JP2014173711A

JP2014173711A - Electric valve actuator

Info

Publication number: JP2014173711A
Application number: JP2013050050A
Authority: JP
Inventors: Tomio Hiranaka; 富雄平中; Hideaki Kitano; 英明北野
Original assignee: Shimadzu Emit Co Ltd
Current assignee: Shimadzu Emit Co Ltd
Priority date: 2013-03-13
Filing date: 2013-03-13
Publication date: 2014-09-22

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electric valve actuator that can continuously perform opening/closing control operation of a valve even when an abnormality occurs in a rotation drive system.SOLUTION: A control unit 50 performs position control of a first motor 20a and performs torque control of a second motor 20b. When an abnormality occurs, it is determined whether or not the abnormality exists in a first rotation drive system. If the abnormality exists in the first rotation drive system, control operation by the first rotation drive system is stopped, and rotation control of the first motor 20a is terminated. In addition, position control of the second motor 20b is started, and a warning signal indicating the abnormality in the first rotation drive system is outputted to a display unit 53. If the abnormality exists in a second rotation drive system, control operation by the second rotation drive system is stopped, and rotation control of the second motor 20b is terminated. In addition, a warning signal indicating the abnormality in the second rotation drive system is outputted to the display unit 53.

Description

この発明は、弁を開閉させるための電動バルブアクチュエータに関する。 The present invention relates to an electric valve actuator for opening and closing a valve.

例えば、プラントに使用される流量調整弁は、電動バルブアクチュエータによりその開度が調整される。この電動バルブアクチュエータにおいては、ロータとステータとを備えたダイレクトドライブ方式のモータと、このモータにおけるロータの回転角度を検出するためのレゾルバと、モータの回転を制御するモータコントローラとから成る回転駆動系を備え、この回転駆動系によりボールねじを回転させ、このボールねじと螺合するナットを移動させることにより、このナットに連結された弁を移動させて流量調整弁の開度を変更している。そして、レゾルバの信号に基づいて演算した弁の開度と弁の開度の指令値とを比較することにより、モータに対して回転指令信号を出力している。 For example, the opening degree of a flow rate adjustment valve used in a plant is adjusted by an electric valve actuator. In this electric valve actuator, a rotary drive system comprising a direct drive type motor having a rotor and a stator, a resolver for detecting the rotation angle of the rotor in the motor, and a motor controller for controlling the rotation of the motor. The rotational drive system rotates the ball screw and moves the nut screwed with the ball screw, thereby moving the valve connected to the nut and changing the opening of the flow rate adjustment valve. . Then, the rotation command signal is output to the motor by comparing the valve opening calculated based on the resolver signal and the valve opening command value.

このような電動バルブアクチュエータにおいては、モータと、レゾルバと、モータコントローラとから成る回転駆動系に異常が生じた場合には、流量調整弁を通過する流体の流量の制御が不可能となり、この流量調整弁を利用するプラント全体が損傷する可能性がある。 In such an electric valve actuator, when an abnormality occurs in the rotational drive system composed of the motor, the resolver, and the motor controller, it becomes impossible to control the flow rate of the fluid passing through the flow rate adjustment valve. The entire plant that uses the regulator valve can be damaged.

特許文献1には、ボビンに巻回された各々が２相巻コイルである一対のコイルを利用することにより、一対のコイルのいずれかが断線した場合でも、弁体を開方向に移動させることを可能とし、コイルの断線時におけるフェールセーフ動作を可能とした流量制御弁用のステッピングモータ式駆動装置が開示されている。 In Patent Document 1, by using a pair of coils each wound around a bobbin, which is a two-phase coil, the valve body is moved in the opening direction even when one of the pair of coils is disconnected. A stepping motor type drive device for a flow rate control valve that enables a fail-safe operation when the coil is disconnected is disclosed.

特開平１１−１３６９２５号公報JP 11-136925 A

特許文献１に記載の発明は、コイルの切断時にもステッピングモータを所定位置まで移動させようとするものではあるが、一定の方向への移動が可能となるだけであり、弁の開度の制御を行うことは不可能である。また、特許文献１に記載の発明においては、角度検出器やモータのコントローラの異常に対応することは不可能である。 The invention described in Patent Document 1 is intended to move the stepping motor to a predetermined position even when the coil is cut, but only allows movement in a certain direction, and controls the opening degree of the valve. It is impossible to do. In the invention described in Patent Document 1, it is impossible to cope with an abnormality in an angle detector or a motor controller.

この発明は上記課題を解決するためになされたものであり、回転駆動系に異常が生じたときにも、弁の開閉制御動作を継続して実行することが可能な電動バルブアクチュエータを提供することを目的とする。 The present invention has been made to solve the above-described problem, and provides an electric valve actuator capable of continuously executing a valve opening / closing control operation even when an abnormality occurs in a rotational drive system. With the goal.

請求項１に記載の発明は、弁を開閉させるための電動バルブアクチュエータにおいて、ロータとステータとを備えた第１モータと、前記第１モータの回転角度を検出するための第１角度検出器と、前記第１モータの回転を制御する第１モータコントローラとから成る第１回転駆動系と、ロータとステータとを備えた第２モータと、前記第２モータの回転角度を検出するための第２角度検出器と、前記第２モータの回転を制御する第２モータコントローラとから成る第２回転駆動系と、前記第１モータにおけるロータおよび前記第２モータにおけるロータに接続され、前記第１モータおよび前記第２モータによる回転運動を、前記弁を往復移動させるための往復運動に変換する変換部材と、前記第１角度検出器の信号に基づいて演算した前記弁の開度と、前記弁の開度の指令値とを比較することにより、前記第１モータに対して通常時の回転指令信号を出力する制御部とを備え、前記制御部は、前記第１回転駆動系に異常が生じたときは、前記第２角度検出器の信号に基づいて演算した前記弁の開度と、前記弁の開度の指令値とを比較することにより、前記第２モータに対して異常発生時の回転指令信号を出力する。 The invention according to claim 1 is an electric valve actuator for opening and closing a valve, a first motor having a rotor and a stator, and a first angle detector for detecting a rotation angle of the first motor; A first rotation drive system comprising a first motor controller for controlling the rotation of the first motor, a second motor having a rotor and a stator, and a second for detecting the rotation angle of the second motor. A second rotation drive system comprising an angle detector and a second motor controller for controlling the rotation of the second motor; a rotor in the first motor; and a rotor in the second motor; and the first motor and The conversion member that converts the rotational motion by the second motor into the reciprocating motion for reciprocating the valve, and the valve that is calculated based on the signal of the first angle detector A control unit that outputs a rotation command signal at a normal time to the first motor by comparing the opening and a command value of the opening of the valve; and the control unit includes the first rotation. When an abnormality occurs in the drive system, the second motor is compared with the valve opening calculated based on the signal from the second angle detector and the valve opening command value. On the other hand, a rotation command signal when an abnormality occurs is output.

