JP2014175568A - Semiconductor element cooling device - Google Patents
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Abstract
Description
この発明は、半導体素子を冷却する半導体素子の冷却装置に関する。 The present invention relates to a semiconductor device cooling apparatus for cooling a semiconductor device.
高発熱性の半導体素子が高密度に実装された半導体素子モジュールにおいて、放熱性を高めるために冷却板が用いられている。冷却板は、内部に液体の冷媒(以下、冷却液)が流れる流路が形成されており、半導体素子を収容する金属容器(以下、キャリア)に密着して取り付けられることで、半導体素子を間接的に冷却する。近年、半導体の微細化及び半導体素子の高出力化によって半導体素子の発熱密度が高まり、半導体素子と冷却装置間の熱抵抗も増加しつつある。半導体素子モジュールの放熱性能を高めるため、熱抵抗を低減させる放熱シートを設ける、キャリアにおける半導体素子の直下に突起を設けて冷却板に接触させる等、放熱性能の優れた各種の冷却構造がある(例えば特許文献1参照)。 In a semiconductor element module in which highly exothermic semiconductor elements are mounted at a high density, a cooling plate is used to enhance heat dissipation. The cooling plate has a flow path through which a liquid refrigerant (hereinafter referred to as cooling liquid) flows, and is attached in close contact with a metal container (hereinafter referred to as carrier) that houses the semiconductor element, so that the semiconductor element is indirectly attached. Cool. In recent years, the heat generation density of semiconductor elements has increased due to the miniaturization of semiconductors and the increase in output of semiconductor elements, and the thermal resistance between semiconductor elements and cooling devices is also increasing. In order to enhance the heat dissipation performance of the semiconductor element module, there are various cooling structures with excellent heat dissipation performance, such as providing a heat dissipation sheet that reduces thermal resistance, providing a protrusion directly below the semiconductor element in the carrier and contacting the cooling plate ( For example, see Patent Document 1).
一方、冷却板自体の冷却能力を高めるため、複数のマイクロチャネル流路を内部に有したマイクロチャネル冷却板が知られている。マイクロチャネル冷却板は、微細加工により冷却板内部にフィンを設けて複数のマイクロチャネル流路を形成し、半導体素子の直下に冷却板を構成することで、半導体素子を直接冷却する(例えば特許文献2参照)。マイクロチャネル冷却板は、冷却板内面に複数のフィンを設けて冷却液の流れに乱流を発生させることで、温度境界層が薄くなって熱伝達率が増加し、特許文献1に示すような従来の冷却板よりも放熱性能が向上する。マイクロチャネル流路の幅は数十〜数百ミクロンオーダと小さく、流路に冷却液を流した時に高い熱伝達率を得ることができる。また、フィン総面積に比例して放熱量が増加するので、フィンの本数を増やしたり、フィンを長くしたりすることで冷却能力を更に向上させることができる。 On the other hand, in order to increase the cooling capacity of the cooling plate itself, a microchannel cooling plate having a plurality of microchannel flow paths inside is known. A microchannel cooling plate directly cools a semiconductor element by providing fins inside the cooling plate by microfabrication to form a plurality of microchannel flow paths, and forming a cooling plate directly under the semiconductor element (for example, Patent Documents) 2). The microchannel cooling plate is provided with a plurality of fins on the inner surface of the cooling plate to generate turbulence in the flow of the cooling liquid, thereby reducing the temperature boundary layer and increasing the heat transfer coefficient. The heat dissipation performance is improved as compared with the conventional cooling plate. The width of the microchannel flow path is as small as several tens to several hundreds of microns, and a high heat transfer coefficient can be obtained when a coolant is passed through the flow path. Further, since the heat radiation amount increases in proportion to the total fin area, the cooling capacity can be further improved by increasing the number of fins or lengthening the fins.
しかしながら、マイクロチャネル冷却板は、フィンの長さを長くすればするほど、フィンの本数を増やせば増やすほど、圧力損失が増える。このため、圧力損失の増加が冷却液の流れを阻害してしまう。この圧力損失の増加によって引き起こされる問題は様々なものがある。 However, in the microchannel cooling plate, the longer the fin length, the greater the number of fins, the greater the pressure loss. For this reason, the increase in pressure loss inhibits the flow of the coolant. There are various problems caused by this increased pressure loss.
