure wide contact area S1-S3.

その結果、上述した接触抵抗値の小さい２つの導通経路１０、１１が確保され、接触抵抗値の増大が防止され、「瞬断」と呼ばれる現象が防止される。尚、各プランジャー２、３、５は、それぞれの径は異なるが、同心円の円柱状態となることで、より確実に上記接触面積Ｓ１〜Ｓ３が確保される。   As a result, the above-described two conduction paths 10 and 11 having a small contact resistance value are secured, an increase in the contact resistance value is prevented, and a phenomenon called “instantaneous interruption” is prevented. The plungers 2, 3, and 5 have different diameters, but the contact areas S1 to S3 are more reliably ensured by being in a concentric cylindrical state.

更に、コイルバネ６は、その材料により弾性係数を小さくし、あまり伸縮しない構造とすることもできる。この構造により、遊体プランジャー５が、コイルバネ６及びプランジャー３により高い接触圧を受けることができ、各プランジャー２、３、５間の接点圧も高められる。そして、「瞬断」と呼ばれる現象を防止し、コンタクトプローブ１の安定した接触抵抗値が実現される。   Further, the coil spring 6 can have a structure in which the elastic coefficient is made small by the material and does not expand and contract so much. By this structure, the play body plunger 5 can receive a high contact pressure by the coil spring 6 and the plunger 3, and the contact pressure between the plungers 2, 3, 5 is also increased. Then, a phenomenon called “instantaneous interruption” is prevented, and a stable contact resistance value of the contact probe 1 is realized.

図４及び図５を用いてコンタクトプローブ１の耐久試験の結果を説明する。耐久試験の設定条件は、コンタクトプローブ１のストローク距離（Ｄ２）を０．４ｍｍ、角度αを３０°、角度βを６０°に設定し、図４（Ａ）〜図４（Ｄ）に示す常温の場合と、図５（Ａ）〜図５（Ｄ）に示す１７５℃の場合について説明する。   The result of the durability test of the contact probe 1 will be described with reference to FIGS. The endurance test was set at the normal temperature shown in FIGS. 4A to 4D by setting the stroke distance (D2) of the contact probe 1 to 0.4 mm, the angle α to 30 °, and the angle β to 60 °. And the case of 175 ° C. shown in FIGS. 5A to 5D will be described.

先ず、常温の場合には、図４（Ａ）に示す初期値として、それぞれの接触抵抗値が３０〜３５ｍΩの範囲、それぞれの接触荷重が１１０〜１４０ｇｆの範囲にあった。図４（Ｂ）に示す３０万回時の値としては、それぞれの接触抵抗値が３０〜４５ｍΩの範囲、それぞれの接触荷重が１１０〜１３０ｇｆの範囲にあった。図４（Ｃ）に示す５０万回時の値としては、それぞれの接触抵抗値が３０〜５０ｍΩの範囲、それぞれの接触荷重が１００〜１２０ｇｆの範囲にあった。図４（Ｄ）に示す７０万回時の値としては、９本の接触抵抗値が３０〜５０ｍΩの範囲にあったが、１本（４番目）の接触抵抗値が７５ｍΩであり、それぞれの接触荷重が９０〜１１０ｇｆの範囲にあった。   First, in the case of normal temperature, each contact resistance value was in the range of 30 to 35 mΩ and each contact load was in the range of 110 to 140 gf as initial values shown in FIG. As values at 300,000 times shown in FIG. 4B, the respective contact resistance values were in the range of 30 to 45 mΩ, and the respective contact loads were in the range of 110 to 130 gf. As values at 500,000 times shown in FIG. 4C, each contact resistance value was in the range of 30 to 50 mΩ, and each contact load was in the range of 100 to 120 gf. As the value at 700,000 times shown in FIG. 4D, nine contact resistance values were in the range of 30 to 50 mΩ, but one (fourth) contact resistance value was 75 mΩ, The contact load was in the range of 90 to 110 gf.

