JP2014135312A - Optical package, optical unit, optical scanner, and image forming apparatus - Google Patents

Optical package, optical unit, optical scanner, and image forming apparatus Download PDF

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical package and the like including a reference pattern for mounting capable of suppressing a reduction in recognition accuracy.SOLUTION: An optical package of the present invention includes a substrate provided with a recess, and a light emitting element and a light receiving element mounted on a bottom part of the recess. The optical package is provided, at the bottom part of the recess, with a reference pattern to be a reference for mounting the light emitting element and the light receiving element. The reference pattern includes straight line parts; each of the straight line parts is arranged opposite to any one of one side of the light emitting element and one side of the light receiving element in planar view; and a length in a longitudinal direction of the straight line part is set to be equal to or longer than a length of any one of the one side.

Description

本発明は、光学パッケージ、光学ユニット、光走査装置、及び画像形成装置に関する。   The present invention relates to an optical package, an optical unit, an optical scanning device, and an image forming apparatus.

昨今、多色画像形成装置においては、より高精細な画像品質が求められている。このため、高速化が年々進み、オンデマンドプリンティングシステムとして簡易印刷に用いられるようになりつつある。具体的には、面発光レーザを2次元的に配列した構成の2次元アレイ素子を用いることで、感光体上での副走査間隔を記録密度の1/nにすることができ、単位画素をn×mの複数ドットのマトリクス構成とすることが可能となる。   In recent years, higher-definition image quality is required in multicolor image forming apparatuses. For this reason, the speed is increasing year by year and it is being used for simple printing as an on-demand printing system. Specifically, by using a two-dimensional array element having a configuration in which surface-emitting lasers are two-dimensionally arranged, the sub-scanning interval on the photosensitive member can be reduced to 1 / n of the recording density, and the unit pixel is It becomes possible to make a matrix configuration of n × m plural dots.

又、面発光レーザ素子を含め一般的に半導体レーザ素子等を有した光学系では、戻り光、すなわち、レンズやカバーガラスからの反射光が光を出射したレーザ素子に戻って入射する場合がある。このような場合には、レーザ素子の光量変動が生じるが、カバーガラスを傾斜させることにより光量変動を防ぐことができる。   Further, in an optical system generally including a semiconductor laser element including a surface emitting laser element, return light, that is, reflected light from a lens or a cover glass may be incident upon returning to the laser element that emitted the light. . In such a case, the light quantity fluctuation of the laser element occurs, but the light quantity fluctuation can be prevented by tilting the cover glass.

ところで、面発光レーザが2次元的に配列された面発光レーザアレイ等の面発光レーザ素子は、電極数も多く、一般的な半導体レーザ等に用いられているキャンパッケージ等の筐体に入れようとすると、筐体の形状が大きくなってしまう。このため、面発光レーザアレイチップを設置するための筐体としては、凹状のパッケージとカバーガラスとを組み合わせた構造のものが提案されている。   By the way, a surface-emitting laser element such as a surface-emitting laser array in which surface-emitting lasers are two-dimensionally arranged has a large number of electrodes and should be put in a casing such as a can package used for a general semiconductor laser. Then, the shape of the casing becomes large. For this reason, as a housing for installing the surface emitting laser array chip, a structure in which a concave package and a cover glass are combined has been proposed.

更に、近年では、組み付けの簡易性、コストダウンの要求等から発光素子の光量のフィードバックに使用している受光素子もパッケージの中に実装することが検討されている。しかしながら、2次元アレイ素子のように発光素子の素子数が増えると、受光素子のモニタ光量のバラツキを小さくするため、発光素子と受光素子の位置精度や、発光素子から出た光を反射し受光素子に導く透明な板材との位置精度が厳しくなる。   Further, in recent years, it has been studied to mount a light receiving element used for feedback of the light amount of the light emitting element in the package because of ease of assembly and cost reduction. However, as the number of light emitting elements increases, such as a two-dimensional array element, in order to reduce the variation in the monitor light quantity of the light receiving elements, the positional accuracy of the light emitting elements and the light receiving elements and the light emitted from the light emitting elements are reflected and received. Positional accuracy with the transparent plate leading to the element becomes severe.

このために、基準を設け、その基準に対して各部品を配置することが重要となる。例えば、対角に設けられた2箇所の基準パターンを認識することにより、部品を精度良く実装する方法が試みられている(例えば、特許文献1参照)。   For this reason, it is important to provide a reference and arrange each component with respect to the reference. For example, a method of mounting components with high accuracy by recognizing two reference patterns provided diagonally has been attempted (see, for example, Patent Document 1).

しかしながら、対角に設けられた2箇所の基準パターンを認識するには、カメラの軸を大きく移動させる必要があり、軸の移動時間がかかる。又、移動精度が実装精度に加算されてしまい、精度を低下させる原因ともなる。   However, in order to recognize two reference patterns provided diagonally, it is necessary to largely move the camera axis, and it takes time to move the axis. Further, the movement accuracy is added to the mounting accuracy, which causes a decrease in accuracy.

一方、対角に設けられた2箇所の基準パターンをカメラの一視野内に入るようにすれば、移動時間をキャンセルできるが、当然視野が広くなるため分解能が落ち、基準パターンをはっきり認識できなくなる。つまり、基準パターンの認識精度が低下する。   On the other hand, if the two reference patterns provided diagonally are within one field of view of the camera, the movement time can be canceled, but naturally the field of view becomes wider and the resolution is reduced, making it impossible to clearly recognize the reference pattern. . That is, the reference pattern recognition accuracy decreases.

本発明は、上記に鑑みてなされたものであり、認識精度の低下を抑制可能な実装用の基準パターンを備えた光学パッケージ等を提供することを課題とする。   The present invention has been made in view of the above, and an object of the present invention is to provide an optical package or the like provided with a reference pattern for mounting that can suppress a decrease in recognition accuracy.

本光学パッケージは、凹部が設けられた基体と、前記凹部の底部に実装された発光素子及び受光素子と、を有し、前記凹部の底部には、前記発光素子及び前記受光素子を実装するための基準となる基準パターンが設けられており、前記基準パターンは、直線部を含み、前記直線部は、平面視において、前記発光素子の一辺又は前記受光素子の一辺のうち何れか一辺と対向するように配置され、前記直線部の長手方向の長さは、前記何れか一辺の長さ以上に設定されていることを要件とする。   The optical package includes a base provided with a recess, and a light emitting element and a light receiving element mounted on the bottom of the recess, and the light emitting element and the light receiving element are mounted on the bottom of the recess. The reference pattern includes a straight line portion, and the straight line portion faces either one side of the light emitting element or one side of the light receiving element in a plan view. It is a requirement that the length in the longitudinal direction of the linear portion is set to be equal to or longer than the length of any one side.

開示の技術によれば、認識精度の低下を抑制可能な実装用の基準パターンを備えた光学パッケージ等を提供できる。   According to the disclosed technology, it is possible to provide an optical package or the like including a reference pattern for mounting that can suppress a decrease in recognition accuracy.

第1の実施の形態に係る光学パッケージを例示する平面図である。It is a top view which illustrates the optical package which concerns on 1st Embodiment. 図1のA−A線に沿う断面図である。It is sectional drawing which follows the AA line of FIG. 第2の実施の形態に係る光学パッケージを例示する平面図である。It is a top view which illustrates the optical package which concerns on 2nd Embodiment. 第3の実施の形態に係る光学パッケージを例示する平面図である。It is a top view which illustrates the optical package which concerns on 3rd Embodiment. 第4の実施の形態に係る光学パッケージを例示する平面図である。It is a top view which illustrates the optical package which concerns on 4th Embodiment. 第4の実施の形態に係る光学パッケージにおいて受光素子を実装する電極を例示する平面図である。It is a top view which illustrates the electrode which mounts a light receiving element in the optical package which concerns on 4th Embodiment. 第4の実施の形態に係る光学パッケージにおいて受光素子を実装する工程を例示する図(その1)である。It is FIG. (1) which illustrates the process of mounting a light receiving element in the optical package which concerns on 4th Embodiment. 第4の実施の形態に係る光学パッケージにおいて受光素子を実装する工程を例示する図(その2)である。It is FIG. (The 2) which illustrates the process of mounting a light receiving element in the optical package which concerns on 4th Embodiment. 第6の実施の形態に係る光学ユニットを例示する斜視図である。It is a perspective view which illustrates the optical unit which concerns on 6th Embodiment. 図9に示す光学ユニットをXY面において切断した断面図である。It is sectional drawing which cut | disconnected the optical unit shown in FIG. 9 in XY plane. 第7の実施の形態に係るマルチビーム走査装置を例示する斜視図である。It is a perspective view which illustrates the multi-beam scanning device concerning a 7th embodiment. 第7の実施の形態に係るマルチビーム走査装置を例示する断面図である。FIG. 10 is a cross-sectional view illustrating a multi-beam scanning device according to a seventh embodiment. 第8の実施の形態に係る画像形成装置を例示する構成図である。It is a block diagram which illustrates the image forming apparatus which concerns on 8th Embodiment.

以下、図面を参照して発明を実施するための形態について説明する。各図面において、同一構成部分には同一符号を付し、重複した説明を省略する場合がある。   Hereinafter, embodiments for carrying out the invention will be described with reference to the drawings. In the drawings, the same components are denoted by the same reference numerals, and redundant description may be omitted.

〈第1の実施の形態〉
図1は、第1の実施の形態に係る光学パッケージを例示する平面図である。図2は、図1のA−A線に沿う断面図である。図1及び図2を参照するに、第1の実施の形態に係る光学パッケージ10は、大略すると、基体11と、発光素子12と、受光素子13と、接合板14と、フレーム15と、カバーガラス16とを有する。
<First Embodiment>
FIG. 1 is a plan view illustrating an optical package according to the first embodiment. 2 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. Referring to FIGS. 1 and 2, the optical package 10 according to the first embodiment is roughly divided into a base 11, a light emitting element 12, a light receiving element 13, a bonding plate 14, a frame 15, and a cover. Glass 16.

基体11は、発光素子12や受光素子13を実装するパッケージであり、中央部近傍に凹部11xが設けられている。基体11は、例えば、セラミックスにより形成されたCLCC(Ceramic Leaded Chip Carrier)と称されるフラットパッケージである。但し、基体11は、セラミックス以外の材料、例えば樹脂材料により形成されたものであってもよい。基体11及び凹部11xの平面形状は、例えば、各々矩形状とすることができるが、これには限定されない。なお、凹部11xの底部には段差が形成されている。   The base 11 is a package on which the light emitting element 12 and the light receiving element 13 are mounted, and a recess 11x is provided near the center. The substrate 11 is, for example, a flat package called CLCC (Ceramic Leaded Chip Carrier) made of ceramics. However, the substrate 11 may be formed of a material other than ceramics, for example, a resin material. For example, the planar shapes of the base 11 and the recess 11x may be rectangular, but are not limited thereto. A step is formed at the bottom of the recess 11x.