一つ目は、高圧力損失のために、マイクロチャネル冷却板内で冷却液を流すために多くの動力が必要となるという問題である。冷却液を用いて冷却する場合、一定以上の冷却能力を持たせるために必要な流量を確保する必要がある。マイクロチャネル冷却板は、極小の流路を有するため高圧力損失となり、結果として必要な流量を確保するためには多くの動力が必要となる。 The first problem is that a large amount of power is required to flow the coolant in the microchannel cooling plate due to high pressure loss. When cooling using a cooling liquid, it is necessary to secure a flow rate necessary to provide a cooling capacity higher than a certain level. The microchannel cooling plate has a very small flow path, resulting in a high pressure loss. As a result, a large amount of power is required to ensure a necessary flow rate.
二つ目は、マイクロチャネル冷却板を半導体素子の直下に接触させ、マイクロチャネル流路をキャリアで塞ぐ場合における、フィン部分の接合作業の生産性の問題である。マイクロチャネルのフィン部分は非常に微細であるため、フィンをキャリアに接合する作業が困難となる。また、フィンのキャリアへの接合が可能であったとしても、はんだやボンド等の接合材がフィン部分の間隙に流れ込み、隣接するフィン間に形成されるマイクロチャネル流路が詰まる恐れがあるため、その接合作業は容易ではない。更に、マイクロチャネル流路の圧力損失が非常に高いため、フィンをキャリアに接合せずにフィン下端とキャリア上面の間に間隙を形成する構造とした場合には、フィン部分に冷却液が流れ難くなるという問題がある。 The second problem is the productivity problem of the bonding work of the fin portion when the microchannel cooling plate is brought into contact with the semiconductor element and the microchannel flow path is closed with a carrier. Since the fin portion of the microchannel is very fine, the operation of joining the fin to the carrier becomes difficult. In addition, even if the fin can be bonded to the carrier, the bonding material such as solder or bond may flow into the gap between the fin portions, and the microchannel flow path formed between adjacent fins may be clogged. The joining operation is not easy. Furthermore, since the pressure loss of the microchannel flow path is very high, when a structure is formed in which a gap is formed between the lower end of the fin and the upper surface of the carrier without bonding the fin to the carrier, it is difficult for the coolant to flow through the fin portion. There is a problem of becoming.
図4は、フィンとキャリアの間隙に冷却液が流れている状況を示す断面図である。図4において、半導体素子1は冷却板5に接着層40を介して接着され、冷却板5は接合層4を介在してキャリア2の上面に接合されている。冷却板5の内部流路にはマイクロチャネル流路を形成する複数のフィン5aが形成されている。フィン5aは、冷却板5のベース部5bに一体的に形成されている。図4に示すように、フィン5aとキャリア2を非接合とし、フィン下端とキャリア上面の間に間隙を設けると、冷却液7がフィン5aの下部分の接合されていない部分へと流れてしまうことがある。フィン5aの下部分に冷却液が流れた場合は、マイクロチャネル流路に流れる冷却液の流量が低下するため、冷却板5の冷却能力が低下することとなる。
FIG. 4 is a cross-sectional view showing a situation where the cooling liquid is flowing in the gap between the fin and the carrier. In FIG. 4, the
三つ目は、マイクロチャネル流路の圧力損失に伴う高い内圧により半導体素子1が破損する可能性があるという問題である。マイクロチャネル流路の断面積が小さくなり内圧が高くなり過ぎた場合、冷却板5のベース部5bの肉厚を厚くするなどして耐圧を高める必要がある。この場合、ベースを厚くすると熱抵抗が悪くなり冷却能力が低下してしまうため、ベース厚さを厚くするには限界がある。
The third problem is that the
この発明は係る課題を解決するためになされたものであって、マイクロチャネルを用いて半導体装置の冷却装置の冷却能力を向上させるとともに、マイクロチャネル流路の圧力損失を低減させることを目的とする。 The present invention has been made to solve the above-described problems, and has an object to improve the cooling capacity of a cooling device of a semiconductor device using a microchannel and reduce the pressure loss of the microchannel flow path. .
