JP2014523147A - 放射源 - Google Patents
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Abstract
【選択図】
図4
Description
[0001] 本出願は、2011年8月12日に出願の米国特許仮出願第61/522,928号の利益を主張し、その全体が参照により本明細書に組み込まれる。
上の式で、λは使用される放射の波長であり、NAはパターンを印刷するために使用される投影システムの開口数であり、k1はレイリー定数とも呼ばれるプロセス依存調整係数であり、CDは印刷されたフィーチャのフィーチャサイズ(またはクリティカルディメンジョン)である。式(1)から、フィーチャの最小印刷可能サイズの縮小は、以下の3つの方法、露光波長λを短縮することによって、開口数NAを増加させることによって、あるいはk1の値を低下させることによって達成することができる、と言える。
1.ステップモードにおいては、サポート構造(例えば、マスクテーブル)MTおよび基板テーブルWTを基本的に静止状態に保ちつつ、放射ビームに付けられたパターン全体を一度にターゲット部分C上に投影する(すなわち、単一静的露光)。その後、基板テーブルWTは、Xおよび/またはY方向に移動され、それによって別のターゲット部分Cを露光することができる。
2.スキャンモードにおいては、サポート構造(例えば、マスクテーブル)MTおよび基板テーブルWTを同期的にスキャンする一方で、放射ビームに付けられたパターンをターゲット部分C上に投影する(すなわち、単一動的露光)。サポート構造(例えば、マスクテーブル)MTに対する基板テーブルWTの速度および方向は、投影システムPSの(縮小)拡大率および像反転特性によって決めることができる。
3.別のモードにおいては、プログラマブルパターニングデバイスを保持した状態で、サポート構造(例えば、マスクテーブル)MTを基本的に静止状態に保ち、また基板テーブルWTを動かす、またはスキャンする一方で、放射ビームに付けられているパターンをターゲット部分C上に投影する。このモードにおいては、通常、パルス放射源が採用されており、さらにプログラマブルパターニングデバイスは、基板テーブルWTの移動後ごとに、またはスキャン中の連続する放射パルスと放射パルスとの間に、必要に応じて更新される。この動作モードは、前述の型のプログラマブルミラーアレイといったプログラマブルパターニングデバイスを利用するマスクレスリソグラフィに容易に適用することができる。
Claims (15)
- 放射源であって、
プラズマ形成位置に向かう軌跡に沿って燃料液滴の流れを誘導するノズルと、
使用中、放射生成プラズマを生成するよう前記プラズマ形成位置における前記燃料液滴に誘導されるレーザ放射を出力するレーザと、
前記プラズマ形成位置を通過する前記燃料液滴を捕集するキャッチと、を備え、
前記キャッチは、
流体を含む容器と、
前記流体を駆動して前記流体の移動をもたらすドライバと、を備え、
前記キャッチは、使用中、前記燃料液滴が前記移動する流体に入射するように構成される、放射源。 - 前記キャッチは、表面をさらに備え、
前記ドライバは、前記流体を前記表面に沿うか、前記表面を超えるか、または前記表面を通過するよう駆動させ、
前記キャッチは、使用中、前記燃料液滴が、前記表面に沿うか、前記表面を超えるか、または前記表面を通過するよう駆動された前記流体上に入射するように構成される、請求項1に記載の放射源。 - 前記表面に沿うか、前記表面を超えるか、または前記表面を通過するよう駆動された前記流体は、前記液滴の軌跡に対して傾斜している、請求項2に記載の放射源。
- 前記表面は、前記液滴の前記軌跡に対して傾斜し、
前記ドライバは、前記表面に流体膜を形成するように、前記流体が前記表面に沿って下るように駆動するのを少なくとも補助し、
前記キャッチは、使用中、前記燃料液滴が前記流体膜に入射するように構成される、請求項3に記載の放射源。 - 前記ドライバは、前記流体を前記表面を超えるように駆動して流体波を形成し、
前記キャッチは、使用中、前記燃料液滴が前記流体波に入射するように構成される、請求項3に記載の放射源。 - 前記ドライバは、ポンプを備える、請求項1〜5のいずれかに記載の放射源。
- 前記容器は、実質的に管状であり、前記液滴を受ける開口部を有する、請求項1に記載の放射源。
- 前記ドライバは、前記管状容器を回転する、請求項7に記載の放射源。
- 前記回転機構は、前記流体が確実に前記管状容器の内側壁上に留まり、かつ/または、前記内側壁を通り越すことができる程度の速さで前記管を回転させ、
前記キャッチは、使用中、前記燃料液滴が前記管状容器の前記内側壁上に留まり、かつ/または、前記内側壁を通り越す前記流体に入射するように構成される、請求項8に記載の放射源。 - 前記ノズルは、実質的に水平または実質的に垂直な軌跡、あるいは水平成分を有する軌跡、あるいは垂直成分を有する軌跡に沿って前記燃料液滴の流れを誘導する、請求項1〜9のいずれかに記載の放射源。
- 前記流体は、前記燃料液滴を形成する材料と同じ材料であるか、若しくは同じ材料を含み、または前記流体は、前記燃料のキャリアである、請求項1〜10のいずれかに記載の放射源。
- 前記キャッチは、ヒータを備え、またはヒータに熱的に接続可能であり、
前記ヒータは、前記流体および/または前記捕集された液滴が流体状を維持するように前記流体および/または前記捕集された液滴を熱する、請求項1〜11のいずれかに記載の放射源。 - 前記キャッチは、前記捕集された液滴が前記ノズルの中を往復するように誘導されることができるように、前記ノズルに流体接続される、請求項1〜12のいずれかに記載の放射システム。
- リソグラフィ装置であって、
放射ビームを提供する照明システムと、
前記放射ビームの断面にパターンを付与するパターニングデバイスと、
基板を保持する基板ホルダと、
前記基板のターゲット部分上に前記パターン付与された放射ビームを投影する投影システムと、を備え、
請求項1〜13のいずれかに記載の放射源をさらに備えるか、または、該放射源に接続される、リソグラフィ装置。 - 放射源において使用される燃料液滴を捕集する方法であって、
前記放射源は、
プラズマ形成位置に向かう軌跡に沿って燃料液滴の流れを誘導するノズルと、
使用中、放射生成プラズマを生成するよう前記プラズマ形成位置における前記燃料液滴に誘導されるレーザ放射を出力するレーザと、を備え、
前記方法は、
流体を駆動して該流体の移動をもたらことと、
前記移動する流体に向かって前記燃料液滴を誘導することと、を含む、方法。
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