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記制御部は、前記第１回転駆動系に異常が生じたときに、前記第１回転駆動系の異常を示す警告信号を出力する。 According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, when the abnormality occurs in the first rotation drive system, the control unit outputs a warning signal indicating an abnormality in the first rotation drive system. Output.

請求項３に記載の発明は、請求項１または請求項２に記載の発明において、前記制御部は、前記第２回転駆動系に異常が生じたときに、前記第２回転駆動系の異常を示す警告信号を出力する。 According to a third aspect of the present invention, in the first or second aspect of the present invention, when the abnormality occurs in the second rotation drive system, the control unit detects an abnormality in the second rotation drive system. A warning signal is output.

請求項４に記載の発明は、請求項１から請求項３のいずれかに記載の発明において、前記制御部は、通常時において、前記第１モータコントローラから得た前記第１モータの回転情報に基づいて、前記第２モータコントローラに対して前記第２モータを前記第１モータと同一方向に同一のトルクで回転させるための前記第２モータの通常時の回転指令信号を出力する。 According to a fourth aspect of the present invention, in the invention according to any one of the first to third aspects of the present invention, the control unit includes, in a normal state, rotation information of the first motor obtained from the first motor controller. Based on this, a normal rotation command signal for the second motor for rotating the second motor with the same torque in the same direction as the first motor is output to the second motor controller.

請求項５に記載の発明は、請求項１から請求項４のいずれかに記載の発明において、前記弁の移動量に基づいて前記弁の開度を検出する開度センサをさらに備え、前記制御部は、前記開度センサの信号と前記第１角度検出器または前記第２角度検出器の信号とを比較することにより、前記第１回転駆動系または前記第２回転駆動系の異常を検出する。 The invention according to claim 5 is the invention according to any one of claims 1 to 4, further comprising an opening degree sensor that detects an opening degree of the valve based on a movement amount of the valve. The unit detects an abnormality of the first rotational drive system or the second rotational drive system by comparing the signal of the opening sensor and the signal of the first angle detector or the second angle detector. .

請求項６に記載の発明は、弁を開閉させるための電動バルブアクチュエータにおいて、ロータとステータとを備えた第１モータと、前記第１モータの回転角度を検出するための第１角度検出器と、前記第１モータの回転を制御する第１モータコントローラとから成る第１回転駆動系と、ロータとステータとを備えた第２モータと、前記第２モータの回転角度を検出するための第２角度検出器と、前記第２モータの回転を制御する第２モータコントローラとから成る第２回転駆動系と、前記第１モータにおけるロータおよび前記第２モータにおけるロータに接続され、前記第１モータおよび前記第２モータによる回転運動を、前記弁を往復移動させるための往復運動に変換する変換部材と、前記弁の移動量に基づいて前記弁の開度を検出する開度センサと、前記第１角度検出器の信号に基づいて演算した前記弁の開度と、前記弁の開度の指令値とを比較することにより、前記第１モータに対して通常時の回転指令信号を出力するとともに、前記第１モータコントローラから得た前記第１モータの回転情報に基づいて、前記第２モータコントローラに対して前記第２モータを前記第１モータと同一方向に同一のトルクで回転させるための前記第２モータの通常時の回転指令信号を出力する制御部とを備え、前記制御部は、前記開度センサの信号と前記第１角度検出器または前記第２角度検出器の信号をと比較することにより、前記第１回転駆動系または前記第２回転駆動系の異常を検出し、前記第１回転駆動系に異常が生じたときは、前記第１回転駆動系の異常を示す警告信号を出力するとともに、前記第２角度検出器の信号に基づいて演算した前記弁の開度と、前記弁の開度の指令値とを比較することにより、前記第２モータに対して異常発生時の回転指令信号を出力し、前記第２回転駆動系に異常が生じたときには、前記第２回転駆動系の異常を示す警告信号を出力する。 According to a sixth aspect of the present invention, in an electric valve actuator for opening and closing a valve, a first motor including a rotor and a stator, and a first angle detector for detecting a rotation angle of the first motor; A first rotation drive system comprising a first motor controller for controlling the rotation of the first motor, a second motor having a rotor and a stator, and a second for detecting the rotation angle of the second motor. A second rotation drive system comprising an angle detector and a second motor controller for controlling the rotation of the second motor; a rotor in the first motor; and a rotor in the second motor; and the first motor and A conversion member that converts the rotational movement by the second motor into a reciprocating movement for reciprocating the valve, and an opening that detects the opening of the valve based on the amount of movement of the valve. By comparing the opening of the valve calculated based on the sensor and the signal of the first angle detector with a command value of the opening of the valve, a rotation command during normal operation is sent to the first motor. Outputs a signal and, based on the rotation information of the first motor obtained from the first motor controller, causes the second motor controller to move the second motor in the same direction as the first motor. A control unit that outputs a rotation command signal of the second motor at a normal time for rotation, and the control unit includes a signal of the opening sensor and the first angle detector or the second angle detector. By comparing the signal with the abnormality of the first rotation drive system or the second rotation drive system is detected, and when the abnormality occurs in the first rotation drive system, the abnormality of the first rotation drive system is detected. Output warning signal In addition, by comparing the opening degree of the valve calculated based on the signal of the second angle detector and a command value of the opening degree of the valve, a rotation command when an abnormality occurs is given to the second motor. A signal is output, and when an abnormality occurs in the second rotation drive system, a warning signal indicating an abnormality in the second rotation drive system is output.

請求項１に記載の発明によれば、回転駆動系に異常が生じたときにも弁の開閉制御動作を継続して実行することが可能となる。このため、電動バルブアクチュエータにより開閉される弁を利用した装置の損傷を防止することが可能となる。 According to the first aspect of the present invention, the valve opening / closing control operation can be continuously executed even when an abnormality occurs in the rotational drive system. For this reason, it becomes possible to prevent damage to the apparatus using the valve opened and closed by the electric valve actuator.