この発明による半導体素子の冷却装置は、一方の面に半導体素子の載置される実装面を有し、他方の面における上記実装面の直下に先端部が接合されていない複数のフィンを配列したフィン部が設けられ、当該フィン部により冷却液が流れる複数のマイクロチャネル流路が形成されたマイクロチャネル冷却板と、一方の面に、上記マイクロチャネル冷却板を支持する支持部と、先端部が接合されていない可撓性を有した複数のフィンの配列されたフィン部が設けられ、当該フィン部のそれぞれのフィンの先端が上記マイクロチャネル冷却板の有するフィンの先端と対向しかつ当該フィン部のそれぞれのフィン面が上記マイクロチャネル冷却板の有するフィン面と交差するように配置されるとともに、当該フィン部の各フィン間が上記マイクロチャネル冷却板の各マイクロチャネル流路と連通して上記冷却液が流入する冷却板と、を備えたものである。 A cooling device for a semiconductor element according to the present invention has a mounting surface on which a semiconductor element is placed on one surface, and a plurality of fins whose tip portions are not joined to each other on the other surface immediately below the mounting surface. A fin portion is provided, a microchannel cooling plate in which a plurality of microchannel flow paths through which the cooling liquid flows is formed by the fin portion, a support portion that supports the microchannel cooling plate on one surface, and a tip portion A fin portion in which a plurality of flexible fins that are not joined is arranged is provided, and the tip of each fin of the fin portion is opposed to the tip of the fin of the microchannel cooling plate, and the fin portion The fin surfaces of the microchannel cooling plate are arranged so as to intersect with the fin surfaces of the microchannel cooling plate, and between the fins of the fin portion, In communication with the micro flow channel of Yaneru cooling plate is obtained and a cooling plate in which the cooling liquid flows.
この発明によれば、冷却装置の冷却能力を保持したまま、マイクロチャネルを有した冷却板内に流れる冷却液の圧力損失をより低減することができる。また、圧力損失を低減することで、マイクロチャネル流路内の内圧上昇による半導体素子の破損を防止することができる。 According to the present invention, the pressure loss of the coolant flowing in the cooling plate having the microchannel can be further reduced while maintaining the cooling capacity of the cooling device. Further, by reducing the pressure loss, it is possible to prevent the semiconductor element from being damaged due to an increase in internal pressure in the microchannel flow path.
実施の形態1.
図1は、実施の形態1による半導体素子1の冷却装置10の構成を示す断面図である。図1において、冷却装置10は、半導体素子1を搭載するマイクロチャネル冷却板5と、マイクロチャネル冷却板5に接合される冷却板6と、キャリア2から構成される。マイクロチャネル冷却板5及び冷却板6には、冷却液7が流れる。
