JP2014165412A - 短光パルス発生装置、テラヘルツ波発生装置、カメラ、イメージング装置、および計測装置 - Google Patents
短光パルス発生装置、テラヘルツ波発生装置、カメラ、イメージング装置、および計測装置 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】短光パルス発生装置100は、量子井戸構造を有し、光パルスを生成する光パルス生成部10と、量子井戸構造を有し、光パルスの周波数をチャープさせる周波数チャープ部12と、チャープした光パルスを分岐させる光分岐部14と、モード結合する距離で配置されており、かつ、光分岐部14にて分岐された複数の光パルスの各々が入射する複数の光導波路を有し、分岐された複数の光パルスに対して波長に応じた群速度差を生じさせる群速度分散部16と、を含み、光分岐部14で分岐されてから群速度分散部16の複数の光導波路に入射するまでの複数の光路における光パルスの光路長は、互いに等しい。
【選択図】図1
Description
量子井戸構造を有し、光パルスを生成する光パルス生成部と、
量子井戸構造を有し、前記光パルスの周波数をチャープさせる周波数チャープ部と、
チャープした前記光パルスを分岐させる光分岐部と、
モード結合する距離で配置されており、かつ、前記光分岐部にて分岐された複数の前記光パルスの各々が入射する複数の光導波路を有し、前記分岐された複数の光パルスに対して波長に応じた群速度差を生じさせる群速度分散部と、
を含み、
前記光分岐部で分岐されてから前記群速度分散部の前記複数の光導波路に入射するまでの複数の光路における前記光パルスの光路長は、互いに等しい。
前記光分岐部は、
半導体材料からなり、チャープした前記光パルスが入射する第1半導体導波路と、
前記半導体材料からなり、前記第1半導体導波路から分岐している第2半導体導波路および第3半導体導波路と、
を有し、
前記第2半導体導波路の長さと前記第3半導体導波路の長さは、互いに等しくてもよい。
量子井戸構造を有し、光パルスを生成する光パルス生成部と、
量子井戸構造を有し、前記光パルスの周波数をチャープさせる周波数チャープ部と、
チャープした前記光パルスを分岐させる光分岐部と、
モード結合する距離で配置されており、かつ、前記光分岐部にて分岐された複数の前記光パルスの各々が入射する複数の光導波路を有し、前記分岐された複数の光パルスに対して波長に応じた群速度差を生じさせる群速度分散部と、
を含み、
前記光分岐部は、前記分岐された複数の光パルスに、互いに逆位相となって前記群速度分散部に入射する光路差を生じさせる。
前記光分岐部は、
半導体材料からなり、チャープした前記光パルスが入射する第1半導体導波路と、
前記半導体材料からなり、前記第1半導体導波路から分岐している第2半導体導波路および第3半導体導波路と、
を有し、
前記光路差は、前記第2半導体導波路の長さと前記第3半導体導波路の長さとの差によって生じてもよい。
前記光分岐部は、
半導体材料からなり、チャープした前記光パルスが入射する第1半導体導波路と、
前記半導体材料からなり、前記第1半導体導波路から分岐している第2半導体導波路および第3半導体導波路と、
前記第2半導体導波路に電圧を印加する第1電極と、
前記第3半導体導波路に電圧を印加する第2電極と、
を有していてもよい。
本発明に係る短光パルス発生装置と、
前記短光パルス発生装置で発生した短光パルスが照射されてテラヘルツ波を発生させる光伝導アンテナと、
を含む。
本発明に係る短光パルス発生装置と、
前記短光パルス発生装置で発生した短光パルスが照射されてテラヘルツ波を発生させる光伝導アンテナと、
前記光伝導アンテナから出射され、対象物を透過した前記テラヘルツ波または対象物で反射された前記テラヘルツ波を検出するテラヘルツ波検出部と、
前記テラヘルツ波検出部の検出結果を記憶する記憶部と、
を含む。
本発明に係る短光パルス発生装置と、
前記短光パルス発生装置で発生した短光パルスが照射されてテラヘルツ波を発生させる光伝導アンテナと、
前記光伝導アンテナから出射され、対象物を透過した前記テラヘルツ波または対象物で反射された前記テラヘルツ波を検出するテラヘルツ波検出部と、
前記テラヘルツ波検出部の検出結果に基づいて、前記対象物の画像を生成する画像形成部と、
を含む。
本発明に係る短光パルス発生装置と、
前記短光パルス発生装置で発生した短光パルスが照射されてテラヘルツ波を発生させる光伝導アンテナと、
前記光伝導アンテナから出射され、対象物を透過した前記テラヘルツ波または対象物で反射された前記テラヘルツ波を検出するテラヘルツ波検出部と、
前記テラヘルツ波検出部の検出結果に基づいて、前記対象物を計測する計測部と、
を含む。
1.1. 短光パルス発生装置の構成
まず、第1実施形態に係る短光パルス発生装置100について、図面を参照しながら説明する。図1は、本実施形態に係る短光パルス発生装置100を模式的に示す斜視図である。図2は、本実施形態に係る短光パルス発生装置100を模式的に示す平面図である。
次に、短光パルス発生装置100の構造について説明する。図3は、本実施形態に係る短光パルス発生装置100を模式的に示す断面図である。なお、図3は、図2のIII−III線断面図である。
