JP2014097469A - Applicator and sticking device - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an applicator which can uniformly apply a coating liquid, and to provide a sticking device which can efficiently perform sticking operation by carrying out a step of uniformly applying an adhesive and a sticking step using the adhesive in a through line.SOLUTION: An applicator includes: an application nozzle which applies a coating liquid to a substrate while reciprocating along a width direction intersecting a carrying direction of the substrate carried in a predetermined direction; and a heating part which heats a part corresponding to a turn position of the reciprocating movement of the application nozzle in the substrate.

Description

本発明は、塗布装置及び貼付装置に関する。   The present invention relates to a coating apparatus and a pasting apparatus.

従来、フィルムを搬送しつつ、基板に貼り付ける貼り付け装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。   2. Description of the Related Art Conventionally, there has been known an attaching device for attaching a film to a substrate while conveying the film (for example, see Patent Document 1).

特許第４５６８３７４号公報Japanese Patent No. 4568374

ところで、従来技術においては、基板への貼り付けを行う前にフィルム材に接着材を塗布する必要があり、別途接着剤（塗布液）を塗布するための塗布装置が必要となっていた。このような塗布装置においては、フィルムと基板との間で良好な接着性を確保するため、接着剤をムラ無く塗布できることが要求されている。
そこで、フィルムに接着剤の塗布工程と、接着剤を塗布したフィルムの基板への貼り付け工程とを一貫ラインで行うとともに接着剤のムラを無くすことでフィルムを基板に良好に貼り付けることができる新たな技術の提供が望まれている。 By the way, in the prior art, it is necessary to apply an adhesive to a film material before attaching to a substrate, and a coating apparatus for applying an adhesive (coating liquid) separately is required. In such a coating apparatus, in order to ensure good adhesion between the film and the substrate, it is required that the adhesive can be applied evenly.
Therefore, the film can be satisfactorily affixed to the substrate by performing the process of applying the adhesive to the film and the process of adhering the film with the adhesive applied to the substrate in an integrated line and eliminating the unevenness of the adhesive. The provision of new technology is desired.

本発明は、このような課題に鑑みてなされたものであり、塗布液をムラなく塗布できる塗布装置を提供することを目的とする。また、本発明は、接着剤をムラなく塗布する工程及び該接着剤を介した貼り付け工程を一貫ラインで行うことで貼り付け作業を効率良く行うことができる貼付装置を提供することを目的とする。   This invention is made | formed in view of such a subject, and it aims at providing the coating device which can apply | coat a coating liquid uniformly. Another object of the present invention is to provide a sticking apparatus that can efficiently perform a sticking operation by performing a process of applying an adhesive uniformly and a sticking process via the adhesive in an integrated line. To do.

上記目的を達成するため、本発明の第１の態様に係る塗布装置は、所定方向に搬送される基材の搬送方向と交差する幅方向に沿って往復移動しながら前記基材に塗布液を塗布する塗布ノズルと、前記基材における前記塗布ノズルの前記往復移動の折返し位置に対応する部分を加温する加温部と、を備えることを特徴とする。   In order to achieve the above object, the coating apparatus according to the first aspect of the present invention applies the coating liquid to the substrate while reciprocating along the width direction intersecting the conveyance direction of the substrate conveyed in a predetermined direction. It is characterized by comprising a coating nozzle for coating, and a heating unit for heating a portion of the base material corresponding to the reciprocation position of the reciprocating movement of the coating nozzle.

本態様に係る塗布装置によれば、加温部によって基材における塗布ノズルの往復移動の折返し位置に対応する部分が加温されるので、基材上に塗布された塗布液を乾燥させることができる。そのため、塗布ノズルが往復移動の往路で基材に塗布された塗布液は、塗布ノズルが往復移動の復路で基材に塗布液を塗布する際に乾燥した状態とされている。よって、往復移動する塗布ノズルから塗布液で濡れた基材上に重ねて塗布液が塗布されてしまうのを抑制することができる。よって、基材の折返し位置に対応する部分において、乾燥前の塗布液が重ね塗りされることに起因する塗布ムラを無くすことができる。したがって、基材上に塗布液をムラなく塗布できる塗布装置が提供される。   According to the coating apparatus according to this aspect, the portion corresponding to the turning position of the reciprocating movement of the coating nozzle in the base material is heated by the heating unit, so that the coating liquid applied on the base material can be dried. it can. For this reason, the coating liquid applied to the base material by the reciprocating movement of the coating nozzle is in a dry state when the coating nozzle applies the coating liquid to the base material by the return path of the reciprocating movement. Therefore, it can suppress that a coating liquid is apply | coated on the base material wet with the coating liquid from the coating nozzle which moves reciprocally. Therefore, it is possible to eliminate coating unevenness caused by the repeated application of the coating liquid before drying at a portion corresponding to the turn-back position of the substrate. Therefore, a coating apparatus capable of coating the coating liquid on the substrate without unevenness is provided.

また、上記塗布装置においては、前記塗布ノズルは、前記基材における前記幅方向の両端で前記往復移動の折返しを行うことを特徴する。
この構成によれば、基材の幅方向の全域において塗布液をムラなく塗布することができる。 Moreover, in the said coating device, the said coating nozzle performs the return | turnback of the said reciprocation at the both ends of the said width direction in the said base material.
According to this configuration, the coating liquid can be applied evenly throughout the entire width direction of the substrate.

また、上記塗布装置においては、前記加温部は、温風吹出口から前記基材の両端にそれぞれ温風を吹き付けることを特徴とする。
この構成によれば、基板の両端に塗布された塗布液に温風を選択的に吹き付けることで乾燥させて塗布ムラの発生を防止できる。 Moreover, in the said coating device, the said heating part sprays warm air on the both ends of the said base material from a warm air blower outlet, respectively, It is characterized by the above-mentioned.
According to this configuration, it is possible to prevent the occurrence of uneven coating by drying by selectively blowing warm air to the coating liquid applied to both ends of the substrate.

また、上記塗布装置においては、前記温風吹出口は、前記基材に対して２５℃〜６０℃の温風を吹き付けることを特徴とする。
この構成によれば、基材に塗布された塗布液を良好に乾燥させることができる。 Moreover, in the said coating device, the said warm air blower outlet sprays the warm air of 25 to 60 degreeC with respect to the said base material.
According to this configuration, the coating liquid applied to the substrate can be dried well.

また、上記塗布装置においては、前記加温部は、前記温風吹出口からの前記基材に対する前記温風の吹き出し角度を調整する角度調整機構を有することを特徴とする。
この構成によれば、温風の吹き出し角度が適宜調整可能とされるので、基材に塗布された塗布液に対して温風を当てて効率良く乾燥させることができる。 Moreover, in the said coating device, the said heating part has an angle adjustment mechanism which adjusts the blowing angle of the said warm air with respect to the said base material from the said warm air blower outlet.
According to this configuration, since the blowing angle of the hot air can be adjusted as appropriate, it can be efficiently dried by applying the hot air to the coating liquid applied to the substrate.

また、上記塗布装置においては、前記加温部は、送風ユニットと、前記送風ユニットから供給された空気を加温するヒーターと、前記ヒーターで加温された空気を前記温風吹出口に導く経路の途中に設けられたフィルターと、を含むことを特徴とする。
この構成によれば、フィルターを通過することで異物が除去された温風を基材に当てることができる。よって、塗布液が乾燥して生成される塗布膜は、異物の混入といった不具合が無い信頼性の高い膜となる。 Further, in the coating apparatus, the heating unit includes a blower unit, a heater that heats air supplied from the blower unit, and a path that guides the air heated by the heater to the hot air outlet. And a filter provided on the way.
According to this structure, the warm air from which the foreign material has been removed by passing through the filter can be applied to the substrate. Therefore, the coating film produced by drying the coating liquid is a highly reliable film free from inconveniences such as contamination of foreign matters.

また、上記塗布装置においては、前記加温部は、前記塗布ノズルに対向する位置で支持する前記基材の裏面を直接加温する加温ローラーを含むことを特徴とする。
この構成によれば、裏面側から基材を加熱することで基材に塗布された塗布液を良好に乾燥させることができる。 Moreover, in the said coating device, the said heating part contains the heating roller which heats directly the back surface of the said base material supported in the position facing the said coating nozzle.
According to this structure, the coating liquid apply | coated to the base material can be dried favorably by heating a base material from the back side.

また、上記塗布装置においては、前記基材は、前記塗布ノズルに対して水平面と交差する方向に沿って搬送されることを特徴とする。
この構成によれば、水平面と交差する方向に沿って搬送される基材上にムラなく塗布液を塗布できる塗布装置を提供できる。 Moreover, in the said coating device, the said base material is conveyed along the direction which cross | intersects a horizontal surface with respect to the said coating nozzle.
According to this structure, the coating device which can apply | coat a coating liquid uniformly on the base material conveyed along the direction which cross | intersects a horizontal surface can be provided.

また、上記塗布装置においては、前記塗布ノズルがスプレーノズルであることを特徴とする。
この構成によれば、スプレーノズルから基板上にムラなく塗布液を塗布することができる塗布装置を提供できる。 Moreover, in the said coating device, the said coating nozzle is a spray nozzle, It is characterized by the above-mentioned.
According to this structure, the coating device which can apply | coat a coating liquid on a board | substrate uniformly from a spray nozzle can be provided.

本発明の第２の態様に係る貼付装置は、上記第１の態様に係る塗布装置と、前記塗布装置によって前記塗布液が塗布された前記基材を所定の長さに切断するカッターと、切断された前記基材を基板に貼り付ける貼付部と、を備え、前記塗布ノズルは、前記塗布液として接着剤を塗布し、前記基材は、長尺状のフィルムを巻回したロール体から構成され、前記フィルムは、前記ロール体から巻き出されることで搬送されることを特徴とする。   A sticking apparatus according to a second aspect of the present invention includes a coating apparatus according to the first aspect, a cutter that cuts the base material coated with the coating liquid by the coating apparatus into a predetermined length, and a cutting A pasting part that affixes the base material to the substrate, the coating nozzle applies an adhesive as the coating liquid, and the base material is composed of a roll body in which a long film is wound. The film is conveyed by being unwound from the roll body.

本態様に係る貼付装置によれば、上記塗布装置を備えるので、フィルムにムラなく接着剤を塗布することができ、基板にフィルムを良好に貼り付けることができる。また、フィルムに塗布液を塗布する塗布工程、フィルムを切断する工程、及びフィルムを基板に貼り付ける工程を一貫したラインで行うことができるので、効率良くフィルムを基板に貼り付けることができる。   According to the sticking device according to this aspect, since the coating device is provided, the adhesive can be applied to the film without unevenness, and the film can be satisfactorily stuck to the substrate. Moreover, since the coating process which apply | coats a coating liquid to a film, the process of cut | disconnecting a film, and the process of affixing a film on a board | substrate can be performed in the consistent line, a film can be affixed on a board | substrate efficiently.

また、上記貼付装置においては、前記フィルムは、前記塗布液が塗布される主フィルム材と、保護材とを含み、前記貼付部は、前記主フィルム材から前記保護材を剥離するとともに前記接着剤を介して該主フィルム材を前記基板に貼り付けることを特徴とする。
この構成によれば、基板に貼り付けられる主フィルム材が保護材によって保護されているので、基板に貼り付けられる前の主フィルム材に傷が付くのを防止することができる。 In the sticking device, the film includes a main film material to which the coating liquid is applied and a protective material, and the sticking part peels the protective material from the main film material and the adhesive. The main film material is affixed to the substrate via
According to this configuration, since the main film material attached to the substrate is protected by the protective material, it is possible to prevent the main film material before being attached to the substrate from being damaged.

本発明によれば、塗布液をムラなく塗布できる。また、接着剤をムラなく塗布する工程及び該接着剤を介した貼り付け工程を一貫ラインで行うことで貼り付け作業を効率良く行うことができる   According to the present invention, the coating liquid can be applied evenly. In addition, it is possible to efficiently perform the pasting work by performing the process of applying the adhesive uniformly and the pasting process via the adhesive in an integrated line.

実施形態に係る貼付装置の概略構成を示す側面図。The side view which shows schematic structure of the sticking apparatus which concerns on embodiment. 第１吸着ローラーおよび第２吸着ローラーの概略構成を示す断面図。Sectional drawing which shows schematic structure of a 1st adsorption | suction roller and a 2nd adsorption | suction roller. カッター部の概略構成を及びフィルムの積層構造を示す図。The figure which shows schematic structure of a cutter part, and the laminated structure of a film. 塗布部の要部構成を示す概略図。Schematic which shows the principal part structure of an application part. 本実施形態におけるフィルムに対するノズル先端の動きを表した図。The figure showing the movement of the nozzle front-end | tip with respect to the film in this embodiment. 回動部を有しない場合のノズル先端の動きを表した図。The figure showing the movement of the nozzle tip when not having a rotation part. 塗布部の周辺構成を示す概略図。Schematic which shows the periphery structure of an application part. 加温機構における温風吹出部分の構成を示す上面図。The top view which shows the structure of the warm air blowing part in a heating mechanism. 加温機構の要部構成である温風供給部の概略構成示す図。The figure which shows schematic structure of the warm air supply part which is the principal part structure of a heating mechanism. 塗布部の周辺構成を示す概略図。Schematic which shows the periphery structure of an application part. ミスト回収機構の構成を示す概略図。Schematic which shows the structure of a mist collection | recovery mechanism. 膜厚調整機構の周辺構成を示す図であり、同図（ａ）は斜視図、同図（ｂ）は断面図。It is a figure which shows the periphery structure of a film thickness adjustment mechanism, The figure (a) is a perspective view, The figure (b) is sectional drawing. 貼付装置によるフィルムの貼付工程を説明するフロー図。The flowchart explaining the sticking process of the film by a sticking apparatus. 変形例に係る貼付装置の構成を示す図であり、同図（ａ）は斜視図、同図（ｂ）は断面図。It is a figure which shows the structure of the sticking apparatus which concerns on a modification, The figure (a) is a perspective view, The figure (b) is sectional drawing. 変形例に係る膜厚調整部の構成を示す図であり、同図（ａ）は斜視図であり、同図（ｂ）は断面図。It is a figure which shows the structure of the film thickness adjustment part which concerns on a modification, The figure (a) is a perspective view, The figure (b) is sectional drawing. 変形例に係る加温部の構成を示す図であり、同図（ａ）は斜視図であり、同図（ｂ）は断面図。It is a figure which shows the structure of the heating part which concerns on a modification, The figure (a) is a perspective view, The figure (b) is sectional drawing.

以下、図面を参照して、本発明の塗布装置及びこれを備えた貼付装置の一実施形態について説明する。以下の説明においては、ＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。水平面内におけるフィルムの搬送方向をＸ軸方向、水平面内においてＸ軸方向と直交する方向をＹ軸方向、Ｘ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれと直交する方向（すなわち鉛直方向）をＺ軸方向とする。本実施形態に係る貼付装置は、長尺状の保護材及び主フィルム材が貼り合わされてなるフィルムをロール状に巻回したロール体から巻き解いたフィルムを搬送しながらフィルムから保護材と主フィルム材とを分離し、主フィルム材を基板に貼り付ける装置に関するものである。   Hereinafter, with reference to drawings, one embodiment of a coating device of the present invention and a pasting device provided with the same will be described. In the following description, an XYZ orthogonal coordinate system is set, and the positional relationship of each member will be described with reference to this XYZ orthogonal coordinate system. The film transport direction in the horizontal plane is the X-axis direction, the direction orthogonal to the X-axis direction in the horizontal plane is the Y-axis direction, and the direction orthogonal to each of the X-axis direction and the Y-axis direction (that is, the vertical direction) is the Z-axis direction. To do. The sticking apparatus according to the present embodiment includes a protective material and a main film from a film while transporting a film unrolled from a roll body obtained by winding a film in which a long protective material and a main film material are bonded together in a roll shape. The present invention relates to an apparatus for separating a material and attaching a main film material to a substrate.

（貼付装置）
図１は本実施形態に係る貼付装置の概略構成を示す側面図である。
図１に示すように、貼付装置１００は、装置筐体１０１、基板供給部１０２、基板移動部１０３、フィルム搬送部（搬送部）１０４、フィルム貼付部１０５、貼付補助部１３５、塗布装置１０６、及び加熱部１０７を備えている。 (Paste device)
FIG. 1 is a side view showing a schematic configuration of a sticking apparatus according to the present embodiment.
As shown in FIG. 1, a pasting apparatus 100 includes a device casing 101, a substrate supply unit 102, a substrate moving unit 103, a film transport unit (transport unit) 104, a film pasting unit 105, a pasting auxiliary unit 135, a coating device 106, And a heating unit 107.

