JP2014179380A - Led素子の実装構造 - Google Patents

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充彦 植田
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Toshihiko Sato
利彦 佐藤
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Abstract

【課題】LED素子の実装構造において、放熱性を高くすることにより、LED素子の信頼性を向上させる。
【解決手段】LED素子2は、主面の一部に形成された第1の電極23と、主面の一部よりも窪んだ主面の他の一部に形成された第2の電極24とを有し、基材11は、第1の電極23に対向する第1の基材電極14と、第2の電極24に対向する第2の基材電極15とを有し、第1の電極23は、はんだ材16を介在して第1の基材電極14と接合され、第2の電極24は、はんだ材16よりも融点の高い金属で構成されたバンプ18を介在して第2の基材電極15と接合されている。
【選択図】図1

Description

本発明は、LED素子の実装構造に関し、特に、段差構造を有するLED素子を基材上に実装するLED素子の実装構造に関する。
従来、LED素子において、p電極とn電極とは、製造の工程によりn電極が形成される面のほうがp電極が形成される面よりも窪んで形成されている。すなわち、p電極が形成される面とn電極が形成される面とは、段差を有している。そのため、LED素子を回路基板に実装する際に、LED素子と回路基板とを電気的に接続するための接合材料の高さを調整することにより、p電極が形成される面とn電極が形成される面との段差を吸収しつつ、LED素子が回路基板に実装されている。
例えば、LED素子と回路基板との間にバンプを設けて、バンプを潰すことによりLED素子と回路基板とを接合している。また、LED素子と回路基板との間に高さの異なるはんだ材を設けて、熱によりはんだ材を溶融してLED素子と回路基板とを接合している。
このように、LED素子の回路基板への実装においては、LED素子の回路基板との間に設ける接合部材により、LEDの電極間(p、n電極間)の段差を吸収しながら実装している(例えば、特許文献1を参照)。
特開2001−168444号公報
図4は、従来技術に係るLEDモジュールの構成を説明するための概略図であり、(a)は回路基板の上面図、(b)はLED素子の底面図である。図5は、従来技術に係るLED素子の実装構造を説明するための断面図であり、(a)はLED素子と回路基板との接合前の断面図、(b)はLED素子と回路基板との接合後の断面図である。
図4の(a)に示す回路基板111に、同図の(b)に示すLED素子(LEDチップ)120を実装する技術として、図5の(a)及び(b)に示すように、Auバンプ116及び118を回路基板111側の電極114及び115上に形成し、回路基板111側の電極114及び115とLED素子120側の第1の電極123及び第2の電極124とを、Auバンプ116及び118を潰すことにより接合する技術が知られている。
図4及び図5に示すLED素子の実装構造では、LED素子120の第1の電極123とこれに対応する電極114との接合部分は、Auバンプ116のみとなっている。したがって、複数のAuバンプ116により第1の電極123と電極114とを接合したとしても、合計の接合面積が第1の電極123全体の面積に対して少ないため、接合部から回路基板111へのLED素子の放熱性は優れていないという問題がある。LED素子120の温度は、LED素子120の動作の信頼性に大きく影響するため、LED素子120の実装構造において、放熱性を高くすることにより、LED素子120の信頼性を向上させることが望まれている。
そこで、上記課題に鑑み、本発明は、放熱性を高くすることにより、LED素子の信頼性を向上させることができるLED素子の実装構造及びLEDモジュールを提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明に係るLED素子の実装構造の一態様は、基材上にLED素子が実装された、LED素子の実装構造であって、前記LED素子は、主面の一部に形成された第1の電極と、前記主面の一部よりも窪んだ前記主面の他の一部に形成された第2の電極とを有し、前記基材は、前記第1の電極に対向する第1の基材電極と、前記第2の電極に対向する第2の基材電極とを有し、前記第1の電極は、はんだ材を介在して前記第1の基材電極と接合され、前記第2の電極は、前記はんだ材よりも融点の高い金属で構成されたバンプを介在して前記第2の基材電極と接合されていることを特徴とする。