発光素子12は、基体11の凹部11xの底部の最も低い位置に実装されている。発光素子12は、発光エリア17を有する。基体11の凹部11xの底部において、発光素子12が実装されている位置よりも高い位置には、発光素子12を囲むように複数の配線電極18が例えば放射状に形成されている。   The light emitting element 12 is mounted at the lowest position on the bottom of the recess 11x of the base 11. The light emitting element 12 has a light emitting area 17. A plurality of wiring electrodes 18 are formed radially, for example, so as to surround the light emitting element 12 at a position higher than the position where the light emitting element 12 is mounted at the bottom of the recess 11x of the base 11.

配線電極18の一端は、ボンディングワイヤ19を介して発光素子12の電極端子(図示せず)と接続されている。配線電極18の他端は、基体11の内部に形成された金属配線(図示せず)を介して、光学パッケージ10の外側の電極端子(図示せず)と接続されている。   One end of the wiring electrode 18 is connected to an electrode terminal (not shown) of the light emitting element 12 through a bonding wire 19. The other end of the wiring electrode 18 is connected to an electrode terminal (not shown) outside the optical package 10 through a metal wiring (not shown) formed inside the base 11.

発光素子12の一例としては、面発光レーザや、複数の面発光レーザを2次元的に配列した構成の面発光レーザアレイ等を挙げることができる。発光素子12の他の例としては、発光ダイオードや有機EL(electroluminescence)等を挙げることができる。   Examples of the light emitting element 12 include a surface emitting laser and a surface emitting laser array having a configuration in which a plurality of surface emitting lasers are two-dimensionally arranged. Other examples of the light emitting element 12 include a light emitting diode and an organic EL (electroluminescence).

受光素子13は、基体11の凹部11xの底部において、配線電極18が形成されている位置よりも更に高い位置に実装されている。受光素子13の電極端子(図示せず)は、基体11の内部に形成された金属配線(図示せず)を介して、光学パッケージ10の外側の電極端子(図示せず)と接続されている。   The light receiving element 13 is mounted at a position higher than the position at which the wiring electrode 18 is formed at the bottom of the concave portion 11 x of the base 11. An electrode terminal (not shown) of the light receiving element 13 is connected to an electrode terminal (not shown) outside the optical package 10 through a metal wiring (not shown) formed inside the base 11. .

受光素子13の一例としては、モニタ用のフォトダイオード等を挙げることができる。受光素子13の他の例としては、CCD(Charge Coupled Device)やCMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)等を挙げることができる。   An example of the light receiving element 13 is a monitoring photodiode. Other examples of the light receiving element 13 include a charge coupled device (CCD) and a complementary metal oxide semiconductor (CMOS).

以下では、一例として、発光素子12として面発光レーザアレイを用い、受光素子13としてフォトダイオードを用いる例について説明する。発光素子12である面発光レーザアレイからの出射光の一部をカバーガラス16で反射して受光素子13であるフォトダイオードでモニタすることにより、カバーガラス16を介して出射される面発光レーザアレイからの出射光を所定の光強度に制御できる。   In the following, an example in which a surface emitting laser array is used as the light emitting element 12 and a photodiode is used as the light receiving element 13 will be described. A part of the light emitted from the surface emitting laser array which is the light emitting element 12 is reflected by the cover glass 16 and monitored by the photodiode which is the light receiving element 13, thereby emitting the surface emitting laser array which is emitted through the cover glass 16. Can be controlled to a predetermined light intensity.

基体11の上面の凹部11xの周囲には、接合板14が設けられている。そして、透明な板材であるカバーガラス16が接合材20を介してフレーム15に設置されたキャップ部が、カバーガラス16が発光素子12からの出射光に垂直な面に対し所定の傾斜角度となるように、接合板14上に実装されている。   A bonding plate 14 is provided around the recess 11 x on the upper surface of the base 11. And the cap part in which the cover glass 16 which is a transparent board | plate material was installed in the flame | frame 15 via the bonding | jointing material 20 makes a predetermined inclination angle with respect to the surface where the cover glass 16 is perpendicular | vertical to the emitted light from the light emitting element 12. Thus, it is mounted on the joining plate 14.

カバーガラス16が傾斜している第1の理由は、発光素子12からの出射光が、カバーガラス16で反射して発光素子12に戻らないようにすることで、戻り光の影響による発光素子12の出射光量の変動を抑制するためである。又、カバーガラス16が傾斜している第2の理由は、発光素子12からの出射光のうち、カバーガラス16で反射した反射光(戻り光)を受光素子13に入射させて、発光素子12の出射光量をモニタするためである。   The first reason that the cover glass 16 is inclined is that the light emitted from the light emitting element 12 is reflected by the cover glass 16 so as not to return to the light emitting element 12. This is to suppress fluctuations in the amount of emitted light. The second reason why the cover glass 16 is inclined is that the reflected light (returned light) reflected by the cover glass 16 out of the light emitted from the light emitting element 12 is incident on the light receiving element 13, so that the light emitting element 12. This is because the amount of emitted light is monitored.

従って、カバーガラス16の所定の傾斜角度は、発光素子12からの出射光のうち、カバーガラス16で反射した反射光(戻り光)が受光素子13に入射する角度に設定されている。カバーガラス16の所定の傾斜角度は、例えば、10〜20度程度とすることができる。   Accordingly, the predetermined inclination angle of the cover glass 16 is set to an angle at which the reflected light (returned light) reflected by the cover glass 16 out of the light emitted from the light emitting element 12 enters the light receiving element 13. The predetermined inclination angle of the cover glass 16 can be set to about 10 to 20 degrees, for example.

なお、従来のカバーガラスが傾斜していない光学パッケージでは、面発光レーザアレイを構成する各面発光レーザからの出射光がカバーガラスで反射し、その反射光(戻り光)が発光源自身に入ることで、出射光量が変動する不具合が発生することが知られている。本実施の形態では、前述のように、カバーガラス16を傾斜させているため、戻り光の影響を低減できる。   In the conventional optical package in which the cover glass is not inclined, the emitted light from each surface emitting laser constituting the surface emitting laser array is reflected by the cover glass, and the reflected light (return light) enters the light emitting source itself. As a result, it is known that a problem that the amount of emitted light fluctuates occurs. In the present embodiment, since the cover glass 16 is inclined as described above, the influence of the return light can be reduced.

凹部11xの底部において、受光素子13を実装する面と同一面には、基準パターン21が形成されている。基準パターン21は全体が直線部である直線状パターンであり、基体11に発光素子12及び受光素子13を実装するための基準となる。すなわち、基準パターン21をパターン認識して、基体11の凹部11xの底部の所定位置に発光素子12及び受光素子13を実装する。又、カバーガラス16が設置されたフレーム15も、基準パターン21をパターン認識して所定位置に実装することができる。   At the bottom of the recess 11x, a reference pattern 21 is formed on the same surface as the surface on which the light receiving element 13 is mounted. The reference pattern 21 is a linear pattern that is a linear portion as a whole, and serves as a reference for mounting the light emitting element 12 and the light receiving element 13 on the substrate 11. That is, the reference pattern 21 is recognized and the light emitting element 12 and the light receiving element 13 are mounted at predetermined positions on the bottom of the recess 11x of the base body 11. Also, the frame 15 on which the cover glass 16 is installed can be mounted at a predetermined position by recognizing the reference pattern 21.

基準パターン21の直線部(本実施の形態では基準パターン21の全体、以降同様)は、平面視において、発光素子12の一辺又は受光素子13の一辺のうち何れか一辺と対向するように配置されている。図1及び図2の例では、基準パターン21の直線部は、平面視において、発光素子12の縦方向(Y方向)を向く一辺と対向するように配置されている。   The straight line portion of the reference pattern 21 (the entire reference pattern 21 in the present embodiment, and so on) is arranged so as to face either one side of the light emitting element 12 or one side of the light receiving element 13 in plan view. ing. In the example of FIGS. 1 and 2, the straight line portion of the reference pattern 21 is disposed so as to face one side facing the vertical direction (Y direction) of the light emitting element 12 in plan view.

基準パターン21の直線部の長手方向の長さは、発光素子12又は受光素子13の基準パターン21の直線部と対向する一辺(以降、単に、対向する一辺という)の長さ以上に設定されている。図1及び図2の例では、基準パターン21の直線部の長手方向の長さは、平面視において、基準パターン21の直線部と対向する発光素子12の縦方向(Y方向)を向く一辺の長さ以上に設定されている。   The length in the longitudinal direction of the straight line portion of the reference pattern 21 is set to be equal to or longer than the length of one side (hereinafter simply referred to as the opposite side) facing the straight line portion of the reference pattern 21 of the light emitting element 12 or the light receiving element 13. Yes. In the example of FIGS. 1 and 2, the length in the longitudinal direction of the straight line portion of the reference pattern 21 is one side facing the vertical direction (Y direction) of the light emitting element 12 facing the straight line portion of the reference pattern 21 in plan view. It is set longer than the length.

このため、パターン認識に用いるカメラの視野が広く解像度が悪い状態でも、基準パターン21の直線部の長手方向の長さが長いことによって、認識するドット数を稼ぐことができる。つまり、解像度が悪くても、認識したドットは、位置が平均化された状態で基準位置情報になるので、長手方向に垂直な方向の基準パターン認識の精度を上げることができ、その結果、長手方向に垂直な方向の実装精度を向上可能となる。   For this reason, even in a state where the field of view of the camera used for pattern recognition is wide and the resolution is poor, the number of dots to be recognized can be earned by the length of the linear portion of the reference pattern 21 in the longitudinal direction being long. In other words, even if the resolution is low, the recognized dot becomes the reference position information in the state where the positions are averaged, so that the accuracy of the reference pattern recognition in the direction perpendicular to the longitudinal direction can be improved. Mounting accuracy in a direction perpendicular to the direction can be improved.

ここで、実装精度の向上について、より詳細に説明する。一般的に、実装装置において、実装する部分(本実施の形態の場合は、基体11)を認識するカメラと、チップ(本実施の形態の場合は、発光素子12と受光素子13)を認識するカメラとは別であり、それぞれ視野も違うため、解像度も異なる。   Here, the improvement of mounting accuracy will be described in more detail. Generally, in a mounting apparatus, a camera for recognizing a portion to be mounted (base 11 in the case of this embodiment) and a chip (in the case of this embodiment, light emitting element 12 and light receiving element 13) are recognized. It is different from the camera and has different field of view, so the resolution is also different.

実装する部分を認識するカメラは、複数のチップを実装したり、複数のパッケージを置いたりすることを可能とするため、視野が広く解像度が悪い。これに対し、チップを認識するカメラは、チップのパターンを認識しなくてはならないため、視野を狭く解像度を良くしている。   A camera that recognizes a portion to be mounted has a wide field of view and a low resolution because it can mount a plurality of chips or place a plurality of packages. On the other hand, a camera that recognizes a chip has to recognize a chip pattern, so that the field of view is narrow and the resolution is improved.

このため、このような実装装置でチップを実装すると、実装する部分にマーカー等の位置基準となる基準パターンを設けても、実装する部分を認識するカメラの解像度がベースとなるため、実装精度はあまり良くはならない。   For this reason, when a chip is mounted with such a mounting apparatus, even if a reference pattern serving as a position reference such as a marker is provided on the mounting part, the mounting resolution is based on the resolution of the camera that recognizes the mounting part. It doesn't get much better.