基板供給部１０２は、装置筐体１０１内に基板１を移動させることで供給するためのものである。基板供給部１０２は、フィルム貼付前の基板１を複数保持するカセット１０２ａと、該カセット１０２ａの内部から基板１を引き出し可能な駆動部１０２ｂと、を有している。なお、カセット１０２ａは、内部に保持する基板１を駆動部１０２ｂに引き渡し可能な位置まで下降可能な構成となっている。これにより、基板供給部１０２は、駆動部１０２ｂによってカセット１０２ａ内から複数の基板１を順次装置筐体１０１側に供給可能となっている。   The substrate supply unit 102 is for supplying the substrate 1 by moving the substrate 1 into the apparatus housing 101. The substrate supply unit 102 includes a cassette 102a that holds a plurality of substrates 1 before film attachment, and a drive unit 102b that can pull out the substrate 1 from the inside of the cassette 102a. The cassette 102a is configured to be able to descend to a position where the substrate 1 held inside can be delivered to the drive unit 102b. Thus, the substrate supply unit 102 can sequentially supply the plurality of substrates 1 from the cassette 102a to the apparatus housing 101 side by the driving unit 102b.

基板移動部１０３は、基板１を所定位置（フィルム貼り付け位置）まで移動させるとともに、フィルムの貼り付け後に基板１を装置筐体１０１から搬出するための搬出位置まで移動させる。基板移動部１０３は、第１基板搬送ローラー部３０、第２基板搬送ローラー部３１、第３基板搬送ローラー部３２、第４基板搬送ローラー部３３、及び第５基板搬送ローラー部３４を有している。   The substrate moving unit 103 moves the substrate 1 to a predetermined position (film attaching position) and also moves the substrate 1 to an unloading position for unloading the substrate 1 from the apparatus housing 101 after the film is attached. The substrate moving unit 103 includes a first substrate transport roller unit 30, a second substrate transport roller unit 31, a third substrate transport roller unit 32, a fourth substrate transport roller unit 33, and a fifth substrate transport roller unit 34. Yes.

第３基板搬送ローラー部３２は、不図示の駆動モーターにより駆動される搬送ローラー（第１搬送ローラー）３２ａから構成されるものである。搬送ローラー３２ａはフィルム搬送部１０４におけるフィルムの貼付作業を行うためのフィルム貼付ローラー４０との間で基板１を挟持する構成となっている。これにより、搬送ローラー３２ａ上の基板１にフィルムを貼り付け可能となっている。すなわち、搬送ローラー３２ａ及びフィルム貼付ローラー４０は、本発明に係るフィルム貼付部１０５を構成している。   The third substrate transport roller unit 32 includes a transport roller (first transport roller) 32a that is driven by a drive motor (not shown). The conveyance roller 32 a is configured to sandwich the substrate 1 with the film application roller 40 for performing a film application operation in the film conveyance unit 104. Thereby, a film can be affixed on the board | substrate 1 on the conveyance roller 32a. That is, the conveyance roller 32a and the film sticking roller 40 constitute the film sticking part 105 according to the present invention.

第１基板搬送ローラー部３０は、複数（本実施形態では４つ）の従動ローラー３０ａを有している。これにより、第１基板搬送ローラー部３０は、基板供給部１０２から供給された基板１を受け取って装置筐体１０１内へと導くようになっている。   The first substrate transport roller unit 30 has a plurality of (four in this embodiment) driven rollers 30a. Accordingly, the first substrate transport roller unit 30 receives the substrate 1 supplied from the substrate supply unit 102 and guides it into the apparatus housing 101.

第２基板搬送ローラー部３１は、フィルム貼付部１０５を介して、第３基板搬送ローラー部３３と対向するように配置されている。
第２基板搬送ローラー部３１は、複数（本実施形態では３つ）のローラー対１３１を有している。各ローラー対１３１は、下側ローラー３１ａ及び上側ローラー３１ｂを有している。基板１は、これらローラー３１ａ，３１ｂ間に挟持された状態で搬送されるようになっている。 The second substrate transport roller unit 31 is disposed so as to face the third substrate transport roller unit 33 through the film sticking unit 105.
The second substrate transport roller unit 31 has a plurality (three in this embodiment) of roller pairs 131. Each roller pair 131 has a lower roller 31a and an upper roller 31b. The board | substrate 1 is conveyed in the state clamped between these rollers 31a and 31b.

第４基板搬送ローラー部３３は、フィルム搬送部１０４でフィルムが貼り付けられた基板１を受け取るようになっている。第４基板搬送ローラー部３３は、複数（本実施形態では２つ）のローラー対１３３を有している。各ローラー対１３３は、下側ローラー３３ａ及び上側ローラー３３ｂを有している。基板１は、これらローラー３３ａ，３３ｂ間に挟持された状態で搬送されるようになっている。   The 4th board | substrate conveyance roller part 33 receives the board | substrate 1 with which the film was affixed by the film conveyance part 104. FIG. The fourth substrate transport roller unit 33 has a plurality (two in this embodiment) of roller pairs 133. Each roller pair 133 includes a lower roller 33a and an upper roller 33b. The board | substrate 1 is conveyed in the state clamped between these rollers 33a and 33b.

第３基板搬送ローラー部３２及び第４基板搬送ローラー部３３との間には、貼付補助部１３５が配置されている。貼付補助部１３５は、搬送ローラー（第２搬送ローラー）１３５ａと、貼付補助ローラー１３５ｂと、を有している。貼付補助ローラー１３５ｂは、搬送ローラー１３５ａに対して進退可能とされている。   Between the third substrate transport roller unit 32 and the fourth substrate transport roller unit 33, a sticking auxiliary unit 135 is disposed. The sticking auxiliary unit 135 includes a transport roller (second transport roller) 135a and a sticking auxiliary roller 135b. The sticking auxiliary roller 135b can advance and retreat with respect to the transport roller 135a.

貼付補助部１３５は、基板１を搬送する搬送ローラー１３５ａに対して貼付補助ローラー１３５ｂを近づけることで該貼付補助ローラー１３５ｂ及び搬送ローラー１３５ａ間に基板１を挟むことが可能となっている。なお、貼付補助ローラー１３５ｂを昇降させる駆動部は、搬送ローラー１３５ａとの間で基板１に押し付け力を付与する。上記駆動部は、例えばシリンダーやモーター等から構成され、該駆動部を制御することで上記押し付け力が制御される。上記駆動部は、基板１のサイズと搬送時間に基づいて貼付補助ローラー１３５ｂを昇降させるタイミングを規定する。   The sticking auxiliary unit 135 can sandwich the substrate 1 between the sticking auxiliary roller 135b and the transport roller 135a by bringing the sticking auxiliary roller 135b closer to the transport roller 135a that transports the substrate 1. In addition, the drive part which raises / lowers the sticking auxiliary | assistant roller 135b provides pressing force to the board | substrate 1 between the conveyance rollers 135a. The drive unit includes, for example, a cylinder or a motor, and the pressing force is controlled by controlling the drive unit. The said drive part prescribes | regulates the timing which raises / lowers the sticking auxiliary roller 135b based on the size of the board | substrate 1, and conveyance time.

貼付補助ローラー１３５ｂは、少なくとも基板１の搬送方向（＋Ｘ方向）における後端に当接し、後端のエッジが通過するまで該基板１を搬送ローラー１３５ａとの間で挟む。なお、貼付補助ローラー１３５ｂは、少なくとも基板１の搬送方向における後端の時点で当接していればよく、基板１の当接開始位置は特に限定されない。すなわち、貼付補助ローラー１３５ｂは、基板１の半分から当接を開始してもよいし、基板１の搬送方向先端から当接を開始してもよい。   The sticking auxiliary roller 135b contacts at least the rear end in the transport direction (+ X direction) of the substrate 1 and sandwiches the substrate 1 with the transport roller 135a until the rear end edge passes. Note that the sticking auxiliary roller 135b only needs to be in contact at least at the time of the rear end in the conveyance direction of the substrate 1, and the contact start position of the substrate 1 is not particularly limited. That is, the auxiliary sticking roller 135b may start contact from half of the substrate 1 or may start contact from the front end of the substrate 1 in the transport direction.

このようにフィルム貼付部１０５がフィルムの搬送方向（＋Ｘ方向）における後端のエッジ部を抑えることでフィルムの後端の切断部分を確実に基板１に接着し、基板１の全面に亘ってフィルムを良好に接着することができる。   In this way, the film sticking portion 105 suppresses the edge portion at the rear end in the film transport direction (+ X direction), so that the cut portion at the rear end of the film is securely bonded to the substrate 1, and the film extends over the entire surface of the substrate 1. Can be adhered satisfactorily.

第５基板搬送ローラー部３４は、複数（本実施形態では４つ）の従動ローラー３４ａを有している。これにより、第５基板搬送ローラー部３４は、第４基板搬送ローラー部３３から搬送された基板１を受け取って不図示の基板搬出用カセット内に収容するように移動させる。   The fifth substrate transport roller section 34 has a plurality (four in this embodiment) of driven rollers 34a. Accordingly, the fifth substrate transport roller unit 34 receives the substrate 1 transported from the fourth substrate transport roller unit 33 and moves it so as to be accommodated in a substrate unloading cassette (not shown).

フィルム搬送部１０４は、基板１に対する貼り付け位置までフィルムを搬送するためのものである。フィルム搬送部１０４で搬送されたフィルムは、フィルム貼付部１０５によって基板１に貼り付けられる。   The film transport unit 104 is for transporting the film to a position where it is attached to the substrate 1. The film transported by the film transport unit 104 is pasted on the substrate 1 by the film pasting unit 105.

フィルム搬送部１０４は、フィルム繰出部４１と、搬送経路調整部４２と、フィルム保持ローラー４３と、第１吸着ローラー４４と、カッター部４８と、タイミング調整部４７と、中継ローラー部４５と、第２吸着ローラー４９と、フィルム貼付ローラー４０と、フィルム巻取部５１と、中継ローラー５２，５３とを有する。   The film transport unit 104 includes a film feeding unit 41, a transport path adjusting unit 42, a film holding roller 43, a first suction roller 44, a cutter unit 48, a timing adjusting unit 47, a relay roller unit 45, a first 2 It has the adsorbing roller 49, the film sticking roller 40, the film winding part 51, and the relay rollers 52 and 53.

フィルム繰出部４１は、フィルム（基材）６０をロール状に巻回したロール体Ｒを保持するとともに回転する回転駆動部４１ａを有する。なお、フィルム６０は、主フィルム材６１と、保護材６２と、これら主フィルム材６１および保護材６２を貼り合せる粘着層６３とを有している（図３参照）。これにより、フィルム搬送部１０４はロール体Ｒからフィルム６０を巻き解くことで搬送するようになっている。   The film feeding unit 41 includes a rotation driving unit 41a that holds and rotates a roll body R obtained by winding a film (base material) 60 in a roll shape. In addition, the film 60 has the main film material 61, the protective material 62, and the adhesion layer 63 which bonds these main film materials 61 and the protective material 62 (refer FIG. 3). Thereby, the film conveyance part 104 conveys by unwinding the film 60 from the roll body R. FIG.

搬送経路調整部４２は、回転駆動部４１ａに回動可能に取り付けられるレバー部１４１と、レバー部１４１の先端に回動可能に取り付けられてフィルム６０に当接する当接ローラー１４２と、を有する。レバー部１４１は、回転駆動部４１ａにロール体Ｒと同軸上で回転するようになっている。   The conveyance path adjustment unit 42 includes a lever portion 141 that is rotatably attached to the rotation driving portion 41 a and a contact roller 142 that is rotatably attached to the tip of the lever portion 141 and contacts the film 60. The lever portion 141 is configured to rotate coaxially with the roll body R with respect to the rotation drive portion 41a.

ロール体Ｒから巻き解かれたフィルム６０は、ロール体Ｒの残量に応じて搬送経路（搬送距離）が変化する。このようにフィルム６０の搬送経路（搬送距離）が変化すると、フィルム６０の搬送速度を一定に保つために回転駆動部４１ａの駆動条件を変更する必要がある。   The transport path (transport distance) of the film 60 unrolled from the roll body R changes according to the remaining amount of the roll body R. Thus, when the conveyance path (conveyance distance) of the film 60 changes, it is necessary to change the driving condition of the rotation drive unit 41a in order to keep the conveyance speed of the film 60 constant.

これに対し、本実施形態に係るフィルム搬送部１０４は、搬送経路調整部４２がレバー部１４１を所定位置に回動させることでフィルム６０の搬送距離（搬送経路）を変化させるようにしている。例えば、フィルム搬送部１０４は、ロール体Ｒの残量が少なくなると当接ローラー１４２を下降させるようにレバー部１４１を回動させることでロール体Ｒの外形が小さくなることで短くなった搬送距離を延ばすことができる。このように搬送経路調整部４２によれば回転駆動部４１ａの駆動条件（回転速度）を変更することなく、フィルム６０の搬送速度を一定に保つことができる。   On the other hand, in the film transport unit 104 according to the present embodiment, the transport path adjusting unit 42 changes the transport distance (transport path) of the film 60 by rotating the lever unit 141 to a predetermined position. For example, when the remaining amount of the roll body R decreases, the film transport unit 104 rotates the lever portion 141 so as to lower the contact roller 142, thereby reducing the transport distance shortened by reducing the outer shape of the roll body R. Can be extended. Thus, according to the conveyance path adjustment part 42, the conveyance speed of the film 60 can be kept constant, without changing the drive condition (rotation speed) of the rotation drive part 41a.

フィルム保持ローラー４３は、後述する第１吸着ローラー４４との間でフィルム６０が略鉛直方向（Ｚ軸方向）に沿って搬送されるように保持するためのものである。これにより、フィルム６０は鉛直方向に沿って搬送されるようになっている。   The film holding roller 43 is for holding the film 60 so as to be conveyed along a substantially vertical direction (Z-axis direction) with a first suction roller 44 described later. Thereby, the film 60 is conveyed along the vertical direction.

第１吸着ローラー４４および第２吸着ローラー４９はフィルム６０を吸着した状態で回転することで該フィルム６０を定速で搬送を可能とするものである。図２は第１吸着ローラー４４および第２吸着ローラー４９の概略構成を示す断面図である。なお、第１吸着ローラー４４および第２吸着ローラー４９は同一の構成から構成されていることから、以下の説明では第１吸着ローラー４４の構成について説明する。   The first suction roller 44 and the second suction roller 49 rotate in a state where the film 60 is sucked so that the film 60 can be conveyed at a constant speed. FIG. 2 is a cross-sectional view showing a schematic configuration of the first suction roller 44 and the second suction roller 49. In addition, since the 1st adsorption | suction roller 44 and the 2nd adsorption | suction roller 49 are comprised from the same structure, the structure of the 1st adsorption | suction roller 44 is demonstrated in the following description.

図２に示されるように、第１吸着ローラー４４は、表面に複数の貫通孔１４４ａが形成されたローラー本体１４４と、ローラー本体１４４の内部に設けられる吸引部１４５と、を有する。吸引部１４５は回転するローラー本体１４４の内面に摺接可能な箱状からなる箱体１４５ａを有し、該箱体１４５ａは真空チャンバ（不図示）に接続されている。   As shown in FIG. 2, the first suction roller 44 includes a roller body 144 having a plurality of through holes 144 a formed on the surface, and a suction unit 145 provided inside the roller body 144. The suction part 145 has a box 145a having a box shape that can slide on the inner surface of the rotating roller body 144, and the box 145a is connected to a vacuum chamber (not shown).

箱体１４５ａはローラー本体１４４の内面に当接することで貫通孔１４４ａを介してローラー表面側の空気を吸引可能となっている。第１吸着ローラー４４では、箱体１４５ａの開口部に対向する領域Ａの貫通孔１４４ａのみから空気を吸引可能となる。箱体１４５ａは固定されており、ローラー本体１４４のみが回転駆動する。   The box body 145a is capable of sucking air on the roller surface side through the through hole 144a by contacting the inner surface of the roller body 144. In the 1st adsorption | suction roller 44, it becomes possible to attract | suck air only from the through-hole 144a of the area | region A which opposes the opening part of the box 145a. The box 145a is fixed, and only the roller body 144 is driven to rotate.