また、本発明に係るLED素子の実装構造の一態様において、前記はんだ材は、前記第1の電極と前記第1の基材電極とを溶融接合し、前記バンプは、前記第2の電極と前記第2の基材電極とを固相接合しているとしてもよい。
また、本発明に係るLED素子の実装構造の一態様において、前記はんだ材は、前記LED素子の前記第2の電極に接触しない範囲に形成され、前記バンプは、加重により押しつぶされているとしてもよい。
また、本発明に係るLED素子の実装構造の一態様において、前記バンプは、Auで構成され、前記はんだ材の表面には、Au膜が形成されているとしてもよい。
また、本発明に係るLED素子の実装構造の一態様において、前記バンプは、Auスタッドバンプであるとしてもよい。
また、本発明に係るLED素子の実装構造の一態様において、前記第1の基材電極と前記第2の基材電極との間には、絶縁膜壁が形成されているとしてもよい。
また、上記目的を達成するために、本発明に係るLEDモジュールの一態様は、基板と、前記基板上に、上記した特徴を有するLED素子の実装構造とを備えていることを特徴とする。
本発明によれば、LED素子の実装構造において、放熱性を高くすることにより、LED素子の信頼性を向上させることができる。
本発明の実施の形態1に係るLEDモジュールの構成を示す概略図であり、(a)は回路基板の上面図、(b)はLED素子の底面図である。 本発明の実施の形態1に係るLED素子の実装構造を示す断面図であり、(a)はLED素子の実装前の断面図、(b)はLED素子の仮接合時の断面図、(c)はLED素子の本接合時の断面図である。 本発明の実施の形態2に係るLED素子の実装構造を示す断面図であり、(a)はLED素子の実装前の断面図、(b)はLED素子の仮接合時の断面図、(c)はLED素子の本接合時の断面図である。 従来技術に係るLEDモジュールの構成を概略図であり、(a)は回路基板の上面図、(b)はLED素子の底面図である。 従来技術に係るLED素子の実装構造を示す断面図であり、(a)はLED素子と回路基板との接合前の断面図、(b)はLED素子と回路基板との接合後の断面図である。
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、以下に説明する実施の形態は、いずれも本発明の好ましい一具体例を示すものである。したがって、以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置位置及び接続形態、工程、工程の順序などは、一例であって本発明を限定する主旨ではない。よって、以下の実施の形態における構成要素のうち、本発明の最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。
なお、各図は、模式図であり、必ずしも厳密に図示されたものではない。また、各図において、実質的に同一の構成に対しては同一の符号を付しており、重複する説明は省略又は簡略化する。
(実施の形態1)
まず、本発明の実施の形態1に係るLED素子の実装構造及びLEDモジュールについて、図1を用いて説明する。図1は、本実施の形態に係るLED素子の実装構造を有するLEDモジュールの構成を示す概略図であり、(a)は回路基板の上面図、(b)はLED素子の底面図である。図2は、本実施の形態に係るLED素子の実装構造を示す断面図であり、(a)はLED素子の実装前の断面図、(b)はLED素子の仮接合時の断面図、(c)はLED素子の本接合時の断面図である。
図1の(a)及び(b)に示すように、本実施の形態に係るLED素子の実装構造は、回路基板1とLEDチップ2とで構成されている。
図2の(a)に示すように、回路基板1は、基材11と、絶縁膜12と、第1の基材電極14と、第2の基材電極15と、はんだ材16と、バンプ18とで構成されている。
基材11は、例えば、シリコン基板により構成されている。なお、基材11の材料は、シリコンに限られず、窒化アルミニウム、または、炭化ケイ素等であってもよい。また、単一の材料で構成された基板に限らず、複数の材料層で構成された基板やインターポーザ等であってもよい。
基材11上には、絶縁膜12が設けられている。絶縁膜12としては、例えば二酸化シリコン膜(SiO膜)等を用いることができる。絶縁膜12は、基材11上全面に形成されている。例えば、Si基材の場合は、熱酸化等で形成される。絶縁膜12は、第1の基材電極14が形成される領域と第2の基材電極15が形成される領域とに分離して形成されている。なお、基材11上には、図1の(a)に示すように、光取出しを向上させる反射膜としての金属膜10を設けてもよい。
