JP2014145671A - Laser radar - Google Patents

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Kenichiro Kawabuchi
健一郎 川渕
Takao Fukumoto
貴雄 福元
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Sanyo Electric Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a laser radar capable of miniaturizing a device.SOLUTION: A laser radar 1 includes: an emission unit 3 for emitting a laser beam; a mirror 213 for reflecting the laser beam toward a target area; a mirror actuator 2 for driving the mirror 213 so that the laser beam scans the target area; a folding mirror 51 for reflecting reflected light of the laser beam which was reflected in the target area and also reflected by the mirror 213 toward a direction separating from the target area; a light-receiving lens 41 for condensing the reflected light reflected by the folding mirror 51; and a light detector 43 for receiving the reflected light condensed by the light-receiving lens 41. By folding a light-receiving optical path of the reflected light from the target area by the folding mirror 51, the emission unit 3 and a light-receiving unit 4 can be arranged efficiently in space below the mirror actuator 2. Thereby, the miniaturization of the laser radar 1 can be achieved.

Description

本発明は、目標領域にレーザ光を照射したときの反射光をもとに目標領域の状況を検出するレーザレーダに関するものである。   The present invention relates to a laser radar that detects the state of a target area based on reflected light when the target area is irradiated with laser light.

近年、建物への侵入検知等のセキュリティ用途として、レーザレーダが用いられている。一般に、レーダレーダは、レーザ光を目標領域内でスキャンさせ、各スキャン位置における反射光の有無から、各スキャン位置における物体の有無を検出する。さらに、各スキャン位置におけるレーザ光の照射タイミングから反射光の受光タイミングまでの所要時間をもとに、各スキャン位置における物体までの距離が検出される(特許文献1)。   In recent years, laser radar has been used for security purposes such as intrusion detection into buildings. In general, radar radar scans a laser beam within a target area, and detects the presence or absence of an object at each scan position from the presence or absence of reflected light at each scan position. Further, the distance to the object at each scan position is detected based on the required time from the laser light irradiation timing at each scan position to the reflected light reception timing (Patent Document 1).

目標領域からの反射光は、レーザレーダ内の光検出器によって受光される。光検出器からは、受光光量に応じた大きさの信号が出力される。この信号が所定の閾値を超えると、当該スキャン位置に物体が存在すると判定される。また、この信号が前記閾値を超えたタイミングが反射光の受光タイミングとされて、上記のように、当該スキャン位置における物体までの距離が計測される。   The reflected light from the target area is received by a photodetector in the laser radar. A signal having a magnitude corresponding to the amount of received light is output from the photodetector. When this signal exceeds a predetermined threshold, it is determined that an object exists at the scan position. Further, the timing at which this signal exceeds the threshold is set as the timing of receiving reflected light, and the distance to the object at the scan position is measured as described above.

特開2009−14698号公報JP 2009-14698 A

上記構成において、レーザ光を出射する出射部と、レーザ光を目標領域内でスキャンさせる光走査部と、目標領域からの反射光を受光するための受光部が直線上に並ぶ構成が採られ得る。この場合、各光学部材、保持部材が直線上に並ぶため、装置全体としてのサイズが大型化し易いとの問題が生じる。   In the above configuration, a configuration may be employed in which an emitting unit that emits laser light, an optical scanning unit that scans laser light within a target region, and a light receiving unit that receives reflected light from the target region are arranged in a straight line. . In this case, since each optical member and the holding member are arranged on a straight line, there arises a problem that the size of the entire apparatus is easily increased.

本発明は、かかる課題に鑑みて為されたものであり、装置の小型化が可能なレーザレーダを提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such problems, and an object of the present invention is to provide a laser radar capable of downsizing the apparatus.

本発明の主たる局面に係るレーザレーダは、所定の波長帯域のレーザ光を出射する出射部と、前記レーザ光を目標領域に向かって反射する第1のミラーと、前記レーザ光が目標領域を走査するように前記第1のミラーを駆動する駆動部と、前記目標領域において反射され、さらに、前記第1のミラーによって反射された前記レーザ光の反射光を前記目標領域から離れる方向に反射する第2のミラーと、前記第2のミラーによって反射された前記反射光を集光する集光素子と、前記集光素子により集光された前記反射光を受光する光検出器と、を備える。   A laser radar according to a main aspect of the present invention includes an emitting unit that emits laser light of a predetermined wavelength band, a first mirror that reflects the laser light toward a target region, and the laser light that scans the target region. And a drive unit that drives the first mirror, and a reflection unit that reflects the reflected light of the laser light reflected by the target region and reflected by the first mirror in a direction away from the target region. 2 mirrors, a condensing element for condensing the reflected light reflected by the second mirror, and a photodetector for receiving the reflected light collected by the condensing element.

本発明によれば、装置の小型化が可能なレーザレーダを提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide a laser radar capable of downsizing the apparatus.

本発明の効果ないし意義は、以下に示す実施の形態の説明により更に明らかとなろう。ただし、以下に示す実施の形態は、あくまでも、本発明を実施化する際の一つの例示であって、本発明は、以下の実施の形態に記載されたものに何ら制限されるものではない。   The effects and significance of the present invention will become more apparent from the following description of embodiments. However, the embodiment described below is merely an example when the present invention is implemented, and the present invention is not limited to what is described in the following embodiment.

実施の形態に係るレーザレーダの分解斜視図を示す図である。It is a figure which shows the disassembled perspective view of the laser radar which concerns on embodiment. 実施の形態に係るミラーアクチュエータの分解斜視図を示す図である。It is a figure which shows the disassembled perspective view of the mirror actuator which concerns on embodiment. 実施の形態に係るミラーアクチュエータの構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the mirror actuator which concerns on embodiment. 実施の形態に係るレーザレーダの組立過程を示す図である。It is a figure which shows the assembly process of the laser radar which concerns on embodiment. 実施の形態に係るレーザレーダの組立過程を示す図である。It is a figure which shows the assembly process of the laser radar which concerns on embodiment. 実施の形態に係るレーザレーダの組立過程を示す図である。It is a figure which shows the assembly process of the laser radar which concerns on embodiment. 実施の形態に係る折り曲げミラーの反射率特性を示す図である。It is a figure which shows the reflectance characteristic of the bending mirror which concerns on embodiment. 実施の形態に係るレーザレーダの構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the laser radar which concerns on embodiment. 実施の形態に係るレーザ光の出射光と反射光の光路を示す図である。It is a figure which shows the optical path of the emitted light and reflected light of the laser beam which concerns on embodiment. 比較例に係るレーザ光の出射光と反射光の光路を示す図である。It is a figure which shows the optical path of the emitted light and reflected light of the laser beam which concerns on a comparative example. 実施の形態に係るレーザ光の出射光と反射光の光路を示す図である。It is a figure which shows the optical path of the emitted light and reflected light of the laser beam which concerns on embodiment. 実施の形態に係るサーボ光学系の構成および作用を説明する図である。It is a figure explaining the structure and effect | action of the servo optical system which concerns on embodiment. 実施の形態に係るレーザレーダの回路構成を示す図である。It is a figure which shows the circuit structure of the laser radar which concerns on embodiment. 変更例に係るレーザ光の出射光と反射光の光路を示す図である。It is a figure which shows the optical path of the emitted light and reflected light of the laser beam which concerns on the example of a change.

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

以下に示す実施の形態において、ミラーアクチュエータ2は、特許請求の範囲に記載の「駆動部」に相当する。ミラー213は、特許請求の範囲に記載の「第1のミラー」に相当する。レーザ光源31とビーム整形レンズ32とレーザホルダ33とレンズホルダ34からなる出射ユニット3は、特許請求の範囲に記載の「出射部」に相当する。受光レンズ41は、特許請求の範囲に記載の「集光素子」および「樹脂製のレンズ」に相当する。折り曲げミラー51は、特許請求の範囲に記載の「第2のミラー」に相当する。可視光カットフィルタ8は、特許請求の範囲に記載の「窓」に相当する。ただし、上記請求項と本実施の形態との対応の記載はあくまで一例であって、請求項に係る発明を本実施の形態に限定するものではない。   In the embodiment described below, the mirror actuator 2 corresponds to a “drive unit” recited in the claims. The mirror 213 corresponds to a “first mirror” recited in the claims. The emission unit 3 including the laser light source 31, the beam shaping lens 32, the laser holder 33, and the lens holder 34 corresponds to an “emission part” described in the claims. The light receiving lens 41 corresponds to a “condensing element” and a “resin lens” recited in the claims. The bending mirror 51 corresponds to a “second mirror” recited in the claims. The visible light cut filter 8 corresponds to a “window” described in the claims. However, the description of the correspondence between the above claims and the present embodiment is merely an example, and the invention according to the claims is not limited to the present embodiment.

図1は、本実施の形態に係るレーザレーダ1の分解斜視図である。レーザレーダ1は、ミラーアクチュエータ2と、出射ユニット3と、受光ユニット4と、ミラーユニット5と、ベースユニット6と回路基板7を備えている。   FIG. 1 is an exploded perspective view of a laser radar 1 according to the present embodiment. The laser radar 1 includes a mirror actuator 2, an emission unit 3, a light receiving unit 4, a mirror unit 5, a base unit 6, and a circuit board 7.

図2は、ミラーアクチュエータ2の分解斜視図である。図示の如く、ミラーアクチュエータ2は、インナーユニット21と、アウターユニット22と、サスペンションワイヤー23を備えている。   FIG. 2 is an exploded perspective view of the mirror actuator 2. As illustrated, the mirror actuator 2 includes an inner unit 21, an outer unit 22, and a suspension wire 23.

インナーユニット21は、インナーユニットフレーム211と、パンシャフト212と、ミラー213と、パンコイル214、215と、パンマグネット216、217と、チルトマグネット218、219を備えている。   The inner unit 21 includes an inner unit frame 211, a pan shaft 212, a mirror 213, pan coils 214 and 215, pan magnets 216 and 217, and tilt magnets 218 and 219.

インナーユニットフレーム211は、パンシャフト212を回動可能に支持する枠部材である。インナーユニットフレーム211は、正面視において長方形の輪郭を有している。パンシャフト212は、ミラー213をPan方向に回動させる回転軸として利用される。   The inner unit frame 211 is a frame member that rotatably supports the pan shaft 212. The inner unit frame 211 has a rectangular outline in a front view. The pan shaft 212 is used as a rotation shaft that rotates the mirror 213 in the Pan direction.

パンシャフト212の裏側にはLED212a(図2には図示せず)が装着されている。LED212aは、拡散タイプ(広指向タイプ)であり、広い範囲に光を拡散させることができる。LED212aからの拡散光は、後述するように、走査用のレーザ光の目標領域内での走査位置を検出するために利用される。   An LED 212a (not shown in FIG. 2) is mounted on the back side of the pan shaft 212. The LED 212a is a diffusion type (wide directional type), and can diffuse light over a wide range. As will be described later, the diffused light from the LED 212a is used to detect the scanning position within the target area of the scanning laser light.

ミラー213の反射面は、誘電体多層膜により形成されている。ミラー213の反射面は、光の入射角に対する反射率の依存性を抑制する特性を有するように誘電体薄膜の膜厚、層数が設計されている。すなわち、ミラー213がどのように回動したとしても、略同様に高い反射率が得られるように、誘電体多層膜が設計されている。   The reflection surface of the mirror 213 is formed of a dielectric multilayer film. The thickness of the dielectric thin film and the number of layers are designed so that the reflecting surface of the mirror 213 has a characteristic of suppressing the dependency of the reflectance on the incident angle of light. That is, no matter how the mirror 213 rotates, the dielectric multilayer film is designed so that a high reflectance can be obtained in substantially the same manner.