請求項２に記載の発明によれば、第１回転駆動系の異常を早期に確認することが可能となる。 According to the second aspect of the present invention, it is possible to confirm the abnormality of the first rotational drive system at an early stage.

請求項３に記載の発明によれば、第２回転駆動系の異常を早期に確認することが可能となる。 According to the third aspect of the present invention, it is possible to confirm the abnormality of the second rotational drive system at an early stage.

請求項４に記載の発明によれば、一対のモータを使用して弁の開閉制御を実行することが可能となる。このため、通常運転時のモータ一つ当たりの出力を全体として必要な出力より小さくすることができる。 According to the fourth aspect of the present invention, the valve opening / closing control can be executed using a pair of motors. For this reason, the output per motor at the time of normal operation can be made smaller than the required output as a whole.

請求項５に記載の発明によれば、開度センサの信号を利用して第１回転駆動系または第２回転駆動系の異常を検出することが可能となる。 According to the fifth aspect of the present invention, it is possible to detect an abnormality in the first rotational drive system or the second rotational drive system using the signal from the opening sensor.

請求項６に記載の発明によれば、回転駆動系に異常が生じたときにも弁の開閉制御動作を継続して実行することが可能となる。このため、電動バルブアクチュエータにより開閉される弁を利用した装置の損傷を防止することが可能となる。このとき、開度センサの信号を利用して第１回転駆動系または第２回転駆動系の異常を検出することが可能となり、また、この異常を早期に確認することが可能となる。 According to the sixth aspect of the present invention, the valve opening / closing control operation can be continuously executed even when an abnormality occurs in the rotational drive system. For this reason, it becomes possible to prevent damage to the apparatus using the valve opened and closed by the electric valve actuator. At this time, it is possible to detect an abnormality of the first rotation drive system or the second rotation drive system using the signal of the opening sensor, and it is possible to confirm this abnormality at an early stage.

この発明に係る電動バルブアクチュエータ１の断面図である。1 is a cross-sectional view of an electric valve actuator 1 according to the present invention. この発明に係る電動バルブアクチュエータ１を適用した流量調整弁２の断面図である。It is sectional drawing of the flow regulating valve 2 to which the electric valve actuator 1 which concerns on this invention is applied. この発明に係る電動バルブアクチュエータ１の主要な制御系を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the main control systems of the electric valve actuator 1 which concerns on this invention. この発明の第１実施形態に係る電動バルブアクチュエータ１の制御動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the control action of the electric valve actuator 1 which concerns on 1st Embodiment of this invention. この発明の第２実施形態に係る電動バルブアクチュエータ１の制御動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the control action of the electric valve actuator 1 which concerns on 2nd Embodiment of this invention.

以下、この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１は、この発明に係る電動バルブアクチュエータ１の断面図である。また、図２は、この発明に係る電動バルブアクチュエータ１を適用した流量調整弁２の断面図である。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a cross-sectional view of an electric valve actuator 1 according to the present invention. FIG. 2 is a cross-sectional view of the flow rate adjusting valve 2 to which the electric valve actuator 1 according to the present invention is applied.

図１に示すように、この電動バルブアクチュエータ１は、ケーシング２６内に配置された磁石を有するロータ２１ａと、このロータ２１ａの外周部に配設されたコイル２２ａを有するステータ２３ａとを備えたダイレクトドライブ方式の第１モータ２０ａと、同様に、磁石を有するロータ２１ｂと、このロータ２１ｂの外周部に配設されたコイル２２ｂを有するステータ２３ｂとを備えたダイレクトドライブ方式の第２モータ２０ｂとを備える。これらの第１モータ２０ａおよび第２モータ２０ｂは、互いに重畳する状態で近接配置されている。 As shown in FIG. 1, this electric valve actuator 1 is a direct including a rotor 21a having a magnet disposed in a casing 26 and a stator 23a having a coil 22a disposed on the outer periphery of the rotor 21a. Similarly, a drive-type first motor 20a, and a direct-drive-type second motor 20b including a rotor 21b having a magnet and a stator 23b having a coil 22b disposed on the outer periphery of the rotor 21b. Prepare. The first motor 20a and the second motor 20b are arranged close to each other so as to overlap each other.

第１モータ２０ａにおけるロータ２１ａと第２モータ２０ｂにおけるロータ２１ｂとは、軸部３１およびボールねじ部３２を有する軸体３０の上端部に、軸体３０とともに回転可能に固定されている。なお、この軸体３０の上端部付近は、スラストベアリング２５により回転可能に支持されている。また、この軸体３０におけるボールねじ部３２は、ナット３３と螺合している。このナット３３は、回り止め用の支軸３５により回転を防止されている。さらに、軸体３０の上端付近には、第１レゾルバ２４ａおよび第２レゾルバ２４ｂが配設されている。ここで、第１レゾルバ２４ａは、軸体３０の回転情報と制御部５０に記憶した原点情報とに基づいて第１モータ２０ａの回転角度を検出するためのものである。同様に、第２レゾルバ２４ｂは、軸体３０の回転情報と制御部５０に記憶した原点情報とに基づいて第２モータ２０ｂの回転角度を検出するためのものである。 The rotor 21 a in the first motor 20 a and the rotor 21 b in the second motor 20 b are fixed to the upper end of the shaft body 30 having the shaft portion 31 and the ball screw portion 32 so as to be rotatable together with the shaft body 30. Note that the vicinity of the upper end portion of the shaft body 30 is rotatably supported by a thrust bearing 25. Further, the ball screw portion 32 in the shaft body 30 is screwed with the nut 33. The nut 33 is prevented from rotating by a support shaft 35 for preventing rotation. Further, a first resolver 24 a and a second resolver 24 b are disposed near the upper end of the shaft body 30. Here, the first resolver 24 a is for detecting the rotation angle of the first motor 20 a based on the rotation information of the shaft body 30 and the origin information stored in the control unit 50. Similarly, the second resolver 24 b is for detecting the rotation angle of the second motor 20 b based on the rotation information of the shaft body 30 and the origin information stored in the control unit 50.