絶縁膜12の上には、第1の基材電極14及び第2の基材電極15が形成されている。
第1の基材電極14は、LEDチップ2のp型半導体層に接続されるp型電極である。第1の基材電極14は、例えば、銅箔上にニッケルと金を積層して構成されている。
第2の基材電極15は、LEDチップ2のn型半導体層に接続されるn型電極である。第2の基材電極15は、例えば、銅箔上にニッケルと金を積層して構成されている。
なお、図2の(a)に示すように、第1の基材電極14は、絶縁膜12の上面のうち、少なくともLEDチップ2においてp型半導体層に接続されるp型電極である第1の電極23と対向して形成されている。
また、第2の基材電極15は、絶縁膜12の上面のうち、少なくともLEDチップ2においてn型半導体層に接続されるn型電極である第2の電極24と対向して形成されている。
第1の基材電極14の上には、はんだ材16が形成されている。はんだ材16は、図2の(a)に示すように、LEDチップ2の第2の電極に接触しない範囲、すなわち、第1の基材電極14から第2の基材電極15へとはみ出さない範囲に形成されている。これにより、はんだ材によるp型電極である第1の電極23とn型電極である第2の電極24との間の短絡を防ぐことができる。
はんだ材16には、400℃以下で溶融可能な材料が用いられる。これにより、後に述べるように、はんだ材16は、一次接合において第1の基材電極14上のほぼ全面に溶融する。溶融したはんだ材16により、第1の基材電極14とLEDチップ2の第1の電極23とは、はんだ材16を介在してほぼ全面で溶融接合される。
はんだ材16には、例えば、Au−Snはんだ等の高融点はんだが用いられる。ここでいう高融点とは、例えば、250℃以上の融点のことをいう。高融点はんだをはんだ材16として用いることで、二次実装においてはんだ材16が再溶融することを抑制することができる。したがって、はんだ材16が再溶融することでLEDチップが位置ずれを生じるという心配がなく、安定した実装構造を実現することができる。なお、Au−Snはんだ以外に、SnやSn−Ag系等の従来の電子部品に汎用されるはんだ材を使用してもよい。これにより、はんだ材16の低コスト化を実現することができる。
第2の基材電極15の上には、後に詳述するように、LEDチップ2において、第1の電極23が形成されたLEDチップ2の主面の一部と第2の電極24が形成されたLEDチップの主面の他の一部との段差を吸収するために、バンプ18が形成されている。バンプ18は、400℃以下で溶融しない金属、例えばAuで構成される。バンプ18には、例えば、Auで構成されたスタッドバンプ(Auスタッドバンプ)が用いられる。Auスタッドバンプは、Au細線を引き千切ることにより形成されたバンプであり、スタッドバンプボンダーにより、第2の基材電極15の上に1つ1つ配置されている。
Auスタッドバンプは、加重による潰れ性が良好である。Auスタッドバンプをバンプ18として用いることで、バンプ18は、第2の基材電極15及びLEDチップ2に形成された第2の電極24に対して良好な接合を確保することができる。また、Auスタッドバンプに限らず、Auめっきバンプをバンプ18として用いてもよい。
また、はんだ材16の表面には、Au膜17が形成されていてもよい。Au膜17を設けることにより、はんだ材16をLEDチップ2の第1の電極23に接合するまでの工程中のはんだ材16の表面の酸化を低減できる。したがって、はんだ材16と第1の電極23との接合性を向上することができる。また、Auで構成されたバンプ18と同様のAu−Au接合により接合を行うことができるため、p型電極である第1の基材電極14と第1の電極23の接合、及び、n型電極である第2の基材電極15及び第2の電極24の接合とを同時に行うことができる。
LEDチップ2は、直流電力が通電されることによって単色の可視光を発するベアチップであり、青色光を発する青色LEDチップ、赤色光を発する赤色LEDチップ又は緑色光を発する緑色LEDチップの可視域波長帯の光を発するLEDチップ等である。なお、LEDチップ2には、これらの可視光によるものだけではなく、例えば、紫外線発光のLEDチップを用いることもできる。
LEDチップ2は、絶縁基板21と、半導体層22と、第1の電極23と、第2の電極24とを備えている。
絶縁基板21は、例えば、サファイア(Al)等の絶縁物で構成されている。
絶縁基板21の上には、半導体層22が形成されている。半導体層22は、例えば、GaN等の窒化物半導体で構成され、p型層、活性層及びn型層が順に積層されている。
また、半導体層22の最上層であるp型層上には、第1の電極23が形成されている。
