JP2014507675A - 大きな面積にわたってナノ構造を製造するためのシステムおよび方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 51
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title description 8
- 239000002086 nanomaterial Substances 0.000 title description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 208
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims abstract description 65
- LFEUVBZXUFMACD-UHFFFAOYSA-H lead(2+);trioxido(oxo)-$l^{5}-arsane Chemical compound [Pb+2].[Pb+2].[Pb+2].[O-][As]([O-])([O-])=O.[O-][As]([O-])([O-])=O LFEUVBZXUFMACD-UHFFFAOYSA-H 0.000 claims abstract description 60
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims abstract description 35
- 238000007639 printing Methods 0.000 claims abstract description 16
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 42
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 40
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims description 34
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 16
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 6
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 4
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 claims description 3
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 39
- 238000013519 translation Methods 0.000 description 19
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 14
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 8
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 description 5
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 4
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 4
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 4
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 4
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 4
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 3
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 3
- 238000005305 interferometry Methods 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000002508 contact lithography Methods 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 239000005350 fused silica glass Substances 0.000 description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 238000001127 nanoimprint lithography Methods 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 2
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 description 2
- 230000007480 spreading Effects 0.000 description 2
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 2
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 2
- FOXXZZGDIAQPQI-XKNYDFJKSA-N Asp-Pro-Ser-Ser Chemical compound OC(=O)C[C@H](N)C(=O)N1CCC[C@H]1C(=O)N[C@@H](CO)C(=O)N[C@@H](CO)C(O)=O FOXXZZGDIAQPQI-XKNYDFJKSA-N 0.000 description 1
- 206010034972 Photosensitivity reaction Diseases 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 238000010561 standard procedure Methods 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- 238000009827 uniform distribution Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
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-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
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- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
- G03F7/2002—Exposure; Apparatus therefor with visible light or UV light, through an original having an opaque pattern on a transparent support, e.g. film printing, projection printing; by reflection of visible or UV light from an original such as a printed image
- G03F7/201—Exposure; Apparatus therefor with visible light or UV light, through an original having an opaque pattern on a transparent support, e.g. film printing, projection printing; by reflection of visible or UV light from an original such as a printed image characterised by an oblique exposure; characterised by the use of plural sources; characterised by the rotation of the optical device; characterised by a relative movement of the optical device, the light source, the sensitive system or the mask