パンコイル214、215は、それぞれ、パンシャフト212の上下の端部に装着される。パンマグネット216、217は、それぞれ、インナーユニットフレーム211の上面および下面に装着される。チルトマグネット218、219は、それぞれ、インナーユニットフレーム211の左右の側面に装着される。   The pan coils 214 and 215 are attached to the upper and lower ends of the pan shaft 212, respectively. The pan magnets 216 and 217 are attached to the upper surface and the lower surface of the inner unit frame 211, respectively. The tilt magnets 218 and 219 are mounted on the left and right side surfaces of the inner unit frame 211, respectively.

インナーユニットフレーム211の背面には、インナーユニットフレーム211の下部からパンシャフト212の上部を繋ぐようにして、サスペンションワイヤーが張られている(図示せず)。   A suspension wire is stretched on the back surface of the inner unit frame 211 so as to connect the lower part of the inner unit frame 211 to the upper part of the pan shaft 212 (not shown).

アウターユニット22は、アクチュエータフレーム221と、チルトシャフト222、223と、サーボユニット224と、チルトコイル225、226と、磁気バネ用マグネット227、228を備えている。   The outer unit 22 includes an actuator frame 221, tilt shafts 222 and 223, a servo unit 224, tilt coils 225 and 226, and magnets 227 and 228 for magnetic springs.

アクチュエータフレーム221は、インナーユニット21をチルトシャフト222、223により回動可能に支持する枠部材である。アクチュエータフレーム221は、前方が開いた形状を有している。チルトシャフト222、223は、ミラー213をTilt方向に回動させる回転軸として利用される。   The actuator frame 221 is a frame member that rotatably supports the inner unit 21 by tilt shafts 222 and 223. The actuator frame 221 has a shape with an open front. The tilt shafts 222 and 223 are used as rotation axes for rotating the mirror 213 in the tilt direction.

アクチュエータフレーム221の後側面には、開口が形成されており、サーボユニット224が装着されている。サーボユニット224は、ピンホール224aが形成されたピンホール箱と、PSD224bが搭載された回路基板から構成されている。PSD224bの表面には、LED212a(図2には図示せず)から出射される波長帯域以外の波長帯域の迷光を除去するためのバンドパスフィルタ224cが装着されている。   An opening is formed in the rear side surface of the actuator frame 221, and a servo unit 224 is mounted. The servo unit 224 includes a pinhole box in which a pinhole 224a is formed and a circuit board on which a PSD 224b is mounted. A band pass filter 224c for removing stray light in a wavelength band other than the wavelength band emitted from the LED 212a (not shown in FIG. 2) is attached to the surface of the PSD 224b.

チルトコイル225、226は、アクチュエータフレーム221の左右の内側面に装着される。   The tilt coils 225 and 226 are attached to the left and right inner surfaces of the actuator frame 221.

サスペンションワイヤー23は、りん青銅、ベリリウム銅等からなり、導電性に優れ、ばね性を有する。サスペンションワイヤー23は、パンコイル214、215とLED212a(図2には図示せず)への電流供給のために利用される。サスペンションワイヤー23は、通常の状態において、後方に湾曲した形状を有している。   The suspension wire 23 is made of phosphor bronze, beryllium copper, or the like, and has excellent conductivity and springiness. The suspension wire 23 is used for supplying current to the pan coils 214 and 215 and the LED 212a (not shown in FIG. 2). The suspension wire 23 has a shape curved backward in a normal state.

インナーユニット21とアウターユニット22の組立時には、まず、インナーユニット21が、アウターユニット22内に収容される。左から、チルトシャフト222aがアクチュエータフレーム221の軸孔、インナーユニットフレーム211の軸受けに通される。その後、磁気バネ用マグネット227が、チルトシャフト222に通され、接着固定される。   When the inner unit 21 and the outer unit 22 are assembled, the inner unit 21 is first accommodated in the outer unit 22. From the left, the tilt shaft 222 a is passed through the shaft hole of the actuator frame 221 and the bearing of the inner unit frame 211. Thereafter, the magnet 227 for magnetic spring is passed through the tilt shaft 222 and fixed by adhesion.

同様にして、右から、チルトシャフト223がアクチュエータフレーム221の軸孔、インナーユニットフレーム211の軸受けに通される。そして、磁気バネ用マグネット228が、チルトシャフト223に通され、接着固定される。   Similarly, from the right, the tilt shaft 223 is passed through the shaft hole of the actuator frame 221 and the bearing of the inner unit frame 211. Then, the magnet 228 for magnetic spring is passed through the tilt shaft 223 and bonded and fixed.

磁気バネ用マグネット227、228の各領域の境界の位置が、チルトマグネット218、219の各領域の境界の位置に一致した状態で、チルトシャフト222、223が、
アクチュエータフレーム221に接着固定される。このとき、磁気バネ用マグネット227、228の各領域の極性は、対向するチルトマグネット218、219の各領域の極性と異なっている。
With the position of the boundary between the regions of the magnets for magnetic springs 227 and 228 aligned with the position of the boundary between the regions of the tilt magnets 218 and 219, the tilt shafts 222 and 223 are
It is fixed to the actuator frame 221 by adhesion. At this time, the polarities of the regions of the magnetic spring magnets 227 and 228 are different from the polarities of the regions of the opposing tilt magnets 218 and 219.

これにより、インナーユニットフレーム211がTilt方向に回動しても、チルトシャフト222、223と磁気バネ用マグネット227、228は、回動しないよう固定される。他方、チルトマグネット218、219は、インナーユニットフレーム211と一体となって回動する。   Thereby, even if the inner unit frame 211 rotates in the tilt direction, the tilt shafts 222 and 223 and the magnets for magnetic springs 227 and 228 are fixed so as not to rotate. On the other hand, the tilt magnets 218 and 219 rotate integrally with the inner unit frame 211.

こうして、インナーユニット21がアウターユニット22に回動可能に取り付けられると、サスペンションワイヤー23が、アクチュエータフレーム221の背面に取り付けられた回路基板と、インナーユニットフレーム211に取り付けられた回路基板に半田づけられる。サスペンションワイヤー23により、インナーユニットフレーム211に取り付けられたパンコイル214、215、およびLED212aに対して、電流が供給される。なお、図示しないが、チルトコイル225、226には、アクチュエータフレーム221の背面に取り付けられた回路基板から、導線が直接接続され、電流が供給される。   Thus, when the inner unit 21 is pivotally attached to the outer unit 22, the suspension wire 23 is soldered to the circuit board attached to the back surface of the actuator frame 221 and the circuit board attached to the inner unit frame 211. . The suspension wire 23 supplies current to the pan coils 214 and 215 and the LED 212a attached to the inner unit frame 211. Although not shown, a conductive wire is directly connected to the tilt coils 225 and 226 from a circuit board attached to the back surface of the actuator frame 221, and current is supplied thereto.

こうして、ミラーアクチュエータ2の組立が完了する。図3(a)は、ミラーアクチュエータ2を前方から見た斜視図、図3(b)は、ミラーアクチュエータ2を後方から見た斜視図である。この状態で、インナーユニットフレーム211は、チルトシャフト222、223の周りにTilt方向に回動可能となる。   Thus, the assembly of the mirror actuator 2 is completed. 3A is a perspective view of the mirror actuator 2 viewed from the front, and FIG. 3B is a perspective view of the mirror actuator 2 viewed from the rear. In this state, the inner unit frame 211 can be rotated in the tilt direction around the tilt shafts 222 and 223.

図3(a)、図3(b)に示すアセンブル状態において、パンコイル214、215に電流を流すと、パンコイル214、215と、パンマグネット216、217に生じる電磁駆動力によってパンシャフト212が回動し、これにより、ミラー213が、パンシャフト212を軸としてPan方向に回動する。   In the assembled state shown in FIGS. 3A and 3B, when a current is passed through the pan coils 214 and 215, the pan shaft 212 is rotated by the electromagnetic driving force generated in the pan coils 214 and 215 and the pan magnets 216 and 217. As a result, the mirror 213 rotates in the Pan direction around the pan shaft 212.

ミラー213がPan方向に回動すると、インナーユニットフレーム211の背面に張られたサスペンションワイヤーのばね性により、パンシャフト212を中心とした、ミラー213のPan方向の回動方向と逆向きのトルクが発生する。このように、ミラー213がPan方向に回動した状態では、常に逆向きのトルクが発生するため、パンコイル214、215への電流の印加を中止すると、ミラー213は、回動前の位置に戻される。   When the mirror 213 rotates in the Pan direction, a torque opposite to the rotation direction of the mirror 213 in the Pan direction around the pan shaft 212 is caused by the spring property of the suspension wire stretched on the back surface of the inner unit frame 211. Occur. Thus, when the mirror 213 is rotated in the Pan direction, a reverse torque is always generated. Therefore, when the application of current to the pan coils 214 and 215 is stopped, the mirror 213 returns to the position before the rotation. It is.

図3(a)、図3(b)に示すアセンブル状態において、チルトコイル225、226に電流を流すと、チルトコイル225、226と、チルトマグネット218、219に生じる電磁駆動力によってインナーユニットフレーム211がチルトシャフト222、223を軸としてTilt方向に回動し、これにより、ミラー213が、Tilt方向に回動する。   In the assembled state shown in FIGS. 3A and 3B, when an electric current is passed through the tilt coils 225 and 226, the inner unit frame 211 is generated by the electromagnetic driving force generated in the tilt coils 225 and 226 and the tilt magnets 218 and 219. Rotates around the tilt shafts 222 and 223 in the tilt direction, whereby the mirror 213 rotates in the tilt direction.

インナーユニットフレーム211がTilt方向に回動すると、チルトマグネット218、219の領域分割の位置と、磁気バネ用マグネット227、228の領域分割の位置が周方向にずれる。これにより、チルトマグネット218、219の各領域に、チルトマグネット218、219を回動前の位置に引き戻す磁力が発生する。これにより、インナーユニットフレーム211に、Tilt中立位置へと向かうトルク(抗力)が加わる。このように、ミラー213がインナーユニットフレーム211と一体になってTilt中立位置から回動すると、常に逆向きのトルクが発生するため、チルトコイル225、226への電流の印加を中止すると、ミラー213は、Tilt中立位置に戻される。   When the inner unit frame 211 rotates in the tilt direction, the position of the area division of the tilt magnets 218 and 219 and the position of the area division of the magnetic spring magnets 227 and 228 are shifted in the circumferential direction. As a result, a magnetic force is generated in each region of the tilt magnets 218 and 219 to pull the tilt magnets 218 and 219 back to the position before the rotation. As a result, torque (drag) toward the tilt neutral position is applied to the inner unit frame 211. As described above, when the mirror 213 is integrated with the inner unit frame 211 and rotated from the tilt neutral position, a reverse torque is always generated. Therefore, when the application of current to the tilt coils 225 and 226 is stopped, the mirror 213 is stopped. Is returned to the Tilt neutral position.