よって、従来は、精度良く実装を行なおうとする場合、例えば、前記特許文献1のように、実装する部分に設けたマーカー等の小さい認識パターンを解像度の良いカメラを移動して認識させ実装を行なっていた。しかし、この方法では前述した通り時間がかかり、移動精度が実装精度に加算されてしまう。   Therefore, conventionally, when mounting with high accuracy, for example, as described in Patent Document 1, a small recognition pattern such as a marker provided on a mounting portion is recognized by moving a camera with high resolution. I was doing it. However, this method takes time as described above, and the movement accuracy is added to the mounting accuracy.

これに対し本実施の形態では、基準パターン21の直線部の長手方向の長さが、対向する一辺の長さ以上に設定されているため、視野が広く解像度が悪くても、認識ドット数を稼げる。そのため、基準パターン21の長手方向に垂直な方向の認識精度を上ることができる。その結果、長手方向に垂直な方向の実装精度を向上可能となる。   On the other hand, in the present embodiment, the length in the longitudinal direction of the linear portion of the reference pattern 21 is set to be equal to or longer than the length of the opposite side, so that the number of recognized dots can be reduced even if the field of view is wide and the resolution is poor. Earn money. Therefore, the recognition accuracy in the direction perpendicular to the longitudinal direction of the reference pattern 21 can be increased. As a result, the mounting accuracy in the direction perpendicular to the longitudinal direction can be improved.

つまり、前記特許文献1のように、マーカーのような小さい認識パターンでは、解像度が悪いカメラで認識すると、認識ドット数が少ないため形状認識も甘くなり、認識ずれが起きやすい。   That is, as in the above-mentioned Patent Document 1, with a small recognition pattern such as a marker, when a camera with a low resolution is used for recognition, the number of recognized dots is small, so that shape recognition becomes unsatisfactory and recognition misalignment is likely to occur.

例えば、画面縦方向(Y方向)の視野を20mmとし、VGA(640×480)のカメラを使用する場合を考えると、そのときのドットピッチは42μmとなり、単純にはドットの認識精度は±42μmになる。このため、チップ上の認識パターンと同等の大きさの小さい認識パターンでは、形状認識も不安定で実装精度を42μmより小さくすることは困難である。   For example, when the field of view in the vertical direction (Y direction) is 20 mm and a VGA (640 × 480) camera is used, the dot pitch at that time is 42 μm, and the dot recognition accuracy is simply ± 42 μm. become. For this reason, with a recognition pattern having a small size equivalent to the recognition pattern on the chip, shape recognition is also unstable, and it is difficult to make the mounting accuracy smaller than 42 μm.

図1に示すように、直線部の長手方向の長さが対向する一辺の長さ以上に設定されている基準パターン21を例えば縦方向(Y方向)に作製すれば、縦方向(Y方向)の認識ドット数が多くなる。そのため、横方向(X方向)の部分的な認識精度が±42μmのままであったとしても、縦方向(Y方向)のドット数で見れば横方向(X方向)の位置はそのドット数分で平均化できる。その結果、実装装置にフィードバックする横方向(X方向)の基準位置の位置精度(基準パターン21の認識精度)を42μmよりもはるかに小さくできる。これにより、横方向(X方向)の実装精度を上げることが可能となる。   As shown in FIG. 1, if a reference pattern 21 in which the length in the longitudinal direction of the straight line portion is set to be equal to or greater than the length of the opposite sides is produced in the longitudinal direction (Y direction), for example, the longitudinal direction (Y direction) The number of recognition dots increases. Therefore, even if the partial recognition accuracy in the horizontal direction (X direction) remains ± 42 μm, the position in the horizontal direction (X direction) corresponds to the number of dots in terms of the number of dots in the vertical direction (Y direction). Can be averaged. As a result, the position accuracy (recognition accuracy of the reference pattern 21) of the reference position in the horizontal direction (X direction) fed back to the mounting apparatus can be much smaller than 42 μm. Thereby, the mounting accuracy in the horizontal direction (X direction) can be increased.

なお、直線部の長手方向の長さが長いほど基準パターン21の認識精度が向上し、長手方向に垂直な方向の実装精度を向上できる。直線部の長手方向の長さは、実装精度の実力値等を考慮して適宜決定できるが、発明者らの検討によれば、直線部の長手方向の長さを対向する一辺の長さと同等にすると、良好な結果が得られた(従来の手法に比べて実装精度が向上した)。   In addition, the recognition accuracy of the reference pattern 21 is improved as the length of the linear portion in the longitudinal direction is increased, and the mounting accuracy in the direction perpendicular to the longitudinal direction can be improved. The length in the longitudinal direction of the straight line portion can be appropriately determined in consideration of the actual value of the mounting accuracy, etc., but according to the study by the inventors, the length in the longitudinal direction of the straight line portion is equal to the length of the opposite side. As a result, good results were obtained (the mounting accuracy was improved compared to the conventional method).

又、直線部の長手方向の長さを対向する一辺の長さの2倍にすると、直線部の長手方向の長さを対向する一辺の長さと同等にした場合と比べて実装精度も約2倍となり、更に良好な結果が得られた。つまり、直線部の長手方向の長さを対向する一辺の長さ以上に設定すると好適であり、直線部の長手方向の長さを対向する一辺の長さの2倍以上に設定すると更に好適である。   Also, when the length of the straight portion in the longitudinal direction is twice the length of the opposite side, the mounting accuracy is about 2 compared to the case where the length of the straight portion in the longitudinal direction is equal to the length of the opposite side. Doubled and even better results were obtained. In other words, it is preferable to set the length in the longitudinal direction of the straight line portion to be equal to or longer than the length of the opposite side, and it is more preferable to set the length in the longitudinal direction of the straight line portion to be twice or more the length of the opposite side. is there.

なお、図1では、基準パターン21の直線部と対向する一辺とが略平行に描かれているが、基準パターン21の直線部は対向する一辺に対して傾斜していても上記と同様の効果を奏する。   In FIG. 1, the straight line portion of the reference pattern 21 and the one side facing the straight line portion are drawn substantially in parallel. However, even if the straight line portion of the reference pattern 21 is inclined with respect to the opposed one side, the same effect as described above is obtained. Play.

〈第2の実施の形態〉
第2の実施の形態では、第1の実施の形態とは異なる基準パターンを設ける例を示す。なお、第2の実施の形態において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する。
<Second Embodiment>
In the second embodiment, an example in which a reference pattern different from that in the first embodiment is provided will be described. In the second embodiment, the description of the same components as those already described is omitted.

図3は、第2の実施の形態に係る光学パッケージを例示する平面図である。図3を参照するに、第2の実施の形態に係る光学パッケージ10Aは、基準パターン21(第1の基準パターン)に加えて基準パターン22(第2の基準パターン)を設けた点が、第1の実施の形態に係る光学パッケージ10(図1及び図2参照)と相違する。   FIG. 3 is a plan view illustrating an optical package according to the second embodiment. Referring to FIG. 3, the optical package 10A according to the second embodiment is provided with a reference pattern 22 (second reference pattern) in addition to the reference pattern 21 (first reference pattern). This is different from the optical package 10 according to the first embodiment (see FIGS. 1 and 2).

凹部11xの底部において、受光素子13を実装する面と同一面には、基準パターン21及び22が形成されている。本実施の形態では、基準パターン21及び22が、基体11に発光素子12及び受光素子13を実装するための基準となる。すなわち、基準パターン21及び22をパターン認識して、基体11の凹部11x内の所定位置に発光素子12及び受光素子13を実装する。又、カバーガラス16が設置されたフレーム15も、基準パターン21及び22をパターン認識して所定位置に実装することができる。   At the bottom of the recess 11x, reference patterns 21 and 22 are formed on the same surface as the surface on which the light receiving element 13 is mounted. In the present embodiment, the reference patterns 21 and 22 serve as a reference for mounting the light emitting element 12 and the light receiving element 13 on the base 11. That is, the reference patterns 21 and 22 are recognized, and the light emitting element 12 and the light receiving element 13 are mounted at predetermined positions in the recess 11x of the base 11. Also, the frame 15 on which the cover glass 16 is installed can be mounted at a predetermined position by recognizing the reference patterns 21 and 22.

基準パターン21及び22は各々全体が直線部である直線状パターンである。基準パターン21の直線部(本実施の形態では基準パターン21の全体、以降同様)と、基準パターン22の直線部(本実施の形態では基準パターン22の全体、以降同様)とは、互いに直交する方向を向くように形成されている。   Each of the reference patterns 21 and 22 is a linear pattern that is entirely a linear portion. The straight line portion of the reference pattern 21 (the entire reference pattern 21 in the present embodiment, the same applies hereinafter) and the straight line portion of the reference pattern 22 (the entire reference pattern 22 in the present embodiment, the same applies hereinafter) are orthogonal to each other. It is formed to face the direction.

基準パターン21の直線部は、平面視において、発光素子12の一辺又は受光素子13の一辺のうち何れか一辺と対向するように配置されている。又、基準パターン21の直線部の長手方向の長さは、基準パターン21が対向する一辺の長さ以上に設定されている。基準パターン22の直線部は、平面視において、基準パターン21が対向する辺とは異なる一辺と対向するように配置されている。又、基準パターン22の直線部の長手方向の長さは、基準パターン22が対向する一辺の長さ以上に設定されている。   The straight line portion of the reference pattern 21 is disposed so as to face either one side of the light emitting element 12 or one side of the light receiving element 13 in plan view. Further, the length in the longitudinal direction of the straight portion of the reference pattern 21 is set to be equal to or longer than the length of one side facing the reference pattern 21. The straight line portion of the reference pattern 22 is arranged to face one side different from the side to which the reference pattern 21 faces in plan view. Further, the length in the longitudinal direction of the straight portion of the reference pattern 22 is set to be equal to or longer than the length of one side facing the reference pattern 22.

このため、パターン認識に用いるカメラの視野が広く解像度が悪い状態でも、基準パターン21及び22の各々の直線部の長手方向の長さが長いことによって、認識するドット数を稼ぐことができる。つまり、解像度が悪くても、認識したドットは、位置が平均化された状態で基準位置情報になるので、長手方向に垂直な方向の基準パターン認識の精度を上げることができる。その結果、長手方向に垂直な方向の実装精度を向上可能となる。この際、基準パターン21の直線部と基準パターン22の直線部とが互いに直交しているため、図3の縦方向(Y方向)及び横方向(X方向)の実装精度を同時に向上可能となる。   For this reason, even when the field of view of the camera used for pattern recognition is wide and the resolution is low, the number of dots to be recognized can be increased by the length in the longitudinal direction of each linear portion of the reference patterns 21 and 22 being long. In other words, even if the resolution is poor, the recognized dots become reference position information in a state where the positions are averaged, so that the accuracy of reference pattern recognition in the direction perpendicular to the longitudinal direction can be improved. As a result, the mounting accuracy in the direction perpendicular to the longitudinal direction can be improved. At this time, since the straight line portion of the reference pattern 21 and the straight line portion of the reference pattern 22 are orthogonal to each other, the mounting accuracy in the vertical direction (Y direction) and the horizontal direction (X direction) in FIG. 3 can be improved at the same time. .