図１および図２に示すように、ナット３３は、移動部材３４と連結されており、この移動部材３４の下端部には軸３９が形成されている。この軸３９の先端は、さらに、弁１１と連結されている。軸体３０が回転した場合には、軸体３０におけるボールねじ部３２と螺合するナット３３が昇降する。このナット３３の昇降に伴って、移動部材３４が昇降する。そして、この移動部材３４の昇降に伴って、弁１１が、弁座１２と当接する閉止位置と、図２に示す弁座１２から離隔した開放位置との間を昇降する。すなわち、軸３９が形成された移動部材３４は、軸体３０におけるボールねじ部３２の回転運動に伴ってナット３３が往復運動することにより、そこに接続された弁１１を移動させる機能を有する。 As shown in FIGS. 1 and 2, the nut 33 is connected to a moving member 34, and a shaft 39 is formed at the lower end of the moving member 34. The tip of the shaft 39 is further connected to the valve 11. When the shaft body 30 rotates, the nut 33 that engages with the ball screw portion 32 of the shaft body 30 moves up and down. As the nut 33 moves up and down, the moving member 34 moves up and down. As the moving member 34 moves up and down, the valve 11 moves up and down between a closed position where the valve 11 abuts on the valve seat 12 and an open position spaced apart from the valve seat 12 shown in FIG. That is, the moving member 34 on which the shaft 39 is formed has a function of moving the valve 11 connected thereto by the reciprocating motion of the nut 33 in accordance with the rotational motion of the ball screw portion 32 in the shaft body 30.

弁１１が弁座１２と当接する閉止位置に配置された状態においては、流入口１３から流出口１４に至る流体の流路が閉止される。一方、図２に示すように、弁１１が弁座１２から離隔した開放位置に配置された状態においては、流入口１３から流出口１４に至る流体の流路が開放される。このときの弁１１の開度は、この弁１１の移動量を監視する開度センサ４１により検出される。 In the state where the valve 11 is disposed at the closed position where it contacts the valve seat 12, the fluid flow path from the inlet 13 to the outlet 14 is closed. On the other hand, as shown in FIG. 2, in the state where the valve 11 is disposed at the open position separated from the valve seat 12, the fluid flow path from the inlet 13 to the outlet 14 is opened. The opening degree of the valve 11 at this time is detected by an opening degree sensor 41 that monitors the movement amount of the valve 11.

ここで、この明細書における開放位置とは、弁１１と弁座１２とが一定距離離隔することにより、流体の流路が形成される位置である。この開放位置は、そのときに必要とされる流体の流路を確保するための位置であり、流体の流路が全開となる位置のみならず、流体の流路がわずかに開放される位置をも含んでいる。 Here, the open position in this specification is a position where the flow path of the fluid is formed when the valve 11 and the valve seat 12 are separated by a certain distance. This open position is a position for securing a fluid flow path required at that time, and not only a position where the fluid flow path is fully opened, but also a position where the fluid flow path is slightly opened. Also included.

移動部材３４にはフランジ２９が付設されている。そして、このフランジ２９の上部にはコイルバネ３６が配設されている。移動部材３４は、コイルバネ３６の作用により、弁１１が弁座１２と当接する閉止位置に移動する方向に、常に、付勢されている。このため、一対のモータ２０ａ、２０ｂに電力が供給されない状態となれば、弁１１は閉止位置に移動することになる。 A flange 29 is attached to the moving member 34. A coil spring 36 is disposed on the flange 29. The moving member 34 is always urged by the action of the coil spring 36 in the direction in which the valve 11 moves to the closed position where the valve 11 contacts the valve seat 12. For this reason, if it will be in the state where electric power is not supplied to a pair of motors 20a and 20b, valve 11 will move to a closed position.

図３は、この発明に係る電動バルブアクチュエータ１の主要な制御系を示すブロック図である。 FIG. 3 is a block diagram showing a main control system of the electric valve actuator 1 according to the present invention.

この電動バルブアクチュエータ１は、装置全体を制御する制御部５０を備える。この制御部５０は、第１モータコントローラ５１ａを介して上述した第１モータ２０ａと接続されており、第２モータコントローラ５１ｂを介して上述した第２モータ２０ｂと接続されている。また、この制御部５０は、第１角度／開度変換部５２ａを介して上述した第１レゾルバ２４ａと接続されており、第２角度／開度変換部５２ｂを介して上述した第２レゾルバ２４ｂと接続されている。また、この制御部５０は、上述した開度センサ４１と接続されている。さらに、この制御部５０は、後述する警告表示または警告音を発生させるための表示部５３にも接続されている。 The electric valve actuator 1 includes a control unit 50 that controls the entire apparatus. The controller 50 is connected to the first motor 20a described above via the first motor controller 51a, and is connected to the second motor 20b described above via the second motor controller 51b. In addition, the control unit 50 is connected to the first resolver 24a described above via the first angle / opening degree conversion unit 52a, and the second resolver 24b described above via the second angle / opening degree conversion unit 52b. Connected with. Further, the control unit 50 is connected to the opening degree sensor 41 described above. Further, the control unit 50 is also connected to a display unit 53 for generating a warning display or a warning sound to be described later.

なお、上述した第１モータコントローラ５１ａは、第１モータ２０ａの回転を制御するためのものであり、第１角度／開度変換部５２ａは第１モータ２０ａにおけるロータ２１ａの回転角度情報を弁１１の開度情報に変換するためのものである。同様に、上述した第２モータコントローラ５１ｂは、第２モータ２０ｂの回転を制御するためのものであり、第２角度／開度変換部５２ｂは第２モータ２０ｂにおけるロータ２１ｂの回転角度情報を弁１１の開度情報に変換するためのものである。ここで、第１モータ２０ａ、第１レゾルバ２４ａ、第１モータコントローラ５１ａおよび第１角度／開度変換部５２ａは、この発明に係る第１回転駆動系を構成し、第２モータ２０ｂ、第２レゾルバ２４ｂ、第２モータコントローラ５１ｂおよび第２角度／開度変換部５２ｂは、この発明に係る第２回転駆動系を構成する。 The first motor controller 51a described above is for controlling the rotation of the first motor 20a, and the first angle / opening degree conversion unit 52a uses the rotation angle information of the rotor 21a in the first motor 20a as the valve 11. It is for converting into the opening degree information. Similarly, the second motor controller 51b described above is for controlling the rotation of the second motor 20b, and the second angle / opening degree conversion unit 52b is configured to control the rotation angle information of the rotor 21b in the second motor 20b. 11 for opening degree information. Here, the 1st motor 20a, the 1st resolver 24a, the 1st motor controller 51a, and the 1st angle / opening degree conversion part 52a comprise the 1st rotation drive system concerning this invention, the 2nd motor 20b, the 2nd The resolver 24b, the second motor controller 51b, and the second angle / opening degree conversion unit 52b constitute a second rotational drive system according to the present invention.