このようにして、ミラー213をPan方向およびTilt方向に回動させることができる。なお、本実施の形態におけるミラーアクチュエータ2は、ミラー213がPan方
向の支軸となるパンシャフト212に直接取り付けられるため、ミラー213をTilt方向よりもPan方向に大きく回動することができる。
In this way, the mirror 213 can be rotated in the Pan direction and the Tilt direction. In the mirror actuator 2 according to the present embodiment, since the mirror 213 is directly attached to the pan shaft 212 serving as a support shaft in the Pan direction, the mirror 213 can be rotated more in the Pan direction than in the Tilt direction.

図4(a)、図4(b)は、出射ユニット3と受光ユニット4の分解斜視図である。図5(a)、図5(b)は、出射ユニット3と受光ユニット4の構成を示す斜視図である。図4(a)は、出射ユニット3と受光ユニット4を後方から見た斜視図、図4(b)、図5(a)および図5(b)は、出射ユニット3と受光ユニット4を前方から見た斜視図である。   FIG. 4A and FIG. 4B are exploded perspective views of the emission unit 3 and the light receiving unit 4. FIG. 5A and FIG. 5B are perspective views showing the configurations of the emission unit 3 and the light receiving unit 4. 4A is a perspective view of the emission unit 3 and the light receiving unit 4 as viewed from the rear, and FIGS. 4B, 5A, and 5B are views of the emission unit 3 and the light reception unit 4 in the front. It is the perspective view seen from.

図4(a)、図4(b)を参照して、出射ユニット3は、レーザ光源31と、ビーム整形レンズ32と、レーザホルダ33と、レンズホルダ34とを備える。受光ユニット4は、受光レンズ41と、レンズホルダ42と、光検出器43とを備える。   With reference to FIGS. 4A and 4B, the emission unit 3 includes a laser light source 31, a beam shaping lens 32, a laser holder 33, and a lens holder 34. The light receiving unit 4 includes a light receiving lens 41, a lens holder 42, and a photodetector 43.

レーザ光源31は、波長880nm〜940nm程度のレーザ光を出射する。レーザ光源31は、CANパッケージ型のレーザ光源である。また、レーザ光源31は、ストライプ幅が縦に長い、高出力のブロードエリア型半導体レーザである。   The laser light source 31 emits laser light having a wavelength of about 880 nm to 940 nm. The laser light source 31 is a CAN package type laser light source. The laser light source 31 is a high-power broad area semiconductor laser having a stripe width that is long in the vertical direction.

ビーム整形レンズ32は、非球面レンズであり、出射レーザ光が、目標領域において所定の形状となるよう、出射レーザ光を収束させる。たとえば、目標領域におけるビーム形状が、縦十cm、横数cm程度の略楕円形状となるように、ビーム整形レンズ32が設計される。   The beam shaping lens 32 is an aspheric lens, and converges the emitted laser light so that the emitted laser light has a predetermined shape in the target area. For example, the beam shaping lens 32 is designed so that the beam shape in the target region is a substantially elliptical shape with a length of about 10 cm and a width of several cm.

レーザ保持部33aは、受光レンズ41に入射する光を遮る部分を減らせるよう、左右端から延びる薄い板部33bによって、保持されている。レーザ保持部33aは、内部にレンズホルダ34を収容するための円形の開口33cとレーザ光源31を収容するための円形の開口33dが形成されている。開口33cの径は、レンズホルダ34の小径部の外径よりもやや大きい。開口33dの径は、レーザ光源31のベースの径よりもやや大きい。開口33dには、段部が形成されており、段部の部分における開口33dの径は、開口33dの後方の径よりも小さくなっている。レーザ光源31のベースの前面が開口33dの段部に当接するまで、後方からレーザ光源31が開口33dに嵌め込まれる。この状態で、レーザ光源31がレーザ保持部33aに接着固定される。   The laser holding portion 33a is held by a thin plate portion 33b extending from the left and right ends so that a portion that blocks light incident on the light receiving lens 41 can be reduced. The laser holding portion 33 a has a circular opening 33 c for accommodating the lens holder 34 and a circular opening 33 d for accommodating the laser light source 31. The diameter of the opening 33 c is slightly larger than the outer diameter of the small diameter portion of the lens holder 34. The diameter of the opening 33d is slightly larger than the diameter of the base of the laser light source 31. A step portion is formed in the opening 33d, and the diameter of the opening 33d in the step portion is smaller than the diameter behind the opening 33d. The laser light source 31 is fitted into the opening 33d from the rear until the front surface of the base of the laser light source 31 contacts the stepped portion of the opening 33d. In this state, the laser light source 31 is bonded and fixed to the laser holding portion 33a.

レンズホルダ34は、前後で外周の径が異なる略円筒形状となっている。前方には、大径部が形成されており、後方には、大径部よりも径が小さい小径部が形成されている。レンズホルダ34は、内部にビーム整形レンズ32を収容し、レーザ光源31から出射されたレーザ光をビーム整形レンズ32に導くための円形の開口が形成されている。開口には、段部が形成されており、段部の部分における開口の径は、開口の前方の径よりも小さくなっている。ビーム整形レンズ32の後面の周辺部がレンズホルダ34の段部に当接するまで、前方からビーム整形レンズ32が開口に嵌め込まれる。この状態で、ビーム整形レンズ32がレンズホルダ34に接着固定される。   The lens holder 34 has a substantially cylindrical shape with different outer diameters at the front and rear. A large-diameter portion is formed in the front, and a small-diameter portion having a smaller diameter than the large-diameter portion is formed in the rear. The lens holder 34 accommodates the beam shaping lens 32 therein, and a circular opening for guiding the laser light emitted from the laser light source 31 to the beam shaping lens 32 is formed. A step portion is formed in the opening, and the diameter of the opening in the step portion is smaller than the diameter in front of the opening. The beam shaping lens 32 is fitted into the opening from the front until the peripheral portion of the rear surface of the beam shaping lens 32 contacts the stepped portion of the lens holder 34. In this state, the beam shaping lens 32 is bonded and fixed to the lens holder 34.

レーザホルダ33は、レーザ光源31とビーム整形レンズ32を保持するための保持部材である。レーザホルダ33には、正面中央に略円筒形状のレーザ保持部33aが形成されている。   The laser holder 33 is a holding member for holding the laser light source 31 and the beam shaping lens 32. The laser holder 33 is formed with a substantially cylindrical laser holding portion 33a in the center of the front surface.

出射ユニット3の組立時には、前方からレンズホルダ34の小径部がレーザ保持部33aの開口33cに通され、レンズホルダ34がレーザ保持部33aに装着される。こうして、図5(a)に示す出射ユニット3が組み立てられる。   When the emission unit 3 is assembled, the small diameter portion of the lens holder 34 is passed through the opening 33c of the laser holding portion 33a from the front, and the lens holder 34 is attached to the laser holding portion 33a. In this way, the emission unit 3 shown in FIG.

図4(a)、図4(b)に戻り、レーザホルダ33の後背面の角には、内側に突出する
鍔部が形成されており、これらの鍔部には、レンズホルダ42と係合するための係合部33eが形成されている。
Returning to FIG. 4A and FIG. 4B, hooks projecting inward are formed at the corners of the back and rear surfaces of the laser holder 33. These hooks engage with the lens holder 42. An engaging portion 33e is formed.

受光レンズ41は、安価な樹脂製のレンズである。受光レンズ41は、目標領域から反射された光を集光する。受光レンズ41が樹脂製であるため、受光レンズ41の焦点距離は、ガラス製のレンズよりも比較的長い。   The light receiving lens 41 is an inexpensive resin lens. The light receiving lens 41 condenses the light reflected from the target area. Since the light receiving lens 41 is made of resin, the focal length of the light receiving lens 41 is relatively longer than that of a glass lens.

レンズホルダ42は、略方形形状を有し、光を透過しない樹脂材等により形成されている。受光レンズ41の焦点距離が長いため、レンズホルダ42は、前後方向の長さがやや長い。レンズホルダ42は、光検出器43に反射光を導くため、前方に開口42aが形成されている。開口42aには、段部が形成されており、段部の部分における開口42aの径は、開口42aの前方の径よりも小さくなっている。受光レンズ41が、開口42aの段部に当接するように開口42aに装着される。この状態で、受光レンズ41がレンズホルダ42に接着固定される。   The lens holder 42 has a substantially square shape and is formed of a resin material that does not transmit light. Since the focal length of the light receiving lens 41 is long, the lens holder 42 is slightly long in the front-rear direction. The lens holder 42 is formed with an opening 42 a in front to guide the reflected light to the photodetector 43. A step portion is formed in the opening 42a, and the diameter of the opening 42a in the step portion is smaller than the diameter in front of the opening 42a. The light receiving lens 41 is attached to the opening 42a so as to contact the stepped portion of the opening 42a. In this state, the light receiving lens 41 is bonded and fixed to the lens holder 42.

レンズホルダ42は、後背面に凹部42bが形成されており、凹部42bの中央には、受光レンズ41を透過した反射光を光検出器43に導くための穴42cが形成されている。また、レンズホルダ42は、前面に、4つの凸部42dが形成されている。   The lens holder 42 has a recess 42b formed on the rear back surface, and a hole 42c for guiding the reflected light transmitted through the light receiving lens 41 to the photodetector 43 is formed in the center of the recess 42b. The lens holder 42 has four convex portions 42d formed on the front surface.

光検出器43は、APD(アバランシェ・フォトダイオード)またはPINフォトダイオードからなり、回路基板43aに装着されている。光検出器43は、受光光量に応じた大きさの電気信号を回路基板43aに出力する。光検出器43の受光面は、複数の領域に分割されておらず、単一の受光面からなっている。また、光検出器43の受光面は、迷光の影響を抑えるため、縦横の幅が狭く構成されている(例えば1mm前後)。回路基板43aは、レンズホルダ42の後背面に取り付けられる。こうして、図5(a)に示す受光ユニット4が組み立てられる。   The photodetector 43 is made of an APD (avalanche photodiode) or a PIN photodiode, and is mounted on the circuit board 43a. The photodetector 43 outputs an electrical signal having a magnitude corresponding to the amount of received light to the circuit board 43a. The light receiving surface of the photodetector 43 is not divided into a plurality of regions, but is a single light receiving surface. The light receiving surface of the photodetector 43 is configured to have a narrow vertical and horizontal width (for example, around 1 mm) in order to suppress the influence of stray light. The circuit board 43 a is attached to the rear back surface of the lens holder 42. In this way, the light receiving unit 4 shown in FIG.

そして、レーザホルダ33の係合部33eが、レンズホルダ42の凸部42dに通され、レーザホルダ33がレンズホルダ42に接着固定される。こうして、図5(b)に示すように、出射ユニット3が受光ユニット4に組付けられる。   Then, the engaging portion 33e of the laser holder 33 is passed through the convex portion 42d of the lens holder 42, and the laser holder 33 is bonded and fixed to the lens holder 42. In this way, the emission unit 3 is assembled to the light receiving unit 4 as shown in FIG.

