JP2014232025A - 電子装置 - Google Patents
電子装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014232025A JP2014232025A JP2013112294A JP2013112294A JP2014232025A JP 2014232025 A JP2014232025 A JP 2014232025A JP 2013112294 A JP2013112294 A JP 2013112294A JP 2013112294 A JP2013112294 A JP 2013112294A JP 2014232025 A JP2014232025 A JP 2014232025A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metal case
- capacitor
- side wall
- terminal
- case
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
【課題】高周波帯域のノイズ耐量を向上した電子装置を提供する。
【解決手段】ターミナルと金属ケースとの間に電気的に接続されたノイズ除去用のコンデンサ部を備える電子装置において、コンデンサ部を、センサチップ3および基板4が内部に配置された金属ケースの筒状側壁の端部に沿って配置された環状の誘電体71と、その両側に配置された環状の第1、第2電極とによって構成する。そして、第1電極をターミナルに電気的に接続し、第2電極を周方向全域にわたって筒状側壁の端部と接触させる。これによれば、チップコンデンサと比較してコンデンサ部のL成分を低減でき、さらに、コンデンサ部と金属ケースとの間のインピーダンスを小さくできる。この結果、外部からターミナルを介して電子装置の内部に入力された高周波帯域のノイズを金属ケースへ逃がすことができ、高周波帯域のノイズ耐量を向上できる。
【選択図】図2
【解決手段】ターミナルと金属ケースとの間に電気的に接続されたノイズ除去用のコンデンサ部を備える電子装置において、コンデンサ部を、センサチップ3および基板4が内部に配置された金属ケースの筒状側壁の端部に沿って配置された環状の誘電体71と、その両側に配置された環状の第1、第2電極とによって構成する。そして、第1電極をターミナルに電気的に接続し、第2電極を周方向全域にわたって筒状側壁の端部と接触させる。これによれば、チップコンデンサと比較してコンデンサ部のL成分を低減でき、さらに、コンデンサ部と金属ケースとの間のインピーダンスを小さくできる。この結果、外部からターミナルを介して電子装置の内部に入力された高周波帯域のノイズを金属ケースへ逃がすことができ、高周波帯域のノイズ耐量を向上できる。
【選択図】図2
Description
本発明は、ノイズ除去用のコンデンサを有する圧力センサ等の電子装置に関するものである。
従来、外部から入力されるノイズを除去するために、チップコンデンサを内部に搭載した圧力センサがある。このチップコンデンサは、板状の誘電体と板状の内部電極とを交互に積層した構造とすることにより、小型かつ大容量となっている。(例えば、特許文献1参照)。
しかし、チップコンデンサは、内部電極のインダクタンス(L成分)が大きく影響するため、高周波領域での周波数特性が低くなる。すなわち、高周波領域ではインピーダンスが高くなり、コンデンサとしての機能が低下する。このため、高周波帯域のノイズを逃がすことができず、高周波帯域のノイズ耐量が低いという問題がある。
なお、このような問題は、圧力センサに限らず、ノイズ除去用のコンデンサを有する他の電子装置においても同様に生じるものである。
本発明は上記点に鑑みて、高周波帯域のノイズ耐量を向上した電子装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するため、請求項1に記載の発明では、筒状の側壁(2a)を有し、側壁の一端側に開口部(2b)を有する金属ケース(2)と、金属ケース内部に設けられ、回路を有する基板(4)と、回路と電気的に接続され、出力信号を外部に出力するターミナル(5)と、ターミナルを内部に有するとともに、側壁の一端側に連結されて開口部を塞ぐコネクタケース(6)と、ターミナルと金属ケースとの間に電気的に接続されたノイズ除去用のコンデンサ部(7)とを備える電子装置において次のことを特徴としている。
すなわち、コンデンサ部は、側壁の一端側端部に沿って配置された環状の誘電体(71)と、誘電体のコネクタケース側に配置された環状の第1電極(72)と、誘電体の金属ケース側に配置された環状の第2電極(73)とを有して構成されており、