次に、上述した電動バルブアクチュエータ１における流量調整弁２の制御動作について説明する。図４は、この発明の第１実施形態に係る電動バルブアクチュエータ１の制御動作を示すフローチャートである。なお、以下の動作は、制御部５０の制御により実行される。 Next, the control operation of the flow rate adjusting valve 2 in the electric valve actuator 1 described above will be described. FIG. 4 is a flowchart showing the control operation of the electric valve actuator 1 according to the first embodiment of the present invention. The following operation is executed under the control of the control unit 50.

電動バルブアクチュエータ１により流量調整弁２の開閉制御を実行する場合には、最初に、第１モータ２０ａの位置制御を実行する（ステップＳ１１）。この場合においては、第１レゾルバ２４ａの信号に基づいて第１角度／開度変換部５２ａにより弁１１の開度を演算する。そして、この開度情報と、制御部５０に入力される開度の指令値である開度指令と比較する。制御部５０は、この比較結果に基づいて、第１モータコントローラ５１ａを介して第１モータ２０ａへ回転指令信号を出力する。 When opening / closing control of the flow rate adjusting valve 2 is executed by the electric valve actuator 1, first, position control of the first motor 20a is executed (step S11). In this case, the opening degree of the valve 11 is calculated by the first angle / opening degree conversion unit 52a based on the signal of the first resolver 24a. And this opening degree information is compared with the opening degree command which is the command value of the opening degree input into the control part 50. FIG. The controller 50 outputs a rotation command signal to the first motor 20a via the first motor controller 51a based on the comparison result.

また、これと同時に、第２モータ２０ｂのトルク制御を実行する（ステップＳ１２）。すなわち、この場合においては、第１モータコントローラ５１ａから得た第１モータ２０ａの回転情報に基づいて、制御部５０は、第２モータコントローラ５１ｂに対して第２モータ２０ｂを第１モータ２０ａと同一方向に同一のトルクで回転させるための第２モータ２０ｂの回転指令信号を出力する。これにより、第２モータ２０ｂは、第１モータ２０ａと同一方向に同一のトルクで回転する。 At the same time, torque control of the second motor 20b is executed (step S12). That is, in this case, based on the rotation information of the first motor 20a obtained from the first motor controller 51a, the control unit 50 makes the second motor 20b identical to the first motor 20a with respect to the second motor controller 51b. A rotation command signal for the second motor 20b for rotating in the direction with the same torque is output. Accordingly, the second motor 20b rotates with the same torque in the same direction as the first motor 20a.

この状態においては、第１モータ２０ａは通常時の回転指令信号により位置制御されて回転し、第２モータ２０ｂは通常時の回転指令信号によりトルク制御されて回転する。この状態においては、軸体３０を第１モータ２０ａおよび第２モータ２０ｂの駆動で回転させることから、モータ一つ当たりの出力を全体として必要な出力より小さくすることができる。これにより、第１モータ２０ａおよび第２モータ２０ｂとして、出力の小さいモータを使用することが可能となる。 In this state, the position of the first motor 20a is rotated by a normal rotation command signal, and the second motor 20b is rotated by torque control of a normal rotation command signal. In this state, since the shaft body 30 is rotated by driving the first motor 20a and the second motor 20b, the output per motor can be made smaller than the required output as a whole. Thereby, it becomes possible to use a motor with a small output as the first motor 20a and the second motor 20b.

流量調整弁２の制御動作を開始した後は、制御部５０は、第１回転駆動系および第２回転駆動系の異常を常に監視している（ステップＳ１３）。すなわち、第１モータ２０ａ、第１レゾルバ２４ａ、第１モータコントローラ５１ａおよび第１角度／開度変換部５２ａのいずれかの動作不良による第１回転駆動系の異常と、第２モータ２０ｂ、第２レゾルバ２４ｂ、第２モータコントローラ５１ｂおよび第２角度／開度変換部５２ｂのいずれかの動作不良による第２回転駆動系の異常は、制御部５０により常に監視されている。 After starting the control operation of the flow rate adjusting valve 2, the control unit 50 constantly monitors for abnormality in the first rotation drive system and the second rotation drive system (step S13). That is, an abnormality in the first rotational drive system due to a malfunction of one of the first motor 20a, the first resolver 24a, the first motor controller 51a, and the first angle / opening degree conversion unit 52a, the second motor 20b, the second Abnormalities in the second rotational drive system due to malfunctions of any of the resolver 24b, the second motor controller 51b, and the second angle / opening degree conversion unit 52b are constantly monitored by the control unit 50.

ここで、第１レゾルバ２４ａおよび第２レゾルバ２４ｂの異常や、第１角度／開度変換部５２ａおよび第２角度／開度変換部５２ｂの異常は、それらにより得られた弁１１の開度情報に差異が生ずることにより認識することができる。この場合には、開度センサ４１の信号と第１角度／開度変換部５２ａを介して得た第１レゾルバ２４ａの信号とを比較し、あるいは、開度センサ４１の信号と第２角度／開度変換部５２ｂを介して得た第２レゾルバ２４ｂの信号とを比較することにより、第１レゾルバ２４ａまたは第１角度／開度変換部５２ａの異常であるか第２レゾルバ２４ｂまたは第２角度／開度変換部５２ｂの異常であるかを認識することができる。一方、第１モータ２０ａの異常は第１モータコントローラ５１ａにより、また、第２モータ２０ｂの異常は第２モータコントローラ５１ｂにより認識することができ、第１モータコントローラ５１ａおよび第２モータコントローラ５１ｂ自体の異常は制御部５０により認識することができる。 Here, the abnormality of the first resolver 24a and the second resolver 24b and the abnormality of the first angle / opening degree conversion unit 52a and the second angle / opening degree conversion unit 52b are the opening information of the valve 11 obtained by them. Can be recognized by the difference. In this case, the signal of the opening sensor 41 and the signal of the first resolver 24a obtained via the first angle / opening conversion unit 52a are compared, or the signal of the opening sensor 41 and the second angle / By comparing the signal of the second resolver 24b obtained through the opening degree conversion unit 52b, it is determined whether the first resolver 24a or the first angle / opening degree conversion unit 52a is abnormal or the second resolver 24b or the second angle. / It can be recognized whether the opening degree conversion unit 52b is abnormal. On the other hand, an abnormality in the first motor 20a can be recognized by the first motor controller 51a, and an abnormality in the second motor 20b can be recognized by the second motor controller 51b. The first motor controller 51a and the second motor controller 51b themselves The abnormality can be recognized by the control unit 50.