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/26—Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70408—Interferometric lithography; Holographic lithography; Self-imaging lithography, e.g. utilizing the Talbot effect
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
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Abstract
Description
(a)感光層を有する基板を提供するステップと、
(b)周期的フィーチャのマスクパターンを有するマスクを提供するステップと、
(c)基板に直交する第1の平面において前記基板に対してマスクが傾斜角を有するように、該マスクの近くに前記基板を配置するステップと、
(d)タルボ距離によって分離されたタルボ平面の間に所定の範囲の横方向強度分布を含む伝達される光照射野を発生するために、該伝達される光照射野が第1の平面において強度包絡線を有するように、前記マスクパターンを照明するための実質的に視準された光を提供するステップと、
(e)前記第1の平面および前記基板の両方に対して実質的に平行な方向に前記基板を前記マスクに対して移動させながら前記光で前記マスクを照明し、これにより、前記感光層に所望のパターンが印刷される、ステップとを含み、
前記傾斜角および前記強度包絡線は、前記感光層が実質的に前記横方向強度分布の範囲の平均に曝されるように、前記タルボ距離に関して配置されることを特徴とする、方法が提供される。
(a)感光層を支持する基板と、
(b)周期的特徴のマスクパターンを支持するマスクと、
(c)基板をマスクの近くに配置するための手段であって、基板に直交する第1の平面においてマスクが基板に対して傾斜角を有するように配置する手段と、
(d)タルボ距離によって分離されたタルボ平面の間の横方向強度分布の範囲を有する伝送される光照射野を発生するために、実質的に視準された光で前記マスクパターンを照明するための手段であって、前記伝送される光照射野が、前記第1の平面において強度包絡線を有するように照明する手段と、
(e)前記第1の平面および前記基板に対して実質的に平行な方向に前記基板を前記マスクに対して移動させる手段であって、これにより、前記所望のパターンが前記感光層が印刷される、手段とを備え、
前記傾斜角および前記強度包絡線は、前記感光層が、実質的に前記横方向強度分布の範囲の平均に曝されるように、タルボ距離に関して配置されていることを特徴とする、装置が提供される。
によって、1/e2幅Wxに関連させられているので、したがって、マスクは角度
Claims (20)
- 周期的フィーチャの所望のパターンを感光層に印刷する方法であって、
(a)感光層を有する基板を提供するステップと、
(b)周期的フィーチャのマスクパターンを有するマスクを提供するステップと、
(c)基板に直交する第1の平面において前記基板に対してマスクが傾斜角を有するように、該マスクの近くに前記基板を配置するステップと、
(d)タルボ距離によって分離されたタルボ平面の間に所定の範囲の横方向強度分布を含む伝達される光照射野を発生するために、該伝達される光照射野が第1の平面において強度包絡線を有するように、前記マスクパターンを照明するための実質的に視準された光を提供するステップと、
(e)前記第1の平面および前記基板の両方に対して実質的に平行な方向に前記基板を前記マスクに対して移動させながら前記光で前記マスクを照明し、これにより、前記感光層に所望のパターンが印刷される、ステップとを含み、
前記傾斜角および前記強度包絡線は、前記感光層が実質的に前記横方向強度分布の範囲の平均に曝されるように、前記タルボ距離に関して配置されることを特徴とする、周期的フィーチャの所望のパターンを感光層に印刷する方法。 - 前記マスクパターンは、平行な線およびスペースの一次元のパターンを含み、前記基板は、前記第1の平面が前記線に対して平行であるように付加的に配置されている、請求項1記載の方法。
- 前記マスクパターンは、所定の周期を備えた平行な線およびスペースの一次元のパターンを含み、前記基板は、前記第1の平面が前記線に直交するように付加的に配置されており、前記方法は、付加的に、前記マスクを照明する光が、所定の時間周期を有するパルスで供給されるようにすることを含み、前記時間周期は、前記周期の半分または前記周期の半分の整数倍に等しい距離だけ、前記時間周期の間に基板が移動するように選択されている、請求項1記載の方法。
- 前記マスクパターンは、所定の周期を備えた平行な線およびスペースの一次元のパターンを含み、前記基板は、付加的に、前記第1の平面が前記線に対して傾斜角を成すように配置されており、前記方法は、付加的に、前記マスクを照明する光が、所定の時間周期を有するパルスで供給されるようにすることを含み、前記時間周期は、連続するパルスによって基板上に印刷される所望のパターンの線が重ね合わされるように、前記時間周期の間に所定の距離だけ基板が移動するように選択されている、請求項1記載の方法。
- 前記マスクパターンは、一方向で周期を有するフィーチャの二次元のパターンを有し、前記基板は、第1の平面が前記方向に対して平行であるように配置されており、前記方法は、付加的に、マスクを照明する光が、所定の時間周期を有するパルスで供給されるようにすることを含み、前記時間周期は、前記周期または該周期の整数倍に相当する距離だけ前記時間周期の間に基板が移動するように選択されている、請求項1記載の方法。
- 強度包絡線は、ビーム幅を横切って実質的に均一となるように配置されており、傾斜角は、タルボ距離またはタルボ距離の整数倍に相当するビーム幅を横切ってマスクと基板との間の分離の実質的に線形の変化を生じるように配置されている、請求項1記載の方法。
- 強度包絡線は、ビーム幅を横切って実質的に均一となるように配置されており、傾斜角は、タルボ距離よりも著しく大きなビーム幅を横切ってマスクと基板との間の分離の実質的に線形の変化を生じるように配置されている、請求項1記載の方法。
- 強度包絡線は、実質的に、全幅半最大ビーム幅を備えたガウスとなるように配置されており、傾斜角は、実質的に少なくともタルボ距離に相当するビーム幅を横切ってマスクと基板との間の分離の変化を生じるように配置されている、請求項1記載の方法。
- 強度包絡線は、全幅半最大値を有し、傾斜角は、実質的に少なくともタルボ距離に相当するビーム幅を横切るマスクと基板との間の分離の変化を生じるように配置されている、請求項1記載の方法。
- 前記マスクに対する前記基板の移動は、基板が静止したまま、マスクおよび照明光の実際の移動によって生ぜしめられる、請求項1記載の方法。
- 前記基板は、付加的に、第1の平面および基板に直交する第2の平面において前記マスクに対して実質的に平行に配置されている、請求項1記載の方法。
- 所望のパターンおよびマスクパターンの両方の周期的フィーチャは、正確に周期的であるかまたは準周期的である、請求項1記載の方法。
- 周期的特徴の所望のパターンは、それぞれ異なる周期を有する複数のサブパターンを含み、マスクパターンは、それぞれ異なる周期を有する複数のサブパターンを含み、それぞれのサブパターンは、タルボ距離によって分離されたタルボ平面から成る光照射野を発生し、傾斜角および強度包絡線は、最大周期を備えたサブパターンからの光照射野のタルボ距離に関して配置されている、請求項1記載の方法。
- 付加的に、マスクと基板との間に流体を導入することを含む、請求項1記載の方法。
- 周期的特徴の所望のパターンを感光層に印刷するための装置であって、
(a)感光層を有する基板と、
(b)周期的特徴のマスクパターンを有するマスクと、