〈第3の実施の形態〉
第3の実施の形態では、第1及び第2の実施の形態とは異なる基準パターンを設ける例を示す。なお、第3の実施の形態において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する。
<Third Embodiment>
In the third embodiment, an example in which a reference pattern different from those in the first and second embodiments is provided will be described. Note that in the third embodiment, description of the same components as those of the already described embodiments is omitted.

図4は、第3の実施の形態に係る光学パッケージを例示する平面図である。図4を参照するに、第3の実施の形態に係る光学パッケージ10Bは、互いに直交する2つの直線部の各々の一端に円形部(円形状パターン)を設けた点が、第2の実施の形態に係る光学パッケージ10A(図3参照)と相違する。   FIG. 4 is a plan view illustrating an optical package according to the third embodiment. Referring to FIG. 4, the optical package 10B according to the third embodiment is different from the second embodiment in that a circular portion (circular pattern) is provided at one end of each of two linear portions orthogonal to each other. This is different from the optical package 10A according to the embodiment (see FIG. 3).

凹部11xの底部において、受光素子13を実装する面と同一面には、基準パターン31及び32が形成されている。本実施の形態では、基準パターン31及び32が、基体11に発光素子12及び受光素子13を実装するときの基準となる。すなわち、基準パターン31及び32を同時にパターン認識して、基体11の凹部11x内の所定位置に発光素子12及び受光素子13を実装する。又、カバーガラス16が設置されたフレーム15も、基準パターン31及び32を同時にパターン認識して所定位置に実装することができる。   At the bottom of the recess 11x, reference patterns 31 and 32 are formed on the same surface as the surface on which the light receiving element 13 is mounted. In the present embodiment, the reference patterns 31 and 32 serve as a reference when the light emitting element 12 and the light receiving element 13 are mounted on the base 11. That is, the reference patterns 31 and 32 are simultaneously recognized, and the light emitting element 12 and the light receiving element 13 are mounted at predetermined positions in the recess 11 x of the base 11. Also, the frame 15 on which the cover glass 16 is installed can be mounted at a predetermined position by simultaneously recognizing the reference patterns 31 and 32.

基準パターン31は、直線部31aと、直線部31aの一端に連結する円形部31bとを有する。又、基準パターン32は、直線部32aと、直線部32aの一端に連結する円形部32bとを有する。直線部31aと直線部32aは互いに直交する方向を向くように形成されている。   The reference pattern 31 includes a straight part 31a and a circular part 31b connected to one end of the straight part 31a. The reference pattern 32 has a straight line portion 32a and a circular portion 32b connected to one end of the straight line portion 32a. The straight line portion 31a and the straight line portion 32a are formed to face in directions orthogonal to each other.

直線部31aは、平面視において、発光素子12の一辺又は受光素子13の一辺のうち何れか一辺と対向するように配置されている。又、直線部31aの長手方向の長さは、対向する一辺の長さ以上に設定されている。直線部32aは、平面視において、発光素子12の一辺又は受光素子13の一辺のうち直線部31aが対向する辺とは異なる一辺と対向するように配置されている。又、直線部32aの長手方向の長さは、直線部32aと対向する一辺の長さ以上に設定されている。   The straight line portion 31 a is disposed so as to face either one side of the light emitting element 12 or one side of the light receiving element 13 in plan view. Moreover, the length of the longitudinal direction of the linear part 31a is set more than the length of the one side which opposes. The straight line portion 32a is disposed so as to face one side different from the side facing the straight line portion 31a of one side of the light emitting element 12 or one side of the light receiving element 13 in plan view. Moreover, the length of the longitudinal direction of the linear part 32a is set more than the length of the one side which opposes the linear part 32a.

このため、パターン認識に用いるカメラの視野が広く解像度が悪い状態でも、直線部31a及び32aの各々の長さが長いことによって、認識するドット数を稼ぐことができる。つまり、解像度が悪くても、認識したドットは、位置が平均化された状態で基準位置情報になるので、長手方向に垂直な方向の基準パターン認識の精度を上げることができる。その結果、長手方向に垂直な方向の実装精度を向上可能となる。この際、直線部31aと直線部32aとが互いに直交しているため、図4の縦方向(Y方向)及び横方向(X方向)の実装精度を同時に向上可能となる。   For this reason, even if the field of view of the camera used for pattern recognition is wide and the resolution is poor, the number of dots to be recognized can be earned by the length of each of the straight portions 31a and 32a being long. In other words, even if the resolution is poor, the recognized dots become reference position information in a state where the positions are averaged, so that the accuracy of reference pattern recognition in the direction perpendicular to the longitudinal direction can be improved. As a result, the mounting accuracy in the direction perpendicular to the longitudinal direction can be improved. At this time, since the linear portion 31a and the linear portion 32a are orthogonal to each other, the mounting accuracy in the vertical direction (Y direction) and the horizontal direction (X direction) in FIG. 4 can be improved at the same time.

又、円形部31bの中心31oは、直線部31aの発光素子12及び受光素子13側の辺31hの延長線上に位置している。そのため、測定時に中心31oと辺31hを測定基準に用いることができる。同様に、円形部32bの中心32oは、直線部32aの発光素子12及び受光素子13側の辺32hの延長線上に位置している。そのため、測定時に中心32oと辺32hを測定基準に用いることができる。   The center 31o of the circular portion 31b is located on an extension line of the side 31h on the light emitting element 12 and light receiving element 13 side of the linear portion 31a. Therefore, the center 31o and the side 31h can be used as a measurement reference during measurement. Similarly, the center 32o of the circular portion 32b is located on an extension line of the side 32h on the light emitting element 12 and light receiving element 13 side of the linear portion 32a. Therefore, the center 32o and the side 32h can be used as a measurement reference during measurement.

なお、必須条件ではないが、円形部31bの中心31oと円形部32bの中心32oとを結ぶ線Iを、理想的に実装された場合の発光素子12の光学中心に合わせておくと好適である。画面上で瞬時に、発光素子12の位置ずれを判断できるからである。   Although not essential, it is preferable that the line I connecting the center 31o of the circular portion 31b and the center 32o of the circular portion 32b is aligned with the optical center of the light emitting element 12 when mounted ideally. . This is because the positional deviation of the light emitting element 12 can be determined instantaneously on the screen.

そのため、自動測定だけではなく、人間の実装精度の検査用パターンとしても使うことが可能となり、検査が容易となる。又、円形部31b及び32bは、円形なのでパターン作製時のばらつき(端部のだれ等)があっても、その中心を求めるため、パターン作製精度の影響を受けにくい(ばらつきの影響を受けにくい)点でも好適である。   Therefore, it can be used not only as an automatic measurement but also as a test pattern for human mounting accuracy, thereby facilitating the test. In addition, since the circular portions 31b and 32b are circular, even if there is a variation in the pattern production (sagging at the end, etc.), the center is obtained, so that it is less affected by the pattern production accuracy (not easily affected by the variation). It is also suitable in terms of points.

〈第4の実施の形態〉
第4の実施の形態では、第1〜第3の実施の形態とは異なる基準パターンを設ける例を示す。なお、第4の実施の形態において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する。
<Fourth embodiment>
In the fourth embodiment, an example in which a reference pattern different from those in the first to third embodiments is provided. Note that in the fourth embodiment, description of the same components as those of the above-described embodiment is omitted.

図5は、第4の実施の形態に係る光学パッケージを例示する平面図である。図5を参照するに、第4の実施の形態に係る光学パッケージ10Cは、直線部31aと直線部32aとを連結し、更に直線部31a及び32aと接続する給電パターン33を設けた点が、第3の実施の形態に係る光学パッケージ10B(図4参照)と相違する。   FIG. 5 is a plan view illustrating an optical package according to the fourth embodiment. Referring to FIG. 5, the optical package 10C according to the fourth embodiment is provided with a power supply pattern 33 that connects the linear portion 31a and the linear portion 32a and further connects the linear portions 31a and 32a. This is different from the optical package 10B (see FIG. 4) according to the third embodiment.

凹部11xの底部において、受光素子13を実装する面と同一面には、基準パターン41が設けられている。基準パターン41において、一端に円形部31bが設けられた直線部31aの他端と、一端に円形部32bが設けられた直線部32aの他端とは連結しており、連結部は給電パターン33の一端と接続されている。但し、連結部以外の部分で給電パターン33の一端と接続されてもよい。   A reference pattern 41 is provided on the bottom surface of the recess 11x on the same surface as the surface on which the light receiving element 13 is mounted. In the reference pattern 41, the other end of the straight portion 31a provided with the circular portion 31b at one end and the other end of the straight portion 32a provided with the circular portion 32b at one end are connected. Is connected to one end of the. However, it may be connected to one end of the power supply pattern 33 at a portion other than the connecting portion.

給電パターン33の他端は、基体11の端面にある任意の電極と接続されている。任意の電極は、基体11の外部から給電可能に構成されている。このように、本実施の形態では、直線部31aの他端と直線部32aの他端とは連結しており、直線部31a及び32aは、ビアホールを介すことなく、給電パターン33のみを介して、基体11の外部から給電可能な任意の電極と接続されている。   The other end of the power supply pattern 33 is connected to an arbitrary electrode on the end face of the base 11. The arbitrary electrode is configured to be able to supply power from the outside of the base 11. As described above, in the present embodiment, the other end of the straight line portion 31a and the other end of the straight line portion 32a are connected, and the straight line portions 31a and 32a pass through only the power feeding pattern 33 without via holes. Thus, it is connected to an arbitrary electrode that can be fed from the outside of the substrate 11.

なお、本実施の形態では、配線電極18及び基準パターン41には電気めっきが施されている。電気めっきの一例としては、金(Au)めっきを挙げることができる。   In the present embodiment, the wiring electrode 18 and the reference pattern 41 are electroplated. An example of electroplating is gold (Au) plating.

本実施の形態では、基準パターン41が、基体11に発光素子12及び受光素子13を実装するときの基準となる。すなわち、基準パターン41をパターン認識して、基体11の凹部11x内の所定位置に発光素子12及び受光素子13を実装する。又、カバーガラス16が設置されたフレーム15も、基準パターン41をパターン認識して所定位置に実装することができる。但し、基準パターン41のうち、給電パターン33はパターン認識には使用されない。   In the present embodiment, the reference pattern 41 is a reference when the light emitting element 12 and the light receiving element 13 are mounted on the substrate 11. That is, the reference pattern 41 is recognized, and the light emitting element 12 and the light receiving element 13 are mounted at predetermined positions in the recess 11x of the base 11. Further, the frame 15 on which the cover glass 16 is installed can also be mounted at a predetermined position by recognizing the reference pattern 41. However, among the reference patterns 41, the power feeding pattern 33 is not used for pattern recognition.

第4の実施の形態では、第3の実施の形態の奏する効果に加えて以下の効果を奏する。すなわち、給電パターン33の他端が基体11の端面にある任意の電極と接続されているため、任意の電極及び給電パターン33を介して、基体11の外部から直線部31a及び32a並びに円形部31b及び32bに給電することができる。その結果、直線部31a及び32a並びに円形部31b及び32bに容易に電気めっき(金めっき等)を施すことができる。   The fourth embodiment has the following effects in addition to the effects exhibited by the third embodiment. That is, since the other end of the power supply pattern 33 is connected to an arbitrary electrode on the end face of the base 11, the straight portions 31 a and 32 a and the circular portion 31 b are connected from the outside of the base 11 via the arbitrary electrode and the power supply pattern 33. And 32b can be powered. As a result, electroplating (such as gold plating) can be easily performed on the straight portions 31a and 32a and the circular portions 31b and 32b.

