JP2014146770A - 剥離装置および剥離方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1板状体BLを保持する第1保持手段310と、第1板状体の一端部を第2板状体とは反対の方向へ柱面状に屈曲させて、第1板状体が密着している第2板状体の密着領域の一部を第1板状体が剥離した剥離領域に転換させ、しかも、密着領域と剥離領域との境界がなす剥離境界線を単一かつ直線状とする剥離開始手段321と、剥離境界線が形成された第2板状体SBを保持する第2保持手段122と、第1保持手段と第2保持手段との間隔を増大させて第1板状体と第2板状体とを離間させる離間手段とを備える剥離装置である。
【選択図】図6
Description
310 ステージ(第1保持手段、ステージ)
311 (ステージ310の)水平面部(当接面)
320 初期剥離ブロック(剥離開始手段)
321 押圧部材
521 ローラ(当接部材)
523 昇降機構(離間手段)
BL ブランケット(第1板状体)
S101,S102 設置工程
S104 剥離境界線形成工程
S105〜S108 剥離工程
SB 基板(第2板状体)
Claims (13)
- 互いに密着した第1板状体と第2板状体とを剥離させる剥離装置において、
前記第1板状体を保持する第1保持手段と、
前記第1板状体の一端部を前記第2板状体とは反対の方向へ柱面状に屈曲させて、前記第1板状体が密着している前記第2板状体の密着領域の一部を前記第1板状体が剥離した剥離領域に転換させ、しかも、前記密着領域と前記剥離領域との境界がなす剥離境界線を単一かつ直線状とする剥離開始手段と、
前記剥離境界線が形成された前記第2板状体を保持する第2保持手段と、
前記第1保持手段と前記第2保持手段との間隔を増大させて、前記第1板状体と前記第2板状体とを離間させる離間手段と
を備える剥離装置。 - 前記第1保持手段は、前記第1板状体の主面のうち前記第2板状体に密着する一方主面と反対側の他方主面に当接して前記第1板状体を保持する平面状の当接面を有するとともに、前記当接面とこれに接続する他の面との間の稜線の少なくとも一部が当該稜線方向における前記第1板状体の長さ以上の長さの直線となっており、前記第1板状体の前記一端部を前記稜線よりも外側に突出させた状態で前記第1板状体を保持し、
前記剥離開始手段は、前記稜線の外側において前記第1板状体を屈曲させる請求項1に記載の剥離装置。 - 前記第1保持手段は、互いに密着した平面サイズの異なる2枚の板状体のうち平面サイズの大きいものを前記第1板状体、他方を前記第2板状体として、前記第1板状体のうち前記第2板状体と密着していない周縁部を前記稜線の外側に突出させて保持し、
前記剥離開始手段は、前記第2板状体側から前記周縁部に当接して前記第1板状体を前記第2板状体とは反対の方向へ押し遣る押圧部材を備える請求項2に記載の剥離装置。 - 前記押圧部材が前記稜線と平行な方向において一様に前記第1板状体に当接する請求項3に記載の剥離装置。
- 前記第2板状体の一方主面中央部の有効領域に担持されたパターンまたは薄膜を介して密着した前記第1板状体と前記第2板状体とを剥離させ、
前記剥離開始手段は、前記有効領域の外側に前記剥離境界線を生成させる請求項1ないし4のいずれかに記載の剥離装置。 - 前記第1板状体とは反対側かつ前記有効領域の外側で、前記剥離境界線と平行な方向において一様に前記第2板状体に当接する当接部材を備える請求項5に記載の剥離装置。
- 前記第1保持手段は、前記第1板状体を前記有効領域との対向位置よりも外側で吸着保持し、
前記剥離開始手段は、前記第1板状体の前記第1保持手段に吸着保持される部分よりも外側の前記第1板状体の前記一端部を屈曲させる請求項5または6に記載の剥離装置。 - 前記第2保持手段は、前記剥離境界線が形成される位置に最も近い前記第2板状体の周縁部を保持する請求項1ないし7のいずれかに記載の剥離装置。
- 前記離間手段は、前記第1保持手段と前記第2保持手段との間隔を一定の速さで増大させる請求項1ないし8のいずれかに記載の剥離装置。
- 互いに密着した第1板状体と第2板状体とを剥離させる剥離方法において、
前記第1板状体の一端部を前記第2板状体とは反対の方向へ柱面状に屈曲させて、前記第1板状体が密着している前記第2板状体の密着領域の一部を前記第1板状体が剥離した剥離領域に転換させ、前記密着領域と前記剥離領域との境界に単一かつ直線状の剥離境界線を形成する剥離境界線形成工程と、
前記第1板状体と前記第2板状体とを離間方向に相対移動させて、前記剥離境界線を直線状に維持しつつ前記密着領域側に進行させる剥離工程と
を備える剥離方法。 - 前記剥離境界線形成工程に先立って、ステージの平面部の稜線よりも外側に前記第1板状体の前記一端部を突出させた状態で前記ステージの前記平面部に前記第1板状体を当接させる設置工程を備え、
前記剥離境界線形成工程では、前記ステージと反対側から前記一端部を前記第2板状体とは反対の方向へ押し遣る請求項10に記載の剥離方法。 - 前記第2板状体の一方主面中央部の有効領域に担持されたパターンまたは薄膜を介して密着した前記第1板状体と前記第2板状体とを剥離させる請求項11に記載の剥離方法において、
前記設置工程では、前記第1板状体のうち前記有効領域と対向する領域を前記平面部に当接させる一方、前記有効領域と対向する領域よりも外側で前記第1板状体を前記平面部の稜線に当接させる剥離方法。 - 前記剥離工程では、前記第2板状体の前記第1板状体とは反対側の面に対して、前記剥離境界線の方向に直交する方向に延びる当接部材を当接させながら、前記第2板状体に対して前記当接部材を相対的に、前記第1板状体と前記第2板状体との離間移動に同期させて前記剥離領域とは反対側に移動させる請求項10ないし12のいずれかに記載の剥離方法。
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