この状態で、レンズホルダ34を前後に移動させることにより、ビーム整形レンズ32を前後方向に位置調整することできる。そして、レーザ光源31からレーザ光が出射され、所定の距離(たとえば、15m)において、レーザ光が焦点を結ぶように、レンズホルダ34が前後方向に位置調整される。具体的には、まず、目標の距離(略15m)の位置にスクリーンを立てて、このスクリーンにレーザ光が照射される。この状態でスクリーン上に焦点が結ばれるようにビーム整形レンズ32が前後方向に移動される。そして、スクリーン上におけるビームスポット径が最小となる位置に、ビーム整形レンズ32が位置付けられる。これにより、ビーム整形レンズ32のフォーカス調整がなされる。こうして、ビーム整形レンズ32のフォーカス調整がなされた後、レーザ保持部33aの上部に形成されたネジ穴に、押さえネジが螺着され、押さえネジの平坦な先端部によって、レンズホルダ34がレーザ保持部33aに押し付けられる。これにより、レンズホルダ34が、レーザ保持部33aに固着される。   In this state, the position of the beam shaping lens 32 can be adjusted in the front-rear direction by moving the lens holder 34 back and forth. Then, the laser light is emitted from the laser light source 31, and the lens holder 34 is adjusted in the front-rear direction so that the laser light is focused at a predetermined distance (for example, 15 m). Specifically, first, a screen is set up at a target distance (approximately 15 m), and this screen is irradiated with laser light. In this state, the beam shaping lens 32 is moved in the front-rear direction so as to be focused on the screen. Then, the beam shaping lens 32 is positioned at a position where the beam spot diameter is minimized on the screen. As a result, the focus of the beam shaping lens 32 is adjusted. Thus, after the focus adjustment of the beam shaping lens 32 is performed, a holding screw is screwed into a screw hole formed in the upper portion of the laser holding portion 33a, and the lens holder 34 holds the laser by the flat tip portion of the holding screw. It is pressed against the portion 33a. Thereby, the lens holder 34 is fixed to the laser holding portion 33a.

こうして、出射ユニット3と受光ユニット4が組み立てられる。   Thus, the emission unit 3 and the light receiving unit 4 are assembled.

図6(a)、図6(b)は、ミラーユニット5の分解斜視図である。図6(a)は、ミラーユニット5を前方から見た斜視図、図6(b)は、ミラーユニット5を後方から見た斜視図である。   FIG. 6A and FIG. 6B are exploded perspective views of the mirror unit 5. 6A is a perspective view of the mirror unit 5 viewed from the front, and FIG. 6B is a perspective view of the mirror unit 5 viewed from the rear.

ミラーユニット5は、折り曲げミラー51とミラー保持部52を備えている。   The mirror unit 5 includes a bending mirror 51 and a mirror holding part 52.

折り曲げミラー51の反射面は、誘電体多層膜により形成されており、レーザ光源31から出射される波長帯域の光を反射させ、それ以外の波長帯域の迷光を透過させる。ミラー保持部52は、折り曲げミラー51を底面に垂直な方向から所定の角度(たとえば、15°)だけ傾いた状態で保持するための保持部材である。ミラー保持部52には、低面に垂直な方向から所定の角度(たとえば、15°)だけ傾いた斜面とこの斜面から突出する凸部からなる嵌合部52aが形成されている。折り曲げミラー51は、ミラー保持部52の嵌合部52aに嵌め込まれ、ミラー保持部52に接着固定される。嵌合部52aの間は、空洞となっており、折り曲げミラー51を透過した光は、ミラー保持部52の前方に投射される。   The reflecting surface of the bending mirror 51 is formed of a dielectric multilayer film, reflects light in the wavelength band emitted from the laser light source 31, and transmits stray light in other wavelength bands. The mirror holding part 52 is a holding member for holding the bending mirror 51 in a state inclined by a predetermined angle (for example, 15 °) from the direction perpendicular to the bottom surface. The mirror holding portion 52 is formed with a fitting portion 52a including a slope inclined by a predetermined angle (for example, 15 °) from a direction perpendicular to the lower surface and a convex portion protruding from the slope. The bending mirror 51 is fitted into the fitting portion 52 a of the mirror holding portion 52 and is bonded and fixed to the mirror holding portion 52. A space is formed between the fitting portions 52 a, and the light transmitted through the bending mirror 51 is projected in front of the mirror holding portion 52.

図7は、折り曲げミラー51の反射率特性を示す図である。図7において、横軸は、波長(nm)、縦軸は、反射率(%)である。また、図7には、入射角が11°の場合と、13°の場合と、15°の場合と、17°の場合と、19°の場合の反射率特性が示されている。また、図7には、便宜上、レーザ光源31の出射レーザ光の波長帯域付近(略880nm〜略940nm)と、可視光の波長帯域のうち、略600nm〜略700nmの波長帯域における反射率の下限付近と上限付近にラインが示されている。   FIG. 7 is a diagram showing the reflectance characteristics of the bending mirror 51. In FIG. 7, the horizontal axis represents wavelength (nm), and the vertical axis represents reflectance (%). Further, FIG. 7 shows the reflectance characteristics when the incident angle is 11 °, 13 °, 15 °, 17 °, and 19 °. Further, in FIG. 7, for convenience, the lower limit of the reflectance in the vicinity of the wavelength band of the laser beam emitted from the laser light source 31 (approximately 880 nm to approximately 940 nm) and the visible light wavelength band of approximately 600 nm to approximately 700 nm. Lines are shown near and near the upper limit.

図7に示すように、レーザ光源31の出射レーザ光の波長帯域付近(略850〜略1000nm)においては、略100%の反射率の特性を有する。また、波長800nm以下において、反射率が急峻に下がっており、波長700nm以下においては、反射率が5%〜10%程度に抑えられている。   As shown in FIG. 7, in the vicinity of the wavelength band of the laser beam emitted from the laser light source 31 (approximately 850 to approximately 1000 nm), it has a reflectance characteristic of approximately 100%. In addition, the reflectance sharply decreases at a wavelength of 800 nm or less, and the reflectance is suppressed to about 5% to 10% at a wavelength of 700 nm or less.

このように、本実施の形態における折り曲げミラー51は、レーザ光源31から出射されたレーザ光の波長帯域の光は、略反射させ、可視光の波長帯域の光の大半を透過させる。したがって、外乱光等の大半は、折り曲げミラー51を反射せず、折り曲げミラー51を透過するため、光検出器43に迷光が入射することを抑えることができる。   Thus, the bending mirror 51 in the present embodiment substantially reflects the light in the wavelength band of the laser light emitted from the laser light source 31 and transmits most of the light in the visible light wavelength band. Therefore, most of the disturbance light and the like does not reflect the bending mirror 51 and passes through the bending mirror 51, so that stray light can be prevented from entering the photodetector 43.

また、図示の如く、本実施の形態における折り曲げミラー51は、入射角が11°〜19°の範囲で略同様の反射率特性を有している。したがって、折り曲げミラー51の設置角度が、取り付け誤差によって設計角度(たとえば、15°)から多少ずれたとしても、所望の反射率特性を得ることができる。   Further, as shown in the figure, the bending mirror 51 in the present embodiment has substantially similar reflectance characteristics in the range of the incident angle of 11 ° to 19 °. Therefore, even if the installation angle of the bending mirror 51 is slightly deviated from the design angle (for example, 15 °) due to an attachment error, a desired reflectance characteristic can be obtained.

なお、折り曲げミラー51は、ミラー保持部52に固定されるため、目標領域からの反射光の入射角度は、略一定である。したがって、折り曲げミラー51には、広い角度範囲におけるレーザ光の入射角に対する反射率の依存性が抑えられる特性までは不要である。他方、ミラーアクチュエータ2のミラー213は、上述の駆動機構によりPan方向およびTilt方向に回動するため、広い角度範囲におけるレーザ光の入射角に対する反射率の依存性を抑える特性を有するように構成されている。   In addition, since the bending mirror 51 is fixed to the mirror holding part 52, the incident angle of the reflected light from the target area is substantially constant. Therefore, the bending mirror 51 is not required to have a characteristic that can suppress the dependency of the reflectance on the incident angle of the laser beam in a wide angle range. On the other hand, since the mirror 213 of the mirror actuator 2 is rotated in the Pan direction and the Tilt direction by the drive mechanism described above, the mirror 213 is configured to have the characteristic of suppressing the dependency of the reflectance on the incident angle of the laser beam in a wide angle range. ing.

このように、折り曲げミラー51の反射面が、レーザ光源31から出射されるレーザ光の波長帯域の光を反射し、それ以外の波長帯域の光を透過させるように設計された誘電体多層膜により形成される構成は、請求項6に記載の構成の一例である。   As described above, the reflecting surface of the bending mirror 51 reflects the light in the wavelength band of the laser light emitted from the laser light source 31, and the dielectric multilayer film designed to transmit the light in the other wavelength bands. The structure to be formed is an example of a structure according to claim 6.

図1に戻り、ベースユニット6は、ベースプレート61と、フレーム62を備えている。ベースプレート61は、各部材を載置するための台である。フレーム62は、ミラーアクチュエータ2、出射ユニット3、受光ユニット4、ミラーユニット5および回路基板7を組付けるための枠部材である。フレーム62には、各部材を組付けるためのネジ穴が設けられている。   Returning to FIG. 1, the base unit 6 includes a base plate 61 and a frame 62. The base plate 61 is a table for placing each member. The frame 62 is a frame member for assembling the mirror actuator 2, the emission unit 3, the light receiving unit 4, the mirror unit 5, and the circuit board 7. The frame 62 is provided with screw holes for assembling each member.

回路基板7は、CPUやメモリ等を備え、ミラーアクチュエータ2、レーザ光源31および光検出器43等の回路基板と電気的に接続される。   The circuit board 7 includes a CPU, a memory, and the like, and is electrically connected to circuit boards such as the mirror actuator 2, the laser light source 31, and the photodetector 43.

レーザレーダ1の組立時には、まず、ミラーアクチュエータ2が、装着板62aによりベースプレート61に垂直な方向から所定の角度(たとえば、15°)だけ傾いた状態でフレーム62の後方の板部に取り付けられる。そして、出射ユニット3と受光ユニット4が、フレーム62の底面の後端に載置され、螺着される。また、ミラーユニット5は、フレーム62の底面の前端に載置され、螺着される。さらに、回路基板7が、当てられた状態でフレーム62の背面に螺着される。   When the laser radar 1 is assembled, first, the mirror actuator 2 is attached to the rear plate portion of the frame 62 in a state where the mirror actuator 2 is inclined by a predetermined angle (for example, 15 °) from the direction perpendicular to the base plate 61 by the mounting plate 62a. Then, the emission unit 3 and the light receiving unit 4 are placed on the rear end of the bottom surface of the frame 62 and screwed together. The mirror unit 5 is mounted on the front end of the bottom surface of the frame 62 and screwed. Further, the circuit board 7 is screwed onto the back surface of the frame 62 in the applied state.

こうして、図8に示す構成体が組み立てられる。図8は、カバーが取り外された状態のレーザレーダ1を示す斜視図である。最後に、ベース61にカバーが取り付けられ、レーザレーダ1の組立が完了する。なお、図示を省略するが、カバーには、可視光の波長帯域の光を減衰させるための可視光カットフィルタ8が取り付けられる。   Thus, the structure shown in FIG. 8 is assembled. FIG. 8 is a perspective view showing the laser radar 1 with the cover removed. Finally, a cover is attached to the base 61, and the assembly of the laser radar 1 is completed. Although not shown, a visible light cut filter 8 for attenuating light in the visible light wavelength band is attached to the cover.