(c)基板をマスクの近くに配置するための手段であって、基板に直交する第1の平面においてマスクが基板に対して傾斜角を有するように配置する手段と、
(d)タルボ距離によって分離されたタルボ平面の間の横方向強度分布の範囲を有する伝送される光照射野を発生するために、実質的に視準された光で前記マスクパターンを照明するための手段であって、前記伝送される光照射野が、前記第1の平面において強度包絡線を有するように照明する手段と、
(e)前記第1の平面および前記基板に対して実質的に平行な方向に前記基板を前記マスクに対して移動させる手段であって、これにより、前記所望のパターンが前記感光層に印刷される、手段とを備え、
前記傾斜角および前記強度包絡線は、前記感光層が、実質的に前記横方向強度分布の範囲の平均に曝されるように、タルボ距離に関して配置されていることを特徴とする、周期的特徴の所望のパターンを感光層に印刷するための装置。 - 付加的に、前記基板の移動の方向を前記第1の平面と角度方向で整合させるための手段を有する、請求項15記載の装置。
- 前記照明する手段は、付加的に、時間周期を有するパルスでマスクを照明する光を供給するための手段を有する、請求項15記載の装置。
- 前記マスクパターンのフィーチャは、透明基板上における、不透明材料の層および移相材料の層のうちの少なくとも一方に形成されている、請求項15記載の装置。
- 前記基板は、フレキシブルなフィルムであり、前記移動手段は、ロール・トゥ・ロール機構である、請求項15記載の装置。
- 前記基板を配置する前記手段は、第1の平面において湾曲させられた支持体を有し、照明する間に前記支持体上を前記基板が移動する、請求項15記載の装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201061426719P | 2010-12-23 | 2010-12-23 | |
US61/426,719 | 2010-12-23 | ||
PCT/IB2011/055827 WO2012085845A1 (en) | 2010-12-23 | 2011-12-20 | System and method for production of nanostructures over large areas |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014507675A true JP2014507675A (ja) | 2014-03-27 |
JP5721858B2 JP5721858B2 (ja) | 2015-05-20 |
Family
ID=45922710
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013545610A Active JP5721858B2 (ja) | 2010-12-23 | 2011-12-20 | 大きな面積にわたってナノ構造を製造するためのシステムおよび方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9182672B2 (ja) |
EP (1) | EP2656146B1 (ja) |
JP (1) | JP5721858B2 (ja) |
KR (1) | KR101820558B1 (ja) |
CN (1) | CN103403621B (ja) |
WO (1) | WO2012085845A1 (ja) |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9007566B2 (en) | 2010-07-07 | 2015-04-14 | Eulitha Ag | Apparatus and method for printing a periodic pattern with a large depth of focus |
EP2976678B1 (en) | 2013-03-18 | 2017-06-14 | Eulitha A.G. | Methods and systems for printing periodic patterns |
KR102240655B1 (ko) * | 2014-02-13 | 2021-04-16 | 삼성디스플레이 주식회사 | 노광 장치 및 이를 이용한 노광 방법 |
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US9651870B2 (en) * | 2014-04-28 | 2017-05-16 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Method and tool of lithography |
WO2015183243A1 (en) | 2014-05-27 | 2015-12-03 | Rolith, Inc. | Anti-counterfeiting features and methods of fabrication and detection |
EP4063952A1 (en) | 2015-10-13 | 2022-09-28 | Micro Tau IP Pty Ltd | Microstructure patterns |
JP6768067B2 (ja) | 2015-12-14 | 2020-10-14 | ユーリタ アクチエンゲゼルシャフトEulitha Ag | 幾何要素のアレイを印刷するための方法およびシステム |
DE102016214811A1 (de) * | 2016-08-10 | 2018-02-15 | Heidelberger Druckmaschinen Ag | Verfahren zur Verbesserung der Druckqualität von Grafikelementen |
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CN106597758B (zh) * | 2017-01-03 | 2019-09-24 | 京东方科技集团股份有限公司 | 用于处理光阻部件的方法和装置 |
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- 2011-12-20 CN CN201180068248.6A patent/CN103403621B/zh active Active
- 2011-12-20 KR KR1020137019316A patent/KR101820558B1/ko active IP Right Grant
- 2011-12-20 EP EP11830096.1A patent/EP2656146B1/en active Active
- 2011-12-20 WO PCT/IB2011/055827 patent/WO2012085845A1/en active Application Filing
- 2011-12-20 US US13/997,335 patent/US9182672B2/en active Active
- 2011-12-20 JP JP2013545610A patent/JP5721858B2/ja active Active
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Also Published As
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---|---|
KR101820558B1 (ko) | 2018-02-28 |
EP2656146B1 (en) | 2015-03-25 |
JP5721858B2 (ja) | 2015-05-20 |
CN103403621B (zh) | 2015-11-25 |
US20130323651A1 (en) | 2013-12-05 |
KR20140017532A (ko) | 2014-02-11 |
WO2012085845A1 (en) | 2012-06-28 |
EP2656146A1 (en) | 2013-10-30 |
CN103403621A (zh) | 2013-11-20 |
US9182672B2 (en) | 2015-11-10 |
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