この構成により、第１吸着ローラー４４では、ローラー本体１４４が所定の回転位置において貫通孔１４４ａから空気が吸引される構成とされている。よって、第１吸着ローラー４４は貫通孔１４４ａを介して吸着したフィルム６０をローラー本体１４４の回転方向に沿って良好に搬送することができる。なお、吸引部１４５はローラー本体１４４の内面に必ずしも当接している必要はなく、貫通孔１４４ａを介して吸引可能な構成であれば隙間が空いていてもよい。   With this configuration, in the first suction roller 44, the roller main body 144 is configured to suck air from the through hole 144a at a predetermined rotational position. Therefore, the 1st adsorption | suction roller 44 can convey favorably the film 60 adsorbed via the through-hole 144a along the rotation direction of the roller main body 144. The suction portion 145 does not necessarily have to contact the inner surface of the roller main body 144, and may have a gap as long as it can be sucked through the through hole 144a.

また、第１吸着ローラー４４は吸着によりフィルム６０を保持するため、ローラー本体１４４とフィルム６０との間での摩擦が生じることが防止され、静電気の発生を抑制することができる。以上、第１吸着ローラー４４の構成について説明したが、第２吸着ローラー４９についても同様である。   Moreover, since the 1st adsorption | suction roller 44 hold | maintains the film 60 by adsorption | suction, it can prevent that the friction between the roller main body 144 and the film 60 arises, and can suppress generation | occurrence | production of static electricity. The configuration of the first suction roller 44 has been described above, but the same applies to the second suction roller 49.

図３はカッター部４８の概略構成を及びフィルム６０の積層構造を示す図である。
カッター部４８は、図３に示すようにフィルム６０を切断（カット）するための刃４８ａと、刃４８ａに対向配置される台座部４８ｂとを有する。カッター部４８は、台座部４８ｂ上のフィルム６０に対して刃４８ａを押し付けることでフィルム６０を切断可能となっている。具体的にカッター部４８は、図３に示すようにフィルム６０のうち、主フィルム材６１のみを切断可能な位置まで刃４８ａを押し付ける。これにより、フィルム６０は主フィルム材６１が所定の長さにカットした状態で粘着層６３により保護材６２に貼り付けられた状態とされている。なお、図３においてはフィルム６０の主フィルム材６１上に塗布された接着剤Ｎを図示している。 FIG. 3 is a diagram showing a schematic configuration of the cutter unit 48 and a laminated structure of the film 60.
As shown in FIG. 3, the cutter part 48 has a blade 48a for cutting (cutting) the film 60, and a pedestal part 48b disposed to face the blade 48a. The cutter part 48 can cut | disconnect the film 60 by pressing the blade 48a with respect to the film 60 on the base part 48b. Specifically, as shown in FIG. 3, the cutter unit 48 presses the blade 48 a to a position where only the main film material 61 of the film 60 can be cut. Thereby, the film 60 is made into the state affixed on the protective material 62 by the adhesion layer 63 in the state which the main film material 61 cut into predetermined length. In FIG. 3, the adhesive N applied on the main film material 61 of the film 60 is illustrated.

具体的にカッター部４８は、主フィルム材６１を切断する際、基板１に貼り付けられる貼付部分と、基板に貼り付けられない非貼付部分とを形成する。したがって、保護材６２には、粘着層６３により上記貼付部分を構成する主フィルム材６１と、上記非貼付部分を構成する主フィルム材６１とが貼り付けられた状態とされている。ここで、貼付部分の長さとは基板１の長さに対応するものである。また、非貼付部分の長さとは、ある基板１に対するフィルムの貼付終了後、次の基板１に対するフィルムの貼付を開始するまでに基板１が搬送される距離に対応する。すなわち、非貼付部分の長さは、基板１の搬送速度、フィルム貼付ローラー４０の昇降速度等に応じて適宜設定される。このように貼付部分及び非貼付部分を含むフィルムを用いることでフィルム搬送部１０４によって搬送されるフィルム（貼付部分）の先端と、基板移動部１０３によって搬送される基板１の搬送方向先端との位置合わせを容易にできるようにしている。   Specifically, when the main film material 61 is cut, the cutter unit 48 forms an affixed portion that is affixed to the substrate 1 and a non-adhered portion that is not affixed to the substrate. Therefore, the protective film 62 is in a state in which the main film material 61 constituting the pasted portion and the main film material 61 constituting the non-sticked portion are pasted by the adhesive layer 63. Here, the length of the affixed portion corresponds to the length of the substrate 1. Further, the length of the non-sticking portion corresponds to the distance that the substrate 1 is conveyed after the film sticking to a certain substrate 1 is finished and the film sticking to the next substrate 1 is started. That is, the length of the non-sticking part is appropriately set according to the conveyance speed of the substrate 1, the raising / lowering speed of the film sticking roller 40, and the like. Thus, the position of the front-end | tip of the conveyance direction of the board | substrate 1 conveyed by the board | substrate movement part 103 and the front-end | tip of the board | substrate 1 conveyed by the board | substrate movement part 103 by using the film containing a sticking part and a non-sticking part. It is easy to match.

ここで、カッター部４８はフィルム搬送部１０４によって搬送された状態のフィルム６０をカットする。カッター部４８がフィルム６０を切断する際、フィルム６０の搬送が一時的に停止される。このとき、フィルム６０の搬送は切断部分以外において継続されているため、カッター部４８による切断部分とそれ以外とでフィルム６０の搬送速度に差が生じてしまう。すると搬送速度にバラツキが生じ、搬送されるフィルム６０にダブつきが生じ、フィルム６０の搬送不良が生じてしまう。   Here, the cutter unit 48 cuts the film 60 conveyed by the film conveying unit 104. When the cutter unit 48 cuts the film 60, the conveyance of the film 60 is temporarily stopped. At this time, since the conveyance of the film 60 is continued except for the cut portion, a difference occurs in the conveyance speed of the film 60 between the cut portion by the cutter unit 48 and the other portions. As a result, the transport speed varies, and the film 60 to be transported becomes dubbed, resulting in poor transport of the film 60.

これに対し、本実施形態に係るフィルム搬送部１０４は、カッター部４８により切断される際にフィルム６０に生じる搬送速度のバラツキを調整するための手段として上記タイミング調整部４７を備えている。タイミング調整部４７は、フィルム６０の裏面側に当接する当接ローラー部１４７と、該当接ローラー部１４７を保持する保持部１４８と、該保持部１４８をフィルム６０の搬送方向（Ｘ方向）に沿って移動可能な駆動部１４９と、を有している。   On the other hand, the film transport unit 104 according to the present embodiment includes the timing adjusting unit 47 as means for adjusting variations in the transport speed generated in the film 60 when being cut by the cutter unit 48. The timing adjustment unit 47 includes a contact roller unit 147 that contacts the back side of the film 60, a holding unit 148 that holds the corresponding contact roller unit 147, and the holding unit 148 along the conveyance direction (X direction) of the film 60. And a movable drive unit 149.

タイミング調整部４７は、フィルム６０がカッター部４８により切断される際、フィルム６０が一度停止する部分と他の搬送途中の部分とで搬送速度を合わせるべく、当接ローラー部１４７を搬送方向上流側（＋Ｘ方向）に移動させる。これにより、カッター部４８とタイミング調整部４７（当接ローラー部１４７）との距離が長くなるので、見掛け上のフィルム６０のカッター部４８までの搬送速度を低くすることができ、フィルム６０の搬送速度を合わせることで搬送速度のバラツキに起因するフィルム６０のダブつきを防止できる。   When the film 60 is cut by the cutter unit 48, the timing adjustment unit 47 moves the contact roller unit 147 upstream in the conveyance direction so as to match the conveyance speed between the part where the film 60 stops once and the other part in the middle of conveyance. Move in (+ X direction). As a result, the distance between the cutter unit 48 and the timing adjusting unit 47 (contact roller unit 147) becomes longer, so that the apparent conveyance speed of the film 60 to the cutter unit 48 can be reduced, and the film 60 can be conveyed. By matching the speed, it is possible to prevent the film 60 from becoming dull due to variations in the conveyance speed.

このようにフィルム搬送部１０４は搬送不良を生じさせることなく、フィルム６０を搬送した状態のままでカッター部４８による切断を行うことができる。よって、カッター部４８による切断作業ごとにフィルム６０の搬送を一時停止する必要が無くなるので、フィルム６０の貼付に要する作業時間を短縮することができる。   Thus, the film transport unit 104 can perform the cutting by the cutter unit 48 while transporting the film 60 without causing a transport failure. Therefore, it is not necessary to temporarily stop the conveyance of the film 60 for each cutting operation by the cutter unit 48, so that the operation time required for attaching the film 60 can be shortened.

フィルム貼付ローラー４０は、上下方向（Ｚ方向）に沿って移動可能とされている。フィルム貼付ローラー４０は、基板移動部１０３の搬送ローラー３２ａ（第３基板搬送ローラー部３２）上に位置する基板１に対してフィルム６０を押し付け可能な位置まで下降する。   The film sticking roller 40 is movable along the vertical direction (Z direction). The film sticking roller 40 descends to a position where the film 60 can be pressed against the substrate 1 positioned on the transport roller 32a (third substrate transport roller unit 32) of the substrate moving unit 103.

フィルム貼付ローラー４０及び搬送ローラー３２ａは、フィルム６０及び基板１を挟持することでフィルム６０の貼付を行う。このようにフィルム貼付ローラー４０は、フィルム搬送部１０４の一部をなすとともにフィルム貼付部１０５を構成している。   The film sticking roller 40 and the transport roller 32 a stick the film 60 by sandwiching the film 60 and the substrate 1. Thus, the film sticking roller 40 forms a part of the film transport unit 104 and constitutes the film sticking unit 105.

フィルム貼付ローラー４０は、フィルム６０の貼付を行う場合、該フィルム６０における貼付部分の主フィルム材６１を基板１に貼り付ける。フィルム６０は搬送された状態で基板１に貼り付けられるため、例えばフィルム貼付ローラー４０が基板１の搬送方向における後端まで基板１に当接していると、貼付部分に続いて搬送されてくる非貼付部分を搬送ローラー３２ａとの間で抑えつけてしまう。すると、本来、貼り付けられずに廃棄されるはずである非貼付部分の主フィルム材６１が基板１或いは搬送ローラー３２ａに貼り付けられてしまうおそれがある。   When sticking the film 60, the film sticking roller 40 sticks the main film material 61 of the sticking part of the film 60 to the substrate 1. Since the film 60 is affixed to the substrate 1 in a transported state, for example, when the film sticking roller 40 is in contact with the substrate 1 to the rear end in the transport direction of the substrate 1, the film 60 is transported following the pasting portion. A sticking part will be suppressed between conveyance rollers 32a. Then, the main film material 61 of the non-sticking part which should be discarded without being attached may be attached to the substrate 1 or the transport roller 32a.

本実施形態では、このような不具合を防止すべく、フィルム貼付ローラー４０が基板１を搬送方向における後端まで当接しない構成を採用している。すなわち、フィルム貼付ローラー４０は、フィルム６０の貼付部分に相当する主フィルム材６１の搬送方向先端部と基板１の搬送方向先端とを一致させるタイミング（すなわち、主フィルム材６１の搬送方向先端がフィルム貼り付け位置に到達するタイミング）で下降し、当接部分が貼付部分に相当する主フィルム材６１の搬送方向後端部（基板１の搬送方向後端）に到達する前のタイミング（すなわち、主フィルム材６１の搬送方向後端がフィルム貼り付け位置に到達する前のタイミング）で上昇を開始するようになっている。これによれば、上述したようにフィルム貼付ローラー４０は、フィルム６０の非貼付部分における搬送ローラー３２ａとの間で挟み込みを防止することができる。従って、フィルム貼付ローラー４０は、基板１に対するフィルム６０の貼付作業毎に昇降動作を繰り返すようになっている。   In this embodiment, in order to prevent such a problem, a configuration is adopted in which the film sticking roller 40 does not contact the substrate 1 to the rear end in the transport direction. That is, the film sticking roller 40 has a timing at which the leading end of the main film material 61 corresponding to the sticking portion of the film 60 coincides with the leading end of the substrate 1 in the transporting direction (that is, the leading end of the main film material 61 in the transporting direction is the film). (Timing to reach the affixing position), and the timing before the abutting part reaches the rear end in the conveyance direction of the main film material 61 corresponding to the affixing part (the rear end in the conveyance direction of the substrate 1) (that is, the main The rising of the film material 61 is started at a timing before the rear end in the transport direction of the film material 61 reaches the film attaching position. According to this, as above-mentioned, the film sticking roller 40 can prevent pinching between the conveyance rollers 32a in the non-sticking part of the film 60. Therefore, the film sticking roller 40 repeats the raising and lowering operation every time the film 60 is stuck to the substrate 1.

ところで、フィルム貼付ローラー４０は、上述のように基板１の搬送方向後端に当接するよりも先に上昇するため、搬送方向後端側においてフィルム６０を基板１に十分に押し付けることができず、フィルム６０の貼付が不十分となるおそれがある。   By the way, since the film sticking roller 40 is raised before contacting the rear end in the transport direction of the substrate 1 as described above, the film 60 cannot be sufficiently pressed against the substrate 1 on the rear end side in the transport direction. There is a possibility that sticking of the film 60 becomes insufficient.

これに対し、本実施形態では、上述した貼付補助部１３５（貼付補助ローラー１３５ｂ）を備えた構成となっている。貼付補助ローラー１３５ｂは、少なくとも基板１の搬送方向における後端に当接し、後端のエッジが通過するまで該基板１を搬送ローラー１３５ａとの間で挟むことでフィルム貼付ローラー４０のみでは不十分となるフィルム６０の後端の切断部分を確実に基板１に接着することができる。従って、本実施形態によれば、基板１の全面に亘ってフィルム６０を良好に接着することが可能となっている。   On the other hand, in this embodiment, it is the structure provided with the sticking auxiliary | assistant part 135 (sticking auxiliary roller 135b) mentioned above. The sticking auxiliary roller 135b abuts at least the rear end in the transport direction of the substrate 1, and the film sticking roller 40 alone is not sufficient by sandwiching the substrate 1 with the transport roller 135a until the rear end edge passes. The cut portion of the rear end of the film 60 can be securely bonded to the substrate 1. Therefore, according to this embodiment, the film 60 can be satisfactorily bonded over the entire surface of the substrate 1.

フィルム巻取部５１は、フィルム貼付部１０５による貼付作業後にフィルム６０から分離された保護材６２を巻き取るための巻取軸５１ａ及び該巻取軸５１ａを駆動する駆動部５１ｂを有している。   The film winding unit 51 has a winding shaft 51a for winding the protective material 62 separated from the film 60 after the pasting operation by the film pasting unit 105, and a drive unit 51b for driving the winding shaft 51a. .

中継ローラー５２，５３は、フィルム貼付ローラー４０とフィルム巻取部５１との間でフィルム６０の搬送を中継するものである。中継ローラー５２はフィルム貼付ローラー４０によるフィルム貼り付け位置よりも上方（Ｚ方向）に位置している。また、中継ローラー５２は、基板１の搬送方向において貼付補助部１３５及びフィルム貼付部１０５よりも上方に配置される。これにより、フィルム貼付ローラー４０を経由したフィルム６０は上方に向かって急峻に折り曲げられることで後述するようにカットされた主フィルム材６１のみが基板１に貼り付けられ、主フィルム材６１から保護材６２が分離されるようになっている。   The relay rollers 52 and 53 relay the conveyance of the film 60 between the film sticking roller 40 and the film winding unit 51. The relay roller 52 is located above (Z direction) from the film application position by the film application roller 40. Further, the relay roller 52 is disposed above the sticking auxiliary part 135 and the film sticking part 105 in the transport direction of the substrate 1. As a result, the film 60 that has passed through the film sticking roller 40 is sharply bent upward so that only the main film material 61 cut as will be described later is attached to the substrate 1, and the main film material 61 is protected from the protective material. 62 is separated.

（塗布装置）
塗布装置１０６は、フィルム６０を基板１に接着可能とするための塗布液として接着剤Ｎを該基板１に対して塗布する。塗布装置１０６は、フィルム保持ローラー４３によって鉛直方向に搬送されるフィルム６０に対して接着剤を塗布する。なお、塗布装置１０６が塗布する塗布液としては、少なくとも加熱部１０７による乾燥後にフィルム６０を基板１に接着可能な程度の粘着性を有する液体が用いられる。 (Coating device)
The coating device 106 applies an adhesive N to the substrate 1 as a coating solution for allowing the film 60 to adhere to the substrate 1. The coating device 106 applies an adhesive to the film 60 conveyed in the vertical direction by the film holding roller 43. In addition, as the coating liquid applied by the coating apparatus 106, a liquid having such a degree of adhesive that it can adhere the film 60 to the substrate 1 at least after drying by the heating unit 107 is used.