なお、光学パッケージ10、10A、10B等においても配線電極や基準パターンに電気めっきが施すことは可能である。しかし、平面方向(受光素子13を実装する面と同一面内)では基準パターンが基体11の端面にある任意の電極と接続されていないため、平面方向と垂直な方向(図5のZ方向)に基準パターンと電気的に接続されたビアホールを設ける必要がある。   In addition, in the optical packages 10, 10A, 10B, etc., it is possible to perform electroplating on the wiring electrodes and the reference pattern. However, in the planar direction (in the same plane as the surface on which the light receiving element 13 is mounted), the reference pattern is not connected to any electrode on the end surface of the substrate 11, and therefore a direction perpendicular to the planar direction (Z direction in FIG. 5). It is necessary to provide a via hole electrically connected to the reference pattern.

本実施の形態では、ビアホールを設けなくても、任意の電極及び給電パターン33を介して、基体11の外部から直線部31a及び32a並びに円形部31b及び32bに給電して電気めっき(金めっき等)を施すことができる。   In the present embodiment, even if a via hole is not provided, power is supplied from the outside of the substrate 11 to the straight portions 31a and 32a and the circular portions 31b and 32b via any electrode and the power supply pattern 33, and electroplating (gold plating or the like). ) Can be applied.

〈第5の実施の形態〉
第5の実施の形態では、受光素子を実装する電極と、電極に受光素子を実装する工程の例を示す。なお、第5の実施の形態において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する。ここでは、第4の実施の形態に係る光学パッケージを例にして説明するが、第1〜第3の実施の形態に係る光学パッケージにおいても、同様な電極が設けられている。
<Fifth embodiment>
In the fifth embodiment, an example of an electrode for mounting a light receiving element and a process for mounting the light receiving element on the electrode will be described. Note that in the fifth embodiment, a description of the same components as those of the above-described embodiment will be omitted. Here, the optical package according to the fourth embodiment will be described as an example, but similar electrodes are provided also in the optical packages according to the first to third embodiments.

図6は、第4の実施の形態に係る光学パッケージにおいて受光素子を実装する電極を例示する平面図であり、図5に示す光学パッケージ10Cにおいて受光素子13を実装する電極51を明示したものである。なお、13xは、受光素子13が実装される位置を示している。   FIG. 6 is a plan view illustrating an electrode for mounting the light receiving element in the optical package according to the fourth embodiment, and clearly shows the electrode 51 for mounting the light receiving element 13 in the optical package 10C shown in FIG. is there. Note that 13x indicates a position where the light receiving element 13 is mounted.

図6に示すように、凹部11xの底部には、受光素子13を実装する電極51が設けられている。又、電極51には、その中をくりぬいて、略長方形状のパターン52が4カ所形成されている。4カ所のパターン52のうちの2つは、長手方向をX方向に向けて所定の間隔で配されている。4カ所のパターン52のうちの他の2つは、長手方向をY方向に向けて所定の間隔で配されている。   As shown in FIG. 6, an electrode 51 for mounting the light receiving element 13 is provided on the bottom of the recess 11x. The electrode 51 is hollowed to form four substantially rectangular patterns 52. Two of the four patterns 52 are arranged at a predetermined interval with the longitudinal direction in the X direction. The other two of the four patterns 52 are arranged at predetermined intervals with the longitudinal direction in the Y direction.

線Jは、長手方向をX方向に向けて配された2つのパターン52の長手方向の中心線を延長した線である。又、線Kは、長手方向をY方向に向けて配された2つのパターン52の長手方向の中心線を延長した線である。線Jと線Kとの交点は、受光素子13を接着するための接着剤を塗布する塗布中心53とされている。   The line J is a line obtained by extending the center line in the longitudinal direction of the two patterns 52 arranged with the longitudinal direction directed in the X direction. The line K is a line obtained by extending the center line in the longitudinal direction of the two patterns 52 arranged with the longitudinal direction directed in the Y direction. An intersection of the line J and the line K is an application center 53 for applying an adhesive for bonding the light receiving element 13.

つまり、4カ所のパターン52は、受光素子13を固定するための接着剤を塗布する位置を示した塗布位置表示パターンである。このように、塗布位置表示パターンを、受光素子13を実装する電極51をくりぬいて設けると、受光素子13の外側に特別にパターンを設ける必要がない点で好適である。   That is, the four patterns 52 are application position display patterns indicating positions where an adhesive for fixing the light receiving element 13 is applied. As described above, it is preferable that the coating position display pattern is provided by hollowing out the electrode 51 on which the light receiving element 13 is mounted, because it is not necessary to provide a special pattern outside the light receiving element 13.

塗布中心53は、受光素子13を実装する実装中心54と一致していない。具体的には、塗布中心53は、受光素子13を実装する実装中心54よりも発光素子12とは反対方向にずれて設定されている。なお、図6では、便宜上、塗布中心53を白丸で、実装中心54を黒丸で示している。又、線Lは、受光素子13が実装される位置13xのX方向の中心を示している。   The coating center 53 does not coincide with the mounting center 54 on which the light receiving element 13 is mounted. Specifically, the application center 53 is set to be shifted in the opposite direction to the light emitting element 12 from the mounting center 54 on which the light receiving element 13 is mounted. In FIG. 6, for convenience, the application center 53 is indicated by a white circle and the mounting center 54 is indicated by a black circle. A line L indicates the center in the X direction of the position 13x where the light receiving element 13 is mounted.

なお、受光素子13がフォトダイオードである場合、電極51は基準電位(接地)であり、フォトダイオードの裏面に形成されたカソードが導電性の接着剤により電極51上に実装され接地される。又、フォトダイオードのアノード電極は、基体11の金属配線(図示せず)とワイヤボンディング等により電気的に接続される。   When the light receiving element 13 is a photodiode, the electrode 51 is at a reference potential (ground), and the cathode formed on the back surface of the photodiode is mounted on the electrode 51 with a conductive adhesive and grounded. Further, the anode electrode of the photodiode is electrically connected to a metal wiring (not shown) of the base 11 by wire bonding or the like.

図7及び図8は、第4の実施の形態に係る光学パッケージにおいて受光素子を実装する工程を例示する図である。図7は、電極51上に接着剤55が塗布された状態を示している。接着剤55は、図6に示す塗布中心53に塗布されている。なお、図7では、既に発光素子12が実装されているが、受光素子13を発光素子12よりも先に実装しても構わない。   7 and 8 are diagrams illustrating a process of mounting the light receiving element in the optical package according to the fourth embodiment. FIG. 7 shows a state in which an adhesive 55 is applied on the electrode 51. The adhesive 55 is applied to the application center 53 shown in FIG. In FIG. 7, the light emitting element 12 is already mounted, but the light receiving element 13 may be mounted before the light emitting element 12.

図8は、接着剤55上に受光素子13が実装された状態を示している。前述のように、塗布中心53は、実装中心54よりも発光素子12とは反対方向にずれて設定されている(図6参照)。そのため、接着剤55は受光素子13に潰されて図8の上下方向及び右方向にははみ出すが、発光素子12側(左方向)にははみ出さない(接着剤55の受光素子13内に示した点線部)。これにより、接着剤55が導電性接着剤である場合に、接着剤55が発光素子12側にはみ出して配線電極18に接触しショートする問題を回避できる。   FIG. 8 shows a state in which the light receiving element 13 is mounted on the adhesive 55. As described above, the application center 53 is set so as to be shifted in the opposite direction to the light emitting element 12 from the mounting center 54 (see FIG. 6). Therefore, the adhesive 55 is crushed by the light receiving element 13 and protrudes in the vertical direction and the right direction in FIG. 8, but does not protrude on the light emitting element 12 side (left direction) (shown in the light receiving element 13 of the adhesive 55). Dotted line part). Thereby, when the adhesive 55 is a conductive adhesive, the problem that the adhesive 55 protrudes to the light emitting element 12 side and contacts the wiring electrode 18 can be avoided.

〈第6の実施の形態〉
第6の実施の形態では、第1の実施の形態に係る光学パッケージ10を搭載した光学ユニットの例を示す。第6の実施の形態では、光学パッケージ10に搭載された発光素子12は複数の光ビーム(マルチビーム)を出射可能なものとする。なお、第6の実施の形態において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する。ここでは、第1の実施の形態に係る光学パッケージを例にして説明するが、第2〜第4の実施の形態に係る光学パッケージを搭載しても構わない。
<Sixth embodiment>
In the sixth embodiment, an example of an optical unit on which the optical package 10 according to the first embodiment is mounted will be described. In the sixth embodiment, the light emitting element 12 mounted on the optical package 10 can emit a plurality of light beams (multi-beams). Note that in the sixth embodiment, a description of the same components as those of the already described embodiments is omitted. Here, the optical package according to the first embodiment will be described as an example, but the optical packages according to the second to fourth embodiments may be mounted.

図9は、第6の実施の形態に係る光学ユニットを例示する斜視図である。図10は、図9に示す光学ユニットをXY面において切断した断面図である。   FIG. 9 is a perspective view illustrating an optical unit according to the sixth embodiment. FIG. 10 is a cross-sectional view of the optical unit shown in FIG. 9 taken along the XY plane.

図9及び図10を参照するに、第6の実施の形態に係る光学ユニット200は、ベース部材207とホルダ部材208とを、カップリングレンズ202の光軸Aに直交する基準面で接合し、ネジ249で締結することにより一体化した構成とされている。光学ユニット200において、カップリングレンズ202は、ホルダ部材208に保持されている。光学パッケージ10が実装された制御基板206は、ベース部材207に保持されている。   Referring to FIGS. 9 and 10, the optical unit 200 according to the sixth embodiment joins the base member 207 and the holder member 208 with a reference plane orthogonal to the optical axis A of the coupling lens 202, The structure is integrated by fastening with a screw 249. In the optical unit 200, the coupling lens 202 is held by a holder member 208. The control board 206 on which the optical package 10 is mounted is held by the base member 207.

本実施の形態では、ベース部材207及びホルダ部材208は、何れもアルミダイキャストにより形成しているが、略同一の熱膨張係数を有する異なる材料により形成してもよい。   In this embodiment, the base member 207 and the holder member 208 are both formed by aluminum die casting, but may be formed by different materials having substantially the same thermal expansion coefficient.

本実施の形態では、板金で形成された付勢部材209の板ばね部220により、光学パッケージ10を制御基板206の裏側から押圧する。そして、3点のアンカー部(折り曲げ部)218を制御基板206に設けられた3ヶ所の穴219に嵌合し、制御基板206を図示しない基準面に寄せ組み(突き当て)する。これにより、ベース部材207に対する光学パッケージ10の位置決めがなされる。なお、光学パッケージ10の位置基準は、光学ユニット200を構成する他の部材の位置基準と同じとされている。   In the present embodiment, the optical package 10 is pressed from the back side of the control board 206 by the leaf spring portion 220 of the urging member 209 formed of sheet metal. Then, the three anchor portions (folded portions) 218 are fitted into the three holes 219 provided in the control board 206, and the control board 206 is brought together (butted against) a reference surface (not shown). Thereby, the optical package 10 is positioned with respect to the base member 207. Note that the position reference of the optical package 10 is the same as the position reference of other members constituting the optical unit 200.