この状態で、レーザ光源31から出射されたレーザ光は、ビーム整形レンズ32を透過し、折り曲げミラー51によって反射される。その後、レーザ光は、ミラーアクチュエータ2のミラー213によって反射される。そして、レーザ光は、カバーに備え付けられた可視光カットフィルタ8を透過し、目標領域に投射される。   In this state, the laser light emitted from the laser light source 31 passes through the beam shaping lens 32 and is reflected by the bending mirror 51. Thereafter, the laser light is reflected by the mirror 213 of the mirror actuator 2. And a laser beam permeate | transmits the visible light cut filter 8 with which the cover was equipped, and is projected on a target area | region.

図9(a)は、レーザ光の出射光と反射光の光路を模式的に示した図である。図9(b)は、受光レンズ41を折り曲げミラー51側から見た正面図である。なお、図9(a)には、XYZ軸が示されており、X軸は、図8における左右方向に相当し、Y軸は、図8における上下方向に相当し、Z軸は、図8における前後方向に相当する。   FIG. 9A is a diagram schematically showing the optical paths of the emitted light and reflected light of the laser light. FIG. 9B is a front view of the light receiving lens 41 as viewed from the bending mirror 51 side. 9A shows the XYZ axis, the X axis corresponds to the horizontal direction in FIG. 8, the Y axis corresponds to the vertical direction in FIG. 8, and the Z axis corresponds to FIG. This corresponds to the front-rear direction.

本実施の形態のミラーアクチュエータ2は、ミラー213のミラー面が、Y軸正方向からYZ平面の面内方向において、Z軸正方向に近づくように15°の角度で傾くように配置される。また、本実施の形態の折り曲げミラー51は、ミラー面が、Y軸正方向からYZ平面の面内方向において、Z軸正方向に近づくように15°の角度で傾くように配置される。本実施の形態のレーザ光源31は、出射光軸がZ軸に平行となるように配置されている。   The mirror actuator 2 of the present embodiment is arranged such that the mirror surface of the mirror 213 is inclined at an angle of 15 ° so as to approach the positive direction of the Z axis in the in-plane direction of the YZ plane from the positive direction of the Y axis. Further, the bending mirror 51 of the present embodiment is arranged such that the mirror surface is inclined at an angle of 15 ° so as to approach the positive Z-axis direction from the positive Y-axis direction to the in-plane direction of the YZ plane. The laser light source 31 of the present embodiment is arranged so that the outgoing optical axis is parallel to the Z axis.

この場合、折り曲げミラー51に対するレーザ光源31から出射されるレーザ光の入射角θ1は、15°となる。また、ミラーアクチュエータ2のミラー213が中立位置にあるとき、折り曲げミラー51に反射されたレーザ光の入射角θ2も、15°となる。なお、「中立位置」とは、ミラー213がミラーアクチュエータ2によって回動されず、ミラーアクチュエータ2の取り付け角度とミラー213の角度が平行となる位置をいう。中立位置において、折り曲げミラー51により反射されたレーザ光は、ミラー213の略中心に入射する。   In this case, the incident angle θ1 of the laser light emitted from the laser light source 31 with respect to the bending mirror 51 is 15 °. Further, when the mirror 213 of the mirror actuator 2 is in the neutral position, the incident angle θ2 of the laser beam reflected by the bending mirror 51 is also 15 °. The “neutral position” refers to a position where the mirror 213 is not rotated by the mirror actuator 2 and the mounting angle of the mirror actuator 2 and the angle of the mirror 213 are parallel. At the neutral position, the laser beam reflected by the bending mirror 51 enters the approximate center of the mirror 213.

このように、レーザ光源31と折り曲げミラー51とミラーアクチュエータ2を配置することにより、ミラー213が中立位置にあるときにレーザ光源31から出射されたレーザ光は、折り曲げミラー51、ミラー213に反射されてZ軸正方向に進むようになる。   As described above, by arranging the laser light source 31, the bending mirror 51, and the mirror actuator 2, the laser light emitted from the laser light source 31 when the mirror 213 is in the neutral position is reflected by the bending mirror 51 and the mirror 213. This advances in the positive direction of the Z axis.

ミラーアクチュエータ2は、前述のように、ビーム整形レンズ32を透過し、折り曲げミラー51を反射したレーザ光と目標領域からの反射光が入射するミラー213と、このミラー213を2つの軸の周りに回動させるための機構とを備える。ミラー213が回動することにより、目標領域においてレーザ光が走査される。レーザ光は、目標領域において、XZ平面に平行な複数の走査ラインに沿ってスキャンされる。各走査ラインに沿って
レーザ光を走査させるために、ミラー213は、Pan方向の他、Tilt方向にも駆動される。また、走査ラインを変更するために、ミラー213がTilt方向に駆動される。
As described above, the mirror actuator 2 transmits the beam shaping lens 32 and reflects the laser beam reflected from the bending mirror 51 and the reflected light from the target area, and the mirror 213 around two axes. And a mechanism for rotating. As the mirror 213 rotates, the laser beam is scanned in the target area. The laser beam is scanned along a plurality of scanning lines parallel to the XZ plane in the target area. In order to scan the laser light along each scanning line, the mirror 213 is driven not only in the Pan direction but also in the Tilt direction. Further, in order to change the scanning line, the mirror 213 is driven in the tilt direction.

目標領域からの反射光は、レーザ光が目標領域へと向かう光路を逆行して、ミラー213に入射する。ミラー213に入射した反射光は、ミラー213により反射され、折り曲げミラー51に入射する。   The reflected light from the target area is incident on the mirror 213 by reversing the optical path of the laser light toward the target area. The reflected light incident on the mirror 213 is reflected by the mirror 213 and enters the bending mirror 51.

上述のように、ミラー213は、レーザ光の入射角に対する反射率の依存性が抑制されるよう誘電体多層膜が設計されている。したがって、目標領域からの反射光は、ミラー213がどのような角度であっても、略同様に高い反射率で折り曲げミラー51に向かう方向に反射される。   As described above, the dielectric multilayer film is designed for the mirror 213 so that the dependency of the reflectance on the incident angle of the laser light is suppressed. Therefore, the reflected light from the target region is reflected in the direction toward the bending mirror 51 with a high reflectance in a similar manner regardless of the angle of the mirror 213.

このように、ミラー213の反射面が、レーザ光の入射角に対する反射率の依存性が抑制されるように設計された誘電体多層膜により形成される構成は、請求項7に記載の構成の一例である。   In this way, the configuration in which the reflection surface of the mirror 213 is formed by the dielectric multilayer film designed so that the dependency of the reflectance on the incident angle of the laser beam is suppressed is the configuration according to claim 7. It is an example.

折り曲げミラー51に入射した反射光は、折り曲げミラー51を反射し、受光レンズ41に向かう方向(Z軸負方向)に進行する。なお、レーザ光源31から出射されたレーザ光の波長帯域と異なる波長帯域の迷光は、折り曲げミラー51を透過する。これにより、レーザ光の波長帯域と異なる波長帯域の迷光が受光レンズ41の方向に導かれることを防ぐことができる。   The reflected light incident on the bending mirror 51 is reflected by the bending mirror 51 and travels in the direction toward the light receiving lens 41 (Z-axis negative direction). The stray light having a wavelength band different from the wavelength band of the laser light emitted from the laser light source 31 passes through the bending mirror 51. Thereby, stray light in a wavelength band different from the wavelength band of the laser light can be prevented from being guided toward the light receiving lens 41.

なお、ミラー213が中立位置にあるとき、レーザ光源31を出射したレーザ光がミラー213によってZ軸正方向に反射され、目標領域において反射されミラー213によって反射された反射光が、折り曲げミラー51によってZ軸負方向に反射される構成は、請求項5に記載の構成の一例である。   When the mirror 213 is in the neutral position, the laser light emitted from the laser light source 31 is reflected by the mirror 213 in the positive Z-axis direction, and the reflected light reflected by the target region and reflected by the mirror 213 is reflected by the bending mirror 51. The configuration reflected in the negative Z-axis direction is an example of a configuration according to claim 5.

このように、本実施の形態では、目標領域からの反射光を受光するために、ミラーアクチュエータ2のミラー213と折り曲げミラー51の2枚のミラーが用いられるため、それぞれに異なる反射率特性を付与することができる。したがって、ミラー213と折り曲げミラー51の誘電体多層膜の膜設計を簡素なものとすることができる。   As described above, in this embodiment, the two mirrors of the mirror 213 of the mirror actuator 2 and the bending mirror 51 are used to receive the reflected light from the target region, and thus different reflectance characteristics are given to each. can do. Therefore, the film design of the dielectric multilayer film of the mirror 213 and the bending mirror 51 can be simplified.

図9(b)に示すように、折り曲げミラー51を反射した反射光のうち、レーザ保持部33aと板部33bの部分を通過する反射光は遮光され、それ以外の破線に囲まれた部分を通過する反射光は、受光レンズ41に入射する。図示の如く、破線に囲まれた部分の面積に対し、レーザ保持部33aと板部33bの部分の面積は小さい。したがって、折り曲げミラー51を反射した反射光の大半は、遮光されず、受光レンズ41に入射する。受光レンズ41に入射した反射光は、受光レンズ41によって、光検出器43に収束される。   As shown in FIG. 9B, of the reflected light reflected from the bending mirror 51, the reflected light passing through the laser holding portion 33a and the plate portion 33b is shielded, and the other portions surrounded by the broken lines are blocked. The reflected light passing there enters the light receiving lens 41. As illustrated, the areas of the laser holding portion 33a and the plate portion 33b are smaller than the area of the portion surrounded by the broken line. Therefore, most of the reflected light reflected from the bending mirror 51 is not shielded but enters the light receiving lens 41. The reflected light incident on the light receiving lens 41 is converged on the photodetector 43 by the light receiving lens 41.

かかる反射光の挙動は、ミラー213がどのような回動位置にあっても同じである。すなわち、ミラー213がどのような回動位置にあっても、目標領域からの反射光は、レーザ光の出射時の光路を逆行し、ビーム整形レンズ32の光軸に平行に進んで、受光レンズ41に入射する。   The behavior of the reflected light is the same regardless of the rotation position of the mirror 213. That is, regardless of the rotational position of the mirror 213, the reflected light from the target region travels back in the optical path when the laser light is emitted and travels in parallel to the optical axis of the beam shaping lens 32, so that the light receiving lens 41 is incident.

光検出器43は、受光光量に応じた大きさの電気信号を回路基板43aに出力し、回路基板43aは、その信号をデジタル化して、後段の回路基板7に出力する。回路基板7は、光検出器43からの信号に基づいて、目標領域における物体の有無および物体までの距離を測定する。具体的には、レーザ光が出射されたタイミングと、光検出器43から信号が出力されたタイミングとの時間差から、この物体までの距離が測定される。レーザレー
ダ1の回路構成は、追って図13を参照して説明する。
The photodetector 43 outputs an electrical signal having a magnitude corresponding to the amount of received light to the circuit board 43a, and the circuit board 43a digitizes the signal and outputs the digitized signal to the subsequent circuit board 7. The circuit board 7 measures the presence / absence of an object in the target region and the distance to the object based on the signal from the photodetector 43. Specifically, the distance to this object is measured from the time difference between the timing when the laser beam is emitted and the timing when the signal is output from the photodetector 43. The circuit configuration of the laser radar 1 will be described later with reference to FIG.

図10は、比較例におけるレーザ光の出射光と反射光の光路を模式的に示した図である。   FIG. 10 is a diagram schematically showing the optical paths of the emitted light and reflected light of the laser light in the comparative example.