塗布装置１０６は、接着剤を基板１に対して塗布機構７０と、ミスト回収機構７１と、フィルム６０に塗布される接着剤の厚みを調整する膜厚調整機構７２と、加温機構（加温部）６５と、を含む（図１０参照）。   The coating apparatus 106 includes a coating mechanism 70 for applying an adhesive to the substrate 1, a mist collecting mechanism 71, a film thickness adjusting mechanism 72 for adjusting the thickness of the adhesive applied to the film 60, and a heating mechanism (heating). Part) 65 (see FIG. 10).

図４（ａ）は塗布機構７０の要部構成を示す概略図であり、図４（ｂ）は塗布機構７０が有するノズルの先端の動きを概念的に示した図である。
図４（ａ）に示されるように塗布機構７０は、接着剤を噴射するノズル（塗布ノズル）７３と、本体部７４と、本体部７４をＸ軸回りで回動させる回動部７５とを含む。ノズル７３としては、接着剤をスプレー噴射するスプレーノズルが用いられる。本体部７４は、ノズル７３をフィルム６０の幅方向に沿って移動可能とする移動機構７９を有している。移動機構７９は、ノズル７３の移動をガイドするガイド部７９ａと、該ガイド部７９ａに対してノズル７３を移動させる駆動力を伝達する駆動部７９ｂとを含む。ノズル７３は、取付アーム７８を介してガイド部７９ａに接続されている。 FIG. 4A is a schematic diagram showing the configuration of the main part of the coating mechanism 70, and FIG. 4B is a diagram conceptually showing the movement of the nozzle tip of the coating mechanism 70.
As shown in FIG. 4A, the application mechanism 70 includes a nozzle (application nozzle) 73 for injecting an adhesive, a main body portion 74, and a rotating portion 75 for rotating the main body portion 74 about the X axis. Including. As the nozzle 73, a spray nozzle that sprays an adhesive is used. The main body 74 has a moving mechanism 79 that allows the nozzle 73 to move along the width direction of the film 60. The moving mechanism 79 includes a guide portion 79a that guides the movement of the nozzle 73, and a drive portion 79b that transmits a driving force for moving the nozzle 73 with respect to the guide portion 79a. The nozzle 73 is connected to the guide portion 79 a via the mounting arm 78.

駆動部７９ｂは、例えばラックアンドピニオン機構によりガイド部７９ａ側に駆動力を伝達するようになっている。これにより、ノズル７３は同図矢印Ｂで示されるようにフィルム６０の幅方向に沿って移動可能となっている。よって、ノズル７３はフィルム６０の幅方向の全域に亘って接着剤を噴射可能となっている。   The drive part 79b transmits a driving force to the guide part 79a side by a rack and pinion mechanism, for example. Thereby, the nozzle 73 can be moved along the width direction of the film 60 as indicated by an arrow B in FIG. Accordingly, the nozzle 73 can spray the adhesive over the entire width direction of the film 60.

回動部７５はモーター等から構成されている。本体部７４は、その中央部において回動部７５に取り付けられている。これにより、本体部７４は、回動部７５により中央部を基準に揺動可能とされている。ノズル７３は本体部７４の揺動動作とは独立して本体部７４の移動機構７９によって移動可能とされている。なお、以下では、説明の便宜上、ノズル７３の先端７３ａの中心と回動部７５の回転中心とが一致しているものとする。   The rotating part 75 is composed of a motor or the like. The main body portion 74 is attached to the rotating portion 75 at the central portion thereof. As a result, the main body 74 can be swung on the basis of the central portion by the rotating portion 75. The nozzle 73 can be moved by a moving mechanism 79 of the main body 74 independently of the swinging operation of the main body 74. In the following, for convenience of explanation, it is assumed that the center of the tip 73a of the nozzle 73 coincides with the rotation center of the rotation unit 75.

このような構成に基づき、ノズル７３の先端７３ａは、図４（ｂ）に示すように回動部７５の回転中心を基準として略８の字状に移動する。具体的に、ノズル７３の先端は、回動部７５の回転中心Ｃを基準としてＹＺ軸を設定すると、第４象限から第２象限へと至り、円弧を描いて第３象限を経て第１象限へと至り、円弧を描いて第４象限へと至った後、繰り返し同じ軌跡を描くように移動する。なお、本説明ではノズル７３の先端７３ａが第２象限から第３象限に至る際および第１象限から第４象限に至る際、円弧を描いて戻る場合を例に挙げたが、本発明はこれに限定されない。例えば、Ｚ軸方向に沿ってＹ軸を跨ぐように折り返すことで第２象限から第３象限および第１象限から第４象限へと移動する構成であっても構わない。この場合、塗布機構７０は、回動部７５の代わりに本体部７４をＹＺ方向に移動させる移動部を有する。   Based on such a configuration, the tip 73a of the nozzle 73 moves in a substantially 8-character shape with the rotation center of the rotation unit 75 as a reference, as shown in FIG. Specifically, when the YZ axis is set with respect to the rotation center C of the rotation unit 75, the tip of the nozzle 73 reaches from the fourth quadrant to the second quadrant, draws an arc, passes through the third quadrant, and passes through the first quadrant. After reaching to the fourth quadrant by drawing an arc, the robot repeatedly moves to draw the same locus. In this description, the case where the tip 73a of the nozzle 73 returns in a circular arc when the second quadrant to the third quadrant and the first quadrant to the fourth quadrant is described as an example. It is not limited to. For example, it may be configured to move from the second quadrant to the third quadrant and from the first quadrant to the fourth quadrant by folding back so as to straddle the Y-axis along the Z-axis direction. In this case, the coating mechanism 70 includes a moving unit that moves the main body 74 in the YZ direction instead of the rotating unit 75.

図５は本実施形態に係る塗布装置１０６が接着剤を塗布する際のフィルム６０に対するノズル７３の先端７３ａの動きを表した図である。また、図６は比較として回動部を有しない塗布装置が接着剤を塗布する際のフィルム６０に対するノズル７３の先端７３ａの動きを表した図である。本実施形態に係る塗布装置１０６は、上述のようにノズル７３が回動部７５の回転中心Ｃを基準として略８の字状に移動することから、フィルム６０の搬送速度及びノズル７３の移動速度を調整して図５に示すようにノズル７３の先端を所定方向に搬送されるフィルム６０の表面の幅方向に沿って往復移動させることができる。一方、回動部７５を有しない場合、ノズル７３がフィルム６０の幅方向に移動する間に該フィルム６０自体も搬送されてしまうため、図６に示すようにノズル７３の先端７３ａはフィルム６０の表面に対してジグザグに移動する。   FIG. 5 is a diagram illustrating the movement of the tip 73a of the nozzle 73 relative to the film 60 when the coating apparatus 106 according to the present embodiment applies the adhesive. FIG. 6 is a view showing the movement of the tip 73a of the nozzle 73 with respect to the film 60 when a coating apparatus that does not have a rotating part applies an adhesive as a comparison. In the coating apparatus 106 according to the present embodiment, since the nozzle 73 moves in an approximately eight shape with respect to the rotation center C of the rotation unit 75 as described above, the conveyance speed of the film 60 and the movement speed of the nozzle 73. As shown in FIG. 5, the tip of the nozzle 73 can be reciprocated along the width direction of the surface of the film 60 conveyed in a predetermined direction. On the other hand, when the rotating portion 75 is not provided, since the film 60 itself is also transported while the nozzle 73 moves in the width direction of the film 60, the tip 73 a of the nozzle 73 is positioned on the film 60 as shown in FIG. 6. Move zigzag relative to the surface.

以上述べたように、本実施形態に係る塗布装置１０６は、回動部７５を備えることでノズル７３の先端７３ａをフィルム６０の幅方向及び搬送方向の全域に亘って隙間なく移動させることができるので、接着剤をフィルム６０の全面に亘って均一に塗布することができる。   As described above, the coating apparatus 106 according to this embodiment can move the tip 73a of the nozzle 73 without any gap across the entire width direction and the conveyance direction of the film 60 by including the rotation unit 75. Therefore, the adhesive can be uniformly applied over the entire surface of the film 60.

ところで、本実施形態においては、ノズル７３がフィルム６０の幅方向に沿って往復移動しながら接着剤を塗布する際、フィルム６０の幅方向の両端で往復移動の折返しを行っている。
具体的にノズル７３は往復移動時の往路においてフィルム６０の幅方向の一方から他方（例えば、左端から右端）に向かって移動しながらフィルム６０上に接着剤を塗布する。そして、ノズル７３はフィルム６０の右端に到達した後に折り返し、往復移動時の復路を通る。復路において、ノズル７３は、フィルム６０の他方から一方（例えば、右端から左端）に向かって移動しながらフィルム６０上に接着剤を塗布する。 By the way, in this embodiment, when the nozzle 73 applies the adhesive while reciprocating along the width direction of the film 60, the reciprocation of the reciprocation is performed at both ends in the width direction of the film 60.
Specifically, the nozzle 73 applies the adhesive onto the film 60 while moving from one side in the width direction of the film 60 toward the other side (for example, from the left end to the right end) in the forward path during the reciprocating movement. The nozzle 73 turns back after reaching the right end of the film 60 and passes through the return path during the reciprocating movement. In the return path, the nozzle 73 applies an adhesive onto the film 60 while moving from the other side of the film 60 toward one side (for example, from the right end to the left end).

ここで、ノズル７３の折返し位置から離れたフィルム６０の幅方向における中央では、往路のノズル７３から塗布された接着剤が概ね乾いた（乾燥した）状態で復路のノズル７３から接着剤が塗布されるようになっている。そのため、復路のノズル７３から接着剤が塗布された際、フィルム６０の表面が往路のノズル７３から塗布された接着剤によって濡れた状態とされていることがない。よって、ノズル７３が往路及び復路で塗布した接着剤がフィルム６０上で混じり合うことでムラになることは無い。   Here, at the center in the width direction of the film 60 away from the turning position of the nozzle 73, the adhesive is applied from the nozzle 73 on the return path in a state where the adhesive applied from the forward nozzle 73 is almost dry (dried). It has become so. Therefore, when the adhesive is applied from the nozzle 73 on the return path, the surface of the film 60 is not wetted by the adhesive applied from the nozzle 73 on the forward path. Therefore, the adhesive applied by the nozzle 73 in the forward path and the backward path does not become uneven when the adhesive is mixed on the film 60.

しかしながら、ノズル７３の折返し位置に近いフィルム６０の幅方向における両端部では、往路のノズル７３から接着剤が塗布されるタイミングと、復路のノズル７３から接着剤が塗布されるタイミングとが近くなる。そのため、復路のノズル７３から接着剤が塗布された際、フィルム６０の表面が往路のノズル７３から塗布された接着剤によって濡れた状態となっている。よって、ノズル７３が往路及び復路において塗布した接着剤がフィルム６０上で混じり合うことで乾燥した際に塗布ムラとなってしまう。このような塗布ムラが接着剤に生じると、後工程で行われる基板１へのフィルム６０の貼付不良を生じさせるおそれがある。   However, at both ends in the width direction of the film 60 close to the folding position of the nozzle 73, the timing at which the adhesive is applied from the forward nozzle 73 and the timing at which the adhesive is applied from the backward nozzle 73 are close. Therefore, when the adhesive is applied from the nozzle 73 on the return path, the surface of the film 60 is wet with the adhesive applied from the nozzle 73 on the forward path. Therefore, the adhesive applied by the nozzle 73 in the forward path and the backward path mixes on the film 60, resulting in coating unevenness when dried. When such application unevenness occurs in the adhesive, there is a risk of causing poor adhesion of the film 60 to the substrate 1 performed in a later step.

図７は塗布装置１０６の周辺構成を示す概略図である。なお、図７においては後述するミスト回収機構の図示を省略している。
そこで、本実施形態においては、このような接着剤の塗布ムラの発生を解決する手段として、塗布装置１０６が図７に示される加温機構６５を有したものとなっている。加温機構６５は、フィルム６０におけるノズル７３の往復移動の折返し位置に対応する部分を加温するためのものである。ここで、フィルム６０におけるノズル７３の往復移動の折返し位置に対応する部分とは、ノズル７３が折返した位置に基づいて規定されるフィルム６０上の塗布ムラが生じる領域を意味する。本実施形態においては、ノズル７３が折返しを行うフィルム６０の両端部が加温機構６５によって選択的に加温されるようにしている。 FIG. 7 is a schematic diagram showing the peripheral configuration of the coating apparatus 106. In FIG. 7, the illustration of a mist collection mechanism described later is omitted.
Therefore, in the present embodiment, as a means for solving the occurrence of such uneven application of the adhesive, the coating device 106 has a heating mechanism 65 shown in FIG. The heating mechanism 65 is for heating a portion of the film 60 corresponding to the turning position of the reciprocating movement of the nozzle 73. Here, the portion of the film 60 corresponding to the reversing position of the reciprocating movement of the nozzle 73 means a region where the coating unevenness on the film 60 defined based on the position where the nozzle 73 is folded is generated. In the present embodiment, both end portions of the film 60 where the nozzle 73 is folded are selectively heated by the heating mechanism 65.

図８は加温機構６５における温風吹出部分の構成を示す上面図を示すものである。加温機構６５は、図７、８に示すように、２つの吹出部６６と、角度調整機構６７と、温風供給部６８と、を有する。   FIG. 8 is a top view showing the configuration of the warm air blowing portion in the heating mechanism 65. As shown in FIGS. 7 and 8, the warming mechanism 65 includes two blowing parts 66, an angle adjusting mechanism 67, and a warm air supply part 68.

吹出部６６は、それぞれ温風を吹き出す温風吹出口６６ａを有している。吹出部６６は、フィルム６０の幅方向における両端に対向する位置にそれぞれ配置されている。温風吹出口６６ａには、例えばフィン部材が設けられており、フィルム６０に対する温風の吹き出し強度を微調整可能とされている。なお、フィン部材は、フィルム６０に対する温風の吹き出し方向を微調整可能とされていてもよい。   The blow-out part 66 has a warm air outlet 66a for blowing out warm air. The blowing portions 66 are respectively disposed at positions facing both ends in the width direction of the film 60. For example, a fin member is provided at the hot air outlet 66a, and the blowout strength of the hot air with respect to the film 60 can be finely adjusted. Note that the fin member may be capable of fine adjustment of the blowing direction of the warm air with respect to the film 60.

吹出部６６から吹き出す温風の温度としては、２５℃〜６０℃の範囲に設定するのが好ましい。例えば、フィルム６０の周辺温度が２５℃の場合、温風の吹き出し温度を３０℃〜４０℃の範囲に設定するのがより望ましい。
また、吹出部６６は、フィルム６０の表面から７０ｍｍ〜１２５ｍｍ程度離間した位置に配置されるのが好ましい。 The temperature of the hot air blown out from the blowout part 66 is preferably set in the range of 25 ° C to 60 ° C. For example, when the ambient temperature of the film 60 is 25 ° C., it is more desirable to set the blowing temperature of the warm air in the range of 30 ° C. to 40 ° C.
Moreover, it is preferable that the blowing part 66 is arrange | positioned in the position spaced apart from the surface of the film 60 about 70 mm-125 mm.

角度調整機構６７は、吹出部６６の温風吹出口６６ａからのフィルム６０に対する温風の吹き出し角度をＺ方向（フィルム６０の搬送方向）において調整可能とするものである。角度調整機構６７は、所定角度（例えば、１°）ずつ吹出部６６の取り付け角度を調整可能としている。これにより、吹出部６６は、フィルム６０に対して最適な角度で温風を吹き付け、該フィルム６０を良好に加温することができる。   The angle adjusting mechanism 67 can adjust the blowing angle of the warm air from the warm air outlet 66a of the blowing portion 66 to the film 60 in the Z direction (the transport direction of the film 60). The angle adjustment mechanism 67 can adjust the attachment angle of the blowing part 66 by a predetermined angle (for example, 1 °). Thereby, the blowing part 66 can spray warm air at an optimal angle with respect to the film 60, and can heat the film 60 satisfactorily.