ベース部材207には、3ヶ所のスタッド216が形成されており、制御基板206に設けられた貫通穴217を貫通し、スタッド216に付勢部材209をネジ223により締結することにより、制御基板206とベース部材207とが接続されている。制御基板206は、付勢部材209により裏側から押圧されており、制御基板206をベース部材207等に直接締結しない構成なので、制御基板206に負担をかけることなく、確実に、ベース部材207に光学パッケージ10を位置決め及び支持できる。   The base member 207 is formed with three studs 216, penetrates through holes 217 provided in the control board 206, and fastens the biasing member 209 to the stud 216 with screws 223, thereby controlling the control board 206. And the base member 207 are connected. Since the control board 206 is pressed from the back side by the urging member 209 and is not configured to be fastened directly to the base member 207 or the like, the control board 206 is optically applied to the base member 207 without burdening the control board 206. The package 10 can be positioned and supported.

なお、付勢部材209は弾性を有する材料であれば、樹脂材料、ゴム材料等で形成してもよい。よって、板バネ部に代えて、ゴム材料等からなる弾性部材を挟み込んでもよい。   The urging member 209 may be formed of a resin material, a rubber material, or the like as long as it has elasticity. Therefore, instead of the leaf spring portion, an elastic member made of a rubber material or the like may be sandwiched.

又、カップリングレンズ202は、ホルダ部材208に形成された円筒面230に、コバ部との隙間に接着剤を充填することにより固定されている。カップリングレンズ202の光軸Aに直交する面Bと光学パッケージ10の配列面との平行性を合わせるために、当接面248に、光学パッケージ10の表面側を突き当てて搭載する。   Further, the coupling lens 202 is fixed to the cylindrical surface 230 formed on the holder member 208 by filling the gap with the edge portion with an adhesive. In order to match the parallelism of the surface B perpendicular to the optical axis A of the coupling lens 202 and the arrangement surface of the optical package 10, the surface side of the optical package 10 is abutted against and mounted on the contact surface 248.

ここで、光学パッケージ10の配列面とは、例えば、複数の面発光レーザが2次元に配列された面発光レーザアレイにおいて、複数の面発光レーザが配列された面である。なお、当接面248は、カップリングレンズ202の光軸Aに直交する面Bと平行となるように形成されている。これにより、カップリングレンズ202の位置を定めることができ、光ビームの出射方向を当接面248に直交した方向とすることができる。   Here, the arrangement surface of the optical package 10 is, for example, a surface on which a plurality of surface emitting lasers are arranged in a surface emitting laser array in which a plurality of surface emitting lasers are two-dimensionally arranged. The contact surface 248 is formed so as to be parallel to the surface B perpendicular to the optical axis A of the coupling lens 202. Thereby, the position of the coupling lens 202 can be determined, and the emission direction of the light beam can be set to a direction orthogonal to the contact surface 248.

なお、図9において、211はブラケット部材、214は斜面、225はアーム部、226は調節ネジ、227はスプリング、231は補強部材、224は位置決めピン、239は位置決め穴をそれぞれ示す。なお、203は、中央部に光ビーム径よりも小さい径の開口が設けられたアパーチャーミラーである。光学パッケージ10から出射された光ビームは、アパーチャーミラー203の開口を経由してカップリングレンズ202に入射する。   In FIG. 9, 211 is a bracket member, 214 is a slope, 225 is an arm portion, 226 is an adjusting screw, 227 is a spring, 231 is a reinforcing member, 224 is a positioning pin, and 239 is a positioning hole. Reference numeral 203 denotes an aperture mirror in which an opening having a diameter smaller than the light beam diameter is provided at the center. The light beam emitted from the optical package 10 enters the coupling lens 202 through the aperture of the aperture mirror 203.

又、本実施の形態における光学ユニット200は、ブラケット部材211に設けられた嵌合穴234にホルダ部材208の円筒部を挿入し、板ばね212の係止爪229を円筒部溝に係合して、光軸Aに直交する面内で回動可能に支持される。そして、後述するポリゴンミラーやfθレンズが支持される不図示のハウジングに固定される。   Further, in the optical unit 200 in the present embodiment, the cylindrical portion of the holder member 208 is inserted into the fitting hole 234 provided in the bracket member 211, and the latching claw 229 of the leaf spring 212 is engaged with the cylindrical portion groove. Thus, it is supported so as to be rotatable in a plane orthogonal to the optical axis A. And it fixes to the housing not shown in which the polygon mirror and f (theta) lens which are mentioned later are supported.

このように、第6の実施の形態では、受光部光学系を大幅に削減できかつ高信頼性の光学パッケージ10を搭載しているので、変動が少ないマルチビーム光を作ることができ、低コストの光学ユニット200を提供できる。   As described above, in the sixth embodiment, the light receiving unit optical system can be greatly reduced and the highly reliable optical package 10 is mounted, so that multi-beam light with less fluctuation can be produced, and the cost can be reduced. The optical unit 200 can be provided.

〈第7の実施の形態〉
第7の実施の形態では、第6の実施の形態に係る光学ユニット200を搭載し、4ステーションを走査するマルチビーム走査装置の例を示す。なお、第7の実施の形態において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する。
<Seventh embodiment>
In the seventh embodiment, an example of a multi-beam scanning device that mounts the optical unit 200 according to the sixth embodiment and scans four stations is shown. Note that in the seventh embodiment, a description of the same components as those of the above-described embodiment will be omitted.

図11は、第7の実施の形態に係るマルチビーム走査装置を例示する斜視図である。図11を参照するに、マルチビーム走査装置300は、光学ユニットからの4ステーション分に相当する複数の光ビームを、単一のポリゴンミラー(光偏向部)により、被走査面を有する各感光体ドラム(像担持体)に偏向、走査するように一体化されている。   FIG. 11 is a perspective view illustrating a multi-beam scanning device according to the seventh embodiment. Referring to FIG. 11, the multi-beam scanning device 300 uses a single polygon mirror (light deflecting unit) to generate a plurality of light beams corresponding to four stations from the optical unit. It is integrated with a drum (image carrier) so as to be deflected and scanned.

4つの感光体ドラム301、302、303及び304は転写体の矢印Eで示す移動方向に沿って等間隔で配列され、順次異なる色のトナー像を転写し重ね合わせることでカラー画像を形成する。各感光体ドラムを走査する光走査装置は、一体として構成されており、2段に構成されたポリゴンミラー306により各々光ビームを走査する。   The four photosensitive drums 301, 302, 303, and 304 are arranged at equal intervals along the moving direction indicated by the arrow E of the transfer body, and sequentially transfer and superimpose different color toner images to form a color image. The optical scanning device that scans each photosensitive drum is configured as a single unit, and scans each light beam by a polygon mirror 306 configured in two stages.

光学ユニット200及び200は、同一方向に走査する2ステーションに対し1個ずつ配備されている。光学ユニット200及び200の各々からの出射光は、光束分割プリズム308及び310を用い、ポリゴンミラー306の上下面に対応して上下2段に光ビームを分岐し、各感光体ドラムに交互に各ステーションに対応した画像を形成していく。なお、光学ユニット200及び200は、便宜上別符号としているが、何れも第6の実施の形態に係る光学ユニット200と同一構成である。 The optical unit 200 1 and 200 2 are deployed one by one to 2 stations for scanning in the same direction. Light emitted from each of the optical units 200 1 and 200 2, using a light beam dividing prism 308 and 310, the light beam branched into upper and lower stages so as to correspond to the upper and lower surfaces of the polygon mirror 306, alternating the respective photosensitive drums Then, an image corresponding to each station is formed. The optical unit 200 1 and 200 2, for convenience are separate codes, both the same configuration as the optical unit 200 according to the sixth embodiment.

光学ユニット200及び200と、fθレンズ320及び321並びにトロイダルレンズとは、ポリゴンミラー306の回転軸を含み感光体ドラムの回転軸に平行な対称面に対し対称に配備されている。そして、ポリゴンミラー306により、各光学ユニットからの光ビームは相反する方向に偏向され、各感光体ドラムに導かれる。 The optical units 200 1 and 200 2 , the fθ lenses 320 and 321, and the toroidal lens are arranged symmetrically with respect to a symmetry plane that includes the rotation axis of the polygon mirror 306 and is parallel to the rotation axis of the photosensitive drum. The light beam from each optical unit is deflected in opposite directions by the polygon mirror 306 and guided to each photosensitive drum.

従って、各ステーションにおける走査方向は対向する各感光体ドラムで相反する方向となり、記録領域の幅、言いかえれば主走査方向の倍率を合わせ、一方の走査開始端ともう一方の走査終端とが一致するように静電像を書き込んでいく。   Therefore, the scanning direction at each station is the opposite direction between the opposing photosensitive drums, and the width of the recording area, in other words, the magnification in the main scanning direction is matched, and one scanning start end coincides with the other scanning end. The electrostatic image is written as if.

なお、液晶偏向素子317及び318では液晶の配列方向に合った偏光成分のみが偏向されるため、発光素子の偏光方向は一方向に揃えられる。   Note that, in the liquid crystal deflecting elements 317 and 318, only the polarization component that matches the alignment direction of the liquid crystal is deflected, so that the polarization direction of the light emitting elements is aligned in one direction.

光束分割プリズム308は、ハーフミラー面と、このハーフミラー面と平行なミラー面とを有する。光学ユニット200からの複数のビームは、各々ハーフミラー面で1/2の光量が反射され、残りの1/2は透過して上下に2分岐され、方向を揃えて副走査方向に所定間隔をもって射出される。 The beam splitting prism 308 has a half mirror surface and a mirror surface parallel to the half mirror surface. Multiple beams from the optical unit 200 1, each reflected light amount of 1/2 the half mirror surface, the other half is split into two vertically passes through a predetermined distance in the sub-scanning direction aligned with the direction It is injected with.

液晶偏向素子317は、光束分割プリズム308の射出面の上下に各々配備されている。液晶偏向素子317は、電圧を印可すると副走査方向に電位分布を生じて液晶の配向が変化し、屈折率分布を発生して光線の方向を傾けることができ、印可電圧に応じて感光体ドラム面上の走査位置を可変できる。   The liquid crystal deflecting elements 317 are respectively provided above and below the exit surface of the light beam splitting prism 308. When a voltage is applied, the liquid crystal deflecting element 317 generates a potential distribution in the sub-scanning direction to change the orientation of the liquid crystal, generate a refractive index distribution, and can incline the direction of the light beam. The scanning position on the surface can be varied.

シリンダレンズ313及び314は、分岐された各光ビームに対応して2段に設けられている。シリンダレンズ313及び314の一方は光軸を中心に回動調整可能に取り付けられ、各々の焦線が平行となるように調節できるようにしており、副走査方向に6mm間隔に2段に構成されたポリゴンミラー306の各々に入射される。   The cylinder lenses 313 and 314 are provided in two stages corresponding to the branched light beams. One of the cylinder lenses 313 and 314 is mounted so as to be rotatable about the optical axis, and can be adjusted so that the respective focal lines are parallel, and is configured in two stages at intervals of 6 mm in the sub-scanning direction. The incident light enters each of the polygon mirrors 306.