FIG. 1 is a cross-sectional view showing a configuration of a
半導体素子1は、無線用の送信または受信モジュール、電力変換器等を構成する増幅器,電力変換素子等の高発熱性を有した半導体素子から構成される。半導体素子1は、半導体の微細化及び高出力化によって発熱密度(単位面積当たりの発熱量)が高くなっている。半導体素子1は、例えばGaN(窒化ガリウム),SiC(炭化シリコン)等を基材とする電界効果トランジスタ、ダイオード等のワイドバンドギャップ半導体から構成されている。また、半導体素子1は、GaAs(砒化ガリウム),SiGe(シリコンゲルマン)等を基材とする電界効果トランジスタ、ダイオード等から構成されていても良い。また、半導体素子1は、MMIC(monolithic microwave integrated circuit),MOSFET等を構成していても良い。
The
マイクロチャネル冷却板5は、接触熱抵抗を下げるとともに熱伝導率の高い熱良導性の導電性接着剤,はんだ等の接合材からなる接着層40を介在して、半導体素子1の直下に接合される。マイクロチャネル冷却板5は、半導体素子1と熱膨張係数が近い素材から形成され、鉄ニッケルコバルト合金、カーボン含有の合成樹脂基板、セラミック基板、シリコン基板等から構成されると良い。マイクロチャネル冷却板5は、フィン部5aと、平板状のベース部5bと、外周部5cからなる。ベース部5bは外側(図1の上面側)の平坦な面上に半導体素子1を載置する実装面が形成される。外周部5cは、ベース部5bの内側面(図1の下面)の外縁部から立設した矩形枠体形状をなしており、ベース部5bと一体的に形成されている。フィン部5aは、外周部5cよりも内側でベース部5bの内側面上(図1の下面)に設けられ、全体的な外形が直方体形状をなしている。また、フィン部5aは、半導体素子1の直下に配置される。外周部5cの一方端と他方端の間には、フィン部5aを挟んで、凹み形状をなす2つのマニホールド部11が形成されている。フィン部5aは、複数の直方体形状のフィンから構成され、隣接するフィンの間に所定の間隔を空けて、各フィンが平行に一列に並べて配置されている。フィン部5aは、ベース部5b及び外周部5cと一体的に形成される。または、フィン部5aを別体で構成し、接着層40を介在してフィン部5aをベース部5b上に接合しても良い。フィン部5aを別体で構成する場合は、無垢の金属平板の一方側から放電加工や切削により溝を加工し、他方側の面をベース部5b上に接合するようにしても良い。またフィン部5aを別体で構成する場合は、ベース部5bとは異なる素材から構成しても良く、例えば切削性の良いアルミまたはその合金で構成しても良い。フィン部5aの各フィンは、隣接するフィンとの間に冷却液7の流れるマイクロチャネル流路12を形成する。フィン部5aの形成する複数のマイクロチャネル流路12は、フィン部5a両側の2つのマニホールド部11と連通するように配向され、2つのマニホールド部11はそれぞれ冷却液7の流入口と吐出口を形成する。例えば図1において、マイクロチャネル流路12は紙面の左右方向に平行になるように配置される。
The
冷却板6は、フィン部6aと、平板状のベース部6bと、外周部6cからなる。ベース部6bは、外側(図1の下面側)が平坦な面上をなしており、当該外側面がキャリア2の上面に接合される支持部を構成する。外周部6cは、ベース部6bの内側面(図1の上面側)の外縁部から立設した矩形枠体形状をなしており、ベース部6bと一体的に形成されている。フィン部6aは、外周部6cよりも内側でベース部6bの内側面上(図1の上面)に設けられ、全体的な外形が直方体形状をなしている。冷却板6の外周部6cの上面は、はんだ、熱良導性の導電性接着剤等の接合材からなる接合層4を介在して、マイクロチャネル冷却板5の外周部5cの下面に、水密性を確保した状態で接合される。冷却板6のベース部6b及び外周部6cは、マイクロチャネル冷却板5との熱膨張係数差が小さい素材から形成され、鉄ニッケルコバルト合金、カーボン含有の合成樹脂基板、セラミック基板、シリコン基板等から構成されると良い。冷却板6のフィン部6aは、ベース部6b及び外周部6cとは別体で形成され、接合層4を介在してベース部6b及び外周部6cに接合される。フィン部6aは、可撓性を有した弾性定数の高い金属材料から構成される。或いは、フィン部6aとベース部6bと外周部6cを、弾性定数の高い金属材料から一体的に形成しても良い。当該一体的に形成される場合は、マイクロチャネル冷却板5と冷却板6の接合部の熱膨張率差を緩和するため、冷却板6の外周部6cに熱膨張率差を吸収するための溝を設けて、外周部6cの弾性率が弱くなるように設定しても良い。フィン部6aを別体で構成する場合は、無垢の金属平板の一方側から放電加工や切削により溝を加工し、他方側の面をベース部6b上に接合するようにしても良い。またフィン部6aを別体で構成する場合は、ベース部6bとは異なる素材から構成しても良く、例えば切削性の良いアルミまたはその合金で構成しても良い。