各吹出部６６は、角度調整機構６７を介してダクト６９にそれぞれ接続されている。ダクト６９は、温風供給部６８側から角度調整機構６７を介して吹出部６６に温風を供給するためのものである。これにより、吹出部６６は、温風吹出口６６ａから温風を吹き出し可能とされている。ダクト６９は、後述するミスト回収機構７１の本体部８０の側壁を貫通した状態に引き回されている。ダクト６９は、本体部８０の外部において一体化し、１つのダクトとして温風供給部６８側に接続されている。   Each outlet 66 is connected to a duct 69 via an angle adjustment mechanism 67. The duct 69 is for supplying hot air from the hot air supply unit 68 side to the blowing unit 66 via the angle adjustment mechanism 67. Thereby, the blowing part 66 can blow out warm air from the warm air outlet 66a. The duct 69 is routed in a state of penetrating a side wall of a main body 80 of a mist collecting mechanism 71 described later. The duct 69 is integrated outside the main body 80 and connected to the hot air supply unit 68 as one duct.

図９は加温機構６５の要部構成である温風供給部６８の概略構成を示すものである。図９に示すように、温風供給部６８は、送風ユニット５３と、ヒーター５４と、接続部５５と、を有する。送風ユニット５３は、ヒーター５４に送風するためのものである。ヒーター５４は送風ユニット５３から送風された空気を加温する。ヒーター５４は、例えば送風ユニット５３からの送風が通過する通路に放熱フィンを複数配置し、該放熱フィンに接触することで送風ユニット５３側からの送風が加温される。なお、ヒーター５４は、吹出部６６の温風吹出口６６ａから吹き出す温風の温度需要に応じて出力を変化させることで所定温度の温風を温風吹出口６６ａに供給することができる。   FIG. 9 shows a schematic configuration of a warm air supply unit 68 that is a main configuration of the heating mechanism 65. As shown in FIG. 9, the hot air supply unit 68 includes a blower unit 53, a heater 54, and a connection unit 55. The blower unit 53 is for blowing air to the heater 54. The heater 54 heats the air blown from the blower unit 53. For example, the heater 54 is provided with a plurality of heat radiation fins in a passage through which the air blown from the blower unit 53 passes, and the air blown from the blower unit 53 side is heated by contacting the heat radiation fins. The heater 54 can supply warm air of a predetermined temperature to the hot air outlet 66a by changing the output according to the temperature demand of the hot air blown out from the hot air outlet 66a of the outlet 66.

接続部５５は、ヒーター５４で加温された空気を温風吹出口６６ａに導く経路の途中に配置される。具体的には、ダクト６９とヒーター５４との間に配置されている。接続部５５は、ヒーター５４で加温された空気を収容する本体部５５ａと、該本体部５５ａ内にフィルター５５ｂが配置されている。本体部５５ａに収容された空気は、フィルター５５ｂを通った後にダクト６９へと送られる。なお、フィルター５５ｂとしては、ＨＥＰＡフィルターを用いており、これにより送風ユニット５３側から供給された空気中に含まれた異物を除去した状態でダクト６９側に温風を供給させるようにしている。   The connection part 55 is arrange | positioned in the middle of the path | route which guides the air heated with the heater 54 to the warm air blower outlet 66a. Specifically, it is disposed between the duct 69 and the heater 54. The connection portion 55 includes a main body portion 55a that stores air heated by the heater 54, and a filter 55b disposed in the main body portion 55a. The air accommodated in the main body 55a is sent to the duct 69 after passing through the filter 55b. Note that a HEPA filter is used as the filter 55b, so that warm air is supplied to the duct 69 side in a state where foreign matters contained in the air supplied from the air blowing unit 53 side are removed.

この構成によれば、フィルター５５ｂを通過することで異物が除去された温風をフィルム６０に当てることができる。よって、接着剤中に温風中の異物が混入するといった不具合の発生を防止でき、異物混入による接着剤の接着不良の発生が防止された信頼性の高い塗布処理を行うことができる。   According to this structure, the warm air from which the foreign material has been removed by passing through the filter 55b can be applied to the film 60. Therefore, it is possible to prevent the occurrence of problems such as the mixing of foreign matter in hot air into the adhesive, and to perform a highly reliable coating process in which the occurrence of adhesive failure due to the foreign matter is prevented.

このように本実施形態に係る塗布装置１０６によれば、加温機構６５によってフィルム６０におけるノズル７３の往復移動の折返し位置に対応する部分が加温されるので、フィルム６０上に塗布された接着剤を良好に乾燥させることが可能となる。よって、往復移動するノズル７３から接着剤で濡れた状態のフィルム６０上に重ねて接着剤が塗布されてしまうのを防止でき、ノズル７３が折返しを行うフィルム６０の両端部における塗布ムラの発生を無くすことが可能とされている。したがって、本実施形態においては、フィルム６０上に接着剤をムラなく塗布できる信頼性の高い塗布装置１０６を提供することができる。   As described above, according to the coating apparatus 106 according to the present embodiment, the heating mechanism 65 heats the portion of the film 60 corresponding to the turning position of the reciprocating movement of the nozzle 73, so that the adhesion applied on the film 60 It becomes possible to dry the agent well. Therefore, it is possible to prevent the adhesive from being applied on the film 60 wet with the adhesive from the reciprocating nozzle 73, and the occurrence of coating unevenness at both ends of the film 60 where the nozzle 73 turns back. It can be eliminated. Therefore, in the present embodiment, it is possible to provide a highly reliable coating apparatus 106 that can uniformly apply an adhesive on the film 60.

図１に戻って加熱部１０７は、塗布装置１０６で接着剤が塗布されたフィルム６０を加熱する（ベーク処理）ことで接着剤を硬化させるためのものである。加熱部１０７は、第１加熱部７６及び第２加熱部７７を有している。第１加熱部７６及び第２加熱部７７の加熱温度は、それぞれ異なる値に設定されている。   Returning to FIG. 1, the heating unit 107 is for curing the adhesive by heating (baking) the film 60 to which the adhesive has been applied by the coating device 106. The heating unit 107 includes a first heating unit 76 and a second heating unit 77. The heating temperatures of the first heating unit 76 and the second heating unit 77 are set to different values.

第１加熱部７６は、フィルム６０に対して第１ベーク処理を行うことで接着剤を仮硬化させるためのものである。第２加熱部７７は、フィルム６０に対して第２ベーク処理を行うことで接着剤を本硬化させるためのものである。   The first heating unit 76 is for temporarily curing the adhesive by performing a first baking process on the film 60. The second heating unit 77 is for performing a second baking process on the film 60 to fully cure the adhesive.

このような構成に基づき、加熱部１０７はフィルム６０を段階的（２段階）に加熱することで接着剤を良好に硬化させることができるようになっている。なお、接着剤が複数（例えば、２種類）の溶剤を含む場合、第１加熱部７６による第１ベーク処理（第１段階目の加熱処理）で接着剤中の第１溶剤を蒸発させ、第２加熱部７７による第２ベーク処理（第２段階目の加熱処理）で接着剤中の第２溶剤を蒸発させて接着剤を乾燥させ、良好に硬化させることができる。   Based on such a configuration, the heating unit 107 can cure the adhesive satisfactorily by heating the film 60 stepwise (two steps). When the adhesive contains a plurality of (for example, two types) solvents, the first solvent in the adhesive is evaporated in the first baking process (first stage heating process) by the first heating unit 76, The second solvent in the adhesive is evaporated by the second baking process (second-stage heating process) by the two heating unit 77, and the adhesive can be dried and cured well.

また、加熱部１０７は、第１加熱部７６及び第２加熱部７７を用いて１枚のフィルム６０の加熱処理を行うので、１つの加熱部のみでフィルム６０の加熱処理を行う構成のように先のフィルム６０の乾燥処理が終了するまで次のフィルム６０の乾燥処理を開始することができないといった問題が生じることが無い。よって、順次加熱部１０７内にフィルム６０を搬送することができるので、加熱処理に要するタクトを短縮することができる。   Moreover, since the heating part 107 performs the heat processing of the one film 60 using the 1st heating part 76 and the 2nd heating part 77, it is like the structure which heat-processes the film 60 only by one heating part. There is no problem that the drying process of the next film 60 cannot be started until the drying process of the previous film 60 is completed. Therefore, since the film 60 can be sequentially conveyed into the heating unit 107, the tact required for the heat treatment can be shortened.

図１０は塗布部１０６の周辺構成を示す概略図である。図１１はミスト回収機構７１の構成を示す概略図である。ミスト回収機構７１は塗布機構７０のノズル７３から接着剤を塗布する際に生じるミストを回収するためのものである。   FIG. 10 is a schematic view showing a peripheral configuration of the application unit 106. FIG. 11 is a schematic view showing the configuration of the mist collecting mechanism 71. The mist collecting mechanism 71 is for collecting mist generated when the adhesive is applied from the nozzle 73 of the applying mechanism 70.

ミスト回収機構７１は、図１０に示したように本体部８０と、ミスト洗浄部８１と、洗浄液循環部８２と、を有している。本体部８０は、塗布装置１０６による接着剤塗布処理が行われる処理チャンバーを構成している。本体部８０は、フィルム搬送部１０４により搬送されるフィルム６０を内部に搬入或いは内部から搬出させるための開口部８０ａが設けられている。   As shown in FIG. 10, the mist collecting mechanism 71 includes a main body 80, a mist cleaning unit 81, and a cleaning liquid circulation unit 82. The main body 80 constitutes a processing chamber in which an adhesive application process is performed by the application device 106. The main body 80 is provided with an opening 80a for carrying the film 60 conveyed by the film conveying unit 104 into or out of the inside.

図１０に示されるように、ミスト洗浄部８１はフィルム６０における接着剤が塗布される面と反対の裏面６０ａ、及び側面６０ｂを覆うように本体部８０内に設置される。ミスト洗浄部８１は、図１０に示したように洗浄液Ｗを貯留する洗浄液貯留部８３と、該洗浄液貯留部８３から溢れ出した洗浄液Ｗが流れる洗浄部８４と、洗浄液受け部８５と、を有している。なお、図１０においては、図を見やすくするため、フィルム６０の裏面６０ａ側に配置されたミスト洗浄部８１のみを図示しているものの、フィルム６０の側面６０ｂ側にも図１１に示したようにミスト洗浄部８１は配置されている。フィルム６０の側面６０ｂ側に配置されるミスト洗浄部８１についても、裏面６０ａ側のミスト洗浄部８１と同一の構成を有している。   As shown in FIG. 10, the mist cleaning unit 81 is installed in the main body 80 so as to cover the back surface 60a and the side surface 60b opposite to the surface to which the adhesive is applied in the film 60. As shown in FIG. 10, the mist cleaning unit 81 includes a cleaning liquid storage unit 83 that stores the cleaning liquid W, a cleaning unit 84 through which the cleaning liquid W overflowing from the cleaning liquid storage unit 83 flows, and a cleaning liquid receiving unit 85. doing. In FIG. 10, only the mist cleaning unit 81 disposed on the back surface 60 a side of the film 60 is illustrated for easy viewing, but the side surface 60 b side of the film 60 is also illustrated in FIG. 11. The mist cleaning unit 81 is arranged. The mist cleaning unit 81 disposed on the side surface 60b side of the film 60 also has the same configuration as the mist cleaning unit 81 on the back surface 60a side.

洗浄部８４はフィルム６０の搬送方向（Ｚ方向）に沿って延びるブラシ部材から構成され、該ブラシ部材の表面を伝って下方へと洗浄液が流れる構成となっている。洗浄液受け部８５は、洗浄部８４を伝って流れた下方へと流れた洗浄液を受ける容器として機能するものである。   The cleaning unit 84 is constituted by a brush member extending along the transport direction (Z direction) of the film 60, and the cleaning liquid flows downward along the surface of the brush member. The cleaning liquid receiving unit 85 functions as a container that receives the cleaning liquid that has flowed downward through the cleaning unit 84.

洗浄液受け部８５の下方には、洗浄液Ｗを本体部８０内に連通させる連通部８５ａが設けられ、該連通部８５ａを介して洗浄液受け部８５内の洗浄液が本体部８０の底部８９へと流れ込むようになっている。洗浄液循環部８２は、本体部８０の底部８９に溜まった洗浄液を連通部８９ａを介し、ポンプＰの駆動力によって洗浄部８４の洗浄液貯留部８３に循環させるものである。洗浄液循環部８２はフィルターＦを有しており、該フィルターＦを介して洗浄液を循環させる。これにより、洗浄後に洗浄液に含まれる異物を除去することで洗浄液を再利用することができる。   Below the cleaning liquid receiving portion 85, a communication portion 85a for allowing the cleaning liquid W to communicate with the main body portion 80 is provided, and the cleaning liquid in the cleaning liquid receiving portion 85 flows into the bottom portion 89 of the main body portion 80 through the communication portion 85a. It is like that. The cleaning liquid circulation unit 82 circulates the cleaning liquid accumulated in the bottom 89 of the main body 80 to the cleaning liquid storage 83 of the cleaning unit 84 by the driving force of the pump P through the communication unit 89a. The cleaning liquid circulation unit 82 has a filter F, and the cleaning liquid is circulated through the filter F. Thereby, the cleaning liquid can be reused by removing foreign substances contained in the cleaning liquid after cleaning.

本実施形態に係る塗布装置１０６によれば、ノズル７３からフィルム６０に対して接着剤を塗布する際に生じたミストをミスト回収機構７１により回収できるので、ミストが付着することで貼付装置１００内が汚れるといった不具合の発生を防止できる。   According to the coating apparatus 106 according to the present embodiment, since the mist generated when the adhesive is applied from the nozzle 73 to the film 60 can be collected by the mist collecting mechanism 71, the mist adheres to the inside of the sticking apparatus 100. It is possible to prevent the occurrence of problems such as soiling.

膜厚調整機構７２は、フィルム６０の幅方向におけるフィルム端に塗布される接着剤の厚みが均一になるように調整するものである。図１２は膜厚調整機構７２の周辺構成を示す図であり、同図（ａ）は斜視図であり、同図（ｂ）は断面図である。   The film thickness adjusting mechanism 72 adjusts the thickness of the adhesive applied to the film edge in the width direction of the film 60 to be uniform. 12A and 12B are diagrams showing the peripheral configuration of the film thickness adjusting mechanism 72, where FIG. 12A is a perspective view and FIG. 12B is a cross-sectional view.

図１２（ａ），（ｂ）に示すように膜厚調整機構７２は、フィルム６０のフィルム端の近傍に設置されるダミーローラー９０と、駆動ローラー９１と、従動ローラー９２と、該ダミーローラー９０、駆動ローラー９１、及び従動ローラー９２に架け渡されるベルト９３と、を備えている。ベルト９３は、フィルム６０と同じ材質で構成されていても良く、同じ材質であることが好ましい。一例として、例えばポリイミドから構成されている。   As shown in FIGS. 12A and 12B, the film thickness adjusting mechanism 72 includes a dummy roller 90, a driving roller 91, a driven roller 92, and the dummy roller 90 installed in the vicinity of the film end of the film 60. , A driving roller 91, and a belt 93 that spans the driven roller 92. The belt 93 may be made of the same material as the film 60, and is preferably made of the same material. For example, it is made of polyimide, for example.

ダミーローラー９０は、鉛直方向に向けてフィルム６０を搬送するフィルム保持ローラー４３と同軸で回転する。ダミーローラー９０の外径は、該ダミーローラー９０に掛け渡されたベルト９３の表面がフィルム保持ローラー４３に掛け渡されるフィルム６０の表面と略同じ高さとなる大きさに設定されている。また、塗布装置１０６は、ベルト９３の表面とフィルム６０の表面が略同じ高さとなる領域において、ノズル７３の先端がフィルム６０の表面に対して接着剤を塗布するように位置合わせされている。   The dummy roller 90 rotates coaxially with the film holding roller 43 that conveys the film 60 in the vertical direction. The outer diameter of the dummy roller 90 is set to a size such that the surface of the belt 93 spanned over the dummy roller 90 is substantially the same height as the surface of the film 60 spanned over the film holding roller 43. The coating device 106 is positioned so that the tip of the nozzle 73 applies adhesive to the surface of the film 60 in a region where the surface of the belt 93 and the surface of the film 60 are substantially the same height.