さらに、半導体層22において、p型層と活性層とがエッチングされることにより露出したn型層上には、第2の電極24が形成されている。すなわち、第1の電極23が形成されたLEDチップ2の主面の一部に対し、第2の電極24が形成されたLEDチップ2の主面の他の一部は、窪んで形成されている。つまり、図2の(a)に示すように、LEDチップ2の半導体層22は、段差を有する構成である。
LEDチップ2は、半導体層22が配置された側を回路基板1に対向させた状態で、回路基板1上に配置される。すなわち、第1の基材電極14と第1の電極23とが対向し、第2の基材電極15と第2の電極24とが対向するように配置される。LEDチップ2を回路基板1の上に載置すると、p型電極である第1の基材電極14と第1の電極23とがはんだ材16を介して接続され、n型電極である第2の基材電極15と第2の電極24とがバンプ18を介して接続される。
ここで、上記したように、半導体層22において、第1の電極23が形成されたLEDチップ2の主面の一部と第2の電極24が形成されたLEDチップ2の主面の他の一部との間には段差が存在する。p型電極すなわち第1の電極23に対応する第1の基材電極14には、400℃以下で溶融可能なはんだ材16を供給する。また、n型電極すなわち第2の電極24に対応する第2の基材電極15には、バンプ18を形成する。これらを有する回路基板1とLEDチップ2とを対応させて接合することで、放熱性に大きく影響するp型電極(第1の基材電極14と第1の電極23)の接合については、はんだ材16によってほぼ全面に溶融接合を行う。また、第2の基材電極15と第2の電極24との間のギャップが第1の基材電極14と第1の電極23との間のギャップより大きいn型電極(第2の基材電極15と第2の電極24)については、バンプ18の高さを利用することで段差を吸収して固相接合することができる。
また、第1の電極(p型電極)23側では、はんだ材16のぬれ拡がりを制御して、第1の基材電極14と第2の基材電極15との間の短絡を防ぐことができる。第2の電極24においては、加重によりバンプ18が押しつぶされることで、バンプ18の高さを制御する。さらに、二次実装等の後工程でのはんだ材16の再溶融工程に対しても、バンプ18によりLEDチップ2を回路基板1に接合していることで、再溶融によってLEDチップ2が回路基板1に対して配置位置を移動することなく、良好な位置精度を保持できる。
ここで、回路基板1とLEDチップ2との接合手順について説明する。
図2の(b)に示すように、回路基板1のはんだ材16とLEDチップ2の第1の電極23とが対向し、回路基板1のバンプ18とLEDチップ2の第2の電極24とが対向するように、回路基板1の上にLEDチップ2が配置される。
次に、仮接合、すなわち、Au−Au接合が行われる。Au−Au接合は、例えば、回路基板1及びLEDチップ2を加熱しながら加重する熱圧着により行われる。
具体的には、Au−Au接合においては、はんだ材16の上に形成されたAuめっき17と第1の電極23とが仮の位置決めとして接合される。また、バンプ18が押し潰されバンプ18と第2の電極24とが仮の位置決め及び高さの調整として接合される。これにより、回路基板1とLEDチップ2とが高精度に位置決めされる。
なお、Au−Au接合の工法としては、熱圧着以外に、US(超音波)接合や表面活性化接合等、低温による固相接合が可能な工法がある。このような工法を用いることで、高精度な位置決めを行うことができるだけでなく、生産タクトを向上させることができる。
次に、Au−Au接合だけではp型電極側、すなわち、第1の基材電極14と第1の電極23との全面接合性が不十分であるため、図2の(c)に示すように、本接合(一次接合)が行われる。本接合の工程では、はんだ材16の融点以上の温度下においてはんだ材16を加熱溶融させる。
具体的には、はんだ材16は、400℃以下で溶融可能な材料で構成されているため、一次接合において、はんだ材16は、第1の基材電極14上のほぼ全面に溶融する。溶融したはんだ材16により、第1の基材電極14とLEDチップ2の第1の電極23とは、はんだ材16を介在してほぼ全面で溶融接合される。これにより、第1の基材電極14と第1の電極23との全面接合性を向上させることができる。したがって、第1の基材電極14とLEDチップ2の第1の電極23との接合面積が大きいので、LEDチップ2の放熱性が向上する。これによりLED素子の信頼性を向上させることができる。
また、バンプ18は、400℃以下で溶融しない金属で構成され、かつ、加重による潰れ性が良好であるAuスタッドバンプで構成されている。したがって、一次接合において、LEDチップ2への加重により容易に押し潰される。すなわち、バンプ18により、第2の基材電極15とLEDチップ2の第2の電極24とは固相接合される。したがって、バンプ18が加圧により押し潰されることにより、LEDチップ2の回路基板1に対向する主面の一部に形成された第1の電極23と、当該主面の一部よりも窪んだ主面の他の一部に形成された第2の電極24との段差を吸収しつつ接合することができる。