シリンダレンズ313及び314は、少なくとも副走査方向に正の曲率を有し、ポリゴンミラー面上で一旦ビームを収束させることで、後述するトロイダルレンズとにより、偏向点と感光体面上とを副走査方向に共役関係とする面倒れ補正光学系をなす。   The cylinder lenses 313 and 314 have a positive curvature at least in the sub-scanning direction, and once converge the beam on the polygon mirror surface, and then a toroidal lens, which will be described later, causes the deflection point and the photoconductor surface to move in the sub-scanning direction. A surface tilt correction optical system having a conjugate relation with the above is formed.

ポリゴンミラー306は4面で、同一の偏向面により各発光点列からの複数のビームを一括で偏向、走査する。上下のポリゴンミラー306の位相は45°ずつずれており、光ビームの走査は上下段で交互に行われる。   The polygon mirror 306 has four surfaces, and deflects and scans a plurality of beams from each light emitting point array by the same deflection surface. The phases of the upper and lower polygon mirrors 306 are shifted by 45 °, and the scanning of the light beam is alternately performed in the upper and lower stages.

走査光学系はfθレンズとトロイダルレンズとからなり、何れもプラスチック成形により作製されたものである。fθレンズ320は、主走査方向にはポリゴンミラー306の回転に伴って感光体面上でビームが等速に移動するようにパワーを持たせた非円弧面形状となし、層状に2段に積み重ねて一体に構成される。   The scanning optical system includes an fθ lens and a toroidal lens, both of which are manufactured by plastic molding. The fθ lens 320 has a non-circular arc surface shape in which power is given so that the beam moves at a constant speed on the surface of the photoconductor as the polygon mirror 306 rotates in the main scanning direction, and is stacked in two layers in layers. It is constructed integrally.

トロイダルレンズを通った走査ビームは各々、走査開始側に配備された光検知センサ338及び340、走査終端側に配備された光検知センサ339及び341に入射される。そして、光検知センサ338及び340の検出信号を基に各々発光素子毎の同期検知信号を生成し、書込み開始のタイミングをとる。   The scanning beams that have passed through the toroidal lens are incident on light detection sensors 338 and 340 provided on the scanning start side and light detection sensors 339 and 341 provided on the scanning end side, respectively. Then, based on the detection signals of the light detection sensors 338 and 340, a synchronization detection signal for each light emitting element is generated, and the writing start timing is taken.

一方、走査終端側に配備された光検知センサ339及び341の検出信号は、各々走査開始側に配備された光検知センサ338及び340からの光ビームの検出時間差を計測し、予め定められた基準値と比較して、各発光素子を変調する画素クロックを可変する。これにより、後述するように、主走査方向の倍率のずれを補正している。   On the other hand, the detection signals of the light detection sensors 339 and 341 provided on the scanning end side measure the detection time difference of the light beams from the light detection sensors 338 and 340 provided on the scanning start side, respectively. Compared with the value, the pixel clock for modulating each light emitting element is varied. As a result, as will be described later, the magnification deviation in the main scanning direction is corrected.

図12に副走査断面における光線の経路を示す。複数の発光素子は、カップリングレンズの光軸に対して対称に配置されている。カップリングレンズによって平行光束に変換された各光線は、光学ユニット200から射出した後、カップリングレンズの後側焦点の近傍で一旦収束し、主走査方向には光線間隔を広げつつfθレンズ320に入射する。すなわち、副走査方向にはシリンダレンズ313及び314により、ポリゴンミラー306の偏向面の近傍で再度収束されてfθレンズ320に入射される。 FIG. 12 shows the path of the light beam in the sub-scan section. The plurality of light emitting elements are arranged symmetrically with respect to the optical axis of the coupling lens. Each light beam is converted into a parallel beam by the coupling lens, after emitted from the optical unit 200 1, once converged near the rear focal point of the coupling lens, the main scanning direction fθ lens while widening the beam spacing 320 Is incident on. That is, in the sub-scanning direction, the light is converged again in the vicinity of the deflection surface of the polygon mirror 306 by the cylinder lenses 313 and 314 and is incident on the fθ lens 320.

また、上記したように、光学ユニット200からの複数の光ビームは光束分割プリズム308によって副走査方向上下に2分岐され、各ステーションに対応する感光体ドラムに導かれる。 Further, as described above, a plurality of light beams from the optical unit 200 1 is branched into two in the sub-scanning direction and down by the beam splitting prism 308, it is guided to the photosensitive drum corresponding to each station.

光束分割プリズム308の下段から射出した複数の発光素子からのビーム401は、シリンダレンズ313を介してポリゴンミラー306の下段で偏向、走査され、fθレンズ320の下段を通って折返しミラー329によりトロイダルレンズ323に入射する。そして、折返しミラー330を介して感光体ドラム301上にスポット状に結像し、第1の画像形成ステーションとしてイエロー色の画像情報に対応した潜像を形成する。   Beams 401 from the plurality of light emitting elements emitted from the lower stage of the beam splitting prism 308 are deflected and scanned at the lower stage of the polygon mirror 306 through the cylinder lens 313, pass through the lower stage of the fθ lens 320, and are returned to the toroidal lens by the return mirror 329. 323 is incident. Then, a spot image is formed on the photosensitive drum 301 via the folding mirror 330, and a latent image corresponding to yellow image information is formed as a first image forming station.

光束分割プリズム308の上段から射出した複数の発光素子からのビーム402は、シリンダレンズ314を介しポリゴンミラー306の上段で偏向、走査され、fθレンズ320の上段を通って折返しミラー327によりトロイダルレンズ324に入射する。そして、折返しミラー328を介して感光体ドラム302上にスポット状に結像し、第2の画像形成ステーションとしてマゼンタ色の画像情報に対応した潜像を形成する。   Beams 402 from a plurality of light emitting elements emitted from the upper stage of the beam splitting prism 308 are deflected and scanned at the upper stage of the polygon mirror 306 via the cylinder lens 314, pass through the upper stage of the fθ lens 320, and then the toroidal lens 324 by the return mirror 327. Is incident on. Then, a spot image is formed on the photosensitive drum 302 via the folding mirror 328, and a latent image corresponding to magenta image information is formed as a second image forming station.

同様に、対向するステーションにおいても、光学ユニット200からの複数の光ビームは、光束分割プリズム310によって上下に2分岐され、液晶偏向素子318を介し各ステーションに対応する感光体ドラムに導かれる。 Similarly, in the station opposite, the plurality of light beams from the optical unit 200 2, split into two up and down by the beam splitting prism 310, it is guided to the photosensitive drum corresponding to each station via a liquid crystal deflection element 318.

光束分割プリズム310の下段から射出した複数の発光素子からのビーム403は、シリンダレンズ315を介してポリゴンミラー306の下段で偏向、走査され、fθレンズ321の下段を通って折返しミラー332によりトロイダルレンズ326に入射する。そして、折返しミラー333を介して感光体ドラム304上にスポット状に結像し、第4の画像形成ステーションとしてブラック色の画像情報に対応した潜像を形成する。   Beams 403 from a plurality of light emitting elements emitted from the lower stage of the light beam splitting prism 310 are deflected and scanned at the lower stage of the polygon mirror 306 through the cylinder lens 315, pass through the lower stage of the fθ lens 321, and are returned to the toroidal lens by the return mirror 332. 326 is incident. Then, a spot image is formed on the photosensitive drum 304 via the folding mirror 333, and a latent image corresponding to black image information is formed as a fourth image forming station.

光束分割プリズム310の上段から射出した複数の発光素子からのビーム404は、シリンダレンズ316を介してポリゴンミラー306の上段で偏向、走査され、fθレンズ321の上段を通って折返しミラー335によりトロイダルレンズ325に入射する。そして、折返しミラー336を介して感光体ドラム303上にスポット状に結像し、第3の画像形成ステーションとしてシアン色の画像情報に対応した潜像を形成する。   Beams 404 from the plurality of light emitting elements emitted from the upper stage of the beam splitting prism 310 are deflected and scanned on the upper stage of the polygon mirror 306 via the cylinder lens 316, pass through the upper stage of the fθ lens 321, and are turned on the toroidal lens by the return mirror 335. 325 is incident. Then, a spot image is formed on the photosensitive drum 303 via the folding mirror 336, and a latent image corresponding to cyan image information is formed as a third image forming station.

なお、本実施の形態では、トナー像の検出パターンの検出手段を有している。トナー像の検出パターンの検出手段は、照明用のLED素子354と反射光を受光するフォトセンサ355、及び一対の集光レンズ356とを含み、主走査ラインと約45°傾けたラインパターンを形成し、転写ベルトの移動に応じて検出時間差を読み取っていく。   In the present embodiment, a toner image detection pattern detection unit is provided. The toner image detection pattern detection means includes an LED element 354 for illumination, a photosensor 355 for receiving reflected light, and a pair of condensing lenses 356, and forms a line pattern inclined by about 45 ° with respect to the main scanning line. Then, the detection time difference is read according to the movement of the transfer belt.

本実施の形態では、トナー像の検出パターンの検出手段を中央部と左右両端部との3ヶ所に配備することで、左右両端部の差により傾きを、中央から左右端部までの各倍率を検出し、基準となるステーションに合わせ込むように補正する。言い換えれば、長時間ビームスポット位置が安定的に保持されていることが好ましい。   In the present embodiment, the toner image detection pattern detection means is provided at three locations, the center portion and the left and right end portions, so that the inclination is determined by the difference between the left and right end portions, and each magnification from the center to the left and right end portions is increased. Detect and correct to match the reference station. In other words, it is preferable that the beam spot position is stably held for a long time.

このように、第7の実施の形態では、低コストかつ高信頼性の光学ユニット200及び200を搭載している。その結果、結像位置を感光体面上に精度良く調整でき、高精度高信頼性の高い潜像を得ることができ、かつ低コストのマルチビーム走査装置300を提供できる。 Thus, in the seventh embodiment, it is equipped with optical unit 200 1 and 200 2 of low cost and high reliability. As a result, the imaging position can be adjusted on the surface of the photosensitive member with high accuracy, a highly accurate and highly reliable latent image can be obtained, and the low-cost multi-beam scanning device 300 can be provided.

〈第8の実施の形態〉
第8の実施の形態では、第7の実施の形態に係るマルチビーム走査装置300を搭載した画像形成装置の例を示す。なお、第8の実施の形態において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する。
<Eighth embodiment>
In the eighth embodiment, an example of an image forming apparatus equipped with the multi-beam scanning device 300 according to the seventh embodiment will be described. Note that in the eighth embodiment, description of the same components as in the already described embodiments is omitted.