The
フィン部6aは、外周部6cよりも内側でベース部6bの内側面上(図1の下面)に設けられ、全体的な外形が直方体形状をなしている。外周部6cの一方端と他方端の間には、フィン部6aを挟んで2つの穴部13が形成されている。フィン部6aは、複数の直方体形状のフィンから構成され、隣接するフィンの間に所定の間隔を空けて、各フィンが平行に一列に並べて配置されている。フィン部6aの各フィンは、隣接するフィンとの間に冷却液7が流入するマイクロチャネル流路14を形成する。フィン部6aの形成する複数のマイクロチャネル流路14は、フィン部6a両側の2つの穴部13の間に挟まれて配置される。マイクロチャネル流路14は、マイクロチャネル流路12を形成するフィン部5aの流路の配向方向(冷却液7が流れる方向)に対して、フィン部6aの流路の配向方向(冷却液7が流れる方向)が垂直になるように配置される。例えば図1において、マイクロチャネル流路14は紙面の前後方向に平行になるように配置される。また、フィン部6aの先端部(図1の上端部)は、フィン部5aの先端部(図1の下端部)と非接合の状態で配置される。2つの穴部13は冷却液7の流れる管路を構成し、それぞれ冷却液7の流入口と吐出口をなしている。また、2つの穴部13は、マイクロチャネル冷却板5のマニホールド部11とそれぞれ連通している。
The
図2は、実施の形態1によるマイクロチャネル冷却板5及び冷却板6の構成を示す断面図であって、マイクロチャネル冷却板5におけるフィン部5aと、冷却板6におけるフィン部6aの配置関係を示している。図2(a)はマイクロチャネル冷却板5と冷却板6を図1の側面から見た断面図、図2(b)はマイクロチャネル冷却板5と冷却板6を図1の正面から見た断面図を示す。図2に示すように、冷却板6のフィン部6aは、マイクロチャネル冷却板5のフィン部5aの直下に配置される。また、フィン部6aの各フィンは、フィン部5aの各フィンと直交するように配置される。これによってフィン部6aの各フィンは、フィン部5aのマイクロチャネル流路12中の冷却液7の流れを変える働きをする。また、冷却板6内にあるフィン部6aの各フィンは、冷却液7の流量に応じて倒れ、その倒れる角度が流量に応じて変化するようになっている。
FIG. 2 is a cross-sectional view showing the configuration of the
キャリア2は、マイクロチャネル冷却板5及び冷却板6を支持する基台であって、導電性接着剤、銀ろう材、はんだ等を介在して、冷却板6の直下に接合される。キャリア2は、鉄ニッケルコバルト合金、アルミ等から構成される。キャリア2は、冷却板6の穴部13とそれぞれ連通する2つの穴部15を有している。2つの穴部15は冷却液7の流れる管路を構成し、それぞれ冷却液7の流入口と吐出口をなしている。
The
次に、実施の形態1による半導体素子1の冷却装置10の動作について説明する。
冷却装置10は、半導体素子1の直下に接合されるマイクロチャネル冷却板5と冷却板6から、冷却部を構成している。この冷却板6は、上述したように弾性率の良い材料から構成されている。冷却装置10は、半導体素子1の直下にマイクロチャネル冷却板5を配置することで、半導体素子1を冷却液7によって間接的に冷却する。マイクロチャネル冷却板5はマイクロチャネル流路12を形成しているので、半導体素子1と冷却液7との間の熱抵抗を低減し、冷却装置10の冷却能力を向上させることができる。
Next, the operation of the
The
冷却液7は、キャリア2における流入口側の穴部15から流入し、冷却板6の流入口側の穴部13を通って、マイクロチャネル冷却板5の流入口側のマニホールド部11からフィン部5aに流入する。フィン部5aに流入した冷却液7は、フィン部5aの各フィン間に形成されるマイクロチャネル流路12を通り、マイクロチャネル冷却板5の吐出口側のマニホールド部11に吐出される。その後、冷却板6の吐出口側の穴部13を通って、キャリア2における吐出口側の穴部15から吐出される。
The
半導体素子1は、図示しない配線回路を通じて外部から電力の供給を受けると、高温度で発熱する。半導体素子1の発生した熱は、マイクロチャネル冷却板5の上面に伝達される。マイクロチャネル冷却板5に伝達された熱は、ベース部5bの板厚方向に伝導してフィン部5aに伝達される。
The
フィン部5aに伝達した熱は、各フィンからマイクロチャネル流路12を流れる冷却液7に伝達される。冷却液7に伝達された熱は、冷却液7の流れに沿って冷却板6の吐出口側の穴部13に伝わり、キャリア2における吐出口側の穴部15から外部に放熱される。
The heat transferred to the
ここで、マイクロチャネル冷却板5の対面に弾性定数の高い材料で作製したフィンを設けた冷却板6を取付けているので、マイクロチャネル冷却板5内のフィンと弾性率の良い材料で製作した冷却板6内のフィンの接触による熱伝導によって、冷却部の冷却能力の向上を図ることができる。