なお、このように加圧することで、はんだ材16による第1の基材電極14と第1の電極23との溶融接合についても、さらに接合性を向上させることができる。
以上、本実施の形態に係るLED素子の実装構造及びLEDモジュールによれば、LEチップ(LED素子)2は、主面の一部に形成された第1の電極23と、主面の一部よりも窪んだ主面の他の一部に形成された第2の電極24とを有し、基材11は、第1の電極23に対向する第1の基材電極14と、第2の電極24に対向する第2の基材電極15とを有し、第1の電極23は、はんだ材16を介在して第1の基材電極14と接合され、第2の電極24は、はんだ材16よりも融点の高い金属で構成されたバンプ18を介在して第2の基材電極15と接合されている。
この構成によれば、高放熱なp電極(第1の電極23)の全面接合を維持しながら、第1の電極23に対して段差のあるn電極(第2の電極24)に対してもバンプ18により良好な接合を確保できる。
また、接合加重によりバンプ18を押しつぶすことで、バンプ18の高さを制御することができ、第1の基材電極14におけるはんだ材16のぬれ拡がりを制御して、第1の基材電極14と第2の基材電極15との間の短絡を防ぐことができる。
また、後工程での再溶融工程においても、バンプ18により第2の電極24と第2の基材電極15とを接合していることで、はんだ材16が再溶融することによるLEDチップ2の回路基板1に対する位置の移動がなく、良好な位置精度を保持できる。
なお、バンプ18は、Auスタッドバンプに限らず、Auめっきバンプを用いてもよい。Auめっきバンプを用いることにより、LEDチップ2の第1の電極23と第2の電極24との段差が10μm程度以下のLEDチップ2に対して特に効果がある。
また、はんだ材16は、回路基板1側の第1の基材電極14、及び、LEDチップ2側の第1の電極23のどちらの上に形成してもよい。同様に、バンプ18は、回路基板1側の第2の基材電極15、及び、LEDチップ2側の第2の電極24のどちらの上に形成してもよい。
(実施の形態2)
次に、本発明の実施の形態2に係るLED素子の実装構造及びLEDモジュール(発光モジュール)について、図3を用いて説明する。図3は、本実施の形態に係るLED素子の実装構造を示す断面図であり、(a)はLED素子の実装前の断面図、(b)はLED素子の仮接合時の断面図、(c)はLED素子の本接合時の断面図である。
本実施の形態に係るLED素子の実装構造が実施の形態1に係るLED素子の実装構造と異なる点は、第1の基材電極14と第2の基材電極15との間に、絶縁膜壁が形成されている点である。これにより、はんだ材によるp型電極である第1の電極23とn型電極である第2の電極24との間の短絡を防ぐことができる。
なお、本実施の形態に係るLED素子の実装構造について、実施の形態1に示したLED素子の実装構造と共通する部分については、詳細な説明は省略する。
図3の(a)に示すように、本実施の形態に係るLEDモジュールにおけるLED素子の実装構造では、実施の形態1のLED素子の実装構造と同様に、基材11上に、絶縁膜12と、第1の基材電極14と、第2の基材電極15とが形成されている。
また、第1の基材電極14と第2の基材電極15との間には、図3の(a)に示すように、絶縁膜壁39が形成されている。絶縁膜壁39は、第1の基材電極14と第2の基材電極15とを分離するように、回路基板1を上方から見たときに、第1の基材電極14と第2の基材電極15との間にL字状に形成されている。
絶縁膜壁39は、例えば、レジストや保護膜などで形成されている。レジストの材料としては、ポリイミド等、保護膜の材料としてはSi酸化膜又はSi窒化膜等が用いられる。絶縁膜壁39の高さは、LEDチップ2が回路基板1に接合された後のLEDチップ2と回路基板1との間のギャップの高さとなるように形成されている。
ここで、回路基板1の第2の基材電極15の上にはAuで構成されるバンプ38が形成されている。また、LEDチップ2に形成された第1の電極23の上には、はんだ材36が形成されている。はんだ材36の上には、さらに、めっき法によりAu膜37が形成されている。
また、LEDチップ2を回路基板1の上に配置したときに、第1の基材電極14と第1の電極23とが対向し、第2の基材電極15と第2の電極24とが対向している。