次に、１７５°の場合には、図５（Ａ）に示す初期値として、それぞれの接触抵抗値が３５〜３０ｍΩの範囲、それぞれの接触荷重が１１０〜１３０ｇｆの範囲にあった。図５（Ｂ）に示す３０万回時の値としては、それぞれの接触抵抗値が２５〜３５ｍΩの範囲、それぞれの接触荷重が１１０〜１２５ｇｆの範囲にあった。図５（Ｃ）に示す５０万回時の値としては、それぞれの接触抵抗値が１５〜５０ｍΩの範囲、それぞれの接触荷重が１００〜１２５ｇｆの範囲であり、多少のばらつきがあった。図５（Ｄ）に示す７０万回時の値としては、９本の接触抵抗値が３０〜５０ｍΩの範囲にあったが、１本（４番目）の接触抵抗値が６５ｍΩであり、それぞれの接触荷重が１０５〜１２５ｇｆの範囲にあった。   Next, in the case of 175 °, as the initial values shown in FIG. 5A, the respective contact resistance values were in the range of 35 to 30 mΩ, and the respective contact loads were in the range of 110 to 130 gf. As values at 300,000 times shown in FIG. 5B, each contact resistance value was in the range of 25 to 35 mΩ, and each contact load was in the range of 110 to 125 gf. As the values at 500,000 times shown in FIG. 5C, the respective contact resistance values were in the range of 15 to 50 mΩ, and the respective contact loads were in the range of 100 to 125 gf. As the value at 700,000 times shown in FIG. 5D, nine contact resistance values were in the range of 30 to 50 mΩ, but one (fourth) contact resistance value was 65 mΩ, The contact load was in the range of 105 to 125 gf.

上記により、コンタクトプローブ１では、常温の場合でも、１７５°の場合でも、接触抵抗値をおおよそ５０ｍΩ以下に維持しつつ、７０万回という高い耐久性能が実証された。   As described above, the contact probe 1 demonstrated a high durability performance of 700,000 times while maintaining a contact resistance value of approximately 50 mΩ or less, both at room temperature and at 175 °.

図６に示す如く、測定装置２１では、半導体ウエハや電子回路基板等の測定物２２を測定用テーブル上に設置し、測定物２２の端子数に応じた数のコンタクトプローブ１をソケット２３へと配置する。そして、測定装置２１の荷重ユニット２４がコンタクトプローブ１の接触子３Ａ（図１参照）に接触し、ソケット２３内の全てのコンタクトプローブ１に対して負荷荷重を加え、コンタクトプローブ１の接触子２Ａ（図１参照）と端子とを十分な接触状態とし、電気的な特性検査を行う。測定物２２によっては、ソケット２３内に数千本〜数万本のコンタクトプローブ１を配置する場合もある。そして、全てのコンタクトプローブ１に対して一定の負荷荷重を加えるためには、荷重ユニット２４から加える負荷荷重も大きくする必要がある。   As shown in FIG. 6, in the measurement apparatus 21, a measurement object 22 such as a semiconductor wafer or an electronic circuit board is placed on a measurement table, and the number of contact probes 1 corresponding to the number of terminals of the measurement object 22 is connected to the socket 23. Deploy. Then, the load unit 24 of the measuring device 21 comes into contact with the contact 3A (see FIG. 1) of the contact probe 1, applies a load to all the contact probes 1 in the socket 23, and contacts 2A of the contact probe 1 (See FIG. 1) and the terminal are in sufficient contact, and an electrical characteristic inspection is performed. Depending on the measurement object 22, thousands to tens of thousands of contact probes 1 may be arranged in the socket 23. In order to apply a constant load to all the contact probes 1, it is necessary to increase the load applied from the load unit 24.

図１を用いて前述したように、コイルバネ４が筐体内に収容されない構造となることで、コイルバネ４の線径が、測定装置２１から加えられる負荷荷重に応じて所望の範囲にて変更することが可能となる。そして、コイルバネ４の線径を大きくした場合でも、その周囲を覆う筐体が不要のため、コンタクトプローブ１の小型化を実現でき、近年の微細化パターンへも対応することができる。   As described above with reference to FIG. 1, the wire diameter of the coil spring 4 is changed within a desired range according to the load applied from the measuring device 21 by adopting a structure in which the coil spring 4 is not accommodated in the housing. Is possible. Even when the wire diameter of the coil spring 4 is increased, a housing that covers the periphery of the coil spring 4 is not required, so that the contact probe 1 can be reduced in size and can cope with recent miniaturized patterns.

また、測定物２２の端子等の形成される面には多数の凹凸を有し、ソケット２３に多数のコンタクトプローブ１の配置される場合には、接触子２Ａと端子との接触の際にその凹凸の影響を受け易い。   Further, the surface of the measurement object 22 on which the terminals and the like are formed has a large number of irregularities, and when a large number of contact probes 1 are arranged in the socket 23, the contact 2A is contacted with the terminals at the time of contact. Easy to be affected by unevenness.