異常が発生した場合には、制御部５０は、その異常が第１回転駆動系の異常であるか否かを判断する（ステップＳ１４）。そして、発生した異常が第１回転駆動系の異常であった場合には、第１回転駆動系による制御動作を停止させ、第１モータ２０ａの回転制御を終了する（ステップＳ１５）。 If an abnormality has occurred, the control unit 50 determines whether or not the abnormality is an abnormality in the first rotation drive system (step S14). If the abnormality that has occurred is an abnormality in the first rotation drive system, the control operation by the first rotation drive system is stopped, and the rotation control of the first motor 20a is terminated (step S15).

また、制御部５０は、第２モータ２０ｂの位置制御を開始する（ステップＳ１６）。この場合においては、第２レゾルバ２４ｂの信号に基づいて第２角度／開度変換部５２ｂにより弁１１の開度を演算する。そして、この開度情報と、制御部５０に入力される開度の指令値である開度指令と比較する。制御部５０は、この比較結果に基づいて、第２モータコントローラ５１ｂを介して第２モータ２０ｂへ異常発生時の回転指令信号を出力する。これにより、第１回転駆動系に異常が発生した場合においても、流量調整弁２を開閉制御することが可能となる。 Further, the control unit 50 starts position control of the second motor 20b (step S16). In this case, the opening degree of the valve 11 is calculated by the second angle / opening degree conversion unit 52b based on the signal of the second resolver 24b. And this opening degree information is compared with the opening degree command which is the command value of the opening degree input into the control part 50. FIG. Based on the comparison result, the control unit 50 outputs a rotation command signal when an abnormality occurs to the second motor 20b via the second motor controller 51b. As a result, even when an abnormality occurs in the first rotation drive system, the flow rate adjustment valve 2 can be controlled to open and close.

制御部５０は、表示部５３に対して第１回転駆動系の異常を示す警告信号を出力する（ステップＳ１7)。表示部５３は、第１回転駆動系の異常を示す警告表示または警告音を発生させる。 The control unit 50 outputs a warning signal indicating an abnormality of the first rotation drive system to the display unit 53 (step S17). The display unit 53 generates a warning display or a warning sound indicating an abnormality of the first rotation drive system.

一方、発生した異常が第１回転駆動系の異常ではなく、第２回転駆動系の異常であった場合には、第２回転駆動系による制御動作を停止させ、第２モータ２０ｂの回転制御を終了する（ステップＳ１８）。この場合においても、第１回転駆動系により、継続して流量調整弁２を開閉制御することが可能となる。 On the other hand, when the abnormality that has occurred is not the abnormality of the first rotation drive system but the abnormality of the second rotation drive system, the control operation by the second rotation drive system is stopped and the rotation control of the second motor 20b is performed. The process ends (step S18). Even in this case, the flow control valve 2 can be continuously opened and closed by the first rotation drive system.

制御部５０は、表示部５３に対して第２回転駆動系の異常を示す警告信号を出力する(ステップＳ１９)。表示部５３は、第２回転駆動系の異常を示す警告表示または警告音を発生させる。 The control unit 50 outputs a warning signal indicating an abnormality of the second rotation drive system to the display unit 53 (step S19). The display unit 53 generates a warning display or a warning sound indicating an abnormality of the second rotation drive system.

次に、電動バルブアクチュエータ１における流量調整弁２の他の実施形態に係る制御動作について説明する。図５は、この発明の第２実施形態に係る電動バルブアクチュエータ１の制御動作を示すフローチャートである。なお、以下の動作も、制御部５０の制御により実行される。 Next, a control operation according to another embodiment of the flow rate adjusting valve 2 in the electric valve actuator 1 will be described. FIG. 5 is a flowchart showing the control operation of the electric valve actuator 1 according to the second embodiment of the present invention. The following operation is also executed under the control of the control unit 50.

この第２実施形態において電動バルブアクチュエータ１により流量調整弁２の開閉制御を実行する場合には、最初に、第１モータ２０ａの位置制御を実行する（ステップＳ２１）。この場合においては、第１実施形態の場合と同様、第１レゾルバ２４ａの信号に基づいて第１角度／開度変換部５２ａにより弁１１の開度を演算する。そして、この開度情報と、制御部５０に入力される開度の指令値である開度指令とを比較する。制御部５０は、この比較結果に基づいて、第１モータコントローラ５１ａを介して第１モータ２０ａへ回転指令信号を出力する。 In the second embodiment, when opening / closing control of the flow rate adjusting valve 2 is executed by the electric valve actuator 1, first, position control of the first motor 20a is executed (step S21). In this case, as in the case of the first embodiment, the opening of the valve 11 is calculated by the first angle / opening conversion unit 52a based on the signal of the first resolver 24a. And this opening degree information and the opening degree command which is the command value of the opening degree input into the control part 50 are compared. The controller 50 outputs a rotation command signal to the first motor 20a via the first motor controller 51a based on the comparison result.

一方、この第２実施形態においては、第２モータ２０ｂの回転制御は実行しない。すなわち、この第２実施形態においては、第２モータ２０ｂのロータ２１ｂは、軸体３０の回転に伴って従動する。但し、この場合においても、第２角度／開度変換部５２ｂは、第２レゾルバ２４ｂの信号に基づいて、第２モータ２０ｂにおけるロータ２１ｂの回転角度情報を弁１１の開度情報に常に変換している。 On the other hand, in the second embodiment, the rotation control of the second motor 20b is not executed. That is, in the second embodiment, the rotor 21b of the second motor 20b is driven as the shaft body 30 rotates. However, even in this case, the second angle / opening degree conversion unit 52b always converts the rotation angle information of the rotor 21b in the second motor 20b into the opening degree information of the valve 11 based on the signal of the second resolver 24b. ing.