ここで、フィルム６０のフィルム端に膜厚調整機構７２のベルト９３が設けられていない場合、接着剤の飛散条件が変化するフィルム端において接着剤の膜厚が薄くなってしまう。これにより、フィルム６０の幅方向において接着剤の膜厚にバラつきが生じてしまうおそれがある。   Here, when the belt 93 of the film thickness adjusting mechanism 72 is not provided at the film end of the film 60, the film thickness of the adhesive becomes thin at the film end where the scattering condition of the adhesive changes. As a result, the adhesive film thickness may vary in the width direction of the film 60.

これに対し、本実施形態によれば、ノズル７３が対向するフィルム６０のフィルム端の表面と略同じ高さに膜厚調整機構７２のベルト９３の表面が位置するので、接着剤の飛散条件をフィルム端とフィルム中央部とで合わせることができる。よって、フィルム６０の幅方向における接着剤の成膜条件を揃えることで接着剤を均一な膜厚で塗布することが可能となっている。   On the other hand, according to the present embodiment, the surface of the belt 93 of the film thickness adjusting mechanism 72 is positioned at substantially the same height as the surface of the film end of the film 60 facing the nozzle 73. The film edge and the film center can be combined. Therefore, it is possible to apply the adhesive with a uniform film thickness by aligning the film forming conditions of the adhesive in the width direction of the film 60.

ところで、本実施形態においては、鉛直方向（Ｚ方向）に沿って搬送されるフィルム６０に対してノズル７３から接着剤を塗布する構成を採用することで、ノズル７３としてスプレーノズルを用いた場合に生じやすい塗布ムラの発生を抑制するようにしている。   By the way, in this embodiment, when the structure which apply | coats an adhesive agent from the nozzle 73 with respect to the film 60 conveyed along a perpendicular direction (Z direction) is used, when a spray nozzle is used as the nozzle 73, It is intended to suppress the occurrence of coating unevenness that tends to occur.

なお、先端７３ａの開口端がフィルム６０の表面に対向した状態となるようにノズル７３とフィルム６０とが配置されていれば、フィルム６０が必ずしも鉛直方向に沿って搬送されていなくても上述したムラ抑制効果を得ることができる。すなわち、フィルム６０は水平面と交差する方向に沿って搬送されていればよい。このようにフィルム６０が水平面と交差する方向、すなわち水平面に対して傾いた状態に搬送されていれば、ノズル７３の先端７３ａとフィルム６０の表面とは水平方向に所定距離だけ常に離間した状態となるので、上述した接着剤の塗布面におけるムラの発生を抑制できる。   If the nozzle 73 and the film 60 are arranged so that the opening end of the tip 73a faces the surface of the film 60, the film 60 is not necessarily conveyed along the vertical direction as described above. A non-uniformity suppressing effect can be obtained. That is, the film 60 should just be conveyed along the direction which cross | intersects a horizontal surface. Thus, if the film 60 is conveyed in a direction intersecting the horizontal plane, that is, in a state inclined with respect to the horizontal plane, the tip 73a of the nozzle 73 and the surface of the film 60 are always spaced apart by a predetermined distance in the horizontal direction. Therefore, the occurrence of unevenness on the adhesive application surface described above can be suppressed.

これによれば、ノズル７３の先端とフィルム６０の表面とは水平方向に所定距離だけ離間した状態とされるので、ノズル７３から塗布された接着剤の粒子のうち、粒子が荒いもの（粒の大きいもの）はフィルム６０の表面に到達する前に落下し、フィルム６０に塗布されることがない。一方、ノズル７３から塗布された接着剤の粒子のうち、粒子が細かいもの（粒の小さいもの）はノズル７３の先端から所定距離離間した位置に配置されるフィルム６０の表面に到達し、フィルム６０に塗布されることとなる。よって、フィルム６０に均一な粒子を含んだ接着剤を塗布することができるので、接着剤の塗布面に上述したようなムラが発生するのを抑制できる。   According to this, since the tip end of the nozzle 73 and the surface of the film 60 are separated from each other by a predetermined distance in the horizontal direction, the particles of the adhesive applied from the nozzle 73 are rough (the size of the particles). The larger one) falls before reaching the surface of the film 60 and is not applied to the film 60. On the other hand, among the adhesive particles applied from the nozzle 73, fine particles (small particles) reach the surface of the film 60 arranged at a predetermined distance from the tip of the nozzle 73, and the film 60 It will be applied to. Therefore, since the adhesive containing uniform particles can be applied to the film 60, it is possible to suppress the occurrence of unevenness as described above on the application surface of the adhesive.

なお、ベルト９３の表面に付着した接着剤を洗浄する洗浄装置を設けてもよい。洗浄装置の構成としては、ベルト９３に洗浄液を噴射する構成、或いはベルト９３を洗浄液貯留部にディップさせる構成のいずれであってもよい。これによれば、ベルト９３の表面を常に綺麗な状態に保持することができるので、フィルム６０のフィルム端における接着剤の成膜条件の調整を長期に亘って精度良く行うことができる。   A cleaning device that cleans the adhesive adhered to the surface of the belt 93 may be provided. The configuration of the cleaning device may be either a configuration in which the cleaning liquid is ejected onto the belt 93 or a configuration in which the belt 93 is dipped in the cleaning liquid storage section. According to this, since the surface of the belt 93 can always be kept in a clean state, it is possible to accurately adjust the film forming condition of the adhesive at the film end of the film 60 over a long period of time.

続いて、本実施形態に係る貼付装置１００の動作として、フィルム６０を基板１に貼り付ける動作について説明する。   Then, the operation | movement which affixes the film 60 on the board | substrate 1 is demonstrated as operation | movement of the sticking apparatus 100 which concerns on this embodiment.

図１３は貼付装置１００によるフィルム６０の貼付工程を説明するフロー図である。
初めに貼付装置１００ではフィルム繰出部４１にロール体Ｒが取り付けられる（ステップＳ１）。
ロール体Ｒが取り付けられた後、貼付装置１００はフィルム搬送部１０４が駆動し、フィルム６０の巻出しを行う（ステップＳ２）。具体的にフィルム搬送部１０４は、フィルム繰出部４１及びフィルム巻取部５１を回転駆動させ、フィルム６０を所定方向に沿って搬送する。 FIG. 13 is a flowchart for explaining a process of attaching the film 60 by the attaching apparatus 100.
First, in the sticking device 100, the roll body R is attached to the film feeding portion 41 (step S1).
After the roll body R is attached, the film transport unit 104 drives the sticking apparatus 100 to unwind the film 60 (step S2). Specifically, the film transport unit 104 rotates the film feeding unit 41 and the film winding unit 51 to transport the film 60 along a predetermined direction.

貼付装置１００は、フィルム搬送部１０４によるフィルム６０の搬送に合わせて、塗布装置１０６を駆動し、接着剤の塗布を行う（ステップＳ３）。具体的に塗布装置１０６は、上述のようにノズル７３が回動部７５の回転中心を基準として略８の字状に移動しながらフィルム搬送部１０４によって搬送されるフィルム６０に対して接着剤を塗布する。   The affixing device 100 drives the coating device 106 in accordance with the transport of the film 60 by the film transport unit 104 and applies the adhesive (step S3). Specifically, the coating device 106 applies an adhesive to the film 60 conveyed by the film conveyance unit 104 while the nozzle 73 moves in a substantially 8-character shape with the rotation center of the rotation unit 75 as a reference as described above. Apply.

塗布装置１０６は、ノズル７３を移動機構７９によって移動させつつ、回動部７５によってノズル７３を保持する本体部７４をＸ軸回りに回動させることでノズル７３の先端をフィルム６０の幅方向及び搬送方向の全域に亘って隙間なく移動させることができる（図５参照）。   The coating device 106 moves the nozzle 73 by the moving mechanism 79 and rotates the main body 74 holding the nozzle 73 around the X axis by the rotating unit 75, thereby moving the tip of the nozzle 73 in the width direction of the film 60. It can be moved without a gap over the entire area in the transport direction (see FIG. 5).

ここで、ノズル７３の折返し位置に近いフィルム６０の幅方向における両端部では、往路のノズル７３から接着剤が塗布された後、すぐに復路のノズル７３から接着剤が塗布される。本実施形態では、塗布装置１０６において、加温機構６５がノズル７３の往復移動の折返し位置に対応する部分を加温する。具体的に加温機構６５は、吹出部６６の温風吹出口６６ａからフィルム６０の幅方向における両端に温風を吹き付けて加温する。   Here, at both ends in the width direction of the film 60 close to the folding position of the nozzle 73, the adhesive is applied from the forward nozzle 73 and then immediately applied from the backward nozzle 73. In the present embodiment, in the coating device 106, the heating mechanism 65 heats the portion corresponding to the return position of the reciprocating movement of the nozzle 73. Specifically, the warming mechanism 65 heats the warm air by blowing warm air to both ends in the width direction of the film 60 from the warm air outlet 66a of the blowing portion 66.

往路のノズル７３から塗布された接着剤はフィルム６０が加温された状態とされているため、例えばフィルム６０に付着した途端に概ね乾燥した状態となる。そのため、折り返したノズル７３が復路にてフィルム６０に接着剤を塗布した際、往路のノズル７３から塗布された接着剤はフィルム６０上で乾燥した状態とされている。よって、往復移動するノズル７３から接着剤で濡れた状態のフィルム６０に続けて接着剤が塗布されることが無い。そのため、ノズル７３が往路及び復路において塗布した接着剤がフィルム６０上で混じり合うことがなく、接着剤に塗布ムラが生じるのを防止できる。
このようにして、塗布装置１０６は、接着剤をフィルム６０の幅方向に亘る全面にムラなく塗布することができる。 Since the adhesive applied from the forward nozzle 73 is in a state in which the film 60 is heated, for example, as soon as it adheres to the film 60, the adhesive is generally dried. Therefore, when the folded nozzle 73 applies the adhesive to the film 60 in the return path, the adhesive applied from the forward path nozzle 73 is in a dry state on the film 60. Therefore, the adhesive is not applied to the film 60 wet with the adhesive from the reciprocating nozzle 73. Therefore, the adhesive applied by the nozzle 73 in the forward path and the return path does not mix on the film 60, and it is possible to prevent uneven application of the adhesive.
In this way, the coating device 106 can apply the adhesive uniformly over the entire surface of the film 60 in the width direction.

ところで、フィルム６０に対して接着剤を塗布する際、フィルム６０の幅方向のフィルム端では接着剤の飛散条件が変化するため、フィルム端における接着剤の厚みが中央部に比べて薄くなってしまう。これに対して、本実施形態に係る塗布装置１０６はノズル７３からフィルム６０に対して接着剤を塗布する際、膜厚調整機構７２を機能させてフィルム６０の幅方向におけるフィルム端に塗布される接着剤の厚みが均一になるように調整する。   By the way, when the adhesive is applied to the film 60, the scattering condition of the adhesive changes at the film end in the width direction of the film 60. Therefore, the thickness of the adhesive at the film end becomes thinner than that at the center. . On the other hand, when applying the adhesive from the nozzle 73 to the film 60, the coating apparatus 106 according to the present embodiment causes the film thickness adjusting mechanism 72 to function and is applied to the film end in the width direction of the film 60. Adjust so that the thickness of the adhesive is uniform.

具体的に膜厚調整機構７２は、フィルム６０を搬送するフィルム保持ローラー４３の回転と同期させてダミーローラー９０を回転させる。このとき、ダミーローラー９０の表面に掛け渡されたベルト９３の表面とフィルム保持ローラー４３に掛け渡されたフィルム６０の表面とが同じ高さとなっている。   Specifically, the film thickness adjusting mechanism 72 rotates the dummy roller 90 in synchronization with the rotation of the film holding roller 43 that transports the film 60. At this time, the surface of the belt 93 spanned over the surface of the dummy roller 90 and the surface of the film 60 spanned over the film holding roller 43 have the same height.

これによれば、フィルム端近傍においてフィルム６０の表面と同じ高さにベルト９３の表面が位置するので、実質的にフィルム端における接着剤の飛散条件を中央部に合わせることができる。   According to this, since the surface of the belt 93 is positioned at the same height as the surface of the film 60 in the vicinity of the film end, it is possible to substantially match the scattering condition of the adhesive at the film end with the central portion.

よって、ノズル７３から塗布された接着剤はフィルム６０のフィルム端においても接着剤の飛散条件が変化することがなく、接着剤の成膜条件がフィルム６０の幅方向で安定することで接着剤を均一な条件で塗布することができる。   Therefore, the adhesive applied from the nozzle 73 does not change the scattering condition of the adhesive even at the film end of the film 60, and the adhesive film forming condition is stabilized in the width direction of the film 60. It can be applied under uniform conditions.

ノズル７３からフィルム６０に接着剤を塗布する際、ノズル７３からミストが周囲に飛散してしまう。これに対して本実施形態に係る塗布装置１０６では、ミスト回収機構７１によりミストを回収することができる。具体的にノズル７３から飛散したミストは、フィルム６０の裏面６０ａ及び側面６０ｂを覆うように設けられたミスト洗浄部８１（ミスト回収機構７１）の洗浄部８４によって捕捉される。   When the adhesive is applied from the nozzle 73 to the film 60, mist is scattered from the nozzle 73 to the surroundings. On the other hand, in the coating apparatus 106 according to the present embodiment, the mist can be recovered by the mist recovery mechanism 71. Specifically, the mist scattered from the nozzle 73 is captured by the cleaning unit 84 of the mist cleaning unit 81 (mist recovery mechanism 71) provided so as to cover the back surface 60a and the side surface 60b of the film 60.

洗浄部８４は上述したようにブラシ部材の表面を伝って下方へと洗浄液が流れる構成となっているため、捕捉されたミストは洗浄液とともに下方に排出される。これによれば、捕捉したミストが洗浄部８４に蓄積してしまうといったことがなく、安定的にミストを回収することができる。   As described above, the cleaning unit 84 has a structure in which the cleaning liquid flows downward along the surface of the brush member, so that the captured mist is discharged downward together with the cleaning liquid. According to this, the captured mist does not accumulate in the cleaning unit 84, and the mist can be recovered stably.

ミストを回収した洗浄液は洗浄液受け部８５から本体部８０の底部へと流れ込み、洗浄液循環部８２のフィルターＦで異物が除去された後、洗浄部８４に再度循環される。   The cleaning liquid from which the mist has been collected flows from the cleaning liquid receiving section 85 to the bottom of the main body section 80, and after the foreign matter is removed by the filter F of the cleaning liquid circulation section 82, it is circulated again to the cleaning section 84.

また、本実施形態においては、鉛直方向（Ｚ方向）に沿って搬送されるフィルム６０に対してノズル７３から接着剤を塗布するので、ノズル７３から塗布された接着剤の粒子のうち、粒子が荒いもの（粒の大きいもの）がフィルム６０に塗布されるのを防止し、粒子が細かいもの（粒の小さいもの）のみをフィルム６０に塗布することができる。このようにして塗布された接着剤は均一な粒子を含むので、ムラの発生が抑制された状態で塗布されたものとなる。この接着剤は表面のムラが少ないため、後工程で行われる基板１に貼り付けられた場合であっても主フィルム材６１の平面度を低下させるといった不具合の発生を防止できる。   Moreover, in this embodiment, since an adhesive agent is apply | coated from the nozzle 73 with respect to the film 60 conveyed along a perpendicular direction (Z direction), particle | grains are among the particle | grains of the adhesive agent apply | coated from the nozzle 73. A rough thing (a thing with a big grain) can be prevented from being applied to film 60, and a thing with fine particles (a thing with a small grain) can be applied to film 60. Since the adhesive applied in this way contains uniform particles, it is applied in a state where the occurrence of unevenness is suppressed. Since the adhesive has little surface unevenness, it is possible to prevent the occurrence of a problem that the flatness of the main film material 61 is lowered even when the adhesive is attached to the substrate 1 performed in a subsequent process.

フィルム搬送部１０４は、塗布装置１０６によって接着剤が塗布されたフィルム６０を加熱部１０７へと搬送し、フィルム６０を加熱する（ベーク処理）ことで接着剤を硬化させる（ステップＳ４，Ｓ５）。具体的に加熱部１０７は、まず第１加熱部７６によってフィルム６０に対して第１（１ｓｔ）ベーク処理を行う（ステップＳ４）。続いて、加熱部１０７は、第２加熱部７７によってフィルム６０に対して第２（２ｎｄ）ベーク処理を行う（ステップＳ５）。第１加熱部７６及び第２加熱部７７における加熱温度は、接着剤の種類、膜厚等の条件により適宜変更される。   The film transport unit 104 transports the film 60 to which the adhesive is applied by the coating device 106 to the heating unit 107, and cures the adhesive by heating the film 60 (baking process) (steps S4 and S5). Specifically, the heating unit 107 first performs a first (1st) baking process on the film 60 by the first heating unit 76 (step S4). Subsequently, the heating unit 107 performs a second (2nd) baking process on the film 60 by the second heating unit 77 (step S5). The heating temperature in the 1st heating part 76 and the 2nd heating part 77 is suitably changed by conditions, such as a kind of adhesive agent, and a film thickness.