Here, since the
また、半導体素子1からの排熱によって冷却液7は温められるが、この温められた冷却液7の熱は熱移動によって冷却板6へと伝わるので、冷却液7の温度上昇による冷却能力の低下を防ぐことができる。
In addition, although the
更に、冷却板6はマイクロチャネル冷却板5のフィン部5aと直交するようにフィン部6aが設けてあり、そのフィン部6aの各フィンが冷却液の流れを変える作用がある。これにより、マイクロチャネル流路12からフィン部5aの下部分(接合されていない部分)へと流れた冷却液7は、冷却板6内の各フィンによって、再びマイクロチャネル冷却板5のマイクロチャネル流路12に戻されることとなる。このように、冷却板6のフィン部6aのフィンが冷却液7の流れをマイクロチャネル冷却板5へと誘導する働きをするため、冷却液7はマイクロチャネル流路12内を有効に流れることとなり、冷却液の流量低下を防ぐことができる。
Further, the
ところで、マイクロチャネル冷却板5のマイクロチャネル流路12を構成するフィン間の幅は、数十〜数百ミクロンオーダと小さい。このため、マイクロチャネル12の熱伝達率が高くなり、冷却能力を高めることができるが、その一方でマイクロチャネル流路12の圧力損失が高くなってしまう。しかしながら、実施の形態1の冷却装置10は、マイクロチャネル冷却板5の対面に弾性定数の高い材料で作製した冷却板6を取り付けていることによって、冷却能力を低下させずに圧力損失のみを低減させることができる。
By the way, the width between the fins constituting the
図3は、実施の形態1による冷却板6における、冷却液7の流量に応じた変形形態を段階的に示す断面図であって、(a)は冷却液7の流量が少ないときの冷却板6のフィン部6aの形状を示し、(b)は冷却液7の流量が(a)の状態よりも多くなったときの冷却板6のフィン部6aの形状を示し、(c)は冷却液7の流量が更に(b)の状態よりも多くなったときの冷却板6のフィン部6aの形状を示す。
FIG. 3 is a cross-sectional view showing stepwise variations in the
図3(a)において、冷却液7の流量が少ないときは、フィン部6aの各フィンが倒れないようになっている。この場合、冷却液7はマイクロチャネル冷却板6内のフィン部6aに沿って流れの向きを変えて、半導体素子1直下のフィン部6aのフィン面に冷却液7が垂直に衝突した後、マイクロチャネル冷却板5のマイクロチャネル流路12を形成するフィン部5aを通過する。一般的に、衝突熱伝達率は高い値を示すため、このフィン部5aにおいて局所的に高い熱伝達率を示すこととなる。
In FIG. 3A, when the flow rate of the
また、図3(b)において、マイクロチャネル冷却板6内の冷却液7の流量が多くなり、マイクロチャネル冷却板5内でのマイクロチャネル流路12の圧力損失が増加した場合、フィン部6aが角度を変えて冷却液7の逃げ道を作ることにより、フィン部5aのフィン先端とフィン部6aのフィン先端との間隙が拡がる。この間隙の拡がりにより、高圧力損失による半導体素子の破損や水漏れを防止することができる。図3(c)は、図3(b)の状態よりも更に圧力損失が過剰に増加した場合を示しており、フィン部5aのフィン先端とフィン部6aのフィン先端との間隙が更に拡がり、マイクロチャネル冷却板5のマイクロチャネル流路12内の圧力損失を更に低減することができる。
3B, when the flow rate of the
以上説明した通り、実施の形態1による半導体素子1の冷却装置10は、一方の面に半導体素子1の載置される実装面を有し、他方の面における上記実装面の直下に先端部が接合されていない複数のフィンを配列したフィン部5aが設けられ、当該フィン部5aにより冷却液7が流れる複数のマイクロチャネル流路12が形成されたマイクロチャネル冷却板5と、一方の面に、上記マイクロチャネル冷却板5を支持する支持部(外周部5c)と、先端部が接合されていない可撓性を有した弾性材かなる複数のフィンの配列されたフィン部6aが設けられ、当該フィン部6aのそれぞれのフィンの先端が上記マイクロチャネル冷却板5の有するフィンの先端と対向しかつ当該フィン部6aのそれぞれのフィン面が上記マイクロチャネル冷却板5の有するフィン面と交差するように配置されるとともに、当該フィン部6aの各フィン間が上記マイクロチャネル冷却板5の各マイクロチャネル流路12と連通して上記冷却液7が流入する冷却板と、を備えたことを特徴とする。
As described above, the
また、上記冷却板のフィンは、上記マイクロチャネル冷却板のマイクロチャネル流路12を流れる冷却液7の流量に応じて、倒れる角度が可変する。