本比較例では、上記実施の形態と比べ、折り曲げミラー51が配されず、ミラーアクチュエータ2と出射ユニット3と受光ユニット4が直線上に並ぶように配されている。   In the present comparative example, the bending mirror 51 is not disposed, and the mirror actuator 2, the emitting unit 3, and the light receiving unit 4 are arranged in a straight line as compared with the above embodiment.

この場合、レーザレーダ1の上下方向(Y軸方向)の高さH2および左右方向(Z軸方向)の幅W2が、上記実施の形態におけるレーザレーダ1の上下方向(Y軸方向)の高さH1および左右方向(Z軸方向)の幅W1よりも大きくなり易い。また、本実施の形態における受光レンズ41には、安価な樹脂製のレンズが用いられるため、焦点距離が長く、レーザレーダ1の上下方向の高さH2、左右方向の幅W2はさらに大きくなり易い。   In this case, the height H2 in the vertical direction (Y-axis direction) and the width W2 in the left-right direction (Z-axis direction) of the laser radar 1 are the height in the vertical direction (Y-axis direction) of the laser radar 1 in the above embodiment. It tends to be larger than H1 and the width W1 in the left-right direction (Z-axis direction). In addition, since an inexpensive resin lens is used for the light receiving lens 41 in the present embodiment, the focal length is long, and the vertical height H2 and the horizontal width W2 of the laser radar 1 are likely to be further increased. .

これに対し、図9(a)に示すように、本実施の形態では、ミラー213から光検出器43までの反射光の受光光路が折り曲げミラー51により折り曲げられるため、ミラーアクチュエータ2の下方(Y軸負方向)のスペースに出射ユニット3と受光ユニット4を位置付けることができる。したがって、レーザレーダ1全体をコンパクトに構成することができる。   On the other hand, as shown in FIG. 9A, in the present embodiment, the light receiving optical path of the reflected light from the mirror 213 to the photodetector 43 is bent by the bending mirror 51, so that the lower part of the mirror actuator 2 (Y The emitting unit 3 and the light receiving unit 4 can be positioned in a space in the negative axis direction). Therefore, the entire laser radar 1 can be configured compactly.

このように、ミラー213から光検出器43までの反射光の受光光路が折り曲げミラー51により折り曲げられる構成は、請求項1に記載の構成の一例である。また、出射ユニット3が、折り曲げミラー51と受光レンズ41との間の光路中に配される構成は、請求項2に記載の構成の一例である。   Thus, the configuration in which the light receiving optical path of the reflected light from the mirror 213 to the photodetector 43 is bent by the bending mirror 51 is an example of the configuration according to claim 1. The configuration in which the emission unit 3 is disposed in the optical path between the bending mirror 51 and the light receiving lens 41 is an example of a configuration according to claim 2.

本実施の形態のように、ミラー213と折り曲げミラー51を用いて、反射光の受光光路を折り曲げる場合、入射角θ1、θ2の角度を鋭角にすればするほど、レーザレーダ1の上下方向(Y軸方向)の高さH1を小さくすることができる。   In the case where the light receiving optical path of the reflected light is bent using the mirror 213 and the bending mirror 51 as in the present embodiment, the vertical direction of the laser radar 1 (Y The height H1 in the axial direction can be reduced.

ただし、入射角θ1、θ2は、反射光が可視光カットフィルタ8に遮られないよう、可視光カットフィルタ8の下端(Y軸負方向)とミラー213から折り曲げミラー51間の反射光の受光光路との間に所定の間隔D1が保てるように設定されるのが望ましい。また、入射角θ1、θ2は、反射光が出射ユニット3に遮られないよう、出射ユニット3のレンズ保持部32aの上端(Y軸正方向)とミラー213から折り曲げミラー51間の反射光の受光光路との間に所定の間隔D2が保てるように設定されるのが望ましい。   However, the incident angles θ1 and θ2 are the light receiving optical paths of the reflected light between the lower end (Y-axis negative direction) of the visible light cut filter 8 and the mirror 213 so that the reflected light is not blocked by the visible light cut filter 8. It is desirable that the predetermined distance D1 be maintained between the two. The incident angles θ1 and θ2 are such that the reflected light is received between the upper end (Y axis positive direction) of the lens holding portion 32a of the output unit 3 and the mirror 213 so that the reflected light is not blocked by the output unit 3. It is desirable that the predetermined distance D2 be maintained between the optical path and the optical path.

こうすることにより、目標領域からの反射光を遮ることなく、レーザレーダ1の上下方向の大きさを抑えることができる。   By doing so, the size of the laser radar 1 in the vertical direction can be suppressed without blocking the reflected light from the target area.

このように、反射光が出射ユニット3に遮られないように、出射ユニット3のレンズ保持部32aの上端(Y軸正方向)とミラー213と折り曲げミラー51間の反射光の受光光路との間に所定の間隔D2が保たれるように入射角θ1、θ2が設定される構成は、請求項3に記載の構成の一例である。また、反射光が可視光カットフィルタ8に遮られないように、可視光カットフィルタ8の下端(Y軸負方向)とミラー213と折り曲げミラー51間の反射光の受光光路との間に所定の間隔D1が保たれるように入射角θ1、θ2が設定される構成は、請求項4に記載の構成の一例である。   In this way, between the upper end (Y-axis positive direction) of the lens holding portion 32a of the emission unit 3 and the light receiving optical path of the reflected light between the mirror 213 and the bending mirror 51 so that the reflected light is not blocked by the emission unit 3. The configuration in which the incident angles θ1 and θ2 are set so that the predetermined distance D2 is maintained is an example of the configuration according to claim 3. Further, in order to prevent the reflected light from being blocked by the visible light cut filter 8, there is a predetermined gap between the lower end of the visible light cut filter 8 (Y-axis negative direction) and the light receiving optical path of the reflected light between the mirror 213 and the bending mirror 51. The configuration in which the incident angles θ1 and θ2 are set so that the distance D1 is maintained is an example of a configuration according to claim 4.

図10に示す比較例の場合、出射ユニット3をミラー213側に近付けることによって、レーザレーダ1全体の大きさを抑えることができる。しかし、反射光が出射ユニット3のレンズホルダ34に干渉しないようにするためには、出射ユニット3のレンズホルダ3
4の上端(Y軸正方向)と可視光カットフィルタ8の下端(Y軸負方向)との間に所定の間隔D3を設ける必要がある。したがって、比較例の場合、反射光を遮ることなく、レーザレーダ1全体を小型化するのは、困難である。
In the case of the comparative example shown in FIG. 10, the size of the entire laser radar 1 can be suppressed by bringing the emission unit 3 closer to the mirror 213 side. However, in order to prevent the reflected light from interfering with the lens holder 34 of the exit unit 3, the lens holder 3 of the exit unit 3 is used.
It is necessary to provide a predetermined distance D3 between the upper end of 4 (Y-axis positive direction) and the lower end of the visible light cut filter 8 (Y-axis negative direction). Therefore, in the case of the comparative example, it is difficult to downsize the entire laser radar 1 without blocking the reflected light.

これに対し、図9(a)に示す本実施の形態では、反射光の受光光路が折り曲げミラー51によって折り曲げられるため、反射光を遮ることなく、容易にミラーアクチュエータ2の下方(Y軸負方向)のスペースに、出射ユニット3と受光ユニット4を配することができる。   On the other hand, in the present embodiment shown in FIG. 9A, since the light receiving optical path of the reflected light is bent by the bending mirror 51, the mirror actuator 2 can be easily moved downward (in the negative Y-axis direction) without blocking the reflected light. ), The emission unit 3 and the light receiving unit 4 can be arranged.

また、図10に示す比較例のように、出射ユニット3と受光ユニット4を傾けて配置する場合、出射ユニット3と受光ユニット4の保持部材が複雑化し、設計誤差が生じ易くなる。また、レーザレーダ1を組み立てるための難度が高くなり、出射ユニット3と受光ユニット4の組立誤差も生じ易くなる。   Further, when the emission unit 3 and the light receiving unit 4 are disposed at an inclination as in the comparative example shown in FIG. 10, the holding members for the emission unit 3 and the light receiving unit 4 become complicated and design errors are likely to occur. Further, the difficulty in assembling the laser radar 1 is increased, and an assembly error between the emission unit 3 and the light receiving unit 4 is likely to occur.

これに対し、本実施の形態では、出射ユニット3と受光ユニット4がZ軸方向に並ぶため、出射ユニット3と受光ユニット4の保持部材を簡素なものとすることができる。したがって、出射ユニット3と受光ユニット4の設計誤差、および組立誤差の発生を抑えることができる。   On the other hand, in this embodiment, since the emission unit 3 and the light receiving unit 4 are arranged in the Z-axis direction, the holding member for the emission unit 3 and the light receiving unit 4 can be simplified. Therefore, it is possible to suppress the occurrence of design errors and assembly errors between the emission unit 3 and the light receiving unit 4.

なお、レーザレーダ1全体のサイズをより小さくするために、受光レンズ41は、樹脂製のレンズの代わりに、焦点距離が短いガラス製のレンズ等を使うことも想定され得る。   In order to further reduce the size of the entire laser radar 1, it may be assumed that the light receiving lens 41 is a glass lens having a short focal length instead of a resin lens.

図11(a)は、受光レンズ41に樹脂製のレンズが用いられる場合の反射光の入射位置と迷光の入射位置を示す図である。図11(b)は、受光レンズ41にガラス製のレンズが用いられる場合の反射光の入射位置と迷光の入射位置を示す図である。   FIG. 11A is a diagram illustrating an incident position of reflected light and an incident position of stray light when a resin lens is used as the light receiving lens 41. FIG. 11B is a diagram illustrating an incident position of reflected light and an incident position of stray light when a glass lens is used as the light receiving lens 41.

図11(a)、図11(b)に示すように、外乱光等、反射光以外の迷光は、反射光と異なる角度成分を持って受光レンズ41に入射し易い。   As shown in FIGS. 11A and 11B, stray light other than reflected light, such as disturbance light, easily enters the light receiving lens 41 with an angle component different from that of the reflected light.

図11(a)に示すように、受光レンズ41に焦点距離が長い樹脂製のレンズが用いられる場合、反射光と異なる角度成分を持った迷光が受光レンズ41に入射すると、迷光は、光検出器43からやや離れた位置に収束する。   As shown in FIG. 11A, when a resin lens having a long focal length is used as the light receiving lens 41, when stray light having an angle component different from the reflected light is incident on the light receiving lens 41, the stray light is detected by light detection. It converges to a position slightly away from the vessel 43.

図11(b)に示すように、ガラス製のレンズが用いられる場合、受光レンズ41の焦点距離F2は、図11(a)に示す焦点距離F1よりも短い。したがって、反射光と異なる角度成分を持った迷光が受光レンズ41に入射すると、迷光は、図11(a)の場合よりも光検出43から近い位置に収束する。このように、焦点距離が短いガラス製のレンズの場合、反射光と異なる角度成分を持つ迷光の影響を受け易くなる。   As shown in FIG. 11B, when a glass lens is used, the focal length F2 of the light receiving lens 41 is shorter than the focal length F1 shown in FIG. Therefore, when stray light having an angle component different from that of the reflected light is incident on the light receiving lens 41, the stray light converges at a position closer to the light detection 43 than in the case of FIG. Thus, in the case of a glass lens having a short focal length, it is easily affected by stray light having an angular component different from that of the reflected light.

