JP2014095661A - 中心位置検出方法および中心位置検出装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の中心位置検出方法は、画像データに対して指定した指定領域から被検出部位の中心の位置を検出するものであって、自動で実行される二値化工程S5と検索工程S6と矩形演算工程S7とを備える。二値化工程S5は、指定領域を二値化して二値化画像を得る。検索工程S6は、二値化工程S5で得た二値化画像のうち、最も広い領域を検索する。矩形演算工程S7は、検索工程S6で検索した最も広い領域に対して、内接する最大の矩形ないし正方形を演算する。矩形演算工程S7で演算された最大内接矩形ないし正方形の中心位置を、被検出部位の中心位置とする。
【選択図】図2
Description
3b 平滑化手段
3c 閾値設定手段
3d 二値化手段
3e 検索手段
3f 矩形演算手段
D 最も広い領域
I アイランド(被検出部位)
O 中心位置
P 最大内接矩形
P’ 最大内接正方形
R 指定領域
S3 平滑化工程
S4 閾値設定工程
S5 二値化工程
S6 検索工程
S7 矩形演算工程
Claims (6)
- 画像データに対して被検出部位を含むように指定した指定領域から被検出部位の中心の位置を検出する方法であって、
指定領域を二値化して二値化画像を得る二値化工程と、
この二値化工程で得た二値化画像のうち、最も広い領域を検索する検索工程と、
この検索工程で検索した最も広い領域に対して、内接する最大の矩形ないし正方形を演算する演算工程とを備え、
この演算工程で演算した最大内接矩形ないし正方形の中心位置を、被検出部位の中心位置とすることを特徴とする中心位置検出方法。 - 指定領域の指定と二値化工程の間に、指定領域の平均輝度を算出し、この算出した平均輝度に基づいて二値化工程で二値化画像を得るための閾値を設定する閾値設定工程を備える請求項1に記載の中心位置検出方法。
- 指定領域の指定と閾値設定工程の間に、指定領域を平滑化する平滑化工程を備えた請求項2に記載の中心位置検出方法。
- 検索工程で、指定領域の面積に対して40〜90%の面積を有する領域を最も広い領域として検索する請求項1〜3の何れか1項に記載の中心位置検出方法。
- 被検出部位が、半導体ウエハのチップが取り付けられるアイランドである請求項1〜4の何れか1項に記載の中心位置検出方法。
- 画像データに対して被検出部位を含むように指定した指定領域から被検出部位の中心の位置を検出する装置であって、
画像データを取得するための画像取得手段と、画像データを処理するための画像処理手段とを備え、
画像処理手段は、指定領域を二値化して二値化画像を得る二値化手段と、この二値化手段で得た二値化画像のうち、最も広い領域を検索する検索手段と、この検索手段で検索した最も広い領域に対して、内接する最大の矩形ないし正方形を演算する演算手段とを有し、
この演算手段で演算した最大内接矩形ないし正方形の中心位置を、被検出部位の中心位置とすることを特徴とする中心位置検出装置。
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Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0447477A (ja) * | 1990-06-13 | 1992-02-17 | Nec Corp | 内接矩形を用いた円位置決め方法 |
JPH07107876A (ja) * | 1993-10-12 | 1995-04-25 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 魚の雌雄判別装置 |
JPH07260445A (ja) * | 1994-03-17 | 1995-10-13 | Nomura Seimitsu Denshi Kk | リードフレームの自動検査方法及び装置 |
JPH08194737A (ja) * | 1995-01-17 | 1996-07-30 | Dainippon Printing Co Ltd | 微細パターンの段差測定装置 |
JPH08204096A (ja) * | 1995-01-30 | 1996-08-09 | Nec Corp | 半導体装置のリード外観検査方法および検査装置 |
US20060109454A1 (en) * | 2004-11-24 | 2006-05-25 | The Boeing Company | In-process vision detection of flaw and fod characteristics |
JP2007017283A (ja) * | 2005-07-07 | 2007-01-25 | Toshiba Corp | 外観検査方法及び外観検査装置 |
JP2012084659A (ja) * | 2010-10-08 | 2012-04-26 | Nuflare Technology Inc | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 |
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0447477A (ja) * | 1990-06-13 | 1992-02-17 | Nec Corp | 内接矩形を用いた円位置決め方法 |
JPH07107876A (ja) * | 1993-10-12 | 1995-04-25 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 魚の雌雄判別装置 |
JPH07260445A (ja) * | 1994-03-17 | 1995-10-13 | Nomura Seimitsu Denshi Kk | リードフレームの自動検査方法及び装置 |
JPH08194737A (ja) * | 1995-01-17 | 1996-07-30 | Dainippon Printing Co Ltd | 微細パターンの段差測定装置 |
JPH08204096A (ja) * | 1995-01-30 | 1996-08-09 | Nec Corp | 半導体装置のリード外観検査方法および検査装置 |
US20060109454A1 (en) * | 2004-11-24 | 2006-05-25 | The Boeing Company | In-process vision detection of flaw and fod characteristics |
JP2007017283A (ja) * | 2005-07-07 | 2007-01-25 | Toshiba Corp | 外観検査方法及び外観検査装置 |
JP2012084659A (ja) * | 2010-10-08 | 2012-04-26 | Nuflare Technology Inc | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107289885A (zh) * | 2017-06-09 | 2017-10-24 | 上海柏楚电子科技有限公司 | 一种测定金属管材中心位置的方法 |
CN107289885B (zh) * | 2017-06-09 | 2019-11-01 | 上海柏楚电子科技股份有限公司 | 一种测定金属管材中心位置的方法 |
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