次に、短光パルス発生装置100の動作について説明する。図4は、光パルス生成部10で生成された光パルスP1の一例を示すグラフである。図4に示すグラフの横軸tは、時間であり、縦軸Iは光強度(電界振幅の2乗)である。図5は、周波数チャープ部12のチャープ特性の一例を示すグラフである。図5に示すグラフの横軸tは時間であり、縦軸Δωはチャープ量(周波数の変化量)である。なお、図5では、光パルスP1を一点鎖線で示し、光パルスP1に対応するチャープ量Δωを実線で示している。図6は、群速度分散部16における光パルスのモードを説明するためのグラフである。なお、図6に示すグラフの横軸xは、距離であり、縦軸Eは、電界である。図7は、群速度分散部16で生成された光パルスP3の一例を示すグラフである。図7に示すグラフの横軸tは時間であり、縦軸Iは光強度である。
次に、群速度分散部16の群速度分散特性について説明する。
次に、本実施形態に係る短光パルス発生装置の製造方法について、図面を参照しながら説明する。図8および図9は、本実施形態に係る短光パルス発生装置100の製造工程を模式的に示す断面図である。
次に、本実施形態の変形例に係る短光パルス発生装置について、図面を参照しながら説明する。以下で説明する本実施形態の変形例に係る短光パルス発生装置において、上述した短光パルス発生装置100の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
まず、第1変形例について説明する。図10は、第1変形例に係る短光パルス発生装置200を模式的に示す平面図である。図11は、第1変形例に係る短光パルス発生装置200を模式的に示す断面図である。なお、図11は、図10のXI−XI線断面図である。
次に、第2変形例について説明する。図12は、第2変形例に係る短光パルス発生装置300を模式的に示す平面図である。図13は、第2変形例に係る短光パルス発生装置300を模式的に示す断面図である。なお、図13は、図12のXIII−XIII線断面図である。
次に、第3変形例について説明する。図14は、第3変形例に係る短光パルス発生装置400を模式的に示す平面図である。図15は、第3変形例に係る短光パルス発生装置400を模式的に示す断面図である。なお、図15は、図14のXV−XV線断面図である。
次に、第4変形例について説明する。図16は、第4変形例に係る短光パルス発生装置500を模式的に示す平面図である。図17は、第4変形例に係る短光パルス発生装置500を模式的に示す断面図である。なお、図17は、図16のXVII−XVII線断面図である。
次に、第5変形例について説明する。図18は、第5変形例に係る短光パルス発生装置600を模式的に示す斜視図である。図19は、第5変形例に係る短光パルス発生装置600を模式的に示す平面図である。
2.1. 短光パルス発生装置の構成
次に、第2実施形態に係る短光パルス発生装置700について、図面を参照しながら説明する。図20は、本実施形態に係る短光パルス発生装置700を模式的に示す斜視図である。図21は、本実施形態に係る短光パルス発生装置700を模式的に示す平面図である。以下で説明する本実施形態に係る短光パルス発生装置700において、上述した短光パルス発生装置100の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
次に、短光パルス発生装置700の動作について説明する。図22は、群速度分散部16における光パルスのモードを説明するための図である。なお、図22に示すグラフの横軸xは、距離であり、縦軸Eは、電界である。図23は、群速度分散部16で生成された光パルスP3の一例を示すグラフである。図23に示すグラフの横軸tは時間であり、縦軸Iは光強度である。
次に、本実施形態の変形例に係る短光パルス発生装置について、図面を参照しながら説明する。以下で説明する本実施形態の変形例に係る短光パルス発生装置において、上述した短光パルス発生装置700の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
まず、第1変形例について説明する。図24は、第1変形例に係る短光パルス発生装置800を模式的に示す平面図である。図25は、第1変形例に係る短光パルス発生装置800を模式的に示す断面図である。なお、図25は、図24のXXV−XXV線断面図である。
次に、第2変形例について説明する。図26は、第2変形例に係る短光パルス発生装置900を模式的に示す平面図である。図27は、第2変形例に係る短光パルス発生装置900を模式的に示す断面図である。なお、図27は、図26のXXVII−XXVII線断面図である。
次に、第3実施形態に係るテラヘルツ波発生装置1000について、図面を参照しながら説明する。図28は、第3実施形態に係るテラヘルツ波発生装置1000の構成を示す図である。
次に、第4実施形態に係るイメージング装置1100について、図面を参照しながら説明する。図29は、第4実施形態に係るイメージング装置1100を示すブロック図である。図30は、イメージング装置1100のテラヘルツ波検出部1120を模式的に示す平面図である。図31は、対象物のテラヘルツ帯でのスペクトルを示すグラフである。図32は、対象物の物質A、BおよびCの分布を示す画像の図である。