本実施の形態では、折り曲げミラー51により反射光の受光光路を折り曲げることによりレーザレーダ1をコンパクトに構成することができるため、受光レンズ41には、焦点距離の長い安価な樹脂製のレンズを用いるほうが望ましい。これにより、コストダウンを図りつつ、迷光対策の効果も享受することができる。   In the present embodiment, the laser radar 1 can be made compact by bending the light receiving optical path of the reflected light by the bending mirror 51. Therefore, an inexpensive resin lens having a long focal length is used for the light receiving lens 41. Is preferable. Thereby, the effect of a countermeasure against stray light can be enjoyed while reducing the cost.

このように、焦点距離の長い安価な樹脂製のレンズを用いること、およびミラー51に反射率の波長依存特性を付与することにより、十分な迷光対策の効果が得られるため、受光ユニット4に対するバンドパスフィルタ等の光学フィルタを省略することができる。これにより、さらなる低コスト化を図ることができる。   In this way, by using an inexpensive resin lens having a long focal length and providing the mirror 51 with a wavelength dependency characteristic of the reflectance, a sufficient countermeasure against stray light can be obtained. An optical filter such as a pass filter can be omitted. Thereby, further cost reduction can be achieved.

なお、受光レンズ41に樹脂製のレンズが用いられる構成は、請求項8に記載の構成の
一例である。
The configuration in which a resin lens is used for the light receiving lens 41 is an example of the configuration according to claim 8.

図12(a)、図12(b)は、ミラー213の位置を検出するためのサーボ光学系を説明する図である。図12(a)には、ミラーアクチュエータ2の一部断面図と折り曲げミラー51とレーザ光源31のみが示されている。   FIGS. 12A and 12B are diagrams illustrating a servo optical system for detecting the position of the mirror 213. FIG. 12A shows a partial sectional view of the mirror actuator 2, only the bending mirror 51, and the laser light source 31.

図12(a)を参照して、上述のように、ミラーアクチュエータ2には、LED212aと、ピンホール224aが形成されたピンホール箱と、PSD224bが搭載された回路基板が配されている。   Referring to FIG. 12A, as described above, the mirror actuator 2 is provided with the LED 212a, the pinhole box in which the pinhole 224a is formed, and the circuit board on which the PSD 224b is mounted.

LED212a、PSD224bおよびピンホール224aは、ミラーアクチュエータ2のミラー213が上記中立位置にあるときに、LED212aがピンホール箱のピンホール224aとPSD224bの中心に向き合うように配置されている。すなわち、ミラー213が中立位置にあるとき、LED212aから出射されピンホール224aを通るサーボ光が、PSD224bの中心に垂直に入射するよう、ピンホール箱およびPSD224bが配置されている。また、ピンホール箱は、LED212aとPSD224bの中間位置よりもPSD224bに近い位置に配置されている。   The LED 212a, the PSD 224b, and the pinhole 224a are arranged so that the LED 212a faces the center of the pinhole 224a and the PSD 224b of the pinhole box when the mirror 213 of the mirror actuator 2 is in the neutral position. That is, when the mirror 213 is in the neutral position, the pinhole box and the PSD 224b are arranged so that the servo light emitted from the LED 212a and passing through the pinhole 224a is perpendicularly incident on the center of the PSD 224b. Further, the pinhole box is arranged at a position closer to PSD 224b than an intermediate position between LED 212a and PSD 224b.

ここで、LED212aから拡散するように発せられたサーボ光は、その一部が、ピンホール224aを通過し、PSD224bによって受光される。ピンホール224a以外の領域に入射されたサーボ光は、ピンホール箱によって遮光される。PSD224bは、サーボ光の受光位置に応じた電流信号を出力する。   Here, part of the servo light emitted so as to diffuse from the LED 212a passes through the pinhole 224a and is received by the PSD 224b. Servo light that has entered the region other than the pinhole 224a is shielded by the pinhole box. The PSD 224b outputs a current signal corresponding to the light receiving position of the servo light.

たとえば、図12(b)のようにミラー213が破線で示す中立位置から矢印方向に回動すると、LED212aの拡散光(サーボ光)のうちピンホール224aを通る光の光路は、LP1からLP2へと変位する。その結果、PSD224b上におけるサーボ光の照射位置が変化し、PSD224bから出力される位置検出信号が変化する。この場合、LED212aからのサーボ光の発光位置と、PSD224bの受光面上におけるサーボ光の入射位置は一対一に対応する。したがって、PSD224bにて検出されるサーボ光の入射位置によって、ミラー213の位置を検出することができ、結果、目標領域における走査レーザ光の走査位置を検出することができる。   For example, as shown in FIG. 12B, when the mirror 213 rotates in the direction of the arrow from the neutral position indicated by the broken line, the optical path of the light passing through the pinhole 224a out of the diffused light (servo light) of the LED 212a is from LP1 to LP2. And displace. As a result, the servo light irradiation position on the PSD 224b changes, and the position detection signal output from the PSD 224b changes. In this case, the light emission position of the servo light from the LED 212a and the incident position of the servo light on the light receiving surface of the PSD 224b have a one-to-one correspondence. Therefore, the position of the mirror 213 can be detected based on the incident position of the servo light detected by the PSD 224b, and as a result, the scanning position of the scanning laser light in the target area can be detected.

図13は、レーザレーダ1の回路構成を示す図である。なお、同図には、便宜上、レーザレーダ1の主要な構成が併せて示されている。図示の如く、レーザレーダ1は、PSD信号処理回路501と、サーボLED駆動回路502と、アクチュエータ駆動回路503と、スキャンLD駆動回路504と、PD信号処理回路505と、DSP506を備えている。   FIG. 13 is a diagram illustrating a circuit configuration of the laser radar 1. For the sake of convenience, the main configuration of the laser radar 1 is also shown in FIG. As illustrated, the laser radar 1 includes a PSD signal processing circuit 501, a servo LED drive circuit 502, an actuator drive circuit 503, a scan LD drive circuit 504, a PD signal processing circuit 505, and a DSP 506.

PSD信号処理回路501は、PSD224bからの出力信号をもとに求めた位置検出信号をDSP506に出力する。サーボLED駆動回路502は、DSP506からの信号をもとに、LED212aに駆動信号を供給する。アクチュエータ駆動回路503は、DSP506からの信号をもとに、ミラーアクチュエータ2を駆動する。具体的には、目標領域においてレーザ光を所定の軌道に沿って走査させるための駆動信号がミラーアクチュエータ2に供給される。   The PSD signal processing circuit 501 outputs a position detection signal obtained based on the output signal from the PSD 224 b to the DSP 506. The servo LED drive circuit 502 supplies a drive signal to the LED 212a based on the signal from the DSP 506. The actuator drive circuit 503 drives the mirror actuator 2 based on the signal from the DSP 506. Specifically, a drive signal for scanning the laser beam along a predetermined trajectory in the target area is supplied to the mirror actuator 2.

スキャンLD駆動回路504は、DSP506からの信号をもとに、レーザ光源31に駆動信号を供給する。具体的には、目標領域にレーザ光を照射するタイミングで、パルス状の駆動信号(電流信号)がレーザ光源31に供給される。   The scan LD drive circuit 504 supplies a drive signal to the laser light source 31 based on the signal from the DSP 506. Specifically, a pulsed drive signal (current signal) is supplied to the laser light source 31 at the timing of irradiating the target region with the laser light.

PD信号処理回路505は、光検出器43の受光光量に応じた電圧信号を増幅およびデ
ジタル化してDSP506に供給する。
The PD signal processing circuit 505 amplifies and digitizes a voltage signal corresponding to the amount of light received by the photodetector 43 and supplies the amplified signal to the DSP 506.

DSP506は、PSD信号処理回路501から入力された位置検出信号をもとに、目標領域におけるレーザ光の走査位置を検出し、ミラーアクチュエータ2の駆動制御や、レーザ光源31の駆動制御等を実行する。また、DSP506は、PD信号処理回路505から入力される電圧信号に基づいて、目標領域内のレーザ光照射位置に物体が存在するかを判定し、同時に、レーザ光源31から出力されるレーザ光の照射タイミングと、光検出器43にて受光される目標領域からの反射光の受光タイミングの間の時間差をもとに、物体までの距離を測定する。   The DSP 506 detects the scanning position of the laser beam in the target area based on the position detection signal input from the PSD signal processing circuit 501, and executes drive control of the mirror actuator 2, drive control of the laser light source 31, and the like. . Further, the DSP 506 determines whether an object exists at the laser light irradiation position in the target area based on the voltage signal input from the PD signal processing circuit 505, and at the same time, the laser light output from the laser light source 31. The distance to the object is measured based on the time difference between the irradiation timing and the light reception timing of the reflected light from the target area received by the photodetector 43.

<実施の形態の効果>
以上、本実施の形態によれば、目標領域からの反射光の受光光路が折り曲げミラー51により折り曲げられるため、ミラーアクチュエータ2下方のスペースに、出射ユニット3、受光ユニット4を効率よく配置することができる。これにより、レーザレーダ1の小型化を図ることができる。
<Effect of Embodiment>
As described above, according to the present embodiment, since the light receiving optical path of the reflected light from the target area is bent by the bending mirror 51, the emission unit 3 and the light receiving unit 4 can be efficiently arranged in the space below the mirror actuator 2. it can. Thereby, size reduction of the laser radar 1 can be achieved.

また、本実施の形態によれば、入射角θ1、θ2が、間隔D1、D2を保つ範囲で鋭角になるように設定されるため、目標領域からの反射光を遮ることなく、レーザレーダ1の上下方向の大きさを抑えることができる。   Further, according to the present embodiment, the incident angles θ1 and θ2 are set to be acute angles within the range of maintaining the distances D1 and D2, so that the reflected light from the target area is not blocked and the laser radar 1 The size in the vertical direction can be suppressed.

また、本実施の形態によれば、出射ユニット3と受光ユニット4がZ軸方向に並ぶように配置されるため、出射ユニット3と受光ユニット4の保持部材を簡素なものとすることができる。したがって、出射ユニット3と受光ユニット4の設計誤差、および組立誤差の発生を抑えることができる。   Further, according to the present embodiment, since the emission unit 3 and the light receiving unit 4 are arranged so as to be aligned in the Z-axis direction, the holding members for the emission unit 3 and the light receiving unit 4 can be simplified. Therefore, it is possible to suppress the occurrence of design errors and assembly errors between the emission unit 3 and the light receiving unit 4.

また、本実施の形態によれば、受光レンズ41に焦点距離の長い安価な樹脂製のレンズが用いられるため、低コスト化を図りつつ、光検出器43に対する迷光の影響を抑えることができる。   In addition, according to the present embodiment, since an inexpensive resin lens having a long focal distance is used as the light receiving lens 41, the influence of stray light on the photodetector 43 can be suppressed while reducing the cost.

また、本実施の形態によれば、折り曲げミラー51は、レーザ光の波長帯域付近の波長帯域において高い反射率が得られ、それ以外の波長帯域において低い反射率が得られるよう、誘電体多層膜が設計されているため、光検出器43に対する迷光の影響をさらに抑えることができる。これにより、バンドパスフィルタ等の高価なフィルタを省略することができ、さらに低コスト化を図ることができる。   Further, according to the present embodiment, the bending mirror 51 has a dielectric multilayer film so that a high reflectance can be obtained in a wavelength band near the wavelength band of the laser light and a low reflectance can be obtained in other wavelength bands. Therefore, the influence of stray light on the photodetector 43 can be further suppressed. Thereby, an expensive filter such as a bandpass filter can be omitted, and the cost can be further reduced.