図13は、第8の実施の形態に係る画像形成装置を例示する構成図である。図13を参照するに、画像形成装置500において、感光体ドラム501の周囲に帯電チャージャ502、現像ローラ503、トナーカートリッジ504、及びクリーニングケース505が配置されている。感光体ドラムへは上記したようにポリゴンミラー1面毎の走査により複数ライン(本実施の形態の例では4ライン)同時に画像記録が行われる。   FIG. 13 is a configuration diagram illustrating an image forming apparatus according to the eighth embodiment. Referring to FIG. 13, in the image forming apparatus 500, a charging charger 502, a developing roller 503, a toner cartridge 504, and a cleaning case 505 are disposed around the photosensitive drum 501. As described above, a plurality of lines (four lines in the example of the present embodiment) are simultaneously recorded on the photosensitive drum by scanning each surface of the polygon mirror.

帯電チャージャ502は、感光体を高圧に帯電する機能を有する。現像ローラ503は、マルチビーム走査装置300により記録された静電潜像に帯電したトナーを付着して顕像化する現像手段としての機能を有する。トナーカートリッジ504は、現像ローラ503にトナーを補給する機能を有する。クリーニングケース505は、ドラムに残ったトナーを掻き取り備蓄する機能を有する。   The charging charger 502 has a function of charging the photosensitive member to a high voltage. The developing roller 503 has a function as a developing unit that attaches a charged toner to the electrostatic latent image recorded by the multi-beam scanning device 300 to visualize the electrostatic latent image. The toner cartridge 504 has a function of supplying toner to the developing roller 503. The cleaning case 505 has a function of scraping and storing toner remaining on the drum.

上記した画像形成ステーションは転写手段である転写ベルト506の移動方向に並列され、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックのトナー画像が転写ベルト上にタイミングを合わせて順次転写され、重ね合わされてカラー画像が形成される。各画像形成ステーションはトナー色が異なるだけで、基本的には同一構成である。   The above-described image forming stations are arranged in parallel in the moving direction of the transfer belt 506 serving as a transfer unit, and toner images of yellow, magenta, cyan, and black are sequentially transferred onto the transfer belt in a timely manner and superimposed to form a color image. Is done. Each image forming station has basically the same configuration except that the toner color is different.

一方、記録紙は給紙トレイ507から給紙コロ508により供給され、レジストローラ対509により副走査方向の記録開始のタイミングに合わせて送り出される。そして、転写ベルトよりカラー画像が転写されて、定着ローラ510で定着して排紙ローラ512により排紙トレイ511に排出される。   On the other hand, the recording paper is supplied from the paper supply tray 507 by the paper supply roller 508 and is sent out by the registration roller pair 509 in accordance with the recording start timing in the sub-scanning direction. Then, the color image is transferred from the transfer belt, fixed by the fixing roller 510, and discharged to the discharge tray 511 by the discharge roller 512.

このように、第8の実施の形態では、低コストかつ信頼性の高いマルチビーム走査装置300を搭載しているので、結像位置を感光体面上に精度良く調整でき、高精度で信頼性の高い画像を得ることができ、かつ低コストの画像形成装置500を提供できる。   As described above, in the eighth embodiment, since the multi-beam scanning device 300 with low cost and high reliability is mounted, the imaging position can be accurately adjusted on the surface of the photoconductor, and high accuracy and reliability can be obtained. A high image can be obtained, and the low-cost image forming apparatus 500 can be provided.

なお、本実施の形態では、像担持体として感光体ドラムについて説明したが、像担持体としては、銀塩フィルムを用いた画像形成装置であってもよい。この場合には、光走査により銀塩フィルム上に潜像が形成され、この潜像は通常の銀塩写真プロセスにおける現像処理と同様の処理により可視化させることができる。そして、通常の銀塩写真プロセスにおける焼き付け処理と同様の処理により印画紙に転写することが可能である。このような画像形成装置は、光製版装置や、CTスキャン画像等を描画する光描画装置として実施することが可能である。   In this embodiment, the photosensitive drum is described as the image carrier, but the image carrier may be an image forming apparatus using a silver salt film. In this case, a latent image is formed on the silver salt film by optical scanning, and this latent image can be visualized by a process similar to a developing process in a normal silver salt photographic process. Then, it can be transferred to photographic paper by the same process as the printing process in the ordinary silver salt photographic process. Such an image forming apparatus can be implemented as an optical plate making apparatus or an optical drawing apparatus that draws a CT scan image or the like.

又、像担持体としてビームスポットの熱エネルギーにより発色する発色媒体(ポジの印画紙)を用いた画像形成装置であってもよい。この場合においては、光走査により可視画像を直接像担持体に形成することが可能である。   Further, an image forming apparatus using a color developing medium (positive printing paper) that develops color by the heat energy of a beam spot as an image carrier may be used. In this case, a visible image can be directly formed on the image carrier by optical scanning.

以上、好ましい実施の形態について詳説したが、上述した実施の形態に制限されることはなく、特許請求の範囲に記載された範囲を逸脱することなく、上述した実施の形態に種々の変形及び置換を加えることができる。   The preferred embodiment has been described in detail above. However, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications and substitutions may be made to the above-described embodiment without departing from the scope described in the claims. Can be added.

10、10A、10B、10C 光学パッケージ
11 基体
11x 凹部
12 発光素子
13 受光素子
13x 受光素子が実装される位置
14 接合板
15 フレーム
16 カバーガラス
17 発光エリア
18 配線電極
19 ボンディングワイヤ
20 接合材
21、22、31、32、41 基準パターン
31a、32a 直線部
31b、32b 円形部
31h、32h 辺
31o、32o 中心
33 給電パターン
51 電極
52 パターン
53 塗布中心
54 実装中心
55 接着剤
200 光学ユニット
300 マルチビーム走査装置
500 画像形成装置
I、J、K、L 線
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10, 10A, 10B, 10C Optical package 11 Base | substrate 11x Recessed part 12 Light emitting element 13 Light receiving element 13x Position where a light receiving element is mounted 14 Bonding plate 15 Frame 16 Cover glass 17 Light emitting area 18 Wiring electrode 19 Bonding wire 20 Bonding material 21, 22 , 31, 32, 41 Reference pattern 31a, 32a Linear portion 31b, 32b Circular portion 31h, 32h Side 31o, 32o Center 33 Feed pattern 51 Electrode 52 Pattern 53 Application center 54 Mounting center 55 Adhesive 200 Optical unit 300 Multi-beam scanning device 500 Image forming apparatus I, J, K, L lines

特開2004−79967号公報JP 2004-79967 A

Claims (11)

凹部が設けられた基体と、
前記凹部の底部に実装された発光素子及び受光素子と、を有し、
前記凹部の底部には、前記発光素子及び前記受光素子を実装するための基準となる基準パターンが設けられており、
前記基準パターンは、直線部を含み、
前記直線部は、平面視において、前記発光素子の一辺又は前記受光素子の一辺のうち何れか一辺と対向するように配置され、
前記直線部の長手方向の長さは、前記何れか一辺の長さ以上に設定されている光学パッケージ。
A substrate provided with a recess;
A light emitting element and a light receiving element mounted on the bottom of the recess,
A reference pattern serving as a reference for mounting the light emitting element and the light receiving element is provided at the bottom of the recess,
The reference pattern includes a straight line portion,
The linear portion is arranged so as to face either one of the one side of the light emitting element or the one side of the light receiving element in a plan view,
The length of the longitudinal direction of the linear portion is an optical package set to be equal to or longer than the length of any one side.
前記直線部の長手方向の長さは、前記何れか一辺の長さの2倍以上に設定されている請求項1記載の光学パッケージ。   2. The optical package according to claim 1, wherein a length of the linear portion in a longitudinal direction is set to be twice or more as long as any one side. 前記基準パターンは、直線部を有する第1の基準パターンと、前記直線部と直交する他の直線部を有する第2の基準パターンと、を含み、
前記他の直線部は、平面視において、前記発光素子の一辺又は前記受光素子の一辺のうち前記何れか一辺とは異なる一辺と対向するように配置されている請求項1又は2記載の光学パッケージ。
The reference pattern includes a first reference pattern having a straight line portion and a second reference pattern having another straight line portion orthogonal to the straight line portion,
3. The optical package according to claim 1, wherein the other linear portion is disposed so as to face one side different from any one of the one side of the light emitting element or the one side of the light receiving element in a plan view. .
前記直線部及び前記他の直線部の各々の一端に円形部が連結されている請求項3記載の光学パッケージ。   The optical package according to claim 3, wherein a circular part is connected to one end of each of the straight part and the other straight part. 各々の前記円形部の中心を結ぶ線は、理想的に実装されたときの前記発光素子の光学中心を通る請求項4記載の光学パッケージ。   The optical package according to claim 4, wherein a line connecting the centers of the circular portions passes through an optical center of the light emitting element when ideally mounted. 前記直線部と前記他の直線部とは連結しており、
前記直線部及び前記他の直線部は、ビアホールを介すことなく、前記基体の外部から給電可能な任意の電極と接続されている請求項3乃至5の何れか一項記載の光学パッケージ。
The straight part and the other straight part are connected,
6. The optical package according to claim 3, wherein the straight line part and the other straight line part are connected to an arbitrary electrode capable of supplying power from the outside of the substrate without via holes.
前記凹部の底部には、前記受光素子を固定するための接着剤を塗布する位置を示した塗布位置表示パターンが設けられており、
前記塗布位置表示パターンの中心は、前記受光素子の実装中心と一致していない請求項1乃至6の何れか一項記載の光学パッケージ。
An application position display pattern indicating a position for applying an adhesive for fixing the light receiving element is provided at the bottom of the recess,
The optical package according to any one of claims 1 to 6, wherein a center of the application position display pattern does not coincide with a mounting center of the light receiving element.
前記凹部の底部には、前記受光素子を実装する電極が設けられており、
前記塗布位置表示パターンは、前記電極の所定部をくりぬいて形成されている請求項7記載の光学パッケージ。
An electrode for mounting the light receiving element is provided at the bottom of the recess,
The optical package according to claim 7, wherein the application position display pattern is formed by hollowing out a predetermined portion of the electrode.
請求項1乃至8の何れか一項記載の光学パッケージを搭載した光学ユニットであって、
前記発光素子は、複数の光ビームを出射可能な構成とされていることを特徴とする光学ユニット。
An optical unit on which the optical package according to any one of claims 1 to 8 is mounted,
The light emitting device is configured to emit a plurality of light beams.
光によって被走査面を走査するマルチビーム走査装置であって、
請求項9記載の光学ユニットと、
前記光学ユニットからの複数の光ビームを偏向する光偏向部と、
前記光偏向部により偏向された各光ビームを前記被走査面上に集光する走査光学系と、を有することを特徴とするマルチビーム走査装置。
A multi-beam scanning device that scans a surface to be scanned with light,
The optical unit according to claim 9,
A light deflector for deflecting a plurality of light beams from the optical unit;
A multi-beam scanning apparatus comprising: a scanning optical system that condenses each light beam deflected by the light deflection unit on the surface to be scanned.
請求項10記載のマルチビーム走査装置と、
複数の光ビームにより静電像を形成する像担持体と、
前記静電像をトナーにより顕像化する現像手段と、
現像されたトナー像を記録紙に転写する転写手段と、を有することを特徴とする画像形成装置。
A multi-beam scanning device according to claim 10;
An image carrier that forms an electrostatic image with a plurality of light beams;
Developing means for visualizing the electrostatic image with toner;
An image forming apparatus comprising: a transfer unit that transfers the developed toner image onto a recording sheet.
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