JP2014145758A - インピーダンス・ソース回路及びインピーダンス・ソース回路提供方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】SMU70のインピーダンス・ソース回路は電圧源72を含む。制御入力を有する電気的に制御される可変抵抗は、DUTに結合された可変抵抗を調整するように構成される。ループ利得制御器は、電気的に制御される可変抵抗の制御入力に結合される。ループ利得制御器は、電気的に制御される可変抵抗の制御入力を駆動するように構成され可変抵抗がDUTのインピーダンスにほぼ一致するように調整する。インピーダンス・ソース回路は、DUTの両端電圧及び電圧基準を検出するように構成された電圧検出器を含んでもよい。ループ利得制御器は、DUTの両端で検出された電圧及び電圧基準に基づいて、電気的に制御される可変抵抗の制御入力を駆動するように構成してもよい。
【選択図】図3A
Description
1)DUTに安定した出力を提供するための充分な位相マージン。
2)周波数に基づくDUTインピーダンス変化に対する補償。
3)DUT誘導周波数依存性がなく、I及びV(特に、低電流)の供給及び測定の許容。
4)丁度、従来設計のSMUと同様に、I及びVの供給の許容。
5)変化するDUTインピーダンスに適合するようなインピーダンス特性の変化。
Vo=I*Zdut => I= Vin*G*gm => Vo= Vin*G*gm*Zdut => Vo/Vin = gm*G*Zdut
12 ソース抵抗
14 DUT
20 帰還電流計
22 電圧源
23 増幅器
24 抵抗器
28 DUT
30 内部ループ
32 電圧源
34 電圧基準
35 第1入力
36 ループ利得制御器
37 第2入力
38 電気的に制御される可変抵抗器
39 制御入力
40 DUT
42 DUT電圧検出器
50 内部ループ
52 電圧源
54 電圧基準
55 第1入力
56 ループ利得制御器
57 第2入力
58 電気的に制御される可変抵抗器
59 制御入力
60 DUT
62 演算増幅器
64 演算増幅器
66 演算増幅器
70 SMU
72 電圧源
74 内部ループ
76 利得/制御ブロック
80 SMU
82 電流源
84 内部ループ
86 利得/制御ブロック
100 内部ループ
120 SMU
124 インピーダンス・ソース
126 利得圧縮/拡大回路
128 利得圧縮/拡大回路
Claims (5)
- 被試験装置(DUT)を測定するように構成された測定装置用のインピーダンス・ソース回路であって、
上記DUTに結合された電圧/電流源と、
電気的に制御される可変抵抗を調整するように構成された制御入力を有する上記可変抵抗と、
上記電気的に制御される可変抵抗器の上記制御入力に結合されたループ利得制御器とを具え、
上記ループ利得制御器は、上記電気的に制御される可変抵抗器の上記制御入力を駆動して、上記DUTのインピーダンスにほぼ一致するように上記可変抵抗を調整するインピーダンス・ソース回路。 - 上記DUTの両端の電圧を検出するように構成された電圧検出器を更に具える請求項1のインピーダンス・ソース回路。
- 電圧基準を更に具える請求項2のインピーダンス・ソース回路。
- 上記ループ利得制御器は、上記DUTの両端の検出した上記電圧と上記電圧基準とに基づいて上記電気的に制御される可変抵抗の上記制御入力を駆動するように構成された請求項3のインピーダンス・ソース回路。
- 被試験装置(DUT)を測定するように構成された測定装置用のインピーダンス・ソース回路を提供する方法であって、
上記DUTに電圧/電流源を供給し、
電気的に制御される可変抵抗を調整するように構成された制御入力を有する上記可変抵抗を提供し、
上記電気的に制御される可変抵抗器の上記制御入力を駆動して、上記DUTのインピーダンスにほぼ一致するように上記可変抵抗を調整する方法。
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