第1電極は、ターミナルと電気的に接続されており、第2電極は、周方向全域にわたって側壁の一端側端部と接触することにより、金属ケースと電気的に接続されていることを特徴としている。
第1電極は、ターミナルと電気的に接続されており、第2電極は、周方向全域にわたって側壁の一端側端部と接触することにより、金属ケースと電気的に接続されていることを特徴としている。
本発明では、環状の誘電体とその両側の第1、第2電極とによってコンデンサ部を構成しており、チップコンデンサが有する内部電極を持たないので、チップコンデンサと比較して、コンデンサ部のL成分を低減でき、コンデンサ部の高周波領域でのインピーダンスを低減できる。
さらに、本発明では、コンデンサ部の第2電極の周方向全域が金属ケースと接触しているので、コンデンサ部と金属ケースとの間のインピーダンスが小さく、コンデンサ部から金属ケースへ高周波電流が流れやすい。
したがって、本発明によれば、外部からターミナルを介して電子装置の内部に入力された高周波帯域のノイズを金属ケースへ逃がすことができ、高周波帯域のノイズ耐量を向上できる。
なお、この欄および特許請求の範囲で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。
(第1実施形態)
図1に示す本実施形態の圧力センサ1は、自動車の燃料噴射系(例えば、コモンレール)の燃料パイプ内の圧力検出に用いられるものである。この圧力センサ1は、金属ケース2と、センサチップ3と、基板4と、ターミナル5と、コネクタケース6と、コンデンサ部7とを備えている。
図1に示す本実施形態の圧力センサ1は、自動車の燃料噴射系(例えば、コモンレール)の燃料パイプ内の圧力検出に用いられるものである。この圧力センサ1は、金属ケース2と、センサチップ3と、基板4と、ターミナル5と、コネクタケース6と、コンデンサ部7とを備えている。
金属ケース2は、圧力センサ1の外形をなす金属製のケースである。金属ケース2は、筒状の側壁2aを有し、側壁2aの軸方向一端側(上端側)に開口部2bを有するとともに、側壁2aの軸方向他端側(下端側)に圧力によって変形可能なダイヤフラム部221を有している。具体的には、金属ケース2は、ハウジング21と、ステム22と、スペーサ23とによって構成されている。
ハウジング21は、筒状のハウジング側壁211を有し、ハウジング側壁211の軸方向一端側(上端側)に開口部212を有するとともに、ハウジング側壁211の軸方向他端側(下端側)に被測定体に結合される結合部213を有している。結合部213の外周面には被測定体にネジ結合可能なネジ部214が形成されている。結合部213の内部には、圧力導入通路215が形成されている。この圧力導入通路215は、結合部213が被測定体である燃料パイプに取り付けられた状態のとき、燃料パイプ内の圧力媒体が導入される。
ステム22は、中空円筒状に形成されており、ハウジング側壁211の内側に配置されている。ステム22は、その軸方向一端側(上端側)にハウジング21に導入された圧力によって変形可能な薄肉状のダイヤフラム部221を有し、その軸方向他端側(下端側)に開口部222を有する。この開口部222は、ハウジング21の圧力導入通路215と連通している。
スペーサ23は、ハウジング21の内部のうちステム22の外周側に配置されている。スペーサ23は、ハウジング21の内部に収容される基板4を支持するとともに、ステム22をハウジング21に固定するものである。スペーサ23は、円筒状のスペーサ側壁231を有し、スペーサ側壁231の軸方向一端側(上端側)に開口部232を有するとともに、スペーサ側壁231の軸方向他端側(下端側)に基板4が搭載される基板搭載面233を有している。センサチップ3と基板4とをワイヤボンディングするために、センサチップ3の表面と基板4の表面との高さがほぼ等しくなるように、スペーサ23の基板搭載面233の位置が設定されている。スペーサ23は、基板搭載面233よりも軸方向他端側に結合部234を有しており、この結合部234の外面にハウジング21にネジ結合可能なスペーサネジ部235が形成されている。本実施形態では、スペーサ側壁231およびハウジング側壁211が金属ケース2の側壁2aを構成している
センサチップ3は、金属ケース2内部のダイヤフラム部221上に設けられており、圧力によってダイヤフラム部221が変形したとき、この変形に応じた電気信号を出力する圧力検出部として機能するものである。センサチップ3としては、シリコン基板に4個の歪みゲージがブリッジ回路を構成するように形成された一般的なものが用いられる。
センサチップ3は、金属ケース2内部のダイヤフラム部221上に設けられており、圧力によってダイヤフラム部221が変形したとき、この変形に応じた電気信号を出力する圧力検出部として機能するものである。センサチップ3としては、シリコン基板に4個の歪みゲージがブリッジ回路を構成するように形成された一般的なものが用いられる。