このように、保護膜が第1の基材電極14と第2の基材電極15との間に介在することで、図3の(b)及び(c)に示すように、はんだ材16及びバンプ18との接合において、p型電極である第1の基材電極14及び第1の電極23と、n型電極である第2の基材電極及び第2の電極24とが短絡するのを抑制することができる。はんだ材によるp型電極とn型電極との短絡、すなわち、第1の基材電極14及び第2の基材電極15との間の短絡を防ぐことができる。
なお、上記したLED素子の実装構造では、バンプ38は回路基板1側の第2の基材電極15上に形成し、はんだ材36はLEDチップ2側の第1の電極23上に形成したが、バンプ38およびはんだ材36については、LEDチップ2側、回路基板1側のどちらに形成してもよい。
また、上記したLED素子の実装構造及び回路基板1を、例えば、樹脂で構成される基板上に配置したLEDモジュールについても、同様に、第1の基材電極14及び第2の基材電極15との間の短絡を防ぐ効果を奏することができる。
以上、本実施の形態に係るLED素子の実装構造及びLEDモジュールによれば、LED素子の厚い側の電極、すなわち、第1の電極23と、薄い側の電極、すなわち、第2の電極24との間には、絶縁膜壁39が形成されている。これにより、はんだ材36によるp型電極とn型電極との短絡、すなわち、第1の基材電極14及び第2の基材電極15との間の短絡を防ぐことができる。
(その他変形例)
以上、本発明に係るLED素子の実装構造及び発光モジュール(LEDモジュール)について、実施の形態に基づいて説明したが、本発明は、上記実施の形態に限定されるものではない。
例えば、上記した実施の形態では、LED素子を回路基板に実装するLED素子の実装構造について例示したが、LED素子に限らず他の発光素子を回路基板に実装する実装構造に本発明を用いてもよい。他の発光素子としては、半導体レーザ等の半導体発光素子、有機EL(Electro Luminescence)又は無機EL等のEL素子等、その他の固体発光素子を用いてもよい。
その他、各実施の形態及び変形例に対して当業者が思いつく各種変形を施して得られる形態や、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で各実施の形態及び変形例における構成要素及び機能を任意に組み合わせることで実現される形態も本発明に含まれる。
1 回路基板
2、120 LEDチップ(LED素子)
10 金属膜
11 基材
12、112 絶縁膜
14 第1の基材電極
15 第2の基材電極
16、36 はんだ材
17、37 Au膜
18、38 バンプ
21、121 絶縁基板
22、122 半導体層
23、123 第1の電極
24、124 第2の電極
39 絶縁膜壁
114 電極(第1の基材電極)
115 電極(第2の基材電極)

Claims (7)

  1. 基材上にLED素子が実装された、LED素子の実装構造であって、
    前記LED素子は、主面の一部に形成された第1の電極と、前記主面の一部よりも窪んだ前記主面の他の一部に形成された第2の電極とを有し、
    前記基材は、前記第1の電極に対向する第1の基材電極と、前記第2の電極に対向する第2の基材電極とを有し、
    前記第1の電極は、はんだ材を介在して前記第1の基材電極と接合され、
    前記第2の電極は、前記はんだ材よりも融点の高い金属で構成されたバンプを介在して前記第2の基材電極と接合されている
    LED素子の実装構造。
  2. 前記はんだ材は、前記第1の電極と前記第1の基材電極とを溶融接合し、
    前記バンプは、前記第2の電極と前記第2の基材電極とを固相接合している
    請求項1に記載のLED素子の実装構造。
  3. 前記はんだ材は、前記LED素子の前記第2の電極に接触しない範囲に形成され、
    前記バンプは、加重により押しつぶされている
    請求項1又は2に記載のLED素子の実装構造。
  4. 前記バンプは、Auで構成され、
    前記はんだ材の表面には、Au膜が形成されている
    請求項1〜3のいずれか1項に記載のLED素子の実装構造。
  5. 前記バンプは、Auスタッドバンプである
    請求項1〜4のいずれか1項に記載のLED素子の実装構造。
  6. 前記第1の基材電極と前記第2の基材電極との間には、絶縁膜壁が形成されている
    請求項1〜5のいずれか1項に記載のLED素子の実装構造。
  7. 基板と、
    前記基板上に、請求項1〜6の何れか1項に記載のLED素子の実装構造とを備えている
    LEDモジュール。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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