JP2014204076A - マウント装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】マウント装置1は、上部容器20及び下部容器10を有し、上部容器20及び下部容器10が相対移動可能に構成され、上部容器20と下部容器10とが近接した際に容器密閉シール部材32によって密閉される真空容器と、下部容器10に昇降可能に配置され、ウエハが載置される昇降ステージ11とを備える。下部容器10のダイシングテープが貼り付けられたリングフレームが載置される載置部に分離シール部材31が配置され、上部容器20には、分離シール部材31にリングフレームを押し付ける押圧機構が配置される。分離シール部材31及び押圧機構によりダイシングテープで分割されてそれぞれ気密性が保たれる上部気密室及び下部気密室が形成され、上部気密室と下部気密室の差圧によりダイシングテープをウエハに貼付する。
【選択図】図1
Description
上部容器及び下部容器を有し、前記上部容器及び前記下部容器が相対移動可能に構成され、前記上部容器と前記下部容器とが近接した際に容器密閉シール部材によって密閉される真空容器と、
前記下部容器に昇降可能に配置され、ウエハが載置される昇降ステージと、を備え、
前記下部容器のダイシングテープが貼り付けられたリングフレームが載置される載置部に分離シール部材が配置され、
前記上部容器には、前記分離シール部材に前記リングフレームを押し付ける押圧機構が配置され、
前記分離シール部材及び前記押圧機構により前記ダイシングテープで分割されてそれぞれ気密性が保たれる上部気密室及び下部気密室が形成され、前記上部気密室と前記下部気密室の差圧により、前記ダイシングテープを前記ウエハに貼付する、
ことを特徴とする。
前記上部気密室から吸気する上部吸気ラインと、
前記下部気密室に給気する下部給気ラインと、
前記下部気密室から吸気する下部吸気ラインと、
給気量及び吸気量を制御する制御装置と、を備え、
前記制御装置の制御に基づいて前記上部気密室及び前記下部気密室の室圧が変動され、
前記上部気密室の室圧を前記下部気密室の室圧よりも高くして前記ダイシングテープを前記ウエハに向けて凸状に変形させて前記ダイシングテープを前記ウエハに貼付することが好ましい。
10 下部容器
11 昇降ステージ
11a 係止部
20 上部容器
21 アクチュエーター
22 押圧部材
23 スプリング
31 分離シール部材
32 容器密閉シール部材
41、42 圧力計
51 下部給気ライン
52 上部給気ライン
53、54 バルブ
61 下部吸気ライン
62 上部吸気ライン
63、64 バルブ
70 制御装置
AL1 下部気密室
AL2 上部気密室
W ウエハ
RF リングフレーム
DT ダイシングテープ
上部容器及び下部容器を有し、前記上部容器及び前記下部容器が相対移動可能に構成され、前記上部容器と前記下部容器とが近接した際に容器密閉シール部材によって密閉される真空容器と、
前記下部容器に昇降可能に配置され、ウエハが載置される昇降ステージと、を備え、
前記下部容器のダイシングテープが貼り付けられたリングフレームが載置される載置部に分離シール部材が配置され、
前記上部容器には、前記分離シール部材に前記リングフレームを押し付ける押圧機構が配置され、
前記押圧機構は、前記リングフレームに当接して押圧する押圧部材と、伸縮可能なアクチュエーターとを有し、
前記アクチュエーターが伸張して前記押圧部材が前記リングフレームを前記分離シール部材に押し付け、前記リングフレームが前記分離シール部材に密着することにより、前記真空容器内にて前記ダイシングテープ、前記リングフレーム及び前記分離シール部材で分割されてそれぞれ気密性が保たれる上部気密室及び下部気密室が形成され、前記上部気密室と前記下部気密室の差圧により、前記ダイシングテープを前記ウエハに貼付する、
ことを特徴とする。
Claims (5)
- 上部容器及び下部容器を有し、前記上部容器及び前記下部容器が相対移動可能に構成され、前記上部容器と前記下部容器とが近接した際に容器密閉シール部材によって密閉される真空容器と、
前記下部容器に昇降可能に配置され、ウエハが載置される昇降ステージと、を備え、
前記下部容器のダイシングテープが貼り付けられたリングフレームが載置される載置部に分離シール部材が配置され、
前記上部容器には、前記分離シール部材に前記リングフレームを押し付ける押圧機構が配置され、
前記分離シール部材及び前記押圧機構により前記ダイシングテープで分割されてそれぞれ気密性が保たれる上部気密室及び下部気密室が形成され、前記上部気密室と前記下部気密室の差圧により、前記ダイシングテープを前記ウエハに貼付する、
ことを特徴とするマウント装置。 - 前記上部気密室に給気する上部給気ラインと、
前記上部気密室から吸気する上部吸気ラインと、
前記下部気密室に給気する下部給気ラインと、
前記下部気密室から吸気する下部吸気ラインと、
給気量及び吸気量を制御する制御装置と、を備え、
前記制御装置の制御に基づいて前記上部気密室及び前記下部気密室の室圧が変動され、
前記上部気密室の室圧を前記下部気密室の室圧よりも高くして前記ダイシングテープを前記ウエハに向けて凸状に変形させて前記ダイシングテープを前記ウエハに貼付する、
ことを特徴とする請求項1に記載のマウント装置。 - 前記制御装置は前記上部気密室及び前記下部気密室の室圧に基づく前記ダイシングテープの変形量に応じて前記昇降ステージの高さを制御する、
ことを特徴とする請求項2に記載のマウント装置。 - 前記押圧機構が前記リングフレームに当接して押圧する押圧部材を備えるアクチュエーターから構成される、
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載のマウント装置。 - 前記押圧機構が前記リングフレームに当接して押圧する押圧部材を備える弾性体から構成される、
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載のマウント装置。
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JP5427307B1 JP5427307B1 (ja) | 2014-02-26 |
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Family Applications (1)
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JP (1) | JP5427307B1 (ja) |
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2013
- 2013-04-09 JP JP2013081264A patent/JP5427307B1/ja active Active
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JP5427307B1 (ja) | 2014-02-26 |
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