このように本実施形態では、加熱部１０７が第１加熱部７６及び第２加熱部７７を用いて１枚のフィルム６０の加熱処理を行うので、順次加熱部１０７内にフィルム６０を搬送することができ、加熱処理に要するタクトを短縮することができる。   As described above, in the present embodiment, the heating unit 107 uses the first heating unit 76 and the second heating unit 77 to heat the single film 60, so that the film 60 is sequentially transferred into the heating unit 107. The tact required for heat treatment can be shortened.

フィルム搬送部１０４は、加熱部１０７による加熱処理後のフィルム６０をカッター部４８へと搬送し、フィルム６０をカットする（ステップＳ６）。カッター部４８は、図３に示したように台座部４８ｂ上のフィルム６０に対して刃４８ａを押し付け、フィルム６０のうち、主フィルム材６１のみを切断する。カッター部４８によるカット後のフィルム６０は、主フィルム材６１が所定の長さに切断された状態で粘着層６３により保護材６２に貼り付けられた状態となる。   The film transport unit 104 transports the film 60 after the heat treatment by the heating unit 107 to the cutter unit 48, and cuts the film 60 (step S6). As shown in FIG. 3, the cutter unit 48 presses the blade 48 a against the film 60 on the pedestal unit 48 b and cuts only the main film material 61 in the film 60. The film 60 after being cut by the cutter unit 48 is in a state of being attached to the protective material 62 by the adhesive layer 63 in a state where the main film material 61 is cut to a predetermined length.

具体的にカッター部４８は、上述のように貼付部分及び非貼付部分を含むように主フィルム材６１のみを切断する。
ここで、フィルム６０の切断時、フィルム６０の搬送が一時的に停止される。一方、フィルム６０は、切断部分以外においてフィルム搬送部１０４による搬送が継続されている。そのため、カッター部４８を介してフィルム６０の搬送速度に差が生じ、搬送速度のバラツキに起因してフィルム６０がダブつくことで結果的に搬送不良が生じてしまう。 Specifically, the cutter unit 48 cuts only the main film material 61 so as to include the pasting portion and the non-sticking portion as described above.
Here, when the film 60 is cut, the conveyance of the film 60 is temporarily stopped. On the other hand, the film 60 is continuously conveyed by the film conveying unit 104 except for the cut portion. For this reason, a difference occurs in the conveyance speed of the film 60 through the cutter portion 48, and the film 60 becomes dull due to variations in the conveyance speed, resulting in a conveyance failure.

これに対し、本実施形態では、タイミング調整部４７がフィルム６０の切断時に生じる搬送速度のバラツキを調整する。タイミング調整部４７は、フィルム６０が切断されるタイミングに合わせて当接ローラー部１４７を搬送方向上流側（＋Ｘ方向）に移動させる。すると、カッター部４８とタイミング調整部４７（当接ローラー部１４７）との距離が長くなって、カッター部４８に向かうフィルム６０の見掛け上の搬送速度が低くなる。よって、フィルム６０の搬送速度を合わせることでフィルム６０にダブつきが生じるのを防止できる。   On the other hand, in this embodiment, the timing adjustment unit 47 adjusts the variation in the conveyance speed that occurs when the film 60 is cut. The timing adjustment unit 47 moves the contact roller unit 147 to the upstream side in the transport direction (+ X direction) in accordance with the timing at which the film 60 is cut. Then, the distance between the cutter unit 48 and the timing adjusting unit 47 (contact roller unit 147) is increased, and the apparent transport speed of the film 60 toward the cutter unit 48 is decreased. Therefore, it is possible to prevent the film 60 from becoming dull by adjusting the conveyance speed of the film 60.

よって、フィルム搬送部１０４はフィルム６０の搬送不良を生じさせることなく、搬送状態のままでフィルム６０をカッター部４８によって良好に切断することができる。また、フィルム搬送部１０４は、カッター部４８による切断作業ごとにフィルム６０の搬送を一時停止する必要が無くなるので、フィルム６０の貼付に要する作業時間を短縮できる。   Therefore, the film transport unit 104 can satisfactorily cut the film 60 by the cutter unit 48 in the transported state without causing the transport failure of the film 60. Further, since the film transport unit 104 does not need to temporarily stop the transport of the film 60 for each cutting operation by the cutter unit 48, the work time required for attaching the film 60 can be shortened.

続いて、カットしたフィルム６０の貼付工程を行う。貼付装置１００は、フィルム６０の貼付を行うに先立ち、基板供給部１０２のカセット１０２ａ内から引き出し、基板移動部１０３によって基板１の搬送を開始する（ステップＳ７，Ｓ８）。   Then, the sticking process of the cut film 60 is performed. Prior to pasting the film 60, the pasting apparatus 100 pulls out from the cassette 102a of the substrate supply unit 102 and starts transporting the substrate 1 by the substrate moving unit 103 (steps S7 and S8).

基板移動部１０３は、基板１をフィルム貼付部１０５まで移動させる。フィルム貼付部１０５は、基板移動部１０３によって搬送される基板１に対してフィルム６０の貼付を行う（ステップＳ９）。なお、基板移動部１０３は、基板１の搬送方向先端がフィルム貼付部１０５に到達するタイミングを、フィルム搬送部１０４に搬送されるフィルム６０の貼付部分がフィルム貼付部１０５に到達する同期させるように基板１の搬送速度を制御する。   The substrate moving unit 103 moves the substrate 1 to the film pasting unit 105. The film sticking part 105 sticks the film 60 to the substrate 1 transported by the substrate moving part 103 (step S9). In addition, the board | substrate movement part 103 synchronizes the timing which the conveyance direction front-end | tip of the board | substrate 1 arrives at the film sticking part 105 so that the sticking part of the film 60 conveyed to the film conveyance part 104 reaches the film sticking part 105. The conveyance speed of the substrate 1 is controlled.

具体的に基板１は、第１基板搬送ローラー部３０及び第２基板搬送ローラー部３１を経て、第３基板搬送ローラー部３２（搬送ローラー３２ａ）へと搬送される。フィルム搬送部１０４は、第３基板搬送ローラー部３２に基板１が到達するタイミングに合わせてフィルム貼付ローラー４０を下降させる。これにより、フィルム貼付ローラー４０は、基板移動部１０３の搬送ローラー３２ａ（第３基板搬送ローラー部３２）上に位置する基板１に対してフィルム６０（貼付部分）の押し付けを開始する。   Specifically, the substrate 1 is transported to the third substrate transport roller unit 32 (transport roller 32a) through the first substrate transport roller unit 30 and the second substrate transport roller unit 31. The film transport unit 104 lowers the film sticking roller 40 in accordance with the timing at which the substrate 1 reaches the third substrate transport roller unit 32. Thereby, the film sticking roller 40 starts pressing the film 60 (sticking portion) against the substrate 1 positioned on the transport roller 32a (third substrate transport roller unit 32) of the substrate moving unit 103.

フィルム貼付ローラー４０は、フィルム６０における貼付部分の主フィルム材６１を基板１に貼り付ける。フィルム６０はカッター部４８による切断工程によって、主フィルム材６１が所定の長さ（貼付部分又は非貼付部分）に切断された状態で粘着層６３により保護材６２に貼り付けられた状態となっている。   The film sticking roller 40 sticks the main film material 61 of the sticking part of the film 60 to the substrate 1. The film 60 is attached to the protective material 62 by the adhesive layer 63 in a state where the main film material 61 is cut into a predetermined length (attached portion or non-attached portion) by a cutting process by the cutter unit 48. Yes.

具体的にフィルム貼付ローラー４０は、上述のようにフィルム６０の貼付部分に相当する主フィルム材６１の搬送方向先端部と基板１の搬送方向先端とを一致させるタイミングで下降する。貼付部分の主フィルム材６１は、フィルム貼付ローラー４０と搬送ローラー３２ａとの間で基板１とともに挟持され、主フィルム材６１が接着剤Ｎを介して基板１に接着される。   Specifically, as described above, the film sticking roller 40 moves down at a timing when the leading end portion in the transport direction of the main film material 61 corresponding to the sticking portion of the film 60 coincides with the leading end in the transport direction of the substrate 1. The main film material 61 in the pasting portion is sandwiched with the substrate 1 between the film pasting roller 40 and the transport roller 32a, and the main film material 61 is bonded to the substrate 1 via the adhesive N.

フィルム貼付ローラー４０を経由したフィルム６０は中継ローラー５２、５３を経由してフィルム巻取部５１によって巻き取られる。ここで、中継ローラー５２はフィルム貼付ローラー４０によるフィルム貼り付け位置よりも上方（Ｚ方向）に位置しているため、フィルム６０はフィルム貼付ローラー４０を経て上方に向かって急峻に折り曲げられる。   The film 60 passing through the film application roller 40 is taken up by the film take-up unit 51 via the relay rollers 52 and 53. Here, since the relay roller 52 is located above (Z direction) from the film sticking position by the film sticking roller 40, the film 60 is sharply bent upward through the film sticking roller 40.

よって、中継ローラー５２により上方に折り曲げられたフィルム６０は、主フィルム材６１のみが接着剤Ｎを介して基板１に残り、保護材６２のみが中継ローラー５２側に搬送されることで主フィルム材６１と保護材６２とが分離される（ステップＳ１０）。フィルム６０から分離された保護材６２は、中継ローラー５２，５３を介してフィルム巻取部５１に巻き取られる（ステップＳ１１）。   Therefore, the film 60 folded upward by the relay roller 52 is such that only the main film material 61 remains on the substrate 1 via the adhesive N, and only the protective material 62 is conveyed to the relay roller 52 side. 61 and the protective material 62 are separated (step S10). The protective material 62 separated from the film 60 is wound around the film winding unit 51 via the relay rollers 52 and 53 (step S11).

フィルム貼付部１０５によって主フィルム材６１の貼付部分が貼り付けられた基板１は、第４基板搬送ローラー部３３へと搬送される。ここで、フィルム貼付ローラー４０は、非貼付部分における搬送ローラー３２ａとの間で挟み込みを防止すべく、上述のように基板１の搬送方向後端に当接する前に上昇していることから、搬送方向後端側におけるフィルム６０の基板１に対する押し付けが足りず、フィルム６０の貼付が不十分となっている。   The substrate 1 on which the main film material 61 is pasted by the film pasting unit 105 is transported to the fourth substrate transport roller unit 33. Here, the film sticking roller 40 is raised before coming into contact with the rear end in the carrying direction of the substrate 1 as described above in order to prevent the film sticking roller 40 from being sandwiched between the non-sticking part and the carrying roller 32a. The film 60 is not sufficiently pressed against the substrate 1 on the rear end side in the direction, and the film 60 is not sufficiently pasted.

本実施形態では、第４基板搬送ローラー部３３において、貼付補助部１３５（貼付補助ローラー１３５ｂ）が基板１の搬送方向における後端のエッジが通過するまで該基板１を搬送ローラー１３５ａとの間で挟むことで貼り付けが不十分となっているフィルム６０の後端の切断部分を確実に基板１に接着する。従って、基板１の全面に亘ってフィルム６０を良好に接着することができる。   In this embodiment, in the 4th board | substrate conveyance roller part 33, until the edge of the rear end in the conveyance direction of the board | substrate 1 passes along the board | substrate 1 between the conveyance auxiliary | assistant part 135 (sticking auxiliary roller 135b), and this board | substrate 1 between conveyance rollers 135a. The cut portion of the rear end of the film 60 that is insufficiently pasted by being sandwiched is securely bonded to the substrate 1. Therefore, the film 60 can be satisfactorily bonded over the entire surface of the substrate 1.

主フィルム材６１が貼り付けられた基板１はローラー対１３３及び第５基板搬送ローラー部３４を経て不図示の基板搬出用カセット内へと収容される（ステップＳ１２）。   The substrate 1 to which the main film material 61 is attached is accommodated in a substrate unloading cassette (not shown) via the roller pair 133 and the fifth substrate transport roller unit 34 (step S12).

貼付装置１００は基板供給部１０２内の所定枚数の基板１に対して主フィルム材６１（フィルム６０）の貼付が終了するまで、上述したステップＳ１乃至ステップＳ１２に係るフィルム貼付処理工程ＳＳ１を繰り返す（ステップＳ１３）。   The sticking apparatus 100 repeats the above-described film sticking process SS1 according to steps S1 to S12 until the sticking of the main film material 61 (film 60) to the predetermined number of substrates 1 in the board supply unit 102 is completed ( Step S13).

以上により、貼付装置１００は所定枚数の基板１に対してフィルム６０を良好に貼り付けることができる。本実施形態に係る貼付装置１００によれば、上述した塗布装置１０６によって接着剤がムラなく全面に塗布されたフィルム６０が基板１に貼り付けることができるので、基板１にフィルム６０を良好に貼り付けることができる。また、フィルム６０に接着剤を塗布する塗布工程、フィルム６０を切断する工程、及びフィルム６０を基板１に貼り付ける工程を一貫したラインで行うことができるので、効率良くフィルム６０を基板１に貼り付けることができる。   As described above, the pasting apparatus 100 can satisfactorily paste the film 60 to the predetermined number of substrates 1. According to the sticking device 100 according to the present embodiment, the film 60 on which the adhesive is uniformly applied by the coating device 106 described above can be stuck to the substrate 1, so that the film 60 is satisfactorily stuck to the substrate 1. Can be attached. Moreover, since the process of applying the adhesive to the film 60, the process of cutting the film 60, and the process of attaching the film 60 to the substrate 1 can be performed in a consistent line, the film 60 is efficiently attached to the substrate 1. Can be attached.

なお、本発明は、上述した実施形態に限定されることはなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲内において適宜変更が可能である。例えば、上記実施形態においては、ノズル７３がフィルム６０の両端部で折り返すことでフィルム６０の幅方向の全面に亘って接着剤を塗布すべく往復移動する場合を例に挙げたが、本発明はこれに限られない。すなわち、ノズル７３がフィルム６０の幅方向の一部に接着剤を塗布する構成であってもよい。この場合、ノズル７３の往復移動の折返し位置の変化に伴って加温機構６５が加温する部分を調整すればよい。   Note that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be modified as appropriate without departing from the spirit of the invention. For example, in the above embodiment, the case where the nozzle 73 is reciprocated to apply the adhesive over the entire surface in the width direction of the film 60 by turning back at both ends of the film 60 is taken as an example. It is not limited to this. That is, the nozzle 73 may be configured to apply the adhesive to a part of the film 60 in the width direction. In this case, what is necessary is just to adjust the part which the heating mechanism 65 heats with the change of the return position of the reciprocating movement of the nozzle 73.

また、上記実施形態では、フィルム繰出部４１及びフィルム巻取部５１のいずれにも駆動部を設ける場合を例に挙げたが、フィルム巻取部５１のみに駆動部を設け、フィルム巻取部５１を主動して回転させることで従動回転するフィルム繰出部４１から巻き解いたフィルム６０を巻き取る構成としてもよい。   Moreover, in the said embodiment, although the case where a drive part was provided in both the film delivery part 41 and the film winding part 51 was mentioned as an example, a drive part is provided only in the film winding part 51, and the film winding part 51 is provided. It is good also as a structure which winds up the film 60 which was unwound from the film delivery part 41 rotated by being driven and rotated.

また、上記実施形態では、加熱部１０７がフィルム６０を２段階で加熱する場合を例に挙げたが、フィルム６０を１段階或いは３段階以上で加熱するようにしてもよい。   Moreover, although the case where the heating unit 107 heats the film 60 in two stages has been described as an example in the above embodiment, the film 60 may be heated in one stage or three or more stages.

図１４は変形例に係る貼付装置の構成を示す図である。貼付装置１００においては、図１４に示すように装置筐体１０１内に複数のイオナイザー１１０を配置するようにしてもよい。これによれば、フィルム６０の搬送によって生じる静電気を除電することで静電気によるフィルム６０の貼り付き等といった不具合の発生が防止され、フィルム６０が良好に搬送されて基板１への貼付を行うことができる。   FIG. 14 is a diagram illustrating a configuration of a sticking device according to a modification. In the sticking device 100, a plurality of ionizers 110 may be disposed in the device housing 101 as shown in FIG. According to this, it is possible to prevent the occurrence of problems such as sticking of the film 60 due to static electricity by removing static electricity generated by the transport of the film 60, and the film 60 can be transported well and pasted to the substrate 1. it can.

