JP2014503842A5 - 共焦点レーザー走査顕微鏡 - Google Patents

Description

本発明は、共焦点レーザー走査顕微鏡に関するものである。

本発明の課題は、共焦点レーザー走査顕微鏡において、検出光の異なるスペクトル範囲を簡単に検査できるようにすることである。

Claims (10)

1. 試料（４６）を検査するための共焦点レーザー走査顕微鏡（２０）において、
   照明光線（２４）を発生させる光源（２２）と、
   前記照明光線（２４）が試料（４６）を光学式に走査するように該照明光線（２４）を転向させるスキャンユニット（３８）と、
   前記照明光線（２４）を試料（４６）から出る検出光（４８）から切り離すメインビームスプリッター（３４）と、
   前記照明光線（２４）から切り離された前記検出光（４８）を少なくとも部分的に透過させる検出用ピンホールアパーチャー（５０）と、
   前記検出用ピンホールアパーチャー（５０）を透過した前記検出光（４８）を検出する少なくとも２つの検出ユニット（１０２，１０４，１０６）と、
   放射方向において前記検出用ピンホールアパーチャー（５０）と前記検出ユニット（１０２，１０４，１０６）との間に配置され、前記検出光（４８）を少なくとも２つの光束（７０，７２，７４）に分断して前記光束（７０，７２，７４）内部でスペクトル分割する光学要素（６２）と、
   を備えた共焦点レーザー走査顕微鏡。
2. 前記光学要素（６２）が少なくとも２つの異なる表面を有し、これらの表面からそれぞれ前記光束（７０，７２，７４）の１つが放出される、請求項１に記載の共焦点レーザー走査顕微鏡（２０）。
3. 前記光学要素（６２）がプリズム機構（６４，６６，６８）を含んでいる、請求項１または２に記載の共焦点レーザー走査顕微鏡（２０）。
4. 前記光束（７０，７２，７４）の少なくとも１つの波長範囲（８０，８２，８４）が、検出前にスペクトル境界付け要素によりスペクトル境界付けされる、請求項１から３までのいずれか一つに記載の共焦点レーザー走査顕微鏡（２０）。
5. 前記スペクトル境界付け要素が絞り（８６，８８，９０）および／または光誘導ファイバー（１１０，１１２，１１４）を含んでいる、請求項４に記載の共焦点レーザー走査顕微鏡（２０）。
6. 前記検出光の、スペクトル境界付けされた前記波長範囲（８０，８２，８４）に相当する部分（９２，９４，９６）が、その波長に関し可変である、請求項４または５に記載の共焦点レーザー走査顕微鏡（２０）。
7. 前記スペクトル境界付け要素が変位可能に配置されることで、前記部分（９２，９４，９６）がその波長に関し可変である、請求項６に記載の共焦点レーザー走査顕微鏡（２０）。
8. 前記光束（７０，７２，７４）を前記スペクトル境界付け要素へ誘導し、前記スペクトル境界付けされた検出光の前記部分（９２，９４，９６）の波長を変化させるために変位可能および／または回転可能に配置される少なくとも１つの検出ミラー（１２０，１２２，１２４）が設けられている、請求項６または７に記載の共焦点レーザー走査顕微鏡（２０）。
9. 前記部分（９２，９４，９６）の波長を変化させるため、前記光学要素（６２）が回転
   可能および／または変位可能に配置されている、請求項６から８までのいずれか一つに記
   載の共焦点レーザー走査顕微鏡（２０）。
10. 前記光学要素（６２）が前記検出光（４８）を少なくとも３つまたはそれ以上の光束（７０，７２，７４）に分断し、該光束（７０，７２，７４）内部でスペクトル分割させる、請求項１から９までのいずれか一つに記載の共焦点レーザー走査顕微鏡（２０）。