基板4は、金属ケース2内部のスペーサ23の基板搭載面233に接着されている。基板4は、センサチップ3が出力した電気信号を受け取り、この電気信号に応じた出力信号を作成する回路を有している。具体的には、基板4は、センサチップ3から入力された信号を増幅する信号増幅ICチップ41と、各ターミナル5のインピーダンスをそろえるチップコンデンサ42、43と、信号を処理する回路および配線パターン等を備えている。
ターミナル5は、リードピン45を介して基板4の回路と電気的に接続され、基板4の回路からの出力信号を外部に出力する外部出力端子である。ターミナル5は、L字の棒状部材であり、基板4側の部位が樹脂部51と一体化している。この樹脂部51は、インサート成形されたものである。樹脂部51は、スペーサ23とコネクタケース6との間に配置されている。
ここで、センサチップ3、基板4およびターミナル5の接続について、図2、3を用いて説明する。なお、図2では、センサチップ3の位置が基板4の中心に位置していないが、実際は、図1に示すように、基板4の中心に位置している。
図2、3に示すように、センサチップ3の接続パッドと、それに対応する基板4の接続パッドとが、ワイヤでボンディングされて電気的に接続されている。また、信号増幅IC41の接続パッドと、それに対応する基板4の接続パッドとが、ワイヤでボンディングされて電気的に接続されている。これにより、センサチップ3と信号増幅IC41とが電気的に接続されている。
さらに、信号増幅IC41は、配線パターンを介して、ターミナル5と接続するためのリードピン45と電気的に接続されている。このリードピン45は、電源用、信号用、グランド用の3つのリードピン45a、45b、45cで構成されており、3本のターミナル5にそれぞれ接合されている。なお、図3中のターミナル5a、5b、5cが、それぞれ、電源用、信号用、グランド用である。また、図3に示すように、チップコンデンサ42は、電源用ターミナル5aと信号用ターミナル5bとの間に電気的に接続されており、チップコンデンサ43は、信号用ターミナル5bとグランド用ターミナル5cとの間に電気的に接続されている。そして、各ターミナル5a、5b、5cが、ECUなどの外部のターミナルと電気的に接続される。
図1に示すコネクタケース6は、圧力センサのコネクタを構成するものであり、樹脂等により形成されている。コネクタケース6は、金属ケース2の側壁2aの一端側に連結されており、金属ケース2の開口部2bを塞いでいる。
具体的には、コネクタケース6は、コネクタ部61と連結部62とを有している。コネクタ部61は、中空状であって、内部にターミナル5の端部が位置している。連結部62は、ハウジング21の側壁211の内側にはめ込まれている。連結部62のうちスペーサ側壁231に対向する部位には、Oリング8が取り付けられている。Oリング8はコネクタケース6と金属ケース2との連結箇所をシールする環状の弾性部材である。ハウジング側壁211の一端側端部(上端部)は、スペーサ側壁231の一端側端部(上端部)よりも一端側(上側)に位置しており、内側に塑性変形されたかしめ部216となっている。このかしめ部216によって、コネクタケース6と金属ケース2とが固定されている。
コンデンサ部7は、ターミナル5を介して圧力センサ1の内部に入力されるノイズを除去するためのものである。コンデンサ部7は、図2に示すように、金属ケース2の一端側端部に沿って基板4の周囲に配置された環状の誘電体71と、図4に示すように、この誘電体71のコネクタケース6側(上側)に配置された環状の第1電極(上部電極)72と、この誘電体71の金属ケース2側(下側)に配置された環状の第2電極(下部電極)73とを有する構成となっている。
誘電体71は、例えばSrTiO3(比誘電率:100〜200)や(Br,Sr)TiO2(比誘電率:200〜500)等の高誘電材料で形成される。また、第1、第2電極72、73は、Au、Al、Ag、Cu等の金属材料で形成される。なお、誘電体71の体積(静電容量)は、任意に設定可能であり、除去したいノイズの種類の応じて任意に設定される。
スペーサ側壁231の一端側端部(上端部)には、コンデンサ部7を固定するための溝236が設けられている。この溝236は、環状である上端部の周方向全域にわたって設けられている。したがって、この溝236は環状に配置されている。コンデンサ部7の第2電極73側が、この溝236に圧入されている。これにより、コンデンサ部7の第2電極73は、周方向全域にわたって溝236の内面と接触しており、金属ケース2と電気的に接続されている。
一方、コンデンサ部7の第1電極72には、リードフレーム74の一端側が溶接されている。リードフレーム74の他端側は、グランド用のターミナル5cとグランド用のリードピン45cとの接続部に溶接されている。これにより、コンデンサ部7は、図3に示すように、グランド用のターミナル5cと電気的に接続されている。