また、図１４に示すように加熱部１０７のフィルム６０の搬送方向下流側に冷却部１０８を設けるようにしても構わない。これによれば、加熱部１０７で加熱されたフィルム６０を冷却して短時間で所定温度まで下げることができる。よって、フィルム６０の搬送経路を短くすることができ、フィルム搬送部１０４が小型化されて貼付装置１００自体の小型化を実現できる。   Further, as shown in FIG. 14, a cooling unit 108 may be provided on the downstream side of the heating unit 107 in the transport direction of the film 60. According to this, the film 60 heated by the heating unit 107 can be cooled and lowered to a predetermined temperature in a short time. Therefore, the conveyance path | route of the film 60 can be shortened, the film conveyance part 104 is reduced in size, and size reduction of the sticking apparatus 100 itself is realizable.

また、上記実施形態においては、膜厚調整機構７２として、ベルト９３の表面をフィルム６０の表面と略同じ高さに設定したものを例示したが、ベルト９３を用いずにダミーローラー９０の表面とフィルム６０の表面との高さを一致させる構成を採用してもよい。この場合、ダミーローラー９０の材質としては、表面粗さの低い、例えばＳＵＳ、樹脂、アルミニウム等を用いるのが好ましく、これによれば接着剤をフィルム６０のフィルム端における接着剤の成膜条件を良好に調整して整えることができる。   In the above embodiment, the film thickness adjusting mechanism 72 has been exemplified in which the surface of the belt 93 is set at substantially the same height as the surface of the film 60, but the surface of the dummy roller 90 is used without using the belt 93. You may employ | adopt the structure which makes the height with the surface of the film 60 correspond. In this case, it is preferable to use, for example, SUS, resin, aluminum or the like having a low surface roughness as the material of the dummy roller 90, and according to this, the film forming conditions of the adhesive at the film end of the film 60 are changed. It can be adjusted and adjusted well.

さらに上述したベルト９３を用いない構成においては、図１５に示すようにダミーローラー９５の回転軸をフィルム保持ローラー４３に一体形成し、ダミーローラー９５とフィルム保持ローラー４３とが一体に回転する構成を採用してもよい。なお、図１５は変形例に係る膜厚調整部の構成を示す図であり、同図（ａ）は斜視図であり、同図（ｂ）は断面図である。   Further, in the configuration not using the belt 93 described above, as shown in FIG. 15, the rotation shaft of the dummy roller 95 is integrally formed with the film holding roller 43, and the dummy roller 95 and the film holding roller 43 rotate integrally. It may be adopted. FIG. 15 is a diagram showing a configuration of a film thickness adjusting unit according to a modification, where FIG. 15 (a) is a perspective view and FIG. 15 (b) is a cross-sectional view.

本変形例では、図１５（ａ），（ｂ）に示すようにフィルム保持ローラー４３と一体に形成されたダミーローラー９５が膜厚調整部を構成する。ダミーローラー９５は、フィルム保持ローラー４３と同軸で回転する。ダミーローラー９５は、表面９５ａがフィルム６０の表面と同じ高さに設定されている。すなわち、ダミーローラー９５は、フィルム６０を保持するフィルム保持ローラー４３よりもフィルム６０の厚み分だけ外径が大きく構成されている。   In this modification, as shown in FIGS. 15A and 15B, a dummy roller 95 formed integrally with the film holding roller 43 constitutes a film thickness adjusting unit. The dummy roller 95 rotates coaxially with the film holding roller 43. The dummy roller 95 has a surface 95 a set at the same height as the surface of the film 60. That is, the dummy roller 95 has a larger outer diameter than the film holding roller 43 that holds the film 60 by the thickness of the film 60.

ところで、ノズル７３からフィルム６０に対して接着剤を塗布する際、ノズル７３から飛散したミストがダミーローラー９５に付着してしまう。本変形例では、ダミーローラー９５の表面に当接するスキージ部材９６を配置している。スキージ部材９６は、ダミーローラー９５におけるフィルム６０との当接部分よりも回転方向における下流側の表面に当接する。スキージ部材９６の材料としては、ゴム、樹脂等を用いるのが好ましく、これによればダミーローラー９５に傷をつけることなく、該ダミーローラー９５に付着したミストを良好に掻き取ることができる。これにより、スキージ部材９６は、ノズル７３から飛散してダミーローラー９５の表面に付着したミストを掻き取ることができる。スキージ部材９６が掻き取ったミストは図７に示したミスト回収機構７１における本体部８０の底部８９に貯留されている洗浄液Ｗに回収させてもよいし、別途回収機構を設けるようにしてもよい。   By the way, when the adhesive is applied from the nozzle 73 to the film 60, the mist scattered from the nozzle 73 adheres to the dummy roller 95. In this modification, a squeegee member 96 that contacts the surface of the dummy roller 95 is disposed. The squeegee member 96 comes into contact with the surface on the downstream side in the rotation direction with respect to the contact portion with the film 60 in the dummy roller 95. As a material of the squeegee member 96, it is preferable to use rubber, resin, or the like. According to this, the mist attached to the dummy roller 95 can be scraped off satisfactorily without damaging the dummy roller 95. Thereby, the squeegee member 96 can scrape off the mist scattered from the nozzle 73 and adhering to the surface of the dummy roller 95. The mist scraped off by the squeegee member 96 may be recovered by the cleaning liquid W stored in the bottom 89 of the main body 80 in the mist recovery mechanism 71 shown in FIG. 7, or a separate recovery mechanism may be provided. .

これによれば、ダミーローラー９５のみで本発明の膜厚調整部が構成されて部品点数を少なくすることができ、コスト低減を図ることができる。また、ダミーローラー９５とフィルム保持ローラー４３とが一体に回転するため、これらダミーローラー９０およびフィルム保持ローラー４３における駆動部を共通化することができ、コスト低減を図ることができる。   According to this, the film thickness adjusting unit of the present invention is configured only by the dummy roller 95, the number of parts can be reduced, and the cost can be reduced. Moreover, since the dummy roller 95 and the film holding roller 43 rotate integrally, the drive part in these dummy roller 90 and the film holding roller 43 can be shared, and cost reduction can be aimed at.

また、上記実施形態においては、加温機構（加温部）６５として、フィルム６０における表面側（接着剤が塗布される面側）に温風を直接吹き付けることでノズル７３の往復移動の折返し位置に対応する部分（両端部）を加温する場合を例示したが、本発明はこれに限定されない。   Moreover, in the said embodiment, the return position of the reciprocating movement of the nozzle 73 by directly blowing warm air on the surface side (surface side to which the adhesive is applied) of the film 60 as the heating mechanism (heating unit) 65. Although the case where the part (both ends) corresponding to is heated was illustrated, this invention is not limited to this.

例えば、図１６（ａ），（ｂ）に示すように、フィルム６０を加温する加温部としては、ノズル７３に対向する位置でフィルム６０の裏面６０ａ側（接着剤が塗布されない面側）を支持するフィルム保持ローラー（加温ローラー）４３を用いてもよい。なお、図１６は変形例に係る加温部の構成を示す図であり、同図（ａ）は斜視図であり、同図（ｂ）は断面図である。   For example, as shown in FIGS. 16A and 16B, the heating unit for heating the film 60 is the back surface 60a side of the film 60 at the position facing the nozzle 73 (the surface side where no adhesive is applied). A film holding roller (heating roller) 43 that supports the film may be used. FIG. 16 is a diagram showing a configuration of a heating unit according to a modification, FIG. 16 (a) is a perspective view, and FIG. 16 (b) is a cross-sectional view.

具体的にフィルム保持ローラー４３には、フィルム６０の両端部に対応する位置にヒーター４３ａが内蔵されている。ヒーター４３ａの温度は、フィルム６０を３０℃〜４０℃程度まで加温可能、例えば５０℃〜６０℃程度に設定されている。ヒーター４３ａとしては、例えば抵抗加熱方式のものが用いられる。図１６においては、ヒーター４３ａがフィルム６０の幅方向において分離した状態にフィルム保持ローラー４３内に内蔵されているが、フィルム６０の幅方向の全域に亘って内蔵された構成であってもよい。この場合、ヒーター４３ａは、電流を流す位置を変化させることでフィルム６０を加温する位置を変化させることができる。これによれば、フィルム６０の幅方向の一部のみにしか接着剤を塗布しないことでノズル７３の往復移動の折返し位置の変化に対応させてフィルム６０の最適な部分を加温することができる。
また、上記実施形態で説明した加温機構６５と上記ヒーター４３ａとを組み合わせてもよく、これによれば両面からフィルム６０を効率的に加温することができる。あるいは、上記実施形態で説明した加温機構６５の代わりに、上記ヒーター４３ａのみを設けるようにしてもよい。 Specifically, the film holding roller 43 incorporates a heater 43 a at positions corresponding to both ends of the film 60. The temperature of the heater 43a can set the film 60 to about 30 ° C to 40 ° C, for example, about 50 ° C to 60 ° C. As the heater 43a, for example, a resistance heating type is used. In FIG. 16, the heater 43 a is built in the film holding roller 43 in a state where the heater 43 a is separated in the width direction of the film 60, but the heater 43 a may be built in the entire region in the width direction of the film 60. In this case, the heater 43a can change the position which heats the film 60 by changing the position which sends an electric current. According to this, by applying the adhesive only to a part in the width direction of the film 60, it is possible to heat the optimal part of the film 60 in accordance with the change in the reversing position of the reciprocating movement of the nozzle 73. .
Moreover, you may combine the heating mechanism 65 demonstrated in the said embodiment, and the said heater 43a, and according to this, the film 60 can be heated efficiently from both surfaces. Or you may make it provide only the said heater 43a instead of the heating mechanism 65 demonstrated in the said embodiment.

また、上記実施形態では、塗布装置１０６として、フィルム６０上に接着剤を塗布するものを例示したが、本発明はこれに限定されることはない。本発明は、塗布対象である所定方向に搬送される基材に対し、ノズルが搬送方向と交差する幅方向に沿って往復移動しながら接着剤等の塗布液を塗布する塗布装置の全般に適用可能である。この場合において、加温部により基材における塗布ノズルの往復移動の折返し位置に対応する部分を加温できるので、塗布液をムラなく基材に塗布することができる。   Moreover, although the thing which apply | coats an adhesive agent on the film 60 was illustrated as the coating device 106 in the said embodiment, this invention is not limited to this. The present invention is generally applied to a coating apparatus that applies a coating liquid such as an adhesive while a nozzle is reciprocatingly moved along a width direction intersecting the transport direction with respect to a substrate transported in a predetermined direction as a coating target. Is possible. In this case, since the part corresponding to the return position of the reciprocating movement of the coating nozzle in the substrate can be heated by the heating unit, the coating liquid can be applied to the substrate without unevenness.

１…基板、Ｎ…接着剤（塗布液）、Ｒ…ロール体、４３…フィルム保持ローラー（加温ローラー）、５３…送風ユニット、５４…ヒーター、５５ｂ…フィルター、６０…フィルム（基材）、６０ａ…裏面、６１…主フィルム材、６２…保護材、６５…加温機構（加温部）、６６ａ…温風吹出口、６７…角度調整機構、７３…ノズル（塗布ノズル）、１００…貼付装置、１０６…塗布装置 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Board | substrate, N ... Adhesive (coating liquid), R ... Roll body, 43 ... Film holding roller (heating roller), 53 ... Blower unit, 54 ... Heater, 55b ... Filter, 60 ... Film (base material), 60a ... Back side, 61 ... Main film material, 62 ... Protective material, 65 ... Heating mechanism (heating part), 66a ... Warm air outlet, 67 ... Angle adjustment mechanism, 73 ... Nozzle (application nozzle), 100 ... Pasting device 106: Coating device

Claims (11)

所定方向に搬送される基材の搬送方向と交差する幅方向に沿って往復移動しながら前記基材に塗布液を塗布する塗布ノズルと、
前記基材における前記塗布ノズルの前記往復移動の折返し位置に対応する部分を加温する加温部と、
を備えることを特徴とする塗布装置。 An application nozzle that applies the coating liquid to the substrate while reciprocating along the width direction intersecting the conveyance direction of the substrate conveyed in a predetermined direction;
A heating unit that heats a portion corresponding to the reciprocation position of the reciprocating movement of the coating nozzle in the substrate;
A coating apparatus comprising: 前記塗布ノズルは、前記基材における前記幅方向の両端で前記往復移動の折返しを行うことを特徴とする請求項１に記載の塗布装置。   The coating apparatus according to claim 1, wherein the coating nozzle performs the reciprocation of the reciprocation at both ends of the base in the width direction. 前記加温部は、温風吹出口から前記基材の両端にそれぞれ温風を吹き付けることを特徴とする請求項２に記載の塗布装置。   The coating apparatus according to claim 2, wherein the heating unit blows warm air from the warm air outlet to both ends of the base material. 前記温風吹出口は、前記基材に対して２５℃〜６０℃の温風を吹き付けることを特徴とする請求項３に記載の塗布装置。   The said warm air blower outlet sprays the warm air of 25 to 60 degreeC with respect to the said base material, The coating device of Claim 3 characterized by the above-mentioned. 前記加温部は、前記温風吹出口からの前記基材に対する前記温風の吹き出し角度を調整する角度調整機構を有することを特徴とする請求項３又は４に記載の塗布装置。   5. The coating apparatus according to claim 3, wherein the heating unit includes an angle adjustment mechanism that adjusts a blowing angle of the warm air with respect to the base material from the warm air outlet. 前記加温部は、送風ユニットと、前記送風ユニットから供給された空気を加温するヒーターと、前記ヒーターで加温された空気を前記温風吹出口に導く経路の途中に設けられたフィルターと、を含むことを特徴とする請求項３〜５のいずれか一項に記載の塗布装置。   The heating unit includes a blower unit, a heater that heats the air supplied from the blower unit, a filter provided in the middle of a path that guides the air heated by the heater to the warm air outlet, The coating apparatus according to claim 3, wherein the coating apparatus includes: 前記加温部は、前記塗布ノズルに対向する位置で支持する前記基材の裏面を直接加温する加温ローラーを含むことを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の塗布装置。   The said heating part contains the heating roller which heats the back surface of the said base material supported in the position facing the said application nozzle directly, The application | coating as described in any one of Claims 1-6 characterized by the above-mentioned. apparatus. 前記基材は、前記塗布ノズルに対して水平面と交差する方向に沿って搬送されることを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載の塗布装置。   The said base material is conveyed along the direction which cross | intersects a horizontal surface with respect to the said coating nozzle, The coating device as described in any one of Claims 1-7 characterized by the above-mentioned. 前記塗布ノズルがスプレーノズルであることを特徴とする請求項１〜８のいずれか一項に記載の塗布装置。   The coating apparatus according to claim 1, wherein the coating nozzle is a spray nozzle. 請求項１〜９のいずれか一項に記載の塗布装置と、
前記塗布装置によって前記塗布液が塗布された前記基材を所定の長さに切断するカッターと、
切断された前記基材を基板に貼り付ける貼付部と、を備え、
前記塗布ノズルは、前記塗布液として接着剤を塗布し、
前記基材は、長尺状のフィルムを巻回したロール体から構成され、
前記フィルムは、前記ロール体から巻き出されることで搬送されることを特徴とする貼付装置。 A coating apparatus according to any one of claims 1 to 9,
A cutter that cuts the base material on which the coating liquid has been applied by the coating apparatus into a predetermined length;
A pasting part for pasting the cut base material on a substrate,
The application nozzle applies an adhesive as the application liquid,
The base material is composed of a roll body wound with a long film,
The sticking apparatus, wherein the film is conveyed by being unwound from the roll body. 前記フィルムは、前記塗布液が塗布される主フィルム材と、保護材とを含み、
前記貼付部は、前記主フィルム材から前記保護材を剥離するとともに前記接着剤を介して該主フィルム材を前記基板に貼り付けることを特徴とする請求項１０に記載の貼付装置。 The film includes a main film material to which the coating liquid is applied, and a protective material,
The sticking apparatus according to claim 10, wherein the sticking unit peels the protective material from the main film material and sticks the main film material to the substrate via the adhesive.

Images