図２（Ａ）〜図２（Ｃ）を用いて前述したように、コイルバネ４が外枠として用いられることで、コンタクトプローブ１は、コイルバネ４の領域にて撓み、プランジャー２は撓み難い構造が実現される。特に、ソケット２３に多数のコンタクトプローブ１が配置される場合には、端子等の測定物２３側の凹凸の影響により、開口端部２Ｂとストッパー部３Ｃとが当接しないコンタクトプローブ１も多数存在するが、上記コイルバネ４の撓んだ状態により、各プランジャー２、３、５間の安定した接触状態を実現できる。そして、筐体フレーム構造に発生し易い「瞬断」とよばれる現象も抑えることができる。   As described above with reference to FIGS. 2A to 2C, the contact spring 1 is bent in the region of the coil spring 4 and the plunger 2 is not easily bent by using the coil spring 4 as an outer frame. Is realized. In particular, when a large number of contact probes 1 are arranged in the socket 23, there are also a large number of contact probes 1 in which the open end 2B and the stopper 3C do not come into contact due to the influence of unevenness on the measured object 23 side such as terminals. However, a stable contact state between the plungers 2, 3, and 5 can be realized by the bent state of the coil spring 4. In addition, a phenomenon called “instantaneous interruption” that is likely to occur in the housing frame structure can be suppressed.

１ コンタクトプローブ
２ プランジャー
２Ａ 接触子
２Ｂ 開口端部
２Ｃ 中空部
３ プランジャー
３Ａ 接触子
３Ｂ コンタクト部
３Ｃ ストッパー部
３Ｄ 傾斜面
４ コイルバネ
５ 遊体プランジャー
５Ａ 傾斜面
６ コイルバネ
９ 端子
１０ 導電経路
１１ 導電経路
２１ 測定装置
２２ 測定物
２３ ソケット
２４ 荷重ユニット DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Contact probe 2 Plunger 2A Contact 2B Open end 2C Hollow part 3 Plunger 3A Contact 3B Contact 3C Stopper 3D Inclined surface 4 Coil spring 5 Play body plunger 5A Inclined surface 6 Coil spring 9 Terminal 10 Conductive path 11 Conductive Path 21 Measuring device 22 Measured object 23 Socket 24 Load unit

Claims (4)

一端側が第１の接触子となり、他端側が開口端部となる導電性の筒状体の第１のプランジャーと、
一端側が第２の接触子となり、他端側の少なくとも一部が前記第１のプランジャー内に配設され、前記第１のプランジャーの軸心方向に移動可能な第２のプランジャーと、
一端側が前記第１のプランジャーの外周面に固定され、他端側が前記第２のプランジャーの外周面に固定され、前記第１及び第２のプランジャーを前記軸心方向に付勢して伸縮する第１のバネと、
前記第１のプランジャー内に配設され、前記軸心方向に伸縮する第２のバネと、
一端側が前記第２のバネと非固定状態となり、他端側が前記第２のプランジャーと対向するように、前記第１のプランジャー内にて移動自在に配設される導電性の第３のプランジャーとを有することを特徴とするコンタクトプローブ。 A first plunger of a conductive cylindrical body having one end side as a first contact and the other end side as an open end;
A second plunger having one end side serving as a second contact, at least a part of the other end side being disposed in the first plunger, and movable in an axial direction of the first plunger;
One end side is fixed to the outer peripheral surface of the first plunger, the other end side is fixed to the outer peripheral surface of the second plunger, and the first and second plungers are urged in the axial direction. A first spring that expands and contracts;
A second spring disposed in the first plunger and extending and contracting in the axial direction;
A conductive third electrode disposed movably in the first plunger so that one end side is not fixed to the second spring and the other end faces the second plunger. A contact probe comprising a plunger. 前記第２のプランジャーは、前記第１のプランジャーの開口端部と当接して前記第１のプランジャーの前記軸心方向への移動を止めるストッパー部を有することを特徴とする請求項１に記載のコンタクトプローブ。   The said 2nd plunger has a stopper part which contact | abuts the opening edge part of a said 1st plunger, and stops the movement to the said axial direction of a said 1st plunger. Contact probe according to. 前記第２のプランジャーの他端側は円錐形状となり、前記第３のプランジャーの他端側は前記軸心方向に対して傾斜面を有する鋭角形状となり、前記円錐形状の先端断面の角度は前記鋭角形状の先端断面角度よりも大きいことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のコンタクトプローブ。   The other end side of the second plunger has a conical shape, the other end side of the third plunger has an acute angle shape having an inclined surface with respect to the axial direction, and the angle of the tip section of the conical shape is The contact probe according to claim 1, wherein the contact probe is larger than a tip section angle of the acute angle shape. 測定時には、前記第３のプランジャーは前記第２のプランジャーからの押圧力及び前記第２のバネからの押圧力により前記第１のプランジャーと接触することを特徴とする請求項３に記載のコンタクトプローブ。   4. The measurement device according to claim 3, wherein at the time of measurement, the third plunger comes into contact with the first plunger by a pressing force from the second plunger and a pressing force from the second spring. Contact probe.

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