上記した構成の圧力センサ1は次のようにして組み付けられる。まず、金属ケース2の内部にセンサチップ3および基板4が設置され、センサチップ3と基板4の電気的な接続がされた状態の金属ケース2に対して、金属ケース2の一端側端部の溝236にコンデンサ部7を圧入する。
続いて、樹脂部51と一体化したターミナル5を金属ケース2の内部に配置し、ターミナル5とリードピン45とを溶接により接合する。このとき、リードフレーム74の一端側をグランド用のターミナル5に溶接するとともに、リードフレーム7の他端側をコンデンサ部7の第1電極72に溶接する。
その後、Oリング8が装着されたコネクタケース6をハウジング側壁211にはめ込み、ハウジング21の一端側端部をかしめてかしめ部216を形成する。このかしめ部216によってコネクタケース6がOリング8およびコンデンサ部7を介してスペーサ23に押し付けられることにより、コネクタケース6と金属ケース2とが固定される。
次に、本実施形態の効果について説明する。
(1)本実施形態では、金属ケース2の一部であるスペーサ側壁231の端部に沿って配置された円環状の誘電体71と、この誘電体71の両側に配置された円環状の第1、第2電極72、73とによって、ターミナル5と金属ケース2との間に電気的に接続されるノイズ除去用のコンデンサ部7を構成している。このコンデンサ部7は、面積が大きいので、チップコンデンサのように誘電体と内部電極とを交互に積層しなくても、大容量化が容易となる。すなわち、このコンデンサ部7は、チップコンデンサが有する内部電極を持たないので、チップコンデンサと比較して、コンデンサ部7のL成分を低減でき、コンデンサ部7の高周波領域でのインピーダンスを低減できる。
さらに、本実施形態では、コンデンサ部7の第2電極73の周方向全域が金属ケース2と接触しているので、コンデンサ部7と金属ケース2との間のインピーダンスが小さく、コンデンサ部7から金属ケース2へ高周波電流が流れやすい。
したがって、本実施形態によれば、外部からターミナル5を介して圧力センサ1の内部に入力された高周波帯域のノイズを金属ケース2へ逃がすことができ、高周波帯域のノイズ耐量を向上できる。
(2)本実施形態では、かしめ部216によってコネクタケース6がコンデンサ部7を介して金属ケース2に押し付けられることにより、コンデンサ部7がコネクタケース6と金属ケース2の間に固定されている。すなわち、金属ケース2の端部をかしめる際の力を利用して、コンデンサ部7を固定している。このため、圧力センサ1が振動しても、コンデンサ部7がぐらつかないように、コンデンサ部7を強固に固定できる。
(3)本実施形態では、コンデンサ部7とコネクタケース6との間にOリング8が配置されている。かしめの際に、コネクタケース6から直にコンデンサ部7に荷重がかかると、コンデンサ部7が破損する恐れがあるが、本実施形態によれば、Oリング8によってコネクタケース6からコンデンサ部7にかかる荷重を緩衝することができ、コンデンサ部7の破損を防止できる。
(他の実施形態)
本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、下記のように、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。
本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、下記のように、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。
(1)第1実施形態では、金属ケース2がハウジング21とステム22とスペーサ23とによって構成されていたが、金属ケース2の構成を他の構成とすることもできる。例えば、第1実施形態の金属ケース2に対して、ハウジング21とスペーサ23とを一体としたり、ハウジング21、ステム22およびスペーサ23を一体としたりすることができる。
(2)第1実施形態では、コンデンサ部7を金属ケース2の一端側端部の溝236に圧入するとともに、金属ケース2のかしめ部216によってコネクタケース6を金属ケース2に押し付けることにより、コンデンサ部7をコネクタケース6と金属ケース2との間に固定したが、コンデンサ部7の固定方法を変更しても良い。例えば、コネクタケース6と金属ケース2に対して、コンデンサ部7を接着剤で固定しても良い。
(3)第1実施形態では、金属ケース2の側壁2aが円筒状であるため、誘電体71が金属ケースの側壁2aの端部に沿った円環状であったが、誘電体71の形状は、金属ケース2の一端側端部に沿った環状であれば、円以外の形状であっても良い。