また、本実施の形態によれば、ミラーアクチュエータ2のミラー213は、広い角度範囲におけるレーザ光の入射角に対する反射率の依存性を抑えられる特性が得られるよう誘電体多層膜が設計されているため、ミラー213がどのような角度であっても、略同様に高い反射率で目標領域からの反射光を反射させることができる。   Further, according to the present embodiment, the mirror 213 of the mirror actuator 2 is designed with a dielectric multilayer film so as to obtain a characteristic capable of suppressing the dependency of the reflectance on the incident angle of the laser beam in a wide angle range. Therefore, regardless of the angle of the mirror 213, the reflected light from the target region can be reflected with a substantially similar high reflectance.

また、本実施の形態によれば、目標領域からの反射光を受光するために、ミラーアクチュエータ2のミラー213と折り曲げミラー51の2枚のミラーが用いられるため、それぞれに、反射光の広い角度範囲の入射角に対する反射率の依存性を抑制する特性と、反射光の波長帯域付近のみに高い反射率を有する特性を別々に付与することができる。したがって、それぞれの誘電体多層膜の膜設計を簡素なものとすることができる。   In addition, according to the present embodiment, the two mirrors of the mirror 213 of the mirror actuator 2 and the bending mirror 51 are used to receive the reflected light from the target area. A characteristic that suppresses the dependency of the reflectance on the incident angle of the range and a characteristic that has a high reflectance only in the vicinity of the wavelength band of the reflected light can be separately provided. Therefore, the film design of each dielectric multilayer film can be simplified.

以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は上記実施の形態に何ら制限されるものではなく、また、本発明の実施の形態も上記以外に種々の変更が可能である。   Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications can be made to the embodiments of the present invention other than the above.

たとえば、上記実施の形態では、折り曲げミラー51の反射面には、レーザ光源31か
ら出射されるレーザ光の波長帯域付近の光のみを反射させる特性を有する誘電体多層膜が形成されたが、波長依存性のない金属膜が形成されても良い。この場合、光検出器43の前段に、別途、レーザ光の波長帯域付近の光以外の波長帯域の光をカットするバンドパスフィルタ等が設けられても良い。
For example, in the above embodiment, the dielectric multilayer film having the characteristic of reflecting only the light near the wavelength band of the laser light emitted from the laser light source 31 is formed on the reflection surface of the bending mirror 51. A metal film having no dependency may be formed. In this case, a band pass filter or the like that cuts light in a wavelength band other than the light in the vicinity of the wavelength band of the laser light may be separately provided before the photodetector 43.

また、上記実施の形態では、ミラーアクチュエータ2のミラー213に対する反射光の入射角θ2と、折り曲げミラー51に対する反射光の入射角θ1が同一になるようミラーアクチュエータ2と折り曲げミラー51の設置角度が設定されたが、図14に示すように、折り曲げミラー51に対する反射光の入射角θ3がミラーアクチュエータ2のミラー213に対する反射光の入射角θ2と異なるように、ミラーアクチュエータ2と折り曲げミラー51の設置角度が設定されても良い。   In the above embodiment, the installation angle of the mirror actuator 2 and the bending mirror 51 is set so that the incident angle θ2 of the reflected light with respect to the mirror 213 of the mirror actuator 2 and the incident angle θ1 of the reflected light with respect to the bending mirror 51 are the same. However, as shown in FIG. 14, the installation angle of the mirror actuator 2 and the bending mirror 51 is set so that the incident angle θ3 of the reflected light with respect to the bending mirror 51 is different from the incident angle θ2 of the reflected light with respect to the mirror 213 of the mirror actuator 2. May be set.

ミラーアクチュエータ2のミラー213に対する反射光の入射角θ2が15°であり、折り曲げミラー51に対する反射光の入射角θ3が25°である場合、折り曲げミラー51は、ミラー面が、Y軸正方向からYZ平面の面内方向において、Z軸正方向に近づくように10°の角度で傾くように設置される。   When the incident angle θ2 of the reflected light with respect to the mirror 213 of the mirror actuator 2 is 15 ° and the incident angle θ3 of the reflected light with respect to the bending mirror 51 is 25 °, the bending mirror 51 has a mirror surface from the positive direction of the Y axis. In the in-plane direction of the YZ plane, it is installed so as to be inclined at an angle of 10 ° so as to approach the positive Z-axis direction.

この場合、レーザレーダ1の上下方向(Y軸方向)の高さH3は、上記実施の形態の高さH1よりも大きくなる。レーザレーダ1の左右方向(Z軸方向)の幅W3は、上記実施の形態の幅W1よりも小さくなる。   In this case, the height H3 in the vertical direction (Y-axis direction) of the laser radar 1 is larger than the height H1 in the above embodiment. The width W3 in the left-right direction (Z-axis direction) of the laser radar 1 is smaller than the width W1 in the above embodiment.

このように、レーザレーダ1のスペースを考慮して、ミラーアクチュエータ2、折り曲げミラー51の設置角度は、適宜、変更し得る。   Thus, the installation angle of the mirror actuator 2 and the bending mirror 51 can be changed as appropriate in consideration of the space of the laser radar 1.

また、上記実施の形態では、出射ユニット3が折り曲げミラー51と受光レンズ41の間に配置されたが、これに限られるものではない。たとえば、出射ユニット3は、折り曲げミラー51とミラー213の間に配置されても良い。   Moreover, in the said embodiment, although the output unit 3 was arrange | positioned between the bending mirror 51 and the light reception lens 41, it is not restricted to this. For example, the emission unit 3 may be disposed between the bending mirror 51 and the mirror 213.

この他、本発明の実施の形態は、特許請求の範囲に示された技術的思想の範囲内において、適宜、種々の変更が可能である。   In addition, the embodiment of the present invention can be variously modified as appropriate within the scope of the technical idea shown in the claims.

1 … レーザレーダ
2 … ミラーアクチュエータ(駆動部)
213 … ミラー(第1のミラー)
3 … 出射ユニット(出射部)
31 … レーザ光源(出射部)
32 … ビーム整形レンズ(出射部)
33 … レーザホルダ(出射部)
34 … レンズホルダ(出射部)
41 … 受光レンズ(集光素子、樹脂製のレンズ)
43 … 光検出器
51 … 折り曲げミラー(第2のミラー)
8 … 可視光カットフィルタ(窓)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Laser radar 2 ... Mirror actuator (drive part)
213 ... Mirror (first mirror)
3 ... Outgoing unit (outgoing part)
31 ... Laser light source (emitter)
32 ... Beam shaping lens (outgoing part)
33 ... Laser holder (emitter)
34 ... Lens holder (outgoing part)
41. Light receiving lens (light condensing element, resin lens)
43 ... Photodetector 51 ... Bending mirror (second mirror)
8 ... Visible light cut filter (window)

Claims (8)

所定の波長帯域のレーザ光を出射する出射部と、
前記レーザ光を目標領域に向かって反射する第1のミラーと、
前記レーザ光が目標領域を走査するように前記第1のミラーを駆動する駆動部と、
前記目標領域において反射され、さらに、前記第1のミラーによって反射された前記レーザ光の反射光を前記目標領域から離れる方向に反射する第2のミラーと、
前記第2のミラーによって反射された前記反射光を集光する集光素子と、
前記集光素子により集光された前記反射光を受光する光検出器と、を備える、
ことを特徴とするレーザレーダ。
An emission part for emitting laser light of a predetermined wavelength band;
A first mirror that reflects the laser light toward a target area;
A drive unit that drives the first mirror so that the laser beam scans a target area;
A second mirror that reflects the reflected light of the laser beam reflected by the target region and reflected by the first mirror in a direction away from the target region;
A condensing element that condenses the reflected light reflected by the second mirror;
A photodetector for receiving the reflected light collected by the light collecting element,
A laser radar characterized by that.
請求項1に記載のレーザレーダにおいて、
前記出射部は、前記第2のミラーと前記集光素子との間の光路中に配される、
ことを特徴とするレーザレーダ。
The laser radar according to claim 1, wherein
The emitting portion is disposed in an optical path between the second mirror and the light collecting element.
A laser radar characterized by that.
請求項2に記載のレーザレーダにおいて、
前記第1のミラーと前記第2のミラーの間を通過する前記反射光が、前記出射部に遮られないように、前記第1のミラーと前記第2のミラーが設置されている、
ことを特徴とするレーザレーダ。
The laser radar according to claim 2, wherein
The first mirror and the second mirror are installed so that the reflected light passing between the first mirror and the second mirror is not blocked by the emitting portion.
A laser radar characterized by that.
請求項1ないし3の何れか一項に記載のレーザレーダにおいて、
前記第1のミラーに反射された前記レーザ光、および前記目標領域において反射された前記反射光を透過する窓をさらに備え、
前記第1のミラーと前記第2のミラーの間を通過する前記反射光が、前記窓に遮られないように、前記第1のミラーと前記第2のミラーが設置されている、
ことを特徴とするレーザレーダ。
The laser radar according to any one of claims 1 to 3,
A window that transmits the laser light reflected by the first mirror and the reflected light reflected by the target region;
The first mirror and the second mirror are installed so that the reflected light passing between the first mirror and the second mirror is not blocked by the window;
A laser radar characterized by that.
請求項1ないし4の何れか一項に記載のレーザレーダにおいて、
前記第2のミラーは、前記第1のミラーによって反射された前記レーザ光の前記目標領域に向かう方向と反対の方向に、前記第1のミラーによって反射された前記反射光を反射する、
ことを特徴とするレーザレーダ。
In the laser radar according to any one of claims 1 to 4,
The second mirror reflects the reflected light reflected by the first mirror in a direction opposite to a direction toward the target region of the laser light reflected by the first mirror;
A laser radar characterized by that.
請求項1ないし5の何れか一項に記載のレーザレーダにおいて、
前記第2のミラーの反射面は、前記レーザ光の波長帯域の光を反射し、前記レーザ光の波長帯域以外の波長帯域の光を透過させる誘電体膜により形成されている、
ことを特徴とするレーザレーダ。
The laser radar according to any one of claims 1 to 5,
The reflection surface of the second mirror is formed of a dielectric film that reflects light in the wavelength band of the laser light and transmits light in a wavelength band other than the wavelength band of the laser light.
A laser radar characterized by that.
請求項1ないし6の何れか一項に記載のレーザレーダにおいて、
前記第1のミラーの反射面は、前記レーザ光の入射角に対する反射率の依存性を抑制させる誘電体膜により形成されている、
ことを特徴とするレーザレーダ。
In the laser radar according to any one of claims 1 to 6,
The reflection surface of the first mirror is formed of a dielectric film that suppresses the dependency of the reflectance on the incident angle of the laser beam.
A laser radar characterized by that.
請求項1ないし7の何れか一項に記載のレーザレーダにおいて、
前記集光素子は、樹脂製のレンズである、
ことを特徴とするレーザレーダ。
The laser radar according to any one of claims 1 to 7,
The condensing element is a resin lens.
A laser radar characterized by that.
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