流量調整弁２の制御動作を開始した後は、制御部５０は、第１回転駆動系の異常を常に監視している（ステップＳ２２）。すなわち、第１モータ２０ａ、第１レゾルバ２４ａ、第１モータコントローラ５１ａおよび第１角度／開度変換部５２ａのいずれかの動作不良による第１回転駆動系の異常は、制御部５０により常に監視されている。 After starting the control operation of the flow rate adjusting valve 2, the control unit 50 always monitors the abnormality of the first rotation drive system (step S22). In other words, the controller 50 always monitors the abnormality of the first rotational drive system due to the malfunction of any of the first motor 20a, the first resolver 24a, the first motor controller 51a, and the first angle / opening angle conversion unit 52a. ing.

そして、第１回転駆動系に異常が発生した場合には、制御部５０は、第１回転駆動系による制御動作を停止させるとともに（ステップＳ２３）、第２モータ２０ｂの位置制御を開始する（ステップＳ２４）。この場合においては、第２レゾルバ２４ｂの信号に基づいて第２角度／開度変換部５２ｂにより弁１１の開度を演算する。そして、この開度情報と、制御部５０に入力される開度の指令値である開度指令と比較する。制御部５０は、この比較結果に基づいて、第２モータコントローラ５１ｂを介して第２モータ２０ｂへ異常発生時の回転指令信号を出力する。これにより、第１回転駆動系に異常が発生した場合においても、流量調整弁２を開閉制御することが可能となる。 When an abnormality occurs in the first rotation drive system, the control unit 50 stops the control operation by the first rotation drive system (step S23) and starts position control of the second motor 20b (step S23). S24). In this case, the opening degree of the valve 11 is calculated by the second angle / opening degree conversion unit 52b based on the signal of the second resolver 24b. And this opening degree information is compared with the opening degree command which is the command value of the opening degree input into the control part 50. FIG. Based on the comparison result, the control unit 50 outputs a rotation command signal when an abnormality occurs to the second motor 20b via the second motor controller 51b. As a result, even when an abnormality occurs in the first rotation drive system, the flow rate adjustment valve 2 can be controlled to open and close.

制御部５０は、表示部５３に対して第１回転駆動系の異常を示す警告信号を出力する（ステップＳ２５）。表示部５３は、第１回転駆動系の異常を示す警告表示または警告音を発生させる。 The control unit 50 outputs a warning signal indicating an abnormality of the first rotation drive system to the display unit 53 (step S25). The display unit 53 generates a warning display or a warning sound indicating an abnormality of the first rotation drive system.

なお、この第２実施形態においても、制御部５０が第２回転駆動系の異常を常に監視し、異常が発生した場合には、第２回転駆動系の異常を示す警告表示または警告音を発生させるようにしてもよい。 Also in the second embodiment, the controller 50 always monitors the abnormality of the second rotation drive system, and generates a warning display or a warning sound indicating the abnormality of the second rotation drive system when the abnormality occurs. You may make it make it.

上述した第１実施形態においては、第１モータ２０ａを有する第１回転駆動系と、第２モータ２０ｂを有する第２回転駆動系により軸体３０を回転させているが、３個以上のモータを利用して軸体３０を回転させるようにしてもよい。この場合においては、３個のレゾルバのうちのいずれか一つの信号が他の２個のレゾルバの信号と異なっていることを認識することで、開度センサ４１を省略するようにしてもよい。 In the first embodiment described above, the shaft body 30 is rotated by the first rotation drive system having the first motor 20a and the second rotation drive system having the second motor 20b, but three or more motors are used. You may make it rotate the shaft body 30 using it. In this case, the opening degree sensor 41 may be omitted by recognizing that one of the three resolvers is different from the signals of the other two resolvers.

１電動バルブアクチュエータ
２流量調整弁
１１弁
１２弁座
１３流入口
１４流出口
２０ａ第１モータ
２０ｂ第２モータ
２１ａロータ
２１ｂロータ
２２ａコイル
２２ｂコイル
２３ａステータ
２３ｂステータ
２４ａ第１レゾルバ
２４ｂ第２レゾルバ
２９フランジ
３０軸体
３１軸部
３２ボールねじ部
３３ナット
３４移動部材
３５支軸
３６コイルバネ
４１開度センサ
５０制御部
５１ａ第１モータコントローラ
５１ｂ第２モータコントローラ
５２ａ第１角度／開度変換部
５２ｂ第２角度／開度変換部
５３表示部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Electric valve actuator 2 Flow control valve 11 Valve 12 Valve seat 13 Inlet 14 Outlet 20a 1st motor 20b 2nd motor 21a Rotor 21b Rotor 22a Coil 22b Coil 23a Stator 23b Stator 24a 1st resolver 24b 2nd resolver 29 Flange 30 Shaft body 31 Shaft portion 32 Ball screw portion 33 Nut 34 Moving member 35 Support shaft 36 Coil spring 41 Opening sensor 50 Control unit 51a First motor controller 51b Second motor controller 52a First angle / opening conversion unit 52b Second angle / Opening conversion part 53 Display part

Claims

弁を開閉させるための電動バルブアクチュエータにおいて、
ロータとステータとを備えた第１モータと、前記第１モータの回転角度を検出するための第１角度検出器と、前記第１モータの回転を制御する第１モータコントローラとから成る第１回転駆動系と、
ロータとステータとを備えた第２モータと、前記第２モータの回転角度を検出するための第２角度検出器と、前記第２モータの回転を制御する第２モータコントローラとから成る第２回転駆動系と、
前記第１モータにおけるロータおよび前記第２モータにおけるロータに接続され、前記第１モータおよび前記第２モータによる回転運動を、前記弁を往復移動させるための往復運動に変換する変換部材と、
前記第１角度検出器の信号に基づいて演算した前記弁の開度と、前記弁の開度の指令値とを比較することにより、前記第１モータに対して通常時の回転指令信号を出力する制御部とを備え、
前記制御部は、前記第１回転駆動系に異常が生じたときは、前記第２角度検出器の信号に基づいて演算した前記弁の開度と、前記弁の開度の指令値とを比較することにより、前記第２モータに対して異常発生時の回転指令信号を出力する電動バルブアクチュエータ。 In the electric valve actuator for opening and closing the valve,
A first rotation comprising a first motor having a rotor and a stator, a first angle detector for detecting a rotation angle of the first motor, and a first motor controller for controlling the rotation of the first motor. A drive train,
A second rotation comprising a second motor having a rotor and a stator, a second angle detector for detecting the rotation angle of the second motor, and a second motor controller for controlling the rotation of the second motor. A drive train,
A conversion member that is connected to the rotor in the first motor and the rotor in the second motor, and that converts a rotational motion by the first motor and the second motor into a reciprocating motion for reciprocating the valve;
A normal rotation command signal is output to the first motor by comparing the valve opening calculated based on the signal of the first angle detector and a command value of the valve opening. And a control unit that
When an abnormality occurs in the first rotational drive system, the control unit compares the valve opening calculated based on the signal of the second angle detector with a command value of the valve opening. An electric valve actuator that outputs a rotation command signal when an abnormality occurs to the second motor.