(4)第1実施形態では、圧力センサ1が自動車の燃料噴射系の燃料パイプ内の圧力を検出するものであったが、他の圧力を検出する圧力センサに対しても本発明の適用が可能である。また、圧力センサに限らず、ノイズ除去用のコンデンサを有する他の電子装置においても本発明の適用が可能である。
(5)上記各実施形態は、互いに無関係なものではなく、組み合わせが明らかに不可な場合を除き、適宜組み合わせが可能である。また、上記各実施形態において、実施形態を構成する要素は、特に必須であると明示した場合および原理的に明らかに必須であると考えられる場合等を除き、必ずしも必須のものではないことは言うまでもない。
1 圧力センサ
2 金属ケース
21 ハウジング
22 ステム
23 スペーサ
3 センサチップ(圧力検出部)
4 基板
5 ターミナル
6 コネクタケース
7 コンデンサ部
71 誘電体
72 第1電極
73 第2電極
8 Oリング
2 金属ケース
21 ハウジング
22 ステム
23 スペーサ
3 センサチップ(圧力検出部)
4 基板
5 ターミナル
6 コネクタケース
7 コンデンサ部
71 誘電体
72 第1電極
73 第2電極
8 Oリング
Claims (5)
- 筒状の側壁(2a)を有し、前記側壁の一端側に開口部(2b)を有する金属ケース(2)と、
前記金属ケース内部に設けられ、回路を有する基板(4)と、
前記回路と電気的に接続され、前記出力信号を外部に出力するターミナル(5)と、
前記ターミナルを内部に有するとともに、前記側壁の一端側に連結されて前記開口部を塞ぐコネクタケース(6)と、
前記ターミナルと前記金属ケースとの間に電気的に接続されたノイズ除去用のコンデンサ部(7)とを備え、
前記コンデンサ部は、前記側壁の一端側端部に沿って配置された環状の誘電体(71)と、前記誘電体の前記コネクタケース側に配置された環状の第1電極(72)と、前記誘電体の前記金属ケース側に配置された環状の第2電極(73)とを有して構成され、
前記第1電極は、前記ターミナルと電気的に接続されており、
前記第2電極は、周方向全域にわたって前記側壁の一端側端部と接触することにより、前記金属ケースと電気的に接続されていることを特徴とする電子装置。 - 前記金属ケースは、前記側壁の一端側に塑性変形されたかしめ部(216)を有し、
前記かしめ部によって前記コネクタケースが前記コンデンサ部を介して前記金属ケースに押し付けられることにより、前記コンデンサ部が前記コネクタケースと前記金属ケースの間に固定されていることを特徴とする請求項1に記載の電子装置。 - 前記コンデンサ部と前記コネクタケースとの間に、前記コネクタケースと前記金属ケースの連結箇所をシールする環状の弾性部材(8)が配置されていることを特徴とする請求項1または2に記載の電子装置。
- 前記コンデンサ部は、前記側壁の一端側端部に設けられた溝(236)に圧入されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1つに記載の電子装置。
- 前記金属ケースは、前記側壁の他端側に圧力によって変形可能なダイヤフラム部(221)を有し、
前記ダイヤフラム部上に、前記ダイヤフラム部の変形に応じた電気信号を出力する圧力検出部(3)が設けられており、
前記基板は、前記電気信号を受け取り、前記電気信号に応じた出力信号を作成することを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1つに記載の電子装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013112294A JP2014232025A (ja) | 2013-05-28 | 2013-05-28 | 電子装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013112294A JP2014232025A (ja) | 2013-05-28 | 2013-05-28 | 電子装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014232025A true JP2014232025A (ja) | 2014-12-11 |
Family
ID=52125500
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013112294A Pending JP2014232025A (ja) | 2013-05-28 | 2013-05-28 | 電子装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2014232025A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015111380A1 (ja) * | 2014-01-22 | 2015-07-30 | 株式会社デンソー | チャージアンプ内蔵型燃焼圧センサ |