次に、第5実施形態に係る計測装置1200について、図面を参照しながら説明する。図33は、第5実施形態に係る計測装置1200を示すブロック図である。以下で説明する本実施形態に係る計測装置1200において、上述したイメージング装置1100の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
次に、第6実施形態に係るカメラ1300について、図面を参照しながら説明する。図34は、第6実施形態に係るカメラ1300を示すブロック図である。図35は、カメラ1300を模式的に示す斜視図である。以下で説明する本実施形態に係るカメラ1300において、上述したイメージング装置1100の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
Claims (9)
- 量子井戸構造を有し、光パルスを生成する光パルス生成部と、
量子井戸構造を有し、前記光パルスの周波数をチャープさせる周波数チャープ部と、
チャープした前記光パルスを分岐させる光分岐部と、
モード結合する距離で配置されており、かつ、前記光分岐部にて分岐された複数の前記光パルスの各々が入射する複数の光導波路を有し、前記分岐された複数の光パルスに対して波長に応じた群速度差を生じさせる群速度分散部と、
を含み、
前記光分岐部で分岐されてから前記群速度分散部の前記複数の光導波路に入射するまでの複数の光路における前記光パルスの光路長は、互いに等しいことを特徴とする短光パルス発生装置。 - 前記光分岐部は、
半導体材料からなり、チャープした前記光パルスが入射する第1半導体導波路と、
前記半導体材料からなり、前記第1半導体導波路から分岐している第2半導体導波路および第3半導体導波路と、
を有し、
前記第2半導体導波路の長さと前記第3半導体導波路の長さは、互いに等しいことを特徴とする請求項1に記載の短光パルス発生装置。 - 量子井戸構造を有し、光パルスを生成する光パルス生成部と、
量子井戸構造を有し、前記光パルスの周波数をチャープさせる周波数チャープ部と、
チャープした前記光パルスを分岐させる光分岐部と、
モード結合する距離で配置されており、かつ、前記光分岐部にて分岐された複数の前記光パルスの各々が入射する複数の光導波路を有し、前記分岐された複数の光パルスに対して波長に応じた群速度差を生じさせる群速度分散部と、
を含み、
前記光分岐部は、前記分岐された複数の光パルスに、互いに逆位相となって前記群速度分散部に入射する光路差を生じさせることを特徴とする短光パルス発生装置。 - 前記光分岐部は、
半導体材料からなり、チャープした前記光パルスが入射する第1半導体導波路と、
前記半導体材料からなり、前記第1半導体導波路から分岐している第2半導体導波路および第3半導体導波路と、
を有し、
前記光路差は、前記第2半導体導波路の長さと前記第3半導体導波路の長さとの差によって生じることを特徴とする請求項3に記載の短光パルス発生装置。 - 前記光分岐部は、
半導体材料からなり、チャープした前記光パルスが入射する第1半導体導波路と、
前記半導体材料からなり、前記第1半導体導波路から分岐している第2半導体導波路および第3半導体導波路と、
前記第2半導体導波路に電圧を印加する第1電極と、
前記第3半導体導波路に電圧を印加する第2電極と、
を有することを特徴とする請求項3に記載の短光パルス発生装置。 - 請求項1ないし5のいずれか1項に記載の短光パルス発生装置と、
前記短光パルス発生装置で発生した短光パルスが照射されてテラヘルツ波を発生させる光伝導アンテナと、
を含むことを特徴とするテラヘルツ波発生装置。 - 請求項1ないし5のいずれか1項に記載の短光パルス発生装置と、
前記短光パルス発生装置で発生した短光パルスが照射されてテラヘルツ波を発生させる光伝導アンテナと、
前記光伝導アンテナから出射され、対象物を透過した前記テラヘルツ波または対象物で反射された前記テラヘルツ波を検出するテラヘルツ波検出部と、
前記テラヘルツ波検出部の検出結果を記憶する記憶部と、
を含むことを特徴とするカメラ。 - 請求項1ないし5のいずれか1項に記載の短光パルス発生装置と、
前記短光パルス発生装置で発生した短光パルスが照射されてテラヘルツ波を発生させる光伝導アンテナと、
前記光伝導アンテナから出射され、対象物を透過した前記テラヘルツ波または対象物で反射された前記テラヘルツ波を検出するテラヘルツ波検出部と、
前記テラヘルツ波検出部の検出結果に基づいて、前記対象物の画像を生成する画像形成部と、
を含むことを特徴とするイメージング装置。 - 請求項1ないし5のいずれか1項に記載の短光パルス発生装置と、
前記短光パルス発生装置で発生した短光パルスが照射されてテラヘルツ波を発生させる光伝導アンテナと、
前記光伝導アンテナから出射され、対象物を透過した前記テラヘルツ波または対象物で反射された前記テラヘルツ波を検出するテラヘルツ波検出部と、
前記テラヘルツ波検出部の検出結果に基づいて、前記対象物を計測する計測部と、
を含むことを特徴とする計測装置。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016085396A (ja) * | 2014-10-28 | 2016-05-19 | セイコーエプソン株式会社 | 短光パルス発生装置、テラヘルツ波発生装置、カメラ、イメージング装置、および計測装置 |