請求項１に記載の電動バルブアクチュエータにおいて、
前記制御部は、前記第１回転駆動系に異常が生じたときに、前記第１回転駆動系の異常を示す警告信号を出力する電動バルブアクチュエータ。 The electric valve actuator according to claim 1,
The control unit is an electric valve actuator that outputs a warning signal indicating an abnormality of the first rotation drive system when an abnormality occurs in the first rotation drive system.

請求項１または請求項２に記載の電動バルブアクチュエータにおいて、
前記制御部は、前記第２回転駆動系に異常が生じたときに、前記第２回転駆動系の異常を示す警告信号を出力する電動バルブアクチュエータ。 The electric valve actuator according to claim 1 or 2,
The control unit is an electric valve actuator that outputs a warning signal indicating an abnormality of the second rotation drive system when an abnormality occurs in the second rotation drive system.

請求項１から請求項３のいずれかに記載の電動バルブアクチュエータにおいて、
前記制御部は、通常時において、前記第１モータコントローラから得た前記第１モータの回転情報に基づいて、前記第２モータコントローラに対して前記第２モータを前記第１モータと同一方向に同一のトルクで回転させるための前記第２モータの通常時の回転指令信号を出力する電動バルブアクチュエータ。 In the electric valve actuator according to any one of claims 1 to 3,
The control unit is configured so that the second motor is in the same direction as the first motor with respect to the second motor controller based on rotation information of the first motor obtained from the first motor controller in a normal state. An electric valve actuator for outputting a normal rotation command signal of the second motor for rotating at a torque of.

請求項１から請求項４のいずれかに記載の電動バルブアクチュエータにおいて、
前記弁の移動量に基づいて前記弁の開度を検出する開度センサをさらに備え、
前記制御部は、前記開度センサの信号と前記第１角度検出器または前記第２角度検出器の信号とを比較することにより、前記第１回転駆動系または前記第２回転駆動系の異常を検出する電動バルブアクチュエータ。 The electric valve actuator according to any one of claims 1 to 4,
An opening sensor for detecting the opening of the valve based on the amount of movement of the valve;
The control unit compares the signal of the opening sensor with the signal of the first angle detector or the second angle detector to thereby detect an abnormality in the first rotation drive system or the second rotation drive system. Electric valve actuator to detect.

弁を開閉させるための電動バルブアクチュエータにおいて、
ロータとステータとを備えた第１モータと、前記第１モータの回転角度を検出するための第１角度検出器と、前記第１モータの回転を制御する第１モータコントローラとから成る第１回転駆動系と、
ロータとステータとを備えた第２モータと、前記第２モータの回転角度を検出するための第２角度検出器と、前記第２モータの回転を制御する第２モータコントローラとから成る第２回転駆動系と、
前記第１モータにおけるロータおよび前記第２モータにおけるロータに接続され、前記第１モータおよび前記第２モータによる回転運動を、前記弁を往復移動させるための往復運動に変換する変換部材と、
前記弁の移動量に基づいて前記弁の開度を検出する開度センサと、
前記第１角度検出器の信号に基づいて演算した前記弁の開度と、前記弁の開度の指令値とを比較することにより、前記第１モータに対して通常時の回転指令信号を出力するとともに、前記第１モータコントローラから得た前記第１モータの回転情報に基づいて、前記第２モータコントローラに対して前記第２モータを前記第１モータと同一方向に同一のトルクで回転させるための前記第２モータの通常時の回転指令信号を出力する制御部とを備え、
前記制御部は、前記開度センサの信号と前記第１角度検出器または前記第２角度検出器の信号をと比較することにより、前記第１回転駆動系または前記第２回転駆動系の異常を検出し、前記第１回転駆動系に異常が生じたときは、前記第１回転駆動系の異常を示す警告信号を出力するとともに、前記第２角度検出器の信号に基づいて演算した前記弁の開度と、前記弁の開度の指令値とを比較することにより、前記第２モータに対して異常発生時の回転指令信号を出力し、前記第２回転駆動系に異常が生じたときには、前記第２回転駆動系の異常を示す警告信号を出力する電動バルブアクチュエータ。
In the electric valve actuator for opening and closing the valve,
A first rotation comprising a first motor having a rotor and a stator, a first angle detector for detecting a rotation angle of the first motor, and a first motor controller for controlling the rotation of the first motor. A drive train,
A second rotation comprising a second motor having a rotor and a stator, a second angle detector for detecting the rotation angle of the second motor, and a second motor controller for controlling the rotation of the second motor. A drive train,
A conversion member that is connected to the rotor in the first motor and the rotor in the second motor, and that converts a rotational motion by the first motor and the second motor into a reciprocating motion for reciprocating the valve;
An opening sensor that detects the opening of the valve based on the amount of movement of the valve;
A normal rotation command signal is output to the first motor by comparing the valve opening calculated based on the signal of the first angle detector and a command value of the valve opening. And, based on the rotation information of the first motor obtained from the first motor controller, for rotating the second motor with the same torque in the same direction as the first motor with respect to the second motor controller. A control unit for outputting a rotation command signal at the normal time of the second motor,
The control unit compares the signal of the opening sensor with the signal of the first angle detector or the second angle detector to thereby detect an abnormality in the first rotation drive system or the second rotation drive system. When an abnormality occurs in the first rotation drive system, a warning signal indicating an abnormality in the first rotation drive system is output, and the valve calculated based on the signal of the second angle detector is output. By comparing the opening and the command value of the opening of the valve, a rotation command signal when an abnormality occurs is output to the second motor, and when an abnormality occurs in the second rotational drive system, An electric valve actuator that outputs a warning signal indicating an abnormality of the second rotational drive system.