WO2018155094A1 (ja) * | 2017-02-24 | 2018-08-30 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 圧力検出装置 |
CN113167662A (zh) * | 2018-09-17 | 2021-07-23 | 哈钦森技术股份有限公司 | 集成传感器和电路 |
-
2013
- 2013-05-28 JP JP2013112294A patent/JP2014232025A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015111380A1 (ja) * | 2014-01-22 | 2015-07-30 | 株式会社デンソー | チャージアンプ内蔵型燃焼圧センサ |
WO2018155094A1 (ja) * | 2017-02-24 | 2018-08-30 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 圧力検出装置 |
JPWO2018155094A1 (ja) * | 2017-02-24 | 2019-11-07 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 圧力検出装置 |
US11143563B2 (en) | 2017-02-24 | 2021-10-12 | Hitachi Automotive Systems, Ltd. | Pressure detection device with noise resistant pressure sensor |
CN113167662A (zh) * | 2018-09-17 | 2021-07-23 | 哈钦森技术股份有限公司 | 集成传感器和电路 |
CN113167662B (zh) * | 2018-09-17 | 2023-07-28 | 哈钦森技术股份有限公司 | 具有集成电路和传感器的装置及形成其的方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100590275B1 (ko) | 압력 센서 | |
JP5091676B2 (ja) | 圧力測定システムおよび回路基板ハウジング | |
US7950287B2 (en) | Pressure-sensor system | |
KR20160104551A (ko) | 마이크로퓨즈드 실리콘 스트레인 게이지(msg) 압력 센서 패키지 | |
JP2005257442A (ja) | 圧力センサ | |
JP2013537972A (ja) | 可動電極装置、圧力センサー及び電子圧力計 | |
WO2017012251A1 (zh) | 一种环境传感器 | |
US7856890B2 (en) | Pressure detector and method of manufacturing the same | |
US6745633B2 (en) | Pressure sensor with electrically conductive spring bodies for connecting and fixing connector case and pads | |
JP2014232025A (ja) | 電子装置 | |
JP2006049070A (ja) | コネクタ部材 | |
CN111936835B (zh) | 压力传感器 | |
JP2008185349A (ja) | 圧力センサ | |
JP2008185334A (ja) | 圧力センサ | |
JP4240790B2 (ja) | センサ装置 | |
CN103728093A (zh) | 具有对抗安装应力的稳健性的压力传感器 | |
JP6036218B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP6384405B2 (ja) | センサ装置 | |
JP2005172761A (ja) | 圧力センサ | |
JP4893669B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP6111766B2 (ja) | 圧力センサの実装構造および実装方法 | |
JP2010190819A (ja) | センサ装置 | |
JP5720450B2 (ja) | 圧力センサおよび圧力センサの取り付け構造 | |
JP7345174B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP7345173B2 (ja) | 圧力センサ |