US11499915B2 (en) * | 2017-03-21 | 2022-11-15 | ETH Zürich | Device for THz generation and/or detection and methods for manufacturing the same |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6299958B2 (ja) * | 2014-01-30 | 2018-03-28 | セイコーエプソン株式会社 | 光伝導アンテナ、カメラ、イメージング装置、および計測装置 |
DE102016104602A1 (de) * | 2016-03-14 | 2017-09-14 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Halbleiterlichtquelle |
CN107026391A (zh) * | 2017-04-27 | 2017-08-08 | 中国科学院半导体研究所 | 多波长混合集成光发射阵列 |
US9934927B1 (en) * | 2017-08-02 | 2018-04-03 | College Of William And Mary | Infrared light generating system |
US10840672B2 (en) * | 2017-08-18 | 2020-11-17 | Nokia Solutions And Networks Oy | Mode-locked semiconductor laser capable of changing output-comb frequency spacing |
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JP7047469B2 (ja) * | 2018-03-05 | 2022-04-05 | 住友大阪セメント株式会社 | 光変調器 |
KR102075356B1 (ko) * | 2018-08-27 | 2020-02-10 | 한양대학교 산학협력단 | 시편 두께 측정 장치 및 시편 두께 측정 방법 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10213714A (ja) * | 1997-01-31 | 1998-08-11 | Hitachi Ltd | 光パルス分散補償器、及びこれを用いた光パルス圧縮器、半導体短パルスレーザ素子並びに光通信システム |
JP2006024803A (ja) * | 2004-07-09 | 2006-01-26 | Hitachi Ltd | 小型テラヘルツ光発生検出装置 |
JP2012195545A (ja) * | 2011-03-18 | 2012-10-11 | Seiko Epson Corp | テラヘルツ波発生装置、カメラ、イメージング装置および計測装置 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5651079A (en) * | 1995-08-25 | 1997-07-22 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Photonic switching devices using light bullets |
-
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10213714A (ja) * | 1997-01-31 | 1998-08-11 | Hitachi Ltd | 光パルス分散補償器、及びこれを用いた光パルス圧縮器、半導体短パルスレーザ素子並びに光通信システム |
JP2006024803A (ja) * | 2004-07-09 | 2006-01-26 | Hitachi Ltd | 小型テラヘルツ光発生検出装置 |
JP2012195545A (ja) * | 2011-03-18 | 2012-10-11 | Seiko Epson Corp | テラヘルツ波発生装置、カメラ、イメージング装置および計測装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016085396A (ja) * | 2014-10-28 | 2016-05-19 | セイコーエプソン株式会社 | 短光パルス発生装置、テラヘルツ波発生装置、カメラ、イメージング装置、および計測装置 |
US11499915B2 (en) * | 2017-03-21 | 2022-11-15 | ETH Zürich | Device for THz generation and/or detection and methods for manufacturing the same |
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