Further, the angle of the fins of the cooling plate varies depending on the flow rate of the
冷却装置10はこのように構成されることにより、マイクロチャネル冷却板5の所要の冷却能力を確保または保持したまま、マイクロチャネル流路12の圧力損失を低減することができる。また、これによって半導体素子1を構成する半導体の微細化による高発熱密度化、熱抵抗の増加、高出力化等に伴う温度上昇をより抑えることが可能となる。
By configuring the
また、マイクロチャネル冷却板5内に流れる冷却液7の流量を減らしても、従来と同等の冷却能力を得ることができるので、結果としてマイクロチャネル冷却板5内のマイクロチャネル流路12の圧力損失のみを低減することができる。また、冷却液7の流量増加に応じて冷却板6のフィンが倒れることで、マイクロチャネル流路12の圧力損失を低減させることができるので、マイクロチャネル流路の内圧上昇による半導体素子1の破損を防止することができる。更に、冷却液7が冷却板6のフィンと衝突することによって、冷却液7をマイクロチャネル流路12に戻す作用が働くので、マイクロチャネル冷却板5内に冷却液7を流れ易くすることができる。
Further, even if the flow rate of the
1 半導体素子、2 キャリア、3 冷却板、4 接合層、5 マイクロチャネル冷却板、5a フィン部、5b ベース部、5c 外周部、6 冷却板、6a フィン部、6b ベース部、7 冷却液、10 冷却装置、40 接着層。
DESCRIPTION OF
Claims (2)
一方の面に、上記マイクロチャネル冷却板を支持する支持部と、先端部が接合されていない可撓性を有した複数のフィンの配列されたフィン部が設けられ、当該フィン部のそれぞれのフィンの先端が上記マイクロチャネル冷却板の有するフィンの先端と対向しかつ当該フィン部のそれぞれのフィン面が上記マイクロチャネル冷却板の有するフィン面と交差するように配置されるとともに、当該フィン部の各フィン間が上記マイクロチャネル冷却板の各マイクロチャネル流路と連通して上記冷却液が流入する冷却板と、を備えた半導体素子の冷却装置。 A fin portion having a mounting surface on which the semiconductor element is placed on one surface and a plurality of fins, the tip portions of which are not joined, is provided directly below the mounting surface on the other surface. A microchannel cooling plate in which a plurality of microchannel flow paths through which the coolant flows are formed;
One surface is provided with a support portion that supports the microchannel cooling plate and a fin portion in which a plurality of flexible fins that are not joined to the tip portion are arranged, and each fin portion of the fin portion is arranged. Are arranged so that the tips of the fins face the tips of the fins of the microchannel cooling plate and the fin surfaces of the fin portions intersect with the fin surfaces of the microchannel cooling plate. A cooling device for a semiconductor device, comprising: a cooling plate in which fins communicate with each microchannel flow path of the microchannel cooling plate and into which the cooling liquid flows.
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-
2013
- 2013-03-12 JP JP2013048710A patent/JP2014175568A/en active Pending
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